JP2008024991A

JP2008024991A - Vacuum heat treatment device

Info

Publication number: JP2008024991A
Application number: JP2006199434A
Authority: JP
Inventors: Akira Kagohashi; 章籠橋; Kazuyoshi Suzuki; 一好鈴木; Shigetsu Oshima; 士月大島; Takashi Hattori; 敬司服部
Original assignee: Takasago Industry Co Ltd
Current assignee: Takasago Industry Co Ltd
Priority date: 2006-07-21
Filing date: 2006-07-21
Publication date: 2008-02-07

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a vacuum heat treatment device where degassing time is short, and vacuum retainability is hard to be lowered. <P>SOLUTION: The vacuum heat treatment device 1 is provided with a rotary vessel 4 arranged in a vacuum and further having a storage chamber 42 storing an object P with gas absorbed, and, by heating the object P, the object P is subjected to degassing treatment. Regarding the vacuum heat treatment device 1, the rotary vessel 4 having the storage chamber 42 storing the object P itself is arranged in a vacuum. Both the inside and outside of the rotary vessel 4 being a vacuum. Namely, the vacuum boundary is not present at the wall part of the rotating rotary vessel 4 but is present at the outside than the rotary vessel 4. Thus, the vacuum retainability of the storage chamber 42 is hard to be lowered. <P>COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT

Description

本発明は、例えば脱水素化処理など、真空中での脱ガス処理に用いられる真空熱処理装置に関する。 The present invention relates to a vacuum heat treatment apparatus used for a degassing process in a vacuum such as a dehydrogenation process.

純チタン粉末製造方法の一つに、ＨＤＨ（Ｈｙｄｒｉｄｅ−Ｄｅ−Ｈｙｄｒｉｄｅ）法（水素化脱水素法）がある。ＨＤＨ法は、原料チタンを水素化処理して脆性の高いチタン水素化物を作製する水素化工程と、当該チタン水素化物を粉砕する粉砕工程と、粉砕したチタン水素化物の粉末を脱水素化処理して純チタン粉末を作製する脱水素化工程と、を有する。このうち、脱水素化工程においては、チタン水素化物の粉末をトレイに入れ、当該トレイを多段積みして、真空中で加熱処理することにより、脱水素化処理が行われる。 One of the methods for producing pure titanium powder is an HDH (hydride-de-hydride) method (hydrodehydrogenation method). In the HDH method, a raw material titanium is hydrogenated to produce a highly brittle titanium hydride, a titanium hydride pulverizing step, a pulverized titanium hydride powder is dehydrogenated. And a dehydrogenation step for producing pure titanium powder. Among these, in the dehydrogenation step, titanium hydride powder is placed in a tray, the trays are stacked in multiple stages, and heat treatment is performed in a vacuum to perform the dehydrogenation process.

しかしながら、この方法の場合、脱水素化処理中、多段積みのトレイ、つまりチタン水素化物粉末は、静置されている。このため、チタン水素化物粉末に、温度むらや脱水素むらが発生しやすい。よって、全ての粉末の脱水素化を完了させるには、比較的長い時間がかかる。 However, in the case of this method, during the dehydrogenation treatment, the multi-stage tray, that is, titanium hydride powder, is left standing. For this reason, temperature unevenness and dehydrogenation unevenness are likely to occur in the titanium hydride powder. Therefore, it takes a relatively long time to complete the dehydrogenation of all the powders.

そこで、特許文献１には、脱水素化工程をロータリーキルンを用いて行う方法が紹介されている。同文献記載の方法によると、温度むらや脱水素むらが発生しにくい。このため、脱水素化工程に要する時間を短縮することができる。
特開平７−７０６１３号公報 Therefore, Patent Document 1 introduces a method of performing the dehydrogenation step using a rotary kiln. According to the method described in this document, temperature unevenness and dehydrogenation unevenness hardly occur. For this reason, the time which a dehydrogenation process requires can be shortened.
JP-A-7-70613

しかしながら、同文献記載の方法の場合、以下のような問題点がある。図１０に、ロータリーキルンの軸方向断面図を示す。図１０に示すように、脱水素化工程をロータリーキルン１００を用いて行う場合、回転するレトルト１０１の内部を、真空に保つ必要がある。このため、ロータリージョイント１０２ａ、１０２ｂの構造が複雑になる。同様に、粉末供給ホッパー１０３とレトルト１０１との継ぎ目１０４、粉末排出ボックス１０５とレトルト１０１との継ぎ目１０６の構造が複雑になる。 However, the method described in this document has the following problems. FIG. 10 shows an axial sectional view of the rotary kiln. As shown in FIG. 10, when performing a dehydrogenation process using the rotary kiln 100, it is necessary to maintain the inside of the rotating retort 101 in a vacuum. This complicates the structure of the rotary joints 102a and 102b. Similarly, the structure of the joint 104 between the powder supply hopper 103 and the retort 101 and the joint 106 between the powder discharge box 105 and the retort 101 become complicated.

また、レトルト１０１の回転力は、ローラー１０７ａ、１０７ｂから伝達される。すなわち、レトルト１０１の軸方向両端の外周面には、一対のタイヤ１０８ａ、１０８ｂが固定されている。タイヤ１０８ａはローラー１０７ａにより、タイヤ１０８ｂはローラー１０７ｂにより、それぞれ回転可能に支持されている。 Further, the rotational force of the retort 101 is transmitted from the rollers 107a and 107b. That is, a pair of tires 108 a and 108 b are fixed to the outer peripheral surfaces at both axial ends of the retort 101. The tire 108a is rotatably supported by the roller 107a, and the tire 108b is rotatably supported by the roller 107b.

ここで、ローラー１０７ａとタイヤ１０８ａとの間、およびローラー１０７ｂとタイヤ１０８ｂとの間には、各々摩擦力が発生している。このため、経時的なローラー１０７ａ、１０７ｂあるいはタイヤ１０８ａ、１０８ｂの摩耗により、１）図中、点線Ａ２で示すように、レトルト１０１の軸線Ａ１が、初期位置に対して、傾動してしまう場合がある。２）また、点線Ａ３で示すように、軸線Ａ１が、初期位置に対して、平行移動してしまう場合がある。３）さらにまた、軸線Ａ１が、初期位置に対して、傾動および平行移動してしまう場合がある（以下、上記１）〜３）をまとめて「軸ずれ」と称す。）。 Here, frictional forces are generated between the roller 107a and the tire 108a and between the roller 107b and the tire 108b, respectively. Therefore, due to the wear of the rollers 107a and 107b or the tires 108a and 108b with time, 1) the axis A1 of the retort 101 may tilt with respect to the initial position as indicated by the dotted line A2 in the figure. is there. 2) Also, as indicated by the dotted line A3, the axis A1 may move in parallel with respect to the initial position. 3) Furthermore, the axis A1 may be tilted and translated with respect to the initial position (hereinafter referred to as the above 1) to 3) is collectively referred to as “axis deviation”. ).

これに対して、ロータリージョイント１０２ａ、１０２ｂは、ロータリーキルン１００組み付けの際、レトルト１０１の軸線Ａ１上に設置される。このため、レトルト１０１の軸ずれにより、ロータリージョイント１０２ａ、１０２ｂの封止部に隙間が発生するおそれがある。並びに、粉末供給ホッパー１０３とレトルト１０１との継ぎ目１０４や、粉末排出ボックス１０５とレトルト１０１との継ぎ目１０６にも、隙間が発生するおそれがある。すなわち、レトルト１０１のシール性が低下するおそれがある。 In contrast, the rotary joints 102a and 102b are installed on the axis A1 of the retort 101 when the rotary kiln 100 is assembled. For this reason, a gap may occur in the sealing portions of the rotary joints 102a and 102b due to the axial displacement of the retort 101. In addition, a gap may also occur in the joint 104 between the powder supply hopper 103 and the retort 101 and the joint 106 between the powder discharge box 105 and the retort 101. That is, the sealing performance of the retort 101 may be reduced.

また、レトルト１０１には、チタン水素化物粉末Ｐ１のレトルト１０１内周面への付着を抑制するために、ハンマー１０９ａ、１０９ｂが配置されている。すなわち、回転するレトルト１０１の外周面をハンマー１０９ａ、１０９ｂで打撃して、レトルト１０１に振動を与えることにより、付着したチタン水素化物粉末Ｐ１をレトルト１０１内周面から脱落させている。このハンマリングによっても、レトルト１０１に軸ずれが発生するおそれがある。すなわち、レトルト１０１のシール性が低下するおそれがある。また、レトルト１０１内部に収容されたチタン水素化物粉末Ｐ１の回転によっても、レトルト１０１に軸ずれが発生し、シール性が低下するおそれがある。 In addition, hammers 109a and 109b are disposed on the retort 101 in order to suppress adhesion of the titanium hydride powder P1 to the inner peripheral surface of the retort 101. That is, the outer peripheral surface of the rotating retort 101 is hit with the hammers 109a and 109b, and vibration is applied to the retort 101, thereby dropping the attached titanium hydride powder P1 from the inner peripheral surface of the retort 101. This hammering may also cause an axial deviation in the retort 101. That is, the sealing performance of the retort 101 may be reduced. Further, the rotation of the titanium hydride powder P <b> 1 accommodated inside the retort 101 may cause axial misalignment in the retort 101, thereby reducing the sealing performance.

本発明の真空熱処理装置は、上記課題に鑑みて完成されたものである。すなわち、本発明は、脱ガス時間が短く、真空保持性が低下しにくい真空熱処理装置を提供することを目的とする。 The vacuum heat treatment apparatus of the present invention has been completed in view of the above problems. That is, an object of the present invention is to provide a vacuum heat treatment apparatus in which the degassing time is short and the vacuum holding property is hardly lowered.

（１）本発明の真空熱処理装置は、真空中に配置されると共にガスを吸収した被処理物が収容される収容室を持つ回転容器を備え、該被処理物を加熱することにより該被処理物の脱ガス処理を行うことを特徴とする（請求項１に対応）。 (1) A vacuum heat treatment apparatus according to the present invention includes a rotating container having a storage chamber that is disposed in a vacuum and accommodates an object to be processed that has absorbed a gas, and heats the object to be processed. An object is degassed (corresponding to claim 1).

上述したように、従来のロータリーキルンによると、レトルトの内部に被処理物を収容し、レトルトの内部を真空にして、脱ガス処理を行っていた。すなわち、レトルトの外部が大気圧であり、回転するレトルトの内部が真空であった。つまり、真空雰囲気と非真空雰囲気との境界（以下、「真空境界」と称す。）が、回転するレトルトの壁部に存在していた。 As described above, according to the conventional rotary kiln, the object to be processed is accommodated in the retort, and the inside of the retort is evacuated to perform the degassing process. That is, the outside of the retort was atmospheric pressure, and the inside of the rotating retort was vacuum. That is, the boundary between the vacuum atmosphere and the non-vacuum atmosphere (hereinafter referred to as “vacuum boundary”) exists on the wall of the rotating retort.

