JP2008015204A - 染料含有ネガ型硬化性組成物、カラーフィルタおよびその製造方法 - Google Patents
染料含有ネガ型硬化性組成物、カラーフィルタおよびその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2008015204A JP2008015204A JP2006186082A JP2006186082A JP2008015204A JP 2008015204 A JP2008015204 A JP 2008015204A JP 2006186082 A JP2006186082 A JP 2006186082A JP 2006186082 A JP2006186082 A JP 2006186082A JP 2008015204 A JP2008015204 A JP 2008015204A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- dye
- acid
- curable composition
- containing negative
- negative curable
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Optical Filters (AREA)
- Materials For Photolithography (AREA)
- Polymerisation Methods In General (AREA)
Abstract
【解決手段】(A)染料と、(B)光重合開始剤と、(C)ラジカル重合性モノマーと、(D)有機溶剤と、(E)フッ素系および/またはシリコン系界面活性剤とを含み、前記(A)染料の含有量が、全固形分に対して30〜80質量%であることを特徴とする染料含有ネガ型硬化性組成物並びにこれを用いたカラーフィルタおよびその製造方法を提供する。
【選択図】なし
Description
<1> (A)染料と、(B)光重合開始剤と、(C)ラジカル重合性モノマーと、(D)有機溶剤と、(E)フッ素系および/またはシリコン系界面活性剤とを含み、前記(A)染料の含有量が、全固形分に対して30〜80質量%であることを特徴とする染料含有ネガ型硬化性組成物である。
本発明の染料含有ネガ型硬化性組成物は、(A)染料と、(B)光重合開始剤と、(C)ラジカル重合性モノマーと、(D)有機溶剤と、(E)フッ素系および/またはシリコン系界面活性剤とを少なくとも含んでなり、更に(F)バインダー樹脂などの他の成分を含んでいてもよい。本発明の染料含有ネガ型硬化性組成物は、ガラス基板やシリコンウェハ基板に塗布した際、塗布膜面内均一性良好であり、例えばステッパー露光によりパターン形成した時に、高感度なパターン形成が可能な染料含有ネガ型硬化性組成物を提供することが出来る。また、本発明の染料含有ネガ型硬化性組成物の用途は、特に大口径ウェハ塗布の際に非常に有効である。
前記染料は、特に制限なく使用することができ、例えば、従来カラーフィルタ用として公知の染料などが挙げられる。例えば、前記染料としては、特開昭64−90403号公報、特開昭64−91102号公報、特開平1−94301号公報、特開平6−11614号公報、特登2592207号、米国特許第4,808,501号明細書、米国特許第5,667,920号明細書、米国特許第5,059,500号明細書、特開平5−333207号公報、特開平6−35183号公報、特開平6−51115号公報、特開平6−194828号公報等に記載の色素が挙げられる。前記染料としては、前記有機溶剤可溶性染料が好ましい。前記染料は、化学構造の観点からは、トリフェニルメタン系、アントラキノン系、ベンジリデン系、オキソノール系、シアニン系、フェノチアジン系、ピロロピラゾールアゾメチン系、キサンテン系、フタロシアニン系、ベンゾピラン系、インジゴ系、等の染料が使用できる。特に好ましくは、ピラゾールアゾ系、アニリノアゾ系、ピラゾロトリアゾールアゾ系、ピリドンアゾ系、アントラキノン系、アンスラピリドン系の染料である。
前記酸性染料について説明する。前記酸性染料は、スルホン酸やカルボン酸やフェノール性水酸基等の酸性基を有する色素であれば特に限定されないが、有機溶剤や現像液に対する溶解性、塩基性化合物との塩形成性、吸光度、硬化性組成物中の他の成分との相互作用、耐光性、耐熱性等の必要とされる性能の全てを考慮して選択される。
Acid alizarin violet N;
Acid black 1,2,24,48;
Acid blue 1,7,9,15,18,23,25,27,29,40,42,45,51,62,70,74,80,83,86,87,90,92,96,103,112,113,120,129,138,147,150,158,171,182,192,210,242,243,256,259,267,278,280,285,290,296,315,324:1,335,340;
acid chrome violet K;
acid Fuchsin;
acid green 1,3,5,9,16,25,27,50,58,63,65,80,104,105,106,109;
acid orange 6,7,8,10,12,26,50,51,52,56,62,63,64,74,75,94,95,107,108,169,173;
acid violet 6B,7,9,17,19;
