JP2007263902A - Xyステージ - Google Patents
Xyステージ Download PDFInfo
- Publication number
- JP2007263902A JP2007263902A JP2006092627A JP2006092627A JP2007263902A JP 2007263902 A JP2007263902 A JP 2007263902A JP 2006092627 A JP2006092627 A JP 2006092627A JP 2006092627 A JP2006092627 A JP 2006092627A JP 2007263902 A JP2007263902 A JP 2007263902A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- laser interferometers
- distance
- interferometers
- laser
- rotation angle
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
【課題】 干渉計切り換えの繰り返しによってθ変化の検出値誤差の累積が本質的に発生しないXYステージを実現する。
【解決手段】 X方向又はY方向の少なくとも一方に配置されたれた複数個のレーザ干渉計を切り換えてプラテン上を移動するスライダのX,Y座標の変化を検出すると共に、前記複数のレーザ干渉計の内2個の距離検出値及びレーザ干渉計間距離に基づいて前記スライダのZ軸回転角θの変化を検出するXYステージにおいて、
前記スライダを所定位置で所定角度回転させる初期操作手段と、
切り換え前に使用する2個のレーザ干渉計による距離検出値及びレーザ干渉計間距離の設計値から回転角を計算する回転角演算手段と、
切り換え後に使用する2個のレーザ干渉計による距離検出値及び計算された前記回転角に基づいてこれら2個のレーザ干渉計間の距離をキャリブレーションするキャリブレーション演算手段と、
を備える。
【選択図】 図1
【解決手段】 X方向又はY方向の少なくとも一方に配置されたれた複数個のレーザ干渉計を切り換えてプラテン上を移動するスライダのX,Y座標の変化を検出すると共に、前記複数のレーザ干渉計の内2個の距離検出値及びレーザ干渉計間距離に基づいて前記スライダのZ軸回転角θの変化を検出するXYステージにおいて、
前記スライダを所定位置で所定角度回転させる初期操作手段と、
切り換え前に使用する2個のレーザ干渉計による距離検出値及びレーザ干渉計間距離の設計値から回転角を計算する回転角演算手段と、
切り換え後に使用する2個のレーザ干渉計による距離検出値及び計算された前記回転角に基づいてこれら2個のレーザ干渉計間の距離をキャリブレーションするキャリブレーション演算手段と、
を備える。
【選択図】 図1
Description
本発明は、X方向又はY方向の少なくとも一方に配置されたれた複数個のレーザ干渉計を切り換えてプラテン上を移動するスライダのX,Y座標の変化を検出すると共に、前記複数のレーザ干渉計の内2個の距離検出値及びレーザ干渉計間距離に基づいて前記スライダのZ軸回転θ角の変化を検出するXYステージに関するものである。
X方向及びY方向に配置されたれたレーザ干渉計により、プラテン上を移動するスライダのX,Y座標の変化を検出すると共に、X方向又はY方向のレーザ干渉計の内2個の距離検出値及びレーザ干渉計間距離に基づいてスライダのZ軸回転角θの変化を検出するXYステージは、特許文献1に開示されている。
図4は、スライダの移動に応じて複数のレーザ干渉計を切り換える従来のXYステージの平面図である。1はプラテンである。2は、このプラテン1の上面にエアベアリング手段により浮上してX,Y方向に位置制御されて移動するスライダである。
21は、スライダ2端部のY軸方向に固定されたX軸バーミラー、22は、スライダ2端部のX軸方向に固定されたY軸バーミラーである。31,32は、プラテン1の端部のY軸方向に固定配置されたX軸距離検出用のレーザ干渉計であり、以下、干渉計X1,干渉計X2と称する。
