JP2007253062A - Dry ice snow jetting nozzle - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、液化二酸化炭素をドライアイススノーにして洗浄対象に噴出するために用いられるドライアイススノー噴出ノズルに関する。 The present invention relates to a dry ice snow ejection nozzle used for converting liquefied carbon dioxide into dry ice snow and ejecting it to an object to be cleaned.
例えば、半導体や液晶パネルを製造する分野では、液化二酸化炭素を急減圧させることによってドライアイスの微粒子(ドライアイススノー)を生成し、これを洗浄対象(ワーク)に高圧で噴き付けて洗浄する方法が用いられている。この場合、加圧されたキャリアガス(例えば、窒素ガスやアルゴンガス)にのせてドライアイススノーを噴出することにより、ドライアイススノーを高圧で噴き付ける方法が一般的に行われている。 For example, in the field of manufacturing semiconductors and liquid crystal panels, dry ice fine particles (dry ice snow) are generated by rapidly depressurizing liquefied carbon dioxide, and this is sprayed onto the object to be cleaned (work) at a high pressure for cleaning. Is used. In this case, a method of spraying dry ice snow at a high pressure by spraying dry ice snow on a pressurized carrier gas (for example, nitrogen gas or argon gas) is generally performed.
ところが、この方法では、ドライアイススノーと共にキャリアガスも洗浄対象に噴き付けられるため、キャリアガスが不純物として洗浄対象に悪影響を及ぼすおそれがある。そこで、近年では、液化二酸化炭素自体を加圧して噴出ノズルから噴出する方法が考えられている(例えば、特許文献1参照)。
ところで、噴出ノズルから噴出されるドライアイススノーの生成状態や噴出速度等の条件(噴出条件)は、噴出ノズルの噴出管路の断面積(径寸法)や長さ寸法、オリフィス径等、各部の寸法によって変化する。特に、液化二酸化炭素を加圧して噴出ノズルから噴出する方法の場合では、キャリアガスの流速や流量を調整してドライアイススノーの噴出条件を変化させることができない分、噴出ノズルの各部の寸法がドライアイススノーの生成状態等に及ぼす影響が大きい。また、洗浄対象によって、要求されるドライアイススノーの噴出条件が異なるという事情がある。 By the way, conditions (spout conditions) such as the generation state and spout speed of the dry ice snow spouted from the spout nozzle are the cross-sectional area (diameter dimension), length dimension, orifice diameter, etc. of the spout nozzle. Varies with dimensions. In particular, in the case of a method in which liquefied carbon dioxide is pressurized and ejected from the ejection nozzle, the size of each part of the ejection nozzle can be reduced by adjusting the flow rate and flow rate of the carrier gas and changing the ejection conditions of the dry ice snow. The effect on dry ice snow generation is significant. In addition, there is a situation in which required dry ice snow ejection conditions differ depending on the object to be cleaned.
そこで、要求されるドライアイススノーの噴出条件に応じて、噴出管路の各部の寸法を変更して噴出ノズルを製作することが行われている。ところが、従来の噴出ノズルは、噴出管路の一部の寸法を変更する場合であっても、ノズル全体を新たに作り直さなければならなかった。 Therefore, an ejection nozzle is manufactured by changing the dimensions of each part of the ejection pipe according to the required dry ice snow ejection conditions. However, in the conventional ejection nozzle, even if the dimensions of a part of the ejection pipeline are changed, the entire nozzle has to be newly recreated.
本発明は、上記した事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、全体を新たに作り直すことなく噴出管路の一部の寸法を容易に変更することができるドライアイススノー噴出ノズルを提供することにある。 The present invention has been made in view of the above-described circumstances, and an object of the present invention is to provide a dry ice snow ejection nozzle capable of easily changing the size of a part of the ejection pipeline without recreating the whole. There is to do.
