JP2008002932A - 試料撮像装置及び試料の照明方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】スループットへの影響を抑えつつ異なる種類の照明による画像を取得でき、かつ容易に構成可能な試料撮像装置及び照明方法を提供する。
【解決手段】試料撮像装置1を、奇数フィールドを成す画素信号と偶数フィールドを成す画素信号とが交互に受光部から取り出される撮像素子15と、受光部から画素信号が取り出されるフィールドの切り替えに同期して試料表面を照明する照明光を切り替える照明光切替部25と、を備えて構成する。
【選択図】図2
【解決手段】試料撮像装置1を、奇数フィールドを成す画素信号と偶数フィールドを成す画素信号とが交互に受光部から取り出される撮像素子15と、受光部から画素信号が取り出されるフィールドの切り替えに同期して試料表面を照明する照明光を切り替える照明光切替部25と、を備えて構成する。
【選択図】図2
Description
本発明は、明視野照明及び暗視野照明により照明された試料を撮像する撮像装置及び試料の照明方法に関し、特に半導体ウエハ等の試料表面に形成したパターンの検査を半導体製造工程などで行う外観検査装置に使用される撮像装置及び試料の照明方法に関する。
半導体製造工程では、半導体ウエハ、半導体メモリ用フォトマスク、液晶表示パネル用基板などの試料の表面に所定のパターンが繰返し形成される。そこで、このパターンの光学像を捕らえ、本来同一であるべき対応するパターン同士を比較することによりパターンの欠陥を検出する外観検査が行われている。このようなパターン比較式の外観検査では、比較の結果2つのパターン間に差異がなければ欠陥のないパターンであり、差異があればいずれか一方のパターンに欠陥が存在すると判定する。
以下の説明では、半導体ウエハ上に形成されたパターンの欠陥を検査する半導体ウエハ用外観検査装置を例として説明する。しかし、本発明はこれに限定されるものではなく、半導体メモリ用フォトマスクや液晶表示パネル用基板などの試料の欠陥を検査する外観検査装置にも適用可能である。また本発明の適用範囲は外観検査装置に限定されるものではなく、一般に試料の明視野照明画像及び暗視野照明画像を撮像する撮像装置であれば広く適用可能である。
半導体ウエハ用外観検査装置では、ウエハ上に形成された微細なパターンの光学像を捉える為に金属顕微鏡が一般に使用される。かかる金属顕微鏡では、対象表面を垂直方向から照明してその正反射光の像を捕らえる明視野照明や、試料表面を斜め方向又は垂直方向から照明して正反射光は検出しないように撮像センサを配置する暗視野照明が用いられている。図1の(A)に明視野照明光学系の概略的な構成例を示し、図1の(B)に明視野照明光学系の概略構成図を示す。
図1の(A)に示す明視野照明光学系の例では、試料2を照明するために、光源21と、照明用レンズ22と、対物レンズ14の光軸上に設けられた半透鏡24とが設けられ、光源21からの照明光を半透鏡24によって対物レンズ14の方向へ反射することにより、対物レンズ14を通して試料2を真上から照明する。試料2の表面で反射した正反射光は再び対物レンズ14に入射して投影され、その投影光は半透鏡24を通過して撮像素子15の受光面光に結像する。
一方で図1の(B)に明視野照明光学系の例では、光源31と、照明用レンズ32と、対物レンズ14の光軸上に設けられて該光軸付近において中空である円環状の穴あき鏡34と、穴あき鏡34で反射されることにより対物レンズ14の光軸に平行に試料2の方向へと進む中空の光束となった照明光を、さらに反射させて、対物レンズ14の外側から対物レンズ14の光軸に対して斜めから試料2に入射させるミラー35、35を備える。
かかる暗視野照明で得られた画像は、正反射光を捉えないので微小な欠陥で反射した散乱光の相対信号強度が強く微小欠陥を発見しやすいという長所があり、一方で明視野照明で得られた画像は、検出可能な欠陥の種類が多く、また検出された欠陥をその後に自動欠陥分類(ADC: Auto Defect Classification)装置などによって分類する際に使用できる情報量が多いという長所がある。
このように明視野照明と暗視野照明にはそれぞれ特長があり、明視野照明と暗視野照明とを切替えてこれら両方の照明を実現する顕微鏡装置も考案されている(例えば、下記特許文献1〜4)。
このように明視野照明と暗視野照明にはそれぞれ特長があり、明視野照明と暗視野照明とを切替えてこれら両方の照明を実現する顕微鏡装置も考案されている(例えば、下記特許文献1〜4)。
しかしながら、上記従来技術の様に明視野照明と暗視野照明とを切り替える手法によれば、1つの試料の明視野画像と暗視野画像の両方を得るためには、照明方法を切り替えて2度撮影する必要があるため装置のスループットが低下する。
また、試料で反射した正反射光を捉える位置と、散乱光を捉える位置とにそれぞれカメラを配置して明視野画像と暗視野画像とを同時に撮像する手法も可能であるが、かかる手法によれば撮像装置が複数台必要となり装置コストが高くなる。
さらに、明視野照明と暗視野照明とを同時に与えると、露光量が撮像素子のダイナミックレンジを超えてブルーミングが生じるおそれがあるため、各照明条件に制約がありそれぞれの照明条件を個別に最適化することができないという問題がある。
また、試料で反射した正反射光を捉える位置と、散乱光を捉える位置とにそれぞれカメラを配置して明視野画像と暗視野画像とを同時に撮像する手法も可能であるが、かかる手法によれば撮像装置が複数台必要となり装置コストが高くなる。
さらに、明視野照明と暗視野照明とを同時に与えると、露光量が撮像素子のダイナミックレンジを超えてブルーミングが生じるおそれがあるため、各照明条件に制約がありそれぞれの照明条件を個別に最適化することができないという問題がある。
上記問題に鑑み、本発明は、スループットへの影響を抑えつつ異なる種類の照明による画像を取得でき、かつ容易に構成可能な試料撮像装置及び照明方法を提供することを目的とする。
