JP2008080209A - Suction unit, liquid droplet discharge device, manufacturing method of electrooptical device, electrooptical device and electronic device - Google Patents

Suction unit, liquid droplet discharge device, manufacturing method of electrooptical device, electrooptical device and electronic device Download PDF

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a suction unit capable of washing the inside of a head cap on which a functional liquid is fixedly deposited. <P>SOLUTION: The suction unit is equipped with a head cap 104 for sealing the nozzle surface 31 of an ink jet type functional liquid droplet discharge head 17, the suction means 102 communicating with the head cap 104 and performing cleaning operation for sucking a functional liquid from a plurality of nozzles in the functional liquid droplet discharge head 17 through the head cap 104 for sealing the nozzle surface 31 and a supply means 103 for supplying a washing liquid into the head cap 104. <P>COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT

Description

本発明は、インクジェット方式の機能液滴吐出ヘッドから機能液を吸引してクリーニング動作を行う吸引ユニット、液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器に関するものである。   The present invention relates to a suction unit, a droplet discharge device, a method for manufacturing an electro-optical device, an electro-optical device, and an electronic apparatus that perform a cleaning operation by sucking a functional liquid from an inkjet functional droplet discharge head.

従来、インクジェットヘッドである機能液滴吐出ヘッドを用いた描画処理により、液晶表示装置のカラーフィルタや有機ＥＬ装置の各画素となる発光素子等を形成する液滴吐出装置が考えられている。そして、この液滴吐出装置には、吸引ユニット（機能液滴吐出ヘッドの吸引装置）を備えたものが知られている。吸引ユニットは、機能液滴吐出ヘッドのノズル面をヘッドキャップ（キャップ）で封止し、ヘッドキャップに連通した吸引手段（エゼクタ）を駆動することで、給液タンクに貯留された機能液を機能液滴吐出ヘッドに充填する初期充填処理や、機能液滴吐出ヘッドの吐出機能保全のためのクリーニング動作を行うものである。（例えば、特許文献１参照。）
特開２００４−２０９４６１号公報 2. Description of the Related Art Conventionally, there has been considered a droplet discharge device that forms a color filter of a liquid crystal display device, a light emitting element that becomes each pixel of an organic EL device, or the like by a drawing process using a functional droplet discharge head that is an inkjet head. In addition, this droplet discharge device is known to include a suction unit (a suction device for a functional droplet discharge head). The suction unit seals the nozzle surface of the functional liquid droplet ejection head with a head cap (cap) and drives the suction means (ejector) communicating with the head cap to function the functional liquid stored in the liquid supply tank An initial filling process for filling the droplet discharge head and a cleaning operation for maintaining the discharge function of the functional droplet discharge head are performed. (For example, refer to Patent Document 1.)
JP 2004-209461 A

ところで、特に量産装置では、搭載された機能液滴吐出ヘッドは描画処理に長時間使用されるが、その分、クリーニング頻度が少なくなり、ヘッドキャップが放置され、ヘッドキャップ内に残った機能液が乾燥して固着しやすくなる。このため、機能液による詰まりが生じ、結果的にクリーニング不良が発生するおそれがあった。この場合、ヘッドキャップを分解または交換することでしか対応できないという問題があった。   By the way, in the mass production apparatus, the mounted functional liquid droplet ejection head is used for a long time for the drawing process, but the cleaning frequency is reduced accordingly, the head cap is left unattended, and the functional liquid remaining in the head cap is removed. It becomes easy to dry and stick. For this reason, clogging with the functional liquid may occur, resulting in a possibility of defective cleaning. In this case, there is a problem that it can be dealt with only by disassembling or replacing the head cap.

本発明は、機能液が固着したヘッドキャップ内を洗浄することができる吸引ユニット、液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器に関するものである。   The present invention relates to a suction unit, a droplet discharge device, an electro-optical device manufacturing method, an electro-optical device, and an electronic apparatus that can clean the inside of a head cap to which a functional liquid is fixed.

本発明の吸引ユニットは、インクジェット方式の機能液滴吐出ヘッドのノズル面を封止するヘッドキャップと、ヘッドキャップに連通し、ノズル面を封止したヘッドキャップを介して、機能液滴吐出ヘッド内の複数のノズルから機能液を吸引するクリーニング動作を行う吸引手段と、ヘッドキャップ内に洗浄液を供給する供給手段と、を備えたことを特徴とする。   The suction unit of the present invention includes a head cap that seals a nozzle surface of an ink jet type functional droplet discharge head, and a head cap that communicates with the head cap and seals the nozzle surface. A suction means for performing a cleaning operation for sucking the functional liquid from the plurality of nozzles, and a supply means for supplying the cleaning liquid into the head cap.

この構成によれば、機能液滴吐出ヘッドのクリーニング動作後、ヘッドキャップ内に機能液が残存し、この機能液がヘッドキャップ内に固着してしまったとしても、ヘッドキャップ内に洗浄液を供給することで、ヘッドキャップ内に固着した機能液を溶解して取り除くことができる。したがって、適切に吸引でき、クリーニング不良を防ぐことができる。   According to this configuration, even after the functional liquid droplet ejection head is cleaned, the functional liquid remains in the head cap, and the cleaning liquid is supplied into the head cap even if the functional liquid adheres to the head cap. As a result, the functional liquid fixed in the head cap can be dissolved and removed. Therefore, it can suck | suck appropriately and can prevent a cleaning defect.

この場合、吸引手段は、ヘッドキャップに連通する吸引流路と、吸引流路の下流端に設けられた回収タンクと、回収タンクに向けて機能液を吸引する吸引アクチュエータと、を有することが好ましい。   In this case, the suction means preferably includes a suction flow path communicating with the head cap, a recovery tank provided at the downstream end of the suction flow path, and a suction actuator that sucks the functional liquid toward the recovery tank. .

この構成によれば、吸引手段は、吸引アクチュエータにより機能液を吸引することでクリーニング動作を行い、吸引した機能液を吸引流路から排出できると共に、回収タンクに回収させることができる。   According to this configuration, the suction unit can perform the cleaning operation by sucking the functional liquid by the suction actuator, and can discharge the sucked functional liquid from the suction flow path and collect it in the collection tank.

これらの場合、供給手段は、ヘッドキャップに連通する供給流路と、供給流路の上流端に設けられた洗浄液タンクと、洗浄液タンク内の洗浄液をヘッドキャップに送液する供給アクチュエータと、を有することが好ましい。   In these cases, the supply means includes a supply flow path communicating with the head cap, a cleaning liquid tank provided at the upstream end of the supply flow path, and a supply actuator for supplying the cleaning liquid in the cleaning liquid tank to the head cap. It is preferable.

この構成によれば、供給手段は、供給アクチュエータにより洗浄液タンク内の洗浄液を供給流路からヘッドキャップに送液することができる。   According to this configuration, the supply means can send the cleaning liquid in the cleaning liquid tank from the supply flow path to the head cap by the supply actuator.

これらの場合、吸引手段と供給手段とを制御する制御手段を、更に備え、制御手段は、機能液滴吐出ヘッドのノズル面の封止を解いた状態のヘッドキャップに対し、供給手段を制御して、ヘッドキャップ内に洗浄液を供給させると共に、吸引手段を制御して、ヘッドキャップ内の洗浄液を吸引させることで、ヘッドキャップを洗浄する洗浄動作を行うことが好ましい。   In these cases, control means for controlling the suction means and the supply means is further provided, and the control means controls the supply means for the head cap in a state where the nozzle surface of the functional liquid droplet ejection head is unsealed. It is preferable to perform a cleaning operation for cleaning the head cap by supplying the cleaning liquid into the head cap and controlling the suction means to suck the cleaning liquid in the head cap.

この構成によれば、ヘッドキャップ内に供給した洗浄液を吸引することで、ヘッドキャップ内に固着した機能液を溶解した洗浄液を、ヘッドキャップ外に速やかに排出することができる。   According to this configuration, by sucking the cleaning liquid supplied into the head cap, the cleaning liquid in which the functional liquid fixed in the head cap is dissolved can be quickly discharged out of the head cap.

この場合、吸引手段により吸引される機能液の流量を測定する排液流量手段を、更に備え、制御手段は、クリーニング動作の際に、排液流量手段により測定された流量が所定の閾値未満である場合、洗浄動作を行った上でクリーニング動作を再度行わせることが好ましい。   In this case, the apparatus further comprises a drainage flow means for measuring the flow rate of the functional liquid sucked by the suction means, and the control means has a flow rate measured by the drainage flow means less than a predetermined threshold during the cleaning operation. In some cases, it is preferable to perform the cleaning operation again after performing the cleaning operation.

この構成によれば、クリーニングの際に吸引される機能液の流量を測定することで、クリーニング不良を認識することができる。測定された機能液の流量が所定の閾値未満のときに洗浄動作を行うことで、必要最小限の洗浄動作でヘッドキャップ内の機能液による詰まりを取り除くことができ、クリーニング不良を解消できる。   According to this configuration, it is possible to recognize a cleaning failure by measuring the flow rate of the functional liquid sucked during cleaning. By performing the cleaning operation when the measured flow rate of the functional liquid is less than the predetermined threshold, clogging by the functional liquid in the head cap can be removed with the minimum necessary cleaning operation, and defective cleaning can be eliminated.

この場合、制御手段は、機能液の流量が閾値未満である場合、機能液の流量が閾値以上になるまで、クリーニング動作と洗浄動作とを所定回数を上限とする範囲内で繰り返し行い、所定回数のクリーニング動作と洗浄動作とを行っても、機能液の流量が閾値未満の場合は、その旨を報知する報知手段を、更に備えたことが好ましい。   In this case, when the flow rate of the functional liquid is less than the threshold value, the control unit repeatedly performs the cleaning operation and the cleaning operation within a range up to a predetermined number of times until the flow rate of the functional liquid becomes equal to or higher than the threshold value. Even when the cleaning operation and the cleaning operation are performed, if the flow rate of the functional liquid is less than the threshold value, it is preferable to further include an informing means for informing that effect.

この構成によれば、所定回数のクリーニング動作を行っても機能液の流量が閾値未満の場合、クリーニング不良の原因がヘッドキャップ内の機能液による詰まり以外にあると考えられる。この時、所定回数を超えるクリーニング動作を行ってもクリーニング効果は期待できず、無駄な動作になる。そこで、クリーニング動作の回数に上限を設け、無駄なクリーニング動作を行わないようにすることで、クリーニング動作における機能液の浪費をなくすことができる。また、上記の状況を報知することにより、ユーザーにヘッドキャップ本体のメンテナンス等の適切な対応を促すことができる。   According to this configuration, if the flow rate of the functional liquid is less than the threshold even after a predetermined number of cleaning operations, it is considered that the cause of the cleaning failure is other than the clogging with the functional liquid in the head cap. At this time, even if a cleaning operation exceeding a predetermined number of times is performed, a cleaning effect cannot be expected, and the operation becomes useless. Therefore, by setting an upper limit on the number of cleaning operations so as not to perform useless cleaning operations, it is possible to eliminate the waste of functional liquid in the cleaning operation. In addition, by notifying the above situation, it is possible to prompt the user to take appropriate measures such as maintenance of the head cap body.

これらの場合、ヘッドキャップ内が洗浄液で満液になることを検知する液量検知手段を、更に備え、制御手段は、供給手段を制御して、液量検知手段によりヘッドキャップ内が満液になることが検知されるまで、ヘッドキャップ内に洗浄液を供給させた後、吸引手段を制御して、ヘッドキャップ内の洗浄液を吸引することが好ましい。   In these cases, the head cap is further provided with a liquid amount detecting means for detecting that the inside of the head cap is filled with the cleaning liquid, and the control means controls the supply means so that the head cap is filled with the liquid amount detecting means. It is preferable to supply the cleaning liquid into the head cap until it is detected, and then control the suction means to suck the cleaning liquid in the head cap.

この構成によれば、ヘッドキャップ内を洗浄液で満液にしてから吸引することで、ヘッドキャップ内の壁面や隅角に固着した機能液を溶解し、取り除くことができる。   According to this configuration, the functional liquid fixed to the wall surface and corners in the head cap can be dissolved and removed by suction after the inside of the head cap is filled with the cleaning liquid.

これらの場合、洗浄液が、機能液の溶媒であることが好ましい。   In these cases, the cleaning liquid is preferably a solvent for the functional liquid.

この構成によれば、ヘッドキャップ内の洗浄液と共に、機能液を吸引して回収した場合に、回収した機能液を容易に再利用することができる。   According to this configuration, when the functional liquid is sucked and collected together with the cleaning liquid in the head cap, the collected functional liquid can be easily reused.

本発明の液滴吐出装置は、上述した吸引ユニットと、機能液滴吐出ヘッドを搭載すると共に、ワークに対し、機能液滴吐出ヘッドから機能液を吐出して描画処理を行う描画手段と、を備えたことを特徴とする。   The droplet discharge apparatus of the present invention includes the above-described suction unit and a functional droplet discharge head, and a drawing unit that performs drawing processing by discharging functional liquid from the functional droplet discharge head to a workpiece. It is characterized by having.

この構成によれば、機能液が固着したヘッドキャップ内を洗浄することができる吸引ユニットを備えたことで、ヘッドキャップが詰まった場合でも、ヘッドキャップの分解等を行うことなく容易に詰まりを解消できるため、クリーニング不良が解消できると共に、装置の稼動効率を向上させることができる。   According to this configuration, by providing the suction unit that can clean the inside of the head cap to which the functional liquid adheres, even if the head cap is clogged, clogging can be easily eliminated without disassembling the head cap. Therefore, the cleaning failure can be eliminated and the operation efficiency of the apparatus can be improved.

本発明の電気光学装置の製造方法は、上記した液滴吐出装置を用い、ワーク上に機能液による成膜部を形成することを特徴とする。   A method for manufacturing an electro-optical device according to the present invention is characterized in that a film forming portion is formed by a functional liquid on a workpiece using the above-described droplet discharge device.

また、本発明の電気光学機器は、上記した液滴吐出装置を用い、ワーク上に機能液による成膜部を形成したことを特徴とする。   In addition, an electro-optical device according to the present invention is characterized in that a film forming portion made of a functional liquid is formed on a workpiece using the above-described droplet discharge device.

