JP2008073570A - Atomizer, and suction device - Google Patents

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Kazuo Kawasumi
和夫 河角
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    • B05B17/00—Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups
    • B05B17/04—Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups operating with special methods
    • B05B17/06—Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups operating with special methods using ultrasonic or other kinds of vibrations
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an atomizer enabling an efficient atomization of a liquid supplied on a piezoelectric substrate. <P>SOLUTION: The atomizer 1 is provided with an elastic surface-wave device 10 provided with the piezoelectric substrate 20, an IDT electrode 30 formed on a main surface of the piezoelectric substrate 20 and a bank 40 formed surrounding the circumference of the IDT electrode 30 at a position apart from the IDT electrode 30, a high-frequency power source part 120 connected to the IDT electrode 30 and generating a surface acoustic wave, and a liquid discharger 50 discharging a liquid in a region wherein the surface acoustic wave generated from the elastic surface-wave device 10 spreads. The supplied liquid is efficiently atomized without flowing out outside the piezoelectric substrate 20, and is microparticulated. <P>COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT

Description

本発明は、弾性表面波素子を用いて液体を霧化する霧化器と、この霧化器によって霧化された微粒子を吸引するための吸引装置に関する。   The present invention relates to an atomizer that atomizes a liquid using a surface acoustic wave element, and a suction device for sucking fine particles atomized by the atomizer.

近年、薬液や香味液体を微粒子化し（霧化という）吸引するための吸引装置が提案されている。例えば、従来、薬液などの患者への投与は皮下注射等によって行われていたが、その代用として気管を通して吸引する方法が提案されている。また、タバコを燃焼させることなくタバコに似た香味を嗜好するために香味液体を霧化して吸引する擬似喫煙具も提案されている。   In recent years, a suction device has been proposed for sucking a chemical solution or flavor liquid into fine particles (referred to as atomization). For example, conventionally, administration of a drug solution or the like to a patient has been performed by subcutaneous injection or the like, but as an alternative, a method of sucking through a trachea has been proposed. In addition, a pseudo-smoking tool that atomizes and sucks a flavor liquid has been proposed in order to taste a flavor similar to tobacco without burning the tobacco.

これらのような吸引装置や擬似喫煙具は、液体を微粒子化することが求められ、様々な霧化器が開発されている。これら霧化器の代表的なものとして、弾性表面波素子によるもの、インクジェット技術によるものが知られている。   Such suction devices and simulated smoking devices are required to atomize a liquid, and various atomizers have been developed. Typical examples of these atomizers include those using surface acoustic wave elements and those using inkjet technology.

弾性表面波素子を用いるものとしては、ＩＤＴ電極が形成される圧電基板からなる振動子と、ＩＤＴ電極に接続され、弾性表面波を発生させる高周波電源部と、前記振動子とギャップを介して振動子の一部に配置されギャップ端にスリットが形成されるカバーと、ギャップに液体を供給する手段とを備える弾性表面波を用いた霧化器というものが知られている（例えば、特許文献１参照）。   As the surface acoustic wave element, a vibrator composed of a piezoelectric substrate on which an IDT electrode is formed, a high-frequency power supply unit that is connected to the IDT electrode and generates a surface acoustic wave, and vibrates through the gap with the vibrator. There is known an atomizer using a surface acoustic wave provided with a cover that is arranged in a part of a child and in which a slit is formed at the end of the gap, and means for supplying a liquid to the gap (for example, Patent Document 1). reference).

また、液体吐出器としてインクジェットユニットを用い、インクジェットユニットから供給される液滴をさらに微粒子化する弾性表面波素子を用いた霧化器というものも知られている（例えば、特許文献２参照）。   There is also known an atomizer using a surface acoustic wave element that uses an ink jet unit as a liquid ejecting device and further atomizes droplets supplied from the ink jet unit (see, for example, Patent Document 2).

さらに、圧電基板上にＩＤＴ電極が形成され、この圧電基板の一部に凹部または金属薄膜からなる加熱反応部を形成し、この加熱反応部に供給された液体を励振させることにより加熱し、液体を霧化する霧化器というものが知られている（例えば、特許文献３参照）。   Further, an IDT electrode is formed on the piezoelectric substrate, and a heating reaction portion made of a concave portion or a metal thin film is formed on a part of the piezoelectric substrate, and the liquid supplied to the heating reaction portion is heated to excite the liquid. An atomizer that atomizes water is known (for example, see Patent Document 3).

また、液体吐出器としてインクジェット装置を用いて液体を微粒子化する霧化器が知られている（例えば、特許文献４参照）。   Further, an atomizer that atomizes a liquid using an ink jet device as a liquid ejector is known (see, for example, Patent Document 4).

また、上述の霧化器を用いた吸引装置として、利用者の口と連通する開口部を有するシリンダー内に、呼吸に対応して移動するピストンと、ピストンの位置を検出する検出手段と、薬液収容容器（カートリッジ）と、薬液を霧化するインクジェット装置と、吸引装置の駆動制御を行う電気制御部と、バッテリとを収納して、霧化された微粒子を銜え口部から吸引する吸引装置というものが知られている（例えば、特許文献４参照）。   Further, as a suction device using the above-described atomizer, a piston that moves in response to breathing in a cylinder having an opening communicating with a user's mouth, a detection means that detects the position of the piston, and a chemical solution A suction container that stores a container (cartridge), an ink jet device that atomizes a chemical, an electric control unit that controls driving of the suction device, and a battery, and sucks atomized fine particles from the mouth portion. Those are known (for example, see Patent Document 4).

特開平７−２３２１１４号公報（第２頁、第１図）Japanese Unexamined Patent Publication No. 7-232114 (2nd page, FIG. 1) 特開平１１−１１４４６７号公報（第５頁、第１図）Japanese Patent Laid-Open No. 11-114467 (page 5, FIG. 1) 特開２００５−１１１４７１号公報（第９頁、第１図）Japanese Patent Laying-Open No. 2005-111471 (page 9, FIG. 1) 特開２００４−３５０９８５号公報（第３，４頁、第２図）Japanese Unexamined Patent Publication No. 2004-350985 (pages 3, 4 and 2)

上述した特許文献１及び特許文献２では、平板状の圧電基板上に液体を吐出し、吐出された液体は、弾性表面波素子の振動により弾性表面波の伝搬に沿って表面を流動、霧化、あるいは飛翔する。従って、液体は、圧電基板上から圧電基板外に流動するものが存在し、供給量に比べ霧化される量が減少してしまうことがある。   In Patent Document 1 and Patent Document 2 described above, liquid is ejected onto a flat piezoelectric substrate, and the ejected liquid flows and atomizes along the surface acoustic wave propagation due to vibration of the surface acoustic wave element. Or fly. Therefore, there is a liquid that flows from the piezoelectric substrate to the outside of the piezoelectric substrate, and the amount of atomization may be reduced compared to the supply amount.

また、仮に、この霧化器を吸引装置に搭載した場合、圧電基板外に流動した液体が、制御部や液体供給手段等に付着し、制御部、液体供給手段の機能を損なうことが考えられる。   Also, if this atomizer is mounted on a suction device, the liquid that has flowed out of the piezoelectric substrate may adhere to the control unit, the liquid supply unit, etc., and impair the functions of the control unit and the liquid supply unit. .

また、上述した特許文献１では、振動子とカバーによって形成されるギャップ端の狭いスリットから液体を吐出し、ギャップにより液体を薄い膜として吐出し霧化している。ギャップ内では、液体の表面張力により、振動のＯＮ／ＯＦＦに伴い液体の供給を促している。しかしながら、ギャップ内においては液体が充填された状態となっているため、実際に霧化している領域（面積）が小さくなることから、霧化効率が低下するという課題を有する。   Further, in Patent Document 1 described above, liquid is discharged from a slit having a narrow gap end formed by a vibrator and a cover, and the liquid is discharged as a thin film and atomized by the gap. In the gap, the supply of the liquid is promoted with the vibration ON / OFF due to the surface tension of the liquid. However, since the liquid is filled in the gap, the area (area) that is actually atomized becomes small, and thus there is a problem that the atomization efficiency decreases.

特許文献２では、圧電基板（ＩＤＴ電極を含む）の上面に親液性の膜を形成しているが、液体の圧電基板外への流出を防止することはできない。   In Patent Document 2, a lyophilic film is formed on the upper surface of a piezoelectric substrate (including IDT electrodes), but it is not possible to prevent the liquid from flowing out of the piezoelectric substrate.

また、特許文献３では、圧電基板の一部に凹部や金属薄膜などの加熱反応部を設けており、加熱反応部において液体を昇温させて霧化している。しかし、弾性表面波が伝搬する領域に凹部やＩＤＴ電極とは異なる電極間ピッチを有する金属薄膜を形成することにより、弾性表面波の位相速度が低下することが考えられ、励振効率を低下させ霧化効率が低下することが予測される。さらに、小さな凹部を設けたとしても、液体が圧電基板外に流出することを防止することは困難である。   Moreover, in patent document 3, the heating reaction part, such as a recessed part and a metal thin film, is provided in a part of piezoelectric substrate, and the liquid is heated up and atomized in the heating reaction part. However, it is conceivable that the surface velocity of the surface acoustic wave is reduced by forming a metal thin film having an inter-electrode pitch different from that of the recess and the IDT electrode in the region where the surface acoustic wave propagates. It is predicted that the conversion efficiency will decrease. Furthermore, even if a small recess is provided, it is difficult to prevent the liquid from flowing out of the piezoelectric substrate.

また、特許文献４による吸引装置は、シリンダー内に、ピストンと、ピストンの位置を検出する検出手段と、薬液収容容器（カートリッジ）と、インクジェット装置と、電気制御部と、バッテリとを収納して構成されている。吸引装置としては、薬液の補充や、バッテリの交換や充電などが必要となる。しかしながら、特許文献４による構造では、カートリッジやバッテリの交換が利用者にとって容易にできないという課題を有している。   Further, the suction device according to Patent Document 4 houses a piston, detection means for detecting the position of the piston, a chemical solution container (cartridge), an ink jet device, an electric control unit, and a battery in a cylinder. It is configured. As a suction device, it is necessary to replenish a chemical solution, replace a battery, or charge the battery. However, the structure according to Patent Document 4 has a problem that the user cannot easily replace the cartridge and the battery.

さらに、液体吐出器としてインクジェット装置を用いる場合には、微粒子化するための構造あるいは制御に配慮をしても液体の微粒子の大きさが直径３μｍ程度であることが記載されており、さらに小さい微粒子の形成には限界があると予測される。   Further, when an ink jet device is used as the liquid ejector, it is described that the size of the liquid fine particles is about 3 μm in diameter even if the structure or control for atomization is taken into consideration. There is a limit to the formation of

本発明の目的は、上述した課題を解決することを要旨とし、圧電基板上に供給された液体を効率よく霧化できる霧化器と、ユーザーが扱い易い吸引装置を提供することである。   An object of the present invention is to provide an atomizer that can efficiently atomize a liquid supplied on a piezoelectric substrate and a suction device that is easy for a user to handle.

本発明の霧化器は、圧電基板と、該圧電基板の主面に形成されるＩＤＴ電極と、該ＩＤＴ電極から離間する位置において前記ＩＤＴ電極の周囲を取り囲んで形成されるバンクと、を備える弾性表面波素子と、前記ＩＤＴ電極に接続され、弾性表面波を発生させる高周波電源部と、前記弾性表面波素子の弾性表面波が伝搬する領域に液体を吐出する液体吐出器と、を備えることを特徴とする。   An atomizer of the present invention includes a piezoelectric substrate, an IDT electrode formed on a main surface of the piezoelectric substrate, and a bank formed so as to surround the IDT electrode at a position spaced from the IDT electrode. A surface acoustic wave element; a high-frequency power supply unit that is connected to the IDT electrode and generates a surface acoustic wave; and a liquid ejector that ejects liquid to a region where the surface acoustic wave of the surface acoustic wave element propagates. It is characterized by.

この発明によれば、ＩＤＴ電極を取り囲んでバンクを形成しているので、液体を圧電基板上に吐出し振動させても、弾性表面波により液体が圧電基板外に流出することがなく、供給された液体を効率よく霧化することができる。このことから、前述した特許文献１〜特許文献３に示された霧化器よりも多量の液体の霧化を実現できる。
また、液体が圧電基板外に流出または飛翔することにより、近傍にある液体吐出器や、制御部に液体が付着し、それらの機能を停止または機能低下することを防止することができる。 According to the present invention, since the bank is formed so as to surround the IDT electrode, even if the liquid is discharged onto the piezoelectric substrate and vibrated, the liquid does not flow out of the piezoelectric substrate due to the surface acoustic wave. The liquid can be atomized efficiently. From this, it is possible to realize atomization of a larger amount of liquid than the atomizer shown in Patent Documents 1 to 3 described above.
Further, when the liquid flows out or flies out of the piezoelectric substrate, it is possible to prevent the liquid from adhering to the liquid ejector and the control unit in the vicinity, and stopping or degrading the functions thereof.

