JP2008068326A - Sheet cutting device and cutting method - Google Patents

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a sheet cutting device and cutting method, preventing the occurrence of damage, breakage and the like to a plate-like member, and cutting a sheet according to a size of the plate-like member. <P>SOLUTION: This sheet cutting device 18 includes: first and second tables 13A, 13B supporting semiconductor wafers W different in size; and a robot 17 having a cutter blade 16 for cutting a sheet S stuck to the wafer according to the size of the wafer. The first and second tables is capable of moving to selectively locate to a sheet cutting reference position P, and a chuck 109 of the robot grasps an engagement part 56 on the table side to thereby perform the movement. The tables respectively include: outside tables 51A, 51B; and inside tables 52A, 52B substantially corresponding to the sizes of the wafers, wherein a clearance gap C for receiving the tip side of the cutter blade is formed between the outside table and the inside table. <P>COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT

Description

本発明はシート切断装置及び切断方法に係り、更に詳しくは、板状部材の大きさに対応して複数のテーブルを用意しておき、板状部材にシートを貼付して当該シートを板状部材の大きさに合わせて切断する際に、前記テーブルを所定の切断基準位置にセットして切断することのできるシート切断装置及び切断方法に関する。   The present invention relates to a sheet cutting apparatus and a cutting method. More specifically, a plurality of tables are prepared corresponding to the size of the plate member, the sheet is attached to the plate member, and the sheet is attached to the plate member. The present invention relates to a sheet cutting apparatus and a cutting method capable of cutting the table by setting the table at a predetermined cutting reference position when cutting according to the size.

半導体ウエハ（以下、単に、「ウエハ」と称する）等の板状部材は、その製造工程において、ウエハよりも大きい保護シート等を貼付し、当該シートをウエハの大きさに合うように切断することが行われている。   A plate-like member such as a semiconductor wafer (hereinafter simply referred to as a “wafer”) is a manufacturing process in which a protective sheet larger than the wafer is attached and the sheet is cut to fit the size of the wafer. Has been done.

このようなシートの切断装置としては、例えば、特許文献１に開示されている。同文献において、切断装置の一部を構成するテーブルは、カッター刃がウエハの外縁に沿って移動する際に、カッター刃の先端部を受け入れることのできる多数の溝を備えて構成され、これら溝により、ウエハのサイズが変更された場合であっても、各ウエハの形状に合わせてシートの切断が行えるようになっている。   Such a sheet cutting device is disclosed in, for example, Patent Document 1. In the same document, a table constituting a part of the cutting device is configured to include a plurality of grooves that can receive the tip of the cutter blade when the cutter blade moves along the outer edge of the wafer. Thus, even when the wafer size is changed, the sheet can be cut in accordance with the shape of each wafer.

特開２００３−２０９０８４号公報JP 2003-209084 A

しかしながら、特許文献１に開示されたシート切断装置にあっては、略同心円上に多数の溝がテーブルの上面側に形成されているため、シートをウエハに貼付するために用いられる貼付ローラをシート上で転動させたときに、ウエハの下面側に位置する溝によって当該ウエハが割れたり、傷付いたりしてしまい、また、抗折強度が低下してしまう、という不都合を生ずる   However, in the sheet cutting apparatus disclosed in Patent Document 1, since a large number of grooves are formed on the upper surface side of the table on a substantially concentric circle, a sticking roller used for sticking the sheet to the wafer is used as the sheet. When it is rolled up, the groove located on the lower surface side of the wafer is cracked or damaged, and the bending strength is reduced.

［発明の目的］
本発明は、このような不都合に着目して案出されたものであり、その目的は、シートをウエハ等の板状部材に貼付する際に、当該板状部材への傷つきや、破損等を生ずることがないとともに、板状部材の大きさに合わせてシートを切断することのできるシート切断装置及び切断方法を提供することにある。 [Object of invention]
The present invention has been devised by paying attention to such inconveniences, and its purpose is to prevent damage or breakage of the plate-like member when the sheet is stuck to the plate-like member such as a wafer. An object of the present invention is to provide a sheet cutting apparatus and a cutting method that do not occur and can cut a sheet according to the size of a plate-like member.

前記目的を達成するため、本発明は、板状部材を支持するテーブルと、前記板状部材の外側にはみ出る大きさのシートを板状部材に貼付して当該板状部材の形状に合うように前記シートをカッター刃で切断する切断手段とを含むシート切断装置において、
前記テーブルは、平面サイズが異なる板状部材ごとに対応して複数設けられ、各テーブルは、前記板状部材の外縁に沿うカッター刃受容部を備える、という構成を採っている。 In order to achieve the above object, the present invention provides a table for supporting a plate-like member and a sheet of a size protruding outside the plate-like member so as to fit the shape of the plate-like member. In a sheet cutting apparatus including cutting means for cutting the sheet with a cutter blade,
The said table is provided with two or more corresponding to every plate-shaped member from which plane size differs, Each table is equipped with the cutter blade receiving part along the outer edge of the said plate-shaped member.

本発明において、前記テーブルは、所定のシート切断基準位置に対して入れ替え可能に設けられている。   In the present invention, the table is provided to be replaceable with respect to a predetermined sheet cutting reference position.

また、前記切断手段は、前記カッター刃を着脱自在とする工具保持手段を備えている一方、前記テーブルは前記工具保持手段に係脱自在に設けられた係合部を備え、前記工具保持手段が前記カッター刃から前記係合部に持ち替えることで前記テーブルを移動可能とし、他のテーブルとの入れ替えが可能に設けられる、という構成を採ることができる。   The cutting means includes tool holding means for detachably attaching the cutter blade, while the table includes an engaging portion that is detachably attached to the tool holding means. It is possible to adopt a configuration in which the table can be moved by switching from the cutter blade to the engaging portion, and can be replaced with another table.

更に、前記テーブルは、前記板状部材の大きさに略対応する内側テーブルと、この内側テーブルの外周側に位置する外側テーブルとにより構成され、これら各テーブル間に前記カッター刃受容部が形成されている。   Further, the table is constituted by an inner table substantially corresponding to the size of the plate member and an outer table positioned on the outer peripheral side of the inner table, and the cutter blade receiving portion is formed between these tables. ing.

また、前記内側テーブルと外側テーブルは、高さ調整装置を介してそれぞれの上面の高さ位置が調整可能に設けられる、という構成を採ることが好ましい。   Further, it is preferable that the inner table and the outer table have a configuration in which the height position of each upper surface can be adjusted via a height adjusting device.

更に、前記複数のテーブルの外縁形状は、それぞれ略同一の大きさに設けられ、前記テーブルは、案内装置を介して前記シート切断基準位置に対して移動可能に設けられている。   Furthermore, the outer edge shapes of the plurality of tables are provided in substantially the same size, and the table is provided so as to be movable with respect to the sheet cutting reference position via a guide device.