これらの構成によれば、クリーニング不良対策を施し、稼動効率を向上させた液滴吐出装置により製造することで、ワークの生産性を向上させることができる。なお、電気光学装置（フラットパネルディスプレイ：ＦＰＤ）としては、カラーフィルタ、液晶表示装置、有機ＥＬ装置、ＰＤＰ装置、電子放出装置等が考えられる。なお、電子放出装置は、いわゆるＦＥＤ（Field Emission Display）やＳＥＤ（Surface-conduction Electron-Emitter Display）装置を含む概念である。さらに、電気光学装置としては、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等を包含する装置が考えられる。   According to these configurations, the productivity of the workpiece can be improved by manufacturing with the droplet discharge device that takes measures against cleaning failure and improves the operation efficiency. As an electro-optical device (flat panel display: FPD), a color filter, a liquid crystal display device, an organic EL device, a PDP device, an electron emission device, and the like are conceivable. The electron emission device is a concept including a so-called FED (Field Emission Display) or SED (Surface-conduction Electron-Emitter Display) device. Further, as the electro-optical device, devices including metal wiring formation, lens formation, resist formation, light diffuser formation, and the like are conceivable.

本発明の電子機器は、上記した電気光学装置の製造方法により製造した電気光学装置または上記した電気光学装置を搭載したことを特徴とする。   An electronic apparatus according to an aspect of the invention includes the electro-optical device manufactured by the above-described method for manufacturing the electro-optical device or the above-described electro-optical device.

この場合、電子機器としては、いわゆるフラットパネルディスプレイを搭載した携帯電話、パーソナルコンピュータのほか、各種の電気製品がこれに該当する。   In this case, examples of the electronic device include a mobile phone and a personal computer equipped with a so-called flat panel display, and various electric products.

以下、添付の図面を参照して、本発明の一実施形態について説明する。本実施形態に係る液滴吐出装置は、フラットパネルディスプレイの製造ラインに組み込まれており、例えば、特殊なインクや発光性の樹脂液である機能液を導入した機能液滴吐出ヘッドを用い、液晶表示装置のカラーフィルタや有機ＥＬ装置の各画素となる発光素子等を形成（インクジェット法により印刷）するものである。   Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. The liquid droplet ejection apparatus according to the present embodiment is incorporated in a flat panel display production line, and uses, for example, a functional liquid droplet ejection head into which a special ink or a functional liquid that is a light-emitting resin liquid is introduced, and a liquid crystal A color filter of a display device, a light emitting element that becomes each pixel of an organic EL device, or the like is formed (printed by an ink jet method).

図１に示すように、液滴吐出装置１は、機台２と、機台２上に載置され、機能液滴吐出ヘッド１７を搭載した描画装置３と、機台２上で描画装置３に添設されたメンテナンス装置４と、液滴吐出装置１の各部を制御する制御装置５（図２参照）とを、備えている。制御装置５は、パソコンで構成され、各種データ等を入力するためのキーボード５ａと、入力結果や各種情報を表示するモニター５ｂとを、有している。   As shown in FIG. 1, the droplet discharge device 1 includes a machine base 2, a drawing device 3 mounted on the machine base 2 and equipped with a functional droplet discharge head 17, and a drawing device 3 on the machine base 2. And a control device 5 (see FIG. 2) for controlling each part of the droplet discharge device 1. The control device 5 is composed of a personal computer, and has a keyboard 5a for inputting various data and the like, and a monitor 5b for displaying input results and various information.

描画装置３は、Ｘ軸方向に延在するＸ軸テーブル１１と、Ｘ軸テーブル１１に直交するＹ軸テーブル１２と、Ｙ軸テーブル１２に移動自在に吊設されたキャリッジ１５と、を有している。そして、キャリッジ１５には、機能液滴吐出ヘッド１７が搭載されている。なお、図１では、機能液滴吐出ヘッド１７を単一のものとして示すが、その個数および配列は任意である。   The drawing apparatus 3 includes an X-axis table 11 that extends in the X-axis direction, a Y-axis table 12 that is orthogonal to the X-axis table 11, and a carriage 15 that is movably suspended from the Y-axis table 12. ing. A functional droplet discharge head 17 is mounted on the carriage 15. In FIG. 1, the functional droplet discharge head 17 is shown as a single unit, but the number and arrangement thereof are arbitrary.

Ｘ軸テーブル１１は、Ｘ軸方向の駆動系を構成するモータ駆動のＸ軸スライダ１３を有し、セットテーブル１６を移動自在に搭載して構成されている。セットテーブル１６は、吸着テーブルで構成され、描画対象となる基板Ｗを吸着セットする。同様に、Ｙ軸テーブル１２は、Ｙ軸方向の駆動系を構成するモータ駆動のＹ軸スライダ１４を有し、これに上記のキャリッジ１５を介して機能液滴吐出ヘッド１７を移動自在に搭載して、構成されている。   The X-axis table 11 includes a motor-driven X-axis slider 13 that constitutes a drive system in the X-axis direction, and is configured by a set table 16 that is movably mounted. The set table 16 is constituted by a suction table, and suction sets the substrate W to be drawn. Similarly, the Y-axis table 12 has a motor-driven Y-axis slider 14 that constitutes a drive system in the Y-axis direction, and a functional liquid droplet ejection head 17 is movably mounted thereon via the carriage 15. Configured.

Ｙ軸テーブル１２は、機台２上に立設した左右の支柱２１、２１に支持されており、Ｘ軸テーブル１１とメンテナンス装置４とを跨ぐように延在している。そして、Ｙ軸テーブル１２は、機能液滴吐出ヘッド１７をＸ軸テーブル１１の直上部とメンテナンス装置４の各ユニット（後述する）との間で移動させ、また、後述する描画処理において機能液滴吐出ヘッド１７を副走査させる。   The Y-axis table 12 is supported by left and right columns 21, 21 erected on the machine base 2, and extends so as to straddle the X-axis table 11 and the maintenance device 4. Then, the Y-axis table 12 moves the functional liquid droplet ejection head 17 between the portion directly above the X-axis table 11 and each unit (described later) of the maintenance device 4, and also functions liquid droplets in a drawing process described later. The ejection head 17 is sub-scanned.

また、キャリッジ１５は、搭載した機能液滴吐出ヘッド１７をＺ軸方向（上下方向）にモータ駆動で微小移動させるヘッドＺ軸テーブル（図示省略）を有している。   Further, the carriage 15 has a head Z-axis table (not shown) for moving the mounted functional liquid droplet ejection head 17 minutely by motor driving in the Z-axis direction (vertical direction).

また、機能液滴吐出ヘッド１７は、機能液供給チューブ（図示省略）を介して機能液パック（図示省略）から機能液が供給され、ノズル面３１に等間隔で２列に並べられた複数のノズル３２からインクジェット方式で機能液を吐出するものである。そして、ノズル面３１を下方に向けてキャリッジ１５に搭載されている。   The functional liquid droplet ejection head 17 is supplied with a functional liquid from a functional liquid pack (not shown) via a functional liquid supply tube (not shown), and is arranged in a plurality of rows arranged at equal intervals on the nozzle surface 31. The functional liquid is discharged from the nozzle 32 by an ink jet method. And it is mounted on the carriage 15 with the nozzle surface 31 facing downward.

このように構成された描画装置３は、制御装置５による制御を受けながら描画処理を行う。すなわち、基板Ｗを載置したセットテーブル１６がＸ軸方向に往動するのに同期して、機能液滴吐出ヘッド１７を駆動させて基板Ｗに機能液を吐出して主走査を行う。次にＹ軸方向に機能液滴吐出ヘッド１７が移動しＹ軸方向の副走査を行う。その後、基板ＷをＸ軸方向に復動させ、同期して機能液滴吐出ヘッド１７を駆動することで再度主走査を行う。以上の動作を繰り返し行うことで基板Ｗに所望の描画を行う。   The drawing device 3 configured as described above performs drawing processing under the control of the control device 5. That is, in synchronization with the set table 16 on which the substrate W is placed moving forward in the X-axis direction, the functional liquid droplet ejection head 17 is driven to eject the functional liquid onto the substrate W to perform main scanning. Next, the functional liquid droplet ejection head 17 moves in the Y-axis direction and performs sub-scanning in the Y-axis direction. Thereafter, the substrate W is moved back in the X-axis direction, and the functional liquid droplet ejection head 17 is driven in synchronization to perform main scanning again. By repeating the above operation, desired drawing is performed on the substrate W.

メンテナンス装置４は、Ｘ軸テーブル１１に遠い方から順に、吸引ユニット５１と、ワイピングユニット５２と、を備えている。吸引ユニット５１とワイピングユニット５２とは、Ｙ軸テーブル１２による機能液滴吐出ヘッド１７の移動軌跡上に設けられており、Ｙ軸テーブル１２により、各ユニットの直上部に機能液滴吐出ヘッド１７を臨ませることができるようになっている。吸引ユニット５１は、機能液滴吐出ヘッド１７から機能液を吸引することで、機能液の初期充填やクリーニング動作を行い（詳細は後述する）、ワイピングユニット５２は、吸引ユニット５１のクリーニング動作等の後、ワイピングシート６１により機能液滴吐出ヘッド１７のノズル面３１を払拭する。   The maintenance device 4 includes a suction unit 51 and a wiping unit 52 in order from the far side from the X-axis table 11. The suction unit 51 and the wiping unit 52 are provided on the movement locus of the functional liquid droplet ejection head 17 by the Y-axis table 12, and the functional liquid droplet ejection head 17 is placed directly above each unit by the Y-axis table 12. You can make it come. The suction unit 51 performs the initial filling and cleaning operation of the functional liquid by sucking the functional liquid from the functional liquid droplet ejection head 17 (details will be described later). The wiping unit 52 performs the cleaning operation of the suction unit 51 and the like. Thereafter, the nozzle surface 31 of the functional liquid droplet ejection head 17 is wiped by the wiping sheet 61.

次に、図２および図３を参照し、吸引ユニット５１について説明する。吸引ユニット５１は、クリーニング動作等の後、ヘッドキャップ１０４内に残った機能液が乾燥して固着することで、ヘッドキャップ１０４内に機能液の詰まりが生じるおそれがあるため、ヘッドキャップ１０４内を洗浄するようにしたものである。   Next, the suction unit 51 will be described with reference to FIGS. 2 and 3. Since the functional liquid remaining in the head cap 104 is dried and fixed after the cleaning operation or the like, the suction unit 51 may clog the functional liquid in the head cap 104. It is designed to be washed.

吸引ユニット５１は、ヘッドキャップ１０４を有するキャップユニット１０１と、ヘッドキャップ１０４を介して機能液滴吐出ヘッド１７のクリーニング動作等を行う吸引手段１０２と、洗浄液をヘッドキャップ１０４に供給する供給手段１０３と、で構成されている。   The suction unit 51 includes a cap unit 101 having a head cap 104, a suction unit 102 that performs a cleaning operation of the functional liquid droplet ejection head 17 via the head cap 104, and a supply unit 103 that supplies cleaning liquid to the head cap 104. , Is composed of.

キャップユニット１０１は、機能液滴吐出ヘッド１７のノズル面３１を封止するヘッドキャップ１０４と、機能液滴吐出ヘッド１７を封止するためにヘッドキャップ１０４を昇降させる昇降機構１０５と、を備えている。   The cap unit 101 includes a head cap 104 that seals the nozzle surface 31 of the functional liquid droplet ejection head 17, and an elevating mechanism 105 that raises and lowers the head cap 104 to seal the functional liquid droplet ejection head 17. Yes.

ヘッドキャップ１０４は、キャップ本体１１１と、キャップ本体１１１を保持するキャップホルダ１１２と、キャップ本体１１１とキャップホルダ１１２との間に介設された一対のキャップばね１１３，１１３と、キャップ本体１１１の上面に形成した凹部１１４に敷設された機能液吸収材１１５と、凹部１１４の周縁部に取り付けられた環状のシールパッキン１１６とを有している。また、図示省略したが、ヘッドキャップ１０４には、凹部１１４をその底面側で大気開放する大気開放弁が設けられている。   The head cap 104 includes a cap body 111, a cap holder 112 that holds the cap body 111, a pair of cap springs 113 and 113 interposed between the cap body 111 and the cap holder 112, and an upper surface of the cap body 111. The functional liquid absorbing material 115 laid in the recess 114 formed in the above and the annular seal packing 116 attached to the peripheral edge of the recess 114. Although not shown, the head cap 104 is provided with an atmosphere release valve that opens the recess 114 to the atmosphere on the bottom surface side.

キャップ本体１１１には、凹部１１４の底面に開口し、吸引手段１０２に連通するキャップ内吸引流路１１７と、凹部１１４の底面に開口し、供給手段１０３に連通するキャップ内供給流路１１８とが形成されている。なお、機能液が最も固着しやすいのは、キャップ内吸引流路１１７であるが、機能液吸収材１１５（目詰まり）やシールパッキン１１６内壁面にも、固着するおそれがある。   The cap body 111 has an in-cap suction channel 117 that opens to the bottom surface of the recess 114 and communicates with the suction unit 102, and an in-cap supply channel 118 that opens to the bottom surface of the recess 114 and communicates with the supply unit 103. Is formed. The functional liquid is most likely to adhere to the in-cap suction channel 117, but may also adhere to the functional liquid absorbent 115 (clogged) or the inner wall surface of the seal packing 116.

キャップホルダ１１２は、ベース部１１９と、ベース部１１９に立設されたボルダ部１２０とで構成されており、ベース部１１９に形成された一対のガイド孔には、後述する一対の昇降ガイド１２１、１２１が挿入されている。一対のキャップばね１１３，１１３は、キャップ本体１１１を上方に付勢している。これにより、キャップ本体１１１が、僅かに上下動可能な状態でキャップホルダ１１２に保持される。   The cap holder 112 is composed of a base part 119 and a boulder part 120 erected on the base part 119. A pair of guide holes formed in the base part 119 includes a pair of elevating guides 121, which will be described later. 121 is inserted. The pair of cap springs 113 and 113 urge the cap body 111 upward. Thereby, the cap main body 111 is hold | maintained at the cap holder 112 in the state which can be moved up and down slightly.

そして、シールパッキン１１６が、機能液滴吐出ヘッド１７のノズル面３１に押し付けられると、２列のノズル３２（図１参照）すべてを包含するようにして、ノズル面３１を封止する。なお、供給手段１０３により供給される洗浄液は、ヘッドキャップ１０４内が満液になるまで、すなわち、シールパッキン１１６の上端から溢れるまで、供給可能である。   When the seal packing 116 is pressed against the nozzle surface 31 of the functional liquid droplet ejection head 17, the nozzle surface 31 is sealed so as to include all the two rows of nozzles 32 (see FIG. 1). The cleaning liquid supplied by the supply means 103 can be supplied until the inside of the head cap 104 becomes full, that is, until the upper end of the seal packing 116 overflows.