これに対して、本発明の真空熱処理装置では、被処理物が収容される収容室を持つ回転容器そのものが、真空中に配置される。回転容器の内部と外部とは、共に真空である。つまり、真空境界は、回転する回転容器の壁部ではなく、回転容器よりも外部に存在している。したがって、収容室の真空雰囲気を保持しやすい。つまり、収容室の真空保持性が低下しにくい。 On the other hand, in the vacuum heat treatment apparatus of the present invention, the rotating container itself having a storage chamber in which a workpiece is stored is disposed in a vacuum. The inside and outside of the rotating container are both vacuum. That is, the vacuum boundary exists outside the rotating container, not the wall of the rotating rotating container. Therefore, it is easy to maintain the vacuum atmosphere in the storage chamber. That is, the vacuum holding property of the storage chamber is unlikely to deteriorate.

本発明の真空熱処理装置によると、被処理物は、回転容器の回転により攪拌されながら、真空かつ高温下で脱ガス処理される。このため、温度むらや脱ガスむらが発生しにくい。よって、効率よく脱ガス処理を行うことができる。 According to the vacuum heat treatment apparatus of the present invention, the object to be processed is degassed under vacuum and high temperature while being stirred by the rotation of the rotating container. For this reason, temperature unevenness and degassing unevenness hardly occur. Therefore, the degassing process can be performed efficiently.

（２）好ましくは、さらに、通気性を有し、内部に前記回転容器の少なくとも前記収容室が収容される熱処理室を区画するインナーシェルと、内部に該インナーシェルが収容される真空室を区画するアウターシェルと、を備える構成とするとよい（請求項２に対応）。本構成の真空熱処理装置は、インナーシェルとアウターシェルとを備えている。真空室は、アウターシェルの内部に区画されている。すなわち、真空境界は、アウターシェルの壁部に存在している。本構成によると、比較的簡単に、回転容器を真空中に配置することができる。 (2) Preferably, it further has an inner shell that is air permeable and defines a heat treatment chamber in which at least the storage chamber of the rotating container is stored, and a vacuum chamber in which the inner shell is stored. And an outer shell to be configured (corresponding to claim 2). The vacuum heat treatment apparatus having this configuration includes an inner shell and an outer shell. The vacuum chamber is partitioned inside the outer shell. That is, the vacuum boundary exists in the wall portion of the outer shell. According to this configuration, the rotating container can be placed in a vacuum relatively easily.

また、インナーシェルは通気性を有している。このため、真空室を真空にする際、通気性を有するインナーシェルを介して、熱処理室および収容室を真空にすることができる。したがって、熱処理室および収容室を含む真空室全体を、容易に真空にすることができる。 Further, the inner shell has air permeability. For this reason, when the vacuum chamber is evacuated, the heat treatment chamber and the storage chamber can be evacuated via the breathable inner shell. Therefore, the entire vacuum chamber including the heat treatment chamber and the storage chamber can be easily evacuated.

（３）好ましくは、上記（２）の構成において、前記インナーシェルは、断熱材からなるシェル本体と、該シェル本体の内面に配置され前記熱処理室に表出する加熱部と、を備える構成とするとよい（請求項３に対応）。 (3) Preferably, in the configuration of (2), the inner shell includes a shell main body made of a heat insulating material, and a heating unit that is disposed on the inner surface of the shell main body and is exposed to the heat treatment chamber; Then (corresponding to claim 3).

本構成によると、加熱部は断熱材からなるシェル本体の内面に配置されている。このため、加熱部の熱は、シェル本体に遮蔽され、真空室内部におけるシェル本体（インナーシェル）の外側に逃げにくい。また、加熱部は熱処理室に表出している。このため、熱処理室、つまり被処理物を効率よく加熱することができる。 According to this structure, the heating part is arrange | positioned at the inner surface of the shell main body which consists of heat insulating materials. For this reason, the heat of a heating part is shielded by the shell main body, and it is hard to escape to the outer side of the shell main body (inner shell) in a vacuum chamber inside. The heating unit is exposed to the heat treatment chamber. For this reason, the heat treatment chamber, that is, the object to be processed can be efficiently heated.

（４）好ましくは、上記（２）の構成において、前記インナーシェルおよび前記アウターシェルは、前記熱処理室が表出するように、上下方向に分割可能であり、前記回転容器は、該インナーシェルおよび該アウターシェルが分割されている際に、前記熱処理室に出し入れされる構成とするとよい（請求項４に対応）。 (4) Preferably, in the configuration of the above (2), the inner shell and the outer shell can be divided in the vertical direction so that the heat treatment chamber is exposed, and the rotating container includes the inner shell and the outer shell. When the outer shell is divided, the heat treatment chamber may be taken in and out (corresponding to claim 4).

熱処理室の内部には、回転容器の少なくとも収容室が収容されている。インナーシェルとアウターシェルとが、熱処理室が表出するように分割されているため、熱処理室への回転容器の出し入れを容易に行うことができる。また、インナーシェルとアウターシェルとは、上下方向に分割されている。すなわち、インナーシェルの上方の分割体は下方の分割体の上に載置されている。上方の分割体の自重により、熱処理室は堅固に封止されている。このため、熱処理室から熱が逃げにくい。同様に、アウターシェルの上方の分割体は下方の分割体の上に載置されている。上方の分割体の自重により、真空室は堅固に封止されている。このため、真空室のシール性が高い。 Inside the heat treatment chamber, at least a storage chamber for the rotating container is stored. Since the inner shell and the outer shell are divided so that the heat treatment chamber is exposed, the rotary container can be easily put in and out of the heat treatment chamber. Further, the inner shell and the outer shell are divided in the vertical direction. That is, the upper divided body of the inner shell is placed on the lower divided body. The heat treatment chamber is firmly sealed by the weight of the upper divided body. For this reason, it is difficult for heat to escape from the heat treatment chamber. Similarly, the upper divided body of the outer shell is placed on the lower divided body. The vacuum chamber is tightly sealed by the weight of the upper divided body. For this reason, the sealing performance of the vacuum chamber is high.

（５）好ましくは、上記（２）の構成において、さらに、前記回転容器を回転させる回転軸と、該回転軸を回転可能に支持すると共に前記真空室内であって前記熱処理室でない区間に配置される軸受と、を備える構成とするとよい（請求項５に対応）。 (5) Preferably, in the configuration of (2) above, the rotating shaft for rotating the rotating container, and the rotating shaft are rotatably supported, and are disposed in a section in the vacuum chamber and not the heat treatment chamber. It is good to set it as a structure provided with a bearing (corresponding to claim 5).

本構成によると、軸受は、真空室内であって熱処理室でない区間（以下適宜「非加熱区間」と称す。）に配置されている。このため、軸受が熱負荷を受けにくい。また、回転軸は、真空室内の軸受により支持されている。よって、仮に加熱により回転軸が熱膨張しても、収容室の真空保持性には、悪影響を及ぼさない。 According to this configuration, the bearing is disposed in a section that is not a heat treatment chamber (hereinafter, appropriately referred to as “non-heating section”) in the vacuum chamber. For this reason, a bearing is hard to receive a thermal load. The rotating shaft is supported by a bearing in the vacuum chamber. Therefore, even if the rotating shaft thermally expands due to heating, the vacuum retention of the storage chamber is not adversely affected.

（６）好ましくは、上記（５）の構成において、前記回転軸は、二本、略平行に並置されており、前記回転容器は、二本の該回転軸上に載置されており、さらに、前記アウターシェルの外部に配置され、二本の該回転軸のうちいずれか一方に駆動力を伝達する駆動部を備える構成とするとよい（請求項６に対応）。 (6) Preferably, in the configuration of (5) above, the two rotation shafts are juxtaposed substantially in parallel, and the rotation container is placed on the two rotation shafts, It is good to set it as the structure provided with the drive part arrange | positioned on the exterior of the said outer shell, and transmitting a driving force to either one of these two rotating shafts (corresponding to claim 6).

駆動部は、アウターシェル外部に配置されている。このため、回転軸等の駆動力伝達機構は、真空室の内外に亘って配置されることとなる。しかし、本構成によると、二本の回転軸のうち一本だけに駆動力が伝達される。このため、駆動力が伝達される一本の回転軸に対してだけ、シール性を考慮すればよい。よって、所望の真空状態を確保しやすい。 The drive unit is disposed outside the outer shell. For this reason, driving force transmission mechanisms, such as a rotating shaft, will be arrange | positioned over the inside and outside of a vacuum chamber. However, according to this configuration, the driving force is transmitted to only one of the two rotating shafts. For this reason, it is only necessary to consider the sealing performance for only one rotating shaft to which the driving force is transmitted. Therefore, it is easy to ensure a desired vacuum state.

（７）好ましくは、上記（５）の構成において、さらに、前記回転軸を振動させると共に前記真空室内であって前記熱処理室でない区間に配置される振動発生部を備える構成とするとよい（請求項７に対応）。 (7) Preferably, in the configuration of (5), the rotation shaft may be further vibrated, and a vibration generating unit may be provided in a section in the vacuum chamber and not the heat treatment chamber. 7).

脱ガス処理の際、被処理物が処理室の内周面に付着することがある。本構成によると、振動発生部により、回転軸が振動する。これより、回転容器（処理室）が振動する。よって、被処理物の内周面への付着を抑制することができる。また、振動発生部は、真空室内であって熱処理室でない区間（非加熱区間）に配置される。よって、振動発生部が熱負荷を受けにくい。 During the degassing process, an object to be processed may adhere to the inner peripheral surface of the processing chamber. According to this configuration, the rotation shaft vibrates by the vibration generating unit. Thereby, the rotating container (processing chamber) vibrates. Therefore, it is possible to suppress adhesion of the workpiece to the inner peripheral surface. Further, the vibration generating unit is disposed in a section (non-heating section) that is in the vacuum chamber and is not the heat treatment chamber. Therefore, the vibration generating part is not easily subjected to a heat load.

（８）好ましくは、上記（５）の構成において、前記回転容器は、外周面に複数のタイヤ部を備え、複数の該タイヤ部は、各々、複数の前記回転軸上に載置されている構成とするとよい（請求項８に対応）。 (8) Preferably, in the configuration of (5) above, the rotating container includes a plurality of tire portions on an outer peripheral surface, and the plurality of tire portions are respectively placed on the plurality of rotating shafts. A configuration is preferable (corresponding to claim 8).

仮に回転軸の軸長が長い場合、熱処理室からの伝熱により、また回転容器の自重により、回転軸が撓みやすい。この点、本構成の場合、回転容器全体ではなく、タイヤ部のみが回転軸により支持される。このため、回転軸の軸長が短くて済む。したがって、回転軸の撓みを抑制することができる。 If the shaft length of the rotating shaft is long, the rotating shaft is easily bent due to heat transfer from the heat treatment chamber and due to the weight of the rotating container. In this regard, in the case of this configuration, only the tire portion is supported by the rotating shaft, not the entire rotating container. For this reason, the axial length of the rotating shaft can be short. Therefore, the deflection of the rotating shaft can be suppressed.

