JP2007240247A - 金属管入り光ファイバコイル型振動センサ - Google Patents
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Abstract
【課題】高温下で使用でき、十分な耐環境性を有し、小さい径のコイルを作ることが出来る金属管入り光ファイバコイル型振動センサを提供する。
【解決手段】コア(1a)およびクラッド(1d)から成る光ファイバ(1)の外周面に金属膜(2)を形成した耐熱光ファイバ(3)を、金属管(5)に挿入し、充填材(7)を充填し、渦巻き状のコイルに巻き、封止材(6)で端部(5a,5b)を封止する。
【効果】外周面に金属膜2を形成した耐熱光ファイバ(3)を用い、それを金属管(5)に入れているので、耐熱性に優れ、高温下で使用できる。耐熱光ファイバ(3)が外部に露出していないので、高温の酸化性ガス雰囲気下でも金属膜(2)が酸化せず、十分な耐環境性を有する。曲げたときの張力がほとんど耐熱光ファイバ(3)にかからず、小さい径のコイルを作ることが出来る。
【選択図】図1
【解決手段】コア(1a)およびクラッド(1d)から成る光ファイバ(1)の外周面に金属膜(2)を形成した耐熱光ファイバ(3)を、金属管(5)に挿入し、充填材(7)を充填し、渦巻き状のコイルに巻き、封止材(6)で端部(5a,5b)を封止する。
【効果】外周面に金属膜2を形成した耐熱光ファイバ(3)を用い、それを金属管(5)に入れているので、耐熱性に優れ、高温下で使用できる。耐熱光ファイバ(3)が外部に露出していないので、高温の酸化性ガス雰囲気下でも金属膜(2)が酸化せず、十分な耐環境性を有する。曲げたときの張力がほとんど耐熱光ファイバ(3)にかからず、小さい径のコイルを作ることが出来る。
【選択図】図1
Description
本発明は、金属管入り光ファイバコイル型振動センサに関し、さらに詳しくは、高温下で使用でき、十分な耐環境性を有し、小さい径のコイルを作ることが出来る金属管入り光ファイバコイル型振動センサに関する。
従来、コアおよびクラッドからなる光ファイバを金属管に入れてコイル状に巻いた金属管入り光ファイバコイルが知られている(例えば、特許文献1参照。)。
他方、コアおよびクラッドからなる光ファイバの外周に金属膜を形成した耐熱光ファイバをコイル状に巻いた振動センサが知られている(例えば、特許文献2参照。)。
他方、コアおよびクラッドからなる光ファイバの外周に金属膜を形成した耐熱光ファイバをコイル状に巻いた振動センサが知られている(例えば、特許文献2参照。)。
上記従来の金属管入り光ファイバコイルは、長さ調整のためにコイル状に巻いており、振動センサとして使えるものではない。また、光ファイバが耐熱性ではない。すなわち、高温下で振動センサとして使えない。
他方、従来の耐熱光ファイバをコイル状に巻いた振動センサでは、金属膜が外部に露出しているため、高温の酸化性ガスに曝されると金属膜が酸化し、光ファイバが脆くなるなど、耐環境性が十分でない問題点がある。なお、金属膜を金にすると、酸化を抑制できるが、光ファイバとの密着が弱く、7N〜12N程度の張力で断線を起こすため、小さい径のコイルに曲げることが困難になる。
そこで、本発明の目的は、高温下で使用でき、十分な耐環境性を有し、小さい径のコイルを作ることが出来る金属管入り光ファイバコイル型振動センサを提供することにある。
他方、従来の耐熱光ファイバをコイル状に巻いた振動センサでは、金属膜が外部に露出しているため、高温の酸化性ガスに曝されると金属膜が酸化し、光ファイバが脆くなるなど、耐環境性が十分でない問題点がある。なお、金属膜を金にすると、酸化を抑制できるが、光ファイバとの密着が弱く、7N〜12N程度の張力で断線を起こすため、小さい径のコイルに曲げることが困難になる。
そこで、本発明の目的は、高温下で使用でき、十分な耐環境性を有し、小さい径のコイルを作ることが出来る金属管入り光ファイバコイル型振動センサを提供することにある。
