JP2007222072A - Parallel microanalysis of chemical substance - Google Patents

Parallel microanalysis of chemical substance Download PDF

Info

Publication number
JP2007222072A
JP2007222072A JP2006046753A JP2006046753A JP2007222072A JP 2007222072 A JP2007222072 A JP 2007222072A JP 2006046753 A JP2006046753 A JP 2006046753A JP 2006046753 A JP2006046753 A JP 2006046753A JP 2007222072 A JP2007222072 A JP 2007222072A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
chemical substance
supply port
reaction
parallel
supplied
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2006046753A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Takashi Inaga
隆史 伊永
Takahiro Shimizu
隆弘 清水
Hiroyuki Masaki
浩幸 正木
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Tokyo Metropolitan Public University Corp
Original Assignee
Tokyo Metropolitan Public University Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Tokyo Metropolitan Public University Corp filed Critical Tokyo Metropolitan Public University Corp
Priority to JP2006046753A priority Critical patent/JP2007222072A/en
Publication of JP2007222072A publication Critical patent/JP2007222072A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Investigating Or Analysing Biological Materials (AREA)
  • Measuring Or Testing Involving Enzymes Or Micro-Organisms (AREA)

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To screen the influence of an environmental chemical contaminant, etc., on an in vivo enzyme reaction by using a microchip. <P>SOLUTION: Equivalent flow channels 40 of μm order are formed on both the face side and the back side of a silicon substrate 10 and a heat generation means constituted on an ITO film is arranged at a reaction part in the middle of the flow channels. Each flow channel 40 independently has an independent chemical substance supply port 50 connected to the flow channel and a common chemical substance supply port 60 branched and connected to the flow channel 40. For example, a reaction inhibitor is supplied from the independent chemical substance supply port 50 and an enzyme and a substrate corresponding to the enzyme are supplied from the common chemical substance supply port 60, a reaction is performed in the flow channels 40 to screen a plurality of reaction inhibitors. <P>COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Description

本発明は、マイクロチップを用いた化学物質の分析法に関し、特に、種々の環境汚染物質の生体内酵素反応に及ぼす影響等をスクリーニングするのに有効に適用することができる。   The present invention relates to a chemical substance analysis method using a microchip, and can be effectively applied particularly to screening the effects of various environmental pollutants on in vivo enzyme reactions.

以下に説明する技術は、本発明を完成するに際し、本発明者によって検討されたものであり、その概要は次のとおりである。   The technology described below has been studied by the present inventors in completing the present invention, and the outline thereof is as follows.

近年、基板上に幅1mm以下のμmオーダーの流路を形成し、かかる流路に化学物質を流すことで、マクロスケールで行う場合とは異なり、微量試料で、多種類の反応を、同時並行で、短時間で効率的に行う技術が提案されている。   In recent years, a micrometer-order channel with a width of 1 mm or less is formed on a substrate, and a chemical substance is allowed to flow through the channel. Therefore, a technique for efficiently performing in a short time has been proposed.

かかる技術の中には、化学物質を通す流路が形成された基板を複数枚積層し、各層の流路を連絡することで、3次元的に流路の拡大を行う技術も提案されている。非特許文献1には、複数枚の積層構成とすることで、流路内で生成する化学反応物質の収量拡大も容易に行えることが示されている。さらに、非特許文献2には、化学物質を流路に流す際の送液口に関しての記載も見られる。   Among such techniques, a technique has also been proposed in which a plurality of substrates on which a flow path for passing a chemical substance is stacked and the flow paths of each layer are connected to expand the flow path in a three-dimensional manner. . Non-Patent Document 1 shows that the yield of the chemical reactant generated in the flow path can be easily increased by adopting a laminated structure of a plurality of sheets. Further, Non-Patent Document 2 also describes a liquid feeding port when a chemical substance is caused to flow through a flow path.

かかるマイクロチップを用いた反応でも当然に温度制御が求められ、従来の一般的な温度制御は、恒温槽内にマイクロチップごと所要時間放置して、マイクロチップ自体の温度が恒温槽内の温度と平衡して設定温度になるのを待つ方法であった。しかし、かかる手法では、反応温度を制御するのに時間と手間がかかり、反応状況に応じて温度を適宜に変更してその状況確認をするという温度制御は実質的に不可能に近かった。   Naturally, temperature control is also required in the reaction using such a microchip. Conventional general temperature control is performed by leaving the microchip in the thermostat for a required time, and the temperature of the microchip itself is equal to the temperature in the thermostat. This was a method of waiting for the set temperature to reach equilibrium. However, in such a method, it takes time and effort to control the reaction temperature, and temperature control in which the temperature is appropriately changed according to the reaction situation and the situation is confirmed is almost impossible.

温度制御に関しては、特許文献1に、ITO膜をパターニングして加熱手段を形成し、さらに、別途蛇行線状にITO膜をパターニングして温度センサとして構成する技術も提案されている。
Y.Kikutani、「Pile-up glass microreactor」Lab Chip、2002、2、p193-196 Y.Kikutani、T.Hotiuchi、K.Uchiyama、H.Hisamoto、M.Tokeshi、T.kitamori、「Glass Microchip with Three-Dimensional Micrchannel Network for 2×2 Parallel Synthesis」、Lab on a Chip、2002、2、p188-192 特開平2002−85961号公報
Regarding temperature control, Patent Document 1 proposes a technique in which a heating means is formed by patterning an ITO film, and the ITO film is separately patterned into a meandering line to constitute a temperature sensor.
Y.Kikutani, "Pile-up glass microreactor" Lab Chip, 2002, 2, p193-196 Y.Kikutani, T.Hotiuchi, K.Uchiyama, H.Hisamoto, M.Tokeshi, T.kitamori, `` Glass Microchip with Three-Dimensional Micrchannel Network for 2 × 2 Parallel Synthesis '', Lab on a Chip, 2002, 2, p188-192 Japanese Patent Application Laid-Open No. 2002-85961

生物工学研究の重要な分野の一つに糖鎖機能の解明がある。糖鎖は、細胞間の認識や相互作用において、情報伝達時の暗号として機能していると言われている。糖鎖や糖鎖関連酵素と関係した病気の発生メカニズムを明らかにすることは、その治療法につながると期待されており、今後の糖鎖研究における大きな課題である。   Elucidation of sugar chain function is one of the important fields of biotechnology research. Sugar chains are said to function as codes for information transmission in recognition and interaction between cells. It is expected to elucidate the occurrence mechanism of diseases related to sugar chains and sugar chain-related enzymes, and it is expected to lead to the treatment method, and it is a big problem in future sugar chain research.

一方、環境化学物質が引き起こす疾病等の人体への影響は未だ十分には解明されていない。どのような化学物質が生体内の酵素反応等にどのように関与し、どのような悪影響を及ぼすかを解明することは極めて重要である。かかる解明にはスクリーニング作業が不可欠となる。   On the other hand, the effects on human bodies such as diseases caused by environmental chemical substances have not been fully elucidated. It is extremely important to elucidate how and what chemical substances are involved in the in vivo enzyme reaction and the adverse effects. Screening work is indispensable for such elucidation.

しかし、これまでのスクリーニング方法では、多くの試薬を使用し、長時間と多額の費用とを要していた。特に、多くの試薬を使用することについては、環境化学物質による人体への再環境汚染を引き起こすことにもつながる。そのため、可能な限り微量な試薬を用いてスクリーニングする手法が試みられてはいるが、未だ有効な手法が開発されていないのが現状である。   However, the conventional screening methods use many reagents and require a long time and a large amount of cost. In particular, the use of many reagents leads to re-environmental contamination of the human body by environmental chemical substances. For this reason, attempts have been made to screen using as little reagent as possible, but no effective method has been developed yet.