これら干渉計は、X軸バーミラー21にレーザビームを照射してその反射ビームを受光し、スライダ2のX方向移動距離を検出する。スライダ2のY方向移動に伴なって干渉計X1から干渉計X2に切り換えられる。
41,42,43は、プラテン1の端部のX軸方向に固定配置されたY軸距離検出用のレーザ干渉計であり、以下、干渉計Y1,干渉計Y2,干渉計Y3と称する。これら干渉計は、Y軸バーミラー22にレーザビームを照射してその反射ビームを受光し、スライダ2のY方向移動距離を検出する。スライダ2のX方向移動に伴なって干渉計Y1,Y2の対から干渉計Y2,Y3の対に切り換えられる。
スライダ2のZ軸回転角θの変化は、干渉計Y1〜干渉計Y3の内のいずれか2つの検値を元に算出される。スライダ2が実線で示した位置1では、Y軸バーミラー22からのビーム反射を受光できる干渉計Y1及び干渉計Y2の対によりθの変化量を検出する。
スライダ2が矢印Pで示すように、X軸方向の位置2に移動した状態では、干渉計Y1はバーミラー22からのビーム反射を受光できなくなるので、干渉計を切り換えて、干渉計Y2及び干渉計Y3の対によりθの変化量を検出する。
これら干渉計の各対によるθの変化量Δθは、変化量が微小の場合には、
Δθ=(2つ干渉計検出値の差の変化量)/(2つの干渉計間の距離)
で計算される。
Δθ=(2つ干渉計検出値の差の変化量)/(2つの干渉計間の距離)
で計算される。
従来のθ変化量の検出手法では、次のような問題点がある。
(1)スライダ2が位置1から位置2に移動する際、θの変化を検出するレーザ干渉計は、干渉計Y1,Y2の対から干渉計Y2,Y3の対に切り換わる。このとき、干渉計間の設置位置が設計値からずれていると、干渉計切り換えの繰り返しによってθ変化の検出値誤差が急速に増大累積していく危険がある。
(1)スライダ2が位置1から位置2に移動する際、θの変化を検出するレーザ干渉計は、干渉計Y1,Y2の対から干渉計Y2,Y3の対に切り換わる。このとき、干渉計間の設置位置が設計値からずれていると、干渉計切り換えの繰り返しによってθ変化の検出値誤差が急速に増大累積していく危険がある。
(2)レーザ干渉計を高精度で位置決めしてXYステージに組み付けるのも設計上困難であるし、レーザ干渉計のケースに対するレーザ光位置は個体毎にばらつくので、レーザ干渉計間の距離を高精度に特定するのは困難である。
(3)このため、レーザ干渉計間距離は、XYステージの個体毎にばらつく。組み付け後にレーザ干渉計間距離を測定してキャブレーションすればよいのであるが、レーザ干渉計間距離とは、2つのレーザ干渉計のレーザ光間の距離であって、レーザ光は数mmの広がりがあるため、直接、高精度にレーザ干渉計間の距離を測定することが困難である。
(4)さらに、ユーザが用中にレーザ干渉計が故障して交換する場合を考えると、高価、あるいは大型の測定装置をキャリブレーション作業に用いるのは実用上、不適である。
本発明は上述した問題点を解決するためになされたものであり、レーザ干渉計切り換えの繰り返しによってθ変化の検出値誤差の累積が本質的に発生しないXYステージを実現することを目的としている。
このような課題を達成するために、本発明は次の通りの構成になっている。
(1)X方向又はY方向の少なくとも一方に配置されたれた複数個のレーザ干渉計を切り換えてプラテン上を移動するスライダのX,Y座標の変化を検出すると共に、前記複数のレーザ干渉計の内2個の距離検出値及びレーザ干渉計間距離に基づいて前記スライダのZ軸回転角θの変化を検出するXYステージにおいて、
前記スライダを所定位置で所定角度回転させる初期操作手段と、
切り換え前に使用する2個のレーザ干渉計による距離検出値及びレーザ干渉計間距離の設計値から回転角を計算する回転角演算手段と、
切り換え後に使用する2個のレーザ干渉計による距離検出値及び計算された前記回転角に基づいてこれら2個のレーザ干渉計間の距離をキャリブレーションするキャリブレーション演算手段と、
を備えることを特徴とするXYステージ。
(1)X方向又はY方向の少なくとも一方に配置されたれた複数個のレーザ干渉計を切り換えてプラテン上を移動するスライダのX,Y座標の変化を検出すると共に、前記複数のレーザ干渉計の内2個の距離検出値及びレーザ干渉計間距離に基づいて前記スライダのZ軸回転角θの変化を検出するXYステージにおいて、
