JP2008114584A - Apparatus and method for forming ceramic green sheet - Google Patents

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an apparatus and a method by which a ceramic green sheet can be formed while inhibiting the deformation or the like of the sheet containing a water-insoluble binder. <P>SOLUTION: The apparatus for forming the ceramic green sheet is provided with: a drying channel for drying and forming a slurry-coated material while conveying it; a hollow cover body which is arranged to a part of a drying channel so as to include the upstream area of the slurry coated material in its flow direction, includes a humidity control region formed inside thereof and serving as an air flow path, and includes a temperature control region formed between the outside and the inner wall of the drying channel and serving as a warm air flow path; an air blowing unit which is arranged orthogonal to the flow direction of the slurry-coated material in the cover body and has a plurality of air blowing ports for feeding the air inside the cover body from the upstream side of the flow direction of the slurry-coated material; a humidity control part for controlling the humidity of the air; and a flow rate control part for controlling the air flow rate. <P>COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT

Description

本発明は、セラミックスグリーンシートを乾燥成形するセラミックスグリーンシートの成形装置及び成形方法に関する。   The present invention relates to a ceramic green sheet forming apparatus and a forming method for dry forming a ceramic green sheet.

従来、溶媒中（水、有機溶剤）に分散したセラミックス粉末及びバインダを含むスラリーからセラミックスグリーンシートを成形する装置として、セラミックスグリーンシートをシート成形した後に乾燥路内で所定の搬送方向に搬送するとともに、シート成形されたセラミックスグリーンシートに風を吹きあてて乾燥させる成形装置が知られており、成形工程におけるセラミックスグリーンシートの変形やクラックの発生の抑制が図られている。   Conventionally, as a device for forming a ceramic green sheet from a slurry containing ceramic powder and binder dispersed in a solvent (water, organic solvent), the ceramic green sheet is formed into a sheet and then conveyed in a predetermined conveying direction in a drying path. A molding apparatus that blows and blows air on a ceramic green sheet that has been formed into a sheet is known, and it is intended to suppress deformation and cracking of the ceramic green sheet in the molding process.

例えば、水溶性バインダを含むセラミックスグリーンシートを乾燥させる装置として、焼成工程におけるセラミックスグリーンシートの変形やクラックが、乾燥工程における水分の気化の際に水溶性バインダがシート表面に偏ることによって発生することを抑制する成形装置が提案されている（例えば、特許文献１）。   For example, as a device for drying a ceramic green sheet containing a water-soluble binder, deformation or cracking of the ceramic green sheet in the firing process occurs due to the water-soluble binder being biased to the sheet surface during the vaporization of moisture in the drying process. There has been proposed a molding apparatus that suppresses the above (for example, Patent Document 1).

具体的には、この成形装置は、４０〜６０％の相対湿度の雰囲気下でセラミックスグリーンシートを乾燥させることによって、焼成工程におけるセラミックスグリーンシートの変形やクラックの発生を抑制している。すなわち、この成形装置では、水溶性バインダの溶媒である水分が乾燥路内に含まれる濃度（湿度）を適切に保つことによって、セラミックスグリーンシートの乾燥条件を適正化している。   Specifically, this molding apparatus suppresses the deformation of the ceramic green sheet and the generation of cracks in the firing process by drying the ceramic green sheet in an atmosphere of 40 to 60% relative humidity. That is, in this molding apparatus, the drying conditions of the ceramic green sheet are optimized by appropriately maintaining the concentration (humidity) of the water that is the solvent of the water-soluble binder in the drying path.

しかしながら、上述した成形装置では、乾燥路内に送り込まれる風量が制御されていないため、セラミックスグリーンシートの変形や収縮率のバラツキの抑制が不十分であった。また、非水溶性バインダを含むセラミックスグリーンシートを乾燥させる場合、非水溶性バインダの溶媒である有機溶剤が乾燥路内で蒸発（揮発）し、乾燥路内における気化した有機溶剤の濃度が高くなるため、その取り扱いに細心の注意が必要であった。   However, in the above-described forming apparatus, the amount of air sent into the drying path is not controlled, so that the deformation of the ceramic green sheet and the variation in the shrinkage rate are insufficient. In addition, when drying a ceramic green sheet containing a water-insoluble binder, the organic solvent that is the solvent of the water-insoluble binder evaporates (volatilizes) in the drying path, and the concentration of the vaporized organic solvent in the drying path increases. Therefore, careful handling was necessary for its handling.

また特許文献２には、セラミックグリーンシートのキャスティング(塗工)を行う周囲の温度を２０〜２５℃、湿度を５５〜６０℃の範囲に維持することで、セラミックスグリーンシートの焼成後の寸法変化を抑えてＩＣパッケージ用セラミックス基板の歩留まりを向上させる方法が開示されている。しかしながら、乾燥環境全体の温度・湿度を制御しているため制御精度が悪いという問題があった。
平成５−１３１４１５号公報（請求項１、表１など） 平成１１−２８９０２７号公報 Further, Patent Document 2 discloses a dimensional change after firing a ceramic green sheet by maintaining the ambient temperature at which the ceramic green sheet is cast (coating) at 20 to 25 ° C. and the humidity at 55 to 60 ° C. A method for improving the yield of a ceramic substrate for an IC package while suppressing the above is disclosed. However, since the temperature and humidity of the entire drying environment are controlled, there is a problem that the control accuracy is poor.
Heisei 5-131415 gazette (Claim 1, Table 1 etc.) Heisei 11-289027

本発明は、非水溶性バインダを含むセラミックスグリーンシートを乾燥させる際であっても、セラミックスグリーンシートの変形や収縮率のバラツキの発生を抑制できるセラミックスグリーンシートの成形装置及び成形方法を提供することを目的とする。   The present invention provides a molding apparatus and a molding method for a ceramic green sheet that can suppress the deformation of the ceramic green sheet and the variation in shrinkage even when the ceramic green sheet containing a water-insoluble binder is dried. With the goal.

本発明の第１の特徴は、スラリー塗工物を搬送しながら乾燥成型させてセラミックスグリーンシートを得る乾燥路と、スラリー塗工物の流れ方向の上流域を含むように乾燥路内部の一部に配置され、内側に気体の流路となる湿度制御領域を形成し、外側と乾燥路の内壁の間に温風の流路となる温度制御領域を形成する中空状のカバー体と、カバー体のスラリー塗工物の流れ方向に直交して配置された、カバー体の内側に気体をスラリー塗工物の流れ方向の上流側から送り込む複数の送風口を備える送風ユニットと、気体の湿度を制御する湿度制御部と、気体の流量を制御する流量制御部と、を有するセラミックスグリーンシート成形装置を要旨とする。
本発明の第２の特徴は、スラリー塗工物の流れ方向の上流域を含むように乾燥雰囲気の一部に中空状のカバー体が配置され、内側に気体の流路となる湿度制御領域を、外側に温風の流路となる温度制御領域を備えたセラミックスグリーンシート成形装置を用いたセラミックスグリーンシートの成形方法であって、湿度制御領域に送り込まれる気体の湿度を制御する工程と、気体の流量を制御する工程と、湿度制御領域のスラリー塗工物の流れ方向の上流部から気体を湿度制御領域に送り込む工程と、非水溶性バインダを含むセラミックスラリーから調製されたスラリー塗工物を湿度制御領域と温度制御領域中を搬送しながら乾燥成形してセラミックスグリーンシートを得る工程と、を含むセラミックスグリーンシートの成形方法を要旨とする。 The first feature of the present invention is that a part of the inside of the drying path is included so as to include a drying path for obtaining a ceramic green sheet by dry molding while conveying the slurry coating, and an upstream area in the flow direction of the slurry coating. A hollow cover body that forms a humidity control region that serves as a gas flow path on the inside and a temperature control region that serves as a warm air flow path between the outside and the inner wall of the drying path, and a cover body A blower unit having a plurality of air outlets that are arranged orthogonally to the flow direction of the slurry coated material and feed gas from the upstream side in the flow direction of the slurry coated material to the inside of the cover body, and to control the humidity of the gas A gist of a ceramic green sheet forming apparatus having a humidity control unit for controlling and a flow rate control unit for controlling the flow rate of gas.
A second feature of the present invention is that a hollow cover body is disposed in a part of the dry atmosphere so as to include an upstream region in the flow direction of the slurry coating, and a humidity control region serving as a gas flow path is provided inside. A ceramic green sheet forming method using a ceramic green sheet forming apparatus having a temperature control region serving as a hot air channel on the outside, the step of controlling the humidity of the gas sent to the humidity control region, and a gas A step of controlling the flow rate of the slurry, a step of feeding gas from the upstream portion in the flow direction of the slurry coating in the humidity control region to the humidity control region, and a slurry coating prepared from a ceramic slurry containing a water-insoluble binder. A method for forming a ceramic green sheet comprising: a step of drying and forming a ceramic green sheet while being conveyed in a humidity control region and a temperature control region.

本発明によれば、非水溶性バインダを含むセラミックスグリーンシートを乾燥させる際であっても、セラミックスグリーンシートの変形や収縮率のバラツキの発生を抑制できるセラミックスグリーンシートの成形装置及び成形方法が提供される。   According to the present invention, there is provided a ceramic green sheet molding apparatus and molding method capable of suppressing the deformation of the ceramic green sheet and the variation in shrinkage even when the ceramic green sheet containing the water-insoluble binder is dried. Is done.

本発明に係るセラミックスグリーンシートの成形装置及び成形方法について、実施形態を挙げて図面を参照しながら以下に説明する。なお、以下の図面の記載において、同一又は類似の部分には、同一又は類似の符号を付して説明を省略する。ただし、図面は模式的なものであり、各寸法の比率などは現実のものとは異なることに留意すべきである。したがって、具体的な寸法などは以下の説明を参酌して判断すべきである。また、図面相互間においても互いの寸法の関係や比率が異なる部分が含まれていることは勿論である。   DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS A ceramic green sheet forming apparatus and method according to the present invention will be described below with reference to the drawings with embodiments. In the following description of the drawings, the same or similar parts are denoted by the same or similar reference numerals, and description thereof is omitted. However, it should be noted that the drawings are schematic and ratios of dimensions are different from actual ones. Accordingly, specific dimensions and the like should be determined in consideration of the following description. Moreover, it is a matter of course that portions having different dimensional relationships and ratios are included between the drawings.

