JP2007296776A

JP2007296776A - Inkjet recording head

Info

Publication number: JP2007296776A
Application number: JP2006127614A
Authority: JP
Inventors: Teru Yamamoto; 輝山本; Shuzo Iwanaga; 周三岩永; Toshiaki Hirozawa; 稔明広沢
Original assignee: Canon Inc
Current assignee: Canon Inc
Priority date: 2006-05-01
Filing date: 2006-05-01
Publication date: 2007-11-15

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To obtain a recording head capable of performing a heat radiation efficiently by an easy and inexpensive method. <P>SOLUTION: A recording element substrate 100 is joined to a support member 900 which has a thermal conductivity equivalent to that of the recording element substrate 100 and has an ink resistance. The second support member 1000 which has a large heat capacity and can be formed into complicated shapes or relatively large shapes at a low cost is joined to the first support member 900. The shape shown in drawing 2(b) is allowed for making the heat capacity of the second support member 1000 larger. Thereby, the heat radiation effect increases further, and the temperature rise of the recording head can be suppressed. <P>COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT

Description

本発明は、記録液（例えばインク）を記録媒体へ吐出して記録動作を行うインクジェット記録装置に適用される記録ヘッドに関するものである。 The present invention relates to a recording head applied to an ink jet recording apparatus that performs a recording operation by discharging a recording liquid (for example, ink) onto a recording medium.

なお、本発明は、一般的なプリント装置のほか、複写機、通信システムを有するファクシミリ、プリント部を有するワードプロセッサー等の装置、さらには、各種処理装置と複合的に組み合わされた産業用記録装置に適用することができる。 In addition to a general printing apparatus, the present invention is an apparatus such as a copying machine, a facsimile having a communication system, a word processor having a printing unit, and an industrial recording apparatus combined with various processing apparatuses. Can be applied.

インクジェット記録装置は、いわゆるノンインパクト記録方式の記録装置であり、高速な記録と様々な記録メディアに対して記録することが可能であって、記録時における大きな音がほとんど生じないといった特徴を有している。この種の液体噴射記録装置で用いられる液体噴射記録方式は、代表的な例としては、吐出エネルギ発生素子として電気熱変換素子を用いた方式がある。この方式を用いた液体噴射記録ヘッドは、電気熱変換素子を加圧室内に設け、これに記録信号となる電気パルスを印加する事により記録液に熱エネルギを与え、記録液の相変化によって生じる記録液の発泡時（沸騰時）の気泡圧力を記録液滴の吐出に利用している。その記録方法は、図６に示されるように、矢印Ｐの方向に送られる記録媒体３０に対してインクジェット記録装置本体１０に搭載された記録ヘッドカートリッジ２０を矢印Ｈの方向に走査させながらインクを吐出することによって行われる。 The ink jet recording apparatus is a so-called non-impact recording type recording apparatus, which can record on high-speed recording and various recording media, and has a feature that almost no loud sound is generated during recording. ing. As a typical example of the liquid jet recording method used in this type of liquid jet recording apparatus, there is a method using an electrothermal conversion element as a discharge energy generating element. In a liquid jet recording head using this method, an electrothermal conversion element is provided in a pressurizing chamber, and an electric pulse serving as a recording signal is applied thereto to give thermal energy to the recording liquid, resulting from a phase change of the recording liquid. The bubble pressure at the time of foaming (boiling) of the recording liquid is used for ejecting the recording droplets. As shown in FIG. 6, the recording method is as follows. Ink is applied to the recording medium 30 fed in the direction of arrow P while scanning the recording head cartridge 20 mounted on the ink jet recording apparatus main body 10 in the direction of arrow H. This is done by discharging.

