JP2007276390A - Liquid ejector and ejection method - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、液体吐出装置及び液体吐出方法に係り、特に液体の吐出検査を行う液体吐出装置及び液体吐出方法に関する。 The present invention relates to a liquid ejection apparatus and a liquid ejection method, and more particularly to a liquid ejection apparatus and a liquid ejection method for performing a liquid ejection inspection.
従来より、ノズルから液体を吐出させる液体吐出装置では、液体の吐出検査の結果に基づき、液滴量のばらつきを補正する技術が提案されている。例えば、基板上に着弾したインクのドット径や、ノズルから吐出された液滴の重量又はインクが乾燥した固形分重量を測定し、その測定結果に基づき、各ノズルからの吐出量を均一に補正する技術が知られている。また、各ノズルから一定間隔で吐出した液滴を画像として取り込み、画像解析により液滴の位置から液滴の飛翔特性を算出して、各ノズルの吐出量を均一に補正する技術が知られている（特許文献１）。 2. Description of the Related Art Conventionally, in a liquid ejection apparatus that ejects liquid from a nozzle, a technique for correcting variation in the amount of droplets based on the result of liquid ejection inspection has been proposed. For example, measure the dot diameter of ink landed on the substrate, the weight of droplets ejected from the nozzles, or the solid content weight of the dried ink, and uniformly correct the ejection amount from each nozzle based on the measurement results. The technology to do is known. In addition, a technology is known in which droplets ejected from each nozzle at regular intervals are captured as images, and the flight characteristics of the droplets are calculated from the position of the droplets by image analysis to uniformly correct the ejection amount of each nozzle. (Patent Document 1).
また、ノズルから液体を吐出させる技術としては、ノズル内の液体を帯電させ、ノズルと液体の液滴の着弾を受ける各種基材との間に形成される電界から受ける静電吸引力によって液体を吐出させる静電吸引方式の液体吐出技術が知られている（例えば、特許文献２参照）。 In addition, as a technique for discharging liquid from the nozzle, the liquid in the nozzle is charged, and the liquid is discharged by electrostatic attraction force received from an electric field formed between the nozzle and various substrates that receive liquid droplet landing. An electrostatic suction type liquid discharge technique for discharging is known (for example, see Patent Document 2).
また、この液体吐出技術と、ピエゾ素子の変形や液体内部での気泡の発生による圧力を利用して液体を吐出する技術とを組み合わせた電界アシスト方式を用いた液体吐出装置の開発が進んでいる（例えば、特許文献３〜６参照）。この電界アシスト法は、メニスカス形成手段と静電吸引力を用いてノズルの吐出口に液体のメニスカスを***させることにより、メニスカスに対する静電吸引力を高め、液表面張力に打ち勝ってメニスカスを液滴化し吐出する方法である。
Further, development of a liquid discharge apparatus using an electric field assist method in which this liquid discharge technique is combined with a technique of discharging liquid using pressure generated by deformation of a piezoelectric element or generation of bubbles in the liquid is progressing. (For example, refer to
これらの静電吸引力を利用する液体吐出装置では、ノズルを備えた液体吐出ヘッドに対向する位置に対向電極に支持された基材が設置される。この基材の状態は、液滴の吐出状態（液滴径、飛翔速度、飛翔角度）に大きな影響を及ぼすことから、液体の吐出検査においても実際の吐出動作と同様の状態で基材を設置する必要がある。 In a liquid discharge apparatus using these electrostatic attraction forces, a base material supported by a counter electrode is installed at a position facing a liquid discharge head provided with a nozzle. Since the base material state has a great influence on the droplet discharge state (droplet diameter, flight speed, flight angle), the substrate is placed in the same state as the actual discharge operation in the liquid discharge inspection. There is a need to.
一方、特許文献７には、液体の吐出検査において対向電極に付着した液滴を拭うクリーニング機構を備えた液体吐出装置が記載されている。
しかしながら、特許文献１に記載の液体の吐出検査を、特許文献２〜特許文献６に記載の静電吸引力を利用して液体を吐出させる液体吐出装置で行うと、基板上の所定位置に液滴が付着し続けることにより基板表面付近の電界の状態が変化して、正確な吐出検査を行うことができなくなるという問題があった。特に、ラインヘッドのように液体吐出ヘッドのノズル数が多い場合や、高速吐出など多くの液滴を吐出させる場合は、基材に付着した液滴の影響が顕著となっていた。
However, when the liquid discharge inspection described in Patent Document 1 is performed by a liquid discharge device that discharges liquid using the electrostatic attraction force described in
また、特許文献７に記載の発明では、対向電極のクリーニングのたびに時間と手間がかかるという問題があった。
Further, the invention described in
本発明は、静電吸引力を利用して液体を吐出する液体吐出装置において、液体の吐出検査の精度を高めることを可能とする液体吐出装置及び液体吐出方法を提供することを目的とする。 An object of the present invention is to provide a liquid ejection apparatus and a liquid ejection method capable of increasing the accuracy of a liquid ejection inspection in a liquid ejection apparatus that ejects liquid using electrostatic attraction force.
上記課題を解決するために請求項１記載の発明は、液体吐出装置であって、複数のノズルを有し静電力を利用して前記ノズルから液体を吐出させる液体吐出ヘッドと、前記ノズルから液体の吐出を受ける描画用基材と、液体吐出検査時において前記ノズルから液体の吐出を受ける検査用基材と、前記検査用基材を支持する対向電極と、前記検査用基材に液体が吐出される際に前記検査用基材を前記液体吐出ヘッドに対し相対的に移動させる基材移動制御手段と、前記ノズルから前記検査用基材に向けて吐出された液体の液滴を撮像して画像データを取得する撮像手段と、を備えることを特徴とする。 In order to solve the above-mentioned problem, the invention according to claim 1 is a liquid discharge apparatus, which has a plurality of nozzles and discharges liquid from the nozzles using electrostatic force, and liquid from the nozzles. The drawing base material that receives the liquid discharge, the inspection base material that receives the liquid discharge from the nozzle during the liquid discharge inspection, the counter electrode that supports the inspection base material, and the liquid discharged to the inspection base material A substrate movement control means for moving the inspection substrate relative to the liquid ejection head, and imaging a liquid droplet discharged from the nozzle toward the inspection substrate. Imaging means for acquiring image data.
請求項１記載の発明によれば、描画用基材と別に検査用基材を設け、検査用基材を液体吐出ヘッドに対して相対的に移動させながら液体を吐出させることにより、液体吐出検査時に検査用基材のうち液体が吐出されていない新しい面に液体を順次吐出させることが可能となる。これにより、検査用基材に着弾した液滴の影響で基板表面付近の電界の状態が変化するのを回避しつつ、液滴を撮像することが可能となる。 According to the first aspect of the present invention, an inspection base material is provided separately from the drawing base material, and the liquid is ejected while moving the inspection base material relative to the liquid ejection head, whereby the liquid ejection inspection is performed. Sometimes it becomes possible to sequentially discharge the liquid onto a new surface of the inspection substrate on which the liquid is not discharged. As a result, it is possible to image the liquid droplet while avoiding a change in the state of the electric field near the substrate surface due to the influence of the liquid droplet landed on the inspection substrate.