昇降機構１０５は、キャップホルダ１１２の下面に連結されたエアーシリンダ１２２と、ヘッドキャップ１０４の上下動を案内する左右一対の昇降ガイド１２１，１２１と、を有している。そして、シールパッキン１１６の上面と機能液滴吐出ヘッド１７のノズル面３１とが当接するノズル面３１を封止する位置と、シールパッキン１１６と機能液滴吐出ヘッド１７との間に隙間が生ずるノズル面３１の封止を解除する位置とで、キャップホルダ１１２を介してキャップ本体１１１を昇降させる。また、キャップホルダ１１２の左右両端には、キャップホルダ１１２（ヘッドキャップ１０４）の上昇位置を度当たりで規制する規制部材１２３が設けられている。   The elevating mechanism 105 includes an air cylinder 122 coupled to the lower surface of the cap holder 112 and a pair of left and right elevating guides 121 and 121 that guide the vertical movement of the head cap 104. Then, the nozzle where the upper surface of the seal packing 116 and the nozzle surface 31 where the nozzle surface 31 of the functional liquid droplet ejection head 17 abuts is sealed, and the nozzle that creates a gap between the seal packing 116 and the functional liquid droplet ejection head 17. The cap body 111 is moved up and down via the cap holder 112 at a position where the sealing of the surface 31 is released. In addition, on both the left and right ends of the cap holder 112, restriction members 123 are provided for restricting the raised position of the cap holder 112 (head cap 104) at a time.

吸引手段１０２は、キャップ内吸引流路１１７に上流端が接続された吸引チューブ１３１と、吸引チューブ１３１の下流端に設けられた回収タンク１３３と、回収タンク１３３に向けて機能液を吸引するエゼクタ１３４（吸引アクチュエータ）と、回収タンク１３３とエゼクタ１３４とを接続する真空チューブ１３２とで構成されている。吸引手段１０２は、エゼクタ１３４により機能液滴吐出ヘッド１７から機能液を吸引することで、機能液の初期充填やクリーニング動作を行う。また、吸引した機能液を吸引チューブ１３１から排出し、回収タンク１３３に回収させる。   The suction means 102 includes a suction tube 131 having an upstream end connected to the in-cap suction flow path 117, a recovery tank 133 provided at the downstream end of the suction tube 131, and an ejector that sucks the functional liquid toward the recovery tank 133. 134 (suction actuator), and a vacuum tube 132 that connects the recovery tank 133 and the ejector 134. The suction unit 102 performs the initial filling and cleaning operation of the functional liquid by sucking the functional liquid from the functional liquid droplet ejection head 17 by the ejector 134. Further, the sucked functional liquid is discharged from the suction tube 131 and is collected in the collection tank 133.

吸引チューブ１３１には、排液流量センサ１３５が介設されている。排液流量センサ１３５は、クリーニング動作の際に吸引チューブ１３１を流れる機能液の流量を測定し、この測定結果を制御装置５に出力している。なお、排液流量センサ１３５は、機能液供給チューブに介設されていてもよい。また、吸引チューブ１３１には、吸引流路開閉バルブ１３６が介設されている。なお、本実施形態では、流量の測定は、時間当たりの量で行われているが、総流量で行ってもよい。   A drainage flow rate sensor 135 is interposed in the suction tube 131. The drainage flow rate sensor 135 measures the flow rate of the functional liquid flowing through the suction tube 131 during the cleaning operation, and outputs the measurement result to the control device 5. The drainage flow sensor 135 may be interposed in the functional liquid supply tube. The suction tube 131 is provided with a suction flow path opening / closing valve 136. In the present embodiment, the flow rate is measured by the amount per time, but may be measured by the total flow rate.

供給手段１０３は、キャップ内供給流路１１８に下流端が接続された供給チューブ１４１と、供給チューブ１４１の上流端に設けられた洗浄液タンク１４２と、洗浄液タンク１４２内の洗浄液をヘッドキャップ１０４に送液する送液ポンプ１４３（供給アクチュエータ）とで構成されている。供給手段１０３は、送液ポンプ１４３により洗浄液タンク１４２内の洗浄液を供給チューブ１４１からヘッドキャップ１０４に送液する。なお、洗浄液は、機能液滴吐出ヘッド１７に導入される機能液を溶解するものであればよい。もっとも、洗浄液は機能液の溶媒であることが好ましい。これにより、後述する洗浄動作によって洗浄液に溶解され、回収タンク１３３に回収された機能液を、容易に再利用することができる。   The supply means 103 supplies a supply tube 141 whose downstream end is connected to the in-cap supply flow path 118, a cleaning liquid tank 142 provided at the upstream end of the supply tube 141, and a cleaning liquid in the cleaning liquid tank 142 to the head cap 104. The liquid feed pump 143 (supply actuator) is configured to be liquid. The supply unit 103 supplies the cleaning liquid in the cleaning liquid tank 142 to the head cap 104 from the supply tube 141 by the liquid supply pump 143. The cleaning liquid only needs to dissolve the functional liquid introduced into the functional liquid droplet ejection head 17. However, the cleaning liquid is preferably a functional liquid solvent. Thereby, the functional liquid which is dissolved in the cleaning liquid by the cleaning operation described later and recovered in the recovery tank 133 can be easily reused.

供給チューブ１４１には、給液流量センサ１４４が介設されている。給液流量センサ１４４は、洗浄液の供給量を測定し、この測定結果を制御装置５に出力している。また、供給チューブ１４１には、供給流路開閉バルブ１４５が介設されている。   A liquid supply flow rate sensor 144 is interposed in the supply tube 141. The liquid supply flow rate sensor 144 measures the supply amount of the cleaning liquid and outputs the measurement result to the control device 5. The supply tube 141 is provided with a supply flow path opening / closing valve 145.

吸引ユニット５１は、上記の制御装置５による制御を受けている。すなわち、制御装置５は、排液流量センサ１３５の測定結果を参照しつつ、吸引手段１０２のエゼクタ１３４および吸引流路開閉バルブ１３６を制御して、吸引動作を制御している。吸引動作を開始する場合は、制御装置５により吸引流路開閉バルブ１３６を開弁すると共に、エゼクタ１３４を駆動する。これにより、吸引チューブ１３１およびヘッドキャップ１０４を介して機能液滴吐出ヘッド１７のノズル３２から機能液が吸引される。また、吸引動作を終了する場合は、制御装置５によりエゼクタ１３４を停止させると共に、吸引流路開閉バルブ１３６を閉弁する。また、制御装置５は、吸引チューブ１３１を流れる機能液の流量について、所定の閾値を記憶している。この閾値は、クリーニング動作時に吸引されるべき機能液の量が設定されている。   The suction unit 51 is controlled by the control device 5 described above. That is, the control device 5 controls the suction operation by controlling the ejector 134 and the suction flow path opening / closing valve 136 of the suction means 102 while referring to the measurement result of the drainage flow rate sensor 135. When starting the suction operation, the control device 5 opens the suction flow path opening / closing valve 136 and drives the ejector 134. Thereby, the functional liquid is sucked from the nozzle 32 of the functional liquid droplet ejection head 17 through the suction tube 131 and the head cap 104. When the suction operation is finished, the control device 5 stops the ejector 134 and closes the suction flow path opening / closing valve 136. In addition, the control device 5 stores a predetermined threshold for the flow rate of the functional liquid flowing through the suction tube 131. This threshold is set to the amount of functional liquid to be sucked during the cleaning operation.

また、制御装置５は、給液流量センサ１４４の測定結果を参照しつつ、供給手段１０３の送液ポンプ１４３および供給流路開閉バルブ１４５を制御している。供給動作を開始する場合は、制御装置５により供給流路開閉バルブ１４５を開弁すると共に、送液ポンプ１４３を駆動する。これにより、ヘッドキャップ１０４内に洗浄液が供給される。また、供給動作を終了する場合は、制御装置５により送液ポンプ１４３を停止すると共に、供給流路開閉バルブ１４５を閉弁する。さらに、制御装置５により、給液流量センサ１４４の測定結果に基づいて、洗浄液を所定の液量（例えば、ヘッドキャップ１０４内が満液になる液量）供給することが可能となる。また、制御装置５に組み込まれたタイマー等で供給時間を計ることにより、洗浄液を所定の流量供給することも可能である。つまり、洗浄液の供給液量の管理（ヘッドキャップ１０４内が満液になったか否かの検知）を、測定結果に基づいて行ってもよいし、供給時間に基づいて行ってもよい。   The control device 5 controls the liquid feed pump 143 and the supply flow path opening / closing valve 145 of the supply means 103 while referring to the measurement result of the liquid supply flow rate sensor 144. When starting the supply operation, the control device 5 opens the supply flow path opening / closing valve 145 and drives the liquid feed pump 143. As a result, the cleaning liquid is supplied into the head cap 104. Further, when the supply operation is terminated, the liquid feeding pump 143 is stopped by the control device 5 and the supply flow path opening / closing valve 145 is closed. Furthermore, the control device 5 can supply a predetermined amount of cleaning liquid (for example, the amount of liquid that fills the head cap 104) based on the measurement result of the liquid supply flow rate sensor 144. It is also possible to supply the cleaning liquid at a predetermined flow rate by measuring the supply time with a timer or the like incorporated in the control device 5. That is, the management of the supply amount of the cleaning liquid (detection of whether or not the inside of the head cap 104 is full) may be performed based on the measurement result or may be performed based on the supply time.

さらに、制御装置５は、クリーニング動作を繰り返し行う場合の所定回数（繰り返しの回数）を記憶している。この回数としては、どんなにヘッドキャップ１０４内が機能液で詰まっていても、その詰まりを解消することができるクリーニング動作の回数を、予め実験等で求めたものが設定されている。   Further, the control device 5 stores a predetermined number of times (the number of repetitions) when the cleaning operation is repeatedly performed. As the number of times, no matter how much the head cap 104 is clogged with the functional liquid, the number of cleaning operations that can eliminate the clogging is set in advance by experiments or the like.

次に、図２の概念図と図４に示すフローチャートを参照して、制御装置５による吸引手段１０２および供給手段１０３の制御方法について述べる。まず、制御装置５が、キャップユニット１０１の昇降機構１０５によりヘッドキャップ１０４を上昇させて機能液滴吐出ヘッド１７のノズル面３１を封止する（Ｓ１）。   Next, a method for controlling the suction means 102 and the supply means 103 by the control device 5 will be described with reference to the conceptual diagram of FIG. 2 and the flowchart shown in FIG. First, the control device 5 raises the head cap 104 by the lifting mechanism 105 of the cap unit 101 to seal the nozzle surface 31 of the functional liquid droplet ejection head 17 (S1).

次に、制御装置５が吸引手段１０２の吸引動作を開始させ（Ｓ２）、クリーニング動作を行う。クリーニング動作中には、排液流量センサ１３５により吸引チューブ１３１内の機能液の流量が測定され（Ｓ３）、制御装置５により機能液の流量が所定の閾値以上であるか否かが判定される（Ｓ４）。   Next, the control device 5 starts the suction operation of the suction means 102 (S2), and performs the cleaning operation. During the cleaning operation, the flow rate of the functional liquid in the suction tube 131 is measured by the drainage flow rate sensor 135 (S3), and it is determined by the control device 5 whether or not the flow rate of the functional liquid is greater than or equal to a predetermined threshold value. (S4).

ここで、制御装置５により、機能液の流量が所定の閾値以上と判定（Ｓ４；ＹＥＳ）された場合、クリーニング動作は正常に行われていることとなり、所定時間吸引した後、吸引動作を終了させ（Ｓ５）、クリーニング動作を終了する。   Here, when the control device 5 determines that the flow rate of the functional liquid is equal to or greater than the predetermined threshold (S4; YES), the cleaning operation is normally performed, and after the suction is performed for a predetermined time, the suction operation is finished. (S5) to finish the cleaning operation.

一方、制御装置５により、機能液の流量が所定の閾値未満と判定（Ｓ４；ＮＯ）された場合、結果としてクリーニング不良が発生している。この場合、制御装置５によりクリーニング動作の回数判定を行い、現在のクリーニング動作の回数が所定回数未満か否かを判定する（Ｓ６）。   On the other hand, when the control device 5 determines that the flow rate of the functional liquid is less than the predetermined threshold (S4; NO), a cleaning failure has occurred as a result. In this case, the control device 5 determines the number of cleaning operations, and determines whether the current number of cleaning operations is less than a predetermined number (S6).

ここで、制御装置５により、クリーニング動作が所定回数未満だと判定（Ｓ６；ＹＥＳ）された場合、このヘッドキャップ１０４内に固着した機能液を取り除くために、機能液滴吐出ヘッド１７のノズル面３１の封止を解除した上で（Ｓ７）、ヘッドキャップ１０４内の洗浄動作（Ｓ８）（詳細は後述）を行う。洗浄動作が完了した後、ノズル面３１を封止し（Ｓ１）、吸引を開始する（Ｓ２）。洗浄動作で詰まりがとれていれば、再度のクリーニング動作が正常に行われ（Ｓ４；ＹＥＳ）、クリーニング動作を終了する。   Here, when the control device 5 determines that the cleaning operation is less than the predetermined number of times (S6; YES), the nozzle surface of the functional liquid droplet ejection head 17 is removed in order to remove the functional liquid stuck in the head cap 104. After releasing the sealing of 31 (S7), a cleaning operation (S8) in the head cap 104 (details will be described later) is performed. After the cleaning operation is completed, the nozzle surface 31 is sealed (S1), and suction is started (S2). If the clogging is removed by the cleaning operation, the cleaning operation is performed again normally (S4; YES), and the cleaning operation is terminated.

一方、制御装置５により、クリーニング動作が所定回数に達していると判定（Ｓ６；ＮＯ）された場合、クリーニング不良の原因がヘッドキャップ１０４内の機能液による詰まり以外にあると考えられる。この場合、所定回数を超えるクリーニング動作を行ってもクリーニング効果は期待できず、無駄な動作になる。この時、ヘッドキャップ１０４内の洗浄動作では対処できない原因でクリーニング不良が発生している旨を、制御装置５がモニター５ｂを通して報知する（Ｓ９）。これにより、ユーザーにヘッドキャップ本体のメンテナンス等の適切な対応を促すことができる。   On the other hand, when the control device 5 determines that the cleaning operation has reached the predetermined number of times (S6; NO), it is considered that the cause of the cleaning failure is other than the clogging with the functional liquid in the head cap 104. In this case, even if the cleaning operation is performed more than a predetermined number of times, the cleaning effect cannot be expected and the operation becomes useless. At this time, the control device 5 notifies through the monitor 5b that a cleaning failure has occurred due to a reason that cannot be dealt with by the cleaning operation in the head cap 104 (S9). Thereby, it is possible to prompt the user to take appropriate measures such as maintenance of the head cap body.