そこで、本発明者は、近年その活用が注目を集めているマイクロチップを使用することで、使用する試薬量を必要最小限度に抑制することができるものと考えた。さらに、かかるマイクロチップを用いれば、試験終了後の廃液処理量も格段に少なく抑えることができ、その分、環境負荷の低減にも通じる筈である。   Therefore, the present inventor considered that the amount of reagent to be used can be suppressed to the necessary minimum by using a microchip that has been attracting attention in recent years. Furthermore, if such a microchip is used, the amount of waste liquid processed after the test can be remarkably reduced, and this should lead to a reduction in environmental burden.

しかし、かかるマイクロチップは極めて微小であるため、その加工精度をあげるのが難しい。例えば、一個、一個が等価な製造加工がし難く、ややもすれば試験の再現性にも影響を与える場合も想定される。   However, since such a microchip is extremely small, it is difficult to increase its processing accuracy. For example, it may be difficult to carry out the manufacturing process in which one piece is equivalent to one piece, and it may possibly affect the reproducibility of the test.

マイクロチップを用いた化学分析では、その試料の調製も何回かに分けて希釈すること等が必要となる。特にその定量分析に至っては、器壁についた滴も極めて重大な影響を及ぼすこととなる。   In chemical analysis using a microchip, it is necessary to dilute the sample in several steps. In particular, in the quantitative analysis, drops on the vessel wall also have a very serious effect.

そこで、同一試薬を用いて、複数の分析が行えれば、器具、装置等の個体差が発生せずに好ましい。例えば、マイクロチップに、複数の等価な流路を形成して、使用する試薬を極力同一濃度のものを用いる等して、できるだけ試験対象を同一の条件下で分析することができれば、互いの比較もできてより好ましい。   Therefore, it is preferable that a plurality of analyzes can be performed using the same reagent without causing individual differences in instruments, devices, and the like. For example, if the test target can be analyzed under the same conditions as much as possible by forming a plurality of equivalent flow channels on the microchip and using the same reagents as much as possible, compare each other. More preferable.

しかし、マイクロチップにおける複数の流路の等価性については、その技術的課題が多く、未だ十分に達成されていないのが現状である。複数の流路を用いて、同一条件下での定量的な分析をするについては、並行分析が十分に行えないのが現状である。   However, regarding the equivalence of a plurality of flow paths in a microchip, there are many technical problems, and it has not been fully achieved yet. At present, parallel analysis cannot be performed sufficiently for quantitative analysis under the same conditions using a plurality of flow paths.

また、マイクロチップにおいては、流路の等価性の他に、前記の如く試薬等の送液における精度も問題となる。極めて微量な送液量であり、また複数回にわたって希釈しているため、少しの液漏れでも重大な影響を及ぼし、試験にとっては致命的なものとなる。   In addition, in the microchip, in addition to the equivalence of the flow paths, the accuracy in feeding a reagent or the like as described above is also a problem. Since the amount is very small and diluted several times, even a small amount of liquid leakage has a serious effect and is fatal to the test.

本発明の目的は、マイクロチップを用いた並行分析において、複数の流路の分析環境の等価性を向上させることにある。   An object of the present invention is to improve equivalence of analysis environments of a plurality of flow paths in parallel analysis using a microchip.

本発明の目的は、マイクロチップを用いて生体内酵素反応等への環境汚染化学物質等の影響をスクリーニングする分析等に必要な技術を提供することにある。   An object of the present invention is to provide a technique necessary for analysis or the like for screening the influence of an environmental pollutant chemical substance on an in vivo enzyme reaction or the like using a microchip.

本発明の前記ならびにその他の目的と新規な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかになるであろう。   The above and other objects and novel features of the present invention will be apparent from the description of this specification and the accompanying drawings.

本願において開示される発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、次のとおりである。   Of the inventions disclosed in the present application, the outline of typical ones will be briefly described as follows.

本発明はマイクロチップを用いた化学物質の並行微量分析法であって、前記マイクロチップは、厚さ方向に貫通して表裏両面を連絡するμmオーダーの複数の流路を有し、前記複数の流路は、それぞれ前記複数の流路への少なくとも当初供給量の97%以上の回収率を有する等価流路に形成され、前記複数の流路は、前記複数の流路のそれぞれに独立して接続された独立反応物質供給口を有し、前記複数の流路は、前記複数の流路のそれぞれに分岐して接続された共通反応物質供給口を有し、前記独立反応物質供給口から供給した反応物質と、前記共通反応物質供給口から供給した反応物質とを、前記複数の流路内のそれぞれで反応させ、反応後の反応生成物を回収して前記複数の流路内のそれぞれにおける反応状況を分析手段により分析することを特徴とする。   The present invention is a parallel microanalysis method of a chemical substance using a microchip, and the microchip has a plurality of μm-order flow paths that penetrate in the thickness direction and communicate with both front and back surfaces, Each of the channels is formed as an equivalent channel having a recovery rate of at least 97% of the initial supply amount to each of the plurality of channels, and the plurality of channels are independent of each of the plurality of channels. The plurality of flow paths have a common reaction substance supply port that is branched and connected to each of the plurality of flow paths, and is supplied from the independent reaction substance supply port. The reacted reactant and the reactant supplied from the common reactant supply port are reacted in each of the plurality of flow paths, the reaction product after the reaction is recovered, and the reaction product in each of the plurality of flow paths is recovered. Analyze reaction status by analytical means It is characterized in.

かかる構成において、前記複数の流路のそれぞれの回収率が97%以上である場合の前記当初供給量は、150μl以上、310μl以下であることを特徴とする。以上の構成において、前記複数の流路は、100μmオーダーに対して1%以内の加工精度で形成されていることを特徴とする。以上いずれかの構成において、前記共通反応物質供給口からは、互いに反応する反応物質を供給し、前記独立反応物質供給口からは、前記反応を阻害するかもしれない反応阻害可能性物質を供給することを特徴とする化学物質の並行微量分析法。かかる構成において、前記反応阻害可能性物質は、環境汚染物質であることを特徴とする。   In such a configuration, the initial supply amount when the recovery rate of each of the plurality of flow paths is 97% or more is 150 μl or more and 310 μl or less. In the above configuration, the plurality of flow paths are formed with a processing accuracy within 1% with respect to the order of 100 μm. In any one of the configurations described above, the reactants that react with each other are supplied from the common reactant supply port, and the reaction-inhibitory substance that may inhibit the reaction is supplied from the independent reactant supply port. A parallel microanalysis method for chemical substances. In this configuration, the reaction inhibiting substance is an environmental pollutant.

上記化学物質の並行微量分析法においては、前記共通反応物質供給口から供給する反応物質は、酵素と、前記酵素に反応する基質であることを特徴とする。前記酵素とは、糖鎖分解酵素であり、前記基質とは、前記糖鎖分解酵素により分離される原子団を有する多糖であることを特徴とする。前記糖鎖分解酵素とは、キチナーゼであり、前記多糖とは、構造多糖であることを特徴とする。   In the parallel microanalysis method of the chemical substance, the reactant supplied from the common reactant supply port is an enzyme and a substrate that reacts with the enzyme. The enzyme is a glycolytic enzyme, and the substrate is a polysaccharide having an atomic group separated by the glycolytic enzyme. The sugar chain degrading enzyme is chitinase, and the polysaccharide is a structural polysaccharide.

本願において開示される発明のうち、代表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば以下のとおりである。   Among the inventions disclosed in the present application, effects obtained by typical ones will be briefly described as follows.

本発明により、生体内酵素反応等への環境汚染物質の阻害作用等の影響を、極少量の試薬を使用して、短時間に、良好な精度で並行分析することができる。   According to the present invention, it is possible to perform parallel analysis with good accuracy in a short time using an extremely small amount of reagent, for example, the influence of an environmental pollutant on the in vivo enzyme reaction and the like.