請求項２記載の発明は、請求項１記載の液体吐出装置であって、前記撮像手段により取得した前記画像データの解析により前記液滴の径を検出する画像解析手段と、前記画像解析手段の解析結果に基づき、前記液滴の径のばらつきを抑制するように前記ノズルの各々からの液体吐出量を調整する調整手段と、を備えることを特徴とする。 According to a second aspect of the present invention, there is provided the liquid ejecting apparatus according to the first aspect, wherein an image analysis unit that detects the diameter of the droplet by analyzing the image data acquired by the imaging unit, and the image analysis unit And adjusting means for adjusting a liquid discharge amount from each of the nozzles so as to suppress variation in diameter of the droplet based on the analysis result.
請求項２記載の発明によれば、基板表面付近の電界の状態が変化するのを回避しつつ撮影した画像データに基づいて液滴の径を検出し、液体吐出量を調整することにより、液体吐出検査の精度を高めることが可能となる。 According to the second aspect of the present invention, the liquid diameter is detected based on the image data taken while avoiding the change in the state of the electric field in the vicinity of the substrate surface, and the liquid discharge amount is adjusted. It becomes possible to improve the accuracy of the discharge inspection.
請求項３載の発明は、請求項１又は請求項２記載の液体吐出装置であって、前記検査用基材は前記描画用基材と同様の材質及び厚さ寸法により構成され、前記液体吐出ヘッドとの距離が前記描画用基材と同様となるように配置されていることを特徴とする。 A third aspect of the invention is the liquid ejection apparatus according to the first or second aspect, wherein the inspection base is made of the same material and thickness as the drawing base, and the liquid ejection It is arranged so that the distance from the head is the same as that of the drawing base material.
請求項３記載の発明によれば、実際の液体吐出時と同様の条件で液体吐出検査を行うことが可能となる。 According to the third aspect of the present invention, it is possible to perform a liquid ejection inspection under the same conditions as those during actual liquid ejection.
請求項４記載の発明は、請求項１〜請求項３いずれか一項に記載の液体吐出装置であって、前記液体吐出ヘッドは、前記ノズルが形成されたノズルプレートと、前記ノズルの各々に連通し前記ノズルから吐出される液体を貯蔵するキャビティと、前記ノズル及び前記キャビティ内部の液体と前記描画用基材又は前記検査用基材との間に静電電圧を印加して静電吸引力を発生させる静電電圧印加手段と、前記キャビティ内部の液体に圧力を発生させる圧力発生手段と、前記静電電圧印加手段及び前記圧力発生手段の制御により前記ノズルから液体を電界集中吐出させる制御手段とを備えることを特徴とする。 Invention of Claim 4 is the liquid discharge apparatus as described in any one of Claims 1-3, Comprising: The said liquid discharge head is the nozzle plate in which the said nozzle was formed, and each of the said nozzle An electrostatic attraction force is applied by applying an electrostatic voltage between the cavity for storing the liquid discharged from the nozzle and the liquid in the nozzle and the cavity and the drawing substrate or the inspection substrate. An electrostatic voltage applying means for generating a pressure, a pressure generating means for generating a pressure in the liquid inside the cavity, and a control means for concentrating and discharging the liquid from the nozzle by controlling the electrostatic voltage applying means and the pressure generating means. It is characterized by providing.
請求項４記載の発明によれば、液体吐出ヘッドから液体が電界集中吐出される液体吐出装置では、基板の状態が電界の変化に特に大きな影響を及ぼすが、検査用基材のうち液体が吐出されていない新しい面に液体を順次吐出させることにより、基板表面付近における電界の状態の変化が回避されるという作用を特に顕著に得ることができる。 According to the fourth aspect of the present invention, in the liquid discharge apparatus in which the liquid is concentrated and discharged from the liquid discharge head, the state of the substrate has a particularly large influence on the change of the electric field. By sequentially discharging the liquid onto a new surface that has not been performed, it is possible to obtain a particularly remarkable effect that a change in the state of the electric field in the vicinity of the substrate surface is avoided.
請求項５記載の発明は、請求項１〜請求項４いずれか一項に記載の液体吐出装置であって、前記撮像手段による撮像時に液滴を照射する照射手段を備えることを特徴とする。 A fifth aspect of the invention is the liquid ejection apparatus according to any one of the first to fourth aspects, further comprising an irradiating unit that irradiates liquid droplets during imaging by the imaging unit.
請求項５記載の発明によれば、撮像時に液滴を照射することにより、液体吐出検査の精度を高めることが可能となる。 According to the fifth aspect of the present invention, it is possible to improve the accuracy of the liquid discharge inspection by irradiating the droplet during imaging.
請求項６記載の発明は、請求項５記載の液体吐出装置であって、前記ノズルから前記検査用基材に液体が吐出される際に、前記液体吐出ヘッドに液体の吐出を行わせる駆動パルス生成タイミング信号と、前記撮像手段に撮像を行わせる撮像タイミング信号と、前記照射手段に照射を行わせる照射タイミング信号とを一定時間間隔でかつ相互に同期させて出力する同期タイミング信号生成手段を備えることを特徴とする。
The invention according to claim 6 is the liquid ejection apparatus according to
請求項６記載の発明によれば、液体吐出検査時にノズルから吐出される液滴を照射して撮像することが可能となる。 According to the sixth aspect of the present invention, it is possible to take an image by irradiating the liquid droplets ejected from the nozzle during the liquid ejection inspection.
請求項７記載の発明は、請求項１〜請求項６いずれか一項に記載の液体吐出装置であって、前記検査用基材に着弾した液滴を掃拭する洗浄手段が設けられていることを特徴とする。 A seventh aspect of the present invention is the liquid ejection apparatus according to any one of the first to sixth aspects, wherein a cleaning means for wiping off the droplets that have landed on the substrate for inspection is provided. It is characterized by that.
請求項７記載の発明によれば、検査用基材に着弾した液滴を掃拭する洗浄手段を設けることにより、検査用基材のうち液体が吐出されていない新しい面に液体を吐出させることが可能となる。これにより、液だまりなどにより基板表面付近の電界の状態が変化するのを回避して、実際の吐出動作と同様の状態で液体吐出検査を行うことが可能となる。 According to the seventh aspect of the invention, by providing the cleaning means for wiping off the droplets that have landed on the inspection substrate, the liquid is discharged onto a new surface of the inspection substrate on which no liquid is discharged. Is possible. Thereby, it is possible to avoid a change in the state of the electric field in the vicinity of the substrate surface due to a liquid pool or the like, and to perform a liquid discharge inspection in the same state as the actual discharge operation.
