JP2008023637A - Transfer system - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、Ｘ軸方向にスライダを移動する一対のＸ軸リニアモータを平行配置し、一対のＸ軸リニアモータのスライダ間に橋渡ししたブリッジ部材にＹ軸リニアモータを設けＹ軸リニアモータのスライダに搭載したツールを用いて加工対象となるワークに対して所定の処理をするワーク加工装置を有する移送システムに関するものである。 In the present invention, a pair of X-axis linear motors that move a slider in the X-axis direction are arranged in parallel, and a Y-axis linear motor is provided on a bridge member that is bridged between the sliders of the pair of X-axis linear motors. The present invention relates to a transfer system having a workpiece machining apparatus that performs a predetermined process on a workpiece to be machined using a tool mounted on the machine.
リニアモータおよびワークの移送システムに関連する先行技術文献としては次のようなものがある。 Prior art documents related to a linear motor and a workpiece transfer system include the following.
以下、特開２００６−０８２１４８号公報に付いて説明する。
図１０は、一対のＸ軸リニアモータを所定距離を隔てて平行に配置し、各Ｘ軸リニアモータのスライダ間をブリッジ部材で橋渡しし、このブリッジ部材上にＹ軸リニアモータを設けたワーク加工装置の外観斜視図である。
Hereinafter, a description will be given of JP-A-2006-082148.
FIG. 10 shows a workpiece processing in which a pair of X-axis linear motors are arranged in parallel at a predetermined distance, the sliders of each X-axis linear motor are bridged by a bridge member, and a Y-axis linear motor is provided on the bridge member. It is an external appearance perspective view of an apparatus.
１はワーク加工装置の筐体であり、上面のＸ軸方向の両端部にＸ軸方向に平行配置した突出部１ａ及び１ｂが形成されて断面が凹状とされ、この凹部１ｃ上面に加工対象となるワーク２が所定位置にセットされる。
３１は突出部１ａの上面にステータが設置されたＸ１軸リニアモータ、３２は突出部１ｂの上面にステータが設置されたＸ２軸リニアモータである。
４１及び４２は、これらリニアモータのステータ上をＸ軸方向に走行するスライダである。
Reference numerals 41 and 42 denote sliders that run in the X-axis direction on the stators of these linear motors.
５はブリッジ部材であり、スライダ４１及び４２間に橋渡しし、Ｘ軸に直交するＹ軸方向に平行に配置される。６はブリッジ部材の上面にステータが配置されたＹ軸リニアモータであり、７はこのステータ６上をＹ軸方向に走行するスライダである。
Ｙ軸リニアモータのスライダ７にワーク２に対して所定の処理（液晶、半導体、電子部品等の製作、検査）を実行するためのツール（図示せず）が搭載され、このワーク加工装置はツールのワーク２に対するＸＹ位置決め制御を行う。
A tool (not shown) for executing predetermined processing (production, inspection of liquid crystal, semiconductor, electronic parts, etc.) on the
しかしながら、上述のワーク加工装置では次のような問題点がある。
（１）ワークをステージ内外に搬入搬出するローダ及びアンローダ並びに搬送装置が位置決めステージ間に専用装置として別途必要であり、連結されるワーク加工装置の数が多くなるとこれら専用装置の占めるスペースのために設置可能なワーク加工装置の数に制約を生じ、スペース効率が低下する。
However, the above-described workpiece machining apparatus has the following problems.
(1) A loader, an unloader, and a transfer device for loading and unloading the workpiece into and out of the stage are separately required as dedicated devices between the positioning stages, and the space occupied by these dedicated devices increases when the number of workpiece processing devices to be connected increases. The number of work processing devices that can be installed is limited, and space efficiency is reduced.
（２）また、専用装置の数が増加すると、ワーク加工装置以外の付帯コストが増加し、移送システムを構築するためのコスト低減の障害要因となる。 (2) Further, when the number of dedicated devices increases, incidental costs other than the work processing device increase, which becomes an obstacle factor for cost reduction for constructing the transfer system.
図１１はスペース効率とコスト低減を図った移送システムを示すもので上述の［特許文献３］の特開２００６−０８２１４８号公報に記載されたものである。
図１１において、１０１、１０２、１０３はＸ軸方向に３個連結された同一構造のワーク加工装置である。ワーク加工装置１０１にセットされたワーク２は、このステージでの加工が終了すると矢印Ｐで示すようにＸ軸方向に移送され、ワーク加工装置１０２に２’で示す位置にセットされてこのステージでの加工が実行される。
FIG. 11 shows a transfer system that achieves space efficiency and cost reduction, and is described in Japanese Patent Laid-Open No. 2006-082148 of the above-mentioned [Patent Document 3].
In FIG. 11,
更に、このステージでの加工が終了すると矢印Ｐ’で示すようにＸ軸方向に移送され、ワーク加工装置１０３に２”で示す位置にセットされてこのステージでの加工が実行され、次に、矢印Ｐ”方向に移送される。
Further, when machining at this stage is completed, it is transferred in the X-axis direction as indicated by an arrow P ′, set at a position indicated by 2 ″ in the
ワーク加工装置１０１とワーク加工装置１０２とが結合するインターフェース部２０１及びワーク加工装置１０２とワーク加工装置１０３とが結合するインターフェース部２０２は、ワーク加工装置１０３の凹部１０３ｃと同一の凹部形状を有する共通のメカニカルインターフェース構造になっており、任意個数のワーク加工装置を共通のインターフェースで連結結合することが可能となっている。
The interface unit 201 in which the workpiece machining apparatus 101 and the workpiece machining apparatus 102 are coupled and the interface unit 202 in which the workpiece machining apparatus 102 and the
図１２は、図１１におけるインターフェース部２０１及びインターフェース部２０２においてワーク加工装置の筐体内部に形成される移送手段３０１及び３０２の配置を示す平面図である。
移送手段は、上流側のワーク加工装置にセットされたワークにアクセスして移送し、これを下流側のワーク加工装置の所定位置に移送するアクチュエータ機能を備えた手段で実現される。
FIG. 12 is a plan view showing the arrangement of the transfer means 301 and 302 formed in the housing of the workpiece processing apparatus in the interface unit 201 and the interface unit 202 in FIG.
The transfer means is realized by means having an actuator function for accessing and transferring a workpiece set in the upstream workpiece machining apparatus and transferring it to a predetermined position of the downstream workpiece machining apparatus.
図１３は、移送手段の構成例を示す斜視図である。平行レール６０１，６０２上を走行するスライダ７００にアクチュエータ８００が搭載され、このアクチュエータで伸縮駆動される操作アーム９０１，９０２により、ワークを乗せて移送させる。
図１４は、操作アーム９０１，９０２が伸ばされた状態を示す斜視図である。
FIG. 13 is a perspective view showing a configuration example of the transfer means. An
FIG. 14 is a perspective view showing a state where the
次に、吸着盤６０が使用された、２００６年４月１４日出願の先願に関わる出願番号２００６−１１２３７３号のワーク加工装置に付いて説明する。
図１５はワーク加工装置の一実施形態を示す平面図（ａ），正面図（ｂ），側面図（ｃ）である。なお、図１０で説明した従来例と同一要素には同一符号を付している。
Next, the workpiece machining apparatus of application number 2006-112373 related to the prior application filed on April 14, 2006, in which the
FIG. 15: is the top view (a), front view (b), and side view (c) which show one Embodiment of a workpiece | work processing apparatus. In addition, the same code | symbol is attached | subjected to the same element as the prior art example demonstrated in FIG.
図１５において、ワーク２は透明体として表示している。このワーク２は吸着盤６０の所定の箇所に配置されている。３０は処理手段であり、ブリッジ部材５に沿ってＹ軸方向に往復移動する。
In FIG. 15, the
５０はチューブで、このチューブの一端が吸着盤６０の裏面に装着されており、他端は図示しない真空・加圧ポンプに接続されている。
７０は筐体１に取付けられたワーク搬送手段であり、図示の例では矩形状のワーク２の長手方向の端部付近の対向する側面に４個設けられている。
Reference numeral 70 denotes workpiece transfer means attached to the
このワーク搬送手段７０はワーク処理中はワーク２からわずかに離れた位置に配置されており、矢印Ａ方向（ｃ図参照）に往復移動する。
図１５はワーク加工装置での加工処理が終了し、ブリッジ部材５が上流側に移動し、吸着盤６０による吸着状態が解除され、チューブ５０から圧縮気体が送風されてワークがＺ方向に記号Ｋで示す距離（例えば０．５ｍｍ）浮上するとともに、ワーク搬送手段７０ａ，７０ａ’，７０ｂ，７０ｂ’の先端部が矢印Ａ方向に伸長してワークの側面を支持した状態を示している。
The workpiece conveying means 70 is disposed at a position slightly away from the
In FIG. 15, the processing by the work processing apparatus is completed, the
図１６はワーク搬送手段７０がワーク２を支持した状態で矢印Ｇ方向に移動し、２台並べたワーク加工装置の下流側の装置へワーク２を移動させている状態を示すものである。
この場合、ワーク搬送手段７０自身がリニアモータにより単独で又はワーク搬送手段７０ａ，７０ａ’およびワーク搬送手段７０ｂ，７０ｂ’が一対となって移動する。
FIG. 16 shows a state in which the workpiece transfer means 70 moves in the direction of the arrow G while supporting the
In this case, the workpiece transfer means 70 itself moves alone by the linear motor or the workpiece transfer means 70a, 70a ′ and the workpiece transfer means 70b, 70b ′ move as a pair.
