JP2008025996A - 透光体の内部歪の測定方法及び測定装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】微小な内部歪に対する検出精度を向上させた透光体の内部歪の測定方法及び測定装置を提供する。
【解決手段】本測定装置は、光源としての半導体レーザ10と、変調手段としての強度変調駆動回路11と、レンズ12と、ある程度の透過率を有する第一ミラー20及び第ニミラー21と、回転偏光板31と、光検出器32と、変調振幅検出回路33とから構成され、被測定物体50の内部歪を測定する。第一ミラー20及び第ニミラー21を平行に配置し、これらのミラーの間に被測定物体50を置く。第一ミラー20から直線偏光の光を入射し、被測定物体50に多数回光を通過させる。第ニミラー21から出射される光の直線偏光の方向を検出する。この直線偏光の方向が入射した光の直線偏光の方向と異なることから、内部応力歪の存在を検出することができる。
【選択図】図1
【解決手段】本測定装置は、光源としての半導体レーザ10と、変調手段としての強度変調駆動回路11と、レンズ12と、ある程度の透過率を有する第一ミラー20及び第ニミラー21と、回転偏光板31と、光検出器32と、変調振幅検出回路33とから構成され、被測定物体50の内部歪を測定する。第一ミラー20及び第ニミラー21を平行に配置し、これらのミラーの間に被測定物体50を置く。第一ミラー20から直線偏光の光を入射し、被測定物体50に多数回光を通過させる。第ニミラー21から出射される光の直線偏光の方向を検出する。この直線偏光の方向が入射した光の直線偏光の方向と異なることから、内部応力歪の存在を検出することができる。
【選択図】図1
Description
本発明は、内部応力歪みを持つ例えばガラス材料又はプラスティック材料などの透光体に光を通過させた場合に生じる複屈折現象を利用した透光体の内部歪の測定方法及び測定装置に関する。
内部応力歪みを持つ例えばガラス材料又はプラスチック材料などの透光体に直線偏光の光を通過させると複屈折により偏光状態が変化することが知られている。この複屈折現象は、例えば、ガラスびんの内部応力によるびん割れ予知検査や、ガラス材料又はプラスティック材料の内部歪検査など周知の非破壊検査に利用されている。
例えば特許文献1には、光源からの直線偏光の主軸に位相差を与えた光波を、成形されたプラスティック材料等からなるディスク基板上に入射して、該ディスク基板の内部に生じる複屈折による偏光の変化量から複屈折位相差と主軸方位の変化を画像処理し、成形された前記ディスク基板の内部応力歪み、樹脂の成形時の流動状態や複屈折分布などの面内分布を、位相シフト法を用いて多次元に複屈折を測定することを特徴とするディスク基板の内部応力状態の測定法が開示されている。
特開2001−228034号公報
しかし、透光体の内部応力歪みを測定する従来の方法では、光を1回だけ測定対象となる透光体に通す方法であるために、内部応力歪みが微小な場合は、偏光状態の変化が少ない。すなわち、微小な内部応力歪みを検出することができない問題点がある。
そこで本発明は上記問題点に鑑み、微小な内部歪に対する検出精度を向上させた透光体の内部歪の測定方法及び測定装置を提供することを目的とする。
本発明における請求項1の測定方法では、光源から直線偏光の光を照射し、前記光の照射線状に、所定の透過率を有する複数のミラーを測定対象となる透光体を介した状態で対向させて配置し、当該ミラーを通過した光を回転可能に構成された偏光板に入射させ、前記偏光板を回転させながら前記偏光板を通過した光の強度の変化を観測し、前記透光体の有無における当該光の強度が最小となる前記偏光板の角度の変化量から前記透光体の内部歪を測定することを特徴とする。
また、本発明における請求項5の測定装置では、直線偏光の光を照射する光源と、前記光の照射線状に配置され所定の透過率を有する複数のミラーと、当該ミラーを通過した光が入射し回転可能に構成された偏光板と、前記偏光板を通過した光の強度を検出する光検出器とを備え、前記各ミラーを対向させると共に、当該ミラーの間に測定対象となる透光体を設置可能に構成したことを特徴とする。