以下、本発明の真空熱処理装置の実施形態について説明する。 Hereinafter, embodiments of the vacuum heat treatment apparatus of the present invention will be described.

＜第一実施形態＞
まず、本実施形態の真空熱処理装置の構成について説明する。図１に、本実施形態の真空熱処理装置の斜視合体図を示す。図２に、同真空熱処理装置の斜視分解図を示す。図３に、図１のＩＩＩ−ＩＩＩ方向断面図を示す。なお、以下に示す図においては、前から後ろを見る場合を基準に、左右を定義している。 <First embodiment>
First, the configuration of the vacuum heat treatment apparatus of this embodiment will be described. FIG. 1 shows a perspective combined view of the vacuum heat treatment apparatus of the present embodiment. FIG. 2 is an exploded perspective view of the vacuum heat treatment apparatus. FIG. 3 shows a cross-sectional view in the III-III direction of FIG. In the figure shown below, the left and right are defined based on the case of looking from the front to the back.

図１〜図３に示すように、真空熱処理装置１は、主として、アウターシェル２と、インナーシェル３と、回転容器４と、駆動側回転軸５と、従動側回転軸６と、駆動装置７と、を備えている。 As shown in FIGS. 1 to 3, the vacuum heat treatment apparatus 1 mainly includes an outer shell 2, an inner shell 3, a rotating container 4, a driving side rotating shaft 5, a driven side rotating shaft 6, and a driving device 7. And.

アウターシェル２は、アウター上分割体２０ｕとアウター下分割体２０ｄとから構成されている。アウター上分割体２０ｕは、鋼製であって、下方に開口するカップ状を呈している。アウター上分割体２０ｕの頂部には、短軸円筒状の温度測定ポート２００ｕが三つ直列に配置されている。温度測定ポート２００ｕには、各々、ケーブル２０１ｕが挿入されている。ケーブル２０１ｕは、後述するインナーシェル３のシェル本体上分割体３００ｕを貫通し、電気ヒーター上分割体３０１ｕ近傍まで達している。ケーブル２０１ｕの先端には、熱電対（図略）が配置されている。熱電対により、電気ヒーター上分割体３０１ｕ近傍の温度が測定される。 The outer shell 2 includes an outer upper divided body 20u and an outer lower divided body 20d. The outer upper divided body 20u is made of steel and has a cup shape opening downward. Three short-axis cylindrical temperature measurement ports 200u are arranged in series at the top of the outer upper divided body 20u. Cables 201u are inserted into the temperature measurement ports 200u, respectively. The cable 201u passes through a shell main body upper divided body 300u of the inner shell 3 to be described later and reaches the vicinity of the electric heater upper divided body 301u. A thermocouple (not shown) is disposed at the tip of the cable 201u. The temperature near the upper divided body 301u of the electric heater is measured by the thermocouple.

アウター上分割体２０ｕの左側には、短軸円筒状の真空計ポート２０２ｕが配置されている。真空計ポート２０２ｕには、真空計２０３ｕが挿入されている。アウター上分割体２０ｕの右側（真空計ポート２０２ｕの略１８０°対向位置）には、共に短軸円筒状の一対の電気ヒーター導入ポート２０４ｕ、２０５ｕが配置されている。電気ヒーター導入ポート２０４ｕにはケーブル２０６ｕが、電気ヒーター導入ポート２０５ｕにはケーブル２０７ｕが、各々挿入されている。ケーブル２０６ｕ、２０７ｕは、後述する電気ヒーター上分割体３０１ｕに配索される電熱線３０４ｕと接続されている。 A short axis cylindrical vacuum gauge port 202u is arranged on the left side of the outer upper divided body 20u. A vacuum gauge 203u is inserted into the vacuum gauge port 202u. A pair of short axis cylindrical electric heater introduction ports 204u and 205u are disposed on the right side of the outer upper divided body 20u (a position substantially opposite to the vacuum gauge port 202u by approximately 180 °). A cable 206u is inserted into the electric heater introduction port 204u, and a cable 207u is inserted into the electric heater introduction port 205u. The cables 206u and 207u are connected to a heating wire 304u routed in the electric heater upper divided body 301u described later.

アウター下分割体２０ｄは、鋼製であって、上方に開口するカップ状を呈している。アウター下分割体２０ｄは、アウター上分割体２０ｕの下方に、各々の開口部を合わせるように配置されている。具体的には、アウター上分割体２０ｕとアウター下分割体２０ｄとは、各々のフランジ部をボルト締結することにより固定されている。これにより、アウターシェル２の内部には真空室２１が形成されている。 The outer lower divided body 20d is made of steel and has a cup shape opening upward. The outer lower divided body 20d is arranged below the outer upper divided body 20u so that the respective openings are aligned. Specifically, the outer upper divided body 20u and the outer lower divided body 20d are fixed by bolting each flange portion. Thereby, a vacuum chamber 21 is formed in the outer shell 2.

アウター下分割体２０ｄの底部には、短軸円筒状の温度測定ポート２００ｄが三つ直列に配置されている。温度測定ポート２００ｄは、前記温度測定ポート２００ｕと、上下方向に対向して配置されている。温度測定ポート２００ｄには、各々、ケーブル２０１ｄが挿入されている。ケーブル２０１ｄは、後述するインナーシェル３のシェル本体下分割体３００ｄを貫通し、電気ヒーター下分割体３０１ｄ近傍まで達している。ケーブル２０１ｄの先端には、熱電対（図略）が配置されている。熱電対により、電気ヒーター下分割体３０１ｄ近傍の温度が測定される。 Three short-axis cylindrical temperature measurement ports 200d are arranged in series at the bottom of the outer lower divided body 20d. The temperature measurement port 200d is arranged to face the temperature measurement port 200u in the vertical direction. Cables 201d are inserted into the temperature measurement ports 200d, respectively. The cable 201d passes through a shell main body lower divided body 300d of the inner shell 3 to be described later and reaches the vicinity of the electric heater lower divided body 301d. A thermocouple (not shown) is disposed at the tip of the cable 201d. The temperature near the lower part 301d of the electric heater is measured by the thermocouple.

アウター下分割体２０ｄの底部右側には、短軸円筒状の真空引きポート２０２ｄが配置されている。真空引きポート２０２ｄは、真空ポンプに接続されている。アウター下分割体２０ｄの右側には、共に短軸円筒状の一対の電気ヒーター導入ポート２０４ｄ、２０５ｄが配置されている。電気ヒーター導入ポート２０４ｄは、前記電気ヒーター導入ポート２０４ｕの下方に配置されている。また、電気ヒーター導入ポート２０５ｄは、前記電気ヒーター導入ポート２０５ｕの下方に配置されている。電気ヒーター導入ポート２０４ｄにはケーブル２０６ｄが、電気ヒーター導入ポート２０５ｄにはケーブル２０７ｄが、各々挿入されている。ケーブル２０６ｄ、２０７ｄは、後述する電気ヒーター下分割体３０１ｄに配索される電熱線（図略）と接続されている。アウター下分割体２０ｄの前側（電気ヒーター導入ポート２０４ｄ、２０５ｄの略９０°回動位置）には、真空回転導入ポート２０８が配置されている。短軸円筒状の真空回転導入ポート２０８には、後述する駆動側回転軸５が貫通している。 A short-axis cylindrical vacuum port 202d is disposed on the right side of the bottom of the outer lower divided body 20d. The vacuum port 202d is connected to a vacuum pump. A pair of short axis cylindrical electric heater introduction ports 204d and 205d are arranged on the right side of the outer lower divided body 20d. The electric heater introduction port 204d is disposed below the electric heater introduction port 204u. Further, the electric heater introduction port 205d is disposed below the electric heater introduction port 205u. A cable 206d is inserted into the electric heater introduction port 204d, and a cable 207d is inserted into the electric heater introduction port 205d. The cables 206d and 207d are connected to a heating wire (not shown) routed in an electric heater lower divided body 301d described later. A vacuum rotation introduction port 208 is disposed on the front side of the outer lower divided body 20d (approximately 90 ° rotation position of the electric heater introduction ports 204d and 205d). A drive-side rotary shaft 5 (described later) passes through the short-axis cylindrical vacuum rotation introduction port 208.

インナーシェル３は、インナー上分割体３０ｕとインナー下分割体３０ｄとから構成されている。インナー上分割体３０ｕは、アウター上分割体２０ｕの内側に固定されている。インナー上分割体３０ｕは、シェル本体上分割体３００ｕと電気ヒーター上分割体３０１ｕとからなる。シェル本体上分割体３００ｕは、耐火物製であって、両端面が丸みを帯びた半円柱状を呈している。シェル本体上分割体３００ｕの底面には、半円柱状の凹部３０２ｕが配置されている。シェル本体上分割体３００ｕの底面以外の部分は、パンチングメタル３０３ｕで覆われている（説明の便宜上、図２においては一部のみ示す。）。 The inner shell 3 includes an inner upper divided body 30u and an inner lower divided body 30d. The inner upper divided body 30u is fixed inside the outer upper divided body 20u. The inner upper divided body 30u includes a shell main body upper divided body 300u and an electric heater upper divided body 301u. The shell main body upper divided body 300u is made of a refractory material and has a semi-cylindrical shape with rounded end faces. A semi-cylindrical recess 302u is disposed on the bottom surface of the upper shell body divided body 300u. Portions other than the bottom surface of the shell body upper divided body 300u are covered with a punching metal 303u (for convenience of explanation, only a part is shown in FIG. 2).

電気ヒーター上分割体３０１ｕは、半円筒状を呈している。電気ヒーター上分割体３０１ｕは、前記シェル本体上分割体３００ｕの凹部３０２ｕに固定されている。図２に一部破断して示すように、電気ヒーター上分割体３０１ｕの内部には、電熱線３０４ｕがジグザグ状に配索されている。 The electric heater upper divided body 301u has a semi-cylindrical shape. The electric heater upper divided body 301u is fixed to the concave portion 302u of the shell main body upper divided body 300u. As shown in a partially broken view in FIG. 2, heating wires 304 u are arranged in a zigzag manner inside the upper divided body 301 u of the electric heater.