acid yellow 1,3,7,9,11,17,23,25,29,34,36,38,40,42,54,65,72,73,76,79,98,99;111,112,113,114,116,119,123,128,134,135,138,139,140,144,150,155,157,160,161,163,168,169,172,177,178,179,184,190,193,196,197,199,202,203,204,205,207,212,214,220,221,228,230,232,235,238,240,242,243,251;
Direct Orange 34,39,41,46,50,52,56,57,61,64,65,68,70,96,97,106,107;
Direct Red 79,82,83,84,91,92,96,97,98,99,105,106,107,172,173,176,177,179,181,182,184,204,207,211,213,218,220,221,222,232,233,234,241,243,246,250;
Direct Violet 47,52,54,59,60,65,66,79,80,81,82,84,89,90,93,95,96,103,104;
Direct Green 25,27,31,32,34,37,63,65,66,67,68,69,72,77,79,82;
Mordant Yellow 5,8,10,16,20,26,30,31,33,42,43,45,56,50,61,62,65;
Mordant Orange 3,4,5,8,12,13,14,20,21,23,24,28,29,32,34,35,36,37,42,43,47,48;
Mordant Violet 2,4,5,7,14,22,24,30,31,32,37,40,41,44,45,47,48,53,58;
Mordant Blue 2,3,7,8,9,12,13,15,16,19,20,21,22,23,24,26,30,31,32,39,40,41,43,44,48,49,53,61,74,77,83,84;
Mordant Green 1,3,4,5,10,15,19,26,29,33,34,35,41,43,53;
Food Yellow 3;
およびこれらの染料の誘導体が挙げられる。
acid black 24;
acid blue 23,25,29,62,80,86,87,92,138,158,182,243,324:1;
acid orange 8,51,56,74,63,74;
acid red 1,4,8,34,37,42,52,57,80,97,114,143,145,151,183,217,249;
acid violet 7;
acid yellow 17,25,29,34,42,72,76,99,111,112,114,116,169,134,155,169,172,184,220,228,230,232,243;
Acid Green 25;
などの染料およびこれらの染料の誘導体が好ましい。
前記含窒素化合物は、塩またはアミド化合物の有機溶剤や現像液に対する溶解性、塩形成性、染料の吸光度・色価、硬化性組成物中の他の成分との相互作用、着色剤としての耐熱性および耐光性等の全てを勘案して選択される。また、吸光度・色価の観点のみで選択する場合には、前記含窒素化合物としてはできるだけ分子量の低いものが好ましく、中でも分子量300以下のものが好ましく、分子量280以下のものがより好ましく、分子量250以下のものが特に好ましい。
前記酸性染料は、アルカリ現像の際に好適に作用する場合もあるが、一方で過現像となってしまうこともあることから、非酸性染料を好適に使用する場合もある。前記非酸性染料としては、上述の酸性染料の酸性基を有さない染料などが好適に使用される。
また、前記染料は、吸収特性の異なる2種以上の染料の混合物からなることが好ましい。このように、吸収特性の異なる2種以上の染料を用いることにより、目的に応じた色調整が容易となる。このような組み合わせとしては、例えば、マゼンタとイエローとの組み合わせ、シアンとイエローとの組み合わせ、シアンとバイオレットとの組み合わせ等が挙げられ、更に、マゼンタ2種とイエローとの組み合わせ、マゼンタとイエロー2種との組み合わせ、シアン2種とイエローとの組み合わせ、シアンとイエロー2種との組み合わせ、シアン2種とバイオレットとの組み合わせ、シアンとバイオレット2種との組み合わせ等が挙げられる。
次に、光重合開始剤について説明する。前記光重合開始剤は、染料含有ネガ型硬化性組成物をネガ型に構成するために上記のラジカル重合性モノマーと共に含有される。前記光重合開始剤としては、後述のラジカル重合性モノマーを重合させ得るものであれば、特に限定されないが、特性、開始効率、吸収波長、入手性、コスト等の観点で選ばれるのが好ましい。
例えば、2−(O−ベンゾイルオキシム)−1−[4−(フェニルチオ)フェニル]−1,2−ブタンジオン、2−(O−ベンゾイルオキシム)−1−[4−(フェニルチオ)フェニル]−1,2−ペンタンジオン、2−(O−ベンゾイルオキシム)−1−[4−(フェニルチオ)フェニル]−1,2−ヘキサンジオン、2−(O−ベンゾイルオキシム)−1−[4−(フェニルチオ)フェニル]−1,2−ペンタンジオン、2−(O−ベンゾイルオキシム)−1−[4−(フェニルチオ)フェニル]−1,2−オクタンジオン、2−(O−ベンゾイルオキシム)−1−[4−(メチルフェニルチオ)フェニル]−1,2−ブタンジオン、2−(O−ベンゾイルオキシム)−1−[4−(エチルフェニルチオ)フェニル]−1,2−ブタンジオン、2−(O−ベンゾイルオキシム)−1−[4−(ブチルフェニルチオ)フェニル]−1,2−ブタンジオン、1−(O−アセチルオキシム)−1−[9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル]エタノン、1−(O−アセチルオキシム)−1−[9−メチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル]エタノン、1−(O−アセチルオキシム)−1−[9−プロプル−6−(2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル]エタノン、1−(O−アセチルオキシム)−1−[9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル]エタノン、1−(O−アセチルオキシム)−1−[9−エチル−6−(2−ブチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル]エタノンなどが挙げられるが、これらに限定されない。
中でも、チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製の2−(O−ベンゾイルオキシム)−1−[4−(フェニルチオ)フェニル]−1,2−オクタンジオン、チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製の1−(O−アセチルオキシム)−1−[9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル]エタノンを使用することが最も好ましい。
その具体例として、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾイン、9−フルオレノン、2−クロロ−9−フルオレノン、2−メチル−9−フルオレノン、9−アントロン、2−ブロモ−9−アントロン、2−エチル−9−アントロン、9,10−アントラキノン、2−エチル−9,10−アントラキノン、2−t−ブチル−9,10−アントラキノン、2,6−ジクロロ−9,10−アントラキノン、キサントン、2−メチルキサントン、2−メトキシキサントン、2−メトキシキサントン、チオキサントン、2,4−ジエチルチオキサントン、アクリドン、10−ブチル−2−クロロアクリドン、ベンジル、ジベンジルアセトン、p−(ジメチルアミノ)フェニルスチリルケトン、p−(ジメチルアミノ)フェニル−p−メチルスチリルケトン、ベンゾフェノン、p−(ジメチルアミノ)ベンゾフェノン(またはミヒラーケトン)、p−(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン、ベンゾアントロン等や特公昭51−48516号公報記載のベンゾチアゾール系化合物等や、チヌビン1130、同400等が挙げられる。
具体的には、米国特許第2,367,660号明細書に開示されているビシナールポリケトルアルドニル化合物;米国特許第2,367,661号および第2,367,670号明細書に開示されているα−カルボニル化合物;米国特許第2,448,828号明細書に開示されているアシロインエーテル;米国特許第2,722,512号明細書に開示されているα−炭化水素で置換された芳香族アシロイン化合物;米国特許第3,046,127号および第2,951,758号明細書に開示されている多核キノン化合物;米国特許第3,549,367号明細書に開示されているトリアーリルイミダゾールダイマー/p−アミノフェニルケトンの組合せ;特公昭51−48516号公報に開示されているベンゾチアゾール系化合物/トリハロメチール−s−トリアジン系化合物、等を挙げることができる。
次に、ラジカル重合性モノマーについて説明する。
本発明に用いられるラジカル重合性モノマーとしては、少なくとも1つの付加重合可能なエチレン性二重結合を有する、常圧下で100℃以上の沸点を持つ化合物が好ましい。また、前記エチレン性二重結合は(メタ)アクリレートであることが好ましい。後述の光重合開始剤等と共に含有することにより、染料含有ネガ型硬化性組成物をネガ型に構成することができる。
以上の中でも、ポリエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、トリメチロールエタントリ(メタ)アクリレート、ネオペンチルグリコールジ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、ヘキサンジオール(メタ)アクリレート、東亞合成化学(株)製の「TO−1382」、「TO−2359」、「TO−2360」などが好ましい。
本発明の染料含有ネガ型硬化性組成物を調製する際には、有機溶剤が用いられる。本発明における有機溶剤は、各成分の溶解性や染料含有ネガ型硬化性組成物の塗布性を満足すれば基本的に特に限定されないが、特に染料、バインダーの溶解性、塗布性、安全性を考慮して選ばれることが好ましい。
本発明の染料含有ネガ型硬化性組成物には、フッ素系および/またはシリコン系界面活性剤を含有する。ここで、「フッ素系および/またはシリコン系界面活性剤」とは、フッ素系界面活性剤、シリコン系界面活性剤、フッ素原子と珪素原子との両方を含有する界面活性剤のことを示す。これらは、それぞれ単独で用いてもよいし、2種以上を併用してもよい。
これらの(E)界面活性剤としては、例えば、特開昭62−36663号公報、特開昭61−226746号公報、特開昭61−226745号公報、特開昭62−170950号公報、特開昭63−34540号公報、特開平7−230165号公報、特開平8−62834号公報、特開平9−54432号公報、特開平9−5988号公報、特開2002−277862号公報、米国特許第5405720号明細書、同5360692号明細書、同5529881号明細書、同5296330号明細書、同5436098号明細書、同5576143号明細書、同5294511号明細書、同5824451号明細書記載の界面活性剤等が挙げられる。