以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。尚、実施の形態を説明するための全図において、同一の部材には原則として同一の符号を付し、その繰り返しの説明は省略する場合がある。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. Note that components having the same function are denoted by the same reference symbols throughout the drawings for describing the embodiment, and the repetitive description thereof may be omitted.

本発明は、複数の流路が形成されたマイクロチップを用いて、複数の化学種のスクリーニングが行えるようにした化学物質の並行微量分析技術である。かかる並行微量分析では、複数の流路の等価性、および各流路への試薬等の送液等価性等に特に配慮した。   The present invention is a parallel microanalysis technique for chemical substances that enables screening of a plurality of chemical species using a microchip having a plurality of flow paths. In such parallel microanalysis, particular consideration was given to the equivalence of a plurality of flow paths and the liquid feed equivalence of reagents and the like to each flow path.

マイクロチップに形成された流路は、幅、深さが共にμmのオーダーである。例えば、幅が400μm、深さが100μmである。反応を行わせるマイクロチップ内の複数の流路は、それぞれ等価に形成されている。流路自体の等価性は、例えば、100μmオーダーの流路幅の加工に対して、加工精度1%以内に抑えられている。   The flow path formed in the microchip is both on the order of μm in width and depth. For example, the width is 400 μm and the depth is 100 μm. The plurality of channels in the microchip for performing the reaction are formed equivalently. The equivalence of the flow path itself is suppressed within a processing accuracy of 1% with respect to the processing of a flow path width of the order of 100 μm, for example.

また、複数の流路への同一物質の当初供給量150μl以上、310μl以下に対して、それぞれの流路での回収率が97%以上で、各流路に対して等量送液されるものである。かかるマイクロチップを用いたスクリーニングでは、使用する試薬等の化学物質の量は、例えば、μlオーダーに抑えることができる。   In addition, with respect to the initial supply amount of 150 μl or more and 310 μl or less of the same substance to a plurality of flow paths, the recovery rate in each flow path is 97% or more, and an equal volume is sent to each flow path It is. In screening using such a microchip, the amount of a chemical substance such as a reagent used can be suppressed to, for example, μl order.

このように、本発明では、試薬使用量をμlに抑えた状態で、送液量150μl以上、310μl以下に対して回収率が97%以上である等価流路を使用して、複数の環境汚染物質の生体内酵素反応に対する阻害状況等のスクリーニングを、短時間で、効率的に、安価な費用で行うことができるものである。   As described above, in the present invention, a plurality of environmental pollutions are obtained by using an equivalent flow path having a recovery rate of 97% or more with respect to a liquid feeding amount of 150 μl or more and 310 μl or less in a state where the amount of reagent used is suppressed to μl. Screening of the inhibition status of a substance against an in vivo enzyme reaction can be performed in a short time, efficiently and at a low cost.

図1に示すように、マイクロチップ100は、シリコン基板10の両面に、ガラス板20、30が陽極接合により貼り合わされている。ガラス板20、30としては、例えば、パイレックス(登録商標)等が使用できる。   As shown in FIG. 1, in the microchip 100, glass plates 20 and 30 are bonded to both surfaces of a silicon substrate 10 by anodic bonding. As the glass plates 20 and 30, for example, Pyrex (registered trademark) can be used.

シリコン基板10の両面には、図2(a)、(b)に示すように、化学物質を流すことができる流路40が溝状に形成されている。流路40は、例えば、シリコン基板10の両面にそれぞれ4本形成され、各々が図2(a)、(b)に示すように、蛇行して設けられている。また、流路40の一部は、流路40内に供給された化学物質が互いに反応する反応部を形成している。図では、かかる反応部を、枠状に囲って示した。   As shown in FIGS. 2A and 2B, a channel 40 through which a chemical substance can flow is formed in a groove shape on both surfaces of the silicon substrate 10. For example, four flow paths 40 are formed on both surfaces of the silicon substrate 10, respectively, and are provided meandering as shown in FIGS. 2 (a) and 2 (b). In addition, a part of the flow path 40 forms a reaction part in which chemical substances supplied into the flow path 40 react with each other. In the figure, the reaction part is shown in a frame shape.

シリコン基板10の表面10a側には、裏面10bの4本の流路40に独立してつながるように独立化学物質供給口50(50a、50b、50c、50d)が設けられている。独立化学物質供給口50は、シリコン基板10の厚さ方向に貫通して裏面10b側に抜け、裏面10b側に設けた4本の流路40にそれぞれ独立してつながっている。独立化学物質供給口50(50a、50b、50c、50d)は、このように複数に構成されているので、4本の流路40にそれぞれ別の化学物質を並行して供給することができるようになっている。   On the front surface 10a side of the silicon substrate 10, independent chemical substance supply ports 50 (50a, 50b, 50c, 50d) are provided so as to be independently connected to the four flow paths 40 on the back surface 10b. The independent chemical substance supply port 50 penetrates in the thickness direction of the silicon substrate 10 and exits to the back surface 10b side, and is independently connected to the four flow paths 40 provided on the back surface 10b side. The independent chemical substance supply ports 50 (50a, 50b, 50c, 50d) are configured in this manner, so that different chemical substances can be supplied to the four flow paths 40 in parallel. It has become.

また、シリコン基板10の表面10a側には、裏面10bの4本の流路40に、分岐してそれぞれつながる共通化学物質供給口60(60a、60b)が設けられている。共通化学物質供給口60は、矢印に示すように表面10a側で二手に分かれ、二手に分かれたそれぞれがシリコン基板10の厚さ方向に貫通して裏面10b側に至り、さらに裏面10b側でさらに二手に分かれて4本の流路40にそれぞれつながっている。   Further, on the front surface 10a side of the silicon substrate 10, common chemical substance supply ports 60 (60a, 60b) are provided which are branched and connected to the four flow paths 40 on the back surface 10b. The common chemical substance supply port 60 is divided into two hands on the front surface 10a side as indicated by an arrow, each of the two divided hands penetrates in the thickness direction of the silicon substrate 10 to reach the back surface 10b side, and further on the back surface 10b side. Divided into two hands, each is connected to four channels 40.

このように分岐して複数の各流路に接続できるように共通化学物質供給口60を備えることにより、同一濃度の同一の化学物質を、各流路に送ることができるようになり、各流路で行われる並行分析での精度の確保が図れることとなる。   By providing the common chemical substance supply port 60 so that it can be branched and connected to a plurality of flow paths in this way, the same chemical substance with the same concentration can be sent to each flow path. It is possible to secure accuracy in parallel analysis performed on the road.

かかる構成の共通化学物質供給口60は、図2(a)、(b)に示すように、2個の共通化学物質供給口60a、60bに構成され、共通化学物質供給口60a、60bから、それぞれ異なる互いに反応する化学物質を別々に供給できるようになっている。   As shown in FIGS. 2A and 2B, the common chemical substance supply port 60 having such a configuration is composed of two common chemical substance supply ports 60a and 60b. From the common chemical substance supply ports 60a and 60b, Different chemicals that react with each other can be supplied separately.

また、上記独立化学物質供給口50、共通化学物質供給口60に形成された供給口41は、図3に示すように、シリコン基板10の表面側を覆うガラス板20に設けた貫通路42を通して、ガラス板20の表面側に固定したガラス管43に繋げられている。かかるガラス管43の固定は、ガラス板20の表面に接着剤等で固着され、送液口44として使用できるようになっている。   Further, the supply ports 41 formed in the independent chemical substance supply port 50 and the common chemical substance supply port 60 pass through a through passage 42 provided in the glass plate 20 covering the surface side of the silicon substrate 10 as shown in FIG. The glass tube 43 is fixed to the surface side of the glass plate 20. The glass tube 43 is fixed to the surface of the glass plate 20 with an adhesive or the like so that it can be used as the liquid feeding port 44.

