JP2007299566A - Metal mask storage container - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、有機ＥＬ（エレクトロルミネッセンス）製造に用いるメタルマスクを収納するメタルマスク用収納容器に関する。 The present invention relates to a metal mask storage container for storing a metal mask used for organic EL (electroluminescence) manufacturing.
従来の有機ＥＬ、液晶ディスプレー等に用いるカラーフィルタの製造工程では、電極の成膜時、又は画素部の形成時にメタルマスクを用いる。例えばカラーフィルタの製造方法では、最初に、基板上にブラックマトリックス（以下ＢＭと記す）を形成した後、Ｒ画素、Ｇ画素、Ｂ画素からなる着色層（以下着色エリアと記す）を形成する。次いで、前記基板の着色エリア上にスパッタリング法を用いて電極を形成する。前記電極は、各々着色エリアと導電膜との位置合わせ精度が重要となる。合わせ精度に不具合のある場合、液晶ディスプレーの表示装置の色特性不良等の原因となる。 In a manufacturing process of a color filter used in a conventional organic EL, liquid crystal display, or the like, a metal mask is used when forming an electrode or forming a pixel portion. For example, in a color filter manufacturing method, a black matrix (hereinafter referred to as BM) is first formed on a substrate, and then a colored layer (hereinafter referred to as a colored area) composed of R pixels, G pixels, and B pixels is formed. Next, an electrode is formed on the colored area of the substrate by sputtering. In each of the electrodes, the alignment accuracy between the colored area and the conductive film is important. If there is a defect in alignment accuracy, it may cause a color characteristic defect of the display device of the liquid crystal display.
通常、有機ＥＬ若しくは、カラーフィルタの製造方法では、基板上に複数個を面付けした多面付けが一般的であり、その各々着色エリアに所望する被膜をスパッタリングや蒸着にて形成する際、マスキングを行って成膜する方法が一般的である。 In general, in the method of manufacturing an organic EL or color filter, a plurality of surfaces are generally applied on a substrate, and masking is performed when a desired film is formed on each colored area by sputtering or vapor deposition. A method of forming a film by performing is common.
前記マスキングには、スパッタ用メタルマスク（以下メタルマスクと記す）が用いられている。前記メタルマスクは、開口部エリアと枠エリアにより形成されている。メタルマスクの開口部は、前記ＢＭ、Ｒ画素、Ｇ画素、又はＢ画素の着色エリアの直上位置に形成され、着色エリアに近似した形状である。メタルマスクの変形や傷は、画素部を形成での不具合となる場合がある。 For the masking, a metal mask for sputtering (hereinafter referred to as a metal mask) is used. The metal mask is formed by an opening area and a frame area. The opening of the metal mask is formed at a position immediately above the colored area of the BM, R pixel, G pixel, or B pixel, and has a shape approximate to the colored area. Deformation and scratches on the metal mask may cause problems in forming the pixel portion.
前記メタルマスクは、金属基板をフォトプロセス法によるエッチング処理により形成されることが通常である。 The metal mask is usually formed by etching a metal substrate by a photo process method.
近年の市場では、画像表示装置のコストダウンのために、基板の大型化の傾向と、基板上により多くの着色エリアが面付け配置される傾向が加速されている。その結果、メタルマスクの大型化と、その枠エリア、すなわち面付け間隔が狭くなる傾向がある。さらにメタルマスク自身の強度維持のためメタルマスク板厚を厚くする傾向がある。 In recent years, in order to reduce the cost of image display devices, the trend toward larger substrates and the tendency to place more colored areas on the substrate has been accelerated. As a result, the metal mask becomes larger and its frame area, that is, the imposition interval tends to be narrowed. Furthermore, there is a tendency to increase the metal mask plate thickness in order to maintain the strength of the metal mask itself.