請求項８記載の発明は、液体吐出方法であって、複数のノズルを有し静電力を利用して前記ノズルから液体を吐出させる液体吐出ヘッドと、前記ノズルから液体の吐出を受ける描画用基材と、液体吐出検査時において前記ノズルから液体の吐出を受ける検査用基材と、前記検査用基材を支持する対向電極とを使用して、前記検査用基材を前記液体吐出ヘッドに対し相対的に移動させながら前記検査用基材に液体を吐出させる液体吐出工程と、前記ノズルから前記検査用基材に向けて吐出された液体の液滴を撮像して画像データを取得する撮像工程と、を有することを特徴とする。
The invention according to
請求項８記載の発明によれば、描画用基材と別に検査用基材を設け、検査用基材を液体吐出ヘッドに対して相対的に移動させながら液体を吐出させることにより、液体吐出検査時に検査用基材のうち液体が吐出されていない新しい面に液体を順次吐出させることが可能となる。これにより、検査用基材に着弾した液滴の影響で基板表面付近の電界の状態が変化するのを回避しつつ、液滴を撮像することが可能となる。 According to the eighth aspect of the present invention, the inspection substrate is provided separately from the drawing substrate, and the liquid is discharged while the inspection substrate is moved relative to the liquid discharge head, whereby the liquid discharge inspection is performed. Sometimes it becomes possible to sequentially discharge the liquid onto a new surface of the inspection substrate on which the liquid is not discharged. As a result, it is possible to image the liquid droplet while avoiding a change in the state of the electric field near the substrate surface due to the influence of the liquid droplet landed on the inspection substrate.
請求項９記載の発明は、請求項８記載の液体吐出方法であって、前記撮像工程で取得した前記画像データの解析により前記液滴の径を検出する画像解析工程と、前記画像解析工程における解析結果に基づき、前記液滴の径のばらつきを抑制するように前記ノズルの各々からの液体吐出量を調整する調整工程と、を有することを特徴とする。 A ninth aspect of the present invention is the liquid ejection method according to the eighth aspect, wherein an image analysis step of detecting a diameter of the droplet by analysis of the image data acquired in the imaging step, and the image analysis step And an adjusting step of adjusting the liquid discharge amount from each of the nozzles so as to suppress variation in the diameter of the droplet based on the analysis result.
請求項９記載の発明によれば、基板表面付近の電界の状態が変化するのを回避しつつ撮影した画像データに基づいて液滴の径を検出し、液体吐出量を調整することにより、液体吐出検査の精度を高めることが可能となる。 According to the ninth aspect of the invention, the liquid diameter is detected based on the image data taken while avoiding the change in the state of the electric field in the vicinity of the substrate surface, and the liquid discharge amount is adjusted. It becomes possible to improve the accuracy of the discharge inspection.
請求項１０記載の発明は、請求項８又は請求項９記載の液体吐出方法であって、前記検査用基材は前記描画用基材と同様の材質及び厚さ寸法により構成し、前記液体吐出ヘッドとの距離が前記描画用基材と同様となるように配置することを特徴とする。 A tenth aspect of the present invention is the liquid ejection method according to the eighth or ninth aspect, wherein the inspection base material is made of the same material and thickness as the drawing base material, and the liquid ejection method It arrange | positions so that the distance with a head may become the same as that of the said base material for drawing.
請求項１０記載の発明によれば、実際の液体吐出時と同様の条件で液体吐出検査を行うことが可能となる。 According to the tenth aspect of the present invention, it is possible to perform a liquid discharge inspection under the same conditions as in actual liquid discharge.
請求項１１記載の発明は、請求項８〜請求項１０いずれか一項に記載の液体吐出方法であって、前記液体吐出ヘッドは、前記ノズルが形成されたノズルプレートと、前記ノズルの各々に連通し前記ノズルから吐出される液体を貯蔵するキャビティと、前記ノズル及び前記キャビティ内部の液体と前記描画用基材又は前記検査用基材との間に静電電圧を印加して静電吸引力を発生させる静電電圧印加手段と、前記キャビティ内部の液体に圧力を発生させる圧力発生手段とを備え、前記静電電圧印加手段及び前記圧力発生手段の制御により前記ノズルから液体を電界集中吐出することを特徴とする。
Invention of
請求項１１記載の発明によれば、液体吐出ヘッドから液体が電界集中吐出される液体吐出装置では、基板の状態が電界の変化に特に大きな影響を及ぼすが、検査用基材のうち液体が吐出されていない新しい面に液体を順次吐出させることにより、基板表面付近における電界の状態の変化が回避されるという作用を特に顕著に得ることができる。 According to the eleventh aspect of the present invention, in the liquid discharge apparatus in which the liquid is concentrated and discharged from the liquid discharge head, the state of the substrate has a particularly large effect on the change in the electric field. By sequentially discharging the liquid onto a new surface that has not been performed, it is possible to obtain a particularly remarkable effect that a change in the state of the electric field in the vicinity of the substrate surface is avoided.
請求項１２記載の発明は、請求項８〜請求項１１いずれか一項に記載の液体吐出方法であって、前記撮像手段による撮像時に液滴を照射する照射工程を有することを特徴とする。 A twelfth aspect of the present invention is the liquid ejection method according to any one of the eighth to eleventh aspects, characterized in that it includes an irradiation step of irradiating a droplet during imaging by the imaging unit.
請求項１２記載の発明によれば、撮像時に液滴を照射することにより、液体吐出検査の精度を高めることが可能となる。 According to the twelfth aspect of the present invention, it is possible to improve the accuracy of the liquid discharge inspection by irradiating the droplet during imaging.
請求項１３記載の発明は、請求項１２に記載の液体吐出方法であって、前記ノズルから前記検査用基材に液体が吐出される際に、前記液体吐出ヘッドに液体の吐出を行わせる駆動パルス生成タイミング信号と、前記撮像手段に撮像を行わせる撮像タイミング信号と、前記照射手段に照射を行わせる照射タイミング信号とを一定時間間隔でかつ相互に同期させて出力する同期タイミング信号生成手段を備えることを特徴とする。 A thirteenth aspect of the present invention is the liquid discharge method according to the twelfth aspect of the present invention, wherein the liquid discharge head discharges the liquid when the liquid is discharged from the nozzle onto the inspection substrate. Synchronous timing signal generation means for outputting a pulse generation timing signal, an imaging timing signal for causing the imaging means to perform imaging, and an irradiation timing signal for causing the irradiation means to perform irradiation in synchronization with each other at a constant time interval. It is characterized by providing.
請求項１３記載の発明によれば、液体吐出検査時にノズルから吐出される液滴を照射して撮像することが可能となる。 According to the thirteenth aspect of the present invention, it is possible to take an image by irradiating the liquid droplets ejected from the nozzles during the liquid ejection inspection.
請求項１４記載の発明は、請求項８〜請求項１３いずれか一項に記載の液体吐出方法であって、前記検査用基材に着弾した液滴を掃拭する洗浄工程を有することを特徴とする。 A fourteenth aspect of the present invention is the liquid ejection method according to any one of the eighth to thirteenth aspects, further comprising a cleaning step of wiping off the droplets that have landed on the substrate for inspection. And
請求項１４記載の発明によれば、検査用基材に着弾した液滴を掃拭する洗浄手段を設けることにより、検査用基材のうち液体が吐出されていない新しい面に液体を吐出させることが可能となる。これにより、液だまりなどにより基板表面付近の電界の状態が変化するのを回避して、実際の吐出動作と同様の状態で液体吐出検査を行うことが可能となる。 According to the fourteenth aspect of the present invention, by providing the cleaning means for wiping the droplets that have landed on the inspection substrate, the liquid is discharged onto a new surface of the inspection substrate on which no liquid is discharged. Is possible. Thereby, it is possible to avoid a change in the state of the electric field in the vicinity of the substrate surface due to a liquid pool or the like, and to perform a liquid discharge inspection in the same state as the actual discharge operation.