続いて、図２の概念図と図５に示すフローチャートを参照して、洗浄動作の説明をする。まず、制御装置５が、前述した洗浄液の供給動作を開始し、ヘッドキャップ１０４内に洗浄液を供給（Ｓ１１）する。また、供給チューブ１４１に介設された給液流量センサ１４４により、ヘッドキャップ１０４内の洗浄液が所定の液量になることが検知（Ｓ１２）されるまで、制御装置５によりヘッドキャップ１０４内に洗浄液が供給される。   Next, the cleaning operation will be described with reference to the conceptual diagram of FIG. 2 and the flowchart shown in FIG. First, the controller 5 starts the cleaning liquid supply operation described above, and supplies the cleaning liquid into the head cap 104 (S11). Further, until the supply liquid flow rate sensor 144 provided in the supply tube 141 detects that the cleaning liquid in the head cap 104 reaches a predetermined liquid amount (S12), the control apparatus 5 causes the cleaning liquid to enter the head cap 104. Is supplied.

ヘッドキャップ１０４内に洗浄液が流入すると、その洗浄液にヘッドキャップ１０４内に固着した機能液が溶解される。制御装置５は、洗浄液が所定の液量に達した時点（Ｓ１３）で洗浄液の供給を停止し、供給動作を終了する。洗浄液を供給しながら、あるいは供給終了後、制御装置５は、吸引動作を開始し、ヘッドキャップ１０４内の洗浄液と、これに溶解した機能液を吸引し（Ｓ１４）、吸引動作を終了する。ヘッドキャップ１０４内に供給した洗浄液を吸引することで、ヘッドキャップ１０４内に固着した機能液を溶解した洗浄液を、ヘッドキャップ１０４外に速やかに排出することができる。   When the cleaning liquid flows into the head cap 104, the functional liquid fixed in the head cap 104 is dissolved in the cleaning liquid. The control device 5 stops the supply of the cleaning liquid when the cleaning liquid reaches a predetermined liquid amount (S13), and ends the supply operation. While supplying the cleaning liquid or after the supply is completed, the control device 5 starts the suction operation, sucks the cleaning liquid in the head cap 104 and the functional liquid dissolved therein (S14), and ends the suction operation. By sucking the cleaning liquid supplied into the head cap 104, the cleaning liquid in which the functional liquid fixed in the head cap 104 is dissolved can be quickly discharged out of the head cap 104.

また、ヘッドキャップ１０４内を洗浄液で満液にしてから吸引することが好ましく、これによれば、ヘッドキャップ１０４内、特にシールパッキン１１６の内壁面や隅角に固着した機能液を溶解して取り除くことができる。   Further, it is preferable that the inside of the head cap 104 is filled with the cleaning liquid and then sucked. According to this, the functional liquid fixed to the inner wall surface and corners of the seal cap 116 is dissolved and removed. be able to.

上記洗浄動作は、以上のように、クリーニング動作で不良が生じた場合に行うようにしているが、描画動作中に断続的に洗浄動作を行っても良く、この場合、クリーニング不良を未然に防ぐことができる。もっとも、本実施形態によれば、測定された機能液の流量が、所定の閾値未満の時に洗浄動作を行うことで、必要最小限の洗浄動作でヘッドキャップ１０４内の機能液による詰まりを取り除くことができ、クリーニング不良を解消できる。   As described above, the cleaning operation is performed when a failure occurs in the cleaning operation. However, the cleaning operation may be performed intermittently during the drawing operation, and in this case, the cleaning failure is prevented in advance. be able to. However, according to the present embodiment, by performing the cleaning operation when the measured flow rate of the functional liquid is less than the predetermined threshold, clogging with the functional liquid in the head cap 104 is removed with the minimum necessary cleaning operation. Can solve the cleaning failure.

以上のように、本実施形態の吸引ユニット５１によれば、洗浄液をヘッドキャップ１０４内に供給する供給手段１０３を備えることで、機能液が固着したヘッドキャップ１０４内を洗浄することができ、ヘッドキャップ１０４が詰まった場合でも、ヘッドキャップ１０４の分解や交換等を行うことなく容易に詰まりを取り除くことができるため、クリーニング不良が解消できると共に、装置の稼動効率を向上させることができる。   As described above, according to the suction unit 51 of the present embodiment, by providing the supply unit 103 that supplies the cleaning liquid into the head cap 104, the inside of the head cap 104 to which the functional liquid is fixed can be cleaned. Even when the cap 104 is clogged, the clogging can be easily removed without disassembling or replacing the head cap 104, so that the cleaning failure can be eliminated and the operating efficiency of the apparatus can be improved.

次に、本実施形態の液滴吐出装置１を用いて製造される電気光学装置（フラットパネルディスプレイ）として、カラーフィルタ、液晶表示装置、有機ＥＬ装置、プラズマディスプレイ（ＰＤＰ装置）、電子放出装置（ＦＥＤ装置、ＳＥＤ装置）、さらにこれら表示装置に形成されてなるアクティブマトリクス基板等を例に、これらの構造およびその製造方法について説明する。なお、アクティブマトリクス基板とは、薄膜トランジスタ、および薄膜トランジスタに電気的に接続するソース線、データ線が形成された基板をいう。   Next, as an electro-optical device (flat panel display) manufactured using the droplet discharge device 1 of this embodiment, a color filter, a liquid crystal display device, an organic EL device, a plasma display (PDP device), an electron emission device ( FED devices, SED devices), and active matrix substrates formed in these display devices will be described as an example for their structures and manufacturing methods. Note that an active matrix substrate refers to a substrate on which a thin film transistor, a source line electrically connected to the thin film transistor, and a data line are formed.

まず、液晶表示装置や有機ＥＬ装置等に組み込まれるカラーフィルタの製造方法について説明する。図６は、カラーフィルタの製造工程を示すフローチャート、図７は、製造工程順に示した本実施形態のカラーフィルタ５００（フィルタ基体５００Ａ）の模式断面図である。
まず、ブラックマトリクス形成工程（Ｓ１０１）では、図７（ａ）に示すように、基板（Ｗ）５０１上にブラックマトリクス５０２を形成する。ブラックマトリクス５０２は、金属クロム、金属クロムと酸化クロムの積層体、または樹脂ブラック等により形成される。金属薄膜からなるブラックマトリクス５０２を形成するには、スパッタ法や蒸着法等を用いることができる。また、樹脂薄膜からなるブラックマトリクス５０２を形成する場合には、グラビア印刷法、フォトレジスト法、熱転写法等を用いることができる。 First, a method for manufacturing a color filter incorporated in a liquid crystal display device, an organic EL device or the like will be described. FIG. 6 is a flowchart showing the manufacturing process of the color filter, and FIG. 7 is a schematic cross-sectional view of the color filter 500 (filter base body 500A) of the present embodiment shown in the order of the manufacturing process.
First, in the black matrix forming step (S101), a black matrix 502 is formed on a substrate (W) 501 as shown in FIG. The black matrix 502 is formed of metal chromium, a laminate of metal chromium and chromium oxide, resin black, or the like. A sputtering method, a vapor deposition method, or the like can be used to form the black matrix 502 made of a metal thin film. Further, when forming the black matrix 502 made of a resin thin film, a gravure printing method, a photoresist method, a thermal transfer method, or the like can be used.

続いて、バンク形成工程（Ｓ１０２）において、ブラックマトリクス５０２上に重畳する状態でバンク５０３を形成する。即ち、まず図７（ｂ）に示すように、基板５０１およびブラックマトリクス５０２を覆うようにネガ型の透明な感光性樹脂からなるレジスト層５０４を形成する。そして、その上面をマトリクスパターン形状に形成されたマスクフィルム５０５で被覆した状態で露光処理を行う。
さらに、図７（ｃ）に示すように、レジスト層５０４の未露光部分をエッチング処理することによりレジスト層５０４をパターニングして、バンク５０３を形成する。なお、樹脂ブラックによりブラックマトリクスを形成する場合は、ブラックマトリクスとバンクとを兼用することが可能となる。
このバンク５０３とその下のブラックマトリクス５０２は、各画素領域５０７ａを区画する区画壁部５０７ｂとなり、後の着色層形成工程において機能液滴吐出ヘッド１７により着色層（成膜部）５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成する際に機能液滴の着弾領域を規定する。 Subsequently, in the bank formation step (S102), a bank 503 is formed in a state of being superimposed on the black matrix 502. That is, first, as shown in FIG. 7B, a resist layer 504 made of a negative transparent photosensitive resin is formed so as to cover the substrate 501 and the black matrix 502. Then, an exposure process is performed with the upper surface covered with a mask film 505 formed in a matrix pattern shape.
Further, as shown in FIG. 7C, the resist layer 504 is patterned by etching an unexposed portion of the resist layer 504 to form a bank 503. When the black matrix is formed from resin black, it is possible to use both the black matrix and the bank.
The bank 503 and the black matrix 502 therebelow serve as a partition wall portion 507b that partitions each pixel region 507a, and in the subsequent colored layer forming step, the colored liquid layers (film forming portions) 508R, 508G, When forming 508B, the landing area of the functional droplet is defined.

以上のブラックマトリクス形成工程およびバンク形成工程を経ることにより、上記フィルタ基体５００Ａが得られる。
なお、本実施形態においては、バンク５０３の材料として、塗膜表面が疎液（疎水）性となる樹脂材料を用いている。そして、基板（ガラス基板）５０１の表面が親液（親水）性であるので、後述する着色層形成工程においてバンク５０３（区画壁部５０７ｂ）に囲まれた各画素領域５０７ａ内への液滴の着弾位置のばらつきを自動補正できる。 The filter substrate 500A is obtained through the above black matrix forming step and bank forming step.
In the present embodiment, as the material for the bank 503, a resin material whose surface is lyophobic (hydrophobic) is used. Since the surface of the substrate (glass substrate) 501 is lyophilic (hydrophilic), the droplets into each pixel region 507a surrounded by the bank 503 (partition wall portion 507b) in the colored layer forming step described later. Variations in landing position can be automatically corrected.

次に、着色層形成工程（Ｓ１０３）では、図７（ｄ）に示すように、機能液滴吐出ヘッド１７によって機能液滴を吐出して区画壁部５０７ｂで囲まれた各画素領域５０７ａ内に着弾させる。この場合、機能液滴吐出ヘッド１７を用いて、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の機能液（フィルタ材料）を導入して、機能液滴の吐出を行う。なお、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の配列パターンとしては、ストライプ配列、モザイク配列およびデルタ配列等がある。   Next, in the colored layer forming step (S103), as shown in FIG. 7D, functional droplets are ejected by the functional droplet ejecting head 17 and each pixel region 507a is surrounded by the partition wall portion 507b. Make it land. In this case, the functional liquid droplet ejection head 17 is used to introduce functional liquids (filter materials) of three colors of R, G, and B to eject functional liquid droplets. Note that the three-color arrangement pattern of R, G, and B includes a stripe arrangement, a mosaic arrangement, and a delta arrangement.

その後、乾燥処理（加熱等の処理）を経て機能液を定着させ、３色の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成する。着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成したならば、保護膜形成工程（Ｓ１０４）に移り、図７（ｅ）に示すように、基板５０１、区画壁部５０７ｂ、および着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂの上面を覆うように保護膜５０９を形成する。
即ち、基板５０１の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが形成されている面全体に保護膜用塗布液が吐出された後、乾燥処理を経て保護膜５０９が形成される。
そして、保護膜５０９を形成した後、カラーフィルタ５００は、次工程の透明電極となるＩＴＯ（Indium Tin Oxide）などの膜付け工程に移行する。 Thereafter, the functional liquid is fixed through a drying process (a process such as heating), and three colored layers 508R, 508G, and 508B are formed. When the colored layers 508R, 508G, and 508B are formed, the process proceeds to the protective film forming step (S104), and as shown in FIG. 7E, the substrate 501, the partition wall portion 507b, and the colored layers 508R, 508G, and 508B are moved. A protective film 509 is formed so as to cover the upper surface.
That is, after the protective film coating liquid is discharged over the entire surface of the substrate 501 where the colored layers 508R, 508G, and 508B are formed, the protective film 509 is formed through a drying process.
Then, after forming the protective film 509, the color filter 500 moves to a film forming process such as ITO (Indium Tin Oxide) which becomes a transparent electrode in the next process.

図８は、上記のカラーフィルタ５００を用いた液晶表示装置の一例としてのパッシブマトリックス型液晶装置（液晶装置）の概略構成を示す要部断面図である。この液晶装置５２０に、液晶駆動用ＩＣ、バックライト、支持体などの付帯要素を装着することによって、最終製品としての透過型液晶表示装置が得られる。なお、カラーフィルタ５００は図７に示したものと同一であるので、対応する部位には同一の符号を付し、その説明は省略する。   FIG. 8 is a cross-sectional view of a principal part showing a schematic configuration of a passive matrix liquid crystal device (liquid crystal device) as an example of a liquid crystal display device using the color filter 500 described above. By attaching auxiliary elements such as a liquid crystal driving IC, a backlight, and a support to the liquid crystal device 520, a transmissive liquid crystal display device as a final product can be obtained. Since the color filter 500 is the same as that shown in FIG. 7, the corresponding parts are denoted by the same reference numerals and description thereof is omitted.

この液晶装置５２０は、カラーフィルタ５００、ガラス基板等からなる対向基板５２１、および、これらの間に挟持されたＳＴＮ（Super Twisted Nematic）液晶組成物からなる液晶層５２２により概略構成されており、カラーフィルタ５００を図中上側（観測者側）に配置している。
なお、図示していないが、対向基板５２１およびカラーフィルタ５００の外面（液晶層５２２側とは反対側の面）には偏光板がそれぞれ配設され、また対向基板５２１側に位置する偏光板の外側には、バックライトが配設されている。 The liquid crystal device 520 is roughly configured by a color filter 500, a counter substrate 521 made of a glass substrate, and a liquid crystal layer 522 made of an STN (Super Twisted Nematic) liquid crystal composition sandwiched between them, The filter 500 is arranged on the upper side (observer side) in the figure.
Although not shown, polarizing plates are provided on the outer surfaces of the counter substrate 521 and the color filter 500 (surfaces opposite to the liquid crystal layer 522 side), and the polarizing plates located on the counter substrate 521 side are also provided. A backlight is disposed outside.