上記目的を達成するために、本発明では、試料を撮像するための撮像素子として、奇数フィールドを成す画素信号と偶数フィールドを成す画素信号とが、交互に受光部から取り出される撮像素子を用い、撮像素子の受光部から画素信号が取り出されるフィールドの切り替えに同期して、試料表面を照明する照明光を切り替える。
このような撮像素子としては、例えば一般的なCCD画像センサを使用することが可能である。
このような撮像素子としては、例えば一般的なCCD画像センサを使用することが可能である。
例えばCCD画像センサでは、1フレーム分の画像信号を生成する際に、このフレームを構成する奇数フィールドと偶数フィールドとの間で時刻(タイミング)を違えて、これらフィールドの画像信号を形成する信号電荷を受光素子から取り出す。したがって光電信号を取り出すフィールドの切替に同期して照明の種類を変えることによって、1フレーム分の画像信号を生成する間に、異なる複数種類の照明光で生じた光学像を、奇数フィールドと偶数フィールドとで分けて生成することが可能となる。
本発明によれば、従来では1種類の照明により生じた画像を1フレームの画像として生成する間に、複数種類の照明により生じた画像を異なる複数のフィールドの画像として生成することが可能となり、スループットへの影響を抑えつつ異なる複数種類の照明によって得られる画像を取得することが可能となる。
また、これら異なる複数種類の照明の切り替えを行うことによって、これら照明を同時に照明することにより生じるダイナミックレンジからの超過やブルーミングといった問題を回避することが可能となり、それぞれの照明の照明条件を個別に最適化することが可能となる。
また、これら異なる複数種類の照明の切り替えを行うことによって、これら照明を同時に照明することにより生じるダイナミックレンジからの超過やブルーミングといった問題を回避することが可能となり、それぞれの照明の照明条件を個別に最適化することが可能となる。
このため、本発明の第1形態に係る試料撮像装置は、奇数フィールドを成す画素信号と偶数フィールドを成す画素信号とが交互に受光部から取り出される撮像素子と、受光部から画素信号が取り出されるフィールドの切り替えに同期して、試料表面を照明する照明光を切り替える照明光切替部と、を備えて構成される。
また、本発明の第2形態に係る試料の照明方法は、奇数フィールドを成す画素信号と偶数フィールドを成す画素信号とが、受光部から交互に取り出される撮像素子を用いて試料表面を撮像する撮像装置において、受光部から画素信号を取り出すフィールドの切り替えに同期して、試料表面を照明する照明光を切り替える。
本発明によって、従来の試料撮像装置に対する装置コストの大きな増加や、スループットへの大きな影響を生じることなく、異なる種類の照明による画像を取得することが可能となる。
以下、添付する図面を参照して本発明の実施例を説明する。図2は、本発明の第1実施例による試料撮像装置の概略を示す全体構成図である。
試料撮像装置1は、好適には、半導体製造工程において、半導体ウエハ、半導体メモリ用フォトマスク、液晶表示パネル用基板などの試料2の外観検査を行うための外観検査装置(図示せず)に組み込まれて使用される。
かかる外観検査装置においては、試料撮像装置1によって撮像された試料2の表面の画像のうち、本来同一であるべき対応するパターン同士を比較することによりパターンの欠陥を検出する。すなわちパターン同士の比較の結果、2つのパターン間に差異がなければ欠陥のないパターンであり、差異があればいずれか一方のパターンに欠陥が存在すると判定する。
ステージ11の上部にはエリアセンサであるCCD画像センサ15が設けられており、CCD画像センサ15は、その受光面に結像した試料2の表面の光学像に対応する画像信号を発生させる。
試料撮像装置1は、好適には、半導体製造工程において、半導体ウエハ、半導体メモリ用フォトマスク、液晶表示パネル用基板などの試料2の外観検査を行うための外観検査装置(図示せず)に組み込まれて使用される。
かかる外観検査装置においては、試料撮像装置1によって撮像された試料2の表面の画像のうち、本来同一であるべき対応するパターン同士を比較することによりパターンの欠陥を検出する。すなわちパターン同士の比較の結果、2つのパターン間に差異がなければ欠陥のないパターンであり、差異があればいずれか一方のパターンに欠陥が存在すると判定する。
ステージ11の上部にはエリアセンサであるCCD画像センサ15が設けられており、CCD画像センサ15は、その受光面に結像した試料2の表面の光学像に対応する画像信号を発生させる。
試料撮像装置1は、試料2の光学像を投影及び結像するための対物レンズ14と、少なくとも対物レンズ14の光軸と垂直な2次元平面内で移動可能なステージ11と、ステージ11の上面に設けられる試料台(チャックステージ)12とを備える。この試料台12の上に、検査対象となる半導体ウエハ等である試料2を載置して固定する。ステージ11はステージ駆動部13の制御によって移動し、ステージ駆動部13は試料2の所望の観察位置が対物レンズ14の視野内に入るようにステージ11の位置を調節する。
また、試料撮像装置1は、第1パルスレーザ発生器21、照明用レンズ22及び23、並びに半透鏡(ビームスプリッタ)24を含んで構成される明視野照明光学系と、第2パルスレーザ発生器31、照明用レンズ32及び33、穴あき鏡34、並びにミラー35を含んで構成される暗視野照明光学系と、第1パルスレーザ発生器21及び第2パルスレーザ発生器31の各々にレーザを発生させることを命令するパルス信号を発生する照明用パルス発生回路25と、を備える。
明視野照明光学系では、照明用パルス発生回路25で発生させたパルス信号に従って第1パルスレーザ発生器21で生じた照明光を、照明用レンズ22及び23を介して、半透鏡24に入射させる。半透鏡24は対物レンズ14の光軸上に設けられており、入射したレーザ光を、対物レンズ14の光軸に平行にかつ対物レンズ14の方向へ反射することにより、対物レンズ14を通して試料2を真上から照明する。試料2の表面で反射した正反射光は再び対物レンズ14に入射して投影され、その投影光は半透鏡24を通過し、明視野画像をなってCCD画像センサ15の受光面光に結像する。