第1の観点では、本発明は、コア(1a)およびクラッド(1d)から成る光ファイバ(1)の外周面に金属膜(2)を形成した耐熱光ファイバ(3)を金属管(5)に挿入し渦巻き状のコイルにしたことを特徴とする金属管入り光ファイバコイル型振動センサ(10)を提供する。
上記第1の観点による金属管入り光ファイバコイル型振動センサ(10)では、コア(1a)およびクラッド(1d)から成る光ファイバ(1)の外周面に金属膜(2)を形成した耐熱光ファイバ(3)を用い、それを更に金属管(5)に入れているので、耐熱性に優れ、高温下で使用できる。また、耐熱光ファイバ(3)が外部に露出していないので、高温の酸化性ガス雰囲気下でも金属膜(2)が酸化せず、十分な耐環境性を有する。さらに、コイル化するために曲げたときの張力が金属管(5)にかかり、あまり耐熱光ファイバ(3)にはかからないため、断線が起こらず、小さい径のコイルを作ることが出来る。
上記第1の観点による金属管入り光ファイバコイル型振動センサ(10)では、コア(1a)およびクラッド(1d)から成る光ファイバ(1)の外周面に金属膜(2)を形成した耐熱光ファイバ(3)を用い、それを更に金属管(5)に入れているので、耐熱性に優れ、高温下で使用できる。また、耐熱光ファイバ(3)が外部に露出していないので、高温の酸化性ガス雰囲気下でも金属膜(2)が酸化せず、十分な耐環境性を有する。さらに、コイル化するために曲げたときの張力が金属管(5)にかかり、あまり耐熱光ファイバ(3)にはかからないため、断線が起こらず、小さい径のコイルを作ることが出来る。
第2の観点では、本発明は、前記第1の観点による金属管入り光ファイバコイル型振動センサ(10)において、前記金属膜(2)が、融点500℃以上のAg、Be、Co、Cr、Cu、Fe、Hf、Mn、Mo、Nb、Ni、Ta、Ti、W、Zrまたはそれらを主成分とした合金を材料とした1層または複数層で形成されていることを特徴とする金属管入り光ファイバコイル型振動センサ(10)を提供する。
上記第2の観点による金属管入り光ファイバコイル型振動センサ(10)では、耐熱性を向上できる。
上記第2の観点による金属管入り光ファイバコイル型振動センサ(10)では、耐熱性を向上できる。
第3の観点では、本発明は、前記第1または第2の観点による金属管入り光ファイバコイル型振動センサ(10)において、前記金属管(5)が、弾性率200GPa以下のAg、Be、Co、Cr、Cu、Fe、Hf、Mn、Mo、Nb、Ni、Ta、Ti、W、Zrまたはそれらを主成分とした合金で形成されていることを特徴とする金属管入り光ファイバコイル型振動センサ(10)を提供する。
上記第3の観点による金属管入り光ファイバコイル型振動センサ(10)では、曲げるときの作業性を向上できる。
上記第3の観点による金属管入り光ファイバコイル型振動センサ(10)では、曲げるときの作業性を向上できる。
第4の観点では、本発明は、前記第1から第3のいずれかの観点による金属管入り光ファイバコイル型振動センサ(10)において、前記金属管(5)の厚さが、1mm以下であることを特徴とする金属管入り光ファイバコイル型振動センサ(10)を提供する。
上記第4の観点による金属管入り光ファイバコイル型振動センサ(10)では、曲げるときの作業性を向上できる。
上記第4の観点による金属管入り光ファイバコイル型振動センサ(10)では、曲げるときの作業性を向上できる。
第5の観点では、本発明は、前記第1から第4のいずれかの観点による金属管入り光ファイバコイル型振動センサ(10)において、前記金属管(5)内に入っている前記耐熱光ファイバ(3)の長さが前記金属管(5)より長いことを特徴とする金属管入り光ファイバコイル型振動センサ(10)を提供する。
