JP2008102190A - Scanning type optical device - Google Patents
Scanning type optical device Download PDFInfo
- Publication number
- JP2008102190A JP2008102190A JP2006282603A JP2006282603A JP2008102190A JP 2008102190 A JP2008102190 A JP 2008102190A JP 2006282603 A JP2006282603 A JP 2006282603A JP 2006282603 A JP2006282603 A JP 2006282603A JP 2008102190 A JP2008102190 A JP 2008102190A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electro
- optical
- optical element
- polarization direction
- scanning
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Images
Landscapes
- Optical Modulation, Optical Deflection, Nonlinear Optics, Optical Demodulation, Optical Logic Elements (AREA)
Abstract
Description
本発明は、走査型光学装置に関する。 The present invention relates to a scanning optical device.
近年、レーザ光などのビーム状の光を被投射面上でラスタースキャンして画像を表示する走査型画像表示装置が提案されている。この装置では、レーザ光の供給を停止することで完全な黒を表現できるため、例えば液晶ライトバルブを用いたプロジェクタ等に比べて高コントラストの表示が可能である。また、レーザ光を使用した画像表示装置は、レーザ光が単一波長であるために色純度が高い、コヒーレンスが高いためにビームを整形しやすい（絞りやすい）等の特性を持つことから、高解像度、高色再現性を実現する高画質ディスプレイとして期待されている。また、走査型画像表示装置は、液晶ディスプレイ、プラズマディスプレイなどと異なり、固定された画素を持たないため、画素数という概念がなく、解像度を変換し易いという利点も持っている。 2. Description of the Related Art In recent years, scanning image display apparatuses that display an image by raster scanning beam-like light such as laser light on a projection surface have been proposed. In this apparatus, since the complete black can be expressed by stopping the supply of the laser light, a high contrast display is possible as compared with, for example, a projector using a liquid crystal light valve. In addition, image display devices that use laser light have characteristics such as high color purity because the laser light has a single wavelength and high coherence, so that the beam is easy to shape (easy to squeeze). It is expected as a high-quality display that realizes resolution and high color reproducibility. In addition, unlike a liquid crystal display, a plasma display, or the like, a scanning image display device does not have a fixed pixel, and therefore has an advantage that the resolution is easily converted without the concept of the number of pixels.
走査型画像表示装置で画像を生成するには、ポリゴンミラー、ガルバノミラーなどのスキャナを用いて光を２次元に走査する必要がある。１個のスキャナを水平方向、垂直方向の２方向に振りつつ光を２次元に走査する方法もあるが、その場合、走査系の構成や制御が複雑になるという問題がある。そこで、光を１次元に走査するスキャナを２組用意し、各々に水平走査と垂直走査を受け持たせるようにした走査型画像表示装置が提案されている。従来は、双方のスキャナともにポリゴンミラーやガルバノミラーを使用するのが普通であり、双方のスキャナに回転多面鏡（ポリゴンミラー）を用いた投写装置が下記の特許文献１に開示されている。
しかしながら、特許文献１ではポリゴンミラーを用いた装置が紹介されているが画像フォーマットの高解像度化に伴い、スキャン周波数も高くなってきており、ポリゴンミラーやガルバノミラーでは限界を迎えつつある。そこで、近年、高速側のスキャナにＭＥＭＳ（Micro Electro Mechanical Systems）技術を利用したシステムが発表されている。ＭＥＭＳ技術を利用したスキャナ（以下、単にＭＥＭＳスキャナという）とは、シリコン等の半導体材料の微細加工技術を用いて製作するものであり、トーションバネ等で支持したミラーを静電力等により駆動するものである。このスキャナは、静電力とバネの復元力との相互作用でミラーを往復運動させて、光を走査することができる。ＭＥＭＳスキャナを用いることにより、従来のスキャナに比べて高周波数、大偏角のスキャナを実現することができる。これにより、高解像度の画像を表示することが可能になる。
However, in
ところで、高速のＭＥＭＳスキャナを実現するには、ミラーを共振点で往復運動させなければならないため、光利用効率などを考えると、走査線が視聴者から見て左から右へスキャンした後に、次の走査線は右から左にスキャンする（両側スキャン）システムとなる。
一方、画像信号はＣＲＴ（Cathode Ray Tube）をベースに規格が決まっているため、左から右へスキャンした後は短い時間で左に戻り、再度右へスキャンする（片側スキャン）システムに合わせたフォーマットとなっている。したがって、ＭＥＭＳスキャナの場合、一部のデータは入力された信号の順番を反転して表示しなければならないため、信号の制御が複雑になる。
そこで、ＭＥＭＳスキャン以外の走査手段としては、電気光学（ＥＯ：Electro Optic）スキャナが考えられる。ＥＯスキャナとはＥＯ結晶に電圧を加えることにより、その結晶中を透過する光の進行方向を変える素子である。このようにＥＯスキャナでは、電圧によりスキャン角を制御できるので、ＣＲＴと同様に片側スキャンによる描画が可能となる。
By the way, in order to realize a high-speed MEMS scanner, the mirror must be reciprocated at the resonance point. Therefore, considering the light utilization efficiency, the scanning line scans from left to right as viewed from the viewer, and then These scanning lines are scanned from right to left (both sides scanning).
On the other hand, since the standard for image signals is determined based on CRT (Cathode Ray Tube), after scanning from left to right, it returns to the left in a short time and then scans to the right again (one side scan). It has become. Therefore, in the case of the MEMS scanner, since some data must be displayed by reversing the order of the input signals, the signal control becomes complicated.
Therefore, an electro-optic (EO) scanner can be considered as a scanning means other than the MEMS scan. An EO scanner is an element that changes the traveling direction of light transmitted through a crystal by applying a voltage to the EO crystal. As described above, since the scan angle can be controlled by the voltage in the EO scanner, drawing by one-sided scanning can be performed in the same manner as the CRT.
ＥＯ結晶には、ポッケルス効果、あるいは、カー効果を有するものがあり、この効果は、入射する光の振動方向に対する依存性があり、特定の振動方向の光に対しては大きな偏角を得ることができるが、特定の振動方向と直交する振動方向の光に対してはそれほど大きな偏角を得ることはできない。したがって、複数のＥＯスキャナを用いて２次元走査を行う場合、後段に配置されたＥＯ素子に入射する光の振動方向（偏光面）を考慮せずに、前段のＥＯ素子から射出された光をそのまま入射させると、大きな偏角が得られないため、所望の形状（照射される領域のアスペクト比が４：３や１６：９など）に光をスキャンすることが困難である。このため、大きな偏角を得るために、ＥＯ素子に印加する電圧をＥＯ素子の特性以上に高くする必要が生じ、消費電力の増大を招いてしまう。 Some EO crystals have a Pockels effect or a Kerr effect, and this effect has a dependency on the vibration direction of incident light, and a large declination is obtained for light in a specific vibration direction. However, a large deflection angle cannot be obtained for light in a vibration direction orthogonal to a specific vibration direction. Therefore, when performing two-dimensional scanning using a plurality of EO scanners, the light emitted from the preceding EO element is taken into consideration without considering the vibration direction (polarization plane) of the light incident on the EO element disposed in the subsequent stage. If the light is incident as it is, a large deflection angle cannot be obtained, and it is difficult to scan light in a desired shape (the aspect ratio of the irradiated region is 4: 3, 16: 9, etc.). For this reason, in order to obtain a large deflection angle, it is necessary to make the voltage applied to the EO element higher than the characteristics of the EO element, leading to an increase in power consumption.