このようにすると、一方のミラーから入射した直線偏光の光が、対向するミラー間で繰り返し反射することにより、測定対象となる透光体に多数回光を通過させた状態で、他方のミラーから出射される。すなわち、透光体の微小な内部歪による複屈折の影響が増幅された形で、他方のミラーから出射される光の直線偏光の方向に現れる。この直線偏光の方向が入射した光の直線偏光の方向と異なることから、偏光板を回転させながら前記偏光板を通過した光の強度の変化を観測し、透光体を設置しない場合における直線偏光の方向と対比することにより、透光体における内部歪の存在を検出することができる。
本発明における請求項2の測定方法では、光源から直線偏光の光を照射し、前記光の照射線状に、所定の透過率を有する複数のミラーを測定対象となる透光体を介した状態で対向させて配置し、当該ミラーを通過した光を分光手段により複数の光に分けて、当該複数の光を基準方向を含む各々異なる所定の偏光方向で設置された複数の偏光板にそれぞれ入射させ、この各偏光板を通過した光の強度を検出し、これらの光の強度を比較した結果、最小となるものに対応する前記偏光板が有する偏光方向の前記基準方向に対する角度差から前記透光体の内部歪を測定する測定方法であって、前記基準方向が、前記透光体がないときに前記ミラーを通過した光の強度が最小となる偏向方向であることを特徴とする。
また、本発明における請求項6の測定装置では、直線偏光の光を照射する光源と、前記光の照射線状に配置され所定の透過率を有する複数のミラーと、前記ミラーを通過した光を複数の光に分ける分光手段と、当該複数の光がそれぞれ入射し基準方向を含む各々異なる所定の偏光方向で設置された複数の偏光板と、前記各偏光板を通過した光の強度を検出する複数の光検出器とを備え、前記各ミラーを対向させると共に、当該ミラーの間に測定対象となる透光体を設置可能に構成された測定装置であって、前記基準方向が、前記透光体がないときに前記ミラーを通過した光の強度が最小となる偏向方向であることを特徴とする。
このようにすると、透光体の中を多数回通過した光を異なる角度方向に固定された複数の偏光板に通すことによって、偏向板を回転させる必要がなく、透光体の内部歪で生じる偏光方向の回転を自動検出することもできる。
本発明における請求項3の測定方法では、前記光源から照射される光を所定の周波数で正弦波状に強度変調し、前記偏向板を通過した光の強度を光検出器により電気信号に変換し、この電気信号から変調振幅検出回路によって前記所定の周波数で正弦波状に変化する信号を取り出し、当該信号の振幅を前記偏光板を通過した光の強度として検出することを特徴とする。
また、本発明における請求項7の測定装置では、前記光源から照射される光を所定の周波数で正弦波状に強度変調する変調手段と、前記光検出器の出力信号から前記所定の周波数で正弦波状に変化する信号を取り出し、当該信号の振幅を検出する変調振幅検出回路とを備えたことを特徴とする。
このようにすると、光源の照射光を正弦波状に強度変調することによって、検出した光の強度から前記照射光に起因するもののみを取り出すことができ、明るい環境においても測定可能となる。
本発明における請求項4の測定方法では、前記光源が半導体レーザであることを特徴とする。
また、本発明における請求項8の測定装置では、前記光源が半導体レーザであることを特徴とする。
このようにすると、高出力かつ直線偏光を有する半導体レーザを光源として利用することにより、従来一般的に用いられている白色光源において、測定対象への入射光の一部が出射光となることから出射光を正確に検出できないという問題を解消することができる。また、半導体レーザの光は、直線偏光であることに加え、容易に正弦波状に強度変調することができ、この強度変調によって微弱な光の直線偏光の方向を正確に測定することが可能となる。
本発明の請求項1及び請求項5によると、微小な内部歪に対する検出精度を向上させた透光体の内部歪の測定方法及び測定装置を提供することができる。
本発明の請求項2及び請求項6によると、偏向板の回転制御をせずとも、内部歪の自動測定が可能となる。