また、弾性表面波素子は数ＭＨｚ〜数十ＭＨｚの高周波帯域で振動するため、直径１μｍ前後の微粒子を生成することが可能で、仮に、薬液の吸引装置に用いた場合などにおいて、微粒子を気管まで、あるいは肺まで、など所望の到達領域に対応することができる。   Further, since the surface acoustic wave element vibrates in a high frequency band of several MHz to several tens of MHz, it is possible to generate fine particles with a diameter of about 1 μm. It is possible to correspond to a desired reaching area such as up to or to the lung.

また、前記バンクの少なくとも前記圧電基板と接合される部位が、前記圧電基板と同じ材質で形成されていることが好ましい。   In addition, it is preferable that at least a portion of the bank to be joined to the piezoelectric substrate is formed of the same material as the piezoelectric substrate.

このようにすれば、圧電基板とバンクの振動特性が同じとなり、バンクを弾性表面波の反射器とすることができる。反射器を設けることにより、ＩＤＴ電極に励振信号を入力することにより発生する弾性表面波の励振強度を高めることができ、液体の霧化効率を一層高めることができる。   In this way, the vibration characteristics of the piezoelectric substrate and the bank are the same, and the bank can be a surface acoustic wave reflector. By providing the reflector, the excitation intensity of the surface acoustic wave generated by inputting the excitation signal to the IDT electrode can be increased, and the liquid atomization efficiency can be further increased.

また、前記ＩＤＴ電極が、第１ＩＤＴ電極と第２ＩＤＴ電極とからなり、前記第１ＩＤＴ電極と前記第２ＩＤＴ電極とが、前記第１ＩＤＴ電極及び前記第２ＩＤＴ電極それぞれから発生される弾性表面波が重畳される距離を有して接続されていることが好ましい。   The IDT electrode includes a first IDT electrode and a second IDT electrode, and surface acoustic waves generated from the first IDT electrode and the second IDT electrode are superimposed on the first IDT electrode and the second IDT electrode, respectively. It is preferable that they are connected with a certain distance.

第１ＩＤＴ電極及び第２ＩＤＴ電極それぞれから発生される弾性表面波は、第１ＩＤＴ電極または第２ＩＤＴ電極の両側方向に伝搬する。そこで、第１ＩＤＴ電極と第２ＩＤＴ電極からの弾性表面波を重畳すれば、弾性表面波の励振強度を高めることができる。
なお、反射器となるバンクを設けておけば、第１ＩＤＴ電極または第２ＩＤＴ電極から遠ざかる方向に伝搬する弾性表面波をバンクにおいて反射するので、さらに弾性表面波の励振強度を高めることができ、液体の霧化効率をより一層高めることができる。 The surface acoustic wave generated from each of the first IDT electrode and the second IDT electrode propagates in both directions of the first IDT electrode or the second IDT electrode. Therefore, if the surface acoustic waves from the first IDT electrode and the second IDT electrode are superimposed, the excitation strength of the surface acoustic wave can be increased.
If a bank serving as a reflector is provided, the surface acoustic wave propagating in the direction away from the first IDT electrode or the second IDT electrode is reflected by the bank, so that the excitation strength of the surface acoustic wave can be further increased. The atomization efficiency can be further increased.

また、前記第１ＩＤＴ電極と前記第２ＩＤＴ電極とが一方向性電極からなり、前記第１ＩＤＴ電極と前記第２ＩＤＴ電極から発生される弾性表面波が、それぞれ対向する方向に伝搬するよう形成されていることが好ましい。
ここで、弾性表面波がそれぞれ対向する方向に伝搬するためには、例えば、第１ＩＤＴ電極と第２ＩＤＴ電極を、中間線において線対称に形成すればよい。 The first IDT electrode and the second IDT electrode are unidirectional electrodes, and the surface acoustic waves generated from the first IDT electrode and the second IDT electrode are propagated in opposite directions. It is preferable.
Here, in order to propagate the surface acoustic waves in opposite directions, for example, the first IDT electrode and the second IDT electrode may be formed symmetrically with respect to the intermediate line.

ＩＤＴ電極を一方向性電極とすれば、弾性表面波のほとんどが一方向に伝搬する。従って、第１ＩＤＴ電極と第２ＩＤＴ電極それぞれからの弾性表面波の伝搬方向を対向することにより、弾性表面波の大部分が重畳されるので弾性表面波の励振強度を高めることができる。従って、必ずしもバンクを反射器とする必要はなく、バンクの材質が限定されないので製造し易い材料を選択することができる。   If the IDT electrode is a unidirectional electrode, most of the surface acoustic wave propagates in one direction. Therefore, since most of the surface acoustic waves are superimposed by facing the propagation directions of the surface acoustic waves from the first IDT electrode and the second IDT electrode, the excitation intensity of the surface acoustic waves can be increased. Therefore, it is not always necessary to use the bank as a reflector, and the material of the bank is not limited, so that a material that is easy to manufacture can be selected.

また、前記ＩＤＴ電極の両側に格子状の反射電極がさらに設けられていることが好ましい。   Moreover, it is preferable that a grid-like reflective electrode is further provided on both sides of the IDT electrode.

このようにすれば、前述したように、バンクを反射器としたときと、一方向性電極を用いたときとほぼ同等な励振強度を得ることができる。また、バンクの材質が限定されないという効果がある。   In this way, as described above, it is possible to obtain an excitation intensity substantially equal to that obtained when the bank is a reflector and when the unidirectional electrode is used. In addition, there is an effect that the material of the bank is not limited.

また、前記圧電基板の主面に前記弾性表面波の伝搬方向に対して垂直な直線の溝が前記バンクと前記ＩＤＴ電極との間に設けられていることが好ましい。   Moreover, it is preferable that a linear groove perpendicular to the propagation direction of the surface acoustic wave is provided between the bank and the IDT electrode on the main surface of the piezoelectric substrate.

弾性表面波の伝搬方向に対して垂直方向に溝を形成した場合、ＩＤＴ電極側の溝の内側面は反射面となる。従って、この溝を反射器と考えることができ、前述した反射電極が必要なく、また、バンクの材質の制限や、ＩＤＴ電極が一方向性電極でなくてもよく、弾性表面波素子の構造を簡素化することができる。   When a groove is formed in a direction perpendicular to the propagation direction of the surface acoustic wave, the inner surface of the groove on the IDT electrode side becomes a reflecting surface. Therefore, this groove can be considered as a reflector, and the reflection electrode described above is not necessary, the bank material is limited, and the IDT electrode does not have to be a unidirectional electrode. It can be simplified.

また、前記バンクが、前記圧電基板側が開放された容器状の形態をなし、液体流入口と霧化された液体微粒子の排出口と空気流通孔とを有し、前記ＩＤＴ電極、または前記ＩＤＴ電極と前記反射電極とを含んで覆うと共に、前記バンクの周縁部が前記圧電基板の主面に固着されていることが望ましい。   Further, the bank has a container-like shape with the piezoelectric substrate side open, and has a liquid inlet, an atomized liquid particulate outlet and an air circulation hole, and the IDT electrode or the IDT electrode And the reflective electrode, and the peripheral edge of the bank is preferably fixed to the main surface of the piezoelectric substrate.

このようにすれば、仮に、この霧化器を吸引装置に搭載した場合、霧化された液体微粒子がバンク外（つまり、圧電基板外）に発散しないので、効率よく吸引することができる。また、バンクの内外を連通する空気流通孔を有していることから、液体微粒子を吸引する際において、バンク内の内部圧力の変動が小さいので吸引を妨げない。   In this way, if this atomizer is mounted on the suction device, the atomized liquid fine particles do not diverge out of the bank (that is, outside the piezoelectric substrate), and therefore can be efficiently suctioned. In addition, since the air circulation holes communicating between the inside and the outside of the bank are provided, the suction of the fine liquid particles is not hindered because the fluctuation of the internal pressure in the bank is small.

また、少なくとも前記ＩＤＴ電極の表面に絶縁性保護膜が形成されていることが好ましい。   Moreover, it is preferable that an insulating protective film is formed at least on the surface of the IDT electrode.

液体として導電性液体を使用する場合、液体がＩＤＴ電極に付着すればＩＤＴ電極がショートしてしまう。従って絶縁性保護膜を形成することによりショートに伴う振動の停止あるいは減衰を防止することができる。   When a conductive liquid is used as the liquid, if the liquid adheres to the IDT electrode, the IDT electrode is short-circuited. Therefore, by forming the insulating protective film, it is possible to prevent the vibration from being stopped or attenuated due to the short circuit.

さらに、液体の材質によっては、ＩＤＴ電極を腐食させることがあることから、耐腐食性を有する保護膜を形成することによって、腐食によるＩＤＴ電極の断線を防止し、腐食に伴い発生する不純物により振動エネルギーが吸収されてしまうことを防止することができる。   Furthermore, depending on the material of the liquid, the IDT electrode may be corroded. Therefore, by forming a protective film having corrosion resistance, the IDT electrode is prevented from being disconnected due to corrosion, and vibration is caused by impurities generated by the corrosion. It is possible to prevent energy from being absorbed.

また、前記絶縁性保護膜が親液性を有するか、または、前記絶縁性保護膜の表面に親液性膜がさらに形成されていることが好ましい。   Moreover, it is preferable that the said insulating protective film has lyophilicity, or the lyophilic film is further formed in the surface of the said insulating protective film.

前述した絶縁性保護膜が親液性を有しているか、さらに親液性膜を形成すれば、液体の圧電基板に対する濡れ性をよくすることができるので、圧電基板上に供給された液体は薄膜となり、弾性表面波による霧化特性を向上させることができる。   If the above-mentioned insulating protective film has lyophilicity or further forms a lyophilic film, the wettability of the liquid to the piezoelectric substrate can be improved, so the liquid supplied onto the piezoelectric substrate It becomes a thin film, and the atomization characteristic by a surface acoustic wave can be improved.

また、親液性を有する前記絶縁性保護膜または前記親液性膜と前記バンクとの間に撥液性膜が形成されていることが望ましい。   Further, it is desirable that a liquid repellent film is formed between the bank having the lyophilic insulating protective film or the lyophilic film.

ＩＤＴ電極とバンクとの間には、わずかな隙間が存在する。従って、ＩＤＴ電極が形成される大部分の範囲が親液性を有していたとしても、供給された液体量が多い場合には、バンクとＩＤＴ電極との間に液体が流動することが予測され、駆動を継続することにより徐々に残留量が増加することが考えられる。ここで、撥液性膜を設けることにより、ＩＤＴ電極形成範囲外に流動する液体が撥液され、わずかな弾性表面波によって移動し、親液性を有する範囲まで移動すると瞬時に霧化されるので、液体が圧電基板上に残留することを抑制することができ、振動特性への影響を軽減することができる。   There is a slight gap between the IDT electrode and the bank. Therefore, even if the majority of the area where the IDT electrode is formed is lyophilic, it is predicted that the liquid will flow between the bank and the IDT electrode if the amount of supplied liquid is large. It is conceivable that the residual amount gradually increases by continuing the driving. Here, by providing a lyophobic film, the liquid flowing outside the IDT electrode formation range is lyophobic, moves by a slight surface acoustic wave, and instantly atomizes when it moves to a lyophilic range. Therefore, it is possible to suppress the liquid from remaining on the piezoelectric substrate, and to reduce the influence on the vibration characteristics.

また、本発明の吸引装置は、圧電基板と、該圧電基板の主面に形成されるＩＤＴ電極と、前記圧電基板の主面にあって該ＩＤＴ電極から離間する位置において前記ＩＤＴ電極の周囲を取り囲んで形成されるバンクと、を備える弾性表面波素子と、前記ＩＤＴ電極に接続され、弾性表面波を発生させる高周波電源部と、前記弾性表面波素子の弾性表面波が伝搬する領域に液体を吐出する液体吐出器と、を有する霧化器と、液体を収容し前記液体吐出器と連通するカートリッジと、少なくとも前記高周波電源部と、前記液体吐出器の駆動制御を司る制御回路を含む制御部と、前記制御部及び前記霧化器に電力を供給する電源部と、前記霧化器にて霧化された液体微粒子が流通する流路を有する銜え口部と、が備えられていることを特徴とする。   The suction device of the present invention includes a piezoelectric substrate, an IDT electrode formed on the main surface of the piezoelectric substrate, and a periphery of the IDT electrode at a position on the main surface of the piezoelectric substrate and spaced from the IDT electrode. A surface acoustic wave device including a bank formed to surround, a high-frequency power source connected to the IDT electrode and generating a surface acoustic wave, and a liquid in a region where the surface acoustic wave of the surface acoustic wave device propagates A control unit including an atomizer having a liquid discharger for discharging, a cartridge for storing liquid and communicating with the liquid discharger, at least the high-frequency power supply unit, and a control circuit for controlling drive of the liquid discharger And a power supply unit that supplies power to the control unit and the atomizer, and a tail opening that has a flow path through which liquid fine particles atomized by the atomizer flow. Features.