本発明は、上記の課題を解決するためになされたものであって、複数の電気光学素子を用いた場合でも、大きな偏角を得ることができるとともに、省電力化を図ることが可能な走査型光学装置を提供することを目的とする。 The present invention has been made in order to solve the above-described problem. Even when a plurality of electro-optical elements are used, a large deviation angle can be obtained and power saving can be achieved. An object of the present invention is to provide a mold optical device.
上記目的を達成するために、本発明は、以下の手段を提供する。
本発明の走査型光学装置は、レーザ光を射出する光源装置と、内部に生じる電界の大きさに応じて屈折率分布が変化することによって、前記光源装置から射出されるレーザ光を一方向に走査する第１電気光学素子及び該第１電気光学素子から射出されたレーザ光を前記一方向と異なる方向に走査する第２電気光学素子を有する光走査部と、前記第１電気光学素子と前記第２電気光学素子との間の光路上に設けられ前記第１電気光学素子から射出された光の偏光方向を回転させる偏光方向回転手段とを備えることを特徴とする。
In order to achieve the above object, the present invention provides the following means.
The scanning optical device of the present invention has a light source device that emits laser light and a laser light emitted from the light source device in one direction by changing a refractive index distribution according to the magnitude of an electric field generated inside. A first electro-optical element that scans; a light scanning unit that includes a second electro-optical element that scans laser light emitted from the first electro-optical element in a direction different from the one direction; the first electro-optical element; And a polarization direction rotating unit provided on an optical path between the second electro-optical element and rotating the polarization direction of the light emitted from the first electro-optical element.
まず、電気光学素子の性質について説明する。
電気光学素子は、電圧が印加されることにより内部に電界が生じ、屈折率分布が電界方向に向かって連続的に増加あるいは減少する。このため、電気光学素子の内部に生じる電界と垂直な方向に進行する光は、屈折率が低い側から高い側に向かって曲げられ、電気光学素子から射出される。本発明の走査型光学装置では、光源装置から射出され第１電気光学素子に入射した光は、屈折率が低い側から高い側に向かって曲げられ一方向に走査される。第１電気光学素子から射出された光は、偏光方向回転手段により、偏光面が回転する。そして、偏光面が回転した光は、第２電気光学素子に入射し、屈折率が低い側から高い側に向かって曲げられ他方向に走査される。
First, the properties of the electro-optical element will be described.
In the electro-optic element, an electric field is generated when a voltage is applied, and the refractive index distribution continuously increases or decreases in the direction of the electric field. For this reason, the light traveling in the direction perpendicular to the electric field generated inside the electro-optic element is bent from the low refractive index side to the high side and is emitted from the electro-optic element. In the scanning optical device of the present invention, the light emitted from the light source device and incident on the first electro-optic element is bent from the low refractive index side to the high side and scanned in one direction. The polarization plane of the light emitted from the first electro-optical element is rotated by the polarization direction rotating means. Then, the light whose polarization plane is rotated enters the second electro-optic element, is bent from the low refractive index side to the high side, and is scanned in the other direction.
ここで、偏光方向を考慮しないで、第１電気光学素子から射出された光をそのまま第２電気光学素子に入射させると、第２電気光学素子は第１電気光学素子とは異なる方向に走査することから、第２電気光学素子の最大偏角を得ることができる偏光方向から偏光面がずれてしまい、所望の偏角を得るために必要以上の電圧を印加させる必要が生じる。しかしながら、本発明では、偏光方向回転手段を備えているため、第２電気光学素子の最大偏角を得ることができる偏光方向の光に近づけて、電気光学素子から射出された光を第２電気光学素子に入射させることができる。したがって、第２電気光学素子に同じ電圧を印加したとき、偏光方向を考慮しない場合に比べて大きな偏角を得ることができるため、第２電気光学素子から射出される光の照明領域を所望の形状となるように走査することが容易となる。すなわち、本発明の走査型光学装置は、従来のように大きな偏角を得ようと高い電圧を印加させる必要がないため、第２電気光学素子の印加電圧に対するスキャン角度（走査角度）の効率を向上させることが可能となる。これにより、装置全体として低消費電力化を実現することが可能となる。 Here, when the light emitted from the first electro-optical element is directly incident on the second electro-optical element without considering the polarization direction, the second electro-optical element scans in a direction different from that of the first electro-optical element. For this reason, the plane of polarization deviates from the polarization direction in which the maximum deflection angle of the second electro-optic element can be obtained, and it is necessary to apply a voltage more than necessary to obtain the desired deflection angle. However, in the present invention, since the polarization direction rotating means is provided, the light emitted from the electro-optic element is made closer to the light in the polarization direction capable of obtaining the maximum deflection angle of the second electro-optic element. The light can enter the optical element. Accordingly, when the same voltage is applied to the second electro-optical element, a larger declination can be obtained as compared with the case where the polarization direction is not taken into consideration. Therefore, the illumination area of the light emitted from the second electro-optical element can be set to a desired value. It becomes easy to scan in a shape. That is, the scanning optical device of the present invention does not need to apply a high voltage so as to obtain a large deflection angle as in the prior art. It becomes possible to improve. As a result, it is possible to realize low power consumption for the entire apparatus.
また、前記偏光方向回転手段が、前記第１電気光学素子から射出された光に、前記第１電気光学素子から射出されたレーザ光の偏光方向が前記第２電気光学素子の最大偏角を得ることが可能な偏光方向になるような偏光方向に回転させることが好ましい。 Further, the polarization direction rotating means obtains the maximum deviation angle of the second electro-optical element when the polarization direction of the laser light emitted from the first electro-optical element is obtained from the light emitted from the first electro-optical element. It is preferable to rotate in the polarization direction so that the polarization direction becomes possible.
本発明に係る走査型光学装置では、偏光方向回転手段により、第１電気光学素子から射出された光の偏光方向を、第２電気光学素子の最大偏角を得ることができるような偏光方向に回転される。したがって、所望の偏角を得るために第２電気光学素子に印加する電圧を大きくする必要がない。その結果、第２電気光学素子の性能を最大限に利用することができるため、第２電気光学素子の印加電圧に対するスキャン角度の効率をより向上させることが可能となる。 In the scanning optical device according to the present invention, the polarization direction of the light emitted from the first electro-optic element is changed to a polarization direction that can obtain the maximum deflection angle of the second electro-optic element by the polarization direction rotating means. It is rotated. Therefore, it is not necessary to increase the voltage applied to the second electro-optical element in order to obtain a desired deflection angle. As a result, since the performance of the second electro-optic element can be utilized to the maximum, the efficiency of the scan angle with respect to the applied voltage of the second electro-optic element can be further improved.