インナー下分割体３０ｄは、アウター下分割体２０ｄの内側に固定されている。インナー下分割体３０ｄは、シェル本体下分割体３００ｄと電気ヒーター下分割体３０１ｄとから構成されている。シェル本体下分割体３００ｄは、インナー上分割体３０ｕと同様に、耐火物製であって、端面が丸みを帯びた半円柱状を呈している。シェル本体下分割体３００ｄの頂面には、半円柱状の凹部３０２ｄが配置されている。シェル本体下分割体３００ｄの頂面以外の部分は、パンチングメタル３０３ｄで覆われている。シェル本体下分割体３００ｄの内部には、凹部３０２ｄを前後方向に貫通するように、後述する駆動側回転軸５と従動側回転軸６とが略平行に延設されている。 The inner lower divided body 30d is fixed inside the outer lower divided body 20d. The inner lower divided body 30d includes a shell main body lower divided body 300d and an electric heater lower divided body 301d. Similarly to the inner upper divided body 30u, the shell main body lower divided body 300d is made of a refractory material and has a semicylindrical shape with rounded end surfaces. A semi-cylindrical recess 302d is disposed on the top surface of the shell main body lower divided body 300d. Portions other than the top surface of the shell body lower divided body 300d are covered with a punching metal 303d. A drive side rotary shaft 5 and a driven side rotary shaft 6 which will be described later extend substantially in parallel inside the shell main body lower divided body 300d so as to penetrate the recess 302d in the front-rear direction.

電気ヒーター下分割体３０１ｄは、半円筒状を呈している。電気ヒーター下分割体３０１ｄは、前記シェル本体下分割体３００ｄの凹部３０２ｄに固定されている。電気ヒーター下分割体３０１ｄの内部には、電熱線（図略）が配索されている。ここで、シェル本体上分割体３００ｕとシェル本体下分割体３００ｄとは、本発明のシェル本体に含まれる。電気ヒーター上分割体３０１ｕと電気ヒーター下分割体３０１ｄとは、本発明の加熱部に含まれる。 The electric heater lower divided body 301d has a semi-cylindrical shape. The electric heater lower divided body 301d is fixed to the recess 302d of the shell main body lower divided body 300d. A heating wire (not shown) is routed inside the lower divided body 301d of the electric heater. Here, the shell main body upper divided body 300u and the shell main body lower divided body 300d are included in the shell main body of the present invention. The electric heater upper divided body 301u and the electric heater lower divided body 301d are included in the heating unit of the present invention.

インナー上分割体３０ｕとインナー下分割体３０ｄとは、各々の凹部３０２ｕ、３０２ｄを合わせるように配置されている。共に半円柱状の凹部３０２ｕ、３０２ｄが合体することにより、インナーシェル３の内部には円柱状の熱処理室３１が形成されている。また、図３に点線で示すように、アウター上分割体２０ｕおよびインナー上分割体３０ｕは、アウター下分割体２０ｄおよびインナー下分割体３０ｄに対して、上方に開閉可能である。 The inner upper divided body 30u and the inner lower divided body 30d are arranged so that the concave portions 302u and 302d are aligned. The semi-cylindrical recesses 302u and 302d are combined to form a cylindrical heat treatment chamber 31 in the inner shell 3. Further, as indicated by a dotted line in FIG. 3, the outer upper divided body 20u and the inner upper divided body 30u can be opened and closed upward with respect to the outer lower divided body 20d and the inner lower divided body 30d.

回転容器４は、鋼製であって、中空円柱状を呈している。回転容器４は、インナーシェル３の内部に区画された熱処理室３１に配置されている。詳しくは、回転容器４は、熱処理室３１を貫通する駆動側回転軸５および従動側回転軸６の上に載置されている。 The rotating container 4 is made of steel and has a hollow cylindrical shape. The rotating container 4 is disposed in a heat treatment chamber 31 partitioned inside the inner shell 3. Specifically, the rotary container 4 is placed on the drive side rotary shaft 5 and the driven side rotary shaft 6 that penetrate the heat treatment chamber 31.

回転容器４の内部には、収容室４２が区画されている。収容室４２には、チタン水素化物粉末である被処理物Ｐが収容されている。回転容器４の軸方向両端面には、各々、被処理物Ｐを収容室４２に供給するための供給口４０と、被処理物Ｐを収容室４２から排出するための排出口４１と、が開設されている。 A storage chamber 42 is defined inside the rotating container 4. In the storage chamber 42, an object to be processed P that is titanium hydride powder is stored. A supply port 40 for supplying the workpiece P to the storage chamber 42 and a discharge port 41 for discharging the workpiece P from the storage chamber 42 are respectively provided at both axial end surfaces of the rotating container 4. It has been established.

駆動側回転軸５および従動側回転軸６は、熱処理室３１のインナー下分割体３０ｄ側を貫通するように配置されている。駆動側回転軸５と従動側回転軸６とは、本発明の回転軸に含まれる。図４に、本実施形態の真空熱処理装置の駆動側回転軸および従動側回転軸付近の水平方向断面図を示す。図５に、同真空熱処理装置の駆動装置付近の部分斜視図を示す。なお、説明の便宜上、図４中、回転容器、電気ヒーター導入ポート、Ａｒ導入ポートを省略して示す。 The driving side rotating shaft 5 and the driven side rotating shaft 6 are arranged so as to penetrate the inner lower divided body 30d side of the heat treatment chamber 31. The driving side rotating shaft 5 and the driven side rotating shaft 6 are included in the rotating shaft of the present invention. FIG. 4 shows a horizontal cross-sectional view of the vicinity of the drive side rotary shaft and the driven side rotary shaft of the vacuum heat treatment apparatus of the present embodiment. FIG. 5 shows a partial perspective view of the vicinity of the driving device of the vacuum heat treatment apparatus. For convenience of explanation, the rotating container, the electric heater introduction port, and the Ar introduction port are omitted in FIG.

図４、図５に示すように、駆動側回転軸５は、熱処理室３１のインナー下分割体３０ｄ側を貫通するように配置されている。シェル本体下分割体３００ｄの内部には、ピローブロック５０が駆動側回転軸５の軸方向に離間して二つ埋設されている。駆動側回転軸５は、二つのピローブロック５０により、回転可能に支持されている。また、駆動側回転軸５の一端は、シェル本体下分割体３００ｄを貫通し、アウター下分割体２０ｄの真空回転導入ポート２０８から外部へ突出している。 As shown in FIGS. 4 and 5, the drive-side rotating shaft 5 is disposed so as to penetrate the inner lower divided body 30 d side of the heat treatment chamber 31. Two pillow blocks 50 are embedded in the shell main body lower divided body 300d so as to be spaced apart from each other in the axial direction of the drive-side rotating shaft 5. The drive side rotating shaft 5 is rotatably supported by two pillow blocks 50. Further, one end of the drive side rotating shaft 5 passes through the shell main body lower divided body 300d and protrudes from the vacuum rotation introducing port 208 of the outer lower divided body 20d to the outside.

従動側回転軸６は、駆動側回転軸５と略平行に、熱処理室３１のインナー下分割体３０ｄ側を貫通するように配置されている。シェル本体下分割体３００ｄの内部には、ピローブロック６０が従動側回転軸６の軸方向に離間して二つ埋設されている。従動側回転軸６は、二つのピローブロック６０により、回転可能に支持されている。なお、ピローブロック５０、６０は、本発明の軸受に含まれる。 The driven side rotating shaft 6 is disposed so as to penetrate the inner lower divided body 30 d side of the heat treatment chamber 31 in parallel with the driving side rotating shaft 5. Two pillow blocks 60 are embedded in the shell main body lower divided body 300d so as to be spaced apart from each other in the axial direction of the driven side rotation shaft 6. The driven side rotating shaft 6 is rotatably supported by two pillow blocks 60. The pillow blocks 50 and 60 are included in the bearing of the present invention.

駆動装置７は、フレーム７０と、外部ピローブロック７１と、スプロケット７２と、を備えている。駆動装置７は、本発明の駆動部に含まれる。フレーム７０は、鋼製であって矩形枠状を呈している。前記アウター下分割体２０ｄは、フレーム７０の枠内に固定されている。外部ピローブロック７１は、フレーム７０に固定されている。外部ピローブロック７１は、前記駆動側回転軸５の一端を、回転可能に支持している。スプロケット７２は、駆動側回転軸５の一端端部に固定されている。スプロケット７２は、モーター（図略）にチェーン（図略）を介して接続されている。 The driving device 7 includes a frame 70, an external pillow block 71, and a sprocket 72. The drive device 7 is included in the drive unit of the present invention. The frame 70 is made of steel and has a rectangular frame shape. The outer lower divided body 20d is fixed in the frame 70. The external pillow block 71 is fixed to the frame 70. The external pillow block 71 supports one end of the drive side rotating shaft 5 so as to be rotatable. The sprocket 72 is fixed to one end of the drive side rotating shaft 5. The sprocket 72 is connected to a motor (not shown) via a chain (not shown).

次に、本実施形態の真空熱処理装置を用いた脱ガス処理の一例として、ＨＤＨ法におけるチタン水素化物粉末の脱水素化処理を行う手順を説明する。予め、原料チタンを水素化処理してチタン水素化物とし、それを粉砕してチタン水素化物粉末を作製しておく。そして、作製されたチタン水素化物粉末、つまり被処理物Ｐを、供給口４０から収容室４２に投入する。次に、回転容器４を、インナー下分割体３０ｄの凹部３０２ｄ内（つまり熱処理室３１内）に搬入する。具体的には、回転容器４を、駆動側回転軸５および従動側回転軸６の上に載置する。続いて、回転容器４の上方から一体となったインナー上分割体３０ｕおよびアウター上分割体２０ｕをかぶせて、アウター上分割体２０ｕとアウター下分割体２０ｄとをボルト締結する。 Next, as an example of a degassing process using the vacuum heat treatment apparatus of the present embodiment, a procedure for performing a dehydrogenation process for titanium hydride powder in the HDH method will be described. In advance, raw material titanium is hydrotreated to form titanium hydride, which is pulverized to prepare titanium hydride powder. Then, the produced titanium hydride powder, that is, the object to be processed P is put into the accommodation chamber 42 from the supply port 40. Next, the rotating container 4 is carried into the recess 302d (that is, the heat treatment chamber 31) of the inner lower divided body 30d. Specifically, the rotating container 4 is placed on the driving side rotating shaft 5 and the driven side rotating shaft 6. Subsequently, the inner upper divided body 30u and the outer upper divided body 20u which are integrated from above the rotating container 4 are covered, and the outer upper divided body 20u and the outer lower divided body 20d are bolted.

