JP2007275763A - ミスト除去装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】薬液を使用する各種の装置に付設されて該装置からの排ガスG中に含まれる薬液ミストを除去するためのミスト除去装置10であって、除去対象のミストを捕集するためのフィルタ11としてポリオレフィン繊維からなる不織布を用いる。フィルタを鉛直面に沿うように立てた姿勢で配置し、左右方向に沿う繊維の密度を上下方向に沿う繊維の密度よりも相対的に低くして、再液化した薬液成分が左右方向の繊維に阻害されることなく上下方向の繊維に沿って自然滴下するような滴下経路を確保する。フィルタの表面に洗浄水を散布する散水機構13を具備することが好ましく、その散水機構としては下部周面に多数の散水孔を所定間隔で形成した散水管を用いれば良い。
【選択図】図2
Description
そのため、従来一般の液晶工場では、たとえば図5に示すように、各生産装置1から発生する排ガスGをダクト2を通して排気ファン3によって排気するための排ガス処理設備に大規模な水スクラバー4を設置しておき、その水スクラバー4によって排ガスGを洗浄処理してミストを吸収し回収してから排ガスGを大気中に放出するとともに、水スクラバー4においてミストを洗浄した洗浄水は水処理施設5において処理したうえで循環再使用することが通常である。
また、各生産装置1から水スクラバー4に至るダクト2の経路の総延長が長くなることから、ダクト2中においてミストが再液化してしまうことがあり、そのため、ダクト2の要所には液抜きのためのドレン管を設けたり、ダクト2全体を液密構造としておく必要もあり、そのことが排ガス処理設備全体のコスト増の一因ともなっている。
さらに、その場合には、散水機構として下部周面に多数の散水孔が所定間隔で形成された散水管を用い、該散水管を排ガスの流通方向上流側に面しているフィルタの上部近傍位置に水平に配置すると良い。
特に、フィルタを鉛直面に沿って立てた姿勢で設置するとともに、フィルタとしての不織布の繊維密度に方向性を持たせて再液化した薬液成分が自ずとフィルタに沿って滴下するように構成することにより、薬液成分がフィルタ内に滞留したり下流側へ飛散することを有効に防止でき、除去効率を充分に高めることができる。
また、フィルタに対して洗浄水を散布する散水機構を具備することにより、ミストのみならずガス状物質を吸収でき、かつ再液化あるいは再結晶化した薬液成分を洗浄水により洗い流すことができるので、薬液成分全体に対する除去効率をより一層向上させることができる。
さらに、散水機構として散水孔を所定間隔で形成した散水管を用いることにより、極めて簡単な構成で優れた洗浄効果が得られる。
本実施形態におけるフィルタ11は、ケーシング12内の両側部において水平横方向に向かう排ガス流に対して直交するように鉛直面に沿うように立てられた姿勢で配置されており、それらフィルタ11により排ガス中のミストが効率的に捕集されるとともに、捕集したミストがフィルタ11の表面や内部において再液化した場合には、再液化した薬液成分はフィルタ11の表面や内部に留まることなくフィルタ11に沿って自ずと上から下へと自然滴下するものとなっている。
そのフィルタ11としての不織布は、捕集したミストから再液化した薬液成分がフィルタに沿って自ずと滴下し易いものとなるように、たとえば図3に示すようにポリオレフィン繊維を主に上下方向に沿うように揃えることによって、左右方向に沿う繊維の密度が上下方向に沿う繊維の密度に比べて相対的に低くなるような繊維密度の方向性を有するものとされている。これにより、再液化した薬液成分の滴下は左右方向の繊維に阻害されることなく自ずと上下方向の繊維に沿って速やかにかつスムーズに滴下することになり、したがって薬液成分がフィルタ11内に滞留したり、その液滴が排ガス流によってフィルタ11を通過して下流側に飛散してしまうようなことを防止でき、優れた除去効率が得られるものである。
換言すると、繊維密度が各方向で完全に均一な不織布や、上記とは逆に左右方向の繊維の密度が上下方向の繊維の密度よりも高い不織布を用いる場合には、左右方向に沿う繊維によって薬液成分の滴下が阻害されてしまって明確な滴下経路が形成されることがなく、フィルタ11の表面や内部で再液化した薬液成分は自ずとそこに留まってしまい、やがては排ガス流によって少なからずフィルタ11を通過して下流側に飛散してしまうことになるので、充分な除去効率は望めるものではない。
勿論、上記のようにフィルタ11には再液化した薬液成分が滴下し易いように繊維密度の方向性が調整されていることから、散布された洗浄水Wも同様にフィルタ11に沿ってスムーズに流下することになり、洗浄水Wがフィルタ11内に滞留したり水滴が下流側に飛散することもない。
勿論、本発明のミスト除去装置は、液晶工場に限らず、各種の薬品を使用する各種の生産装置を対象として広く適用できることは当然である。
W 洗浄水
1 生産装置
2 ダクト
3 排気ファン
4 水スクラバー
5 水処理施設
10 ミスト除去装置
11 フィルタ(ポリオレフィン繊維からなる不織布)
12 ケーシング
13 散水機構(散水管)
14 流量計
15 洗浄水供給管
16 洗浄水回収管
17 個別水処理施設
Claims (4)
- 薬液を使用する各種の装置に付設されて該装置からの排ガス中に含まれる薬液ミストを除去するためのミスト除去装置であって、
除去対象のミストを捕集するためのフィルタを有し、該フィルタをポリオレフィン繊維からなる不織布により形成してなることを特徴とするミスト除去装置。 - 請求項1記載のミスト除去装置であって、
フィルタを排ガスの流通方向に対して直交しかつ鉛直面に沿うように立てた姿勢で配置することにより、該フィルタにより捕集したミストが該フィルタの表面あるいは内部において再液化して該フィルタに沿って自然滴下可能とし、