また、本発明の走査型光学装置は、前記偏光方向回転手段が、１／２波長板であることが好ましい。
本発明に係る走査型光学装置では、偏光方向回転手段が１／２波長板であるため、偏光方向を、例えば９０度回転させることにより、第１電気光学素子から射出された光の偏光方向を、第２電気光学素子の最大偏角を得ることができるような偏光方向に回転させることが可能となる。したがって、偏光方向回転手段が１／２波長板であるため、簡易な構成で、精度良く第１電気光学素子から射出された光の偏光方向を所望の偏光方向に変換することが可能となる。
In the scanning optical device of the present invention, it is preferable that the polarization direction rotating means is a half-wave plate.
In the scanning optical device according to the present invention, since the polarization direction rotating means is a half-wave plate, the polarization direction of the light emitted from the first electro-optical element is changed by rotating the polarization direction by, for example, 90 degrees. It is possible to rotate the polarization direction so that the maximum deflection angle of the second electro-optic element can be obtained. Therefore, since the polarization direction rotating means is a half-wave plate, the polarization direction of the light emitted from the first electro-optic element can be accurately converted to a desired polarization direction with a simple configuration.
また、本発明の走査型光学装置は、前記偏光方向回転手段が１／２波長板である代わりに、前記偏光方向回転手段が旋光性を有する物質からなっていても良い。
本発明に係る走査型光学装置では、第１電気光学素子から射出した光は旋光性を有する物質からなる偏光方向回転手段を通過すると、偏光面が回転する。このように、旋光性を有する物質からなる偏光方向回転手段を用いることにより、安価に第１電気光学素子から射出された光の偏光方向を所望の偏光方向に変換することが可能となる。
In the scanning optical device of the present invention, the polarization direction rotating means may be made of a material having optical activity instead of the polarization direction rotating means being a half-wave plate.
In the scanning optical device according to the present invention, when the light emitted from the first electro-optic element passes through the polarization direction rotating means made of a material having optical rotation, the plane of polarization is rotated. As described above, by using the polarization direction rotating means made of a substance having optical rotation, the polarization direction of the light emitted from the first electro-optical element can be converted into a desired polarization direction at a low cost.
また、本発明の走査型光学装置は、前記第１電気光学素子と前記第２電気光学素子の走査方向が互いに直交して配置されていることが好ましい。 In the scanning optical device according to the aspect of the invention, it is preferable that the scanning directions of the first electro-optical element and the second electro-optical element are orthogonal to each other.
本発明に係る走査型光学装置では、第１電気光学素子及び第２電気光学素子が直交して配置されているため、第１電気光学素子及び第２電気光学素子のうちいずれか一方を水平走査に用い、他方を垂直走査に用いることができる。したがって、第１，第２電気光学素子から射出されるレーザ光のスキャン範囲をより大きくすることができる。 In the scanning optical device according to the present invention, since the first electro-optical element and the second electro-optical element are arranged orthogonally, one of the first electro-optical element and the second electro-optical element is horizontally scanned. The other can be used for vertical scanning. Therefore, the scan range of the laser light emitted from the first and second electro-optical elements can be further increased.
また、本発明の走査型光学装置は、前前記第１電気光学素子及び第２電気光学素子の電気光学効果が結晶方位依存性を有し、前記偏光方向回転手段が、前記第１電気光学素子から射出された光に、前記第１電気光学素子から射出されたレーザ光の偏光方向が前記第２電気光学素子の最大偏角を得ることが可能な前記第２電気光学素子の結晶方位に一致するような偏光方向に回転させることが好ましい。 In the scanning optical device according to the aspect of the invention, the electro-optical effect of the first electro-optical element and the second electro-optical element may have a crystal orientation dependency, and the polarization direction rotating unit may include the first electro-optical element. The polarization direction of the laser light emitted from the first electro-optic element matches the crystal orientation of the second electro-optic element capable of obtaining the maximum deflection angle of the second electro-optic element. It is preferable to rotate in such a polarization direction.
本発明に係る走査型光学装置では、偏光方向回転手段により、第１電気光学素子から射出された光に、第１電気光学素子から射出されたレーザ光の偏光方向が第２電気光学素子の最大偏角を得ることが可能な第２電気光学素子の結晶方位に一致するような偏光方向に回転される。したがって、第２電気光学素子に入射する光の偏光方向と第２電気光学素子の結晶方位を一致させることで、第２電気光学素子から最大偏角のレーザ光を射出させることが可能となる。 In the scanning optical device according to the present invention, the polarization direction of the laser light emitted from the first electro-optic element is the maximum of the second electro-optic element, with respect to the light emitted from the first electro-optic element by the polarization direction rotating means. The polarization direction is rotated so as to coincide with the crystal orientation of the second electro-optic element capable of obtaining the declination. Therefore, by matching the polarization direction of the light incident on the second electro-optic element and the crystal orientation of the second electro-optic element, it becomes possible to emit laser light having the maximum deflection angle from the second electro-optic element.
また、本発明の走査型光学装置は、前記電気光学素子がＫＴａ１−ｘＮｂｘＯ3の組成を有することが好ましい。 In the scanning optical device according to the aspect of the invention, it is preferable that the electro-optic element has a composition of KTa 1-x Nb x O 3 .
本発明に係る走査型光学装置では、電気光学素子が、高い誘電率を有する誘電体材料であるＫＴａ１−ｘＮｂｘＯ3（タンタル酸ニオブ酸カリウム）の組成を有する結晶である（以下、ＫＴＮ結晶と称す）。ＫＴＮ結晶は、立方晶から正方晶さらに菱面体晶へと温度により結晶系を変える性質を有しており、立方晶においては、大きい２次の電気光学効果を有することが知られている。特に、立方晶から正方晶への相転移温度に近い領域では、比誘電率が発散する現象が起こり、比誘電率の自乗に比例する２次の電気光学効果はきわめて大きい値となる。したがって、ＫＴａ１−ｘＮｂｘＯ3の組成を有する結晶は、他の結晶に比べて屈折率を変化させる際に必要になる印加電圧を低く抑えることが可能となる。これにより、省電力化を実現可能な走査型光学装置を提供することが可能となる。 In the scanning optical device according to the present invention, the electro-optic element is a crystal having a composition of KTa 1-x Nb x O 3 (potassium niobate tantalate), which is a dielectric material having a high dielectric constant (hereinafter, referred to as “crystal”). (Referred to as KTN crystal). KTN crystals have the property of changing the crystal system depending on temperature from cubic to tetragonal to rhombohedral, and it is known that cubic crystals have a large secondary electro-optic effect. In particular, in a region close to the phase transition temperature from cubic to tetragonal, a phenomenon in which the relative permittivity diverges occurs, and the secondary electro-optic effect proportional to the square of the relative permittivity is a very large value. Therefore, the crystal having the composition of KTa 1-x Nb x O 3 can suppress the applied voltage required when changing the refractive index as compared with other crystals. Accordingly, it is possible to provide a scanning optical device that can realize power saving.
