JP2008051627A

JP2008051627A - Gas sensor

Info

Publication number: JP2008051627A
Application number: JP2006227473A
Authority: JP
Inventors: Takamasa Osawa; 敬正大澤; Kazuto Hirai; 一人平井
Original assignee: NGK Spark Plug Co Ltd
Current assignee: Niterra Co Ltd
Priority date: 2006-08-24
Filing date: 2006-08-24
Publication date: 2008-03-06
Anticipated expiration: 2026-08-24
Also published as: JP4856496B2

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a gas sensor capable of being attached to a specific attaching hole and being enhanced in responsiveness. <P>SOLUTION: The gas sensor 100 is equipped with a gas sensor element 110, having a gas sensitive film 111, a sensor support 120 for supporting the gas sensor element 110, a case 150 for housing both of them and a filter film 160 for closing the gas inlet port 151 provided to the case 150. Furthermore, the gas sensor 100 is equipped with a sensor attaching part 180, attached to an external attachment hole TTC and having an opening part 181 for introducing environmental gas and is further equipped with a gas guidance part 190 that constitutes a gas guidance passage YR that reaches the filter film 160, from the opening part 181 of the sensor attachment part 180. <P>COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT

Description

本発明は、環境気体中の特定ガスの濃度を検知するガスセンサ素子を有するガスセンサに関する。 The present invention relates to a gas sensor having a gas sensor element that detects the concentration of a specific gas in an environmental gas.

従来より、環境気体中の特定ガス成分の濃度を検出するガスセンサ素子を有するガスセンサが知られている。例えば、特許文献１〜３にこのようなガスセンサが開示されている。これらのガスセンサは、自動車に装着され、外気中あるいは内気中に存在する特定ガス成分の濃度を検知し、車内に外気を取り入れる外気ダクトと、内気を循環させる内気ダクトとを切り替えるフラップの自動制御などに利用される。 Conventionally, a gas sensor having a gas sensor element for detecting the concentration of a specific gas component in environmental gas is known. For example, Patent Documents 1 to 3 disclose such gas sensors. These gas sensors are installed in automobiles, detect the concentration of specific gas components in the outside air or inside air, and automatically control the flaps to switch between the outside air duct that takes outside air into the car and the inside air duct that circulates inside air, etc. Used for

特開平９−１８４８１７号公報JP-A-9-184817 特開２００２−３１８２１６号公報JP 2002-318216 A 特開２００６−５８０９８号公報JP 2006-58098 A

本発明者は、上記のようなガスセンサとして、図４に概略を示すガスセンサ９００を発案した。このガスセンサ９００は、ガスセンサ素子９１０、センサ支持体９２０、配線基板９３０、ピン９４０、ケース９５０、フィルタ膜９６０，コネクタ部９７０等から構成されている。
ガスセンサ素子９１０は、貫通孔を有するＳｉ基板と、この貫通孔の一端側の開口を塞ぐようにＳｉ基板上に形成された薄膜状の支持膜とを有するダイアフラムの表面に、感ガス膜９１１を形成した構成をなしている。このガスセンサ素子９１０は、センサ支持体９２０のキャビティ（凹部）９２１内に載置されている。ガスセンサ素子９１０を搭載したセンサ支持体９２０は、板状をなす配線基板９３０の所定位置に固定されている。また、この配線基板９３０には、入出力端子としてのピン９４０，９４０，…が複数立設されている。そして、これらは、外形が直方体形状をなすケース９５０内に収容されている。 The present inventor has invented a gas sensor 900 schematically shown in FIG. 4 as the above gas sensor. The gas sensor 900 includes a gas sensor element 910, a sensor support 920, a wiring board 930, a pin 940, a case 950, a filter film 960, a connector portion 970, and the like.
The gas sensor element 910 has a gas sensitive film 911 formed on the surface of a diaphragm having a Si substrate having a through hole and a thin film-like support film formed on the Si substrate so as to close the opening on one end side of the through hole. It has a formed configuration. The gas sensor element 910 is placed in a cavity (concave portion) 921 of the sensor support 920. The sensor support 920 on which the gas sensor element 910 is mounted is fixed at a predetermined position on the wiring board 930 having a plate shape. The wiring board 930 is provided with a plurality of pins 940, 940,... As input / output terminals. These are accommodated in a case 950 whose outer shape is a rectangular parallelepiped shape.

ケース９５０の表面部９５３（図４中、上方）には、ガス（環境気体）をケース外部からケース内部に導入するガス導入口９５１が形成されている。このガス導入口９５１は、通気性及び撥水性を有するフィルタ膜９６０により閉塞されている。また、ガスセンサ９００には、ケース９５０から突出し、外部との接続に利用されるコネクタ部９７０が設けられている。このコネクタ部９７０の内側には、上記のピン９４０，９４０，…が配置されている。 A gas inlet 951 for introducing gas (environmental gas) from the outside of the case into the case is formed in the surface portion 953 (upward in FIG. 4) of the case 950. The gas inlet 951 is closed by a filter film 960 having air permeability and water repellency. Further, the gas sensor 900 is provided with a connector portion 970 that protrudes from the case 950 and is used for connection to the outside. The pins 940, 940,... Are arranged inside the connector portion 970.