本発明の請求項3及び請求項7によると、環境に依存しない計測が可能となる。
本発明の請求項4及び請求項8によると、測定の正確性を向上させることができる。
以下、添付図面を参照しながら、本発明における透光体の内部歪の測定方法及び測定装置の好ましい実施例を説明する。
本発明における透光体の内部歪の測定方法の要点について説明する。ある程度の透過率を有するミラーを2枚平行に配置し、これらのミラーの間に測定対象を置く。一方のミラーから直線偏光の光を入射し、測定対象に多数回光を通過させる。他方のミラーから出射される光の直線偏光の方向を検出する。この直線偏光の方向が入射した光の直線偏光の方向と異なることから、内部応力歪の存在を検出することができる。本実施例においては、当該測定方法は、これに基づく測定装置の使用による作用効果を通じて説明される。
図1は、本発明における透光体の内部歪の測定方法を実現する測定装置の構成を示すブロック図である。本測定装置は、光源としての半導体レーザ10と、変調手段としての強度変調駆動回路11と、レンズ12と、第一ミラー20と、第ニミラー21と、回転偏光板31と、光検出器32と、変調振幅検出回路33とから構成され、例えばガラス材料,プラスティック材料などの透光体からなる被測定物体50の内部歪を測定する。
本発明の方法では、後述するように、測定対象である被測定物体50に入射された一部の光だけが出射光となって検出されるため、従来一般的に用いられている白色光源では出射光を正確に検出できない問題点があった。そこで、本発明では、高出力かつ直線偏光を有する半導体レーザを光源として利用している。半導体レーザの光は、直線偏光であることに加え、容易に正弦波状に強度変調することができ、この強度変調によって微弱な光の直線偏光の方向を正確に測定することが可能となる。
強度変調駆動回路11は、半導体レーザ10から照射される光について強度変調するものであり、例えば半導体レーザ10の注入電流などを制御することにより照射光の強度変調を可能とする。もちろん、直接変調方式以外にも、半導体レーザ10からの照射光を外部で電気信号により強度変調する外部変調方式を採用しても良い。
レンズ12は、半導体レーザ10からの照射光を平行光にする例えばコリメータレンズなどであり、半導体レーザ10の光出力部に装着される。
第一ミラー20及び第二ミラー21はある程度の透過率を有するミラーであり、例えばハーフミラーなどを使用すればよい。第一ミラー20及び第二ミラー21は、両者の間でこれらの反射光が往復するように、レンズ12を通過した半導体レーザ10の平行光に対して略直交状態で配置されており、被測定物体50を挟んで水平に対向している。
回転偏光板31は、偏光板を回転可能に設けたものであり、第二ミラー21に対向して半導体レーザ10に起因する光が透過する側に配置される。この回転偏光板31は、例えばサーボモータやステッピングモータなどからなる位置決め装置を利用して回転制御可能に構成するのが好ましい。
光検出器32は、回転偏光板31を通過した光を検出してその光強度を電気信号に変換する光検出器であり、例えばフォトダイオードや光電管などから構成される。
変調振幅検出回路33は、光検出器32から出力される電気信号から特定の信号を取り出して、当該特定信号の振幅レベルを検出する回路である。
次に、上記構成の作用について、被測定物体50の内部歪の測定方法と共に説明する。
半導体レーザ10の直線偏光の光を、強度変調駆動回路11によって周波数f[Hz]で正弦波状に強度変調する。この半導体レーザ10の直線偏光の光を、レンズ12で平行光にし、第一ミラー20に入射する。第一ミラー20を通過した光は、被測定物体50を通過し、第二ミラー21に到る。第二ミラー21に入射された光の一部は第二ミラー21で反射され、残りの光は第二ミラー21を通過する。第二ミラー21で反射された光は、再び被測定物体50を通過し、第一ミラー20でその光の一部は反射され、一部は通過する。第一ミラー20で反射された光は、再び被測定物体50を通過し、第二ミラー21に入射され、その光の一部は第二ミラー21で反射され、残りの光は第二ミラー21を通過する。このように、被測定物体50を多数回通過した光を回転偏光板31に入射させる。回転偏光板31を通過した光の強度を光検出器32で電気信号に変換し、変調振幅検出回路33によって周波数f[Hz]で正弦波状に変化する信号を取り出し、その検出信号振幅aを出力する。回転偏光板を回転させながら、検出信号振幅aの変化を観測する。半導体レーザ10の光を正弦波状に強度変調することによって、明るい環境においても測定可能である。
