JP2007232580A - Differential pressure measuring instrument - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a differential pressure measuring instrument having a structure where movement of sealing liquid between a sealing liquid chamber and a conduction hole is smoothed, and heat from the body hardly transfers to a sealing diaphragm. <P>SOLUTION: A high pressure side backplate face is formed of a convex curved surface projecting from the body, and has an annular recessed part surrounding an opening of a high pressure side conductive hole and an end of a low pressure side overpressure conductive hole. A low pressure side backplate face is formed of a convex curved surface projecting from the body, and has an annular recessed part surrounding an opening of a low pressure side conductive hole and an end of a high pressure side overpressure conductive hole. A high pressure side protective diaphragm has an opening part penetrated by the opening of the high pressure side conductive hole. A low pressure side protective diaphragm has an opening part penetrated by the opening of the low pressure side conductive hole. <P>COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Description

本発明は、差圧測定装置に関し、詳しくは過大圧保護構造に関する。   The present invention relates to a differential pressure measuring device, and more particularly to an overpressure protection structure.

図５は、従来の差圧測定装置の一例を示す構成図である。図５の差圧測定装置は、測定対象プロセスの高圧側と低圧側の圧力差を電気信号に変換する圧力検出部１１と、この圧力検出部１１で生成された電気信号を増幅する増幅部１２とで構成されている。   FIG. 5 is a block diagram showing an example of a conventional differential pressure measuring device. The differential pressure measuring device in FIG. 5 includes a pressure detection unit 11 that converts a pressure difference between a high pressure side and a low pressure side of a measurement target process into an electrical signal, and an amplification unit 12 that amplifies the electrical signal generated by the pressure detection unit 11. It consists of and.

圧力検出部１１は、高圧側の圧力を導入する高圧力導入部を形成する高圧側フランジ１３と、低圧側の圧力を導入する低圧力導入部を形成する低圧側フランジ１４と、これら高圧側フランジ１３と低圧側フランジ１４に導入される圧力差を検出するダイアフラムよりなる受圧部（差圧カプセル）１５とで構成されている。このように構成される圧力検出部１１は、高圧側フランジ１３と低圧側フランジ１４がナット１６とボルト１７で係止されている。   The pressure detection unit 11 includes a high pressure side flange 13 that forms a high pressure introduction unit that introduces high pressure side pressure, a low pressure side flange 14 that forms a low pressure introduction unit that introduces low pressure side pressure, and the high pressure side flange. 13 and a pressure receiving portion (differential pressure capsule) 15 made of a diaphragm for detecting a pressure difference introduced into the low pressure side flange 14. In the pressure detector 11 configured in this way, the high pressure side flange 13 and the low pressure side flange 14 are locked by the nut 16 and the bolt 17.

図６は従来の差圧カプセル１５の一例を示す構成図である。差圧センサ５０を内蔵する本体ボディ６１の一方の面には高圧側バックプレート面５１が形成され、他方の面には低圧側バックプレート面５２が形成されている。これら高圧側バックプレート面５１と低圧側バックプレート面５２は、外側に凸状の湾曲面として形成されている。   FIG. 6 is a block diagram showing an example of a conventional differential pressure capsule 15. A high pressure side back plate surface 51 is formed on one surface of the main body 61 containing the differential pressure sensor 50, and a low pressure side back plate surface 52 is formed on the other surface. The high-pressure side back plate surface 51 and the low-pressure side back plate surface 52 are formed as convex curved surfaces on the outside.

高圧側バックプレート面５１には、高圧側バックプレート面５１との間に低圧側過大圧室５８を形成するように高圧側予加重ダイアフラム５３が配置固着されている。さらに、高圧側予加重ダイアフラム５３を覆い圧力伝達媒体６２としての封入液を封入する高圧側シールダイアフラム室５４が形成されるようにして高圧側シールダイアフラム６３が設けられ、その外周端部は本体ボディ６１に溶接等により気密に取り付けられている。   A high pressure side pre-loading diaphragm 53 is disposed and fixed on the high pressure side back plate surface 51 so as to form a low pressure side overpressure chamber 58 between the high pressure side back plate surface 51. Further, a high-pressure side seal diaphragm 63 is provided so as to form a high-pressure side seal diaphragm chamber 54 that covers the high-pressure side preloading diaphragm 53 and encloses a sealing liquid as a pressure transmission medium 62, and an outer peripheral end portion of the main body body is provided. 61 is attached airtight by welding or the like.

低圧側バックプレート面５２には、低圧側バックプレート面５２との間に高圧側過大圧室５７を形成するように低圧側予加重ダイアフラム５６が配置固着されている。さらに、低圧側予加重ダイアフラム５６を覆い圧力伝達媒体６２を封入する低圧側シールダイアフラム室５９が形成されるようにして低圧側シールダイアフラム６４が設けられ、その外周端部は本体ボディ６１に溶接等により気密に取り付けられている。   A low pressure side preloading diaphragm 56 is disposed and fixed on the low pressure side back plate surface 52 so as to form a high pressure side overpressure chamber 57 between the low pressure side back plate surface 52. Further, a low-pressure side seal diaphragm 64 is provided so as to form a low-pressure side seal diaphragm chamber 59 that covers the low-pressure side preloading diaphragm 56 and encloses the pressure transmission medium 62, and its outer peripheral end is welded to the body body 61. It is attached more airtight.

高圧側予加重ダイアフラム５３と低圧側予加重ダイアフラム５６は、組み立て前は平板状になっているが、高圧側バックプレート面５１および低圧側バックプレート面５２に組み立て固着するのにあたり、各バックプレート面に沿って凸状に湾曲するように圧力を加える。   The high-pressure side pre-loading diaphragm 53 and the low-pressure side pre-loading diaphragm 56 are flat before assembly, but each back plate surface is assembled and fixed to the high-pressure side back plate surface 51 and the low pressure side back plate surface 52. A pressure is applied so as to curve in a convex shape along the line.

本体ボディ６１には、高圧側過大圧伝導穴６０と低圧側伝導穴６５と低圧側過大圧伝導穴６６と高圧側伝導穴６８が設けられている。   The main body 61 is provided with a high pressure side overpressure conduction hole 60, a low pressure side conduction hole 65, a low pressure side overpressure conduction hole 66, and a high pressure side conduction hole 68.