暗視野照明光学系では、照明用パルス発生回路25で発生させたパルス信号に従って第2パルスレーザ発生器31で生じた照明光を、照明用レンズ32及び33を介して、穴あき鏡34に入射させる。穴あき鏡34は対物レンズ14の光軸上に設けられかつこの光軸付近において中空である円環状の反射鏡であり、穴あき鏡34で反射した照明光は、対物レンズの光軸付近が中空となった円環状の光束となって対物レンズ14の光軸に平行に試料2の方向へと進む。円環状の照明光は、ミラー35、35によって反射されて対物レンズ14の外側から対物レンズ14の光軸に対して斜めから試料2に入射する。このため、対物レンズ14の外側から斜めに試料2に入射した照明光の正反射光は対物レンズ14には入射せず、対物レンズ14は試料2の表面で反射した散乱光のみを捉えてCCD画像センサ15の受光面上に暗視野画像を結ぶ。
本実施例では、上述の通り明視野照明光学系と暗視野照明光学系とを配置することによって、明視野照明光学系による明視野画像と前記暗視野照明光学系による暗視野画像とをともに同じCCD画像センサ15の受光面上に結像させる。
また、これら明視野照明及び暗視野照明をそれぞれ与える第1パルスレーザ発生器21及び第2パルスレーザ発生器31の各々に、レーザを発生させることを命令するパルス信号を発生する照明用パルス発生回路25を設け、これらパルスレーザ発生器21及び31に交互にパルス信号を与えることによって、明視野照明及び暗視野照明を切り替えることが可能である。またこれら照明光をパルスレーザ発生器で生じることによって、明視野照明と暗視野照明の切替を瞬時に行うことが可能である。
また、これら明視野照明及び暗視野照明をそれぞれ与える第1パルスレーザ発生器21及び第2パルスレーザ発生器31の各々に、レーザを発生させることを命令するパルス信号を発生する照明用パルス発生回路25を設け、これらパルスレーザ発生器21及び31に交互にパルス信号を与えることによって、明視野照明及び暗視野照明を切り替えることが可能である。またこれら照明光をパルスレーザ発生器で生じることによって、明視野照明と暗視野照明の切替を瞬時に行うことが可能である。
なお、上述の照明系の構成はあくまで説明の為に例示したものであって、本発明の範囲はこの構成例に制限されるものではない。明視野照明光学系による明視野画像及び前記暗視野照明光学系による暗視野画像がともに同じCCD画像センサ15の受光面上に結像し、かつ明視野照明及び暗視野照明を切り替えることが可能である構成であれば、どのような構成であっても本発明に適用することが可能である。
CCD画像センサ15から画像信号を読み出すために垂直転送CCD及び水平転送CCDに印加するフィールドシフトパルス、転送パルス及びリセットパルスは、タイミングパルス発生回路17にて生成される。以下、図3〜図5を参照して、一般的なインタライン転送CCD(IT−CCD)の読み出し動作を説明する。
図3は、図2に示したCCD画像センサ15の一部分の構成図である。図示するとおりCCD画像センサ15には、受光面の各画素部分に当たった光を光電変換するホトダイオードなどの受光部R11〜R24と、受光部R11〜R24からシフトゲートを介して取り出した信号電荷を図の下方向に転送する垂直転送CCDV11〜V28と、最後の列の垂直転送CCDV11、V21に隣接して配置され、これら垂直転送CCDV11、V21から転送された信号電荷を、図の左方向に転送する水平転送CCDH11〜H22が配置される。
図3は、図2に示したCCD画像センサ15の一部分の構成図である。図示するとおりCCD画像センサ15には、受光面の各画素部分に当たった光を光電変換するホトダイオードなどの受光部R11〜R24と、受光部R11〜R24からシフトゲートを介して取り出した信号電荷を図の下方向に転送する垂直転送CCDV11〜V28と、最後の列の垂直転送CCDV11、V21に隣接して配置され、これら垂直転送CCDV11、V21から転送された信号電荷を、図の左方向に転送する水平転送CCDH11〜H22が配置される。
一般にIT−CCD画像センサ15では、インタレーススキャンを行うテレビジョン信号に対応して、IT−CCD画像センサ15の全画素による全解像線のうち、1行おきに間引きした解像線を有する奇数フレームと、奇数フレームにより間引きされた解像線により構成される偶数フレームと、を交互に読み出すインターレース読み出しを行う。
後述する通り、インターレース読み出しには「フレーム読み出し方式」と「フィールド読み出し方式」が使用され、いずれの読み出し方式も本発明に適用可能である。
フレーム読み出し方式では、奇数番目の行の画素(以下、説明のため「奇数列画素」と記すことがある)の信号から奇数フレームを生成し、偶数番目の行の画素(以下、説明のため「偶数列画素」と記すことがある)の信号から偶数フレームを生成する。
フィールド読み出し方式では、奇数フレーム及び偶数スレームの各々において、フィールドを生成する際に全ての受光部の蓄積電荷を読み出して、隣接する2画素の受光部の蓄積電荷を加算する。この際に奇数フィールドと偶数フィールドとで、加算する列の組合せを変える。
以下の説明では、図3に示す受光部R11、R13、R21及びR23を、奇数列画素の受光部(以下「奇数列受光部」と記すことがある)とし、受光部R12、R14、R24及びR24を、偶数列画素の受光部(以下「偶数列受光部」と記すことがある)とする。
後述する通り、インターレース読み出しには「フレーム読み出し方式」と「フィールド読み出し方式」が使用され、いずれの読み出し方式も本発明に適用可能である。
フレーム読み出し方式では、奇数番目の行の画素(以下、説明のため「奇数列画素」と記すことがある)の信号から奇数フレームを生成し、偶数番目の行の画素(以下、説明のため「偶数列画素」と記すことがある)の信号から偶数フレームを生成する。