次に、真空ポンプを作動させ、真空室２１の真空引きを開始し、１００Ｐａに達したらバルブ２１０ｄを開け、Ａｒ導入ポート２０９ｄを介してＡｒ（アルゴン）ガスを打ち込み、置換を行う。その後真空引きを再開し、それと共に、電気ヒーター上分割体３０１ｕおよび電気ヒーター下分割体３０１ｄを作動させ、熱処理室３１内の回転容器４の加熱を開始する。この時、モーター（図略）を駆動させて、駆動側回転軸５を回転させる。ここで、前出図５に示すように、駆動側回転軸５は右回り（時計回り）に回転する。これより、回転容器４は左回り（反時計回り）に回転する。回転容器４の回転に伴って、従動側回転軸６は右回りに回転する。回転容器４の回転により、収容室４２では、被処理物Ｐが攪拌され、被処理物Ｐから水素が放出される。放出された水素は、供給口４０および排出口４１から、シェル本体上分割体３００ｕおよびシェル本体下分割体３００ｄの通気性を有する壁部を介して、インナーシェル３の外部に流出する。そして、水素は、真空引きポート２０２ｄを介して、真空ポンプに排出される。約１０時間、脱水素化処理を行い、水素の放出が終了したら、加熱および真空引きを停止する。その後、Ａｒガスを打ち込み、真空室２１内を大気圧に戻すと共に、Ａｒガスを打ち込みながら熱処理室３１内を１００℃まで冷却する。 Next, the vacuum pump is operated to start evacuation of the vacuum chamber 21. When the pressure reaches 100 Pa, the valve 210d is opened, and Ar (argon) gas is injected through the Ar introduction port 209d to perform replacement. After that, evacuation is resumed, and at the same time, the electric heater upper divided body 301u and the electric heater lower divided body 301d are operated, and heating of the rotating container 4 in the heat treatment chamber 31 is started. At this time, a motor (not shown) is driven to rotate the drive side rotating shaft 5. Here, as shown in FIG. 5, the drive side rotating shaft 5 rotates clockwise (clockwise). Thereby, the rotating container 4 rotates counterclockwise (counterclockwise). As the rotating container 4 rotates, the driven side rotating shaft 6 rotates clockwise. By the rotation of the rotating container 4, the workpiece P is agitated and hydrogen is released from the workpiece P in the accommodation chamber 42. The released hydrogen flows out of the inner shell 3 from the supply port 40 and the discharge port 41 through the air-permeable wall portions of the shell main body upper divided body 300u and the shell main body lower divided body 300d. Then, the hydrogen is discharged to the vacuum pump via the vacuum port 202d. The dehydrogenation treatment is performed for about 10 hours. When the release of hydrogen is completed, the heating and evacuation are stopped. Thereafter, Ar gas is injected, the inside of the vacuum chamber 21 is returned to atmospheric pressure, and the inside of the heat treatment chamber 31 is cooled to 100 ° C. while Ar gas is injected.

次に、本実施形態の真空熱処理装置の作用効果について説明する。本実施形態の真空熱処理装置１によると、回転容器４が真空室２１中に配置されている。つまり、真空境界は、回転する回転容器４の壁部ではなく、回転しないアウターシェル２の壁部に存在している。したがって、収容室４２の真空保持性の低下を抑制することができる。また、真空室２１を区画するアウターシェル２は回転しない。このため、温度測定ポート２００ｕ、２００ｄ、真空計ポート２０２ｕ、真空引きポート２０２ｄ、電気ヒーター導入ポート２０４ｕ、２０５ｕ、２０４ｄ、２０５ｄ、真空回転導入ポート２０８等各種ポートのシール構造を単純化することができる。 Next, the effect of the vacuum heat treatment apparatus of this embodiment will be described. According to the vacuum heat treatment apparatus 1 of the present embodiment, the rotary container 4 is disposed in the vacuum chamber 21. That is, the vacuum boundary exists not on the wall portion of the rotating container 4 that rotates but on the wall portion of the outer shell 2 that does not rotate. Accordingly, it is possible to suppress a decrease in the vacuum holding property of the storage chamber 42. Further, the outer shell 2 that partitions the vacuum chamber 21 does not rotate. Therefore, the seal structure of various ports such as the temperature measurement ports 200u and 200d, the vacuum gauge port 202u, the vacuuming port 202d, the electric heater introduction ports 204u, 205u, 204d and 205d, and the vacuum rotation introduction port 208 can be simplified. .

また、前出図１０に示したロータリーキルン１００の場合、ロータリージョイント１０２ａ、１０２ｂの設置場所は、レトルト１０１の軸線Ａ１上に限られている。このため、レトルト１０１の軸方向両端の円中心にしか、ロータリージョイント１０２ａ、１０２ｂを設置できない。すなわち、回転しているレトルト１０１内に連通可能なポート数は、二つのみである。これに対して、本実施形態の真空熱処理装置１によると、アウターシェル２は回転しない。このため、アウターシェル２に連通可能なポート数は二つに限定されない。つまり、必要に応じて、各種ポートをアウターシェル２に設置することができる。 Further, in the case of the rotary kiln 100 shown in FIG. 10, the installation locations of the rotary joints 102a and 102b are limited to the axis A1 of the retort 101. For this reason, the rotary joints 102a and 102b can be installed only at the circle centers at both axial ends of the retort 101. That is, the number of ports that can communicate with the rotating retort 101 is only two. On the other hand, according to the vacuum heat treatment apparatus 1 of the present embodiment, the outer shell 2 does not rotate. For this reason, the number of ports that can communicate with the outer shell 2 is not limited to two. That is, various ports can be installed in the outer shell 2 as necessary.

また、被処理物Ｐは、回転容器４の回転により攪拌されながら、真空かつ高温下で脱ガス処理される。このため、被処理物Ｐには、温度むらや脱ガスむらが発生しにくい。よって、効率よく脱ガス処理を行うことができる。 Further, the workpiece P is degassed under vacuum and high temperature while being agitated by the rotation of the rotating container 4. For this reason, temperature unevenness and degassing unevenness hardly occur in the workpiece P. Therefore, the degassing process can be performed efficiently.

また、ピローブロック５０、６０は、真空室２１内であって熱処理室３１でない区間（非加熱区間）に、配置されている。また、温度測定ポート２００ｕ、２００ｄ、真空計ポート２０２ｕ、真空引きポート２０２ｄ、電気ヒーター導入ポート２０４ｕ、２０５ｕ、２０４ｄ、２０５ｄ、真空回転導入ポート２０８等各種ポートも、熱処理室３１から隔離して配置されている。したがって、これらの部材は熱負荷を受けにくい。 Further, the pillow blocks 50 and 60 are arranged in a section (non-heated section) in the vacuum chamber 21 and not the heat treatment chamber 31. In addition, various ports such as temperature measurement ports 200u and 200d, vacuum gauge port 202u, evacuation port 202d, electric heater introduction ports 204u, 205u, 204d and 205d, and vacuum rotation introduction port 208 are also arranged separately from the heat treatment chamber 31. ing. Therefore, these members are not easily subjected to heat load.

また、電気ヒーター上分割体３０１ｕ、電気ヒーター下分割体３０１ｄからの熱は、耐火物製のシェル本体上分割体３００ｕ、シェル本体下分割体３００ｄにより遮蔽される。このため、熱がインナーシェル３の外側に逃げにくい。さらに、電気ヒーター上分割体３０１ｕ、電気ヒーター下分割体３０１ｄは、各々、シェル本体上分割体３００ｕ、シェル本体下分割体３００ｄの内面に表出している。このため、回転容器４、つまり被処理物Ｐを、効率よく加熱することができる。 The heat from the electric heater upper divided body 301u and the electric heater lower divided body 301d is shielded by the shell main body upper divided body 300u and the shell main body lower divided body 300d made of refractory. For this reason, it is difficult for heat to escape to the outside of the inner shell 3. Furthermore, the electric heater upper divided body 301u and the electric heater lower divided body 301d are exposed on the inner surfaces of the shell main body upper divided body 300u and the shell main body lower divided body 300d, respectively. For this reason, the rotation container 4, ie, the to-be-processed object P, can be heated efficiently.

また、シェル本体上分割体３００ｕ、シェル本体下分割体３００ｄは、それぞれ通気性を有している。並びに、シェル本体上分割体３００ｕの底面以外の部分は多孔性のパンチングメタル３０３ｕにより、シェル本体下分割体３００ｄの頂面以外の部分は多孔性のパンチングメタル３０３ｄにより、それぞれ覆われている。このため、真空室２１を真空引きすると、シェル本体上分割体３００ｕ、シェル本体下分割体３００ｄ各々の軸方向両端面を介して、熱処理室３１が真空引きされる。このように、熱処理室３１、ひいては収容室４２を容易に真空にすることができる。 Each of the shell main body upper divided body 300u and the shell main body lower divided body 300d has air permeability. Further, the portion other than the bottom surface of the shell main body upper divided body 300u is covered with a porous punching metal 303u, and the portion other than the top surface of the shell main body lower divided body 300d is covered with a porous punching metal 303d. For this reason, when the vacuum chamber 21 is evacuated, the heat treatment chamber 31 is evacuated via both axial end surfaces of the shell main body upper divided body 300u and the shell main body lower divided body 300d. In this way, the heat treatment chamber 31 and thus the accommodation chamber 42 can be easily evacuated.

また、アウター上分割体２０ｕおよびインナー上分割体３０ｕは、アウター下分割体２０ｄおよびインナー下分割体３０ｄに対して、上方に開閉可能である。よって、回転容器４の熱処理室３１への出し入れを容易に行うことができる。また、インナー上分割体３０ｕの自重により、熱処理室３１は堅固に封止されている。このため、熱処理室３１から熱が逃げにくい。同様に、アウター上分割体２０ｕの自重により、真空室２１は堅固に封止されている。このため、真空室２１のシール性が高い。 The outer upper divided body 20u and the inner upper divided body 30u can be opened and closed upward with respect to the outer lower divided body 20d and the inner lower divided body 30d. Therefore, the rotary container 4 can be easily put in and out of the heat treatment chamber 31. Further, the heat treatment chamber 31 is firmly sealed by the weight of the inner upper divided body 30u. For this reason, it is difficult for heat to escape from the heat treatment chamber 31. Similarly, the vacuum chamber 21 is firmly sealed by the weight of the outer upper divided body 20u. For this reason, the sealing performance of the vacuum chamber 21 is high.

また、本実施形態の真空熱処理装置１では、駆動側回転軸５、従動側回転軸６は、真空室２１内に配置されたピローブロック５０、６０により支持されている。よって、仮に加熱により駆動側回転軸５、従動側回転軸６が熱膨張しても、収容室４２の真空保持性には悪影響を及ぼさない。また、駆動装置７からの駆動力は、駆動側回転軸５だけに伝達される。よって、駆動側回転軸５に対してだけシール性を考慮すればよく、所望の真空状態を確保しやすい。 In the vacuum heat treatment apparatus 1 of the present embodiment, the driving side rotating shaft 5 and the driven side rotating shaft 6 are supported by pillow blocks 50 and 60 disposed in the vacuum chamber 21. Therefore, even if the driving side rotating shaft 5 and the driven side rotating shaft 6 are thermally expanded by heating, the vacuum holding property of the storage chamber 42 is not adversely affected. Further, the driving force from the driving device 7 is transmitted only to the driving side rotating shaft 5. Therefore, it is only necessary to consider the sealing property only for the drive-side rotating shaft 5, and it is easy to ensure a desired vacuum state.

また、本実施形態の真空熱処理装置１では、熱電対が電気ヒーター上分割体３０１ｕ、電気ヒーター下分割体３０１ｄ近傍に配置されている。このため、より正確に収容室４２の温度を測定することができる。したがって、より精密に収容室４２の温度制御を行うことができる。 Moreover, in the vacuum heat treatment apparatus 1 of this embodiment, the thermocouple is arrange | positioned in the electric heater upper division body 301u and the electric heater lower division body 301d vicinity. For this reason, the temperature of the storage chamber 42 can be measured more accurately. Therefore, the temperature control of the storage chamber 42 can be performed more precisely.

