JP2007298810A

JP2007298810A - Display apparatus

Info

Publication number: JP2007298810A
Application number: JP2006127472A
Authority: JP
Inventors: Kenichiro Tsuchida; 健一郎土田
Original assignee: Sharp Corp
Current assignee: Sharp Corp
Priority date: 2006-05-01
Filing date: 2006-05-01
Publication date: 2007-11-15

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To measure displacement amount between a pair of substrates constituting a display apparatus with ease and high accuracy. <P>SOLUTION: A liquid crystal display apparatus 30a is equipped with a 1st substrate and a 2nd substrate arranged to face each other. At an outer circumferential part of the 1st substrate, a linear 1st base mark 11a and a linear 2nd base mark 11b perpendicularly crossing the 1st base mark 11a are respectively provided. At its outer circumferential part, the 2nd substrate has a 1st emphasizing mark 21a which is linearly provided so as to cross the 1st base mark 11a at an angle of <45°and to cross the 2nd base mark 11b and which emphasizes the displacement amount along a direction where the 2nd base mark 11b extends. <P>COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT

Description

本発明は、表示装置に関し、特に、一対の基板を貼り合わせることにより作製される表示装置に関するものである。 The present invention relates to a display device, and more particularly to a display device manufactured by bonding a pair of substrates.

液晶表示装置は、互いに対向して配置された一対の基板と、それら両基板の間に設けられた液晶層とを備え、その液晶層を挟むように各基板に設けられた電極の間に電圧を印加することによって、液晶層の配向状態を変化させて画像を表示するように構成されている。また、液晶表示装置には、画像の最小単位である画素がマトリクス状に複数設けられている。そして、一対の基板の各表面には、各画素に対応して画像表示のための電極などがパターン形成されているので、液晶表示装置を製造する際には、一対の基板を精度よく貼り合わせる必要がある。 A liquid crystal display device includes a pair of substrates disposed opposite to each other and a liquid crystal layer provided between the two substrates, and a voltage is applied between electrodes provided on each substrate so as to sandwich the liquid crystal layer. Is applied to change the alignment state of the liquid crystal layer and display an image. The liquid crystal display device is provided with a plurality of pixels, which are the minimum unit of an image, in a matrix. Then, electrodes for image display and the like are formed on the surfaces of the pair of substrates corresponding to the respective pixels, so that when the liquid crystal display device is manufactured, the pair of substrates is bonded together with high accuracy. There is a need.

例えば、特許文献１には、一対の基板（部材）の貼り合わせ後の位置ずれ量を容易に数値として読める表示装置（表示パネル）が開示されている。
特開平９−２３０８００号公報 For example, Patent Document 1 discloses a display device (display panel) that can easily read a positional deviation amount after bonding a pair of substrates (members) as a numerical value.
JP-A-9-230800

ここで、図８及び図９は、特許文献１に開示された表示装置を構成するコモン側基板１１０及びセグメント側基板１２０をそれぞれ模式的に示した平面図である。 Here, FIG. 8 and FIG. 9 are plan views schematically showing the common side substrate 110 and the segment side substrate 120 constituting the display device disclosed in Patent Document 1, respectively.

コモン側基板１１０の各角部には、端縁に沿って主尺目盛り１１１がそれぞれ設けられている。また、セグメント側基板１２０の各角部には、コモン側基板１１０に重ね合わされたときに、主尺目盛り１１１と互いに重なるように、端縁に沿って複尺目盛り１２１がそれぞれ設けられている。そして、この表示装置では、アライメントマークとして、主尺目盛り１１１及び複尺目盛り１２１をノギスのように利用して、貼り合わせ後の位置ずれ量を測定することができる。 A main scale 111 is provided at each corner of the common substrate 110 along the edge. In addition, a multi-scale scale 121 is provided at each corner of the segment side substrate 120 along the edge so as to overlap the main scale 111 when superimposed on the common side substrate 110. In this display device, the amount of misalignment after bonding can be measured by using the main scale 111 and the multiple scale 121 as calipers as alignment marks.

しかしながら、上記のような主尺目盛り１１１及び複尺目盛り１２１は、フォトリソグラフィなどを利用して、目盛り自体を高精度にパターン形成する必要があるので、位置ずれ量が目盛り自体の形成精度に影響してしまうおそれがある。 However, since the main scale 111 and the multiple scale 121 as described above need to pattern the scale itself with high accuracy using photolithography or the like, the amount of misalignment affects the formation accuracy of the scale itself. There is a risk of it.

本発明は、かかる点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、表示装置を構成する一対の基板の間における位置ずれ量を容易に且つ高精度に測定することにある。 The present invention has been made in view of such points, and an object of the present invention is to easily and accurately measure the amount of positional deviation between a pair of substrates constituting a display device.

上記目的を達成するために、本発明は、第１基板に線状の第１ベースマーク、及びその第１ベースマークと所定角度で交差する線状の第２ベースマークがそれぞれ設けられ、第２基板に第１ベースマーク及び第２ベースマークとそれぞれ交差する線状の第１強調用マークが設けられるようにしたものである。 In order to achieve the above object, according to the present invention, a linear first base mark and a linear second base mark that intersects the first base mark at a predetermined angle are provided on the first substrate, respectively. A linear first emphasis mark intersecting with the first base mark and the second base mark is provided on the substrate.

具体的に本発明にかかる表示装置は、互いに対向して配置された第１基板及び第２基板を備えた表示装置であって、上記第１基板の外周部には、線状の第１ベースマーク、及び該第１ベースマークに所定角度で交差する線状の第２ベースマークがそれぞれ設けられ、上記第２基板は、外周部において、上記第１ベースマークと４５°未満の角度で交差すると共に上記第２ベースマークと交差するように線状に設けられ、該第２ベースマークの延びる方向に沿った位置ずれ量を強調するための第１強調用マークを有していることを特徴とする。 Specifically, a display device according to the present invention is a display device including a first substrate and a second substrate disposed to face each other, and a linear first base is provided on an outer peripheral portion of the first substrate. A mark and a linear second base mark that intersects the first base mark at a predetermined angle are provided, and the second substrate intersects the first base mark at an angle of less than 45 ° at the outer periphery. And a first emphasis mark that is linearly provided so as to intersect the second base mark and emphasizes the amount of misalignment along the direction in which the second base mark extends. To do.

