JP2007219046A - Liquid crystal display panel - Google Patents

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Masaki Endo
正樹 遠藤
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Epson Imaging Devices Corp
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a display panel of which the manufacturing yield is improved by reducing defective wiring in a region where a semiconductor chip for driving the display panel is mounted. <P>SOLUTION: In the liquid crystal display panel which is equipped with: an array substrate 2 having a plurality of source lines SW<SB>1</SB>-SW<SB>n</SB>and gate lines GW<SB>1</SB>-GW<SB>n</SB>and thin film transistors formed thereon; a counter transparent substrate 10 facing the array substrate 2 and having a liquid crystal layer formed in between; and semiconductor chips for driving gates and sources mounted on a peripheral sections outside an image display section formed on the array substrates 2, a plurality of routing lines are introduced into the semiconductor chip mounting regions GDR<SB>1</SB>, GDR<SB>2</SB>, by pairing two mutually adjacent routing lines and laminating them, one at a lower level and the other at a higher level with an insulating layer interposed therebetween, and inspection terminals are formed by implementing terminals for implementation on the routing lines, and at the same time, withdrawing several kinds of leads with mutually different lengths from the terminals for implementation and aligning them by imparting them a predetermined regularity. <P>COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Description

本発明は、液晶表示パネルに係り、特に、表示パネルを駆動する半導体チップ搭載前の中間検査においてパネル不良率を低減できるようにした液晶表示パネルに関するものである。   The present invention relates to a liquid crystal display panel, and more particularly to a liquid crystal display panel that can reduce a panel defect rate in an intermediate inspection before mounting a semiconductor chip for driving the display panel.

近年、情報通信機器のみならず一般の電気機器においても液晶表示パネルが広く使用されている。この液晶表示パネルは、マトリクス状に複数本の配線が形成され周辺部がシール材で貼り合わされ間に液晶が封入された一対の基板を有し、一方の基板に液晶駆動用半導体チップ(以下、ICチップという)を搭載するICチップ搭載領域が設けられ、この搭載領域内にはそれぞれの配線に接続された複数本の引出線が導入されて、これらの引出線にICチップのバンプ端子と接続されるバンプ用端子が設けられた構成を有している。   In recent years, liquid crystal display panels have been widely used not only in information communication equipment but also in general electric equipment. This liquid crystal display panel has a pair of substrates in which a plurality of wirings are formed in a matrix, the periphery is bonded with a sealing material, and the liquid crystal is sealed between the substrates. IC chip mounting area for mounting the IC chip) is provided, and a plurality of lead lines connected to the respective wirings are introduced into this mounting area, and these lead lines are connected to bump terminals of the IC chip. The bump terminal is provided.

このような液晶表示パネルは、通常、ICチップが搭載される前に、配線の断線や配線間の短絡の有無、或いはそれぞれの配線に所定の電圧を印加したときに設計どおりの表示がされるか否かの中間検査が行なわれている。この検査は、一般に、複数配線の所定箇所に針状の検査ピンを接触させ、この検査ピンに所定電圧を印加することによって行われている。   Such a liquid crystal display panel is normally displayed as designed when a predetermined voltage is applied to each wiring, before or after the IC chip is mounted, whether or not there is a disconnection of the wiring or a short circuit between the wirings. An intermediate inspection is being conducted. In general, this inspection is performed by bringing a needle-like inspection pin into contact with a predetermined portion of a plurality of wirings and applying a predetermined voltage to the inspection pin.

このような検査ピンを用いた検査方法は、配線本数が少なく、しかも配線間隔が広い場合は手順通りスムーズに実行できる。しかしながら、近年、液晶表示パネルは小型、高精細化が要求され、この高精細化に伴って配線本数が増え、しかも線間間隔が極めて狭くなるとともにICチップ搭載領域には多数本の引出線が高密度で集結された回路設計となってきている。このため、個々の配線に検査ピンを当てることは、極めて困難な作業となることから、この検査作業の軽減策として、複数のバンプ用端子のうち、所定のバンプ用端子を選択、例えば一つおきに選択して検査ピンを当てるようにした簡易な検査法が採用されている。しかし、この方法では、全ての配線を検査しないので検査対象とならない配線に不良があるとその不良を発見できないことになる。しかも、この方法によっても、バンプ用端子数が多くなればそれに比例して検査作業の時間も多くかかり、検査ミスも発生し易くなってしまうことになる。更に、この方法では、バンプ用端子に検査ピンを接触させるので、バンプ用端子を損傷させる恐れもある。   Such an inspection method using inspection pins can be smoothly executed according to the procedure when the number of wirings is small and the wiring interval is wide. However, in recent years, liquid crystal display panels have been required to be small and have high definition. With this increase in definition, the number of wirings has increased, the distance between lines has become extremely narrow, and a large number of lead lines have been provided in the IC chip mounting area. The circuit design has become dense and concentrated. For this reason, it is extremely difficult to apply an inspection pin to each wiring. Therefore, as a measure for reducing the inspection work, a predetermined bump terminal is selected from a plurality of bump terminals, for example, one A simple inspection method is adopted in which an inspection pin is applied every other selection. However, in this method, since all the wirings are not inspected, if there is a defect in the wiring not to be inspected, the defect cannot be found. Moreover, even with this method, if the number of bump terminals is increased, the time required for the inspection work is proportionally increased, and an inspection error is likely to occur. Further, in this method, since the inspection pins are brought into contact with the bump terminals, there is a risk of damaging the bump terminals.

そこで、このような不都合を解消するために、バンプ用端子とは別に検査用端子を設け、ICチップ搭載前の検査を行うようにした液晶表示パネルも知られている(例えば、下記特許文献1参照)。   Therefore, in order to eliminate such inconvenience, there is also known a liquid crystal display panel in which an inspection terminal is provided in addition to the bump terminal so as to perform an inspection before mounting an IC chip (for example, Patent Document 1 below). reference).