本発明のドライアイススノー噴出ノズルは、加圧された液化二酸化炭素の供給ラインに接続され、前記液化二酸化炭素を急減圧させることによりドライアイススノーにして噴出する噴出管路を有するノズル本体を備えたドライアイススノー噴出ノズルにおいて、前記噴出管路は、前記液化二酸化炭素を搬送する搬送部と、前記搬送部の下流側に位置し前記加圧された液化二酸化炭素の流量を絞るオリフィス部と、前記オリフィス部の下流側に位置し前記液化二酸化炭素を急減圧させてドライアイススノーにする膨張部と、前記膨張部の下流側に位置し前記ドライアイススノーを整流する絞り部とを備えて構成され、前記ノズル本体は、前記搬送部と前記オリフィス部とを有する第1の噴出管路部材と、前記膨張部を有する第2の噴出管路部材と、前記絞り部を有する第3の噴出管路部材とから構成されていることを特徴とする。 A dry ice snow ejection nozzle according to the present invention includes a nozzle body connected to a pressurized liquefied carbon dioxide supply line and having an ejection pipeline that ejects the liquefied carbon dioxide as dry ice snow by rapidly depressurizing the liquefied carbon dioxide. In the dry ice snow ejection nozzle, the ejection pipe line includes a conveyance unit that conveys the liquefied carbon dioxide, an orifice unit that is located downstream of the conveyance unit and restricts the flow rate of the pressurized liquefied carbon dioxide, An expansion part located on the downstream side of the orifice part to rapidly depressurize the liquefied carbon dioxide to form dry ice snow, and a throttle part located on the downstream side of the expansion part to rectify the dry ice snow And the nozzle body includes a first ejection pipe member having the transport section and the orifice section, and a second ejection pipe member having the expansion section. , Characterized in that it is composed of a third ejection conduit member having the narrowed portion.
本発明によれば、加圧された液化二酸化炭素の流量を絞るオリフィス部を第1の噴出管路部材に設け、流量が絞られた液化二酸化炭素を減圧させてドライアイススノーを生成する膨張部を第2の噴出管路部材に設け、生成したドライアイススノーを整流する絞り部を第3の噴出管路部材に設けたので、第1の噴出管路部材、第2の噴出管路部材及び第3の噴出管路部材のうち一部を交換することにより、オリフィス部、膨張部及び絞り部の寸法を各部ごとに変更することができる。これにより、要求されるドライアイススノーの噴出条件に応じて、全体を新たに作り直すことなく噴出管路の一部の寸法を容易に変更することができる。 According to the present invention, an orifice part that restricts the flow rate of pressurized liquefied carbon dioxide is provided in the first jet pipe member, and the expansion part that generates dry ice snow by reducing the pressure of the liquefied carbon dioxide having a reduced flow rate. Is provided in the second jet pipe member, and the throttle part for rectifying the generated dry ice snow is provided in the third jet pipe member. Therefore, the first jet pipe member, the second jet pipe member, and By exchanging a part of the third ejection pipe member, the dimensions of the orifice part, the expansion part, and the throttle part can be changed for each part. Thereby, according to the discharge conditions of the dry ice snow requested | required, the dimension of a part of ejection pipe line can be changed easily, without making the whole new.
以下、本発明を電子部品の洗浄装置に適用した一実施形態について図面を参照して説明する。
まず、図2において、略矩形箱状の洗浄室1には、洗浄対象となる液晶パネル用の基板等のワーク2を載置するためのステージ3が、洗浄室1の幅方向及び洗浄室1の奥行き方向に移動可能に設けられている。洗浄室1には、ワーク2を出し入れするための出入口(図示せず)が設けられていると共に、この出入口を開閉する扉(図示せず)が設けられていて、この扉を閉めることにより、洗浄室1を密閉可能となっている。そして、洗浄室1を密閉した状態では、真空ポンプ(図示せず)により洗浄室1内を減圧可能となっていると共に、液化二酸化炭素を気化する気化装置(図示せず)から炭酸ガスを充填可能となっている。また、洗浄室1の底部には排気口4が設けられていて、この排気口4を開放すると、洗浄室1内に充填した炭酸ガスが排気されるようになっている。
Hereinafter, an embodiment in which the present invention is applied to an electronic component cleaning apparatus will be described with reference to the drawings.