従来の有機エレクトロルミネッセンスや、液晶ディスプレー等で用いられるメタルマスクは、蒸着部が多面付けされ、蒸着部の面積が大きくなり、大型化、例えば外形で６５０×６５０ｍｍとなる傾向である。 Conventional metal masks used in organic electroluminescence, liquid crystal displays, and the like have a multi-sided vapor deposition portion, and the area of the vapor deposition portion increases, resulting in an increase in size, for example, an outer shape of 650 × 650 mm.
メタルマスクは金属枠を有するもので、メタルマスクの大型化に伴い、その重量も２０Ｋｇと重くなる傾向である。 The metal mask has a metal frame, and the weight of the metal mask tends to increase to 20 kg as the metal mask becomes larger.
メタルマスクを用いて電極や有機ＥＬの画素部を形成する工程では、基板の大型化、品質の高精細化等により、使用するメタルマスクが大型化に伴う保管及び搬送の改善、例えば、メタルマスクの出し入れを容易にする工夫、例えば、メタルマスクの清浄度を維持することが重要となる。 In the process of forming electrodes and organic EL pixel portions using a metal mask, the metal mask to be used is improved in storage and transportation due to the increase in size, the definition of quality, etc., for example, the metal mask Therefore, it is important to keep the metal mask clean.
従来では、メタルマスクを搬送する際、角部材を有するアクリル樹脂の収納容器にメタルマスクを収納し、蓋で密封した状態で搬送する。 Conventionally, when a metal mask is transported, the metal mask is stored in an acrylic resin storage container having a corner member and transported in a state of being sealed with a lid.
図３は、従来の収納容器の上面図である。 FIG. 3 is a top view of a conventional storage container.
従来のメタルマスクを収納する収納容器３０は、各四隅に角部材３１が配置され、メタルマスク１は角部材上３１に載置され、蓋で密閉されている。 A storage container 30 for storing a conventional metal mask is provided with corner members 31 at the four corners, and the metal mask 1 is placed on the corner member 31 and sealed with a lid.
図４は、従来の収納容器の角部材の形状を説明する図面で、（ａ）は、上面図であり、（ｂ）は、側断面図である。 4A and 4B are views for explaining the shape of a corner member of a conventional storage container, wherein FIG. 4A is a top view and FIG. 4B is a side sectional view.
図４（ａ）では、段差部３２上にメタルマスクが載置されている。メタルマスクの収納、若しくは取出を容易にするため、角部材３１とメタルマスク１とは０．５ｍｍ程度のギャップ３４を設けている。図４（ｂ）に示すように、角部材３１では、その一方内側に段差部３２が設けられ、その段差によりメタルマスクの四隅を規制し、所定位置に収納されている。 In FIG. 4A, a metal mask is placed on the step portion 32. In order to facilitate the storage or removal of the metal mask, the corner member 31 and the metal mask 1 are provided with a gap 34 of about 0.5 mm. As shown in FIG. 4B, the corner member 31 is provided with a stepped portion 32 on one inner side thereof, and the four corners of the metal mask are regulated by the step and stored in a predetermined position.
そのキャップ３４の間隙で、メタルマスクが移動し、接触による擦れ、衝突による異物が発生する問題がある。 There is a problem in that the metal mask moves in the gap between the caps 34 and rubs due to contact and foreign matter due to collision occurs.
搬送時の振動が伝わり、メタルマスクが移動し、メタルマスクの微細部、例えば蒸着部に打傷、基材の曲がり等が発生する。 The vibration at the time of conveyance is transmitted, the metal mask moves, and the fine portion of the metal mask, for example, the vapor deposition portion, is damaged, the substrate is bent or the like.
以下に公知文献を記す。
本発明の課題は、メタルマスク用収納容器内での発塵を防止し、収納、又は搬送時でのメタルマスク用収納容器内のメタルマスクの振動を防止し、メタルマスクへの傷、変形を防止することを可能としたメタルマスク用収納容器を提供する。 It is an object of the present invention to prevent dust generation in the metal mask storage container, to prevent vibration of the metal mask in the metal mask storage container during storage or transportation, and to prevent damage and deformation to the metal mask. Provided is a metal mask storage container which can be prevented.
