JP2007333556A - Method and device for multiple point measurement of perpendicularity - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、長尺測定を必要とする大型液晶用マスク基板、機械加工面、定盤基準面などの真直度を測定する方法と装置に関する。 The present invention relates to a method and apparatus for measuring the straightness of a mask substrate for large liquid crystal, a machined surface, a surface plate reference surface, and the like that require long measurement.
<従来の技術>
従来、長尺物の真直度測定は精密水準器による連鎖法、レーザー反射による精密角度計測による連鎖法、静圧軸受けなどの高精度基準軸をベースとした手法などが用いられている。
<Conventional technology>
Conventionally, straightness measurement of a long object has been performed by a method based on a high precision reference axis such as a chain method using a precision level, a chain method using precise angle measurement by laser reflection, or a static pressure bearing.
これらの技術では、水準器と被測定物との接触、レーザー反射ミラーと被測定物との接触などが液晶関連機器で問題となっており、非接触状態での測定システムが待望されている。 In these techniques, contact between the level and the object to be measured, contact between the laser reflecting mirror and the object to be measured, etc. are problems in liquid crystal related devices, and a measurement system in a non-contact state is awaited.
また、静圧軸受けなどの基準軸をベースとした手法では１ｍを超える高精度基準軸の製作が高コストとなり、低コストでの測定手法が製造現場から要求されている。 In addition, in a method based on a reference axis such as a static pressure bearing, it is expensive to manufacture a high-precision reference axis exceeding 1 m, and a measurement method at a low cost is required from the manufacturing site.
従来技術として、例えば、特許文献１による直交２周波レーザーと遂次3点法を用いた測定手法は、ナノオーダーでも測定可能な発明である。しかし、本発明では長尺に対して、測定点が多数になり累積誤差が大きくなる。また、遂次３点法ではセンサー幅よりも小さなピッチの測定が不可能である。 As a conventional technique, for example, a measurement technique using an orthogonal dual-frequency laser and a sequential three-point method according to Patent Document 1 is an invention that can be measured even in the nano-order. However, in the present invention, the number of measurement points becomes large and the accumulated error increases with respect to the long length. In addition, the successive three-point method cannot measure a pitch smaller than the sensor width.
遂次3点法では、累積誤差が測定点数の２乗で増加するため、測定点数を最小限にする必要がある。式（１）は最大累積誤差：Zmax、測定点数：N、測定誤差：δｚ
の関係式である。
Zmax＝N２×δｚ／８ ―――― （１）
In the sequential three-point method, the cumulative error increases with the square of the number of measurement points, so the number of measurement points must be minimized. Equation (1) is the maximum cumulative error: Zmax, the number of measurement points: N, the measurement error: δz
It is a relational expression.
Zmax = N 2 × δz / 8 ―――― (1)
上述の如く、従来技術に係る長尺物の真直度測定において、非接触状態での測定、低コストな高精度基準軸の利用、任意な測定ピッチの選定、累積誤差の低減などが不可能である。 As described above, in the straightness measurement of long objects according to the prior art, it is impossible to measure in a non-contact state, use a low-cost high-precision reference axis, select an arbitrary measurement pitch, reduce cumulative error, etc. is there.
本発明は、このような問題状況に対応するために、遂次3点測定法を改善し、低コストなガイド軸の利用、非接触での計測、センサー形状に左右されない測定ピッチの選択、累積誤差の軽減化などを可能とした真直度測定技術を提供することにある。 In order to cope with such a problem situation, the present invention has improved the sequential three-point measurement method, using a low-cost guide shaft, non-contact measurement, selection of measurement pitch independent of sensor shape, accumulation The object is to provide a straightness measurement technique capable of reducing errors.
