JP2007298984A - 高na投影対物レンズ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 物体面上に設けられたパターンを像面上に結像するための反射屈折投影対物レンズは、物体面から到来する放射光から像面に最も近い最終中間像を生じるための物体側結像光学系部分と、最終中間像を像面上に直接的に結像するための像側結像光学系部分とを有する。像側結像光学系部分は、像面に最も近い最後の光学素子を有し、また、最後の光学素子内に開口sinα≧0.8を有する集束ビームを生じるように構成されている。像側結像光学系部分は、放射光の伝播方向に沿って、負の全屈折力を有する一次負レンズ群、正の全屈折力を有する中間正レンズ群、負の全屈折力を有する二次負レンズ群、及び正の全屈折力を有して最後の光学素子を含む最終正レンズ群をこの順番に備えており、最後の光学素子は、RLOE/NA<40mmになる曲率半径RLOEを有する凸状入射面を有する。
【選択図】図1
Description
物体面から到来する放射光から像面に最も近い最終中間像を生じるための反射屈折型の物体側結像光学系部分と、
最終中間像を像面上に直接的に結像するための屈折型の像側結像光学系部分と、
を備え、
像側結像光学系部分は、像面に最も近い最後の光学素子を有し、また、像側開口数NAを与えるように最後の光学素子内に開口sinα≧0.8を有する集束ビームを生じるように構成されており、
像側結像光学系部分は、放射光の伝播方向に沿って、
負の全屈折力を有する一次負レンズ群、
正の全屈折力を有する中間正レンズ群、
負の全屈折力を有する二次負レンズ群、及び
正の全屈折力を有し、また最後の光学素子を含む最終正レンズ群、
をこの順番に備えており、最後の光学素子は、曲率半径RLOEが、RLOE/NA<40mmである凸状入射面を有する、反射屈折投影対物レンズを提供する。
本全体構造を有する反射屈折投影対物レンズは、たとえば、2005年1月14日に出願された出願第11/035,103号であって、US2005/0190435A1号として発行された米国特許出願に開示されている。この出願の内容は、参照によって本出願に援用される。すべての凹面鏡が、光学的にひとみ面から離して配置され、特に、結像過程の主光線高さが結像過程の周縁光線高さを超える位置にあることが、この形式の反射屈折投影対物レンズの1つの特徴的な特性である。さらに、少なくとも第1中間像が、幾何学的に鏡間空間内に位置することが好ましい。両方の中間像が、幾何学的に鏡間空間内に位置することが好ましい。この基本形式の構造により、比較的少量の光学材料で作製することができる光学系での、開口数NA>1の浸漬リソグラフィが可能になる。
p(h)=[((1/r)h2)/(1+SQRT(1−(1+K)(1/r)2h2))]+C1・h4+C2・h6+....,
の方程式を用いて計算することができ、ここで曲率半径の逆数(1/r)は問題の表面の表面頂点での曲率であり、hはその上の点と光軸との間の距離である。したがって、サジッタp(h)は、その点を問題の表面の頂点からz方向に沿って、すなわち光軸に沿って測定した距離を表す。定数K、C1、C2などは表1Aに示されている。
Claims (29)
- 物体面上に設けられたパターンを像面上に結像するための反射屈折投影対物レンズであって、
物体面から到来する放射光から像面に最も近い最終中間像を生じるための物体側結像光学系部分と、
最終中間像を像面上に直接的に結像するための像側結像光学系部分と、
を備え、
像側結像光学系部分は、像面に最も近い最後の光学素子を有し、また、像側開口数NAを与えるように最後の光学素子内に開口sinα≧0.8を有する集束ビームを生じるように構成されており、
像側結像光学系部分は、放射光の伝播方向に沿って、
負の全屈折力を有する一次負レンズ群、