上記の構成によれば、例えば、図５に示すように、第１基板の外周部にそれぞれ線状に設けられた第１ベースライン（１１ａ）及び第２ベースライン（１１ｂ）が９０°で交差する場合には、第２基板の外周部に線状に設けられた第１強調用マーク（２１ａ）が第１ベースマーク（１１ａ）に対してθ（０°＜θ＜４５°）の角度で交差すると、ｔａｎθ＝ｄｙ／ｄｘであるので、第２ベースマーク（１１ｂ）の延びる方向（ｙ方向）に沿ったずれ量ｄｙが第１ベースマーク（１１ａ）の延びる方向（ｘ方向）にｄｘ（＝ｄｙ／ｔａｎθ）としてｔａｎθの逆数分だけ拡大されて表示される。ここで、角度θが０°よりも大きく且つ４５°よりも小さいことにより、ｔａｎθが０よりも大きく且つ１よりも小さくなるので、ｔａｎθの逆数（１／ｔａｎθ）は、常に１より大きくなる。したがって、第２ベースマークの延びる方向のずれ量が第１ベースマークの延びる方向に拡大されて表示されるので、第１基板及び第２基板の間、すなわち、表示装置を構成する一対の基板の間における位置ずれ量が容易に且つ高精度に測定される。 According to the above configuration, for example, as shown in FIG. 5, the first base line (11a) and the second base line (11b) provided in a linear shape on the outer periphery of the first substrate intersect at 90 °. In this case, the first emphasis mark (21a) linearly provided on the outer periphery of the second substrate is at an angle θ (0 ° <θ <45 °) with respect to the first base mark (11a). When intersecting, tan θ = dy / dx, so that the shift amount dy along the direction (y direction) in which the second base mark (11b) extends is dx (in the direction (x direction) in which the first base mark (11a) extends. = Dy / tan θ) and enlarged by the reciprocal of tan θ. Here, since the angle θ is larger than 0 ° and smaller than 45 °, tan θ is larger than 0 and smaller than 1, the reciprocal of tan θ (1 / tan θ) is always larger than 1. Accordingly, since the shift amount in the extending direction of the second base mark is enlarged and displayed in the extending direction of the first base mark, the gap between the first substrate and the second substrate, that is, between the pair of substrates constituting the display device is displayed. The amount of misalignment between them can be measured easily and with high accuracy.

上記第１ベースマーク及び第２ベースマークは、上記第１基板の端縁に沿ってそれぞれ設けられていてもよい。 The first base mark and the second base mark may be provided along an edge of the first substrate.

上記の構成によれば、第２ベースマークに沿った第１基板の端縁の延びる方向における位置ずれ量が第１ベースマークに沿った第１基板の端縁の延びる方向における長さに拡大表示される。 According to the above configuration, the positional shift amount in the extending direction of the edge of the first substrate along the second base mark is enlarged and displayed to the length in the extending direction of the edge of the first substrate along the first base mark. Is done.

上記第１強調用マークは、上記第２基板の端縁に対して４５°未満の角度で交差するように設けられていてもよい。 The first emphasis mark may be provided so as to intersect the edge of the second substrate at an angle of less than 45 °.

上記の構成によれば、第１強調用マークが第２基板の端縁に対して４５°未満の角度で交差しているので、第１ベースマーク及び第２ベースマークが第１基板の端縁に沿ってそれぞれ設けられている場合には、第１強調用マークが第１ベースマークと４５°未満の角度で交差することになり、本発明の作用効果が具体的に奏される。 According to the above configuration, since the first emphasis mark intersects the edge of the second substrate at an angle of less than 45 °, the first base mark and the second base mark are the edge of the first substrate. When the first emphasis mark is provided along the first and second mark, the first emphasis mark intersects the first base mark at an angle of less than 45 °, and the effects of the present invention are specifically exhibited.

上記第１ベースマーク及び第２ベースマークは、長さ方向に沿って所定ピッチで配列された目盛りをそれぞれ有していてもよい。 The first base mark and the second base mark may each have scales arranged at a predetermined pitch along the length direction.

上記の構成によれば、第１ベースマーク及び第２ベースマークの交点と第１ベースマーク及び第１強調用マークの交点との間の目盛りの個数をカウントすることにより、第２ベースマークに沿った位置ずれ量に対応する第１ベースマークに沿った長さが実測されるので、第２ベースマークに沿った位置ずれ量が測定される。 According to the above configuration, by counting the number of graduations between the intersection of the first base mark and the second base mark and the intersection of the first base mark and the first emphasis mark, along the second base mark. Since the length along the first base mark corresponding to the misalignment amount is actually measured, the misalignment amount along the second base mark is measured.

上記目盛りは、上記各ベースマークと同一層に同一材料により形成されていてもよい。 The scale may be formed of the same material in the same layer as the base marks.

上記の構成によれば、各ベースマークをパターン形成する際に目盛りも同時に形成されるので、製造工程を追加することなく、各ベースマークの目盛りが形成される。 According to the above configuration, since the scale is simultaneously formed when the pattern of each base mark is formed, the scale of each base mark is formed without adding a manufacturing process.

上記第１ベースマーク及び第２ベースマークは、直交していてもよい。 The first base mark and the second base mark may be orthogonal to each other.

上記の構成によれば、第１ベースマークに沿った第１基板の端縁、及び第２ベースマークに沿った第１基板の端縁が直交することになるので、第１基板及び第２基板が矩形状になり、一般的な表示装置を構成する矩形状の基板同士を貼り合わせる際の位置合わせにおいて、本発明に作用効果が有効に奏される。 According to the above configuration, since the edge of the first substrate along the first base mark and the edge of the first substrate along the second base mark are orthogonal, the first substrate and the second substrate In the alignment when the rectangular substrates constituting a general display device are bonded to each other, the effect of the present invention is effectively exhibited.

上記第１基板及び第２基板は、上記第１ベースマークと上記第１強調用マークの中点とが重なるときに位置ずれがない状態であってもよい、
上記の構成によれば、第１ベースマークと第１強調用マークの中点とを重ねるように、第１基板及び第２基板を互いに対向して配置させることにより、第１基板及び第２基板を位置ずれなく重ね合わせることが可能になる。 The first substrate and the second substrate may be in a state in which there is no displacement when the first base mark and the midpoint of the first emphasis mark overlap.
According to the above configuration, the first substrate and the second substrate are disposed by facing the first substrate and the second substrate so that the first base mark and the midpoint of the first emphasis mark overlap each other. Can be overlaid without positional deviation.