以下、図面を参照して、本発明に係る走査型光学装置の実施形態について説明する。なお、以下の図面においては、各部材を認識可能な大きさとするために、各部材の縮尺を適宜変更している。 Embodiments of a scanning optical device according to the present invention will be described below with reference to the drawings. In the following drawings, the scale of each member is appropriately changed in order to make each member a recognizable size.
［第１実施形態］
走査型光学装置１は、図１に示すように、レーザ光を射出する光源装置（ＬＤ：レーザダイオード）１１と、光源装置１１から射出されたレーザ光を走査する光走査部２０とを備えている。
[First Embodiment]
As shown in FIG. 1, the scanning
光走査部２０は、光源装置１１から射出されたレーザ光の光路上に配置された２つの電気光学素子２１，２６と電気光学素子２１，２６の間の光路上に配置された１／２波長板２５（偏光方向回転手段）とを備えている。ここで、光源装置１１に近い側に配置された電気光学素子２１を第１電気光学素子とし、光源装置１１から遠い側に配置された電気光学素子２６を第２電気光学素子とする。
なお、本実施形態で用いられる第１，第２電気光学素子２１，２６は、電圧の印加方向と入射光の偏光方向とが同じである場合、電気光学素子から最大偏角の光を射出させることが可能な素子である。
The
The first and second electro-
第１電気光学素子２１は、照明領域Ｋにおいて２方向（垂直方向ｖ、水平方向ｈ）の走査のうち、光源装置１１から射出される光を垂直方向（一方向）ｖに走査する垂直走査用スキャナであり、第２電気光学素子２６は、第１電気光学素子２１から射出される光を水平方向（一方向と異なる方向）ｈに走査する水平走査用スキャナである。
なお、ここで言う「水平走査用スキャナ」は、２方向の走査のうち、高速側の走査を担うスキャナであり、「垂直走査用スキャナ」は、低速側の走査を担うスキャナである。
The first electro-
The “horizontal scanning scanner” mentioned here is a scanner responsible for high-speed scanning out of two directions, and the “vertical scanning scanner” is a scanner responsible for low-speed scanning.
まず、第１電気光学素子について説明する。
第１電気光学素子２１は、図１に示すように、内部に生じる電界の大きさに応じて屈折率分布が変化することによって、光源装置１１から射出されるレーザ光を走査するものであり、図１に示すように、第１電極２２と、第２電極２３と、光学素子２４とを備えている。
光学素子２４は、電気光学効果を有する誘電体結晶（電気光学結晶）であり、本実施形態ではＫＴＮ（タンタル酸ニオブ酸カリウム、ＫＴａ１−ｘＮｂｘＯ3）の組成を有する結晶材料で構成されている。また、ＫＴＮ結晶はカー効果（等方性材料に電場をかけると複屈折性が生じる現象であり、印加電圧により発生した電界の強さの二乗に比例する）を利用した結晶である。
また、光学素子２４は、直方体形状であり、光学素子２４の上面２４ａには第１電極２２が配置され、下面２４ｂには第２電極２３が配置されている。この第１電極２２及び第２電極２３には、電圧を印加する電源Ｅが接続されている。また、第１電極２２及び第２電極２３は、図１に示すように、光学素子２４内を進行するレーザ光Ｌの進行方向の寸法がほぼ同じである。これにより、第１電極２２と第２電極２３との間の光学素子２４に電界が生じるようになっている。例えば、第２電極２３より第１電極２２に高い電圧が印加されると、第１電極２２から第２電極２３に向かって（矢印Ａに示す方向）電界が生じる。その結果、電気光学結晶の屈折率は第１電極２２から第２電極２３に向かって高くなる。また、矢印Ａは、第１，第２電極２２，２３の配列方向、すなわち、電圧の印加方向である。
First, the first electro-optical element will be described.
As shown in FIG. 1, the first electro-
The
The
また、光学素子２４は、図１に示すように、第１電気光学素子２１の入射端面２１ａの第１電極２２に近い側からレーザ光を入射させるように配置されている。これにより、本実施形態の第１電気光学素子２１は、入射したレーザ光を基準に片側に走査する片側走査を行う。つまり、第１電気光学素子２１の屈折率分布により、光学素子２４に入射したレーザ光は第２電極２３側のみに曲げられるため、光学素子２４の第１電極２２側からレーザ光を入射させることにより、スキャン範囲を大きく取ることが可能となっている。
また、光源装置１１は、矢印で示すように、垂直方向ｖと平行な直線偏光（以降ｖ偏光とする）のレーザ光を射出するものである。すなわち、第１電気光学素子２１の電圧の印加方向Ａと、光源装置１１から射出されるレーザ光の偏光方向（ｖ偏光）とを合わせることで、第１電気光学素子２１から最大偏角の光を射出させることが可能となる。
さらに、光源装置１１は、射出されたレーザ光Ｌが電気光学素子２１の入射端面２１ａに対して垂直に入射するように配置されている。
In addition, as shown in FIG. 1, the
The
Further, the
次に、第１電気光学素子の動作について説明する。
第１電極２２には、電源Ｅにより例えば＋１００Ｖの電圧が印加され、第２電極２３には、電源Ｅにより例えば０Ｖの電圧が印加される。第１，第２電極２２，２３に電圧を印加することで、光学素子２４には第１電極２２から第２電極２３に向かって電界が生じる。これにより、光学素子２４の屈折率は、第１電極２２側が低くなり、第２電極２３側に向かって屈折率が徐々に高くなる。これにより、光学素子２４の内部に生じる電界方向Ａと垂直な方向に進行するレーザ光は屈折する。具体的には、第１電気光学素子２１の入射端面２１ａから入射したレーザ光Ｌは、光学素子２４の屈折率が高い第２電極２３側に向かって曲げられる。
Next, the operation of the first electro-optic element will be described.
For example, a voltage of +100 V is applied to the
次に、光源装置から射出されるレーザ光の走査について説明する。
第１電極２２に印加される電圧の波形は、例えば、図２に示すように、鋸歯状の波形である。この初期値Ｓ１（０Ｖ）の電圧を第１電極２２に印加すると、図１に示すように、光源装置１１から射出され光学素子２４を進行するレーザ光Ｌ１は直進し第１電気光学素子２１の射出端面２１ｂから射出される。
Next, scanning of laser light emitted from the light source device will be described.