前記スライダを所定位置で所定角度回転させる初期操作手段と、
切り換え前に使用する2個のレーザ干渉計による距離検出値及びレーザ干渉計間距離の設計値から回転角を計算する回転角演算手段と、
切り換え後に使用する2個のレーザ干渉計による距離検出値及び計算された前記回転角に基づいてこれら2個のレーザ干渉計間の距離をキャリブレーションするキャリブレーション演算手段と、
を備えることを特徴とするXYステージ。
(2)前記複数のレーザ干渉計の連続した3個のうち中間のレーザ干渉計を共通として、
前記回転角演算手段は、切り換え前に使用する2個のレーザ干渉計により、前記回転角を計算し、
前記キャリブレーション演算手段は、切り換え後に使用する2個のレーザ干渉計により、レーザ干渉計間の距離をキャリブレーションすることを特徴とする(1)に記載のXYステージ。
前記回転角演算手段は、切り換え前に使用する2個のレーザ干渉計により、前記回転角を計算し、
前記キャリブレーション演算手段は、切り換え後に使用する2個のレーザ干渉計により、レーザ干渉計間の距離をキャリブレーションすることを特徴とする(1)に記載のXYステージ。
(3)前記複数のレーザ干渉計が連続して4個以上の場合に、連続した3個の組み合わせをシフトしながら中間のレーザ干渉計を共通として、
前記回転角演算手段は、切り換え前に使用する2個のレーザ干渉計により、前記回転角を計算し、
前記キャリブレーション演算手段は、切り換え後に使用する2個のレーザ干渉計により、レーザ干渉計間の距離をキャリブレーションすることを特徴とする(1)に記載のXYステージ。
前記回転角演算手段は、切り換え前に使用する2個のレーザ干渉計により、前記回転角を計算し、
前記キャリブレーション演算手段は、切り換え後に使用する2個のレーザ干渉計により、レーザ干渉計間の距離をキャリブレーションすることを特徴とする(1)に記載のXYステージ。
(4)順次実行されたキャリブレーションの値を保持し、前記スライダの移動位置に対応して前記θの変化を検出するために使用されるレーザ干渉計毎に選択的に使用することを特徴とする(3)に記載のXYステージ。
(5) 夫々が異なる位置に配置されたレーザ干渉計の対を切り換える場合に、
前記回転角演算手段は、切り換え前の対のレーザ干渉計により、前記回転角を計算し、
前記キャリブレーション演算手段は、切り換え後の対のレーザ干渉計により、レーザ干渉計間の距離をキャリブレーションすることを特徴とする(1)又は(2)に記載のXYステージ。
前記回転角演算手段は、切り換え前の対のレーザ干渉計により、前記回転角を計算し、
前記キャリブレーション演算手段は、切り換え後の対のレーザ干渉計により、レーザ干渉計間の距離をキャリブレーションすることを特徴とする(1)又は(2)に記載のXYステージ。
(6)前記レーザ干渉計の第1の対と、前記レーザ干渉計の第2の対は、前記スライダのX方向又はY方向を挟んで対向配置されていることを特徴とする(5)に記載のXYステージ。
(7)前記複数のレーザ干渉計は、前記プラテンのX方向又はY方向の少なくともいずれかに沿って固定配置され、前記スライダの周端部に配置されたバーミラーに照射したビームの反射ビームを受光して前記スライダのX方向又はY方向の移動距離を検出することを特徴とする(1)乃至(6)に記載のXYステージ。
以上説明したことから明らかなように、本発明によれば次のような効果がある。
(1)レーザ干渉計の切り換え前と切り換え後のθ変化量検出の誤差率が同一のなるように、搭載されたレーザ干渉計の検出値のみで切り換え後のレーザ干渉計間距離をキャリブレーションすることにより、レーザ干渉計切り換えの繰り返しによってθ検出値の誤差は本質的に累積することがない。
(1)レーザ干渉計の切り換え前と切り換え後のθ変化量検出の誤差率が同一のなるように、搭載されたレーザ干渉計の検出値のみで切り換え後のレーザ干渉計間距離をキャリブレーションすることにより、レーザ干渉計切り換えの繰り返しによってθ検出値の誤差は本質的に累積することがない。
(2)レーザ干渉計を高精度で位置決めしてXYステージに組み付ける必要がなく、ケースに対するレーザ光位置が個体毎にばらついていても、θ検出値の誤差は本質的に累積することがない。