また、前記シート切断基準位置に前記テーブルが位置したときに、当該テーブルの位置を規制する位置規制手段を更に含むとよい。   Further, it is preferable to further include a position restricting means for restricting the position of the table when the table is positioned at the sheet cutting reference position.

更に、前記切断手段は、多関節型のロボットにより構成され、当該ロボットは、複数の関節を有するとともに、各関節が数値制御される、という構成を採ることができる。   Further, the cutting means can be constituted by an articulated robot, and the robot has a plurality of joints and each joint is numerically controlled.

また、本発明は、テーブルに板状部材を支持した状態で、当該板状部材の外縁よりも外側にはみ出る大きさのシートを板状部材の上面側に供給して貼付し、当該シートを板状部材の形状に合うようにカッター刃で切断するシート切断方法において、
前記板状部材は、大きさの異なる複数種を対象とし、それぞれの大きさに対応したテーブルを所定のシート切断基準位置に移動させて前記切断を行う、という方法を採っている。 Further, the present invention provides a sheet having a size that protrudes outside the outer edge of the plate-like member with the plate-like member supported on the table, and affixes the sheet to the upper surface side of the plate-like member. In the sheet cutting method of cutting with a cutter blade to match the shape of the shaped member,
The plate-like member is intended for a plurality of types having different sizes, and adopts a method in which the cutting is performed by moving a table corresponding to each size to a predetermined sheet cutting reference position.

前記方法において、前記対象となる板状部材の大きさが変更されるときに、前記シート切断基準位置に対してテーブルを入れ替える、という方法を採ることができる。   In the method, when the size of the target plate-like member is changed, a method of replacing the table with respect to the sheet cutting reference position can be adopted.

また、前記テーブルの入れ替えを、前記切断手段を利用して行うとよい。   The table may be replaced using the cutting means.

更に、前記シート切断基準位置に前記テーブルが位置したときに、当該テーブルの位置を規制することができる。   Furthermore, when the table is positioned at the sheet cutting reference position, the position of the table can be regulated.

本発明によれば、板状部材の平面サイズに応じてテーブルが複数種用いられる構成であるため、カッター刃受容部の位置を板状部材の外縁に沿わせた状態に維持できることとなる。従って、板状部材にシートを貼付する際に、当該板状部材の面内下面側に溝等が存在することはなく、貼付ローラでシートに貼付圧力を付与しても、板状部材が割れたり、傷付いたり、また、抗折強度が低下してしまうといった不都合を未然に防止することができる。
また、テーブルがシート切断基準位置に対して入れ替え可能に設けられているため、複数のテーブルが入れ替えを行うことなく配置されただけのシート切断装置に比べ、切断手段におけるカッター刃の移動領域を小さく制限することができる。
更に、切断手段の工具保持手段を利用してテーブルが入れ替え可能に設けられているため、テーブルをシート切断基準位置に移動させる特別な駆動機構を設けることを要しない。
また、テーブルを内側テーブルと外側テーブルとにより構成し、これら各テーブル間にカッター刃受容部を設ける構成であるため、各テーブルに溝の加工を行う必要性はない。
しかも、高さ調整装置によって内側テーブルと外側テーブルとがそれぞれの上面の高さ位置を調整可能に設けられていることで、板状部材やシートの厚みに応じて高さ調整が可能なため、汎用型テーブルとすることが可能となる。
更に、前記各テーブルの外縁形状は略同一の大きさであるため、シート切断基準位置に移動させる案内構造を共通化した設計が可能となる。
また、テーブルの位置規制手段を設けた構成により、各テーブルを位置ずれすることなく前記高さ調整装置へ確実に受け渡すように位置決めすることができ、シート切断不良を防止することができる。
更に、切断手段が多関節型のロボットにより構成された場合には、複雑な輪郭を有する板状部材であっても、シートの切断を難なく行うことができる。 According to the present invention, since a plurality of types of tables are used according to the planar size of the plate-like member, the position of the cutter blade receiving portion can be maintained in a state along the outer edge of the plate-like member. Therefore, when a sheet is applied to the plate-like member, there is no groove or the like on the in-plane lower surface side of the plate-like member, and even if the application pressure is applied to the sheet by the application roller, the plate-like member is cracked. Inconveniences such as damage, damage, and decrease in bending strength can be prevented.
In addition, since the table is provided so as to be interchangeable with respect to the sheet cutting reference position, the moving area of the cutter blade in the cutting means is reduced compared to a sheet cutting apparatus in which a plurality of tables are simply arranged without being replaced. Can be limited.
Furthermore, since the table is provided so as to be interchangeable using the tool holding means of the cutting means, it is not necessary to provide a special drive mechanism for moving the table to the sheet cutting reference position.
Further, since the table is constituted by an inner table and an outer table, and a cutter blade receiving portion is provided between these tables, there is no need to process grooves in each table.
Moreover, because the height adjustment device is provided so that the height position of the upper surface of each of the inner table and the outer table can be adjusted, the height can be adjusted according to the thickness of the plate-like member or sheet, A general-purpose table can be obtained.
Furthermore, since the outer edge shape of each table is substantially the same size, it is possible to design a common guide structure for moving to the sheet cutting reference position.
In addition, with the configuration in which the table position regulating means is provided, each table can be positioned so as to be reliably delivered to the height adjusting device without being displaced, and sheet cutting failure can be prevented.
Further, when the cutting means is constituted by an articulated robot, the sheet can be cut without difficulty even with a plate-like member having a complicated contour.

以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

図１には、本実施形態に係るシート切断装置を含むシート貼付装置を、一部断面で表した概略正面図が示され、図２には、その要部概略平面図が示されている。これらの図において、シート貼付装置１０は、図１中左側に位置するシート繰出ユニット１２と、板状部材としてのウエハＷを支持するとともに、図２、３に示される任意の所定位置を示す仮想ラインＰＸとＰＹとが交わる位置をシート切断基準位置Ｐとし、当該シート切断基準位置Ｐに対して移動し、選択的に入れ替えられる第１のテーブル１３Ａ及び第２のテーブル１３Ｂ（本実施形態ではウエハＷの中心が切断基準位置Ｐに一致するように設定されている）と、ウエハＷの上面側に繰り出された接着シートＳに押圧力を付与してウエハＷに貼付するプレスローラ１４を含む貼付手段１５と、ウエハＷの外縁に沿って接着シートＳを切断するカッター刃１６を着脱自在に装着する切断手段としてのロボット１７と、ウエハＷの外側に生じる不要接着シートＳ１をテーブル１３Ａ、１３Ｂの上面から剥離して巻き取る巻取装置１９とを備えて構成されている。   FIG. 1 shows a schematic front view of a sheet pasting apparatus including a sheet cutting apparatus according to the present embodiment in a partial cross section, and FIG. 2 shows a schematic plan view of the main part thereof. In these drawings, the sheet sticking apparatus 10 supports a sheet feeding unit 12 located on the left side in FIG. 1 and a wafer W as a plate-like member, and also shows a virtual position indicating an arbitrary predetermined position shown in FIGS. A position where the lines PX and PY intersect is a sheet cutting reference position P, and the first table 13A and the second table 13B (moved in the present embodiment) are moved relative to the sheet cutting reference position P and selectively exchanged. When the center of W is set to coincide with the cutting reference position P), the adhesive sheet S fed to the upper surface side of the wafer W is applied with a pressing force and applied to the wafer W. A robot 17 serving as a cutting means for detachably mounting the cutter blade 16 for cutting the adhesive sheet S along the outer edge of the wafer W; Is constituted by a winding apparatus 19 that winds by peeling off the unnecessary adhesive sheet S1 table 13A, the upper surface of 13B.