図11は、下記特許文献1に記載された液晶表示パネルの要部拡大平面図である。   FIG. 11 is an enlarged plan view of a main part of the liquid crystal display panel described in Patent Document 1 below.

この液晶表示パネル80は、図11に示すように、フロントガラス基板81と、この基板81より若干大きい面積を有するリアガラス基板82とを備え、各基板81、82が対向する部分には、周辺シール材83を介してそれらの間に液晶が封入されて表示領域が形成され、また、リアガラス基板82の張り出し部分には、液晶駆動用ICチップ(図示省略)が搭載されるICチップ搭載領域MAが設けられ、このICチップ搭載領域MA内に各引回し線84の端部が引き込まれた構成となっている。そして、それぞれの引回し線84a〜84iは、ICチップ搭載領域MA内において所定の長さ部分がICチップのバンプ端子に接続されるバンプ接続部Aとされている。また各バンプ接続部Aは、周辺シール材83とは反対側に延びる、すなわちICチップ搭載領域MA内に向けて更に延びる引出線Bがそれぞれ連設されて、各引出線Bの終端部にバンプ接続部Aの幅よりも幅広の四角形状の拡幅ランドRがそれぞれ形成されている。各引出線Bは、交互にその長さが異なり、奇数番目の引回し線84a、84c、84e、84g、84iから延長した各引出線Bは短長、一方偶数番目の引回し線84b、84d、84f、84hから延長した各引出線Bは奇数番目の拡幅ランドRを越える長さとなっている。   As shown in FIG. 11, the liquid crystal display panel 80 includes a front glass substrate 81 and a rear glass substrate 82 having an area slightly larger than the substrate 81, and a peripheral seal is provided at a portion where the substrates 81 and 82 face each other. A liquid crystal is sealed between them via a material 83 to form a display area, and an IC chip mounting area MA on which a liquid crystal driving IC chip (not shown) is mounted is formed on the projecting portion of the rear glass substrate 82. The end portion of each lead wire 84 is drawn into the IC chip mounting area MA. And each lead line 84a-84i is made into the bump connection part A by which predetermined length part is connected to the bump terminal of IC chip in IC chip mounting area MA. In addition, each bump connection portion A extends to the opposite side of the peripheral sealing material 83, that is, a leader line B extending further into the IC chip mounting area MA is connected to each bump connection portion B. A quadrangular widened land R that is wider than the width of the connecting portion A is formed. Each leader line B is alternately different in length, and each leader line B extended from the odd-numbered lead lines 84a, 84c, 84e, 84g, 84i is short, while the even-numbered lead lines 84b, 84d. , 84f, 84h, each lead line B extends beyond the odd-numbered wide land R.

したがって、各引回し線84a〜84iの終端部に拡幅ランドRが形成されると、検査ピンを用いた検査法では、図11の黒丸で示されている拡幅ランドRに検査ピンを当てればよいので、従来のバンプ接続部Aに検査ピンを当てる方法に比べて厳密な位置合わせ精度が不要となり検査が容易になる。
特開2000−137239号公報(図3、段落[0017]〜[0022])
Therefore, when the widening land R is formed at the terminal portion of each of the lead lines 84a to 84i, the inspection method using the inspection pin may apply the inspection pin to the widening land R indicated by the black circle in FIG. Therefore, compared with the conventional method in which the inspection pin is applied to the bump connection portion A, strict alignment accuracy is not required and the inspection is facilitated.
JP 2000-137239 A (FIG. 3, paragraphs [0017] to [0022])

ところが、近年の液晶表示パネル、特に携帯電話機に使用されるものは、小型及び高精細化が要求されている。このうち小型化に対しては、例えば外枠を狭額縁化して表示画面の拡大を図り、また高精細化に対しては画素数を増大させる方策が採用されている。ところが外枠を狭額縁化すると表示領域外の配線スペースが極端に減少して、このスペースが減少した領域に配線が集結されて、各配線の線間距離が極端に狭くなり、またICチップ搭載領域へは、多数本の配線が表示領域の外周囲から引回されて線間距離が狭められながら密集状態でICチップ搭載領域へ集結されることになる。この領域へ集結された配線には、更にその延長線上にICチップが接続される引出線が延出されるので、これらの引出線の本数も増大する一方で線間距離が極端に狭くなった回路設計となってきている。   However, recent liquid crystal display panels, particularly those used for mobile phones, are required to be small and have high definition. Among them, for the miniaturization, for example, a method of increasing the display screen by narrowing the frame of the outer frame and increasing the number of pixels is adopted for high definition. However, if the outer frame is made narrower, the wiring space outside the display area is extremely reduced, wiring is concentrated in the area where the space is reduced, and the distance between each wiring becomes extremely narrow, and the IC chip is mounted. A large number of wires are routed from the outer periphery of the display area to the area, and the distance between the lines is reduced, and the area is concentrated in the IC chip mounting area. In the wiring concentrated in this region, the leader line to which the IC chip is connected is further extended on the extension line, so that the number of these leader lines is increased while the distance between the lines is extremely narrowed. It has become a design.

このためICチップ搭載領域内の引出線の線間距離も極めて狭くなり、以って線間での短絡事故が発生する率が極めて高くなっている。なお、上記特許文献1に記載の液晶表示パネルのように、ICチップ搭載領域内にバンプ接続部Aの幅より幅広のランドRを形成することは極めて困難となり、上記のような高精細化の表示パネルへの採用が極めて困難である。   For this reason, the distance between the leader lines in the IC chip mounting area is also extremely narrow, and the rate of occurrence of a short-circuit accident between the lines is extremely high. As in the liquid crystal display panel described in Patent Document 1, it is extremely difficult to form a land R that is wider than the width of the bump connection portion A in the IC chip mounting region. It is extremely difficult to adopt for display panels.