(E)界面活性剤として使用できる市販の界面活性剤としては、例えば、エフトップEF301、EF303、(新秋田化成(株)製)、フロラードFC430、431(住友スリーエム(株)製)、メガファックF171、F173、F176、F189、R08(大日本インキ化学工業(株)製)、サーフロンS−382、SC101、102、103、104、105、106(旭硝子(株)製)、トロイゾルS−366(トロイケミカル(株)製)等のフッ素系界面活性剤またはシリコン系界面活性剤を挙げることができる。またポリシロキサンポリマーKP−341(信越化学工業(株)製)もシリコン系界面活性剤として用いることができる。
本発明におけるフルオロ脂肪族基を有する重合体としては、本発明におけるフルオロ脂肪族基を有するモノマーと(ポリ(オキシアルキレン))アクリレートおよび/または(ポリ(オキシアルキレン))メタクリレートとの共重合体が好ましい。該共重合体は、不規則に分布しているものでも、ブロック共重合していてもよい。また、前記ポリ(オキシアルキレン)基としては、ポリ(オキシエチレン)基、ポリ(オキシプロピレン)基、ポリ(オキシブチレン)基などが挙げられ、ポリ(オキシエチレンとオキシプロピレンとオキシエチレンとのブロック連結体)基やポリ(オキシエチレンとオキシプロピレンとのブロック連結体)基など同じ鎖長内に異なる鎖長のアルキレンを有するようなユニットでもよい。さらに、フルオロ脂肪族基を有するモノマーと(ポリ(オキシアルキレン))アクリレート(またはメタクリレート)との共重合体は2元共重合体ばかりでなく、異なる2種以上のフルオロ脂肪族基を有するモノマーや、異なる2種以上の(ポリ(オキシアルキレン))アクリレート(またはメタクリレート)などを同時に共重合した3元系以上の共重合体でもよい。
次に、バインダー樹脂について説明する。本発明におけるバインダー樹脂は、有機溶剤可溶であればいずれのものでもよく、例えば、有機高分子重合体が好適に用いられる。中でも、アルカリ可溶性バインダーが好適に用いられ、アルカリ可溶性バインダーは、アルカリ可溶性であれば特に限定はないが、耐熱性、現像性、入手性等の観点から選ばれることが好ましい。
また、前記アルカリ可溶性バインダーは、親水性を有するモノマーを共重合したものであってもよく、例えば、アルコキシアルキル(メタ)アクリレート、ヒドロキシアルキル(メタ)アクリレート、グリセロール(メタ)アクリレート、(メタ)アクリルアミド、N−メチロールアクリルアミド、2級または3級のアルキルアクリルアミド、ジアルキルアミノアルキル(メタ)アクリレート、モルホリン(メタ)アクリレート、N−ビニルピロリドン、N−ビニルカプロラクタム、ビニルイミダゾール、ビニルトリアゾール、メチル(メタ)アクリレート、エチル(メタ)アクリレート、分岐または直鎖のプロピル(メタ)アクリレート、分岐または直鎖のブチル(メタ)アクリレート、フェノキシヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、等が挙げられる。
本発明の染料含有ネガ型硬化性組成物には、下記に挙げる熱重合防止剤を必要に応じて使用することができる。
本発明の染料含有ネガ型硬化性組成物には、以上のほか、更に熱重合防止剤を加えておくことが好ましい。例えば、ハイドロキノン、p−メトキシフェノール、ジ−t−ブチル−p−クレゾール、ピロガロール、t−ブチルカテコール、ベンゾキノン、4,4’−チオビス(3−メチル−6−t−ブチルフェノール)、2,2’−メチレンビス(4−メチル−6−t−ブチルフェノール)、2−メルカプトベンゾイミダゾール等が有用である。
具体的には、例えば、ギ酸、酢酸、プロピオン酸、酪酸、吉草酸、ピバル酸、カプロン酸、ジエチル酢酸、エナント酸、カプリル酸等の脂肪族モノカルボン酸;シュウ酸、マロン酸、コハク酸、グルタル酸、アジピン酸、ピメリン酸、スベリン酸、アゼライン酸、セバシン酸、ブラシル酸、メチルマロン酸、エチルマロン酸、ジメチルマロン酸、メチルコハク酸、テトラメチルコハク酸、シトラコン酸等の脂肪族ジカルボン酸;トリカルバリル酸、アコニット酸、カンホロン酸等の脂肪族トリカルボン酸;安息香酸、トルイル酸、クミン酸、ヘメリト酸、メシチレン酸等の芳香族モノカルボン酸;フタル酸、イソフタル酸、テレフタル酸、トリメリト酸、トリメシン酸、メロファン酸、ピロメリト酸等の芳香族ポリカルボン酸;フェニル酢酸、ヒドロアトロパ酸、ヒドロケイ皮酸、マンデル酸、フェニルコハク酸、アトロパ酸、ケイ皮酸、ケイ皮酸メチル、ケイ皮酸ベンジル、シンナミリデン酢酸、クマル酸、ウンベル酸等のその他のカルボン酸が挙げられる。
次に、本発明のカラーフィルタについて、その製造方法を通じて詳述する。
本発明のカラーフィルタの製造方法においては、既述の本発明の染料含有ネガ型硬化性組成物が用いられる。即ち、本発明のカラーフィルタは、本発明の染料含有ネガ型硬化性組成物を用いてなることを特徴とし、本発明のカラーフィルタの製造方法は、本発明の染料含有ネガ型硬化性組成物を支持体上に塗布後、マスクを通して露光し、現像してパターンを形成する工程を有することを特徴とする。前記カラーフィルタの製造方法において、所望の色相よりなるカラーフィルタを製造するに際しては前記工程が所望の色相数だけ繰り返される。また、必要に応じて、前記パターン像を加熱および/または露光により硬化する工程を有する態様も好適である。
また、これらの基板上には、必要により、上部の層との密着改良、物質の拡散防止あるいは基板表面の平坦化のために下塗り層を設けてもよい。