前記シート繰出ユニット１２は、帯状の剥離シートＰＳの一方の面に帯状の接着シートＳが仮着されたロール状の原反Ｌを支持する支持ローラ２０と、この支持ローラ２０から繰り出された原反Ｌを急激に反転して接着シートＳを剥離シートＰＳから剥離するピールプレート２２と、剥離シートＰＳを巻き取って回収する回収ローラ２３と、支持ローラ２０と回収ローラ２３との間に配置された複数のガイドローラ２５〜３１と、ガイドローラ２５，２６間に配置されたバッファローラ３３と、ガイドローラ２７，２８間に配置されるとともに、ロードセル３９及び当該ロードセル３９に支持されて前記ピールプレート２２の基部側に位置する張力測定ローラ４０とを含む張力測定手段３５と、ピールプレート２２、ガイドローラ２７，２８，２９及び張力測定手段３５を一体的に支持して前記プレスローラ１４と相互に作用してウエハＷに対する接着シートＳの貼付角度を一定に保つ貼付角度維持手段３７とを備えて構成されている。前記ガイドローラ２７，２９には、ブレーキシュー３２，４２が併設されており、これらブレーキシュー３２，４２は、接着シートＳをウエハＷに貼付する際に、シリンダ３８、４８によって対応するガイドローラ２７，２９に対して進退することによって接着シートＳを挟み込んでその繰出を抑制するようになっている。   The sheet feeding unit 12 includes a support roller 20 that supports a roll-shaped original fabric L in which a strip-shaped adhesive sheet S is temporarily attached to one surface of a strip-shaped release sheet PS, and an original fed from the support roller 20. The peel plate 22 that peels the adhesive sheet S from the release sheet PS by rapidly reversing the anti-L, the recovery roller 23 that winds and recovers the release sheet PS, and the support roller 20 and the recovery roller 23 are disposed. A plurality of guide rollers 25 to 31, a buffer roller 33 disposed between the guide rollers 25 and 26, and disposed between the guide rollers 27 and 28, and supported by the load cell 39 and the load cell 39, the peel plate A tension measuring means 35 including a tension measuring roller 40 located on the base side of 22; a peel plate 22, guide rollers 27 and 28; Is constituted by a sticking angle maintaining means 37 for maintaining a constant sticking angle of the adhesive sheet S to the wafer W interacts with the press roller 14 and integrally supporting the 29 and tension measurement means 35. The guide rollers 27 and 29 are provided with brake shoes 32 and 42, and the brake shoes 32 and 42 correspond to the guide rollers 27 by the cylinders 38 and 48 when the adhesive sheet S is attached to the wafer W. , 29, the adhesive sheet S is sandwiched and the feeding thereof is suppressed.

なお、前記シート繰出ユニット１２並びに当該ユニットを構成する前記張力測定手段３５及び貼付角度維持手段３７は、本出願人によって出願された特願２００５−１９８８０６号に開示されたものと実質的に同一であり、ここでは、それらの詳細な説明を省略する。   The sheet feeding unit 12 and the tension measuring means 35 and the sticking angle maintaining means 37 constituting the unit are substantially the same as those disclosed in Japanese Patent Application No. 2005-198806 filed by the present applicant. Yes, detailed description thereof is omitted here.

前記第１及び第２のテーブル１３Ａ、１３Ｂは、図２に示されるように、平面視略方形の外側テーブル５１Ａ、５１Ｂと、ウエハＷの平面サイズに対応した平面視略円形の内側テーブル５２Ａ、５２Ｂとによりそれぞれ構成されている。外側テーブル５１Ａ、５１Ｂは、図３に拡大して示されるように、断面形状において略凹状に形成されており、その底部に、前記内側テーブル５２Ａ、５２Ｂの載置面となる内向きのフランジ部５３Ａ、５３Ｂを備え、当該フランジ部５３Ａ、５３Ｂの内周側領域に穴５４Ａ、５４Ｂを有する形状に設けられている。また、第１及び第２のテーブル１３Ａ、１３Ｂは、それぞれ略同一の外縁形状を備え、下面側における各コーナー近傍に車輪５５が設けられているとともに、図２中、各左上コーナー近傍に、係合部５６がそれぞれ設けられている。   As shown in FIG. 2, the first and second tables 13A and 13B include an outer table 51A, 51B having a substantially square shape in plan view, and an inner table 52A having a substantially circular shape in plan view corresponding to the planar size of the wafer W. 52B. As shown in an enlarged view in FIG. 3, the outer tables 51A and 51B are formed in a substantially concave shape in cross-sectional shape, and an inward flange portion serving as a mounting surface for the inner tables 52A and 52B is formed at the bottom thereof. 53A and 53B are provided in a shape having holes 54A and 54B in the inner peripheral region of the flange portions 53A and 53B. Each of the first and second tables 13A and 13B has substantially the same outer edge shape, and a wheel 55 is provided in the vicinity of each corner on the lower surface side, and in the vicinity of each upper left corner in FIG. A joint portion 56 is provided.

前記内側テーブル５２Ａ、５２Ｂは、外側テーブル５１Ａ、５１Ｂの前記フランジ部５３Ａ、５３Ｂを除く内径よりも小径となる直径を備えた円盤状に設けられ、これにより、外側テーブル５１Ａ、５１Ｂの内周面との間にカッター刃受容部としての隙間Ｃを形成するようになっている。内側テーブル５２Ａ、５２Ｂの上面側には、図示しない減圧ポンプに連通する多数の吸着孔ｈが形成され、内側テーブル５２Ａ、５２Ｂ上に載置されるウエハＷが吸着保持可能に設けられている。   The inner tables 52A and 52B are provided in a disk shape having a diameter smaller than the inner diameter excluding the flange portions 53A and 53B of the outer tables 51A and 51B, whereby the inner peripheral surfaces of the outer tables 51A and 51B. A gap C as a cutter blade receiving portion is formed between the two. A large number of suction holes h communicating with a decompression pump (not shown) are formed on the upper surface side of the inner tables 52A and 52B, and a wafer W placed on the inner tables 52A and 52B is provided so as to be sucked and held.