カラーフィルタ５００の保護膜５０９上（液晶層側）には、図８において左右方向に長尺な短冊状の第１電極５２３が所定の間隔で複数形成されており、この第１電極５２３のカラーフィルタ５００側とは反対側の面を覆うように第１配向膜５２４が形成されている。
一方、対向基板５２１におけるカラーフィルタ５００と対向する面には、カラーフィルタ５００の第１電極５２３と直交する方向に長尺な短冊状の第２電極５２６が所定の間隔で複数形成され、この第２電極５２６の液晶層５２２側の面を覆うように第２配向膜５２７が形成されている。これらの第１電極５２３および第２電極５２６は、ＩＴＯなどの透明導電材料により形成されている。 On the protective film 509 (liquid crystal layer side) of the color filter 500, a plurality of strip-shaped first electrodes 523 elongated in the left-right direction in FIG. 8 are formed at a predetermined interval, and the color of the first electrode 523 is A first alignment film 524 is formed so as to cover the surface opposite to the filter 500 side.
On the other hand, a plurality of strip-shaped second electrodes 526 elongated in a direction orthogonal to the first electrode 523 of the color filter 500 are formed on the surface of the counter substrate 521 facing the color filter 500 at a predetermined interval. A second alignment film 527 is formed so as to cover the surface of the two electrodes 526 on the liquid crystal layer 522 side. The first electrode 523 and the second electrode 526 are made of a transparent conductive material such as ITO.

液晶層５２２内に設けられたスペーサ５２８は、液晶層５２２の厚さ（セルギャップ）を一定に保持するための部材である。また、シール材５２９は液晶層５２２内の液晶組成物が外部へ漏出するのを防止するための部材である。なお、第１電極５２３の一端部は引き回し配線５２３ａとしてシール材５２９の外側まで延在している。
そして、第１電極５２３と第２電極５２６とが交差する部分が画素であり、この画素となる部分に、カラーフィルタ５００の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが位置するように構成されている。 The spacer 528 provided in the liquid crystal layer 522 is a member for keeping the thickness (cell gap) of the liquid crystal layer 522 constant. The sealing material 529 is a member for preventing the liquid crystal composition in the liquid crystal layer 522 from leaking to the outside. Note that one end of the first electrode 523 extends to the outside of the sealing material 529 as a lead-out wiring 523a.
A portion where the first electrode 523 and the second electrode 526 intersect with each other is a pixel, and the color layers 508R, 508G, and 508B of the color filter 500 are located in the portion that becomes the pixel.

通常の製造工程では、カラーフィルタ５００に、第１電極５２３のパターニングおよび第１配向膜５２４の塗布を行ってカラーフィルタ５００側の部分を作成すると共に、これとは別に対向基板５２１に、第２電極５２６のパターニングおよび第２配向膜５２７の塗布を行って対向基板５２１側の部分を作成する。その後、対向基板５２１側の部分にスペーサ５２８およびシール材５２９を作り込み、この状態でカラーフィルタ５００側の部分を貼り合わせる。次いで、シール材５２９の注入口から液晶層５２２を構成する液晶を注入し、注入口を閉止する。その後、両偏光板およびバックライトを積層する。   In a normal manufacturing process, patterning of the first electrode 523 and application of the first alignment film 524 are performed on the color filter 500 to create a portion on the color filter 500 side. Patterning of the electrode 526 and application of the second alignment film 527 are performed to create a portion on the counter substrate 521 side. Thereafter, a spacer 528 and a sealing material 529 are formed in the portion on the counter substrate 521 side, and the portion on the color filter 500 side is bonded in this state. Next, liquid crystal constituting the liquid crystal layer 522 is injected from the inlet of the sealing material 529, and the inlet is closed. Thereafter, both polarizing plates and the backlight are laminated.

実施形態の液滴吐出装置１は、例えば上記のセルギャップを構成するスペーサ材料（機能液）を塗布すると共に、対向基板５２１側の部分にカラーフィルタ５００側の部分を貼り合わせる前に、シール材５２９で囲んだ領域に液晶（機能液）を均一に塗布することが可能である。また、上記のシール材５２９の印刷を、機能液滴吐出ヘッド１７で行うことも可能である。さらに、第１・第２両配向膜５２４，５２７の塗布を機能液滴吐出ヘッド１７で行うことも可能である。   The droplet discharge device 1 according to the embodiment applies, for example, a spacer material (functional liquid) that constitutes the cell gap, and before the portion on the color filter 500 side is bonded to the portion on the counter substrate 521 side, the sealing material Liquid crystal (functional liquid) can be uniformly applied to the region surrounded by 529. Further, the printing of the sealing material 529 can be performed by the functional liquid droplet ejection head 17. Further, the first and second alignment films 524 and 527 can be applied by the functional liquid droplet ejection head 17.

図９は、本実施形態において製造したカラーフィルタ５００を用いた液晶装置の第２の例の概略構成を示す要部断面図である。
この液晶装置５３０が上記液晶装置５２０と大きく異なる点は、カラーフィルタ５００を図中下側（観測者側とは反対側）に配置した点である。
この液晶装置５３０は、カラーフィルタ５００とガラス基板等からなる対向基板５３１との間にＳＴＮ液晶からなる液晶層５３２が挟持されて概略構成されている。なお、図示していないが、対向基板５３１およびカラーフィルタ５００の外面には偏光板等がそれぞれ配設されている。 FIG. 9 is a cross-sectional view of a principal part showing a schematic configuration of a second example of a liquid crystal device using the color filter 500 manufactured in the present embodiment.
The liquid crystal device 530 is significantly different from the liquid crystal device 520 in that the color filter 500 is arranged on the lower side (the side opposite to the observer side) in the figure.
The liquid crystal device 530 is generally configured by sandwiching a liquid crystal layer 532 made of STN liquid crystal between a color filter 500 and a counter substrate 531 made of a glass substrate or the like. Although not shown, polarizing plates and the like are provided on the outer surfaces of the counter substrate 531 and the color filter 500, respectively.

カラーフィルタ５００の保護膜５０９上（液晶層５３２側）には、図中奥行き方向に長尺な短冊状の第１電極５３３が所定の間隔で複数形成されており、この第１電極５３３の液晶層５３２側の面を覆うように第１配向膜５３４が形成されている。
対向基板５３１のカラーフィルタ５００と対向する面上には、カラーフィルタ５００側の第１電極５３３と直交する方向に延在する複数の短冊状の第２電極５３６が所定の間隔で形成され、この第２電極５３６の液晶層５３２側の面を覆うように第２配向膜５３７が形成されている。 On the protective film 509 of the color filter 500 (on the liquid crystal layer 532 side), a plurality of strip-shaped first electrodes 533 elongated in the depth direction in the figure are formed at predetermined intervals, and the liquid crystal of the first electrodes 533 is formed. A first alignment film 534 is formed so as to cover the surface on the layer 532 side.
A plurality of strip-shaped second electrodes 536 extending in a direction orthogonal to the first electrode 533 on the color filter 500 side are formed on the surface of the counter substrate 531 facing the color filter 500 at a predetermined interval. A second alignment film 537 is formed so as to cover the surface of the second electrode 536 on the liquid crystal layer 532 side.

液晶層５３２には、この液晶層５３２の厚さを一定に保持するためのスペーサ５３８と、液晶層５３２内の液晶組成物が外部へ漏出するのを防止するためのシール材５３９が設けられている。
そして、上記した液晶装置５２０と同様に、第１電極５３３と第２電極５３６との交差する部分が画素であり、この画素となる部位に、カラーフィルタ５００の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが位置するように構成されている。 The liquid crystal layer 532 is provided with a spacer 538 for keeping the thickness of the liquid crystal layer 532 constant and a sealing material 539 for preventing the liquid crystal composition in the liquid crystal layer 532 from leaking to the outside. Yes.
Similarly to the liquid crystal device 520 described above, a portion where the first electrode 533 and the second electrode 536 intersect with each other is a pixel, and the colored layers 508R, 508G, and 508B of the color filter 500 are located at the portion that becomes the pixel. Is configured to do.

図１０は、本発明を適用したカラーフィルタ５００を用いて液晶装置を構成した第３の例を示したもので、透過型のＴＦＴ（Thin Film Transistor）型液晶装置の概略構成を示す分解斜視図である。
この液晶装置５５０は、カラーフィルタ５００を図中上側（観測者側）に配置したものである。 FIG. 10 shows a third example in which a liquid crystal device is configured using a color filter 500 to which the present invention is applied, and is an exploded perspective view showing a schematic configuration of a transmissive TFT (Thin Film Transistor) type liquid crystal device. It is.
In the liquid crystal device 550, the color filter 500 is arranged on the upper side (observer side) in the figure.

この液晶装置５５０は、カラーフィルタ５００と、これに対向するように配置された対向基板５５１と、これらの間に挟持された図示しない液晶層と、カラーフィルタ５００の上面側（観測者側）に配置された偏光板５５５と、対向基板５５１の下面側に配設された偏光板（図示せず）とにより概略構成されている。
カラーフィルタ５００の保護膜５０９の表面（対向基板５５１側の面）には液晶駆動用の電極５５６が形成されている。この電極５５６は、ＩＴＯ等の透明導電材料からなり、後述の画素電極５６０が形成される領域全体を覆う全面電極となっている。また、この電極５５６の画素電極５６０とは反対側の面を覆った状態で配向膜５５７が設けられている。 The liquid crystal device 550 includes a color filter 500, a counter substrate 551 disposed so as to face the color filter 500, a liquid crystal layer (not shown) sandwiched therebetween, and an upper surface side (observer side) of the color filter 500. The polarizing plate 555 and the polarizing plate (not shown) arranged on the lower surface side of the counter substrate 551 are roughly configured.
A liquid crystal driving electrode 556 is formed on the surface of the protective film 509 of the color filter 500 (the surface on the counter substrate 551 side). The electrode 556 is made of a transparent conductive material such as ITO, and is a full surface electrode that covers the entire region where a pixel electrode 560 described later is formed. An alignment film 557 is provided so as to cover the surface of the electrode 556 opposite to the pixel electrode 560.

対向基板５５１のカラーフィルタ５００と対向する面には絶縁層５５８が形成されており、この絶縁層５５８上には、走査線５６１および信号線５６２が互いに直交する状態で形成されている。そして、これらの走査線５６１と信号線５６２とに囲まれた領域内には画素電極５６０が形成されている。なお、実際の液晶装置では、画素電極５６０上に配向膜が設けられるが、図示を省略している。   An insulating layer 558 is formed on the surface of the counter substrate 551 facing the color filter 500, and the scanning lines 561 and the signal lines 562 are formed on the insulating layer 558 in a state of being orthogonal to each other. A pixel electrode 560 is formed in a region surrounded by the scanning lines 561 and the signal lines 562. In an actual liquid crystal device, an alignment film is provided on the pixel electrode 560, but the illustration is omitted.

また、画素電極５６０の切欠部と走査線５６１と信号線５６２とに囲まれた部分には、ソース電極、ドレイン電極、半導体、およびゲート電極とを具備する薄膜トランジスタ５６３が組み込まれて構成されている。そして、走査線５６１と信号線５６２に対する信号の印加によって薄膜トランジスタ５６３をオン・オフして画素電極５６０への通電制御を行うことができるように構成されている。   In addition, a thin film transistor 563 including a source electrode, a drain electrode, a semiconductor, and a gate electrode is incorporated in a portion surrounded by the cutout portion of the pixel electrode 560 and the scanning line 561 and the signal line 562. . The thin film transistor 563 is turned on / off by application of signals to the scanning line 561 and the signal line 562 so that energization control to the pixel electrode 560 can be performed.

なお、上記の各例の液晶装置５２０，５３０，５５０は、透過型の構成としたが、反射層あるいは半透過反射層を設けて、反射型の液晶装置あるいは半透過反射型の液晶装置とすることもできる。   Note that the liquid crystal devices 520, 530, and 550 in the above examples are transmissive, but a reflective liquid crystal device or a transflective liquid crystal device is provided by providing a reflective layer or a transflective layer. You can also

次に、図１１は、有機ＥＬ装置の表示領域（以下、単に表示装置６００と称する）の要部断面図である。   Next, FIG. 11 is a cross-sectional view of a main part of a display region (hereinafter simply referred to as a display device 600) of the organic EL device.

この表示装置６００は、基板（Ｗ）６０１上に、回路素子部６０２、発光素子部６０３および陰極６０４が積層された状態で概略構成されている。
この表示装置６００においては、発光素子部６０３から基板６０１側に発した光が、回路素子部６０２および基板６０１を透過して観測者側に出射されると共に、発光素子部６０３から基板６０１の反対側に発した光が陰極６０４により反射された後、回路素子部６０２および基板６０１を透過して観測者側に出射されるようになっている。 The display device 600 is schematically configured with a circuit element portion 602, a light emitting element portion 603, and a cathode 604 laminated on a substrate (W) 601.
In the display device 600, light emitted from the light emitting element portion 603 to the substrate 601 side is transmitted through the circuit element portion 602 and the substrate 601 and emitted to the observer side, and the light emitting element portion 603 is opposite to the substrate 601. After the light emitted to the side is reflected by the cathode 604, the light passes through the circuit element portion 602 and the substrate 601 and is emitted to the observer side.

回路素子部６０２と基板６０１との間にはシリコン酸化膜からなる下地保護膜６０６が形成され、この下地保護膜６０６上（発光素子部６０３側）に多結晶シリコンからなる島状の半導体膜６０７が形成されている。この半導体膜６０７の左右の領域には、ソース領域６０７ａおよびドレイン領域６０７ｂが高濃度陽イオン打ち込みによりそれぞれ形成されている。そして陽イオンが打ち込まれない中央部がチャネル領域６０７ｃとなっている。   A base protective film 606 made of a silicon oxide film is formed between the circuit element portion 602 and the substrate 601, and an island-shaped semiconductor film 607 made of polycrystalline silicon is formed on the base protective film 606 (on the light emitting element portion 603 side). Is formed. In the left and right regions of the semiconductor film 607, a source region 607a and a drain region 607b are formed by high concentration cation implantation, respectively. A central portion where no positive ions are implanted is a channel region 607c.

また、回路素子部６０２には、下地保護膜６０６および半導体膜６０７を覆う透明なゲート絶縁膜６０８が形成され、このゲート絶縁膜６０８上の半導体膜６０７のチャネル領域６０７ｃに対応する位置には、例えばＡｌ、Ｍｏ、Ｔａ、Ｔｉ、Ｗ等から構成されるゲート電極６０９が形成されている。このゲート電極６０９およびゲート絶縁膜６０８上には、透明な第１層間絶縁膜６１１ａと第２層間絶縁膜６１１ｂが形成されている。また、第１、第２層間絶縁膜６１１ａ、６１１ｂを貫通して、半導体膜６０７のソース領域６０７ａ、ドレイン領域６０７ｂにそれぞれ連通するコンタクトホール６１２ａ，６１２ｂが形成されている。   In the circuit element portion 602, a transparent gate insulating film 608 covering the base protective film 606 and the semiconductor film 607 is formed, and a position corresponding to the channel region 607c of the semiconductor film 607 on the gate insulating film 608 is formed. For example, a gate electrode 609 made of Al, Mo, Ta, Ti, W or the like is formed. On the gate electrode 609 and the gate insulating film 608, a transparent first interlayer insulating film 611a and a second interlayer insulating film 611b are formed. Further, contact holes 612a and 612b are formed through the first and second interlayer insulating films 611a and 611b and communicating with the source region 607a and the drain region 607b of the semiconductor film 607, respectively.