これまではマイクロチップを固定する治具に、マイクロチップの供給口に符合する位置にネジ孔を形成し、そのネジ孔にテフロン(登録商標)ネジを螺合させ、このテフロン(登録商標)ネジに設けた口を送液口として使用していた。かかる構成では、往々にして、送液に際してネジ孔等から液漏れが発生することがあった。   Conventionally, a screw hole is formed in a jig that fixes the microchip at a position that coincides with the supply port of the microchip, and a Teflon (registered trademark) screw is screwed into the screw hole. The mouth provided in was used as a liquid feeding port. In such a configuration, liquid leakage often occurs from a screw hole or the like during liquid feeding.

テフロン(登録商標)ネジを締めつけすぎるとマイクロチップが壊れてしまうため、加減した締めつけが必要となるが、しかし、かかる場合に締めつけが弱いと、ネジ孔の隙間から液漏れが発生するのである。   If the Teflon (registered trademark) screw is tightened too much, the microchip will be broken, so that moderate tightening is necessary. However, in such a case, if the tightening is weak, liquid leakage occurs from the gaps in the screw holes.

さらには、複数の流路に対応してテフロン(登録商標)ネジが複数ある場合には、個々の締めつけ具合が異なると、締めつけ方の違いにより溶液等の各流路内での流れ易さに差が出て、結果として各流路での送液量が異なることともなった。   Furthermore, when there are a plurality of Teflon (registered trademark) screws corresponding to a plurality of flow paths, if each tightening condition is different, the ease of flow of the solution or the like in each flow path is different depending on the tightening method. The difference came out, and as a result, the amount of liquid delivered in each flow path was different.

しかし、前記の如く、独立化学物質供給口50、共通化学物質供給口60の所謂供給口41の形成位置に、供給口41の口径に合わせたガラス管43を、送液チューブとして固着することにより、液漏れや送液量の違いの原因となるテフロン(登録商標)ネジを設ける必要がなくなり、それにまつわるネジの締めつけ状態等に配慮せずに、送液時の等価性の確保ができるようになった。   However, as described above, by fixing the glass tube 43 matched to the diameter of the supply port 41 to the formation position of the so-called supply port 41 of the independent chemical substance supply port 50 and the common chemical substance supply port 60 as a liquid supply tube. It is no longer necessary to install Teflon (registered trademark) screws that cause liquid leakage or differences in the amount of liquid to be fed, and it is possible to ensure equivalency at the time of liquid feeding without considering the tightening condition of the screws surrounding it. became.

かかる構成の独立化学物質供給口50、共通化学物質供給口60が接続された4本の流路40は、表面10a側から裏面10bに至り、裏面10b側を蛇行し、その後シリコン基板10の厚さ方向に貫通して表面10a側に上り、さらに蛇行して排出口70(70a、70b、70c、70d)に至るように構成されている。   The four flow paths 40 to which the independent chemical substance supply port 50 and the common chemical substance supply port 60 having such a configuration are connected reach the back surface 10b from the front surface 10a side, meander the back surface 10b side, and then the thickness of the silicon substrate 10 It penetrates in the vertical direction and rises to the surface 10a side, and further meanders to reach the discharge port 70 (70a, 70b, 70c, 70d).

かかる流路40の路端末側に設けられた排出口70(70a、70b、70c、70)は、供給口41の形成の場合と同様に、図示はしないが、ガラス板20に設けた貫通孔を通して、ガラス板20の表面に接着剤等で固定したガラス管に接続され、反応生成物等の定量的な回収が図れるように構成されている。   The discharge ports 70 (70a, 70b, 70c, 70) provided on the road terminal side of the flow channel 40 are not shown in the figure, as in the case of forming the supply port 41, but are not illustrated. Through, the glass plate 20 is connected to a glass tube fixed to the surface of the glass plate 20 with an adhesive or the like, so that the reaction product or the like can be collected quantitatively.

かかる構成の流路40は、次のようにしてシリコン基板10の表裏両面に形成される。すなわち、図4に示すように、シリコン基板10の表面に所定層厚で酸化膜101を熱酸化により形成する。形成した酸化膜101上に、感光性物質のフォトレジスト102を所定層厚で塗布する。フォトレジスト102に、流路パターンが形成されたマスクを用いて、所定波長の光で露光し、露光後現像して、流路形成パターンをフォトレジスト102上に形成する。   The flow path 40 having such a configuration is formed on both the front and back surfaces of the silicon substrate 10 as follows. That is, as shown in FIG. 4, an oxide film 101 is formed on the surface of the silicon substrate 10 with a predetermined layer thickness by thermal oxidation. A photoresist 102 of a photosensitive material is applied on the formed oxide film 101 with a predetermined layer thickness. The photoresist 102 is exposed to light of a predetermined wavelength using a mask on which a flow path pattern is formed, developed after exposure, and a flow path forming pattern is formed on the photoresist 102.

流路形成パターンが形成されたフォトレジスト102をさらにマスクとして用い、酸化膜101をエッチングすることで、シリコン基板10への流路形成用マスクを形成する。かかる流路形成用マスクを用いて、ICPマルチビーム加工装置で、プラズマガスのSFを照射し、シリコン基板10をドライエッチングすることで、流路40に相当する溝を形成する。その後、流路40の形成に際して使用したマスク、すなわち酸化膜101、フォトレジスト102を除去する。 The photoresist 102 on which the flow path formation pattern is formed is further used as a mask, and the oxide film 101 is etched to form a flow path formation mask on the silicon substrate 10. Using such a flow path forming mask, the ICP multi-beam processing apparatus is irradiated with plasma gas SF 6 to dry-etch the silicon substrate 10, thereby forming a groove corresponding to the flow path 40. Thereafter, the mask used for forming the flow path 40, that is, the oxide film 101 and the photoresist 102 is removed.

このようにしてICPマルチビーム加工装置を用いることで、プラズマガスとしてSFを照射して形成した流路40は、これまでのものに比べて均一に形成することができた。すなわち、複数の流路40は、それぞれ等価に形成されるのである。 Thus, by using the ICP multi-beam processing apparatus, the flow path 40 formed by irradiating SF 6 as the plasma gas could be formed more uniformly than the conventional one. That is, the plurality of flow paths 40 are formed equivalently.

流路形成用の基板としてはシリコン基板10を選択し、かかるシリコン基板10にICP加工で流路40を形成するようにしたので、高精度で、アスペクト比の高い各々の等価な流路40を形成することができる。すなわち、ガラス基板にICP加工を適用する場合よりも、あるいはシリコン基板10に薬液でウエットエッチングする場合よりも、より等価な流路40を形成することができる。   Since the silicon substrate 10 is selected as the substrate for forming the flow path, and the flow path 40 is formed on the silicon substrate 10 by ICP processing, each equivalent flow path 40 with high accuracy and high aspect ratio is provided. Can be formed. That is, a more equivalent flow path 40 can be formed than when ICP processing is applied to a glass substrate or when wet etching is performed on the silicon substrate 10 with a chemical solution.

例えば、流路幅100μmに対して、加工精度1%以内での形成が可能であった。そのため各流路間の加工精度によるバラツキを小さくして、並行分析に求められる複数の等価な流路40を形成することができるようになった。   For example, formation with a processing accuracy of 1% or less was possible for a channel width of 100 μm. Therefore, it has become possible to form a plurality of equivalent flow paths 40 required for parallel analysis by reducing variations due to processing accuracy between the flow paths.

