JP2007298810A - Display apparatus - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、表示装置に関し、特に、一対の基板を貼り合わせることにより作製される表示装置に関するものである。 The present invention relates to a display device, and more particularly to a display device manufactured by bonding a pair of substrates.
液晶表示装置は、互いに対向して配置された一対の基板と、それら両基板の間に設けられた液晶層とを備え、その液晶層を挟むように各基板に設けられた電極の間に電圧を印加することによって、液晶層の配向状態を変化させて画像を表示するように構成されている。また、液晶表示装置には、画像の最小単位である画素がマトリクス状に複数設けられている。そして、一対の基板の各表面には、各画素に対応して画像表示のための電極などがパターン形成されているので、液晶表示装置を製造する際には、一対の基板を精度よく貼り合わせる必要がある。 A liquid crystal display device includes a pair of substrates disposed opposite to each other and a liquid crystal layer provided between the two substrates, and a voltage is applied between electrodes provided on each substrate so as to sandwich the liquid crystal layer. Is applied to change the alignment state of the liquid crystal layer and display an image. The liquid crystal display device is provided with a plurality of pixels, which are the minimum unit of an image, in a matrix. Then, electrodes for image display and the like are formed on the surfaces of the pair of substrates corresponding to the respective pixels, so that when the liquid crystal display device is manufactured, the pair of substrates is bonded together with high accuracy. There is a need.
例えば、特許文献1には、一対の基板(部材)の貼り合わせ後の位置ずれ量を容易に数値として読める表示装置(表示パネル)が開示されている。
ここで、図8及び図9は、特許文献1に開示された表示装置を構成するコモン側基板110及びセグメント側基板120をそれぞれ模式的に示した平面図である。
Here, FIG. 8 and FIG. 9 are plan views schematically showing the
コモン側基板110の各角部には、端縁に沿って主尺目盛り111がそれぞれ設けられている。また、セグメント側基板120の各角部には、コモン側基板110に重ね合わされたときに、主尺目盛り111と互いに重なるように、端縁に沿って複尺目盛り121がそれぞれ設けられている。そして、この表示装置では、アライメントマークとして、主尺目盛り111及び複尺目盛り121をノギスのように利用して、貼り合わせ後の位置ずれ量を測定することができる。
A
しかしながら、上記のような主尺目盛り111及び複尺目盛り121は、フォトリソグラフィなどを利用して、目盛り自体を高精度にパターン形成する必要があるので、位置ずれ量が目盛り自体の形成精度に影響してしまうおそれがある。
However, since the
本発明は、かかる点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、表示装置を構成する一対の基板の間における位置ずれ量を容易に且つ高精度に測定することにある。 The present invention has been made in view of such points, and an object of the present invention is to easily and accurately measure the amount of positional deviation between a pair of substrates constituting a display device.
上記目的を達成するために、本発明は、第1基板に線状の第1ベースマーク、及びその第1ベースマークと所定角度で交差する線状の第2ベースマークがそれぞれ設けられ、第2基板に第1ベースマーク及び第2ベースマークとそれぞれ交差する線状の第1強調用マークが設けられるようにしたものである。 In order to achieve the above object, according to the present invention, a linear first base mark and a linear second base mark that intersects the first base mark at a predetermined angle are provided on the first substrate, respectively. A linear first emphasis mark intersecting with the first base mark and the second base mark is provided on the substrate.
具体的に本発明にかかる表示装置は、互いに対向して配置された第1基板及び第2基板を備えた表示装置であって、上記第1基板の外周部には、線状の第1ベースマーク、及び該第1ベースマークに所定角度で交差する線状の第2ベースマークがそれぞれ設けられ、上記第2基板は、外周部において、上記第1ベースマークと45°未満の角度で交差すると共に上記第2ベースマークと交差するように線状に設けられ、該第2ベースマークの延びる方向に沿った位置ずれ量を強調するための第1強調用マークを有していることを特徴とする。 Specifically, a display device according to the present invention is a display device including a first substrate and a second substrate disposed to face each other, and a linear first base is provided on an outer peripheral portion of the first substrate. A mark and a linear second base mark that intersects the first base mark at a predetermined angle are provided, and the second substrate intersects the first base mark at an angle of less than 45 ° at the outer periphery. And a first emphasis mark that is linearly provided so as to intersect the second base mark and emphasizes the amount of misalignment along the direction in which the second base mark extends. To do.
上記の構成によれば、例えば、図5に示すように、第1基板の外周部にそれぞれ線状に設けられた第1ベースライン(11a)及び第2ベースライン(11b)が90°で交差する場合には、第2基板の外周部に線状に設けられた第1強調用マーク(21a)が第1ベースマーク(11a)に対してθ(0°<θ<45°)の角度で交差すると、tanθ=dy/dxであるので、第2ベースマーク(11b)の延びる方向(y方向)に沿ったずれ量dyが第1ベースマーク(11a)の延びる方向(x方向)にdx(=dy/tanθ)としてtanθの逆数分だけ拡大されて表示される。ここで、角度θが0°よりも大きく且つ45°よりも小さいことにより、tanθが0よりも大きく且つ1よりも小さくなるので、tanθの逆数(1/tanθ)は、常に1より大きくなる。したがって、第2ベースマークの延びる方向のずれ量が第1ベースマークの延びる方向に拡大されて表示されるので、第1基板及び第2基板の間、すなわち、表示装置を構成する一対の基板の間における位置ずれ量が容易に且つ高精度に測定される。 According to the above configuration, for example, as shown in FIG. 5, the first base line (11a) and the second base line (11b) provided in a linear shape on the outer periphery of the first substrate intersect at 90 °. In this case, the first emphasis mark (21a) linearly provided on the outer periphery of the second substrate is at an angle θ (0 ° <θ <45 °) with respect to the first base mark (11a). When intersecting, tan θ = dy / dx, so that the shift amount dy along the direction (y direction) in which the second base mark (11b) extends is dx (in the direction (x direction) in which the first base mark (11a) extends. = Dy / tan θ) and enlarged by the reciprocal of tan θ. Here, since the angle θ is larger than 0 ° and smaller than 45 °, tan θ is larger than 0 and smaller than 1, the reciprocal of tan θ (1 / tan θ) is always larger than 1. Accordingly, since the shift amount in the extending direction of the second base mark is enlarged and displayed in the extending direction of the first base mark, the gap between the first substrate and the second substrate, that is, between the pair of substrates constituting the display device is displayed. The amount of misalignment between them can be measured easily and with high accuracy.
上記第1ベースマーク及び第2ベースマークは、上記第1基板の端縁に沿ってそれぞれ設けられていてもよい。 The first base mark and the second base mark may be provided along an edge of the first substrate.
上記の構成によれば、第2ベースマークに沿った第1基板の端縁の延びる方向における位置ずれ量が第1ベースマークに沿った第1基板の端縁の延びる方向における長さに拡大表示される。 According to the above configuration, the positional shift amount in the extending direction of the edge of the first substrate along the second base mark is enlarged and displayed to the length in the extending direction of the edge of the first substrate along the first base mark. Is done.
上記第1強調用マークは、上記第2基板の端縁に対して45°未満の角度で交差するように設けられていてもよい。 The first emphasis mark may be provided so as to intersect the edge of the second substrate at an angle of less than 45 °.
上記の構成によれば、第1強調用マークが第2基板の端縁に対して45°未満の角度で交差しているので、第1ベースマーク及び第2ベースマークが第1基板の端縁に沿ってそれぞれ設けられている場合には、第1強調用マークが第1ベースマークと45°未満の角度で交差することになり、本発明の作用効果が具体的に奏される。 According to the above configuration, since the first emphasis mark intersects the edge of the second substrate at an angle of less than 45 °, the first base mark and the second base mark are the edge of the first substrate. When the first emphasis mark is provided along the first and second mark, the first emphasis mark intersects the first base mark at an angle of less than 45 °, and the effects of the present invention are specifically exhibited.
上記第1ベースマーク及び第2ベースマークは、長さ方向に沿って所定ピッチで配列された目盛りをそれぞれ有していてもよい。 The first base mark and the second base mark may each have scales arranged at a predetermined pitch along the length direction.
上記の構成によれば、第1ベースマーク及び第2ベースマークの交点と第1ベースマーク及び第1強調用マークの交点との間の目盛りの個数をカウントすることにより、第2ベースマークに沿った位置ずれ量に対応する第1ベースマークに沿った長さが実測されるので、第2ベースマークに沿った位置ずれ量が測定される。 According to the above configuration, by counting the number of graduations between the intersection of the first base mark and the second base mark and the intersection of the first base mark and the first emphasis mark, along the second base mark. Since the length along the first base mark corresponding to the misalignment amount is actually measured, the misalignment amount along the second base mark is measured.
上記目盛りは、上記各ベースマークと同一層に同一材料により形成されていてもよい。 The scale may be formed of the same material in the same layer as the base marks.
上記の構成によれば、各ベースマークをパターン形成する際に目盛りも同時に形成されるので、製造工程を追加することなく、各ベースマークの目盛りが形成される。 According to the above configuration, since the scale is simultaneously formed when the pattern of each base mark is formed, the scale of each base mark is formed without adding a manufacturing process.