下流側のワーク搬送手段７０ｃ，７０ｃ’，７０ｄ，７０ｄ’はワーク２が自身の前に来た段階でワーク２の側面に向かって先端部を伸長させ、ワークを支持して所定の位置に移動させる。
なお、ワーク２が移動している状態ではブリッジ部材５はそれぞれのワーク加工装置の上流側（図示の位置）に待機している。
The downstream workpiece transfer means 70c, 70c ′, 70d, and 70d ′ extend the tip portion toward the side surface of the
In the state where the
図１７はワーク２が下流側のワーク加工装置の所定の位置に移動し、ワーク搬送手段７０がワークの側面から離れるとともに吸引が開始されてワーク２が吸着盤６０に固定された状態を示している。
また、この例では上流側のワーク加工装置の所定の位置に新たなワークが固定され、ブリッジ部材５に搭載された処理手段３０によりワーク２のそれぞれに対して加工が施されている状態を示している。
FIG. 17 shows a state in which the
Further, in this example, a state is shown in which a new workpiece is fixed at a predetermined position of the upstream workpiece processing apparatus, and each
図１８は上述のワーク搬送手段７０にストッパ７３を設けた例を示すものである。
ワークへの加工処理が終了すると、ワーク搬送手段を構成する伸長部材７０ｘがワークの端部上方ヘ矢印Ｂ方向に移動する。
次にワークの吸引が解除され矢印Ｚ方向からの圧縮気体の噴射によりワーク２が浮上する。
FIG. 18 shows an example in which a stopper 73 is provided on the above-described work conveying means 70.
When the processing of the workpiece is completed, the extending member 70x constituting the workpiece transfer means moves in the direction of arrow B toward the upper end of the workpiece.
Next, the suction of the workpiece is released, and the
浮上したワークはストッパ７３で浮上が阻止される。
次に伸長手段７０ｘが矢印Ｅ方向に移動してワーク２を支持し、支持した状態でストッパ７３がわずかに上方に移動してワークとは非接触の状態となる。
次にワーク搬送手段７０がＸ方向に移動してワークを移動させる。
The floated work is prevented from floating by the stopper 73.
Next, the extending means 70x moves in the direction of arrow E to support the
Next, the work conveying means 70 moves in the X direction to move the work.
図１９はワーク搬送手段の他の実施例を示す要部平面図（ａ）、正面図（ｂ）及び側面図（ｂ）である。
この例では回転部材７２を有するワーク搬送手段７１自身が筐体１に固定されており、ワークは回転部材７２に支持され、回転部材７２の回転により搬送される。
FIG. 19 is a main part plan view (a), a front view (b) and a side view (b) showing another embodiment of the work conveying means.
In this example, the work conveying means 71 itself having the rotating member 72 is fixed to the
図１９ではワーク加工装置での加工処理が終了し、ブリッジ部材５が上流側に移動し、吸着盤６０による吸着状態が解除され、ワーク搬送手段７０のチューブ５０から圧縮気体が送風されてワーク２が矢印Ｚ方向にＫで示す距離だけ浮上してストッパ７３に当接した状態を示している。
In FIG. 19, the processing by the workpiece processing apparatus is completed, the
図２０はワーク搬送手段７１の部分詳細説明図である。この状態では回転部材７２とワーク２は非接触の状態になっている。
次にストッパ７３がわずかに上方に移動してワーク２と非接触の状態となり、ワーク搬送手段７１が矢印Ｅ方向に移動してワーク２の側面に接触する。
そして接触した状態で回転部材７２が矢印Ｃ方向に回転することによりワーク２が矢印Ｄ方向に移動可能となる。
FIG. 20 is a partial detailed explanatory view of the work conveying means 71. In this state, the rotating member 72 and the
Next, the stopper 73 moves slightly upward to be in a non-contact state with the
Then, the rotating member 72 rotates in the arrow C direction in the contact state, so that the
図２１はこのようなワーク加工装置を複数台（図示の例では２台）直列方向に並べた状態を示しており、回転部材７２が回転し、ワーク２を矢印Ｇ方向に移送している途中の状態を示している。ワーク２は移送前の状態では搬送手段７１ａ，７１ａ’，７１ｂ，７１ｂ’の回転部材７２（図１９参照）で支持されているが、移送の途中では７１ｂ，７１ｂ’，７１ｃ，７１ｃ’で支持された状態となる。
FIG. 21 shows a state in which a plurality of such workpiece processing devices (two in the illustrated example) are arranged in series, and the rotating member 72 rotates and the
図２２は移送が終了し先に図１９で説明した逆の操作が行われワーク２を吸着盤６０上に載置した状態を示している。
即ち、図１９に示すストッパ７３をワーク２に接触させ、回転部材７２をワーク２の側面から離間させ、圧縮気体の圧力を下げて吸着盤６０上に載置して吸着し固定する。
これらワーク搬送部材の動作は図示しない制御装置により制御される。
また、ワーク２のＸＹ方向の正確な位置決めは別の手段により行うものとする。
FIG. 22 shows a state in which the
That is, the stopper 73 shown in FIG. 19 is brought into contact with the
The operations of these workpiece conveying members are controlled by a control device (not shown).
In addition, accurate positioning of the
次に、アーム部材８７，８８が使用された、２００５年１０月７日出願の先願に関わる出願番号２００５−２９４５４３号のワーク加工装置に付いて説明する。
Next, a work processing apparatus of application number 2005-294543 related to the prior application filed on October 7, 2005, in which the
図２３は本発明を適用したワーク加工装置の一実施形態を示す外観斜視図である。図１０、図１１と同一要素には同一符号を付して説明を省略する。以下、本発明の特徴部につき説明する。 FIG. 23 is an external perspective view showing an embodiment of a workpiece machining apparatus to which the present invention is applied. The same elements as those in FIGS. 10 and 11 are denoted by the same reference numerals, and description thereof is omitted. Hereinafter, the characteristic part of the present invention will be described.
本発明は、ワークを支持してＸ軸方向に移動し、ステージの外に対してワークの受け渡しを行うワーク搬送手段を、ワーク加工装置自身に備える構成を特徴としている。
図２３により、ワーク搬送手段の構成を説明する。
The present invention is characterized in that the workpiece machining apparatus itself includes workpiece conveying means that supports the workpiece and moves in the X-axis direction and delivers the workpiece to the outside of the stage.
With reference to FIG. 23, the configuration of the workpiece transfer means will be described.
本発明が適用されるワーク搬送手段の基本構成は、一対のＸ軸リニアモータ３１，３２に沿ってＸ軸方向に移動する一対の搬送スライダ部材８１，８２と、この搬送スライダ部材間に橋渡しした搬送ブリッジ部材８３と、この搬送ブリッジ部材に取り付けられてワークの下面を支持するアーム部材８７，８８よりなる。
The basic configuration of the workpiece transfer means to which the present invention is applied is a bridge between the pair of transfer slider members 81 and 82 that move in the X-axis direction along the pair of X-axis
一対の搬送スライダ部材８１，８２は、スライダ４１，４２と共通に、一対のＸ軸リニアモータ３１，３２上をＸ軸方向に移動操作される。
これら一対の搬送スライダ部材８１，８２間を橋渡しして、搬送ブリッジ部材８３が配置されている。
The pair of transport slider members 81 and 82 are operated to move in the X-axis direction on the pair of X-axis
A
８４はＹ軸リニアモータであり、搬送ブリッジ部材８３上にＹ軸方向に配置されている。 このＹ軸リニアモータ８４は、ブリッジ部材５に配置されたＹ軸リニアモータ５と同一構造とすることができる。
８５，８６は一対のスライダであり、Ｙ軸リニアモータ８４上を夫々が独立してＹ軸方向に移動操作される。
これらスライダも、Ｙ軸リニアモータ５上に配置されたスライダ７と同一構造とすることができる。
These sliders can also have the same structure as the
８７，８８は一対のアーム部材であり、リフトアップされたワーク２の下面を支持して凹部１ｃの面に平行にＸ軸方向に伸び、ステージ外にワーク２を搬出又はステージ外よりワーク２を搬入する。
これら一対のアーム部材８７，８８は、連結部材８７ａ，８８ａにより、一対のスライダ８５，８６に結合され、これら一対のスライダ８５，８６により、夫々が独立してＹ軸方向に移動操作される。
The pair of
これら一対のアーム部材８７，８８は、ワーク２の加工処理中は待機状態とされ、ワークの加工処理位置外のＹ軸方向にシフト配置され、搬送ブリッジ部材８３もステージのＸ軸方向の上流側端部にシフト配置され、ワーク２の加工処理の障害とならない位置にセットされる。
The pair of
これら一対のアーム部材８７，８８は、ワーク２の搬出・搬入時には、Ｚ軸方向にリフトアップされたワーク２の下面に生じた空隙をＹ軸方向に移動操作され、ワーク２を下面から支持した状態でＸ軸方向に移動操作される形態となる。
The pair of
図２４乃至図２６は、ワーク加工用のブリッジ６及びワーク移送用の搬送ブリッジ部材８３の移動を説明する平面図である。図２４はワーク加工前の待機状態を示す平面図、図２５はワーク加工中の状態を示す平面図、図２６はワーク移送中の状態を示す平面図である。
24 to 26 are plan views for explaining the movement of the
図２４に示す待機状態において、搬送ブリッジ部材８３は、ステージの上流側端部にシフト配置されている。
８９は吸着盤であり、凹部１ｃ面上にワーク２（図示せず）の形状に合わせてＺ軸方向に所定の高さもって形成されている。ワーク２は、この吸着盤８９の上面に真空吸着手段（図示せず）により吸着固定されて加工処理される。
In the standby state shown in FIG. 24, the
９０は、吸着盤８９の下面側空間に複数個配置されたリフトピン手段であり、吸着盤の上面に形成された孔よりＺ軸方向にピンを突出させ、ワーク２をＺ軸方向にリフトアップ又はリフトダウン操作する。
複数個のリフトピン手段９０は、Ｘ軸方向及びＹ軸方向に所定の間隔で格子状に配列されている。
Ｘ軸方向の一対の列９０Ａ及び９０Ａ´は、Ｙ軸方向で一番外側の列Ａ及び列Ａ´である。
Ｘ軸方向の一対の列９０Ｂ及び９０Ｂ´は、列Ａ及びＡ´の内側の列Ｂ及び列Ｂ´である。列の数は任意である。
The plurality of lift pin means 90 are arranged in a grid at predetermined intervals in the X-axis direction and the Y-axis direction.