上述の目的を達成する本発明の真直度測定方式は、従来の高精度軸を基準とした母性原理の測定法に代って、市販の高精度リニアガイドベアリングとボールねじの組み合わせによる搬送機構などを使用し、大ピッチ用の距離センサー3個で大きなブロック間を計測し、４〜５個目の距離センサーでブロック内の小ピッチの測定を同時信号処理で行い、累積誤差の低減を図ることを特徴とする。 The straightness measurement method of the present invention that achieves the above-mentioned object is a transfer mechanism using a combination of a commercially available high-precision linear guide bearing and a ball screw, in place of the conventional maternal principle measurement method based on a high-precision axis. , Measure the distance between large blocks with three distance sensors for large pitch, and measure the small pitch in the block with simultaneous signal processing with the fourth to fifth distance sensors to reduce the cumulative error. It is characterized by.
また、本発明の測定方式は多点の距離センサーからの信号を同時に処理するため機械的振動などの外乱に強い測定法である。 In addition, the measurement method of the present invention is a measurement method that is resistant to disturbances such as mechanical vibrations because signals from multi-point distance sensors are processed simultaneously.
以上説明したように本発明によれば、市販の高精度リニアガイドベアリングとボールねじの組み合わせによる搬送機構を使用し、非接触方式の距離センサーを5個設置した遂次多点方式で距離測定データをソフト処理することにより、簡便な機構の非接触状態で長尺物の真直度を高速に計測することが可能である。 As described above, according to the present invention, distance measurement data is obtained by a sequential multi-point method using a non-contact type distance sensor using a conveyance mechanism that is a combination of a commercially available high-precision linear guide bearing and a ball screw. It is possible to measure the straightness of a long object at high speed in a non-contact state with a simple mechanism.
以下、本発明の実施の形態について、添付図面に基づき詳細に説明する。本発明では、遂次３点法を改良した遂次４点法、5点法が発明ポイントであるが、説明が煩雑であるため、まず最初に3点法の概略を説明し、続いて本発明の内容を説明する。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. In the present invention, the sequential four-point method and the five-point method, which are improvements of the sequential three-point method, are the points of the invention. However, since the explanation is complicated, the outline of the three-point method is described first, followed by The contents of the invention will be described.
図１〜図５は従来の遂次3点計測法の測定手法とソフト処理の概略説明である。図６〜８は本発明の第一の実施の形態に係り、図６はピッチ可変型遂次４点測定ユニット、図７は測定ピッチ可変型遂次4点真直度測定法、図８は遂次４点法のデータ取得とデータはめ込みである。
図９〜１０は本発明の第二の実施の形態に係り、図９はピッチ可変型遂次5点測定ユニット、図１０は遂次５点真直度測定法でのデータ取得とデータはめ込みである。
図１１は遂次４点真直度測定システムのモデル図である。
<遂次３点法>
1 to 5 are schematic descriptions of the measurement method and software processing of the conventional sequential three-point measurement method. 6 to 8 relate to the first embodiment of the present invention, FIG. 6 is a pitch variable type successive four-point measuring unit, FIG. 7 is a measurement pitch variable type successive four-point straightness measuring method, and FIG. Data acquisition and data fitting of the next four-point method.
9 to 10 relate to the second embodiment of the present invention, FIG. 9 is a pitch variable type successive five-point measuring unit, and FIG. 10 is data acquisition and data fitting in the successive five-point straightness measuring method. .
FIG. 11 is a model diagram of a sequential 4-point straightness measurement system.
<Successive three-point method>
本発明では、遂次３点法を改良した遂次４点法、5点法が発明ポイントであるが、説明が煩雑であるため、まず最初に3点法の概略を説明する。
図１は遂次3点法での測定ユニット１であり、距離センサー２１、２２、２３の３個が取り付け板５に測定ピッチPで設置されている。
In the present invention, the sequential 4-point method and the 5-point method, which are improvements of the sequential 3-point method, are the invention points. However, since the explanation is complicated, the outline of the 3-point method will be described first.
FIG. 1 shows a measurement unit 1 according to a sequential three-point method, in which three distance sensors 21, 22, and 23 are installed on a mounting plate 5 at a measurement pitch P.