前記第１及び第２のテーブル１３Ａ、１３Ｂは、案内装置５７を介して前記シート切断基準位置Ｐに対して選択的に入れ替えられる。この案内装置５７は、前記シート切断基準位置Ｐに対して第１及び第２のテーブル１３Ａ、１３Ｂを待機させた位置に保持するとともに、Ｙ軸方向に長い略方形のスライドプレート５８と、Ｘ軸方向に長い略方形の固定プレート５９とを含む。   The first and second tables 13A and 13B are selectively exchanged with respect to the sheet cutting reference position P via a guide device 57. The guide device 57 holds the first and second tables 13A and 13B in a standby position with respect to the sheet cutting reference position P, and has a substantially rectangular slide plate 58 that is long in the Y-axis direction, and an X-axis. And a substantially rectangular fixing plate 59 that is long in the direction.

スライドプレート５８の上面には、Ｘ軸方向に延びるガイドレール６０が二対設けられており、当該ガイドレール６０上に前記車輪５５を介して第１及び第２のテーブル１３Ａ、１３Ｂが移動可能に配置可能となっている。なお、図２及び図３に示されるように、スライドプレート５８の右端側には、フック支持体６６が二箇所に設けられ、これらフック支持体６６とフック６９によって係合穴７１を介して第１及び第２のテーブル１３Ａ、１３Ｂを移動不能に固定可能となっている。 Two pairs of guide rails 60 extending in the X-axis direction are provided on the upper surface of the slide plate 58, and the first and second tables 13A and 13B are movable on the guide rail 60 via the wheels 55. Can be placed. As shown in FIGS. 2 and 3, hook support bodies 66 are provided at two locations on the right end side of the slide plate 58, and the hook support bodies 66 and the hooks 69 are used to engage the first through the engagement holes 71. The first and second tables 13A and 13B can be fixed so as not to move.

また、スライドプレート５８は、その下面に取り付けられたスライダ６２によって、ベースフレーム６３の上面に設けられたレール６４上を移動可能に構成され、駆動装置６５が駆動することにより、Ｙ軸方向に移動可能になっている。ここで、駆動装置６５は、図３に示されるように、スライドプレート５８の下面側に位置して、Ｙ軸方向に延びる送りねじ軸６７と、スライドプレート５８の下面に固定されて前記送りねじ軸６７に螺合するナット部材６８と、前記送りねじ軸６７の一端側に固定されたプーリ７０と、前記ベースフレーム６３に固定された駆動モータＭと、当該モータＭに連結されたプーリ７２と、前記プーリ７０、７２間に掛け回されたベルト７３とを含み、前記駆動モータＭが駆動して送りねじ軸６７が回転することにより、前記スライドプレート５８がＹ軸方向に移動するように構成されている。 The slide plate 58 is configured to be movable on a rail 64 provided on the upper surface of the base frame 63 by a slider 62 attached to the lower surface of the slide plate 58. When the drive device 65 is driven, the slide plate 58 is moved in the Y-axis direction. It is possible. Here, as shown in FIG. 3, the drive device 65 is positioned on the lower surface side of the slide plate 58 and extends in the Y-axis direction. The drive device 65 is fixed to the lower surface of the slide plate 58 and fixed to the feed screw. A nut member 68 screwed to the shaft 67; a pulley 70 fixed to one end of the feed screw shaft 67; a drive motor M fixed to the base frame 63; a pulley 72 connected to the motor M; And a belt 73 wound between the pulleys 70 and 72, and the slide plate 58 is moved in the Y-axis direction when the drive motor M is driven to rotate the feed screw shaft 67. Has been.

前記固定プレート５９は、図３に示されるように、左右一対の支柱７４を介して前記スライドプレート５８と同一高さ位置に配置されている。この固定プレート５９は、その上面にＸ軸方向に伸びるとともに、前記スライドプレート５８上のガイドレール６０のレール間隔と同間隔の延長レール７５を備えている。従って、ガイドレール６０と、延長レール７５とが同一直線上に位置するようにスライドプレート５８が移動したときに、当該スライドプレート５８と固定プレート５９との間で第１及び第２のテーブル１３Ａ、１３Ｂが選択的に往復移動できることとなる。   As shown in FIG. 3, the fixed plate 59 is disposed at the same height as the slide plate 58 via a pair of left and right columns 74. The fixed plate 59 has an extension rail 75 extending on the upper surface thereof in the X-axis direction and having the same interval as that of the guide rail 60 on the slide plate 58. Therefore, when the slide plate 58 moves so that the guide rail 60 and the extension rail 75 are located on the same straight line, the first and second tables 13A, 13B between the slide plate 58 and the fixed plate 59, 13B can selectively reciprocate.

前記固定プレート５９の中央部には、穴５９Ａが形成され、当該穴５９Ａを貫通する位置に、単軸ロボット７７が配置されている。この単軸ロボット７７は、ロッド７８の上端に昇降板７９が設けられ、当該昇降板７９の上面には、前記内側テーブル５２Ａ、５２Ｂの下面側に設けられた複数の穴８０内に挿抜可能な複数の突起８２が形成されている。従って、昇降板７９が上昇したときに、突起８２が穴８０内に挿入されて内側テーブル５２Ａ、５２Ｂを位置決めした状態で押し上げることが可能となる。なお、内側テーブル５２Ａ、５２Ｂは、その下面に設けられたガイド穴８５と外側テーブル５１Ａ、５１Ｂのフランジ５３Ａ、５３Ｂ上に設けられたガイド軸８４とで横方向への移動が規制されている。   A hole 59A is formed in the central portion of the fixed plate 59, and a single-axis robot 77 is disposed at a position penetrating the hole 59A. The single-axis robot 77 is provided with an elevating plate 79 at the upper end of the rod 78, and the upper surface of the elevating plate 79 can be inserted into and removed from a plurality of holes 80 provided on the lower surface side of the inner tables 52A and 52B. A plurality of protrusions 82 are formed. Therefore, when the elevating plate 79 is raised, the protrusion 82 is inserted into the hole 80 and can be pushed up while the inner tables 52A and 52B are positioned. The inner tables 52A and 52B are restricted from moving laterally by a guide hole 85 provided on the lower surface thereof and a guide shaft 84 provided on the flanges 53A and 53B of the outer tables 51A and 51B.