［第１実施形態］
（セラミックスグリーンシート成形装置）
図１に示すように、第１実施形態に係るセラミックスグリーンシート成形装置１００は、スラリー塗工物５２を搬送しながら乾燥成形してセラミックスグリーンシートを得る乾燥路１０と、スラリー塗工物５２の流れ方向の上流域を含む乾燥路１０内部の一部に配置され、内側に気体の流路となる湿度制御領域を形成し、外側と乾燥路１０の内壁の間に温風の流路となる温度制御領域を形成する中空状のカバー体１２と、カバー体１２のスラリー塗工物５２の流れ方向に直交して配置された、カバー体１２の内側に上記気体をスラリー塗工物５２の流れ方向の上流側から送り込む複数の送風口２１ａ、２１ｂ、２１ｃ、２１ｄ、２１ｅを備える送風ユニット２０と、を有する。カバー体１２を設けたことにより、図３に示すように乾燥路１０の内部に湿度制御領域と、カバー体１２の外側と乾燥路１０の内壁の間に温風の流路となる温度制御領域が形成されている。さらに、セラミックスグリーンシート成形装置１００は、図２に示すように、経路３０（経路３０ａ〜経路３０ｅ）を介して送風ユニット２０に気体を供給する給気システム２００を有する。給気システム２００は、図４に示すように、気体の湿度を制御する湿度制御部と、気体の流量を制御する流量制御部と、を有する。 [First Embodiment]
(Ceramic green sheet forming equipment)
As shown in FIG. 1, the ceramic green sheet forming apparatus 100 according to the first embodiment includes a drying path 10 for obtaining a ceramic green sheet by dry forming while conveying the slurry coated product 52, and the slurry coated product 52. A humidity control region that is disposed inside the drying path 10 including the upstream region in the flow direction, forms a gas flow path on the inside, and serves as a hot air flow path between the outside and the inner wall of the drying path 10. The hollow cover body 12 forming the temperature control region and the flow of the slurry coating 52 on the inside of the cover body 12 arranged orthogonal to the flow direction of the slurry coating 52 of the cover 12. And a blower unit 20 including a plurality of blower ports 21a, 21b, 21c, 21d, and 21e fed from the upstream side of the direction. By providing the cover body 12, as shown in FIG. 3, a humidity control area inside the drying path 10 and a temperature control area that becomes a flow path of hot air between the outside of the cover body 12 and the inner wall of the drying path 10. Is formed. Furthermore, as shown in FIG. 2, the ceramic green sheet forming apparatus 100 includes an air supply system 200 that supplies gas to the blower unit 20 via a path 30 (path 30a to path 30e). As shown in FIG. 4, the air supply system 200 includes a humidity control unit that controls the humidity of the gas and a flow rate control unit that controls the flow rate of the gas.

乾燥路１０の寸法に特に制限はないが、例えば、乾燥路１０の短手方向の長さは約２ｍであり、乾燥路１０の長手方向の長さは約１６ｍである。また、カバー体１２の高さは、キャンバスベルト１１から約０．１５ｍであり、カバー体１２の短手方向の長さは約１．３ｍであり、カバー体１２の長手方向の長さは約１１ｍである。   Although there is no restriction | limiting in particular in the dimension of the drying path 10, For example, the length of the transversal direction of the drying path 10 is about 2 m, and the length of the longitudinal direction of the drying path 10 is about 16 m. The height of the cover body 12 is about 0.15 m from the canvas belt 11, the length of the cover body 12 in the short direction is about 1.3 m, and the length of the cover body 12 in the longitudinal direction is about 1.3 m. 11 m.

乾燥路１０は、図２に示すように、スラリー塗工物５２の流れ方向の上流（入口）から下流（出口）に向かい略等間隔に設けられた仕切壁１５ａ、１５ｂ、１５ｃにより、第１ゾーン、第２ゾーン、第３ゾーン及び第４ゾーンで定義される４つの領域に区分されている。   As shown in FIG. 2, the drying path 10 includes first partition walls 15 a, 15 b, and 15 c that are provided at substantially equal intervals from the upstream (inlet) to the downstream (outlet) in the flow direction of the slurry coating 52. It is divided into four areas defined by the zone, the second zone, the third zone, and the fourth zone.

キャリヤフィルム５０の上に塗工されたスラリー塗工物５２はキャリアフィルム５０ごとキャンバスベルト１１で搬送され、送風ユニット２０の下部に設けられた搬入口１０ａからカバー体１２内に搬入されるように構成されている。また乾燥路１０の下流側に設けれらた搬出口１０ｂからスラリー塗工物５２（セラミックスグリーンシート）は乾燥路１０の外に搬出されるように構成されている。   The slurry coated product 52 coated on the carrier film 50 is conveyed by the canvas belt 11 together with the carrier film 50, and is carried into the cover body 12 from the carry-in port 10a provided at the lower part of the blower unit 20. It is configured. Further, the slurry coated product 52 (ceramic green sheet) is transported out of the drying path 10 from a carry-out port 10 b provided on the downstream side of the drying path 10.

キャンバスベルト１１のスラリー塗工物５２載置面を覆うようにして、かかる載置面を含んだ面を底面とする中空長方形状のカバー体１２が、仕切壁１５ａ、１５ｂ、１５ｃの一部を貫通するように第１ゾーンから第３ゾーンに設けられている。カバー体１２の内側には図３に示すように湿度制御された気体の流路となる湿度制御領域が形成されている。   A hollow rectangular cover body 12 having a bottom surface that includes the surface on which the slurry coated product 52 of the canvas belt 11 is mounted covers a part of the partition walls 15a, 15b, and 15c. It is provided from the first zone to the third zone so as to penetrate. As shown in FIG. 3, a humidity control region serving as a humidity-controlled gas flow path is formed inside the cover body 12.

カバー体１２のスラリー塗工物５２の流れ方向上流端部に、カバー体１２内に湿度制御された気体を送り込む送風ユニット２０が配置されている。送風ユニット２０は短手方向に沿って配列された複数の送風口２１ａ〜送風口２１ｅを有する。各送風口２１ａ〜送風口２１ｅは、長手方向に沿ってカバー体１２内に気体を送り込む。   A blower unit 20 that sends humidity-controlled gas into the cover body 12 is disposed at the upstream end of the cover body 12 in the flow direction of the slurry coating 52. The blower unit 20 includes a plurality of blower ports 21a to 21e arranged along the short direction. Each blower port 21a-blower port 21e sends gas into cover body 12 along the longitudinal direction.

給気ユニット２００に設けられた湿度制御部がカバー体１２の内側に送り込む気体の湿度を制御する。また給気ユニット２００に設けられた流量制御部が送風口２１ａ〜送風口２１ｅからカバー体１２の内側に送り込む気体の流量を制御する。これにより、セラミックスグリーンシートの変形や収縮率のバラツキを効果的に抑制することができる。「セラミックスグリーンシート」の変形とは、焼成時の反り等をいい、収縮率のバラツキとは、焼成前後の寸法変化率（焼成割掛け率）のロット間及びロット内の変動等をいう。   A humidity controller provided in the air supply unit 200 controls the humidity of the gas sent into the inside of the cover body 12. Moreover, the flow control part provided in the air supply unit 200 controls the flow volume of the gas sent into the inside of the cover body 12 from the ventilation port 21a-the ventilation port 21e. Thereby, the deformation | transformation of a ceramic green sheet and the variation in shrinkage | contraction rate can be suppressed effectively. The deformation of the “ceramic green sheet” refers to warping during firing, etc., and the variation in shrinkage rate refers to fluctuations in the dimensional change rate (firing allocation rate) before and after firing and between lots.

第１ゾーンから第４ゾーンの内、第１ゾーンから第３ゾーンにカバー体１２を設け、第１ゾーンから第３ゾーンにおいて湿度制御、流量制御された気体中に溶媒を蒸発させ、スラリー塗工物５２の表面に乾燥膜を形成させて、乾燥が減率乾燥段階に移った後、風量の大きい第４ゾーンにおいて有機溶媒等を蒸発（気化）させる。また第１ゾーンから第３ゾーンに形成されたカバー体１２により、図３に示すように、湿度制御された気体の流路と、乾燥炉が設置された部屋の空気を暖めて大量の気体を流す温風の流路とに区分けしたことで、カバー体１２内に流す不活性気体量を減らしコストダウンを図ることができる。   A cover body 12 is provided from the first zone to the fourth zone, from the first zone to the third zone, and the solvent is evaporated in the gas whose humidity is controlled and flow rate is controlled from the first zone to the third zone. After a dry film is formed on the surface of the product 52 and the drying proceeds to the decreasing rate drying stage, the organic solvent or the like is evaporated (vaporized) in the fourth zone having a large air volume. Further, as shown in FIG. 3, the cover body 12 formed from the first zone to the third zone warms the air in the room where the humidity control gas flow path and the drying furnace are installed, and generates a large amount of gas. By dividing into the flow path of the warm air to flow, the amount of inert gas flowing in the cover body 12 can be reduced and the cost can be reduced.

第１ゾーンから第４ゾーンの各ゾーンには温風を送り込む温風送付装置（図示せず）が設けられている。そのため、乾燥路１０の内壁と、カバー体１２の外側と、仕切壁１５ａ、１５ｂ、１５ｃとで区切られた空間（即ちカバー体１２の内側に形成される空間を除いた乾燥路１０の内部空間）に温度制御領域が形成されている。   Each zone from the first zone to the fourth zone is provided with a hot air sending device (not shown) for sending hot air. Therefore, the space defined by the inner wall of the drying path 10, the outer side of the cover body 12, and the partition walls 15a, 15b, and 15c (that is, the internal space of the drying path 10 excluding the space formed inside the cover body 12). ) Is formed with a temperature control region.

乾燥路１０の底面には、第１ゾーンから第３ゾーンの各ゾーンの４隅、第４ゾーンの乾燥路１０の入口側２隅に、各ゾーン内の気体を排気する排気口１３ａ，１３ｂ，１３ｃ，１３ｄ，１３ｅ，１３ｆ，１３ｇ，１３ｈ，１３ｉ，１３ｊ，１３ｋ，１３ｌ，１３ｍ，１３ｎが設けられている。第４ゾーンでは、乾燥路１０の出口側の隅に、排気ノズル１３ｏｕｔが設けられている。排気ノズル１３ｏｕｔの短手方向の長さは、カバー体１２の短手方向の長さよりも若干長く、排気ノズル１３ｏｕｔは、乾燥路１０の短手方向においてカバー体１２と略同位置に設けられる。   Exhaust ports 13a, 13b for exhausting the gas in each zone are provided at the bottom of the drying path 10 at the four corners of each zone from the first zone to the third zone and at the two corners on the inlet side of the drying path 10 of the fourth zone. 13c, 13d, 13e, 13f, 13g, 13h, 13i, 13j, 13k, 13l, 13m, and 13n are provided. In the fourth zone, an exhaust nozzle 13out is provided at the corner of the drying path 10 on the outlet side. The length of the exhaust nozzle 13out in the short direction is slightly longer than the length of the cover body 12 in the short direction, and the exhaust nozzle 13out is provided at substantially the same position as the cover body 12 in the short direction of the drying path 10.

乾燥路１０の底面の第４ゾーンの出口側に、カバー体１２の短手方向の長さよりも若干長い排気ノズル１３ｏｕｔが設けられるため、各送風口２１ａ〜２１ｅが乾燥路１０内に送り込む気体の流れが乱れること、短手方向の両端を流れる気体の風速が速くなることを抑制できる。   Since the exhaust nozzle 13out slightly longer than the length of the cover body 12 in the short direction is provided on the outlet side of the fourth zone on the bottom surface of the drying path 10, the gas blown into the drying path 10 by the air blowing ports 21a to 21e It can suppress that a flow disturbs and the wind speed of the gas which flows through the both ends of a transversal direction becomes quick.

経路３０ａは、給気システム２００と送風口２１ａとを連通しており、経路３０ａ上には、送風口２１ａが乾燥路１０内に送り込む気体の質量流量を制御するＭＦＣ３１ａ（マスフローコントローラ）が設けられている。   The path 30a communicates the air supply system 200 and the air blowing port 21a, and an MFC 31a (mass flow controller) that controls the mass flow rate of the gas that the air blowing port 21a sends into the drying path 10 is provided on the path 30a. ing.