図２は距離センサー２１，２２，２３の零点設定を説明しており、高精度な基準ブロック６の平面上で各センサーまでの距離S1,S2,S3を零点と定める。 FIG. 2 illustrates the zero point setting of the distance sensors 21, 22, and 23, and the distances S1, S2, and S3 to each sensor on the plane of the high-precision reference block 6 are determined as zero points.
図３は遂次3点真直度の測定方法であり、測定ポイントP1〜P6までの測定手法である。第１ステップとして、測定ユニット１で測定ポイントP1,P2,P3までの距離S1,S2,S3を計測する。第２ステップとして、測定ユニット１を測定方向３にPだけ移動し、測定ポイントP2,P3,P4までの新たな距離S1,S2,S3を計測する。第３ステップとして、測定ユニット１を測定方向３にPだけ移動し、測定ポイントP3,P4,P5までの新たな距離S1,S2,S3を計測する。以下同様の手法でP6まで遂次に測定を行う。 FIG. 3 shows a method for measuring the straightness of the three consecutive points, and is a method for measuring the measurement points P1 to P6. As a first step, the measurement unit 1 measures the distances S1, S2, S3 to the measurement points P1, P2, P3. As a second step, the measurement unit 1 is moved by P in the measurement direction 3 and new distances S1, S2, S3 to the measurement points P2, P3, P4 are measured. As a third step, the measurement unit 1 is moved by P in the measurement direction 3 and new distances S1, S2, S3 to the measurement points P3, P4, P5 are measured. Subsequently, measure until P6 using the same method.
図４は遂次３点真直度測定での座標計算方法である。本図では測定ポイントP1,P2,P3の座標が既知であり、P４の座標の求め方を説明している。距離センサーＤ1のＹ軸座標D1yは測定ポイントP2のＹ軸座標P2yに距離S1を加えたものである。同様に距離センサーD2のＹ軸座標D2yは測定ポイントP3のＹ軸座標P3yに距離S2を加えたものである。
線D1D2の勾配aは（D2y−D1y）／Ｐである。距離センサーＤ3のＹ軸座標D3yは（D2y＋a×Ｐ）となり、Ｐ4のＹ軸座標はD3yから距離センサーS3の距離S3を減じたものである。
FIG. 4 shows a coordinate calculation method in the three-point straightness measurement. In this figure, the coordinates of the measurement points P1, P2, and P3 are known, and the method for obtaining the coordinates of P4 is described. The Y-axis coordinate D1y of the distance sensor D1 is obtained by adding the distance S1 to the Y-axis coordinate P2y of the measurement point P2. Similarly, the Y-axis coordinate D2y of the distance sensor D2 is obtained by adding the distance S2 to the Y-axis coordinate P3y of the measurement point P3.
The slope a of the line D1D2 is (D2y−D1y) / P. The Y-axis coordinate D3y of the distance sensor D3 is (D2y + a × P), and the Y-axis coordinate of P4 is obtained by subtracting the distance S3 of the distance sensor S3 from D3y.
以下同様の手法で、測定ポイントP5,P6のＹ軸座標を計算することができ、Ｐ1〜Ｐ6の真直度を座標表示することが出来る。この手法は測定ポイント間の勾配aを遂次測定しており、図３における各ステップでのユニット位置のＹ方向の平行誤差は許容される。したがって、高精度軸を使用した母性原理に基づいた測定法では無く、測定ユニットの搬送精度に高精度を要求されないのが特徴である。 Thereafter, the Y-axis coordinates of the measurement points P5 and P6 can be calculated by the same method, and the straightness of P1 to P6 can be displayed as coordinates. In this method, the gradient a between measurement points is successively measured, and a parallel error in the Y direction of the unit position at each step in FIG. 3 is allowed. Therefore, it is not a measurement method based on the maternal principle using a high-precision axis, and is characterized in that high accuracy is not required for the conveyance accuracy of the measurement unit.