また、前記単軸ロボット７７は、単軸ロボット９２によって昇降可能な支持プレート８６に支持されている。この支持プレート８６には、図４及び図５中左右一対の起立プレート８７が設けられ、これら起立プレート８７の上面には、前記外側テーブル５１Ａ、５１Ｂの下面側に設けられた複数の穴８９に挿抜可能な複数の突起９０が設けられている。従って、支持プレート８６が上昇したときに、突起９０が穴８９内に挿入されて第１及び第２のテーブル１３Ａ、１３Ｂを位置決めした状態で全体的に上昇させることができるようになっている。なお、符号９５は、支持プレート８６の昇降ガイドである。   The single-axis robot 77 is supported by a support plate 86 that can be moved up and down by the single-axis robot 92. The support plate 86 is provided with a pair of right and left upright plates 87 in FIGS. 4 and 5, and a plurality of holes 89 provided on the lower surface side of the outer tables 51A and 51B are formed on the upper surface of the upright plates 87. A plurality of protrusions 90 that can be inserted and removed are provided. Therefore, when the support plate 86 is raised, the projection 90 is inserted into the hole 89 and can be raised as a whole in a state where the first and second tables 13A and 13B are positioned. Reference numeral 95 denotes a lifting guide for the support plate 86.

ここにおいて、前記単軸ロボット７７，９２等により高さ調整装置９１が構成され、外側テーブル５１Ａ、５１Ｂと内側テーブル５２Ａ、５２Ｂは、一体的に昇降可能であるとともに、相互に独立して昇降可能となり、これにより、ウエハＷの上面と外側テーブル５１Ａの上面とのレベル調整と、プレスローラ１４の外周下部と外側テーブル５１Ａとの間隔調整とが可能となる。なお、図２及び図３に示されるように、固定プレート５９の左端側には、シート切断基準位置Ｐに移動されてきたテーブル１３Ａ又は１３Ｂの位置決めをする位置規制手段としてのストッパ９４が配置されており、これにより、移動されてきた第１及び第２のテーブル１３Ａ、１３Ｂが位置ずれすることなく確実に高さ調整装置９１に受け渡されるようになっている。   Here, the single axis robots 77, 92 and the like constitute a height adjusting device 91, and the outer tables 51A, 51B and the inner tables 52A, 52B can be lifted up and down integrally and can be lifted up and down independently of each other. Thus, the level adjustment between the upper surface of the wafer W and the upper surface of the outer table 51A and the interval adjustment between the lower outer periphery of the press roller 14 and the outer table 51A can be performed. As shown in FIGS. 2 and 3, a stopper 94 as a position restricting means for positioning the table 13A or 13B that has been moved to the sheet cutting reference position P is disposed on the left end side of the fixed plate 59. As a result, the moved first and second tables 13A and 13B are reliably transferred to the height adjusting device 91 without being displaced.

前記貼付手段１５は、図１に示されるように、前記プレスローラ１４と、これを回転可能に支持するとともに、Ｙ軸方向に沿って一対配置となる支柱を含む門型フレーム１００と、当該門型フレーム１００の上面側に設けられるとともに、前記プレスローラ１４を上下に昇降させるシリンダ１０１と、門型フレーム１００をＸ軸方向に移動可能に支持するとともに前記プレスローラ１４でシートＳに貼付圧力を付与する図示しない移動装置とを備えて構成されている。   As shown in FIG. 1, the affixing means 15 includes the portal frame 100 including the press roller 14 and a support column that rotatably supports the press roller 14 and that is arranged in a pair along the Y-axis direction. A cylinder 101 that is provided on the upper surface side of the mold frame 100 and moves the press roller 14 up and down, and supports the portal frame 100 so as to be movable in the X-axis direction, and applies pressure to the sheet S by the press roller 14. And a moving device (not shown) to be provided.

前記ロボット１７は、図４に示されるように、ベース部１０４と、当該ベース部１０４の上面側に配置された第１アーム１０５Ａ〜第６アーム１０５Ｆと、第６アーム１０５Ｆの先端側すなわち自由端側に取り付けられた工具保持手段としてのチャック１０９とを含む多関節型に設けられている。第２、第３及び第５アーム１０５Ｂ、１０５Ｃ、１０５Ｅは、図４中Ｙ×Ｚ面内で回転可能に設けられているとともに、第１、第４及び第６アーム１０５Ａ、１０５Ｄ、１０５Ｆは、その軸周りに回転可能に設けられている。本実施形態におけるロボット１７は数値制御（ＮＣコントロール）されるものである。すなわち、対象物（本実施形態ではウエハＷや、第１及び第２のテーブル１３Ａ、１３Ｂ等）に対する各関節の移動量がそれぞれに対応する数値情報で制御され、全てその移動量がプログラムにより制御されるものである。   As shown in FIG. 4, the robot 17 includes a base portion 104, first arm 105A to sixth arm 105F disposed on the upper surface side of the base portion 104, and a distal end side of the sixth arm 105F, that is, a free end. It is provided in a multi-joint type including a chuck 109 as a tool holding means attached to the side. The second, third, and fifth arms 105B, 105C, and 105E are rotatably provided in the Y × Z plane in FIG. 4, and the first, fourth, and sixth arms 105A, 105D, and 105F are It is provided so as to be rotatable around its axis. The robot 17 in this embodiment is numerically controlled (NC control). That is, the amount of movement of each joint relative to the object (in this embodiment, the wafer W, the first and second tables 13A, 13B, etc.) is controlled by numerical information corresponding to each, and all the amounts of movement are controlled by a program. It is what is done.

前記チャック１０９は、略円筒状をなす受容体１１０と、当該受容体１１０の周方向略１２０度間隔を隔てた位置に配置された三つのチャック爪１１１とを備えて構成されている。各チャック爪１１１は、空圧によって受容体１１０の中心に対して径方向に進退可能となっている。ここで、カッター刃１６を保持するためのカッター刃ホルダ１６Ａと前記各係合部５６とが略同形状となっているため、ロボット１７は、前記チャック１０９にカッター刃１６を受容して支持することができる他、前記外側テーブル５１Ａ、５１Ｂの各係合部５６に選択的に係合して第１及び第２のテーブル１３Ａ、１３Ｂをシート切断基準位置Ｐまで移動させることができるようになっている。また、チャック１０９は、搬送用部材をなす図示しない吸着アームを保持可能となっており、当該吸着アームを介して図示しないストッカからウエハＷを取り出して第１及び第２のテーブル１３Ａ、１３Ｂに移載する機能と、シート切断後のウエハＷを所定位置に搬送する機能をも果たすようになっている。   The chuck 109 includes a substantially cylindrical receiver 110 and three chuck claws 111 arranged at positions spaced apart by approximately 120 degrees in the circumferential direction of the receiver 110. Each chuck claw 111 can advance and retract in the radial direction with respect to the center of the receptor 110 by air pressure. Here, since the cutter blade holder 16 </ b> A for holding the cutter blade 16 and the engaging portions 56 have substantially the same shape, the robot 17 receives and supports the cutter blade 16 on the chuck 109. In addition, the first and second tables 13A and 13B can be moved to the sheet cutting reference position P by selectively engaging with the engaging portions 56 of the outer tables 51A and 51B. ing. Further, the chuck 109 can hold a suction arm (not shown) that constitutes a transfer member, and the wafer W is taken out from a stocker (not shown) via the suction arm and transferred to the first and second tables 13A and 13B. A function of loading and a function of transporting the wafer W after cutting the sheet to a predetermined position are also achieved.