この発明によれば、カートリッジに収容された液体を液体吐出器により弾性表面波素子上に吐出し、前述した霧化器によって液体を効率よく霧化して、銜え口部から吸引することができる。   According to the present invention, the liquid contained in the cartridge can be discharged onto the surface acoustic wave element by the liquid discharger, and the liquid can be efficiently atomized by the above-described atomizer and sucked from the mouth opening.

また、前記銜え口部と、前記霧化器と、前記カートリッジと、前記制御部と、前記電源部と、がそれぞれユニット化され、着脱可能に直列結合されていることが好ましい。   Moreover, it is preferable that the said mouth part, the said atomizer, the said cartridge, the said control part, and the said power supply part are unitized, respectively, and are connected in series so that attachment or detachment is possible.

このようにすれば、銜え口部と、霧化器と、カートリッジと、制御部と、前記電源部とをユニットすることにより組立性がよく、また、それぞれを単独に分解することができるので、メンテナンス性がよいという効果がある。特に、カートリッジや電源部は継続使用において容易に交換することができる。   In this way, it is easy to assemble by uniting the mouth opening, the atomizer, the cartridge, the control unit, and the power supply unit, and each can be disassembled independently. There is an effect that the maintainability is good. In particular, the cartridge and the power supply unit can be easily replaced during continuous use.

また、これら各ユニットは、直列接続しているので、細いパイプ状の形態とすることができ、携帯性のよい吸引装置を提供することができる。   In addition, since these units are connected in series, they can be in the form of thin pipes, and a portable suction device can be provided.

さらに、前記霧化器と、前記カートリッジと、前記制御部と、前記電源部と、がそれぞれユニット化され、各ユニットが直列結合された状態で挿着されるシリンダーをさらに備えていることが望ましい。   Furthermore, it is preferable that the atomizer, the cartridge, the control unit, and the power supply unit are each unitized, and further includes a cylinder that is inserted in a state where the units are connected in series. .

このように各ユニットを接した状態でシリンダー内に挿着することで、接続部の強度的な補助とすることができる他、シリンダーの表面処理、配色、形状など、内部の機能要素に限定されないデザインの吸引装置を提供することができ、嗜好品としても使用可能なデザインに対応できるという効果を有する。   Inserting each unit in contact with the cylinder in this way can be used as a strength aid for the connection, and is not limited to internal functional elements such as cylinder surface treatment, color scheme, and shape. A suction device having a design can be provided, and the design can be used as a luxury product.

以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
図１は本発明の実施形態１に係る霧化器及び弾性表面波素子を示し、図２は実施形態２、図３は実施形態３、図４は実施形態４、図５は実施形態５、に係る弾性表面波素子、図６は吸引装置の実施例１、図７は実施例２、図８は実施例３を示している。
なお、以下に述べる実施の形態は、本発明の好適な具体例であるから、技術的に好ましい種々の限定が付されているが、本発明の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの形態に限られるものではない。また、以下の説明で参照する図は、図示の便宜上、部材ないし部分の縦横の縮尺は実際のものとは異なる模式図である。
（実施形態１） Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
1 shows an atomizer and a surface acoustic wave element according to Embodiment 1 of the present invention, FIG. 2 is Embodiment 2, FIG. 3 is Embodiment 3, FIG. 4 is Embodiment 4, FIG. FIG. 6 shows the first embodiment of the suction device, FIG. 7 shows the second embodiment, and FIG. 8 shows the third embodiment.
Note that the embodiments described below are preferred specific examples of the present invention, and thus various technically preferable limitations are given. However, the scope of the present invention is particularly limited in the following description. Unless otherwise stated, the present invention is not limited to these forms. The drawings referred to in the following description are schematic views in which the vertical and horizontal scales of members or parts are different from actual ones for convenience of illustration.
(Embodiment 1)

図１は、本発明の実施形態１に係る霧化器の一部を示し、（ａ）は概略斜視図、（ｂ）は平面を表す説明図、（ｃ）は（ｂ）のＡ−Ａ切断面を示す断面図である。図１（ａ）、（ｂ）、（ｃ）において、本実施形態による霧化器１は、圧電基板２０と、圧電基板２０の主面（以降、表面と表すことがある）に形成される１対のＩＤＴ電極３０と、ＩＤＴ電極３０の周囲を取り囲むバンク４０と、を含む弾性表面波素子１０と、ＩＤＴ電極３０のＩＮ電極３３及びＧＮＤ電極３４に接続され、弾性表面波を発生させる高周波電源部１２０と、圧電基板２０の表面の弾性表面波が伝搬する領域に液体を吐出する液体吐出器５０（図示は簡略化している）と、から構成されている。   FIG. 1: shows a part of atomizer which concerns on Embodiment 1 of this invention, (a) is a schematic perspective view, (b) is explanatory drawing showing a plane, (c) is AA of (b). It is sectional drawing which shows a cut surface. 1A, 1 </ b> B, and 1 </ b> C, the atomizer 1 according to the present embodiment is formed on the piezoelectric substrate 20 and the main surface of the piezoelectric substrate 20 (hereinafter sometimes referred to as a surface). A high-frequency wave connected to the surface acoustic wave element 10 including the pair of IDT electrodes 30 and the bank 40 surrounding the IDT electrode 30, and the IN electrode 33 and the GND electrode 34 of the IDT electrode 30 to generate surface acoustic waves. The power source unit 120 and a liquid ejector 50 (illustration is simplified) for ejecting liquid to a region where the surface acoustic wave on the surface of the piezoelectric substrate 20 propagates are configured.

圧電基板２０は、ニオブ酸リチウムまたはタンタル酸リチウム等を採用することができるが、圧電材料であれば特に限定されない。   The piezoelectric substrate 20 can employ lithium niobate or lithium tantalate, but is not particularly limited as long as it is a piezoelectric material.

図１（ｂ）を参照してＩＤＴ電極３０をさらに詳しく説明する。ＩＤＴ電極３０は、第１ＩＤＴ電極３１と第２ＩＤＴ電極３２とが形成されている。第１ＩＤＴ電極３１は、ＩＮ電極３３とＧＮＤ電極３４それぞれの電極指が間挿されたすだれ状の電極である。また、第２ＩＤＴ電極３２は、ＩＮ電極３５とＧＮＤ電極３６それぞれの電極指が間挿されたすだれ状の電極であって、先述した第１ＩＤＴ電極３１と同じ電極指の構成としている。   The IDT electrode 30 will be described in more detail with reference to FIG. The IDT electrode 30 is formed with a first IDT electrode 31 and a second IDT electrode 32. The first IDT electrode 31 is an interdigital electrode in which the electrode fingers of the IN electrode 33 and the GND electrode 34 are inserted. The second IDT electrode 32 is an interdigital electrode in which the electrode fingers of the IN electrode 35 and the GND electrode 36 are inserted, and has the same electrode finger configuration as the first IDT electrode 31 described above.

そして、第１ＩＤＴ電極３１と第２ＩＤＴ電極３２とは、バスバー３７とバスバー３８によって接続されている。本実施例では、ＩＮ電極３３，３５側の電極指が４本ずつ、ＧＮＤ電極３４，３６側の電極指が４本ずつの構成となっているが、この構成は限定されない。ここで、本実施形態では、ＩＮ電極及びＧＮＤ電極それぞれの電極間ピッチを弾性表面波の波長λと一致させている。従って、第１ＩＤＴ電極３１と第２ＩＤＴ電極３２の距離はｎλ（ｎは整数）にすることが好ましい。このように構成されたＩＤＴ電極３０から離間する位置でＩＤＴ電極３０の周囲を取り囲んでバンク４０が形成されている。   The first IDT electrode 31 and the second IDT electrode 32 are connected by a bus bar 37 and a bus bar 38. In this embodiment, there are four electrode fingers on the IN electrodes 33 and 35 side and four electrode fingers on the GND electrode 34 and 36 side, but this configuration is not limited. Here, in this embodiment, the pitch between the electrodes of the IN electrode and the GND electrode is made to coincide with the wavelength λ of the surface acoustic wave. Therefore, the distance between the first IDT electrode 31 and the second IDT electrode 32 is preferably nλ (n is an integer). A bank 40 is formed so as to surround the IDT electrode 30 at a position away from the IDT electrode 30 thus configured.

バンク４０の材質は、圧電基板２０の材質と同じであり、図１に示すように、圧電基板２０の外周に沿った側壁を有し、バンク４０を単体で形成した後、圧電基板２０と密着固定されている。なお、圧電基板２０の外周部をさらに積層形成し、ＩＤＴ電極３０の形成領域を凹状にした形状であってもよい。また、圧電基板２０との接合部を圧電基板２０と同材質で形成し、さらに上部に異なる材質のバンクを形成する構造としてもよい。   The material of the bank 40 is the same as the material of the piezoelectric substrate 20, and as shown in FIG. 1, the bank 40 has side walls along the outer periphery of the piezoelectric substrate 20. It is fixed. In addition, the outer peripheral part of the piezoelectric substrate 20 may be further laminated and the IDT electrode 30 may be formed in a concave shape. Further, the joint portion with the piezoelectric substrate 20 may be formed of the same material as that of the piezoelectric substrate 20, and a bank of a different material may be formed on the upper portion.

続いて、本実施形態による霧化作用について説明する。ＩＤＴ電極３０に高周波電源部１２０から励振信号を入力することにより弾性表面波が発生する。弾性表面波は、第１ＩＤＴ電極３１と第２ＩＤＴ電極３２それぞれの電極指に対して垂直方向両側に伝搬する。圧電基板２０の表面に液体吐出器５０のノズル５１から液体が液滴として吐出されると、弾性表面波によって液体が圧電基板２０上に流動、または飛翔または霧化される。弾性表面波の周波数が数ＭＨｚ〜数十ＭＨｚの範囲で供給されると、霧化された液体は直径１μｍ前後の微粒子となり、このサイズの微粒子は大気中に浮遊する。   Then, the atomization effect | action by this embodiment is demonstrated. A surface acoustic wave is generated by inputting an excitation signal to the IDT electrode 30 from the high-frequency power supply unit 120. The surface acoustic wave propagates on both sides in the vertical direction with respect to the electrode fingers of the first IDT electrode 31 and the second IDT electrode 32. When the liquid is ejected as droplets from the nozzle 51 of the liquid ejector 50 onto the surface of the piezoelectric substrate 20, the liquid flows, flies or atomizes on the piezoelectric substrate 20 by the surface acoustic wave. When the surface acoustic wave frequency is supplied in the range of several MHz to several tens of MHz, the atomized liquid becomes fine particles having a diameter of about 1 μm, and fine particles of this size float in the atmosphere.

ここで、圧電基板２０上の液体は、弾性表面波の伝搬方向に沿って大部分が流動し、一部が伝搬方向とは異なる方向に流動する。しかし、バンク４０が設けられているので弾性表面波素子１０（バンク４０）の外部に流動することはなく、また、飛散する量は霧化された微粒子以外に極わずか存在するが、バンク４０の高さを調整することで抑制できる。   Here, most of the liquid on the piezoelectric substrate 20 flows along the propagation direction of the surface acoustic wave, and a part of the liquid flows in a direction different from the propagation direction. However, since the bank 40 is provided, it does not flow outside the surface acoustic wave element 10 (bank 40), and the amount of scattering is very small in addition to the atomized fine particles. It can be suppressed by adjusting the height.

また、バンク４０は、圧電基板２０と同じ材質で形成されるとともに、弾性表面波が伝搬する方向に対して垂直な直線を有する壁が反射器としての機能を有する。従って、ＩＤＴ電極３０の両端部外側方向に伝搬する弾性表面波は、バンク４０で反射され、励振信号入力による弾性表面波に重畳されて励振強度を高める働きをする。   The bank 40 is formed of the same material as that of the piezoelectric substrate 20, and a wall having a straight line perpendicular to the direction in which the surface acoustic wave propagates functions as a reflector. Therefore, the surface acoustic wave propagating in the outward direction at both ends of the IDT electrode 30 is reflected by the bank 40 and is superimposed on the surface acoustic wave generated by the excitation signal input to increase the excitation intensity.