上記第１基板及び第２基板は、矩形状であり、上記第１基板の一方の対向する各辺には、上記第１ベースマークがそれぞれ設けられ、上記第１基板の他方の対向する各辺には、上記各第１ベースマークと直交する上記第２ベースマークがそれぞれ設けられ、上記第２基板の一方の対向する各辺には、上記各第２ベースマークとそれぞれ交差する上記第１強調用マークが一対設けられ、上記第２基板の他方の対向する各辺は、対応する上記第２ベースマークと４５°未満の角度で交差すると共に上記各第１ベースマークとそれぞれ交差するように線状に設けられ、該第１ベースマークの延びる方向に沿った位置ずれ量を強調するための一対の第２強調用マークを有し、上記第１基板及び第２基板は、上記各第１ベースマークと対応する上記一対の第１強調用マークの各中点とが重なると共に、上記各第２ベースマークと対応する上記一対の第２強調用マークの各中点とが重なるときに位置ずれがない状態であってもよい。 The first substrate and the second substrate are rectangular, and the first base mark is provided on each of the opposing sides of the first substrate, and the other opposing sides of the first substrate. Are provided with the second base marks orthogonal to the first base marks, respectively, and the first emphasis that intersects the second base marks on one of the opposing sides of the second substrate. A pair of marks is provided, and each of the other opposing sides of the second substrate intersects with the corresponding second base mark at an angle of less than 45 degrees and intersects with the first base mark. Provided with a pair of second emphasis marks for emphasizing the amount of misalignment along the extending direction of the first base mark, wherein the first substrate and the second substrate are each of the first bases. The above pair corresponding to the mark There may be a state in which there is no displacement when each midpoint of the first emphasis mark overlaps and each midpoint of the pair of second emphasis marks corresponding to each of the second base marks overlaps. .

上記の構成によれば、第１基板の一方の対向する各辺の第１ベースマークと対応する第２基板の一対の第１強調用マークの各中点とを重ねると共に、第１基板の他方の対向する各辺の第２ベースマークと対応する第２基板の一対の第２強調用マークの各中点とを重ねるように、第１基板及び第２基板を互いに対向して配置させることにより、第１基板及び第２基板を位置ずれなく重ね合わせることが具体的に可能になる。 According to the above configuration, the first base mark on each of the opposing sides of the first substrate overlaps the respective midpoints of the pair of first emphasis marks on the second substrate, and the other of the first substrate. By arranging the first substrate and the second substrate so as to overlap each other so that the second base mark on each of the opposing sides overlaps with the respective midpoints of the pair of second emphasis marks on the second substrate corresponding to each other Specifically, it is possible to superimpose the first substrate and the second substrate without misalignment.

本発明によれば、第１基板に線状の第１ベースマーク、及びその第１ベースマークと所定角度で交差する線状の第２ベースマークがそれぞれ設けられ、第２基板に第１ベースマーク及び第２ベースマークとそれぞれ交差する線状の第１強調用マークが設けられているため、表示装置を構成する一対の基板の間における位置ずれ量を容易に且つ高精度に測定することができる。 According to the present invention, a linear first base mark and a linear second base mark that intersects the first base mark at a predetermined angle are provided on the first substrate, and the first base mark is provided on the second substrate. In addition, since the linear first emphasis marks intersecting with the second base marks are provided, the amount of positional deviation between the pair of substrates constituting the display device can be measured easily and with high accuracy. .

以下、本発明の実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。以下の各実施形態では、表示装置として、パッシブ駆動方式の液晶表示装置を例に説明するが、本発明は、アクティブマトリクス駆動方式の液晶表示装置であってもよい。なお、本発明は、以下の各実施形態に限定されるものではない。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. In the following embodiments, a passive drive type liquid crystal display device will be described as an example of a display device, but the present invention may be an active matrix drive type liquid crystal display device. The present invention is not limited to the following embodiments.

《発明の実施形態１》
図１〜図６は、本発明にかかる液晶表示装置の実施形態１を示している。ここで、図１は、本実施形態の液晶表示装置３０ａの平面図であり、図２は、図１中のII−II線に沿った液晶表示装置３０ａの断面図である。 Embodiment 1 of the Invention
1 to 6 show Embodiment 1 of a liquid crystal display device according to the present invention. Here, FIG. 1 is a plan view of the liquid crystal display device 30a of the present embodiment, and FIG. 2 is a cross-sectional view of the liquid crystal display device 30a along the line II-II in FIG.

液晶表示装置３０ａは、図２に示すように、互いに対向して配置された第１基板１０ａ及び第２基板２０ａと、それら両基板１０ａ及び２０ａの間に設けられた液晶層１５とを備えている。 As shown in FIG. 2, the liquid crystal display device 30a includes a first substrate 10a and a second substrate 20a disposed to face each other, and a liquid crystal layer 15 provided between the substrates 10a and 20a. Yes.

第１基板１０ａは、図２に示すように、矩形状のガラス基板１ａと、ガラス基板１ａ上に設けられたカラーフィルタ層２と、カラーフィルタ層２を覆うように設けられたオーバーコート層３と、オーバーコート層３上に互いに平行に（ストライプ状に）延びる複数の第１透明電極４と、各第１透明電極４を覆うように設けられた配向膜５ａとを備えている。 As shown in FIG. 2, the first substrate 10 a includes a rectangular glass substrate 1 a, a color filter layer 2 provided on the glass substrate 1 a, and an overcoat layer 3 provided so as to cover the color filter layer 2. And a plurality of first transparent electrodes 4 extending in parallel to each other (in a stripe shape) on the overcoat layer 3 and an alignment film 5 a provided so as to cover each first transparent electrode 4.

第２基板２０ａは、図２に示すように、矩形状のガラス基板１ｂと、ガラス基板１ｂ上に第１基板１０ａの各第１透明電極４と直交する方向に互いに平行に（ストライプ状に）延びる複数の第２透明電極６と、各第２透明電極６を覆うように設けられた配向膜５ｂとを備えている。 As shown in FIG. 2, the second substrate 20a is a rectangular glass substrate 1b, and parallel to each other in a direction perpendicular to the first transparent electrodes 4 of the first substrate 10a on the glass substrate 1b (in a stripe pattern). A plurality of second transparent electrodes 6 extending and an alignment film 5 b provided so as to cover each second transparent electrode 6 are provided.

液晶表示装置３０ａでは、各第１透明電極４及び各第２透明電極６の交差部分毎に画像の最小単位である画素が形成されており、それらの各画素がマトリクス状に配置されて表示領域Ｄを構成している。 In the liquid crystal display device 30a, pixels that are the minimum unit of an image are formed for each intersection of each first transparent electrode 4 and each second transparent electrode 6, and each of these pixels is arranged in a matrix to display a display area. D is constituted.

カラーフィルタ層２は、各画素に対応して、赤、緑及び青のうちの１色が配設された着色層と、各着色層の間に設けられたブラックマトリクスとを備えている。 The color filter layer 2 includes a colored layer in which one color of red, green, and blue is disposed corresponding to each pixel, and a black matrix provided between the colored layers.

オーバーコート層３は、カラーフィルタ層２の保護やカラーフィルタ層２による段差の平滑化のための有機絶縁層である。 The overcoat layer 3 is an organic insulating layer for protecting the color filter layer 2 and for smoothing the steps by the color filter layer 2.