First, in FIG. 2, in a substantially rectangular box-shaped cleaning chamber 1, a
洗浄室1内には噴出ノズル5(ドライアイススノー噴出ノズルに相当)が配設されている。噴出ノズル5には、例えばプランジャー式のポンプ(図示せず)を備えた加圧装置6がホース7を介して接続されている。加圧装置6には、液化二酸化炭素の供給源であるボンベ8がホース9を介して接続されている。これにより、ボンベ8から加圧装置6を経て噴出ノズル5に至る液化二酸化炭素の供給ライン10が構成され、加圧装置6を駆動することにより、ボンベ8内の液化二酸化炭素が加圧されて噴出ノズル5に供給されるようになっている。
A spray nozzle 5 (corresponding to a dry ice snow spray nozzle) is disposed in the cleaning chamber 1. A pressurizing
次に、上記した噴出ノズル5の構成について図3を参照して説明する。噴出ノズル5は、ホース接続口11とノズル装着口12とを有するノズル装着部13と、ノズル装着口12に装着されるノズル本体14とから構成されている。ホース接続口11とノズル装着口12とは連通しており、ホース接続口11には上記したホース7が連結されている。また、ノズル装着部13には、固定用ねじ15a,15bを備えた固定用パイプ取付穴15が設けられている。噴出ノズル5は、洗浄室1内に設けられた固定用パイプ(図示せず)に上記した固定用パイプ取付穴15を挿通させ、噴出ノズル5の先端がステージ3(ワーク2)を向くように固定用ねじ15a,15bで固定された状態で、洗浄室1内に配設されている。
Next, the configuration of the ejection nozzle 5 will be described with reference to FIG. The ejection nozzle 5 includes a
次に、上記したノズル本体14の構成について図1及び図4を参照して詳細に説明する。ノズル本体14には、搬送部16と、この搬送部16の下流側(ノズル本体14の先端側)に位置するオリフィス部17と、このオリフィス部17の下流側に位置する膨張部18と、この膨張部18の下流側に位置する絞り部19とを備えた噴出管路20が設けられている。
Next, the configuration of the
搬送部16は、噴出管路20の上流側から下流側に向けて略同一径の断面円形状に形成された管路であり、上記した供給ライン10から供給された液化二酸化炭素を搬送する。オリフィス部17の径(オリフィス径)は、搬送部16の径の寸法よりも径小となるように形成されていて、搬送部16から搬送された液化二酸化炭素の流量を絞る。膨張部18は、噴出管路20の上流側から下流側に向けて徐々に径大となるように形成されていて、オリフィス部17で流量の絞られた液化二酸化炭素を急減圧させてドライアイススノーにする。絞り部19は、噴出管路20の上流側から下流側に向けて徐々に径小となるように形成されていて、膨張部18で生成されたドライアイススノーを整流する。
The
このノズル本体14は、図4に示すように、第1の噴出管路部材21と、第2の噴出管路部材22と、第3の噴出管路部材23とから構成され、各部材に分割可能となっている。
第1の噴出管路部材21は、ノズル装着口12に装着される装着部24と、第2の噴出管路部材22との連結部25とから構成されている。装着部24の内周面には、ノズル装着口12の雄ねじ部(図示せず)をねじ込み可能な雌ねじ部21aが設けられている。連結部25は前記装着部24よりも外径寸法が小さく、その内部に前記搬送部16及び前記オリフィス部17が設けられている。また、前記連結部25は、円柱状部25aと円柱状部25aの下流側に位置する円錐状部25bとから構成されており、前記円柱状部25aの外周面には、雄ねじ部21bが設けられている。
As shown in FIG. 4, the nozzle
The first
第2の噴出管路部材22は全体として略円柱形状をなしていて、前記連結部25に対応する形状の凹部26と、第3の噴出管路部材23との連結部27とから構成されている。凹部26の内周面には、第1の噴出管路部材21(連結部25)の雄ねじ部21bをねじ込み可能な雌ねじ部22aが設けられている。連結部27の内部には前記膨張部18が設けられており、連結部27の外周面には、雄ねじ部22bが設けられている。
第3の噴出管路部材23は、前記連結部27に対応する形状の凹部28と、前記絞り部19とから構成されている。凹部28の内周面には、第2の噴出管路部材22(連結部27)の雄ねじ部22bをねじ込み可能な雌ねじ部23aが設けられている。絞り部19は、凹部28から下流側へ突出するようにして設けられている。