The waveform of the voltage applied to the
また、第１電極２２に印加する電圧値を、図２の電圧の波形に示すように徐々に上げると、光学素子２４の屈折率勾配が大きくなる。これにより、第１電極２２に印加する電圧を上げ徐々に最大の電圧値Ｓ２（＋１００Ｖ）まで上げると、図１に示すように、光源装置１１から射出され光学素子２４を進行するレーザ光Ｌ２は、光学素子２４内において印加電圧の上昇とともに徐々に大きく屈折する。これにより、第１電気光学素子２１の射出端面２１ｂから射出される光は、スキャン範囲において電界方向Ａと同じ方向に走査される。
Further, when the voltage value applied to the
このように、図２に示す波形の電圧を第１電極２２に印加することで、光源装置１１から射出されたレーザ光Ｌは、電気光学素子２１によりレーザ光Ｌ１からレーザ光Ｌ２までのスキャン範囲（走査範囲）内を走査されるようになっている。すなわち、第１電極２２に印加する電圧を変化させることで、第１電気光学素子２１の射出端面２１ｂから射出されるレーザ光は１次元方向に走査される。
なお、第１電気光学素子２１に印加される印加電圧の値である初期値０Ｖ，最大電圧値＋１００Ｖは一例に過ぎず、第１電気光学素子２１から射出される光の偏角の大きさや、光学素子２４の厚みによって適宜変更が可能である。
2 is applied to the
Note that the initial value 0 V and the maximum voltage value +100 V, which are values of the applied voltage applied to the first electro-
１／２波長板２５は、図１に示すように、当該１／２波長板２５の光学軸（常光と異常光に分かれない方向）Ｐが、入射するレーザ光の偏光方向（ｖ偏光）と４５度の角度をなすように配置されている。このように配置することで、第１電気光学素子２１から射出されたレーザ光は、１／２波長板２５を通過することで複屈折効果により偏光面が９０度回転する。したがって、１／２波長板２５を通過した後のレーザ光は、水平方向ｈと平行な直線偏光（以降ｈ偏光とする）の光となる。
As shown in FIG. 1, the half-
次に、第２電気光学素子について説明する。
第２電気光学素子２６は第１電気光学素子２１と同様の構成であり、配置及び大きさのみ異なる。
すなわち、第２電気光学素子２６は、第１電気光学素子２１と同様に、第１電極２７と、第２電極２８と、光学素子２９とにより構成されている。なお、第２電気光学素子２６も第１電気光学素子２１と同様に、入射したレーザ光を基準に片側に走査する片側走査となっている。
また、光学素子２９の大きさは、第１電気光学素子２１から走査されたレーザ光を入射可能な入射端面２６ａを有する大きさとなっている。
また、第２電極２８より第１電極２７に高い電圧が印加されると、第１電極２７から第２電極２８に向かって（矢印Ｂに示す方向）電界が生じる。その結果、電気光学結晶の屈折率は第１電極２２から第２電極２３に向かって高くなる。また、矢印Ｂは、第１，第２電極２７，２８の配列方向、すなわち、電圧の印加方向である。
Next, the second electro-optical element will be described.
The second electro-
That is, the second electro-
Further, the size of the
Further, when a voltage higher than the
ＫＴＮ結晶は、電圧の印加方向Ａとスキャン方向とが略一致するため、第１電気光学素子２１が光源装置１１から射出されたレーザ光を垂直方向に走査し、第２電気光学素子２６が第１電気光学素子２１から射出されたレーザ光を水平方向に走査するには、第１電気光学素子２１の電圧の印加方向Ａと、第２電気光学素子２６の電圧の印加方向Ｂとを略直交させて配置する。具体的には、第２電気光学素子２６は、第１電気光学素子２１の配置に対して、レーザ光Ｌ１の光路を中心に９０度回転させた状態で、光源装置１１から射出されたレーザ光の光路上に配置されている。これにより、第２電気光学素子２６の射出端面２６ｂから射出される光は、スキャン範囲において電界方向Ｂと同じ方向に走査される。
In the KTN crystal, the voltage application direction A and the scan direction substantially coincide with each other, so the first electro-
次に、光源装置１１から射出されたレーザ光の走査について説明する。
第１電気光学素子２１から射出されたレーザ光Ｌ１は、第２電気光学素子２６によりレーザ光Ｌ１ａからレーザ光Ｌ１ｂまでのスキャン範囲（走査範囲）内を走査されるようになっている。同様に、第１電気光学素子２１から射出されたレーザ光Ｌ２も、第２電気光学素子２６によりレーザ光Ｌ２ａからレーザ光Ｌ２ｂまでのスキャン範囲（走査範囲）内を走査されるようになっている。
Next, scanning of the laser light emitted from the
The laser light L1 emitted from the first electro-
ここで、第１電気光学素子２１から射出され第２電気光学素子２６に向かうｖ偏光の光は、１／２波長板２５によりｈ偏光の光に変換される。このとき、第２電気光学素子２６は、光源装置１１から射出されたレーザ光を水平方向に走査させるため、第１電気光学素子２１の配置に対して、レーザ光Ｌ１の光路を中心に９０度回転させた状態で配置されている。これにより、第２電気光学素子２６に入射する光の偏光方向は、第２電気光学素子２６の電圧の印加方向Ｂと一致するため、第２電気光学素子２６から最大偏角の光を射出させることが可能である。
なお、第２電気光学素子２６から射出されるレーザ光の偏角の大きさは、照明領域Ｋの大きさに応じて、第１，第２電極２７，２８に印加する電圧や、光学素子２９の厚みを変えることで適宜変更が可能となる。
Here, the v-polarized light emitted from the first electro-
The magnitude of the deflection angle of the laser light emitted from the second electro-
本実施形態に係る走査型光学装置１では、１／２波長板２５を備えることにより、第１電気光学素子２１から射出される光の、偏光方向を回転させることができる。したがって、第２電気光学素子２６に入射する光の偏光方向を第２電気光学素子２６の電界方向Ｂに一致させることができるため、第２電気光学素子２６は最大偏角の光を第２電気光学素子２６から射出させることが可能である。したがって、第２電気光学素子２６に印加する電圧に対するスキャン角度（走査角度）の効率を向上させることが可能となる。すなわち、装置全体として低消費電力化を実現することが可能となる。
さらに、第２電気光学素子２６の性能を最大限に利用することができるため、大きな偏角で光を射出させることが可能となる。これにより、第１，第２電気光学素子２１，２６に印加する電圧等を制御することで、照明領域Ｋを所望の形状にすることが容易になる。
また、第１電気光学素子２１においても、入射するレーザ光の偏光方向と第１電気光学素子２１の電圧の印加方向Ａとが一致しているため、第１電気光学素子２１に印加する電圧に対するスキャン角度（走査角度）の効率を向上させることが可能となる。
つまり、本実施形態の走査型光学装置１は、複数の電気光学素子を用いた場合でも、大きな偏角を得ることができるとともに、省電力化を図ることが可能である。
In the scanning
Furthermore, since the performance of the second electro-
Also in the first electro-
That is, the scanning
なお、本実施形態では、第１，第２電気光学素子２１,２６から射出されるレーザ光を片側のみ走査させたが、レーザ光を両側走査させても良い。この構成では、第１電極２２に印加する電圧を正の電圧から負の電圧に変化させることで、第１，第２電気光学素子２１，２６の入射端面２１ａ，２６ａの中央から入射したレーザ光を、当該レーザ光を中心に両側に走査することが可能となる。また、どちらか一方の電気光学素子から射出される光を片側走査にし、他方の電気光学素子から射出される光を両側走査させても良い。
さらに、１／２波長板２５の光学軸Ｐを第１電気光学素子２１から射出されたレーザ光の偏光方向と４５度の角度をなすように配置させたが、第２電気光学素子２６の電圧の印加方向に応じて、第１電気光学素子２１から射出されたレーザ光の偏光方向と光学軸Ｐとのなす角を設定すれば良い。