フィールド読み出し方式では、奇数フレーム及び偶数スレームの各々において、フィールドを生成する際に全ての受光部の蓄積電荷を読み出して、隣接する2画素の受光部の蓄積電荷を加算する。この際に奇数フィールドと偶数フィールドとで、加算する列の組合せを変える。
以下の説明では、図3に示す受光部R11、R13、R21及びR23を、奇数列画素の受光部(以下「奇数列受光部」と記すことがある)とし、受光部R12、R14、R24及びR24を、偶数列画素の受光部(以下「偶数列受光部」と記すことがある)とする。
CCD画像センサ15において、奇数列受光部R11、R13、R21及びR23からそれぞれ信号電荷を取り出す垂直転送CCDV12、V16、V22及びV26には、垂直転送パルス及びシフトチャージパルスを与えるための電圧φV2が印加され、偶数列受光部R12、R14、R22及びR24からそれぞれ信号電荷を取り出す垂直転送CCDV14、V18、V24及びV28には、垂直転送パルス及びシフトチャージパルスを与えるための電圧φV4が印加される。
また、これらCCDV11、V15、V21及びV25には、垂直転送パルスを与えるための電圧φV1が印加され、CCDV13、V17、V23及びV27には、垂直転送パルスを与えるための電圧φV3が印加される。
さらに、水平転送CCDH11及びH21には、水平転送パルスを与えるための電圧φH1が印加され、水平転送CCDH12及びH22には、水平転送パルスを与えるための電圧φH2が印加される。
また、これらCCDV11、V15、V21及びV25には、垂直転送パルスを与えるための電圧φV1が印加され、CCDV13、V17、V23及びV27には、垂直転送パルスを与えるための電圧φV3が印加される。
さらに、水平転送CCDH11及びH21には、水平転送パルスを与えるための電圧φH1が印加され、水平転送CCDH12及びH22には、水平転送パルスを与えるための電圧φH2が印加される。
図4の(A)〜図4の(F)は、図3に示したCCD画像センサ15におけるインターレース読み出し動作を示すタイムチャートであり、図5の(A)〜図5の(F)は、図3に示すCCD画像センサ15の信号電荷をフレーム読み出し方式により読み出す際の読み出し動作の説明図である。
ここに、図4の(A)は、奇数列受光部R11、R13、R21及びR23からそれぞれ信号電荷を取り出す垂直転送CCDV12、V16、V22及びV26に、シフトチャージパルスを印加するタイミングを示し、図示「1」である期間において高電位のφV2が印加されて、奇数列受光部R11、R13、R21及びR23に蓄積された信号電荷が垂直転送CCDV12、V16、V22及びV26にそれぞれシフトされ、奇数フィールドを構成する信号電荷が垂直転送CCD内にシフトされる。
図4の(B)は、垂直転送CCDV11〜V28及び水平転送CCDH11〜H22にそれぞれ垂直転送パルス及び水平転送パルスが印加される期間を示し、図示「1」である期間において、各CCDに蓄積された信号電荷が転送されて、出力信号として取り出される。
図4の(C)は、偶数列受光部R12、R14、R22及びR24からそれぞれ信号電荷を取り出す垂直転送CCDV14、V18、V24及びV28に、シフトチャージパルスを印加するタイミングを示し、図示「1」である期間において高電位のφV4が印加されて、偶数列受光部R12、R14、R22及びR24に蓄積された信号電荷が垂直転送CCDV14、V18、V24及びV28にそれぞれシフトされ、偶数フィールドを構成する信号電荷が垂直転送CCD内にシフトされる。
図4の(D)は、リセットパルスが印加されるタイミングを示し、図示「1」である期間において各受光部R11〜R24に蓄積されていた信号電荷が基板方向にはき出されて消去される。
図4に示す時刻t1において、垂直転送CCDV12、V16、V22及びV26に、高電位のφV2を印加してシフトチャージパルスを印加すると、奇数列受光部R11、R13、R21及びR23に蓄積された信号電荷が垂直転送CCDV12及びV11、V16及びV15、V22及びV21、並びにV26及びV25にそれぞれシフトされる(図5の(A)参照)。
その後、期間t2〜t4において、各CCDV11〜28に垂直転送パルス(4相駆動波形)を印加すると、各垂直転送CCDに蓄積された信号電荷が、1画素ずつ垂直方向に転送される(図5の(A)参照)。また、その結果として水平転送CCDH11及びH21に転送された信号電荷は、各CCDH11〜H21に水平転送パルス(2相駆動波形)を印加することによって水平方向に転送され順次出力信号として取り出される(図5の(C)及び図5の(D)参照)。
水平転送CCDH11〜H22が空になると、再び各CCDV11〜28に垂直転送パルスを印加して、各垂直転送CCDに蓄積された信号電荷を1画素ずつ垂直方向に転送する(図5の(E)参照)。
以上の動作が期間t2〜t4で繰り返されることによって、時刻t1において奇数列受光部R11、R13、R21及びR23から取り出した信号電荷が全て取り出され、奇数フィールドを成す信号電荷が、CCD画像センサ15から取り出される。
以上の動作が期間t2〜t4で繰り返されることによって、時刻t1において奇数列受光部R11、R13、R21及びR23から取り出した信号電荷が全て取り出され、奇数フィールドを成す信号電荷が、CCD画像センサ15から取り出される。
時刻t4において、垂直転送CCDV14、V18、V24及びV28に、高電位のφV4を印加してシフトチャージパルスを印加すると、偶数列受光部R12、R14、R22及びR24に蓄積された信号電荷が垂直転送CCDV14及びV13、V18及びV17、V24及びV23、並びにV28及びV27にそれぞれシフトされる(図5の(F)参照)。
以下、期間t5以降において、図5の(B)〜図5の(E)を参照して上述したように、各垂直転送CCDV11〜V28へ垂直転送パルスを印加し、各水平転送CCDH11〜H22へ水平転送パルスを印加することによって、偶数フィールド画像を成す信号電荷が、CCD画像センサ15から取り出される。
