JP2007220285A - Magnetic recording medium and magnetic recording apparatus - Google Patents

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a magnetic recording medium and a magnetic recording apparatus wherein an S/N ratio is raised by finely and uniformly pulverizing magnetic crystal grains and growing the resultant grains with satisfactory reproducibility. <P>SOLUTION: A seed layer 3 comprising island-shaped films composed of either of a Co layer and a Co alloy layer, separated from each other and covered with a Cr based underlayer (4) is formed on a non-magnetic substrate 1 comprising an Al based alloy substrate or a glass substrate via at least an amorphous film 2. <P>COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Description

本発明は磁気記録媒体及び磁気記録装置に関するものであり、特に、低ノイズで高出力を得るために微細な結晶粒を形成するためのシード（ｓｅｅｄ）層の構成に特徴のある磁気記録媒体及び磁気記録装置に関するものである。   The present invention relates to a magnetic recording medium and a magnetic recording apparatus, and more particularly to a magnetic recording medium characterized by the structure of a seed layer for forming fine crystal grains to obtain high output with low noise, and The present invention relates to a magnetic recording apparatus.

近年のハードディスク装置等の磁気記録装置の記録密度の上昇は著しく、そのため、記録ビット間は記録密度の上昇に応じて狭くなってきている。
より小さな記録ビットを磁気記録媒体に形成するためには、記録ヘッドの高性能化もさることながら、記録密度を高くすると再生出力が低下するとともにノイズが増加してＳ／Ｎ比が低下してしまうので、磁気記録媒体の低ノイズ化による高Ｓ／Ｎ化が重要になる。 In recent years, the recording density of a magnetic recording device such as a hard disk device has increased remarkably. For this reason, the interval between recording bits has become narrower as the recording density has increased.
In order to form a smaller recording bit on the magnetic recording medium, the recording head is not only improved in performance but also when the recording density is increased, the reproduction output is lowered and the noise is increased and the S / N ratio is lowered. Therefore, it is important to increase the S / N ratio by reducing the noise of the magnetic recording medium.

そこで、従来の磁気記録媒体においては、高Ｓ／Ｎ化のために様々な試みが成されており、例えば、下地層の結晶配向性の制御や磁性層の結晶配向性の向上、格子整合、或いは、中間層の採用等の多数の方法が挙げられる。   Therefore, in the conventional magnetic recording medium, various attempts have been made to increase the S / N. For example, control of crystal orientation of the underlayer, improvement of crystal orientation of the magnetic layer, lattice matching, Or many methods, such as adoption of an intermediate | middle layer, are mentioned.

また、アルミ基板を用いた場合には、通常、その直上に設けるＣｒやＣｒ合金の結晶配向性を高めるために下地層としてその組成比を制御することによってアモルファス状のＮｉＰを設けている（例えば、特許文献１参照）。
これは、磁性層を構成するＣｏＣｒＰｔＴａ等のＣｏ合金の面内配向性を高めるためには、無配向な膜、即ち、アモルファス膜が必要になるためである。 In the case of using an aluminum substrate, amorphous NiP is usually provided by controlling the composition ratio as an underlayer in order to improve the crystal orientation of Cr or Cr alloy provided immediately above (for example, , See Patent Document 1).
This is because a non-oriented film, i.e., an amorphous film, is required to increase the in-plane orientation of a Co alloy such as CoCrPtTa constituting the magnetic layer.

即ち、磁性層を構成するＣｏＣｒＰｔＴａ等のＣｏ合金の面内配向性を高めるために、中間層としてＣｒ系合金を用いた場合、ｂｃｃ（体心立方）構造を有するＣｒ系合金をＣｒ（２００）に配向させる必要があり、このため、Ｃｒ系合金層の直下のＮｉＰ層等の下地層はアモルファスであることが大前提であった。   That is, in order to increase the in-plane orientation of a Co alloy such as CoCrPtTa constituting the magnetic layer, when a Cr-based alloy is used as an intermediate layer, a Cr-based alloy having a bcc (body-centered cubic) structure is Cr (200). Therefore, it has been a major premise that the underlayer such as the NiP layer directly under the Cr-based alloy layer is amorphous.