かかる構成の流路40を形成したシリコン基板10の表面10a、裏面10bには、パイレックス(登録商標)等のガラス板20、30が貼り合わされている。貼り合わせに際しては、陽極接合等が適用され、流路40が形成されてシリコン基板10の接着面がわずかでも確実に貼り合わせがなされている。このようにして、表面10a、裏面10bに形成された流路40の上方側をガラス板20で、流路40の下面側をガラス板30で、それぞれ塞ぎ液漏れしない流路40が形成されている。   Glass plates 20 and 30 such as Pyrex (registered trademark) are bonded to the front surface 10a and the back surface 10b of the silicon substrate 10 in which the flow path 40 having such a configuration is formed. At the time of bonding, anodic bonding or the like is applied, the flow path 40 is formed, and bonding is reliably performed even if the bonding surface of the silicon substrate 10 is slight. In this way, the upper side of the flow path 40 formed on the front surface 10a and the back surface 10b is formed with the glass plate 20, and the lower surface side of the flow path 40 is formed with the glass plate 30, thereby forming the flow path 40 that does not leak. Yes.

図4に示す場合は、簡単に、表面10aにガラス板20を陽極接合する様子を示した。かかる陽極接合には、例えば、温度を400℃、印加電圧を500Vとした。   In the case shown in FIG. 4, the state in which the glass plate 20 is anodically bonded to the surface 10 a is simply shown. For such anodic bonding, for example, the temperature was set to 400 ° C. and the applied voltage was set to 500V.

さらに、裏面10bに形成された流路40の蛇行開始部分から以降は、独立化学物質供給口50、共通化学物質供給口60からそれぞれ供給された化学物質が混合されて反応する反応部に形成されている。但し、反応部は、流路40の一部を構成し、あくまで流路40の延長状態として存在し、特別にその構成が他の流路40部分と異なる訳ではない。単に、その主な役割として分けられているに過ぎない。   Further, from the meandering start portion of the flow path 40 formed on the back surface 10b, the chemical substances supplied from the independent chemical substance supply port 50 and the common chemical substance supply port 60 are mixed and reacted to form a reaction part. ing. However, the reaction part constitutes a part of the flow path 40 and exists only as an extended state of the flow path 40, and the configuration is not particularly different from other flow path 40 portions. It is merely divided as its main role.

かかる流路40に合わせて、流路40を覆うガラス板20、30部分には、図示はしないが、加熱制御ができるように発熱手段が設けられている。かかる発熱手段としては、例えば、ガラス板20、30の表面側に、ITO(Indium Tin Oxide)膜が設けられている。ITO膜には、図示はしないが、電極用金属がそれぞれ成膜され、電極用金属の間に白金が成膜されている。   Although not shown, the glass plates 20 and 30 covering the flow path 40 are provided with heat generating means so as to control the heating according to the flow path 40. As such heat generating means, for example, an ITO (Indium Tin Oxide) film is provided on the surface side of the glass plates 20 and 30. Although not shown, an ITO metal is formed on the ITO film, and platinum is formed between the electrode metals.

電極用金属にはそれぞれリード線が接続され、リード線、電極を介してITO膜に電流を流すと、ITO膜が発熱するようになっている。このように流路40に対応して、ガラス板20、30に成膜されたITO膜が発熱することにより、流路40の反応部は所定温度に温められることとなる。   A lead wire is connected to each electrode metal, and when an electric current is passed through the ITO film via the lead wire and the electrode, the ITO film generates heat. As described above, the ITO film formed on the glass plates 20 and 30 generates heat corresponding to the flow path 40, whereby the reaction portion of the flow path 40 is heated to a predetermined temperature.

ITO膜の発熱状態は、電極、白金とから構成される温度センサでリアルタイムに把握され、例えば、発熱状態が所定温度より高くなると電流の流れを制御して発熱状態を抑える等して、発熱状態の制御が行えるようになっている。   The heat generation state of the ITO film is grasped in real time by a temperature sensor composed of an electrode and platinum. For example, when the heat generation state becomes higher than a predetermined temperature, the current flow is controlled to suppress the heat generation state. Can be controlled.

かかる構成のマイクロチップ100について、形成された複数の流路40の等価性を評価した。先ず、図5(a)に示すように、独立化学物質供給口50、共通化学物質供給口60にそれぞれ送液口44を介して水のみを供給し、図5(b)に示すようにその回収率を比較して、各流路40の等価性を評価した。   With respect to the microchip 100 having such a configuration, the equivalence of the plurality of flow paths 40 formed was evaluated. First, as shown in FIG. 5 (a), only water is supplied to the independent chemical substance supply port 50 and the common chemical substance supply port 60 through the liquid supply port 44, respectively, and as shown in FIG. The recovery rates were compared, and the equivalence of each flow path 40 was evaluated.

すなわち、4個の独立化学物質供給口50a、50b、50c、50dからは水を0.25μl/min供給し、共通化学物質供給口60aからは水を1μl/min供給し、共通化学物質供給口60bからは水を2μl/min供給した。各流路40での回収量は、図5(b)に示すようになった。理論上は、各流路40には1μl/minの水が流されて100%の回収がなされる筈であるが、実際には図5(b)に示すように、97%以上、105%以下の回収率であった。しかし、かかる回収率は、測定誤差の精度の範囲内であり、十分に各流路40は等価に形成されていることが確認された。   That is, 0.25 μl / min of water is supplied from the four independent chemical substance supply ports 50a, 50b, 50c, and 50d, and 1 μl / min of water is supplied from the common chemical substance supply port 60a. From 60b, 2 μl / min of water was supplied. The recovered amount in each flow path 40 is as shown in FIG. Theoretically, 1 μl / min of water is allowed to flow through each flow path 40 and 100% of the water should be recovered. However, as shown in FIG. The recovery rate was as follows. However, such a recovery rate is within the range of accuracy of measurement error, and it has been confirmed that each flow path 40 is sufficiently formed equivalently.

さらに、図6(a)に示すように、独立化学物質供給口50a、50b、50c、50dから、シリンジポンプでそれぞれ流量0.5μl/minで、0.15mg/ml濃度の酵素(キチナーゼ)を供給した。併せて、流量2μl/minで上記と同様の濃度の酵素を共通化学物質供給口60aから供給し、共通化学物質供給口60bからは基質のパラ−ニトロフェニル トリ−N−アセチル−β−キトトリオサイド(p-nitrophenyl tri-N-acetyl-β-chitotrioside)の0.5mM濃度のものを流量4μl/minで供給して、各流路40の等価性を検証した。反応停止液としてNaCO水溶液を300μl予め入れたエッペンに、反応液を流量2μl/minで回収した。各流路への送液量は、300μlとした。 Further, as shown in FIG. 6 (a), an enzyme (chitinase) having a concentration of 0.15 mg / ml is supplied from the independent chemical substance supply ports 50a, 50b, 50c, 50d with a syringe pump at a flow rate of 0.5 μl / min. Supplied. In addition, an enzyme having the same concentration as described above is supplied from the common chemical substance supply port 60a at a flow rate of 2 μl / min. The side (p-nitrophenyl tri-N-acetyl-β-chitotrioside) having a concentration of 0.5 mM was supplied at a flow rate of 4 μl / min to verify the equivalence of each flow path 40. The reaction solution was recovered at a flow rate of 2 μl / min in an eppen containing 300 μl of an aqueous Na 2 CO 3 solution as a reaction stop solution. The amount of liquid fed to each channel was 300 μl.

このように、回収した反応生成物であるパラ−ニトロフェノール(p−nitrophenol)の吸光度を、波長405nmで調べた。その結果は、図6(b)に示すように、4本の流路に対応する排出口70(70a、70b、70c、70d)でエッペンに回収されたp−nitrophenolの吸光度は、ほぼ同じであった。   In this way, the absorbance of the recovered reaction product para-nitrophenol (p-nitrophenol) was examined at a wavelength of 405 nm. As a result, as shown in FIG. 6B, the absorbances of p-nitrophenol collected in the Eppen at the outlets 70 (70a, 70b, 70c, 70d) corresponding to the four channels are almost the same. there were.