The second
The third
そして、第1の噴出管路部材21の連結部25が第2の噴出管路部材22の凹部26に入り込み第2の噴出管路部材22の雌ねじ部22aに第1の噴出管路部材21の雄ねじ部21bがねじ込まれることにより(螺合することにより)、第1の噴出管路部材21と第2の噴出管路部材22とが取外し可能に連結されている。また、第2の噴出管路部材22の連結部27が第3の噴出管路部材23の凹部28に入り込み第3の噴出管路部材23の雌ねじ部23aに第2の噴出管路部材22の雄ねじ部22bがねじ込まれることにより、第2の噴出管路部材22と第3の噴出管路部材23とが取外し可能に連結されている。これにより、図1に示すノズル本体14が製作される。この場合、オリフィス部17と膨張部18との境界部分及び膨張部18と絞り部19との境界部分は、凹凸がなく滑らかに繋がるように設計されていると共に、オリフィス部17、膨張部18及び絞り部19の表面は、精密に研磨加工されている。なお、第2の噴出管路部材22の上流側の端部及び下流側の端部には、例えばゴム製のシール部材29,30が配置されている。
And the
ところで、ドライアイススノーを噴き付けることによりワーク2を洗浄する場合、ワーク2によって、要求されるドライアイススノーの噴出条件(ドライアイススノーの生成状態や噴出速度等の条件)が異なるという事情がある。そして、ドライアイススノーの噴出条件は、噴出管路20の各部の寸法や形状によって変化する。例えば、ドライアイススノーの流量は、オリフィス部17のオリフィス径の寸法(オリフィス部17の形状)によって変化し、ドライアイススノーの粒子径は、膨張部18の寸法(形状)によって変化し、ドライアイススノーの流速は、絞り部19の寸法(形状)によって変化する。
By the way, when the workpiece 2 is washed by spraying dry ice snow, there are circumstances in which required dry ice snow ejection conditions (conditions such as the dry ice snow generation state and ejection speed) differ depending on the workpiece 2. . And the ejection conditions of dry ice snow change with the dimension and shape of each part of the
本実施形態では、上記したようにオリフィス部17が第1の噴出管路部材21に設けられ、膨張部18が第2の噴出管路部材22に設けられ、絞り部19が第3の噴出管路部材23に設けられている。そのため、ノズル本体14を構成する第1の噴出管路部材21、第2の噴出管路部材22及び第3の噴出管路部材23のうち一部を交換することにより、要求されるドライアイススノーの噴出条件が異なる場合に対応できるようになっている。
In the present embodiment, as described above, the
図5及び図6は、上記したノズル本体14のうち第2の噴出管路部材22を、別の第2の噴出管路部材31に交換した一例を示している。
この第2の噴出管路部材31の膨張部32は、第2の噴出管路部材22の膨張部18に比べ、上流側から下流側に向かう方向の寸法(長さ寸法)が短く形成されている。そして、第1の噴出管路部材21の連結部25が第2の噴出管路部材31の凹部33に入り込み第2の噴出管路部材31の雌ねじ部31aに第1の噴出管路部材21の雄ねじ部21bがねじ込まれることにより、また、第2の噴出管路部材31の連結部34が第3の噴出管路部材23の凹部28に入り込み第3の噴出管路部材23の雌ねじ部23aに第2の噴出管路部材31の雄ねじ部31bがねじ込まれることにより、図5に示すノズル本体35が製作される。
5 and 6 show an example in which the second
The
次に、上記した構成の作用について説明する。
まず、ワーク2の種類に応じたノズル本体(ここでは、例えば上記したノズル本体14)をノズル装着部13に装着する。そして、洗浄室1の出入口からワーク2を洗浄室1内に挿入しステージ3に載置する。そして、出入口の扉を閉め洗浄室1内を密閉して約10Paまで減圧し、この状態で洗浄室1内に炭酸ガスを充填する。これにより、洗浄室1内は、露点が−40℃以下となる低露点環境となる。
Next, the operation of the above configuration will be described.