以下に示す組成で各化合物を混合して溶解し、本発明の染料含有ネガ型硬化性組成物を調製した。なお、フッ素および/またはシリコン系界面活性剤は固形分中に300ppm添加した。
※表1中、各記号は、下記化合物を意味する。
(B)光重合開始剤
・オキシムA:チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製
2−(O−ベンゾイルオキシム)−1−[4−(フェニルチオ)フェニル]−1,2−オクタンジオン
・オキシムB:チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製
1−(O−アセチルオキシム)−1−[9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル]エタノン
(C)ラジカル重合性モノマー
・モノマーA:東亞合成化学(株)製「TO−756」
カルボキシル基含有3官能アクリレート
・モノマーB:東亞合成化学(株)製「TO−1382」
カルボキシル基含有5官能アクリレート
・モノマーC:日本化薬(株)製「カヤラドDPHA」
・TAZ−107:みどり化学(株)製
(E)フッ素および/またはシリコン系界面活性剤
・W−1:メガファックF176(大日本インキ化学工業(株)製)(フッ素系界面活性剤)
・W−2:メガファックR08(大日本インキ化学工業(株)製)(フッ素およびシリコーン系界面活性剤)
・W−3:ポリシロキサンポリマーKP−341(信越化学工業(株)製)(シリコーン系界面活性剤)
・W−4:メガファックF−475(大日本インキ化学工業(株)製)(本発明におけるフルオロ脂肪族基を有する重合体を含む界面活性剤)
・W−5:C6F13基を有するアクリレートと、(ポリ(オキシプロピレン))アクリレートと、(ポリ(オキシプロピレン))メタクリレートとの共重合体(本発明におけるフルオロ脂肪族基を有する重合体を含む界面活性剤)
・W−6:C6F13基を有するアクリレートと、(ポリ(エチレンオキシとプロピレンオキシとエチレンオキシとのブロック))アクリレートとの共重合体(本発明におけるフルオロ脂肪族基を有する重合体を含む界面活性剤)
・W−7:ポリオキシエチレンノニルフェニルエーテル(ノニオン系界面活性剤)
(F)バインダー樹脂
・樹脂A:ベンジルメタクリレート/メタクリル酸共重合体(=80/20〔モル比〕)
レジスト溶液(商品名:CT−2010L、富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ(株)社製)を、シリコンウェハー基板上に膜厚1μmになるようにスピンコーターを用いて塗布し、220℃で1時間加熱乾燥し、硬化膜(下塗り層)を形成した。
前記1)で得られた染料含有ネガ型硬化性組成物を、前記2)で得られた下塗り層付シリコンウェハー上に膜厚が1μmになるようにスピンコーターを用いて塗布し、100℃で120秒間プリベークした。
次いで、i線縮小投影露光装置を使用して、塗布膜に365nmの波長で2μmマスクを通して露光量をふって照射した。照射後、現像液(商品名:CD−2000(100%)、富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ(株)社製)を使用して、23℃で60秒間現像し、次いで、流水で20秒間リンスした後、スピン乾燥して、パターン画像を得た。画像形成は、光学顕微鏡およびSEM写真観察により通常の方法で確認した。
(1)塗布膜面内均一性
前記1)で得られた染料含有ネガ型硬化性組成物を、8インチウェハ上に塗布し、膜面内でランダムに12点膜厚測定し、その平均から一番大きい点のズレを算出した。値が小さいほうが良好である。また、係る測定は、膜厚測定方法は接触式膜厚計、非接触式膜厚計いずれの方法でも可能だが、今回の実験では、ウェハー上の膜を削り取り、基板と膜表面との距離を接触式段差測定器(Veeco社製DEKTAK6)にて測定した。結果を下記表2に示す。
2μmパターンのドットとスペースとの幅が1:1になる露光量を適正露光量とし、その露光量を感度とした。数字が小さい方が高感度となり好ましい。結果を下記表2に示す。
Claims (6)
- (A)染料と、(B)光重合開始剤と、(C)ラジカル重合性モノマーと、(D)有機溶剤と、(E)フッ素系および/またはシリコン系界面活性剤とを含み、前記(A)染料の含有量が、全固形分に対して30〜80質量%であることを特徴とする染料含有ネガ型硬化性組成物。
- 前記(E)フッ素および/またはシリコン系界面活性剤が、テロメリゼーション法、または、オリゴメリゼーション法によって製造されたフルオロ脂肪族化合物から導かれるフルオロ脂肪族基を有する重合体を含む界面活性剤であることを特徴とする請求項1に記載の染料含有ネガ型硬化性組成物。
- さらに、(F)バインダー樹脂を含有することを特徴とする請求項1または2に記載の染料含有ネガ型硬化性組成物。
- 前記(A)染料が、吸収特性の異なる2種以上の染料の混合物を含むことを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の染料含有ネガ型硬化性組成物。
- 請求項1〜4のいずれか1項に記載の染料含有ネガ型硬化性組成物を用いてなることを特徴とするカラーフィルタ。