上記第1ベースマーク及び第2ベースマークは、直交していてもよい。 The first base mark and the second base mark may be orthogonal to each other.
上記の構成によれば、第1ベースマークに沿った第1基板の端縁、及び第2ベースマークに沿った第1基板の端縁が直交することになるので、第1基板及び第2基板が矩形状になり、一般的な表示装置を構成する矩形状の基板同士を貼り合わせる際の位置合わせにおいて、本発明に作用効果が有効に奏される。 According to the above configuration, since the edge of the first substrate along the first base mark and the edge of the first substrate along the second base mark are orthogonal, the first substrate and the second substrate In the alignment when the rectangular substrates constituting a general display device are bonded to each other, the effect of the present invention is effectively exhibited.
上記第1基板及び第2基板は、上記第1ベースマークと上記第1強調用マークの中点とが重なるときに位置ずれがない状態であってもよい、
上記の構成によれば、第1ベースマークと第1強調用マークの中点とを重ねるように、第1基板及び第2基板を互いに対向して配置させることにより、第1基板及び第2基板を位置ずれなく重ね合わせることが可能になる。
The first substrate and the second substrate may be in a state in which there is no displacement when the first base mark and the midpoint of the first emphasis mark overlap.
According to the above configuration, the first substrate and the second substrate are disposed by facing the first substrate and the second substrate so that the first base mark and the midpoint of the first emphasis mark overlap each other. Can be overlaid without positional deviation.
上記第1基板及び第2基板は、矩形状であり、上記第1基板の一方の対向する各辺には、上記第1ベースマークがそれぞれ設けられ、上記第1基板の他方の対向する各辺には、上記各第1ベースマークと直交する上記第2ベースマークがそれぞれ設けられ、上記第2基板の一方の対向する各辺には、上記各第2ベースマークとそれぞれ交差する上記第1強調用マークが一対設けられ、上記第2基板の他方の対向する各辺は、対応する上記第2ベースマークと45°未満の角度で交差すると共に上記各第1ベースマークとそれぞれ交差するように線状に設けられ、該第1ベースマークの延びる方向に沿った位置ずれ量を強調するための一対の第2強調用マークを有し、上記第1基板及び第2基板は、上記各第1ベースマークと対応する上記一対の第1強調用マークの各中点とが重なると共に、上記各第2ベースマークと対応する上記一対の第2強調用マークの各中点とが重なるときに位置ずれがない状態であってもよい。 The first substrate and the second substrate are rectangular, and the first base mark is provided on each of the opposing sides of the first substrate, and the other opposing sides of the first substrate. Are provided with the second base marks orthogonal to the first base marks, respectively, and the first emphasis that intersects the second base marks on one of the opposing sides of the second substrate. A pair of marks is provided, and each of the other opposing sides of the second substrate intersects with the corresponding second base mark at an angle of less than 45 degrees and intersects with the first base mark. Provided with a pair of second emphasis marks for emphasizing the amount of misalignment along the extending direction of the first base mark, wherein the first substrate and the second substrate are each of the first bases. The above pair corresponding to the mark There may be a state in which there is no displacement when each midpoint of the first emphasis mark overlaps and each midpoint of the pair of second emphasis marks corresponding to each of the second base marks overlaps. .
上記の構成によれば、第1基板の一方の対向する各辺の第1ベースマークと対応する第2基板の一対の第1強調用マークの各中点とを重ねると共に、第1基板の他方の対向する各辺の第2ベースマークと対応する第2基板の一対の第2強調用マークの各中点とを重ねるように、第1基板及び第2基板を互いに対向して配置させることにより、第1基板及び第2基板を位置ずれなく重ね合わせることが具体的に可能になる。 According to the above configuration, the first base mark on each of the opposing sides of the first substrate overlaps the respective midpoints of the pair of first emphasis marks on the second substrate, and the other of the first substrate. By arranging the first substrate and the second substrate so as to overlap each other so that the second base mark on each of the opposing sides overlaps with the respective midpoints of the pair of second emphasis marks on the second substrate corresponding to each other Specifically, it is possible to superimpose the first substrate and the second substrate without misalignment.
本発明によれば、第1基板に線状の第1ベースマーク、及びその第1ベースマークと所定角度で交差する線状の第2ベースマークがそれぞれ設けられ、第2基板に第1ベースマーク及び第2ベースマークとそれぞれ交差する線状の第1強調用マークが設けられているため、表示装置を構成する一対の基板の間における位置ずれ量を容易に且つ高精度に測定することができる。 According to the present invention, a linear first base mark and a linear second base mark that intersects the first base mark at a predetermined angle are provided on the first substrate, and the first base mark is provided on the second substrate. In addition, since the linear first emphasis marks intersecting with the second base marks are provided, the amount of positional deviation between the pair of substrates constituting the display device can be measured easily and with high accuracy. .