液晶層１５は、電気光学特性を有するネマチック液晶材料などにより構成されている。 The liquid crystal layer 15 is made of a nematic liquid crystal material having electro-optical characteristics.

第１基板１０ａの外周部（表示領域Ｄの外側）には、図３に示すように、基板の端縁（図中の上辺及び下辺）に沿って延びる線状の第１ベースマーク１１ａと、その第１ベースマーク１１ａに９０°で交差して、基板の端縁（図中の左辺及び右辺）に沿って延びる線状の第２ベースマーク１１ｂがそれぞれ設けられている。 On the outer periphery of the first substrate 10a (outside the display area D), as shown in FIG. 3, linear first base marks 11a extending along the edges (upper and lower sides in the figure) of the substrate, A linear second base mark 11b is provided which intersects the first base mark 11a at 90 ° and extends along the edge of the substrate (left side and right side in the figure).

第１ベースマーク１１ａ及び第２ベースマーク１１ｂは、長さ方向に沿って、例えば、１０μｍの所定ピッチで配列された目盛り１３をそれぞれ有している。 The first base mark 11a and the second base mark 11b have scales 13 arranged at a predetermined pitch of, for example, 10 μm along the length direction.

第２基板２０ａの外周部（表示領域Ｄの外側）における一方の対向する各辺（図中の上辺及び下辺）には、図４に示すように、第１ベースマーク１１ａと４５°未満の角度θで交差すると共に各第２ベースマーク１１ｂと（９０°−θ）の角度でそれぞれ交差する一対の第１強調用マーク２１ａが設けられている。 As shown in FIG. 4, an angle of less than 45 ° with the first base mark 11a is formed on one opposing side (upper side and lower side in the drawing) of the outer peripheral portion (outside of the display area D) of the second substrate 20a. A pair of first emphasis marks 21a that intersect with each second base mark 11b at an angle of (90 ° −θ) are provided.

一対の第１強調用マーク２１ａは、図中左側の第２ベースマーク１１ｂと交差する一方の線状部分と、図中右側の第２ベースマーク１１ｂと交差する他方の線状部分とが連結してＶ字状に形成されている。 The pair of first emphasis marks 21a is formed by connecting one linear portion intersecting with the second base mark 11b on the left side in the drawing and the other linear portion intersecting with the second base mark 11b on the right side in the drawing. It is formed in a V shape.

また、各第１強調用マーク２１ａは、図５に示すように、第２ベースマーク１１ｂの延びる方向（ｙ方向）に沿った位置ずれ量ｄｙを強調するためのものである。 Each of the first emphasis marks 21a is for emphasizing the positional deviation amount dy along the extending direction (y direction) of the second base mark 11b as shown in FIG.

ここで、図５において、第２ベースマーク１１ｂの延びる方向（ｙ方向）に沿った位置ずれ量をｄｙとする。そして、第１ベースマーク１１ａと第１強調用マーク２１ａとは、角度θ（０°＜θ＜４５°）で交差しているので、ｔａｎθ＝ｄｙ／ｄｘにより、ｄｘ＝ｄｙ／ｔａｎθとなる。そして、θが０°よりも大きく且つ４５°よりも小さいことにより、ｔａｎθが０よりも大きく且つ１よりも小さくなるので、ｔａｎθの逆数（１／ｔａｎθ）は、常に１より大きくなる。そのため、第２ベースマーク１１ｂの延びる方向（ｙ方向）に沿ったずれ量ｄｙが第１ベースマーク１１ａの延びる方向（ｘ方向）にｄｘ（＝ｄｙ／ｔａｎθ）としてｔａｎθの逆数分だけ拡大されて表示されることになる。 Here, in FIG. 5, the amount of positional deviation along the direction (y direction) in which the second base mark 11b extends is defined as dy. Since the first base mark 11a and the first emphasis mark 21a intersect at an angle θ (0 ° <θ <45 °), tan θ = dy / dx and dx = dy / tan θ. Since θ is larger than 0 ° and smaller than 45 °, tan θ is larger than 0 and smaller than 1, the reciprocal of tan θ (1 / tan θ) is always larger than 1. Therefore, the shift amount dy along the extending direction (y direction) of the second base mark 11b is enlarged by the reciprocal of tan θ as dx (= dy / tan θ) in the extending direction (x direction) of the first base mark 11a. Will be displayed.

例えば、角度θが５．７°の場合には、ｔａｎθが０．１となり、ｄｘがｄｙの１０倍になって、ｙ方向のずれ量ｄｙがｘ方向にｄｘとして１０倍に拡大して表示される。そして、第１ベースマーク１１ａ及び第２ベースマーク１１ｂの目盛りのピッチを１０μｍとした場合には、第１ベースマーク１１ａ及び第２ベースマーク１１ｂの交点と第１ベースマーク１１ａ及び第１強調用マーク２１ａの交点との間の目盛りの個数をカウントすることにより、ｘ方向の大きさ（ｄｘ）が１０μｍ単位で計測できるので、ｙ方向のずれ量ｄｙを１μｍ単位まで求めることができる。 For example, when the angle θ is 5.7 °, tan θ is 0.1, dx is 10 times dy, and the displacement dy in the y direction is enlarged 10 times as dx in the x direction. Is done. When the scale pitch of the first base mark 11a and the second base mark 11b is 10 μm, the intersection of the first base mark 11a and the second base mark 11b, the first base mark 11a and the first emphasis mark By counting the number of graduations between the intersections of 21a, the size (dx) in the x direction can be measured in units of 10 μm, so that the amount of deviation dy in the y direction can be obtained in units of 1 μm.

第２基板２０ａの外周部（表示領域Ｄの外側）における他方の対向する各辺（図中の左辺及び右辺）には、図４に示すように、第２ベースマーク１１ｂと４５°未満の角度θで交差すると共に各第１ベースマーク１１ｂと（９０°−θ）の角度でそれぞれ交差する一対の第２強調用マーク２１ｂが設けられている。 As shown in FIG. 4, each of the other opposing sides (the left side and the right side in the drawing) of the outer peripheral portion (outside of the display area D) of the second substrate 20 a has an angle of less than 45 ° with the second base mark 11 b. A pair of second emphasis marks 21b are provided that intersect at θ and intersect each first base mark 11b at an angle of (90 ° −θ).

一対の第２強調用マーク２１ｂは、第１強調用マーク２１ａと同様に、図中上側の第１ベースマーク１１ａと交差する一方の線状部分と、図中下側の第１ベースマーク１１ａと交差する他方の線状部分とが連結してＶ字状に形成されている。 Like the first emphasis mark 21a, the pair of second emphasis marks 21b includes one linear portion intersecting with the upper first base mark 11a in the figure, and the lower first base mark 11a in the figure. The other intersecting linear portions are connected to form a V shape.