The pair of
The pair of
図２５に示すワーク加工中の状態では、ブリッジ部材５がＸ軸方向に吸着盤８９に固定されたワーク２（図示せず）上を移動操作され、所定の加工処理を実行する。
加工期間中は、搬送ブリッジ手段８３は、図２４の待機位置を維持している。
In the state during the workpiece machining shown in FIG. 25, the
During the processing period, the transport bridge means 83 maintains the standby position shown in FIG.
図２６に示すワーク搬送中の状態では、加工処理が終了したブリッジ部材６は、ステージのＸ軸方向最下流位置まで移動してその位置で停止される（図示の状態）。
加工処理が終了すると、ワーク２はリフトピン手段９０によってＺ軸方向にリフトアップされる。
In the state in which the workpiece is being conveyed shown in FIG. 26, the
When the processing is completed, the
待機状態ではワークの加工処理位置外にＹ軸方向端部に配置されていたアーム部材８７，８８は、リフトアップにより生じたワーク２と吸着盤８９の空隙をＹ軸方向中心部に向かって所定位置まで移動操作される。
In the standby state, the
アーム部材の移動操作が終了すると、ワーク２はリフトピン手段９０によってリフトダウンされ、アーム部材８７，８８上に搭載される。搭載が完了すると、搬送ブリッジ手段８３がＸ軸方向（矢印Ｐ）に下流側に移動操作され、ワーク２はアーム部材８７，８８上に搭載された状態で図示のようにステージ外に搬出され、次工程の装置に渡される。
When the arm member moving operation is completed, the
図２７乃至図２９は、リフトピン手段９０によるワーク２のリフトアップ及びリフトダウン並びにアーム部材８７，８８の移動操作の遷移を説明するイメージ図である。
簡単のため、Ａ列とＢ列のリフトピン各１個及びアーム部材８７の部分を図示している。
FIGS. 27 to 29 are image diagrams for explaining the transition of the lift-up and lift-down of the
For the sake of simplicity, each of the lift pins in the A row and the B row and the portion of the
図２７（Ａ）乃至図２７（Ｊ）は、アーム部材８７，８８が待機状態にある初期位置からワーク２を支持するまでの遷移を示している。
図２７（Ａ）の初期位置では、ワーク２は吸着盤８９上に吸着保持されている。
FIGS. 27A to 27J show the transition from the initial position where the
In the initial position of FIG. 27A, the
吸着盤８９の下面空間に設置されたリフトピン手段は、Ｚ軸方向に延びるピン９１とピン操作部９２よりなり、この初期位置ではピン９１は最下部まで引き込まれた状態である。
アーム部材８７（８８も同じ、以下同様）は、ワーク２の加工処理位置よりＹ軸方向に外れた位置にある。
The lift pin means installed in the lower surface space of the
The arm member 87 (same for 88, the same applies hereinafter) is located at a position deviating from the processing position of the
図２７（Ｂ）では、リフトピン手段９０の全ピンがＺ軸方向に伸ばされ、吸着が解除されたワーク２を吸着盤８９の面からＺ軸方向にリフトアップする。
図２７（Ｃ）ではＡ列のピンのみが初期位置に引き込まれるので、アーム部材８７のＢ列までの移動スペースが出現する。
In FIG. 27B, all the pins of the lift pin means 90 are extended in the Z-axis direction, and the
In FIG. 27C, only the pins in the A row are drawn to the initial position, so that a movement space to the B row of the
図２７（Ｄ）では、アーム部材８７がＢ列の手前までＹ軸方向に移動操作される。
図２７（Ｅ）では、引き込まれていたＡ列のピンがワーク２の下面まで伸ばされる。
図２７（Ｆ）では、Ｂ列のピンのみが初期位置に引き込まれるので、アーム部材８７のＣ列（図示せず）までの移動スペースが出現する。
In FIG. 27D, the
In FIG. 27E, the pins in the A row that have been drawn are extended to the lower surface of the
In FIG. 27F, only the pins in the B row are drawn to the initial position, so that a movement space of the
図２７（Ｇ）では、アーム部材８７がＣ列の手前までＹ軸方向に移動操作される。
図２７（Ｈ）では、引き込まれていたＢ列のピンがワーク２の下面まで伸ばされる。
図２７（Ｉ）は、以上の動作の繰り返しを表記しており、この操作によりアーム部材８７を目的のＹ軸方向位置まで順次移動操作する。
In FIG. 27G, the
In FIG. 27 (H), the pins in the B row that have been pulled in are extended to the lower surface of the
FIG. 27 (I) shows the repetition of the above operation, and this operation sequentially moves the
図２７（Ｊ）では、アーム部材８７の移動操作が終了し、リフトピン手段９０の全ピンが初期位置に引き込まれた状態を示しており、ワーク２は移動操作されたアーム部材８７に支持された状態となる
この状態で搬送ブリッジ部材８３がＸ軸方向に移動操作されて、アーム部材８７に支持されたワーク２をステージ外に搬出する。
FIG. 27 (J) shows a state in which the movement operation of the
図２８（Ａ）乃至図２８（Ｊ）は、リフトアップしたワーク２を吸着盤８９上にリフトダウンさせ、アーム部材８７を待機位置に移動させる遷移を示している。
図２８（Ａ）の初期位置では、リフトピン手段９０の全ピンが初期位置に引き込まれた状態でワーク２はアーム部材８７で支持されている。
FIGS. 28A to 28J show a transition in which the lifted
28A, the
図２８（Ｂ）では、リフトピン手段９０の全ピンがＺ軸方向に伸ばされてワーク２をアーム部材８７の支持面から更にＺ軸方向にリフトアップする。
図２８（Ｃ）ではＢ列のピンのみが初期位置に引き込まれるので、アーム部材８７のＡ列までの移動スペースが出現する。
In FIG. 28B, all the pins of the lift pin means 90 are extended in the Z-axis direction, and the
In FIG. 28C, only the pins in the B row are pulled to the initial position, so that a movement space to the A row of the
図２８（Ｄ）では、アーム部材８７がＡ列の手前までＹ軸方向に移動操作される。
図２８（Ｅ）では、引き込まれていたＢ列のピンがワーク２の下面まで伸ばされる。
図２８（Ｆ）では、Ａ列のピンのみが初期位置に引き込まれるので、アーム部材８７の待機位置までの移動スペースが出現する。
In FIG. 28D, the
In FIG. 28 (E), the pins in the B row that have been drawn are extended to the lower surface of the
In FIG. 28 (F), since only the pins in the A row are pulled to the initial position, a movement space to the standby position of the
図２８（Ｇ）では、アーム部材８７が待機位置までＹ軸方向に移動操作される。
図２８（Ｈ）では、引き込まれていたＢ列のピンがワーク２の下面まで伸ばされる。
図２８（Ｉ）は、以上の動作の繰り返しを表記しており、この操作によりアーム部材８７は待機位置までＹ軸方向位置に移動する。
In FIG. 28G, the
In FIG. 28 (H), the pins in the B row that have been drawn are extended to the lower surface of the
FIG. 28I shows the repetition of the above operation, and by this operation, the
図２８（Ｊ）では、アーム部材８７の待機位置への移動操作が終了し、リフトピン手段９０の全ピンが初期位置に引き込まれた状態を示しており、ワーク２は吸着盤８９の上面に保持された状態となる。
FIG. 28J shows a state in which the operation of moving the
図２９（Ａ）乃至（Ｄ）は、連結された移送システムで、上流側のステージから搬出されたワーク２を下流側ステージスの吸着盤上に載せる遷移を示している。
図２９（Ａ）は、上流側ステージのアーム部材８７によりワーク２が下流側ステージスの吸着盤８９の位置に移送された状態であり、下流側ステージスのリフトピン手段９０の全ピンが初期位置に引き込まれている。
９３は、下流側ステージのアーム部材を示す。
FIGS. 29A to 29D show a transition in which the
FIG. 29A shows a state in which the
図２９（Ｂ）では、引き込まれていた全ピンがワーク２の下面まで伸ばされ、ワーク２はアーム部材８７により離れてＺ軸方向にリフトアップされる。
図２９（Ｃ）では、上流側ステージのアーム部材８７が上流側ステージに戻される。
図２９（Ｄ）では、リフトピン手段９０の全ピンが初期位置に引き込まれ、ワーク２は吸着盤８９の上面に保持された状態となる。
In FIG. 29B, all the pins that have been drawn are extended to the lower surface of the
In FIG. 29C, the
In FIG. 29D, all the pins of the lift pin means 90 are pulled to the initial position, and the
図２３に示した実施形態では、搬送スライダ部材８１，８２は、スライダ４１，４２と共通の一対のＸ軸リニアモータ３１，３２を共用して移動操作される構成を示したが、これに限定されるものではない。
In the embodiment shown in FIG. 23, the transport slider members 81 and 82 are configured to be moved and operated in common with the pair of X-axis
図３０は、本発明の他の実施形態を示すワーク加工装置の外観斜視図である。
９４及び９５は、筐体１の突出部１ａ及び１ｂの内壁部にＸ軸方向に配置された一対のガイドレールであり、搬送スライダ部材８１，８２は、これらガイドレールに取り付けられてＸ軸方向に移動操作される。
操作手段は、リニアモータ、ボールネジ、タイミングベルト等を採用することが可能である。
FIG. 30 is an external perspective view of a workpiece machining apparatus showing another embodiment of the present invention.
As the operation means, a linear motor, a ball screw, a timing belt, or the like can be adopted.
図３１は、図２３に示した本発明のワーク加工装置を、Ｘ軸方向に複数個連結した移送システムの実施形態を示す斜視図である。
この実施形態では、Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３の３ステージを連結した移送システムを示す。
FIG. 31 is a perspective view showing an embodiment of a transfer system in which a plurality of workpiece processing apparatuses of the present invention shown in FIG. 23 are connected in the X-axis direction.