高圧側過大圧伝導穴６０の一端は高圧側過大圧室５７に開口連通し、他端は高圧側伝導穴６８を介して高圧側シールダイアフラム室５４に連通するとともに差圧センサ５０の一方に連通している。   One end of the high pressure side overpressure conduction hole 60 communicates with the high pressure side overpressure chamber 57 and the other end communicates with the high pressure side seal diaphragm chamber 54 via the high pressure side conduction hole 68 and also communicates with one of the differential pressure sensors 50. is doing.

低圧側過大圧伝導穴６６の一端は低圧側過大圧室５８に開口連通し、他端は低圧側伝導穴６５を介して低圧側シールダイアフラム室５９に連通するとともに差圧センサ５０の他方に連通している。   One end of the low pressure side overpressure conduction hole 66 communicates with the low pressure side overpressure chamber 58 while the other end communicates with the low pressure side seal diaphragm chamber 59 through the low pressure side conduction hole 65 and communicates with the other of the differential pressure sensor 50. is doing.

このような構成において、低圧側シールダイアフラム６４に低圧側の圧力Ｐが加わると圧力伝達媒体６２に伝達され、さらに低圧側伝導穴６５を介して差圧センサ５０の他方の面に圧力Ｐが伝達される。また、この低圧側の圧力Ｐは、低圧側過大圧伝導穴６６を介して高圧側予加重ダイアフラム５３を加圧する。   In such a configuration, when a low-pressure side pressure P is applied to the low-pressure side seal diaphragm 64, it is transmitted to the pressure transmission medium 62, and further, the pressure P is transmitted to the other surface of the differential pressure sensor 50 through the low-pressure side conduction hole 65. Is done. The low-pressure side pressure P pressurizes the high-pressure side preloading diaphragm 53 through the low-pressure side overpressure conduction hole 66.

ここで、高圧側予加重ダイアフラム５３は本来平板であるものを凸状に変形させているので、その復元力が圧力Ｐに対抗することになって変位しない。
高圧側予加重ダイアフラム５３と低圧側予加重ダイアフラム５６の復元力は最大測定圧力の約２倍に相当するように凸状の形状が設計されている。したがって、約２倍を超える圧力が加わることにより、高圧側予加重ダイアフラム５３と低圧側予加重ダイアフラム５６は変位しはじめることになる。 Here, since the high-pressure side preloading diaphragm 53 is deformed into a convex shape from what is originally a flat plate, its restoring force opposes the pressure P and is not displaced.
The convex shape is designed so that the restoring force of the high pressure side preloading diaphragm 53 and the low pressure side preloading diaphragm 56 corresponds to about twice the maximum measured pressure. Therefore, when a pressure exceeding about twice is applied, the high pressure side preloading diaphragm 53 and the low pressure side preloading diaphragm 56 start to be displaced.

高圧側予加重ダイアフラム５３が変位すると圧力伝達媒体６２を移動させ、低圧側シールダイアフラム６４も変位する。そして、圧力Ｐが最大測定圧力の２倍を超えて約３倍になると、図７に示すように低圧側シールダイアフラム６４は低圧側予加重ダイアフラム５６に着座し、それ以上変位しなくなる。圧力Ｐが最大測定圧力の約３倍を超えても、低圧側シールダイアフラム６４は低圧側予加重ダイアフラム５６に接しているため圧力伝達媒体６２の圧力は約３倍以上には上昇せず、差圧センサ５０は約３倍以上の圧力を受けることはない。   When the high pressure side pre-loading diaphragm 53 is displaced, the pressure transmission medium 62 is moved, and the low pressure side seal diaphragm 64 is also displaced. When the pressure P exceeds about twice the maximum measured pressure and becomes about three times, the low-pressure side seal diaphragm 64 is seated on the low-pressure side pre-loading diaphragm 56 as shown in FIG. Even when the pressure P exceeds about 3 times the maximum measured pressure, the pressure of the pressure transmission medium 62 does not increase to about 3 times or more because the low-pressure side seal diaphragm 64 is in contact with the low-pressure side pre-loading diaphragm 56. The pressure sensor 50 does not receive a pressure more than about three times.

特開２００５−２０７７４３号公報（第６頁〜第７頁 第１図）Japanese Patent Laying-Open No. 2005-207743 (page 6 to page 7 FIG. 1)

しかし、従来技術で説明した差圧測定装置は、圧力伝達媒体６２としての封入液を封入する高圧側シールダイアフラム室５４への伝導穴６８と低圧側シールダイアフラム室５９への低圧側伝導穴６５が、それぞれ高圧側シールダイアフラム６３と低圧側シールダイアフラム６４の外周端部近傍に設けられているために、これら高圧側シールダイアフラム６３と低圧側シールダイアフラム６４に加えられる圧力差に応じた圧力伝達媒体６２の移動が不確実であるという問題がある。   However, the differential pressure measuring device described in the prior art has a conduction hole 68 to the high-pressure side seal diaphragm chamber 54 and a low-pressure side conduction hole 65 to the low-pressure side seal diaphragm chamber 59 that enclose the sealing liquid as the pressure transmission medium 62. Since the high pressure side seal diaphragm 63 and the low pressure side seal diaphragm 64 are provided in the vicinity of the outer peripheral ends, respectively, the pressure transmission medium 62 according to the pressure difference applied to the high pressure side seal diaphragm 63 and the low pressure side seal diaphragm 64 is provided. There is a problem that the movement of is uncertain.

また、高圧側シールダイアフラム６３と低圧側シールダイアフラム６４の外周端部を本体ボディ６１に直接取り付ける構造であるため、本体ボディ６１の熱膨張が直接これら高圧側シールダイアフラム６３と低圧側シールダイアフラム６４に伝わってしまい、シールダイアフラム６３、６４が熱による変化を受けやすいという問題もある。   In addition, since the outer peripheral ends of the high-pressure side seal diaphragm 63 and the low-pressure side seal diaphragm 64 are directly attached to the main body body 61, the thermal expansion of the main body 61 directly affects the high-pressure side seal diaphragm 63 and the low-pressure side seal diaphragm 64. There is also a problem that the seal diaphragms 63 and 64 are susceptible to changes due to heat.

上記課題を解決するために、本発明の差圧測定装置は、以下に示すように構成する。   In order to solve the above problems, the differential pressure measuring device of the present invention is configured as follows.