- 請求項1〜4のいずれか1項に記載の染料含有ネガ型硬化性組成物を支持体上に塗布後、マスクを通して露光し、現像してパターンを形成する工程を有することを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006186082A JP4926576B2 (ja) | 2006-07-05 | 2006-07-05 | 染料含有ネガ型硬化性組成物、カラーフィルタおよびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006186082A JP4926576B2 (ja) | 2006-07-05 | 2006-07-05 | 染料含有ネガ型硬化性組成物、カラーフィルタおよびその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008015204A true JP2008015204A (ja) | 2008-01-24 |
JP4926576B2 JP4926576B2 (ja) | 2012-05-09 |
Family
ID=39072289
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006186082A Active JP4926576B2 (ja) | 2006-07-05 | 2006-07-05 | 染料含有ネガ型硬化性組成物、カラーフィルタおよびその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4926576B2 (ja) |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009093153A (ja) * | 2007-09-20 | 2009-04-30 | Fujifilm Corp | 着色硬化性組成物、着色パターン、カラーフィルタの製造方法、カラーフィルタ、及び液晶表示装置 |
JP2009244321A (ja) * | 2008-03-28 | 2009-10-22 | Fujifilm Corp | 固体撮像素子用緑色硬化性組成物、固体撮像素子用カラーフィルタ及びその製造方法 |
KR20100021366A (ko) * | 2008-08-14 | 2010-02-24 | 후지필름 가부시키가이샤 | 컬러필터와 그 형성방법, 및 고체촬상소자 |
CN102023481A (zh) * | 2009-09-17 | 2011-04-20 | Jsr株式会社 | 着色组合物、滤色器和彩色液晶显示元件 |
JP2012233160A (ja) * | 2011-04-18 | 2012-11-29 | Sumitomo Chemical Co Ltd | 着色硬化性樹脂組成物 |
JP2013254209A (ja) * | 2013-07-12 | 2013-12-19 | Fujifilm Corp | カラーフィルタ及びその形成方法、並びに固体撮像素子 |
WO2014017669A1 (en) * | 2012-07-27 | 2014-01-30 | Fujifilm Corporation | Near infrared absorptive liquid composition, near infrared cut filter using the same, method of manufacturing the same, and camera module and method of manufacturing the same |
WO2014142144A1 (ja) * | 2013-03-15 | 2014-09-18 | 富士フイルム株式会社 | 着色感放射線性組成物、着色硬化膜、カラーフィルタ、着色パターン形成方法、カラーフィルタの製造方法、固体撮像素子及び液晶表示装置 |
Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08171201A (ja) * | 1994-10-18 | 1996-07-02 | Fuji Photo Film Co Ltd | 感光性転写材料及び画像形成方法 |
JPH10293397A (ja) * | 1997-04-22 | 1998-11-04 | Jsr Corp | カラーフィルター用感放射線性組成物 |
JP2004286809A (ja) * | 2003-03-19 | 2004-10-14 | Fuji Photo Film Co Ltd | 染料含有硬化性組成物、並びに、これを用いたカラーフィルターおよびその製造方法 |
JP2005274966A (ja) * | 2004-03-24 | 2005-10-06 | Fuji Photo Film Co Ltd | 染料含有ネガ型硬化性組成物、カラーフィルターおよびその製造方法 |
JP2006047677A (ja) * | 2004-08-04 | 2006-02-16 | Fuji Photo Film Co Ltd | 染料含有硬化性組成物、カラーフィルタ及びその製造方法 |
JP2006071822A (ja) * | 2004-08-31 | 2006-03-16 | Fuji Photo Film Co Ltd | 着色硬化性組成物、並びに、カラーフィルタおよびその製造方法 |
JP2006106099A (ja) * | 2004-09-30 | 2006-04-20 | Fuji Photo Film Co Ltd | 染料含有ネガ型硬化性組成物、カラーフィルターおよびその製造方法 |
JP2006265548A (ja) * | 2005-02-28 | 2006-10-05 | Sumitomo Chemical Co Ltd | 着色組成物 |
JP2007199376A (ja) * | 2006-01-26 | 2007-08-09 | Nissan Chem Ind Ltd | 光ラジカル発生剤を含有するネガ型カラーレジスト組成物及びそれを用いるカラーフィルター |