このようなインクジェット記録ヘッドの一つの形態として、インク吐出用発熱抵抗体が形成された基板であるヒーターボードに対し垂直方向にインク滴を吐出するサイドシュータ型と呼ばれる記録ヘッドの構成が数々提案されている。その中でも、インク吐出口と記録シートまでの距離を近づけて、高精細記録に対応させた微小液滴化に伴う吐出インク滴の着弾精度の低下を防止できる記録ヘッドとして、吐出ノズルへのインクの供給をヒーターボードの発熱抵抗体形成面の裏面からヒーターボードを貫通する貫通口を介して行う構成が知られている。 As one form of such an ink jet recording head, a number of configurations of a recording head called a side shooter type that ejects ink droplets in a vertical direction with respect to a heater board, which is a substrate on which an ink discharge heating resistor is formed, have been proposed. ing. Among them, as a recording head that can reduce the landing accuracy of ejected ink droplets due to the formation of fine droplets that are compatible with high-definition recording by reducing the distance between the ink ejection port and the recording sheet, the ink to the ejection nozzles can be prevented. There is known a configuration in which the supply is performed from the back surface of the heating resistor forming surface of the heater board through a through hole penetrating the heater board.

記録ヘッド２１は、図７からわかるように、記録ヘッドカートリッジ２０を構成する一構成要素であり、記録ヘッドカートリッジ２０は、記録ヘッド２１と記録ヘッド２１に着脱自在に設けられたインクタンク２２とで構成されている。この記録ヘッドカートリッジ２０は、インクジェット記録装置本体に載置されているキャリッジの位置決め手段及び電気的接点によって固定支持されるとともに、該キャリッジに対して着脱可能となっている。 As can be seen from FIG. 7, the recording head 21 is one constituent element of the recording head cartridge 20, and the recording head cartridge 20 includes a recording head 21 and an ink tank 22 that is detachably provided on the recording head 21. It is configured. The recording head cartridge 20 is fixedly supported by positioning means and electrical contacts of a carriage placed on the ink jet recording apparatus main body, and is detachable from the carriage.

図１２は従来の記録ヘッドを示す斜視図、図８および図９はそれぞれ従来の記録ヘッドの要所を説明するための分解斜視図、図１２のＢ−Ｂ断面における概略断面図である。記録ヘッド２１は、記録素子基板１００、支持部材２００、電気配線テープ３００、電気コンタクト基板４００、および第１のプレート５００から成る記録素子ユニット２２と、第２のプレート６００、インク供給部材７００、およびタンクホルダ８００で構成されている。 FIG. 12 is a perspective view showing a conventional recording head, FIGS. 8 and 9 are exploded perspective views for explaining the main points of the conventional recording head, and a schematic sectional view taken along the line BB in FIG. The recording head 21 includes a recording element unit 22 including a recording element substrate 100, a support member 200, an electrical wiring tape 300, an electrical contact substrate 400, and a first plate 500, a second plate 600, an ink supply member 700, and The tank holder 800 is used.

記録素子基板１００は、電気配線テープ３００を介して電気信号を受け、インクを熱エネルギによって吐出するためデバイスであり、支持部材２００に対して位置精度良く接着固定されている。 The recording element substrate 100 is a device for receiving an electrical signal through the electrical wiring tape 300 and ejecting ink by thermal energy, and is bonded and fixed to the support member 200 with high positional accuracy.

インク供給部材７００は、インクタンクから記録素子ユニット２２へインクを導くためのインク流路７０１が形成され、支持部材２００と接合されている。 The ink supply member 700 is formed with an ink flow path 701 for guiding ink from the ink tank to the recording element unit 22, and is joined to the support member 200.

このような記録ヘッドの構成では、インク供給を記録素子基板１００の裏面より行えるため、ノズルと記録媒体の距離を自由に近づけて着弾精度を向上させることができるため、高画質の印字が可能となる。 In such a recording head configuration, since ink can be supplied from the back surface of the recording element substrate 100, the distance between the nozzles and the recording medium can be freely reduced to improve the landing accuracy, thereby enabling high-quality printing. Become.

また、支持部材２００の裏面には第２のプレート６００が接着されている。第２のプレート６００はインク供給部材７００のインク流路７０１が通る開口部６０１を有している。第２のプレート６００は熱伝導率の高い材料で形成されており、記録素子基板１００から発生した熱を放出しやすくしている。 A second plate 600 is bonded to the back surface of the support member 200. The second plate 600 has an opening 601 through which the ink flow path 701 of the ink supply member 700 passes. The second plate 600 is formed of a material having high thermal conductivity, and makes it easy to release heat generated from the recording element substrate 100.