また、各第２強調用マーク２１ｂは、第１ベースマーク１１ａの延びる方向（ｘ方向）に沿った位置ずれ量を強調するためのものである。したがって、第１ベースマーク１１ａ、第２ベースマーク１１ｂ、第１強調用マーク２１ａ及び第２強調用マーク２１ｂを利用して、ｘ方向及びｙ方向の双方における位置ずれ量を測定することができる。なお、液晶表示装置３０ａにおいて、ベースマークと強調用マークとが交差する各角度θは、一定でなくてもよい。 Each of the second emphasis marks 21b is for emphasizing a displacement amount along the extending direction (x direction) of the first base mark 11a. Therefore, it is possible to measure the amount of displacement in both the x direction and the y direction by using the first base mark 11a, the second base mark 11b, the first emphasis mark 21a, and the second emphasis mark 21b. In the liquid crystal display device 30a, each angle θ at which the base mark and the highlight mark intersect may not be constant.

さらに、第１基板１０ａ及び第２基板２０ａは、例えば、図１において、上側の第１ベースマーク１１ａと対応する上側の第１強調用マーク２１ａの各中点ｍ１及びｍ２とが、下側の第１ベースマーク１１ａと対応する下側の第１強調用マーク２１ａの各中点ｍ５及びｍ６とが、右側の第２ベースマーク１１ｂと対応する右側の第２強調用マーク２１ｂの各中点ｍ３及びｍ４とが、及び左側の第２ベースマーク１１ｂと対応する左側の第２強調用マーク２１ｂの各中点ｍ７及びｍ８とが、それぞれ重なるときに位置ずれがない状態となる。なお、第１基板１０ａ及び第２基板２０ａを貼り合わせる際に、各ベースマークと重なる各強調用マークの基準となる位置は、上記のような各強調用マークの中点に限らず、各強調用マークの予め設定した位置であってもよい。 Further, the first substrate 10a and the second substrate 20a are, for example, shown in FIG. 1 so that the middle points m1 and m2 of the upper first emphasis mark 21a corresponding to the upper first base mark 11a are lower. The midpoints m5 and m6 of the lower first emphasis mark 21a corresponding to the first base mark 11a are the midpoints m3 of the right second emphasis mark 21b corresponding to the right second base mark 11b. And m4, and the middle points m7 and m8 of the left second emphasis mark 21b corresponding to the left second base mark 11b, respectively, are in a state of no positional deviation. In addition, when the first substrate 10a and the second substrate 20a are bonded together, the position serving as a reference for each highlight mark that overlaps each base mark is not limited to the midpoint of each highlight mark as described above, but each highlight mark. It may be a preset position of the mark for use.

上記構成の液晶表示装置３０ａでは、第１基板１０ａの各第１透明電極４と第２基板２０ａの各第２透明電極６とに時系列的に所定の電圧をかけていくことにより、特定の第１透明電極４及び第２透明電極６の交差部分の画素のみの液晶層１５に電圧が選択的に印加され、液晶層１５の配向状態が変化して画像が表示される。 In the liquid crystal display device 30a having the above-described configuration, a specific voltage is applied in time series to each first transparent electrode 4 of the first substrate 10a and each second transparent electrode 6 of the second substrate 20a, thereby specifying a specific voltage. A voltage is selectively applied to the liquid crystal layer 15 of only the pixel at the intersection of the first transparent electrode 4 and the second transparent electrode 6, and the alignment state of the liquid crystal layer 15 changes to display an image.

次に、図２の断面図、及び図６のフローチャートを参照し、本実施形態の液晶表示装置３０ａを製造する方法について説明する。なお、本実施形態の製造方法では、ガラス基板上に各々が液晶表示装置を構成する複数のセル単位を同時に形成させて、複数の液晶表示装置を一度に製造する方法を例示する。 Next, a method for manufacturing the liquid crystal display device 30a of the present embodiment will be described with reference to the cross-sectional view of FIG. 2 and the flowchart of FIG. In the manufacturing method of this embodiment, a method of manufacturing a plurality of liquid crystal display devices at a time by simultaneously forming a plurality of cell units each constituting a liquid crystal display device on a glass substrate is exemplified.

まず、Ｓｔ１では、一方のガラス基板１ａ上の基板全体に、染色法、電着法、印刷法などにより、カラーフィルタ層２をセル単位毎に形成する。 First, in St1, the color filter layer 2 is formed for each cell unit on the entire substrate on one glass substrate 1a by a staining method, an electrodeposition method, a printing method, or the like.

続いて、Ｓｔ２では、カラーフィルタ層２が形成された基板全体にアクリル系樹脂などを塗布して、オーバーコート層３を形成する。 Subsequently, in St2, an overcoat layer 3 is formed by applying an acrylic resin or the like to the entire substrate on which the color filter layer 2 is formed.

さらに、Ｓｔ３では、オーバーコート層３が形成された基板全体に、スパッタリング法により、ＩＴＯ（Indium Tin Oxide）膜を成膜して、透明導電膜を形成する。 Further, in St3, an ITO (Indium Tin Oxide) film is formed on the entire substrate on which the overcoat layer 3 is formed by a sputtering method to form a transparent conductive film.

そして、Ｓｔ４では、形成された透明導電膜をフォトリソグラフィ法などによりパターン形成して、第１透明電極４、並びに目盛り１３を有する第１ベースマーク１１ａ及び第２ベースマーク１１ｂをセル単位毎に形成する。これによれば、目盛り１３が第１ベースマーク１１ａ及び第２ベースマーク１１ｂをパターン形成する際に同時に形成されるので、製造工程を追加することなく、第１ベースマーク１１ａ及び第２ベースマーク１１ｂの目盛り１３を形成することができる。 In St4, the formed transparent conductive film is patterned by a photolithography method or the like, and the first transparent electrode 4 and the first base mark 11a and the second base mark 11b having the scale 13 are formed for each cell unit. To do. According to this, the scale 13 is formed at the same time when the first base mark 11a and the second base mark 11b are formed, so that the first base mark 11a and the second base mark 11b are not added without adding a manufacturing process. The scale 13 can be formed.

その後、Ｓｔ５では、第１透明電極４などが形成された基板の少なくとも表示領域Ｄに、ポリイミド系樹脂を塗布及び焼成し、配向膜５ａを形成する。 Thereafter, in St5, a polyimide resin is applied and baked on at least the display region D of the substrate on which the first transparent electrode 4 and the like are formed, thereby forming the alignment film 5a.