また、１／２波長板２５が光軸に垂直な面内で回転可能に配置されていても良い。この構成により、第１電気光学素子２１から射出されるレーザ光の偏光方向と第２電気光学素子２６の電圧印加方向Ｂとが９０度ずれていない場合でも１／２波長板２５を回転させることにより調整することが可能となる。
In the present embodiment, the laser light emitted from the first and second electro-
Furthermore, although the optical axis P of the half-
Further, the half-
［第１実施形態の変形例］
図１に示す第１実施形態では、偏光方向回転手段として１／２波長板を用いたが、旋光性を有する物質からなっていても良い。具体的には、偏光方向回転手段としては、水晶等の旋光性結晶や液晶素子を用いても良い。また、旋光性は光学活性とも呼ばれており、光学活性な化学物質としては、砂糖、アミノ酸、コレステロール等の物質が挙げられる。この光学活性を有する水溶液に、第１電気光学素子２１から射出された光を入射させると、偏光面が回転する。したがって、このような水溶液を偏光方向回転手段として用い、第２電気光学素子２６に入射する光の偏光面を第２電気光学素子２６の最大偏角を得ることが可能な偏光方向の光に変換することも可能である。
[Modification of First Embodiment]
In the first embodiment shown in FIG. 1, the half-wave plate is used as the polarization direction rotating means, but it may be made of a substance having optical rotation. Specifically, as the polarization direction rotating means, an optical rotatory crystal such as quartz or a liquid crystal element may be used. Optical rotation is also called optical activity, and examples of optically active chemical substances include substances such as sugar, amino acids, and cholesterol. When the light emitted from the first electro-
［第２実施形態］
次に、本発明に係る第２実施形態について、図３を参照して説明する。なお、以下に説明する各実施形態において、上述した第１実施形態に係る走査型光学装置１と構成を共通とする箇所には同一符号を付けて、説明を省略することにする。
本実施形態に係る走査型光学装置３０では、第１，第２電気光学素子３１，３６として、ＬｉＮｂＯ３（ニオブ酸リチウム）を用いる点において第１実施形態と異なる。また、第１，第２電気光学素子３１，３６の構成及び機能は、第１実施形態の第１，第２電気光学素子２１，２６と同様である。
[Second Embodiment]
Next, a second embodiment according to the present invention will be described with reference to FIG. In each embodiment described below, portions having the same configuration as those of the scanning
The scanning
第１電気光学素子３１は、図３に示すように、第１電気光学素子２１と同様に、第１電極３２と、第２電極３３と、光学素子３４とにより構成されており、第２電気光学素子３６は、第１電極３７と、第２電極３８と、光学素子３９とにより構成されている。
また、光学素子３４，３９は、電気光学効果を有する誘電体結晶（電気光学結晶）であり、本実施形態ではＬｉＮｂＯ３（ニオブ酸リチウム：以下、ＬＮと称す）の組成を有する結晶材料で構成されている。
As shown in FIG. 3, the first electro-
The
第１電気光学素子３１は、ＬＮ結晶からなるため、第１電気光学素子３１の最大偏角を得ることが可能な結晶方位Ｃ１が存在する。同様に、第２電気光学素子３６も、ＬＮ結晶からなるため、第２電気光学素子３６の最大偏角を得ることが可能な結晶方位Ｃ２が存在する。
ここで、本実施形態で用いられる第１，第２電気光学素子３１，３６は、電圧の印加方向と光源装置１１から射出された光の偏光方向と第１，第２電気光学素子３１，３６の結晶方位とが同じである場合、第１，第２電気光学素子３１，３６から最大偏角の光を射出させることが可能な素子である。
したがって、第１電気光学素子３１の第１，第２電極３２，３３は、結晶方位Ｃ１に電圧が印加されるように結晶方位Ｃ１に沿って配置されており、第２電気光学素子３６の第１，第２電極３７，３８も同様に、結晶方位Ｃ２に電圧が印加されるように結晶方位Ｃ２に沿って配置されている。
Since the first electro-
Here, the first and second electro-
Accordingly, the first and
また、ＬＮ結晶は、結晶方位Ｃ１，Ｃ２とスキャン方向とが略一致するため、第１電気光学素子３１が光源装置１１から射出された光を垂直方向に走査し、第２電気光学素子３６が第１電気光学素子３１から射出された光を水平方向に走査するには、第１電気光学素子３１の結晶方位Ｃ１と、第２電気光学素子３６の結晶方位Ｃ２とを略直交させて配置する。
また、第１電気光学素子３１から射出され第２電気光学素子３６に向かうｖ偏光の光は、１／２波長板２５によりｈ偏光の光に変換される。これにより、第２電気光学素子３６に入射する光は、第２電気光学素子３６の結晶方位Ｃ２と一致するため、第２電気光学素子３６から最大偏角の光を射出させることが可能となる。
In addition, since the crystal orientations C1 and C2 of the LN crystal substantially coincide with the scan direction, the first electro-
Further, the v-polarized light emitted from the first electro-
以上より、第１実施形態では、光学素子として等方性であるＫＴＮ結晶を用いているため、結晶方位を考慮する必要はなかったが、本実施形態で用いたＬＮ結晶のように、電気光学効果が結晶方位依存性を有する場合、結晶方位を考慮する必要が生じる。そこで、本実施形態のように、第１電気光学素子３１から射出された光の偏光方向を変換し、第２電気光学素子３６に入射する光の偏光方向を第２電気光学素子３６の結晶方位Ｃ２に一致させる。これにより、第２電気光学素子３６の印加電圧に対するスキャン角度（走査角度）の効率を向上させることが可能となる。
As described above, in the first embodiment, since the isotropic KTN crystal is used as the optical element, it is not necessary to consider the crystal orientation. However, like the LN crystal used in the present embodiment, the electro-optic When the effect has crystal orientation dependency, it is necessary to consider the crystal orientation. Therefore, as in this embodiment, the polarization direction of the light emitted from the first electro-
［第３実施形態］
次に、本発明に係る第３実施形態について、図４を参照して説明する。
第１実施形態では、単色の光源装置を用いた走査型光学装置の例を説明したが、本実施形態に係る走査型光学装置４０は、３色の光源装置を用いて、スクリーンに画像を投影させる画像表示装置である。また、本実施形態に用いられる光走査部２０は第１，第２実施形態と同様のものである。
[Third Embodiment]
Next, a third embodiment according to the present invention will be described with reference to FIG.