従来例としては、例えば特許文献１をあげることが出来る。
特開２００４−３５１７５５号公報 For example, Patent Literature 1 can be cited as a conventional example.
JP 2004-351755 A

さらに、今日では、記録の高速化、高画質化がますます要求され、これらを実現するために、
（１）印字幅を大きくするために記録素子基板上に配置されるノズル群の列を長くする
（２）解像度を高くするためにノズル密度を高くする
（３）階調表現をより豊かにするためにブラック、シアン、マゼンタ、イエローだけでなく、それ以外の色のインクを吐出するための記録素子基板を搭載する
（４）吐出されたインク液滴を記録媒体上で素早く定着させるために、インクと反応する反応液を吐出するための記録素子基板を搭載する
などの手段がとられている。このため発熱量が増大する傾向にあり、現状の記録ヘッドの構成では昇温を抑制できなくなってきている。 Furthermore, today, there is an ever-increasing demand for higher recording speed and higher image quality.
(1) Increase the length of the nozzle group arranged on the recording element substrate to increase the printing width. (2) Increase the nozzle density to increase the resolution. (3) Make the gradation expression richer. (4) In order to quickly fix the ejected ink droplets on the recording medium, a recording element substrate for ejecting inks of colors other than black, cyan, magenta and yellow is mounted. A measure such as mounting a recording element substrate for discharging a reaction liquid that reacts with ink is taken. For this reason, the amount of heat generation tends to increase, and it is impossible to suppress the temperature rise with the current recording head configuration.

現状のヘッド構成では、放熱性を良くするために第２のプレート６００が設けられているが、この構成では記録素子基板から発生した熱が支持部材２００を介して第２のプレート６００に伝達されるため、放熱特性は支持部材２００の熱伝導率に依存してしまう。 In the current head configuration, the second plate 600 is provided in order to improve heat dissipation, but in this configuration, heat generated from the recording element substrate is transmitted to the second plate 600 via the support member 200. Therefore, the heat dissipation characteristic depends on the thermal conductivity of the support member 200.

理想的には、熱伝導率が記録素子基板１００のベースであるＳｉと同等もしくはそれ以上の材料で、かつ熱容量が大きい材料で支持部材２００を形成すれば良い。しかしながら、支持部材２００には、耐インク性があること、線膨張係数がＳｉと同等であることなど、多くの特性が要求され、これ加え熱伝導率も高い材料というのは限定されてしまう。それらの材料で、図１０に示すような複雑な形状を形成しようとすると、コストが大幅にアップしてしまう。 Ideally, the support member 200 may be formed of a material having a thermal conductivity equal to or higher than that of Si as the base of the recording element substrate 100 and a material having a large heat capacity. However, the support member 200 is required to have many characteristics such as ink resistance and a linear expansion coefficient equivalent to that of Si, and in addition, a material having high thermal conductivity is limited. If it is going to form the complicated shape as shown in FIG. 10 with those materials, cost will increase significantly.

本発明は上記課題に鑑みて成されたものであり、本発明は、インクを吐出するためのノズル及び吐出エネルギを発生する記録素子を具備し、記録素子が形成された面の反対面からインクが供給されるインク供給口が形成された記録素子基板と、該記録素子基板にインクを供給するためのインク供給口が形成され、記録素子基板を保持固定する第１の支持部材と、第１の支持部材に形成されたインク供給口と対応する位置にインク供給口が形成され、第１の支持部材と接合される第２の支持部材と、第２の支持部材を保持固定しインク供給口にインクを導くためインク流路が形成されたインク供給部材と、を有するインクジェット記録ヘッドにおいて、第１の支持部材と第２の支持部材は異なった材料、形状であり、第１の支持部材は記録素子基板と同程度の熱伝導率を有し、かつ第２の支持部材より熱伝導率が高く、第２の支持部材は第１の支持部材より熱容量が大きい材料で形成されており、互いに一体的に接合されていることを特徴とする。 The present invention has been made in view of the above problems. The present invention includes a nozzle for ejecting ink and a recording element for generating ejection energy, and the ink is formed from the surface opposite to the surface on which the recording element is formed. A recording element substrate on which an ink supply port is formed; an ink supply port for supplying ink to the recording element substrate; a first support member for holding and fixing the recording element substrate; An ink supply port is formed at a position corresponding to the ink supply port formed in the support member, and a second support member to be joined to the first support member, and the second support member are held and fixed, and the ink supply port In an ink jet recording head having an ink supply member in which an ink flow path is formed to guide ink to the first support member and the second support member, the first support member and the first support member have different materials and shapes. Recording element The second support member has the same thermal conductivity as the plate, has a higher thermal conductivity than the second support member, and the second support member is formed of a material having a larger heat capacity than the first support member. It is characterized by being joined to.