（１）差圧センサを内蔵する本体ボディのバックプレート面の略中央位置に差圧センサに連通する伝導穴の開口を設けてこの開口を取り巻くように環状の凹部を形成し、
この凹部に保護ダイアフラムを固定するとともにその保護ダイアフラムを覆うようにシールダイアフラムを本体ボディに固定したことを特徴とする差圧測定装置。
（２）対向する２つのバックプレート面を持つと共に差圧センサを内蔵する本体ボディと、前記対向する２つのバックプレート面に固定される一対の保護ダイアフラムと、前記保護ダイアフラムを覆うように前記本体ボディに固定される一対のシールダイアフラムで構成される差圧カプセルであって、
前記対向する２つのバックプレート面は外側に凸状の湾曲面として形成され、
その凸状の湾曲面の任意の位置に前記差圧センサに連通している伝導穴の開口を配置すると共に、前記保護ダイアフラムを収納するための前記伝導穴の開口を取り巻く環状の凹部を形成した
ことを特徴とする差圧測定装置。
（３）前記保護ダイアフラムは、中央または略中央に開口部を持つ平円板で形成され、前記対向する２つのバックプレート面の環状の凹部に装着されると共に、中央部と外周部で気密に固定されることを特徴とする（２）に記載の差圧測定装置。
（４）前記シールダイアフラムは、中央部が平坦で外周部に折り返しを有する平円板で形成され、前記対向する２つのバックプレート面に固定された保護ダイアフラムを覆うと共に、折り返しの先端部で前記本体ボディの段差の側面に気密に固定されることを特徴とする（２）に記載の差圧測定装置。
（５）前記対向する２つのバックプレート面の中央位置に伝導穴の開口が設けられると共に、それぞれ差圧センサの一方に連通していることを特徴とする請求項２に記載の差圧測定装置。
（６）前記保護ダイアフラムを収納するための前記伝導穴の開口を取り巻いた環状の凹部の任意の位置に過大圧伝導穴の開口が設けられると共に、該過大圧伝導穴が反対側の伝導穴と連通することを特徴とする（２）に記載の差圧測定装置。
（７）前記本体ボディの内部には封入液が充填され、前記シールダイアフラムと前記保護ダイアフラムとの間は一定の間隔を保つように封入液の量が調整されることを特徴とする（２）に記載の差圧測定装置。
（８）高圧側バックプレート面と、前記高圧側バックプレート面の反対側に形成される低圧側バックプレート面と、内蔵された差圧センサと、高圧側の圧力を前記差圧センサに伝達する封入液が封入される高圧側伝導穴と、低圧側の圧力を前記差圧センサに伝達する封入液が封入される低圧側伝導穴と、前記低圧側伝導穴に連通する低圧側過大圧伝導穴と、前記高圧側伝導穴に連通する高圧側過大圧伝導穴とを有する本体ボディと、
前記高圧側バックプレート面に密着固定され、過大圧のときに変位する高圧側保護ダイアフラムと、
前記低圧側バックプレート面に密着固定され、過大圧のときに変位する低圧側保護ダイアフラムと、
前記高圧側保護ダイアフラムを覆い前記本体ボディに固定され、前記高圧側の圧力を受ける高圧側シールダイアフラムと、
前記低圧側保護ダイアフラムを覆い前記本体ボディに固定され、前記低圧側の圧力を受ける低圧側シールダイアフラムと
を備える差圧測定装置であって、
前記高圧側バックプレート面は、前記本体ボディから突き出た凸状の曲面で形成されると共に、前記高圧側伝導穴の開口を取り巻いた環状の凹部と前記低圧側過大圧伝導穴の端を備え、
前記低圧側バックプレート面は、前記本体ボディから突き出た凸状の曲面で形成されると共に、前記低圧側伝導穴の開口を取り巻いた環状の凹部と前記高圧側過大圧伝導穴の端を備え、
前記高圧側保護ダイアフラムは、前記高圧側伝導穴の開口が貫通する開口部を備え、
前記低圧側保護ダイアフラムは、前記低圧側伝導穴の開口が貫通する開口部を備える
ことを特徴とする差圧測定装置。 (1) An opening of a conduction hole communicating with the differential pressure sensor is provided at a substantially central position of the back plate surface of the body body incorporating the differential pressure sensor, and an annular recess is formed so as to surround the opening,
A differential pressure measuring device characterized in that a protective diaphragm is fixed to the recess and a seal diaphragm is fixed to the main body so as to cover the protective diaphragm.
(2) A main body having two opposing back plate surfaces and incorporating a differential pressure sensor, a pair of protective diaphragms fixed to the two opposing back plate surfaces, and the main body so as to cover the protective diaphragms A differential pressure capsule composed of a pair of seal diaphragms fixed to the body,
The two opposing back plate surfaces are formed as convex curved surfaces on the outside,
An opening of a conduction hole communicating with the differential pressure sensor is disposed at an arbitrary position on the convex curved surface, and an annular recess surrounding the opening of the conduction hole for housing the protective diaphragm is formed. A differential pressure measuring device characterized by that.
(3) The protective diaphragm is formed of a flat disk having an opening at the center or substantially the center, and is attached to the annular recesses of the two opposed back plate surfaces, and is airtight between the center and the outer periphery. The differential pressure measuring device according to (2), wherein the differential pressure measuring device is fixed.
(4) The seal diaphragm is formed of a flat disk having a flat central portion and a fold at the outer peripheral portion, covers the protective diaphragm fixed to the two opposing back plate surfaces, and at the tip end of the fold. The differential pressure measuring device according to (2), wherein the differential pressure measuring device is hermetically fixed to a side surface of a step of the main body.
(5) The differential pressure measuring device according to claim 2, wherein an opening of a conduction hole is provided at the center position of the two opposing back plate surfaces, and each of them communicates with one of the differential pressure sensors. .
(6) An opening of the overpressure conduction hole is provided at an arbitrary position of the annular recess surrounding the opening of the conduction hole for accommodating the protective diaphragm, and the overpressure conduction hole is connected to the opposite conduction hole. The differential pressure measuring device according to (2), characterized in that it communicates.
(7) The inside of the main body is filled with a sealing liquid, and the amount of the sealing liquid is adjusted so as to maintain a constant distance between the seal diaphragm and the protective diaphragm (2). The differential pressure measuring device described in 1.
(8) The high pressure side back plate surface, the low pressure side back plate surface formed on the opposite side of the high pressure side back plate surface, the built-in differential pressure sensor, and the high pressure side pressure are transmitted to the differential pressure sensor. A high-pressure side conduction hole that encloses the sealing liquid, a low-pressure side conduction hole that encloses a sealing liquid that transmits a low-pressure side pressure to the differential pressure sensor, and a low-pressure side overpressure conduction hole that communicates with the low-pressure side conduction hole And a main body having a high-pressure side overpressure conduction hole communicating with the high-pressure side conduction hole,
A high-pressure side protective diaphragm that is tightly fixed to the high-pressure side back plate surface and is displaced at an excessive pressure;
A low-pressure side protective diaphragm that is closely fixed to the low-pressure side back plate surface and that is displaced at an excessive pressure;
A high-pressure side sealing diaphragm that covers the high-pressure side protection diaphragm and is fixed to the body body and receives the pressure on the high-pressure side;
A differential pressure measuring device comprising a low pressure side seal diaphragm that covers the low pressure side protection diaphragm and is fixed to the main body body and receives the pressure on the low pressure side;
The high-pressure side back plate surface is formed with a convex curved surface protruding from the main body body, and includes an annular recess surrounding the opening of the high-pressure side conduction hole and an end of the low-pressure side overpressure conduction hole,
The low-pressure side back plate surface is formed with a convex curved surface protruding from the main body, and includes an annular recess surrounding the opening of the low-pressure side conduction hole and an end of the high-pressure side overpressure conduction hole,
The high-pressure side protection diaphragm includes an opening through which an opening of the high-pressure side conduction hole passes,
The low-pressure side protective diaphragm includes an opening through which an opening of the low-pressure side conduction hole passes.