In the first embodiment, an example of a scanning optical device using a monochromatic light source device has been described. However, the scanning
本実施形態に係る画像表示装置４０は、図４に示すように、赤色のレーザ光を射出する赤色光源装置（光源装置）４０Ｒと、緑色のレーザ光を射出する緑色光源装置（光源装置）４０Ｇと、青色のレーザ光を射出する青色光源装置（光源装置）４０Ｂと、クロスダイクロイックプリズム４６と、クロスダイクロイックプリズム４６から射出されたレーザ光をスクリーン４５の垂直方向に走査する第１電気光学素子２１と、第１電気光学素子２１から射出されたレーザ光をスクリーン４５の水平方向に走査する第２電気光学素子２６とを備えている。
また、第１電気光学素子２１と第２電気光学素子２６の間の光路上には１／２波長板２５が設けられている。
As shown in FIG. 4, the
A half-
次に、以上の構成からなる本実施形態の画像表示装置４０を用いて、画像をスクリーン４５に投射する方法について説明する。
各光源装置４０Ｒ，４０Ｇ，４０Ｂから射出された複数のレーザ光は、クロスダイクロイックプリズム４６で合成され電気光学素子２１に入射する。第１電気光学素子２１に入射したレーザ光は、スクリーン４５の垂直方向に走査され、第２電気光学素子２６により水平方向に走査されてスクリーン４５に投影される。
Next, a method of projecting an image on the
The plurality of laser beams emitted from the
本実施形態に係る画像表示装置４０では、第１実施形態の走査型光学装置１と同様の効果を得ることができる。さらに、本実施形態の画像表示装置４０では、第１，第２電気光学素子２１，２６から射出されるレーザ光の偏角が大きいため、ＤＣＩ（Digital Cinema Initiatives）仕様の４ｋ等の解像度に対応可能となる。したがって、画質の劣化を生じさせることなく、画像をより鮮明にスクリーン４５に表示させることができる。また、本実施形態の画像表示装置４０では、第２電気光学素子２６の印加電圧に対するスキャン角度の効率を向上させることができるため、装置全体の低消費電力化を図ることが可能となる。
In the
しかも、第１，第２電気光学素子２１，２６からなる走査手段は、ＭＥＭＳスキャナより高速に走査することができるため、本実施形態のように、水平走査及び垂直走査ともに電気光学素子からなる走査手段を用いることにより、高性能な画像表示装置の実現が期待できる。
In addition, since the scanning unit including the first and second electro-
なお、本発明の技術範囲は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。
例えば、光源装置としてｖ偏光のレーザ光を射出するものを用いたが、ｈ偏光のレーザ光を射出するものを用いても良い。この構成の場合、上記第１電気光学素子及び第２電気光学素子の配置をレーザ光の光路を中心に９０度回転させた状態で配置すれば良い。
また、第１，第２電気光学素子の最大偏角を得ることが可能な偏光方向が、電圧の印加方向と垂直な方向に振動する方向である場合も、上記第１電気光学素子及び第２電気光学素子の配置をレーザ光の光路を中心に９０度回転させた状態で配置すれば良い。
さらに、第２電気光学素子に入射する光の偏光方向を第２電気光学素子の電圧の印加方向に一致させたが、電圧の印加方向に近づけるだけでも、第２電気光学素子に入射する光の偏光方向と第２電気光学素子の電圧の印加方向とが９０度ずれている場合に比べて大きな偏角を得ることができる。
The technical scope of the present invention is not limited to the above embodiment, and various modifications can be made without departing from the spirit of the present invention.
For example, a light source device that emits v-polarized laser light is used, but a light source device that emits h-polarized laser light may be used. In the case of this configuration, the first electro-optic element and the second electro-optic element may be arranged in a state where the arrangement is rotated 90 degrees around the optical path of the laser beam.
The first electro-optic element and the second electro-optic element can also be used when the polarization direction capable of obtaining the maximum deflection angle of the first and second electro-optic elements is a direction that vibrates in a direction perpendicular to the voltage application direction. What is necessary is just to arrange | position the electro-optical element in the state rotated 90 degree | times centering on the optical path of a laser beam.
Further, although the polarization direction of the light incident on the second electro-optical element is made to coincide with the voltage application direction of the second electro-optical element, the light incident on the second electro-optical element can be simply moved closer to the voltage application direction. A large deflection angle can be obtained as compared with the case where the polarization direction and the voltage application direction of the second electro-optic element are shifted by 90 degrees.
また、垂直走査を行う電気光学素子をレーザ光の光路上の前段に配置したが、水平走査を行う電気光学素子を前段に配置しても良い。
さらに、電気光学素子を２つ用いて説明したが、個数はこれに限るものではない。例えば、第２電気光学素子から射出される光の偏角を大きくしたり、歪みを補正するために、第２電気光学素子の後段側に電気光学素子を設けても良い。
また、第３実施形態では、走査型光学装置として画像表示装置について説明したが、これに限らず、レーザ光を２方向に走査する装置に適用することが可能である。
Further, although the electro-optical element that performs vertical scanning is disposed in the preceding stage on the optical path of the laser light, the electro-optical element that performs horizontal scanning may be disposed in the preceding stage.
Furthermore, although two electro-optical elements have been described, the number is not limited to this. For example, an electro-optic element may be provided on the rear side of the second electro-optic element in order to increase the declination of light emitted from the second electro-optic element or correct the distortion.
In the third embodiment, the image display apparatus is described as the scanning optical apparatus. However, the present invention is not limited to this, and the present invention can be applied to an apparatus that scans laser light in two directions.
Ｃ１，Ｃ２…結晶方位、１，３０，４０…走査型光学装置、１１…光源装置、２０…光走査部、２１，３１…第１電気光学素子、２６，３６…第２電気光学素子、２５…１／２波長板（偏光方向回転手段）、４０Ｒ…赤色光源装置（光源装置）、４０Ｇ…緑色光源装置（光源装置）、４０Ｂ…青色光源装置（光源装置） C1, C2 ... crystal orientation, 1, 30, 40 ... scanning optical device, 11 ... light source device, 20 ... optical scanning unit, 21, 31 ... first electro-optic element, 26, 36 ... second electro-optic element, 25 ... 1/2 wavelength plate (polarization direction rotating means), 40R ... red light source device (light source device), 40G ... green light source device (light source device), 40B ... blue light source device (light source device)
Claims (7)
内部に生じる電界の大きさに応じて屈折率分布が変化することによって、前記光源装置から射出されるレーザ光を一方向に走査する第１電気光学素子及び該第１電気光学素子から射出されたレーザ光を前記一方向と異なる方向に走査する第２電気光学素子を有する光走査部と、
前記第１電気光学素子と前記第２電気光学素子との間の光路上に設けられ前記第１電気光学素子から射出された光の偏光方向を回転させる偏光方向回転手段とを備えることを特徴とする走査型光学装置。 A light source device for emitting laser light;
The refractive index distribution changes according to the magnitude of the electric field generated inside, so that the first electro-optic element that scans the laser light emitted from the light source device in one direction and the first electro-optic element emitted from the first electro-optic element An optical scanning unit having a second electro-optic element that scans laser light in a direction different from the one direction;
And a polarization direction rotating means provided on an optical path between the first electro-optical element and the second electro-optical element, and configured to rotate a polarization direction of light emitted from the first electro-optical element. Scanning optical device.
