JP2008010504A - アライメント装置及び方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ガラス基板1の基板マーク1a、1aと基板角度マーク1b、1bのそれぞれを結ぶ仮想線L3、L4同士は互いに平行となっており、各仮想線L3、L4に対するそれぞれの仮想垂線L7、L8上に位置し、かつガラス基板1の中心点P1に対し点対称に仮想点1c、1cをそれぞれ設定する。ガラス基板1とメタルマスク2とを重ねて配置した状態で、カメラ4A、4Bにより、基板マーク1a、1aと基板角度マーク1b、1bとマスクマーク2a、2aとを測定用画像として取得し、この測定用画像から仮想点1c、1cの座標値と、マスクマーク2a、2aの座標値を算出し、これら座標値からそれぞれを結ぶ線分L12、L11の各中心点座標値P11、P21を算出し、座標差分値を求め、この座標差分値を補正値として用いてガラス基板1とメタルマスク2との位置合わせを行う。
【選択図】図4
Description
<式1>
θ=arctan(Y1−Y2)/(X1−X2)
(Xs10、−Ys10)={(Xs9−Xs8)/2、(−Ys9−(−Ys8))/2}
(Xs7、−Ys7)={(Xs6−Xs5)/2、(−Ys6−(−Ys5))/2}
α1=arctan{(−Ys9−(−Ys8))/(Xs9−Xs8)}
α2=arctan{(−Ys6−(−Ys5))/(Xs6−Xs5)}
1a 基板マーク
1b 基板角度マーク
1c 仮想点
2 メタルマスク
2a マスクマーク
2b スリット
3 マスクフレーム
4A、4B カメラ
5 カメラI/F
6 搬送駆動部
7 制御部
8 画像処理部
81 座標値算出手段
82 補正値算出手段
83 記憶部
9 保持部
L1、L2、L5、L6 対角線
L3、L4 仮想線
L7、L8 仮想垂線
L11 第1線分
L12 第2線分
P1 ガラス基板の中心点
P2 メタルマスクの中心点
P11、P21 中心点
α1、α2 傾斜角
C1、C2 測定用画像
Claims (3)
- 基板とマスクとを重ねる際の位置合わせを行うアライメント装置であって、
上記基板は、
その一角の近傍に形成された基板マークと、
この基板マークの近傍に形成された基板角度マークと、を有し、
更に、上記基板マークと上記基板角度マークとが、上記基板の中心点に対し点対称であり、かつ、上記基板マークと上記基板角度マークとを結ぶ仮想線同士が平行となるよう上記一角の対角近傍にも形成されており、
上記マスクは、
その一対の対角のそれぞれの近傍に形成されたマスクマークを有し、
上記アライメント装置は、
上記仮想線に対する仮想垂線上に位置し、かつ、上記基板の中心点に対し点対称である仮想点を設定する仮想点設定手段と、
上記基板と上記マスクとを重ねて配置した状態で、上記基板マークと上記基板角度マークと上記マスクマークとを測定用画像として取得する画像取得手段と、
上記基板マーク及び上記基板角度マークから取得した測定用画像から上記基板マークの座標値と上記基板角度マークの座標値とをそれぞれ算出し、これら座標値から上記仮想点の座標値を算出するとともに、上記マスクマークから取得した測定用画像から上記マスクマークの座標値を算出し、更に、上記仮想点同士を結ぶ第1線分上の第1中心点座標値と、上記マスクマーク同士を結ぶ第2線分上の第2中心点座標値と、を算出する座標値算出手段と、
上記第1中心点座標値と上記第2中心点座標値との座標差分値を算出する補正値算出手段と、
上記座標差分値を補正値として用い、上記基板と上記マスクとの位置合わせを行う位置補正手段と、を有すること
を特徴とするアライメント装置。 - 上記位置補正手段は、上記第1線分と上記第2線分とが一致するように上記基板と上記マスクとの位置合わせを行うことを特徴とする請求項1に記載のアライメント装置。
- 基板とマスクとを重ねる際の位置合わせを行うアライメント方法であって、
上記基板は、
その一角の近傍に形成された基板マークと、
この基板マークの近傍に形成された基板角度マークと、を有し、
更に、上記基板マークと上記基板角度マークとが、上記基板の中心点に対し点対称であり、かつ、上記基板マークと上記基板角度マークとを結ぶ仮想線同士が平行となるよう上記一角の対角近傍にも形成されており、
上記マスクは、
その一対の対角のそれぞれの近傍に形成されたマスクマークを有し、
上記アライメント方法は、
上記仮想線に対する仮想垂線上に位置し、かつ、上記基板の中心点に対し点対称である仮想点を設定する仮想点設定工程と、
上記基板と上記マスクとを重ねて配置した状態で、上記基板マークと上記基板角度マークと上記マスクマークとを測定用画像として取得する画像取得工程と、
上記基板マーク及び上記基板角度マークから取得した測定用画像から上記基板マークの座標値と上記基板角度マークの座標値とをそれぞれ算出し、これら座標値から上記仮想点の座標値を算出するとともに、上記マスクマークから取得した測定用画像から上記マスクマークの座標値を算出し、更に、上記仮想点同士を結ぶ第1線分上の第1中心点座標値と、上記マスクマーク同士を結ぶ第2線分上の第2中心点座標値と、を算出する座標値算出工程と、
上記第1中心点座標値と上記第2中心点座標値との座標差分値を算出する補正値算出工程と、
上記座標差分値を補正値として用い、上記基板と上記マスクとの位置合わせを行う位置補正工程と、を有すること
を特徴とするアライメント方法。
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