続いて、Ｓｔ６では、形成された配向膜５ａに対し、ラビング処理などにより、配向処理を行う。 Subsequently, in St6, an alignment process is performed on the formed alignment film 5a by a rubbing process or the like.

さらに、Ｓｔ７では、配向処理が行われた基板にセル単位毎にシール剤を液晶注入口を有する枠形状に印刷する。 Further, in St7, the sealing agent is printed in a frame shape having a liquid crystal injection port for each cell unit on the substrate subjected to the alignment treatment.

また、Ｓｔ８では、他方のガラス基板１ｂ上の基板全体に、スパッタリング法により、ＩＴＯ膜を成膜して、透明導電膜を形成する。 In St8, an ITO film is formed on the entire substrate on the other glass substrate 1b by sputtering to form a transparent conductive film.

続いて、Ｓｔ９では、形成された透明導電膜をフォトリソグラフィ法などによりパターン形成して、第２透明電極６、第１強調用マーク１２ａ及び第２強調用マーク１２ｂをセル単位毎に形成する。 Subsequently, in St9, the formed transparent conductive film is patterned by a photolithography method or the like, and the second transparent electrode 6, the first emphasis mark 12a, and the second emphasis mark 12b are formed for each cell unit.

さらに、Ｓｔ１０では、第２透明電極６などが形成された基板の少なくとも表示領域Ｄに、ポリイミド系樹脂を塗布及び焼成し、配向膜５ｂを形成する。 Further, in St10, a polyimide resin is applied and baked on at least the display region D of the substrate on which the second transparent electrode 6 and the like are formed, thereby forming the alignment film 5b.

そして、Ｓｔ１１では、形成された配向膜５ｂに対し、ラビング処理などにより、配向処理を行う。 In St11, an alignment process is performed on the formed alignment film 5b by a rubbing process or the like.

その後、Ｓｔ１２では、配向処理が行われた基板の配向膜５ｂの表面に、球状のスペーサを散布する。 Thereafter, in St12, spherical spacers are dispersed on the surface of the alignment film 5b of the substrate on which the alignment process has been performed.

続いて、Ｓｔ１３では、Ｓｔ７でシール剤が印刷された基板（第１基板１０ａ）と、Ｓｔ１２でスペーサが散布された基板（第２基板２０ａ）とを、各ベースマーク１１ａ及び１１ｂと各強調用マーク２１ａ及び２１ｂの中点とが重なるように位置合わせると共に貼り合わせて、パネルを作製する。 Subsequently, in St13, the substrate (first substrate 10a) on which the sealant is printed in St7, and the substrate (second substrate 20a) on which the spacers are scattered in St12, the base marks 11a and 11b, and the highlighting ones. A panel is manufactured by positioning and bonding so that the midpoints of the marks 21a and 21b overlap.

さらに、Ｓｔ１４では、作製されたパネルをセル単位毎に分断した後に、各セルに減圧法などにより液晶材料を注入する。 Further, in St14, after the manufactured panel is divided into cell units, a liquid crystal material is injected into each cell by a decompression method or the like.

最後に、Ｓｔ１５では、液晶材料が注入された各セルに対して、加圧などにより厚さを調整した後に、液晶注入口を樹脂などで封止する。 Finally, in St15, after adjusting the thickness of each cell into which the liquid crystal material is injected by pressurization or the like, the liquid crystal injection port is sealed with a resin or the like.

以上のようにして、液晶表示装置３０ａを製造することができる。その後、製造された液晶表示装置３０ａの第１ベースマーク１１ａ、第２ベースマーク１１ｂ、第１強調用マーク２１ａ及び第２強調用マークの位置関係に基づいて基板のｘ方向及びｙ方向のずれ量を測定及び評価すると共に、製造条件にフィードバックすることができる。 The liquid crystal display device 30a can be manufactured as described above. Thereafter, the amount of deviation in the x and y directions of the substrate based on the positional relationship among the first base mark 11a, the second base mark 11b, the first emphasis mark 21a, and the second emphasis mark of the manufactured liquid crystal display device 30a. Can be measured and evaluated and fed back to manufacturing conditions.

以上説明したように、本実施形態の液晶表示装置３０ａによれば、図５に示すように、第１基板１０ａの外周部に端縁に沿ってそれぞれ線状に設けられた第１ベースライン１１ａ及び第２ベースライン１１ｂが９０°で交差していると共に、第２基板２０ａの外周部に線状にそれぞれ設けられた第１強調用マーク２１ａが第１ベースマーク１１ａに対してθ（０°＜θ＜４５°）の角度で交差しているので、第２ベースマーク１１ｂの延びる方向（ｙ方向）に沿ったずれ量ｄｙが第１ベースマーク１１ａの延びる方向（ｘ方向）にｄｘ（＝ｄｙ／ｔａｎθ）としてｔａｎθの逆数分だけ拡大されて表示される。したがって、第２ベースマーク１１ｂの延びる方向のずれ量が第１ベースマーク１１ａの延びる方向に拡大されて表示されるので、液晶表示装置３０ａを構成する第１基板１０ａ及び第２基板２０ａの間における位置ずれ量を容易に且つ高精度に測定することができる。 As described above, according to the liquid crystal display device 30a of the present embodiment, as shown in FIG. 5, the first base line 11a provided linearly along the edge on the outer periphery of the first substrate 10a. And the second base line 11b intersects at 90 °, and the first emphasis mark 21a provided linearly on the outer periphery of the second substrate 20a is θ (0 ° with respect to the first base mark 11a. Since they intersect at an angle of <θ <45 °, the shift amount dy along the direction (y direction) in which the second base mark 11b extends is dx (=) in the direction (x direction) in which the first base mark 11a extends. dy / tan θ) is enlarged and displayed by the inverse of tan θ. Accordingly, since the shift amount in the extending direction of the second base mark 11b is enlarged and displayed in the extending direction of the first base mark 11a, it is displayed between the first substrate 10a and the second substrate 20a constituting the liquid crystal display device 30a. The amount of displacement can be measured easily and with high accuracy.

また、液晶表示装置３０ａによれば、位置ずれ量が拡大して表示されるので、大掛かりな測定装置を用いることなく、位置ずれ量を測定することができる。 Further, according to the liquid crystal display device 30a, the displacement amount is displayed in an enlarged manner, so that the displacement amount can be measured without using a large measuring device.

さらに、液晶表示装置３０ａによれば、第１ベースライン１１ａ及び第２ベースライン１１ｂの目盛り１３によって、位置ずれ量及び方向が目視で容易に確認できる。 Furthermore, according to the liquid crystal display device 30a, the amount of displacement and the direction can be easily visually confirmed by the scales 13 of the first base line 11a and the second base line 11b.