かつ、フィルタとしての不織布は、左右方向に沿う繊維の密度が上下方向に沿う繊維の密度よりも相対的に低くされていることによって、再液化した薬液成分が左右方向の繊維に阻害されることなく上下方向の繊維に沿って自然滴下するような滴下経路を有していることを特徴とするミスト除去装置。 - 請求項2記載のミスト除去装置であって、
フィルタの表面に対して洗浄水を散布することによって、フィルタにより捕集したミストやそのガス状物質を吸収するとともに、ミストから再液化あるいは再結晶化した薬液成分を洗浄水により洗い流すための散水機構を具備してなることを特徴とするミスト除去装置。 - 請求項3記載のミスト除去装置であって、
散水機構は、下部周面に多数の散水孔が所定間隔で形成された散水管からなり、該散水管を排ガスの流通方向上流側に面しているフィルタの上部近傍位置に水平に配置してなることを特徴とするミスト除去装置。
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012525258A (ja) * | 2010-05-11 | 2012-10-22 | ヨンミン ジョン | 湿式空気浄化装置 |
CN112316672A (zh) * | 2020-11-05 | 2021-02-05 | 中盐昆山有限公司 | 一种滤过尾气洗涤塔 |
Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5185371A (ja) * | 1975-01-20 | 1976-07-26 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | |
JPS5811339A (ja) * | 1981-07-10 | 1983-01-22 | Hitachi Ltd | 換気扇 |
JPS58158000A (ja) * | 1982-03-15 | 1983-09-20 | Toshiba Corp | 電解研磨除染装置 |
JPH01236908A (ja) * | 1988-03-15 | 1989-09-21 | Asahi Chem Ind Co Ltd | ミストフィルター |
JPH04273119A (ja) * | 1991-02-27 | 1992-09-29 | Oki Electric Ind Co Ltd | フォトレジストの塗布装置 |
JPH05245321A (ja) * | 1992-03-06 | 1993-09-24 | Nippon Muki Co Ltd | ミストフィルタ並びにミスト捕集装置 |
JP2001038124A (ja) * | 1999-07-28 | 2001-02-13 | Tennex Corp | オイルミスト除去装置 |
JP2003305322A (ja) * | 2002-04-16 | 2003-10-28 | Shimizu Corp | ミスト除去フィルター |
JP2006504526A (ja) * | 2002-04-18 | 2006-02-09 | アルパー ハル | 空気および良性ガスから有害な非ガス状汚染物質をろ過する方法 |
-
2006
- 2006-04-06 JP JP2006105218A patent/JP4771148B2/ja active Active
Patent Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5185371A (ja) * | 1975-01-20 | 1976-07-26 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | |
JPS5811339A (ja) * | 1981-07-10 | 1983-01-22 | Hitachi Ltd | 換気扇 |
JPS58158000A (ja) * | 1982-03-15 | 1983-09-20 | Toshiba Corp | 電解研磨除染装置 |
JPH01236908A (ja) * | 1988-03-15 | 1989-09-21 | Asahi Chem Ind Co Ltd | ミストフィルター |
JPH04273119A (ja) * | 1991-02-27 | 1992-09-29 | Oki Electric Ind Co Ltd | フォトレジストの塗布装置 |
JPH05245321A (ja) * | 1992-03-06 | 1993-09-24 | Nippon Muki Co Ltd | ミストフィルタ並びにミスト捕集装置 |
JP2001038124A (ja) * | 1999-07-28 | 2001-02-13 | Tennex Corp | オイルミスト除去装置 |
JP2003305322A (ja) * | 2002-04-16 | 2003-10-28 | Shimizu Corp | ミスト除去フィルター |
JP2006504526A (ja) * | 2002-04-18 | 2006-02-09 | アルパー ハル | 空気および良性ガスから有害な非ガス状汚染物質をろ過する方法 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012525258A (ja) * | 2010-05-11 | 2012-10-22 | ヨンミン ジョン | 湿式空気浄化装置 |
CN112316672A (zh) * | 2020-11-05 | 2021-02-05 | 中盐昆山有限公司 | 一种滤过尾气洗涤塔 |
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