JP2007273803A - 薄膜デバイス - Google Patents
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Abstract
【解決手段】上部磁性膜13に巻き付けられたソレノイド型の薄膜コイル14において、下部磁性膜12および上部磁性膜13により挟まれている下部コイル部分14A(14A1〜14A5)の厚さTAが、下部磁性膜12および上部磁性膜13により挟まれていない上部コイル部分14B(14B1〜14B4)の厚さTBよりも小さい(厚さ比TB/TA>1)。下部コイル部分14Aの厚さTAが上部コイル部分14Bの厚さTB以上である場合(厚さ比TB/TA≦1)よりも、下部磁性膜12および上部磁性膜13の間において漏れ磁束Jの量が少なくなる。
【選択図】図2
Description
Claims (7)
- 互いに対向配置された第1の磁性膜および第2の磁性膜と、前記第2の磁性膜に巻き付けられた薄膜コイルとを備え、
前記薄膜コイルは、前記第1および第2の磁性膜の間に配列された複数の第1のコイル部分と、前記第2の磁性膜を挟んで前記第1のコイル部分と反対側に配列された複数の第2のコイル部分と、前記第1および第2のコイル部分を直列に接続する複数の第3のコイル部分とを含み、
前記薄膜コイルの巻回方向における少なくとも末端の前記第1のコイル部分の厚さは、前記第2のコイル部分の厚さよりも小さい
ことを特徴とする薄膜デバイス。 - 前記各第1のコイル部分の厚さは、前記第2のコイル部分の厚さよりも小さい
ことを特徴とする請求項1記載の薄膜デバイス。 - 前記各第1のコイル部分の厚さは、互いに等しい
ことを特徴とする請求項2記載の薄膜デバイス。 - 前記各第1のコイル部分の厚さは、末端以外でそれよりも大きい
ことを特徴とする請求項2記載の薄膜デバイス。 - 前記各第1のコイル部分の厚さは、末端から中央へ向かって次第に大きくなっている
ことを特徴とする請求項4記載の薄膜デバイス。 - 前記複数の第2のコイル部分は、前記複数の第1のコイル部分の一端または他端と重なるように配置されており、
前記第3のコイル部分は、前記第1および第2のコイル部分が互いに重なる位置に配置されている
ことを特徴とする請求項1ないし請求項5のいずれか1項に記載の薄膜デバイス。 - 前記薄膜コイルの巻回方向における少なくとも末端の前記第1のコイル部分の厚さTAに対する前記第2のコイル部分の厚さTBの比TB/TAは、1<TB/TA≦2.7の範囲である
ことを特徴とする請求項1ないし請求項6のいずれか1項に記載の薄膜デバイス。
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