しかし、遂次3点法では式（１）で示したように累積誤差が測定点数の２乗で増加するため、長尺物を小ピッチで測定するような測定点数の多い場合は不利である。 However, since the cumulative error increases by the square of the number of measurement points as shown in Equation (1) in the successive three-point method, it is disadvantageous when there are many measurement points for measuring a long object at a small pitch. .
図５は測定ポイント数９の場合のユニットポジションと距離データのはめ込み状況の説明図である。ユニットポジション１で測定ポイントP1,P2,P3の距離が測定できる。ユニットポジション２で測定ポイントP2,P3,P4の距離が測定できる。以下、遂次ユニットポジション７まで測定する。
これらの距離データと図４の座標計算方法により、ユニットポジション２ではP4、ユニットポジション3ではP5の各座標が決定できる。以下、ユニットポジション7での測定ポイントP9まで遂次計算し、全ポイントの座標を決定できる。
<遂次４点法>
FIG. 5 is an explanatory diagram of the setting status of the unit position and distance data when the number of measurement points is nine. Unit unit 1 can measure the distance of measurement points P1, P2, P3. Unit unit 2 can measure the distance of measurement points P2, P3, and P4. Hereinafter, measurement is performed up to the successive unit position 7.
With these distance data and the coordinate calculation method of FIG. 4, the coordinates of P4 can be determined at unit position 2 and P5 at unit position 3. Hereinafter, the coordinates of all the points can be determined by successively calculating up to the measurement point P9 at the unit position 7.
<Successive 4-point method>
図６からは本発明の趣旨である。従来の遂次３点法では測定の累積誤差が測定点数のベキ乗になる欠点があるため、測定点数を少なくして累積誤差を軽減する必要がある。そこで長尺物測定において、大ピッチの３点法で数ブロックを計測し、各ブロックを境界条件としてブロック内をさらに小さなピッチで計測する手法を確立した。本手法ではブロック内での計測ポイントで小ピッチ間をデータ処理するため、累積誤差を大幅に軽減することが可能である。 FIG. 6 is the gist of the present invention. Since the conventional sequential three-point method has a drawback that the accumulated error of measurement becomes a power of the number of measurement points, it is necessary to reduce the accumulated error by reducing the number of measurement points. Therefore, we have established a method to measure several blocks using a three-point method with a large pitch and to measure the inside of the block with a smaller pitch, using each block as a boundary condition in the measurement of long objects. In this method, since data is processed between small pitches at the measurement points in the block, the accumulated error can be greatly reduced.
図６はピッチ可変型遂次４点測定ユニットの構成図である。ユニット１には従来の３点手法と同様な距離センサー21,22,23が大ピッチＰで取り付け板５に設置されている。さらに、４個目の距離センサー24は距離センサー21の隣に小ピッチδＰの位置に設置されている。 FIG. 6 is a configuration diagram of a pitch variable type successive four-point measuring unit. In the unit 1, distance sensors 21, 22, 23 similar to the conventional three-point method are installed on the mounting plate 5 with a large pitch P. Further, the fourth distance sensor 24 is installed next to the distance sensor 21 at a position with a small pitch δP.
図７は距離センサーの零点設定後の逐次４点真直度測定方法である。第１ステップとして、測定ユニット１Aで測定ポイントP1,P2,P4,P7までの距離を計測する。第２ステップとして、測定ユニットを測定方向３にδPだけ移動し、測定ポイントP2,P3,P5,P8までの新たな距離を計測する。第３ステップとして、測定ユニットを測定方向３にδPだけ移動し、測定ポイントP3,P4,P6,P9までの新たな距離を計測する。以下同様の手法でP16まで遂次に測定を行う。 FIG. 7 shows a sequential four-point straightness measurement method after setting the zero point of the distance sensor. As a first step, the distance to the measurement points P1, P2, P4, P7 is measured by the measurement unit 1A. As a second step, the measurement unit is moved in the measurement direction 3 by δP, and new distances to the measurement points P2, P3, P5, and P8 are measured. As a third step, the measurement unit is moved in the measurement direction 3 by δP, and new distances to the measurement points P3, P4, P6, and P9 are measured. Subsequently, measure until P16 using the same method.