そして、第２層間絶縁膜６１１ｂ上には、ＩＴＯ等からなる透明な画素電極６１３が所定の形状にパターニングされて形成され、この画素電極６１３は、コンタクトホール６１２ａを通じてソース領域６０７ａに接続されている。
また、第１層間絶縁膜６１１ａ上には電源線６１４が配設されており、この電源線６１４は、コンタクトホール６１２ｂを通じてドレイン領域６０７ｂに接続されている。 A transparent pixel electrode 613 made of ITO or the like is patterned and formed in a predetermined shape on the second interlayer insulating film 611b, and the pixel electrode 613 is connected to the source region 607a through the contact hole 612a. .
A power supply line 614 is disposed on the first interlayer insulating film 611a, and the power supply line 614 is connected to the drain region 607b through the contact hole 612b.

このように、回路素子部６０２には、各画素電極６１３に接続された駆動用の薄膜トランジスタ６１５がそれぞれ形成されている。   Thus, the driving thin film transistors 615 connected to the pixel electrodes 613 are formed in the circuit element portion 602, respectively.

上記発光素子部６０３は、複数の画素電極６１３上の各々に積層された機能層６１７と、各画素電極６１３および機能層６１７の間に備えられて各機能層６１７を区画するバンク部６１８とにより概略構成されている。
これら画素電極６１３、機能層６１７、および、機能層６１７上に配設された陰極６０４によって発光素子が構成されている。なお、画素電極６１３は、平面視略矩形状にパターニングされて形成されており、各画素電極６１３の間にバンク部６１８が形成されている。 The light emitting element portion 603 includes a functional layer 617 stacked on each of the plurality of pixel electrodes 613, and a bank portion 618 provided between each pixel electrode 613 and the functional layer 617 to partition each functional layer 617. It is roughly structured.
The pixel electrode 613, the functional layer 617, and the cathode 604 provided on the functional layer 617 constitute a light emitting element. Note that the pixel electrode 613 is formed by patterning in a substantially rectangular shape in plan view, and a bank portion 618 is formed between the pixel electrodes 613.

バンク部６１８は、例えばＳｉＯ、ＳｉＯ2、ＴｉＯ2等の無機材料により形成される無機物バンク層６１８ａ（第１バンク層）と、この無機物バンク層６１８ａ上に積層され、アクリル樹脂、ポリイミド樹脂等の耐熱性、耐溶媒性に優れたレジストにより形成される断面台形状の有機物バンク層６１８ｂ（第２バンク層）とにより構成されている。このバンク部６１８の一部は、画素電極６１３の周縁部上に乗上げた状態で形成されている。
そして、各バンク部６１８の間には、画素電極６１３に対して上方に向けて次第に拡開した開口部６１９が形成されている。 The bank unit 618 is laminated on the inorganic bank layer 618a (first bank layer) 618a (first bank layer) formed of an inorganic material such as SiO, SiO 2 or TiO 2 , and is made of an acrylic resin, a polyimide resin, or the like. It is composed of an organic bank layer 618b (second bank layer) having a trapezoidal cross section formed of a resist having excellent heat resistance and solvent resistance. A part of the bank unit 618 is formed on the peripheral edge of the pixel electrode 613.
An opening 619 that gradually expands upward with respect to the pixel electrode 613 is formed between the bank portions 618.

上記機能層６１７は、開口部６１９内において画素電極６１３上に積層状態で形成された正孔注入／輸送層６１７ａと、この正孔注入／輸送層６１７ａ上に形成された発光層６１７ｂとにより構成されている。なお、この発光層６１７ｂに隣接してその他の機能を有する他の機能層をさらに形成しても良い。例えば、電子輸送層を形成することも可能である。
正孔注入／輸送層６１７ａは、画素電極６１３側から正孔を輸送して発光層６１７ｂに注入する機能を有する。この正孔注入／輸送層６１７ａは、正孔注入／輸送層形成材料を含む第１組成物（機能液）を吐出することで形成される。正孔注入／輸送層形成材料としては、公知の材料を用いる。 The functional layer 617 includes a hole injection / transport layer 617a formed in a stacked state on the pixel electrode 613 in the opening 619, and a light emitting layer 617b formed on the hole injection / transport layer 617a. Has been. Note that another functional layer having other functions may be further formed adjacent to the light emitting layer 617b. For example, it is possible to form an electron transport layer.
The hole injection / transport layer 617a has a function of transporting holes from the pixel electrode 613 side and injecting them into the light emitting layer 617b. The hole injection / transport layer 617a is formed by discharging a first composition (functional liquid) containing a hole injection / transport layer forming material. A known material is used as the hole injection / transport layer forming material.

発光層６１７ｂは、赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）、または青色（Ｂ）のいずれかに発光するもので、発光層形成材料（発光材料）を含む第２組成物（機能液）を吐出することで形成される。第２組成物の溶媒（非極性溶媒）としては、正孔注入／輸送層６１７ａに対して不溶な公知の材料を用いることが好ましく、このような非極性溶媒を発光層６１７ｂの第２組成物に用いることにより、正孔注入／輸送層６１７ａを再溶解させることなく発光層６１７ｂを形成することができる。   The light emitting layer 617b emits light in red (R), green (G), or blue (B), and discharges a second composition (functional liquid) containing a light emitting layer forming material (light emitting material). Is formed. As the solvent (nonpolar solvent) of the second composition, a known material that is insoluble in the hole injection / transport layer 617a is preferably used, and such a nonpolar solvent is used as the second composition of the light emitting layer 617b. By using the light emitting layer 617b, the light emitting layer 617b can be formed without re-dissolving the hole injection / transport layer 617a.

そして、発光層６１７ｂでは、正孔注入／輸送層６１７ａから注入された正孔と、陰極６０４から注入される電子が発光層で再結合して発光するように構成されている。   The light emitting layer 617b is configured such that the holes injected from the hole injection / transport layer 617a and the electrons injected from the cathode 604 are recombined in the light emitting layer to emit light.

陰極６０４は、発光素子部６０３の全面を覆う状態で形成されており、画素電極６１３と対になって機能層６１７に電流を流す役割を果たす。なお、この陰極６０４の上部には図示しない封止部材が配置される。   The cathode 604 is formed so as to cover the entire surface of the light emitting element portion 603, and plays a role of flowing current to the functional layer 617 in a pair with the pixel electrode 613. Note that a sealing member (not shown) is disposed on the cathode 604.

次に、上記の表示装置６００の製造工程を図１２〜図２０を参照して説明する。
この表示装置６００は、図１２に示すように、バンク部形成工程（Ｓ１１１）、表面処理工程（Ｓ１１２）、正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ１１３）、発光層形成工程（Ｓ１１４）、および対向電極形成工程（Ｓ１１５）を経て製造される。なお、製造工程は例示するものに限られるものではなく必要に応じてその他の工程が除かれる場合、また追加される場合もある。 Next, the manufacturing process of said display apparatus 600 is demonstrated with reference to FIGS.
As shown in FIG. 12, the display device 600 includes a bank part forming step (S111), a surface treatment step (S112), a hole injection / transport layer forming step (S113), a light emitting layer forming step (S114), It is manufactured through an electrode formation step (S115). In addition, a manufacturing process is not restricted to what is illustrated, and when other processes are removed as needed, it may be added.

まず、バンク部形成工程（Ｓ１１１）では、図１３に示すように、第２層間絶縁膜６１１ｂ上に無機物バンク層６１８ａを形成する。この無機物バンク層６１８ａは、形成位置に無機物膜を形成した後、この無機物膜をフォトリソグラフィ技術等によりパターニングすることにより形成される。このとき、無機物バンク層６１８ａの一部は画素電極６１３の周縁部と重なるように形成される。
無機物バンク層６１８ａを形成したならば、図１４に示すように、無機物バンク層６１８ａ上に有機物バンク層６１８ｂを形成する。この有機物バンク層６１８ｂも無機物バンク層６１８ａと同様にフォトリソグラフィ技術等によりパターニングして形成される。
このようにしてバンク部６１８が形成される。また、これに伴い、各バンク部６１８間には、画素電極６１３に対して上方に開口した開口部６１９が形成される。この開口部６１９は、画素領域を規定する。 First, in the bank part forming step (S111), as shown in FIG. 13, an inorganic bank layer 618a is formed on the second interlayer insulating film 611b. The inorganic bank layer 618a is formed by forming an inorganic film at a formation position and then patterning the inorganic film by a photolithography technique or the like. At this time, a part of the inorganic bank layer 618 a is formed so as to overlap with the peripheral edge of the pixel electrode 613.
When the inorganic bank layer 618a is formed, an organic bank layer 618b is formed on the inorganic bank layer 618a as shown in FIG. The organic bank layer 618b is also formed by patterning using a photolithography technique or the like in the same manner as the inorganic bank layer 618a.
In this way, the bank portion 618 is formed. Accordingly, an opening 619 opening upward with respect to the pixel electrode 613 is formed between the bank portions 618. The opening 619 defines a pixel region.

表面処理工程（Ｓ１１２）では、親液化処理および撥液化処理が行われる。親液化処理を施す領域は、無機物バンク層６１８ａの第１積層部６１８ａａおよび画素電極６１３の電極面６１３ａであり、これらの領域は、例えば酸素を処理ガスとするプラズマ処理によって親液性に表面処理される。このプラズマ処理は、画素電極６１３であるＩＴＯの洗浄等も兼ねている。
また、撥液化処理は、有機物バンク層６１８ｂの壁面６１８ｓおよび有機物バンク層６１８ｂの上面６１８ｔに施され、例えば四フッ化メタンを処理ガスとするプラズマ処理によって表面がフッ化処理（撥液性に処理）される。
この表面処理工程を行うことにより、機能液滴吐出ヘッド１７を用いて機能層６１７を形成する際に、機能液滴を画素領域に、より確実に着弾させることができ、また、画素領域に着弾した機能液滴が開口部６１９から溢れ出るのを防止することが可能となる。 In the surface treatment step (S112), a lyophilic process and a lyophobic process are performed. The region to be subjected to the lyophilic treatment is the first laminated portion 618aa of the inorganic bank layer 618a and the electrode surface 613a of the pixel electrode 613. These regions are made lyophilic by plasma treatment using, for example, oxygen as a treatment gas. Is done. This plasma treatment also serves to clean the ITO that is the pixel electrode 613.
In addition, the lyophobic treatment is performed on the wall surface 618s of the organic bank layer 618b and the upper surface 618t of the organic bank layer 618b, and the surface is fluorinated (treated to be liquid repellent) by plasma treatment using tetrafluoromethane as a processing gas, for example. )
By performing this surface treatment process, when forming the functional layer 617 using the functional liquid droplet ejection head 17, the functional liquid droplets can be landed more reliably on the pixel area. It is possible to prevent the functional droplets from overflowing from the opening 619.

そして、以上の工程を経ることにより、表示装置基体６００Ａが得られる。この表示装置基体６００Ａは、図１に示した液滴吐出装置１のセットテーブル１６に載置され、以下の正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ１１３）および発光層形成工程（Ｓ１１４）が行われる。   Then, the display device base 600A is obtained through the above steps. The display device base 600A is placed on the set table 16 of the droplet discharge device 1 shown in FIG. 1, and the following hole injection / transport layer forming step (S113) and light emitting layer forming step (S114) are performed. .

図１５に示すように、正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ１１３）では、機能液滴吐出ヘッド１７から正孔注入／輸送層形成材料を含む第１組成物を画素領域である各開口部６１９内に吐出する。その後、図１６に示すように、乾燥処理および熱処理を行い、第１組成物に含まれる極性溶媒を蒸発させ、画素電極（電極面６１３ａ）６１３上に正孔注入／輸送層６１７ａを形成する。   As shown in FIG. 15, in the hole injection / transport layer forming step (S113), the first composition containing the hole injection / transport layer forming material is transferred from the functional liquid droplet ejection head 17 to each opening 619 that is a pixel region. Discharge inside. Thereafter, as shown in FIG. 16, a drying process and a heat treatment are performed to evaporate the polar solvent contained in the first composition, and a hole injection / transport layer 617a is formed on the pixel electrode (electrode surface 613a) 613.

次に発光層形成工程（Ｓ１１４）について説明する。この発光層形成工程では、上述したように、正孔注入／輸送層６１７ａの再溶解を防止するために、発光層形成の際に用いる第２組成物の溶媒として、正孔注入／輸送層６１７ａに対して不溶な非極性溶媒を用いる。
しかしその一方で、正孔注入／輸送層６１７ａは、非極性溶媒に対する親和性が低いため、非極性溶媒を含む第２組成物を正孔注入／輸送層６１７ａ上に吐出しても、正孔注入／輸送層６１７ａと発光層６１７ｂとを密着させることができなくなるか、あるいは発光層６１７ｂを均一に塗布できない虞がある。
そこで、非極性溶媒並びに発光層形成材料に対する正孔注入／輸送層６１７ａの表面の親和性を高めるために、発光層形成の前に表面処理（表面改質処理）を行うことが好ましい。この表面処理は、発光層形成の際に用いる第２組成物の非極性溶媒と同一溶媒またはこれに類する溶媒である表面改質材を、正孔注入／輸送層６１７ａ上に塗布し、これを乾燥させることにより行う。
このような処理を施すことで、正孔注入／輸送層６１７ａの表面が非極性溶媒になじみやすくなり、この後の工程で、発光層形成材料を含む第２組成物を正孔注入／輸送層６１７ａに均一に塗布することができる。 Next, the light emitting layer forming step (S114) will be described. In this light emitting layer forming step, as described above, in order to prevent re-dissolution of the hole injection / transport layer 617a, the hole injection / transport layer 617a is used as a solvent for the second composition used in forming the light emitting layer. A non-polar solvent insoluble in.
However, since the hole injection / transport layer 617a has a low affinity for the nonpolar solvent, the hole injection / transport layer 617a has a low affinity even if the second composition containing the nonpolar solvent is discharged onto the hole injection / transport layer 617a. There is a possibility that the injection / transport layer 617a and the light emitting layer 617b cannot be adhered to each other, or the light emitting layer 617b cannot be applied uniformly.
Therefore, in order to increase the surface affinity of the hole injection / transport layer 617a with respect to the nonpolar solvent and the light emitting layer forming material, it is preferable to perform surface treatment (surface modification treatment) before forming the light emitting layer. In this surface treatment, a surface modifying material which is the same solvent as the non-polar solvent of the second composition used in the formation of the light emitting layer or a similar solvent is applied on the hole injection / transport layer 617a, and this is applied. This is done by drying.
By performing such treatment, the surface of the hole injection / transport layer 617a is easily adapted to the nonpolar solvent. In the subsequent step, the second composition containing the light emitting layer forming material is added to the hole injection / transport layer. It can be uniformly applied to 617a.