これは、Ｃｒ系合金層の表面が（２００）面になるように配向させた場合、（２００）面における格子間隔の２^1/2 倍が、六方細密構造（ｈｃｐ）のＣｏＣｒＰｔＴａ等の磁性層のｃ軸方向の格子間隔とほぼ一致するためであり、その結果、ｃ軸が水平になって（１１０）面が主面になるように成長して磁性層が面内配向することになる。
特開２０００−０５７５５２号公報 This is because when the Cr-based alloy layer is oriented so that the surface is the (200) plane, 2 ^1/2 times the lattice spacing on the (200) plane is a magnetic layer such as CoCrPtTa having a hexagonal close-packed structure (hcp). As a result, the magnetic layer grows so that the c-axis becomes horizontal and the (110) plane becomes the main surface, and the magnetic layer is oriented in the plane.
JP 2000-075552 A

しかし、従来の磁性層の配向性を高めることによって出力の向上とノイズの低減を図る方法では、十分なＳ／Ｎ比の改善が得られなかった。   However, the conventional method of improving the output and reducing the noise by increasing the orientation of the magnetic layer cannot provide a sufficient improvement in the S / N ratio.

一方、高Ｓ／Ｎ比を得るために、磁性層の結晶粒を小さくすることも行われているが、磁性層はＣｒ系合金からなる中間層の結晶状態を反映してエピタキシャル成長するので、上述の配向性を高める方法では磁性層の結晶粒を十分微細化することが困難であり、必ずしも十分な高Ｓ／Ｎ比を得ることができなかった。   On the other hand, in order to obtain a high S / N ratio, the crystal grains of the magnetic layer are also reduced, but the magnetic layer is epitaxially grown reflecting the crystal state of the intermediate layer made of a Cr-based alloy. In the method of improving the orientation of the magnetic layer, it is difficult to sufficiently refine the crystal grains of the magnetic layer, and a sufficiently high S / N ratio cannot be obtained.

したがって、本発明は、磁性結晶粒を十分微細化且つ均一化し、再現性良く成長させて、Ｓ／Ｎ比を高めることを目的とする。   Accordingly, an object of the present invention is to increase the S / N ratio by sufficiently miniaturizing and homogenizing magnetic crystal grains and growing them with good reproducibility.

図１は本発明の原理的構成の説明図であり、この図１を参照して本発明における課題を解決するための手段を説明する。
図１参照
上述の課題を解決するために、本発明においては、磁気記録媒体において、Ａｌ系合金基板上にアモルファス膜２を介してＣｏ層或いはＣｏ合金層のいずれかからなるとともに、互いに分離し、Ｃｒ系下地層（４）で覆われた島状膜からなるシード層３を設けたことを特徴とする。 FIG. 1 is an explanatory diagram of the principle configuration of the present invention. Means for solving the problems in the present invention will be described with reference to FIG.
See Figure 1
In order to solve the above-mentioned problems, in the present invention, in a magnetic recording medium, an Al-based alloy substrate is formed of either a Co layer or a Co alloy layer via an amorphous film 2 and separated from each other. A seed layer 3 made of an island film covered with an underlayer (4) is provided.

或いは、ガラス基板上に直接、或いは、アモルファス膜２を介してＣｏ層或いはＣｏ合金層のいずれかからなるとともに、互いに分離し、Ｃｒ系下地層（４）で覆われた島状膜からなるシード層３を設けたことを特徴とする。   Alternatively, the seed is made of an island-like film which is made of either a Co layer or a Co alloy layer directly on a glass substrate or via an amorphous film 2 and is separated from each other and covered with a Cr-based underlayer (4). The layer 3 is provided.

この様に、Ｃｏ層或いはＣｏ合金層のいずれかからなる島状のシード層３を設けることによって、この島状のシード層３を核として結晶成長が行われるので、島状のシード層３の分布密度に応じて磁性層５の結晶粒を微細にすることができ、それによって、ノイズを低減するとともに出力を大きくしてＳ／Ｎ比を高めることができる。   In this manner, by providing the island-shaped seed layer 3 made of either the Co layer or the Co alloy layer, crystal growth is performed using the island-shaped seed layer 3 as a nucleus. Depending on the distribution density, the crystal grains of the magnetic layer 5 can be made fine, thereby reducing noise and increasing the output to increase the S / N ratio.

この場合、Ｃｏ層或いはＣｏ合金層のいずれかからなるシード層３の厚さを、連続膜換算で２ｎｍ以下にすることによって、シード層３の静磁気特性が磁性層５の静磁気特性に影響を与えることがなく、且つ、シード層３が磁性層５の配向性に影響を与えることはないので、磁性層５の配向性も良好に保つことができる。   In this case, by setting the thickness of the seed layer 3 made of either the Co layer or the Co alloy layer to 2 nm or less in terms of a continuous film, the magnetostatic characteristics of the seed layer 3 affect the magnetostatic characteristics of the magnetic layer 5. Since the seed layer 3 does not affect the orientation of the magnetic layer 5, the orientation of the magnetic layer 5 can be kept good.