＜第二実施形態＞
本実施形態と第一実施形態との相違点は、振動発生部（第一ギア、第二ギア）を配置した点である。したがって、ここでは相違点についてのみ説明する。図６に、本実施形態の真空熱処理装置の駆動側回転軸および従動側回転軸付近の水平方向断面図を示す。なお、説明の便宜上、図６中、回転容器、電気ヒーター導入ポート、Ａｒ導入ポートを省略して示す。図６中、前出図４と対応する部位については同じ符号で示す。また、図７に、同真空熱処理装置の駆動装置付近の部分斜視図を示す。図７中、前出図５と対応する部位については同じ符号で示す。 <Second embodiment>
The difference between this embodiment and 1st embodiment is a point which has arrange | positioned the vibration generation part (1st gear, 2nd gear). Therefore, only the differences will be described here. FIG. 6 shows a horizontal cross-sectional view of the vicinity of the drive side rotary shaft and the driven side rotary shaft of the vacuum heat treatment apparatus of the present embodiment. For convenience of explanation, the rotary container, the electric heater introduction port, and the Ar introduction port are omitted in FIG. In FIG. 6, parts corresponding to those in FIG. FIG. 7 shows a partial perspective view of the vicinity of the driving device of the vacuum heat treatment apparatus. In FIG. 7, parts corresponding to those in FIG.

図６、図７に示すように、振動発生部７３は、アウター下分割体２０ｄ内の真空回転導入ポート２０８近傍に配置されている。つまり、振動発生部７３は、真空室２１内であって熱処理室３１でない区間（非加熱区間）に配置されている。振動発生部７３は、大径の第一ギア７３０と、小径の第二ギア７３１と、を備えている。第一ギア７３０と第二ギア７３１とは咬合している。 As shown in FIGS. 6 and 7, the vibration generating unit 73 is disposed in the vicinity of the vacuum rotation introducing port 208 in the outer lower divided body 20d. That is, the vibration generating unit 73 is disposed in a section (non-heated section) in the vacuum chamber 21 that is not the heat treatment chamber 31. The vibration generating unit 73 includes a large-diameter first gear 730 and a small-diameter second gear 731. The first gear 730 and the second gear 731 are engaged with each other.

駆動装置７は、フレーム７０と、外部ピローブロック７１と、スプロケット７２と、スプロケット回転軸７２０と、を備えている。スプロケット回転軸７２０の一端は、スプロケット７２に固定されている。スプロケット回転軸７２０の他端は、第一ギア７３０に固定されている。また、駆動側回転軸５の一端は、真空室２１内のシェル本体下分割体３００ｄの外側で、第二ギア７３１に固定されている。このように、駆動側回転軸５の一端は、第二ギア７３１、第一ギア７３０を介して、外部の駆動装置７に接続されている。 The drive device 7 includes a frame 70, an external pillow block 71, a sprocket 72, and a sprocket rotating shaft 720. One end of the sprocket rotating shaft 720 is fixed to the sprocket 72. The other end of the sprocket rotating shaft 720 is fixed to the first gear 730. Further, one end of the drive side rotating shaft 5 is fixed to the second gear 731 outside the shell main body lower divided body 300 d in the vacuum chamber 21. As described above, one end of the drive side rotating shaft 5 is connected to the external drive device 7 via the second gear 731 and the first gear 730.

モーター（図略）を駆動させ、チェーン（図略）を介してスプロケット７２を左回り（反時計回り）に回転させると、スプロケット回転軸７２０の回転により、第一ギア７３０は左回りに回転する（図７参照）。第一ギア７３０と第二ギア７３１との咬合により、第二ギア７３１は右回り（時計回り）に回転する。これにより、駆動側回転軸５は右回りに回転し、回転容器４は左回りに回転する。回転容器４の回転に伴って、従動側回転軸６は右回りに回転する。この際、第一ギア７３０と第二ギア７３１との咬合により、駆動側回転軸５には振動が加わる。このため、回転容器４は振動する。 When the motor (not shown) is driven and the sprocket 72 is rotated counterclockwise (counterclockwise) via the chain (not shown), the first gear 730 rotates counterclockwise by the rotation of the sprocket rotating shaft 720. (See FIG. 7). By the engagement of the first gear 730 and the second gear 731, the second gear 731 rotates clockwise (clockwise). Thereby, the drive side rotating shaft 5 rotates clockwise, and the rotary container 4 rotates counterclockwise. As the rotating container 4 rotates, the driven side rotating shaft 6 rotates clockwise. At this time, vibration is applied to the drive-side rotating shaft 5 due to the engagement of the first gear 730 and the second gear 731. For this reason, the rotating container 4 vibrates.

本実施形態の真空熱処理装置は、第一実施形態の真空熱処理装置と同様の作用効果を有する。また、本実施形態の真空熱処理装置によると、駆動側回転軸５が、第二ギア７３１、第一ギア７３０を介して、外部の駆動装置７に接続されている。このため、駆動装置７の駆動により、第一ギア７３０と第二ギア７３１とが咬合し、駆動側回転軸５に振動が加わる。駆動側回転軸５が振動することにより、回転容器４が振動する。よって、被処理物Ｐの回転容器４内周面への付着を抑制することができる。また、第一ギア７３０および第二ギア７３１は、非加熱区間に配置されている。よって、第一ギア７３０および第二ギア７３１は熱負荷を受けにくい。 The vacuum heat treatment apparatus of the present embodiment has the same operational effects as the vacuum heat treatment apparatus of the first embodiment. Further, according to the vacuum heat treatment apparatus of the present embodiment, the drive-side rotating shaft 5 is connected to the external drive apparatus 7 via the second gear 731 and the first gear 730. For this reason, the first gear 730 and the second gear 731 are engaged by driving the driving device 7, and vibration is applied to the driving-side rotating shaft 5. As the drive-side rotating shaft 5 vibrates, the rotating container 4 vibrates. Therefore, adhesion of the workpiece P to the inner peripheral surface of the rotating container 4 can be suppressed. The first gear 730 and the second gear 731 are arranged in the non-heating section. Therefore, the first gear 730 and the second gear 731 are not easily subjected to a thermal load.

＜第三実施形態＞
本実施形態と第一実施形態との主な相違点は、回転容器にタイヤ部を配置した点である。したがって、ここでは相違点を中心に説明する。図８に、本実施形態の真空熱処理装置の斜視分解図を示す。図８中、前出図２と対応する部位については同じ符号で示す。なお、説明の便宜上、図８ではアウター上分割体を省略して示す。また、図９に、同真空熱処理装置の駆動装置付近の部分斜視図を示す。 <Third embodiment>
The main difference between this embodiment and 1st embodiment is the point which has arrange | positioned the tire part in the rotation container. Therefore, the difference will be mainly described here. FIG. 8 is an exploded perspective view of the vacuum heat treatment apparatus of the present embodiment. In FIG. 8, parts corresponding to those in FIG. For convenience of explanation, the outer upper divided body is omitted in FIG. FIG. 9 is a partial perspective view of the vicinity of the driving device of the vacuum heat treatment apparatus.

図８、図９に示すように、回転容器４は、外周面に二つの鋼製のタイヤ部４３ａ、４３ｂを備えている。二つのタイヤ部４３ａ、４３ｂは、互いに軸方向に対向して配置されている。 As shown in FIGS. 8 and 9, the rotating container 4 includes two steel tire portions 43 a and 43 b on the outer peripheral surface. The two tire portions 43a and 43b are arranged to face each other in the axial direction.

インナー上分割体３０ｕは、タイヤ部４３ａ、４３ｂの上半分が突出可能なように分割されている。すなわち、インナー上分割体３０ｕは、分割体前端部３０ｕ１、分割体中間部３０ｕ２、分割体後端部３０ｕ３の三つに分割されている。分割体前端部３０ｕ１と分割体中間部３０ｕ２との間、分割体中間部３０ｕ２と分割体後端部３０ｕ３との間には、それぞれタイヤ用溝３０ｕａ、３０ｕｂが形成されている。 The inner upper divided body 30u is divided so that the upper halves of the tire portions 43a and 43b can protrude. That is, the inner upper divided body 30u is divided into three parts, a divided body front end 30u1, a divided body intermediate 30u2, and a divided body rear end 30u3. Tire grooves 30 ua and 30 ub are formed between the divided body front end portion 30 u 1 and the divided body intermediate portion 30 u 2, and between the divided body intermediate portion 30 u 2 and the divided body rear end portion 30 u 3, respectively.

インナー下分割体３０ｄは、タイヤ部４３ａ、４３ｂの下半分が突出可能なように分割されている。すなわち、インナー下分割体３０ｄは、分割体前端部３０ｄ１、分割体中間部３０ｄ２、分割体後端部３０ｄ３の三つに分割されている。分割体前端部３０ｄ１と分割体中間部３０ｄ２との間、分割体中間部３０ｄ２と分割体後端部３０ｄ３との間には、それぞれタイヤ用溝３０ｄａ、３０ｄｂが形成されている。 The inner lower divided body 30d is divided so that the lower half of the tire portions 43a and 43b can protrude. That is, the inner lower divided body 30d is divided into three parts, that is, a divided body front end portion 30d1, a divided body intermediate portion 30d2, and a divided body rear end portion 30d3. Tire grooves 30da and 30db are formed between the divided body front end portion 30d1 and the divided body intermediate portion 30d2, and between the divided body intermediate portion 30d2 and the divided body rear end portion 30d3, respectively.

タイヤ部４３ａは、タイヤ用溝３０ｕａおよびタイヤ用溝３０ｄａを介して、インナーシェル３の外側へ突出している。タイヤ部４３ｂは、タイヤ用溝３０ｕｂおよびタイヤ用溝３０ｄｂを介して、インナーシェル３の外側へ突出している。 The tire portion 43a protrudes outside the inner shell 3 via the tire groove 30ua and the tire groove 30da. The tire portion 43b protrudes to the outside of the inner shell 3 through the tire groove 30ub and the tire groove 30db.