ここで、発明者が行なった実験結果を示し、検出信号振幅aの観測手順を具体的に説明する。
被測定物体50が設置されていないときに、検出信号の振幅aが最小となるように回転偏光板31を回転させる。このときの回転偏光板31の角度をθ=0[度]とする。次に、被測定物体50を設置すると、被測定物体50の内部応力歪によって、検出信号振幅aが最小となる回転偏光板31の角度は角度θD[度]となる。これは、被測定物体50を多数回通過した光の偏光方向は、角度θ=0[度]から角度θD[度]だけ回転したことを意味する。この角度θDを最暗角と呼ぶ。
出力80mWの半導体レーザを用い、周波数1KHzの正弦波状の強度変調を行った。被測定物体50として、4本の一升びんA,B,C,Dを使用した。Aは新品のびんであり、B,C,Dの順に劣化が進んでおり、内部応力歪が存在すると考えられる。びんの表面にキズがほとんどない高さH=7〜11cmの箇所を測定領域とし、1つの測定高さでは、びんを45度ずつ回転させて4つの円周上の位置で角度θDを測定した。測定結果を以下の表1に示す。
図2に、θD=0,1,2,−2[度]の場合について、回転偏光板を角度θ=0[度]から角度θだけ回転したときに検出された検出信号振幅aを示す。この結果から、3つの回転偏光板を用いれば、びんの内部歪の存在を自動検出する装置を構成できることが分る。すなわち、第二ミラー21を通過した光を例えばビームスプリッタなどの分光手段で3つの光に分ける。それぞれの光を、それぞれ回転角度θ=0,1,2[度](又はθ=0,−1,−2[度]などθ=0を含む3点)に固定された回転偏光板に通過させ、光検出器32と変調振幅検出回路33を用い、検出信号振幅a0,a1,a2を検出する。振幅a0,a1,a2を比較することによって、被測定物体の最暗角θDを求めることができる。
例えば、図2では、θD=1[度]の場合は、a0とa2の値は360mV程度となり、a1の値はそれらより小さい220mV程度となる。θD=−2[度]の場合は、振幅a2,a1,a0の順で非常に大きな値となる。
以上により、例えばガラスびんなどの透光体の中を多数回通過した半導体レーザ10の光を異なる角度方向に固定された3つの回転偏光板に通すことによって、透光体の内部応力歪で生じる偏光方向の回転を自動検出できることが明らかにされた。その他、回転偏光板31の回転制御を行うことにより各回転角における振幅を自動記録し、これらの振幅を比較することによっても、内部歪の存在を自動検出する装置を構成することができる。
以上のように本実施例の測定方法では、光源としての半導体レーザ10から直線偏光の光を照射し、前記光の照射線状に、所定の透過率を有する複数のミラーとしての第一ミラー20及び第二ミラー21を測定対象となる透光体としての被測定物体50を介した状態で対向させて配置し、当該第二ミラー21を通過した光を回転可能に構成された回転偏光板31に入射させ、回転偏光板31を回転させながら回転偏光板31を通過した光の強度の変化を観測し、被測定物体50の有無における当該光の強度が最小となる回転偏光板31の角度の変化量から被測定物体50の内部歪を測定することを特徴とする。
また、本実施例の測定装置では、直線偏光の光を照射する光源としての半導体レーザ10と、前記光の照射線状に配置され所定の透過率を有する複数のミラーとしての第一ミラー20及び第二ミラー21と、第二ミラー21を通過した光が入射し回転可能に構成された回転偏光板31と、回転偏光板31を通過した光の強度を検出する光検出器32とを備え、第一ミラー20と第二ミラー21とを対向させると共に、第一ミラー20と第二ミラー21との間に測定対象となる透光体としての被測定物体50を設置可能に構成したことを特徴とする。