また、この様な磁気記録媒体を用いて磁気記録装置を構成することによって、記録密度の向上が可能になる。   Further, by configuring a magnetic recording apparatus using such a magnetic recording medium, the recording density can be improved.

本発明によれば、基板上に互いに分離し且つＣｒ系下地層で覆われた島状膜のシード層を介して磁性層を設けているので、磁性層の結晶粒を島状のシード層の分布密度に応じて微細化し、それによって、ノイズを低減するとともに出力を高めＳ／Ｎを大きくすることができるので、ハードディスク装置等の磁気ディスク記録装置の大容量化及び高密度磁気記録化に寄与するところが大きい。   According to the present invention, since the magnetic layer is provided on the substrate through the island-shaped seed layer separated from each other and covered with the Cr-based underlayer, the crystal grains of the magnetic layer are separated from the island-shaped seed layer. Miniaturization according to the distribution density, which can reduce noise, increase output, and increase S / N, contributing to higher capacity and higher density magnetic recording of magnetic disk recording devices such as hard disk devices. There is a lot to do.

本発明は、Ａｌ系合金基板上にアモルファス膜２を介して、または、ガラス基板上に直接、或いは、アモルファス膜２を介してＣｏ層或いはＣｏ合金層のいずれかからなるとともに、互いに分離し、Ｃｒ系下地層で覆われた島状膜からなるシード層３を設け、このＣｒ系下地層上に磁性層を設けたものである。   The present invention consists of either a Co layer or a Co alloy layer via an amorphous film 2 on an Al-based alloy substrate, directly on a glass substrate, or via an amorphous film 2, and separated from each other. A seed layer 3 made of an island film covered with a Cr-based underlayer is provided, and a magnetic layer is provided on the Cr-based underlayer.

ここで、図２を参照して、本発明の実施例１の磁気記録媒体の製造工程を概念的に説明する。
なお、各図は本発明の実施例１の磁気記録媒体の概略的構成図であり、実際には、基板の両側に対称的に記録層を設けた構造となっている。
図２（ａ）参照
まず、例えば、３．５インチ（≒８．９ｃｍ）のＡｌ₉₅Ｍｇ₅ （重量比）からなるＡｌ−Ｍｇ合金基板１１上に、厚さが、例えば、１０μｍのＮｉ₈₁Ｐ₁₉からなるアモルファス状のＮｉＰ補強層１２をメッキにより設けて、Ａｌ−Ｍｇ合金基板１１の機械的強度を高めて、高速回転時の磁気ヘッドとの接触信頼性を確保する。 Here, with reference to FIG. 2, the manufacturing process of the magnetic recording medium of Example 1 of this invention is demonstrated conceptually.
Each figure is a schematic configuration diagram of the magnetic recording medium according to the first embodiment of the present invention, and actually has a structure in which recording layers are provided symmetrically on both sides of the substrate.
See Fig. 2 (a)
First, for example, on an Al—Mg alloy substrate 11 made of Al ₉₅ Mg ₅ (weight ratio) of 3.5 inches (≈8.9 cm), an amorphous shape made of Ni ₈₁ P ₁₉ having a thickness of, for example, 10 μm. The NiP reinforcing layer 12 is provided by plating to increase the mechanical strength of the Al—Mg alloy substrate 11 to ensure contact reliability with the magnetic head during high-speed rotation.

次いで、必要に応じて砥粒を用いたテクスチャ加工を行って、ＮｉＰ補強層１２の表面の円周方向に沿って微細な溝を形成したり、或いは、凹凸加工を行って凹凸を形成する。
このテクスチャ加工によって形成された溝或いは凹凸加工によって形成された凹凸によって磁気ヘッドと磁気ディスク記録媒体との間の摩擦を低減して磁気ヘッドの吸着を防止するとともに、テクスチャ加工によって円周方向に磁化が向きやすくなるので面内記録方向への磁気異方性を高めることができる。 Next, texture processing using abrasive grains is performed as necessary to form fine grooves along the circumferential direction of the surface of the NiP reinforcing layer 12, or uneven processing is performed to form unevenness.
The groove formed by the texture processing or the unevenness formed by the uneven processing reduces the friction between the magnetic head and the magnetic disk recording medium to prevent the magnetic head from being attracted, and the texture is processed in the circumferential direction. Therefore, the magnetic anisotropy in the in-plane recording direction can be increased.