本提案によれば、バックプレート面の略中央位置に伝導穴の開口（入口）を設け、この開口を取り巻くようにした環状（同心円状）の凹部を形成し、この凹部に保護ダイアフラムを配置し、その保護ダイアフラムを覆うようにシールダイアフラムを本体ボディに固定した構造にすることで、シールダイアフラム裏側の封入液室への通路が本体ボディの中央にあるために封入液の移動が容易で、確実な過大圧保護が期待できるという効果がある。   According to this proposal, an opening (entrance) of a conduction hole is provided at a substantially central position on the back plate surface, an annular (concentric) recess is formed around the opening, and a protective diaphragm is disposed in the recess. Since the seal diaphragm is fixed to the main body so as to cover the protective diaphragm, the passage to the sealed liquid chamber on the back side of the seal diaphragm is in the center of the main body, so that the liquid can be moved easily and reliably. There is an effect that a protection against excessive pressure can be expected.

また、シールダイアフラムの折り返しの先端部で本体ボディの段差の側面に気密に固定される構造にしたことにより、本体ボディからの熱を遮蔽するアイソレーション効果により、本体ボディとの熱膨張差によるシールダイアフラムの剛性変化を受けにくくするという効果がある。   In addition, the seal diaphragm has a structure that is hermetically fixed to the side of the step of the main body at the folded tip, and seals due to thermal expansion differences from the main body due to the isolation effect that shields heat from the main body There is an effect of making it difficult for the rigidity of the diaphragm to change.

本発明に係る差圧測定装置の実施形態について、図面を参照して説明する。
「実施例１」 An embodiment of a differential pressure measuring device according to the present invention will be described with reference to the drawings.
"Example 1"

本発明の差圧測定装置と従来の差圧測定装置は、受圧部（差圧カプセル）の構造が相違する。図１および図２は、本発明で用いる差圧カプセルの一実施例を示す構成図である。図１および図２において、差圧センサ２３を内蔵する本体ボディ２４の一方の面には高圧側バックプレート面２１が形成され、他方の面には低圧側バックプレート面２２が形成されている。これら高圧側バックプレート面２１と低圧側バックプレート面２２は外側に凸状の湾曲面として形成されていて、これら湾曲面には高圧側保護ダイアフラム２５および低圧側保護ダイアフラム２６がそれぞれ取り付けられる。そしてさらにこれら高圧側保護ダイアフラム２５および低圧側保護ダイアフラム２６を覆うようにして、高圧側シールダイアフラム２７および低圧側シールダイアフラム２８がそれぞれ取り付けられる。なお、差圧センサ２３としては、ピエゾ抵抗式シリコンセンサや振動式シリコンセンサなどが用いられる。   The differential pressure measuring device of the present invention is different from the conventional differential pressure measuring device in the structure of the pressure receiving portion (differential pressure capsule). 1 and 2 are configuration diagrams showing an embodiment of a differential pressure capsule used in the present invention. 1 and 2, a high-pressure side back plate surface 21 is formed on one surface of a main body 24 incorporating the differential pressure sensor 23, and a low-pressure side back plate surface 22 is formed on the other surface. The high-pressure side back plate surface 21 and the low-pressure side back plate surface 22 are formed as curved surfaces convex outward, and a high-pressure side protection diaphragm 25 and a low-pressure side protection diaphragm 26 are attached to these curved surfaces, respectively. Further, a high pressure side seal diaphragm 27 and a low pressure side seal diaphragm 28 are attached so as to cover the high pressure side protection diaphragm 25 and the low pressure side protection diaphragm 26, respectively. As the differential pressure sensor 23, a piezoresistive silicon sensor, a vibration silicon sensor, or the like is used.

高圧側バックプレート面２１の中央位置には差圧センサ２３の一方に連通する高圧側伝導穴３１の開口が設けられ、この開口を取り巻くようにして高圧側保護ダイアフラム２５を取り付けるための環状の高圧側凹部３２が形成されている。この高圧側凹部３２の外周端部の外側には高圧側シールダイアフラム２７の折り返し３８部分を密着結合するための段差３９が設けられている。また、高圧側バックプレート面２１の任意の位置、実施例では高圧側伝導穴３１の開口よりも上部位置には、低圧側伝導穴３４と連通する低圧側過大圧伝導穴３３の開口が設けられている。   An opening of a high-pressure side conduction hole 31 communicating with one of the differential pressure sensors 23 is provided at the center position of the high-pressure side back plate surface 21, and an annular high-pressure side diaphragm 25 for attaching the high-pressure side protection diaphragm 25 so as to surround this opening. A side recess 32 is formed. A step 39 for tightly coupling the folded portion 38 of the high-pressure side seal diaphragm 27 is provided outside the outer peripheral end of the high-pressure side recess 32. In addition, an opening of the low-pressure side overpressure conduction hole 33 communicating with the low-pressure side conduction hole 34 is provided at an arbitrary position on the high-pressure side back plate surface 21, in the embodiment, above the opening of the high-pressure side conduction hole 31. ing.