本発明の請求項１に係る発明は、有機ＥＬの蒸着の製造時に用いるメタルマスク用収納容器において、収納容器はメタルマスクを収納する箱部と蓋部からなり、箱部にメタルマスクを載置するための、メタルマスクの裏面と接する部分に角部材を有し、角部材のメタルマスクと接する段差部のメタルマスクと接する面上に弾性体からなる層を有し、載置したメタルマスクの自重により弾性体からなる層とメタルマスクが固定されることを特徴とするメタルマスク用収納容器である。 The invention according to claim 1 of the present invention is a metal mask storage container used in the production of organic EL vapor deposition, wherein the storage container includes a box part and a cover part for storing the metal mask, and the metal mask is placed on the box part. The metal mask has a corner member at a portion in contact with the back surface of the metal mask, and a layer made of an elastic body on the surface in contact with the metal mask of the stepped portion in contact with the metal mask of the corner member. A metal mask storage container in which an elastic layer and a metal mask are fixed by their own weight.
本発明の請求項２に係る発明は、前記弾性体は、ＪＩＳＫ６２５３に準拠したゴム硬度４０から５０のシリコンゴムであることを特徴とする請求項１記載のメタルマスク用収納容器である。 The invention according to claim 2 of the present invention is the metal mask storage container according to claim 1, wherein the elastic body is silicon rubber having a rubber hardness of 40 to 50 in accordance with JISK6253.
本発明の請求項３に係る発明は、前記蓋部は、箱部の容器内を密閉する形状であり、メタルマスクを載置した箱部を密閉するための、メタルマスクの表面と接する部分に押さえ用部材を有し、押さえ用部材のメタルマスクの表面と接する面に弾性体からなる層を有し、収納したメタルマスクが上、又は下側の弾性体からなる層に固定されることを特徴とする請求項１、又は２記載のメタルマスク用収納容器である。 The invention according to claim 3 of the present invention is such that the lid portion has a shape for sealing the inside of the container of the box portion, and a portion in contact with the surface of the metal mask for sealing the box portion on which the metal mask is placed. It has a pressing member, has a layer made of an elastic body on the surface of the pressing member in contact with the surface of the metal mask, and the stored metal mask is fixed to the upper or lower elastic layer. 3. The metal mask storage container according to claim 1, wherein the metal mask storage container is a metal mask storage container.
本発明の請求項４に係る発明は、前記抑え用部材は、取り外し自在な装着方法であるネジを有し、その締め、緩めで脱着すること特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項記載のメタルマスク用収納容器である。 The invention according to claim 4 of the present invention is characterized in that the restraining member has a screw which is a detachable mounting method, and is attached and detached by tightening and loosening the screw. It is a storage container for metal masks of description.
本発明のメタルマスク用収納容器を用いれば、容器内の異物の発生が防止されるため、収納容器内のメタルマスクは清浄な状態を維持できる。 If the metal mask storage container of the present invention is used, the generation of foreign matter in the container is prevented, so that the metal mask in the storage container can be kept clean.
本発明のメタルマスク用収納容器を用いれば、容器内でのメタルマスクの振動の発生が防止されるため、収納容器内のメタルマスクは傷、変形の発生を解消できる効果がある。 If the metal mask storage container of the present invention is used, the occurrence of vibration of the metal mask in the container is prevented, so that the metal mask in the storage container has an effect of eliminating the occurrence of scratches and deformation.
本発明のメタルマスク用収納容器を一実施形態に基づいて以下説明する。 The metal mask storage container of the present invention will be described below based on one embodiment.
図１は、本発明のメタルマスク用収納容器の一実施例を説明する上面図で、（ａ）は、箱部（ｂ）は、蓋部である。 FIG. 1 is a top view for explaining an embodiment of a metal mask storage container according to the present invention, in which (a) is a box (b) is a lid.