このようにすると、一方の第一ミラー20から入射した直線偏光の光が、対向する第一ミラー20と第二ミラー21との間で繰り返し反射することにより、測定対象となる被測定物体50に多数回光を通過させた状態で、他方の第二ミラー21から出射される。すなわち、被測定物体50の微小な内部歪による複屈折の影響が増幅された形で、他方の第二ミラー21から出射される光の直線偏光の方向に現れる。この直線偏光の方向が入射した光の直線偏光の方向と異なることから、回転偏光板31を回転させながら回転偏光板31を通過した光の強度の変化を観測し、被測定物体50を設置しない場合における直線偏光の方向と対比することにより、被測定物体50における内部歪の存在を検出することができる。以上により、微小な内部歪に対する検出精度を向上させた透光体の内部歪の測定方法及び測定装置を提供することができる。
本実施例の測定方法では、光源としての半導体レーザ10から直線偏光の光を照射し、前記光の照射線状に、所定の透過率を有する複数のミラーとしての第一ミラー20及び第二ミラー21を測定対象となる透光体としての被測定物体50を介した状態で対向させて配置し、当該第二ミラー21を通過した光を分光手段により複数の光に分けて、当該複数の光を基準方向を含む各々異なる所定の偏光方向で設置された複数の偏光板(回転偏向板31)にそれぞれ入射させ、この各偏光板を通過した光の強度を検出し、これらの光の強度を比較した結果、最小となるものに対応する前記偏光板が有する偏光方向の前記基準方向に対する角度差から被測定物体50の内部歪を測定する測定方法であって、前記基準方向が、被測定物体50がないときに第二ミラー21を通過した光の強度が最小となる偏向方向であることを特徴とする。
また、本実施例の測定装置では、直線偏光の光を照射する光源としての半導体レーザ10と、前記光の照射線状に配置され所定の透過率を有する複数のミラーとしての第一ミラー20及び第二ミラー21と、第二ミラー21を通過した光を複数の光に分ける分光手段と、当該複数の光がそれぞれ入射し基準方向を含む各々異なる所定の偏光方向で設置された複数の偏光板(回転偏向板31)と、前記各偏光板を通過した光の強度を検出する複数の光検出器(光検出器32)とを備え、前記各ミラーを対向させると共に、当該ミラーの間に測定対象となる透光体としての被測定物体50を設置可能に構成された測定装置であって、前記基準方向が、被測定物体50がないときに第二ミラー21を通過した光の強度が最小となる偏向方向であることを特徴とする。
このようにすると、被測定物体50の中を多数回通過した光を異なる角度方向に固定された複数の偏光板に通すことによって、偏向板を回転させる必要がなく、被測定物体50の内部歪で生じる偏光方向の回転を自動検出することもできる。従って、偏向板の回転制御をせずとも、内部歪の自動測定が可能となる。
本実施例の測定方法では、半導体レーザ10から照射される光を所定の周波数で正弦波状に強度変調し、回転偏光板31を通過した光の強度を光検出器32により電気信号に変換し、この電気信号から変調振幅検出回路33によって前記所定の周波数で正弦波状に変化する信号を取り出し、当該信号の振幅を回転偏光板31を通過した光の強度として検出することを特徴とする。
また、本実施例の測定装置では、半導体レーザ10から照射される光を所定の周波数で正弦波状に強度変調する変調手段としての強度変調駆動回路11と、光検出器32の出力信号から前記所定の周波数で正弦波状に変化する信号を取り出し、当該信号の振幅を検出する変調振幅検出回路33とを備えたことを特徴とする。
このようにすると、半導体レーザ10の照射光を正弦波状に強度変調することによって、検出した光の強度から前記照射光に起因するもののみを取り出すことができ、明るい環境においても測定可能となる。従って、環境に依存しない計測が可能となる。
本実施例の測定方法では、前記光源が半導体レーザ10であることを特徴とする。
また、本実施例の測定装置では、前記光源が半導体レーザ10であることを特徴とする。