前記偏光方向回転手段が、前記第１電気光学素子から射出された光に、前記第１電気光学素子から射出されたレーザ光の偏光方向が前記第２電気光学素子の最大偏角を得ることが可能な前記第２電気光学素子の結晶方位に一致するような偏光方向に回転させることを特徴とする請求項１から請求項５のいずれか１項に記載の走査型光学装置。 The electro-optic effect of the first electro-optic element and the second electro-optic element has crystal orientation dependence,
The polarization direction rotating means obtains the maximum deflection angle of the second electro-optic element when the polarization direction of the laser light emitted from the first electro-optic element is obtained from the light emitted from the first electro-optic element. 6. The scanning optical device according to claim 1, wherein the scanning optical device is rotated in a polarization direction so as to coincide with a crystal orientation of the possible second electro-optical element. 7.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2006282603A JP2008102190A (en) | 2006-10-17 | 2006-10-17 | Scanning type optical device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2006282603A JP2008102190A (en) | 2006-10-17 | 2006-10-17 | Scanning type optical device |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2008102190A true JP2008102190A (en) | 2008-05-01 |
Family
ID=39436586
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2006282603A Withdrawn JP2008102190A (en) | 2006-10-17 | 2006-10-17 | Scanning type optical device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2008102190A (en) |
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009276625A (en) * | 2008-05-15 | 2009-11-26 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | Synthetic aperture light deflection element |
| JP2010085916A (en) * | 2008-10-02 | 2010-04-15 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | Light deflector |
| JP2010243874A (en) * | 2009-04-08 | 2010-10-28 | Olympus Corp | Optical scanner, endoscope device equipped with the same and method of optical scanning |
| JP2012014119A (en) * | 2010-07-05 | 2012-01-19 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | Light deflector |
| JP2014021271A (en) * | 2012-07-18 | 2014-02-03 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | Scanner device using ktn crystal |
| JP2014098755A (en) * | 2012-11-13 | 2014-05-29 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | Laser display device |
| JP2017111262A (en) * | 2015-12-15 | 2017-06-22 | 日本電信電話株式会社 | Optical deflector and control method therefor |
| JP2018112625A (en) * | 2017-01-10 | 2018-07-19 | 日本電信電話株式会社 | Two-dimensional light deflector |
| CN109725472A (en) * | 2017-10-30 | 2019-05-07 | 福州高意通讯有限公司 | A kind of OSA of electropical scanning |
| CN110366699A (en) * | 2017-04-20 | 2019-10-22 | 松下知识产权经营株式会社 | Optical scanning device, optical receiving device and optical detection system |
-
2006
- 2006-10-17 JP JP2006282603A patent/JP2008102190A/en not_active Withdrawn
Cited By (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009276625A (en) * | 2008-05-15 | 2009-11-26 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | Synthetic aperture light deflection element |
| JP2010085916A (en) * | 2008-10-02 | 2010-04-15 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | Light deflector |
| JP2010243874A (en) * | 2009-04-08 | 2010-10-28 | Olympus Corp | Optical scanner, endoscope device equipped with the same and method of optical scanning |
| JP2012014119A (en) * | 2010-07-05 | 2012-01-19 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | Light deflector |
| JP2014021271A (en) * | 2012-07-18 | 2014-02-03 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | Scanner device using ktn crystal |
| JP2014098755A (en) * | 2012-11-13 | 2014-05-29 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | Laser display device |
| JP2017111262A (en) * | 2015-12-15 | 2017-06-22 | 日本電信電話株式会社 | Optical deflector and control method therefor |
| JP2018112625A (en) * | 2017-01-10 | 2018-07-19 | 日本電信電話株式会社 | Two-dimensional light deflector |
| CN110366699A (en) * | 2017-04-20 | 2019-10-22 | 松下知识产权经营株式会社 | Optical scanning device, optical receiving device and optical detection system |
| JPWO2018193723A1 (en) * | 2017-04-20 | 2020-02-27 | パナソニックＩｐマネジメント株式会社 | Optical scanning device, optical receiving device, and optical detection system |
| JP7162266B2 (en) | 2017-04-20 | 2022-10-28 | パナソニックＩｐマネジメント株式会社 | Optical scanning device, optical receiving device, and optical detection system |
| US11644540B2 (en) | 2017-04-20 | 2023-05-09 | Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. | Optical scanning device, photoreceiver device, and photodetection system |
| CN110366699B (en) * | 2017-04-20 | 2023-09-22 | 松下知识产权经营株式会社 | Optical scanning device, optical receiving device, and optical detection system |
| CN109725472A (en) * | 2017-10-30 | 2019-05-07 | 福州高意通讯有限公司 | A kind of OSA of electropical scanning |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2008102190A (en) | Scanning type optical device | |
| JP4229192B2 (en) | Electro-optical element and scanning optical apparatus | |
| US6945652B2 (en) | Projection display device | |
| JP4479713B2 (en) | Electro-optical element and scanning optical apparatus | |
| US7965439B2 (en) | Scanning device and scanning type optical apparatus | |
| US9182600B2 (en) | Image display apparatus and head-mounted display | |
| US20060007362A1 (en) | Apparatus for and method of scaling a scanning angle and image projection apparatus incorporating the same | |
| US20120257267A1 (en) | Scanning device, image display device, and method for controlling image display device | |
| EP2672308A2 (en) | Image display apparatus and head-mounted display | |
| RU2503050C1 (en) | Video projector | |
| JP4770693B2 (en) | Scanning optical device | |
| EP2733516A1 (en) | Image display apparatus and head-mounted display | |
| CN202583679U (en) | Laser display system based on electro-optical deflection speckle suppression | |
| JP2013156466A (en) | Laser scanning projector and three-dimensional display system | |
| JP2008287149A (en) | Image display device | |
| US9182595B2 (en) | Image display devices | |
| JP4710801B2 (en) | Scanning optical device | |
| JP4645574B2 (en) | Scanning optical device | |
| JP2008107546A (en) | Scanning type optical equipment | |
| JP2008064793A (en) | Scanning type optical device | |
| JP4735608B2 (en) | Image display device | |
| US7564616B2 (en) | Electro-optical element and scanning optical apparatus | |
| JP2008116734A (en) | Scanning type optical device | |
| JP2008040089A (en) | Electro-optical device and scanning optical device | |
| JP2008065036A (en) | Scanning type optical device |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20100105 |