(3)レーザ干渉計間距離がばらついていても、組み付け後にレーザ干渉計間距離を測定してキャブレーションする煩雑な作業は不要となる。更に、レーザ光の広がりによる距離誤差も問題にならない。
(4)ユーザが使用中にレーザ干渉計が故障して交換する場合では、高価、あるいは大型のキャリブレーション用測定装置による煩雑な作業は不要となり、メンテナンスの効率が格段に向上する。
以下、本発明を図面により詳細に説明する。図1は、本発明を適用したXYステージの一実施形態を示す機能ブロック図である。図4で説明した従来ステージと同一要素には同一符号を付して説明を省略する。以下、本発明の特徴部につき説明する。
図1において、100は初期操作手段であり、スライダ2を、プラテン1上でキャリブレーションを実行する所定位置Fに移動させる。この位置Fは、切り換え前に使用するレーザ干渉計の対である干渉計Y1,Y2と、切り換え後に使用するレーザ干渉計の対である干渉計Y2,Y3が共にY軸バーミラー22からのレーザ反射ビームを受光可能な位置である。
このとき、XYステージの平面モータは、サーボ制御ではない、マイクロステップモードでスライダ2を移動させる。マイクロステップモードとは、一般のステッピングパルスモータと同じく、各相のモータ電流値の位相角を制御することで、位置検出信号のフィードバックなしにモータを駆動、位置決めする動作モードである。尚、マイクロステップモードで動作させるのは、作業時の安全性を高めるためであり、原理的にはサーボ運転で駆動させても本発明のキャリブレーションは実施できる。
以下、本発明によるキャリブレーションの原理を説明する。
初期操作手段100により、干渉計Y1,Y2,Y3によりY軸方向の位置検出が同時におこなえる位置Fに、スライダ2をマイクロステップモードで移動させる。
初期操作手段100により、干渉計Y1,Y2,Y3によりY軸方向の位置検出が同時におこなえる位置Fに、スライダ2をマイクロステップモードで移動させる。
位置Fへの移動後、マイクロステップモードでスライダ2をθ方向に任意の量Δθだけ回転させる。ただし、干渉計Y1,Y2,Y3で距離検出ができなくなるほど回転させてはならない。
そのときの干渉計Y1,Y2により検出されたθ方向の変化量をΔθ12とする。同様に、干渉計Y2,Y3により検出されたθ方向の変化量をΔθ23とする。また、干渉計Y1,Y2間の真の距離をL12、設計値をL12’とする。同様に、 干渉計Y2,Y3間の真の距離をL23、設計値をL23’とする。
干渉計Y1のY方向距離検出値の変化量をΔY1、干渉計Y2のそれをΔY2、干渉計Y3のそれをΔY3とすると、
Δθ=(ΔY2−ΔY1)/L12=(ΔY3−ΔY2)/L23 (1)
Δθ12=(ΔY2−ΔY1)/L12’ (2)
Δθ23=(ΔY3−ΔY2)/L23’ (3)
である。
Δθ=(ΔY2−ΔY1)/L12=(ΔY3−ΔY2)/L23 (1)
Δθ12=(ΔY2−ΔY1)/L12’ (2)
Δθ23=(ΔY3−ΔY2)/L23’ (3)
である。
ここで、干渉計間距離L12とL12’の誤差率をε12として、
L12’=(1+ε12)L12 (4)
で表すものとする。従って(1)式より、
Δθ=(ΔY2−ΔY1)・(1+ε12)/L12’ (5)
である。
L12’=(1+ε12)L12 (4)
で表すものとする。従って(1)式より、
Δθ=(ΔY2−ΔY1)・(1+ε12)/L12’ (5)
である。
ここで、干渉計Y2,Y3間距離L23’のキャリブレーション値L23’cを次式で算出する。
L23’c=(ΔY3−ΔY2)/Δθ12
=L12’・(ΔY3−ΔY2)/(ΔY2−ΔY1) (6)
L23’c=(ΔY3−ΔY2)/Δθ12
=L12’・(ΔY3−ΔY2)/(ΔY2−ΔY1) (6)
キャリブレーション後、干渉計Y2,Y3では、このキャリブレーション値L23’cを用いてθの変化量を算出することにし、その値をΔθ23で表すことにする。
Δθ23=(ΔY3−ΔY2)/L23’c (7)
Δθ23=(ΔY3−ΔY2)/L23’c (7)
式(1)、(2)、(5)、(6)、(7)より、Δθ12及びΔθ23を求めると、
Δθ12=Δθ23=Δθ/(1+ε12) (8)
である。つまり、θ変化の検出値の誤差率は、検出に用いる干渉計によらず一定となることがわかる。