図８は遂次４点真直度測定法でのP1〜P13までの距離データ取得とデータはめ込みの相関図である。（１）図は上述の図５で説明したユニットポジションと測定ポイントをパターン図で表している。黒色の枠は図６での距離センサー21,22,23のピッチＰでの測定データであり、灰色枠は図６での距離センサー24でのピッチδＰでの測定データである。 FIG. 8 is a correlation diagram of distance data acquisition and data fitting from P1 to P13 in the successive four-point straightness measurement method. (1) The figure shows the unit positions and measurement points described with reference to FIG. 5 in a pattern diagram. The black frame is measurement data at the pitch P of the distance sensors 21, 22, and 23 in FIG. 6, and the gray frame is measurement data at the pitch δP at the distance sensor 24 in FIG.
（２）図は測定ポイントの座標決定手順の説明図である。ユニットポジション1,4,７
のデータと図４の座標計算方法により、測定ポイントP1,P4,P7,P10,P13の座標が決定できる。これは大ピッチで４分割にブロック化したことに相当する。同時に小ピッチδＰでの測定ポイントP2,P5,P8の座標も図４の方法を応用して決定される。
(2) FIG. 2 is an explanatory diagram of the procedure for determining the coordinates of a measurement point. Unit position 1, 4, 7
The coordinates of the measurement points P1, P4, P7, P10, and P13 can be determined by the above data and the coordinate calculation method of FIG. This corresponds to the block being divided into four at a large pitch. At the same time, the coordinates of the measurement points P2, P5, and P8 at the small pitch δP are also determined by applying the method of FIG.
次に、すでに決定された座標を足がかりとして、各ブロック内の各測定ポイントの座標を決定することができる。
ユニットポジション2でのP2,P5の距離データよりP3,P8の座標、
ユニットポジション5での測定ポイントP5,P8よりP6,P11の座標、
ユニットポジション6での測定ポイントP6,P7よりP9,P12の座標
が決定でき、P1〜P13の全座標を決定できる。
Next, the coordinates of each measurement point in each block can be determined using the already determined coordinates as a step.
From the P2 and P5 distance data at unit position 2, the coordinates of P3 and P8,
Coordinates of P6 and P11 from measurement points P5 and P8 at unit position 5,
From the measurement points P6 and P7 at unit position 6, the coordinates of P9 and P12 can be determined, and all the coordinates of P1 to P13 can be determined.
しかし、遂次４点法では距離センサーの幅寸法ＢがδＰの最小限界値となり、さらに小さなピッチでのデータ取得は困難となる欠点がある。
< 遂次５点法 >
However, the successive four-point method has the drawback that the width dimension B of the distance sensor becomes the minimum limit value of δP, making it difficult to acquire data at a smaller pitch.
<Successive 5-point method>
図９は本発明の第二の実施の形態に係り、遂次４点法を改善した遂次５点法での測定ユニットの構成図である。ユニット１には従来の遂次３点法と同様な距離センサー21,22,23が大ピッチＰで取り付け板５に設置されている。
４個目の距離センサー24は距離センサー21の隣に小ピッチδＰの２倍の位置に設置され、５個目の距離センサー25は距離センサー22よりδＰの3倍の位置に設置されている。
但し、δＰ＜Ｂ である。
FIG. 9 relates to the second embodiment of the present invention, and is a configuration diagram of a measurement unit based on the sequential 5-point method, which is an improvement of the sequential 4-point method. In the unit 1, distance sensors 21, 22, 23 similar to the conventional sequential three-point method are installed on the mounting plate 5 with a large pitch P.