低圧側バックプレート面２２の中央位置には差圧センサ２３の他方に連通する低圧側伝導穴３４の開口が設けられ、この開口を取り巻くようにして低圧側保護ダイアフラム２６を取り付けるための環状の低圧側凹部３５が形成されている。この低圧側凹部３５の外周端部の外側には低圧側シールダイアフラム２８の折り返し３８部分を密着結合するための段差３９が設けられている。また、低圧側バックプレート面２２の任意の位置、実施例では低圧側伝導穴３４の開口よりも上部位置には、高圧側伝導穴３１と連通する高圧側過大圧伝導穴３６の開口が設けられている。   An opening of a low-pressure side conduction hole 34 communicating with the other of the differential pressure sensor 23 is provided at the center position of the low-pressure side back plate surface 22, and an annular low-pressure for attaching the low-pressure side protection diaphragm 26 so as to surround this opening. A side recess 35 is formed. On the outer side of the outer peripheral end of the low-pressure side recess 35, a step 39 is provided for tightly coupling the folded portion 38 of the low-pressure side seal diaphragm 28. In addition, an opening of the high-pressure side overpressure conduction hole 36 communicating with the high-pressure side conduction hole 31 is provided at an arbitrary position on the low-pressure side back plate surface 22, in the embodiment, above the opening of the low-pressure side conduction hole 34. ing.

高圧側保護ダイアフラム２５は、中央位置または略中央位置、実施例においては中央位置に開口部３７を持つ平円板で形成され、高圧側バックプレート面２１の環状の高圧側凹部３２に装着されると共に、図２に示す中央部（内周部）（ａ点）と外周部（ｂ点）の２箇所でレーザー溶接などにより気密に固定される。このように平板の高圧側保護ダイアフラム２５は、高圧側凹部３２の湾曲面に固定されているため、ある圧力までは湾曲面に密着した状態を維持する構造となっている。   The high-pressure side protection diaphragm 25 is formed of a flat disk having an opening 37 at a central position or a substantially central position, in the embodiment, in the embodiment, and is attached to the annular high-pressure side recess 32 of the high-pressure side backplate surface 21. At the same time, it is airtightly fixed by laser welding or the like at two locations, the central portion (inner peripheral portion) (point a) and the outer peripheral portion (point b) shown in FIG. Thus, since the flat high-pressure side protection diaphragm 25 is fixed to the curved surface of the high-pressure side concave portion 32, the flat high-pressure side protective diaphragm 25 has a structure that maintains a close contact with the curved surface up to a certain pressure.

低圧側保護ダイアフラム２６は、中央位置または略中央位置、実施例においては中央位置に開口部３７を持つ平円板で形成され、低圧側バックプレート面２２の環状の低圧側凹部３５に装着されると共に、図２に示す中央部（内周部）（ｃ点）と外周部（ｄ点）の２箇所でレーザー溶接などにより気密に固定される。このように平板の低圧側保護ダイアフラム２６は、低圧側凹部３５の湾曲面に固定されているため、ある圧力までは湾曲面に密着した状態を維持する構造となっている。   The low-pressure side protective diaphragm 26 is formed of a flat disk having an opening 37 at the central position or substantially central position, in the embodiment, the central position, and is attached to the annular low-pressure side recess 35 of the low-pressure side back plate surface 22. At the same time, it is airtightly fixed by laser welding or the like at two locations, the central portion (inner peripheral portion) (point c) and the outer peripheral portion (point d) shown in FIG. Thus, since the flat low-pressure side protective diaphragm 26 is fixed to the curved surface of the low-pressure side concave portion 35, the flat low-pressure side protective diaphragm 26 has a structure that maintains a close contact with the curved surface up to a certain pressure.

高圧側シールダイアフラム２７は、中央部が平坦で外周部に折り返し３８を有する平円板で形成され、高圧側バックプレート面２１に固定された高圧側保護ダイアフラム２５を覆うと共に、折り返し３８の先端部で本体ボディ２４の段差３９の側面（ｅ点）（図２参照）に溶接により気密に固定される。この高圧側シールダイアフラム２７の材質は、３１６ステンレス鋼やニッケル基合金が使用されている。   The high-pressure side seal diaphragm 27 is formed of a flat disk having a flat central portion and a folded portion 38 on the outer peripheral portion, covers the high-pressure side protective diaphragm 25 fixed to the high-pressure side back plate surface 21, and the front end portion of the folded portion 38. Thus, it is airtightly fixed to the side surface (point e) (see FIG. 2) of the step 39 of the main body 24 by welding. The high pressure side seal diaphragm 27 is made of 316 stainless steel or nickel base alloy.

低圧側シールダイアフラム２８は、中央部が平坦で外周部に折り返し３８を有する平円板で形成され、低圧側バックプレート面２４に固定された低圧側保護ダイアフラム２６を覆うと共に、折り返し３８の先端部で本体ボディ２４の段差３９の側面（ｆ点）（図２参照）に溶接により気密に固定される。この低圧側シールダイアフラム２８の材質は、３１６ステンレス鋼やニッケル基合金が使用されている。   The low-pressure side seal diaphragm 28 is formed of a flat disk having a flat central portion and a folded portion 38 on the outer peripheral portion, covers the low-pressure side protective diaphragm 26 fixed to the low-pressure side back plate surface 24, and the front end portion of the folded portion 38. Then, it is airtightly fixed to the side surface (point f) (see FIG. 2) of the step 39 of the main body 24 by welding. The material of the low pressure side seal diaphragm 28 is 316 stainless steel or nickel base alloy.

本体ボディ２４の伝導穴（高圧側伝導穴３１、低圧側伝導穴３４、高圧側過大圧伝導穴３６、低圧側過大圧伝導穴３３）には封入液が充填される。高圧側シールダイアフラム２７と高圧側保護ダイアフラム２５との間に形成される高圧側封入液室４１および低圧側シールダイアフラム２８と低圧側保護ダイアフラム２６との間に形成される低圧側封入液室４２は、一定の間隔を保つように封入液の量が調整されている。   The conduction holes (the high pressure side conduction hole 31, the low pressure side conduction hole 34, the high pressure side overpressure conduction hole 36, and the low pressure side overpressure conduction hole 33) of the main body 24 are filled with the filled liquid. A high pressure side sealed liquid chamber 41 formed between the high pressure side seal diaphragm 27 and the high pressure side protective diaphragm 25 and a low pressure side sealed liquid chamber 42 formed between the low pressure side seal diaphragm 28 and the low pressure side protective diaphragm 26 are: The amount of the sealing liquid is adjusted so as to keep a constant interval.