図１（ａ）は、本発明のメタルマスク用収納容器の箱部１０である。箱部１０は、角部材１１を備えている。角部材１１は、メタルマスクを支持する部材であり、直接メタルマスク裏面と接触するエリア近傍は段差部１２であり、その段差部上面は弾性体からなる層１３を備えている。 Fig.1 (a) is the box part 10 of the storage container for metal masks of this invention. The box unit 10 includes a corner member 11. The corner member 11 is a member that supports the metal mask. The vicinity of the area that is in direct contact with the back surface of the metal mask is a stepped portion 12, and the upper surface of the stepped portion includes a layer 13 made of an elastic body.
図１（ａ）に示す角部材１１は、メタルマスクの四隅を支持する部材であり、その支持位置に装着されている。角部材１１の形状及び使用個数は、適宜に選択することが重要である。形状の選択では、点支持、又は線支持、個数の選択では、４、８、１２個等の支持荷重の分散等を考慮し、最適化する。 The corner member 11 shown in FIG. 1A is a member that supports the four corners of the metal mask, and is mounted at the support position. It is important to appropriately select the shape and the number of the corner members 11 to be used. In the selection of the shape, point support or line support is selected, and in the selection of the number, the dispersion of the support load of 4, 8, 12 or the like is taken into consideration and optimized.
図１（ｂ）は、本発明のメタルマスク用収納容器の蓋部２０であり、箱部１０にメタルマスクを収納したあと、蓋部２０を重ねて内部を密閉する。蓋部２０は、押さえ用部材２２を備えている。押さえ用部材２２は、メタルマスクを固定する部材であり、直接メタルマスク表面と接触するエリアであり、その押さえ用部材２２の表面が弾性体からなる層２３を備えている。 FIG. 1B shows a lid portion 20 of the metal mask storage container of the present invention. After the metal mask is stored in the box portion 10, the lid portion 20 is overlapped to seal the inside. The lid portion 20 includes a pressing member 22. The pressing member 22 is a member that fixes the metal mask, is an area that directly contacts the metal mask surface, and the surface of the pressing member 22 includes a layer 23 made of an elastic body.
図１（ｂ）に示す押さえ用部材２２は、メタルマスク表面の四隅を固定する部材であり、その支持位置に装着されている。押さえ用部材２２の形状及び使用個数は、適宜に選択することが重要である。 The pressing member 22 shown in FIG. 1B is a member that fixes the four corners of the surface of the metal mask, and is mounted at the support position. It is important to appropriately select the shape and the number of the pressing members 22 used.
箱部１０に蓋部２０を重ねた場合、メタルマスクの載置する位置は、図１（ａ）では、メタルマスク１自身の位置で、図１（ｂ）では、破線枠の位置となる。従って、段差部１２と押さえ用部材２２は、同じ位置で重ね合わせる状態で嵌合する。 When the lid portion 20 is overlapped on the box portion 10, the position where the metal mask is placed is the position of the metal mask 1 itself in FIG. 1 (a) and the position of the broken line frame in FIG. 1 (b). Accordingly, the stepped portion 12 and the pressing member 22 are fitted in a state of being overlapped at the same position.
前記押さえ用部材２２、角部材１１、及び弾性体からなる層１３、２３は、取り外し自在な装着方法であるネジを有し、その締め、緩めで脱着することができる。従って、適宜疲労、劣化の点検を実施し、適宜更新するメタルマスク用収納容器である。 The pressing member 22, the corner member 11, and the layers 13 and 23 made of an elastic body have screws that are detachable mounting methods, and can be detached by tightening and loosening the screws. Therefore, it is a metal mask storage container that is appropriately checked for fatigue and deterioration and is updated as appropriate.