ここで、このガスセンサ９００を、図５に示すような形態をなす外部の取付部ＴＴの取付穴ＴＴＣに取り付ける場合を考える。なお、矢印は、ガス（環境気体）の流通方向を示している。上記ガスセンサ９００の形態と取付部ＴＴの形態を考慮すると、図６に示すように、ガスセンサ９００と取付部ＴＴとが互いに干渉してしまい、ガスセンサ９００を取付部ＴＴ（取付穴ＴＴＣ）に取り付けることができない。仮に、コネクタ部９７０の突出方向を反対側（図６中、右側）に設計変更したとしても、やはりガスセンサ９００と取付部ＴＴとが互いに干渉してしまい、取り付けが不可能である。 Here, the case where this gas sensor 900 is attached to the attachment hole TTC of the external attachment part TT which makes a form as shown in FIG. 5 is considered. In addition, the arrow has shown the distribution direction of gas (environment gas). In consideration of the form of the gas sensor 900 and the form of the attachment portion TT, as shown in FIG. 6, the gas sensor 900 and the attachment portion TT interfere with each other, and the gas sensor 900 is attached to the attachment portion TT (attachment hole TTC). I can't. Even if the design of the protruding direction of the connector portion 970 is changed to the opposite side (right side in FIG. 6), the gas sensor 900 and the attachment portion TT interfere with each other, and attachment is impossible.

そこで、本発明者は、次に図７に示す形態のガスセンサ８００を発案した。このガスセンサ８００も、上記ガスセンサ９００と同様に、ガスセンサ素子８１０、センサ支持体８２０、配線基板８３０、ピン８４０、ケース８５０、フィルタ膜８６０、コネクタ部８７０等から構成されている。しかしながら、ケース８５０の形態やフィルタ膜８６０の取り付け位置などが、上記ガスセンサ９００と異なる。上記ガスセンサ９００では、ケース９５０の表面部９５３にガス導入口９５１を設けていたのに対し、このガスセンサ８００では、ケース８５０の側面部８５５にガス導入口８５１を設けている。そしてこれに伴い、ガス導入口８５１を閉塞するフィルタ膜８６０も、ケース８５０の側面部８５５に取り付けられている。 Then, this inventor invented the gas sensor 800 of the form shown in FIG. Similarly to the gas sensor 900, the gas sensor 800 includes a gas sensor element 810, a sensor support 820, a wiring board 830, a pin 840, a case 850, a filter film 860, a connector portion 870, and the like. However, the form of the case 850, the attachment position of the filter film 860, and the like are different from those of the gas sensor 900. In the gas sensor 900, the gas introduction port 951 is provided in the surface portion 953 of the case 950, whereas in the gas sensor 800, the gas introduction port 851 is provided in the side surface portion 855 of the case 850. Along with this, a filter membrane 860 that closes the gas inlet port 851 is also attached to the side surface portion 855 of the case 850.

このようなガスセンサ８００は、図７に示すように、取付部ＴＴの取付穴ＴＴＣに取り付けることが可能であり、このように取り付けることにより、ガス（環境気体）中の特定ガスの濃度を検知することができる。
しかしながら、このガスセンサ８００では、上記ガスセンサ９００に比して、フィルタ膜８６０からガスセンサ素子８１０の感ガス膜８１１までの距離がどうしても長くなる。上記ガスセンサ９００のように、フィルタ膜９６０と感ガス膜９１１とが対向して平行に配置されていないからである。このため、フィルタ膜８６０を通過したガス（環境気体）が感ガス膜８１１まで拡散するのに時間が掛かるので、ガスセンサ８００の応答性が低くなりがちである。 As shown in FIG. 7, such a gas sensor 800 can be attached to the attachment hole TTC of the attachment portion TT. By attaching in this way, the concentration of a specific gas in the gas (environmental gas) is detected. be able to.
However, in this gas sensor 800, the distance from the filter film 860 to the gas sensitive film 811 of the gas sensor element 810 is inevitably longer than that of the gas sensor 900. This is because, unlike the gas sensor 900, the filter film 960 and the gas sensitive film 911 are not arranged in parallel to face each other. For this reason, since it takes time for the gas (environment gas) that has passed through the filter film 860 to diffuse to the gas sensitive film 811, the responsiveness of the gas sensor 800 tends to be low.

本発明は、かかる現状に鑑みてなされたものであって、特定の取付穴に取り付け可能で、かつ、応答性を高くできるガスセンサを提供することを目的とする。 The present invention has been made in view of the present situation, and an object of the present invention is to provide a gas sensor that can be mounted in a specific mounting hole and can have high responsiveness.

その解決手段は、環境気体中の特定ガスの濃度を検知する感ガス膜を有するガスセンサ素子と、配線基板と、前記ガスセンサ素子と前記配線基板との間に介在して、前記ガスセンサ素子を支持するセンサ支持体と、前記ガスセンサ素子、前記配線基板及び前記センサ支持体を収容するケースであって、前記環境気体をケース外部からケース内部に導入するガス導入口を有するケースと、前記ガス導入口を閉塞するフィルタ膜と、を備えるガスセンサであって、外部の取付穴に取り付けられるセンサ取付部であって、前記取付穴から前記環境気体を導入するための開口部を有するセンサ取付部を備え、前記フィルタ膜は、その厚み方向が前記センサ取付部の前記開口部の軸線方向と直交する姿勢に配置されてなり、前記ガスセンサ素子の前記感ガス膜が、前記フィルタ膜に対向して平行に配置されてなり、かつ、前記環境気体が前記フィルタ膜を通過してから前記感ガス膜に達するまでの通気最短距離が、前記感ガス膜の厚み方向に平面視したときの、前記感ガス膜の外周縁から前記センサ支持体の外周縁までの周縁最短距離よりも小さくされてなり、前記センサ取付部の前記開口部から前記フィルタ膜に至る気体誘導路を構成する気体誘導部を備えるガスセンサである。 The solving means supports the gas sensor element by interposing between the gas sensor element having a gas sensitive film for detecting the concentration of a specific gas in the environmental gas, the wiring board, and the gas sensor element and the wiring board. A case that accommodates a sensor support, the gas sensor element, the wiring board, and the sensor support, the case having a gas introduction port for introducing the environmental gas into the case from outside the case; and the gas introduction port. A gas sensor comprising a filter membrane to be closed, wherein the sensor attachment part is attached to an external attachment hole, and includes a sensor attachment part having an opening for introducing the environmental gas from the attachment hole, The filter membrane is disposed in a posture in which the thickness direction thereof is orthogonal to the axial direction of the opening of the sensor mounting portion, and the sensitivity of the gas sensor element. The gas membrane is disposed in parallel to face the filter membrane, and the shortest ventilation distance from the passage of the environmental gas through the filter membrane to the gas sensitive membrane is determined by the gas sensitive membrane. When viewed in plan in the thickness direction, it is made smaller than the shortest peripheral edge distance from the outer peripheral edge of the gas-sensitive film to the outer peripheral edge of the sensor support, and reaches the filter film from the opening of the sensor mounting portion. It is a gas sensor provided with the gas guidance part which comprises a gas guidance path.