請求項１又は請求項８記載の発明によれば、検査用基材に着弾した液滴の影響で基板表面付近の電界の状態が変化するのを回避しつつ、液滴を撮像することが可能となる。 According to the first or eighth aspect of the invention, it is possible to image a droplet while avoiding a change in the state of the electric field in the vicinity of the substrate surface due to the influence of the droplet landed on the base material for inspection. It becomes.
請求項２又は請求項９記載の発明によれば、液体吐出検査の精度を高めることが可能となる。
According to invention of
請求項３又は請求項１０記載の発明によれば、実際の液体吐出時と同様の条件で液体吐出検査を行うことにより、液体吐出検査の精度を高め、各ノズルからの液体吐出量を正確に調整することが可能となる。
According to the invention of
請求項４又は請求項１１記載の発明によれば、液体吐出ヘッドから液体が電界集中吐出される液体吐出装置において、本発明の効果を特に顕著に得ることが可能となる。 According to the fourth or eleventh aspect of the present invention, the effect of the present invention can be obtained particularly remarkably in the liquid discharge apparatus in which the liquid is concentrated and discharged from the liquid discharge head.
請求項５又は請求項１２記載の発明によれば、液体吐出検査の精度を高め、各ノズルからの液体吐出量を正確に調整することが可能となる。 According to the fifth or twelfth aspect of the present invention, it is possible to increase the accuracy of the liquid discharge inspection and accurately adjust the liquid discharge amount from each nozzle.
請求項６又は請求項１３記載の発明によれば、液体吐出検査時にノズルから吐出される液滴を照射し、撮像することが可能となる。 According to the sixth or thirteenth aspect of the present invention, it is possible to irradiate the liquid droplets ejected from the nozzles during the liquid ejection inspection and take an image.
請求項７又は請求項１４記載の発明によれば、実際の吐出動作と同様の状態で液体吐出検査を行うことが可能となる。 According to the seventh or fourteenth aspect of the invention, the liquid discharge inspection can be performed in the same state as the actual discharge operation.
［第１の実施形態］
以下、本発明の第１の実施形態について、図１〜図３を参照して説明する。
[First Embodiment]
Hereinafter, a first embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS.
本実施形態の液体吐出装置１は、液体の吐出により所望の描画を行う装置であり、インクなどの帯電可能な液体の液滴を吐出するライン方式の液体吐出ヘッド２を備えている。
The liquid ejection apparatus 1 according to this embodiment is an apparatus that performs desired drawing by ejecting a liquid, and includes a line-type
液体吐出ヘッド２は、図１に示すように、ヘッド駆動機構１６（図２参照）により、描画用基材Ｋに対向する位置と検査用基材Ｌに対向する位置との間で、描画用基材Ｋの搬送方向と直交する方向に往復移動することが可能となっている。
As shown in FIG. 1, the
また、検査用基材Ｌは、描画用基材Ｋと同様の素材により構成され、描画用基材Ｋと同様の厚さ寸法を有している。本実施形態では、描画用基材Ｋ及び検査用基材Ｌは樹脂材料によって構成されている。 The inspection base material L is made of the same material as the drawing base material K and has the same thickness as the drawing base material K. In the present embodiment, the drawing substrate K and the inspection substrate L are made of a resin material.
図２は、液体吐出検査時における液体吐出装置１の全体構成を示す断面模式図である。 FIG. 2 is a schematic cross-sectional view illustrating the overall configuration of the liquid ejection apparatus 1 during a liquid ejection inspection.
図２に示すように、液体吐出装置１は、インクなどの帯電可能な液体の液滴を吐出するライン方式の液体吐出ヘッド２と、液体吐出検査時に液滴の着弾を受ける検査用基材Ｌを支持する対向電極３と、液体吐出ヘッド２から吐出された液滴を検査して吐出量を調整する液滴検査装置４とを備えて構成されている。
As shown in FIG. 2, the liquid ejection apparatus 1 includes a line-type
液体吐出ヘッド２には、図１に示すように、ノズルプレート５及びボディ層６が層状となるように設けられている。
As shown in FIG. 1, the
ノズルプレート５は石英ガラスによって構成されており、対向電極３に対向する側に位置している。なお、ノズルプレート５に使用する材料は石英ガラスに限らず、体積抵抗率が１０１５Ωｍ以上である高抵抗の樹脂材料などを用いてもよい。例えば、ポリイミド（PI）、ポリエチレンテレフタラート（PET）、ポリエチレンナフタレート（PEN）、ポリテトラフルオロエチレン（PTFE）、ポリプロピレン（PP）などを用いてもよい。
The
また、ノズルプレート５には、複数のノズル７が穿孔されることによりライン状に形成されている。ノズル７は、ノズルプレート５の対向電極３に対向する面から突出せず、或いは３０μｍ程度しか突出しないように形成されており、液体吐出ヘッド２はフラットな吐出面を有するヘッドとして構成されている。
Further, the
ボディ層６はシリコンプレートによって構成されている。また、ボディ層６の各ノズル７に対応する位置には、キャビティ８が各々形成されており、ノズル７から吐出される液体を一時貯蔵するようになっている。
The body layer 6 is constituted by a silicon plate. Also,
また、ボディ層６の上面には、可撓性を有する金属薄板やシリコンなどからなる図示しない可撓層が設けられており、この可撓層によって液体吐出ヘッド２が外界と画されている。なお、ボディ層６と図示しない可撓層との境界には、キャビティ８に液体を供給するための図示しない流路が形成されている。
Further, a flexible layer (not shown) made of a flexible metal thin plate, silicon, or the like is provided on the upper surface of the body layer 6, and the
また、各キャビティ８には、静電吸引力を生じさせる静電電圧を印加する静電電圧印加手段としての静電電圧電源９が電気的に接続されている。これにより、静電電圧電源９から各キャビティ８に静電電圧が印加されると、ノズル７及びキャビティ８の内部の液体が同時に帯電され、液体吐出ヘッド２と対向電極３との間、特に液体と検査用基材Ｌとの間に静電吸引力が発生するようになっている。
Each
また、図示しない可撓層の上面であってキャビティ８に対応する位置には、圧力発生手段として、圧電素子アクチュエータであるピエゾ素子１０が設けられている。なお、圧力発生手段は、本実施形態のような圧電素子アクチュエータのほか、静電アクチュエータやサーマル方式などを採用することも可能である。
A piezoelectric element 10 that is a piezoelectric element actuator is provided as a pressure generating means at a position corresponding to the
また、各ピエゾ素子１０には、ピエゾ素子１０に駆動電圧を印加してピエゾ素子１０を変形させるための駆動電圧電源１１が各々接続されている。
Further, each piezoelectric element 10 is connected to a driving