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。以下の各実施形態では、表示装置として、パッシブ駆動方式の液晶表示装置を例に説明するが、本発明は、アクティブマトリクス駆動方式の液晶表示装置であってもよい。なお、本発明は、以下の各実施形態に限定されるものではない。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. In the following embodiments, a passive drive type liquid crystal display device will be described as an example of a display device, but the present invention may be an active matrix drive type liquid crystal display device. The present invention is not limited to the following embodiments.
《発明の実施形態1》
図1〜図6は、本発明にかかる液晶表示装置の実施形態1を示している。ここで、図1は、本実施形態の液晶表示装置30aの平面図であり、図2は、図1中のII−II線に沿った液晶表示装置30aの断面図である。
1 to 6
液晶表示装置30aは、図2に示すように、互いに対向して配置された第1基板10a及び第2基板20aと、それら両基板10a及び20aの間に設けられた液晶層15とを備えている。
As shown in FIG. 2, the liquid
第1基板10aは、図2に示すように、矩形状のガラス基板1aと、ガラス基板1a上に設けられたカラーフィルタ層2と、カラーフィルタ層2を覆うように設けられたオーバーコート層3と、オーバーコート層3上に互いに平行に(ストライプ状に)延びる複数の第1透明電極4と、各第1透明電極4を覆うように設けられた配向膜5aとを備えている。
As shown in FIG. 2, the
第2基板20aは、図2に示すように、矩形状のガラス基板1bと、ガラス基板1b上に第1基板10aの各第1透明電極4と直交する方向に互いに平行に(ストライプ状に)延びる複数の第2透明電極6と、各第2透明電極6を覆うように設けられた配向膜5bとを備えている。
As shown in FIG. 2, the
液晶表示装置30aでは、各第1透明電極4及び各第2透明電極6の交差部分毎に画像の最小単位である画素が形成されており、それらの各画素がマトリクス状に配置されて表示領域Dを構成している。
In the liquid
カラーフィルタ層2は、各画素に対応して、赤、緑及び青のうちの1色が配設された着色層と、各着色層の間に設けられたブラックマトリクスとを備えている。
The
オーバーコート層3は、カラーフィルタ層2の保護やカラーフィルタ層2による段差の平滑化のための有機絶縁層である。
The
液晶層15は、電気光学特性を有するネマチック液晶材料などにより構成されている。
The
第1基板10aの外周部(表示領域Dの外側)には、図3に示すように、基板の端縁(図中の上辺及び下辺)に沿って延びる線状の第1ベースマーク11aと、その第1ベースマーク11aに90°で交差して、基板の端縁(図中の左辺及び右辺)に沿って延びる線状の第2ベースマーク11bがそれぞれ設けられている。
On the outer periphery of the
第1ベースマーク11a及び第2ベースマーク11bは、長さ方向に沿って、例えば、10μmの所定ピッチで配列された目盛り13をそれぞれ有している。
The
第2基板20aの外周部(表示領域Dの外側)における一方の対向する各辺(図中の上辺及び下辺)には、図4に示すように、第1ベースマーク11aと45°未満の角度θで交差すると共に各第2ベースマーク11bと(90°−θ)の角度でそれぞれ交差する一対の第1強調用マーク21aが設けられている。
As shown in FIG. 4, an angle of less than 45 ° with the
一対の第1強調用マーク21aは、図中左側の第2ベースマーク11bと交差する一方の線状部分と、図中右側の第2ベースマーク11bと交差する他方の線状部分とが連結してV字状に形成されている。
The pair of
また、各第1強調用マーク21aは、図5に示すように、第2ベースマーク11bの延びる方向(y方向)に沿った位置ずれ量dyを強調するためのものである。
Each of the
ここで、図5において、第2ベースマーク11bの延びる方向(y方向)に沿った位置ずれ量をdyとする。そして、第1ベースマーク11aと第1強調用マーク21aとは、角度θ(0°<θ<45°)で交差しているので、tanθ=dy/dxにより、dx=dy/tanθとなる。そして、θが0°よりも大きく且つ45°よりも小さいことにより、tanθが0よりも大きく且つ1よりも小さくなるので、tanθの逆数(1/tanθ)は、常に1より大きくなる。そのため、第2ベースマーク11bの延びる方向(y方向)に沿ったずれ量dyが第1ベースマーク11aの延びる方向(x方向)にdx(=dy/tanθ)としてtanθの逆数分だけ拡大されて表示されることになる。
Here, in FIG. 5, the amount of positional deviation along the direction (y direction) in which the
例えば、角度θが5.7°の場合には、tanθが0.1となり、dxがdyの10倍になって、y方向のずれ量dyがx方向にdxとして10倍に拡大して表示される。そして、第1ベースマーク11a及び第2ベースマーク11bの目盛りのピッチを10μmとした場合には、第1ベースマーク11a及び第2ベースマーク11bの交点と第1ベースマーク11a及び第1強調用マーク21aの交点との間の目盛りの個数をカウントすることにより、x方向の大きさ(dx)が10μm単位で計測できるので、y方向のずれ量dyを1μm単位まで求めることができる。