前記巻取装置１９は、図１に示されるように、２つのローラ１２０、１２１と、これらローラを支持する移動フレームＦと、当該移動フレームＦに支持された駆動ローラ１２３と、回転アーム１２４の自由端側に支持され、ばね１２５を介して駆動ローラ１２３の外周面に接して不要接着シートＳ１をニップする巻取ローラ１２７と、駆動ローラ１２３の軸端に配置された駆動モータＭ１とを含む。移動フレームＦは、図示しない移動装置を介してＸ軸方向に移動可能に設けられ、これにより、当該移動フレームＦを含むユニット全体が移動可能となっている。また、駆動モータＭ１は、駆動ローラ１２３を介してフレームＦの移動に同期して不要接着シートＳ１を巻き取るように設定されている。なお、前記ローラ１２１は、図１に示されるように、アーム部材１３０に支持されているとともに、当該アーム部材１３０はシリンダ１３１によってローラ１２１がローラ１２０に対して離間、接近する方向に変位可能とされている。   As shown in FIG. 1, the winding device 19 includes two rollers 120 and 121, a moving frame F that supports these rollers, a driving roller 123 that is supported by the moving frame F, and a rotating arm 124. A winding roller 127 supported on the free end side and in contact with the outer peripheral surface of the driving roller 123 via the spring 125 to nip the unnecessary adhesive sheet S1, and a driving motor M1 disposed at the shaft end of the driving roller 123 are included. . The moving frame F is provided so as to be movable in the X-axis direction via a moving device (not shown), whereby the entire unit including the moving frame F is movable. The drive motor M1 is set to wind up the unnecessary adhesive sheet S1 in synchronization with the movement of the frame F via the drive roller 123. As shown in FIG. 1, the roller 121 is supported by an arm member 130, and the arm member 130 can be displaced by a cylinder 131 in a direction in which the roller 121 is separated from and approaches the roller 120. Has been.

次に、本実施形態における接着シートＳの切断方法について説明する。   Next, a method for cutting the adhesive sheet S in the present embodiment will be described.

ここでは、説明の便宜上、スライドプレート５８が図２に示される位置にあるものとし、第１のテーブル１３Ａが二点鎖線位置から移動してシート切断基準位置Ｐに移動しているものとする。この移動に際し、ロボット１７は、図２中二点鎖線位置にある第１のテーブル１３Ａの係合部５６をチャック１０９で掴み、前記外側テーブル５１Ａが前記ストッパ９４に突き当たる位置まで移動させることとなる。この際、第２のテーブル１３Ｂは、スライドプレート５８上に待機していることとなる。   Here, for convenience of explanation, it is assumed that the slide plate 58 is at the position shown in FIG. 2 and the first table 13A is moved from the two-dot chain line position to the sheet cutting reference position P. In this movement, the robot 17 grips the engaging portion 56 of the first table 13A located at the two-dot chain line position in FIG. 2 with the chuck 109 and moves the outer table 51A to a position where it abuts against the stopper 94. . At this time, the second table 13B stands by on the slide plate 58.

第１のテーブル１３Ａがストッパ９４に突き当たって停止すると、単軸ロボット９２が所定量上昇することによって、突起９０が穴８９内に挿入され位置決めをした状態で第１のテーブル１３Ａを上昇させる。そして単軸ロボット７７が所定量上昇することによって、突起８２が穴８０内に挿入されて内側テーブル５２Ａを位置決めした状態で押し上げ、テーブルのセットが完了する。このとき、図示しない入力装置に前もって入力されたウエハＷの厚みによって内側テーブル５２Ａの上昇量が決定し、接着シートのＳの厚みによって外側テーブル５１Ａ（第１のテーブル１３Ａ）の上昇量が決定する。つまり、載置されるウエハＷの上面が外側テーブル５１Ａの上面と同レベルになり、プレスローラ１４の外周下部と外側テーブル５１Ａとの間隔が所定間隔となるようにセットされる。   When the first table 13A hits the stopper 94 and stops, the single-axis robot 92 is raised by a predetermined amount, and the first table 13A is raised in a state where the projection 90 is inserted into the hole 89 and positioned. When the single-axis robot 77 is raised by a predetermined amount, the projection 82 is inserted into the hole 80 and pushed up in a state where the inner table 52A is positioned, and the setting of the table is completed. At this time, the rising amount of the inner table 52A is determined by the thickness of the wafer W inputted in advance to an input device (not shown), and the rising amount of the outer table 51A (first table 13A) is determined by the thickness of S of the adhesive sheet. . That is, the upper surface of the wafer W to be placed is set at the same level as the upper surface of the outer table 51A, and the interval between the lower outer periphery of the press roller 14 and the outer table 51A is set to a predetermined interval.

そして、ロボット１７は、図示しない搬送アームをチャック１０９によって装着し、所定のストッカからウエハＷを吸着保持しつつ内側テーブル５２Ａ上に移載した後、チャック１０９にカッター刃１６を装着する。 Then, the robot 17 mounts a transfer arm (not shown) with the chuck 109, transfers the wafer W from a predetermined stocker onto the inner table 52 </ b> A while adsorbing and holding the wafer W, and then mounts the cutter blade 16 on the chuck 109.

次いで、支持ローラ２０から原反が繰り出され、当該原反Ｌは、ピールプレート２２の先端位置で剥離シートＰＳと接着シートＳとが剥離され、剥離シートＰＳは、ガイドローラ２８，２９を経由して回収ローラ２３に巻き取られ、一方、接着シートＳは、プレスローラ１４の外周下部を通って巻取装置１９の巻取ローラ１２７に巻き取られる。これにより、ウエハＷの上方に新しい接着シートＳが繰り出されることとなる。   Subsequently, the original fabric is fed out from the support roller 20. In the original fabric L, the release sheet PS and the adhesive sheet S are released at the tip position of the peel plate 22, and the release sheet PS passes through the guide rollers 28 and 29. The adhesive sheet S is wound around the winding roller 127 of the winding device 19 through the lower part of the outer periphery of the press roller 14. As a result, a new adhesive sheet S is fed out above the wafer W.