また、静電電圧電源９及び駆動電圧電源１１には、制御手段１２が電気的に接続されている。
A control means 12 is electrically connected to the electrostatic voltage power supply 9 and the drive
対向電極３は、図３に示すように、検査用基材Ｌと一体となって検査用基材Ｌを支持している。また、検査用基材Ｌ及び対向電極３は、４つの搬送ローラ１３ａ〜１３ｄの回転に伴って回転駆動されることにより、検査用基材Ｌが液体吐出ヘッド２に対して相対的に移動するエンドレスベルト状となっている。これにより、検査用基材Ｌのうち液体が吐出されていない新しい面に液体を順次吐出させ、液だまりなどにより基板表面付近の電界の状態が変化するのを回避できるようになっている。また、対向電極３は接地されており、常時接地電位に維持されている。
As shown in FIG. 3, the
また、対向電極３は、検査用基材Ｌ及び液体吐出ヘッド２の距離（ギャップ）が、描画用基材Ｋ及び液体吐出ヘッド２の距離とほぼ等しくなるように設置されている。これにより、実際の液体吐出時と同様の条件で液体吐出検査を行うことが可能となっている。
The
また、搬送ローラ１３ａ〜１３ｄの下方には、検査用基材Ｌの搬送に伴い、検査用基材Ｌのうち液滴の着弾を受ける面を掃拭する洗浄手段としての洗浄ローラ１４が設けられている。また、洗浄ローラ１４の近傍には、洗浄ローラ１４の回転に伴い洗浄ローラ１４に洗浄液を含ませる洗浄器１５が設けられている。これにより、検査用基材Ｌが一周搬送されるごとに、検査用基材Ｌのうち液滴の着弾を受ける面が洗浄液を含んだ洗浄ローラ１４で掃拭され、液滴が除去されることから、常に検査用基材Ｌのうち液体が吐出されていない新しい面に液体を吐出させることが可能となる。
A cleaning
なお、検査用基材Ｌを掃拭する洗浄手段としては、ドクターブレード、不織布、エアーノズルなどを使用してもよい。 Note that a doctor blade, a non-woven fabric, an air nozzle, or the like may be used as a cleaning means for wiping the inspection substrate L.
液滴検査装置４は、ヘッド駆動機構１６、基材移動制御手段１７、撮像手段１８、照射手段１９、同期タイミング信号生成手段２０、画像解析手段２１及び調整手段２２を備えて構成されている。
The droplet inspection apparatus 4 includes a
このうち撮像手段１８は、ＣＣＤカメラなどにより構成されている。また、図２に示すように、撮像手段１８は液体吐出ヘッド２と検査用基材Ｌとの間に配置され、ノズル７から吐出された液滴を撮像するようになっている。
Among these, the imaging means 18 is constituted by a CCD camera or the like. As shown in FIG. 2, the imaging means 18 is arranged between the
また、照射手段１９は、瞬発的に光を照射するものであることが好ましく、本実施形態ではストロボにより構成されている。また、図２に示すように、照射手段１９は照射光の光路上に撮像手段１８が位置するように設置され、撮像手段１８による撮像時に液滴を照射するようになっている。 Moreover, it is preferable that the irradiation means 19 is what irradiates light instantaneously, and is comprised by the strobe in this embodiment. As shown in FIG. 2, the irradiating means 19 is installed so that the imaging means 18 is positioned on the optical path of the irradiating light, and irradiates the droplets when the imaging means 18 takes an image.
なお、撮像手段１８及び照射手段１９共に特に制限はないが、画像解析処理の負担の観点から、同期タイミング信号に合わせて瞬発的に液滴を撮像できるものであることが好ましい。
Although there is no particular limitation on both the
次に、本実施形態の液体吐出装置１の制御構成について説明する。 Next, a control configuration of the liquid ejection apparatus 1 according to the present embodiment will be described.
本実施形態の液体吐出ヘッド２は、ノズル７から液滴を電界集中吐出させるようになっている。ここで、「電界集中吐出」とは、液滴が形成されない程度のメニスカスに強い集中電界強度による静電力を作用させ、メニスカスを引きちぎって液滴化し飛翔させる方式をいう。
The
なお、本発明が適用される液体吐出装置１の液体吐出方式は、静電力を利用して液体を吐出させる方式であればよく、電界集中吐出に限られるものではない。例えば、液体に圧力を発生させることにより液体を一部分離して液滴を形成し、その液滴に静電力を作用させて飛翔させる静電アシスト吐出などであってもよい。 Note that the liquid ejection method of the liquid ejection device 1 to which the present invention is applied is not limited to electric field concentration ejection as long as it is a system that ejects liquid using electrostatic force. For example, electrostatic assist discharge may be used in which a liquid is partly separated by generating pressure to form liquid droplets, and electrostatic force is applied to the liquid droplets to fly.
静電電圧電源９は、液体の吐出時にキャビティ８に静電電圧を印加して、キャビティ８及びノズル７の内部の液体を帯電させ、液体と検査用基材Ｌとの間に静電吸引力を発生させるようになっている。これにより、静電電圧電源９は、ノズル７の吐出口に形成されたメニスカスを液体から分離して液滴とし、更に、静電力により液滴を加速させて検査用基材Ｌに着弾させるようになっている。
The electrostatic voltage power source 9 applies an electrostatic voltage to the
また、駆動電圧電源１１は、駆動パルス生成タイミング信号に従って、液体の吐出時にピエゾ素子１０に駆動電圧を印加することにより、ピエゾ素子１０を変形させてノズル７に連通するキャビティ８の内部の液体に圧力を発生させ、ノズル７の吐出口にメニスカスを形成するようになっている。
Further, the drive
また、制御手段１２は、図示しないＣＰＵ、ＲＯＭ及びＲＡＭを備えて構成され、ＣＰＵがＲＯＭに格納されたプログラムを実行することにより、静電電圧電源９及び駆動電圧電源１１を駆動させて、液体の吐出を制御するようになっている。
The
対向電極３は、常時接地電位に維持されており、静電電圧電源９から各キャビティ８に静電電圧が印加されると、各キャビティ８の内部の液体と対向電極３に支持された検査用基材Ｌとの間に電界を生じさせるようになっている。
The
液滴検査装置４は、検査用基材Ｌに吐出される液滴を撮像して画像解析し、その画像解析結果に基づいて液滴の吐出量のばらつきを調整するようになっている。 The droplet inspection apparatus 4 captures and analyzes an image of a droplet discharged to the inspection substrate L, and adjusts variation in the droplet discharge amount based on the image analysis result.
このうちヘッド駆動機構１６は、液滴吐出検査時に、液体吐出ヘッド２を描画用基材Ｋに対向する位置から検査用基材Ｌに対向する位置に移動させるようになっている。
Among these, the
また、基材移動制御手段１７は、搬送ローラ１３ａ〜１３ｄの回転を制御することにより、対向電極３に支持された検査用基材Ｌを液体吐出ヘッド２に対して相対的に移動させるようになっている。
Further, the base material movement control means 17 controls the rotation of the
また、撮像手段１８は、撮像タイミング信号に従ってノズル７から吐出された液滴を撮像し、画像データを画像解析手段２１に出力するようになっている。
Further, the imaging means 18 images the droplets ejected from the
また、照射手段１９は、照射タイミング信号に従い、撮像手段１８による撮像時に液滴を照射するようになっている。 Further, the irradiating means 19 irradiates the liquid droplets during imaging by the imaging means 18 in accordance with the irradiation timing signal.