The fourth distance sensor 24 is installed next to the distance sensor 21 at a position twice the small pitch δP, and the fifth distance sensor 25 is installed at a position three times δP from the distance sensor 22.
However, δP <B.
図９でのδＰは距離センサーの取り付け幅寸法Ｂよりも小さくすることができる。例えば、Ｂ＝２５ｍｍの場合でもδＰ＝２０ｍｍが可能である。その場合、距離センサー24、25はそれぞれ隣のセンサーよりも４０ｍｍ、６０ｍｍの位置に設置される。 ΔP in FIG. 9 can be made smaller than the mounting width dimension B of the distance sensor. For example, even when B = 25 mm, δP = 20 mm is possible. In this case, the distance sensors 24 and 25 are installed at positions of 40 mm and 60 mm from the adjacent sensors, respectively.
図１０は遂次５点真直度測定法でのP1〜P19までの距離データの取得とデータはめ込みの説明図である。（１）図はユニットポジションと測定ポイントをパターン図で表している。
黒色の枠は図９での距離センサー21,22,23での測定データであり、灰色枠は図９での距離センサー24及び25での測定データである。
FIG. 10 is an explanatory diagram of the acquisition and data fitting of distance data from P1 to P19 in the sequential 5-point straightness measurement method. (1) The figure shows unit positions and measurement points in a pattern diagram.
The black frame is the measurement data of the distance sensors 21, 22, and 23 in FIG. 9, and the gray frame is the measurement data of the distance sensors 24 and 25 in FIG.
（２）図は測定ポイントの座標決定手法の説明図である。ユニットポジション1,7のデータより、従来の遂次３点法によって測定ポイントP1,P7,P13,P19の座標が決定できる。これは大ピッチで3分割にブロック化したことに相当する。同時に小ピッチδＰでの測定ポイントP3,P9,P10,P16も決定される。 (2) The figure is an explanatory diagram of a method for determining the coordinates of a measurement point. From the data of the unit positions 1 and 7, the coordinates of the measurement points P1, P7, P13 and P19 can be determined by the conventional sequential three-point method. This is equivalent to dividing into 3 blocks at a large pitch. At the same time, measurement points P3, P9, P10, and P16 at a small pitch δP are also determined.
次にすでに決定された測定ポイントを足がかりとして、各ブロック内の各測定ポイントの座標を、上述の図８での説明と同様の手法で決定することができる。
ユニットポジション3での測定ポイントP3,P9よりP5,P12,P15の座標、
ユニットポジション4での測定ポイントP10,P16よりP4,P6の座標、
ユニットポジション6での測定ポイントP6,P12よりP8,P18の座標、
ユニットポジション2での測定ポイントP4,P8よりP2,P11,P14の座標、
ユニットポジション5での測定ポイントP5,P11よりP17の座標が決定でき、
P1〜P19の全座標を決定できる。
Next, using the already determined measurement points as a foothold, the coordinates of each measurement point in each block can be determined by the same method as described in FIG.
Coordinates of measurement points P3, P9 to P5, P12, P15 at unit position 3,
Coordinates of P4 and P6 from measurement points P10 and P16 at unit position 4,
The coordinates of P8 and P18 from measurement points P6 and P12 at unit position 6,
The coordinates of P2, P11, P14 from the measurement points P4, P8 at unit position 2,
The coordinates of P17 can be determined from measurement points P5 and P11 at unit position 5.
All coordinates of P1 to P19 can be determined.
以上説明したように本発明によれば、
測定系の運動基準に高精度な母性基準が不要であり、
複数の距離センサーの信号処理を同時に処理するため振動などの外乱に強く、
ブロック分割法の採用による累積誤差の軽減
などにより、長尺物を高精度に測定できる。
As described above, according to the present invention,
There is no need for a high-precision maternal standard in the motion standard of the measurement system.