Δθ12=Δθ23=Δθ/(1+ε12) (8)
である。つまり、θ変化の検出値の誤差率は、検出に用いる干渉計によらず一定となることがわかる。
図1において、200は回転角演算手段であり、切り換え前に使用される干渉計Y1,Y2の対による距離検出値ΔY1,ΔY2及び干渉計間距離の設計値L12’を入力して(2)式を演算し、θの変化量Δθ12を計算する。
300は、キャリブレーション演算手段であり、切り換え後に使用される干渉計Y2,Y3の対による距離検出値ΔY2,ΔY3及び回転角演算手段200で計算されたθの変化量Δθ12を入力して(6)式を演算し、干渉計Y2,Y3間距離L23’のキャリブレーション値L23’cを計算する。
次に、キャリブレーション後の、干渉計切り換え動作時のθ変化の検出誤差について述べる。
θの検出値の変化量をΔθmで表すとした場合のθ検出誤差εwを、
εw=Δθm−Δθ
と定義する。
θの検出値の変化量をΔθmで表すとした場合のθ検出誤差εwを、
εw=Δθm−Δθ
と定義する。
式(8)より、
εw=ε12・Δθm=ε12/(1+ε12)
である。ここで、
Re=ε12/(1+ε12)
と定義する。
εw=ε12・Δθm=ε12/(1+ε12)
である。ここで、
Re=ε12/(1+ε12)
と定義する。
図1において、θの検出値誤差εw=0の状態から、スライダ2がX+方向に移動して、干渉計(Y1,Y2)→(Y2,Y3)の切り換えが発生したとする。そのときθ=300μradであった場合、εw=300Re[μrad]である。
その後、X−方向に動いて、干渉計(Y2,Y3)→(Y1,Y2)の切り換えが発生したとする。そのときθ=−300μradであったとすると、干渉計(Y2,Y3)動作中に増減したθ検出値誤差は、−600Re[μrad]である。従って、切り換え時点での累計誤差は、εw=−300Re[μrad]である。
そして、干渉計(Y1,Y2)動作中にθが−300→0μradとなった場合に増減するθ検出値誤差は300Re[μrad]であるので、累計誤差は、εw=−300Re+300Re=0である。つまり、切り換えにおいて誤差は累積しない。
仮に、キャリブレーションをしなかった場合の誤差累積について述べる。図1において、干渉計(Y1,Y2)間距離L12の値が、設計値315mmに対して+1mmの組み付け誤差があって316mmだとする。また、干渉計(Y2,Y3)間距離L23の値が設計値194mmに対して−1mmの組み付け誤差があって193mmだとする。
θ検出値誤差εw=0の状態から、スライダ2がX+方向に動いて、干渉計(Y1,Y2)→(Y2,Y3)の切り換えが発生したとする。そのときθ=300μradであった場合、干渉計(Y1,Y2)での検出値は、(300×316/315)μradであるので、
εw=0.95μradである。
εw=0.95μradである。
その後、X−方向に動いて、干渉計(Y2,Y3)→(Y1,Y2)の切り換えが発生したとする。そのときθ=−300μradであったとすると、干渉計(Y2,Y3)動作中に増減したθ検出値誤差は、−600×(193/194−1)=3.09μradである。従って、切り換え時点での累計誤差は、εw=0.95+3.09=4.04μradである。
そして、干渉計(Y1,Y2)動作中にθが−300→0μradとなった場合に増減するθ検出値誤差は、300×(316/315−1)=0.95μradとなるので、累計誤差は、εw=4.04+0.95=4.99μradである。つまり、2回の切り換えにおいて約5μradの誤差が累積したことになる。
図2は、本発明を適用したXYステージの他の実施形態を示す平面図であり、θ変化を検出する干渉計が4個以上(Y1,Y2,Y3,Y4)の場合を示す。この場合でも、図1の実施形態と同様にしてキャリブレーションを施すことで同様の効果を得ることができる。
例えば、位置1にて、干渉計(Y2,Y3)間距離をキャリブレーションした後、位置2にスライダ2を移動させて、干渉計(Y2,Y3)間距離のキャリブレーション値を用いて干渉計(Y3,Y4)間距離をキャリブレーションする。順次実行されたキャリブレーションの値を保持し、前記スライダの移動位置に対応して前記θの変化を検出するために使用されるレーザ干渉計毎に選択的に使用することができる。