-
2006
- 2006-07-05 JP JP2006186082A patent/JP4926576B2/ja active Active
Patent Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08171201A (ja) * | 1994-10-18 | 1996-07-02 | Fuji Photo Film Co Ltd | 感光性転写材料及び画像形成方法 |
JPH10293397A (ja) * | 1997-04-22 | 1998-11-04 | Jsr Corp | カラーフィルター用感放射線性組成物 |
JP2004286809A (ja) * | 2003-03-19 | 2004-10-14 | Fuji Photo Film Co Ltd | 染料含有硬化性組成物、並びに、これを用いたカラーフィルターおよびその製造方法 |
JP2005274966A (ja) * | 2004-03-24 | 2005-10-06 | Fuji Photo Film Co Ltd | 染料含有ネガ型硬化性組成物、カラーフィルターおよびその製造方法 |
JP2006047677A (ja) * | 2004-08-04 | 2006-02-16 | Fuji Photo Film Co Ltd | 染料含有硬化性組成物、カラーフィルタ及びその製造方法 |
JP2006071822A (ja) * | 2004-08-31 | 2006-03-16 | Fuji Photo Film Co Ltd | 着色硬化性組成物、並びに、カラーフィルタおよびその製造方法 |
JP2006106099A (ja) * | 2004-09-30 | 2006-04-20 | Fuji Photo Film Co Ltd | 染料含有ネガ型硬化性組成物、カラーフィルターおよびその製造方法 |
JP2006265548A (ja) * | 2005-02-28 | 2006-10-05 | Sumitomo Chemical Co Ltd | 着色組成物 |
JP2007199376A (ja) * | 2006-01-26 | 2007-08-09 | Nissan Chem Ind Ltd | 光ラジカル発生剤を含有するネガ型カラーレジスト組成物及びそれを用いるカラーフィルター |
Cited By (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009093153A (ja) * | 2007-09-20 | 2009-04-30 | Fujifilm Corp | 着色硬化性組成物、着色パターン、カラーフィルタの製造方法、カラーフィルタ、及び液晶表示装置 |
JP2009244321A (ja) * | 2008-03-28 | 2009-10-22 | Fujifilm Corp | 固体撮像素子用緑色硬化性組成物、固体撮像素子用カラーフィルタ及びその製造方法 |
US8968973B2 (en) | 2008-08-14 | 2015-03-03 | Fujifilm Corporation | Color filter and production method thereof, and solid-state image sensor using the same |
KR20100021366A (ko) * | 2008-08-14 | 2010-02-24 | 후지필름 가부시키가이샤 | 컬러필터와 그 형성방법, 및 고체촬상소자 |
JP2010044273A (ja) * | 2008-08-14 | 2010-02-25 | Fujifilm Corp | カラーフィルタ及びその形成方法、並びに固体撮像素子 |
KR101596338B1 (ko) * | 2008-08-14 | 2016-02-22 | 후지필름 가부시키가이샤 | 컬러필터와 그 형성방법, 및 고체촬상소자 |
TWI504944B (zh) * | 2008-08-14 | 2015-10-21 | Fujifilm Corp | 彩色濾光片及其製造方法、以及使用其之固態影像感測器 |
CN102023481B (zh) * | 2009-09-17 | 2013-11-27 | Jsr株式会社 | 着色组合物、滤色器和彩色液晶显示元件 |
CN102023481A (zh) * | 2009-09-17 | 2011-04-20 | Jsr株式会社 | 着色组合物、滤色器和彩色液晶显示元件 |
JP2012233160A (ja) * | 2011-04-18 | 2012-11-29 | Sumitomo Chemical Co Ltd | 着色硬化性樹脂組成物 |
WO2014017669A1 (en) * | 2012-07-27 | 2014-01-30 | Fujifilm Corporation | Near infrared absorptive liquid composition, near infrared cut filter using the same, method of manufacturing the same, and camera module and method of manufacturing the same |
JP2014041318A (ja) * | 2012-07-27 | 2014-03-06 | Fujifilm Corp | 近赤外線吸収性組成物、これを用いた近赤外線カットフィルタ及びその製造方法、並びに、カメラモジュール及びその製造方法 |
