JP2008080193A - 濾過システム及び濾過方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】薬液内の異物を濾過する濾過フィルター11と、濾過フィルター11に薬液を導入する一次側通路12と、一次側通路12内の薬液中の異物を監視する第1パーティクルセンサ13と、濾過フィルター11で濾過された薬液を排出する二次側通路14と、二次側通路14内の薬液中の異物を監視する第2パーティクルセンサ15と、第1パーティクルセンサ13で検出された異物と、第2パーティクルセンサ15で検出された異物とから、異物の除去率を求める演算部16とを備えている。
【選択図】図1
Description
フィルタ部と、
前記フィルタ部に液体を導入する一次側通路と、
前記一次側通路内の前記液体中の異物数を監視する第1異物センサと、
前記フィルタ部で濾過された前記液体を排出する二次側通路と、
前記二次側通路内の前記液体中の前記異物数を監視する第2異物センサと、
前記第1異物センサで検出された前記異物数と前記第2異物センサで検出された前記異物数とから、前記異物の除去率を求める演算部と、
を備える。
液体内の異物をフィルタ部で濾過する工程と、
前記フィルタ部に前記液体を導入する工程と、
前記フィルタ部で濾過された前記液体を排出する工程と、
前記フィルタ部に導入される前記液体中の異物を監視する工程と、
前記フィルタ部から排出される前記液体中の前記異物を監視する工程と、
前記フィルタ部に導入される前記液体中の前記異物と前記フィルタ部から排出される前記液体中の前記異物とから、前記異物の除去率を求める工程と、
を含む。
K=(PC1−PC2)/PC1
但し、K:異物の除去率(%)
PC1:第1パーティクルセンサ13で検出された異物の濃度
PC2:第2パーティクルセンサ15で検出された異物の濃度
液が薬液貯留槽に貯留され、この薬液貯留槽内の薬液を濾過システム1で濾過する場合について説明する。半導体は、薬液貯留槽内の薬液に浸積することにより洗浄される。
2内の薬液の圧力が上昇して、濾過フィルター11の濾過膜における孔が拡大され、濾過フィルター11に蓄積していた異物が二次側通路14に排出される。
ー11を濾過性能の限界まで安心して使用できる。
11 濾過フィルター(フィルタ部)
12 一次側通路
13 第1パーティクルセンサ(第1異物センサ)
14 二次側通路
15 第2パーティクルセンサ(第2異物センサ)
16 演算部
17 ポンプ
18 制御部
19 流量監視装置
30 薬液
31 薬液貯留槽
32 半導体
50 濾過システム
51 濾過フィルター
52,53 圧力計
54 タンク
55 加圧ポンプ
Claims (5)
- 液体内の異物を濾過するフィルタ部と、
前記フィルタ部に前記液体を導入する一次側通路と、
前記一次側通路内の前記液体中の異物を監視する第1異物センサと、
前記フィルタ部で濾過された前記液体を排出する二次側通路と、
前記二次側通路内の前記液体中の前記異物を監視する第2異物センサと、
前記第1異物センサで検出された前記異物と前記第2異物センサで検出された前記異物とから、前記異物の除去率を求める演算部と、
を備える濾過システム。 - 前記除去率が所定の基準値に達しない場合に、前記フィルター部に導入する前記液体の導入量を制御する液体導入量制御装置を備える請求項1に記載の濾過システム。
- 前記除去率が所定の基準値に達しない場合に、警報を発生する請求項1または2に記載の濾過システム。
- 前記二次側通路における前記液体の流量を監視する流量監視手段を有する請求項1から3の何れかに記載の濾過システム。
- 液体内の異物をフィルタ部で濾過する工程と、
前記フィルタ部に前記液体を導入する工程と、
前記フィルタ部で濾過された前記液体を排出する工程と、
前記フィルタ部に導入される前記液体中の異物を監視する工程と、
前記フィルタ部から排出される前記液体中の前記異物を監視する工程と、
前記フィルタ部に導入される前記液体中の前記異物と前記フィルタ部から排出される前記液体中の前記異物とから、前記異物の除去率を求める工程と、
を含む濾過方法。
Priority Applications (1)
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---|---|---|---|
JP2006260630A JP2008080193A (ja) | 2006-09-26 | 2006-09-26 | 濾過システム及び濾過方法 |
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JP2006260630A JP2008080193A (ja) | 2006-09-26 | 2006-09-26 | 濾過システム及び濾過方法 |
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- 2006-09-26 JP JP2006260630A patent/JP2008080193A/ja active Pending
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