前記弾性体層１３、２３は、ＪＩＳＫ６２５３に準拠したゴム硬度４０から５０のシリコンゴムを用いている。シリコンゴムは、シリコンポリマーにシリカ、添加剤、硬化触媒を混合したもので、例えばＳＲ−５０（商品名：タイガーストリマ（株）製造）を用いた。 The elastic layers 13 and 23 are made of silicon rubber having a rubber hardness of 40 to 50 in accordance with JISK6253. Silicon rubber is a mixture of silica, additive, and curing catalyst in a silicon polymer. For example, SR-50 (trade name: manufactured by Tiger Strimer Co., Ltd.) was used.
メタルマスク用収納容器の材質は、アクリルニトリル・メタクリル酸ブジェン重合体であり、例えばバレックス（（商品名：三協化成（株）製造）を用いた。なお、貼り合せる場合では、その接着剤は、アセトニトリル系のサンボンドＳＢ１００（商品名：山王工業
（株）製造）を用いた。
The metal mask storage container is made of acrylonitrile / methacrylic acid butylene polymer, such as Valex (manufactured by Sankyo Kasei Co., Ltd.). Acetonitrile-based Sunbond SB100 (trade name: manufactured by Sanno Industry Co., Ltd.) was used.
段差部１２及び押さえ用部材２２上に弾性体層１３を貼り合せる場合では、両面テープ＃８８０ＷＰ（商品名：エビス化成（株）製造）を用いて弾性体層１３を形成した。 In the case where the elastic body layer 13 is bonded onto the stepped portion 12 and the pressing member 22, the elastic body layer 13 was formed using a double-sided tape # 880WP (trade name: manufactured by Ebis Kasei Co., Ltd.).
前記材料の選択では、溌塵と、アウトガスの発生しないものから選択し、ケース洗浄に耐える、例えば洗浄水の不溶なものを選択することが重要である。 In selecting the material, it is important to select from materials that do not generate dust and outgas, and select materials that can withstand case cleaning, for example, are insoluble in cleaning water.
本発明のメタルマスク用収納容器は、繰り返し再使用するため、ケースを洗浄する。収納容器の形状は、洗浄しやすい形状、例えば、内側のコーナーではＲ形状等の工夫がされている。収納容器の形状は、メタルマスクの出し入れに便利な形状、例えば、側面を開放し、アームによる自動移載装置等の自動化に対応等の工夫がされている。 In order to reuse the metal mask storage container of the present invention repeatedly, the case is washed. The shape of the storage container is easy to clean, for example, an R shape is devised at the inner corner. The shape of the storage container is a convenient shape for taking in and out of the metal mask, for example, the side is opened, and the device is adapted to automate an automatic transfer device or the like by an arm.
本発明のメタルマスク用収納容器の作製方法は、公知の方法、板状基材を張り合わせる方法、又は金型等による成型方法を用いている。 As a method for producing the metal mask storage container of the present invention, a known method, a method of laminating plate-like substrates, or a molding method using a mold or the like is used.
本発明のメタルマスク用収納容器の蓋部２０は、箱部１０の容器内を密閉する形状で形成されている。メタルマスク１を載置した箱部１０を密閉する際、メタルマスク１の表面と接する部分に押さえ用部材２２を有し、押さえ用部材２２のメタルマスクの表面と接する面に弾性体層２３を有し、収納したメタルマスク１では、メタルマスクの裏面側が弾性体層１３と、その表面側が弾性体層２３に固定されている。 The lid portion 20 of the metal mask storage container of the present invention is formed in a shape that seals the inside of the container of the box portion 10. When the box portion 10 on which the metal mask 1 is placed is sealed, the pressing member 22 is provided in a portion in contact with the surface of the metal mask 1, and the elastic body layer 23 is provided on the surface of the pressing member 22 in contact with the surface of the metal mask. In the metal mask 1 having and housed, the back side of the metal mask is fixed to the elastic layer 13 and the front side is fixed to the elastic layer 23.