同様に、経路３０ｂ〜経路３０ｅは、給気システム２００と送風口２１ｂ〜送風口２１ｅとをそれぞれ連通しており、経路３０ｂ〜経路３０ｅ上には、送風口２１ｂ〜送風口２１ｅが乾燥路１０内に送り込む気体の質量流量を制御するＭＦＣ３１ｂ〜ＭＦＣ３１ｅがそれぞれ設けられている。   Similarly, the route 30b to the route 30e communicate with the air supply system 200 and the air blowing port 21b to the air blowing port 21e, respectively, and the air blowing port 21b to the air blowing port 21e are connected to the drying route 10 on the route 30b to the route 30e. MFC31b-MFC31e which control the mass flow rate of the gas sent in in each is provided.

このように、各ＭＦＣ３１（ＭＦＣ３１ａＭＦＣ３１ｅ）が気体の質量流量を制御することによって、各送風口２１（送風口２１ａ〜送風口２１ｅ）が乾燥路１０内に送り込む気体の比率が制御される。   Thus, each MFC31 (MFC31aMFC31e) controls the mass flow rate of the gas, whereby the ratio of the gas that each of the air blowing ports 21 (the air blowing ports 21a to 21e) sends into the drying path 10 is controlled.

給気システム２００を作動させることにより、湿度制御領域の絶対湿度を1〜２０ｇ／ｋｇＤＡ、年間湿度変動レンジを０.１〜１．０ｇ／ｋｇＤＡ、好ましくは０.１〜０．５ｇ／ｋｇＤＡに制御可能とすることが好ましい。湿度制御領域の絶対湿度が１に満たないと静電気が溜まりやすくなり、湿度制御領域の絶対湿度が２０を超えると成形室環境が２２〜２５℃なので結露してしまうからである。   By operating the air supply system 200, the absolute humidity in the humidity control region is 1 to 20 g / kgDA, and the annual humidity fluctuation range is 0.1 to 1.0 g / kgDA, preferably 0.1 to 0.5 g / kgDA. It is preferable to be controllable. This is because if the absolute humidity in the humidity control area is less than 1, static electricity is likely to accumulate, and if the absolute humidity in the humidity control area exceeds 20, the molding chamber environment is 22-25 ° C., which causes condensation.

（給気システムの構成）
図３は、第１実施形態に係る給気システム２００の構成を示す。図３に示すように、給気システム２００は、送風ユニット２０に経路３０を介して接続されており、送風ユニット２０に気体を供給する。 (Configuration of air supply system)
FIG. 3 shows a configuration of an air supply system 200 according to the first embodiment. As shown in FIG. 3, the air supply system 200 is connected to the blower unit 20 via a path 30 and supplies gas to the blower unit 20.

給気システム２００は、気体を供給する気体源２０１を有しており、気体源２０１に貯留された気体に含まれる不純物はフィルタ２０２によって取り除かれる。例えば、気体源２０１は、液体窒素を貯留している。また、気体源２０１から供給される気体の絶対湿度は、例えば、０．０８ｇ／ｋｇ（ＤＡ）である。なお、この絶対湿度を露点で表すと、約−４０℃である。   The air supply system 200 includes a gas source 201 that supplies gas, and impurities contained in the gas stored in the gas source 201 are removed by a filter 202. For example, the gas source 201 stores liquid nitrogen. Moreover, the absolute humidity of the gas supplied from the gas source 201 is, for example, 0.08 g / kg (DA). In addition, when this absolute humidity is represented by a dew point, it is about -40 degreeC.

給気システム２００は、乾燥した気体の経路であるドライ経路と、湿った気体の経路であるウェット経路とを有しており、乾燥した気体及び湿った気体はミキシングチャンバ２０７で混合される。   The air supply system 200 includes a dry path that is a path for dry gas and a wet path that is a path for wet gas, and the dry gas and the wet gas are mixed in the mixing chamber 207.

ドライ経路は、レギュレータ２０３と、バルブ２０４と、ＭＦＣ２０５と、逆止弁２０６とを有する。   The dry path includes a regulator 203, a valve 204, an MFC 205, and a check valve 206.

レギュレータ２０３は、気体源２０１から供給される気体の圧力を制御し、バルブ２０４は、気体源２０１から供給される気体の流量を制御する。ＭＦＣ２０５は、後述する流量制御部２０９から取得する制御信号に応じて、気体源２０１から供給される気体（すなわち、ミキシングチャンバ２０７内に送り込まれる気体）の質量流量を制御するマスフローコントローラである。逆止弁２０６は、ミキシングチャンバ２０７から気体が逆流することを防ぐ弁である。   The regulator 203 controls the pressure of the gas supplied from the gas source 201, and the valve 204 controls the flow rate of the gas supplied from the gas source 201. The MFC 205 is a mass flow controller that controls the mass flow rate of the gas supplied from the gas source 201 (that is, the gas sent into the mixing chamber 207) in accordance with a control signal acquired from the flow rate control unit 209 described later. The check valve 206 is a valve that prevents a gas from flowing backward from the mixing chamber 207.

ウェット経路は、レギュレータ２１０と、バルブ２１１と、ＭＦＣ２１２と、逆止弁２１３と、バブリング容器２１４とを有する。   The wet path includes a regulator 210, a valve 211, an MFC 212, a check valve 213, and a bubbling container 214.

レギュレータ２１０は、気体源２０１から供給される気体の圧力を制御し、バルブ２１１は、気体源２０１から供給される気体の流量を制御する。ＭＦＣ２１２は、気体源２０１から供給される気体（すなわち、バブリング容器２１４に供給される気体）の質量流量を制御するマスフローコントローラである。逆止弁２１３は、バブリング容器２１４から気体（又は、水）が逆流することを防ぐ弁である。   The regulator 210 controls the pressure of the gas supplied from the gas source 201, and the valve 211 controls the flow rate of the gas supplied from the gas source 201. The MFC 212 is a mass flow controller that controls the mass flow rate of the gas supplied from the gas source 201 (that is, the gas supplied to the bubbling vessel 214). The check valve 213 is a valve that prevents gas (or water) from flowing backward from the bubbling container 214.

バブリング容器２１４は、水を貯留しており、気体源２０１から供給される気体に水分を加える。なお、バブリング容器２１４で水分が加えられた気体の絶対湿度は、例えば、１０．６９ｇ／ｋｇ（ＤＡ）である。この絶対湿度を露点で表すと、約１５℃である。   The bubbling container 214 stores water and adds moisture to the gas supplied from the gas source 201. Note that the absolute humidity of the gas to which moisture is added in the bubbling container 214 is, for example, 10.69 g / kg (DA). When this absolute humidity is expressed in terms of dew point, it is about 15 ° C.

バブリング容器２１４には、バブリング容器２１４に貯留される水の量を計測する水面計２１５と、バブリング容器２１４に貯留される水を抜くドレイン２１６とが設けられている。また、バブリング容器２１４には、バブリング容器２１４内に給水する給水口（不図示）が設けられている。なお、バブリング容器２１４に貯留される水の量は、後述するバブリング容器制御部２１８によって制御される。   The bubbling container 214 is provided with a water level meter 215 that measures the amount of water stored in the bubbling container 214 and a drain 216 that drains the water stored in the bubbling container 214. The bubbling container 214 is provided with a water supply port (not shown) for supplying water into the bubbling container 214. The amount of water stored in the bubbling container 214 is controlled by a bubbling container control unit 218 described later.

ミキシングチャンバ２０７には、露点センサ２０８と、圧力計２１９と、圧力調整弁２２０とが接続されている。   A dew point sensor 208, a pressure gauge 219, and a pressure adjustment valve 220 are connected to the mixing chamber 207.

露点センサ２０８は、ミキシングチャンバ２０７内の気体の露点（絶対湿度）を計測する。圧力計２１９は、ミキシングチャンバ２０７内の気体の圧力を計測する。圧力調整弁２２０は、ミキシングチャンバ２０７内の圧力を調整する。   The dew point sensor 208 measures the dew point (absolute humidity) of the gas in the mixing chamber 207. The pressure gauge 219 measures the pressure of the gas in the mixing chamber 207. The pressure adjustment valve 220 adjusts the pressure in the mixing chamber 207.

なお、ミキシングチャンバ２０７内の圧力は、後述する圧力制御部２２１が圧力調整弁２２０を制御することによって調整される。   Note that the pressure in the mixing chamber 207 is adjusted by the pressure control unit 221, which will be described later, controlling the pressure adjustment valve 220.

経路３０上には、経路３０内を流れる気体を加熱するヒータ２２２が設けられている。なお、経路３０内を流れる気体の温度は、後述する温度制御部２２３がヒータ２２２を制御することによって調整される。   A heater 222 that heats the gas flowing in the path 30 is provided on the path 30. The temperature of the gas flowing in the path 30 is adjusted by controlling the heater 222 by a temperature control unit 223 described later.

（カバー体１２内に送り込まれる気体の露点制御方法）
第１実施形態に係るカバー体１２内に送り込まれる気体の露点は、流量制御部２０９、バブリング容器制御部２１８及び圧力制御部２２１などによって制御される。なお、露点制御が良好に収束するように、露点制御は、流量制御部２０９、バブリング容器制御部２１８及び圧力制御部２２１のいずれかによって行われることが好ましい。 (Dew point control method of gas sent into the cover body 12)
The dew point of the gas sent into the cover body 12 according to the first embodiment is controlled by the flow rate control unit 209, the bubbling container control unit 218, the pressure control unit 221 and the like. Note that the dew point control is preferably performed by any one of the flow rate control unit 209, the bubbling container control unit 218, and the pressure control unit 221 so that the dew point control converges well.

流量制御部２０９は、ミキシングチャンバ２０７内の気体の露点（絶対湿度）を露点センサ２０８から取得して、ミキシングチャンバ２０７内の気体の露点と目標露点とを比較する。   The flow control unit 209 acquires the dew point (absolute humidity) of the gas in the mixing chamber 207 from the dew point sensor 208 and compares the dew point of the gas in the mixing chamber 207 with the target dew point.

ミキシングチャンバ２０７内の気体の露点が目標露点よりも高い場合、流量制御部２０９は、ドライ経路を流れる気体の質量流量の増大を指示する制御信号を生成して、生成した制御信号をＭＦＣ２０５に入力する。また、ドライ経路を流れる気体の質量流量が増大すると、ミキシングチャンバ２０７内の圧力が高まる。その結果、バブリング容器２１４の水の蒸気圧が下がってウェット経路の露点が下がる。そして、ミキシングチャンバ２０７内にドライ経路から供給される気体の割合が増える効果及びウェット経路の気体の露点が下がる効果によって、露点を迅速に下げる効果が高まる。   When the dew point of the gas in the mixing chamber 207 is higher than the target dew point, the flow control unit 209 generates a control signal instructing an increase in the mass flow rate of the gas flowing through the dry path, and inputs the generated control signal to the MFC 205 To do. Further, when the mass flow rate of the gas flowing through the dry path increases, the pressure in the mixing chamber 207 increases. As a result, the vapor pressure of water in the bubbling container 214 is lowered, and the dew point of the wet path is lowered. The effect of rapidly decreasing the dew point is enhanced by the effect of increasing the ratio of the gas supplied from the dry path into the mixing chamber 207 and the effect of decreasing the dew point of the gas in the wet path.