In this embodiment, a transfer system in which three stages S1, S2, and S3 are connected is shown.
連結した移送システムでは、各ステージは、上流側のステージからのワークの受け入れ側と下流側ステージへのワークの受け渡し側が共通のメカニカルインターフェース構造になっている必要がある。 In the connected transfer system, each stage needs to have a common mechanical interface structure on the workpiece receiving side from the upstream stage and the workpiece transferring side to the downstream stage.
ワーク２に対する加工処理が、上流側ステージから下流側ステージに順次受け渡される一般的な移送システムでは、各ステージのワーク搬送手段は、上流側ステージで加工処理済みのワークを、連結された下流側ステージの加工処理位置に搬送した後に待機位置に戻る。
In a general transfer system in which the processing for the
下流側のステージで加工処理済みのワークを、再度上流側ステージに戻して再加工する場合には、上流側ステージのワーク搬送手段は、ワーク２を、連結された下流側ステージの加工処理位置に搬送し、下流側ステージで加工処理済みのワーク２を、再度上流側ステージの加工処理位置に搬送した後に待機位置に戻る。
When a workpiece that has been processed on the downstream stage is returned to the upstream stage for reprocessing, the workpiece transfer means on the upstream stage moves the
このような装置においては、以下の間題点がある。
従来はワーク加工装置を複数台直列にしか連結できず、直列方向に対して直角方向には連結できなかった。
Such an apparatus has the following problems.
Conventionally, a plurality of workpiece processing devices can only be connected in series and cannot be connected in a direction perpendicular to the series direction.
本発明の目的は、上記の課題を解決するもので、ワーク加工装置を直列方向に連結できると共に、直列方向に対して直角方向にも連結できる移送システムを提供することにある。 An object of the present invention is to solve the above-described problems, and to provide a transfer system that can connect workpiece processing apparatuses in a series direction and can also be connected in a direction perpendicular to the series direction.
このような課題を達成するために、本発明では、請求項１の移送システムにおいては、
Ｘ軸方向にスライダを移動する一対のＸ軸リニアモータを平行配置し、前記一対のＸ軸リニアモータのスライダ間に橋渡ししたブリッジ部材にＹ軸リニアモータを設け、前記Ｙ軸リニアモータのスライダに搭載したツールを用い、吸着盤上に載置されたワークに対して所定の処理を行い、処理後は前記ワークを移送するようにしたワーク加工装置を備え、このワーク加工装置を複数台直列に連結し、前記ワークを順次次段のワーク加工装置に移送するように構成されたワークの移送システムにおいて、所定の前記ワーク加工装置に対応して前記直列連結方向に直交して配置された新たなワーク加工装置と、前記所定のワーク加工装置と前記新たなワーク加工装置との間に設けられ前記ワークの搬送時に前記ワーク加工装置間にワークが挟み込まれるのを防止する挟み込防止手段と、前記所定のワーク加工装置と前記新たなワーク加工装置とにそれぞれ設けられ前記ワークを前記所定のワーク加工装置と前記新たなワーク加工装置との間を搬送するＹ軸方向搬送手段とを具備したことを特徴とする。
In order to achieve such a problem, according to the present invention, in the transfer system of
A pair of X-axis linear motors that move the slider in the X-axis direction are arranged in parallel, and a Y-axis linear motor is provided on a bridge member bridged between the sliders of the pair of X-axis linear motors. A workpiece processing device is provided that performs a predetermined process on the workpiece placed on the suction disk using the mounted tool and transfers the workpiece after the processing. A plurality of workpiece processing devices are connected in series. In the workpiece transfer system configured to connect and sequentially transfer the workpiece to the next workpiece processing device, a new one arranged orthogonal to the serial connection direction corresponding to the predetermined workpiece processing device. A workpiece is sandwiched between the workpiece machining devices provided between the workpiece machining device, the predetermined workpiece machining device and the new workpiece machining device when the workpiece is transported. Is provided in each of the predetermined workpiece machining apparatus and the new workpiece machining apparatus, and the workpiece is conveyed between the predetermined workpiece machining apparatus and the new workpiece machining apparatus. And a Y-axis direction conveying means.
本発明の請求項２の移送システムにおいては、請求項１記載の移送システムにおいて、
前記Ｙ軸方向搬送手段は、前記一対のＸ軸リニアモータに直交して平行配置された第２のＹ軸リニアモータと、この第２のＹ軸リニアモータのスライダに配置され前記第２のＹ軸リニアモータの動作方向に前記ワークを吸着移送する第１の吸着手段とを具備したことを特徴とする。
In the transfer system according to
The Y-axis direction conveying means is arranged on a second Y-axis linear motor arranged in parallel and orthogonal to the pair of X-axis linear motors, and on the slider of the second Y-axis linear motor. And a first suction means for sucking and transferring the workpiece in the operation direction of the shaft linear motor.
本発明の請求項３の移送システムにおいては、請求項１記載の移送システムにおいて、
前記Ｙ軸方向搬送手段は、前記一対のＸ軸リニアモータのスライダ間に橋渡しされた搬送ブリッジ部材に設けられた第３のＹ軸リニアモータと、この第３のＹ軸リニアモータのスライダに配置され前記第３のＹ軸リニアモータの動作方向に前記ワークを吸着移送する第２の吸着手段とを具備したことを特徴とする。
In the transfer system according to claim 3 of the present invention, the transfer system according to
The Y-axis direction conveying means is disposed on a third Y-axis linear motor provided on a conveying bridge member bridged between the sliders of the pair of X-axis linear motors, and a slider of the third Y-axis linear motor. And a second suction means for sucking and transferring the workpiece in the operation direction of the third Y-axis linear motor.
本発明の請求項４の移送システムにおいては、請求項２又は請求項３記載の移送システムにおいて、
前記第１，第２の吸着手段は、前記ワークの受け渡し時に、前記ワークの送り出し側の吸着手段と前記ワークの受け取り側の吸着手段とが、前記ワーク加工装置が互いに接する境目近くまで互いに移動接近して前記ワークの受け渡しを行うことを特徴とする。
In the transfer system according to
The first and second suction means move and approach each other until the workpiece processing apparatus is close to the boundary where the workpiece processing device is in contact with the workpiece delivery side suction means and the workpiece reception side suction means when the workpiece is delivered. Then, the workpiece is transferred.
本発明の請求項５の移送システムにおいては、請求項２乃至請求項４の何れかに記載の移送システムにおいて、
前記第１，第２の吸着手段は、吸着パッドが使用されたことを特徴とする。
In the transfer system according to
The first and second suction means are characterized by using suction pads.
本発明の請求項６の移送システムにおいては、請求項５記載の移送システムにおいて、
前記吸着パッドは、前記ワークに吸着する面が開口する椀状をなすことを特徴とする。
In the transfer system according to
The suction pad has a bowl shape in which a surface to be sucked by the workpiece is opened.
本発明の請求項７の移送システムにおいては、請求項５又は請求項６記載の移送システムにおいて、
一端が前記吸着パッドに設けられ他端がエアー吸引源に接続され前記ワークを吸引する吸引パイプを具備したことを特徴とする。
In the transfer system according to
One end is provided on the suction pad and the other end is connected to an air suction source, and a suction pipe for sucking the workpiece is provided.
本発明の請求項８の移送システムにおいては、請求項７記載の移送システムにおいて、
前記エアー吸引源として真空ポンプが使用されたことを特徴とする。
In the transfer system of
A vacuum pump is used as the air suction source.
本発明の請求項９の移送システムにおいては、請求項５記載の移送システムにおいて、
前記挟み込防止手段は、前記ワーク加工装置間に配置され前記ワークの搬送時に噴気孔から気体を噴出して前記ワークを浮上させる補助プレートが使用されたことを特徴とする。
In the transfer system according to claim 9 of the present invention, the transfer system according to
The sandwiching prevention means is characterized in that an auxiliary plate is used which is arranged between the workpiece processing devices and jets a gas from a blow hole when the workpiece is transported to float the workpiece.
本発明の請求項１０の移送システムにおいては、請求項１記載の移送システムにおいて、
前記挟み込防止手段は、前記ワーク加工装置間に配置され前記ワークの搬送時にローラが回転して前記ワークを移送する補助ローラが使用されたことを特徴とする。
In the transfer system according to claim 10 of the present invention, the transfer system according to
The pinching prevention means is characterized in that an auxiliary roller is used which is disposed between the workpiece processing devices and rotates the roller during conveyance of the workpiece to transfer the workpiece.
本発明の請求項１１の移送システムにおいては、請求項１乃至請求項１０の何れかに記載の移送システムにおいて、
前記新たなワーク加工装置を複数台連続してＹ軸方向に連結されたことを特徴とする。
In the transfer system of Claim 11 of this invention, In the transfer system in any one of
A plurality of the new workpiece machining apparatuses are continuously connected in the Y-axis direction.
本発明の請求項１２の移送システムにおいては、請求項１乃至請求項１１の何れかに記載の移送システムにおいて、
前記ワークは新たなワーク加工装置側に送られた後、前記所定のワーク加工装置に戻されることを特徴とする。
In the transfer system of Claim 12 of this invention, In the transfer system in any one of
The workpiece is sent to a new workpiece machining apparatus and then returned to the predetermined workpiece machining apparatus.
本発明の請求項１によれば、次のような効果がある。
Ｙ軸方向搬送手段が所定のワーク加工装置と新たなワーク加工装置とにそれぞれ設けられたので、ワーク加工装置を直列方向に連結できると共に、所定のワーク加工装置において、直列方向に対して直角方向にも連結できる移送システムが得られる。
According to
Since the Y-axis direction conveying means is provided in each of the predetermined workpiece machining apparatus and the new workpiece machining apparatus, the workpiece machining apparatus can be connected in the series direction, and the predetermined workpiece machining apparatus has a direction perpendicular to the series direction. A transfer system that can be connected to the other.