なお、圧電基板２０の表面には、絶縁性保護膜７０が形成されている。図１（ｃ）において、絶縁性保護膜７０はＩＤＴ電極３０の表面を含めて圧電基板２０の表面に形成される。絶縁性保護膜７０は、使用する液体の材質に対応して選択され、絶縁性と耐腐食性を有する被膜である。さらに、この絶縁性保護膜７０は親液性を有している。なお、絶縁性保護膜７０の表面に親液性を有する薄膜（図示せず）を設ける構造としてもよい。   An insulating protective film 70 is formed on the surface of the piezoelectric substrate 20. In FIG. 1C, the insulating protective film 70 is formed on the surface of the piezoelectric substrate 20 including the surface of the IDT electrode 30. The insulating protective film 70 is a film selected according to the material of the liquid to be used and having insulating properties and corrosion resistance. Further, the insulating protective film 70 is lyophilic. Note that a structure having a lyophilic thin film (not shown) may be provided on the surface of the insulating protective film 70.

絶縁性保護膜７０が親液性を有し、または親液性膜を有している場合には、これらの膜は、ＩＤＴ電極３０を覆う範囲とし、バンク４０との間に間隙が形成される。この間隙には、撥液性膜８０が形成される。この撥液性膜８０は、少なくとも主たる弾性表面波の伝搬領域の範囲を取り囲むように設けられる。   When the insulating protective film 70 is lyophilic or has a lyophilic film, these films cover the IDT electrode 30 and a gap is formed between the film 40 and the bank 40. The A liquid repellent film 80 is formed in this gap. The liquid repellent film 80 is provided so as to surround at least the main surface acoustic wave propagation region.

圧電基板２０上に供給された液体量が多い場合には、バンク４０とＩＤＴ電極３０との間に流動することが予測され、この領域は弾性表面波の振動強度が弱い、または存在しない領域であるために、駆動を継続することにより徐々に残留していくことが考えられる。従って、撥液性膜８０は、ＩＤＴ電極３０の形成範囲外に流動する液体が撥液され粒状になることで、弾性表面波の伝搬が弱い範囲であっても移動しやすくし、親液性を有する範囲まで移動する薄い被膜となり、瞬時に霧化することを促進する補助的機能を有する。   When the amount of liquid supplied onto the piezoelectric substrate 20 is large, it is predicted that the liquid flows between the bank 40 and the IDT electrode 30, and this region is a region where the vibration intensity of the surface acoustic wave is weak or does not exist. For this reason, it is conceivable that the residual voltage gradually remains by continuing driving. Therefore, the liquid-repellent film 80 is liquid-repellent and granular because the liquid that flows outside the formation range of the IDT electrode 30 is easy to move even in a range where the propagation of the surface acoustic wave is weak. It becomes a thin film that moves to a range having, and has an auxiliary function that promotes instant atomization.

なお、親液性を有する絶縁性保護膜７０または親液性膜を圧電基板２０のバンク４０内全面に形成し、前述した領域の範囲に撥液性膜を積層形成する構造としてもよい。   Alternatively, the insulating protective film 70 or the lyophilic film having lyophilicity may be formed on the entire surface of the bank 40 of the piezoelectric substrate 20, and the liquid repellent film may be laminated in the above-described region.

従って、前述した実施形態１によれば、ＩＤＴ電極３０を取り囲んでバンク４０を形成しているので、液体を圧電基板２０上に吐出しても、弾性表面波により液体が圧電基板２０外に流出することがなく、供給された液体を効率よく霧化することができる。このことから、前述した特許文献１〜特許文献３に示された霧化器よりも多量の液体の霧化を実現できる。
また、液体が圧電基板２０の外部に流出または飛翔することにより、近傍にある液体吐出器５０や、高周波電源部１２０に液体が付着し、それらの機能を停止または機能低下することを防止することができる。 Therefore, according to the first embodiment described above, the bank 40 is formed so as to surround the IDT electrode 30, so that even if the liquid is ejected onto the piezoelectric substrate 20, the liquid flows out of the piezoelectric substrate 20 due to the surface acoustic wave. Without being carried out, the supplied liquid can be efficiently atomized. From this, it is possible to realize atomization of a larger amount of liquid than the atomizer shown in Patent Documents 1 to 3 described above.
Further, it is possible to prevent the liquid from adhering to the liquid ejector 50 or the high-frequency power supply unit 120 in the vicinity due to the liquid flowing out or flying to the outside of the piezoelectric substrate 20 and stopping or degrading the function thereof. Can do.

また、弾性表面波素子は数ＭＨｚ〜数十ＭＨｚの高周波帯域で振動するため、直径１μｍ前後の微粒子を生成することが可能で、用途に対応して所望の大きさの微粒子を生成できる。   Further, since the surface acoustic wave element vibrates in a high frequency band of several MHz to several tens of MHz, it is possible to generate fine particles having a diameter of about 1 μm, and it is possible to generate fine particles having a desired size corresponding to the application.

また、バンク４０が、圧電基板２０と同じ材質で形成されていることから、圧電基板２０とバンク４０の振動特性が同じとなり反射器を形成することができる。反射器を設けることにより、ＩＤＴ電極３０に励振信号を入力することにより発生する弾性表面波の励振強度を高めることができ、液体の霧化効率を一層高めることができる。   Further, since the bank 40 is formed of the same material as the piezoelectric substrate 20, the vibration characteristics of the piezoelectric substrate 20 and the bank 40 are the same, and a reflector can be formed. By providing the reflector, the excitation strength of the surface acoustic wave generated by inputting the excitation signal to the IDT electrode 30 can be increased, and the liquid atomization efficiency can be further increased.

また、ＩＤＴ電極３０が、第１ＩＤＴ電極３１と第２ＩＤＴ電極３２とからなり、第１ＩＤＴ電極３１及び第２ＩＤＴ電極３２それぞれが発生させる弾性表面波が重畳される距離を有して接続されている。このことにより、第１ＩＤＴ電極３１と第２ＩＤＴ電極３２それぞれからの弾性表面波を重畳するので、弾性表面波の励振強度を高めることができる。
なお、反射器となるバンク４０を設けておけば、弾性表面波をバンク４０において反射することから、さらに弾性表面波の励振強度を高めることができ、液体の霧化効率をより一層高めることができる。
（実施形態２） The IDT electrode 30 includes a first IDT electrode 31 and a second IDT electrode 32, and is connected with a distance at which surface acoustic waves generated by the first IDT electrode 31 and the second IDT electrode 32 are superimposed. Accordingly, the surface acoustic waves from the first IDT electrode 31 and the second IDT electrode 32 are superimposed, so that the excitation intensity of the surface acoustic waves can be increased.
If the bank 40 serving as a reflector is provided, the surface acoustic wave is reflected by the bank 40, so that the excitation intensity of the surface acoustic wave can be further increased and the liquid atomization efficiency can be further enhanced. it can.
(Embodiment 2)

続いて、本発明の実施形態２に係る弾性表面波素子について図面を参照して説明する。実施形態２は、前述した実施形態１に対してＩＤＴ電極の構成が異なることに特徴を有している。従って、ＩＤＴ電極の構成を主に説明する。
図２は、実施形態２に係る弾性表面波素子を示す平面図である。なお、絶縁性保護膜及び撥液性膜については図示を省略している。図２において、圧電基板２０の表面には第１ＩＤＴ電極１３１と第２ＩＤＴ電極１３２とが接続してなるＩＤＴ電極１３０が形成されている。 Next, a surface acoustic wave element according to Embodiment 2 of the present invention will be described with reference to the drawings. The second embodiment is characterized in that the configuration of the IDT electrode is different from that of the first embodiment. Therefore, the configuration of the IDT electrode will be mainly described.
FIG. 2 is a plan view showing the surface acoustic wave element according to the second embodiment. The insulating protective film and the liquid repellent film are not shown. In FIG. 2, an IDT electrode 130 formed by connecting a first IDT electrode 131 and a second IDT electrode 132 is formed on the surface of the piezoelectric substrate 20.

第１ＩＤＴ電極１３１は、ＩＮ電極１３３とＧＮＤ電極１３４それぞれの電極指が間挿されたすだれ状の電極である。また、第２ＩＤＴ電極１３２は、ＩＮ電極１３５とＧＮＤ電極１３６それぞれの電極指が間挿されたすだれ状の電極であって、先述した第１ＩＤＴ電極１３１と同じ電極指の構成としている。   The first IDT electrode 131 is an interdigital electrode in which the electrode fingers of the IN electrode 133 and the GND electrode 134 are inserted. The second IDT electrode 132 is an interdigital electrode in which the electrode fingers of the IN electrode 135 and the GND electrode 136 are inserted, and has the same electrode finger configuration as the first IDT electrode 131 described above.

第１ＩＤＴ電極１３１を例示して、電極指の構成をさらに詳しく説明する。第１ＩＤＴ電極１３１のＧＮＤ電極１３４は、基本構成として電極指１３４ａ，１３４ｂ，１３４ｃから構成される。また、ＩＮ電極１３３は、基本構成として電極指１３３ａ，１３３ｂから構成されている。電極指１３４ａ，１３４ｂ，１３４ｃ，１３３ａ，１３３ｂが図２に示すように配列間挿されている。   The configuration of the electrode fingers will be described in more detail using the first IDT electrode 131 as an example. The GND electrode 134 of the first IDT electrode 131 includes electrode fingers 134a, 134b, and 134c as a basic configuration. The IN electrode 133 is composed of electrode fingers 133a and 133b as a basic configuration. The electrode fingers 134a, 134b, 134c, 133a, 133b are arranged in an array as shown in FIG.

ここで、弾性表面波の波長をλとしたとき、電極指１３４ａと電極指１３４ｃとの電極間ピッチはλである。また、電極指１３３ａと電極指１３３ｂとの電極間ピッチもλとしている。そして、電極指１３４ａ，１３４ｃの電極幅を（３／８）λ、電極指１３３ａ、１３４ｂの電極幅を（１／８）λとし、電極指１３４ａと電極指１３３ａ、電極指１３３ａと電極指１３４ｂ、電極指１３４ｂと電極指１３４ｃのそれぞれの電極間ピッチを（１／８）λとしている。   Here, when the wavelength of the surface acoustic wave is λ, the inter-electrode pitch between the electrode finger 134a and the electrode finger 134c is λ. The interelectrode pitch between the electrode fingers 133a and 133b is also λ. The electrode widths of the electrode fingers 134a and 134c are (3/8) λ, the electrode widths of the electrode fingers 133a and 134b are (1/8) λ, and the electrode fingers 134a and 133a, and the electrode fingers 133a and 134b The pitch between the electrodes of the electrode finger 134b and the electrode finger 134c is (1/8) λ.

電極指１３４ａ，１３３ａ，１３４ｂの組み合わせを１対としたとき、図２では、第１ＩＤＴ電極１３１は、４対の電極指から構成されている。上述したように電極指が構成されているＩＤＴ電極を一方向性電極と呼び、弾性表面波は矢印Ｗ１方向に伝搬する。
なお、電極指の対数は４つに限定されない。 When the combination of the electrode fingers 134a, 133a, and 134b is taken as one pair, in FIG. 2, the first IDT electrode 131 is composed of four pairs of electrode fingers. As described above, the IDT electrode in which the electrode fingers are configured is called a unidirectional electrode, and the surface acoustic wave propagates in the direction of the arrow W1.
Note that the number of pairs of electrode fingers is not limited to four.

第２ＩＤＴ電極１３２は、各電極指を第１ＩＤＴ電極１３１と同じように構成するが、各電極指が第１ＩＤＴ電極とは逆の配列としている。このように配列される第２ＩＤＴ電極から発生する弾性表面波は矢印Ｗ２の方向に伝搬する。つまり、第１ＩＤＴ電極１３１からの弾性表面波と第２ＩＤＴ電極からの弾性表面波は、それぞれ対向する方向に伝搬し、交差する位置において重畳される。   In the second IDT electrode 132, each electrode finger is configured in the same manner as the first IDT electrode 131, but each electrode finger is arranged opposite to the first IDT electrode. Surface acoustic waves generated from the second IDT electrodes arranged in this way propagate in the direction of arrow W2. That is, the surface acoustic wave from the first IDT electrode 131 and the surface acoustic wave from the second IDT electrode propagate in opposite directions and are superimposed at the intersecting positions.

第１ＩＤＴ電極１３１と第２ＩＤＴ電極１３２の距離はｎλ（ｎは整数）にしており、第１ＩＤＴ電極１３１と第２ＩＤＴ電極１３２とは、バスバー１３７，１３８で接続されているため、励振信号を入力すれば、第１ＩＤＴ電極１３１と第２ＩＤＴ電極１３２領域では、全く同じ励振振動をする。   The distance between the first IDT electrode 131 and the second IDT electrode 132 is nλ (n is an integer). Since the first IDT electrode 131 and the second IDT electrode 132 are connected by the bus bars 137 and 138, an excitation signal is input. For example, in the first IDT electrode 131 and the second IDT electrode 132 region, exactly the same excitation vibration is generated.