For example, when the angle θ is 5.7 °, tan θ is 0.1, dx is 10 times dy, and the displacement dy in the y direction is enlarged 10 times as dx in the x direction. Is done. When the scale pitch of the
第2基板20aの外周部(表示領域Dの外側)における他方の対向する各辺(図中の左辺及び右辺)には、図4に示すように、第2ベースマーク11bと45°未満の角度θで交差すると共に各第1ベースマーク11bと(90°−θ)の角度でそれぞれ交差する一対の第2強調用マーク21bが設けられている。
As shown in FIG. 4, each of the other opposing sides (the left side and the right side in the drawing) of the outer peripheral portion (outside of the display area D) of the
一対の第2強調用マーク21bは、第1強調用マーク21aと同様に、図中上側の第1ベースマーク11aと交差する一方の線状部分と、図中下側の第1ベースマーク11aと交差する他方の線状部分とが連結してV字状に形成されている。
Like the
また、各第2強調用マーク21bは、第1ベースマーク11aの延びる方向(x方向)に沿った位置ずれ量を強調するためのものである。したがって、第1ベースマーク11a、第2ベースマーク11b、第1強調用マーク21a及び第2強調用マーク21bを利用して、x方向及びy方向の双方における位置ずれ量を測定することができる。なお、液晶表示装置30aにおいて、ベースマークと強調用マークとが交差する各角度θは、一定でなくてもよい。
Each of the second emphasis marks 21b is for emphasizing a displacement amount along the extending direction (x direction) of the
さらに、第1基板10a及び第2基板20aは、例えば、図1において、上側の第1ベースマーク11aと対応する上側の第1強調用マーク21aの各中点m1及びm2とが、下側の第1ベースマーク11aと対応する下側の第1強調用マーク21aの各中点m5及びm6とが、右側の第2ベースマーク11bと対応する右側の第2強調用マーク21bの各中点m3及びm4とが、及び左側の第2ベースマーク11bと対応する左側の第2強調用マーク21bの各中点m7及びm8とが、それぞれ重なるときに位置ずれがない状態となる。なお、第1基板10a及び第2基板20aを貼り合わせる際に、各ベースマークと重なる各強調用マークの基準となる位置は、上記のような各強調用マークの中点に限らず、各強調用マークの予め設定した位置であってもよい。
Further, the
上記構成の液晶表示装置30aでは、第1基板10aの各第1透明電極4と第2基板20aの各第2透明電極6とに時系列的に所定の電圧をかけていくことにより、特定の第1透明電極4及び第2透明電極6の交差部分の画素のみの液晶層15に電圧が選択的に印加され、液晶層15の配向状態が変化して画像が表示される。
In the liquid
次に、図2の断面図、及び図6のフローチャートを参照し、本実施形態の液晶表示装置30aを製造する方法について説明する。なお、本実施形態の製造方法では、ガラス基板上に各々が液晶表示装置を構成する複数のセル単位を同時に形成させて、複数の液晶表示装置を一度に製造する方法を例示する。
Next, a method for manufacturing the liquid
まず、St1では、一方のガラス基板1a上の基板全体に、染色法、電着法、印刷法などにより、カラーフィルタ層2をセル単位毎に形成する。
First, in St1, the
続いて、St2では、カラーフィルタ層2が形成された基板全体にアクリル系樹脂などを塗布して、オーバーコート層3を形成する。
Subsequently, in St2, an
さらに、St3では、オーバーコート層3が形成された基板全体に、スパッタリング法により、ITO(Indium Tin Oxide)膜を成膜して、透明導電膜を形成する。
Further, in St3, an ITO (Indium Tin Oxide) film is formed on the entire substrate on which the
そして、St4では、形成された透明導電膜をフォトリソグラフィ法などによりパターン形成して、第1透明電極4、並びに目盛り13を有する第1ベースマーク11a及び第2ベースマーク11bをセル単位毎に形成する。これによれば、目盛り13が第1ベースマーク11a及び第2ベースマーク11bをパターン形成する際に同時に形成されるので、製造工程を追加することなく、第1ベースマーク11a及び第2ベースマーク11bの目盛り13を形成することができる。
In St4, the formed transparent conductive film is patterned by a photolithography method or the like, and the first
その後、St5では、第1透明電極4などが形成された基板の少なくとも表示領域Dに、ポリイミド系樹脂を塗布及び焼成し、配向膜5aを形成する。
Thereafter, in St5, a polyimide resin is applied and baked on at least the display region D of the substrate on which the first
続いて、St6では、形成された配向膜5aに対し、ラビング処理などにより、配向処理を行う。 Subsequently, in St6, an alignment process is performed on the formed alignment film 5a by a rubbing process or the like.