上記第5の観点による金属管入り光ファイバコイル型振動センサ(10)では、金属管(5)内に入っている耐熱光ファイバ(3)の長さが金属管(5)より長いため、曲げたときの張力がほとんど耐熱光ファイバ(3)にかからず、小さい径のコイルを作ることが出来る。また、耐熱光ファイバ(3)が金属管(5)の内壁に1点以上で接する程度に耐熱光ファイバ(3)が長ければ、耐熱光ファイバ(3)に振動が伝達されやすくなり、感度を向上できる。
上記第5の観点による金属管入り光ファイバコイル型振動センサ(10)では、金属管(5)内に入っている耐熱光ファイバ(3)の長さが金属管(5)より長いため、曲げたときの張力がほとんど耐熱光ファイバ(3)にかからず、小さい径のコイルを作ることが出来る。また、耐熱光ファイバ(3)が金属管(5)の内壁に1点以上で接する程度に耐熱光ファイバ(3)が長ければ、耐熱光ファイバ(3)に振動が伝達されやすくなり、感度を向上できる。
第6の観点では、本発明は、前記第1から第5のいずれかの観点による金属管入り光ファイバコイル型振動センサ(10)において、前記耐熱光ファイバ(3)を挿通した前記金属管(5)の端部(5a,5b)が封止または略封止状態になっていることを特徴とする金属管入り光ファイバコイル型振動センサ(10)を提供する。
上記構成において「封止」とは隙間が完全に無い状態をいい、「略封止」とは隙間が僅かにある状態をいう。
上記第6の観点による金属管入り光ファイバコイル型振動センサ(10)では、金属管(5)の端部(5a,5b)を封止または略封止しているので、金属管(5)の端部(5a,5b)から酸化性ガスが金属管(5)の内部に入ったり、金属管(5)の内部に充填した充填材(7)が漏れることを防止できる。
上記構成において「封止」とは隙間が完全に無い状態をいい、「略封止」とは隙間が僅かにある状態をいう。
上記第6の観点による金属管入り光ファイバコイル型振動センサ(10)では、金属管(5)の端部(5a,5b)を封止または略封止しているので、金属管(5)の端部(5a,5b)から酸化性ガスが金属管(5)の内部に入ったり、金属管(5)の内部に充填した充填材(7)が漏れることを防止できる。
第7の観点では、本発明は、前記第6の観点による金属管入り光ファイバコイル型振動センサ(10)において、前記耐熱光ファイバ(3)を挿通した前記金属管(5)の端部(5a,5b)が、接着剤により封止または略封止状態になっていることを特徴とする金属管入り光ファイバコイル型振動センサ(10)を提供する。
上記第7の観点による金属管入り光ファイバコイル型振動センサ(10)では、封止の作業性を向上できる。
上記第7の観点による金属管入り光ファイバコイル型振動センサ(10)では、封止の作業性を向上できる。
第8の観点では、本発明は、前記第6の観点による金属管入り光ファイバコイル型振動センサ(10)において、前記耐熱光ファイバ(3)を挿通した前記金属管(5)の端部(5a,5b)が、縮径されて封止または略封止状態になっていることを特徴とする金属管入り光ファイバコイル型振動センサ(10)を提供する。
上記第8の観点による金属管入り光ファイバコイル型振動センサ(10)では、高い耐熱性を維持できる。
上記第8の観点による金属管入り光ファイバコイル型振動センサ(10)では、高い耐熱性を維持できる。
第9の観点では、本発明は、前記第6の観点による金属管入り光ファイバコイル型振動センサ(10)において、前記耐熱光ファイバ(3)を挿通した前記金属管(5)の端部(5a,5b)にキャップ(9)が被せられて封止または略封止状態になっていることを特徴とする金属管入り光ファイバコイル型振動センサ(10)を提供する。
上記第9の観点による金属管入り光ファイバコイル型振動センサ(10)では、封止の作業性を向上できる。
上記第9の観点による金属管入り光ファイバコイル型振動センサ(10)では、封止の作業性を向上できる。
第10の観点では、本発明は、前記第6から前記第9のいずれかの観点による金属管入り光ファイバコイル型振動センサ(10)において、前記耐熱光ファイバ(3)を挿通した前記金属管(5)の内部に充填材(7)が充填されていることを特徴とする金属管入り光ファイバコイル型振動センサ(10)を提供する。