本発明によれば、ガスセンサ素子の感ガス膜が、フィルタ膜に対向して平行に配置されており、かつ、環境気体がフィルタ膜を通過してから感ガス膜に達するまでの通気最短距離が、感ガス膜の厚み方向に平面視したときの、感ガス膜の外周縁からセンサ支持体の外周縁までの周縁最短距離よりも小さくされている。つまり、フィルタ膜から感ガス膜までの距離（通気最短距離）が非常に短くされている。このため、環境気体は、フィルタ膜通過後、拡散してすぐに感ガス膜に至るので、ガスセンサの応答性を高くできる。
その上、本発明のガスセンサは、センサ取付部の開口部からフィルタ膜に至る気体誘導路を構成する気体誘導部を備えるので、外部の取付穴から導入された環境気体を、センサ取付部の開口部からフィルタ膜まで速やかに導くことができる。従って、ガスセンサの応答性を更に向上させることができる。 According to the present invention, the gas sensitive film of the gas sensor element is arranged in parallel to face the filter film, and the shortest ventilation distance from the passage of the environmental gas through the filter film to the gas sensitive film is obtained. The distance between the outer peripheral edge of the gas-sensitive film and the outer peripheral edge of the sensor support when viewed in plan in the thickness direction of the gas-sensitive film is smaller than the shortest peripheral distance. That is, the distance from the filter film to the gas sensitive film (shortest ventilation distance) is very short. For this reason, the environmental gas diffuses after passing through the filter film and immediately reaches the gas sensitive film, so that the responsiveness of the gas sensor can be improved.
Moreover, since the gas sensor of the present invention includes a gas guiding portion that constitutes a gas guiding path from the opening of the sensor mounting portion to the filter membrane, the environmental gas introduced from the external mounting hole is passed through the opening of the sensor mounting portion. It is possible to quickly guide from the part to the filter membrane. Therefore, the responsiveness of the gas sensor can be further improved.

なお、「ガスセンサ素子」は、上記のように感ガス膜を有するものであればよく、その用途などに応じて、その形態や構造、大きさ、材質等を適宜変更できる。例えば、貫通孔を有するＳｉ基板と、この貫通孔の一端側の開口を塞ぐようにＳｉ基板上に形成された薄膜状の支持膜とを有するダイアフラムの表面に、感ガス膜を形成したものなどが挙げられる。また、ガスセンサ素子の内部にヒータなどを形成してもよい。
「センサ支持体」は、上記のようにガスセンサ素子を支持するものであればよく、ガスセンサ素子の形状等を考慮して、その形態や大きさ、材質等を適宜変更できる。例えば、外形が直方体形状をなし、ガスセンサ素子を収容するキャビティ（凹部）が形成されたものや（金属）管パッケージなどが挙げられる。更に、そのガスセンサ素子を収容したキャビティ等を、通気孔を有する保護カバーなどで覆ってもよい。 The “gas sensor element” only needs to have a gas-sensitive film as described above, and its form, structure, size, material, and the like can be changed as appropriate according to its use. For example, a gas-sensitive film formed on the surface of a diaphragm having a Si substrate having a through hole and a thin film-like support film formed on the Si substrate so as to close the opening on one end side of the through hole Is mentioned. Further, a heater or the like may be formed inside the gas sensor element.
The “sensor support” only needs to support the gas sensor element as described above, and the shape, size, material, and the like can be appropriately changed in consideration of the shape of the gas sensor element. For example, the outer shape is a rectangular parallelepiped shape, and a cavity (concave portion) that accommodates the gas sensor element is formed, or a (metal) tube package. Furthermore, the cavity or the like that houses the gas sensor element may be covered with a protective cover or the like having a vent hole.

「ケース」は、上記の要件を満たすものであればよく、外部の取付部の形状などを考慮して、その形態や大きさ、材質等は適宜変更できる。また、ケースに設けるガス導入口も、通気性等を考慮して、その形状や大きさを適宜変更できる。
「フィルタ膜」は、ケースに設けられたガス導入口を閉塞するものであればよく、その通気性や撥水性、防塵性等を考慮して、その構造や材質、大きさ（厚み）等を適宜変更できる。
「センサ取付部」は、上記の要件を満たすものであればよく、外部の取付穴の形状等を考慮して、その形態や大きさ等を適宜変更できる。例えば、センサ取付部をクリップ式により取付穴に取り付ける形態とすることができる。 The “case” only needs to satisfy the above requirements, and the shape, size, material, and the like of the case can be appropriately changed in consideration of the shape of the external mounting portion. Further, the shape and size of the gas inlet provided in the case can be appropriately changed in consideration of air permeability and the like.
The “filter membrane” only needs to block the gas inlet provided in the case, and its structure, material, size (thickness), etc. are taken into consideration in consideration of its air permeability, water repellency, dust resistance, etc. It can be changed as appropriate.
The “sensor mounting portion” only needs to satisfy the above requirements, and the shape, size, and the like thereof can be appropriately changed in consideration of the shape of the external mounting hole. For example, the sensor attachment portion can be attached to the attachment hole by a clip method.