このような構成において、高圧側に加えられた圧力Ｐが測定範囲内の圧力Ｐ１であるときには、図２および図４に示すように、高圧側シールダイアフラム２７を介して高圧側シールダイアフラム２７の裏側にある高圧側封入液室４１の封入液に伝達される。この封入液への圧力伝達は、高圧側伝導穴３４を通じて差圧センサ２３にも伝達されるとともに、高圧側バックプレート面２１に設けられた高圧側伝導穴３１と連通している高圧側過大圧伝導穴３６を通じて低圧側保護ダイアフラム２６の裏側にも伝達される。しかし、平板の低圧側保護ダイアフラム２６は強制的に低圧側バックプレート面２４の低圧側凹部３５の湾曲面に固定されているため、測定範囲内の圧力による封入液の伝達力が加わっても湾曲面に密着して離れず変位しない。   In such a configuration, when the pressure P applied to the high pressure side is the pressure P1 within the measurement range, the back side of the high pressure side seal diaphragm 27 via the high pressure side seal diaphragm 27 as shown in FIGS. To the sealed liquid in the high pressure side sealed liquid chamber 41. The pressure transmission to the sealing liquid is also transmitted to the differential pressure sensor 23 through the high-pressure side conduction hole 34 and at the same time is communicated with the high-pressure side conduction hole 31 provided in the high-pressure side back plate surface 21. It is also transmitted to the back side of the low-pressure side protection diaphragm 26 through the conduction hole 36. However, since the flat low-pressure side protective diaphragm 26 is forcibly fixed to the curved surface of the low-pressure side concave portion 35 of the low-pressure side back plate surface 24, it is curved even when the transmission force of the sealing liquid due to the pressure within the measurement range is applied. It does not move away from the surface.

低圧側に加えられた測定範囲内の圧力Ｐの場合も同様に、低圧側シールダイアフラム２８を介して低圧側シールダイアフラム２８の裏側にある低圧側封入液室４２の封入液に伝達される。この封入液への圧力伝達は、低圧側伝導穴３４を通じて差圧センサ２３に伝達されるとともに、低圧側バックプレート面２２に設けられた低圧側伝導穴３４と連通している低圧側過大圧伝導穴３３を通じて高圧側保護ダイアフラム２５の裏側に伝達される。しかし、平板の高圧側保護ダイアフラム２５は強制的に高圧側バックプレート面２１の高圧側凹部３２の湾曲面に固定されているため、測定範囲内の圧力による封入液の伝達力が加わっても湾曲面に密着して離れず変位しない。   Similarly, in the case of the pressure P within the measurement range applied to the low pressure side, the pressure P is transmitted to the sealed liquid in the low pressure side sealed liquid chamber 42 on the back side of the low pressure side seal diaphragm 28 via the low pressure side seal diaphragm 28. The pressure transmission to the sealing liquid is transmitted to the differential pressure sensor 23 through the low-pressure side conduction hole 34 and also communicates with the low-pressure side conduction hole 34 provided in the low-pressure side back plate surface 22. It is transmitted to the back side of the high-pressure side protection diaphragm 25 through the hole 33. However, since the flat high-pressure side protection diaphragm 25 is forcibly fixed to the curved surface of the high-pressure side recess 32 of the high-pressure side back plate surface 21, it is curved even when the transmission force of the sealing liquid due to the pressure within the measurement range is applied. It does not move away from the surface.

次に、高圧側に加えられた圧力Ｐが測定範囲を超えた圧力Ｐ２である場合には、図３および図４に示すように、高圧側シールダイアフラム２７に加えられた圧力が高圧側シールダイアフラム２７の裏側にある高圧側封入液室４１の封入液に伝達される。この封入液への圧力伝達は、高圧側伝導穴３１と連通している高圧側過大圧伝導穴３６を通じて低圧側保護ダイアフラム２６の裏側に伝達される。ここで、低圧側保護ダイアフラム２６は強制的に低圧側バックプレート面２４の低圧側凹部３５の湾曲面に固定されているため、測定範囲外の圧力による封入液の伝達力が加わると湾曲面に密着している状態から離れて変位する。   Next, when the pressure P applied to the high pressure side is the pressure P2 exceeding the measurement range, as shown in FIGS. 3 and 4, the pressure applied to the high pressure side seal diaphragm 27 is changed to the high pressure side seal diaphragm. 27 is transmitted to the sealed liquid in the high-pressure side sealed liquid chamber 41 on the back side of 27. The pressure transmission to the sealed liquid is transmitted to the back side of the low pressure side protection diaphragm 26 through the high pressure side overpressure conduction hole 36 communicating with the high pressure side conduction hole 31. Here, since the low-pressure side protection diaphragm 26 is forcibly fixed to the curved surface of the low-pressure side recess 35 of the low-pressure side back plate surface 24, if a sealing liquid transmission force is applied due to pressure outside the measurement range, the curved surface is applied. Displaces away from close contact.

低圧側保護ダイアフラム２６が低圧側凹部３５の湾曲面から離れるように変位すると、その変位に応じて高圧側伝導穴３１に充填されている封入液が低圧側保護ダイアフラム２６の裏側に流れ込み、高圧側シールダイアフラム２７の裏側の封入液が低圧側保護ダイアフラム２６の裏側方向に移動する。この結果、高圧側シールダイアフラム２７の裏側の高圧側封入液室４１に存在していた封入液がなくなり、高圧側シールダイアフラム２７も変位して高圧側保護ダイアフラム２５に着座する。このときの圧力をＰ２とすると、これ以上の圧力を高圧側シールダイアフラム２７に加えても応答できなくなるため、差圧センサ２３への封入液による圧力伝達ができない。すなわち、差圧センサ２３は過大圧から保護されることになる。   When the low-pressure side protection diaphragm 26 is displaced away from the curved surface of the low-pressure side recess 35, the filled liquid filled in the high-pressure side conduction hole 31 flows into the back side of the low-pressure side protection diaphragm 26 according to the displacement, and the high-pressure side The sealed liquid on the back side of the seal diaphragm 27 moves toward the back side of the low-pressure side protection diaphragm 26. As a result, the filled liquid existing in the high-pressure side sealed liquid chamber 41 on the back side of the high-pressure side seal diaphragm 27 disappears, and the high-pressure side seal diaphragm 27 is displaced and seated on the high-pressure side protective diaphragm 25. If the pressure at this time is P2, even if a pressure higher than this is applied to the high-pressure side seal diaphragm 27, it becomes impossible to respond, so that the pressure cannot be transmitted to the differential pressure sensor 23 by the sealed liquid. That is, the differential pressure sensor 23 is protected from excessive pressure.