また、同期タイミング信号生成手段２０は、静電電圧を印加しない状態で、駆動パルス生成タイミング信号、撮像タイミング信号及び照射タイミング信号を一定時間間隔でかつ相互に同期させて、駆動電圧電源１１、撮像手段１８及び照射手段１９に出力するようになっている。
In addition, the synchronization timing signal generation means 20 synchronizes the drive pulse generation timing signal, the imaging timing signal, and the irradiation timing signal with each other at a constant time interval without applying an electrostatic voltage. It outputs to the
また、画像解析手段２１は、撮像手段１８から入力された画像データの解析により、ノズル７から吐出された液滴径を検出するようになっている。
Further, the image analysis means 21 detects the diameter of the droplet ejected from the
また、調整手段２２は、画像解析手段２１の画像解析結果に基づき、駆動電圧電源１１からピエゾ素子１０に印加される駆動電圧値を調整するようになっている。すなわち、調整手段２２は、吐出された液滴径が所定の基準値より小さいノズル７についてはピエゾ素子１０に印加する駆動電圧を高く、吐出された液滴径が所定の基準値より大きいノズル７についてはピエゾ素子１０に印加する駆動電圧値を低くするように調整することにより、各ノズル７から吐出される液滴量を均一とするようになっている。なお、この際、液滴径に対応する駆動電圧値を予め測定により求めて設定しておいてもよい。
The adjusting means 22 adjusts the drive voltage value applied from the drive
次に、液体吐出装置１を使用した本発明の液体吐出方法について説明する。 Next, the liquid discharge method of the present invention using the liquid discharge apparatus 1 will be described.
液滴吐出検査が開始されると、ヘッド駆動機構１６の駆動により、液体吐出ヘッド２は描画用基材Ｋに対向する位置から検査用基材Ｌに対向する位置に移動する。
When the droplet discharge inspection is started, the
次に、制御手段１２は、静電電圧電源９の制御により静電電圧を印加して、液体と検査用基材Ｌとの間に静電吸引力を発生させる。また、駆動電圧電源１１の制御により、駆動パルス生成タイミング信号に従ってピエゾ素子１０を駆動し、ノズル７の吐出口にメニスカスを形成させる。これにより、電界の静電力によりメニスカスが引きちぎられて液滴となる。更に、液滴は静電力により加速され、対向電極３に支持された検査用基材Ｌに引き寄せられて着弾する。
Next, the control means 12 applies an electrostatic voltage under the control of the electrostatic voltage power source 9 to generate an electrostatic attractive force between the liquid and the inspection substrate L. Further, under the control of the drive
この際、検査用基材Ｌは対向電極３と一体として、４つの搬送ローラ１３ａ〜１３ｄの回転に伴って回転駆動されることから、検査用基材Ｌのうち液体が吐出されていない新しい面に液体が順次吐出され、液だまりなどによって基板表面付近の電界の状態が変化することが回避される。
At this time, since the inspection base L is integrally driven with the
また、検査用基材Ｌが一周搬送されるごとに検査用基材Ｌに着弾した液滴が洗浄ローラ１４で除去され、洗浄ローラ１４は回転に伴い洗浄器１５で洗浄されることから、常に検査用基材Ｌのうち液体が吐出されていない新しい面に液体が吐出される。
In addition, every time the inspection base material L is transported once, the droplets that have landed on the inspection base material L are removed by the cleaning
一方、撮像手段１８は、撮像タイミング信号に従ってノズル７から吐出された液滴を撮像し、画像データを画像解析手段２１に出力する。また、照射手段１９は、照射タイミング信号に従って、撮像手段１８による撮像時に液滴を照射する。
On the other hand, the
次に、画像解析手段２１は、撮像手段１８から入力された画像データの解析により、ノズル７から吐出された液滴径を検出する。
Next, the
続いて、調整手段２２は、画像解析手段２１の画像解析結果に基づき、駆動電圧電源１１からピエゾ素子１０に印加される駆動電圧値を調整する。すなわち、調整手段２２は、吐出された液滴径が所定の基準値より小さいノズル７についてはピエゾ素子１０に印加する駆動電圧が高く、吐出された液滴径が所定の基準値より大きいノズル７についてはピエゾ素子１０に印加する駆動電圧値が低くなるように調整することにより、各ノズル７から吐出される液滴量を均一とする。
Subsequently, the
このように本実施形態に係る液体吐出装置１及び液体吐出方法によれば、描画用基材Ｋと別に検査用基材Ｌを設け、検査用基材Ｌを液体吐出ヘッド２に対して相対的に移動させながら液体を吐出させることにより、液体吐出検査時に検査用基材Ｌのうち液体が吐出されていない新しい面に液体を順次吐出させることが可能となる。これにより、検査用基材Ｌに着弾した液滴の影響で検査用基材Ｌの表面付近における電界の状態が変化するのを回避しつつ、液滴を撮像することが可能となる。
Thus, according to the liquid ejection apparatus 1 and the liquid ejection method according to the present embodiment, the inspection base material L is provided separately from the drawing base material K, and the inspection base material L is relative to the
また、基板表面付近の電界の状態が変化するのを回避しつつ撮影した画像データに基づいて液滴の径を検出し、液体吐出量を調整することにより、液体吐出検査の精度を高めることが可能となる。 In addition, the accuracy of the liquid discharge inspection can be improved by detecting the diameter of the droplet based on the image data taken while avoiding the change in the state of the electric field near the substrate surface and adjusting the liquid discharge amount. It becomes possible.
また、検査用基材Ｌを描画用基材Ｋと同様の材質及び厚さ寸法により構成し、液体吐出ヘッド２との距離が描画用基材Ｋと同様となるように配置することにより、実際の液体吐出時と同様の条件で液体吐出検査を行うことが可能となる。
Further, the inspection substrate L is made of the same material and thickness as the drawing substrate K, and is arranged so that the distance from the
また、液体吐出ヘッド２から液体が電界集中吐出される液体吐出装置１では、検査用基材Ｌの状態が電界の変化に特に大きな影響を及ぼすが、検査用基材Ｌのうち液体が吐出されていない新しい面に液体を順次吐出させることにより、検査用基材Ｌの表面付近における電界の状態の変化が回避されるという作用を特に顕著に得ることができる。
Further, in the liquid ejection apparatus 1 in which the liquid is concentrated and ejected from the
また、撮像時に液滴を照射することにより、液体吐出検査の精度を高めることが可能となる。 In addition, by irradiating the droplet during imaging, it is possible to improve the accuracy of the liquid discharge inspection.
また、液体吐出検査時にノズルから吐出される液滴を照射して撮像することが可能となる。 Further, it is possible to take an image by irradiating a droplet ejected from a nozzle during a liquid ejection inspection.