「通気最短距離」とは、上記のように、環境気体がフィルタ膜を通過してから感ガス膜に達するまでの最短距離を指す。フィルタ膜と感ガス膜とは対向して平行に配置されているので、ガスセンサ素子が保護カバー等で覆われていない場合は、フィルタ膜と感ガス膜との間隙が通気最短距離に相当する。一方、ガスセンサ素子が保護カバー等で覆われている場合には、フィルタ膜から保護カバー等の通気孔を経由して感ガス膜に至るまでの最短の距離が通気最短距離に相当する。
「気体誘導部」は、上記の要件を満たすものであればよく、気体誘導路の形態等を考慮して、その形態や材質等を適宜変更できる。また、気体誘導部は、ケースと一体的に成形されたものでも、ケースと別体に成形されたものでもよい。 The “shortest ventilation distance” refers to the shortest distance from when the environmental gas passes through the filter film to the gas sensitive film as described above. Since the filter film and the gas sensitive film are arranged opposite to each other in parallel, the gap between the filter film and the gas sensitive film corresponds to the shortest ventilation distance when the gas sensor element is not covered with a protective cover or the like. On the other hand, when the gas sensor element is covered with a protective cover or the like, the shortest distance from the filter film to the gas sensitive film via the vent hole of the protective cover or the like corresponds to the shortest vent distance.
The “gas induction part” only needs to satisfy the above requirements, and the form, material, etc. thereof can be appropriately changed in consideration of the form of the gas induction path. Further, the gas guiding part may be formed integrally with the case or may be formed separately from the case.

更に、上記のガスセンサであって、前記配線基板は、入出力端子としてのピンが立設されてなり、前記ケースから突出する共に、前記ピンを内側に配置し、外部との接続に利用されるコネクタ部を備え、前記コネクタ部と気体誘導部とが、前記配線基板に対して同じ側に設けられてなるガスセンサとすると良い。 Further, in the above gas sensor, the wiring board is provided with pins as input / output terminals standing up and protruding from the case, and the pins are arranged inside to be used for connection to the outside. It is preferable that the gas sensor is provided with a connector part, and the connector part and the gas guiding part are provided on the same side with respect to the wiring board.

本発明によれば、コネクタ部と気体誘導路とが、配線基板に対して同じ側に設けられている。このようにすれば、コネクタ部と気体誘導路とを配線基板に対して互いに異なる側に配設するよりも、ガスセンサを低背化できる。従って、外部の取付部のスペースが小さくても、容易に取り付けやすい。 According to the present invention, the connector portion and the gas guiding path are provided on the same side with respect to the wiring board. In this way, the height of the gas sensor can be reduced as compared with the case where the connector part and the gas guiding path are arranged on different sides with respect to the wiring board. Therefore, even if the space of the external mounting portion is small, it can be easily mounted.

更に、上記のいずれかに記載のガスセンサであって、前記気体誘導部は、その内壁面のうち少なくとも一部に、前記フィルタ膜に近づく方向に滑らかに曲げられてなる屈曲部を有するガスセンサとすると良い。 Furthermore, in the gas sensor according to any one of the above, when the gas guiding portion has a bent portion that is smoothly bent in a direction approaching the filter film on at least a part of the inner wall surface thereof. good.

本発明によれば、気体誘導部は、その内壁面の少なくとも一部に、フィルタ膜に近づく方向に滑らかに曲げられた屈曲部を有する。このような屈曲部を設けることで、環境気体が屈曲部に沿ってスムーズに移動できるので、環境気体をフィルタ膜にスムーズに導入できる。 According to the present invention, the gas guiding portion has a bent portion that is smoothly bent in a direction approaching the filter membrane on at least a part of its inner wall surface. By providing such a bent portion, the environmental gas can move smoothly along the bent portion, so that the environmental gas can be smoothly introduced into the filter membrane.

以下、本発明の実施の形態を、図面を参照しつつ説明する。図１に本実施形態に係るガスセンサ１００の概略を示す。また、図２にこのガスセンサ１００を外部の取付穴ＴＴＣに取り付けた状態を示す。更に、図３にガスセンサ１００のうちのガスセンサ素子１１０近傍の拡大図を示す。このガスセンサ１００は、ガスセンサ素子１１０、センサ支持体１２０、配線基板１３０、ピン１４０、ケース１５０、フィルタ膜１６０、コネクタ部１７０、センサ取付部１８０、気体誘導部１９０等から構成されている。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 shows an outline of a gas sensor 100 according to this embodiment. FIG. 2 shows a state in which the gas sensor 100 is attached to the external attachment hole TTC. Further, FIG. 3 shows an enlarged view of the vicinity of the gas sensor element 110 in the gas sensor 100. The gas sensor 100 includes a gas sensor element 110, a sensor support 120, a wiring board 130, a pin 140, a case 150, a filter film 160, a connector part 170, a sensor mounting part 180, a gas guiding part 190, and the like.