一方、ミキシングチャンバ２０７内の気体の露点が目標露点よりも低い場合、流量制御部２０９は、ドライ経路を流れる気体の質量流量の減少を指示する制御信号を生成して、生成した制御信号をＭＦＣ２０５に入力する。また、ドライ経路を流れる気体の質量流量が減少すると、ミキシングチャンバ２０７内の圧力が低くなる。その結果、バブリング容器２１４の水の蒸気圧が高まってウェット経路の気体の露点が上がる。そして、ミキシングチャンバ２０７内にドライ経路から供給される気体の割合が減少する効果及びウェット経路の気体の露点が上がる効果によって、露点を迅速に高くする効果が高まる。   On the other hand, when the dew point of the gas in the mixing chamber 207 is lower than the target dew point, the flow control unit 209 generates a control signal instructing a decrease in the mass flow rate of the gas flowing through the dry path, and the generated control signal is used as the MFC 205. To enter. Further, when the mass flow rate of the gas flowing through the dry path decreases, the pressure in the mixing chamber 207 decreases. As a result, the vapor pressure of water in the bubbling vessel 214 is increased and the dew point of the gas in the wet path is increased. The effect of rapidly increasing the dew point is enhanced by the effect of reducing the ratio of the gas supplied from the dry path into the mixing chamber 207 and the effect of increasing the dew point of the gas in the wet path.

バブリング容器制御部２１８は、バブリング容器２１４に貯留される水量と目標水量とを比較する。バブリング容器２１４に貯留される水量が目標水量よりも少ない場合、バブリング容器制御部２１８は、バブリング容器２１４に貯留される水の量を増大させる。一方、バブリング容器２１４に貯留される水量が目標水量よりも多い場合、バブリング容器制御部２１８は、バブリング容器２１４に貯留される水の量を減少させる。   The bubbling container control unit 218 compares the amount of water stored in the bubbling container 214 with the target amount of water. When the amount of water stored in the bubbling container 214 is smaller than the target amount of water, the bubbling container control unit 218 increases the amount of water stored in the bubbling container 214. On the other hand, when the amount of water stored in the bubbling container 214 is larger than the target water amount, the bubbling container control unit 218 decreases the amount of water stored in the bubbling container 214.

目標水量は、ミキシングチャンバ２０７内の気体の露点（絶対湿度）と目標露点との比較結果に応じて変更される。具体的には、ミキシングチャンバ２０７内の気体の露点が目標露点よりも高い場合、ミキシングチャンバ２０７内の気体の露点を下げるために、目標水量は小さな値に変更される。一方、ミキシングチャンバ２０７内の気体の露点が目標露点よりも低い場合、ミキシングチャンバ２０７内の気体の露点を上げるために、目標水量は大きな値に変更される。これによって、露点制御範囲の拡大や露点制御の応答性向上が見込まれる。   The target water amount is changed according to the comparison result between the dew point (absolute humidity) of the gas in the mixing chamber 207 and the target dew point. Specifically, when the dew point of the gas in the mixing chamber 207 is higher than the target dew point, the target water amount is changed to a small value in order to lower the dew point of the gas in the mixing chamber 207. On the other hand, when the dew point of the gas in the mixing chamber 207 is lower than the target dew point, the target water amount is changed to a large value in order to increase the dew point of the gas in the mixing chamber 207. This is expected to expand the dew point control range and improve the response of the dew point control.

バブリング容器制御部２１８は、バブリング容器２１４に貯留される水の温度を制御してもよい。具体的には、バブリング容器制御部２１８は、ミキシングチャンバ２０７内の気体の露点が目標露点よりも高い場合、ミキシングチャンバ２０７内の気体の露点を低くするために、バブリング容器２１４に貯留される水の温度を下げる。一方、バブリング容器制御部２１８は、ミキシングチャンバ２０７内の気体の露点が目標露点よりも低い場合、ミキシングチャンバ２０７内の気体の露点を高くするために、バブリング容器２１４に貯留される水の温度を上げる。   The bubbling container control unit 218 may control the temperature of water stored in the bubbling container 214. Specifically, when the dew point of the gas in the mixing chamber 207 is higher than the target dew point, the bubbling container control unit 218 controls the water stored in the bubbling container 214 to lower the dew point of the gas in the mixing chamber 207. Reduce the temperature. On the other hand, when the dew point of the gas in the mixing chamber 207 is lower than the target dew point, the bubbling container control unit 218 sets the temperature of the water stored in the bubbling container 214 in order to increase the dew point of the gas in the mixing chamber 207. increase.

また、バブリング容器制御部２１８は、バブリング容器２１４内の圧力を制御してもよい。具体的には、バブリング容器制御部２１８は、ミキシングチャンバ２０７内の気体の露点が目標露点よりも高い場合、ミキシングチャンバ２０７内の気体の露点を低くするために、バブリング容器２１４内の圧力を上げる。一方で、バブリング容器制御部２１８は、ミキシングチャンバ２０７内の気体の露点が目標露点よりも低い場合、ミキシングチャンバ２０７内の気体の露点を高くするために、バブリング容器２１４内の圧力を下げる。   Further, the bubbling container control unit 218 may control the pressure in the bubbling container 214. Specifically, when the dew point of the gas in the mixing chamber 207 is higher than the target dew point, the bubbling container control unit 218 increases the pressure in the bubbling container 214 in order to lower the dew point of the gas in the mixing chamber 207. . On the other hand, when the dew point of the gas in the mixing chamber 207 is lower than the target dew point, the bubbling container control unit 218 lowers the pressure in the bubbling container 214 in order to increase the dew point of the gas in the mixing chamber 207.

圧力制御部２２１は、ミキシングチャンバ２０７内の気体の圧力と目標圧力とを比較する。続いて、圧力制御部２２１は、ミキシングチャンバ２０７内の気体の圧力が目標圧力よりも大きい場合、圧力調整弁２２０を制御して、ミキシングチャンバ２０７内の気体の圧力を下げる。   The pressure control unit 221 compares the gas pressure in the mixing chamber 207 with the target pressure. Subsequently, when the gas pressure in the mixing chamber 207 is higher than the target pressure, the pressure control unit 221 controls the pressure adjustment valve 220 to lower the gas pressure in the mixing chamber 207.

ここで、目標圧力は、ミキシングチャンバ２０７内の気体の露点（絶対湿度）と目標露点との比較結果に応じて変更される。具体的には、ミキシングチャンバ２０７内の気体の露点が目標露点よりも低い場合、ミキシングチャンバ２０７内の気体の露点を上げるために、目標圧力は小さな値に変更される。これによって、ミキシングチャンバ２０７内の気体の露点を上げる場合において、露点制御範囲の拡大や露点制御の応答性向上が見込まれる。   Here, the target pressure is changed according to the comparison result between the dew point (absolute humidity) of the gas in the mixing chamber 207 and the target dew point. Specifically, when the gas dew point in the mixing chamber 207 is lower than the target dew point, the target pressure is changed to a small value in order to increase the gas dew point in the mixing chamber 207. As a result, when the dew point of the gas in the mixing chamber 207 is increased, the dew point control range can be expanded and the response of the dew point control can be improved.

温度制御部２２３は、乾燥路１０内を適切な温度にするために、乾燥路１０内に吹き込む気体の温度を制御する。   The temperature control unit 223 controls the temperature of the gas blown into the drying path 10 in order to set the drying path 10 to an appropriate temperature.

（セラミックスグリーンシートの成形方法）
実施形態１に係るセラミックスグリーンシートの成形方法について、図１，図２，図３のセラミックスグリーンシートの成形装置を用いて説明する。 (Ceramic green sheet forming method)
A method for forming a ceramic green sheet according to Embodiment 1 will be described using the ceramic green sheet forming apparatus shown in FIGS.

（イ）図１，図２，図３に示すような、スラリー塗工物５２の流れ方向の上流域を含むように乾燥雰囲気の一部に中空状のカバー体１２が配置され、内側に気体の流路となる湿度制御領域を、外側に温風の流路となる温度制御領域を備えたセラミックスグリーンシート成形装置１００を用意する。乾燥路１０内の温度を第１ゾーンから第４ゾーンに向けて徐々に上昇するように制御することが好ましい。また、乾燥路１０内の温度を約２０〜１００℃の範囲で制御することが好ましい。 (A) As shown in FIGS. 1, 2, and 3, a hollow cover body 12 is disposed in a part of the dry atmosphere so as to include an upstream region in the flow direction of the slurry coating 52, and a gas is formed inside. A ceramic green sheet forming apparatus 100 having a humidity control area serving as a flow path for the air and a temperature control area serving as a flow path for hot air on the outside is prepared. It is preferable to control the temperature in the drying path 10 so as to gradually increase from the first zone toward the fourth zone. Moreover, it is preferable to control the temperature in the drying path 10 in the range of about 20-100 degreeC.

（ロ）給気ユニット２００を作動させて、湿度制御領域のスラリー塗工物５２の流れ方向の上流端部から気体を湿度制御領域に送り込む。その際、湿度制御領域に送り込まれる気体の湿度や流量を制御する。湿度制御領域の絶対湿度を1〜２０ｇ／ｋｇＤＡ、年間湿度変動レンジを０.１〜１．０ｇ／ｋｇＤＡ、好ましくは０.１〜０．５ｇ／ｋｇＤＡに制御することが好ましい。湿度制御領域の絶対湿度が１ｇ／ｋｇＤＡに満たないと静電気が溜まりやすくなり、湿度制御領域の絶対湿度が２０ｇ／ｋｇＤＡを超えると成形室環境が２２〜２５℃なので結露してしまうからである。 (B) The air supply unit 200 is operated to feed gas from the upstream end in the flow direction of the slurry coating 52 in the humidity control region to the humidity control region. At that time, the humidity and flow rate of the gas sent to the humidity control region are controlled. It is preferable to control the absolute humidity in the humidity control region to 1 to 20 g / kgDA and the annual humidity fluctuation range to 0.1 to 1.0 g / kgDA, preferably 0.1 to 0.5 g / kgDA. This is because if the absolute humidity in the humidity control area is less than 1 g / kgDA, static electricity tends to accumulate, and if the absolute humidity in the humidity control area exceeds 20 g / kgDA, condensation occurs because the molding chamber environment is 22-25 ° C.

乾燥路１０内全体の湿度を制御するのに比べて、湿度制御領域のみの調整で済むため、乾燥雰囲気内の湿度を精度よく調整することができる。例えば、乾燥路内全体の湿度を制御する場合の例として、特許文献２の発明の特許請求の内容を絶対湿度範囲で表記すると９．０８〜１１．９３ｇ／ｋｇＤＡで、レンジは２．８５ｇ／ｋｇＤＡになる。２０℃固定で相対湿度５５〜６０％で絶対湿度レンジは０．８４ｇ／ｋｇＤＡ、２５℃固定で湿度５５〜６０％の絶対湿度レンジは１．０１ｇ／ｋｇＤＡになる。特許文献２の図２から湿度に対してＤｇは負の相関があり、湿度レンジ５％で実現できるＤｇバラツキは相関線より０．００９２５であり、湿度の特許請求の範囲における平均値５７．５％のＤｇ＝２．２５６を基準とすると湿度によるＤｇバラツキは０．４１％である。一方、図１、図２のセラミックスグリーンシートの成形装置１００では、気体に混ぜる水の量をマスフローコントローラーを用いて高精度に制御するので、絶対湿度レンジが０．１２ｇ／ｋｇＤＡに大幅に低減ができ、焼成割掛率バラツキの大幅低減０．００８６４％（０．０７２％×０．０６×２）が可能となる。   Compared to controlling the humidity in the entire drying path 10, only the humidity control region needs to be adjusted, so that the humidity in the drying atmosphere can be adjusted with high accuracy. For example, as an example of controlling the humidity in the entire drying path, the claim content of the invention of Patent Document 2 is expressed in the absolute humidity range as 9.08 to 11.93 g / kgDA, and the range is 2.85 g / kg. It becomes kgDA. The absolute humidity range is 0.84 g / kgDA at a relative humidity of 55 to 60% when fixed at 20 ° C., and 1.01 g / kgDA at the absolute humidity range of 55 to 60% when fixed at 25 ° C. From FIG. 2 of Patent Document 2, Dg has a negative correlation with humidity, the Dg variation that can be realized in a humidity range of 5% is 0.00925 from the correlation line, and the average value of humidity in the claims is 57.5. Based on% Dg = 2.256, the Dg variation due to humidity is 0.41%. On the other hand, in the ceramic green sheet forming apparatus 100 of FIGS. 1 and 2, the amount of water mixed in the gas is controlled with high accuracy using a mass flow controller, so the absolute humidity range is greatly reduced to 0.12 g / kgDA. It is possible to significantly reduce the variation in the firing rate of 0.00864% (0.072% × 0.06 × 2).