上記第10の観点による金属管入り光ファイバコイル型振動センサ(10)では、充填材(7)が耐熱光ファイバ(3)に振動を伝達するため、感度を向上できる。なお、金属管(5)の端部(5a,5b)を封止または略封止しているため、充填材(7)が漏れることはない。
上記第10の観点による金属管入り光ファイバコイル型振動センサ(10)では、充填材(7)が耐熱光ファイバ(3)に振動を伝達するため、感度を向上できる。なお、金属管(5)の端部(5a,5b)を封止または略封止しているため、充填材(7)が漏れることはない。
第11の観点では、本発明は、前記第1から前記第10のいずれかの観点による金属管入り光ファイバコイル型振動センサ(10)を基板(20)に固定したことを特徴とする保護管入り光ファイバコイル型振動センサ(100)を提供する。
上記第11の観点による金属管入り光ファイバコイル型振動センサ(100)では、金属管入り光ファイバコイル型振動センサ(10)を基板(20)に固定したので、運搬、保管、設置などの作業での取り扱いが容易になる。
上記第11の観点による金属管入り光ファイバコイル型振動センサ(100)では、金属管入り光ファイバコイル型振動センサ(10)を基板(20)に固定したので、運搬、保管、設置などの作業での取り扱いが容易になる。
本発明の金属管入り光ファイバコイル型振動センサ(10,100)は、高温下で使用でき、十分な耐環境性を有し、小さい径のコイルとすることが出来る。
以下、図に示す実施の形態により本発明をさらに詳細に説明する。なお、これにより本発明が限定されるものではない。
図1は、実施例1に係る金属管入り光ファイバコイル型振動センサ10を示す一部断面上面図である。
この金属管入り光ファイバコイル型振動センサ10は、渦巻き状のコイルに巻かれた金属管5と、金属管5内で蛇行するような長さで金属管5内に挿入された耐熱光ファイバ3と、金属管5の両端を封止する封止材6とを具備している。
この金属管入り光ファイバコイル型振動センサ10は、渦巻き状のコイルに巻かれた金属管5と、金属管5内で蛇行するような長さで金属管5内に挿入された耐熱光ファイバ3と、金属管5の両端を封止する封止材6とを具備している。
金属管5は、例えば、内径0.5mm、肉厚0.1mm〜1mmの銅やステンレスのパイプであり、直径約20mmの5ターンのコイルに巻いてある。
図2に断面を示すように、耐熱光ファイバ3は、コア1aおよびクラッド1dから成る石英またはガラス製の光ファイバ1の外周面に、金属膜2を形成した構成である。
金属膜2は、例えば、金、ニッケル等である。
数値例を示すと、コア1aの直径は10μm、クラッド1dの直径は125μm、金属膜2の厚さは15μmである。
金属膜2は、例えば、金、ニッケル等である。
数値例を示すと、コア1aの直径は10μm、クラッド1dの直径は125μm、金属膜2の厚さは15μmである。
封止材6は、無機接着剤である。
図3は、金属管入り光ファイバコイル型振動センサ10の製造手順を示すフロー図である。
ステップS1では、金属管5を還元雰囲気下で800℃でアニールする。
ステップS2では、金属管5内で蛇行するような長さで耐熱光ファイバ3を金属管5に挿通する。
ステップS3では、金属管5を渦巻きコイル状に巻く。金属管5を曲げることにキンク状態が起こる場合は、内部に10μm以下の粒子を入れて曲げることにより、キンクを防止することが出来る。
ステップS4では、コイルに巻いた金属管5を還元雰囲気下で800℃でアニールする。
ステップS5では、金属管5の端部5a,5bを封止材6で封止する。例えば、商品名「セラマボンド618」のようなシリカ系無機接着材を金属管5の端部5a,5bに数mm充填し、93℃で2時間+260℃で焼き付けて硬化させる。
ステップS1では、金属管5を還元雰囲気下で800℃でアニールする。