このうちガスセンサ素子１１０は、図３に示すように、貫通孔１１３ｋを有するＳｉ基板１１３と、この貫通孔１１３ｋの一端側の開口（図３中、上側の開口）を塞ぐようにＳｉ基板１１３上に形成された薄膜状の支持膜１１５とを有するダイアフラムの表面に、感ガス膜１１１を形成した構成をなしている。感ガス膜１１１の表面には、触媒としてＡｕ粒子が分散して形成されており、ガス（環境気体）中の特定ガス（具体的には、ＮＯｘ）の濃度変化に応じて感ガス膜１１１の抵抗値が変化する性質を有する。また、ガスセンサ素子１１０には、感ガス膜１１１と電気的に接続される一対の検知電極（図示しない）や、感ガス膜１１１を活性化させるためのヒータ（図示しない）などが設けられている。また、ガスセンサ素子１１０の外部には、上記の検知電極やヒータと電気的に接続し、次述するセンサ支持体１２０との電気的な接続に利用される複数の端子パッド（図示しない）などが形成されている。 Among these, as shown in FIG. 3, the gas sensor element 110 is formed on the Si substrate 113 having a through hole 113k and an opening on the one end side of the through hole 113k (the upper opening in FIG. 3). The gas sensitive film 111 is formed on the surface of the diaphragm having the thin film-like support film 115 formed thereon. Au particles are dispersed and formed on the surface of the gas-sensitive film 111 as a catalyst, and the gas-sensitive film 111 has a concentration corresponding to a change in the concentration of a specific gas (specifically, NOx) in the gas (environmental gas). It has the property that the resistance value changes. The gas sensor element 110 is provided with a pair of detection electrodes (not shown) electrically connected to the gas sensitive film 111, a heater (not shown) for activating the gas sensitive film 111, and the like. . Further, outside the gas sensor element 110, there are a plurality of terminal pads (not shown) that are electrically connected to the above-described detection electrodes and heaters and used for electrical connection to the sensor support 120 described below. Is formed.

センサ支持体１２０は、直方体形状をなし、表面１２０ａ側（図１〜図３中、上方の面側）に開口する大きなキャビティ（凹部）１２１が設けられている（図３参照）。センサ支持体１２０は、複数のセラミック層が積層されてなり、その内部や外部には、配線や端子パッド（図示しない）が複数形成されている。センサ支持体１２０のキャビティ１２１内には、上記ガスセンサ素子１１０が収容され、ガスセンサ素子１１０の端子パッドとセンサ支持体の端子パッドとが、図示しないボンディングワイヤにより電気的に接続されている。そして、このキャビティ１２１上（センサ支持体１２０の表面１２０ａ上）には、キャビティ１２１の外部と内部の間を連通させる複数の通気孔１２５ｃを有する金属製の保護カバー１２５が取り付けられている。 The sensor support 120 has a rectangular parallelepiped shape, and is provided with a large cavity (concave portion) 121 that opens on the surface 120a side (the upper surface side in FIGS. 1 to 3) (see FIG. 3). The sensor support 120 is formed by laminating a plurality of ceramic layers, and a plurality of wirings and terminal pads (not shown) are formed inside and outside thereof. The gas sensor element 110 is accommodated in the cavity 121 of the sensor support 120, and the terminal pad of the gas sensor element 110 and the terminal pad of the sensor support are electrically connected by a bonding wire (not shown). On the cavity 121 (on the surface 120a of the sensor support 120), a metal protective cover 125 having a plurality of vent holes 125c for communicating between the outside and the inside of the cavity 121 is attached.

配線基板１３０は、表面１３０ａと裏面１３０ｂとを有する板状をなす（図１参照）。この配線基板１３０には、その内部や表面１３０ａ及び裏面１３０ｂに、図示しない配線や端子パッドが複数設けられている。そして、配線基板１３０の表面１３０ａ上の所定位置には、ガスセンサ素子１１０を収容したセンサ支持体１２０が固着され、センサ支持体１２０の端子パッドと配線基板１３０の端子パッドとが電気的に接続されている。また、この配線基板１３０の所定位置には、入出力端子としてのピン１４０，１４０，…が複数立設されている。 The wiring board 130 has a plate shape having a front surface 130a and a back surface 130b (see FIG. 1). The wiring board 130 is provided with a plurality of wirings and terminal pads (not shown) inside and on the front surface 130a and the back surface 130b. And the sensor support body 120 which accommodated the gas sensor element 110 is fixed to the predetermined position on the surface 130a of the wiring board 130, and the terminal pad of the sensor support body 120 and the terminal pad of the wiring board 130 are electrically connected. ing. In addition, a plurality of pins 140, 140,... Serving as input / output terminals are erected at predetermined positions on the wiring board 130.

ケース１５０は、表面部１５０ａと裏面部１５０ｂと４つの側面部１５０ｃを有し、外形が直方体形状をなす（図１参照）。ケース１５０内には、上述のガスセンサ素子１１０、センサ支持体１２０、配線基板１３０等が収容されている。ケース１５０の表面部１５０ａの所定位置には、ガス（環境気体）をケース外部からケース内部に導入するためのガス導入口１５１が形成されている。このガス導入口１５１は、ケース１５０に固着されたフィルタ膜１６０により閉塞されている（図３も参照）。これにより、ガスをケース内部に導入する一方、水や異物がケース内部に進入するのを防止する。 The case 150 has a front surface portion 150a, a back surface portion 150b, and four side surface portions 150c, and the outer shape is a rectangular parallelepiped shape (see FIG. 1). The case 150 houses the gas sensor element 110, the sensor support 120, the wiring board 130, and the like described above. A gas inlet 151 for introducing gas (environmental gas) from the outside of the case into the case is formed at a predetermined position of the surface portion 150a of the case 150. The gas inlet 151 is closed by a filter film 160 fixed to the case 150 (see also FIG. 3). Thereby, while introducing gas into a case, water and a foreign material are prevented from entering the case.