また、本構成の流路40にそれぞれ150μl〜310μlの範囲で、流量2μl/minで上記と同様に反応物質を供給したときに、それぞれの流路40を経て排出口70(70a、70b、70c、70d)でエッペンに回収された回収量は、図7に示すように、97%以上の回収率であり、それぞれの反応流路がかかる範囲内で等価であることが確認された。   Further, when the reactants are supplied to the flow channel 40 of this configuration in the range of 150 μl to 310 μl at a flow rate of 2 μl / min in the same manner as described above, the discharge ports 70 (70a, 70b, 70c are passed through the respective flow channels 40. 70d), the recovery amount recovered in the Eppen was a recovery rate of 97% or more as shown in FIG. 7, and it was confirmed that each reaction flow channel was equivalent within this range.

以上のように構成された4本の流路40は等価に形成され、且つ、共通化学物質供給口60から供給された化学物質は、等量ずつ4本の流路40に供給されることが分かった。各流路に対応したエッペンでの回収量も97%以上の回収率となり、各流路40内では反応物質がほぼ等量流れていることが確認できた。   The four flow paths 40 configured as described above are equivalently formed, and the chemical substances supplied from the common chemical substance supply port 60 can be supplied to the four flow paths 40 in equal amounts. I understood. The recovery amount with the Eppen corresponding to each flow path was also 97% or more, and it was confirmed that almost the same amount of reactant was flowing in each flow path 40.

また、図8(a)に示すように、各独立化学物質供給口50a、50b、50c、50dからは水を0.25μl/min供給し、共通化学物質供給口60aからは上記酵素を1μl/min(濃度0.6mg/ml)供給し、共通化学物質供給口60bからは上記基質を2μl/min(濃度0.4mM)供給した。各流路40での吸光度は、図8(b)に示すように、ほぼ同じになった。かかる結果からも、各流路の等価性が確認された。   Further, as shown in FIG. 8 (a), 0.25 μl / min of water is supplied from each of the independent chemical substance supply ports 50a, 50b, 50c and 50d, and the enzyme is supplied at 1 μl / min from the common chemical substance supply port 60a. Min (concentration 0.6 mg / ml) was supplied, and the substrate was supplied at 2 μl / min (concentration 0.4 mM) from the common chemical substance supply port 60b. The absorbance in each flow path 40 was almost the same as shown in FIG. From these results, the equivalence of each flow path was confirmed.

さらに、図9(a)に示すように、独立化学物質供給口50aから酵素反応阻害剤としてアロサミジンを0.25μl/min(濃度0.1mM)、独立化学物質供給口50b、50c、50dからは水を0.25μl/min供給し、共通化学物質供給口60aからは前記酵素を1μl/min(濃度0.6mg/ml)供給し、共通化学物質供給口60bからは前記基質を2μl/min(濃度0.4mM)供給した。   Furthermore, as shown in FIG. 9 (a), 0.25 μl / min (concentration: 0.1 mM) of allosamidin as an enzyme reaction inhibitor from the independent chemical substance supply port 50a, and from the independent chemical substance supply ports 50b, 50c, and 50d, Water is supplied at 0.25 μl / min, the enzyme is supplied at 1 μl / min (concentration 0.6 mg / ml) from the common chemical substance supply port 60a, and the substrate is supplied at 2 μl / min (at a common chemical substance supply port 60b). Concentration 0.4 mM).

各流路40での吸光度は、図9(b)に示すようになった。すなわち、アロサミジンが反応に関与した流路では、吸光度が他の場合より大きく低下している。しかし、他の3流路では、ほぼ同程度の高い吸光度を示している。それぞれが独立した流路構成であることが検証された。   The absorbance in each channel 40 was as shown in FIG. That is, in the flow path in which allosamidin is involved in the reaction, the absorbance is significantly lower than in other cases. However, the other three flow paths show almost the same high absorbance. It was verified that each channel configuration was independent.

上記実験では、流路40に設けた分岐点で、試薬が逆流する場合がないかを検証したものであるが、アロサミジンの酵素阻害剤がもし分岐点で逆流していたら、複数の流路で酵素反応が阻害され、図9(b)に示すものとは異なる結果が得られた筈である。かかる結果から、前記の如く4本の流路40はそれぞれ独立しており、分岐点での逆流が起きないものであることが確認された。   In the above experiment, it was verified whether or not the reagent may flow backward at the branch point provided in the flow path 40. If the enzyme inhibitor of allosamidine is flowing backward at the branch point, a plurality of flow paths may be used. The enzyme reaction is inhibited, and a result different from that shown in FIG. 9B should be obtained. From these results, it was confirmed that the four flow paths 40 were independent as described above, and no back flow occurred at the branch point.

かかる等価の流路40は、例えば、シリコン基板10に、幅400μm以内、深さ100μm以内で、ICP加工により形成する場合に可能であった。その他の例えばエッチング等では、等価な流路は形成されず、4本のそれぞれの等価性は、本発明の場合よりも劣っていた。   Such an equivalent flow path 40 is possible, for example, when the silicon substrate 10 is formed by ICP processing within a width of 400 μm and a depth of 100 μm. In other cases such as etching, an equivalent flow path is not formed, and the equivalence of each of the four is inferior to that of the present invention.

このように等価な複数の流路を用いて化学物質のスクリーニングを行うことができる。図10、11に、その一例を示した。例えば、図10に示すように、独立化学物質供給口50a、50b、50c、50dからは、それぞれ目的とする化学反応の阻害となるかもしれない阻害可能性化学物質を、阻害剤A、B、C、Dとして供給する。共通化学物質供給口60aからは酵素を、共通化学物質供給口60bからは酵素と反応する基質を、それぞれ供給する。   Thus, screening of chemical substances can be performed using a plurality of equivalent flow paths. An example is shown in FIGS. For example, as shown in FIG. 10, from the independent chemical substance supply ports 50a, 50b, 50c, and 50d, the inhibitor A, B, Supply as C and D. An enzyme is supplied from the common chemical substance supply port 60a, and a substrate that reacts with the enzyme is supplied from the common chemical substance supply port 60b.

このようにして、4本の独立した等価な流路40を用いることで、独立化学物質供給口50から供給した4種の化学物質の酵素反応阻害性に応じて、反応生成物ができる筈である。その反応生成物を分析することで、4種の阻害剤の影響を知ることができる。尚、反応部では、前記ITO膜を用いて、37℃に温度制御した。   In this way, by using four independent equivalent flow paths 40, reaction products can be produced according to the enzyme reaction inhibitory properties of the four types of chemical substances supplied from the independent chemical substance supply port 50. is there. By analyzing the reaction product, it is possible to know the effects of the four inhibitors. In the reaction part, the temperature was controlled at 37 ° C. using the ITO film.

図10に示すように、排出口70a、70b、70c、70dからは、それぞれ阻害剤A、B、C、Dが関与した酵素と基質との反応生成物が回収されることとなる。例えば、酵素としてキチナーゼを供給し、基質として多糖にp-nitrophenyl基が結合したものを供給することで、阻害剤A、B、C、Dが関与した場合のキチナーゼによるp−nitrophenolの遊離状況が異なる。   As shown in FIG. 10, the reaction products of the enzyme and the substrate in which the inhibitors A, B, C, and D are involved are collected from the discharge ports 70a, 70b, 70c, and 70d, respectively. For example, by supplying chitinase as an enzyme and supplying a p-nitrophenyl group bonded to a polysaccharide as a substrate, the release situation of p-nitrophenol by chitinase when inhibitors A, B, C and D are involved Different.

かかるp−nitrophenolを、NaCoアルカリ溶液で発色させ、発色度合いでその遊離量を分光光度計等で分析すれば、簡単に、且つ精度高く、速やかに、試薬量を例えばμl単位に抑えて、複数の試料の分析が行える。 If such p-nitrophenol is colored with a Na 2 Co 3 alkaline solution and the amount of liberation is analyzed with a spectrophotometer, etc., the amount of reagent can be easily, accurately and quickly reduced to, for example, μl. Multiple samples can be analyzed.