（ハ）セラミックスグリーンシートの原料となる溶媒中にセラミックス粉末、非水溶性バインダを分散させたスラリーを調製する。かかるスラリーを図３に示すように、キャンバスベルト１１上に配置されたキャリアフィルム５０例えばポリエチレンテレフタレートシート等の上面に一定の厚みで塗布してスラリー塗工物５２を得る。 (C) A slurry in which ceramic powder and a water-insoluble binder are dispersed in a solvent that is a raw material for the ceramic green sheet is prepared. As shown in FIG. 3, the slurry is applied to the upper surface of a carrier film 50, such as a polyethylene terephthalate sheet, disposed on the canvas belt 11 with a certain thickness to obtain a slurry coated product 52.

（ニ）得られたスラリー塗工物５２を湿度制御領域に配置する。具体的には図１の送風ユニット２０の下部に設けられた搬入口１０ａからカバー体１２内に搬入する。 (D) The obtained slurry coated product 52 is disposed in the humidity control region. Specifically, it is carried into the cover body 12 from the carry-in port 10a provided at the lower part of the blower unit 20 in FIG.

（ホ）キャンバスベルト１１を作動させてスラリー塗工物５２を搬送させる。セラミックスグリーンシート成形装置１００内の挿入部から挿入されたスラリー塗工物５２を、第１ゾーンから第４ゾーンで定義される４つの領域を搬送することでスラリー塗工物５２が乾燥成形されてセラミックスグリーンシートが得られる。 (E) The canvas belt 11 is operated to convey the slurry coated product 52. The slurry coated product 52 is dry-molded by conveying the slurry coated product 52 inserted from the insertion portion in the ceramic green sheet forming apparatus 100 through four regions defined by the first zone to the fourth zone. A ceramic green sheet is obtained.

なお、セラミックススラリーの塗布方式はドクターブレード方式である。例えば、セラミックススラリーの塗布幅は約１．１ｍであり、セラミックススラリーの塗工速度は約０．１〜１０ｍ／ｍｉｎである。また、セラミックススラリーは、溶媒として有機溶剤を含んでもよく、溶媒として水を含んでもよいことに留意すべきである。   The ceramic slurry application method is a doctor blade method. For example, the coating width of the ceramic slurry is about 1.1 m, and the coating speed of the ceramic slurry is about 0.1 to 10 m / min. It should be noted that the ceramic slurry may contain an organic solvent as a solvent and water as a solvent.

（作用及び効果）
第１実施形態に係るセラミックスグリーンシート成形装置１００によれば、給気システム２００が、カバー体１２内に送り込まれる気体の湿度を制御することに加えて、複数の送風口２１ａ〜２１ｅからカバー体１２内に送り込まれる気体の流量を制御することによって、セラミックスグリーンシートの変形や収縮率のバラツキを効果的に抑制することができる。 (Function and effect)
According to the ceramic green sheet forming apparatus 100 according to the first embodiment, the air supply system 200 controls the humidity of the gas sent into the cover body 12 and, in addition, controls the cover body from the plurality of air outlets 21a to 21e. By controlling the flow rate of the gas fed into 12, the deformation of the ceramic green sheet and the variation in the shrinkage rate can be effectively suppressed.

なお、セラミックスグリーンシートの変形とは、セラミックスグリーンシートの焼成時に生じる反りなどを指しており、収縮率のバラツキとは、セラミックスグリーンシートの焼成前後における寸法変化率（焼成割掛け率）について、ロット間又はロット内における変動を指している。   The deformation of the ceramic green sheet refers to warpage that occurs during firing of the ceramic green sheet, and the variation in shrinkage refers to the dimensional change rate (firing fire rate) before and after firing of the ceramic green sheet. Refers to fluctuations between and within lots.

また、セラミックスグリーンシートが有機溶剤を含む場合、以下に示す効果が得られる。具体的には、給気システム２００が乾燥路１０内に送り込まれる気体の湿度（すなわち、乾燥路１０内の水分の濃度）を制御することによって、非水溶性バインダを含むセラミックスグリーンシートの収縮率のバラツキを抑制する。   Moreover, when a ceramic green sheet contains the organic solvent, the effect shown below is acquired. Specifically, the shrinkage rate of the ceramic green sheet containing the water-insoluble binder is controlled by controlling the humidity of the gas fed into the drying path 10 by the air supply system 200 (that is, the concentration of water in the drying path 10). To suppress the variation of

ここで、従来技術に示す成形装置のように、セラミックスグリーンシートに含まれる非水溶性バインダの溶媒である有機溶剤の濃度を制御して、セラミックスグリーンシートの乾燥を制御することは想定される。   Here, it is assumed that the drying of the ceramic green sheet is controlled by controlling the concentration of the organic solvent that is the solvent of the water-insoluble binder contained in the ceramic green sheet as in the forming apparatus shown in the prior art.

これ対して、第１実施形態では、セラミックスグリーンシートに含まれる非水溶性バインダの溶媒である有機溶剤とは異なる水分の濃度を制御して、セラミックスグリーンシートの乾燥を適正化することに留意すべきである。これは、セラミックスグリーンシートの表面に乾燥路１０内の水分が取り込まれて、セラミックスグリーンシートに含まれる非水溶性バインダに水分が吸着する現象が生じるためと考えられる。   On the other hand, in the first embodiment, it is noted that the moisture concentration different from the organic solvent that is the solvent of the water-insoluble binder contained in the ceramic green sheet is controlled to optimize the drying of the ceramic green sheet. Should. This is presumably because moisture in the drying path 10 is taken into the surface of the ceramic green sheet and the water is adsorbed to the water-insoluble binder contained in the ceramic green sheet.

セラミックスグリーンシートに含まれる非水溶性バインダの溶媒としての有機溶剤が乾燥路内で蒸発（揮発）したとしても、送風口２１ａ〜２１ｅからカバー体１２内に不活性な気体（例えば、窒素やアルゴン）が送り込まれるため、カバー体１２の中の酸素濃度は爆発範囲に達せず、乾燥路１０内における気化した有機溶剤の濃度が爆発下限界以上に高くなることはない。   Even if the organic solvent as the solvent of the water-insoluble binder contained in the ceramic green sheet evaporates (volatilizes) in the drying path, an inert gas (for example, nitrogen or argon) is supplied into the cover body 12 from the air outlets 21a to 21e. ) Is sent, the oxygen concentration in the cover body 12 does not reach the explosion range, and the concentration of the vaporized organic solvent in the drying path 10 does not become higher than the lower explosion limit.

さらに、各ＭＦＣ３１が、各経路３０を流れる気体の質量流量を経路３０毎に制御するため（すなわち、乾燥路１０内に送り込まれる気体の質量流量を送風口２１ａ〜２１ｅ毎に制御するため）、乾燥路１０内に送り込まれる気体の流量が緻密に制御される。これによって、セラミックスグリーンシートの変形を抑え、収縮率のバラツキをさらに効果的に抑制することができる。   Further, each MFC 31 controls the mass flow rate of the gas flowing through each path 30 for each path 30 (that is, to control the mass flow rate of the gas fed into the drying path 10 for each of the air outlets 21a to 21e). The flow rate of the gas sent into the drying path 10 is precisely controlled. Thereby, deformation of the ceramic green sheet can be suppressed, and variation in shrinkage rate can be further effectively suppressed.

また、バブリング容器制御部２１８が、バブリング容器２１４に貯留される水の量を制御することによって、ウェット経路内の気体の露点を制御する。従って、乾燥路１０内に送り込まれる気体の露点制御範囲の拡大や露点制御の応答性向上を図ることができる。   In addition, the bubbling container control unit 218 controls the dew point of the gas in the wet path by controlling the amount of water stored in the bubbling container 214. Therefore, it is possible to expand the dew point control range of the gas fed into the drying path 10 and improve the responsiveness of the dew point control.

［第２実施形態］
第２実施形態にかかるセラミックスグリーンシート成形装置は、給気システムを除いて、第１実施形態と同様に構成されている。よって第１実施形態と第２実施形態の相違点について主に説明する。 [Second Embodiment]
The ceramic green sheet forming apparatus according to the second embodiment is configured in the same manner as in the first embodiment except for the air supply system. Therefore, the difference between the first embodiment and the second embodiment will be mainly described.

具体的には、上述した第１実施形態では、給気システムは、バブリング容器２１４を用いて、乾燥路１０内に送り込まれる気体の露点制御を行っている。これに対して、第２実施形態では、給気システムは、水の質量流量を制御する液体マスフローコントローラを用いて、乾燥路１０内に送り込まれる気体の露点制御を行う。   Specifically, in the first embodiment described above, the air supply system performs dew point control of the gas fed into the drying path 10 using the bubbling container 214. On the other hand, in 2nd Embodiment, an air supply system performs dew point control of the gas sent in in the drying path 10 using the liquid mass flow controller which controls the mass flow rate of water.

（給気システムの構成）
以下において、第１実施形態に係る給気システムの構成について、図面を参照しながら説明する。図４は、第２実施形態に係る給気システム３００の構成を示す。なお、給気システム３００は、給気システム２００と同様に、送風ユニット２０に経路３０を介して接続されており、送風ユニット２０に気体を供給する。 (Configuration of air supply system)
Below, the structure of the air supply system which concerns on 1st Embodiment is demonstrated, referring drawings. FIG. 4 shows a configuration of an air supply system 300 according to the second embodiment. The air supply system 300 is connected to the blower unit 20 via the path 30 in the same manner as the air supply system 200, and supplies gas to the blower unit 20.

図４に示すように、給気システム３００は、気体源３０１と水源３０９とを有しており、乾燥した気体が流れるドライ経路と水が流れる水の経路とを有する。なお、気体源３０１は液体窒素などを貯留している。また、気体源３０１から供給される気体の絶対湿度は、例えば、０．０８ｇ／ｋｇ（ＤＡ）である。なお、この絶対湿度を露点で表すと、約−４０℃）である。   As shown in FIG. 4, the air supply system 300 includes a gas source 301 and a water source 309, and includes a dry path through which dried gas flows and a water path through which water flows. The gas source 301 stores liquid nitrogen or the like. The absolute humidity of the gas supplied from the gas source 301 is, for example, 0.08 g / kg (DA). In addition, when this absolute humidity is represented by a dew point, it is about -40 degreeC.