また、本実施形態では、第１ベースライン１１ａ、第２ベースライン１１ｂ、第１強調用マーク２１ａ及び第２強調用マーク２１ｂを、各基板を構成する透明電極を形成する際の透明導電膜によって形成させたが、各基板を構成する配向膜などによって形成させてもよい。 In the present embodiment, the first base line 11a, the second base line 11b, the first emphasis mark 21a, and the second emphasis mark 21b are made of a transparent conductive film when forming the transparent electrodes constituting each substrate. Although formed, it may be formed by an alignment film or the like constituting each substrate.

さらに、本実施形態では、第１ベースライン１１ａ及び第２ベースライン１１ｂを第１基板１０ａに、第１強調用マーク２１ａ及び第２強調用マーク２１ｂを第２基板２０ａにそれぞれ形成させたが、これとは反対に、第１ベースライン１１ａ及び第２ベースライン１１ｂを第２基板２０ａに、第１強調用マーク２１ａ及び第２強調用マーク２１ｂを第１基板１０ａにそれぞれ形成させてもよい。 Further, in the present embodiment, the first base line 11a and the second base line 11b are formed on the first substrate 10a, and the first emphasis mark 21a and the second emphasis mark 21b are formed on the second substrate 20a. On the contrary, the first base line 11a and the second base line 11b may be formed on the second substrate 20a, and the first emphasis mark 21a and the second emphasis mark 21b may be formed on the first substrate 10a.

《その他の実施形態》
本発明は、上記実施形態１について、以下のような構成としてもよい。 << Other Embodiments >>
The present invention may be configured as follows with respect to the first embodiment.

図７は、本実施形態の液晶表示装置３０ｂの平面図である。 FIG. 7 is a plan view of the liquid crystal display device 30b of the present embodiment.

液晶表示装置３０ｂは、図７に示すように正六角形状をしており、上記実施形態１の第１基板１０ａの第１ベースマーク１１ａ及び第２ベースマーク１１ｂに対応するベースマーク１１が基板の端縁に沿って正六角形状に形成され、第２基板２０ａの第１強調用マーク２１ａ及び第２強調用マーク２１ｂに対応する強調用マーク２１がベースマーク１１の各線状部分に対してＶ字状に形成されている。 The liquid crystal display device 30b has a regular hexagonal shape as shown in FIG. 7, and the base mark 11 corresponding to the first base mark 11a and the second base mark 11b of the first substrate 10a of the first embodiment is a substrate. An emphasis mark 21 formed in a regular hexagonal shape along the edge and corresponding to the first emphasis mark 21 a and the second emphasis mark 21 b on the second substrate 20 a is V-shaped with respect to each linear portion of the base mark 11. It is formed in a shape.

ベースマーク１１は、各線状部分（第１ベースマーク及び第２ベースマーク）がその両端で１２０°で交差して連結するように構成されている。 The base mark 11 is configured such that each linear portion (the first base mark and the second base mark) intersects and connects at both ends at 120 °.

強調用マーク２１は、各線状部分（第１強調用マーク及び第２強調用マーク）が、ベースマーク１１の１つの線状部分に角度θで交差すると共に、その隣り合った線状部分に交差するように構成されている。 In the emphasis mark 21, each linear portion (first emphasis mark and second emphasis mark) intersects one linear portion of the base mark 11 at an angle θ and intersects the adjacent linear portions. Is configured to do.

本実施形態の液晶表示装置３０ｂによれば、上記実施形態１の液晶表示装置３０ａと同様に、各辺に沿ったベースマーク１１の目盛りをカウントすることにより、各辺に直交する方向、すなわち、図７中のα方向、β方向及びγ方向の位置ずれを容易に且つ高精度に測定することができる。 According to the liquid crystal display device 30b of the present embodiment, as in the liquid crystal display device 30a of the first embodiment, by counting the scale of the base mark 11 along each side, the direction orthogonal to each side, that is, The positional deviations in the α direction, β direction, and γ direction in FIG. 7 can be measured easily and with high accuracy.

上記各実施形態では、表示装置として、ＬＣＤ（liquid crystal display；液晶表示ディスプレイ）にかかるものを例示したが、本発明は、ＰＤ（plasma display；プラズマディスプレイ）、ＰＡＬＣ（plasma addressed liquid crystal display；プラズマアドレス液晶ディスプレイ）、有機ＥＬ（organic electroluminescence ）、無機ＥＬ（inorganic electoluminescence ）、ＦＥＤ（field emission display；電界放出ディスプレイ）、又は、ＳＥＤ（surface-conduction electron-emitter display；表面電界ディスプレイ）など、一対の基板を貼り合わせることにより作製される表示装置にも適用することができる。 In each of the above embodiments, as the display device, an LCD (liquid crystal display) has been exemplified. However, the present invention is applicable to PD (plasma display), PALC (plasma addressed liquid crystal display). Address liquid crystal display), organic EL (organic electroluminescence), inorganic EL (inorganic electoluminescence), FED (field emission display), or SED (surface-conduction electron-emitter display) The present invention can also be applied to a display device manufactured by bonding substrates.

また、上記各実施形態では、ベースマーク及び強調用マークを用いて、第１基板及び第２基板の位置ずれ量が測定される液晶表示装置を例示したが、例えば、第１基板１０ａにおいて、第１透明電極４と同一層に同一材料によりベースマークを形成すると共に、配向膜５ａと同一層に同一材料により強調用マークを形成することにより、第１基板１０ａにおける第１透明電極４と配向膜５ａとの位置関係を高精度に測定及び評価することができる。さらに、本発明は、上記のような表示装置に限らず、基板上に複数の膜が積層された配線基板などにおいて、各膜にベースマーク又は強調用マークを形成して、各膜間の位置関係を測定及び評価することができる。 In each of the above embodiments, the liquid crystal display device in which the amount of positional deviation between the first substrate and the second substrate is measured using the base mark and the emphasis mark is exemplified. For example, in the first substrate 10a, The first transparent electrode 4 and the alignment film on the first substrate 10a are formed by forming a base mark with the same material on the same layer as the one transparent electrode 4 and forming an emphasis mark with the same material on the same layer as the alignment film 5a. The positional relationship with 5a can be measured and evaluated with high accuracy. Furthermore, the present invention is not limited to the display device as described above, and in a wiring board or the like in which a plurality of films are stacked on a substrate, a base mark or an emphasis mark is formed on each film, and the position between each film Relationships can be measured and evaluated.

以上説明したように、本発明は、一対の基板の間の位置ずれ量を高精度に測定することができるので、一対の基板を貼り合わせることにより作製される表示装置について有用である。 As described above, the present invention can measure the amount of positional deviation between a pair of substrates with high accuracy, and thus is useful for a display device manufactured by bonding a pair of substrates.