アウター下分割体２０ｄ内には、駆動側タイヤ支持部５１ａ、５１ｂが、回転容器４の軸方向に沿って直列に配置されている。駆動側タイヤ支持部５１ａは、一対のピローブロック５０ａと駆動側回転軸５ａとを備えている。一対のピローブロック５０ａは、駆動側回転軸５ａの軸方向に離間して固定されている（図８中、固定部分をハッチングで示す。）。駆動側回転軸５ａは、一対のピローブロック５０ａにより、回転可能に支持されている。アウター下分割体２０ｄの前側には、短軸円筒状の真空回転導入ポート２０８ａが配置されている。駆動側回転軸５ａは、真空回転導入ポート２０８ａを貫通している（図８においては、説明の便宜上、駆動側回転軸５ａの一部を一点鎖線で示す。）。 Drive-side tire support portions 51 a and 51 b are arranged in series along the axial direction of the rotating container 4 in the outer lower divided body 20 d. The drive side tire support 51a includes a pair of pillow blocks 50a and a drive side rotating shaft 5a. The pair of pillow blocks 50a are fixed apart from each other in the axial direction of the drive side rotating shaft 5a (the fixed portions are indicated by hatching in FIG. 8). The drive side rotating shaft 5a is rotatably supported by a pair of pillow blocks 50a. A short-axis cylindrical vacuum rotation introduction port 208a is disposed on the front side of the outer lower divided body 20d. The drive side rotating shaft 5a penetrates the vacuum rotation introducing port 208a (in FIG. 8, for convenience of explanation, a part of the driving side rotating shaft 5a is indicated by a one-dot chain line).

駆動側タイヤ支持部５１ｂは、一対のピローブロック５０ｂと駆動側回転軸５ｂとを備えている。一対のピローブロック５０ｂは、駆動側回転軸５ｂの軸方向に離間して固定されている（図８中、固定部分をハッチングで示す。）。駆動側回転軸５ｂは、一対のピローブロック５０ｂにより、回転可能に支持されている。アウター下分割体２０ｄの後側には、短軸円筒状の真空回転導入ポート２０８ｂが配置されている。駆動側回転軸５ｂは、真空回転導入ポート２０８ｂを貫通している（図８においては、説明の便宜上、駆動側回転軸５ｂの一部を一点鎖線で示す。）。 The drive side tire support 51b includes a pair of pillow blocks 50b and a drive side rotating shaft 5b. The pair of pillow blocks 50b are fixed to be separated from each other in the axial direction of the drive side rotation shaft 5b (the fixed portions are indicated by hatching in FIG. 8). The drive side rotating shaft 5b is rotatably supported by a pair of pillow blocks 50b. A short axis cylindrical vacuum rotation introduction port 208b is disposed on the rear side of the outer lower divided body 20d. The drive side rotating shaft 5b penetrates the vacuum rotation introducing port 208b (in FIG. 8, for convenience of explanation, a part of the driving side rotating shaft 5b is indicated by a one-dot chain line).

従動側タイヤ支持部６１ａ、６１ｂは、各々、駆動側タイヤ支持部５１ａ、５１ｂと略平行に配置されている。従動側タイヤ支持部６１ａ、６１ｂは、回転容器４の軸方向に沿って直列に配置されている。従動側タイヤ支持部６１ａは、一対のピローブロック６０ａと従動側回転軸６ａとを備えている。一対のピローブロック６０ａは、従動側回転軸６ａの軸方向に離間して固定されている（図８中、固定部分をハッチングで示す。）。従動側回転軸６ａは、一対のピローブロック６０ａにより、回転可能に支持されている。 The driven tire support portions 61a and 61b are disposed substantially parallel to the drive side tire support portions 51a and 51b, respectively. The driven tire support portions 61 a and 61 b are arranged in series along the axial direction of the rotating container 4. The driven side tire support 61a includes a pair of pillow blocks 60a and a driven side rotating shaft 6a. The pair of pillow blocks 60a are fixed apart from each other in the axial direction of the driven side rotation shaft 6a (the fixed portions are indicated by hatching in FIG. 8). The driven side rotation shaft 6a is rotatably supported by a pair of pillow blocks 60a.

従動側タイヤ支持部６１ｂは、一対のピローブロック６０ｂと従動側回転軸６ｂとを備えている。一対のピローブロック６０ｂは、従動側回転軸６ｂの軸方向に離間して固定されている（図８中、固定部分をハッチングで示す。）。従動側回転軸６ｂは、一対のピローブロック６０ｂにより、回転可能に支持されている。 The driven side tire support portion 61b includes a pair of pillow blocks 60b and a driven side rotating shaft 6b. The pair of pillow blocks 60b are fixed apart from each other in the axial direction of the driven side rotation shaft 6b (the fixed portions are indicated by hatching in FIG. 8). The driven side rotating shaft 6b is rotatably supported by a pair of pillow blocks 60b.

タイヤ部４３ａは、駆動側タイヤ支持部５１ａ、従動側タイヤ支持部６１ａにより支持されている。タイヤ部４３ｂは、駆動側タイヤ支持部５１ｂ、従動側タイヤ支持部６１ｂにより支持されている。また、分割体前端部３０ｄ１、分割体中間部３０ｄ２、分割体後端部３０ｄ３は、各々、アウター下分割体２０ｄの底面から立設された前端部固定部８０、中間部固定部８１、後端部固定部８２に固定されている。 The tire portion 43a is supported by a drive side tire support portion 51a and a driven side tire support portion 61a. The tire portion 43b is supported by a drive side tire support portion 51b and a driven side tire support portion 61b. The divided body front end portion 30d1, the divided body intermediate portion 30d2, and the divided body rear end portion 30d3 are respectively a front end fixing portion 80, an intermediate portion fixing portion 81, and a rear end that are erected from the bottom surface of the outer lower divided body 20d. It is fixed to the part fixing part 82.

同様に、前出分割体前端部３０ｕ１、分割体中間部３０ｕ２、分割体後端部３０ｕ３は、各々、アウター上分割体（図略）の上底面から下方に向かって立設された前端部固定部、中間部固定部、後端部固定部に固定されている。 Similarly, the front divided body front end portion 30u1, the divided body intermediate portion 30u2, and the divided body rear end portion 30u3 are each fixed to the front end portion that is erected downward from the upper bottom surface of the outer upper divided body (not shown). It is being fixed to the part, middle part fixed part, and rear end fixed part.

真空回転導入ポート２０８ａを貫通した駆動側回転軸５ａの一端は、駆動装置７ａのスプロケット７２ａに固定されている。真空回転導入ポート２０８ｂを貫通した駆動側回転軸５ｂの一端は、駆動装置７ｂのスプロケット７２ｂに固定されている。 One end of the drive side rotating shaft 5a penetrating the vacuum rotation introducing port 208a is fixed to the sprocket 72a of the drive device 7a. One end of the drive side rotating shaft 5b penetrating the vacuum rotation introducing port 208b is fixed to the sprocket 72b of the drive device 7b.

駆動側回転軸５ａ、５ｂおよび従動側回転軸６ａ、６ｂは、本発明の回転軸に含まれる。また、ピローブロック５０ａ、５０ｂおよびピローブロック６０ａ、６０ｂは、本発明の軸受に含まれる。 The driving side rotating shafts 5a and 5b and the driven side rotating shafts 6a and 6b are included in the rotating shaft of the present invention. The pillow blocks 50a and 50b and the pillow blocks 60a and 60b are included in the bearing of the present invention.

モーター（図略）を駆動させ、チェーン（図略）を介してスプロケット７２ａを回転させると、駆動側回転軸５ａが回転する。これにより、タイヤ部４３ａが回転する。タイヤ部４３ａの回転により、従動側回転軸６ａが回転する。同様に、スプロケット７２ｂを回転させると、駆動側回転軸５ｂが回転する。これにより、タイヤ部４３ｂが回転する。タイヤ部４３ｂの回転により、従動側回転軸６ｂが回転する。このようにして、回転容器４が回転する。 When the motor (not shown) is driven and the sprocket 72a is rotated via the chain (not shown), the drive side rotating shaft 5a is rotated. Thereby, the tire part 43a rotates. The driven side rotating shaft 6a rotates by the rotation of the tire portion 43a. Similarly, when the sprocket 72b is rotated, the drive side rotating shaft 5b is rotated. Thereby, the tire part 43b rotates. The driven side rotating shaft 6b rotates by the rotation of the tire portion 43b. In this way, the rotating container 4 rotates.

本実施形態の真空熱処理装置１は、第一実施形態の真空熱処理装置と同様の作用効果を有する。また、本実施形態の真空熱処理装置１によると、タイヤ部４３ａ、４３ｂのみが回転軸（駆動側回転軸５ａ、５ｂ、従動側回転軸６ａ、６ｂ）により支持されている。このため、各々の回転軸の軸長が短くて済む。したがって、回転軸は撓みにくい。また、タイヤ部４３ａ、４３ｂは、インナーシェル３から突出している。このため、回転軸と軸受（ピローブロック５０ａ、５０ｂ、６０ａ、６０ｂ）とを非加熱区間に配置することができる。したがって、回転軸および軸受は熱負荷を受けにくく、熱変形しにくい。 The vacuum heat treatment apparatus 1 of the present embodiment has the same operational effects as the vacuum heat treatment apparatus of the first embodiment. Further, according to the vacuum heat treatment apparatus 1 of the present embodiment, only the tire portions 43a and 43b are supported by the rotation shafts (drive-side rotation shafts 5a and 5b, driven-side rotation shafts 6a and 6b). For this reason, the axial length of each rotating shaft may be short. Therefore, the rotating shaft is not easily bent. Further, the tire portions 43 a and 43 b protrude from the inner shell 3. For this reason, a rotating shaft and a bearing (Pillow block 50a, 50b, 60a, 60b) can be arrange | positioned in a non-heating area. Therefore, the rotating shaft and the bearing are not easily subjected to a thermal load and are not easily thermally deformed.

＜その他＞
以上、本発明の真空熱処理装置の実施の形態について説明した。しかしながら、実施の形態は上記形態に特に限定されるものではない。当業者が行いうる種々の変形的形態、改良的形態で実施することも可能である。 <Others>
The embodiment of the vacuum heat treatment apparatus of the present invention has been described above. However, the embodiment is not particularly limited to the above embodiment. Various modifications and improvements that can be made by those skilled in the art are also possible.

例えば、上記実施形態では、真空熱処理装置１をアウターシェル２とインナーシェル３とを備えて構成した。しかしながら、真空熱処理装置１の構成は、上記実施形態に限定されるものではない。また、回転容器４を回転させるための駆動部７、７ａ、７ｂの動力伝達機構も、上記実施形態に限定されるものではない。例えば、ギア伝達機構、ベルト伝達機構などであってもよい。また、軸受５０、５０ａ、５０ｂ、６０、６０ａ、６０ｂの種類、材質も特に限定しない。例えば、ローラー軸受、玉軸受、滑り軸受などであってもよい。 For example, in the above embodiment, the vacuum heat treatment apparatus 1 is configured to include the outer shell 2 and the inner shell 3. However, the configuration of the vacuum heat treatment apparatus 1 is not limited to the above embodiment. Further, the power transmission mechanism of the drive units 7, 7a, 7b for rotating the rotating container 4 is not limited to the above embodiment. For example, a gear transmission mechanism, a belt transmission mechanism, or the like may be used. Further, the types and materials of the bearings 50, 50a, 50b, 60, 60a, 60b are not particularly limited. For example, a roller bearing, a ball bearing, or a sliding bearing may be used.