所定のワーク加工装置と新たなワーク加工装置との間に設けられ、ワークの搬送時に、ワーク加工装置間にワークが挟み込まれるのを防止する挟み込防止手段が設けられたので、所定のワーク加工装置と新たなワーク加工装置との間にワークが挟み込まれるのを防止することが出来る移送システムが得られる。 Since there is a pinching prevention means provided between the predetermined workpiece processing device and the new workpiece processing device and preventing the workpiece from being caught between the workpiece processing devices when the workpiece is transported, the predetermined workpiece processing A transfer system that can prevent the workpiece from being sandwiched between the apparatus and the new workpiece processing apparatus is obtained.
本発明の請求項２によれば、次のような効果がある。
Ｙ軸方向搬送手段は、一対のＸ軸リニアモータに直交して平行配置された第２のＹ軸リニアモータと、この第２のＹ軸リニアモータのスライダに配置され、第２のＹ軸リニアモータの動作方向に、ワークを吸着移送する第１の吸着手段とが設けられたので、吸着盤を使用して、ワークを僅か浮上させた状態で容易にＹ軸方向に搬送でき、Ｙ軸方向搬送手段の構成を簡単にすることができる移送システムが得られる。
According to
The Y-axis direction conveying means is arranged on a second Y-axis linear motor arranged in parallel perpendicularly to the pair of X-axis linear motors, and on a slider of the second Y-axis linear motor. Since the first suction means for sucking and transferring the workpiece is provided in the operation direction of the motor, the workpiece can be easily transported in the Y-axis direction with the workpiece slightly lifted using the suction disk. A transfer system that can simplify the configuration of the conveying means is obtained.
本発明の請求項３によれば、次のような効果がある。
Ｙ軸方向搬送手段は、一対のＸ軸リニアモータのスライダ間に橋渡しされた搬送ブリッジ部材に設けられた第３のＹ軸リニアモータと、この第３のＹ軸リニアモータのスライダに配置され第３のＹ軸リニアモータの動作方向に前記ワークを吸着移送する第２の吸着手段とが設けられたので、長いアームを使用して、ワークを吸着して確実にＹ軸方向に搬送できる移送システムが得られる。
According to claim 3 of the present invention, there are the following effects.
The Y-axis direction conveying means is disposed on the third Y-axis linear motor provided on the conveying bridge member bridged between the sliders of the pair of X-axis linear motors and the slider of the third Y-axis linear motor. Since the second suction means for sucking and transferring the workpiece in the direction of operation of the Y-axis linear motor 3 is provided, a transfer system that uses a long arm to suck the workpiece and reliably convey it in the Y-axis direction. Is obtained.
本発明の請求項４によれば、次のような効果がある。
第１，第２の吸着手段は、ワークの受け渡し時に、ワークの送り出し側の吸着手段とワークの受け取り側の吸着手段とが、ワーク加工装置が互いに接する境目近くまで互いに移動接近してワークの受け渡しを行うようにしたので、搬送ストロークが小さい場合にも、ワークの受け渡しが出来ると共に、搬送ストロークが十分足りる場合にも、ワークの受け渡しが十分確実に出来る移送システムが得られる。
According to
In the first and second suction means, when the workpiece is delivered, the workpiece delivery side suction means and the workpiece reception side suction means move and approach each other close to the boundary where the workpiece processing apparatus contacts each other. Therefore, even when the transport stroke is small, the workpiece can be delivered, and even when the transport stroke is sufficient, a transfer system can be obtained that can reliably deliver the workpiece.
本発明の請求項５によれば、次のような効果がある。
第１，第２の吸着手段は、吸着パッドが使用されたので、ワークを確実に吸着できて且つ安価な移送システムが得られる。
According to
Since the suction pad is used for the first and second suction means, the workpiece can be reliably suctioned and an inexpensive transfer system can be obtained.
本発明の請求項６によれば、次のような効果がある。
吸着パッドは、ワークに吸着する面が開口する椀状をなすので、吸着が更に確実に得られる移送システムが得られる。
According to
Since the suction pad has a bowl shape in which the surface to be sucked by the workpiece is opened, a transfer system can be obtained in which suction is more reliably obtained.
本発明の請求項７によれば、次のような効果がある。
一端が吸着パッドに設けられ他端がエアー吸引源に接続され、ワークを吸引する吸引パイプが設けられたので、吸着が更に強力に得られる移送システムが得られる。
According to
Since one end is provided on the suction pad, the other end is connected to an air suction source, and a suction pipe for sucking the workpiece is provided, a transfer system capable of obtaining suction more strongly can be obtained.
本発明の請求項８によれば、次のような効果がある。
前記エアー吸引源として真空ポンプが使用されたので、吸着が更に確実に得られる移送システムが得られる。
According to
Since a vacuum pump is used as the air suction source, a transfer system can be obtained in which adsorption can be obtained more reliably.
本発明の請求項９によれば、次のような効果がある。
挟み込防止手段は、ワーク加工装置間に配置され、ワークの搬送時に噴気孔から気体を噴出して、ワークを浮上させる補助プレートが使用されたので、簡単な構成でワークの搬送時に、ワーク加工装置間にワークが挟み込まれるのを防止することができる移送システムが得られる。
According to the ninth aspect of the present invention, the following effect can be obtained.
The sandwiching prevention means is arranged between the workpiece processing devices, and an auxiliary plate is used to eject the gas from the air holes and lift the workpiece when the workpiece is transferred. A transfer system that can prevent a workpiece from being sandwiched between the apparatuses is obtained.
本発明の請求項１０によれば、次のような効果がある。
挟み込防止手段は、ワーク加工装置間に配置され、ワークの搬送時にローラが回転して、ワークを移送する補助ローラが使用されたので、簡単な構成でワークの搬送時に、ワーク加工装置間にワークが挟み込まれるのを防止することができると共に、ワークがローラ上を搬送されるので、挟み込みを確実に防止することができる移送システムが得られる。
According to the tenth aspect of the present invention, the following effects can be obtained.
The sandwiching prevention means is disposed between the workpiece processing apparatuses, and since the auxiliary roller for transferring the workpiece is used because the roller rotates when the workpiece is transferred, the workpiece is transferred between the workpiece processing apparatuses with a simple configuration. Since the work can be prevented from being caught and the work is conveyed on the roller, a transfer system that can reliably prevent the work from being caught is obtained.
本発明の請求項１１によれば、次のような効果がある。
新たなワーク加工装置を複数台連続してＹ軸方向に連結されたので、ワークをＹ軸方向に長い距離移送することが出来る移送システムが得られる。
According to the eleventh aspect of the present invention, the following effects can be obtained.
Since a plurality of new workpiece processing apparatuses are continuously connected in the Y-axis direction, a transfer system capable of transferring the workpiece for a long distance in the Y-axis direction is obtained.
本発明の請求項１２によれば、次のような効果がある。
ワークは新たなワーク加工装置側に送られた後、所定のワーク加工装置に戻されるので、ワークを二次元的な広がりをもって移送することが出来る移送システムが得られる。
According to claim 12 of the present invention, the following effects can be obtained.
Since the workpiece is sent to the new workpiece processing apparatus and then returned to the predetermined workpiece processing apparatus, a transfer system capable of transferring the workpiece with a two-dimensional spread is obtained.
以下本発明を図面を用いて詳細に説明する。
図１は本発明の一実施例の要部構成説明図で、（ａ）は平面図、（ｂ）は側面図、図２は図１の要部構成説明図、図３は図１の要部構成説明図、図４は図１の動作説明図である。
図１５と同様な吸着盤６０が使用された実施例である。
図において、図１５と同一記号の構成は同一機能を表す。
以下、図１５との相違部分のみ説明する。
Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
FIG. 1 is an explanatory diagram of the main part configuration of one embodiment of the present invention, (a) is a plan view, (b) is a side view, FIG. 2 is an explanatory diagram of the main part configuration of FIG. 1, and FIG. FIG. 4 is an operation explanatory diagram of FIG.
It is an Example in which the
In the figure, the same symbol structure as in FIG. 15 represents the same function.
Only the differences from FIG. 15 will be described below.