図２（ｂ）参照
次いで、複数のチャンバーがゲートバルブによって仕切られた枚葉式のＤＣ−マグネトロンスパッタ装置を用いて、例えば、５×１０^-6Ｐａの真空度において、Ｃｏを連続膜換算で２ｎｍ以下スパッタして島状Ｃｏシード層１３を形成する。
この場合、通常の金属膜の堆積と同様に、膜厚が極めて薄い状態では、ＮｉＰ補強層１２上に微小な結晶成長核が分散して発生し、この微小な結晶成長核を核として結晶成長が進むが、膜厚が２ｎｍ以下においては互いに分離した島状膜となる。
なお、１ｎｍの連続膜換算膜厚とは、仮に連続膜として成膜されたと仮定したときに１ｎｍの層が得られるスパッタ量であり、ここでは、０．５ｎｍ、１ｎｍ、１．２５ｎｍ、２ｎｍの４種類の膜厚の堆積を行った。 Refer to FIG.
Next, using a single-wafer DC-magnetron sputtering apparatus in which a plurality of chambers are partitioned by gate valves, for example, at a vacuum of 5 × 10 ⁻⁶ Pa, Co is sputtered to 2 nm or less in terms of a continuous film. A Co seed layer 13 is formed.
In this case, as in the case of normal metal film deposition, when the film thickness is extremely thin, fine crystal growth nuclei are dispersed on the NiP reinforcing layer 12, and crystal growth is performed using the fine crystal growth nuclei as nuclei. However, when the film thickness is 2 nm or less, island-like films are separated from each other.
In addition, the continuous film equivalent film thickness of 1 nm is the amount of spatter that provides a 1 nm layer when it is assumed that the film is formed as a continuous film. Here, 0.5 nm, 1 nm, 1.25 nm, and 2 nm are obtained. Four types of film thickness were deposited.

図２（ｃ）参照
引き続いて、隣接するチャンバー内へゲートバルブを介して搬入したのち、厚さが、例えば、１０ｎｍのＣｒ₉₀Ｍｏ₁₀からなるＣｒＭｏ下地層１４を堆積させる。
この場合、ＣｒＭｏ下地層１４は島状Ｃｏシード層１３を成長核としてエピタキシャル成長するので、島状Ｃｏシード層１３の分布密度に応じた大きさの柱状多結晶となる。 Refer to FIG.
Subsequently, after carrying into an adjacent chamber via a gate valve, a CrMo underlayer 14 made of Cr ₉₀ Mo ₁₀ having a thickness of, for example, 10 nm is deposited.
In this case, since the CrMo underlayer 14 is epitaxially grown using the island-shaped Co seed layer 13 as a growth nucleus, it becomes a columnar polycrystal having a size corresponding to the distribution density of the island-shaped Co seed layer 13.

図２（ｄ）参照
引き続いて、隣接するチャンバー内へゲートバルブを介して搬入したのち、厚さが、例えば、２０ｎｍのＣｏ₆₉Ｃｒ₂₁Ｐｔ₈ Ｔａ₂ からなるＣｏＣｒＰｔＴａ磁性層１５をＣｒＭｏ下地層１４上にエピタキシャル成長させ、次いで、隣接するチャンバー内へゲートバルブを介して搬入したのち、厚さが、例えば、８ｎｍのＤＬＣ（ダイアモンドライクカーボン）層１６を堆積させる。
以降は図示を省略するものの、ＤＬＣ層１６上にフッ素系の潤滑剤を塗布し、乾燥することによって、磁気記録媒体の基本構成が完成する。 See FIG. 2 (d). Subsequently, after carrying it into an adjacent chamber via a gate valve, a CoCrPtTa magnetic layer 15 made of, for example, Co ₆₉ Cr ₂₁ Pt ₈ Ta _{2 having} a thickness of 20 nm is formed on the CrMo underlayer 14. Epitaxial growth is performed thereon, and then a DLC (diamond-like carbon) layer 16 having a thickness of, for example, 8 nm is deposited after being brought into an adjacent chamber through a gate valve.
Although not shown in the drawings, a basic structure of the magnetic recording medium is completed by applying a fluorine-based lubricant onto the DLC layer 16 and drying it.

この様に製造した磁気記録媒体について各種の測定を行ったので、図３乃至図５を参照して測定結果を説明する。
なお、測定した磁気記録媒体の場合には、上述のテクスチャ加工は行っていない。 Since various measurements were performed on the magnetic recording medium thus manufactured, the measurement results will be described with reference to FIGS.
In the case of the measured magnetic recording medium, the above texture processing is not performed.