このように構成されたＩＤＴ電極１３０から離間する位置でＩＤＴ電極１３０の周囲を取り囲んでバンク４０が形成されている。従って、第１ＩＤＴ電極１３１と第２ＩＤＴ電極１３２それぞれからの弾性表面波の伝搬方向が矢印Ｗ１，Ｗ２とは逆方向の漏れ振動が伝搬された場合においても、バンク４０を反射器として機能させることもできる。   A bank 40 is formed so as to surround the IDT electrode 130 at a position away from the IDT electrode 130 thus configured. Accordingly, the bank 40 can be caused to function as a reflector even when leakage vibrations in the direction opposite to the arrows W1 and W2 are propagated in the surface acoustic wave propagation directions from the first IDT electrode 131 and the second IDT electrode 132, respectively. it can.

従って、上述した実施形態２によればＩＤＴ電極１３０を一方向性電極としている。第１ＩＤＴ電極１３１と第２ＩＤＴ電極１３２それぞれからの弾性表面波の伝搬方向を対向することにより、弾性表面波が重畳されるので弾性表面波の励振強度を高めることができる。また、バンク４０を圧電基板２０の反射器としてもよいが、一方向性電極を用いれば、必ずしもバンク４０を反射器とする必要はなく、材質が限定されないので製造し易い材料を選択することができる。
（実施形態３） Therefore, according to the second embodiment described above, the IDT electrode 130 is a unidirectional electrode. By facing the propagation directions of the surface acoustic waves from the first IDT electrode 131 and the second IDT electrode 132, the surface acoustic waves are superimposed, so that the excitation intensity of the surface acoustic waves can be increased. The bank 40 may be a reflector of the piezoelectric substrate 20, but if a unidirectional electrode is used, the bank 40 does not necessarily have to be a reflector, and the material is not limited. it can.
(Embodiment 3)

続いて、本発明の実施形態３に係る弾性表面波素子について図面を参照して説明する。実施形態３は、前述した実施形態１，２に対してＩＤＴ電極の構成が異なることに特徴を有している。従って、ＩＤＴ電極の構成を主に説明する。
図３は、実施形態３に係る弾性表面波素子を示す平面図である。なお、絶縁性保護膜及び撥液性膜については図示を省略している。図３において、圧電基板２０の表面にはＩＤＴ電極２３０と、反射電極９１，９２と、が形成されている。 Next, a surface acoustic wave element according to Embodiment 3 of the present invention will be described with reference to the drawings. The third embodiment is characterized in that the configuration of the IDT electrode is different from those of the first and second embodiments. Therefore, the configuration of the IDT electrode will be mainly described.
FIG. 3 is a plan view showing the surface acoustic wave device according to the third embodiment. The insulating protective film and the liquid repellent film are not shown. In FIG. 3, an IDT electrode 230 and reflective electrodes 91 and 92 are formed on the surface of the piezoelectric substrate 20.

ＩＤＴ電極２３０は、前述した実施形態１（図１（ｂ）、参照）にて示した第１ＩＤＴ電極３１とほぼ同様な構成であり、詳細な説明を省略する。ＩＤＴ電極２３０の両側には１対の反射電極９１，９２が設けられている。反射電極９１，９２はそれぞれ格子状の電極指からなる（グレーティングと呼称されることがある）。   The IDT electrode 230 has substantially the same configuration as the first IDT electrode 31 shown in the first embodiment (see FIG. 1B), and detailed description thereof is omitted. A pair of reflective electrodes 91 and 92 are provided on both sides of the IDT electrode 230. Each of the reflective electrodes 91 and 92 is composed of a grid-like electrode finger (sometimes referred to as a grating).

ＩＤＴ電極２３０領域から発生する弾性表面波は、ＩＤＴ電極２３０の両側に伝搬するが、反射電極９１，９２それぞれで反射されて重畳される。   The surface acoustic wave generated from the IDT electrode 230 region propagates to both sides of the IDT electrode 230, but is reflected and superimposed by the reflection electrodes 91 and 92, respectively.

このようにすれば、前述した実施形態１で示したようにバンク４０を反射器としたときと、実施形態２で示した一方向性電極を用いたときと、ほぼ同等な励振強度を得ることができる。また、バンク４０は、反射器としての機能が必要ないため材質が限定されない。
（実施形態４） In this way, substantially the same excitation intensity can be obtained when the bank 40 is a reflector as shown in the first embodiment and when the unidirectional electrode shown in the second embodiment is used. Can do. Further, the material of the bank 40 is not limited because it does not need a function as a reflector.
(Embodiment 4)

続いて、本発明の実施形態４に係る弾性表面波素子について図面を参照して説明する。実施形態４は、前述した実施形態１〜実施形態３に対して圧電基板２０に溝を形成していることに特徴を有している。従って、圧電基板２０の形態を主に説明する。
図４は、実施形態４に係る弾性表面波素子を示す平面図である。なお、ＩＤＴ電極は、前述した実施形態１と同じ構成を例示している。図４において、圧電基板２０の表面にはＩＤＴ電極３０が形成されている。ＩＤＴ電極３０は、第１ＩＤＴ電極３１と第２ＩＤＴ電極３２とから構成されているが、図４では、第１ＩＤＴ電極３１側を図示している。 Next, a surface acoustic wave element according to Embodiment 4 of the present invention will be described with reference to the drawings. The fourth embodiment is characterized in that grooves are formed in the piezoelectric substrate 20 with respect to the first to third embodiments described above. Therefore, the form of the piezoelectric substrate 20 will be mainly described.
FIG. 4 is a plan view showing the surface acoustic wave element according to the fourth embodiment. In addition, the IDT electrode has illustrated the same structure as Embodiment 1 mentioned above. In FIG. 4, an IDT electrode 30 is formed on the surface of the piezoelectric substrate 20. The IDT electrode 30 is composed of a first IDT electrode 31 and a second IDT electrode 32. FIG. 4 shows the first IDT electrode 31 side.

ＩＤＴ電極３０から離間する位置においてＩＤＴ電極３０の周囲を取り囲んでバンク４０が形成されている。圧電基板２０の表面には、バンク４０とＩＤＴ電極３０との間に溝２１が穿設されている。溝２１に深さは２λである。溝２１は、弾性表面波の伝搬方向に対して垂直方向に直線で形成され、少なくとも弾性表面波の伝搬方向の両側に設けられる。   A bank 40 is formed surrounding the periphery of the IDT electrode 30 at a position away from the IDT electrode 30. A groove 21 is formed between the bank 40 and the IDT electrode 30 on the surface of the piezoelectric substrate 20. The depth of the groove 21 is 2λ. The grooves 21 are formed in a straight line in a direction perpendicular to the propagation direction of the surface acoustic wave, and are provided at least on both sides of the propagation direction of the surface acoustic wave.

ＩＤＴ電極３０の上面には、実施形態１（図１（ｃ）、参照）と同様な絶縁性保護膜７０が形成されている。絶縁性保護膜７０は親液性を有するか、または絶縁性保護膜７０の表面に親液膜が形成されている。ここで、溝２１の内部とその周縁部には撥液性膜８０が形成されている。親液性膜及び撥液性膜の機能は、実施形態１にて説明している。   On the upper surface of the IDT electrode 30, an insulating protective film 70 similar to that of the first embodiment (see FIG. 1C) is formed. The insulating protective film 70 has lyophilicity, or a lyophilic film is formed on the surface of the insulating protective film 70. Here, a liquid repellent film 80 is formed in the groove 21 and its peripheral edge. The functions of the lyophilic film and the liquid repellent film are described in Embodiment 1.

溝２１のＩＤＴ電極３０側の内側面２１ａは、弾性表面波の反射面である。つまり、ＩＤＴ電極３０から伝搬される弾性表面波は、反射面としての内側面２１ａにおいて反射される。   The inner surface 21a on the IDT electrode 30 side of the groove 21 is a surface for reflecting surface acoustic waves. That is, the surface acoustic wave propagated from the IDT electrode 30 is reflected on the inner side surface 21a as a reflecting surface.

従って、圧電基板２０のバンク４０とＩＤＴ電極３０との間に、弾性表面波の伝搬方向に対して垂直な直線の溝２１を形成することにより、溝２１の内側面２１ａは反射面となるので、この溝を反射器と考えることができる。このことから前述した反射電極がなくてもよく、また、バンクの材質の制限や、ＩＤＴ電極が一方向性電極でなくてもよく、弾性表面波素子の構造を簡素化することができる。
（実施形態５） Therefore, by forming a straight groove 21 perpendicular to the propagation direction of the surface acoustic wave between the bank 40 of the piezoelectric substrate 20 and the IDT electrode 30, the inner surface 21a of the groove 21 becomes a reflection surface. This groove can be considered as a reflector. Therefore, the reflection electrode described above may not be provided, the material of the bank may be limited, and the IDT electrode may not be a unidirectional electrode, and the structure of the surface acoustic wave element can be simplified.
(Embodiment 5)

次に、本発明の実施形態５に係る弾性表面波素子について図面を参照して説明する。実施形態５は、前述した実施形態１〜実施形態４にて示したバンクに対してバンクの上部が閉塞された形状であることに特徴を有している。圧電基板及びＩＤＴ電極の構成は、前述した実施形態１〜実施形態４を応用できるので説明を省略する。なお、圧電基板及びＩＤＴ電極は実施形態１によるものを例示し、同じ機能要素には同じ符号を附している。
図５は、実施形態５に係る弾性表面波素子を示し、（ａ）は概略構造を示す外観斜視図、（ｂ）は（ａ）のＢ切断面を示す断面図、（ｃ）は（ａ）のＣ―Ｃ切断面を示す断面図である。図５（ａ）〜（ｃ）において、弾性表面波素子１０は、ＩＤＴ電極３０が形成された圧電基板２０の上面にバンク４５の周端部が密着固定されている。 Next, a surface acoustic wave element according to Embodiment 5 of the present invention will be described with reference to the drawings. The fifth embodiment is characterized in that the upper part of the bank is closed with respect to the banks shown in the first to fourth embodiments. The configurations of the piezoelectric substrate and the IDT electrode can be applied to the above-described first to fourth embodiments, and thus description thereof is omitted. The piezoelectric substrate and the IDT electrode are those according to Embodiment 1, and the same reference numerals are given to the same functional elements.
5A and 5B show a surface acoustic wave device according to a fifth embodiment, in which FIG. 5A is an external perspective view showing a schematic structure, FIG. 5B is a cross-sectional view showing a B cut surface of FIG. It is sectional drawing which shows the CC cut surface of (). 5A to 5C, in the surface acoustic wave element 10, the peripheral end portion of the bank 45 is tightly fixed to the upper surface of the piezoelectric substrate 20 on which the IDT electrode 30 is formed.

バンク４５は、外形が蒲鉾型をしており、圧電基板２０との間に空間４９が形成されている。また、バンク４５の長手方向の側面壁４５ａには液体吐出器５０のノズル５１を挿入する吐出ノズル孔４６が開設され、対向する側面壁４５ｂに霧化された液体微粒子を吸引するための吸引孔４７が開設されている。また、ノズル５１の先端部近傍上部にはバンク４５の内外を連通する空気流通孔４８も開設されている。なお、空気流通孔４８は複数個設けてもよい。   The bank 45 has a bowl-shaped outer shape, and a space 49 is formed between the bank 45 and the piezoelectric substrate 20. Further, a discharge nozzle hole 46 for inserting the nozzle 51 of the liquid discharger 50 is formed in the side wall 45a in the longitudinal direction of the bank 45, and a suction hole for sucking atomized liquid fine particles into the opposite side wall 45b. 47 has been established. In addition, an air circulation hole 48 that communicates the inside and outside of the bank 45 is also formed in the upper part near the tip of the nozzle 51. A plurality of air circulation holes 48 may be provided.

バンク４５は、前述した実施形態１と同じＩＤＴ電極の場合は、圧電基板２０と同じ材質で形成し、実施形態２〜実施形態４のように、反射電極や一方向性電極、反射面を有する溝を形成する場合には材質は限定されない。   In the case of the same IDT electrode as in the first embodiment, the bank 45 is formed of the same material as the piezoelectric substrate 20 and has a reflective electrode, a unidirectional electrode, and a reflective surface as in the second to fourth embodiments. In the case of forming the groove, the material is not limited.

