JP2008098468A - 熱処理装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】熱処理プレート11には円筒状の孔部31が穿設されている。孔部31にはスペーサ32とプロキシミティボール30とが順に入れられる。スペーサ32は、ステンレス鋼にて形成された円筒形状部材である。プロキシミティボール30は、アルミナにて形成された球体である。それらの上からガイドキャップ35を所定のトルクにて孔部31に螺合する。ガイドキャップ35がプロキシミティボール30を下方へと押圧する力と、それに対抗するスペーサ32からの反力によってプロキシミティボール30が熱処理プレート11に固定される。このときに、プロキシミティボール30の上端部が熱処理プレート11の上面11aから所定の高さだけ突出する。
【選択図】図4
Description
11 熱処理プレート
30 プロキシミティボール
31 孔部
32 スペーサ
35 ガイドキャップ
36 中空部
37 開口部
W 基板
Claims (3)
- 温調機構を有する熱処理プレートによって基板の熱処理を行う熱処理装置であって、
前記熱処理プレートの上面に穿設された有底円筒形状の孔部の底面上に設置され、所定の厚さを有するスペーサと、
前記孔部に入れられて前記スペーサの上面に載置される低伝熱性の球体と、
前記球体を受け入れ可能な中空部および前記中空部に連通する上部開口を有し、前記孔部に螺合されることによって前記球体の上端部を前記上部開口から突出させつつ前記球体を前記スペーサ上に固定するキャップ部材と、
を備え、
前記孔部に前記キャップ部材が螺合されたときに、前記スペーサ上に固定された前記球体の上端部が前記熱処理プレートの上面から所定高さ突出することを特徴とする熱処理装置。 - 請求項1記載の熱処理装置において、
前記スペーサの硬度は前記熱処理プレートの硬度よりも高いことを特徴とする熱処理装置。 - 請求項2記載の熱処理装置において、
前記スペーサはステンレス鋼にて形成されていることを特徴とする熱処理装置。
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