さらに、St7では、配向処理が行われた基板にセル単位毎にシール剤を液晶注入口を有する枠形状に印刷する。 Further, in St7, the sealing agent is printed in a frame shape having a liquid crystal injection port for each cell unit on the substrate subjected to the alignment treatment.
また、St8では、他方のガラス基板1b上の基板全体に、スパッタリング法により、ITO膜を成膜して、透明導電膜を形成する。
In St8, an ITO film is formed on the entire substrate on the
続いて、St9では、形成された透明導電膜をフォトリソグラフィ法などによりパターン形成して、第2透明電極6、第1強調用マーク12a及び第2強調用マーク12bをセル単位毎に形成する。 Subsequently, in St9, the formed transparent conductive film is patterned by a photolithography method or the like, and the second transparent electrode 6, the first emphasis mark 12a, and the second emphasis mark 12b are formed for each cell unit.
さらに、St10では、第2透明電極6などが形成された基板の少なくとも表示領域Dに、ポリイミド系樹脂を塗布及び焼成し、配向膜5bを形成する。 Further, in St10, a polyimide resin is applied and baked on at least the display region D of the substrate on which the second transparent electrode 6 and the like are formed, thereby forming the alignment film 5b.
そして、St11では、形成された配向膜5bに対し、ラビング処理などにより、配向処理を行う。 In St11, an alignment process is performed on the formed alignment film 5b by a rubbing process or the like.
その後、St12では、配向処理が行われた基板の配向膜5bの表面に、球状のスペーサを散布する。 Thereafter, in St12, spherical spacers are dispersed on the surface of the alignment film 5b of the substrate on which the alignment process has been performed.
続いて、St13では、St7でシール剤が印刷された基板(第1基板10a)と、St12でスペーサが散布された基板(第2基板20a)とを、各ベースマーク11a及び11bと各強調用マーク21a及び21bの中点とが重なるように位置合わせると共に貼り合わせて、パネルを作製する。
Subsequently, in St13, the substrate (
さらに、St14では、作製されたパネルをセル単位毎に分断した後に、各セルに減圧法などにより液晶材料を注入する。 Further, in St14, after the manufactured panel is divided into cell units, a liquid crystal material is injected into each cell by a decompression method or the like.
最後に、St15では、液晶材料が注入された各セルに対して、加圧などにより厚さを調整した後に、液晶注入口を樹脂などで封止する。 Finally, in St15, after adjusting the thickness of each cell into which the liquid crystal material is injected by pressurization or the like, the liquid crystal injection port is sealed with a resin or the like.
以上のようにして、液晶表示装置30aを製造することができる。その後、製造された液晶表示装置30aの第1ベースマーク11a、第2ベースマーク11b、第1強調用マーク21a及び第2強調用マークの位置関係に基づいて基板のx方向及びy方向のずれ量を測定及び評価すると共に、製造条件にフィードバックすることができる。
The liquid
以上説明したように、本実施形態の液晶表示装置30aによれば、図5に示すように、第1基板10aの外周部に端縁に沿ってそれぞれ線状に設けられた第1ベースライン11a及び第2ベースライン11bが90°で交差していると共に、第2基板20aの外周部に線状にそれぞれ設けられた第1強調用マーク21aが第1ベースマーク11aに対してθ(0°<θ<45°)の角度で交差しているので、第2ベースマーク11bの延びる方向(y方向)に沿ったずれ量dyが第1ベースマーク11aの延びる方向(x方向)にdx(=dy/tanθ)としてtanθの逆数分だけ拡大されて表示される。したがって、第2ベースマーク11bの延びる方向のずれ量が第1ベースマーク11aの延びる方向に拡大されて表示されるので、液晶表示装置30aを構成する第1基板10a及び第2基板20aの間における位置ずれ量を容易に且つ高精度に測定することができる。
As described above, according to the liquid
また、液晶表示装置30aによれば、位置ずれ量が拡大して表示されるので、大掛かりな測定装置を用いることなく、位置ずれ量を測定することができる。
Further, according to the liquid
さらに、液晶表示装置30aによれば、第1ベースライン11a及び第2ベースライン11bの目盛り13によって、位置ずれ量及び方向が目視で容易に確認できる。
Furthermore, according to the liquid
また、本実施形態では、第1ベースライン11a、第2ベースライン11b、第1強調用マーク21a及び第2強調用マーク21bを、各基板を構成する透明電極を形成する際の透明導電膜によって形成させたが、各基板を構成する配向膜などによって形成させてもよい。
In the present embodiment, the
さらに、本実施形態では、第1ベースライン11a及び第2ベースライン11bを第1基板10aに、第1強調用マーク21a及び第2強調用マーク21bを第2基板20aにそれぞれ形成させたが、これとは反対に、第1ベースライン11a及び第2ベースライン11bを第2基板20aに、第1強調用マーク21a及び第2強調用マーク21bを第1基板10aにそれぞれ形成させてもよい。
Further, in the present embodiment, the
《その他の実施形態》
本発明は、上記実施形態1について、以下のような構成としてもよい。
<< Other Embodiments >>
The present invention may be configured as follows with respect to the first embodiment.