正の全屈折力を有する中間正レンズ群、
負の全屈折力を有する二次負レンズ群、及び
正の全屈折力を有し、また最後の光学素子を含む最終正レンズ群、
をこの順番に備えており、最後の光学素子は、曲率半径RLOEが、RLOE/NA<40mmである凸状入射面を有する、反射屈折投影対物レンズ。 - 最後の光学素子は、凸状入射面及び平坦な射出面を有する平凸レンズであり、凸状入射面の曲率半径RLOEは、50mmより小さい、請求項1に記載の投影対物レンズ。
- 正の全屈折力を有する一次正レンズ群が、最終中間像と一次負レンズ群との間に配置される、請求項1又は2に記載の投影対物レンズ。
- 中間正レンズ群と最終正レンズ群との間に設けられた二次負レンズ群は、像側結像光学系部分内の最大ビーム直径の領域内に位置付けられる、請求項1〜3のいずれか1項に記載の投影対物レンズ。
- 二次負レンズ群内の少なくとも1つの負レンズが、二次負レンズ群内のビーム直径の、像側結像光学系部分内の最大ビーム直径の90%を超える局部最大値の領域内に配置される、請求項1〜4のいずれか1項に記載の投影対物レンズ。
- 一次負レンズ群によって与えられる負の屈折力は、ビーム直径の局部最小値の位置、又はその近くの小さいビーム直径の領域内に集められる、請求項1〜5のいずれか1項に記載の投影対物レンズ。
- 一次負レンズ群の少なくとも1つの負レンズは、像側結像光学系部分内のビーム直径の局部最小値の領域内に配置される、請求項1〜6のいずれか1項に記載の投影対物レンズ。
- 一次負レンズ群の少なくとも1つの負レンズは、(像面に面する)凹状射出面であって、その面に対する入射角のサインの最大値をSINIMAXとすると、SINIMAX>0.93の大きい入射角が生じる凹状射出面を有し、好ましくは凹状射出面の少なくとも1つは、非球面である、請求項1〜7のいずれか1項に記載の投影対物レンズ。
- 二次負レンズ群内の光線の周縁光線角は、一次負レンズ群内の場合より相当に小さく、それにより、二次及び一次負レンズ群内の周縁光線の最大値をそれぞれMRA2MAX及びMRA1MAXとすると、MRA2MAX<MRA1MAXの条件が満たされるようにした、請求項1〜8のいずれか1項に記載の投影対物レンズ。
- 二次負レンズ群は、周縁光線角|MRA|<10°の実質的に平行なビームが二次負レンズ群に入射するように位置付けられる、請求項1〜9のいずれか1項に記載の投影対物レンズ。
- 二次負レンズ群の少なくとも1つのレンズ群が、物体面に面する凹状入射面を有し、好ましくは、その凹状入射面は、負レンズ上に設けられ、且つ/又はその凹状入射面は、非球面である、請求項1〜10のいずれか1項に記載の投影対物レンズ。
- 一次負レンズ群の中央領域内の一次主光線高さCRH1が、二次負レンズ群の中央領域内の二次主光線高さCRH2より大きく、また、一次負レンズ群内の一次周縁光線高さMRH1が、二次負レンズ群内の二次周縁光線高さMRH2より小さい、請求項1〜11のいずれか1項に記載の投影対物レンズ。
- 像面に近接した最終正レンズ群は、像側結像光学系部分の、像面に最も近いひとみ面であるひとみ面を横切って延在する、請求項1〜12のいずれか1項に記載の投影対物レンズ。
- 像面に面する凹状射出面を有する少なくとも2つのメニスカス形正レンズが、像面に最も近いひとみ面と像面との間に配置されており、また、好ましくは凹状射出面の少なくとも1つが非球面に形成され、それにより、入射角を減少させることによって周縁光線の収差を減少させるようにした、請求項1〜13のいずれか1項に記載の投影対物レンズ。
- 集束ビームの領域内に配置された少なくとも1つの非球面レンズ面は、非球面レンズ面のすぐ下流側の周縁光線角をMRAAS、対応の球面ベースレンズ面に非球面変形がない場合の周縁光線角の値をMRASとすると、MRAAS/MRAS>1.2に従った集束強化非球面として構成され、好ましくは像面に最も近い3つのレンズの少なくとも1つが、集束強化非球面として構成された像側凹面を有する、請求項1〜14のいずれか1項に記載の投影対物レンズ。