ウエハＷに対するシートＳの貼付は、図示しない移動装置を介して門型フレーム１００を図１中左側に移動させることにより行われる。これにより、プレスローラ１４が回転しながらウエハＷ上を転動する（図５，図６参照）。このプレスローラ１４の転動に伴って、接着シートＳに加わる張力を測定しつつ貼付角度が常に一定となるように所定制御してシート貼付が行われることとなる。なお、貼付角度を維持しながら貼付する態様は、特願２００５−１９８８０６号に詳述されている。   The sheet S is attached to the wafer W by moving the portal frame 100 to the left in FIG. 1 via a moving device (not shown). Thereby, the press roller 14 rolls on the wafer W while rotating (see FIGS. 5 and 6). Along with the rolling of the press roller 14, the sheet sticking is performed with predetermined control so that the sticking angle is always constant while measuring the tension applied to the adhesive sheet S. In addition, the aspect stuck while maintaining the sticking angle is described in detail in Japanese Patent Application No. 2005-198806.

接着シートＳの貼付が完了すると、図６に示されるように、ロボット１７を介してカッター刃１６の先端が隙間Ｃ内に入り込むようにカッター刃１６がシートＳを突き刺し、ウエハＷの外縁に沿って回転動作し、ウエハＷの全周に沿ってシートＳをくり抜くように切断を行う。このようにしてシート切断が終了すると、ロボット１７は、カッター刃１６を退避動作させる。次いで、巻取装置１９を支持するフレームＦが図示しない移動装置を介して図１中左側に移動すると同時に、駆動ローラ１２３がその移動に同期駆動して不要接着シートＳ１の巻き取りを開始し、不要接着シートＳ１をテーブル１３の上面から剥離しつつ当該不要接着シートＳ１を巻き取る。   When the application of the adhesive sheet S is completed, as shown in FIG. 6, the cutter blade 16 pierces the sheet S through the robot 17 so that the tip of the cutter blade 16 enters the gap C, and follows the outer edge of the wafer W. The cutting operation is performed so that the sheet S is cut out along the entire circumference of the wafer W. When the sheet cutting is completed in this way, the robot 17 retracts the cutter blade 16. Next, the frame F that supports the winding device 19 moves to the left side in FIG. 1 via a moving device (not shown), and at the same time, the driving roller 123 is synchronously driven to start the winding of the unnecessary adhesive sheet S1, The unnecessary adhesive sheet S1 is wound up while being peeled from the upper surface of the table 13.

このようにして接着シートＳの貼付と、不要接着シートＳ１の巻き取りが行われた後は、ロボット１７が再び図示しない搬送アームをチャック１０９によって装着し、所定のストッカへウエハＷを収納し、次なるウエハＷを第１のテーブル１３Ａ上に移載し、以後、同様の動作を繰り返すこととなる。   After the adhesive sheet S is attached and the unnecessary adhesive sheet S1 is wound up in this way, the robot 17 again attaches a transfer arm (not shown) with the chuck 109, and stores the wafer W in a predetermined stocker. The next wafer W is transferred onto the first table 13A, and thereafter the same operation is repeated.

ここで、シートＳを貼付すべきウエハサイズが変更になった場合、すなわち、第２のテーブル１３Ｂに対応したサイズのウエハＷにシートＳを貼付する場合には、前記第１のテーブル１３Ａの係合部５６をロボット１７のチャック１０９が掴んでスライドプレート５８上に移動させる。そして、駆動装置６５が駆動することにより、スライドプレート５８が図２中下方に移動され、第２のテーブル１３Ｂを配置しているガイドレール６０が延長レール７５と同一直線上に並ぶ位置まで移動させる。そして、第２のテーブル１３Ｂの係合部５６をロボット１７のチャック１０９が掴んで前記シート切断基準位置Ｐまで移動させることとなる。   Here, when the wafer size to which the sheet S is to be attached is changed, that is, when the sheet S is to be attached to the wafer W having a size corresponding to the second table 13B, the relationship of the first table 13A. The joint portion 56 is gripped by the chuck 109 of the robot 17 and moved onto the slide plate 58. Then, when the driving device 65 is driven, the slide plate 58 is moved downward in FIG. 2, and the guide rail 60 on which the second table 13 </ b> B is arranged is moved to a position aligned with the extension rail 75. . The engaging portion 56 of the second table 13B is grasped by the chuck 109 of the robot 17 and moved to the sheet cutting reference position P.

従って、このような実施形態によれば、ウエハＷの大きさに応じて異なるサイズのテーブルを利用することができ、種々の平面形状を備えた板状部材を対象としてシートＳの切断を精度良く行うことができる、という効果を得る。   Therefore, according to such an embodiment, a table having a different size can be used depending on the size of the wafer W, and the sheet S can be cut with high accuracy for plate-like members having various planar shapes. The effect that it can be performed is acquired.

以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。
すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示、説明されているが、本発明の技術的思想及び目的の範囲から逸脱することなく、以上説明した実施形態に対し、形状、位置若しくは配置等に関し、必要に応じて当業者が様々な変更を加えることができるものである。 As described above, the best configuration, method and the like for carrying out the present invention have been disclosed in the above description, but the present invention is not limited to this.
In other words, the present invention has been illustrated and described mainly with respect to specific embodiments, but without departing from the scope of the technical idea and object of the present invention, the shape, position, or With respect to the arrangement and the like, those skilled in the art can make various changes as necessary.

例えば、前記実施形態では、ウエハＷのサイズが二種類の場合を対象として第１及び第２のテーブル１３Ａ、１３Ｂを採用した場合を図示、説明したが、スライドプレート５８を拡大させ、更にサイズの違うテーブルをその上に配置するように構成してもよい。
また、前記実施形態では、板状部材がウエハである場合を示したが、ウエハ以外の板状部材にシート、フィルムを貼付する構成にも適用することができる。 For example, in the above-described embodiment, the case where the first and second tables 13A and 13B are employed for the case where the size of the wafer W is two types is illustrated and described. However, the slide plate 58 is enlarged to further increase the size. You may comprise so that a different table may be arrange | positioned on it.
Moreover, although the case where a plate-shaped member is a wafer was shown in the said embodiment, it can apply also to the structure which affixes a sheet | seat and a film on plate-shaped members other than a wafer.

本実施形態に係るシート切断装置を含むシート貼付装置の一部を断面で示した概略正面図。The schematic front view which showed a part of sheet sticking apparatus containing the sheet cutting device which concerns on this embodiment in the cross section. シート切断装置の概略平面図。The schematic plan view of a sheet cutting device. 図１の要部拡大断面図。The principal part expanded sectional view of FIG. 一部構成を除外した図２の左側面図。The left view of FIG. 2 which excluded a part structure. シート貼付時におけるテーブルの一部断面側面図。The partial cross section side view of the table at the time of sheet sticking. シート切断時におけるテーブルの一部断面正面図。The partial cross section front view of the table at the time of sheet | seat cutting | disconnection.