ドライ経路は、フィルタ３０２と、レギュレータ３０３と、バルブ３０４と、ＭＦＣ３０５と、逆止弁３０６とを有する。フィルタ３０２は、気体源３０１から供給される気体に含まれる不純物を取り除く。レギュレータ３０３は、気体源３０１から供給される気体の圧力を制御し、バルブ３０４は、気体源３０１から供給される気体の流量を制御する。   The dry path includes a filter 302, a regulator 303, a valve 304, an MFC 305, and a check valve 306. The filter 302 removes impurities contained in the gas supplied from the gas source 301. The regulator 303 controls the pressure of the gas supplied from the gas source 301, and the valve 304 controls the flow rate of the gas supplied from the gas source 301.

ＭＦＣ３０５は、気体源３０１から供給される気体（すなわち、後述する気化器３０７に供給される気体）の質量流量を制御するマスフローコントローラである。逆止弁３０６は、気化器３０７から気体が逆流することを防ぐ弁である。   The MFC 305 is a mass flow controller that controls the mass flow rate of gas supplied from the gas source 301 (that is, gas supplied to the vaporizer 307 described later). The check valve 306 is a valve that prevents the gas from flowing back from the vaporizer 307.

水の経路は、フィルタ３１０と、レギュレータ３１１と、バルブ３１２と、水質センサ３１３と、ＭＦＣ３１４と、バルブ３１５とを有する。   The water path includes a filter 310, a regulator 311, a valve 312, a water quality sensor 313, an MFC 314, and a valve 315.

フィルタ３１０は、水源３０９から供給される水に含まれる不純物を取り除く。レギュレータ３１１は、水源３０９から供給される水の圧力を制御し、バルブ３１２は、水源３０９から供給される水の量を制御する。   The filter 310 removes impurities contained in water supplied from the water source 309. The regulator 311 controls the pressure of water supplied from the water source 309, and the valve 312 controls the amount of water supplied from the water source 309.

水質センサ３１３は、フィルタ３１０を通った水の水質を計測する。なお、水質の測定結果は、フィルタ３１０の交換時期の把握などに用いられる。ＭＦＣ３１４は、後述する流量制御部３１６から取得する制御信号に応じて、水源３０９から供給される水（すなわち、気化器３０７に供給される水）の質量流量を制御する液体マスフローコントローラである。バルブ３１５は、水の経路内に滞留する水を抜くために設けられたバルブである。   The water quality sensor 313 measures the water quality of the water that has passed through the filter 310. The water quality measurement result is used for grasping the replacement time of the filter 310 and the like. The MFC 314 is a liquid mass flow controller that controls the mass flow rate of water supplied from the water source 309 (that is, water supplied to the vaporizer 307) in accordance with a control signal acquired from a flow rate control unit 316 described later. The valve 315 is a valve provided for draining water staying in the water path.

気化器３０７は、水の経路を介して供給される水を気化して、ドライ経路を介して供給される気体に水分を加える。気化器３０７には、露点センサ３０８と、圧力計３１７と、圧力調整弁３１８とが接続されている。   The vaporizer 307 vaporizes water supplied via the water path and adds moisture to the gas supplied via the dry path. A dew point sensor 308, a pressure gauge 317, and a pressure adjustment valve 318 are connected to the vaporizer 307.

露点センサ３０８は、気化器３０７内の気体の露点（絶対湿度）を計測する。圧力計３１７は、気化器３０７内の気体の圧力を計測する。圧力調整弁３１８は、気化器３０７内の圧力を調整する。   The dew point sensor 308 measures the dew point (absolute humidity) of the gas in the vaporizer 307. The pressure gauge 317 measures the pressure of the gas in the vaporizer 307. The pressure adjustment valve 318 adjusts the pressure in the vaporizer 307.

なお、気化器３０７内の圧力は、後述する圧力制御部３１９が圧力調整弁３１８を制御することによって調整される。   Note that the pressure in the vaporizer 307 is adjusted by the pressure control unit 319 described later controlling the pressure adjustment valve 318.

経路３０上には、経路３０内を流れる気体を加熱するヒータ２２２が設けられている。なお、経路３０内を流れる気体の温度は、後述する温度制御部２２３がヒータ２２２を制御することによって調整される。   A heater 222 that heats the gas flowing in the path 30 is provided on the path 30. The temperature of the gas flowing in the path 30 is adjusted by controlling the heater 222 by a temperature control unit 223 described later.

（乾燥路１０内に送り込まれる気体の露点制御方法）
以下において、第２実施形態に係る乾燥路１０内に送り込まれる気体の露点制御方法について説明する。具体的には、乾燥路１０内に送り込まれる気体の露点は、流量制御部３１６、圧力制御部３１９や温度制御部２２３などによって制御される。 (Dew point control method of gas sent into the drying path 10)
Below, the dew point control method of the gas sent in the dry path 10 which concerns on 2nd Embodiment is demonstrated. Specifically, the dew point of the gas sent into the drying path 10 is controlled by the flow rate control unit 316, the pressure control unit 319, the temperature control unit 223, and the like.

流量制御部３１６は、気化器３０７内の気体の露点（絶対湿度）を露点センサ３０８から取得して、気化器３０７内の気体の露点と目標露点とを比較する。   The flow control unit 316 acquires the dew point (absolute humidity) of the gas in the vaporizer 307 from the dew point sensor 308 and compares the dew point of the gas in the vaporizer 307 with the target dew point.

続いて、流量制御部３１６は、気化器３０７内の気体の露点が目標露点よりも高い場合、水の経路を流れる水の質量流量の減少を指示する制御信号を生成して、生成した制御信号をＭＦＣ３１４に入力する。一方で、流量制御部３１６は、気化器３０７内の気体の露点が目標露点よりも低い場合、水の経路を流れる水の質量流量の増大を指示する制御信号を生成して、生成した制御信号をＭＦＣ３１４に入力する。   Subsequently, when the dew point of the gas in the vaporizer 307 is higher than the target dew point, the flow control unit 316 generates a control signal instructing a decrease in the mass flow rate of the water flowing through the water path, and the generated control signal Is input to the MFC 314. On the other hand, when the dew point of the gas in the vaporizer 307 is lower than the target dew point, the flow control unit 316 generates a control signal instructing an increase in the mass flow rate of water flowing through the water path, and the generated control signal. Is input to the MFC 314.

圧力制御部３１９は、気化器３０７内の気体の圧力と目標圧力とを比較する。続いて、圧力制御部３１９は、気化器３０７内の気体の圧力が目標圧力よりも大きい場合、圧力調整弁３１８を制御して、気化器３０７内の気体の圧力を下げることによって、気化器３０７内の圧力を一定に保つように制御する。   The pressure control unit 319 compares the gas pressure in the vaporizer 307 with the target pressure. Subsequently, when the pressure of the gas in the vaporizer 307 is larger than the target pressure, the pressure control unit 319 controls the pressure adjustment valve 318 to reduce the pressure of the gas in the vaporizer 307, thereby causing the vaporizer 307. Control the internal pressure to be constant.

（作用及び効果）
第２実施形態に係るセラミックスグリーンシート成形装置１００によれば、流量制御部３１６が、ＭＦＣ３０５によって水の経路を流れる水の質量流量を制御し、気化器３０７が、水の経路を介して供給される水を気化して、ドライ経路を介して供給される気体に水分を加える。これによって、第１実施形態と異なる構成であるが、第１実施形態と同様の効果が得られる。 (Function and effect)
According to the ceramic green sheet forming apparatus 100 according to the second embodiment, the flow rate control unit 316 controls the mass flow rate of the water flowing through the water path by the MFC 305, and the vaporizer 307 is supplied through the water path. Water is added to the gas supplied through the dry path. Thus, the configuration is different from that of the first embodiment, but the same effect as that of the first embodiment can be obtained.

［実施例１］
（セラミックススラリーの調整）
混合溶剤（トルエン/イソプロピルアルコール=５０/５０）中に、バインダ（ポリビニルブチラール）、分散剤及びセラミックス粉末を分散させ、ボールミルで２４ｈｒ混合後脱泡してセラミックススラリーとした。 [Example 1]
(Adjustment of ceramic slurry)
In a mixed solvent (toluene / isopropyl alcohol = 50/50), a binder (polyvinyl butyral), a dispersing agent and ceramic powder were dispersed, mixed for 24 hours by a ball mill, and defoamed to obtain a ceramic slurry.

（湿度制御）
総窒素量を３００ ＳＬＭ（Ｓｔａｎｄａｒｄ Ｌｉｔｔｅｒ ｐｅｒ Ｍｉｎｉｕｔｅ； 温度＝０℃、気圧＝１０１．３ｋＰａの条件における気体流量）とし、絶対湿度を０．０９から１１．９ｇ／ｋｇ（ＤＡ）（１ｋｇＤｒｙＡｉｒ中にある水分量ｇ）まで増加させた場合、絶対湿度の増加に伴って、セラミックスの焼成時収縮率が単調に増加した。また、セラミックスの焼成時収縮率の増加量は、９．７９％となった（つまり、１ｇ/ｋｇ（ＤＡ）の増加に対し、０．０７２％収縮率が増加）。また、相関係数は、０．９８以上となった。 (Humidity control)
The total nitrogen amount is 300 SLM (Standard Litter per Minute; temperature = 0 ° C., gas flow rate at 101.3 kPa), and the absolute humidity is 0.09 to 11.9 g / kg (DA) (in 1 kg DryAir). When the moisture content was increased to g), the shrinkage rate during firing of the ceramic monotonously increased as the absolute humidity increased. Further, the amount of increase in the shrinkage rate during firing of the ceramics was 9.79% (that is, the shrinkage rate increased by 0.072% with respect to an increase of 1 g / kg (DA)). The correlation coefficient was 0.98 or more.

給気制御システム２００を使用して、カバー体１２内へ、成形機の短手方向に５分割した各送風口２１ａ〜２１ｅから５０ＳＬＭの気体を送り、絶対湿度７．５ｇ/ｋｇＤＡで制御しながら、テープ成形を約１８時間実施した。その際の露点センサ２０８での絶対湿度、流量制御部２０９でのドライ流量、圧力計２１９でのミキシングチャンバ内圧力を１０秒毎にサンプリングした。得られた結果を図６、図７、図８に示す。絶対湿度は７．４３〜７．５５ｇ/ｋｇＤＡ（レンジ０．１２ｇ/ｋｇＤＡ、σ０．０１４ｇ/ｋｇＤＡ）だった。ドライ流量は６１．０〜６５．８Ｌ/分（レンジ４．８Ｌ/分、σ０．６３Ｌ/分）だった。ミキシングチャンバ内圧力は５２．２〜５３．７ｋＰａ（レンジ１．５ｋＰａ、σ０．２１ｋＰａ）だった。給気システム内の温度が２２℃であるため、絶対湿度レンジ０．１２ ｇ/ｋｇＤＡは相対湿度０．７２％に相当する。気体源として液体窒素を気化させた窒素を使用しているので、成形時の湿度は年間を通じて±０．０６ ｇ/ｋｇＤＡ（相対湿度±０．３６％に相当）で管理できる。   Using the air supply control system 200, 50 SLM gas is sent into the cover body 12 from each of the air blowing ports 21a to 21e divided into five in the short direction of the molding machine, and controlled at an absolute humidity of 7.5 g / kgDA. Tape molding was carried out for about 18 hours. At that time, the absolute humidity at the dew point sensor 208, the dry flow rate at the flow rate controller 209, and the pressure in the mixing chamber at the pressure gauge 219 were sampled every 10 seconds. The obtained results are shown in FIG. 6, FIG. 7, and FIG. The absolute humidity was 7.43 to 7.55 g / kg DA (range 0.12 g / kg DA, σ 0.014 g / kg DA). The dry flow rate was 61.0-65.8 L / min (range 4.8 L / min, σ 0.63 L / min). The pressure in the mixing chamber was 52.2 to 53.7 kPa (range 1.5 kPa, σ 0.21 kPa). Since the temperature in the air supply system is 22 ° C., the absolute humidity range of 0.12 g / kgDA corresponds to a relative humidity of 0.72%. Since nitrogen obtained by vaporizing liquid nitrogen is used as a gas source, the humidity during molding can be controlled at ± 0.06 g / kgDA (corresponding to relative humidity ± 0.36%) throughout the year.