- 発散ビームの領域内に配置された少なくとも1つの非球面レンズ面は、非球面レンズ面のすぐ下流側の周縁光線角をMRAAS、対応の球面ベースレンズ面に非球面変形がない場合の周縁光線角の値をMRASとすると、MRAS/MRAAS>1.2に従った発散減少非球面として構成され、像側結像光学系部分内のひとみ面のすぐ上流側の3つのレンズの少なくとも1つが、発散減少非球面として構成された像側凸面を有する、請求項1〜15のいずれか1項に記載の投影対物レンズ。
- 像側結像光学系部分は、軸方向に延びた部分区画を含み、そこでは放射光は実質的に平行であり、それにより、その部分区画内の周縁光線角は10°を超えないようになっており、好ましくは、部分区画は、像側結像光学系部分内の最大レンズ直径をDMAXとすると、軸方向長さLC>0.5DMAXに従った軸方向長さLCを有する、請求項1〜16のいずれか1項に記載の投影対物レンズ。
- 最後の光学素子の、光学的に使用される区域の縁部での軸方向厚さを縁部厚さとすると、最後の光学素子は、縁部厚さETLOE<NAX10[mm]に従った縁部厚さETLOEを有する、請求項1〜17のいずれか1項に記載の投影対物レンズ。
- 物体側結像光学系部分は、物体面から到来する放射光から第1中間像を生成するための第1屈折結像光学系部分と、第1中間像を最終中間像に結像するための第2反射屈折又は反射結像光学系部分とを有する、請求項1〜19のいずれか1項に記載の投影対物レンズ。
- 投影対物レンズは、偶数の凹面鏡と、すべてのレンズ及び鏡に共通の1本の直線状の(折れ曲がってない)光軸とを有する(インライン光学系)、請求項1〜19のいずれか1項に記載の投影対物レンズ。
- 第1結像光学系部分は、物体面に面する入射面と第1中間像に面する射出面との間を測定した第1軸方向長さL1を有し、像側結像光学系部分は、最終中間像に面する入射面と像面に面する射出面との間を測定した軸方向長さLISISを有し、LISIS>1.8L1の条件が満たされる、請求項1〜20のいずれか1項に記載の投影対物レンズ。
- 正確に2つの中間像と3つのひとみ面とを有する、請求項1〜21のいずれか1項に記載の投影対物レンズ。
- 最後の光学素子は、屈折率nLOEを有する材料で形成され、像側開口数は、0.95・nLOE<NA<nLOEの範囲内にある、請求項1〜22のいずれか1項に記載の投影対物レンズ。
- 最後の光学素子は、溶融石英で形成され、像側開口数は、1.35≦NA≦1.50の範囲内にある、請求項1〜23のいずれか1項に記載の投影対物レンズ。
- すべての屈折光学素子が同一材料で形成されており、像側開口数は、1.35≦NA≦1.50の範囲内にあり、好ましくはすべての屈折光学素子に使用される同一材料は、溶融石英である、請求項1〜24のいずれか1項に記載の投影対物レンズ。
- NA≧1.35である、請求項1〜25のいずれか1項に記載の投影対物レンズ。
- 投影対物レンズは、屈折率nILを有する浸漬液とともに使用されるように構成され、すべての屈折光学素子が同一材料で形成され、NA/nIL>0.92の条件が保たれる、請求項1〜26のいずれか1項に記載の投影対物レンズ。
- 二次負レンズ群は、像側結像光学系部分内の最小ビーム直径の領域と最大ビーム直径の領域との間に位置付けられる、請求項1〜27のいずれか1項に記載の投影対物レンズ。
- 開口絞りは、物体面に最も近い第1ひとみ位置に位置付けられる、請求項1〜28のいずれか1項に記載の投影対物レンズ。
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