第１の支持部材はＳｉまたはＳｉＣまたはカーボングラファイトからなる材料、第２の支持部材はアルミナまたはＳＵＳからなる材料であることを特徴とする。 The first support member is a material made of Si, SiC, or carbon graphite, and the second support member is a material made of alumina or SUS.

以上説明したように、本発明によれば、単純な構成で記録ヘッドの放熱を行うことができるインクジェット記録ヘッドを提供することができる。 As described above, according to the present invention, it is possible to provide an ink jet recording head capable of radiating heat from the recording head with a simple configuration.

次に、本発明の実施形態について図面を参照して説明する。 Next, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

（第１の実施形態）
図１から図３を用いて本発明の第１の実施形態の記録ヘッドの構成を説明する。 (First embodiment)
The configuration of the recording head according to the first embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS.

図１は本発明の記録ヘッドの斜視図で、図１１は本発明の記録ヘッドの分解斜視図であり、図２は図１のＡ−Ａ断面における要部を説明するための概略断面図である。 FIG. 1 is a perspective view of the recording head of the present invention, FIG. 11 is an exploded perspective view of the recording head of the present invention, and FIG. 2 is a schematic sectional view for explaining the main part in the AA section of FIG. is there.

また、図３は、記録素子基板１００の構成を説明するために一部を分解した状態で示す斜視図である。 FIG. 3 is a perspective view showing a part of the recording element substrate 100 in an exploded state for explaining the configuration of the recording element substrate 100.

記録ヘッド２１は記録素子基板１００、第１の支持部材９００、第２の支持部材１０００、電気配線テープ３００、電気コンタクト基板４００、および第１のプレート５００から成る記録素子ユニット２３と、インク供給部材７００、およびタンクホルダ８００で構成されている。 The recording head 21 includes a recording element unit 23 including a recording element substrate 100, a first support member 900, a second support member 1000, an electrical wiring tape 300, an electrical contact substrate 400, and a first plate 500, and an ink supply member. 700 and a tank holder 800.

記録素子基板１００は、Ｓｉ基板１０１にインク流路として長溝状の貫通口からなるインク供給口１０２がＳｉの結晶方位を利用した異方性エッチングで形成され、インク供給口１０２を挟んだ両側に記録素子である電気熱変換素子１０３がそれぞれ１列ずつ千鳥状に配列され、電気熱変換素子１０３と、電気熱変換素子１０３に電力を供給するＡｌ等の電気配線が成膜技術により形成されている。さらに、前記電気配線に電力を供給するための電極部１０４が電気熱変換素子１０３の両外側に配列されている。そして、前記Ｓｉ基板上には、電気熱変換素子１０２に対応したインク流路を形成するためのインク流路壁１０５とノズル１０６が樹脂材料でフォトリソ技術によりに形成されている。このように電気熱変換素子１０３に対向してノズル１０６が設けられているため、インク供給口１０２から供給されたインクは電気熱変換素子１０３により発生した気泡により吐出される。本実施例では図３に示す記録素子基板１００を３枚ならべている。 In the recording element substrate 100, an ink supply port 102 including a long groove-like through-hole as an ink channel is formed in the Si substrate 101 by anisotropic etching using the crystal orientation of Si, and on both sides of the ink supply port 102. The electrothermal transducers 103, which are recording elements, are arranged in a staggered pattern in one row, and the electrothermal transducer 103 and electrical wiring such as Al for supplying electric power to the electrothermal transducer 103 are formed by a film forming technique. Yes. Furthermore, electrode portions 104 for supplying electric power to the electric wiring are arranged on both outer sides of the electrothermal conversion element 103. An ink flow path wall 105 and a nozzle 106 for forming an ink flow path corresponding to the electrothermal conversion element 102 are formed on the Si substrate by a photolithography technique using a resin material. Since the nozzle 106 is provided so as to face the electrothermal conversion element 103 as described above, the ink supplied from the ink supply port 102 is ejected by bubbles generated by the electrothermal conversion element 103. In this embodiment, three recording element substrates 100 shown in FIG. 3 are arranged.

第１の支持部材９００は、記録素子基板１００を保持固定するためのプレートであり記録素子基板のインク供給口１０２に対応した位置にインク供給口９０１が形成されている。 The first support member 900 is a plate for holding and fixing the recording element substrate 100, and an ink supply port 901 is formed at a position corresponding to the ink supply port 102 of the recording element substrate.

第２の支持部材１０００は第１の支持部材９００を保持固定しインク供給部材７００と接合するための部材である。 The second support member 1000 is a member for holding and fixing the first support member 900 and joining the ink supply member 700.

電気配線テープ３００は記録素子基板１００に対してインクを吐出するための電気信号を印加するものであり、記録素子基板１００を組み込むための開口部３０１を有しており、第１のプレート５００を解して第１の支持部材９００に接着固定される。また、電気配線テープ３００は、記録素子基板１００の電極１０４に対応する電極端子３０２と、この配線端部に位置し、記録装置本体から電気コンタクト基板４００を介して電気信号を受け取るための外部信号入力端子３0３を有している。 The electrical wiring tape 300 applies an electrical signal for ejecting ink to the recording element substrate 100, has an opening 301 for incorporating the recording element substrate 100, and attaches the first plate 500. In other words, the first support member 900 is bonded and fixed. In addition, the electric wiring tape 300 is located at an electrode terminal 302 corresponding to the electrode 104 of the recording element substrate 100 and an end of the wiring, and an external signal for receiving an electric signal from the recording apparatus main body via the electric contact substrate 400. An input terminal 303 is provided.

インク供給部材７００はインクタンクから記録素子ユニット２２へインクを導くためのインク流路および第２の支持部材のインク供給口１００１と接続するためのインク供給部７０１が形成されており一般的には樹脂成形によって形成されている。 The ink supply member 700 is formed with an ink flow path for guiding ink from the ink tank to the recording element unit 22 and an ink supply portion 701 for connection with the ink supply port 1001 of the second support member. It is formed by resin molding.

次に本実施例の構成を、組立て工程順を追って説明する。 Next, the configuration of this embodiment will be described in the order of the assembly process.

まず第１の支持部材９００と第２の支持部材１０００をそれぞれのインク供給口が連結するように精度よく接着し、第１のプレート５００を第１の支持部材９００に接着し、その後記録素子基板１００を精度よく第１の支持部材９００上に接着固定する。 First, the first support member 900 and the second support member 1000 are bonded with high precision so that the respective ink supply ports are connected, the first plate 500 is bonded to the first support member 900, and then the recording element substrate. 100 is bonded and fixed on the first support member 900 with high accuracy.

次に電気配線テープ３００の電極端子３０２と記録素子基板の電極１０４の位置が合うように電気配線テープ３００を第１のプレート５００上に正確に位置決めして接着固定する。 Next, the electric wiring tape 300 is accurately positioned and bonded and fixed on the first plate 500 so that the electrode terminals 302 of the electric wiring tape 300 and the electrodes 104 of the recording element substrate are aligned.

そして電気配線テープ３００の電極端子３０２と記録素子基板の電極１０４を超音波圧着法等により接合し、その部分を封止剤により封止し、さらに電気配線テープ３００の外部信号入力端子３０３と電気コンタクト基板４００の端子４０１が異方性導電フィルム（不図示）を用いた熱圧着によってそれぞれ電気的に接合され、封止剤で封止されている。 Then, the electrode terminal 302 of the electrical wiring tape 300 and the electrode 104 of the recording element substrate are joined by an ultrasonic pressure bonding method or the like, the portion is sealed with a sealant, and the external signal input terminal 303 of the electrical wiring tape 300 is electrically connected. The terminals 401 of the contact substrate 400 are each electrically bonded by thermocompression using an anisotropic conductive film (not shown) and sealed with a sealant.

最後に第２の支持部材１０００をインク供給部材７００と接合することによりヘッドは完成される。 Finally, the second support member 1000 is joined to the ink supply member 700 to complete the head.

第１の支持部材９００の材料は記録素子基板１００と同程度の熱伝導を有し、耐インク性を有するものであればどのような材料でもかまわないが、例えばシリコン（Ｓｉ）、炭化珪素（SiC）、窒化アルミニウム（ＡｌＮ）、などが適している。 The material of the first support member 900 may be any material as long as it has the same thermal conductivity as the recording element substrate 100 and has ink resistance. For example, silicon (Si), silicon carbide ( SiC), aluminum nitride (AlN), etc. are suitable.

また第２の支持部材１０００はインク流路を形成したり、インク供給部材７００への固定部等を設ける必要があり、かつ熱容量を大きくし放熱性を良くしなければならないため、複雑な形状や比較的大きな形状が安くできる材料を選ぶ必要がある。例えばアルミナ（Ａｌ２Ｏ３）やＳＵＳなどが適している。 In addition, the second support member 1000 needs to form an ink flow path, a fixing portion to the ink supply member 700, and the like, and must have a large heat capacity to improve heat dissipation. It is necessary to select a material that can make a relatively large shape cheap. For example, alumina (Al2O3) or SUS is suitable.

また、第２の支持部材１０００の熱容量がより大きくなるよう、図２（ｂ）に示されるような形状となっていても良く、このような形状にすることによってさらに放熱効果の向上が図れる。 Moreover, it may have a shape as shown in FIG. 2 (b) so that the heat capacity of the second support member 1000 becomes larger, and the heat dissipation effect can be further improved by using such a shape.

また、図２（ｃ）のように、第１の支持部材９００は第１のプレート５００と一体となった形状をしていても良く、これによって部品点数を減らすことができ、ヘッドのコストダウンが図れる。 Further, as shown in FIG. 2C, the first support member 900 may be integrated with the first plate 500, thereby reducing the number of parts and reducing the cost of the head. Can be planned.

（第２の実施形態）
図４は本発明の第２の実施形態を説明する図であり、図１のＡ−Ａ断面の要部を説明するための概略断面図である。 (Second Embodiment)
FIG. 4 is a diagram for explaining a second embodiment of the present invention, and is a schematic sectional view for explaining a main part of the AA section of FIG.

本実施形態における記録ヘッドを構成する部品は第１の実施形態に加え、さらに熱伝導率が高い材料で形成された第２のプレート６００が第２の支持部材１０００の裏面に接着されている。 In addition to the first embodiment, the components constituting the recording head in the present embodiment are bonded to the back surface of the second support member 1000 by a second plate 600 made of a material having higher thermal conductivity.

これによって、放熱効果が高まるとともに、熱容量をさらに大きくすることができるため、より記録ヘッドの温度上昇を抑制することができる。また、このような構成では、第２の支持部材１０００が複雑な形状を有していないため、安価に実現することができる。 As a result, the heat dissipation effect is enhanced and the heat capacity can be further increased, so that the temperature rise of the recording head can be further suppressed. Moreover, in such a structure, since the 2nd supporting member 1000 does not have a complicated shape, it can implement | achieve cheaply.

第２のプレート６００は直接インクに触れることはないためどのような材料でも良いが、例えば熱伝導率が高く、安価なアルミニウム（Ａｌ）や銅（Ｃｕ）などが適している。 The second plate 600 may be any material for never directly touch the ink, for example, high thermal conductivity, such as inexpensive aluminum (Al) or copper (Cu) are suitable.

第２のプレート６００は、第２の支持部材１０００との接触面積が大きくなるような形状をしていればどのような形状であっても良い。 The second plate 600 may have any shape as long as the contact area with the second support member 1000 is increased.

また、第２のプレート６００の側面および裏面に凹凸形状が形成されていても良く、これによって外気との接触面積が大きくなるため、より放熱効果を高めることができる。 Moreover, the uneven | corrugated shape may be formed in the side surface and back surface of the 2nd plate 600, and since a contact area with external air becomes large by this, the heat dissipation effect can be improved more.

また、インク供給部材７００の側面に貫通穴が形成され、記録時にヘッドが走査することによって、第２のプレート６００に空気が当たり易い構成となっていればさらに放熱効果を高めることができる。 Further, if the through-hole is formed in the side surface of the ink supply member 700 and the head scans during recording, the heat dissipation effect can be further enhanced if the second plate 600 is easily exposed to air.

（第３の実施形態）
図５は本発明の第３の実施形態を説明する図であり、図１のＡ−Ａ断面の要部を説明するための概略断面図である。 (Third embodiment)
FIG. 5 is a diagram for explaining a third embodiment of the present invention, and is a schematic sectional view for explaining a main part of the AA section of FIG.

本実施形態における記録ヘッドを構成する部品は第２の実施形態と同様であり、本実施形態の記録ヘッドは、第２のプレート６００の一部が第１の支持部材９００と接触する構成となっている。このとき第２のプレート６００と第１の支持部材９００の接触面積が大きいほど良い。したがって、第１の支持部材９００の熱は第２の支持部材１０００を介さずに直接熱伝導率の高い第２のプレート６００に伝導されるため、放熱効果をさらに高めることができる。 The components constituting the recording head in this embodiment are the same as those in the second embodiment, and the recording head of this embodiment has a configuration in which a part of the second plate 600 is in contact with the first support member 900. ing. At this time, the larger the contact area between the second plate 600 and the first support member 900, the better. Therefore, since the heat of the first support member 900 is directly conducted to the second plate 600 having a high thermal conductivity without passing through the second support member 1000, the heat dissipation effect can be further enhanced.

本発明の第１の実施形態の記録ヘッドを示す斜視図である。1 is a perspective view illustrating a recording head according to a first embodiment of the invention. 本発明の第１の実施形態の記録ヘッドを示す断面図である。1 is a cross-sectional view illustrating a recording head according to a first embodiment of the invention. 記録素子基板を示す斜視図である。It is a perspective view showing a recording element substrate. 本発明の第２の実施形態の記録ヘッドを示す断面図である。FIG. 5 is a cross-sectional view illustrating a recording head according to a second embodiment of the invention. 本発明の第３の実施形態の記録ヘッドを示す断面図である。FIG. 6 is a cross-sectional view illustrating a recording head according to a third embodiment of the present invention. 従来のインクジェット記録装置を示す図である。It is a figure which shows the conventional inkjet recording device. 従来の記録ヘッドを示す斜視図である。It is a perspective view which shows the conventional recording head. 従来の記録ヘッドを示す分解斜視図である。FIG. 10 is an exploded perspective view showing a conventional recording head. 従来の記録ヘッドを示す断面図である。FIG. 10 is a cross-sectional view showing a conventional recording head. 従来の記録ヘッドにおける支持部材を示す図である。It is a figure which shows the supporting member in the conventional recording head. 本発明の第１の実施形態の記録ヘッドを示す分解斜視図である。FIG. 2 is an exploded perspective view illustrating the recording head according to the first embodiment of the invention. 従来の記録ヘッドを示す斜視図である。It is a perspective view which shows the conventional recording head.

符号の説明Explanation of symbols

１０インクジェット記録装置
１１キャリッジ
２０インクジェット記録カートリッジ
２１記録ヘッド
２２インクタンク
２３記録素子ユニット
３０記録媒体
１００記録素子基板
１０１Ｓｉ基板
１０２インク供給口
１０３電気熱変換素子
１０４電極部
１０５インク流路壁
１０６ノズル
２００支持部材
２０１インク供給口
３００電気配線テープ
３０１開口部
３０２電極端子
３０３外部信号入力端子
４００電気コンタクト基板
４０１端子
５００第１のプレート
６００第２のプレート
６０１開口部
７００インク供給部材
７０１インク供給部
７０２液体貯留室
７０３液体
８００タンクホルダ
９００第１の支持部材
９０１インク供給口
１０００第２の支持部材
１００１インク供給口
Ｈ記録ヘッドの走査方向
Ｐ記録媒体の送り方向 DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Inkjet recording apparatus 11 Carriage 20 Inkjet recording cartridge 21 Recording head 22 Ink tank 23 Recording element unit 30 Recording medium 100 Recording element substrate 101 Si substrate 102 Ink supply port 103 Electrothermal conversion element 104 Electrode part 105 Ink flow path wall 106 Nozzle 200 Support member 201 Ink supply port 300 Electrical wiring tape 301 Opening 302 Electrode terminal 303 External signal input terminal 400 Electrical contact substrate 401 Terminal 500 First plate 600 Second plate 601 Opening 700 Ink supply member 701 Ink supply unit 702 Liquid Storage chamber 703 Liquid 800 Tank holder 900 First support member 901 Ink supply port 1000 Second support member 1001 Ink supply port H Recording head scanning direction P Recording medium feed direction

Claims

インクを吐出するためのノズル及び吐出エネルギを発生する記録素子を具備し、記録素子が形成された面の反対面からインクが供給されるインク供給口が形成された記録素子基板と、
該記録素子基板にインクを供給するためのインク供給口が形成され、記録素子基板を保持固定する第１の支持部材と、
第１の支持部材に形成されたインク供給口と連結されるインク供給口が形成され、第１の支持部材接合される第２の支持部材と、
第２の支持部材を保持固定しインク供給口にインクを導くためインク流路が形成されたインク供給部材と、
を有するインクジェット記録ヘッドにおいて、
第１の支持部材と第２の支持部材は異なった材料、形状であり、第１の支持部材は記録素子基板と同程度の熱伝導率を有し、かつ第２の支持部材より熱伝導率が高く、第のプレ−トは第１の支持部材より熱容量が大きい材料で形成されており、互いに一体的に接合されていることを特徴とするインクジェット記録ヘッド。 A recording element substrate having a nozzle for discharging ink and a recording element for generating discharge energy, and having an ink supply port through which ink is supplied from a surface opposite to the surface on which the recording element is formed;
An ink supply port for supplying ink to the recording element substrate; a first support member for holding and fixing the recording element substrate;
An ink supply port connected to an ink supply port formed in the first support member, and a second support member joined to the first support member;
An ink supply member in which an ink flow path is formed to hold and fix the second support member and guide ink to the ink supply port;
In an inkjet recording head having
The first support member and the second support member have different materials and shapes, the first support member has a thermal conductivity comparable to that of the recording element substrate, and has a thermal conductivity higher than that of the second support member. An inkjet recording head characterized in that the first plate is made of a material having a higher heat capacity than the first support member and is integrally joined to each other.

記録素子基板と第１の支持部材および、第１の支持部材と第２の支持部材は接着剤により接着されていることを特徴とする請求項１に記載のインクジェット記録ヘッド。 2. The ink jet recording head according to claim 1, wherein the recording element substrate and the first support member, and the first support member and the second support member are bonded with an adhesive.

第１の支持部材の表面積より第２の表面積のほうが大きいことを特徴とする請求項１または２に記載のインクジェット記録ヘッド。 3. The ink jet recording head according to claim 1, wherein the second surface area is larger than the surface area of the first support member.

第１の支持部材はＳｉまたはＳｉＣまたはカーボングラファイトからなる材料、第２の支持部材はアルミナまたはＳＵＳからなる材料であることを特徴とする請求項１または２または３に記載のインクジェット記録ヘッド。 4. The ink jet recording head according to claim 1, wherein the first support member is made of a material made of Si, SiC, or carbon graphite, and the second support member is made of a material made of alumina or SUS.