このような線間短絡が発生すると、ICチップ搭載前の中間検査において、画像を表示する表示パネル側に何ら異常がない表示パネルであっても不良品と判定されてしまうことになる。このような不良判定は、表示側に何ら異常のない表示パネルを不良として扱い最終的に廃棄等してしまうので、パネルの生産性の低下を招来するばかりでなく、資源の無駄になってしまうことになる。   When such a line short-circuit occurs, even in the intermediate inspection before mounting the IC chip, even a display panel that has no abnormality on the display panel side that displays an image is determined as a defective product. Such a defect determination treats a display panel having no abnormality on the display side as a defect and eventually discards it, which not only causes a reduction in panel productivity but also wastes resources. It will be.

本発明は、このような従来技術に鑑みてなされたものであって、本発明の目的は、液晶表示パネルを駆動する半導体チップ搭載領域内の配線不良を低減できるようにして液晶表示パネルの製造歩留まりを向上させた液晶表示パネルを提供することにある。   The present invention has been made in view of such prior art, and an object of the present invention is to manufacture a liquid crystal display panel by reducing wiring defects in a semiconductor chip mounting region for driving the liquid crystal display panel. The object is to provide a liquid crystal display panel with improved yield.

また、本発明の他の目的は、上記目的に加えて表示パネルの周辺に引回す配線スペースの省スペース化を図った液晶表示パネルを提供することにある。   Another object of the present invention is to provide a liquid crystal display panel that saves wiring space routed around the display panel in addition to the above object.

上記目的を達成するために、本願の請求項1に記載の液晶表示パネルに関する発明は、マトリクス状に配置された複数のソース線及びゲート線と、前記ソース線及び前記ゲート線の交点近傍に設けられた薄膜トランジスタとを備えるアレイ基板と、前記アレイ基板と対向して間に液晶層が形成された対向透明基板とを備え、前記アレイ基板は、該アレイ基板に形成された画像表示部外の周辺部に前記薄膜トランジスタを駆動するゲート駆動用半導体チップ及びソース駆動用半導体チップを搭載する半導体チップ搭載領域を備えた液晶表示パネルにおいて、
前記半導体チップ搭載領域には、前記ゲート線に接続されて前記アレイ基板の周辺部に引回された複数本の引回し線を互いに隣接する2本の引回し線を組にして一方を低位に、間に絶縁層を介在させて他方を高位に積層して導入し、これらの引回し線に半導体チップと接続する実装用端子を設けるとともに、これらの実装用端子から長さの異なる数種類の引出線を引出して所定の規則性を持たせて配列し、これらの引出線にはそれぞれ検査用端子を形成したことを特徴とする。
In order to achieve the above object, an invention relating to a liquid crystal display panel according to claim 1 of the present application is provided in the vicinity of a plurality of source lines and gate lines arranged in a matrix and intersections of the source lines and the gate lines. An array substrate having a thin film transistor formed thereon, and a counter transparent substrate having a liquid crystal layer formed between and facing the array substrate, the array substrate having a periphery outside the image display unit formed on the array substrate In a liquid crystal display panel having a semiconductor chip mounting region in which a gate driving semiconductor chip for driving the thin film transistor and a source driving semiconductor chip are mounted in a part,
In the semiconductor chip mounting region, a plurality of lead lines connected to the gate lines and routed to the periphery of the array substrate are paired with two lead lines adjacent to each other, and one of the lead lines is set to a lower position. In addition, an insulating layer is interposed between the other, and the other is stacked at a high level, and these lead wires are provided with mounting terminals to be connected to the semiconductor chip, and several types of leads with different lengths are provided from these mounting terminals. Lines are drawn out and arranged with a predetermined regularity, and inspection terminals are formed on these lead lines.

請求項2の発明は、請求項1に記載の液晶表示パネルにおいて、前記検査用端子は、種類の異なる引出線毎に隣接する端子が直線上に整列・配置されていることを特徴とする。   According to a second aspect of the present invention, in the liquid crystal display panel according to the first aspect, the test terminals are arranged such that adjacent terminals are arranged and arranged on a straight line for each of different types of lead lines.

請求項3の発明は、請求項1又は2に記載の液晶表示パネルにおいて、前記引出線に形成された検査用端子のうち、低位に位置する検査用端子は高位に位置する検査用端子より前記半導体チップ搭載領域の内側に突出した位置に整列・配置されていることを特徴とする。   According to a third aspect of the present invention, in the liquid crystal display panel according to the first or second aspect, among the inspection terminals formed on the lead lines, the inspection terminal located at a lower position is more than the inspection terminal located at a higher position. The semiconductor device is characterized by being aligned and arranged at a position protruding inside the semiconductor chip mounting region.

請求項4の発明は、請求項1に記載の液晶表示パネルにおいて、前記低位の引回し線と高位の引回し線とは、前記絶縁層を介して上下に全部又は一部が重複するように、あるいは互いに上下に重複しないように積層されていることを特徴とする。   According to a fourth aspect of the present invention, in the liquid crystal display panel according to the first aspect, the lower lead line and the high lead line are overlapped with each other in the vertical direction through the insulating layer. Alternatively, they are stacked so as not to overlap each other.

請求項5の発明は、請求項4に記載の液晶表示パネルにおいて、前記全部又は一部が重複するように積層された前記低位及び前記高位の引回し線は、前記半導体チップ搭載領域の外又は内部で二股に分岐されて前記引出線に接続されていることを特徴とする。   According to a fifth aspect of the present invention, in the liquid crystal display panel according to the fourth aspect, the lower and higher lead lines stacked so as to overlap all or part of the liquid crystal display panel are located outside the semiconductor chip mounting region. It is bifurcated internally and connected to the leader line.

請求項6の発明は、請求項1〜5のいずれかに記載の液晶表示パネルにおいて、前記低位の引回し線及び引出線は前記ゲート線の配線材料で形成され、前記及び高位の引回し線及び引出線は、前記ソース線の配線材料で形成され、前記絶縁層は前記ゲート線を覆うゲート絶縁材料で形成されていることを特徴とする。   According to a sixth aspect of the present invention, in the liquid crystal display panel according to any one of the first to fifth aspects, the lower lead lines and lead lines are formed of a wiring material of the gate lines, and the higher lead lines are provided. And the lead line is formed of a wiring material of the source line, and the insulating layer is formed of a gate insulating material covering the gate line.