実施形態１にかかる液晶表示装置３０ａの平面図である。2 is a plan view of a liquid crystal display device 30a according to Embodiment 1. FIG. 図１中のII−II線に沿った液晶表示装置３０ａの断面図である。It is sectional drawing of the liquid crystal display device 30a along the II-II line | wire in FIG. 液晶表示装置３０ａを構成する第１基板１０ａの平面図である。It is a top view of the 1st substrate 10a which constitutes liquid crystal display 30a. 液晶表示装置３０ａを構成する第２基板２０ａの平面図である。It is a top view of the 2nd board | substrate 20a which comprises the liquid crystal display device 30a. 液晶表示装置３０ａの角部を拡大した平面模式図である。It is the plane schematic diagram which expanded the corner | angular part of the liquid crystal display device 30a. 液晶表示装置３０ａの製造工程を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the manufacturing process of the liquid crystal display device 30a. 実施形態２にかかる液晶表示装置３０ｂの平面図である。It is a top view of the liquid crystal display device 30b concerning Embodiment 2. 従来の表示装置を構成するコモン側基板１１０の平面図である。It is a top view of the common side board | substrate 110 which comprises the conventional display apparatus. 従来の表示装置を構成するセグメント側基板１２０の平面図である。It is a top view of the segment side board | substrate 120 which comprises the conventional display apparatus.

符号の説明Explanation of symbols

ｍ１〜ｍ８中点
１０ａ第１基板
１１ベースマーク
１１ａ第１ベースマーク
１１ｂ第２ベースマーク
１３目盛り
２０ａ第２基板
２１強調用マーク
２１ａ第１強調用マーク
２１ｂ第２強調用マーク
３０ａ，３０ｂ液晶表示装置
m1 to m8 Midpoint 10a First substrate 11 Base mark 11a First base mark 11b Second base mark 13 Scale 20a Second substrate 21 Emphasis mark 21a First emphasis mark 21b Second emphasis mark 30a, 30b Liquid crystal display device

Claims

互いに対向して配置された第１基板及び第２基板を備えた表示装置であって、
上記第１基板の外周部には、線状の第１ベースマーク、及び該第１ベースマークに所定角度で交差する線状の第２ベースマークがそれぞれ設けられ、
上記第２基板は、外周部において、上記第１ベースマークと４５°未満の角度で交差すると共に上記第２ベースマークと交差するように線状に設けられ、該第２ベースマークの延びる方向に沿った位置ずれ量を強調するための第１強調用マークを有していることを特徴とする表示装置。 A display device comprising a first substrate and a second substrate arranged to face each other,
On the outer periphery of the first substrate, a linear first base mark and a linear second base mark that intersects the first base mark at a predetermined angle are provided.
The second substrate is provided in a linear shape so as to intersect the first base mark at an angle of less than 45 ° and to intersect the second base mark at an outer peripheral portion, and in a direction in which the second base mark extends. A display device comprising a first emphasis mark for emphasizing the amount of positional deviation along the line.

請求項１に記載された表示装置において、
上記第１ベースマーク及び第２ベースマークは、上記第１基板の端縁に沿ってそれぞれ設けられていることを特徴とする表示装置。 The display device according to claim 1,
The display device according to claim 1, wherein the first base mark and the second base mark are provided along an edge of the first substrate.

請求項１に記載された表示装置において、
上記第１強調用マークは、上記第２基板の端縁に対して４５°未満の角度で交差するように設けられていることを特徴とする表示装置。 The display device according to claim 1,
The display device according to claim 1, wherein the first emphasis mark is provided so as to intersect with an edge of the second substrate at an angle of less than 45 °.

請求項１に記載された表示装置において、
上記第１ベースマーク及び第２ベースマークは、長さ方向に沿って所定ピッチで配列された目盛りをそれぞれ有していることを特徴とする表示装置。 The display device according to claim 1,
The display device according to claim 1, wherein the first base mark and the second base mark have scales arranged at a predetermined pitch along the length direction.

請求項４に記載された表示装置において、
上記目盛りは、上記各ベースマークと同一層に同一材料により形成されていることを特徴とする表示装置。 The display device according to claim 4,
The scale is formed of the same material in the same layer as each of the base marks.

請求項１に記載された表示装置において、
上記第１ベースマーク及び第２ベースマークは、直交していることを特徴とする表示装置。 The display device according to claim 1,
The display device, wherein the first base mark and the second base mark are orthogonal to each other.

請求項１に記載された表示装置において、
上記第１基板及び第２基板は、上記第１ベースマークと上記第１強調用マークの中点とが重なるときに位置ずれがない状態であることを特徴とする表示装置。 The display device according to claim 1,
The display device according to claim 1, wherein the first substrate and the second substrate are in a state in which there is no displacement when the first base mark and the midpoint of the first emphasis mark overlap.

請求項２に記載された表示装置において、
上記第１基板及び第２基板は、矩形状であり、
上記第１基板の一方の対向する各辺には、上記第１ベースマークがそれぞれ設けられ、
上記第１基板の他方の対向する各辺には、上記各第１ベースマークと直交する上記第２ベースマークがそれぞれ設けられ、
上記第２基板の一方の対向する各辺には、上記各第２ベースマークとそれぞれ交差する上記第１強調用マークが一対設けられ、
上記第２基板の他方の対向する各辺は、対応する上記第２ベースマークと４５°未満の角度で交差すると共に上記各第１ベースマークとそれぞれ交差するように線状に設けられ、該第１ベースマークの延びる方向に沿った位置ずれ量を強調するための一対の第２強調用マークを有し、
上記第１基板及び第２基板は、上記各第１ベースマークと対応する上記一対の第１強調用マークの各中点とが重なると共に、上記各第２ベースマークと対応する上記一対の第２強調用マークの各中点とが重なるときに位置ずれがない状態であることを特徴とする表示装置。
The display device according to claim 2,
The first substrate and the second substrate are rectangular.
The first base mark is provided on each of the opposing sides of the first substrate,
Each of the other opposing sides of the first substrate is provided with the second base mark orthogonal to the first base mark,
A pair of the first emphasis marks that respectively intersect with the second base marks are provided on one opposing side of the second substrate,
Each of the other opposing sides of the second substrate intersects with the corresponding second base mark at an angle of less than 45 ° and is linearly provided so as to intersect with the first base mark. A pair of second emphasis marks for emphasizing the amount of positional deviation along the extending direction of the one base mark;
The first substrate and the second substrate overlap each midpoint of the pair of first emphasis marks corresponding to the first base marks, and the pair of second bases corresponding to the second base marks. A display device characterized in that there is no displacement when the midpoints of the emphasis marks overlap each other.