図１において、図１５に示されているワーク加工装置が、図のＸ軸方向に三個直列に連結されている。これを区別をするために、ステージ１、ステージ２、ステージ３と称する。
ステージ２に対して、直列連結方向に直交して配置された新たなワーク加工装置をステージ４と称する。
なお、図１（ａ）において、ステージ２とステージ４のブリッジ部材５と処理手段３０とは、説明を分かり易くするために、二点鎖線で示されている。
In FIG. 1, three workpiece machining apparatuses shown in FIG. 15 are connected in series in the X-axis direction of the drawing. In order to distinguish these, they are referred to as
A new workpiece machining apparatus arranged perpendicular to the serial connection direction with respect to the
In FIG. 1A, the
図１において、挟み込防止手段１１は、所定のワーク加工装置（ステージ２）と新たなワーク加工装置（ステージ４）との間に設けられ、ワーク２の搬送時に、ワーク加工装置（ステージ２），（ステージ４）間にワーク２が挟み込まれるのを防止する。
この場合は、挟み込防止手段１１は、ワーク加工装置（ステージ２），（ステージ４）間に配置され、ワーク２の搬送時に噴気孔から気体を噴出して、ワーク２を浮上させる補助プレート１１１が使用されている。
In FIG. 1, the pinching prevention means 11 is provided between a predetermined workpiece processing apparatus (stage 2) and a new workpiece processing apparatus (stage 4), and when the
In this case, the pinching prevention means 11 is disposed between the workpiece processing devices (stage 2) and (stage 4), and jets gas from the jet holes when the
なお、挟み込防止手段１１は、ワーク加工装置（ステージ２）（ステージ４）間に配置され、ワークの搬送時にローラが回転して、ワーク２を移送する補助ローラ１１２が使用されても良い。
The pinching prevention means 11 may be disposed between the workpiece processing apparatus (stage 2) (stage 4), and an auxiliary roller 112 that transfers the
Ｙ軸方向搬送手段１２は、所定のワーク加工装置（ステージ２）と新たなワーク加工装置（ステージ４）とにそれぞれ設けられ、ワーク２を所定のワーク加工装置（ステージ２）と新たなワーク加工装置（ステージ４）との間を搬送する。
The Y-axis direction conveying means 12 is provided in each of a predetermined workpiece processing device (stage 2) and a new workpiece processing device (stage 4), and the
この場合は、Ｙ軸方向搬送手段１２は、一対のＸ軸リニアモータ３１，３２の両端部分に直交して平行配置された第２のＹ軸リニアモータ１２１と、第２のＹ軸リニアモータ１２１のスライダに配置され、第２のＹ軸リニアモータ１２１の動作方向に、ワーク２を吸着移送する第１の吸着手段１２２とを有する。
In this case, the Y-axis direction conveying means 12 includes a second Y-axis linear motor 121 and a second Y-axis linear motor 121 arranged in parallel to each other at both ends of the pair of X-axis
第１の吸着手段１２２は、第２のＹ軸リニアモータ１２１のスライダに取り付けられたアクチュエータ１２３と、アクチュエータ１２３に一端が取り付けられたアーム１２４と、アーム１２４の他端に取り付けられた吸着パッド１２５とを有する。
図３に示す如く、吸着パッド１２５は、ワーク２に吸着する面が開口する椀状をなす。
The first suction means 122 includes an actuator 123 attached to the slider of the second Y-axis linear motor 121, an arm 124 having one end attached to the actuator 123, and a
As shown in FIG. 3, the
吸引パイプ１２６は、一端が吸着パッド１２５に設けられ、他端がエアー吸引源に接続
されている。
エアー吸引源としては、この場合は、真空ポンプが使用されている。
The suction pipe 126 has one end provided on the
In this case, a vacuum pump is used as the air suction source.
以上の構成において、図４に、所定のワーク加工装置（ステージ２）と新たなワーク加工装置（ステージ４）との間のワーク２の搬送の動作を示す。
In the above configuration, FIG. 4 shows an operation of conveying the
図４（ａ）に示す如く、吸着盤６０と補助プレート１１１とから空気を噴出する。
ワーク２は吸着盤６０より僅か浮上した状態になる。
図４（ｂ）に示す如く、所定のワーク加工装置（ステージ２）側の吸着パッド１２５でワーク２を吸着し、所定のワーク加工装置（ステージ２）から新たなワーク加工装置（ステージ４）側に、Ｙ軸方向搬送手段１２によりワーク２を搬送する。
As shown in FIG. 4A, air is ejected from the
The
As shown in FIG. 4B, the
図４（ｃ）に示す如く、ワーク２の移動先端は、補助プレート１１１から空気が噴出しているので、ワーク２は、所定のワーク加工装置（ステージ２）と新たなワーク加工装置（ステージ４）との間に挟み込まれず、ワーク２の移動先端は、新たなワーク加工装置（ステージ４）側に達する。
As shown in FIG. 4 (c), since the air is ejected from the auxiliary plate 111 at the moving tip of the
図４（ｄ）に示す如く、新たなワーク加工装置（ステージ４）側のＹ軸方向搬送手段１２が、所定のワーク加工装置（ステージ２）近くに移動し、新たなワーク加工装置（ステージ４）側の吸着パッド１２５が、図4（ｄ）に示す如く、吸着する。
As shown in FIG. 4 (d), the Y-axis direction conveying means 12 on the new workpiece machining apparatus (stage 4) side is moved closer to the predetermined workpiece machining apparatus (stage 2), and the new workpiece machining apparatus (stage 4) is moved. )
Ｙ軸方向搬送手段１２が、互いに近接してワーク２の受け渡しをすれば、搬送ストロークが小さい場合にも、ワーク２の受け渡しが出来ると共に、搬送ストロークが十分足りる場合にも、ワークの受け渡しが十分確実に出来る移送システムが得られる。
If the Y-axis direction conveying means 12 delivers the
図４（ｅ）に示す如く、所定のワーク加工装置（ステージ２）側の吸着パッド１２５は、ワーク２の吸着を止め、所定のワーク加工装置（ステージ２）側のＹ軸方向搬送手段１２は所定位置に戻る。
As shown in FIG. 4E, the
新たなワーク加工装置（ステージ４）側のＹ軸方向搬送手段１２が移動し、ワーク２を所定意位置に搬送する。
吸着盤６０と補助プレート１１１とからの空気の噴出を止め、新たなワーク加工装置（ステージ４）側の吸着盤６０によりワーク２を吸着する。
The Y-axis direction conveying means 12 on the new workpiece machining apparatus (stage 4) side moves to convey the
The ejection of air from the
ワーク２の、新たなワーク加工装置（ステージ４）から所定のワーク加工装置（ステージ２）への搬送は上記と逆の動作となる。
The transfer of the
なお、ワーク２のＸ軸方向への搬送、ステージ１→ステージ２→ステージ３へのワーク２の搬送動作は、前述の２００６年４月１４日出願の先願に関わる出願番号２００６−１１２３７３号のワーク加工装置に説明された動作と同じである。
In addition, the conveyance of the
この結果、
Ｙ軸方向搬送手段１２が所定のワーク加工装置と新たなワーク加工装置とにそれぞれ設けられたので、ワーク加工装置を直列方向に連結できると共に、所定のワーク加工装置において、直列方向に対して直角方向にも連結できる移送システムが得られる。
As a result,
Since the Y-axis direction conveying means 12 is provided in each of the predetermined workpiece processing apparatus and the new workpiece processing apparatus, the workpiece processing apparatuses can be connected in series, and the predetermined workpiece processing apparatus is perpendicular to the series direction. A transfer system that can also be connected in the direction is obtained.
所定のワーク加工装置と新たなワーク加工装置との間に設けられ、ワークの搬送時に、ワーク加工装置間にワークが挟み込まれるのを防止する挟み込防止手段１１が設けられたので、所定のワーク加工装置と新たなワーク加工装置との間にワークが挟み込まれるのを防止することが出来る移送システムが得られる。 A pinching prevention means 11 is provided between a predetermined workpiece processing device and a new workpiece processing device, and prevents the workpiece from being pinched between the workpiece processing devices when the workpiece is transported. A transfer system that can prevent the workpiece from being sandwiched between the machining device and the new workpiece machining device is obtained.
Ｙ軸方向搬送手段１２は、一対のＸ軸リニアモータ３１，３２の両端部分に直交して平行配置された第２のＹ軸リニアモータ１２１と、この第２のＹ軸リニアモータ１２１のスライダに配置され、第２のＹ軸リニアモータ１２１の動作方向に、ワークを吸着移送する第１の吸着手段１２２とが設けられたので、吸着盤６０を使用して、ワーク２を僅か浮上させた状態で容易にＹ軸方向に搬送でき、Ｙ軸方向搬送手段１２の構成を簡単にすることができる移送システムが得られる。
The Y-axis direction conveying means 12 includes a second Y-axis linear motor 121 arranged in parallel perpendicular to both end portions of the pair of X-axis
第１の吸着手段１２２は、ワーク２の受け渡し時に、ワーク２の送り出し側の吸着手段１２２とワーク２の受け取り側の吸着手段１２２とが、ワーク加工装置が互いに接する境目近くまで互いに移動接近してワークの受け渡しを行うようにしたので、搬送ストロークが小さい場合にも、ワーク２の受け渡しが出来ると共に、搬送ストロークが十分足りる場合にも、ワークの受け渡しが十分確実に出来る移送システムが得られる。
When the
第１吸着手段１２２は、吸着パッド１２５が使用されたので、ワーク２を確実に吸着できて且つ安価な移送システムが得られる。
Since the
吸着パッド１２５は、ワーク２に吸着する面が開口する椀状をなすので、吸着が更に確実に得られる移送システムが得られる。
Since the
一端が吸着パッド１２５に設けられ他端がエアー吸引源（図示せず。）に接続され、ワークを吸引する吸引パイプ１２６が設けられたので、吸着が更に強力に得られる移送システムが得られる。
Since one end is provided on the
エアー吸引源として真空ポンプが使用されたので、吸着が更に確実に得られる移送システムが得られる。 Since a vacuum pump is used as an air suction source, a transfer system that can more reliably obtain adsorption is obtained.
挟み込防止手段１１は、ワーク加工装置間に配置され、ワークの搬送時に噴気孔から気体を噴出して、ワーク２を浮上させる補助プレート１１１が使用されたので、簡単な構成でワーク２の搬送時に、ワーク加工装置間にワーク２が挟み込まれるのを防止することができる移送システムが得られる。
The sandwiching prevention means 11 is disposed between the workpiece processing apparatuses, and uses the auxiliary plate 111 that ejects gas from the air holes and floats the
図５は、本発明の他の実施例の動作説明図である。
図５は、所定のワーク加工装置（ステージ２）と新たなワーク加工装置（ステージ４）との間のワーク２の搬送の動作を示すもので、挟み込防止手段１１は、補助ローラ１１２が使用された実施例である。
FIG. 5 is a diagram for explaining the operation of another embodiment of the present invention.