このようにすると、高出力かつ直線偏光を有する半導体レーザ10を光源として利用することにより、従来一般的に用いられている白色光源において、測定対象への入射光の一部が出射光となることから出射光を正確に検出できないという問題を解消することができる。また、半導体レーザ10の光は、直線偏光であることに加え、容易に正弦波状に強度変調することができ、この強度変調によって微弱な光の直線偏光の方向を正確に測定することが可能となる。以上により、測定の正確性を向上させることができる。
なお、本発明は、上記実施例に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で変更可能である。
10 半導体レーザ(光源)
11 強度変調駆動回路(変調手段)
20 第一ミラー
21 第二ミラー
31 回転偏光板
32 光検出器
33 変調振幅検出回路
50 被測定物体(透光体)
11 強度変調駆動回路(変調手段)
20 第一ミラー
21 第二ミラー
31 回転偏光板
32 光検出器
33 変調振幅検出回路
50 被測定物体(透光体)
Claims (8)
- 光源から直線偏光の光を照射し、前記光の照射線状に、所定の透過率を有する複数のミラーを測定対象となる透光体を介した状態で対向させて配置し、当該ミラーを通過した光を回転可能に構成された偏光板に入射させ、前記偏光板を回転させながら前記偏光板を通過した光の強度の変化を観測し、前記透光体の有無における当該光の強度が最小となる前記偏光板の角度の変化量から前記透光体の内部歪を測定することを特徴とする透光体の内部歪の測定方法。
- 光源から直線偏光の光を照射し、前記光の照射線状に、所定の透過率を有する複数のミラーを測定対象となる透光体を介した状態で対向させて配置し、当該ミラーを通過した光を分光手段により複数の光に分けて、当該複数の光を基準方向を含む各々異なる所定の偏光方向で設置された複数の偏光板にそれぞれ入射させ、この各偏光板を通過した光の強度を検出し、これらの光の強度を比較した結果、最小となるものに対応する前記偏光板が有する偏光方向の前記基準方向に対する角度差から前記透光体の内部歪を測定する測定方法であって、前記基準方向が、前記透光体がないときに前記ミラーを通過した光の強度が最小となる偏向方向であることを特徴とする透光体の内部歪の測定方法。
- 前記光源から照射される光を所定の周波数で正弦波状に強度変調し、前記偏向板を通過した光の強度を光検出器により電気信号に変換し、この電気信号から変調振幅検出回路によって前記所定の周波数で正弦波状に変化する信号を取り出し、当該信号の振幅を前記偏光板を通過した光の強度として検出することを特徴とする請求項1又は請求項2記載の透光体の内部歪の測定方法。
- 前記光源が半導体レーザであることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1つに記載の透光体の内部歪の測定方法。
- 直線偏光の光を照射する光源と、前記光の照射線状に配置され所定の透過率を有する複数のミラーと、当該ミラーを通過した光が入射し回転可能に構成された偏光板と、前記偏光板を通過した光の強度を検出する光検出器とを備え、前記各ミラーを対向させると共に、当該ミラーの間に測定対象となる透光体を設置可能に構成したことを特徴とする透光体の内部歪の測定装置。
- 直線偏光の光を照射する光源と、前記光の照射線状に配置され所定の透過率を有する複数のミラーと、前記ミラーを通過した光を複数の光に分ける分光手段と、当該複数の光がそれぞれ入射し基準方向を含む各々異なる所定の偏光方向で設置された複数の偏光板と、前記各偏光板を通過した光の強度を検出する複数の光検出器とを備え、前記各ミラーを対向させると共に、当該ミラーの間に測定対象となる透光体を設置可能に構成された測定装置であって、前記基準方向が、前記透光体がないときに前記ミラーを通過した光の強度が最小となる偏向方向であることを特徴とする透光体の内部歪の測定装置。
- 前記光源から照射される光を所定の周波数で正弦波状に強度変調する変調手段と、前記光検出器の出力信号から前記所定の周波数で正弦波状に変化する信号を取り出し、当該信号の振幅を検出する変調振幅検出回路とを備えたことを特徴とする請求項5又は請求項6記載の透光体の内部歪の測定装置。