請求項7の発明は、請求項6に記載の液晶表示パネルにおいて、前記ソース線材料で形成された引出線に設けられた検査用端子は、前記ゲート線材料で形成された引出線に設けられた検査用端子より前記半導体チップ搭載領域の内側に突出した位置に配列されていることを特徴とする。   According to a seventh aspect of the present invention, in the liquid crystal display panel according to the sixth aspect, the inspection terminal provided on the lead line formed of the source line material is provided on the lead line formed of the gate line material. The semiconductor chip mounting area is arranged at a position protruding from the inspection terminal to the inside of the semiconductor chip mounting area.

本発明は上記構成を備えることにより、以下に示すような優れた効果を奏する。すなわち、請求項1の発明によれば、引回し線は、互いに絶縁膜を介して二層配線されているので、複数本の引回し線を所定の幅線にして高密度に配線することが可能となり、各引回し線間の短絡事故を回避できる。また、引回し線を配線するスペースが省スペース化できるので、表示パネルを覆う枠体の狭額縁化とともに表示画面を大きくすることが可能になる。更に、引出線も互いに絶縁膜を介して二層配線されるので、複数本の引出線を所定の幅線にして高密度に配線できるととともに、各引出線間の短絡事故を回避できる。したがって、この構成によると、表示パネルのチップ搭載前の中間検査において、引出線の短絡等の不良により、表示側に異常のない表示パネルが不良品と判定されず、表示パネル製造の歩留まりを向上させることができる。   By providing the above configuration, the present invention has the following excellent effects. That is, according to the first aspect of the present invention, since the lead wires are wired in two layers via the insulating film, it is possible to wire a plurality of lead wires with a predetermined width line at a high density. This makes it possible to avoid a short circuit accident between each lead line. In addition, since the space for wiring the lead lines can be saved, the display screen can be enlarged together with the narrow frame of the frame that covers the display panel. Furthermore, since the lead lines are also wired in two layers via an insulating film, a plurality of lead lines can be wired with a predetermined width and high density, and a short-circuit accident between the lead lines can be avoided. Therefore, according to this configuration, in the intermediate inspection before chip mounting of the display panel, a display panel having no abnormality on the display side is not determined as a defective product due to a defect such as a short circuit of the leader line, and the display panel manufacturing yield is improved. Can be made.

請求項2の発明によれば、検査用端子は、種類の異なる引出線毎に隣接する端子が直線上に整列・配置されているので、シート状導電プローブの使用が可能になり、パネルの中間検査が効率よく簡単にできる。   According to the second aspect of the present invention, since the adjacent terminals for the different types of lead wires are aligned and arranged on a straight line, the sheet-like conductive probe can be used and the inspection terminal can be used in the middle of the panel. Inspection can be done efficiently and easily.

請求項3の発明によれば、シート状導電プローブを検査用端子に接触させる際に、低位の検査用端子が高位の検査端子より半導体チップ搭載領域の内側に突出した位置に配列されているので、隣接する低位の検査用端子間に他の引出線又は検査用端子が存在せず、これらにより持ち上げられることなく良好な接触をさせることができる。   According to the invention of claim 3, when the sheet-like conductive probe is brought into contact with the inspection terminal, the lower inspection terminal is arranged at a position protruding inside the semiconductor chip mounting region from the higher inspection terminal. There is no other lead wire or inspection terminal between adjacent lower inspection terminals, and good contact can be made without being lifted by these.

請求項4の発明によれば、低位の引回し線と高位の引回し線とを絶縁層を介して上下に全部又は一部重複或いは重複しないいずれかの状態で積層されているので、それぞれの重複の度合いに応じて、引回し線の配線スペースを省スペース化できる。   According to the invention of claim 4, the lower lead wire and the high lead wire are laminated in a state where they are all or partially overlapped or not overlapped with each other through the insulating layer. Depending on the degree of overlap, the wiring space of the lead wires can be saved.

請求項5の発明によれば、積層された引回し線が二股に分岐されているので、引出線への検査用端子の形成が簡単になる。   According to the invention of claim 5, since the laminated lead wire is branched into two, the formation of the inspection terminal on the lead wire is simplified.

請求項6の発明によれば、低位及び高位の引回し線及び引出線は、薄膜トランジスタ素子形成プロセス時に同時に作成できるので製造工程を増やすことなく簡単に作成できる。   According to the sixth aspect of the present invention, the low-level and high-level lead lines and lead lines can be formed at the same time during the thin film transistor element forming process, so that they can be easily formed without increasing the number of manufacturing steps.

請求項7の発明によれば、ゲート線材料で形成された引出線に設けられた検査用端子はソース線材料で形成された引出線に設けられた検査用端子に比べて高位に位置するので、低位に位置するソース線材料で形成された引出線に設けられた検査用端子が高位に位置する検査用端子より半導体チップ搭載領域の内側に突出した位置に配列されるので、請求項3の効果と同じ効果を奏することができる。   According to the seventh aspect of the present invention, the inspection terminal provided on the lead line formed of the gate line material is positioned higher than the inspection terminal provided on the lead line formed of the source line material. The inspection terminals provided on the lead lines formed of the source line material located at the lower level are arranged at positions projecting inside the semiconductor chip mounting region from the inspection terminals positioned at the higher level. The same effect can be achieved.

以下、図面を参照して本発明の最良の実施形態を説明する。但し、以下に示す実施形態は、本発明の技術思想を具体化するための液晶表示パネルを例示するものであって、本発明をこの液晶表示パネルに特定することを意図するものではなく、特許請求の範囲に含まれるその他の実施形態のものも等しく適応するものである。   Hereinafter, the best embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. However, the embodiment shown below exemplifies a liquid crystal display panel for embodying the technical idea of the present invention, and is not intended to specify the present invention for this liquid crystal display panel. Other embodiments within the scope of the claims are equally applicable.