成形機室内の絶対湿度の年間変動幅は、６．６〜９．７ｇ/ｋｇ（ＤＡ）である。また、収縮率の年間変動は、０．４６％であった。従来の成形機では、部屋内の気体の湿度環境で成形することから、上記湿度と収縮率の相関関係より、絶対湿度による年間の収縮率変動は、０．４６％のうち０．２２％と推定される。本成形機の給気システムによる給気の絶対湿度の制御精度は、±０．０６ｇ/ｋｇ（ＤＡ）であることから、絶対湿度による収縮率変動がほぼ無くなり、年間収縮率変動は、０．４６％から０．２５％まで低減した。   The annual fluctuation range of the absolute humidity in the molding machine room is 6.6 to 9.7 g / kg (DA). Moreover, the annual fluctuation | variation of the shrinkage | contraction rate was 0.46%. In the conventional molding machine, molding is performed in the humidity environment of the gas in the room. Therefore, the annual shrinkage fluctuation due to absolute humidity is 0.22% out of 0.46% based on the correlation between the humidity and the shrinkage ratio. Presumed. Since the control accuracy of the absolute humidity of the supply air by the air supply system of this molding machine is ± 0.06 g / kg (DA), there is almost no shrinkage fluctuation due to absolute humidity, and the annual shrinkage fluctuation is 0. Reduced from 46% to 0.25%.

［実施例２］
従来設備では、セラミックスグリーンシートの収縮率は、塗布ｍ数に応じて徐々に低下し、０．１％程度変動する。この原因は成形機乾燥環境の温度変化もしくは溶剤濃度変化であると推定している。この変動を補償するために、絶対湿度を上記相関（絶対湿度−収縮率）にしたがって、塗布ｍ数に応じて、６．８３から８．０２ｇ/ｋｇ（ＤＡ）に段階的に上昇させることで、従来低下していた収縮率変動（０．１％）を０．０２％まで抑制することができた。 [Example 2]
In the conventional equipment, the shrinkage rate of the ceramic green sheet gradually decreases according to the number of coating m and fluctuates by about 0.1%. It is estimated that this is caused by temperature change or solvent concentration change in the molding machine drying environment. In order to compensate for this variation, the absolute humidity is gradually increased from 6.83 to 8.02 g / kg (DA) according to the number of coating m according to the above correlation (absolute humidity-shrinkage rate). The shrinkage rate fluctuation (0.1%), which had been reduced in the past, could be suppressed to 0.02%.

［実施例３］
従来設備では、短手方向１．１ｍに塗布されたセラミックステープの収縮率バラツキは、約０．０４％程度あった。流入気体を短手方向5分割（（１）〜（５））とし、その流量を（１）８７ ＳＬＭ、（２）０ ＳＬＭ、（３）０ ＳＬＭ、（４）０ ＳＬＭ、（５）８７ ＳＬＭとした場合、中央の収縮率が端部の収縮率に対し０．０７％低かった。また、各送風口２１ａ〜２１ｅから送り込まれる気体の流量を（１）０ ＳＬＭ、（２）４４ ＳＬＭ、（３）８７ ＳＬＭ、（４）４４ ＳＬＭ、（５）０ ＳＬＭとした場合、中央の収縮率が端部の収縮率に対して０．１％高い値となった。５分割の流量に応じて収縮率を自由に設定できたことから、流量を最適化することで、０．０１％の幅方向の収縮率バラツキを得ることができた。 [Example 3]
In the conventional equipment, the shrinkage variation of the ceramic tape applied in the short direction of 1.1 m was about 0.04%. The inflowing gas is divided into 5 in the short direction ((1) to (5)), and the flow rate is (1) 87 SLM, (2) 0 SLM, (3) 0 SLM, (4) 0 SLM, (5) 87 When SLM was used, the shrinkage at the center was 0.07% lower than the shrinkage at the end. In addition, when the flow rate of the gas sent from each of the air blowing ports 21a to 21e is (1) 0 SLM, (2) 44 SLM, (3) 87 SLM, (4) 44 SLM, (5) 0 SLM, The shrinkage rate was 0.1% higher than the shrinkage rate at the end. Since the shrinkage rate could be freely set according to the flow rate divided into 5 parts, the shrinkage rate variation in the width direction of 0.01% could be obtained by optimizing the flow rate.

なお、各送風口２１ａ〜２１ｅからカバー体１２内に送り込まれる気体の流量は、各送風口２１ａ〜２１ｅに割り当てられた流量比で制御されてもよい。上述した流量が（１）８７ ＳＬＭ、（２）０ ＳＬＭ、（３）０ ＳＬＭ、（４）０ ＳＬＭ、（５）８７ ＳＬＭである場合を例に挙げると、各送風口２１ａ〜２１ｅの流量比は、（１）５０％、（２）０％、（３）０％、（４）０％、（５）５０％となる。同様に、上述した流量が（１）０ ＳＬＭ、（２）４４ ＳＬＭ、（３）８７ ＳＬＭ、（４）４４ ＳＬＭ、（５）０ ＳＬＭである場合を例に挙げると、各送風口２１ａ〜２１ｅの流量比は、（１）０％、（２）２５％、（３）５０％、（４）２５％、（５）０％となる。   In addition, the flow volume of the gas sent in into the cover body 12 from each ventilation port 21a-21e may be controlled by the flow rate ratio allocated to each ventilation port 21a-21e. As an example, the flow rate described above is (1) 87 SLM, (2) 0 SLM, (3) 0 SLM, (4) 0 SLM, (5) 87 SLM. The ratios are (1) 50%, (2) 0%, (3) 0%, (4) 0%, (5) 50%. Similarly, when the flow rate described above is (1) 0 SLM, (2) 44 SLM, (3) 87 SLM, (4) 44 SLM, (5) 0 SLM, for example, The flow rate ratio of 21e is (1) 0%, (2) 25%, (3) 50%, (4) 25%, and (5) 0%.

［実施例４］
従来設備では、セラミックスグリーンシートの焼成時反りは、平均で３５０μｍであったが、流入量を精密に制御し、機内の溶剤濃度を最適化することで上記反り量を平均６０μｍまで低減できた。 [Example 4]
In the conventional equipment, the warpage during firing of the ceramic green sheet was 350 μm on average. However, the amount of warpage could be reduced to an average of 60 μm by precisely controlling the inflow amount and optimizing the solvent concentration in the machine.

［実施例５］
カバー体内酸素濃度は、気体として窒素を用いた場合において、総流量が１００ ＳＬＭである場合に１０％となり、総流量が２００ ＳＬＭである場合に５％となり、総流量が３００ ＳＬＭである場合に２％となり、高濃度溶剤雰囲気に対する安全性（１０％以下）は、１００ ＳＬＭ以上で得られた。 [Example 5]
When nitrogen is used as the gas, the oxygen concentration in the cover is 10% when the total flow rate is 100 SLM, 5% when the total flow rate is 200 SLM, and when the total flow rate is 300 SLM. The safety (10% or less) against the high-concentration solvent atmosphere was obtained at 100 SLM or more.

［その他の実施形態］
本発明は上述した実施形態によって説明したが、この開示の一部をなす論述及び図面は、この発明を限定するものであると理解すべきではない。この開示から当業者には様々な代替実施形態、実施例及び運用技術が明らかとなろう。 [Other Embodiments]
Although the present invention has been described with reference to the above-described embodiments, it should not be understood that the descriptions and drawings constituting a part of this disclosure limit the present invention. From this disclosure, various alternative embodiments, examples and operational techniques will be apparent to those skilled in the art.

例えば、給気システム２００及び給気システム３００の動作を実現するプログラムが提供されてもよい。   For example, a program for realizing the operation of the air supply system 200 and the air supply system 300 may be provided.

上述した第１実施形態では、流量制御部２０９は、ドライ経路を流れる気体の質量流量を制御するが、これに限定されるものではなく、ウェット経路を流れる気体（バブリング容器２１４に供給される気体）の質量流量を制御してもよい。   In the first embodiment described above, the flow rate control unit 209 controls the mass flow rate of the gas flowing in the dry path, but is not limited to this, and the gas flowing in the wet path (the gas supplied to the bubbling container 214) ) Mass flow rate may be controlled.

具体的には、流量制御部２０９は、ミキシングチャンバ２０７内の気体の露点が目標露点よりも高い場合、バブリング容器２１４に供給される気体の質量流量の減少を指示する制御信号を生成して、生成した制御信号をＭＦＣ２１２に入力する。一方で、流量制御部２０９は、ミキシングチャンバ２０７内の気体の露点が目標露点よりも低い場合、バブリング容器２１４に供給される気体の質量流量の増大を指示する制御信号を生成して、生成した制御信号をＭＦＣ２１２に入力する。   Specifically, when the dew point of the gas in the mixing chamber 207 is higher than the target dew point, the flow rate control unit 209 generates a control signal instructing a decrease in the mass flow rate of the gas supplied to the bubbling vessel 214, The generated control signal is input to the MFC 212. On the other hand, when the dew point of the gas in the mixing chamber 207 is lower than the target dew point, the flow control unit 209 generates and generates a control signal instructing an increase in the mass flow rate of the gas supplied to the bubbling vessel 214. A control signal is input to the MFC 212.

上述した第２実施形態では、流量制御部３１６は、水の経路を流れる水の質量流量を制御するが、これに限定されるものではなく、ドライ経路を流れる気体の質量流量を制御してもよい。   In the second embodiment described above, the flow rate control unit 316 controls the mass flow rate of the water flowing through the water path, but is not limited thereto, and may control the mass flow rate of the gas flowing through the dry path. Good.

具体的には、流量制御部３１６は、気化器３０７内の気体の露点が目標露点よりも高い場合、ドライ経路を流れる気体の流量の増大を指示する制御信号を生成して、生成した制御信号をＭＦＣ３０５に入力する。一方で、流量制御部３１６は、気化器３０７内の気体の露点が目標露点よりも低い場合、ドライ経路を流れる気体の流量の減少を指示する制御信号を生成して、生成した制御信号をＭＦＣ３０５に入力する。   Specifically, when the dew point of the gas in the vaporizer 307 is higher than the target dew point, the flow control unit 316 generates a control signal instructing an increase in the flow rate of the gas flowing through the dry path, and the generated control signal Is input to the MFC 305. On the other hand, when the dew point of the gas in the vaporizer 307 is lower than the target dew point, the flow control unit 316 generates a control signal instructing a decrease in the flow rate of the gas flowing through the dry path, and the generated control signal is used as the MFC 305. To enter.

上述した第１実施形態及び第２実施形態では、給気システムは、乾燥路１０内に送り込まれる気体の絶対湿度（露点）を制御するが、これに限定されるものではない。具体的には、給気システムは、乾燥路１０内に送り込まれる気体の相対湿度を制御してもよい。   In the first embodiment and the second embodiment described above, the air supply system controls the absolute humidity (dew point) of the gas fed into the drying path 10, but is not limited thereto. Specifically, the air supply system may control the relative humidity of the gas sent into the drying path 10.