低圧側に加えられた圧力Ｐが測定範囲を超えた圧力Ｐ２である場合も高圧側と同様に、高圧側保護ダイアフラム２５が高圧側凹部３２の湾曲面から離れ、低圧側シールダイアフラム２８が低圧側保護ダイアフラム２６に着座する。これにより、これ以上の圧力が加えられても差圧センサ２３への圧力の伝達はされないため、差圧センサ２３は過大圧から保護される。   When the pressure P applied to the low pressure side is the pressure P2 exceeding the measurement range, the high pressure side protection diaphragm 25 is separated from the curved surface of the high pressure side recess 32 and the low pressure side seal diaphragm 28 is at the low pressure side. Sit on the protective diaphragm 26. As a result, even if more pressure is applied, no pressure is transmitted to the differential pressure sensor 23, so that the differential pressure sensor 23 is protected from excessive pressure.

バックプレート面の略中央位置に伝導穴の開口を設け、この開口を取り巻くようにした環状の凹部を形成し、この凹部に保護ダイアフラムを配置し、その保護ダイアフラムを覆うようにシールダイアフラムを本体ボディに固定した構造にすることで、シールダイアフラム裏側の封入液室への通路が本体ボディの中央にあるために封入液の移動が容易で、確実な過大圧保護が期待できる差圧測定装置を提供する。   An opening for the conduction hole is provided at the approximate center position of the back plate surface, an annular recess is formed around the opening, a protective diaphragm is placed in the recess, and the seal diaphragm is placed on the main body to cover the protective diaphragm. By providing a fixed structure, the passage to the sealed liquid chamber on the back side of the seal diaphragm is in the center of the main body, so that the sealed liquid can be easily moved, and a differential pressure measuring device that can be expected to provide reliable overpressure protection is provided. To do.

本発明の差圧カプセルとシールダイアフラムおよび保護ダイアフラムの関係を示した説明図である。It is explanatory drawing which showed the relationship between the differential pressure capsule of this invention, a seal diaphragm, and a protection diaphragm. 同、差圧カプセルにシールダイアフラムおよび保護ダイアフラムを装着した様子を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows a mode that the seal | sticker diaphragm and the protection diaphragm were mounted | worn with the differential pressure capsule similarly. 同、高圧側に過大圧が印加されたときのシールダイアフラムおよび保護ダイアフラムの変位状態を示した説明図である。It is explanatory drawing which showed the displacement state of the seal diaphragm when a overpressure was applied to the high voltage | pressure side, and a protection diaphragm. 同、印加される圧力と保護ダイアフラムの変位との状態を示すグラフである。It is a graph which shows the state of the applied pressure and the displacement of a protection diaphragm similarly. 差圧測定装置を示す外観図である。It is an external view which shows a differential pressure measuring device. 従来技術における差圧カプセルの構成を示した説明図である。It is explanatory drawing which showed the structure of the differential pressure capsule in a prior art. 同、過大圧が印加されたときの変位状態を示した説明図である。It is explanatory drawing which showed the displacement state when an excessive pressure is applied similarly.

符号の説明Explanation of symbols

１１ 圧力検出部
１２ 増幅部
１３ 高圧側フランジ
１４ 低圧側フランジ
１５ 受圧部（差圧カプセル）
２１ 高圧側バックプレート面
２２ 低圧側バックプレート面
２３ 差圧センサ
２４ 本体ボディ
２５ 高圧側保護ダイアフラム
２６ 低圧側保護ダイアフラム
２７ 高圧側シールダイアフラム
２８ 低圧側シールダイアフラム
３１ 高圧側伝導穴
３２ 高圧側凹部
３３ 低圧側過大圧伝導穴
３４ 低圧側伝導穴
３５ 低圧側凹部
３６ 高圧側過大圧伝導穴
３７ 開口部
３８ 折り返し
４１ 高圧側封入液室
４２ 低圧側封入液室

DESCRIPTION OF SYMBOLS 11 Pressure detection part 12 Amplification part 13 High pressure side flange 14 Low pressure side flange 15 Pressure receiving part (differential pressure capsule)
21 High pressure side back plate surface 22 Low pressure side back plate surface 23 Differential pressure sensor 24 Body body 25 High pressure side protection diaphragm 26 Low pressure side protection diaphragm 27 High pressure side seal diaphragm 28 Low pressure side seal diaphragm 31 High pressure side conduction hole 32 High pressure side recess 33 Low pressure Side overpressure conduction hole 34 low pressure side conduction hole 35 low pressure side recess 36 high pressure side overpressure conduction hole 37 opening 38 return 41 high pressure side sealed liquid chamber 42 low pressure side sealed liquid chamber

Claims (8)