First, a nozzle body (here, for example, the
この状態で、加圧装置6を駆動すると、供給ライン10から、加圧された液化二酸化炭素が噴出ノズル5に供給される。噴出ノズル5に供給された液化二酸化炭素は、噴出管路20の搬送部16に搬送された後、オリフィス部17を通過する際に流量が絞られる。流量が絞られた液化二酸化炭素は、膨張部18を通過する際に減圧され、これにより、微粒子化してドライアイススノーになる。そして、このドライアイススノーは、絞り部19において整流されながら噴出ノズル5の先端から噴出される。
When the
噴出ノズル5から噴出したドライアイススノーは、ステージ3に載置されたワーク2に向かって噴き付けられ、これにより、ワーク2の洗浄が行われる。このとき、ステージ3が洗浄室1内を洗浄室1の幅方向及び奥行き方向に移動することにより、ワーク2の表面全体の洗浄が行われる。なお、ワーク2に噴き付けられたドライアイススノーは、洗浄室1内において昇華して炭酸ガスとなる。ワーク2の洗浄が終了したら、洗浄室1内の炭酸ガスを排気口4から排気し、ワーク2を洗浄室1から取り出す。これにより、ワーク2の一連の洗浄処理が終了する。
The dry ice snow ejected from the ejection nozzle 5 is sprayed toward the workpiece 2 placed on the
その後に洗浄するワーク2の種類が前回洗浄したものと異なる場合は、ノズル本体全体あるいはノズル本体の一部を交換する。例えば、要求されるドライアイススノーの粒子径が異なる場合は、第2の噴出管路部材22を第2の噴出管路部材31に交換したノズル本体35をノズル装着部13に装着する。ノズル本体35を装着した噴出ノズル5では、流量が絞られた液化二酸化炭素を減圧させる膨張部32の体積が、上記したノズル本体14の膨張部18の体積に比べて減少することから、流量が絞られた液化二酸化炭素の減圧の態様が異なることとなり、生成されるドライアイススノーの粒子径がノズル本体14を装着した場合の粒子径に比べ変化する。
If the type of the workpiece 2 to be cleaned thereafter is different from that of the previously cleaned workpiece 2, the entire nozzle body or a part of the nozzle body is replaced. For example, when the required dry ice snow particle size is different, the
以上に説明したように本実施形態によれば、加圧された液化二酸化炭素の流量を絞るオリフィス部17を第1の噴出管路部材21に設け、流量が絞られた液化二酸化炭素を減圧させてドライアイススノーを生成する膨張部18(膨張部32)を第2の噴出管路部材22(第2の噴出管路部材31)に設け、生成したドライアイススノーを整流する絞り部19を第3の噴出管路部材23に設けた。従って、第1ないし第3の噴出管路部材のそれぞれについて管路形状が異なる複数種類のものを備えておくことにより、第1ないし第3の噴出管路部材の組み合わせを変更するだけで様々な噴出条件に対応する噴出ノズル5を容易に構成することができる。
As described above, according to the present embodiment, the
また、第1の噴出管路部材21と第2の噴出管路部材22(第2の噴出管路部材31)の連結部分及び第2の噴出管路部材22(第2の噴出管路部材31)と第3の噴出管路部材23の連結部分は、いずれも一方に設けられた雌ねじ部(21a,22a,31a,23a)に他方に設けられた雄ねじ部(21b,22b,31b)がねじ込まれることにより連結されているので、各部材間の連結が強固なものとなり、ノズル本体14(ノズル本体35)全体の強度を高めることができる。
In addition, a connection portion between the first
また、第1の噴出管路部材21の連結部25が第2の噴出管路部材22の凹部26に入り込み、第2の噴出管路部材22の連結部27(第2の噴出管路部材31の連結部34)が第3の噴出管路部材23の凹部28に入り込む構成になっているので、第1から第3の噴出管路部材を略隙間なく連結することができる。これにより、噴出管路20内を流れる高圧の液化二酸化炭素あるいはドライアイススノーからの負荷によって噴出ノズル5が破損することを防止することができる。また、噴出管路20を略隙間なく形成することができ、噴出管路20内を流れる液化二酸化炭素あるいはドライアイススノーが漏れ出すことを防止することができる。
In addition, the connecting
また、オリフィス部17と膨張部18(膨張部32)との境界部分及び膨張部18(膨張部32)と絞り部19との境界部分が、凹凸がなく滑らかに繋がるように設計されているので、噴出管路20内(特に膨張部18、膨張部32)でドライアイススノーが詰まることを防止することができる。また、オリフィス部17、膨張部18(膨張部32)、絞り部19の表面が、精密に研磨加工されているので、ドライアイススノーを円滑に噴射することができる。
Further, the boundary part between the
なお、本発明は上記した実施形態にのみ限定されるものではなく、次のように変形または拡張することができる。
上記した実施形態では、膨張部18の長さ寸法を変更することによりドライアイススノーの粒子径を変化させる場合を例示したが、これに限らず、オリフィス部17のオリフィス径の寸法を変更することによりドライアイススノーの流量を変化させることができ、絞り部19の寸法を変更することによりドライアイススノーの流速を変化させることができる。
In addition, this invention is not limited only to above-described embodiment, It can deform | transform or expand as follows.