また、検査用基材Ｌに着弾した液滴を掃拭する洗浄手段としての洗浄ローラ１４及び洗浄器１５を設けることにより、検査用基材Ｌのうち液体が吐出されていない新しい面に液体を吐出させることが可能となる。これにより、液だまりなどにより検査用基材Ｌの表面付近における電界の状態が変化するのを回避して、実際の吐出動作と同様の状態で液体吐出検査を行うことが可能となる。
Further, by providing a cleaning
［第２の実施形態］
次に、本発明の第２の実施形態について、図４を参照して説明する。なお、上記実施の形態と同様の構成要素には同一の符号を付し、その説明を省略する。
[Second Embodiment]
Next, a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. In addition, the same code | symbol is attached | subjected to the component similar to the said embodiment, and the description is abbreviate | omitted.
本実施形態の検査用基材Ｌ及び対向電極３は円板状に形成されており、層状に重ねられることにより一体とされている。また、図４に示すように、液体吐出ヘッド２は、ヘッド駆動機構１６により、描画用基材Ｋに対向する位置と円板状の検査用基材Ｌに対向する位置との間で、検査用基板Ｌの半径方向に往復移動することが可能となっている。
The base material for inspection L and the
また、円板状の検査用基材Ｌ及び対向電極３は、液体吐出検査時に、基材移動制御手段１７が図示しない回転機構を駆動制御することにより回転し、検査用基材Ｌが液体吐出ヘッド２に対して相対的に水平移動するようになっている。これにより、液体吐出検査時に検査用基材Ｌのうち液体が吐出されていない新しい面に液体を順次吐出させ、液だまりなどによって基板表面付近の電界の状態が変化するのを回避するようになっている。
Further, the disk-shaped inspection substrate L and the
また、検査用基材Ｌの表面近傍には、検査用基材Ｌの回転に伴い、検査用基材Ｌのうち液滴の着弾を受ける面を掃拭する洗浄手段としてのブレード２３が設けられている。これにより、検査用基材Ｌが回転する際に検査用基材Ｌに着弾した液滴がブレード２３で除去されることから、常に検査用基材Ｌのうち液体が吐出されていない新しい面に液体を吐出させることが可能となる。
In addition, a
また、円板状の検査用基材Ｌ及び対向電極３の中心には、照射手段１９が設置されており、照射手段１９の照射光の光路上には撮像手段１８が設置されている。
An
液体吐出装置１の制御構成は上記実施形態と同様である。 The control configuration of the liquid ejection apparatus 1 is the same as that in the above embodiment.
次に、液体吐出装置１を使用した本発明の液体吐出方法のうち、上記実施形態と相違する部分について説明する。 Next, portions of the liquid ejection method of the present invention using the liquid ejection apparatus 1 that are different from the above embodiment will be described.
液滴吐出検査が開始されると、ヘッド駆動機構１６の駆動により、液体吐出ヘッド２は描画用基材Ｋに対向する位置から円板状の検査用基材Ｌに対向する位置に移動する。
When the droplet discharge inspection is started, the
次に、液体吐出ヘッド２は、ノズル７から検査用基材Ｌに液滴を電界集中吐出する。この際、検査用基材Ｌは図示しない回転機構により回転駆動されることから、検査用基材Ｌのうち液体が吐出されていない新しい面に液体が順次吐出される。また、検査用基材Ｌの回転に伴い、検査用基材Ｌに着弾した液滴はブレード２３で除去される。
Next, the
このように本実施形態に係る液体吐出装置１及び液体吐出方法によれば、検査用基材Ｌの回転に伴い、検査用基材Ｌのうち液体が吐出されていない新しい面に液体を順次吐出させて、検査用基材Ｌに着弾した液滴の影響で検査用基材Ｌの表面付近における電界の状態が変化するのを回避することが可能となる。 As described above, according to the liquid ejection apparatus 1 and the liquid ejection method according to the present embodiment, the liquid is sequentially ejected onto a new surface of the inspection base material L on which the liquid is not ejected as the inspection base material L rotates. Thus, it is possible to avoid a change in the state of the electric field in the vicinity of the surface of the inspection substrate L due to the influence of the droplets that have landed on the inspection substrate L.
また、検査用基材Ｌに着弾した液滴をブレード２３で除去することにより、液だまりなどにより検査用基材Ｌの表面付近における電界の状態が変化するのを回避して、実際の吐出動作と同様の状態で液体吐出検査を行うことが可能となる。
Further, by removing the droplets that have landed on the inspection substrate L with the
［第３の実施形態］
次に、本発明の第３の実施形態について、図５を参照して説明する。なお、上記実施の形態と同様の構成要素には同一の符号を付し、その説明を省略する。
[Third Embodiment]
Next, a third embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. In addition, the same code | symbol is attached | subjected to the component similar to the said embodiment, and the description is abbreviate | omitted.
本実施形態の検査用基材Ｌ及び対向電極３は平板状に形成されており、層状に重ねられることにより一体とされている。また、図５に示すように、液体吐出ヘッド２は、ヘッド駆動機構１６により、描画用基材Ｋに対向する位置と平板状の検査用基材Ｌに対向する位置との間で往復移動することが可能となっている。
The inspection substrate L and the
また、図５に矢印で示すように、液体吐出検査時に、基材移動制御手段１７が図示しない駆動機構を駆動制御することにより、検査用基材Ｌは検査時に液体を吐出する液体吐出ヘッド２に対してジグザグな方向に水平移動するようになっている。これにより、液体吐出検査時に検査用基材Ｌのうち液体が吐出されていない新しい面に液体を順次吐出させ、液だまりなどによって基板表面付近の電界の状態が変化するのを回避するようになっている。 Further, as indicated by arrows in FIG. 5, the substrate movement control means 17 drives and controls a drive mechanism (not shown) during the liquid discharge inspection, so that the inspection substrate L discharges the liquid during the inspection. It moves horizontally in a zigzag direction. As a result, the liquid is sequentially discharged onto a new surface of the inspection base material L where no liquid is discharged during the liquid discharge inspection, and the state of the electric field in the vicinity of the substrate surface due to the liquid pool is avoided. ing.
また、検査用基材Ｌを支持する対向電極３は、液体吐出検査終了時に、図示しない駆動機構の駆動により、直線状に水平移動して元の位置に戻るようになっている。
Further, the
また、検査用基材Ｌの近傍には、検査用基材Ｌが直線状に水平移動する際に、検査用基材Ｌのうち液滴の着弾を受ける面を掃拭する洗浄手段としての不織布２４が設けられている。これにより、液体吐出検査終了時に検査用基材Ｌに着弾した液滴を掃拭して、次回の液体吐出検査時に検査用基材Ｌのうち液体が吐出されていない新しい面に液体を吐出させることが可能となる。 Further, in the vicinity of the inspection substrate L, when the inspection substrate L moves horizontally in a straight line, the nonwoven fabric as a cleaning means for wiping the surface of the inspection substrate L that receives the landing of droplets. 24 is provided. As a result, the liquid droplets that have landed on the inspection substrate L at the end of the liquid discharge inspection are wiped off, and the liquid is discharged onto a new surface of the inspection substrate L where no liquid is discharged at the next liquid discharge inspection. It becomes possible.