図1は本発明の一実施例に係る液晶表示パネルであって、積層された上基板から下基板の配線が透視して見えるように図示した平面図、図2は図1のA−A線断面図、図3は図1のB部分の配線を示し、図3(a)は拡大平面図、図3(b)図3(a)のB’−B’線の断面図、図4は図1のC部分の配線を示し、図4(a)は拡大平面図、図4(b)は図4(a)のC’−C’線の断面図である。   FIG. 1 is a liquid crystal display panel according to an embodiment of the present invention, and is a plan view illustrating wiring of a lower substrate seen through from a laminated upper substrate, and FIG. 2 is a line AA in FIG. FIG. 3 is a cross-sectional view, FIG. 3 shows the wiring of B part in FIG. 1, FIG. 3A is an enlarged plan view, FIG. 3B is a cross-sectional view taken along line B′-B ′ in FIG. FIG. 4A is an enlarged plan view, and FIG. 4B is a cross-sectional view taken along line C′-C ′ in FIG.

液晶表示パネル1は、アクティブマトリクス方式を採用したものであって、図1及び図2に示すように、互いに対向配置される矩形状の透明材料、例えばガラス板からなる一対のアレイ基板2及びカラーフィルタ基板(対向透明基板)10を有し、アレイ基板2は、カラーフィルタ基板10と対向配置させたときに張出し部2aが形成されるようにカラーフィルタ基板10よりサイズが大きいものが使用され、これらアレイ基板2及びカラーフィルタ基板10の外周囲がシール材8でシール貼付されて、内部に液晶9が封入された構成となっている。   The liquid crystal display panel 1 employs an active matrix system, and as shown in FIGS. 1 and 2, a pair of array substrates 2 and a color made of a rectangular transparent material, such as a glass plate, disposed opposite to each other. A filter substrate (opposing transparent substrate) 10 is used, and the array substrate 2 has a larger size than the color filter substrate 10 so that the overhanging portion 2a is formed when the array substrate 2 is arranged to face the color filter substrate 10, The outer peripheries of the array substrate 2 and the color filter substrate 10 are sealed with a sealing material 8 and the liquid crystal 9 is sealed inside.

アレイ基板2及びカラーフィルタ基板10上の対向面側には、種々の配線等が形成されている。このうち、カラーフィルタ基板10には、図示しないがアレイ基板2の画素領域に合わせてマトリクス状に設けられたブラックマトリクスと、このブラックマトリクスで囲まれた領域に設けた例えば赤(R)、緑(G)、青(B)等のカラーフィルタと、アレイ基板2側の電極に電気的に接続されカラーフィルタを覆うように設けた共通電極とが設けられている。   Various wirings and the like are formed on the opposing surface side on the array substrate 2 and the color filter substrate 10. Of these, the color filter substrate 10 includes a black matrix provided in a matrix in accordance with the pixel region of the array substrate 2 (not shown), and, for example, red (R) and green provided in the region surrounded by the black matrix. Color filters such as (G) and blue (B), and a common electrode that is electrically connected to the electrode on the array substrate 2 side so as to cover the color filter are provided.

アレイ基板2は、図1に示すように、その表面すなわち液晶9と接触する面に、行方向(横方向)に所定間隔をあけて配列された複数本のゲート線GW〜GW(n=1、2、3…)と、これらのゲート線と絶縁されて列方向(縦方向)に配列された複数本のソース線SW〜SW(n=1、2、3…)とを有し、これらのゲート線GW〜GWとソース線SW〜SWとがマトリクス状に配線され、互いに交差するゲート線GW〜GWとソース線SW〜SWとで囲まれる各領域に、ゲート線GW〜GWからの走査信号によってオン状態となるスイッチング素子(図示省略)及びソース線SW〜SWからの映像信号がスイッチング素子を介して供給される画素電極(図示省略)が形成されている。アレイ基板2の張出し部2aには、ソースドライバ用半導体チップ及び2個のゲートドライバ用半導体チップが搭載されるICチップ搭載領域SDR、GDR1、GDRがそれぞれ設けられている。これらのICチップ搭載領域は、ICチップの形状に合わせた形状、例えば矩形状のスペースとなっている。そしてこれらの領域にそれぞれのドライバ(図示省略)が搭載される。 As shown in FIG. 1, the array substrate 2 has a plurality of gate lines GW 1 to GW n (n) arranged at predetermined intervals in the row direction (lateral direction) on the surface thereof, that is, the surface in contact with the liquid crystal 9. = 1, 2, 3... And a plurality of source lines SW 1 to SW n (n = 1, 2, 3...) Insulated from these gate lines and arranged in the column direction (vertical direction). a, with these gate lines GW 1 ~GW n and the source line SW 1 to SW n are wired in a matrix, surrounded by the gate lines GW 1 ~GW n and the source line SW 1 to SW n that intersect each other A switching element (not shown) that is turned on by scanning signals from the gate lines GW 1 to GW n and a pixel electrode to which video signals from the source lines SW 1 to SW n are supplied via the switching elements ( (Not shown) is formed IC chip mounting regions SDR, GDR 1, and GDR 2 on which a source driver semiconductor chip and two gate driver semiconductor chips are mounted are provided on the projecting portion 2 a of the array substrate 2. These IC chip mounting areas have a shape matching the shape of the IC chip, for example, a rectangular space. Each driver (not shown) is mounted in these areas.