このフィルタ膜１６０は、ガスセンサ素子１１０の感ガス膜１１１と対向して平行に配置されている（図３参照）。また、このフィルタ膜１６０は、図１に示すように、その厚み方向（図中、上下方向）が、後述するセンサ取付部１８０の開口部１８１の軸線ＡＸ方向と直交する姿勢に配置されている。
そして、ガスがフィルタ膜１６０を通過してから、保護カバー１２５の通気孔１２５ｃを通じて感ガス膜１１１に達するまでの通気最短距離ＴＫは、１．８ｍｍとされている。一方、感ガス膜１１１の厚み方向（図３中、上下方向）に平面視したときの、感ガス膜１１１の外周縁１１１ｓからセンサ支持体１２０の外周縁１２０ｓまでの周縁最短距離ＳＫは、２．０ｍｍとされている。従って、通気最短距離ＴＫは、周縁最短距離ＳＫよりも小さくされている。 The filter film 160 is disposed in parallel to the gas sensitive film 111 of the gas sensor element 110 (see FIG. 3). Further, as shown in FIG. 1, the filter film 160 is disposed in a posture in which the thickness direction (vertical direction in the drawing) is orthogonal to the axis AX direction of the opening 181 of the sensor mounting portion 180 described later. .
The shortest ventilation distance TK from when the gas passes through the filter film 160 to the gas sensitive film 111 through the vent hole 125c of the protective cover 125 is 1.8 mm. On the other hand, the shortest peripheral edge distance SK from the outer peripheral edge 111s of the gas sensitive film 111 to the outer peripheral edge 120s of the sensor support 120 when viewed in plan in the thickness direction of the gas sensitive film 111 (vertical direction in FIG. 3) is 2 0.0 mm. Therefore, the shortest ventilation distance TK is smaller than the shortest peripheral edge distance SK.

また、ガスセンサ１００には、ケース１５０から筒状に突出し、外部との接続に利用されるコネクタ部１７０がケース１５０と一体的に形成されている。このコネクタ部１７０の内側には、上記のピン１４０，１４０，…が配置されている。このコネクタ部１７０は、配線基板１３０の表面１３０ａ側に設けられている。 Further, in the gas sensor 100, a connector portion 170 that protrudes in a cylindrical shape from the case 150 and is used for connection to the outside is formed integrally with the case 150. The pins 140, 140,... Are arranged inside the connector portion 170. The connector part 170 is provided on the surface 130 a side of the wiring board 130.

ガスセンサ１００は、外部の取付部ＴＴの取付穴ＴＴＣにクリップ式により取り付けられる筒状のセンサ取付部１８０を有する（図１及び図２参照）。このセンサ取付部１８０は、外部の取付穴ＴＴＣからガスを導入するための開口部１８１を有する。具体的には、このセンサ取付部１８０の先端（図中、左側）の上端には、上方に突出する上側突起部１８３が設けられ、センサ取付部１８０の先端の下端には、下方に突出する下側突起部１８４が設けられている。また、センサ取付部１８０の基端（図中、右側）には、径方向外側に拡がる円盤状延出部１８５が設けられている。更に、この円盤状延出部１８５の上端には、上方に延びる上方延出部１８６が設けられ、この上方延出部１８６の上端には、先端側（図中、左側）に向かって突出する係合部１８７が設けられている。
このようなセンサ取付部１８０を取付部ＴＴの取付穴ＴＴＣに対して回り止めすると、図２に示すように、センサ取付部１８０の上側突起部１８３及び下側突起部１８４と円盤状延出部１８５及び上方延出部１８６との間に、取付部ＴＴのうち取付穴ＴＴＣの周縁部分が狭持される。また、センサ取付部１８０の係合部１８７が、取付部ＴＴの所定位置に設けられた凹部ＴＴＨに係合する。これにより、ガスセンサ１００が取付部ＴＴに固定される。 The gas sensor 100 has a cylindrical sensor attachment portion 180 that is attached to the attachment hole TTC of the external attachment portion TT by a clip method (see FIGS. 1 and 2). The sensor mounting portion 180 has an opening 181 for introducing gas from an external mounting hole TTC. Specifically, an upper protrusion 183 that protrudes upward is provided at the upper end of the tip (left side in the figure) of the sensor attachment 180, and protrudes downward at the lower end of the tip of the sensor attachment 180. A lower protrusion 184 is provided. In addition, a disc-shaped extending portion 185 that extends outward in the radial direction is provided at the base end (right side in the drawing) of the sensor mounting portion 180. Further, an upper extending portion 186 extending upward is provided at the upper end of the disk-shaped extending portion 185, and the upper end of the upper extending portion 186 projects toward the tip side (left side in the figure). An engaging portion 187 is provided.
When such sensor mounting portion 180 is prevented from rotating with respect to the mounting hole TTC of the mounting portion TT, as shown in FIG. 2, the upper and lower projections 183 and 184 of the sensor mounting portion 180 and the disk-like extension portion The peripheral portion of the mounting hole TTC in the mounting portion TT is sandwiched between the 185 and the upward extending portion 186. Further, the engagement portion 187 of the sensor attachment portion 180 engages with a recess TTH provided at a predetermined position of the attachment portion TT. Thereby, the gas sensor 100 is fixed to the attachment part TT.

また、ガスセンサ１００は、図１に示すように、センサ取付部１８０の開口部１８１からフィルタ膜１６０に至る気体誘導路ＹＲを構成する気体誘導部１９０を有する。この気体誘導部１９０は、ケース１５０の表面部１５０ａの一部と、この上に配設された半円筒状のトンネル部１９１とから構成されている。このトンネル部１９１は、ケース１５０及びセンサ取付部１８０と一体的に形成されている。 In addition, as shown in FIG. 1, the gas sensor 100 includes a gas guiding portion 190 that forms a gas guiding path YR from the opening 181 of the sensor mounting portion 180 to the filter membrane 160. This gas guiding part 190 is composed of a part of the surface part 150a of the case 150 and a semi-cylindrical tunnel part 191 disposed thereon. The tunnel portion 191 is formed integrally with the case 150 and the sensor attachment portion 180.