図３（ａ）参照
図３（ａ）は、Ｓ／Ｎ_m のＣｏ層厚依存性を示す図であり、島状Ｃｏシード層の層厚増加に伴って、Ｓ／Ｎ_m も増加するが、１．２５ｎｍから２ｎｍにかけてＳ／Ｎ_m が急激に悪化する。
なお、Ｎ_m は媒体ノイズ（Ｎ_media ）である。 See Fig. 3 (a)
FIG. 3A is a diagram showing the dependency of S / N _{m on} the Co layer thickness. As the thickness of the island-like Co seed layer increases, S / N _m also increases, but from 1.25 nm to 2 nm. S / N _m rapidly deteriorates over time.
N _m is medium noise (N _media ).

図３（ｂ）参照
図３（ｂ）は、ノイズＮ_m と出力ＳのＣｏ層厚依存性を個別に示す図であり、出力は島状Ｃｏシード層の層厚増加に伴って増加する。
一方、ノイズは、島状Ｃｏシード層の層厚増加に伴って減少するものの、１．２５ｎｍから２ｎｍにかけて急激に悪化する。 Refer to FIG.
FIG. 3B is a diagram individually showing the Co layer thickness dependence of the noise N _m and the output S, and the output increases as the layer thickness of the island-like Co seed layer increases.
On the other hand, although noise decreases as the thickness of the island-like Co seed layer increases, the noise rapidly deteriorates from 1.25 nm to 2 nm.

これは、島状Ｃｏシード層が厚くなって、Ｃｏの静磁気特性が磁性層の静磁気特性に影響を与え始めたためと考えられ、このノイズの増大が、図３（ａ）に示すＳ／Ｎ_m の急激な悪化に影響を与えているものと考えられる。
なお、図におけるノイズは、二乗平均の平方根で表しており、また、出力は、正弦波状出力波形の上ピークと下ピークとの間のピーク間の値として示している。 This is thought to be because the island-like Co seed layer is thickened, and the magnetostatic characteristics of Co begin to affect the magnetostatic characteristics of the magnetic layer. This increase in noise is caused by the S / S shown in FIG. it is considered that affect the rapid deterioration of the N _m.
Note that the noise in the figure is expressed by the square root of the root mean square, and the output is shown as a value between the peaks between the upper peak and the lower peak of the sinusoidal output waveform.

図４参照
図４は、Ｍ−Ｈループ特性のＣｏ層厚依存性を示す図であり、島状Ｃｏシード層の層厚が２ｎｍの場合には、島状Ｃｏシード層の磁気特性が反映されたループとなり、その他の場合には、島状Ｃｏシード層を設けない場合とほぼ同様のＭ−Ｈループ特性を示すことが理解される。 See Figure 4
FIG. 4 is a diagram showing the Co layer thickness dependence of the MH loop characteristics. When the island-shaped Co seed layer has a thickness of 2 nm, the loop reflects the magnetic characteristics of the island-shaped Co seed layer. In other cases, it is understood that the MH loop characteristics are almost the same as the case where the island-like Co seed layer is not provided.

図５参照
図５は、ＸＲＤ測定における各入射角θにおける強度プロファイルを、島状Ｃｏシード層の層厚毎に並べて対比させたものである。
図から明らかなように、磁性層であるＣｏＣｒＰｔＴａ膜の面内配向性を示すＣｏ−ｈｃｐ（１１０）のピークは島状Ｃｏシード層の層厚によってほとんど変わらないことが理解される。
なお、プロファイルにおける急峻な大きなピークは全てＡｌによるピークである。 See Figure 5
FIG. 5 compares the intensity profiles at each incident angle θ in the XRD measurement side by side for each layer thickness of the island-like Co seed layer.
As is apparent from the figure, it is understood that the peak of Co-hcp (110) indicating the in-plane orientation of the CoCrPtTa film as the magnetic layer hardly changes depending on the layer thickness of the island-like Co seed layer.
In addition, all the sharp large peaks in the profile are peaks due to Al.

以上を総合的に判断すると、
ａ．島状Ｃｏシード層を設けることによって磁性層の配向性はほとんど影響を受けないこ と、
ｂ．高Ｓ／Ｎ_m が得られることから、磁性層が図２（ｄ）に概念的に示したように微細な 結晶粒になっていること、及び、
ｃ．図３（ｂ）におけるノイズの急増、及び、図４に示すＭ−Ｈループ特性から、島状Ｃ ｏシード層が２ｎｍを越えると、島状Ｃｏシード層の磁気特性の影響が大きくなり、 磁気記録媒体全体の磁気特性が劣化するので、島状Ｃｏシード層の層厚は、連続膜厚 換算で２ｎｍ以下にする必要があること、
が理解される。 Judging the above comprehensively,
a. By providing the island-shaped Co seed layer, the orientation of the magnetic layer is hardly affected.
b. Since a high S / N _m is obtained, the magnetic layer has fine crystal grains as conceptually shown in FIG. 2 (d), and
c. From the sudden increase in noise in FIG. 3B and the MH loop characteristics shown in FIG. 4, when the island-shaped Co seed layer exceeds 2 nm, the influence of the magnetic characteristics of the island-shaped Co seed layer increases. Since the magnetic properties of the entire recording medium deteriorate, the layer thickness of the island-like Co seed layer must be 2 nm or less in terms of continuous film thickness,
Is understood.