これらのゲート線GW〜GWとソース線SW〜SWとで囲まれる各領域は、いわゆるそれぞれ画素を構成し、これらの画素が形成されたエリアが表示領域DAとなっている。スイッチング素子には、電界効果型薄膜トランジスタ(TFT:Thin Film Transistor)が使用されている。それぞれのゲート線及びソース線のうち、各ゲート線GW〜GWは、アレイ基板2上に所定幅長及び長さを有する導電パターンにより形成され、各ソース線SW〜SWは、各ゲート線GW〜GW上にゲート絶縁膜を設け、このゲート絶縁膜上に所定幅長及び長さを有する導電パターンを設けることにより形成されている。各ゲート線GW〜GW及び各ソース線SW〜SWは、表示領域DAから表示領域外へ引出されて各ICチップ搭載領域SDR、GDR1、GDRへ導入されてそれぞれのドライバに接続されるようになっている。 Each area surrounded by the gate lines GW 1 to GW n and the source lines SW 1 to SW n constitutes a so-called pixel, and an area where these pixels are formed is a display area DA. As the switching element, a field effect thin film transistor (TFT) is used. Among the gate lines and the source lines, the gate lines GW 1 to GW n are formed on the array substrate 2 by a conductive pattern having a predetermined width and length, and the source lines SW 1 to SW n are A gate insulating film is provided on the gate lines GW 1 to GW n , and a conductive pattern having a predetermined width and length is provided on the gate insulating film. The gate lines GW 1 to GW n and the source lines SW 1 to SW n are drawn out of the display area DA and introduced into the IC chip mounting areas SDR, GDR 1, GDR 2 to the respective drivers. Connected.

これらのゲート線GW〜GW及び各ソース線SW〜SWのうち、各ゲート線GW〜GWは、アレイ基板2の表示領域DAの外、すなわち表示領域DAの両側周辺の領域WA、WAへ引出されて、列方向(縦方向)に設けたゲート線用の各引回し線GL〜GL(n=1、2、3…)に接続される。このとき、奇数行のゲート線、例えばGW、GW、GW…は、図1の左側の領域WAに引出されてそれぞれ引回し線GL、GL、GL…に接続される。一方、偶数行のゲート線、例えばGW、GW、GW…は、図1の右側の領域WAに引出されてそれぞれ引回し線GLm+1、GLm+2、GLm+3…GLに接続される。各ゲート線のうち、奇数行のゲート線を一方の領域WAに、偶数行のゲート線を領域WAに振分けて配線することにより、基板上にバランスよく配線することが可能になる。 Of these gate lines GW 1 to GW n and source lines SW 1 to SW n , the gate lines GW 1 to GW n are outside the display area DA of the array substrate 2, that is, areas on both sides of the display area DA. It is led out to WA 1 and WA 2 and connected to the respective lead lines GL 1 to GL n (n = 1, 2, 3,...) For gate lines provided in the column direction (vertical direction). At this time, the odd-numbered gate lines, for example, GW 1 , GW 3 , GW 5 ... Are drawn to the area WA 1 on the left side of FIG. 1 and connected to the lead lines GL 1 , GL 2 , GL 3 . . On the other hand, even rows of the gate lines, for example GW 2, GW 4, GW 6 ... are connected to each drawn to the right of the area WA 2 in FIG. 1 routing line GL m + 1, GL m + 2, GL m + 3 ... GL n The Among the gate lines, the gate lines in the odd-numbered lines in one region WA 1, by wiring the sorting gate lines in the even-numbered lines in the area WA 2, it is possible to interconnect a balanced on the substrate.

各引回し線GL〜GLは、表示領域外の両領域WA、WA内において、隣接する引回し線、すなわち奇数番目の引回し線とこれに隣接する偶数番目の引回し線とは、アレイ基板上に上下方向で重ならないように、この奇数番目の引回し線から水平方向に若干ずらすとともにその間に絶縁膜3を設け、この絶縁膜3の上に偶数番目の引回し線GLが配線されている。この配線構造を奇数番目の引回し線、例えば引回し線GLとこの引回し線に隣接する偶数番目の引回し線GLとを用いて説明すると、図3に示すように、奇数番目の引回し線GLは、アレイ基板2上に形成され、一方、偶数番目の引回し線GLは、奇数番目の引回し線GLを覆った絶縁膜3上に形成される。引回し線GL上には、保護絶縁膜4が設けられる。他の引回し線も同じようにして形成される。このように奇数番目の引回し線と偶数番目の引回し線とを絶縁膜を介在して積層すると、奇数番目の引回し線GLは、アレイ基板2の表面に接触乃至近接した低位の低位配線となり、偶数番目の引回し線は、奇数番目の引回し線に対して高位に位置する高位配線となる。 In each of the areas WA 1 and WA 2 outside the display area, the respective lead lines GL 1 to GL m are adjacent lead lines, that is, odd-numbered lead lines and even-numbered lead lines adjacent thereto. Is slightly shifted in the horizontal direction from the odd-numbered lead lines so as not to overlap the array substrate in the vertical direction, and an insulating film 3 is provided therebetween, and the even-numbered lead lines GL are formed on the insulating film 3. 2 is wired. This wiring structure will be described using an odd-numbered routing line, for example, a routing line GL 1 and an even-numbered routing line GL 2 adjacent to the routing line, as shown in FIG. The lead line GL 1 is formed on the array substrate 2, while the even-numbered lead line GL 2 is formed on the insulating film 3 covering the odd-numbered lead line GL 1 . On lead line GL 2, the protective insulating film 4 is provided. Other lead lines are formed in the same manner. As described above, when the odd-numbered lead lines and the even-numbered lead lines are stacked via the insulating film, the odd-numbered lead lines GL 1 are in contact with or close to the surface of the array substrate 2. The even-numbered routing lines are high-level wirings positioned higher than the odd-numbered routing lines.

次に、この低位及び高位配線並びに絶縁膜の形成方法の一例を図1及び図3を参照して説明する。   Next, an example of a method for forming the low and high wirings and the insulating film will be described with reference to FIGS.