そして次に、図１７に示すように、各色のうちのいずれか（図１７の例では青色（Ｂ））に対応する発光層形成材料を含有する第２組成物を機能液滴として画素領域（開口部６１９）内に所定量打ち込む。画素領域内に打ち込まれた第２組成物は、正孔注入／輸送層６１７ａ上に広がって開口部６１９内に満たされる。なお、万一、第２組成物が画素領域から外れてバンク部６１８の上面６１８ｔ上に着弾した場合でも、この上面６１８ｔは、上述したように撥液処理が施されているので、第２組成物が開口部６１９内に転がり込み易くなっている。   Next, as shown in FIG. 17, the second composition containing the light emitting layer forming material corresponding to one of the colors (blue (B) in the example of FIG. 17) is used as a functional droplet as a pixel region ( A predetermined amount is driven into the opening 619). The second composition driven into the pixel region spreads on the hole injection / transport layer 617a and fills the opening 619. Even if the second composition deviates from the pixel region and lands on the upper surface 618t of the bank portion 618, the upper composition 618t is subjected to the liquid repellent treatment as described above. Things are easy to roll into the opening 619.

その後、乾燥工程等を行うことにより、吐出後の第２組成物を乾燥処理し、第２組成物に含まれる非極性溶媒を蒸発させ、図１８に示すように、正孔注入／輸送層６１７ａ上に発光層６１７ｂが形成される。この図の場合、青色（Ｂ）に対応する発光層６１７ｂが形成されている。   Thereafter, by performing a drying process or the like, the discharged second composition is dried, the nonpolar solvent contained in the second composition is evaporated, and as shown in FIG. 18, the hole injection / transport layer 617a A light emitting layer 617b is formed thereon. In the case of this figure, a light emitting layer 617b corresponding to blue (B) is formed.

同様に、機能液滴吐出ヘッド１７を用い、図１９に示すように、上記した青色（Ｂ）に対応する発光層６１７ｂの場合と同様の工程を順次行い、他の色（赤色（Ｒ）および緑色（Ｇ））に対応する発光層６１７ｂを形成する。なお、発光層６１７ｂの形成順序は、例示した順序に限られるものではなく、どのような順番で形成しても良い。例えば、発光層形成材料に応じて形成する順番を決めることも可能である。また、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の配列パターンとしては、ストライプ配列、モザイク配列およびデルタ配列等がある。   Similarly, using the functional liquid droplet ejection head 17, as shown in FIG. 19, the same steps as in the case of the light emitting layer 617b corresponding to the blue (B) described above are sequentially performed, and other colors (red (R) and red (R) and A light emitting layer 617b corresponding to green (G) is formed. Note that the order in which the light-emitting layers 617b are formed is not limited to the illustrated order, and may be formed in any order. For example, the order of formation can be determined according to the light emitting layer forming material. In addition, the arrangement pattern of the three colors R, G, and B includes a stripe arrangement, a mosaic arrangement, a delta arrangement, and the like.

以上のようにして、画素電極６１３上に機能層６１７、即ち、正孔注入／輸送層６１７ａおよび発光層６１７ｂが形成される。そして、対向電極形成工程（Ｓ１１５）に移行する。   As described above, the functional layer 617, that is, the hole injection / transport layer 617a and the light emitting layer 617b are formed on the pixel electrode 613. And it transfers to a counter electrode formation process (S115).

対向電極形成工程（Ｓ１１５）では、図２０に示すように、発光層６１７ｂおよび有機物バンク層６１８ｂの全面に陰極６０４（対向電極）を、例えば蒸着法、スパッタ法、ＣＶＤ法等によって形成する。この陰極６０４は、本実施形態においては、例えば、カルシウム層とアルミニウム層とが積層されて構成されている。
この陰極６０４の上部には、電極としてのＡｌ膜、Ａｇ膜や、その酸化防止のためのＳｉＯ2、ＳｉＮ等の保護層が適宜設けられる。 In the counter electrode forming step (S115), as shown in FIG. 20, a cathode 604 (counter electrode) is formed on the entire surface of the light emitting layer 617b and the organic bank layer 618b by, for example, vapor deposition, sputtering, CVD, or the like. In the present embodiment, the cathode 604 is configured by, for example, laminating a calcium layer and an aluminum layer.
On top of the cathode 604, an Al film, an Ag film as an electrode, and a protective layer such as SiO 2 or SiN for preventing oxidation thereof are appropriately provided.

このようにして陰極６０４を形成した後、この陰極６０４の上部を封止部材により封止する封止処理や配線処理等のその他処理等を施すことにより、表示装置６００が得られる。   After forming the cathode 604 in this way, the display device 600 is obtained by performing other processes such as a sealing process for sealing the upper part of the cathode 604 with a sealing member and a wiring process.

次に、図２１は、プラズマ型表示装置（ＰＤＰ装置：以下、単に表示装置７００と称する）の要部分解斜視図である。なお、同図では表示装置７００を、その一部を切り欠いた状態で示してある。
この表示装置７００は、互いに対向して配置された第１基板７０１、第２基板７０２、およびこれらの間に形成される放電表示部７０３を含んで概略構成される。放電表示部７０３は、複数の放電室７０５により構成されている。これらの複数の放電室７０５のうち、赤色放電室７０５Ｒ、緑色放電室７０５Ｇ、青色放電室７０５Ｂの３つの放電室７０５が組になって１つの画素を構成するように配置されている。 Next, FIG. 21 is an exploded perspective view of a main part of a plasma display device (PDP device: hereinafter simply referred to as a display device 700). In the figure, the display device 700 is shown with a part thereof cut away.
The display device 700 is schematically configured to include a first substrate 701, a second substrate 702, and a discharge display portion 703 formed between them, which are disposed to face each other. The discharge display unit 703 includes a plurality of discharge chambers 705. Among the plurality of discharge chambers 705, the three discharge chambers 705 of the red discharge chamber 705R, the green discharge chamber 705G, and the blue discharge chamber 705B are arranged to form one pixel.

第１基板７０１の上面には所定の間隔で縞状にアドレス電極７０６が形成され、このアドレス電極７０６と第１基板７０１の上面とを覆うように誘電体層７０７が形成されている。誘電体層７０７上には、各アドレス電極７０６の間に位置し、且つ各アドレス電極７０６に沿うように隔壁７０８が立設されている。この隔壁７０８は、図示するようにアドレス電極７０６の幅方向両側に延在するものと、アドレス電極７０６と直交する方向に延設された図示しないものを含む。
そして、この隔壁７０８によって仕切られた領域が放電室７０５となっている。 Address electrodes 706 are formed in stripes at predetermined intervals on the upper surface of the first substrate 701, and a dielectric layer 707 is formed so as to cover the address electrodes 706 and the upper surface of the first substrate 701. On the dielectric layer 707, partition walls 708 are provided so as to be positioned between the address electrodes 706 and along the address electrodes 706. The partition 708 includes one extending on both sides in the width direction of the address electrode 706 as shown, and one not shown extending in the direction orthogonal to the address electrode 706.
A region partitioned by the partition 708 is a discharge chamber 705.

放電室７０５内には蛍光体７０９が配置されている。蛍光体７０９は、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）のいずれかの色の蛍光を発光するもので、赤色放電室７０５Ｒの底部には赤色蛍光体７０９Ｒが、緑色放電室７０５Ｇの底部には緑色蛍光体７０９Ｇが、青色放電室７０５Ｂの底部には青色蛍光体７０９Ｂが各々配置されている。   A phosphor 709 is disposed in the discharge chamber 705. The phosphor 709 emits red (R), green (G), or blue (B) fluorescence, and the red phosphor 709R is disposed at the bottom of the red discharge chamber 705R, and the green discharge chamber 705G. A green phosphor 709G and a blue phosphor 709B are arranged at the bottom and the blue discharge chamber 705B, respectively.

第２基板７０２の図中下側の面には、上記アドレス電極７０６と直交する方向に複数の表示電極７１１が所定の間隔で縞状に形成されている。そして、これらを覆うように誘電体層７１２、およびＭｇＯなどからなる保護膜７１３が形成されている。
第１基板７０１と第２基板７０２とは、アドレス電極７０６と表示電極７１１が互いに直交する状態で対向させて貼り合わされている。なお、上記アドレス電極７０６と表示電極７１１は図示しない交流電源に接続されている。
そして、各電極７０６，７１１に通電することにより、放電表示部７０３において蛍光体７０９が励起発光し、カラー表示が可能となる。 On the lower surface of the second substrate 702 in the drawing, a plurality of display electrodes 711 are formed in stripes at predetermined intervals in a direction orthogonal to the address electrodes 706. A dielectric layer 712 and a protective film 713 made of MgO or the like are formed so as to cover them.
The first substrate 701 and the second substrate 702 are bonded so that the address electrodes 706 and the display electrodes 711 face each other in a state of being orthogonal to each other. The address electrode 706 and the display electrode 711 are connected to an AC power source (not shown).
When the electrodes 706 and 711 are energized, the phosphor 709 emits light in the discharge display portion 703, and color display is possible.

本実施形態においては、上記アドレス電極７０６、表示電極７１１、および蛍光体７０９を、図１に示した液滴吐出装置１を用いて形成することができる。以下、第１基板７０１におけるアドレス電極７０６の形成工程を例示する。
この場合、第１基板７０１を液滴吐出装置１のセットテーブル１６に載置された状態で以下の工程が行われる。
まず、機能液滴吐出ヘッド１７により、導電膜配線形成用材料を含有する液体材料（機能液）を機能液滴としてアドレス電極形成領域に着弾させる。この液体材料は、導電膜配線形成用材料として、金属等の導電性微粒子を分散媒に分散したものである。この導電性微粒子としては、金、銀、銅、パラジウム、またはニッケル等を含有する金属微粒子や、導電性ポリマー等が用いられる。 In the present embodiment, the address electrode 706, the display electrode 711, and the phosphor 709 can be formed by using the droplet discharge device 1 shown in FIG. Hereinafter, a process of forming the address electrode 706 on the first substrate 701 will be exemplified.
In this case, the following steps are performed with the first substrate 701 placed on the set table 16 of the droplet discharge device 1.
First, a liquid material (functional liquid) containing a conductive film wiring forming material is landed on the address electrode formation region as a functional liquid droplet by the functional liquid droplet ejection head 17. This liquid material is obtained by dispersing conductive fine particles such as metal in a dispersion medium as a conductive film wiring forming material. As the conductive fine particles, metal fine particles containing gold, silver, copper, palladium, nickel, or the like, a conductive polymer, or the like is used.

補充対象となるすべてのアドレス電極形成領域について液体材料の補充が終了したならば、吐出後の液体材料を乾燥処理し、液体材料に含まれる分散媒を蒸発させることによりアドレス電極７０６が形成される。   When the replenishment of the liquid material is completed for all the address electrode formation regions to be replenished, the address material 706 is formed by drying the discharged liquid material and evaporating the dispersion medium contained in the liquid material. .

ところで、上記においてはアドレス電極７０６の形成を例示したが、上記表示電極７１１および蛍光体７０９についても上記各工程を経ることにより形成することができる。
表示電極７１１の形成の場合、アドレス電極７０６の場合と同様に、導電膜配線形成用材料を含有する液体材料（機能液）を機能液滴として表示電極形成領域に着弾させる。
また、蛍光体７０９の形成の場合には、各色（Ｒ，Ｇ，Ｂ）に対応する蛍光材料を含んだ液体材料（機能液）を機能液滴吐出ヘッド１７から液滴として吐出し、対応する色の放電室７０５内に着弾させる。 By the way, although the formation of the address electrode 706 has been exemplified in the above, the display electrode 711 and the phosphor 709 can also be formed through the above steps.
In the case of forming the display electrode 711, as in the case of the address electrode 706, a liquid material (functional liquid) containing a conductive film wiring forming material is landed on the display electrode formation region as a functional droplet.
Further, in the case of forming the phosphor 709, a liquid material (functional liquid) containing a fluorescent material corresponding to each color (R, G, B) is ejected as droplets from the functional liquid droplet ejection head 17, and it corresponds. Land in the color discharge chamber 705.

次に、図２２は、電子放出装置（ＦＥＤ装置あるいはＳＥＤ装置ともいう：以下、単に表示装置８００と称する）の要部断面図である。なお、同図では表示装置８００を、その一部を断面として示してある。
この表示装置８００は、互いに対向して配置された第１基板８０１、第２基板８０２、およびこれらの間に形成される電界放出表示部８０３を含んで概略構成される。電界放出表示部８０３は、マトリクス状に配置した複数の電子放出部８０５により構成されている。 Next, FIG. 22 is a cross-sectional view of an essential part of an electron emission device (also referred to as an FED device or an SED device: hereinafter simply referred to as a display device 800). In the drawing, a part of the display device 800 is shown as a cross section.
The display device 800 is schematically configured to include a first substrate 801, a second substrate 802, and a field emission display portion 803 formed therebetween, which are disposed to face each other. The field emission display unit 803 includes a plurality of electron emission units 805 arranged in a matrix.

第１基板８０１の上面には、カソード電極８０６を構成する第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂが相互に直交するように形成されている。また、第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂで仕切られた部分には、ギャップ８０８を形成した導電性膜８０７が形成されている。すなわち、第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７により複数の電子放出部８０５が構成されている。導電性膜８０７は、例えば酸化パラジウム（ＰｄＯ）等で構成され、またギャップ８０８は、導電性膜８０７を成膜した後、フォーミング等で形成される。   On the upper surface of the first substrate 801, a first element electrode 806a and a second element electrode 806b constituting the cathode electrode 806 are formed so as to be orthogonal to each other. In addition, a conductive film 807 having a gap 808 is formed in a portion partitioned by the first element electrode 806a and the second element electrode 806b. That is, the first element electrode 806a, the second element electrode 806b, and the conductive film 807 constitute a plurality of electron emission portions 805. The conductive film 807 is made of, for example, palladium oxide (PdO), and the gap 808 is formed by forming after forming the conductive film 807.

第２基板８０２の下面には、カソード電極８０６に対峙するアノード電極８０９が形成されている。アノード電極８０９の下面には、格子状のバンク部８１１が形成され、このバンク部８１１で囲まれた下向きの各開口部８１２に、電子放出部８０５に対応するように蛍光体８１３が配置されている。蛍光体８１３は、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）のいずれかの色の蛍光を発光するもので、各開口部８１２には、赤色蛍光体８１３Ｒ、緑色蛍光体８１３Ｇおよび青色蛍光体８１３Ｂが、上記した所定のパターンで配置されている。   An anode electrode 809 that faces the cathode electrode 806 is formed on the lower surface of the second substrate 802. A lattice-shaped bank portion 811 is formed on the lower surface of the anode electrode 809, and a phosphor 813 is disposed in each downward opening 812 surrounded by the bank portion 811 so as to correspond to the electron emission portion 805. Yes. The phosphor 813 emits fluorescence of any one of red (R), green (G), and blue (B), and each opening 812 has a red phosphor 813R, a green phosphor 813G, and a blue color. The phosphors 813B are arranged in the predetermined pattern described above.