次に、図６を参照して、ガラス基板を用いた本発明の実施例２を説明するが、基本的製造工程は上記の実施例１と全く同様であるので、具体的製造方法の説明は省略する。
図６参照
図６は、本発明の実施例２の磁気記録媒体の概略的構成図であり、実際には、基板の両側に対称的に記録層を設けた構造となっている。
まず、例えば、２．５インチ（≒６．３５ｃｍ）のガラス基板２１上に、スパッタ法によって、厚さが、例えば、０．０５μｍのＣｒ密着層２２を介して、Ｎｉ₈₁Ｐ₁₉からなるアモルファス状のＮｉＰ補強層２３を順次堆積させる。 Next, Example 2 of the present invention using a glass substrate will be described with reference to FIG. 6. Since the basic manufacturing process is exactly the same as Example 1 described above, a specific manufacturing method is described. Omitted.
See FIG.
FIG. 6 is a schematic configuration diagram of a magnetic recording medium according to Embodiment 2 of the present invention. In practice, the recording layer is symmetrically provided on both sides of the substrate.
First, for example, an amorphous material made of Ni ₈₁ P ₁₉ is deposited on a 2.5-inch (≈6.35 cm) glass substrate 21 by a sputtering method with a Cr adhesion layer 22 having a thickness of, for example, 0.05 μm. A NiP reinforcing layer 23 is deposited in sequence.

以降は、上記の実施例１と同様に、ＮｉＰ補強層２３の表面に島状Ｃｏシード層２４、ＣｒＭｏ下地層２５、ＣｏＣｒＰｔＴａ磁性層２６、及び、ＤＬＣ層２７を順次堆積させたのち、ＤＬＣ層２７上にフッ素系の潤滑剤２８を塗布し、乾燥することによって、磁気記録媒体の基本構成が完成する。   Thereafter, as in the first embodiment, the island-shaped Co seed layer 24, the CrMo underlayer 25, the CoCrPtTa magnetic layer 26, and the DLC layer 27 are sequentially deposited on the surface of the NiP reinforcing layer 23, and then the DLC layer. The basic configuration of the magnetic recording medium is completed by applying a fluorine-based lubricant 28 on the substrate 27 and drying it.

この実施例２においては、基板の構成が異なるだけで基本的特性は、上記の実施例１と同様であり、直径が２．５インチ以下の小型の磁気記録媒体にとって有用となる。   In the second embodiment, the basic characteristics are the same as in the first embodiment except that the configuration of the substrate is different, and it is useful for a small magnetic recording medium having a diameter of 2.5 inches or less.

次に、図７を参照して、本発明の実施例３の磁気記録媒体を説明する。
図７参照
図７は、本発明の実施例３の磁気記録媒体の概略的構成図であり、実際には、基板の両側に対称的に記録層を設けた構造となっている。
図から明らかなように、ガラス基板２１上に直接島状Ｃｏシード層２４を設けたものであり、それ以外の構成は上記の第２の実施の形態と同様である。 Next, a magnetic recording medium according to Example 3 of the present invention will be described with reference to FIG.
See FIG.
FIG. 7 is a schematic configuration diagram of a magnetic recording medium according to Example 3 of the present invention. In practice, the recording layer is symmetrically provided on both sides of the substrate.
As is apparent from the figure, the island-shaped Co seed layer 24 is directly provided on the glass substrate 21, and the other configuration is the same as that of the second embodiment.

この場合には、ガラス基板２１自体がアモルファスであるので、アモルファス膜を提供するＮｉＰ補強層２３を必要としないものである。
これによって、製造工程を２つ省略することができるが、基板の強度が若干低下するとともに、島状Ｃｏシード層２４及びＣｒＭｏ下地層２５とガラス基板２１との間の密着性が若干低下する。 In this case, since the glass substrate 21 itself is amorphous, the NiP reinforcing layer 23 that provides an amorphous film is not required.
As a result, two manufacturing steps can be omitted, but the strength of the substrate is slightly lowered, and the adhesion between the island-like Co seed layer 24 and the CrMo underlayer 25 and the glass substrate 21 is slightly lowered.