なお、上述した第１実施形態及び第２実施形態では、給気システムは、ドライ経路及びウェット経路（又は、水の経路）を有しているが、これに限定されるものではなく、乾燥路１０内に送り込まれる気体の湿度及び流量を制御する構成を有していればよい。   In the first embodiment and the second embodiment described above, the air supply system has a dry path and a wet path (or a water path), but the present invention is not limited to this. What is necessary is just to have the structure which controls the humidity and flow volume of the gas sent in.

第１実施形態に係る乾燥路１０の斜視図である。1 is a perspective view of a drying path 10 according to a first embodiment. 第１実施形態に係るセラミックスグリーンシート成形装置１００の一部切り欠き上面図である。It is a partially cutaway top view of the ceramic green sheet forming apparatus 100 according to the first embodiment. 第１実施形態に係るセラミックスグリーンシート成形装置１００の正面断面図である。1 is a front sectional view of a ceramic green sheet forming apparatus 100 according to a first embodiment. 第１実施形態に係る給気システム２００の構成を示す図である。It is a figure which shows the structure of the air supply system 200 which concerns on 1st Embodiment. 第２実施形態に係る給気システム２００の構成を示す図である。It is a figure which shows the structure of the air supply system 200 which concerns on 2nd Embodiment. 実施例１に係る露点センサ２０８での絶対湿度のグラフを示す。The graph of the absolute humidity in the dew point sensor 208 which concerns on Example 1 is shown. 実施例１に係る流量制御部２０９でのドライ流量のグラフを示す。The graph of the dry flow rate in the flow volume control part 209 which concerns on Example 1 is shown. 実施例１に係る圧力計２１９でのミキシングチャンバ内圧力のグラフを示す。The graph of the pressure in a mixing chamber in the pressure gauge 219 which concerns on Example 1 is shown.

符号の説明Explanation of symbols

１０・・・乾燥路、１１・・・キャンバスベルト、１２・・・カバー体、１３・・・排
気口、１５ａ〜１５ｃ・・・仕切壁、２０・・・送風ユニット、２１・・・送風口、３０・・・経路、３１・・・ＭＦＣ、５２・・・スラリー塗工物、１００・・・セラミックスグリーンシート成形装置、２００・・・給気システム、２０１・・・気体源、２０２・・・フィルタ、２０３・・・レギュレータ、２０４・・・バルブ、２０５・・・ＭＦＣ、２０６・・・逆止弁、２０７・・・ミキシングチャンバ、２０８・・・露点センサ、２０９・・・流量制御部、２１０・・・レギュレータ、２１１・・・バルブ、２１２・・・ＭＦＣ、２１３・・・逆止弁、２１４・・・バブリング容器、２１５・・・水面計、２１６・・・ドレイン、２１８・・・バブリング容器制御部、２１９・・・圧力計、２２０・・・圧力調整弁、２２１・・・圧力制御部、２２２・・・ヒータ、２２３・・・温度制御部、３００・・・給気システム、３０１・・・気体源、３０２・・・フィルタ、３０３・・・レギュレータ、３０４・・・バルブ、３０５・・・ＭＦＣ、３０６・・・逆止弁、３０７・・・気化器、３０８・・・露点センサ、３０９・・・水源、３１０・・・フィルタ、３１１・・・レギュレータ、３１２・・・バルブ、３１３・・・水質センサ、３１４・・・ＭＦＣ、３１５・・・バルブ、３１６・・・流量制御部、３１７・・・圧力計、３１８・・・圧力調整弁、３１９・・・圧力制御部 DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 ... Drying path, 11 ... Canvas belt, 12 ... Cover body, 13 ... Exhaust port, 15a-15c ... Partition wall, 20 ... Blower unit, 21 ... Blower port 30 ... path, 31 ... MFC, 52 ... slurry coating, 100 ... ceramic green sheet forming apparatus, 200 ... air supply system, 201 ... gas source, 202 ... Filter, 203 ... Regulator, 204 ... Valve, 205 ... MFC, 206 ... Check valve, 207 ... Mixing chamber, 208 ... Dew point sensor, 209 ... Flow control unit 210, regulator, 211, valve, 212, MFC, 213, check valve, 214, bubbling vessel, 215, water gauge, 216, drain, 218,.・ Ba Ring vessel control unit, 219 ... pressure gauge, 220 ... pressure regulating valve, 221 ... pressure control unit, 222 ... heater, 223 ... temperature control unit, 300 ... air supply system, 301 ... Gas source, 302 ... Filter, 303 ... Regulator, 304 ... Valve, 305 ... MFC, 306 ... Check valve, 307 ... Vaporizer, 308 ... Dew point sensor, 309 ... water source, 310 ... filter, 311 ... regulator, 312 ... valve, 313 ... water quality sensor, 314 ... MFC, 315 ... valve, 316 ... Flow control unit, 317 ... pressure gauge, 318 ... pressure regulating valve, 319 ... pressure control unit

Claims (9)

スラリー塗工物を搬送しながら乾燥成型させてセラミックスグリーンシートを得る乾燥路と、
前記スラリー塗工物の流れ方向の上流域を含むように前記乾燥路内部の一部に配置され、内側に気体の流路となる湿度制御領域を形成し、外側と乾燥路の内壁の間に温風の流路となる温度制御領域を形成する中空状のカバー体と、
前記カバー体の前記スラリー塗工物の流れ方向に直交して配置された、前記カバー体の内側に前記気体を前記スラリー塗工物の流れ方向の上流側から送り込む複数の送風口を備える送風ユニットと、
前記気体の湿度を制御する湿度制御部と、
前記気体の流量を制御する流量制御部と、
を有することを特徴とするセラミックスグリーンシート成形装置。 A drying path to obtain a ceramic green sheet by dry molding while conveying the slurry coating;
It is arranged in a part of the inside of the drying path so as to include the upstream area in the flow direction of the slurry coated product, forms a humidity control region as a gas flow path on the inside, and between the outside and the inner wall of the drying path A hollow cover body that forms a temperature control region serving as a flow path of hot air;
A blower unit provided with a plurality of blower ports that are arranged perpendicular to the flow direction of the slurry coated product of the cover body and feed the gas from the upstream side in the flow direction of the slurry coated product inside the cover body. When,
A humidity control unit for controlling the humidity of the gas;
A flow rate controller for controlling the flow rate of the gas;
A ceramic green sheet forming apparatus comprising: 前記スラリー塗工物は、非水溶性バインダを含むセラミックスラリーから調製されたものであることを特徴とする請求項１記載のセラミックスグリーンシート成形装置。   2. The ceramic green sheet forming apparatus according to claim 1, wherein the slurry coated product is prepared from a ceramic slurry containing a water-insoluble binder. 前記湿度制御領域の絶対湿度が１〜２０g／ｋｇＤＡ、年間湿度変動レンジが０.１〜１．０ｇ／ｋｇＤＡに制御可能であることを特徴とする請求項１記載のセラミックスグリーンシート成形装置。   2. The ceramic green sheet forming apparatus according to claim 1, wherein the humidity control region can be controlled to have an absolute humidity of 1 to 20 g / kgDA and an annual humidity fluctuation range of 0.1 to 1.0 g / kgDA. 前記流量制御部は、前記湿度制御領域内に送り込まれる気体の質量流量を制御する気体マスフローコントローラであることを特徴とする請求項１に記載のセラミックスグリーンシート成形装置。   2. The ceramic green sheet forming apparatus according to claim 1, wherein the flow rate control unit is a gas mass flow controller that controls a mass flow rate of a gas fed into the humidity control region. 前記湿度制御部は、
前記湿度制御領域内に送り込まれる気体に混ぜる水の質量流量を制御する液体マスフローコントローラと、
前記液体マスフローコントローラによって質量流量が制御された水を気化する気化器とを有することを特徴とする請求項１に記載のセラミックスグリーンシート成形装置。 The humidity controller is
A liquid mass flow controller for controlling the mass flow rate of water mixed in the gas fed into the humidity control region;
The ceramic green sheet forming apparatus according to claim 1, further comprising a vaporizer configured to vaporize water whose mass flow rate is controlled by the liquid mass flow controller. 前記湿度制御部は、
水を貯留するバブリング容器と、
前記バブリング容器に貯留する水量を制御する水量制御部、前記バブリング容器に貯留する水の温度を制御する水温制御部及び前記バブリング容器内の圧力を調整する圧力制御部の少なくともいずれかを有しており、
前記流量制御部によって流量が制御された気体は、前記バブリング容器に貯留された水内に供給された後に前記送風口から前記湿度制御領域に送り込まれることを特徴とする請求項１に記載のセラミックスグリーンシート成形装置。 The humidity controller is
A bubbling container for storing water;
A water amount control unit that controls the amount of water stored in the bubbling container; a water temperature control unit that controls the temperature of water stored in the bubbling container; and a pressure control unit that adjusts the pressure in the bubbling container. And
2. The ceramic according to claim 1, wherein the gas whose flow rate is controlled by the flow rate control unit is supplied into the water stored in the bubbling container and then fed into the humidity control region from the air outlet. Green sheet forming equipment. 前記送風口から前記湿度制御領域内に送り込まれる気体の温度を制御する温度制御部をさらに備えることを特徴とする請求項１に記載のセラミックスグリーンシート成形装置。   The ceramic green sheet forming apparatus according to claim 1, further comprising a temperature control unit that controls a temperature of a gas fed into the humidity control region from the blower port. スラリー塗工物の流れ方向の上流域を含むように乾燥雰囲気の一部に中空状のカバー体が配置され、内側に気体の流路となる湿度制御領域を、外側に温風の流路となる温度制御領域を備えたセラミックスグリーンシート成形装置を用いたセラミックスグリーンシートの成形方法であって、
前記湿度制御領域に送り込まれる気体の湿度を制御する工程と、
前記気体の流量を制御する工程と、
前記湿度制御領域のスラリー塗工物の流れ方向の上流部から前記気体を前記湿度制御領域に送り込む工程と、
非水溶性バインダを含むセラミックスラリーから調製されたスラリー塗工物を前記湿度制御領域と前記温度制御領域中を搬送しながら乾燥成形してセラミックスグリーンシートを得る工程と、
を含むことを特徴とするセラミックスグリーンシートの成形方法。 A hollow cover body is arranged in a part of the dry atmosphere so as to include the upstream area in the flow direction of the slurry coated product, a humidity control area serving as a gas flow path on the inside, and a hot air flow path on the outside A ceramic green sheet molding method using a ceramic green sheet molding apparatus having a temperature control region,
Controlling the humidity of the gas sent to the humidity control region;
Controlling the flow rate of the gas;
Sending the gas to the humidity control region from the upstream portion in the flow direction of the slurry coating in the humidity control region;
A step of obtaining a ceramic green sheet by dry forming a slurry coating prepared from a ceramic slurry containing a water-insoluble binder while transporting the humidity control region and the temperature control region;
A method for forming a ceramic green sheet, comprising: 前記湿度制御領域の絶対湿度を１〜２０g／ｋｇＤＡ、年間湿度変動レンジを０.１〜１．０ｇ／ｋｇＤＡに制御することを特徴とする請求項８記載のセラミックスグリーンシートの成形方法。   9. The method for forming a ceramic green sheet according to claim 8, wherein an absolute humidity in the humidity control region is controlled to 1 to 20 g / kgDA, and an annual humidity fluctuation range is controlled to 0.1 to 1.0 g / kgDA.

Images