トンネル部１９１は、ケース１５０の表面部１５０ａに沿って（図１及び図２中、左右方向に）設けられている。そして、トンネル部１９１の内壁面１９１ｎのうち、センサ取付部１８０と反対側の端部は、フィルタ膜１６０に近づく方向に滑らかに曲げられてなる屈曲部１９３とされている。このような屈曲部１９３を設けることで、ガスが屈曲部１９３に沿ってスムーズに移動できるので、ガスをフィルタ膜１６０までスムーズに導入できる。 The tunnel portion 191 is provided along the surface portion 150a of the case 150 (in the left-right direction in FIGS. 1 and 2). Of the inner wall surface 191 n of the tunnel portion 191, the end opposite to the sensor mounting portion 180 is a bent portion 193 that is smoothly bent in a direction approaching the filter film 160. By providing such a bent portion 193, the gas can move smoothly along the bent portion 193, so that the gas can be smoothly introduced to the filter film 160.

気体誘導部１９０は、配線基板１３０の表面１３０ａ側に形成されている。従って、気体誘導部１９０と前述のコネクタ部１７０とは、配線基板１３０に対して同じ側に設けられていることになる。このような形態とすることにより、コネクタ部１７０と気体誘導路１９０とを配線基板１３０に対して互いに異なる側に配設するよりも、ガスセンサ１００を低背化できる。 The gas guiding part 190 is formed on the surface 130 a side of the wiring board 130. Therefore, the gas guiding portion 190 and the connector portion 170 described above are provided on the same side with respect to the wiring board 130. By setting it as such a form, the gas sensor 100 can be made low-profile rather than arrange | positioning the connector part 170 and the gas induction path 190 on the mutually different side with respect to the wiring board 130. FIG.

以上で説明したように、本実施形態のガスセンサ１００は、ガスセンサ素子１１０の感ガス膜１１１（詳細には感ガス膜１１１の表面）が、フィルタ膜１６０（詳細はフィルタ膜１６０の裏面）に対向して平行に配置されており、かつ、ガスがフィルタ膜１６０を通過してから感ガス膜１１１に達するまでの通気最短距離ＴＫが、感ガス膜１１１の厚み方向に平面視したときの、感ガス膜１１１の外周縁１１１ｓからセンサ支持体１２０の外周縁１２０ｓまでの周縁最短距離ＳＫよりも小さくされている。つまり、フィルタ膜１６０から感ガス膜１１１までの距離（通気最短距離ＴＫ）が非常に短くされている。このため、ガスは、フィルタ膜１６０を通過した後、拡散してすぐに感ガス膜１１１に至るので、ガスセンサ１００の応答性を高くできる。 As described above, in the gas sensor 100 of the present embodiment, the gas sensitive film 111 (specifically, the surface of the gas sensitive film 111) of the gas sensor element 110 faces the filter film 160 (specifically, the back surface of the filter film 160). The shortest ventilation distance TK from when the gas passes through the filter film 160 to the gas sensitive film 111 is viewed in plan in the thickness direction of the gas sensitive film 111. It is smaller than the shortest peripheral edge distance SK from the outer peripheral edge 111 s of the gas film 111 to the outer peripheral edge 120 s of the sensor support 120. That is, the distance (the shortest ventilation distance TK) from the filter film 160 to the gas sensitive film 111 is very short. For this reason, gas passes through the filter film 160 and then diffuses and reaches the gas sensitive film 111 immediately, so that the responsiveness of the gas sensor 100 can be improved.

その上、ガスセンサ１００は、センサ取付部１８０の開口部１８１からフィルタ膜１６０に至る気体誘導路ＹＲを構成する気体誘導部１９０を備えるので、外部の取付穴ＴＴＣから導入されたガスを、センサ取付部１８０の開口部１８１からフィルタ膜１６０まで速やかに導くことができる。従って、ガスセンサ１００の応答性を更に向上させることができる。 In addition, since the gas sensor 100 includes the gas guiding part 190 that constitutes the gas guiding path YR from the opening 181 of the sensor mounting part 180 to the filter film 160, the gas introduced from the external mounting hole TTC is used for the sensor mounting. It is possible to quickly guide from the opening 181 of the portion 180 to the filter film 160. Therefore, the responsiveness of the gas sensor 100 can be further improved.

以上において、本発明を実施形態に即して説明したが、本発明は上述の実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で、適宜変更して適用できることはいうまでもない。
例えば、上記実施形態では、センサ支持体１２０に１つのガスセンサ素子１１０を収容した形態を示したが、センサ支持体に複数のガスセンサ素子を収容するようにしてもよい。なお、この場合には、各ガスセンサ素子を対象としたときに、上記通気最短距離ＴＫが上記周縁最短距離ＳＫよりもそれぞれ小さくなる形態でガスセンサを構成する必要がある。
また、上記実施形態では、ガスセンサ素子１１０として、ＮＯｘの濃度変化に応じて抵抗値が変化する感ガス膜１１１を有するものを例示したが、感ガス膜はこれに限定されず、ＨＣ，ＣＯ等の還元性ガスの濃度変化に応じて抵抗値が変化する感ガス膜を設けるようにしてもよい。 In the above, the present invention has been described with reference to the embodiment. However, the present invention is not limited to the above-described embodiment, and it is needless to say that the present invention can be appropriately modified and applied without departing from the gist thereof. .
For example, in the above-described embodiment, a configuration in which one gas sensor element 110 is accommodated in the sensor support 120 is shown, but a plurality of gas sensor elements may be accommodated in the sensor support. In this case, when each gas sensor element is targeted, the gas sensor needs to be configured in such a manner that the shortest ventilation distance TK is smaller than the shortest peripheral edge distance SK.
In the above-described embodiment, the gas sensor element 110 is exemplified by the gas sensor film 111 having the gas sensitive film 111 whose resistance value changes according to the NOx concentration change. However, the gas sensitive film is not limited to this, and HC, CO, etc. You may make it provide the gas sensitive film | membrane from which resistance value changes according to the density | concentration change of this reducing gas.