In the above-described embodiment, the case where the particle diameter of the dry ice snow is changed by changing the length dimension of the inflating
第1の噴出管路部材21、第2の噴出管路部材22(第2の噴出管路部材31)及び第3の噴出管路部材23を取外し可能(着脱可能)に構成しなくても良く、例えば、噴出ノズル5の製造時において、これらの各部材を固着するようにしても良い。
また、噴出ノズル5の製造時において、要求されるドライアイススノーの噴出条件に応じてノズル本体全体を新たに作り直すのではなく、第1ないし第3の噴出管路部材のうち一部を交換することにより噴出管路20の一部(オリフィス部17、膨張部18、膨張部32、絞り部19)の寸法を変更して噴出ノズル5(ノズル本体)を製造することができる。
The first
Further, when the ejection nozzle 5 is manufactured, a part of the first to third ejection pipe members is exchanged instead of newly recreating the entire nozzle body according to the required dry ice snow ejection conditions. Thus, it is possible to manufacture the ejection nozzle 5 (nozzle body) by changing the dimensions of a part of the ejection pipeline 20 (the
シール部材29,30としては、例えばニトリルゴム(NBR)やテフロン(登録商標)などで構成することができる。
排気口4から排気した炭酸ガスを回収して、フィルタなどにより不純物を取り除いた後、再び洗浄室1内に充填させるように構成しても良い。
The
The carbon dioxide gas exhausted from the exhaust port 4 may be collected, impurities may be removed by a filter or the like, and then the cleaning chamber 1 may be filled again.
図面中、5は噴出ノズル(ドライアイススノー噴出ノズル)、10は供給ライン、14,35はノズル本体、16は搬送部、17はオリフィス部、18,32は膨張部、19は絞り部、20は噴出管路、21は第1の噴出管路部材、22,31は第2の噴出管路部材、23は第3の噴出管路部材、21a,22a,23a,31aは雌ねじ部、21b,22b,31bは雄ねじ部を示す。
In the drawing, 5 is an ejection nozzle (dry ice snow ejection nozzle), 10 is a supply line, 14 and 35 are nozzle bodies, 16 is a transport section, 17 is an orifice section, 18 and 32 are expansion sections, 19 is a throttle section, 20 Is a first jet pipe member, 21 and 31 are second jet pipe members, 23 is a third jet pipe member, 21a, 22a, 23a and 31a are female screw portions, 21b,
Claims (2)
前記噴出管路は、前記液化二酸化炭素を搬送する搬送部と、前記搬送部の下流側に位置し前記加圧された液化二酸化炭素の流量を絞るオリフィス部と、前記オリフィス部の下流側に位置し前記液化二酸化炭素を急減圧させてドライアイススノーにする膨張部と、前記膨張部の下流側に位置し前記ドライアイススノーを整流する絞り部とを備えて構成され、
前記ノズル本体は、
前記搬送部と前記オリフィス部とを有する第1の噴出管路部材と、
前記膨張部を有する第2の噴出管路部材と、
前記絞り部を有する第3の噴出管路部材とから構成されていることを特徴とするドライアイススノー噴出ノズル。 In a dry ice snow ejection nozzle that is connected to a pressurized liquefied carbon dioxide supply line and has a nozzle body having a jet pipe that ejects dry liquefied carbon dioxide by rapidly depressurizing the liquefied carbon dioxide,
The ejection pipe line is located on a downstream side of the orifice unit, a conveyance unit that conveys the liquefied carbon dioxide, an orifice unit that is located downstream of the conveyance unit and restricts the flow rate of the pressurized liquefied carbon dioxide, and The liquefied carbon dioxide is rapidly reduced in pressure to form dry ice snow, and an expansion part located downstream of the expansion part and rectifying the dry ice snow is configured.
The nozzle body is
A first jet pipe member having the transport section and the orifice section;
A second ejection pipe member having the expansion portion;
A dry ice / snow jet nozzle comprising a third jet pipe member having the throttle portion.
前記第1の噴出管路部材と前記第2の噴出管路部材の連結部分及び前記第2の噴出管路部材と前記第3の噴出管路部材の連結部分は、いずれも雌ねじ部及びこの雌ねじ部にねじ込み可能な雄ねじ部を備えていることを特徴とする請求項1に記載のドライアイススノー噴出ノズル。 The first jet pipe member and the second jet pipe member, the second jet pipe member and the third jet pipe member are each configured to be detachably connected,
The connecting portion between the first jet pipe member and the second jet pipe member and the connecting portion between the second jet pipe member and the third jet pipe member are both the female screw portion and the female screw. The dry ice snow ejection nozzle according to claim 1, further comprising a male screw part that can be screwed into the part.
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