以上、本発明の各実施例を説明してきたが、本発明は上記の各実施例に記載した構成及び条件に限られるものではなく、各種の変更が可能である。
例えば、シード層をＣｏによって形成しているが、Ｃｏに限られるものではなく、Ｃｏ₉₀Ｐｔ₁₀，Ｃｏ₇₀Ｃｒ₃₀等のＣｏ系合金を用いても良いものである。 Although the embodiments of the present invention have been described above, the present invention is not limited to the configurations and conditions described in the above embodiments, and various modifications can be made.
For example, the seed layer is made of Co, but is not limited to Co, and Co-based alloys such as Co ₉₀ Pt ₁₀ and Co ₇₀ Cr ₃₀ may be used.

また、上記の各実施例においては、基板としてＡｌ−Ｍｇ合金を用いているが、Ａｌ−Ｍｇ合金に限られるものではなく、Ａｌ−Ｃｕ，Ａｌ−Ｓｉ等の他のＡｌ系合金を用いても良いものである。   In each of the above embodiments, an Al—Mg alloy is used as the substrate. However, the substrate is not limited to the Al—Mg alloy, and other Al alloys such as Al—Cu and Al—Si are used. Is also good.

また、上記の各実施例においては、下地層としてＣｒ₉₀Ｍｏ₁₀を用いているが、他の組成のＣｒＭｏでも良く、さらには、Ｃｒ、ＣｒＲｕ、或いは、ＣｒＷを用いても良いものである。 In each of the above embodiments, Cr ₉₀ Mo ₁₀ is used as the underlayer. However, CrMo having another composition may be used, and Cr, CrRu, or CrW may be used.

また、上記の各実施例においては、磁性層として、Ｃｏ₆₉Ｃｒ₂₁Ｐｔ₈ Ｔａ₂ を用いているが、他の組成比のＣｏＣｒＰｔＴａ合金でも良く、また、Ｃｏ₇₄Ｃｒ₁₅Ｐｔ₄ Ｔａ₄ Ｎｂ₃ 等のＣｏＣｒＰｔＴａＮｂ合金、或いは、Ｃｏ_76.3Ｃｒ₁₇Ｐｔ_6.7 等のＣｏＣｒＰｔ合金を用いても良いものであり、さらには、Ｃｏ単体でも良く、いずれにしても、Ｃｏまたは、Ｃｏを主成分とし少なくともＰｔを含むＣｏ合金であれば良い。
これは、Ｃｏ合金は六方細密構造を有し、且つ、Ｃｏ−Ｐｔ合金は１軸異方性を有し、適度に高い保磁力を得ることができるためである。 In each of the above embodiments, Co ₆₉ Cr ₂₁ Pt ₈ Ta ₂ is used as the magnetic layer, but a CoCrPtTa alloy having another composition ratio may be used, and Co ₇₄ Cr ₁₅ Pt ₄ Ta ₄ Nb ₃ may be used. CoCrPtTaNb alloy or CoCrPt alloy such as Co _76.3 Cr ₁₇ Pt _6.7 may be used. Furthermore, Co alone may be used. In any case, Co or Co is the main component and at least Pt is used. Any Co alloy may be used.
This is because the Co alloy has a hexagonal close-packed structure, and the Co—Pt alloy has uniaxial anisotropy and can obtain a moderately high coercive force.

ここで、再び、図１を参照して、本発明の詳細な特徴を説明する。
図１参照
（付記１） Ａｌ系合金基板上にアモルファス膜２を介してＣｏ層或いはＣｏ合金層のいずれかからなるとともに、互いに分離し、Ｃｒ系下地層（４）で覆われた島状膜からなるシード層３を設けたことを特徴とする磁気記録媒体。
（付記２） 上記Ａｌ系合金が、Ａｌ−Ｍｇ合金であることを特徴とする付記１記載の磁気記録媒体。
（付記３） ガラス基板上に直接、或いは、アモルファス膜２を介してＣｏ層或いはＣｏ合金層のいずれかからなるとともに、互いに分離し、Ｃｒ系下地層（４）で覆われた島状膜からなるシード層３を設けたことを特徴とする磁気記録媒体。
（付記４） 上記Ｃｏ層或いはＣｏ合金層のいずれかからなるシード層３の膜厚が、連続膜換算で２ｎｍ以下であることを特徴とする付記１乃至３のいずれか１に記載の磁気記録媒体。
（付記５） 磁気記録媒体として、付記１乃至４のいずれか１に記載の磁気記録媒体を用いた磁気記録装置。 Here, referring again to FIG. 1, the detailed features of the present invention will be described.
See Figure 1
(Supplementary note 1) A seed made of an island-like film made of either a Co layer or a Co alloy layer on an Al-based alloy substrate via an amorphous film 2 and separated from each other and covered with a Cr-based underlayer (4) A magnetic recording medium provided with a layer 3.
(Supplementary note 2) The magnetic recording medium according to supplementary note 1, wherein the Al-based alloy is an Al-Mg alloy.
(Supplementary Note 3) From an island-like film that is either directly on a glass substrate or is made of either a Co layer or a Co alloy layer via an amorphous film 2 and separated from each other and covered with a Cr-based underlayer (4) A magnetic recording medium provided with a seed layer 3.
(Additional remark 4) The magnetic recording of any one of additional remark 1 thru | or 3 whose film thickness of the seed layer 3 which consists of either said Co layer or Co alloy layer is 2 nm or less in conversion of a continuous film Medium.
(Additional remark 5) The magnetic recording apparatus using the magnetic recording medium of any one of additional marks 1 thru | or 4 as a magnetic recording medium.