図7は、本実施形態の液晶表示装置30bの平面図である。
FIG. 7 is a plan view of the liquid
液晶表示装置30bは、図7に示すように正六角形状をしており、上記実施形態1の第1基板10aの第1ベースマーク11a及び第2ベースマーク11bに対応するベースマーク11が基板の端縁に沿って正六角形状に形成され、第2基板20aの第1強調用マーク21a及び第2強調用マーク21bに対応する強調用マーク21がベースマーク11の各線状部分に対してV字状に形成されている。
The liquid
ベースマーク11は、各線状部分(第1ベースマーク及び第2ベースマーク)がその両端で120°で交差して連結するように構成されている。
The
強調用マーク21は、各線状部分(第1強調用マーク及び第2強調用マーク)が、ベースマーク11の1つの線状部分に角度θで交差すると共に、その隣り合った線状部分に交差するように構成されている。
In the
本実施形態の液晶表示装置30bによれば、上記実施形態1の液晶表示装置30aと同様に、各辺に沿ったベースマーク11の目盛りをカウントすることにより、各辺に直交する方向、すなわち、図7中のα方向、β方向及びγ方向の位置ずれを容易に且つ高精度に測定することができる。
According to the liquid
上記各実施形態では、表示装置として、LCD(liquid crystal display;液晶表示ディスプレイ)にかかるものを例示したが、本発明は、PD(plasma display;プラズマディスプレイ)、PALC(plasma addressed liquid crystal display;プラズマアドレス液晶ディスプレイ)、有機EL(organic electroluminescence )、無機EL(inorganic electoluminescence )、FED(field emission display;電界放出ディスプレイ)、又は、SED(surface-conduction electron-emitter display;表面電界ディスプレイ)など、一対の基板を貼り合わせることにより作製される表示装置にも適用することができる。 In each of the above embodiments, as the display device, an LCD (liquid crystal display) has been exemplified. However, the present invention is applicable to PD (plasma display), PALC (plasma addressed liquid crystal display). Address liquid crystal display), organic EL (organic electroluminescence), inorganic EL (inorganic electoluminescence), FED (field emission display), or SED (surface-conduction electron-emitter display) The present invention can also be applied to a display device manufactured by bonding substrates.
また、上記各実施形態では、ベースマーク及び強調用マークを用いて、第1基板及び第2基板の位置ずれ量が測定される液晶表示装置を例示したが、例えば、第1基板10aにおいて、第1透明電極4と同一層に同一材料によりベースマークを形成すると共に、配向膜5aと同一層に同一材料により強調用マークを形成することにより、第1基板10aにおける第1透明電極4と配向膜5aとの位置関係を高精度に測定及び評価することができる。さらに、本発明は、上記のような表示装置に限らず、基板上に複数の膜が積層された配線基板などにおいて、各膜にベースマーク又は強調用マークを形成して、各膜間の位置関係を測定及び評価することができる。
In each of the above embodiments, the liquid crystal display device in which the amount of positional deviation between the first substrate and the second substrate is measured using the base mark and the emphasis mark is exemplified. For example, in the
以上説明したように、本発明は、一対の基板の間の位置ずれ量を高精度に測定することができるので、一対の基板を貼り合わせることにより作製される表示装置について有用である。 As described above, the present invention can measure the amount of positional deviation between a pair of substrates with high accuracy, and thus is useful for a display device manufactured by bonding a pair of substrates.