Resistant to disturbances such as vibration, because it processes the signal processing of multiple distance sensors simultaneously,
Long objects can be measured with high accuracy by reducing accumulated errors by adopting the block division method.
図１１は遂次４点真直度測定システムのモデル図であり、測定ユニット１、１軸駆動ユニット４、ゼロ設定用基準ブロック６、被測定物７から構成されている。測定ユニット１は距離センサー２１，２２，２３，２４とセンサー取り付け板５から構成されている。さらに、１軸ユニット４にはボールねじが内蔵されており、モーター８の回転によって測定ユニット１を測定方向３に搬送できる機構となっている。 FIG. 11 is a model diagram of a sequential four-point straightness measurement system, which includes a measurement unit 1, a single-axis drive unit 4, a zero setting reference block 6, and an object to be measured 7. The measurement unit 1 includes distance sensors 21, 22, 23, 24 and a sensor mounting plate 5. Further, the single-axis unit 4 has a built-in ball screw, which is a mechanism that can transport the measurement unit 1 in the measurement direction 3 by rotation of the motor 8.
距離センサーからのデータは、まず最初に測定ユニット１をゼロ設定用基準ブロック６のポジションに設定して距離センサー４個のゼロ点設定をおこなう。次に測定ユニット１を被測定物７に向かって測定方向３の方向に駆動させ、連続移動をさせながら測定ポイントのピッチδＰごとに４台の距離センサーからのデータを同時に取得する。 For data from the distance sensor, first, the measurement unit 1 is set to the position of the reference block 6 for zero setting, and the zero point of the four distance sensors is set. Next, the measurement unit 1 is driven in the measurement direction 3 toward the object 7 to be measured, and data from four distance sensors are simultaneously acquired for each measurement point pitch δP while continuously moving.
これまで、搬送系に並級リニアガイドベアリング、距離センサーに分解能０．１μｍの高精度CCD搭載型レーザ変位計、距離センサー間ピッチ：P=100ｍｍとした実験装置において、長さ５５０mm（真直度０．２μｍ）の高精度基準ブロックを被測定物として真直度の測定を行い、１００mm/secの高速測定度条件でも、約１μｍの測定精度を得た。 Up to now, in an experimental device with a standard linear guide bearing for the transport system, a high-precision CCD mounted laser displacement meter with a resolution of 0.1 μm for the distance sensor, and a pitch between the distance sensors: P = 100 mm, the length is 550 mm (straightness is 0) .2 μm) high-precision reference block was used to measure the straightness, and a measurement accuracy of about 1 μm was obtained even under a high-speed measurement degree condition of 100 mm / sec.
本発明は、長尺測定を必要とする大型液晶用マスク基板、機械加工面、定盤基準面などの製造分野における、真直度を測定する検査工程で利用することができる。 INDUSTRIAL APPLICABILITY The present invention can be used in an inspection process for measuring straightness in a manufacturing field such as a mask substrate for a large liquid crystal that requires long measurement, a machined surface, and a surface plate reference surface.
１ センサーユニット
１Ａ センサーユニット
１Ｂ センサーユニット
１Ｃ センサーユニット
２１ 距離センサー
２２ 距離センサー
２３ 距離センサー
２４ 距離センサー
２５ 距離センサー
３ 測定方向
４ １軸駆動ユニット
５ センサー取り付け板
６ ゼロ点設定用基準ブロック
７ 被測定物
８ モーター
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Sensor unit 1A Sensor unit 1B Sensor unit 1C Sensor unit 21 Distance sensor 22 Distance sensor 23 Distance sensor 24 Distance sensor 25 Distance sensor 3 Measurement direction 4 Single axis drive unit 5 Sensor mounting plate 6 Zero point setting reference block 7 Object to be measured 8 Motor
Claims (6)
6. The method according to claim 1, wherein the straightness is measured by successive multipoint software processing.
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-
2006
- 2006-06-15 JP JP2006165579A patent/JP2007333556A/en active Pending
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