従って、上述した実施形態５によれば、仮に、この弾性表面波素子１０を備える霧化器を吸引装置に搭載した場合、霧化された液体微粒子がバンク４５の外部に発散しないので、効率よく吸引することができる。また、バンク４５の内外を連通する空気流通孔４８を設けていることから、液体微粒子を吸引する際において、バンク内の内部圧力が変動しないので吸引を妨げることがない。
（吸引装置の実施例１） Therefore, according to the fifth embodiment described above, if the atomizer including the surface acoustic wave element 10 is mounted on the suction device, the atomized liquid fine particles do not diverge outside the bank 45, so that the efficiency is improved. Can be aspirated. In addition, since the air circulation hole 48 communicating between the inside and the outside of the bank 45 is provided, the suction of the liquid fine particles is not hindered because the internal pressure in the bank does not fluctuate.
(Example 1 of suction device)

続いて、前述した実施形態１〜実施形態５による弾性表面波素子及び霧化器を搭載した吸引装置について図面を参照して説明する。
図６は、本発明による吸引装置の実施例１の概略構造を示し、（ａ）は横断面図、（ｂ）は（ａ）のＤ−Ｄ切断面を示す縦断面図である。図６（ａ）、（ｂ）において、吸引装置１００は、電源としての電池１４０、制御部１２１、液体を収容するカートリッジ１１０、液体吐出器５０、霧化器１、銜え口部１５１を有する第１ケース１５０が略直線状に配列されて構成されている。なお、霧化器１は、実施形態１にて示されたものを例示しているが、実施形態２〜実施形態４にて示した弾性表面波素子を採用する場合も同じ構造となる。 Next, a suction device equipped with the surface acoustic wave element and the atomizer according to the first to fifth embodiments will be described with reference to the drawings.
6A and 6B show a schematic structure of a suction device according to a first embodiment of the present invention, in which FIG. 6A is a transverse sectional view and FIG. 6B is a longitudinal sectional view showing a DD cut surface of FIG. 6A and 6B, the suction device 100 includes a battery 140 as a power source, a control unit 121, a cartridge 110 that contains liquid, a liquid ejector 50, an atomizer 1, and a mouth part 151. One case 150 is arranged in a substantially straight line. In addition, although the atomizer 1 has illustrated what was shown in Embodiment 1, it becomes the same structure also when the surface acoustic wave element shown in Embodiment 2-Embodiment 4 is employ | adopted.

ここで、電池１４０は電池ケース１４１内に着脱可能に挿着されて電池ユニット２００を構成し、制御部１２１は第５ケース１９１に装着されて制御部ユニット１９０を構成し、カートリッジ１１０は第４ケース１８１に着脱可能に装着されてカートリッジユニット１８０を構成している。   Here, the battery 140 is detachably inserted into the battery case 141 to constitute the battery unit 200, the control unit 121 is attached to the fifth case 191 to constitute the control unit 190, and the cartridge 110 is the fourth. The cartridge unit 180 is configured to be detachably attached to the case 181.

また、液体吐出器５０は第３ケース１７１に装着されて液体吐出器ユニット１７０を構成し、弾性表面波素子１０は第２ケース１６１に装着されてＳＡＷユニット１６０を形成して第１ケース１５０に嵌着されている。   The liquid ejector 50 is attached to the third case 171 to constitute the liquid ejector unit 170, and the surface acoustic wave element 10 is attached to the second case 161 to form the SAW unit 160 to form the first case 150. It is inserted.

なお、液体吐出器５０は、加熱式または圧電式のインクジェット方式や、チューブを圧搾する蠕動式のマクロポンプ等を採用することができ、所望の液体吐出量、吐出する液滴のサイズによって選択使用される。   The liquid ejector 50 may employ a heating or piezoelectric ink jet method, a peristaltic macro pump that squeezes a tube, or the like, and is selectively used depending on the desired liquid ejection amount and the size of the liquid droplets to be ejected. Is done.

電池ユニット２００は、制御部ユニット１９０と螺着部１４２で結合され、制御部ユニット１９０はカートリッジユニット１８０と嵌着部１８２にて嵌着結合され、カートリッジユニット１８０は液体吐出器ユニット１７０と嵌着部１７２にて嵌着結合されている。   The battery unit 200 is coupled to the control unit 190 by a screwing part 142, the control unit 190 is fitted and coupled by a cartridge unit 180 and a fitting part 182, and the cartridge unit 180 is fitted to the liquid ejector unit 170. The portion 172 is fitted and connected.

さらに、液体吐出器ユニット１７０はＳＡＷユニット１６０と嵌着部１６４にて嵌着結合され、ＳＡＷユニット１６０は第１ケース１５０と嵌着部１５３にて嵌着結合されている。カートリッジ１１０は、管部材１１１で液体吐出器５０と連通され、液体吐出器ユニット１７０はＳＡＷユニット１６０と結合された状態においてノズル５１の先端部が弾性表面波素子１０の上部に突出される。また、弾性表面波素子１０の上部と第２ケース１６１との間の空間１６３は、第１ケース１５０に開通されている流路１５２と連通している。   Further, the liquid ejector unit 170 is fitted and coupled to the SAW unit 160 at the fitting portion 164, and the SAW unit 160 is fitted and coupled to the first case 150 at the fitting portion 153. The cartridge 110 communicates with the liquid ejector 50 through the tube member 111, and the tip of the nozzle 51 protrudes above the surface acoustic wave element 10 when the liquid ejector unit 170 is coupled to the SAW unit 160. A space 163 between the upper portion of the surface acoustic wave element 10 and the second case 161 communicates with the flow path 152 opened in the first case 150.

上述した各ユニット及び第１ケース１５０は、図６（ａ）に示すように直線的に結合し一体化されている。各ユニットは、隣接している他のユニットと螺着または嵌着されているので、容易に着脱可能である。特に、消耗品となる電池１４０とカートリッジ１１０については、頻繁に交換する機会があるので、上述したようにユニット化することで、着脱操作が特殊な工具等を用いずに行うことができる構造としている。   Each unit and the first case 150 described above are linearly coupled and integrated as shown in FIG. Each unit is easily detachable because it is screwed or fitted to another adjacent unit. In particular, the battery 140 and the cartridge 110, which are consumables, have a chance to be replaced frequently. Therefore, as described above, the unit can be attached and detached without using a special tool or the like. Yes.

次に、吸引装置１００の作用について図６を参照して説明する。電池１４０は制御部１２１に電力を供給しており、制御部１２１には、図示しない電源制御回路と、液体吐出器５０の駆動制御を行う制御回路と、弾性表面波素子１０に励振信号を出力する高周波電源部１２０（または高周波発振回路部と呼称することがある）と、を含んでいる。従って、制御部１２１から、液体吐出器５０に対して駆動信号が、高周波電源部から励振信号が出力される。   Next, the operation of the suction device 100 will be described with reference to FIG. The battery 140 supplies power to the control unit 121. The control unit 121 outputs an excitation signal to the power supply control circuit (not shown), a control circuit that performs drive control of the liquid ejector 50, and the surface acoustic wave element 10. A high frequency power supply unit 120 (or may be referred to as a high frequency oscillation circuit unit). Accordingly, a drive signal is output from the control unit 121 to the liquid ejector 50 and an excitation signal is output from the high frequency power supply unit.

液体吐出器５０は、駆動信号に基づきカートリッジ１１０から所定量の液体を圧電基板２０上に液滴として吐出する。液体の吐出に連動して弾性表面波素子１０は、励振信号に基づき弾性表面波を発生して液体を霧化する。霧化された液体微粒子は、一旦、空間１６３内に滞留する。ここで、第１ケース１５０の先端部の銜え口部１５１を利用者が銜えて液体微粒子を吸引する。   The liquid ejector 50 ejects a predetermined amount of liquid from the cartridge 110 as droplets onto the piezoelectric substrate 20 based on the drive signal. The surface acoustic wave element 10 generates a surface acoustic wave based on the excitation signal to atomize the liquid in conjunction with the discharge of the liquid. The atomized liquid fine particles once stay in the space 163. Here, the user holds the grip opening 151 at the tip of the first case 150 and sucks the liquid fine particles.

第２ケース１６１には、空気流通孔１６２が開設されている。従って、銜え口部１５１から吸引したときに、空気流通孔１６２から外部の空気が流入するので、空間１６３内の圧力が略一定となり継続吸引を容易にしている。   An air circulation hole 162 is opened in the second case 161. Therefore, since external air flows in from the air circulation hole 162 when sucked from the tail opening 151, the pressure in the space 163 becomes substantially constant, facilitating continuous suction.

なお、弾性表面波素子１０がほぼ水平の状態で吸引するために、銜え口部１５１は、弾性表面波素子１０に対して水平方向に扁平にしておくことがより好ましい。また、空気流通孔１６２が、吸引装置１００の姿勢を示す目安とすればなおよい。
（吸引装置の実施例２） In order to attract the surface acoustic wave element 10 in a substantially horizontal state, the tail opening 151 is more preferably flat in the horizontal direction with respect to the surface acoustic wave element 10. In addition, the air circulation hole 162 may be a guide indicating the posture of the suction device 100.
(Example 2 of suction device)

続いて、吸引装置の実施例２について図面を参照して説明する。実施例２は、弾性表面波素子として前述した実施形態５（図５、参照）に示す弾性表面波素子を吸引装置に装着していることに特徴を有する。従って、弾性表面波素子の装着形態について説明する。共通部分には実施例１と同じ符号を附している。
図７は、実施例２に係る吸引装置の一部を示す部分断面図である。図７において、吸引装置１００には、実施形態５にて示した弾性表面波素子１０が装着されている。 Subsequently, Example 2 of the suction device will be described with reference to the drawings. Example 2 is characterized in that the surface acoustic wave element shown in Embodiment 5 (see FIG. 5) described above as a surface acoustic wave element is attached to a suction device. Therefore, a mounting form of the surface acoustic wave element will be described. Common parts are denoted by the same reference numerals as those in the first embodiment.
FIG. 7 is a partial cross-sectional view illustrating a part of the suction device according to the second embodiment. In FIG. 7, the surface acoustic wave element 10 shown in the fifth embodiment is attached to the suction device 100.

この弾性表面波素子１０は圧電基板２０に蒲鉾型のバンク４５が固着された状態で、第２ケース１６１内に装着されている。液体吐出器５０のノズル５１は、バンク４５に開設された吐出ノズル孔４６に挿入されている。また、吸引孔４７は、第１ケース１５０に設けられた流路１５２とほぼ同位置にある。さらに、バンク４５に開設された空気流通孔４８は、第２ケース１６１に開設された空気流通孔１６２と一致し、バンク４５の空間４９の内外を連通している。   The surface acoustic wave element 10 is mounted in the second case 161 in a state in which a bowl-shaped bank 45 is fixed to the piezoelectric substrate 20. The nozzle 51 of the liquid discharger 50 is inserted into the discharge nozzle hole 46 opened in the bank 45. Further, the suction hole 47 is substantially at the same position as the flow path 152 provided in the first case 150. Further, the air circulation holes 48 opened in the bank 45 coincide with the air circulation holes 162 established in the second case 161 and communicate with the inside and outside of the space 49 of the bank 45.

従って、前述した実施例１，２によれば、カートリッジ１１０に収容された液体を液体吐出器５０により弾性表面波素子１０上に吐出し、前述した霧化器によって液体を効率よく霧化して、銜え口部１５１から吸引することができる。   Therefore, according to the first and second embodiments, the liquid contained in the cartridge 110 is discharged onto the surface acoustic wave element 10 by the liquid discharger 50, and the liquid is efficiently atomized by the above-described atomizer. It is possible to suck from the mouth part 151.

また、電池ユニット２００、制御部ユニット１９０、カートリッジユニット１８０、液体吐出器ユニット１７０、ＳＡＷユニット１６０、第１ケース１５０がそれぞれ着脱可能にユニット化しているので、組立性がよく、また、それぞれを単独に分解することができることからメンテナンス性がよいという効果がある。特に、カートリッジ１１０や電池１４０は消耗品であるため交換することが求められるが、本実施例の構造によれば容易に交換することができる。   Further, since the battery unit 200, the control unit 190, the cartridge unit 180, the liquid ejector unit 170, the SAW unit 160, and the first case 150 are detachably unitized, the assemblability is good and each of them is independent. Since it can be decomposed, there is an effect that the maintainability is good. In particular, since the cartridge 110 and the battery 140 are consumables and need to be replaced, according to the structure of this embodiment, they can be easily replaced.

また、各ユニットを着脱可能にしているので、特に、液体が付着するＳＡＷユニット１６０、口に銜える第１ケース１５０の洗浄を容易に行うことができる。特に第１ケースを耐熱性及び耐薬品性の優れた材質にすれば、消毒等を単独で行うことができるので衛生面においても優れた吸引装置を実現できる。   Moreover, since each unit is made detachable, in particular, the SAW unit 160 to which the liquid adheres and the first case 150 held in the mouth can be easily cleaned. In particular, if the first case is made of a material having excellent heat resistance and chemical resistance, sterilization and the like can be performed independently, so that a suction device excellent in terms of hygiene can be realized.