以下、期間t5以降において、図5の(B)〜図5の(E)を参照して上述したように、各垂直転送CCDV11〜V28へ垂直転送パルスを印加し、各水平転送CCDH11〜H22へ水平転送パルスを印加することによって、偶数フィールド画像を成す信号電荷が、CCD画像センサ15から取り出される。
このような読み出し方式は、いわゆる「フレーム読み出し方式」と呼ばれ、まず各受光部R11〜R24に蓄積された信号電荷が1画素おきに交互に読み出される。例えば図5を参照して説明した動作では、まず奇数列受光部の信号電荷が読み出された後に、次のフィールド期間で残りの偶数列受光部の信号電荷を読み出される。この結果、各受光部における読み出し間隔は1フィールド期間の2倍(すなわち1フレーム期間)と長く、このためにフレーム残像が生じる。このためフレーム読み出し方式では、リセットパルスにより不要電荷をはき出す電子シャッター機能によって電荷蓄積時間(露光時間)を制御する。
図4の(A)〜図4の(D)のタイムチャートで示す動作例では、各受光部から垂直転送CCDに信号電荷をシフトさせた後のt2〜t3及びt5〜t6においてリセットパルスを印加することによって、それまでに各受光部に蓄積された信号電荷を捨てて、奇数フィールド及び偶数フィールドの電荷蓄積時間を1フィールド期間に制限している。この結果として図4の(A)〜図4の(D)に示すように、奇数フィールドを成す信号電荷を蓄積する期間t0〜t1と、偶数フィールドを成す信号電荷を蓄積する期間t3〜t4と、の間には時間的な重複がなくなる。
そこで、図2に示す照明用パルス発生回路は、奇数フィールドを成す信号電荷を蓄積する期間において明視野照明を与える第1パルスレーザ発生器21を点灯させるパルス信号を発生させ、偶数フィールドを成す信号電荷を蓄積する期間には、暗視野照明を与える第2パルスレーザ発生器31を点灯させるパルス信号を発生させることにより、明視野照明による明視野画像である奇数フィールド、及び暗視野照明による暗視野画像である偶数フィールドの両方を、1つのフレーム内でCCD画像センサ15から取り出すことが可能となる。
図4の(A)〜図4の(F)のタイムチャートで示す動作例では、奇数フィールドを成す信号電荷を蓄積する期間t0〜t1を含み、偶数フィールドを成す信号電荷を蓄積する期間t3〜t4を含まない区間(図4の(E)のチャートにおいて信号が「1」となる区間)において、第1パルスレーザ発生器21を点灯させて明視野照明を与える。
このとき例えば照明用パルス発生回路25は、偶数フィールドのシフトチャージパルスの立ち下がりを検出して第1パルスレーザ発生器21を点灯させ、奇数フィールドのシフトチャージパルスの立ち上がりを検出して第1パルスレーザ発生器21を消灯させるパルス信号を生成することとしてよい。
このとき例えば照明用パルス発生回路25は、偶数フィールドのシフトチャージパルスの立ち下がりを検出して第1パルスレーザ発生器21を点灯させ、奇数フィールドのシフトチャージパルスの立ち上がりを検出して第1パルスレーザ発生器21を消灯させるパルス信号を生成することとしてよい。
また一方で、偶数フィールドを成す信号電荷を蓄積する期間t3〜t4を含み、奇数フィールドを成す信号電荷を蓄積する期間t0〜t1を含まない区間(図4の(F)のチャートにおいて信号が「1」となる区間)において第2パルスレーザ発生器31を点灯させて暗視野照明を与える。
このとき例えば照明用パルス発生回路25は、奇数フィールドのシフトチャージパルスの立ち下がりを検出して第2パルスレーザ発生器31を点灯させ、偶数フィールドのシフトチャージパルスの立ち上がりを検出して第2パルスレーザ発生器31を消灯させるパルス信号を生成することとしてよい。
このとき例えば照明用パルス発生回路25は、奇数フィールドのシフトチャージパルスの立ち下がりを検出して第2パルスレーザ発生器31を点灯させ、偶数フィールドのシフトチャージパルスの立ち上がりを検出して第2パルスレーザ発生器31を消灯させるパルス信号を生成することとしてよい。
CCD画像センサ15から読み出した明視野画像である奇数フィールド信号は、アナログディジタル変換回路41によりディジタル形式の画像信号に変換されて画像処理部43に入力され、暗視野画像である偶数フィールド信号もまた、アナログディジタル変換回路42によりディジタル形式の画像信号に変換されて画像処理部43に入力される。
画像処理部43は、これらの奇数フィールド信号及び偶数フィールド信号を別個の画像として出力し、表示装置(図示せず)に表示しまたは記憶装置(図示せず)に記憶してよく、またはこれらの画像を合成して1つの画像として出力し、表示装置(図示せず)に表示しまたは記憶装置(図示せず)に記憶してもよい。
画像処理部43は、これらの奇数フィールド信号及び偶数フィールド信号を別個の画像として出力し、表示装置(図示せず)に表示しまたは記憶装置(図示せず)に記憶してよく、またはこれらの画像を合成して1つの画像として出力し、表示装置(図示せず)に表示しまたは記憶装置(図示せず)に記憶してもよい。
なお上記の説明では、フレーム読み出し方式に基づいてCCD画像センサ15から信号電荷を読み出す例を示したが、フィールド読み出し方式により奇数フレームと偶数フレームとを交互に読み出してもよい。
図6の(A)はフィールド読み出し方式によりCCD画像センサ15から奇数フィールドを読み出す様子を示す図であり、図6の(B)はフィールド読み出し方式により偶数フィールドを読み出す様子を示す図である。
図6の(A)はフィールド読み出し方式によりCCD画像センサ15から奇数フィールドを読み出す様子を示す図であり、図6の(B)はフィールド読み出し方式により偶数フィールドを読み出す様子を示す図である。
フィールド読み出し方式は、全ての受光部の蓄積電荷を1フィールド期間において読み出して隣接する2画素の受光部の蓄積電荷を加算して読み出す。この際に図6の(A)及び図6の(B)に示すように奇数フィールドと偶数フィールドとで、加算する列の組合せを変える。
フィールド読み出し方式では、各画素の信号蓄積時間が1フィールド期間となるために、図4の(D)に示すようなリセットパルスを印加しなくても、奇数フィールドを成す信号電荷を蓄積する期間と、偶数フィールドを成す信号電荷を蓄積する期間の間には時間的な重複がない。