また、回転容器４は、真空中、すなわち大気圧未満の雰囲気に配置されていれば、その真空度は特に限定されるものではない。例えば、回転容器４を１０００Ｐａ以下、より好適には１０Ｐａ以下の真空中に配置するとよい。また、圧力以外の脱ガス処理の条件（加熱温度、処理時間等）も、上記実施形態に限定されるものではない。脱ガス処理の条件は、被処理物Ｐの種類、量、粒径等に応じて、適宜決定すればよい。また、収容室４２の軸直方向断面形状も特に限定しない。円形は勿論、三角形、四角形、六角形などの多角形状であってもよい。 In addition, the degree of vacuum is not particularly limited as long as the rotating container 4 is disposed in a vacuum, that is, in an atmosphere of less than atmospheric pressure. For example, the rotating container 4 may be disposed in a vacuum of 1000 Pa or less, more preferably 10 Pa or less. Further, the degassing conditions (heating temperature, processing time, etc.) other than the pressure are not limited to the above embodiment. What is necessary is just to determine the conditions of a degassing process suitably according to the kind, quantity, particle size, etc. of the to-be-processed object P. Further, the axial cross-sectional shape of the storage chamber 42 is not particularly limited. The shape may be a polygon, such as a triangle, a quadrangle, or a hexagon, as well as a circle.

第一実施形態の真空熱処理装置の斜視合体図である。It is a perspective combined view of the vacuum heat treatment apparatus of the first embodiment. 同真空熱処理装置の斜視分解図である。It is a perspective exploded view of the same vacuum heat treatment apparatus. 図１のＩＩＩ−ＩＩＩ方向断面図である。It is the III-III direction sectional drawing of FIG. 第一実施形態の真空熱処理装置の駆動側回転軸および従動側回転軸付近の水平方向断面図である。It is a horizontal direction sectional view near the drive side rotating shaft and the driven side rotating shaft of the vacuum heat treatment apparatus of the first embodiment. 同真空熱処理装置の駆動装置付近の部分斜視図である。It is a fragmentary perspective view near the drive device of the vacuum heat treatment apparatus. 第二実施形態の真空熱処理装置の駆動側回転軸および従動側回転軸付近の水平方向断面図である。It is horizontal direction sectional drawing of the drive side rotating shaft and driven side rotating shaft vicinity of the vacuum heat processing apparatus of 2nd embodiment. 同真空熱処理装置の駆動装置付近の部分斜視図である。It is a fragmentary perspective view near the drive device of the vacuum heat treatment apparatus. 第三実施形態の真空熱処理装置の斜視分解図である。It is a perspective exploded view of the vacuum heat processing apparatus of 3rd embodiment. 同真空熱処理装置の駆動装置付近の部分斜視図である。It is a fragmentary perspective view near the drive device of the vacuum heat treatment apparatus. 従来のロータリーキルンの軸方向断面図である。It is an axial sectional view of a conventional rotary kiln.

符号の説明Explanation of symbols

１：真空熱処理装置
２：アウターシェル
２０ｕ：アウター上分割体２００ｕ：温度測定ポート２０１ｕ：ケーブル
２０２ｕ：真空計ポート２０３ｕ：真空計
２０４ｕ、２０５ｕ：電気ヒーター導入ポート２０６ｕ、２０７ｕ：ケーブル
２０ｄ：アウター下分割体２００ｄ：温度測定ポート２０１ｄ：ケーブル
２０２ｄ：真空引きポート２０４ｄ、２０５ｄ：電気ヒーター導入ポート
２０６ｄ、２０７ｄ：ケーブル２０８、２０８ａ、２０８ｂ：真空回転導入ポート
２０９ｄ：Ａｒ導入ポート
２１：真空室２１０ｄ：バルブ
３：インナーシェル
３０ｕ：インナー上分割体３０ｕａ、３０ｕｂ：タイヤ用溝
３０ｕ１：分割体前端部３０ｕ２：分割体中間部３０ｕ３：分割体後端部
３００ｕ：シェル本体上分割体（シェル本体）
３０１ｕ：電気ヒーター上分割体（加熱部）３０２ｕ：凹部
３０３ｕ：パンチングメタル３０４ｕ：電熱線
３０ｄ：インナー下分割体３０ｄａ、３０ｄｂ：タイヤ用溝
３０ｄ１：分割体前端部３０ｄ２：分割体中間部３０ｄ３：分割体後端部
３００ｄ：シェル本体下分割体（シェル本体）
３０１ｄ：電気ヒーター下分割体（加熱部）３０２ｄ：凹部
３０３ｄ：パンチングメタル
３１：熱処理室
４：回転容器４０：供給口４１：排出口４２：収容室４３ａ、４３ｂ：タイヤ部
５、５ａ、５ｂ：駆動側回転軸（回転軸）
５０、５０ａ、５０ｂ：ピローブロック（軸受）５１ａ、５１ｂ：駆動側タイヤ支持部
６、６ａ、６ｂ：従動側回転軸（回転軸）６１ａ、６１ｂ：従動側タイヤ支持部
６０、６０ａ、６０ｂ：ピローブロック（軸受）
７、７ａ、７ｂ：駆動装置（駆動部）
７０：フレーム７１：外部ピローブロック７２、７２ａ、７２ｂ：スプロケット
７２０：スプロケット回転軸
７３：振動発生部７３０：第一ギア７３１：第二ギア
８０：前端部固定部８１：中間部固定部８２：後端部固定部
Ｐ被処理物 1: Vacuum heat treatment apparatus 2: Outer shell 20u: Upper outer divided body 200u: Temperature measurement port 201u: Cable 202u: Vacuum gauge port 203u: Vacuum gauge 204u, 205u: Electric heater introduction port 206u, 207u: Cable 20d: Lower outer division Body 200d: Temperature measurement port 201d: Cable 202d: Vacuum suction port 204d, 205d: Electric heater introduction port 206d, 207d: Cable 208, 208a, 208b: Vacuum rotation introduction port 209d: Ar introduction port 21: Vacuum chamber 210d: Valve 3 : Inner shell 30u: inner upper divided body 30ua, 30ub: tire groove 30u1: divided body front end 30u2: divided body intermediate part 30u3: divided body rear end 300u: upper divided body (shell body)
301u: Electric heater upper divided body (heating part) 302u: Recessed part
303u: punching metal 304u: heating wire 30d: inner lower divided body 30da, 30db: tire groove 30d1: divided body front end portion 30d2: divided body intermediate portion 30d3: divided body rear end portion 300d: shell main body lower divided body (shell main body) )
301d: Lower division body of electric heater (heating unit) 302d: Recessed portion 303d: Punching metal 31: Heat treatment chamber 4: Rotating container 40: Supply port 41: Discharge port 42: Storage chamber 43a, 43b: Tire portions 5, 5a, 5b: Drive side rotating shaft (rotating shaft)
50, 50a, 50b: Pillow blocks (bearings) 51a, 51b: Drive side tire support portions 6, 6a, 6b: Drive side rotation shafts (rotation shafts) 61a, 61b: Drive side tire support portions 60, 60a, 60b: Pillows Block (bearing)
7, 7a, 7b: Drive device (drive unit)
70: Frame 71: External pillow block 72, 72a, 72b: Sprocket 720: Sprocket rotating shaft 73: Vibration generating portion 730: First gear 731: Second gear 80: Front end fixing portion 81: Intermediate portion fixing portion 82: Rear End fixing part P

Claims

真空中に配置されると共にガスを吸収した被処理物が収容される収容室を持つ回転容器を備え、該被処理物を加熱することにより該被処理物の脱ガス処理を行う真空熱処理装置。 A vacuum heat treatment apparatus that includes a rotating container having a storage chamber that is disposed in a vacuum and that stores an object to be processed that has absorbed gas, and performs degassing of the object to be processed by heating the object to be processed.

さらに、通気性を有し、内部に前記回転容器の少なくとも前記収容室が収容される熱処理室を区画するインナーシェルと、
内部に該インナーシェルが収容される真空室を区画するアウターシェルと、
を備える請求項１に記載の真空熱処理装置。 Furthermore, the inner shell which has air permeability and divides a heat treatment chamber in which at least the storage chamber of the rotating container is stored,
An outer shell that defines a vacuum chamber in which the inner shell is housed;
A vacuum heat treatment apparatus according to claim 1.

前記インナーシェルは、断熱材からなるシェル本体と、該シェル本体の内面に配置され前記熱処理室に表出する加熱部と、を備える請求項２に記載の真空熱処理装置。 The vacuum heat treatment apparatus according to claim 2, wherein the inner shell includes a shell main body made of a heat insulating material, and a heating unit that is disposed on an inner surface of the shell main body and is exposed to the heat treatment chamber.

前記インナーシェルおよび前記アウターシェルは、前記熱処理室が表出するように、上下方向に分割可能であり、
前記回転容器は、該インナーシェルおよび該アウターシェルが分割されている際に、前記熱処理室に出し入れされる請求項２に記載の真空熱処理装置。 The inner shell and the outer shell can be divided in the vertical direction so that the heat treatment chamber is exposed,
3. The vacuum heat treatment apparatus according to claim 2, wherein the rotating container is taken in and out of the heat treatment chamber when the inner shell and the outer shell are divided.

さらに、前記回転容器を回転させる回転軸と、
該回転軸を回転可能に支持すると共に前記真空室内であって前記熱処理室でない区間に配置される軸受と、
を備える請求項２に記載の真空熱処理装置。 A rotating shaft for rotating the rotating container;
A bearing that rotatably supports the rotating shaft and is disposed in a section in the vacuum chamber and not the heat treatment chamber;
A vacuum heat treatment apparatus according to claim 2.

前記回転軸は、二本、略平行に並置されており、
前記回転容器は、二本の該回転軸上に載置されており、
さらに、前記アウターシェルの外部に配置され、二本の該回転軸のうちいずれか一方に駆動力を伝達する駆動部を備える請求項５に記載の真空熱処理装置。 The two rotation axes are juxtaposed substantially in parallel,
The rotating container is mounted on two rotating shafts,
Furthermore, the vacuum heat processing apparatus of Claim 5 provided with the drive part which is arrange | positioned outside the said outer shell and transmits a driving force to either one of these two rotating shafts.

さらに、前記回転軸を振動させると共に前記真空室内であって前記熱処理室でない区間に配置される振動発生部を備える請求項５に記載の真空熱処理装置。 The vacuum heat treatment apparatus according to claim 5, further comprising a vibration generating unit that vibrates the rotating shaft and is disposed in a section of the vacuum chamber that is not the heat treatment chamber.

前記回転容器は、外周面に複数のタイヤ部を備え、
複数の該タイヤ部は、各々、複数の前記回転軸上に載置されている請求項５に記載の真空熱処理装置。 The rotating container includes a plurality of tire portions on an outer peripheral surface,
The vacuum heat treatment apparatus according to claim 5, wherein the plurality of tire portions are respectively mounted on the plurality of rotating shafts.