ステップS2では、金属管5内で蛇行するような長さで耐熱光ファイバ3を金属管5に挿通する。
ステップS3では、金属管5を渦巻きコイル状に巻く。金属管5を曲げることにキンク状態が起こる場合は、内部に10μm以下の粒子を入れて曲げることにより、キンクを防止することが出来る。
ステップS4では、コイルに巻いた金属管5を還元雰囲気下で800℃でアニールする。
ステップS5では、金属管5の端部5a,5bを封止材6で封止する。例えば、商品名「セラマボンド618」のようなシリカ系無機接着材を金属管5の端部5a,5bに数mm充填し、93℃で2時間+260℃で焼き付けて硬化させる。
実施例1の金属管入り光ファイバコイル型振動センサ10によれば、次の効果が得られる。
(1)外周面に金属膜2を形成した耐熱光ファイバ3を用い、それを更に金属管5に入れているので、耐熱性に優れ、高温下で使用できる。また、耐熱光ファイバ3が外部に露出していないので、高温の酸化性ガス雰囲気下でも金属膜2が酸化せず、十分な耐環境性を有する。
(2)金属管5内に入っている耐熱光ファイバ3が蛇行しているため、曲げたときの張力がほとんど耐熱光ファイバ3にかからず、小さい径のコイルを作ることが出来る。また、耐熱光ファイバ3が金属管5の内壁に数点で接するため、耐熱光ファイバ3に振動が伝達されやすくなり、感度を向上できる。
(3)金属管5の端部5a,5bを封止しているので、金属管5の端部5a,5bから酸化性ガスが金属管5の内部に入ることを防止できる。
(1)外周面に金属膜2を形成した耐熱光ファイバ3を用い、それを更に金属管5に入れているので、耐熱性に優れ、高温下で使用できる。また、耐熱光ファイバ3が外部に露出していないので、高温の酸化性ガス雰囲気下でも金属膜2が酸化せず、十分な耐環境性を有する。
(2)金属管5内に入っている耐熱光ファイバ3が蛇行しているため、曲げたときの張力がほとんど耐熱光ファイバ3にかからず、小さい径のコイルを作ることが出来る。また、耐熱光ファイバ3が金属管5の内壁に数点で接するため、耐熱光ファイバ3に振動が伝達されやすくなり、感度を向上できる。
(3)金属管5の端部5a,5bを封止しているので、金属管5の端部5a,5bから酸化性ガスが金属管5の内部に入ることを防止できる。
図4は、実施例2に係る金属管入り光ファイバコイル型振動センサ100を示す一部断面上面図である。図5は、同正面図である。
この金属管入り光ファイバコイル型振動センサ100は、実施例1に係る金属管入り光ファイバコイル型振動センサ10を基板20に固定したものである。
基板20は、例えばステンレス板やセラミック板である。
固定の方法は、例えばペーストや溶射による。
この金属管入り光ファイバコイル型振動センサ100は、実施例1に係る金属管入り光ファイバコイル型振動センサ10を基板20に固定したものである。
基板20は、例えばステンレス板やセラミック板である。
固定の方法は、例えばペーストや溶射による。
実施例2の金属管入り光ファイバコイル型振動センサ100によれば、運搬、保管、設置などの作業での取り扱いが容易になる。
図6は、実施例3に係る金属管入り光ファイバコイル型振動センサ10を示す一部断面上面図である。
この金属管入り光ファイバコイル型振動センサ10は、実施例1に係る金属管入り光ファイバコイル型振動センサ10において金属管5の内部に充填材7を充填したものである。
充填材7は、粉体(例えばアルミナ粉、酸化マグネシウム粉)または液体(例えば水銀)である。
この金属管入り光ファイバコイル型振動センサ10は、実施例1に係る金属管入り光ファイバコイル型振動センサ10において金属管5の内部に充填材7を充填したものである。
充填材7は、粉体(例えばアルミナ粉、酸化マグネシウム粉)または液体(例えば水銀)である。
金属管5内への充填材7の充填は、図3におけるステップS2の後、ステップS3の前に行う。