フィールド読み出し方式では、各画素の信号蓄積時間が1フィールド期間となるために、図4の(D)に示すようなリセットパルスを印加しなくても、奇数フィールドを成す信号電荷を蓄積する期間と、偶数フィールドを成す信号電荷を蓄積する期間の間には時間的な重複がない。
なお、第1パルスレーザ発生器21と第2パルスレーザ発生器31とで、発光するレーザ光の波長を異ならせてもよい。
例えば、本試料撮像装置1を用いて半導体ウエハの外観検査に使用する検査画像を得る場合の例を示すと、明視野照明を与える第1パルスレーザ発生器21においては、明視野画像の解像性を高めるために波長の短い照明光を用いることが好適であるが、かかる波長の短い明視野照明では、ウエハ表面に形成されたアルミ配線の間に残るチタンナイトライド等の残が周囲のアルミの反射光に隠れて観察されにくい。
例えば、本試料撮像装置1を用いて半導体ウエハの外観検査に使用する検査画像を得る場合の例を示すと、明視野照明を与える第1パルスレーザ発生器21においては、明視野画像の解像性を高めるために波長の短い照明光を用いることが好適であるが、かかる波長の短い明視野照明では、ウエハ表面に形成されたアルミ配線の間に残るチタンナイトライド等の残が周囲のアルミの反射光に隠れて観察されにくい。
したがって、暗視野照明には、このようなアルミ配線の間のチタンナイトライド等の残が明るく光るように、明視野照明よりも比較的長い波長の照明光を用いることによって、このような欠陥の検出を容易にすることが可能である。
このとき、明視野照明光と暗視野照明光とで波長が異なることにより、撮像装置1の結像光学系の焦点位置は、明視野画像を取得するのに最適な位置と暗視野画像を取得するのに最適な位置との間に差異が生じるが、暗視野画像は明視野画像よりも解像性が要求されないため、撮像装置1の結像光学系の焦点位置は、明視野照明光の波長に合わせて調整されることが好適である。
このとき、明視野照明光と暗視野照明光とで波長が異なることにより、撮像装置1の結像光学系の焦点位置は、明視野画像を取得するのに最適な位置と暗視野画像を取得するのに最適な位置との間に差異が生じるが、暗視野画像は明視野画像よりも解像性が要求されないため、撮像装置1の結像光学系の焦点位置は、明視野照明光の波長に合わせて調整されることが好適である。
図7は、本発明の第2実施例による試料撮像装置1の概略を示す全体構成図である。本構成では、明視野照明及び暗視野照明を与えるレーザ発生器26を共用化するとともに、音響光学的スイッチのような光学スイッチ51によって、明視野照明光学系及び暗視野照明光学系のどちらに、レーザ発生器26により生じた照明光に導くかを切り替えることによって、試料撮像装置1の照明を明視野照明と暗視野照明との間で切り替える。
本構成例において、照明用パルス発生回路25は、偶数フィールドをなす信号電荷のシフトパルスの立ち下がりを検出して、レーザ発生器26の出力先を明視野照明光学系へと切り替え、奇数フィールドをなす信号電荷のシフトパルスの立ち下がりを検出して、レーザ発生器26の出力先を暗視野照明光学系へと切り替える切換信号を生成して、光学スイッチ25へ出力する。
本構成例において、照明用パルス発生回路25は、偶数フィールドをなす信号電荷のシフトパルスの立ち下がりを検出して、レーザ発生器26の出力先を明視野照明光学系へと切り替え、奇数フィールドをなす信号電荷のシフトパルスの立ち下がりを検出して、レーザ発生器26の出力先を暗視野照明光学系へと切り替える切換信号を生成して、光学スイッチ25へ出力する。
図2及び図7に示す試料撮像装置1において、ステージ11の移動させることにより、試料2に対してCCD画像センサ15を相対移動させ、かつこの相対移動に伴うCCD画像センサ15の受光面上に結像された画像の移動速度に応じた速度で、この移動方向に並んで配置された各受光部よりCCDに取り出した各信号電荷を画像の移動方向に転送し、移動方向に並んで配置された各受光部から取り出した信号電荷をCCDで重畳させることによって、CCD画像センサ15をTDI(時間遅延積分)ラインセンサとして使用してもよい。
図8の(A)〜図8の(F)は、CCD画像センサ15をTDIラインセンサとして使用する場合において、奇数フィールドの信号電荷と偶数フィールドの信号電荷とを別個に重畳させるための、CCD画像センサ15の読み出し動作を示すタイムチャートであり、図9の(A)〜図9の(F)は、このような読み出し動作の説明図である。
ここに、図8の(A)は、奇数列受光部R11、R13、R21及びR23からそれぞれ信号電荷を取り出す垂直転送CCDV12、V16、V22及びV26に、シフトチャージパルスを印加するタイミングを示し、図示「1」である期間に奇数列受光部R11、R13、R21及びR23に蓄積された信号電荷のシフトが行われる。
ここに、図8の(A)は、奇数列受光部R11、R13、R21及びR23からそれぞれ信号電荷を取り出す垂直転送CCDV12、V16、V22及びV26に、シフトチャージパルスを印加するタイミングを示し、図示「1」である期間に奇数列受光部R11、R13、R21及びR23に蓄積された信号電荷のシフトが行われる。
図8の(B)は、偶数列受光部R12、R14、R22及びR24からそれぞれ信号電荷を取り出す垂直転送CCDV14、V18、V24及びV28に、シフトチャージパルスを印加するタイミングを示し、図示「1」である期間において偶数列受光部R12、R14、R22及びR24に蓄積された信号電荷のシフトが行われる。
図8の(C)は、垂直転送CCDV11〜V28及び水平転送CCDH11〜H22にそれぞれ垂直転送パルス及び水平転送パルスが印加される期間を示し、図示「1」である期間において、各垂直転送CCDに蓄積された信号電荷は2画素分だけ垂直方向に転送され、その結果水平転送CCDに転送された信号電荷が水平方向に転送されて出力信号として取り出される。