そして、このように構成した第１基板８０１と第２基板８０２とは、微小な間隙を存して貼り合わされている。この表示装置８００では、導電性膜（ギャップ８０８）８０７を介して、陰極である第１素子電極８０６ａまたは第２素子電極８０６ｂから飛び出す電子を、陽極であるアノード電極８０９に形成した蛍光体８１３に当てて励起発光し、カラー表示が可能となる。   The first substrate 801 and the second substrate 802 configured as described above are bonded together with a minute gap. In this display device 800, electrons that jump out of the first element electrode 806 a or the second element electrode 806 b that are cathodes through the conductive film (gap 808) 807 are formed on the phosphor 813 formed on the anode electrode 809 that is an anode. When excited, it emits light and enables color display.

この場合も、他の実施形態と同様に、第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂ、導電性膜８０７およびアノード電極８０９を、液滴吐出装置１を用いて形成することができると共に、各色の蛍光体８１３Ｒ，８１３Ｇ，８１３Ｂを、液滴吐出装置１を用いて形成することができる。   Also in this case, as in the other embodiments, the first element electrode 806a, the second element electrode 806b, the conductive film 807, and the anode electrode 809 can be formed using the droplet discharge device 1 and each color. The phosphors 813R, 813G, and 813B can be formed using the droplet discharge device 1.

第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７は、図２３（ａ）に示す平面形状を有しており、これらを成膜する場合には、図２３（ｂ）に示すように、予め第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７を作り込む部分を残して、バンク部ＢＢを形成（フォトリソグラフィ法）する。次に、バンク部ＢＢにより構成された溝部分に、第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂを形成（液滴吐出装置１によるインクジェット法）し、その溶剤を乾燥させて成膜を行った後、導電性膜８０７を形成（液滴吐出装置１によるインクジェット法）する。そして、導電性膜８０７を成膜後、バンク部ＢＢを取り除き（アッシング剥離処理）、上記のフォーミング処理に移行する。なお、上記の有機ＥＬ装置の場合と同様に、第１基板８０１および第２基板８０２に対する親液化処理や、バンク部８１１，ＢＢに対する撥液化処理を行うことが、好ましい。   The first element electrode 806a, the second element electrode 806b, and the conductive film 807 have the planar shape shown in FIG. 23A, and when these are formed, as shown in FIG. In addition, the bank portion BB is formed (photolithographic method), leaving portions where the first element electrode 806a, the second element electrode 806b, and the conductive film 807 are previously formed. Next, the first element electrode 806a and the second element electrode 806b were formed in the groove portion constituted by the bank portion BB (inkjet method using the droplet discharge device 1), and the solvent was dried to form a film. After that, a conductive film 807 is formed (an ink jet method using the droplet discharge device 1). Then, after forming the conductive film 807, the bank portion BB is removed (ashing peeling process), and the process proceeds to the above forming process. As in the case of the organic EL device described above, it is preferable to perform a lyophilic process on the first substrate 801 and the second substrate 802 and a lyophobic process on the bank portions 811 and BB.

また、他の電気光学装置としては、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等の装置が考えられる。上記した液滴吐出装置１を各種の電気光学装置（デバイス）の製造に用いることにより、各種の電気光学装置を効率的に製造することが可能である。   As other electro-optical devices, devices such as metal wiring formation, lens formation, resist formation, and light diffuser formation are conceivable. By using the droplet discharge device 1 described above for manufacturing various electro-optical devices (devices), various electro-optical devices can be efficiently manufactured.

本発明の一実施形態に係る液滴吐出装置の平面模式図である。1 is a schematic plan view of a droplet discharge device according to an embodiment of the present invention. 吸引ユニットの概念図である。It is a conceptual diagram of a suction unit. ヘッドキャップの斜視図である。It is a perspective view of a head cap. クリーニング動作を説明するフローチャートである。It is a flowchart explaining cleaning operation | movement. 洗浄動作を説明するフローチャートである。It is a flowchart explaining washing | cleaning operation | movement. カラーフィルタ製造工程を説明するフローチャートである。It is a flowchart explaining a color filter manufacturing process. （ａ）〜（ｅ）は、製造工程順に示したカラーフィルタの模式断面図である。(A)-(e) is a schematic cross section of the color filter shown to the manufacturing process order. 本発明を適用したカラーフィルタを用いた液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。It is principal part sectional drawing which shows schematic structure of the liquid crystal device using the color filter to which this invention is applied. 本発明を適用したカラーフィルタを用いた第２の例の液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。It is principal part sectional drawing which shows schematic structure of the liquid crystal device of the 2nd example using the color filter to which this invention is applied. 本発明を適用したカラーフィルタを用いた第３の例の液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。It is principal part sectional drawing which shows schematic structure of the liquid crystal device of the 3rd example using the color filter to which this invention is applied. 有機ＥＬ装置である表示装置の要部断面図である。It is principal part sectional drawing of the display apparatus which is an organic electroluminescent apparatus. 有機ＥＬ装置である表示装置の製造工程を説明するフローチャートである。It is a flowchart explaining the manufacturing process of the display apparatus which is an organic electroluminescent apparatus. 無機物バンク層の形成を説明する工程図である。It is process drawing explaining formation of an inorganic bank layer. 有機物バンク層の形成を説明する工程図である。It is process drawing explaining formation of an organic substance bank layer. 正孔注入／輸送層を形成する過程を説明する工程図である。It is process drawing explaining the process in which a positive hole injection / transport layer is formed. 正孔注入／輸送層が形成された状態を説明する工程図である。It is process drawing explaining the state in which the positive hole injection / transport layer was formed. 青色の発光層を形成する過程を説明する工程図である。It is process drawing explaining the process in which a blue light emitting layer is formed. 青色の発光層が形成された状態を説明する工程図である。It is process drawing explaining the state in which the blue light emitting layer was formed. 各色の発光層が形成された状態を説明する工程図である。It is process drawing explaining the state in which the light emitting layer of each color was formed. 陰極の形成を説明する工程図である。It is process drawing explaining formation of a cathode. プラズマ型表示装置（ＰＤＰ装置）である表示装置の要部分解斜視図である。It is a principal part disassembled perspective view of the display apparatus which is a plasma type display apparatus (PDP apparatus). 電子放出装置（ＦＥＤ装置）である表示装置の要部断面図である。It is principal part sectional drawing of the display apparatus which is an electron emission apparatus (FED apparatus). 表示装置の電子放出部廻りの平面図（ａ）およびその形成方法を示す平面図（ｂ）である。It is the top view (a) around the electron emission part of a display apparatus, and the top view (b) which shows the formation method.

符号の説明Explanation of symbols

１…液滴吐出装置 ３…描画装置 ５…制御装置 １７…機能液滴吐出ヘッド ３１…ノズル面 ３２…ノズル ５１…吸引ユニット １０２…吸引手段 １０３…供給手段 １０４…ヘッドキャップ １３１…吸引チューブ １３３…回収タンク １３４…エゼクタ １３５…排液流量センサ １４１…供給チューブ １４２…洗浄液タンク １４３…送液ポンプ １４４…給液流量センサ Ｗ（ワーク）…基板   DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Droplet discharge device 3 ... Drawing apparatus 5 ... Control apparatus 17 ... Functional droplet discharge head 31 ... Nozzle surface 32 ... Nozzle 51 ... Suction unit 102 ... Suction means 103 ... Supply means 104 ... Head cap 131 ... Suction tube 133 ... Recovery tank 134 ... Ejector 135 ... Drainage flow sensor 141 ... Supply tube 142 ... Cleaning liquid tank 143 ... Liquid feed pump 144 ... Supply liquid flow sensor W (workpiece) ... Substrate

Claims (12)

インクジェット方式の機能液滴吐出ヘッドのノズル面を封止するヘッドキャップと、
前記ヘッドキャップに連通し、前記ノズル面を封止した前記ヘッドキャップを介して、前記機能液滴吐出ヘッド内の複数のノズルから機能液を吸引するクリーニング動作を行う吸引手段と、
前記ヘッドキャップ内に洗浄液を供給する供給手段と、
を備えたことを特徴とする吸引ユニット。 A head cap that seals the nozzle surface of the inkjet functional droplet discharge head;
A suction unit communicating with the head cap and performing a cleaning operation for sucking a functional liquid from a plurality of nozzles in the functional liquid droplet ejection head through the head cap sealing the nozzle surface;
Supply means for supplying a cleaning liquid into the head cap;
A suction unit comprising: 前記吸引手段は、
前記ヘッドキャップに連通する吸引流路と、
前記吸引流路の下流端に設けられた回収タンクと、
前記回収タンクに向けて前記機能液を吸引する吸引アクチュエータと、
を有することを特徴とする請求項１に記載の吸引ユニット。 The suction means is
A suction flow path communicating with the head cap;
A collection tank provided at the downstream end of the suction flow path;
A suction actuator for sucking the functional liquid toward the recovery tank;
The suction unit according to claim 1, comprising: 前記供給手段は、
前記ヘッドキャップに連通する供給流路と、
前記供給流路の上流端に設けられた洗浄液タンクと、
前記洗浄液タンク内の洗浄液を前記ヘッドキャップに送液する供給アクチュエータと、
を有することを特徴とする請求項１または２に記載の吸引ユニット。 The supply means includes
A supply flow path communicating with the head cap;
A cleaning liquid tank provided at the upstream end of the supply flow path;
A supply actuator for feeding the cleaning liquid in the cleaning liquid tank to the head cap;
The suction unit according to claim 1, wherein the suction unit is provided. 前記吸引手段と前記供給手段とを制御する制御手段を、更に備え、
前記制御手段は、前記機能液滴吐出ヘッドのノズル面の封止を解いた状態の前記ヘッドキャップに対し、前記供給手段を制御して、前記ヘッドキャップ内に前記洗浄液を供給させると共に、前記吸引手段を制御して、前記ヘッドキャップ内の洗浄液を吸引させることで、前記ヘッドキャップを洗浄する洗浄動作を行うことを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載の吸引ユニット。 A control means for controlling the suction means and the supply means;
The control means controls the supply means to supply the cleaning liquid into the head cap with respect to the head cap in a state where the nozzle surface of the functional liquid droplet ejection head is unsealed, and the suction liquid 4. The suction unit according to claim 1, wherein a cleaning operation for cleaning the head cap is performed by controlling the means to suck the cleaning liquid in the head cap. 前記吸引手段により吸引される前記機能液の流量を測定する排液流量手段を、更に備え、
前記制御手段は、前記クリーニング動作の際に、前記排液流量手段により測定された流量が所定の閾値未満である場合、前記洗浄動作を行った上で前記クリーニング動作を再度行わせることを特徴とする請求項４に記載の吸引ユニット。 A drainage flow rate means for measuring the flow rate of the functional liquid sucked by the suction means;
When the flow rate measured by the drainage flow rate unit is less than a predetermined threshold during the cleaning operation, the control unit performs the cleaning operation and then performs the cleaning operation again. The suction unit according to claim 4. 前記制御手段は、前記機能液の流量が前記閾値未満である場合、前記機能液の流量が前記閾値以上になるまで、前記クリーニング動作と前記洗浄動作とを所定回数を上限とする範囲内で繰り返し行い、
前記所定回数の前記クリーニング動作と前記洗浄動作とを行っても、前記機能液の流量が閾値未満の場合は、その旨を報知する報知手段を、更に備えたことを特徴とする請求項５に記載の吸引ユニット。 When the flow rate of the functional liquid is less than the threshold value, the control unit repeats the cleaning operation and the cleaning operation within a range up to a predetermined number of times until the flow rate of the functional liquid becomes equal to or higher than the threshold value. Done
6. The information processing apparatus according to claim 5, further comprising notification means for notifying that if the flow rate of the functional liquid is less than a threshold value even after the cleaning operation and the cleaning operation are performed a predetermined number of times. The suction unit described. 前記ヘッドキャップ内が前記洗浄液で満液になることを検知する液量検知手段を、更に備え、
前記制御手段は、前記供給手段を制御して、前記液量検知手段により前記ヘッドキャップ内が満液になることが検知されるまで、前記ヘッドキャップ内に洗浄液を供給させた後、前記吸引手段を制御して、前記ヘッドキャップ内の洗浄液を吸引することを特徴とする請求項４ないし６のいずれかに記載の吸引ユニット。 A liquid amount detecting means for detecting that the inside of the head cap is filled with the cleaning liquid;
The control unit controls the supply unit to supply the cleaning liquid into the head cap until the liquid amount detection unit detects that the head cap is full, and then the suction unit. The suction unit according to claim 4, wherein the cleaning liquid in the head cap is sucked by controlling the control. 前記洗浄液が、前記機能液の溶媒であることを特徴とする請求項１ないし７のいずれかに記載の吸引ユニット。   The suction unit according to claim 1, wherein the cleaning liquid is a solvent for the functional liquid. 請求項１ないし８のいずれかに記載の吸引ユニットと、
前記機能液滴吐出ヘッドを搭載すると共に、ワークに対し、前記機能液滴吐出ヘッドから前記機能液を吐出して描画処理を行う描画手段と、
を備えたことを特徴とする液滴吐出装置。 A suction unit according to any of claims 1 to 8,
A drawing unit that mounts the functional liquid droplet ejection head and performs a drawing process by ejecting the functional liquid from the functional liquid droplet ejection head to a workpiece;
A droplet discharge apparatus comprising: 請求項９に記載の液滴吐出装置を用い、前記ワーク上に機能液による成膜部を形成することを特徴とする電気光学装置の製造方法。   10. A method for manufacturing an electro-optical device, wherein the droplet discharge device according to claim 9 is used, and a film-forming portion made of a functional liquid is formed on the workpiece. 請求項９に記載の液滴吐出装置を用い、前記ワーク上に機能液による成膜部を形成したことを特徴とする電気光学装置。   An electro-optical device using the droplet discharge device according to claim 9, wherein a film forming portion made of a functional liquid is formed on the workpiece. 請求項１０に記載の電気光学装置の製造方法により製造した電気光学装置または請求項１１に記載の電気光学装置を搭載したことを特徴とする電子機器。   An electronic apparatus comprising the electro-optical device manufactured by the method for manufacturing the electro-optical device according to claim 10 or the electro-optical device according to claim 11.
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