実施例3の金属管入り光ファイバコイル型振動センサ100によれば、充填材7が耐熱光ファイバ3に振動を伝達するため、感度を向上できる。充填材7は、金属管5の端部5a,5bを封止しているため、漏れることはない。
図7は、実施例4に係る金属管入り光ファイバコイル型振動センサ10を示す一部断面上面図である。
この金属管入り光ファイバコイル型振動センサ10は、実施例3に係る金属管入り光ファイバコイル型振動センサ10において封止材6で金属管5の端部5a,5bを封止した代わりに、ダイスを用いた押出し又は引抜き、あるいは、機械的かしめによって金属管5の端部5a,5bを縮径し、略封止状態にしたものである。
この金属管入り光ファイバコイル型振動センサ10は、実施例3に係る金属管入り光ファイバコイル型振動センサ10において封止材6で金属管5の端部5a,5bを封止した代わりに、ダイスを用いた押出し又は引抜き、あるいは、機械的かしめによって金属管5の端部5a,5bを縮径し、略封止状態にしたものである。
図8は、実施例5に係る金属管入り光ファイバコイル型振動センサ10を示す一部断面上面図である。
この金属管入り光ファイバコイル型振動センサ10は、実施例3に係る金属管入り光ファイバコイル型振動センサ10において封止材6で金属管5の端部5a,5bを封止した代わりに、キャップ9を金属管5の端部5a,5bに被せて、略封止状態にしたものである。
キャップ9は、例えば円筒状の薄肉の銅製スリーブを金属管5の端部5a,5bに被せてからその端部を機械的かしめにより縮径したものである。
この金属管入り光ファイバコイル型振動センサ10は、実施例3に係る金属管入り光ファイバコイル型振動センサ10において封止材6で金属管5の端部5a,5bを封止した代わりに、キャップ9を金属管5の端部5a,5bに被せて、略封止状態にしたものである。
キャップ9は、例えば円筒状の薄肉の銅製スリーブを金属管5の端部5a,5bに被せてからその端部を機械的かしめにより縮径したものである。
本発明の金属管入り光ファイバコイル型振動センサは、火山のマグマ付近岩盤などの高温環境下で振動を検知するのに利用できる。
1 光ファイバ
1a コア
1d クラッド
2 金属膜
3 耐熱光ファイバ
5 金属管
6 封止材
7 充填材
9 キャップ
10 金属管入り光ファイバコイル型振動センサ
100 金属管入り光ファイバコイル型振動センサ
1a コア
1d クラッド
2 金属膜
3 耐熱光ファイバ
5 金属管
6 封止材
7 充填材
9 キャップ
10 金属管入り光ファイバコイル型振動センサ
100 金属管入り光ファイバコイル型振動センサ
Claims (11)
- コア(1a)およびクラッド(1d)から成る光ファイバ(1)の外周面に金属膜(2)を形成した耐熱光ファイバ(3)を金属管(5)に挿入し渦巻き状のコイルにしたことを特徴とする金属管入り光ファイバコイル型振動センサ(10)。
- 請求項1に記載の金属管入り光ファイバコイル型振動センサ(10)において、前記金属膜(2)が、融点500℃以上のAg、Be、Co、Cr、Cu、Fe、Hf、Mn、Mo、Nb、Ni、Ta、Ti、W、Zrまたはそれらを主成分とした合金を材料とした1層または複数層で形成されていることを特徴とする金属管入り光ファイバコイル型振動センサ(10)。
- 請求項1または請求項2に記載の金属管入り光ファイバコイル型振動センサ(10)において、前記金属管(5)が、弾性率200GPa以下のAg、Be、Co、Cr、Cu、Fe、Hf、Mn、Mo、Nb、Ni、Ta、Ti、W、Zrまたはそれらを主成分とした合金で形成されていることを特徴とする金属管入り光ファイバコイル型振動センサ(10)。
- 請求項1から請求項3のいずれかに記載の金属管入り光ファイバコイル型振動センサ(10)において、前記金属管(5)の厚さが、1mm以下であることを特徴とする金属管入り光ファイバコイル型振動センサ(10)。