図２は、本発明のメタルマスク用収納容器の一実施例の角部材の部分拡大図で、（ａ）は、上面図であり、（ｂ）は、メタルマスクを載置した状態の側断面図であり、（ｃ）は密閉した状態の側断面図である。なお、図２（ａ）〜（ｃ）は、図１の左下の破線丸枠の部分の拡大図であり、メタルマスクを載置後の上面図、及び（ｂ）〜（ｃ）は、箱部内にメタルマスクを載置後の側断面図と蓋部を重ねた後の側断面図である。 FIG. 2 is a partially enlarged view of a corner member of an embodiment of the metal mask storage container of the present invention, (a) is a top view, and (b) is a side cross-section in a state where the metal mask is placed. (C) is a sectional side view in a sealed state. 2 (a) to 2 (c) are enlarged views of the broken-lined broken-line frame at the lower left of FIG. 1, and a top view after placing the metal mask, and FIGS. 2 (b) to (c) are boxes. It is a side sectional view after putting a metal mask in a part, and a side sectional view after overlapping a lid part.
図２（ａ）〜（ｂ）に示すように、本発明のメタルマスク用収納容器の箱部１０にメタルマスク１を載置する際、メタルマスク１の裏面と接する部分の段差部１２に弾性体層１３を有し、弾性体層１３上に載置したメタルマスク１の自重により弾性体層１３へ沈み込むようにメタルマスク１が固定される。本発明では、弾性体層のゴム硬度を最適化し、適度な沈み込みの深さを選択し、ＪＩＳＫ６２５３に準拠したゴム硬度４０〜５０のシリコンゴムを用いた。 As shown in FIGS. 2A to 2B, when the metal mask 1 is placed on the box portion 10 of the metal mask storage container of the present invention, the stepped portion 12 that is in contact with the back surface of the metal mask 1 is elastic. The metal mask 1 having the body layer 13 is fixed so as to sink into the elastic body layer 13 due to the weight of the metal mask 1 placed on the elastic body layer 13. In the present invention, the rubber hardness of the elastic layer is optimized, a suitable depth of subsidence is selected, and silicon rubber having a rubber hardness of 40 to 50 in accordance with JISK6253 is used.
図２（ｃ）に示すように、収納したメタルマスク１では、メタルマスクの裏面側が弾性体層１３と、その表面側が弾性体層２３に固定されている。本発明のメタルマスク用収納容器に収納されたメタルマスクは、弾性体層１３に沈み込むように左右方向に固定され、且つ蓋部の弾性体２３により押さえ付けるように上下方向に固定されている。 As shown in FIG. 2C, in the stored metal mask 1, the back surface side of the metal mask is fixed to the elastic body layer 13 and the front surface side thereof is fixed to the elastic body layer 23. The metal mask stored in the metal mask storage container of the present invention is fixed in the left-right direction so as to sink into the elastic body layer 13 and fixed in the vertical direction so as to be pressed by the elastic body 23 of the lid portion. .
１…メタルマスク
１０…箱部
１１…角部材
１２…段差部
１３…弾性体層
２０…蓋部
２２…押さえ用部材
２３…弾性体層
３０…従来のメタルマスク用収納容器
３１…角部材
３２…段差部
３４…ギャップ
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Metal mask 10 ... Box part 11 ... Square member 12 ... Step part 13 ... Elastic body layer 20 ... Cover part 22 ... Holding member 23 ... Elastic body layer 30 ... Conventional metal mask storage container 31 ... Square member 32 ... Step 34 ... Gap
Claims (4)
4. The metal mask storage container according to claim 1, wherein the holding member has a screw which is a detachable mounting method, and is attached by being tightened or loosened. 5.
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|---|---|---|---|---|
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-
2006
- 2006-04-28 JP JP2006125172A patent/JP2007299566A/en active Pending
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| KR102645913B1 (en) * | 2019-10-03 | 2024-03-11 | 도판 홀딩스 가부시키가이샤 | Vapor deposition mask case |
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