m1〜m8 中点
10a 第1基板
11 ベースマーク
11a 第1ベースマーク
11b 第2ベースマーク
13 目盛り
20a 第2基板
21 強調用マーク
21a 第1強調用マーク
21b 第2強調用マーク
30a,30b 液晶表示装置
m1 to
Claims (8)
上記第1基板の外周部には、線状の第1ベースマーク、及び該第1ベースマークに所定角度で交差する線状の第2ベースマークがそれぞれ設けられ、
上記第2基板は、外周部において、上記第1ベースマークと45°未満の角度で交差すると共に上記第2ベースマークと交差するように線状に設けられ、該第2ベースマークの延びる方向に沿った位置ずれ量を強調するための第1強調用マークを有していることを特徴とする表示装置。 A display device comprising a first substrate and a second substrate arranged to face each other,
On the outer periphery of the first substrate, a linear first base mark and a linear second base mark that intersects the first base mark at a predetermined angle are provided.
The second substrate is provided in a linear shape so as to intersect the first base mark at an angle of less than 45 ° and to intersect the second base mark at an outer peripheral portion, and in a direction in which the second base mark extends. A display device comprising a first emphasis mark for emphasizing the amount of positional deviation along the line.
上記第1ベースマーク及び第2ベースマークは、上記第1基板の端縁に沿ってそれぞれ設けられていることを特徴とする表示装置。 The display device according to claim 1,
The display device according to claim 1, wherein the first base mark and the second base mark are provided along an edge of the first substrate.
上記第1強調用マークは、上記第2基板の端縁に対して45°未満の角度で交差するように設けられていることを特徴とする表示装置。 The display device according to claim 1,
The display device according to claim 1, wherein the first emphasis mark is provided so as to intersect with an edge of the second substrate at an angle of less than 45 °.
上記第1ベースマーク及び第2ベースマークは、長さ方向に沿って所定ピッチで配列された目盛りをそれぞれ有していることを特徴とする表示装置。 The display device according to claim 1,
The display device according to claim 1, wherein the first base mark and the second base mark have scales arranged at a predetermined pitch along the length direction.
上記目盛りは、上記各ベースマークと同一層に同一材料により形成されていることを特徴とする表示装置。 The display device according to claim 4,
The scale is formed of the same material in the same layer as each of the base marks.
上記第1ベースマーク及び第2ベースマークは、直交していることを特徴とする表示装置。 The display device according to claim 1,
The display device, wherein the first base mark and the second base mark are orthogonal to each other.
上記第1基板及び第2基板は、上記第1ベースマークと上記第1強調用マークの中点とが重なるときに位置ずれがない状態であることを特徴とする表示装置。 The display device according to claim 1,
The display device according to claim 1, wherein the first substrate and the second substrate are in a state in which there is no displacement when the first base mark and the midpoint of the first emphasis mark overlap.
上記第1基板及び第2基板は、矩形状であり、
上記第1基板の一方の対向する各辺には、上記第1ベースマークがそれぞれ設けられ、
上記第1基板の他方の対向する各辺には、上記各第1ベースマークと直交する上記第2ベースマークがそれぞれ設けられ、
上記第2基板の一方の対向する各辺には、上記各第2ベースマークとそれぞれ交差する上記第1強調用マークが一対設けられ、
上記第2基板の他方の対向する各辺は、対応する上記第2ベースマークと45°未満の角度で交差すると共に上記各第1ベースマークとそれぞれ交差するように線状に設けられ、該第1ベースマークの延びる方向に沿った位置ずれ量を強調するための一対の第2強調用マークを有し、
上記第1基板及び第2基板は、上記各第1ベースマークと対応する上記一対の第1強調用マークの各中点とが重なると共に、上記各第2ベースマークと対応する上記一対の第2強調用マークの各中点とが重なるときに位置ずれがない状態であることを特徴とする表示装置。
The display device according to claim 2,
The first substrate and the second substrate are rectangular.
The first base mark is provided on each of the opposing sides of the first substrate,
Each of the other opposing sides of the first substrate is provided with the second base mark orthogonal to the first base mark,
A pair of the first emphasis marks that respectively intersect with the second base marks are provided on one opposing side of the second substrate,
Each of the other opposing sides of the second substrate intersects with the corresponding second base mark at an angle of less than 45 ° and is linearly provided so as to intersect with the first base mark. A pair of second emphasis marks for emphasizing the amount of positional deviation along the extending direction of the one base mark;
The first substrate and the second substrate overlap each midpoint of the pair of first emphasis marks corresponding to the first base marks, and the pair of second bases corresponding to the second base marks. A display device characterized in that there is no displacement when the midpoints of the emphasis marks overlap each other.
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