また、弾性表面波素子１０において霧化された微粒子が、第２ケース１６１またはバンク４５によって液体吐出器５０や制御部１２１に対して遮られているため、液体吐出器５０や制御部１２１に付着することがないので、液体または霧化された微粒子が付着することに起因する駆動異常を防ぐことができる。   Further, since the fine particles atomized in the surface acoustic wave element 10 are blocked from the liquid ejector 50 and the control unit 121 by the second case 161 or the bank 45, they adhere to the liquid ejector 50 and the control unit 121. Therefore, it is possible to prevent a drive abnormality caused by adhesion of liquid or atomized fine particles.

また、これら各ユニットは、直列に結合しているので、細いパイプ状の形態とすることができ、携帯性のよい吸引装置を提供することができる。
また、実施例２では、霧化された液体微粒子がバンク４５の外部に発散しないので、効率よく吸引することができる。
（吸引装置の実施例３） In addition, since these units are connected in series, they can be in the form of a thin pipe and can provide a portable suction device.
Further, in Example 2, since the atomized liquid fine particles do not diverge outside the bank 45, it can be efficiently sucked.
(Example 3 of suction device)

次に、本発明の吸引装置の実施例３について図面を参照して説明する。実施例３は、前述した実施例１，２の吸引装置、つまり、各ユニットを直列に結合して構成した吸引装置１００を筒状のシリンダーに挿着しているところに特徴を有している。
図８は、実施例３に係る吸引装置の概略構造を示す断面図である。図８において、吸引装置３００は、前述した実施例１の吸引装置１００をシリンダー２１０に挿着して構成されている。なお、実施例２の吸引装置も採用可能である。 Next, Embodiment 3 of the suction device of the present invention will be described with reference to the drawings. The third embodiment is characterized in that the suction device of the first and second embodiments, that is, the suction device 100 configured by connecting the units in series is inserted into a cylindrical cylinder. .
FIG. 8 is a cross-sectional view illustrating a schematic structure of the suction device according to the third embodiment. In FIG. 8, the suction device 300 is configured by inserting the suction device 100 of the first embodiment described above into a cylinder 210. Note that the suction device of the second embodiment can also be employed.

シリンダー２１０は薄肉の筒形状をしており、制御部ユニット１９０、カートリッジユニット１８０、液体吐出器ユニット１７０、ＳＡＷユニット１６０のいずれか一つまたは複数と着脱可能に嵌着されている。つまり、緩やかな締まり嵌めの関係とされる。また、シリンダー２１０は、銜え部１５１を有する第１ケース１５０とは遊嵌の関係とし、第１ケース１５０は、単独にて着脱可能である。   The cylinder 210 has a thin cylindrical shape, and is detachably fitted to one or more of the control unit 190, the cartridge unit 180, the liquid ejector unit 170, and the SAW unit 160. That is, a loose interference fit is established. In addition, the cylinder 210 has a loose-fitting relationship with the first case 150 having the gripping portion 151, and the first case 150 is detachable independently.

また、電池ユニット２００を構成する電池ケース１４１は、シリンダー２１０とは直接係合せず、単独で着脱可能である。従って、吸引装置１００をシリンダー２１０に挿着した状態で電池交換が可能である。   In addition, the battery case 141 constituting the battery unit 200 is not directly engaged with the cylinder 210 and can be detached independently. Therefore, the battery can be replaced while the suction device 100 is inserted into the cylinder 210.

また、シリンダー２１０には、ＳＡＷユニット１６０を構成する第２ケース１６１に設けられる空気流通孔１６２と同じ位置に空気孔２１１が開設され、ＳＡＷユニット１６０の内外を連通している。   The cylinder 210 is provided with an air hole 211 at the same position as the air circulation hole 162 provided in the second case 161 constituting the SAW unit 160, and communicates the inside and outside of the SAW unit 160.

シリンダー２１０の材質は特に限定しないが、Ａｌ合金のような軽量金属にすることが望ましい。Ａｌ合金とすれば、吸引装置の軽量化や、表面の着色処理が容易である。   The material of the cylinder 210 is not particularly limited, but is preferably a light metal such as an Al alloy. If an Al alloy is used, it is easy to reduce the weight of the suction device and to color the surface.

従って、上述した実施例３によれば、各ユニットを結合した状態でシリンダー２１０に挿着することで、各ユニットの結合部の強度的な補強とすることができる他、シリンダー２１０の表面処理、配色、形状など、内部の機能要素に限定されず、嗜好品としても使用可能なデザインに対応できるという効果を有する。   Therefore, according to the third embodiment described above, it is possible to provide strength reinforcement of the coupling portion of each unit by inserting the unit into the cylinder 210 in a state where the units are coupled. It is not limited to internal functional elements such as color scheme and shape, and has the effect of being able to handle designs that can be used as luxury items.

なお、本発明は前述の実施の形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲での変形、改良等は本発明に含まれるものである。
例えば、前述した吸引装置の実施例１では、各機能要素に対応してユニット化しているが、隣接する機能要素を一つのケースに挿着してユニット化する構造としてもよい。 It should be noted that the present invention is not limited to the above-described embodiment, but includes modifications and improvements as long as the object of the present invention can be achieved.
For example, in the first embodiment of the suction device described above, the unit is formed corresponding to each functional element. However, a structure may be adopted in which adjacent functional elements are inserted into one case and unitized.

また、実施形態１，２によるＩＤＴ電極３０またはＩＤＴ電極１３０の両側に反射電極をさらに設ける構造としてもよい。   Moreover, it is good also as a structure which further provides a reflective electrode in the both sides of IDT electrode 30 or IDT electrode 130 by Embodiment 1,2.

また、実施形態１及び実施形態２は、第１ＩＤＴ電極と第２ＩＤＴ電極とで一対のＩＤＴ電極を構成しているが、第１ＩＤＴ電極または第２ＩＤＴ電極のどちらか一方を備える構造としてもよい。   In the first and second embodiments, the first IDT electrode and the second IDT electrode constitute a pair of IDT electrodes. However, the first IDT electrode and the second IDT electrode may have either one of the first IDT electrode and the second IDT electrode.

従って、前述した実施形態１〜実施形態５によれば、圧電基板にＩＤＴ電極を取り囲むバンクを形成することによって、圧電基板の外部に液体が流出することを防止し、また、反射器を備えることにより供給された液体を効率よく霧化できる霧化器を実現できる。また、上述した霧化器を備え、構成する機能要素をユニット化し、着脱可能に結合する構造とすることで、組立性を向上するとともに、メンテナンス性がよくユーザーが扱い易い吸引装置を提供することができる。   Therefore, according to the first to fifth embodiments described above, by forming the bank surrounding the IDT electrode on the piezoelectric substrate, it is possible to prevent the liquid from flowing out of the piezoelectric substrate, and to include a reflector. The atomizer which can atomize the liquid supplied by efficiently can be realized. In addition, by providing the above-described atomizer and uniting the constituent functional elements into a structure that can be detachably connected, the assembling property is improved, and a suction device that is easy to handle and easy to maintain is provided. Can do.

以上説明した本発明の霧化器は、香味液体、薬液、塗料等、様々な液体を霧化、微粒子化することができる。
また、電子タバコのような環境及び人体に無害な喫煙具、薬液の経口吸引具として使用することができる。 The atomizer of the present invention described above can atomize and atomize various liquids such as flavor liquids, chemicals, and paints.
In addition, it can be used as an smoking device that is harmless to the environment and human body, such as an electronic cigarette, and an oral suction device for chemicals.

本発明の実施形態１に係る霧化器の一部を示し、（ａ）は概略斜視図、（ｂ）は平面を示す説明図、（ｃ）は、（ｂ）のＡ−Ａ切断面を示す断面図。A part of atomizer which concerns on Embodiment 1 of this invention is shown, (a) is a schematic perspective view, (b) is explanatory drawing which shows a plane, (c) is the AA cut surface of (b). FIG. 本発明の実施形態２に係る弾性表面波素子を示す平面図。FIG. 6 is a plan view showing a surface acoustic wave element according to Embodiment 2 of the present invention. 本発明の実施形態３に係る弾性表面波素子を示す平面図。FIG. 5 is a plan view showing a surface acoustic wave element according to Embodiment 3 of the present invention. 本発明の実施形態４に係る弾性表面波素子を示す平面図。FIG. 6 is a plan view showing a surface acoustic wave element according to Embodiment 4 of the present invention. 本発明の実施形態５に係る弾性表面波素子を示し、（ａ）は概略構造を示す外観斜視図、（ｂ）は（ａ）のＢ切断面を示す断面図、（ｃ）は（ａ）のＣ―Ｃ切断面を示す断面図。5 shows a surface acoustic wave element according to Embodiment 5 of the present invention, in which (a) is an external perspective view showing a schematic structure, (b) is a cross-sectional view showing a B cut surface of (a), and (c) is (a). Sectional drawing which shows the CC cut surface. 本発明の実施例１に係る吸引装置の概略構造を示し、（ａ）は横断面図、（ｂ）は（ａ）のＤ−Ｄ切断面を示す縦断面図。The schematic structure of the suction device which concerns on Example 1 of this invention is shown, (a) is a cross-sectional view, (b) is a longitudinal cross-sectional view which shows the DD cut surface of (a). 本発明の実施例２に係る吸引装置の一部を示す部分断面図。The fragmentary sectional view which shows a part of suction apparatus which concerns on Example 2 of this invention. 本発明の実施例３に係る吸引装置の概略構造を示す断面図。Sectional drawing which shows schematic structure of the suction apparatus which concerns on Example 3 of this invention.

符号の説明Explanation of symbols

１…霧化器、１０…弾性表面波素子、２０…圧電基板、３０…ＩＤＴ電極、４０…バンク、５０…液体吐出器、１２０…高周波電源部。   DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Atomizer, 10 ... Surface acoustic wave element, 20 ... Piezoelectric substrate, 30 ... IDT electrode, 40 ... Bank, 50 ... Liquid ejector, 120 ... High frequency power supply part.

Claims (13)