図8の(D)は、リセットパルスが印加されるタイミングを示し、図示「1」である期間において各受光部R11〜R24に蓄積されていた信号電荷が基板方向にはき出されて消去される。
図8の(D)は、リセットパルスが印加されるタイミングを示し、図示「1」である期間において各受光部R11〜R24に蓄積されていた信号電荷が基板方向にはき出されて消去される。
まず時刻t2において、垂直転送CCDV12、V16、V22及びV26に、高電位のφV2を印加してシフトチャージパルスを印加すると、奇数列受光部R11、R13、R21及びR23に蓄積された信号電荷が垂直転送CCDV12及びV11、V16及びV15、V22及びV21、並びにV26及びV25にそれぞれシフトされる(図9の(A)参照)。
時刻t4において、垂直転送CCDV14、V18、V24及びV28に、高電位のφV4を印加してシフトチャージパルスを印加すると、偶数列受光部R12、R14、R22及びR24に蓄積された信号電荷が垂直転送CCDV14及びV13、V18及びV17、V24及びV23、並びにV28及びV27にそれぞれシフトされる(図9の(B)参照)。
その後に時刻t5〜t6において、垂直転送パルスを各垂直転送CCDV11〜V28に印加することにより各垂直転送CCDに蓄積された信号電荷を2画素分だけ垂直方向に転送し(図9の(C)及び図9の(D)参照)、この間に水平転送CCDに転送された信号電荷を、各水平転送CCDH11〜H22に水平転送パルスを印加することによって、出力信号として取り出す。
そして再び時刻t7において、垂直転送CCDV12、V16、V22及びV26にシフトチャージパルスを印加することにより、奇数列受光部R11、R13、R21及びR23に蓄積された信号電荷を垂直転送CCDV12、V16、V22及びV26にそれぞれ取り出し、これら垂直転送CCDに先に転送されていた信号電荷にそれぞれ重畳する(図9の(E)参照)。
また、時刻t8において垂直転送CCDV14、V18、V24及びV28にシフトチャージパルスを印加することにより、偶数列受光部R12、R14、R22及びR24に蓄積された信号電荷を、垂直転送CCDV14及びV13、V18及びV17、V24及びV23に取り出し、これら垂直転送CCDに先に転送されていた信号電荷に重畳する(図9の(F)参照)。
また、時刻t8において垂直転送CCDV14、V18、V24及びV28にシフトチャージパルスを印加することにより、偶数列受光部R12、R14、R22及びR24に蓄積された信号電荷を、垂直転送CCDV14及びV13、V18及びV17、V24及びV23に取り出し、これら垂直転送CCDに先に転送されていた信号電荷に重畳する(図9の(F)参照)。
以上の動作を繰り返すことにより、奇数列受光部R11、R13、R21及びR23で光電変換された信号電荷と、偶数列受光部R12、R14、R22及びR24で光電変換された信号電荷とが個別に重畳される。
ここでステージ制御部13は、受光面上に結像された試料2の像が、垂直転送CCDによる信号電荷の移動方向と同じ方向に移動し、かつ奇数列受光部R11、R13、R21及びR23に蓄積された信号電荷が垂直転送CCDにシフトされる間隔ΔT(時刻t2〜t7又は時刻t4〜t8)の間に、試料2の像が2画素分移動するようにステージ11を移動させる。
このように、受光面上に結像された画像の移動速度に応じた速度で、垂直転送CCDに蓄積された信号電荷を転送することによって、受光面上に結像された試料2の像の同じ部分から反射した光を複数の受光部で捉えた光電信号が同じ垂直転送CCDに重畳され、CCD画像センサ15がTDIラインセンサとして機能する。
ここでステージ制御部13は、受光面上に結像された試料2の像が、垂直転送CCDによる信号電荷の移動方向と同じ方向に移動し、かつ奇数列受光部R11、R13、R21及びR23に蓄積された信号電荷が垂直転送CCDにシフトされる間隔ΔT(時刻t2〜t7又は時刻t4〜t8)の間に、試料2の像が2画素分移動するようにステージ11を移動させる。
このように、受光面上に結像された画像の移動速度に応じた速度で、垂直転送CCDに蓄積された信号電荷を転送することによって、受光面上に結像された試料2の像の同じ部分から反射した光を複数の受光部で捉えた光電信号が同じ垂直転送CCDに重畳され、CCD画像センサ15がTDIラインセンサとして機能する。
図4の(A)〜図4の(D)を参照して説明したフレーム読み出し動作のタイムチャートと同様に、フレーム残像が生じることを防止するために、図8の(D)に示すように時刻t1、時刻t3、…においてリセットパルスを印加する。これにより時刻t2でCCDにシフトされる奇数フィールドの電荷蓄積時間は時刻t1〜t2となり、時刻t4でCCDにシフトされる偶数フィールドの電荷蓄積時間は時刻t3〜t4となる。
図8の(E)は上述の明視野照明光学系から明視野照明を与えるタイムチャートであって信号が「1」となる区間において明視野照明を与えることを示しており、図8の(F)は上述の暗視野照明光学系から暗視野照明を与えるタイムチャートであって信号が「1」となる区間において暗視野照明を与えることを示している。図8の(E)及び図8の(F)に示すとおり、奇数フィールドの電荷蓄積時間(t1〜t2)では明視野照明を与え、偶数フィールドの電荷蓄積時間(t3〜t4)では暗視野照明に切り替えることで、明視野照明によるTDI画像及び暗視野照明によるTDI画像を、それぞれ奇数フィールド及び偶数フィールドとして同時に平行して撮像することが可能となる。
例えば図2に示す構成例では、照明用パルス発生回路25は、図8の(E)に示すように時刻t1〜t2の間に第1パルスレーザ発生器21に照明光を発生させ、時刻t3〜t4の間に第2パルスレーザ発生器31に照明光を発生させるパルス信号を生成することによって、明視野照明と暗視野照明を交互に切り替えて発生させる。