本発明の原理的構成の説明図である。It is explanatory drawing of the fundamental structure of this invention. 本発明の実施例１の磁気記録媒体の製造工程の説明図である。It is explanatory drawing of the manufacturing process of the magnetic-recording medium of Example 1 of this invention. ノイズ特性のＣｏ層厚依存性の説明図である。It is explanatory drawing of Co layer thickness dependence of a noise characteristic. Ｍ−Ｈループ特性のＣｏ層厚依存性の説明図である。It is explanatory drawing of Co layer thickness dependence of MH loop characteristic. ＸＲＤスペクトルのＣｏ層厚依存性の説明図である。It is explanatory drawing of Co layer thickness dependence of a XRD spectrum. 本発明の実施例２の磁気記録媒体の概略的構成図である。It is a schematic block diagram of the magnetic recording medium of Example 2 of this invention. 本発明の実施例３の磁気記録媒体の概略的構成図である。It is a schematic block diagram of the magnetic recording medium of Example 3 of this invention.

符号の説明Explanation of symbols

１ 非磁性基板
２ アモルファス膜
３ シード層
４ Ｃｒ系合金層
５ 磁性層
１１ Ａｌ−Ｍｇ合金基板
１２ ＮｉＰ補強層
１３ 島状Ｃｏシード層
１４ ＣｒＭｏ下地層
１５ ＣｏＣｒＰｔＴａ層
１６ ＤＬＣ層
２１ ガラス基板
２２ Ｃｒ密着層
２３ ＮｉＰ補強層
２４ 島状Ｃｏシード層
２５ ＣｒＭｏ下地層
２６ ＣｏＣｒＰｔＴａ層
２７ ＤＬＣ層
２８ 潤滑剤 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Nonmagnetic substrate 2 Amorphous film 3 Seed layer 4 Cr system alloy layer 5 Magnetic layer 11 Al-Mg alloy substrate 12 NiP reinforcement layer 13 Island-like Co seed layer 14 CrMo underlayer 15 CoCrPtTa layer 16 DLC layer 21 Glass substrate 22 Cr adhesion Layer 23 NiP reinforcing layer 24 island-like Co seed layer 25 CrMo underlayer 26 CoCrPtTa layer 27 DLC layer 28 lubricant

Claims (3)

Ａｌ系合金基板上にアモルファス膜を介してＣｏ層或いはＣｏ合金層のいずれかからなるとともに、互いに分離し、Ｃｒ系下地層で覆われた島状膜からなるシード層を設けたことを特徴とする磁気記録媒体。 A feature is that an Al-based alloy substrate is provided with a seed layer made of an island-like film separated from each other and covered with a Cr-based underlayer while being made of either a Co layer or a Co alloy layer via an amorphous film. Magnetic recording media. ガラス基板上に直接、或いは、アモルファス膜を介してＣｏ層或いはＣｏ合金層のいずれかからなるとともに、互いに分離し、Ｃｒ系下地層で覆われた島状膜からなるシード層を設けたことを特徴とする磁気記録媒体。 A seed layer made of an island-like film made of either a Co layer or a Co alloy layer directly on a glass substrate or via an amorphous film and separated from each other and covered with a Cr-based underlayer is provided. A characteristic magnetic recording medium. 磁気記録媒体として、請求項１または２に記載の磁気記録媒体を用いた磁気記録装置。 A magnetic recording apparatus using the magnetic recording medium according to claim 1 as a magnetic recording medium.

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