JP2008036802A - 両面研磨装置および両面研磨装置におけるワークとキャリアとの重なり検知方法 - Google Patents
両面研磨装置および両面研磨装置におけるワークとキャリアとの重なり検知方法 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】 両面研磨装置の上定盤11に形成された空所内に少なくとも2つの渦電流センサ22が設けられており、キャリア15のワーク保持孔内にワーク16を装填して上定盤を降下させた後、渦電流センサによって、キャリアの上表面までの距離を検出した時、渦電流センサの少なくとも一つにおいて、予め設定された基準値より大きい値が検出されたとき、あるいは、2つの渦電流センサ間において、予め設定された値よりも大きい検出値の差があるとき、ワークとキャリアが重なっているものと判断する。ワークとキャリアとの重なりが検出されたとき、作業者にアラームを出してワーク装填をやり直させる。
【選択図】 図4
Description
10 機台
101 ビーム
102 駆動機構
11 上定盤
11d 第1駆動ギア
12 下定盤
12d 第2駆動ギア
13 サンギア
13d 第3駆動ギア
14 インターナルギア
14d 第4駆動ギア
15 キャリア
151 キャリアの表面、表面位置
16 ワーク
17 研磨布
21 吊り部材
22 渦電流センサ
30 制御機構
M1 第1モータ
M2 第2モータ
M3 第3モータ
M4 第4モータ
Claims (5)
- 機台、
上記機台に回転可能に支持された下定盤、
上記機台に回転可能に支持され、外歯を備えたサンギア、
上記機台に回転可能に支持され、内歯を備えたインターナルギア、
上記サンギアの外歯と上記インターナルギアの内歯とに噛合するための外歯、及び、ワークを納めるためのワーク保持孔を備えるとともに、上記下定盤上に載置されるキャリア、
上記下定盤および上記キャリアの上部にあって、上記ワーク保持孔に納められたワークに対して、研磨圧を加えると共に、回転可能に支持されている上定盤、
上記下定盤、上記サンギア、上記インターナルギア、及び、上記上定盤を回転駆動するため、単一あるいはそれぞれのための複数の駆動源を備えた駆動機構、
上記ワークと上記下定盤との研磨部、及び、上記ワークと上記上定盤との研磨部にスラリーを供給するためのスラリー供給機構、及び、
上記上定盤に形成された空所内に設けられ、上記キャリアの上表面までの距離を検出するためのセンサであって、少なくとも2つ以上が上記上定盤の回転中心を挟んで実質的に互いに対向する位置に配置されている複数のセンサ
を備えた両面研磨装置におけるワークとキャリアとの重なり検知方法であって、
上記キャリアのワーク保持孔内にワークを装填して上記上定盤を降下させた後、上記センサによって、測定対象までの距離を検出したとき、センサの少なくとも一つにおいて、予め設定された基準値から外れた値が検出されたとき、ワークとキャリアとが重なっているものと判断すること
を特徴とするワークとキャリアとの重なり検知方法。 - 機台、
上記機台に回転可能に支持された下定盤、
上記機台に回転可能に支持され、外歯を備えたサンギア、
上記機台に回転可能に支持され、内歯を備えたインターナルギア、
上記サンギアの外歯と上記インターナルギアの内歯とに噛合するための外歯、及び、ワークを納めるためのワーク保持孔を備えるとともに、上記下定盤上に載置されるキャリア、
上記下定盤および上記キャリアの上部にあって、上記ワーク保持孔に納められたワークに対して、研磨圧を加えると共に、回転可能に支持されている上定盤、
上記下定盤、上記サンギア、上記インターナルギア、及び、上記上定盤を同一軸線上で回転駆動するため、単一あるいはそれぞれのための複数の駆動源を備えた駆動機構、
上記ワークと上記下定盤との研磨部、及び、上記ワークと上記上定盤との研磨部にスラリーを供給するためのスラリー供給機構、及び、
上記上定盤に形成された空所内に設けられ、上記キャリアの上表面までの距離を検出するためのセンサであって、少なくとも2つ以上が上記上定盤の回転中心を挟んで実質的に互いに対向する位置に配置されている複数のセンサ
を備えた両面研磨装置におけるワークとキャリアとの重なり検知方法であって、
上記キャリアのワーク保持孔内にワークを装填して上記上定盤を降下させた後、上記センサによって、測定対象までの距離を検出したとき、少なくとも2つ以上のセンサ間において、検出値に差があるとき、ワークとキャリアとが重なっているものと判断すること
を特徴とするワークとキャリアとの重なり検知方法。 - 請求項1又は請求項2に記載のワークとキャリアとの重なり検知方法において、
上記センサは渦電流センサであること
を特徴とするワークとキャリアとの重なり検知方法。 - 機台、
上記機台に回転可能に支持された下定盤、
上記機台に回転可能に支持され、外歯を備えたサンギア、
上記機台に回転可能に支持され、内歯を備えたインターナルギア、
上記サンギアの外歯と上記インターナルギアの内歯とに噛合するための外歯、及び、ワークを納めるためのワーク保持孔を備えるとともに、上記下定盤上に載置されるキャリア、
上記下定盤および上記キャリアの上部にあって、上記ワーク保持孔に納められたワークに対して、研磨圧を加えると共に、回転可能に支持されている上定盤、
上記下定盤、上記サンギア、上記インターナルギア、及び、上記上定盤を同一軸線上で回転駆動するため、単一あるいはそれぞれのための複数の駆動源を備えた駆動機構、
上記ワークと上記下定盤との研磨部、及び、上記ワークと上記上定盤との研磨部にスラリーを供給するためのスラリー供給機構、
上記上定盤に形成された空所内に設けられ、上記キャリアの上表面までの距離を検出するためのセンサであって、少なくとも2つ以上が上記上定盤の回転中心を挟んで実質的に互いに対向する位置に配置されている複数のセンサ、及び、
上記駆動機構および上記スラリー供給機構を制御するための制御機構
を備えた両面研磨装置であって、
上記制御機構は、更に、
上記キャリアのワーク保持孔内にワークを装填して上記上定盤を降下させた後、上記センサによって、測定対象までの距離を検出したとき、センサの少なくとも一つにおいて、予め設定された基準値から外れた値が検出されたとき、あるいは、少なくとも2つ以上のセンサ間において、検出値に差があるとき、ワークとキャリアとが重なっているものと判断するワークとキャリアとの重なり検知機能を備えた制御機構であること
を特徴とする両面研磨装置。 - 請求項4に記載の両面研磨装置において、
上記センサは渦電流センサであること
を特徴とする両面研磨装置。
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