先ず、アレイ基板2には、それぞれ引回し線GL〜GLが形成されるが、これらの引回し線のうち、奇数番目の引回し線(低位配線)は、表示領域外の両領域WA、WAにおいて、表示領域DA内に配線されるゲート線GW〜GWと同一材料を用い同じ工程で形成される。このようにアレイ基板2に低位配線を形成した後に、この低位配線をゲート線GW〜GWとともにゲート絶縁膜3で覆う。その後、このゲート絶縁膜3の上に高位配線となる偶数番目の引回し線を形成する。この偶数番目の引回し線は、表示領域DA内に配線されるソース線SW〜SWと同一材料を用い同じ工程で形成される。次いで、この偶数番目の引回し線をソース線SW〜SWとともに保護絶縁膜4で覆う。この製法によると、それぞれの引回し線及び絶縁膜はゲート線、ソース線及びゲート絶縁膜形成時に同じ材料を使用することで同じ又はほぼ同じ工程で配線できるので、これらの引回し線を形成するために特別な製造工程を増やすことなく配線できて引回し線の配線が簡単に形成できる。 First, lead lines GL 1 to GL n are respectively formed on the array substrate 2. Of these lead lines, odd-numbered lead lines (low-order wirings) are formed in both areas WA outside the display area. 1 and WA 2 are formed in the same process using the same material as the gate lines GW 1 to GW n wired in the display area DA. After the low level wiring is formed on the array substrate 2 in this way, the low level wiring is covered with the gate insulating film 3 together with the gate lines GW 1 to GW n . Thereafter, even-numbered lead lines to be high-level wirings are formed on the gate insulating film 3. The even-numbered lead lines are formed in the same process using the same material as the source lines SW 1 to SW n wired in the display area DA. Next, the even-numbered lead lines are covered with the protective insulating film 4 together with the source lines SW 1 to SW n . According to this manufacturing method, each lead line and insulating film can be wired in the same or almost the same process by using the same material when forming the gate line, source line and gate insulating film, so that these lead lines are formed. Therefore, wiring can be performed without increasing the number of special manufacturing processes, and the wiring of the lead-out line can be easily formed.

また、各引回し線GL〜GLは、両領域WA、WA内においてゲート線GW〜GWと接続される。このとき各引回し線は、互いに隣接する引回し線が低位及び高位配線となっており、高位配線と各ゲート線との間に絶縁膜3が介在されて段差が生じているので、図4に示すように絶縁膜3にコンタクトホール3を形成して、このコンタクトホール3内に導電材を詰めてゲート線と引回し線とが接続される。図1の符号Jaはこの接続点を示し、また図4は、引回し線GLとゲート線GWとの接続状態を示している。なお、高位配線としての引回し線とゲート線とを接続する導電材は、前記高位配線としての引回し線をコンタクトホール3上に延在させることで形成するとこの導電材を形成する工程を省くことができる。 The routing lines GL 1 to GL n are connected to the gate lines GW 1 to GW n in both the areas WA 1 and WA 2 . At this time, each routing line has a low level and a high level wiring line adjacent to each other, and a step is generated because the insulating film 3 is interposed between the high level wiring and each gate line. forming a contact hole 3 0 in the insulating film 3 as shown in, the gate lines and the lead lines stuffed conductive material in the contact hole 3 in 0 is connected. Reference numeral Ja in FIG. 1 indicates this connection point, and FIG. 4 indicates a connection state between the lead line GL 2 and the gate line GW 3 . Incidentally, the conductive material for connecting the lead line and the gate line as a high wire, when the lead wire as the high wiring formed by extend on the contact hole 3 0 the step of forming the conductive material It can be omitted.

このように引回し線を二層配線構造にすると、隣接する引回し線は互いに上下に絶縁層を介して積層されるので、引回し線間の短絡事故の発生を防止できるとともに、積層により横方向に隣接する引回し線の本数を少なくすることができるので、表示領域外の各領域WA、WAにより多くの引回し線を配設することができ各領域の幅長W、Wを狭くすることができる。 In this way, when the lead wires have a two-layer wiring structure, adjacent lead wires are stacked on top of each other with an insulating layer interposed therebetween. Since the number of lead lines adjacent to each other in the direction can be reduced, more lead lines can be provided in each of the areas WA 1 and WA 2 outside the display area, and the width lengths W 1 and W of each area. 2 can be narrowed.

この実施形態では、上記の各引回し線GL〜GLを表示領域外の両領域WA、WA内で隣接する引回し線をアレイ基板2上に絶縁膜3を介して上下方向で若干ずらして重ならないようにしたが、上下方向に全部、すなわちぴったり重なるように又は一部のみが重なるように積層してもよい。また、それぞれのICチップ搭載領域SDR、GDR1、GDRは、アレイ基板2の一辺に並設して設けたが、アレイ基板2の形状を変更して他の辺、例えば、図1の上辺或いは両側辺のいずれかに設けるようにしてもよい。 In this embodiment, the above-mentioned lead lines GL 1 to GL n are routed in the vertical direction via the insulating film 3 on the array substrate 2 and adjacent lead lines in both the areas WA 1 and WA 2 outside the display area. Although they are slightly shifted so as not to overlap each other, they may be laminated so that they are all overlapped in the vertical direction, that is, so as to overlap exactly or only partially. In addition, each IC chip mounting region SDR, GDR 1 and GDR 2 is provided side by side on one side of the array substrate 2. However, the shape of the array substrate 2 is changed to another side, for example, the upper side of FIG. Alternatively, it may be provided on either side.