実施形態に係るガスセンサの概略を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the outline of the gas sensor which concerns on embodiment. 実施形態に係るガスセンサを外部の取付穴に取り付けた状態を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the state which attached the gas sensor which concerns on embodiment to the external attachment hole. 実施形態に係るガスセンサのうち、ガスセンサ素子近傍の概略を示す部分断面図である。It is a fragmentary sectional view which shows the outline of the gas sensor element vicinity among the gas sensors which concern on embodiment. 参考形態に係るガスセンサの概略を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the outline of the gas sensor which concerns on a reference form. 参考形態に係り、外部の取付穴等を示す説明図である。It is explanatory drawing which concerns on a reference form and shows an external attachment hole. 参考形態に係るガスセンサを外部の取付穴に取り付ける場合を説明する説明図である。It is explanatory drawing explaining the case where the gas sensor which concerns on a reference form is attached to an external attachment hole. 参考形態に係る他のガスセンサを外部の取付穴に取り付けた状態を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the state which attached the other gas sensor which concerns on a reference form to the external attachment hole.

符号の説明Explanation of symbols

１００ガスセンサ
１１０ガスセンサ素子
１１１感ガス膜
１１１ｓ周縁
１２０センサ支持体
１２０ｓ周縁
１３０配線基板
１４０ピン
１５０ケース
１５１ガス導入口
１６０フィルタ膜
１７０コネクタ部
１８０センサ取付部
１８１開口部
１９０気体誘導部
１９１トンネル部
１９１ｎ内壁面
１９３屈曲部
ＡＸ軸線
ＴＫ通気最短距離
ＳＫ周縁最短距離
ＹＲ気体誘導路 100 Gas sensor 110 Gas sensor element 111 Gas sensitive film 111s Perimeter 120 Sensor support 120s Perimeter 130 Wiring board 140 Pin 150 Case 151 Gas inlet 160 Filter film 170 Connector part 180 Sensor attachment part 181 Opening part 190 Gas guiding part 191 Tunnel part 191n Inside Wall surface 193 Bent part AX Axis line TK Shortest ventilation distance SK Shortest peripheral edge distance YR Gas induction path

Claims

環境気体中の特定ガスの濃度を検知する感ガス膜を有するガスセンサ素子と、
配線基板と、
前記ガスセンサ素子と前記配線基板との間に介在して、前記ガスセンサ素子を支持するセンサ支持体と、
前記ガスセンサ素子、前記配線基板及び前記センサ支持体を収容するケースであって、前記環境気体をケース外部からケース内部に導入するガス導入口を有するケースと、
前記ガス導入口を閉塞するフィルタ膜と、
を備えるガスセンサであって、
外部の取付穴に取り付けられるセンサ取付部であって、前記取付穴から前記環境気体を導入するための開口部を有するセンサ取付部を備え、
前記フィルタ膜は、その厚み方向が前記センサ取付部の前記開口部の軸線方向と直交する姿勢に配置されてなり、
前記ガスセンサ素子の前記感ガス膜が、前記フィルタ膜に対向して平行に配置されてなり、かつ、前記環境気体が前記フィルタ膜を通過してから前記感ガス膜に達するまでの通気最短距離が、前記感ガス膜の厚み方向に平面視したときの、前記感ガス膜の外周縁から前記センサ支持体の外周縁までの周縁最短距離よりも小さくされてなり、
前記センサ取付部の前記開口部から前記フィルタ膜に至る気体誘導路を構成する気体誘導部を備える
ガスセンサ。 A gas sensor element having a gas-sensitive film for detecting the concentration of a specific gas in the environmental gas;
A wiring board;
A sensor support that supports the gas sensor element, interposed between the gas sensor element and the wiring board;
A case containing the gas sensor element, the wiring board, and the sensor support, the case having a gas introduction port for introducing the environmental gas into the case from the outside of the case;
A filter membrane for closing the gas inlet;
A gas sensor comprising:
A sensor mounting portion attached to an external mounting hole, comprising a sensor mounting portion having an opening for introducing the environmental gas from the mounting hole;
The filter membrane is arranged in a posture in which the thickness direction is orthogonal to the axial direction of the opening of the sensor mounting portion,
The gas sensing film of the gas sensor element is arranged in parallel to face the filter film, and the shortest ventilation distance from the environmental gas passing through the filter film to reaching the gas sensing film is , When viewed in plan in the thickness direction of the gas-sensitive film, is made smaller than the shortest peripheral distance from the outer peripheral edge of the gas-sensitive film to the outer peripheral edge of the sensor support,
A gas sensor comprising a gas guiding portion constituting a gas guiding path from the opening of the sensor mounting portion to the filter membrane.

請求項１に記載のガスセンサであって、
前記配線基板は、入出力端子としてのピンが立設されてなり、
前記ケースから突出する共に、前記ピンを内側に配置し、外部との接続に利用されるコネクタ部を備え、
前記コネクタ部と気体誘導部とが、前記配線基板に対して同じ側に設けられてなる
ガスセンサ。 The gas sensor according to claim 1,
The wiring board has pins as input / output terminals erected,
While projecting from the case, the pin is arranged on the inside, and provided with a connector part used for connection with the outside,
The gas sensor in which the connector part and the gas guiding part are provided on the same side with respect to the wiring board.

請求項１または請求項２に記載のガスセンサであって、
前記気体誘導部は、その内壁面のうち少なくとも一部に、前記フィルタ膜に近づく方向に滑らかに曲げられてなる屈曲部を有する
ガスセンサ。 The gas sensor according to claim 1 or 2, wherein
The gas induction part has a bent part formed by being smoothly bent in a direction approaching the filter film on at least a part of an inner wall surface thereof.