差圧センサを内蔵する本体ボディのバックプレート面の略中央位置に差圧センサに連通する伝導穴の開口を設けてこの開口を取り巻くように環状の凹部を形成し、
この凹部に保護ダイアフラムを固定するとともにその保護ダイアフラムを覆うようにシールダイアフラムを本体ボディに固定したことを特徴とする差圧測定装置。 An annular recess is formed so as to surround the opening by providing an opening of a conduction hole communicating with the differential pressure sensor at a substantially central position of the back plate surface of the body body incorporating the differential pressure sensor,
A differential pressure measuring device characterized in that a protective diaphragm is fixed to the recess and a seal diaphragm is fixed to the main body so as to cover the protective diaphragm. 対向する２つのバックプレート面を持つと共に差圧センサを内蔵する本体ボディと、前記対向する２つのバックプレート面に固定される一対の保護ダイアフラムと、前記保護ダイアフラムを覆うように前記本体ボディに固定される一対のシールダイアフラムで構成される差圧カプセルであって、
前記対向する２つのバックプレート面は外側に凸状の湾曲面として形成され、
その凸状の湾曲面の任意の位置に前記差圧センサに連通している伝導穴の開口を配置すると共に、前記保護ダイアフラムを収納するための前記伝導穴の開口を取り巻く環状の凹部を形成した
ことを特徴とする差圧測定装置。 A body body having two opposing back plate surfaces and a built-in differential pressure sensor, a pair of protective diaphragms fixed to the two opposing back plate surfaces, and fixed to the body body so as to cover the protective diaphragms A differential pressure capsule composed of a pair of sealed diaphragms,
The two opposing back plate surfaces are formed as convex curved surfaces on the outside,
An opening of a conduction hole communicating with the differential pressure sensor is disposed at an arbitrary position on the convex curved surface, and an annular recess surrounding the opening of the conduction hole for housing the protective diaphragm is formed. A differential pressure measuring device characterized by that. 前記保護ダイアフラムは、中央または略中央に開口部を持つ平円板で形成され、前記対向する２つのバックプレート面の環状の凹部に装着されると共に、中央部と外周部で気密に固定されることを特徴とする請求項２に記載の差圧測定装置。   The protective diaphragm is formed of a flat disk having an opening at the center or substantially the center, and is attached to the annular recesses of the two opposing back plate surfaces, and is airtightly fixed at the center and the outer periphery. The differential pressure measuring device according to claim 2. 前記シールダイアフラムは、中央部が平坦で外周部に折り返しを有する平円板で形成され、前記対向する２つのバックプレート面に固定された保護ダイアフラムを覆うと共に、折り返しの先端部で前記本体ボディの段差の側面に気密に固定されることを特徴とする請求項２に記載の差圧測定装置。   The seal diaphragm is formed of a flat disk having a flat central portion and a fold on the outer peripheral portion, covers the protective diaphragm fixed to the two opposing back plate surfaces, and has a folded tip portion of the body body. The differential pressure measuring device according to claim 2, wherein the differential pressure measuring device is hermetically fixed to a side surface of the step. 前記対向する２つのバックプレート面の中央位置に伝導穴の開口が設けられると共に、それぞれ差圧センサの一方に連通していることを特徴とする請求項２に記載の差圧測定装置。   The differential pressure measuring device according to claim 2, wherein an opening of a conduction hole is provided at a central position of the two opposing back plate surfaces, and each communicates with one of the differential pressure sensors. 前記保護ダイアフラムを収納するための前記伝導穴の開口を取り巻いた環状の凹部の任意の位置に過大圧伝導穴の開口が設けられると共に、該過大圧伝導穴が反対側の伝導穴と連通することを特徴とする請求項２に記載の差圧測定装置。   An opening of the overpressure conduction hole is provided at an arbitrary position of the annular recess surrounding the opening of the conduction hole for housing the protective diaphragm, and the overpressure conduction hole communicates with the conduction hole on the opposite side. The differential pressure measuring device according to claim 2. 前記本体ボディの内部には封入液が充填され、前記シールダイアフラムと前記保護ダイアフラムとの間は一定の間隔を保つように封入液の量が調整されることを特徴とする請求項２に記載の差圧測定装置。   3. The filling liquid according to claim 2, wherein the inside of the main body is filled with a sealing liquid, and the amount of the sealing liquid is adjusted so as to maintain a constant distance between the seal diaphragm and the protective diaphragm. Differential pressure measuring device. 高圧側バックプレート面と、前記高圧側バックプレート面の反対側に形成される低圧側バックプレート面と、内蔵された差圧センサと、高圧側の圧力を前記差圧センサに伝達する封入液が封入される高圧側伝導穴と、低圧側の圧力を前記差圧センサに伝達する封入液が封入される低圧側伝導穴と、前記低圧側伝導穴に連通する低圧側過大圧伝導穴と、前記高圧側伝導穴に連通する高圧側過大圧伝導穴とを有する本体ボディと、
前記高圧側バックプレート面に密着固定され、過大圧のときに変位する高圧側保護ダイアフラムと、
前記低圧側バックプレート面に密着固定され、過大圧のときに変位する低圧側保護ダイアフラムと、
前記高圧側保護ダイアフラムを覆い前記本体ボディに固定され、前記高圧側の圧力を受ける高圧側シールダイアフラムと、
前記低圧側保護ダイアフラムを覆い前記本体ボディに固定され、前記低圧側の圧力を受ける低圧側シールダイアフラムと
を備える差圧測定装置であって、
前記高圧側バックプレート面は、前記本体ボディから突き出た凸状の曲面で形成されると共に、前記高圧側伝導穴の開口を取り巻いた環状の凹部と前記低圧側過大圧伝導穴の端を備え、
前記低圧側バックプレート面は、前記本体ボディから突き出た凸状の曲面で形成されると共に、前記低圧側伝導穴の開口を取り巻いた環状の凹部と前記高圧側過大圧伝導穴の端を備え、
前記高圧側保護ダイアフラムは、前記高圧側伝導穴の開口が貫通する開口部を備え、
前記低圧側保護ダイアフラムは、前記低圧側伝導穴の開口が貫通する開口部を備える
ことを特徴とする差圧測定装置。

A high pressure side back plate surface, a low pressure side back plate surface formed on the opposite side of the high pressure side back plate surface, a built-in differential pressure sensor, and a sealed liquid for transmitting a high pressure side pressure to the differential pressure sensor. A high-pressure side conduction hole to be sealed, a low-pressure side conduction hole in which a sealed liquid for transmitting a low-pressure side pressure to the differential pressure sensor is sealed, a low-pressure side overpressure conduction hole communicating with the low-pressure side conduction hole, and A main body having a high-pressure side overpressure conduction hole communicating with the high-pressure side conduction hole;
A high-pressure side protective diaphragm that is tightly fixed to the high-pressure side back plate surface and is displaced at an excessive pressure;
A low-pressure side protective diaphragm that is closely fixed to the low-pressure side back plate surface and that is displaced at an excessive pressure;
A high-pressure side sealing diaphragm that covers the high-pressure side protection diaphragm and is fixed to the body body and receives the pressure on the high-pressure side;
A differential pressure measuring device comprising a low pressure side seal diaphragm that covers the low pressure side protection diaphragm and is fixed to the main body body and receives the pressure on the low pressure side;
The high-pressure side back plate surface is formed with a convex curved surface protruding from the main body body, and includes an annular recess surrounding the opening of the high-pressure side conduction hole and an end of the low-pressure side overpressure conduction hole,
The low-pressure side back plate surface is formed with a convex curved surface protruding from the main body body, and includes an annular recess surrounding the opening of the low-pressure side conduction hole and an end of the high-pressure side overpressure conduction hole,
The high-pressure side protection diaphragm includes an opening through which an opening of the high-pressure side conduction hole passes,
The low-pressure side protective diaphragm includes an opening through which an opening of the low-pressure side conduction hole passes.

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