WO2014142144A1 (ja) * | 2013-03-15 | 2014-09-18 | 富士フイルム株式会社 | 着色感放射線性組成物、着色硬化膜、カラーフィルタ、着色パターン形成方法、カラーフィルタの製造方法、固体撮像素子及び液晶表示装置 |
JP2013254209A (ja) * | 2013-07-12 | 2013-12-19 | Fujifilm Corp | カラーフィルタ及びその形成方法、並びに固体撮像素子 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4926576B2 (ja) | 2012-05-09 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4926576B2 (ja) | 染料含有ネガ型硬化性組成物、カラーフィルタおよびその製造方法 | |
JP4459091B2 (ja) | 染料含有ネガ型硬化性組成物、カラーフィルタおよびその製造方法 | |
JP2006071890A (ja) | 染料含有ネガ型硬化性組成物、カラーフィルタおよびその製造方法 | |
JP2006078602A (ja) | 染料含有ネガ型硬化性組成物、カラーフィルタ及びその製造方法 | |
JP4837603B2 (ja) | ネガ型硬化性組成物、カラーフィルタ及びその製造方法 | |
JP4805068B2 (ja) | 染料含有ネガ型硬化性組成物の製造方法、並びにカラーフィルタ及びその製造方法 | |
KR101244722B1 (ko) | 염료함유 네거티브형 경화성 조성물, 컬러필터 및 그 제조방법 | |
JP4884832B2 (ja) | 染料含有ネガ型硬化性組成物、カラーフィルタ及びその製造方法 | |
JP4884853B2 (ja) | 染料含有ネガ型硬化性組成物、カラーフィルタ及びその製造方法 | |
JP2008058642A (ja) | 染料含有ネガ型硬化性組成物の製造方法、並びにカラーフィルタ及びその製造方法 | |
JP4884833B2 (ja) | 染料含有ネガ型硬化性組成物、カラーフィルタ及びその製造方法 | |
JP2009244802A (ja) | 感光性着色組成物及びカラーフィルタの製造方法 | |
JP2006235196A (ja) | ネガ型着色硬化性組成物、カラーフィルタ及びその製造方法 | |
JP4757639B2 (ja) | 染料含有ネガ型硬化性組成物、カラーフィルタ及びその製造方法 | |
JP4322608B2 (ja) | カラーフィルタ及びその製造方法 | |
JP4667989B2 (ja) | 光硬化性組成物、カラーフィルタおよびその製造方法 | |
JP2005283679A (ja) | 染料含有ネガ型硬化性組成物、カラーフィルターおよびその製造方法 | |
JP5214001B2 (ja) | ネガ型硬化性組成物 | |
JP2006072134A (ja) | 染料含有ネガ型硬化性組成物、カラーフィルタおよびその製造方法 | |
JP5052360B2 (ja) | 染料含有ネガ型硬化性組成物、カラーフィルタ及びその製造方法 | |
JP2005274967A (ja) | 染料含有ネガ型硬化性組成物、カラーフィルターおよびその製造方法 | |
JP2005274968A (ja) | 染料含有ネガ型硬化性組成物、カラーフィルターおよびその製造方法 | |
JP2005275170A (ja) | 染料含有ネガ型硬化性組成物、カラーフィルターおよびその製造方法 | |
JP4578949B2 (ja) | 光硬化性画像記録材料、並びに、カラーフィルタおよびその製造方法 | |
JP2006106099A (ja) | 染料含有ネガ型硬化性組成物、カラーフィルターおよびその製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20090218 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20110126 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110201 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110404 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110726 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110922 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20111018 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20111213 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120117 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120208 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150217 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4926576 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |