JP2007287876A - 薬液または純水供給装置、基板処理システム、基板処理装置または基板処理方法 - Google Patents
薬液または純水供給装置、基板処理システム、基板処理装置または基板処理方法 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】フッ素樹脂であるPVDFにパーフルオロモノマーを添加することによってソフト化処理することによって、酸素透過量を著しく低下させることができた。更に、ナイロンチューブを外層に設けることによっても、酸素透過量を低下させることができた。これらのチューブを薬液や超純水の供給装置と洗浄装置、ウエットエッチング装置等の薬液または超純水利用装置との間に用いる。
【選択図】図6
Description
=(溶存ガス濃度(g/l)×チューブ内容積(l)/チューブ内滞留時間(24hr)、
(1)
酸素透過係数(grams・mil/100in2・24hr・atm)
=(酸素透過量×チューブ肉厚(mil))/(チューブ表面積(100in2)×ガス差圧(atm))
(2)
特許文献2によれば、内側層チューブと外側層チューブとして、それぞれ、PFA層及びPVDF層を備えたフッ素2重チューブは、両層間に親水化処理を施さない場合、0.135(grams・mil/100in2・24hr・atm)の酸素透過係数を示し、他方、両層間に親水化処理を施した場合、0.025(grams・mil/100in2・24hr・atm)の酸素透過係数を示すことが開示されている。PFA単層の場合における酸素透過係数は1.300(grams・mil/100in2・24hr・atm)であることから、特許文献2に示されたフッ素2重チューブは、酸素透過係数を著しく小さくできる。
(透過物質の量×サンプルの厚さ)/(サンプルの面積×接触時間×透過物質の圧力差)=(個・cm)/(cm2・sec・Pa) (3)
図3に示された測定系を用いて測定された測定結果を図4に示す。ここで、各サンプルチューブ20は、外径8mm、内径6mmを持ち、且つ、長さが1.5mであった。図示された例では、23℃のUPWを、1l/minの流量で図3に示した測定系に流した場合の測定結果であり、ここでは、サンプルチューブ20に3kgf/cm2の酸素負荷を加えた場合における溶存酸素(DO)の測定結果を示している。
12 PFAチューブ
14 ナイロンチューブ
16 接着剤層
100、200 基板処理システム
101、201 洗浄室
102、103、202、203 処理液入力ポート
104、105、204、205 樹脂配管
106、206 ノズル
107、207 被処理基板
108、208 回転台
111、211 薬液・超純水供給装置
112、212 脱気装置
113 調合済薬液タンク
114 ポンプ
115−1〜115−6、215−1〜215−2 バルブ
120、130、220、230 装置間配管
117−1〜117−3、118−1〜118−9 配管
217−1〜217−3、218−1〜218−3 配管
Claims (22)
- 薬液または純水から気体を除去する脱気装置と、酸素透過係数が5×106[個・cm/cm2secPa]以下である樹脂配管とを含むことを特徴とする薬液または純水供給装置。
- 請求項1において、前記樹脂配管の酸素透過係数が、2×106[個・cm/cm2secPa]以下であることを特徴とする薬液または純水供給装置。
- 請求項1又は2において、前記樹脂配管が組成の異なる2種類以上の材料によって一体的に形成されていることを特徴とする薬液または純水供給装置。
- 請求項1乃至3のいずれか一つにおいて、前記樹脂配管がソフト化処理されたPVDF層を含むことを特徴とする薬液または純水供給装置。
- 請求項1又は3において、前記樹脂配管がナイロン層を含むことを特徴とする薬液または純水供給装置。
- 請求項3において、前記樹脂配管がソフト化処理されたPVDF層またはナイロン層と、ETFE、PTFE、PVDC、FEP、PFAのいずれかによって形成された層との組み合わせによって構成されることを特徴とする薬液または純水供給装置。
- 請求項1〜6のいずれかにおいて、前記樹脂配管の内側表面が、アルカリ性水溶液、酸性水溶液、中性水溶液、有機溶剤のいずれか一つに耐性のある材料によって形成されていることを特徴とする薬液または純水供給装置。
- 請求項1〜7のいずれかにおいて、前記樹脂配管を用いることによって前記薬液または純水の溶存酸素濃度が10ppb以下に保持できることを特徴とする薬液または純水供給装置。
- 請求項1〜8のいずれかにおいて、前記純水は水素を含む水素水であり、前記樹脂配管外への水素ガスの透過が抑制されていることを特徴とする薬液または純水供給装置。
- 請求項1〜9のいずれかに記載された薬液または純水供給装置と、前記供給装置から前記樹脂配管を通して供給される薬液または純水を用いて基板を処理する処理装置とを含むことを特徴とする基板処理システム。
- 請求項10において、前記樹脂配管の雰囲気中の窒素ガス、酸素ガス、アルゴンガスおよび二酸化炭素ガスの少なくとも一つの前記樹脂配管内への透過が抑制されていることを特徴とする基板処理システム。
- 脱気された処理液で基板を処理する基板処理部と、前記処理液の処理液供給源と、前記処理液供給源と前記基板処理部の間に介在する処理液供給配管とを含む基板処理装置において、
前記処理液供給配管を酸素透過係数が5×106[個・cm/cm2secPa]以下である樹脂配管とすることを特徴とする基板処理装置。 - 請求項12において、前記樹脂配管の酸素透過係数が、2×106[個・cm/cm2secPa]以下であることを特徴とする基板処理装置。
- 請求項12又は13において、前記樹脂配管が組成の異なる2種類以上の材料によって一体的に形成されていることを特徴とする基板処理装置。
- 請求項12〜14のいずれかにおいて、前記樹脂配管がソフト化処理されたPVDF層を含むことを特徴とする基板処理装置。
- 請求項12または14において、前記樹脂配管がナイロン層を含むことを特徴とする基板処理装置。
- 請求項14において、前記樹脂配管がソフト化処理されたPVDF層またはナイロン層と、ETFE、PTFE、PVDC、FEP、PFAのいずれかによって形成された層との組み合わせによって構成されることを特徴とする基板処理装置。
- 請求項12〜17のいずれかにおいて、前記樹脂配管の内側表面が、アルカリ性水溶液、酸性水溶液、中性水溶液、有機溶剤のいずれか一つに耐性のある材料によって形成されていることを特徴とする基板処理装置。
- 請求項12〜17のいずれかにおいて、前記処理液は水素を含む水素水であり、前記樹脂配管外への水素ガスの透過が抑制されていることを特徴とする基板処理装置。
- 請求項10または11に記載された基板処理システムを用いて基板を処理することを特徴とする基板処理方法。
- 請求項12〜19のいずれかに記載された基板処理装置を用いて基板を処理することを特徴とする基板処理方法。
- 請求項20または21に記載された基板処理方法による基板処理工程を含むことを特徴とする電子装置の製造方法。
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