- 前記光源が半導体レーザであることを特徴とする請求項5〜7のいずれか1つに記載の透光体の内部歪の測定装置。
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPWO2018216349A1 (ja) * | 2017-05-24 | 2020-03-26 | ソニー株式会社 | 物体検出装置、および物体検出方法、並びにプログラム |
CN113189013A (zh) * | 2021-04-07 | 2021-07-30 | 山西大学 | 一种光声传感装置及方法 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03218441A (ja) * | 1989-11-06 | 1991-09-26 | Asahi Optical Co Ltd | 透明体の検出装置及び複屈折測定方法 |
JPH06109623A (ja) * | 1992-09-30 | 1994-04-22 | Hoya Corp | 複屈折量測定方法及び装置 |
JPH0721616A (ja) * | 1993-07-07 | 1995-01-24 | Hitachi Ltd | 光ファイバプローブ顕微鏡 |
JPH07103886A (ja) * | 1993-09-30 | 1995-04-21 | New Oji Paper Co Ltd | シート類検査装置 |
JP2004301520A (ja) * | 2003-03-28 | 2004-10-28 | Kobe Steel Ltd | 光熱変換測定装置及びその方法 |
JP2006038765A (ja) * | 2004-07-29 | 2006-02-09 | Hamamatsu Photonics Kk | 吸収計測装置 |
-
2006
- 2006-07-18 JP JP2006195166A patent/JP2008025996A/ja active Pending
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03218441A (ja) * | 1989-11-06 | 1991-09-26 | Asahi Optical Co Ltd | 透明体の検出装置及び複屈折測定方法 |
JPH06109623A (ja) * | 1992-09-30 | 1994-04-22 | Hoya Corp | 複屈折量測定方法及び装置 |
JPH0721616A (ja) * | 1993-07-07 | 1995-01-24 | Hitachi Ltd | 光ファイバプローブ顕微鏡 |
JPH07103886A (ja) * | 1993-09-30 | 1995-04-21 | New Oji Paper Co Ltd | シート類検査装置 |
JP2004301520A (ja) * | 2003-03-28 | 2004-10-28 | Kobe Steel Ltd | 光熱変換測定装置及びその方法 |
JP2006038765A (ja) * | 2004-07-29 | 2006-02-09 | Hamamatsu Photonics Kk | 吸収計測装置 |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPWO2018216349A1 (ja) * | 2017-05-24 | 2020-03-26 | ソニー株式会社 | 物体検出装置、および物体検出方法、並びにプログラム |
JP7031664B2 (ja) | 2017-05-24 | 2022-03-08 | ソニーグループ株式会社 | 物体検出装置、および物体検出方法、並びにプログラム |
CN113189013A (zh) * | 2021-04-07 | 2021-07-30 | 山西大学 | 一种光声传感装置及方法 |
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