FIG. 5 shows an operation of conveying the
図５（ａ）に示す如く、吸着盤６０から空気を噴出する。
ワーク２は吸着盤６０より僅か浮上した状態になる。
図５（ｂ）に示す如く、所定のワーク加工装置（ステージ２）側の吸着パッド１２５でワーク２を吸着し、所定のワーク加工装置（ステージ２）から新たなワーク加工装置（ステージ４）側に、Ｙ軸方向搬送手段１２によりワーク２を搬送する。
As shown in FIG. 5 (a), air is ejected from the
The
As shown in FIG. 5B, the
図５（ｃ）に示す如く、ワーク２の移動先端は、補助ローラ１１２により支持されているので、ワーク２は、所定のワーク加工装置（ステージ２）と新たなワーク加工装置（ステージ４）との間に挟み込まれず、ワーク２の移動先端は、新たなワーク加工装置（ステージ４）側に達する。
As shown in FIG. 5C, since the moving tip of the
図５（ｄ）に示す如く、新たなワーク加工装置（ステージ４）側のＹ軸方向搬送手段１２が、所定のワーク加工装置（ステージ２）近くに移動し、新たなワーク加工装置（ステージ４）側の吸着パッド１２５が、図４（ｄ）に示す如く、吸着する。
As shown in FIG. 5 (d), the Y-axis direction conveying means 12 on the new workpiece machining apparatus (stage 4) side moves near the predetermined workpiece machining apparatus (stage 2), and the new workpiece machining apparatus (
Ｙ軸方向搬送手段１２が、互いに近接してワーク２の受け渡しをすれば、搬送ストロークが小さい場合にも、ワーク２の受け渡しが出来ると共に、搬送ストロークが十分足りる場合にも、ワークの受け渡しが十分確実に出来る移送システムが得られる。
If the Y-axis direction conveying means 12 delivers the
図５（ｅ）に示す如く、所定のワーク加工装置（ステージ２）側の吸着パッド１２５は、ワーク２の吸着を止め、所定のワーク加工装置（ステージ２）側のＹ軸方向搬送手段１２は所定位置に戻る。
As shown in FIG. 5E, the
新たなワーク加工装置（ステージ４）側のＹ軸方向搬送手段１２が移動し、ワーク２を所定位置に搬送する。
吸着盤６０からの空気の噴出を止め、新たなワーク加工装置（ステージ４）側の吸着盤６０によりワーク２を吸着する。
The Y-axis direction conveying means 12 on the new workpiece processing apparatus (stage 4) side moves to convey the
The ejection of air from the
ワーク２の、新たなワーク加工装置（ステージ４）から所定のワーク加工装置（ステージ２）への搬送は上記と逆の動作となる。
The transfer of the
なお、ワーク２のＸ軸方向への搬送、ステージ１→ステージ２→ステージ３へのワーク２の搬送動作は、前述の２００６年４月１４日出願の先願に関わる出願番号２００６−１１２３７３号のワーク加工装置に説明された動作と同じである。
In addition, the conveyance of the
この結果、挟み込防止手段１１は、ワーク加工装置間に配置され、ワークの搬送時にローラが回転して、ワークを移送する補助ローラ１１２が使用されたので、簡単な構成でワークの搬送時に、ワーク加工装置間にワークが挟み込まれるのを防止することができると共に、ワークがローラ上を搬送されるので、挟み込みを確実に防止することができる移送システムが得られる。 As a result, the pinching prevention means 11 is disposed between the workpiece processing apparatuses, and the roller rotates when the workpiece is conveyed and the auxiliary roller 112 that transfers the workpiece is used. Therefore, when the workpiece is conveyed with a simple configuration, Since the workpiece can be prevented from being sandwiched between the workpiece processing apparatuses and the workpiece is conveyed on the roller, a transfer system that can reliably prevent the jamming is obtained.
図６は本発明の他の一実施例の要部構成説明図で、（ａ）は平面図、（ｂ）は側面図、図７は図６の要部構成説明図、図８は図６の動作説明図、図９は図６の搬送アーム部分の要部構成説明図である。
図２３と同様な搬送アーム８７，８８が使用された実施例である。
図において、図２３と同一記号の構成は同一機能を表す。
以下、図２３との相違部分のみ説明する。
6A and 6B are explanatory views of the main part configuration of another embodiment of the present invention, in which FIG. 6A is a plan view, FIG. 6B is a side view, FIG. FIG. 9 is an explanatory view of the main part of the transfer arm portion of FIG.
This is an embodiment in which transfer
In the figure, the same symbol structure as in FIG. 23 represents the same function.
Only the differences from FIG. 23 will be described below.
図６において、図２３に示されているワーク加工装置が、図のＸ軸方向に三個直列に連結されている。これを区別をするために、ステージ１、ステージ２、ステージ３と称する。
ステージ２に対して、直列連結方向に直交して配置された新たなワーク加工装置をステージ４と称する。
In FIG. 6, three workpiece machining apparatuses shown in FIG. 23 are connected in series in the X-axis direction of the drawing. In order to distinguish these, they are referred to as
A new workpiece machining apparatus arranged perpendicular to the serial connection direction with respect to the
図６において、挟み込防止手段１１は、所定のワーク加工装置（ステージ２）と新たなワーク加工装置（ステージ４）との間に設けられ、ワーク２の搬送時に、ワーク加工装置（ステージ２），（ステージ４）間にワーク２が挟み込まれるのを防止する。
In FIG. 6, the pinching prevention means 11 is provided between a predetermined workpiece processing apparatus (stage 2) and a new workpiece processing apparatus (stage 4), and when the
この場合は、挟み込防止手段１１は、ワーク加工装置（ステージ２），（ステージ４）間に配置され、ワーク２の搬送時にローラが回転して、ワーク２を移送する補助ローラ１１２が使用されている。
In this case, the pinching prevention means 11 is disposed between the workpiece processing devices (stage 2) and (stage 4), and an auxiliary roller 112 for transferring the
Ｙ軸方向搬送手段１３は、所定のワーク加工装置（ステージ２）と新たなワーク加工装置（ステージ４）とにそれぞれ設けられ、ワーク２を所定のワーク加工装置（ステージ２）と新たなワーク加工装置（ステージ４）との間を搬送する。
The Y-axis direction conveying means 13 is provided in each of a predetermined workpiece processing apparatus (stage 2) and a new workpiece processing apparatus (stage 4), and the
この場合は、Ｙ軸方向搬送手段１３は、一対のＸ軸リニアモータ３１，３２のスライダ間に橋渡しされた搬送ブリッジ部材８３に設けられた第３のＹ軸リニアモータ８４と、この第３のＹ軸リニアモータ８４のスライダに配置され、第３のＹ軸リニアモータ８４の動作方向に、ワーク２を吸着移送する第２の吸着手段１３１とを有する。
In this case, the Y-axis direction conveyance means 13 includes a third Y-axis
第２の吸着手段１３１は、第３のＹ軸リニアモータ８４のスライダに取り付けられたアーム部材８７，８８と、アーム部材８７，８８の両端側に取り付けられた２個の吸着パッド１３２とを有する。
吸着パッド１３２は、ワーク２に吸着する面が開口する椀状をなす。
The second suction means 131 includes
The suction pad 132 has a bowl shape in which a surface to be sucked by the
吸引パイプ１３３は、一端が吸着パッド１３２に設けられ、他端がエアー吸引源に接続されている。
エアー吸引源としては、この場合は、真空ポンプが使用されている。
The suction pipe 133 has one end provided on the suction pad 132 and the other end connected to an air suction source.
In this case, a vacuum pump is used as the air suction source.
以上の構成において、図８に、所定のワーク加工装置（ステージ２）と新たなワーク加工装置（ステージ４）との間のワーク２の搬送の動作を示す。
挟み込防止手段１１は、補助ローラ１１２が使用された実施例である。
In the above configuration, FIG. 8 shows the operation of transporting the
The pinching prevention means 11 is an embodiment in which an auxiliary roller 112 is used.
図８（ａ）に示す如く、吸着盤６０から空気を噴出する。
図９に示す如く、ワーク２は吸着盤６０より僅か浮上した状態になる。
図８（ｂ）に示す如く、所定のワーク加工装置（ステージ２）側の吸着パッド１３２でワーク２を吸着し、所定のワーク加工装置（ステージ２）から新たなワーク加工装置（ステージ４）側に、Ｙ軸方向搬送手段１３によりワーク２を搬送する。
As shown in FIG. 8A, air is ejected from the
As shown in FIG. 9, the
As shown in FIG. 8B, the
図８（ｃ）に示す如く、ワーク２の移動先端は、補助ローラ１１２により支持されているので、ワーク２は、所定のワーク加工装置（ステージ２）と新たなワーク加工装置（ステージ４）との間に挟み込まれず、ワーク２の移動先端は、新たなワーク加工装置（ステージ４）側に達する。
図８（ｄ）に示す如く、新たなワーク加工装置（ステージ４）側のＹ軸方向搬送手段１３が、所定のワーク加工装置（ステージ２）近くに移動し、新たなワーク加工装置（ステージ４）側の吸着パッド１３２が、図８（ｄ）に示す如く、吸着する。
As shown in FIG. 8C, since the moving tip of the
As shown in FIG. 8 (d), the Y-axis direction conveying means 13 on the new workpiece machining apparatus (stage 4) side moves near the predetermined workpiece machining apparatus (stage 2), and the new workpiece machining apparatus (
Ｙ軸方向搬送手段１３が、互いに近接してワーク２の受け渡しをすれば、搬送ストロークが小さい場合にも、ワーク２の受け渡しが出来ると共に、搬送ストロークが十分足りる場合にも、ワークの受け渡しが十分確実に出来る移送システムが得られる。
If the Y-axis direction conveying means 13 delivers the
図８（ｅ）に示す如く、所定のワーク加工装置（ステージ２）側の吸着パッド１３２は、ワーク２の吸着を止め、所定のワーク加工装置（ステージ２）側のＹ軸方向搬送手段１３は所定位置に戻る。
As shown in FIG. 8E, the suction pad 132 on the predetermined workpiece machining apparatus (stage 2) side stops the adsorption of the
新たなワーク加工装置（ステージ４）側のＹ軸方向搬送手段１３が移動し、ワーク２を所定位置に搬送する。
吸着盤６０の空気の噴出を止め、新たなワーク加工装置（ステージ４）側の吸着盤６０によりワーク２を吸着する。
The Y-axis direction conveying means 13 on the new workpiece machining apparatus (stage 4) side moves to convey the
The ejection of air from the
ワーク２の、新たなワーク加工装置（ステージ４）から所定のワーク加工装置（ステージ２）への搬送は上記と逆の動作となる。
The transfer of the
なお、ワーク２のＸ軸方向への搬送、ステージ１→ステージ２→ステージ３へのワーク２の搬送動作は、前述のアーム部材８７，８８が使用された、２００５年１０月７日出願の先願に関わる出願番号２００５−２９４５４３号のワーク加工装置に説明された動作と同じである。
The
なお、新たなワーク加工装置（ステージ４）を複数台連続してＹ軸方向に連結しても良い。
このようにすれば、ワーク２をＹ軸方向に長い距離移送することが出来る移送システムが得られる。
A plurality of new workpiece processing devices (stage 4) may be connected in the Y-axis direction in succession.