このように第1パルスレーザ発生器21及び第2パルスレーザ発生器31を交互に切り替えて点灯するために、照明用パルス発生回路25は、リセットパルスの立ち下がりを検出したときにはいずれかのパルスレーザ発生器を点灯させ、CCD画像センサ15へのシフトパルスの立ち上がりを検出したときに、先に点灯させたパルスレーザ発生器を消灯させるパルス信号を生成してよい。このとき照明用パルス発生回路25は、第1パルスレーザ発生器21を点灯させるパルス信号と第2パルスレーザ発生器31を点灯させるパルス信号とを交互に発生させることとしてよい。
このように第1パルスレーザ発生器21及び第2パルスレーザ発生器31を交互に切り替えて点灯するために、照明用パルス発生回路25は、リセットパルスの立ち下がりを検出したときにはいずれかのパルスレーザ発生器を点灯させ、CCD画像センサ15へのシフトパルスの立ち上がりを検出したときに、先に点灯させたパルスレーザ発生器を消灯させるパルス信号を生成してよい。このとき照明用パルス発生回路25は、第1パルスレーザ発生器21を点灯させるパルス信号と第2パルスレーザ発生器31を点灯させるパルス信号とを交互に発生させることとしてよい。
また例えば、図7に示す構成例では、照明用パルス発生回路25は、リセットパルスの立ち下がりを検出したときにはパルスレーザ発生器26に発光させ、CCD画像センサ15へのシフトパルスの立ち上がりを検出したときに、パルスレーザ発生器26を消灯させるパルス信号をパルスレーザ発生器26に与えることとしてよい。このとき、照明用パルス発生回路25は、レーザ発生器26の出力先を明視野照明光学系と暗視野照明光学系とへと交互に切り替える切換信号を生成して、光学スイッチ25へ出力することとしてもよい。
本発明は、明視野照明及び暗視野照明により照明された試料を撮像する撮像装置及び試料の照明方法に利用可能である。特に半導体ウエハ等の試料表面に形成したパターンの検査を半導体製造工程などで行う外観検査装置に使用される撮像装置及び試料の照明方法に好適に利用可能である。
1 試料撮像装置
2 試料
11 ステージ
12 試料台
14 対物レンズ
15 CCD画像センサ
21、31 パルスレーザ発生器
22、23、32、33 照明用レンズ
24 半透鏡
34 穴あき鏡
35 ミラー
2 試料
11 ステージ
12 試料台
14 対物レンズ
15 CCD画像センサ
21、31 パルスレーザ発生器
22、23、32、33 照明用レンズ
24 半透鏡
34 穴あき鏡
35 ミラー
Claims (10)
- 奇数フィールドを成す画素信号と偶数フィールドを成す画素信号とが、交互に受光部から取り出される撮像素子と、
前記受光部から前記画素信号が取り出されるフィールドの切り替えに同期して、試料表面を照明する照明光を切り替える照明光切替部と、
を備えることを特徴とする試料撮像装置。 - 前記照明光切替部は、明視野照明と暗視野照明とを切り替えることを特徴とする請求項1に記載の試料撮像装置。
- 前記明視野照明による明視野画像と前記暗視野照明による暗視野画像とは、ともに前記撮像素子の受光面上に結像することを特徴とする請求項2に記載の試料撮像装置。
- 前記明視野照明と前記暗視野照明とで照明光の波長が異なることを特徴とする請求項2又は3に記載の試料撮像装置。
- 前記撮像素子はCCD画像センサであることを特徴とする請求項1〜4のいずれか一項に記載の試料撮像装置。
- 前記試料に対して前記撮像素子を相対移動させる移動機構を備え、
前記CCD画像センサは、この相対移動に伴う前記撮像素子の受光面上に結像された画像の移動速度に応じた速度で、この移動方向に並んで配置された各受光部よりCCDに取り出した各画素信号を前記画像の移動方向に転送する、
ことを特徴とする請求項5に記載の試料撮像装置。 - 奇数フィールドを成す画素信号と偶数フィールドを成す画素信号とが、受光部から交互に取り出される撮像素子を用いて試料表面を撮像する撮像装置における、試料の照明方法であって、
前記受光部から前記画素信号を取り出すフィールドの切り替えに同期して、試料表面を照明する照明光を切り替えることを特徴とする照明方法。 - 前記フィールドの切り替えに同期して、明視野照明と暗視野照明とを切り替えることを特徴とする請求項7に記載の照明方法。
- 前記明視野照明による明視野画像と前記暗視野照明による暗視野画像とを、ともに前記撮像素子に結像させることを特徴とする請求項8に記載の照明方法。
- 前記明視野照明と前記暗視野照明とで照明光の波長が異なることを特徴とする請求項8又は9に記載の照明方法。
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JP2006172381A JP2008002932A (ja) | 2006-06-22 | 2006-06-22 | 試料撮像装置及び試料の照明方法 |
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016529876A (ja) * | 2013-05-28 | 2016-09-29 | シェモメテック・アクティーゼルスカブChemometec A/S | 画像形成サイトメータ |
EP2457251A4 (en) * | 2009-07-22 | 2017-11-08 | KLA-Tencor Corporation | Dark field inspection system with ring illumination |
-
2006
- 2006-06-22 JP JP2006172381A patent/JP2008002932A/ja active Pending
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US10458896B2 (en) | 2013-05-28 | 2019-10-29 | Chemometec A/S | Image forming cytometer |
US10921234B2 (en) | 2013-05-28 | 2021-02-16 | Chemometec A/S | Image forming cytometer |
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