圧電基板と、該圧電基板の主面に形成されるＩＤＴ電極と、該ＩＤＴ電極から離間する位置において前記ＩＤＴ電極の周囲を取り囲んで形成されるバンクと、を備える弾性表面波素子と、
前記ＩＤＴ電極に接続され、弾性表面波を発生させる高周波電源部と、
前記弾性表面波素子の弾性表面波が伝搬する領域に液体を吐出する液体吐出器と、
を備えることを特徴とする霧化器。 A surface acoustic wave device comprising: a piezoelectric substrate; an IDT electrode formed on a main surface of the piezoelectric substrate; and a bank formed to surround the IDT electrode at a position spaced from the IDT electrode;
A high-frequency power source connected to the IDT electrode and generating a surface acoustic wave;
A liquid ejector that ejects liquid to a region in which the surface acoustic wave of the surface acoustic wave element propagates;
An atomizer comprising: 請求項１に記載の霧化器において、
前記バンクの少なくとも前記圧電基板と接合される部位が、前記圧電基板と同じ材質で形成されていることを特徴とする霧化器。 The atomizer according to claim 1,
An atomizer characterized in that at least a portion of the bank bonded to the piezoelectric substrate is formed of the same material as the piezoelectric substrate. 請求項１または請求項２に記載の霧化器において、
前記ＩＤＴ電極が、第１ＩＤＴ電極と第２ＩＤＴ電極とからなり、
前記第１ＩＤＴ電極と前記第２ＩＤＴ電極とが、前記第１ＩＤＴ電極及び前記第２ＩＤＴ電極それぞれから発生される弾性表面波が重畳される距離を有して接続されていることを特徴とする霧化器。 The atomizer according to claim 1 or 2,
The IDT electrode comprises a first IDT electrode and a second IDT electrode,
The atomizer characterized in that the first IDT electrode and the second IDT electrode are connected to each other with a distance over which surface acoustic waves generated from the first IDT electrode and the second IDT electrode are superimposed. . 請求項３に記載の霧化器において、
前記第１ＩＤＴ電極と前記第２ＩＤＴ電極とが一方向性電極からなり、
前記第１ＩＤＴ電極と前記第２ＩＤＴ電極から発生される弾性表面波が、それぞれ対向する方向に伝搬するよう形成されていることを特徴とする霧化器。 The atomizer according to claim 3,
The first IDT electrode and the second IDT electrode are unidirectional electrodes,
An atomizer, wherein the surface acoustic waves generated from the first IDT electrode and the second IDT electrode are propagated in opposite directions. 請求項１に記載の霧化器において、
前記ＩＤＴ電極の両側に格子状の反射電極がさらに設けられていることを特徴とする霧化器。 The atomizer according to claim 1,
An atomizer characterized in that a grid-like reflective electrode is further provided on both sides of the IDT electrode. 請求項１に記載の霧化器において、
前記圧電基板の主面に、前記弾性表面波の伝搬方向に対して垂直な直線の溝が前記バンクと前記ＩＤＴ電極との間に設けられていることを特徴とする霧化器。 The atomizer according to claim 1,
An atomizer characterized in that a linear groove perpendicular to the propagation direction of the surface acoustic wave is provided between the bank and the IDT electrode on the main surface of the piezoelectric substrate. 請求項１ないし請求項６のいずれか一項に記載の霧化器において、
前記バンクが、前記圧電基板側が開放された容器状の形態をなし、液体流入口と霧化された液体微粒子の排出口と空気流通孔とを有し、前記ＩＤＴ電極、または前記ＩＤＴ電極と前記反射電極とを含んで覆うと共に、前記バンクの周縁部が前記圧電基板の主面に固着されていることを特徴とする霧化器。 The atomizer according to any one of claims 1 to 6,
The bank has a container-like shape in which the piezoelectric substrate side is opened, and has a liquid inflow port, an atomized liquid fine particle discharge port, and an air circulation hole, and the IDT electrode or the IDT electrode and the An atomizer characterized in that it includes a reflective electrode and a peripheral edge of the bank is fixed to the main surface of the piezoelectric substrate. 請求項１ないし請求項７のいずれか一項に記載の霧化器において、
少なくとも前記ＩＤＴ電極の表面に絶縁性保護膜が形成されていることを特徴とする霧化器。 The atomizer according to any one of claims 1 to 7,
An atomizer characterized in that an insulating protective film is formed at least on the surface of the IDT electrode. 請求項８に記載の霧化器において、
前記絶縁性保護膜が親液性を有するか、または、前記絶縁性保護膜の表面に親液性膜がさらに形成されていることを特徴とする霧化器。 The atomizer according to claim 8.
The atomizer, wherein the insulating protective film has lyophilicity, or a lyophilic film is further formed on the surface of the insulating protective film. 請求項８または請求項９に記載の霧化器において、
親液性を有する前記絶縁性保護膜または前記親液性膜と前記バンクとの間に撥液性膜がさらに形成されていることを特徴とする霧化器。 The atomizer according to claim 8 or 9,
An atomizer characterized in that a liquid-repellent film is further formed between the lyophilic insulating protective film or the lyophilic film and the bank. 圧電基板と、該圧電基板の主面に形成されるＩＤＴ電極と、前記圧電基板の主面にあって該ＩＤＴ電極から離間する位置において前記ＩＤＴ電極の周囲を取り囲むバンクと、を備える弾性表面波素子と、前記ＩＤＴ電極に接続され、弾性表面波を発生させる高周波電源部と、前記弾性表面波素子の弾性表面波が伝搬する領域に液体を吐出する液体吐出器と、を有する霧化器と、
液体を収容し前記液体吐出器と連通するカートリッジと、
少なくとも前記高周波電源部と、前記液体吐出器の駆動制御を司る制御回路と、を含む制御部と、
前記制御部及び前記霧化器に電力を供給する電源部と、
前記霧化器にて霧化された液体微粒子が流通する流路を有する銜え口部と、
が備えられていることを特徴とする吸引装置。 A surface acoustic wave comprising: a piezoelectric substrate; an IDT electrode formed on a main surface of the piezoelectric substrate; and a bank surrounding the periphery of the IDT electrode at a position spaced apart from the IDT electrode on the main surface of the piezoelectric substrate. An atomizer comprising: an element; a high-frequency power supply unit that is connected to the IDT electrode and generates a surface acoustic wave; and a liquid ejector that ejects liquid to a region in which the surface acoustic wave of the surface acoustic wave element propagates ,
A cartridge containing liquid and communicating with the liquid ejector;
A control unit including at least the high-frequency power source unit and a control circuit that controls driving of the liquid ejector;
A power supply for supplying power to the controller and the atomizer;
A mouth portion having a flow path through which liquid fine particles atomized by the atomizer flow;
A suction device comprising: 請求項１１に記載の吸引装置において、
前記銜え口部と、前記霧化器と、前記カートリッジと、前記制御部と、前記電源部と、がそれぞれユニット化され、着脱可能に直列結合されていることを特徴とする吸引装置。 The suction device according to claim 11.
The suction device, wherein the tail opening, the atomizer, the cartridge, the controller, and the power supply are unitized and detachably connected in series. 請求項１１に記載の吸引装置において、
前記霧化器と、前記カートリッジと、前記制御部と、前記電源部と、がそれぞれユニット化され、各ユニットが直列結合された状態で挿着されるシリンダーをさらに備えていることを特徴とする吸引装置。 The suction device according to claim 11.
The atomizer, the cartridge, the control unit, and the power supply unit are each unitized, and further includes a cylinder that is inserted in a state where the units are coupled in series. Suction device.
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Cited By (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010119845A (en) * 2008-11-24 2010-06-03 Ep Systems Sa Microflow Division Nebulizer
WO2010129994A1 (en) * 2009-05-11 2010-11-18 Monash University Microfluidic apparatus for the atomisation of a liquid
JP2013099734A (en) * 2011-11-07 2013-05-23 Tohoku Univ Surface acoustic wave liquid spray device having directivity
JP2016513992A (en) * 2013-03-01 2016-05-19 アールエムアイティー ユニバーシティー Atomizer using surface acoustic wave generation
CN109480334A (en) * 2018-11-27 2019-03-19 云南中烟工业有限责任公司 A kind of electronic cigarette liquid feed device and feed liquid method
CN109480335A (en) * 2018-12-04 2019-03-19 云南中烟工业有限责任公司 A kind of electronic smoking set that can export different-grain diameter smog and its application method
WO2019198684A1 (en) * 2018-04-10 2019-10-17 日本たばこ産業株式会社 Aspirator
JPWO2020209111A1 (en) * 2019-04-09 2020-10-15
WO2021070501A1 (en) * 2019-10-08 2021-04-15 日本たばこ産業株式会社 Saw module, flavor inhaler, and method for manufacturing saw module
WO2021200124A1 (en) * 2020-03-31 2021-10-07 パナソニックＩｐマネジメント株式会社 Liquid atomization system
JP2021535760A (en) * 2018-09-21 2021-12-23 チャイナ タバコ フーナン インダストリアル カンパニー リミテッド Ultrasonic atomizer, atomizer and ultrasonic electronic cigarette

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS57105610A (en) * 1980-12-22 1982-07-01 Matsushita Electric Ind Co Ltd Atomizer
JPS61192369A (en) * 1985-02-20 1986-08-26 Matsushita Seiko Co Ltd Vibrator holding apparatus of ultrasonic atomizer
JPH04100557A (en) * 1989-12-12 1992-04-02 Bespak Plc Sprayer
JPH08511966A (en) * 1993-06-29 1996-12-17 ボーゲス イノベイション プロプライアトリー リミテッド dispenser
JP2003133888A (en) * 2001-08-14 2003-05-09 Murata Mfg Co Ltd Edge face reflection type surface acoustic wave filter
JP2003136005A (en) * 2001-11-05 2003-05-13 Inst Of Physical & Chemical Res Immobilizing device
JP2004350985A (en) * 2003-05-29 2004-12-16 Canon Inc Droplet discharge device for pulmonary suction

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS57105610A (en) * 1980-12-22 1982-07-01 Matsushita Electric Ind Co Ltd Atomizer
JPS61192369A (en) * 1985-02-20 1986-08-26 Matsushita Seiko Co Ltd Vibrator holding apparatus of ultrasonic atomizer
JPH04100557A (en) * 1989-12-12 1992-04-02 Bespak Plc Sprayer
JPH08511966A (en) * 1993-06-29 1996-12-17 ボーゲス イノベイション プロプライアトリー リミテッド dispenser
JP2003133888A (en) * 2001-08-14 2003-05-09 Murata Mfg Co Ltd Edge face reflection type surface acoustic wave filter
JP2003136005A (en) * 2001-11-05 2003-05-13 Inst Of Physical & Chemical Res Immobilizing device
JP2004350985A (en) * 2003-05-29 2004-12-16 Canon Inc Droplet discharge device for pulmonary suction

Cited By (36)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010119845A (en) * 2008-11-24 2010-06-03 Ep Systems Sa Microflow Division Nebulizer
WO2010129994A1 (en) * 2009-05-11 2010-11-18 Monash University Microfluidic apparatus for the atomisation of a liquid
CN102458684A (en) * 2009-05-11 2012-05-16 莫纳什大学 Microfluidic apparatus for the atomisation of liquid
US8991722B2 (en) 2009-05-11 2015-03-31 Monash University Microfluidic apparatus for the atomisation of a liquid
AU2010246904B2 (en) * 2009-05-11 2015-08-20 Monash University Microfluidic apparatus for the atomisation of a liquid
JP2013099734A (en) * 2011-11-07 2013-05-23 Tohoku Univ Surface acoustic wave liquid spray device having directivity
US10792690B2 (en) 2013-03-01 2020-10-06 Rmit University Atomisation apparatus using surface acoustic wave generation
JP2016513992A (en) * 2013-03-01 2016-05-19 アールエムアイティー ユニバーシティー Atomizer using surface acoustic wave generation
EP3777583A4 (en) * 2018-04-10 2022-04-20 Japan Tobacco Inc. Aspirator
WO2019198684A1 (en) * 2018-04-10 2019-10-17 日本たばこ産業株式会社 Aspirator
WO2019198686A1 (en) * 2018-04-10 2019-10-17 日本たばこ産業株式会社 Aspirator
WO2019198687A1 (en) * 2018-04-10 2019-10-17 日本たばこ産業株式会社 Inhaler
WO2019198688A1 (en) * 2018-04-10 2019-10-17 日本たばこ産業株式会社 Inhaler
CN112714677A (en) * 2018-04-10 2021-04-27 日本烟草产业株式会社 Suction device
US11963550B2 (en) 2018-04-10 2024-04-23 Japan Tobacco Inc. Flavor inhaler
RU2761076C1 (en) * 2018-04-10 2021-12-03 Джапан Тобакко Инк. Inhaler
CN112261882A (en) * 2018-04-10 2021-01-22 日本烟草产业株式会社 Suction device
CN112272523A (en) * 2018-04-10 2021-01-26 日本烟草产业株式会社 Suction device
RU2758029C1 (en) * 2018-04-10 2021-10-25 Джапан Тобакко Инк. Inhaler
JP2021535760A (en) * 2018-09-21 2021-12-23 チャイナ タバコ フーナン インダストリアル カンパニー リミテッド Ultrasonic atomizer, atomizer and ultrasonic electronic cigarette
JP7181413B2 (en) 2018-09-21 2022-11-30 チャイナ タバコ フーナン インダストリアル カンパニー リミテッド ultrasonic e-cigarette
JP2021510494A (en) * 2018-11-27 2021-04-30 雲南中煙工業有限責任公司 Liquid supply device and liquid supply method for electronic cigarettes
CN109480334A (en) * 2018-11-27 2019-03-19 云南中烟工业有限责任公司 A kind of electronic cigarette liquid feed device and feed liquid method
CN109480334B (en) * 2018-11-27 2024-02-02 云南中烟工业有限责任公司 Liquid supply device and liquid supply method for electronic cigarette
CN109480335A (en) * 2018-12-04 2019-03-19 云南中烟工业有限责任公司 A kind of electronic smoking set that can export different-grain diameter smog and its application method
JP7194265B2 (en) 2019-04-09 2022-12-21 日本たばこ産業株式会社 Aerosol delivery device
CN113660968B (en) * 2019-04-09 2023-09-22 日本烟草产业株式会社 Aerosol supply device
CN113660968A (en) * 2019-04-09 2021-11-16 日本烟草产业株式会社 Aerosol supply device
WO2020209111A1 (en) * 2019-04-09 2020-10-15 日本たばこ産業株式会社 Aerosol supply device
JPWO2020209111A1 (en) * 2019-04-09 2020-10-15
WO2021070501A1 (en) * 2019-10-08 2021-04-15 日本たばこ産業株式会社 Saw module, flavor inhaler, and method for manufacturing saw module
JPWO2021070501A1 (en) * 2019-10-08 2021-04-15
EP4043108A4 (en) * 2019-10-08 2023-11-08 Japan Tobacco Inc. Saw module, flavor inhaler, and method for manufacturing saw module
JP7390389B2 (en) 2019-10-08 2023-12-01 日本たばこ産業株式会社 Flavor suction device equipped with SAW module and method for manufacturing flavor suction device equipped with SAW module
JPWO2021200124A1 (en) * 2020-03-31 2021-10-07
WO2021200124A1 (en) * 2020-03-31 2021-10-07 パナソニックＩｐマネジメント株式会社 Liquid atomization system

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