図3は、本発明を適用したXYステージの更に他の一実施形態を示す平面図であり、前面および背面に一対の干渉計を配置して、前面側領域にスライダ位置するときは前面干渉計で、背面側領域にスライダ位置するときは背面干渉計で位置検出するシステムにも適用できる。
4つの干渉計すべてで測長ができる位置にスライダ2を移動させ、そこで、θ方向に回転させて、干渉計(Y1,Y2)間距離L12の設計値、干渉計(Y1,Y2)で検出されたθ変化量を元に、干渉計(Y3,Y4)間距離L34をキャリブレーションすることができる。
1 プラテン
2 スライダ
21 X軸バーミラー
22 Y軸バーミラー
31,32,33 Y軸レーザ干渉計
41,42 X軸レーザ干渉計
100 初期操作手段
200 回転角演算手段
300 キャリブレーション演算手段
2 スライダ
21 X軸バーミラー
22 Y軸バーミラー
31,32,33 Y軸レーザ干渉計
41,42 X軸レーザ干渉計
100 初期操作手段
200 回転角演算手段
300 キャリブレーション演算手段
Claims (7)
- X方向又はY方向の少なくとも一方に配置されたれた複数個のレーザ干渉計を切り換えてプラテン上を移動するスライダのX,Y座標の変化を検出すると共に、前記複数のレーザ干渉計の内2個の距離検出値及びレーザ干渉計間距離に基づいて前記スライダのZ軸回転角θの変化を検出するXYステージにおいて、
前記スライダを所定位置で所定角度回転させる初期操作手段と、
切り換え前に使用する2個のレーザ干渉計による距離検出値及びレーザ干渉計間距離の設計値から回転角を計算する回転角演算手段と、
切り換え後に使用する2個のレーザ干渉計による距離検出値及び計算された前記回転角に基づいてこれら2個のレーザ干渉計間の距離をキャリブレーションするキャリブレーション演算手段と、
を備えることを特徴とするXYステージ。 - 前記複数のレーザ干渉計の連続した3個のうち中間のレーザ干渉計を共通として、
前記回転角演算手段は、切り換え前に使用する2個のレーザ干渉計により、前記回転角を計算し、
前記キャリブレーション演算手段は、切り換え後に使用する2個のレーザ干渉計により、レーザ干渉計間の距離をキャリブレーションすることを特徴とする請求項1に記載のXYステージ。 - 前記複数のレーザ干渉計が連続して4個以上の場合に、連続した3個の組み合わせをシフトしながら中間のレーザ干渉計を共通として、
前記回転角演算手段は、切り換え前に使用する2個のレーザ干渉計により、前記回転角を計算し、
前記キャリブレーション演算手段は、切り換え後に使用する2個のレーザ干渉計により、レーザ干渉計間の距離をキャリブレーションすることを特徴とする請求項1に記載のXYステージ。 - 順次実行されたキャリブレーションの値を保持し、前記スライダの移動位置に対応して前記θの変化を検出するために使用されるレーザ干渉計毎に選択的に使用することを特徴とする請求項3に記載のXYステージ。
- 夫々が異なる位置に配置されたレーザ干渉計の対を切り換える場合に、
前記回転角演算手段は、切り換え前の対のレーザ干渉計により、前記回転角を計算し、
前記キャリブレーション演算手段は、切り換え後の対のレーザ干渉計により、レーザ干渉計間の距離をキャリブレーションすることを特徴とする請求項1又は2に記載のXYステージ。 - 前記レーザ干渉計の第1の対と、前記レーザ干渉計の第2の対は、前記スライダのX方向又はY方向を挟んで対向配置されていることを特徴とする請求項5に記載のXYステージ。
- 前記複数のレーザ干渉計は、前記プラテンのX方向又はY方向の少なくともいずれかに沿って固定配置され、前記スライダの周端部に配置されたバーミラーに照射したビームの反射ビームを受光して前記スライダのX方向又はY方向の移動距離を検出することを特徴とする請求項1乃至6に記載のXYステージ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006092627A JP2007263902A (ja) | 2006-03-30 | 2006-03-30 | Xyステージ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006092627A JP2007263902A (ja) | 2006-03-30 | 2006-03-30 | Xyステージ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007263902A true JP2007263902A (ja) | 2007-10-11 |
