JP2008021736A - 光センサ、フィルタおよびフィルタ製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】光センサ5は、赤色の有機顔料により各受光素子12上に形成された赤フィルタ14Rと、赤フィルタ14Rより短波長域で入射光を透過するシアン色の有機顔料により選択的に赤フィルタ14R上に形成されたシアンフィルタ14Cyと、シアンフィルタ14Cyより短波長域で入射光を透過する青色の有機顔料により選択的に赤フィルタ14R上に形成された青フィルタ14Bと、シアンフィルタ14Cyと赤フィルタ14Rとを透過した入射光を受光するシアン受光素子12Cyから得られた強度値から、青フィルタ14Bと赤フィルタ14Rとを透過した入射光を受光する青受光素子12Bから得られた強度値を引き算処理する演算部21とを備える。
【選択図】 図1
Description
本発明において、「透過率」は、屈折率1.5前後の透明ガラスの透過率を100%として求めている。
従って、本発明は以上のような手段を講じたことにより、以下の作用を有する。
(1−1.構成)
図1は本発明の第1の実施形態に係る光センサ5の構成を示す模式図であり、図2は図1における光センサ5のI−I’断面の構成を示す図である。
次に、本実施形態に係る光センサ5の動作について図5のフローチャートを用いて説明する。
= 第1積層フィルタ(Cy+Red)の検出光の強度値
−第2積層フィルタ(Red+Blue)の検出光の強度値
そして、光センサ5の検出光の強度値が設定値以上である場合、第1積層フィルタと第2積層フィルタとの差に対応する波長領域の光が検出されたとして、検出信号を外部装置に出力する(ステップS3−Yes,S4)。一方、光センサ5の検出光の強度値が設定値未満である場合、検出信号を出力せずに処理を終了する(ステップS3−No)。
以上説明したように、本実施形態に係る光センサ5は、赤色の有機顔料により各受光素子12上に形成された赤フィルタ14Rと、赤フィルタ14Rより短波長域で入射光を透過するシアン色の有機顔料により選択的に赤フィルタ14R上に形成されたシアンフィルタ(第1フィルタ)14Cyと、シアンフィルタ14Cyより短波長域で入射光を透過する青色の有機顔料により選択的に赤フィルタ14R上に形成された青フィルタ(第2フィルタ)14Bと、シアンフィルタ(第1フィルタ)14Cyと赤フィルタ14Rとを透過した入射光を受光する受光素子から得られた強度値から、青フィルタ(第2フィルタ)14Bと赤フィルタ14Rとを透過した入射光を受光する受光素子から得られた強度値を引き算処理する演算手段とを備えた構成により、有機顔料を用いて赤外線透過フィルタを形成しているので、生産性の高い赤外線領域の光センサを提供できる。
なお、本実施形態の光センサ5においては、赤フィルタ14R上にシアンフィルタ14Cyまたは青フィルタ14Bを形成しているが、図7に示すように、シアンフィルタ14Cyまたは青フィルタ14Bの上に赤フィルタ14Rを形成しても同様の効果が得られる。
本発明の第2の実施形態では、第1の実施形態に係る検出部10のフィルタの製造方法について、図8および図9の工程図を用いて説明する。
本実施形態に係る検出部10のフィルタ(有機顔料フィルタ)と無機フィルタ50との比較例を示す。
なお、本発明は、上記実施形態そのままに限定されるものではなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化できる。また、上記実施形態に開示されている複数の構成要素の適宜な組み合わせにより種々の発明を形成できる。例えば、実施形態に示される全構成要素から幾つかの構成要素を削除してもよい。更に、異なる実施形態に構成要素を適宜組み合わせてもよい。
12Cy・・・シアン受光素子、12B・・・青受光素子、13・・・平坦化層、
14・・・フィルタ、14R・・・赤フィルタ、14Cy・・・シアンフィルタ、
14B・・・青フィルタ、15・・・マイクロレンズ、20・・・信号処理部、
21・・・演算部、22・・・出力部、50・・・無機フィルタ。
Claims (6)
- 基板と、
前記基板に形成され、受光した入射光の強度値を得るための複数の受光素子と、
前記各受光素子上に、赤色の有機顔料により形成された赤フィルタと、
前記赤フィルタ上に、該赤フィルタより短波長域で入射光を透過する第1の有機顔料により選択的に形成された第1フィルタと、
前記第1フィルタが形成された位置とは異なる前記赤フィルタ上の位置に、該第1フィルタより短波長域で入射光を透過する第2の有機顔料により選択的に形成された第2フィルタと、
前記第1フィルタと前記赤フィルタとを透過した入射光を受光する受光素子から得られた強度値から、前記第2フィルタと前記赤フィルタとを透過した入射光を受光する受光素子から得られた強度値を引き算処理する演算手段と
を備えたことを特徴とする光センサ。 - 請求項1に記載の光センサにおいて、
前記第1フィルタは、シアン色の有機顔料からなるシアンフィルタであり、
前記第2フィルタは、青色の有機顔料からなる青フィルタである
ことを特徴とする光センサ。 - 基板と、
前記基板に形成され、受光した入射光の強度値を得るための複数の受光素子と、
前記受光素子上に、赤色の有機顔料により選択的に形成された赤フィルタと、
前記赤フィルタが形成された位置とは異なる前記受光素子上の位置に、該赤フィルタより短波長域で入射光を透過するシアン色の有機顔料により選択的に形成されたシアンフィルタと、
前記赤フィルタおよび前記シアンフィルタが形成された位置とは異なる前記受光素子上の位置に、前記シアンフィルタより短波長域で入射光を透過する青色の有機顔料により選択的に形成された青フィルタと、
前記赤フィルタ、前記シアンフィルタ、前記青フィルタのそれぞれを透過した入射光を受光する受光素子から得られた強度値に基づいて、赤外線領域の光の強度値を求める演算手段と
を備えたことを特徴とする光センサ。 - 基板に形成された第1受光素子および第2受光素子と、
前記第1受光素子から得られた強度値と、前記第2受光素子から得られた強度値とを引き算処理する演算手段と
を備えた光センサに用いられるフィルタであって、
前記第1受光素子上に順次積層される、赤色の有機顔料からなる赤フィルタおよびシアン色の有機顔料からなるシアンフィルタと、
前記第2受光素子上に順次積層される、赤色の有機顔料からなる赤フィルタおよび青色の有機顔料からなる青フィルタと
を備えたことを特徴とするフィルタ。 - 基板に形成された複数の受光素子上に、赤色の有機顔料からなる赤フィルタを形成する赤フィルタ形成工程と、
前記赤フィルタ上に、該赤フィルタより短波長域で入射光を透過する第1の有機顔料からなる第1フィルタを選択的に形成する第1フィルタ形成工程と、
前記第1フィルタが形成される位置とは異なる赤フィルタ上の位置に、該第1フィルタより短波長域で入射光を透過する第2の有機顔料からなる第2フィルタを選択的に形成する第2フィルタ形成工程と
を備えたことを特徴とするフィルタ製造方法。 - 請求項5に記載のフィルタ製造方法において、
前記第1フィルタは、シアン色の有機顔料からなるシアンフィルタであり、
前記第2フィルタは、青色の有機顔料からなる青フィルタである
ことを特徴とするフィルタ製造方法。
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