また、平板状の検査用基材Ｌ及び対向電極３の側方には、照射手段１９が設置されており、照射手段１９の照射光の光路上には撮像手段１８が設置されている。
Further, an
液体吐出装置１の制御構成は上記実施形態と同様である。 The control configuration of the liquid ejection apparatus 1 is the same as that in the above embodiment.
次に、液体吐出装置１を使用した本発明の液体吐出方法のうち、上記実施形態と相違する部分について説明する。 Next, portions of the liquid ejection method of the present invention using the liquid ejection apparatus 1 that are different from the above embodiment will be described.
液滴吐出検査が開始されると、ヘッド駆動機構１６の駆動により、液体吐出ヘッド２は描画用基材Ｋに対向する位置から平板状の検査用基材Ｌに対向する位置に移動する。
When the droplet discharge inspection is started, the
次に、液体吐出ヘッド２は、ノズル７から検査用基材Ｌに液滴を電界集中吐出する。この際、検査用基材Ｌは、図示しない駆動機構の駆動により、液体吐出ヘッド２に対してジグザグな方向に水平移動する。これにより、検査用基材Ｌのうち液体が吐出されていない新しい面に液体が順次吐出される。また、液体吐出検査終了時は、検査用基材Ｌ及び対向電極３が元の位置に戻る際に、検査用基材Ｌに着弾した液滴が不織布２４で除去される。
Next, the
このように本実施形態に係る液体吐出装置１及び液体吐出方法によれば、検査用基材Ｌの水平移動に伴い、検査用基材Ｌのうち液体が吐出されていない新しい面に液体を順次吐出させて、検査用基材Ｌに着弾した液滴の影響で検査用基材Ｌの表面付近における電界の状態が変化するのを回避することが可能となる。 As described above, according to the liquid ejection apparatus 1 and the liquid ejection method according to the present embodiment, the liquid is sequentially applied to the new surface of the inspection base material L on which the liquid is not ejected as the inspection base material L moves horizontally. It is possible to avoid a change in the state of the electric field in the vicinity of the surface of the inspection substrate L due to the influence of the liquid droplets discharged and landed on the inspection substrate L.
また、検査用基材Ｌに着弾した液滴を不織布２４で除去することにより、液だまりなどにより検査用基材Ｌの表面付近における電界の状態が変化するのを回避して、実際の吐出動作と同様の状態で液体吐出検査を行うことが可能となる。
Further, by removing the droplets that have landed on the inspection substrate L with the
以上詳細に説明したように、本発明の液体吐出装置及び液体吐出方法によれば、静電吸引力を利用して液体を吐出する液体吐出装置において、液体の吐出検査の精度を高めることが可能となる。 As described above in detail, according to the liquid ejection apparatus and the liquid ejection method of the present invention, it is possible to improve the accuracy of the liquid ejection inspection in the liquid ejection apparatus that ejects liquid using electrostatic attraction force. It becomes.
１ 液体吐出装置
２ 液体吐出ヘッド
３ 対向電極
４ 液滴検査装置
５ ノズルプレート
６ ボディ層
７ ノズル
８ キャビティ
９ 静電電圧電源
１０ ピエゾ素子
１１ 駆動電圧電源
１２ 制御手段
１３ａ〜１３ｄ 搬送ローラ
１４ 洗浄ローラ
１５ 洗浄器
１６ ヘッド駆動機構
１７ 基材移動制御手段
１８ 撮像手段
１９ 照射手段
２０ 同期タイミング信号生成手段
２１ 画像解析手段
２２ 調整手段
２３ ブレード
２４ 不織布
Ｋ 描画用基材
Ｌ 検査用基材
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1
Claims (14)
前記ノズルから液体の吐出を受ける描画用基材と、
液体吐出検査時において前記ノズルから液体の吐出を受ける検査用基材と、
前記検査用基材を支持する対向電極と、
前記検査用基材に液体が吐出される際に前記検査用基材を前記液体吐出ヘッドに対し相対的に移動させる基材移動制御手段と、
前記ノズルから前記検査用基材に向けて吐出された液体の液滴を撮像して画像データを取得する撮像手段と、
を備えることを特徴とする液体吐出装置。 A liquid discharge head having a plurality of nozzles and discharging liquid from the nozzles using electrostatic force;
A drawing base material for receiving liquid discharge from the nozzle;
A base material for inspection that receives liquid discharge from the nozzle at the time of liquid discharge inspection;
A counter electrode that supports the substrate for inspection;
A substrate movement control means for moving the inspection substrate relative to the liquid ejection head when liquid is discharged onto the inspection substrate;
Imaging means for capturing image data by imaging a liquid droplet ejected from the nozzle toward the inspection substrate;
A liquid ejection apparatus comprising:
前記画像解析手段の解析結果に基づき、前記液滴の径のばらつきを抑制するように前記ノズルの各々からの液体吐出量を調整する調整手段と、
を備えることを特徴とする請求項１記載の液体吐出装置。 Image analysis means for detecting a diameter of the droplet by analysis of the image data acquired by the imaging means;
Adjusting means for adjusting the liquid discharge amount from each of the nozzles so as to suppress variation in the diameter of the droplets based on the analysis result of the image analysis means;
The liquid ejection apparatus according to claim 1, further comprising:
前記検査用基材を前記液体吐出ヘッドに対し相対的に移動させながら前記検査用基材に液体を吐出させる液体吐出工程と、
前記ノズルから前記検査用基材に向けて吐出された液体の液滴を撮像して画像データを取得する撮像工程と、
を有することを特徴とする液体吐出方法。 A liquid discharge head that has a plurality of nozzles and discharges liquid from the nozzles using electrostatic force, a drawing base that receives liquid discharge from the nozzles, and discharges liquid from the nozzles during liquid discharge inspection Using the base material for inspection to receive and the counter electrode that supports the base material for inspection,
A liquid ejection step for ejecting liquid onto the inspection substrate while moving the inspection substrate relative to the liquid ejection head;
An imaging step of acquiring image data by imaging a liquid droplet ejected from the nozzle toward the inspection substrate;
A liquid discharge method comprising:
前記画像解析工程における解析結果に基づき、前記液滴の径のばらつきを抑制するように前記ノズルの各々からの液体吐出量を調整する調整工程と、
を有することを特徴とする請求項８記載の液体吐出方法。 An image analysis step of detecting a diameter of the droplet by analysis of the image data acquired in the imaging step;
An adjustment step of adjusting the liquid discharge amount from each of the nozzles so as to suppress variations in the diameter of the droplets based on the analysis result in the image analysis step;
The liquid discharge method according to claim 8, comprising:
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Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102267289A (en) * | 2010-05-12 | 2011-12-07 | 松下电器产业株式会社 | Ink-jet device |
-
2006
- 2006-04-11 JP JP2006108642A patent/JP2007276390A/en active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102267289A (en) * | 2010-05-12 | 2011-12-07 | 松下电器产业株式会社 | Ink-jet device |
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