図11には、上記のように、酵素として生体内の構造多糖に働くキチナーゼを使用し、基質として多糖にp-nitrophenyl基を接合したものを使用して、独立化学物質供給口からは例えば環境汚染物質を供給して、キチナーゼの酵素活性の度合いを分析し、環境汚染物質のキチナーゼ活性に及ぼす影響、すなわち阻害性を調べることができる。分析では、阻害性について、化学物質の種類、濃度等を調べることができる。   In FIG. 11, as described above, a chitinase acting on a structural polysaccharide in a living body is used as an enzyme, and a polysaccharide having a p-nitrophenyl group joined to a polysaccharide is used as a substrate. By supplying a pollutant, the degree of enzyme activity of chitinase can be analyzed, and the influence of the environmental pollutant on the chitinase activity, that is, the inhibitory property can be examined. In the analysis, the type and concentration of chemical substances can be examined for inhibition.

また、独立化学物質供給口からは、同一の化学物質を、それぞれ濃度を4種変えて供給し、共通化学物質供給口からは同様に酵素、基質を入れて、阻害剤(阻害材)の働く濃度範囲を決定するのに使用することもできる。   In addition, the same chemical substance is supplied from independent chemical substance supply ports at four different concentrations, and the enzyme and substrate are similarly inserted from the common chemical substance supply port to act as an inhibitor (inhibitor). It can also be used to determine the concentration range.

あるいは、2種の阻害可能性のある物質を2種の濃度で入れて、その影響を調べることもできる。   Alternatively, two types of substances that can be inhibited can be added at two concentrations, and the influences can be examined.

以上、本発明者によってなされた発明を実施の形態に基づき具体的に説明したが、本発明は前記実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能であることはいうまでもない。   As mentioned above, the invention made by the present inventor has been specifically described based on the embodiment. However, the present invention is not limited to the embodiment, and various modifications can be made without departing from the scope of the invention. Needless to say.

また、上記説明では、本発明に係る分析を、キチナーゼの生体内での環境物質の影響に関する場合を例に挙げて説明したが、本発明の適用はかかるキチナーゼ以外の酵素の反応、あるいは生体内の酵素反応に限定されるものではなく精緻な温度制御が必要とされる反応にも使用することができる。   In the above description, the analysis according to the present invention has been described by taking the case of the influence of environmental substances in the living body of chitinase as an example. However, the present invention can be applied to reactions of enzymes other than chitinase or in vivo. However, the present invention is not limited to this enzyme reaction, and can also be used for reactions that require precise temperature control.

本発明は、生体内の酵素反応等に関係する化学物質の並行微量分析等の化学分析の分野で有効に利用することができる。   The present invention can be effectively used in the field of chemical analysis such as parallel microanalysis of chemical substances related to in vivo enzyme reactions and the like.

本発明に係るマイクロチップの斜視図である。1 is a perspective view of a microchip according to the present invention. (a)は積層チップを構成するシリコン基板の表面側の流路形成パターンを示す平面図であり、(b)はその裏面側の状況を示す平面図である。(A) is a top view which shows the flow-path formation pattern of the surface side of the silicon substrate which comprises a laminated chip, (b) is a top view which shows the condition of the back surface side. 送液口の形成部を部分的に示した断面図である。It is sectional drawing which showed partially the formation part of a liquid feeding port. シリコン基板への流路形成の手順を模式的に示す説明図である。It is explanatory drawing which shows typically the procedure of the flow-path formation to a silicon substrate. (a)は流路の等価性の評価における独立化学物質供給口、共通化学物質供給口への供給状況を模式的に示した説明図であり、(b)は各流路での回収状況を示した説明図である。(A) is explanatory drawing which showed typically the supply condition to the independent chemical substance supply port in the evaluation of the equivalence of a flow path, and a common chemical substance supply port, (b) is the recovery condition in each flow path. It is explanatory drawing shown. (a)は流路の等価性の評価における独立化学物質供給口、共通化学物質供給口への供給状況を模式的に示した説明図であり、(b)は各流路での吸光度の状況を示した説明図である。(A) is explanatory drawing which showed typically the supply condition to the independent chemical substance supply port and common chemical substance supply port in evaluation of the equivalence of a flow path, (b) is the condition of the light absorbency in each flow path It is explanatory drawing which showed. 図6(a)に示す構成の実験における各流路での回収量を示した説明図である。It is explanatory drawing which showed the collection | recovery amount in each flow path in the experiment of the structure shown to Fig.6 (a). (a)は流路の等価性の評価における独立化学物質供給口、共通化学物質供給口への供給状況を模式的に示した説明図であり、(b)は各流路での吸光度の状況を示した説明図である。(A) is explanatory drawing which showed typically the supply condition to the independent chemical substance supply port and common chemical substance supply port in evaluation of the equivalence of a flow path, (b) is the condition of the light absorbency in each flow path It is explanatory drawing which showed. (a)は流路の等価性の評価における独立化学物質供給口、共通化学物質供給口への供給状況を模式的に示した説明図であり、(b)は各流路での吸光度の状況を示した説明図である。(A) is explanatory drawing which showed typically the supply condition to the independent chemical substance supply port and common chemical substance supply port in evaluation of the equivalence of a flow path, (b) is the condition of the light absorbency in each flow path It is explanatory drawing which showed. 阻害剤と、酵素と、基質とを使用した並行微量分析の概要を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the outline | summary of the parallel microanalysis using an inhibitor, an enzyme, and a substrate. キチナーゼの酵素機能を模式的に示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the enzyme function of chitinase typically.

符号の説明Explanation of symbols

10 シリコン基板
10a 表面
10b 裏面
20 ガラス板
30 ガラス板
40 流路
41 供給口
42 貫通路
43 ガラス管
44 送液口
50 独立化学物質供給口
50a 独立化学物質供給口
50b 独立化学物質供給口
50c 独立化学物質供給口
50d 独立化学物質供給口
60 共通化学物質供給口
60a 共通化学物質供給口
60b 共通化学物質供給口
70 排出口
70a 排出口
70b 排出口
70c 排出口
70d 排出口
100 マイクロチップ
101 酸化膜
102 フォトレジスト
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Silicon substrate 10a Front surface 10b Back surface 20 Glass plate 30 Glass plate 40 Flow path 41 Supply port 42 Through passage 43 Glass tube 44 Liquid supply port 50 Independent chemical substance supply port 50a Independent chemical substance supply port 50b Independent chemical substance supply port 50c Independent chemistry Substance supply port 50d Independent chemical substance supply port 60 Common chemical substance supply port 60a Common chemical substance supply port 60b Common chemical substance supply port 70 Discharge port 70a Discharge port 70b Discharge port 70c Discharge port 70d Discharge port 100 Microchip 101 Oxide film 102 Photo Resist

Claims (8)