符号の説明Explanation of symbols

１０ シート貼付装置
１３Ａ 第１のテーブル
１３Ｂ 第２のテーブル
１６ カッター刃
１７ ロボット（切断手段）
５１Ａ 外側テーブル
５１Ｂ 外側テーブル
５２Ａ 内側テーブル
５２Ｂ 内側テーブル
５６ 係合部
５７ 案内装置
９１ 高さ調整装置
９４ ストッパ（位置規制手段）
１０９ チャック（工具保持手段）
Ｃ 隙間（カッター刃受容部）
Ｐ シート切断基準位置
Ｓ 接着シート
Ｗ 半導体ウエハ（板状部材） DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Sheet sticking apparatus 13A 1st table 13B 2nd table 16 Cutter blade 17 Robot (cutting means)
51A Outer table 51B Outer table 52A Inner table 52B Inner table 56 Engaging portion 57 Guide device 91 Height adjusting device 94 Stopper (Position restricting means)
109 Chuck (tool holding means)
C Clearance (cutter blade receiving part)
P Sheet cutting reference position S Adhesive sheet W Semiconductor wafer (plate-like member)

Claims (12)

板状部材を支持するテーブルと、前記板状部材の外側にはみ出る大きさのシートを板状部材に貼付して当該板状部材の形状に合うように前記シートをカッター刃で切断する切断手段とを含むシート切断装置において、
前記テーブルは、平面サイズが異なる板状部材ごとに対応して複数設けられ、各テーブルは、前記板状部材の外縁に沿うカッター刃受容部を備えていることを特徴とするシート切断装置。 A table that supports the plate-like member, and a cutting means that affixes a sheet of a size that protrudes outside the plate-like member to the plate-like member and cuts the sheet with a cutter blade so as to match the shape of the plate-like member; In a sheet cutting apparatus including
The said table is provided with two or more corresponding to every plate-shaped member from which plane size differs, Each table is provided with the cutter blade receiving part along the outer edge of the said plate-shaped member, The sheet cutting device characterized by the above-mentioned. 前記テーブルは、所定のシート切断基準位置に対して入れ替え可能に設けられていることを特徴とする請求項１記載のシート切断装置。 The sheet cutting apparatus according to claim 1, wherein the table is provided so as to be interchangeable with respect to a predetermined sheet cutting reference position. 前記切断手段は、前記カッター刃を着脱自在とする工具保持手段を備えている一方、前記テーブルは前記工具保持手段に係脱自在に設けられた係合部を備え、前記工具保持手段が前記カッター刃から前記係合部に持ち替えることで前記テーブルを移動可能とし、他のテーブルとの入れ替えが可能に設けられていることを特徴とする請求項２記載のシート切断装置。 The cutting means includes tool holding means for detachably attaching the cutter blade, while the table includes an engaging portion that is detachably attached to the tool holding means, and the tool holding means is the cutter. 3. The sheet cutting device according to claim 2, wherein the table is movable by being moved from a blade to the engaging portion so that the table can be moved and replaced with another table. 前記テーブルは、前記板状部材の大きさに略対応する内側テーブルと、この内側テーブルの外周側に位置する外側テーブルとにより構成され、これら各テーブル間に前記カッター刃受容部が形成されていることを特徴とする請求項１，２又は３記載のシート切断装置。 The table is constituted by an inner table substantially corresponding to the size of the plate-like member and an outer table positioned on the outer peripheral side of the inner table, and the cutter blade receiving portion is formed between these tables. The sheet cutting apparatus according to claim 1, 2, or 3. 前記内側テーブルと外側テーブルは、高さ調整装置を介してそれぞれの上面の高さ位置が調整可能に設けられていることを特徴とする請求項１，２，３又は４記載のシート切断装置。 The sheet cutting device according to claim 1, 2, 3, or 4, wherein the inner table and the outer table are provided such that the height positions of the respective upper surfaces can be adjusted via a height adjusting device. 前記複数のテーブルの外縁形状は、それぞれ略同一の大きさに設けられ、前記テーブルは、案内装置を介して前記シート切断基準位置に対して移動可能に設けられていることを特徴とする請求項４又は５記載のシート切断装置。 The outer edge shapes of the plurality of tables are respectively provided in substantially the same size, and the tables are provided so as to be movable with respect to the sheet cutting reference position via a guide device. The sheet cutting device according to 4 or 5. 前記シート切断基準位置に前記テーブルが位置したときに、当該テーブルの位置を規制する位置規制手段を更に含むことを特徴とする請求項１ないし６の何れかに記載のシート切断装置。 The sheet cutting device according to any one of claims 1 to 6, further comprising position restricting means for restricting a position of the table when the table is positioned at the sheet cutting reference position. 前記切断手段は、多関節型のロボットにより構成され、当該ロボットは、複数の関節を有するとともに、各関節が数値制御されることを特徴とする請求項１ないし７の何れかに記載のシート切断装置。 The sheet cutting device according to any one of claims 1 to 7, wherein the cutting means is constituted by an articulated robot, and the robot has a plurality of joints and each joint is numerically controlled. apparatus. テーブルに板状部材を支持した状態で、当該板状部材の外縁よりも外側にはみ出る大きさのシートを板状部材の上面側に供給して貼付し、当該シートを板状部材の形状に合うようにカッター刃で切断するシート切断方法において、
前記板状部材は、大きさの異なる複数種を対象とし、それぞれの大きさに対応したテーブルを所定のシート切断基準位置に移動させて前記切断を行うことを特徴とするシート切断方法。 In a state where the plate-like member is supported on the table, a sheet having a size that protrudes outside the outer edge of the plate-like member is supplied and pasted on the upper surface side of the plate-like member, and the sheet matches the shape of the plate-like member. In the sheet cutting method to cut with a cutter blade,
The sheet-like cutting method characterized in that the plate-like member targets a plurality of types having different sizes, and performs the cutting by moving a table corresponding to each size to a predetermined sheet cutting reference position. 前記対象となる板状部材の大きさが変更されるときに、前記シート切断基準位置に対してテーブルを入れ替えることを特徴とする請求項９記載のシート切断方法。 The sheet cutting method according to claim 9, wherein when the size of the target plate-like member is changed, the table is replaced with respect to the sheet cutting reference position. 前記テーブルの入れ替えが、前記切断手段を利用して行われることを特徴とする請求項９又は１０記載のシート切断方法。 The sheet cutting method according to claim 9 or 10, wherein the table is replaced using the cutting means. 前記シート切断基準位置に前記テーブルが位置したときに、当該テーブルの位置を規制することを特徴とする請求項９ないし１１の何れかに記載のシート切断方法。 12. The sheet cutting method according to claim 9, wherein when the table is positioned at the sheet cutting reference position, the position of the table is regulated.

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