Family
ID=38637023
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006092627A Pending JP2007263902A (ja) | 2006-03-30 | 2006-03-30 | Xyステージ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2007263902A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN115597504A (zh) * | 2022-12-15 | 2023-01-13 | 杭州百子尖科技股份有限公司(Cn) | 用于机器视觉量测的激光同轴度的校准装置及校准方法 |
-
2006
- 2006-03-30 JP JP2006092627A patent/JP2007263902A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN115597504A (zh) * | 2022-12-15 | 2023-01-13 | 杭州百子尖科技股份有限公司(Cn) | 用于机器视觉量测的激光同轴度的校准装置及校准方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4429037B2 (ja) | ステージ装置及びその制御方法 | |
JPH10260009A (ja) | 座標測定装置 | |
JP5284486B2 (ja) | 基板中心位置の特定方法 | |
JP3826042B2 (ja) | ステージ装置、それを用いた半導体露光装置および位置計測方法 | |
TWI633273B (zh) | 將工具相對於工件而定位的系統 | |
JP5613893B2 (ja) | 作業装置におけるテーブル位置決め装置および位置決め方法。 | |
JP6147022B2 (ja) | 工作機械の空間精度測定方法および空間精度測定装置 | |
US6674512B2 (en) | Interferometer system for a semiconductor exposure system | |
JP2009229066A (ja) | 追尾式レーザ干渉計と標的間距離の推定方法及び追尾式レーザ干渉計 | |
CN107017179B (zh) | 具有位置测量装置的x-y工作台 | |
JP2007263902A (ja) | Xyステージ | |
JP2010087310A (ja) | 露光装置およびデバイス製造方法 | |
JP2007079837A (ja) | ヘッド作動制御装置及び制御方法及びステージ装置 | |
JP5064725B2 (ja) | 形状測定方法 | |
US10459344B2 (en) | Exposure method and exposure device | |
JP2007046937A (ja) | 表面形状測定装置及び表面形状測定方法 | |
JP2010266330A (ja) | 平面モータ | |
JP2005284867A (ja) | 駆動制御装置及び方法及び露光装置 | |
JP2012112919A (ja) | レーザートラッカー | |
JP4400462B2 (ja) | 平面モータ装置 | |
JP2008033610A (ja) | Xyステージ | |
JP2009302490A (ja) | 露光装置及びデバイス製造方法 | |
JPH09203688A (ja) | レーザスキャナユニットのビーム形状評価方法及び装置 | |
JP2010026921A (ja) | 位置決め装置 | |
WO2012067012A1 (ja) | レーザートラッカー |