マイクロチップを用いた化学物質の並行微量分析法であって、
前記マイクロチップは、厚さ方向に貫通して表裏両面を連絡するμmオーダーの複数の流路を有し、
前記複数の流路は、それぞれ前記複数の流路への少なくとも当初供給量の97%以上の回収率を有する等価流路に形成され、
前記複数の流路は、前記複数の流路のそれぞれに独立して接続された独立反応物質供給口を有し、
前記複数の流路は、前記複数の流路のそれぞれに分岐して接続された共通反応物質供給口を有し、
前記独立反応物質供給口から供給した反応物質と、前記共通反応物質供給口から供給した反応物質とを、前記複数の流路内のそれぞれで反応させ、反応後の反応生成物を回収して前記複数の流路内のそれぞれにおける反応状況を分析手段により分析することを特徴とする化学物質の並行微量分析法。
A parallel microanalysis method for chemical substances using a microchip,
The microchip has a plurality of channels in the order of μm that penetrate in the thickness direction and connect both the front and back surfaces,
Each of the plurality of channels is formed into an equivalent channel having a recovery rate of 97% or more of the initial supply amount to the plurality of channels.
The plurality of flow paths have independent reactant supply ports connected independently to each of the plurality of flow paths,
The plurality of channels have a common reactant supply port branched and connected to each of the plurality of channels.
The reactant supplied from the independent reactant supply port and the reactant supplied from the common reactant supply port are reacted in each of the plurality of flow paths, and the reaction product after the reaction is recovered to A parallel microanalysis method for chemical substances, characterized by analyzing the reaction state in each of a plurality of flow paths by an analysis means.
請求項1に記載の化学物質の並行微量分析法において、
前記複数の流路のそれぞれの回収率が97%以上である場合の前記当初供給量は、150μl以上、310μl以下であることを特徴とする化学物質の並行微量分析法。
In the parallel microanalysis method of the chemical substance according to claim 1,
The parallel microanalysis method for a chemical substance, wherein the initial supply amount when the recovery rate of each of the plurality of flow paths is 97% or more is 150 μl or more and 310 μl or less.
請求項1または2に記載の化学物質の並行微量分析法において、
前記複数の流路は、100μmオーダーに対して1%以内の加工精度で形成されていることを特徴とする化学物質の並行微量分析法。
In the parallel microanalysis method of the chemical substance according to claim 1 or 2,
The parallel microanalysis method for a chemical substance, wherein the plurality of flow paths are formed with a processing accuracy within 1% with respect to the order of 100 μm.
請求項1〜3のいずれか1項に記載の化学物質の並行微量分析法において、
前記共通反応物質供給口からは、互いに反応する反応物質を供給し、
前記独立反応物質供給口からは、前記反応を阻害するかもしれない反応阻害可能性物質を供給することを特徴とする化学物質の並行微量分析法。
In the parallel microanalysis method of the chemical substance according to any one of claims 1 to 3,
From the common reactant supply port, reactants that react with each other are supplied,
A parallel microanalysis method for chemical substances, characterized in that a reaction-inhibiting substance that may inhibit the reaction is supplied from the independent reactant supply port.
請求項4に記載の化学物質の並行微量分析法において、
前記反応阻害可能性物質は、環境汚染物質であることを特徴とする化学物質の並行微量分析法。
In the parallel microanalysis method of the chemical substance according to claim 4,
The method for parallel microanalysis of chemical substances, wherein the reaction inhibiting substance is an environmental pollutant.
請求項4または5に記載の化学物質の並行微量分析法において、
前記共通反応物質供給口から供給する反応物質は、酵素と、前記酵素に反応する基質であることを特徴とする化学物質の並行微量分析法。
In the parallel microanalysis method of the chemical substance according to claim 4 or 5,
The method for parallel microanalysis of chemical substances, wherein the reactants supplied from the common reactant supply port are an enzyme and a substrate that reacts with the enzyme.
請求項6に記載の化学物質の並行微量分析法において、
前記酵素とは、糖鎖分解酵素であり、
前記基質とは、前記糖鎖分解酵素により分離される原子団を有する多糖であることを特徴とする化学物質の並行微量分析法。
In the parallel microanalysis method of the chemical substance according to claim 6,
The enzyme is a sugar chain degrading enzyme,
The method for parallel microanalysis of chemical substances, wherein the substrate is a polysaccharide having an atomic group separated by the sugar chain degrading enzyme.
請求項7に記載の化学物質の並行微量分析法において、
前記糖鎖分解酵素とは、キチナーゼであり、
前記多糖とは、構造多糖であることを特徴とする化学物質の並行微量分析法。
In the parallel microanalysis method of the chemical substance according to claim 7,
The sugar chain degrading enzyme is chitinase,
The method for parallel microanalysis of chemical substances, wherein the polysaccharide is a structural polysaccharide.
JP2006046753A 2006-02-23 2006-02-23 Parallel microanalysis of chemical substance Pending JP2007222072A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2006046753A JP2007222072A (en) 2006-02-23 2006-02-23 Parallel microanalysis of chemical substance

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2006046753A JP2007222072A (en) 2006-02-23 2006-02-23 Parallel microanalysis of chemical substance

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2007222072A true JP2007222072A (en) 2007-09-06

Family

ID=38544461

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2006046753A Pending JP2007222072A (en) 2006-02-23 2006-02-23 Parallel microanalysis of chemical substance

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2007222072A (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010539503A (en) * 2007-09-20 2010-12-16 イリネ ミクロシステムス、エセ.エレ. Microfluidic device and fluid coagulation time measurement method

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002243734A (en) * 2001-02-14 2002-08-28 Inst Of Physical & Chemical Res Microchip
JP2004501665A (en) * 2000-07-03 2004-01-22 ゼオトロン コーポレイション Device and method for performing a chemical reaction using a light generating reagent
WO2005042137A2 (en) * 2003-10-30 2005-05-12 Cytonome, Inc. Multilayer hydrodynamic sheath flow structure

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004501665A (en) * 2000-07-03 2004-01-22 ゼオトロン コーポレイション Device and method for performing a chemical reaction using a light generating reagent
JP2002243734A (en) * 2001-02-14 2002-08-28 Inst Of Physical & Chemical Res Microchip
WO2005042137A2 (en) * 2003-10-30 2005-05-12 Cytonome, Inc. Multilayer hydrodynamic sheath flow structure

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010539503A (en) * 2007-09-20 2010-12-16 イリネ ミクロシステムス、エセ.エレ. Microfluidic device and fluid coagulation time measurement method

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6827906B1 (en) Continuous form microstructure assay array
US20200094252A1 (en) Microfluidic chip for separating and detecting whole blood sample and detection method thereof
US8545248B2 (en) System to control fluid flow based on a leak detected by a sensor
Arora et al. A wireless electrochemiluminescence detector applied to direct and indirect detection for electrophoresis on a microfabricated glass device
Kitamori et al. Peer reviewed: thermal lens microscopy and microchip chemistry
AU745644B2 (en) Improved controller/detector interfaces for microfluidic systems
CN103487491B (en) Analysis chip and analytical equipment
US6699384B1 (en) Compact electrochemical sensor system and method for field testing for metals in saliva or other fluids
CN107110816A (en) Digital micro-fluid equipment with integrated electrochemical sensor
CN101848757A (en) The method and apparatus that is used for the use electric field of improved bioassary method
JP2007017354A (en) Chemical reaction detecting system
Maruyama et al. Intermittent partition walls promote solvent extraction of metal ions in a microfluidic device
US9506870B2 (en) Flow-channel device for detecting light emission
JP2005030906A (en) Analytical chip and analyzing method
Wenn et al. A mesh microcontactor for 2-phase reactions
Olivé-Monllau et al. Integration of a sensitive carbon nanotube composite electrode in a ceramic microanalyzer for the amperometric determination of free chlorine
JP2007075950A (en) Micro fluid device and process of manufacture thereof
CN104661742A (en) Functional device and functional device manufacturing method
Hylton et al. A microfluidic hollow fiber membrane extractor for arsenic (V) detection
Tillo et al. Microfluidic device for the determination of water chlorination levels combining a fluorescent meso-enamine boron dipyrromethene probe and a microhydrocyclone for gas bubble separation
JPWO2003008981A1 (en) Integrated structure of multilayer flow microchannel and multilayer flow operation method using the same
US9234791B2 (en) Light emission detection device having a flow path formed by a depression of a detection side substrate and method of manufacturing the same
JP2007222072A (en) Parallel microanalysis of chemical substance
JP3991034B2 (en) Detection method
JP4026002B2 (en) Analysis apparatus and analysis method

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20081210

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20110705

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20111101