If it does in this way, the transfer system which can transfer the workpiece |
また、ワーク２は新たなワーク加工装置（ステージ４）側に送られた後、所定のワーク加工装置（ステージ２）に戻されても良い。
このようにすれば、ワーク２を二次元的な広がりをもって移送することが出来る移送システムが得られる。
The
If it does in this way, the transfer system which can transfer
なお、以上の説明は、本発明の説明および例示を目的として特定の好適な実施例を示したに過ぎない。
したがって本発明は、上記実施例に限定されることなく、その本質から逸脱しない範囲で更に多くの変更、変形をも含むものである。
The above description merely shows a specific preferred embodiment for the purpose of explanation and illustration of the present invention.
Therefore, the present invention is not limited to the above-described embodiments, and includes many changes and modifications without departing from the essence thereof.
１ 筐体
１ａ 突出部
１ｂ 突出部
１ｃ 凹部
２ ワーク
３１ Ｘ１軸リニアモータ
３２ Ｘ２軸リニアモータ
４１ スライダ
４２ スライダ
５ ブリッジ部材
６ Ｙ軸リニアモータ
７ スライダ
１０１ ワーク加工装置
１０２ ワーク加工装置
１０３ ワーク加工装置
１０３ｃ 凹部
２０１ インターフェース部
２０２ インターフェース部
２０３ インターフェース部
３０１ 移送手段
３０２ 移送手段
６０１ 平行レール
６０２ 平行レール
７００ スライダ
８００ アクチュエータ
９０１ 操作アーム
９０２ 操作アーム
３０ 処理手段
５０ チューブ
６０ 吸着盤
７０ ワーク搬送手段
７０ａ ワーク搬送手段
７０ａ’ ワーク搬送手段
７０ｂ ワーク搬送手段
７０ｂ’ ワーク搬送手段
７０ｘ 伸長部材
７１ ワーク搬送手段
７１ａ ワーク搬送手段
７１ａ’ ワーク搬送手段
７１ｂ ワーク搬送手段
７１ｂ’ ワーク搬送手段
７２ 回転部材
７３ ストッパ
８１ 搬送スライダ部材
８２ 搬送スライダ部材
８３ 搬送ブリッジ部材
８４ Ｙ軸リニアモータ
８５ スライダ
８６ スライダ
８７ アーム部材
８８ アーム部材
８７ａ 連結部材
８８ａ 連結部材
８９ 吸着板
９０ ピン手段
９１ ピン
９２ ピン操作部
９３ アーム部材
９４ ガイドレール
９５ ガイドレール
１１ 挟み込防止手段
１１１ 補助プレート
１１２ 補助ローラ
１２ Ｙ軸方向搬送手段
１２１ 第２のＹ軸リニアモータ
１２２ 第１の吸着手段
１２３ アクチュエータ
１２４ アーム
１２５ 吸着パッド
１２６ 吸引パイプ
１３ Ｙ軸方向搬送手段
１３１ 第２の吸着手段
１３２ 吸着パッド
１３３ 吸引パイプ
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Housing | casing 1a Protrusion part 1b Protrusion part 1c Concavity 2 Workpiece 31 X1-axis linear motor 32 X2-axis linear motor 41 Slider 42 Slider 5 Bridge member 6 Y-axis linear motor 7 Slider 101 Work processing apparatus 102 Work processing apparatus 103 Work processing apparatus 103c Recess 201 Interface unit 202 Interface unit 203 Interface unit 301 Transfer unit 302 Transfer unit 601 Parallel rail 602 Parallel rail 700 Slider 800 Actuator 901 Operation arm 902 Operation arm 30 Processing unit 50 Tube 60 Suction plate 70 Work transfer unit 70a Work transfer unit 70a ' Work conveying means 70b Work conveying means 70b 'Work conveying means 70x Elongating member 71 Work conveying means 71a Work conveying means 71a' Workpiece conveying means 71b Work conveying means 71b 'Work conveying means 72 Rotating member 73 Stopper 81 Conveying slider member 82 Conveying slider member 83 Conveying bridge member 84 Y-axis linear motor 85 Slider 86 Slider 87 Arm member 88 Arm member 87a Connecting member 88a Connecting Member 89 Adsorption plate 90 Pin means 91 Pin 92 Pin operation part 93 Arm member 94 Guide rail 95 Guide rail 11 Clamp prevention means 111 Auxiliary plate 112 Auxiliary roller 12 Y-axis direction conveying means 121 Second Y-axis linear motor 122 First Suction means 123 Actuator 124 Arm 125 Suction pad 126 Suction pipe 13 Y-axis direction transport means 131 Second suction means 132 Suction pad 133 Suction pipe
Claims (12)
このワーク加工装置を複数台直列に連結し、前記ワークを順次次段のワーク加工装置に移送するように構成されたワークの移送システムにおいて、
所定の前記ワーク加工装置に対応して前記直列連結方向に直交して配置された新たなワーク加工装置と、
前記所定のワーク加工装置と前記新たなワーク加工装置との間に設けられ前記ワークの搬送時に前記ワーク加工装置間にワークが挟み込まれるのを防止する挟み込防止手段と、
前記所定のワーク加工装置と前記新たなワーク加工装置とにそれぞれ設けられ前記ワークを前記所定のワーク加工装置と前記新たなワーク加工装置との間を搬送するＹ軸方向搬送手段と、
を具備したことを特徴とする移送システム。 A pair of X-axis linear motors that move the slider in the X-axis direction are arranged in parallel, and a Y-axis linear motor is provided on a bridge member bridged between the sliders of the pair of X-axis linear motors. Using the mounted tool, a predetermined process is performed on the work placed on the suction plate, and after the process, a work processing device is provided to transfer the work,
In a workpiece transfer system configured to connect a plurality of the workpiece processing devices in series and sequentially transfer the workpiece to a workpiece processing device in the next stage,
A new workpiece machining device arranged orthogonal to the serial connection direction corresponding to the predetermined workpiece machining device;
A pinching prevention means provided between the predetermined workpiece processing device and the new workpiece processing device to prevent the workpiece from being sandwiched between the workpiece processing devices when the workpiece is transported;
Y-axis direction conveying means provided in each of the predetermined workpiece machining apparatus and the new workpiece machining apparatus for conveying the workpiece between the predetermined workpiece machining apparatus and the new workpiece machining apparatus;
A transfer system comprising:
この第２のＹ軸リニアモータのスライダに配置され前記第２のＹ軸リニアモータの動作方向に前記ワークを吸着移送する第１の吸着手段と
を具備したことを特徴とする請求項１記載の移送システム。 The Y-axis direction conveying means includes a second Y-axis linear motor arranged in parallel and orthogonal to the pair of X-axis linear motors;
2. A first suction unit disposed on a slider of the second Y-axis linear motor and configured to suck and transfer the workpiece in the operation direction of the second Y-axis linear motor. Transport system.
この第３のＹ軸リニアモータのスライダに配置され前記第３のＹ軸リニアモータの動作方向に前記ワークを吸着移送する第２の吸着手段と
を具備したことを特徴とする請求項１記載の移送システム。 The Y-axis direction conveying means includes a third Y-axis linear motor provided on a conveying bridge member bridged between the sliders of the pair of X-axis linear motors;
2. A second suction unit disposed on a slider of the third Y-axis linear motor and configured to suck and transfer the workpiece in the operation direction of the third Y-axis linear motor. Transport system.
を特徴とする請求項２又は請求項３記載の移送システム。 The first and second suction means move and approach each other until the workpiece processing apparatus is close to the boundary where the workpiece processing device is in contact with the workpiece delivery side suction means and the workpiece reception side suction means when the workpiece is delivered. The transfer system according to claim 2, wherein the workpiece is transferred.
を特徴とする請求項２乃至請求項４の何れかに記載の移送システム。 The transfer system according to any one of claims 2 to 4, wherein a suction pad is used as the first and second suction means.
を特徴とする請求項５記載の移送システム。 The transfer system according to claim 5, wherein the suction pad has a bowl shape in which a surface to be sucked by the workpiece is opened.
を具備したことを特徴とする請求項５又は請求項６記載の移送システム。 The transfer system according to claim 5 or 6, further comprising a suction pipe having one end provided on the suction pad and the other end connected to an air suction source for sucking the workpiece.
を特徴とする請求項７記載の移送システム。 The transfer system according to claim 7, wherein a vacuum pump is used as the air suction source.
を特徴とする請求項１記載の移送システム。 2. The transfer according to claim 1, wherein the pinching prevention means uses an auxiliary plate that is arranged between the workpiece processing devices and ejects gas from an air hole when the workpiece is conveyed to float the workpiece. system.
を特徴とする請求項１記載の移送システム。 2. The transfer system according to claim 1, wherein the pinching prevention means uses an auxiliary roller that is disposed between the workpiece processing apparatuses and that rotates the roller during transfer of the workpiece to transfer the workpiece.
を特徴とする請求項１乃至請求項１０の何れかに記載の移送システム。 The transfer system according to any one of claims 1 to 10, wherein a plurality of the new workpiece processing apparatuses are continuously connected in the Y-axis direction.
を特徴とする請求項１乃至請求項１１の何れかに記載の移送システム。
The transfer system according to any one of claims 1 to 11, wherein the workpiece is sent to a new workpiece machining apparatus and then returned to the predetermined workpiece machining apparatus.
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