- 請求項1から請求項4のいずれかに記載の金属管入り光ファイバコイル型振動センサ(10)において、前記金属管(5)内に入っている前記耐熱光ファイバ(3)の長さが前記金属管(5)より長いことを特徴とする金属管入り光ファイバコイル型振動センサ(10)。
- 請求項1から請求項5のいずれかに記載の金属管入り光ファイバコイル型振動センサ(10)において、前記耐熱光ファイバ(3)を挿通した前記金属管(5)の端部(5a,5b)が封止または略封止状態になっていることを特徴とする金属管入り光ファイバコイル型振動センサ(10)。
- 請求項6に記載の金属管入り光ファイバコイル型振動センサ(10)において、前記耐熱光ファイバ(3)を挿通した前記金属管(5)の端部(5a,5b)が、接着剤により封止状態になっていることを特徴とする金属管入り光ファイバコイル型振動センサ(10)。
- 請求項6に記載の金属管入り光ファイバコイル型振動センサ(10)において、前記耐熱光ファイバ(3)を挿通した前記金属管(5)の端部(5a,5b)が、縮径されて略封止状態になっていることを特徴とする金属管入り光ファイバコイル型振動センサ(10)。
- 請求項6に記載の金属管入り光ファイバコイル型振動センサ(10)において、前記耐熱光ファイバ(3)を挿通した前記金属管(5)の端部(5a,5b)にキャップ(9)が被せられて略封止状態になっていることを特徴とする金属管入り光ファイバコイル型振動センサ(10)。
- 請求項6から請求項9のいずれかに記載の金属管入り光ファイバコイル型振動センサ(10)において、前記耐熱光ファイバ(3)を挿通した前記金属管(5)の内部に充填材(7)が充填されていることを特徴とする金属管入り光ファイバコイル型振動センサ(10)。
- 請求項1から請求項10のいずれかに記載の金属管入り光ファイバコイル型振動センサ(10)を基板(20)に固定したことを特徴とする保護管入り光ファイバコイル型振動センサ(100)。
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JP2006060972A JP2007240247A (ja) | 2006-03-07 | 2006-03-07 | 金属管入り光ファイバコイル型振動センサ |
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JP2006060972A JP2007240247A (ja) | 2006-03-07 | 2006-03-07 | 金属管入り光ファイバコイル型振動センサ |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2012122751A (ja) * | 2010-12-06 | 2012-06-28 | Toshiba Corp | 材料劣化診断装置 |
CN114674349A (zh) * | 2022-03-14 | 2022-06-28 | 麒盛科技股份有限公司 | 一种基于光纤微弯的监测装置 |
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2006
- 2006-03-07 JP JP2006060972A patent/JP2007240247A/ja active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2012122751A (ja) * | 2010-12-06 | 2012-06-28 | Toshiba Corp | 材料劣化診断装置 |
CN114674349A (zh) * | 2022-03-14 | 2022-06-28 | 麒盛科技股份有限公司 | 一种基于光纤微弯的监测装置 |
CN114674349B (zh) * | 2022-03-14 | 2024-06-04 | 麒盛科技股份有限公司 | 一种基于光纤微弯的监测装置 |
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