また、各引回し線GL〜GLは、それぞれICチップ搭載領域GDR1、GDR内へ導入されて実装用端子が設けられるとともに、更にこれらの実装用端子から長さの異なる2種類の引出線GL’、GL’、GL’、GL’、…が引出されてそれらの先端部に検査用端子が形成される。すなわち各引出線GL’、GL’、GL’、GL’、…は、所定の長さを有し規則性を持った配列、例えば、奇数番目の引出線GL’、GL’、…は長く、偶数番目の引出線はGL’、GL’、…は短く引出されて、これらの先端部に検査用端子がそれぞれ形成される。これらの実装用端子及び検査用端子の構造は、各搭載領域GDR1、GDR内で同じ構造になっているので、以下に、一方のICチップ搭載領域GDR内の配線構造について説明する。 Further, each of the lead lines GL 1 to GL n is introduced into the IC chip mounting regions GDR 1 and GDR 2 to be provided with mounting terminals, and two types of different lengths from these mounting terminals are provided. Lead lines GL ′ 1 , GL ′ 2 , GL ′ 3 , GL ′ 4 ,... Are drawn to form inspection terminals at their tips. That is, each of the leader lines GL ′ 1 , GL ′ 2 , GL ′ 3 , GL ′ 4 ,... Has an arrangement with a predetermined length and regularity, for example, odd-numbered leader lines GL ′ 1 , GL ′. 3 are long, and even-numbered leader lines GL ′ 2 , GL ′ 4 ,... Are drawn short, and inspection terminals are respectively formed at the tip portions thereof. Since the structures of these mounting terminals and inspection terminals are the same in each of the mounting regions GDR 1 and GDR 2 , the wiring structure in one IC chip mounting region GDR 1 will be described below.

図5は図1のD部分の配線の一例を模式して示す拡大平面図、図6は図5のE−E線の拡大断面図、図7は検査用端子の構造を示し、図7(a)は図5のF−F線の拡大断面図、図7(b)は図5のG−G線の拡大断面図である。   FIG. 5 is an enlarged plan view schematically showing an example of the wiring of D portion in FIG. 1, FIG. 6 is an enlarged sectional view taken along line EE of FIG. 5, FIG. 7 shows the structure of the inspection terminal, and FIG. FIG. 7A is an enlarged sectional view taken along line FF in FIG. 5, and FIG. 7B is an enlarged sectional view taken along line GG in FIG.

各引回し線GL〜GL、…は、領域WA内において隣接する引回し線、例えば引回し線GLとGLとが、一方の引回し線(奇数番目)GLは低位配線となるアレイ基板2上に、他の引回し線(偶数番目)GLは高位配線となる絶縁膜3上に配設されているので、これらの引回し線から延長された各引出線GL’、GL’も同じ低位及び高位の2層配線構造となっている。すなわち、各引出線GL’〜GL’、…は、図6に示すように、引出線GL’はアレイ基板2上に、また引出線GL’は絶縁膜3上に平面視で隣接する引出線、例えば引出線GL’と重ならないように横方向に若干位置をずらして形成され、更に引出線GL’も引出線GL’と同じようにアレイ基板2上に形成されている。他の引出線も同じように、奇数番目の引出線は低位配線としてアレイ基板2上に、また偶数番目の引出線は高位配線として奇数番目の引出線を覆っている絶縁膜3上に形成されている。 Each of the lead lines GL 1 to GL 5 ,... Is an adjacent lead line in the area WA 1 , for example, the lead lines GL 3 and GL 4, and one lead line (odd number) GL 3 is a low-level wiring. Since the other lead lines (even-numbered) GL 4 are arranged on the insulating film 3 to be high-level wirings on the array substrate 2 to be, each lead line GL ′ extended from these lead lines. 3 and GL ′ 4 also have the same low-level and high-level two-layer wiring structures. That is, as shown in FIG. 6, the leader lines GL ′ 3 to GL ′ 5 ,... Are drawn in plan view on the leader line GL ′ 3 on the array substrate 2 and the leader line GL ′ 4 on the insulating film 3. The lead lines GL ′ 5 are formed on the array substrate 2 in the same manner as the lead lines GL ′ 3 so as not to overlap with the lead lines GL ′ 3 adjacent to each other. ing. Similarly to the other lead lines, the odd-numbered lead lines are formed on the array substrate 2 as low-level wirings, and the even-numbered lead lines are formed as high-level wirings on the insulating film 3 covering the odd-numbered lead lines. ing.

各引回し線GL〜GL、…には、実装用端子6〜6、…が形成されている。また、各引出線GL’〜GL’、…には、それぞれ検査用端子7〜7、…が設けられる。これらの実装用及び検査用端子のうち、各実装用端子は矩形状のICチップ搭載領域GDR内の手前側、すなわちICチップ搭載領域GDRの外周縁近傍に搭載されるICチップのバンプ端子の配列に合わせた配列、例えば横一列に形成される。なお、この実装用端子6〜6、…が形成される位置は各引回し線GL〜GL、…の先端部となっている。 Mounting terminals 6 1 to 6 5 ,... Are formed on the respective lead lines GL 1 to GL 5 . Each lead wire GL '1 ~GL' 5, the ..., respectively terminals for inspection 7 1-7 5, ... are provided. Among these mounting and inspection terminals, each mounting terminal is a bump terminal of an IC chip mounted on the front side in the rectangular IC chip mounting region GDR 1 , that is, in the vicinity of the outer peripheral edge of the IC chip mounting region GDR 1. It is formed in an array, for example, in a horizontal row. In addition, the position where these mounting terminals 6 1 to 6 5 ,... Are formed is the tip of each lead line GL 1 to GL 5 ,.

また、実装用端子6〜6、…が設けられた各引回し線GL〜GL、…の先端部から延設され、所定の長さを有し規則性を持って配列された各引出線GL’〜GL’…の先端部には、それぞれ検査用端子7〜7、…が形成される。このうち奇数番目の引出線GL’、GL’、…は偶数番目の引出線GL’、GL’、…よりも長く配線されており、その先端部に設けられた検査用端子7〜7、…は、奇数番目の検査用端子7、7、…と偶数番目の検査用端子7、7、…とは異なる直線上に横一列で配設されている。 Also, the mounting terminals 6 through 65, ... each lead line GL 1 ~GL 5 which is provided, extending from ... the tip, are arranged with regularity has a predetermined length Inspection terminals 7 1 to 7 5 ,... Are formed at the leading ends of the lead lines GL ′ 1 to GL ′ 4 . Among these, the odd-numbered lead lines GL ′ 1 , GL ′ 3 ,... Are wired longer than the even-numbered lead lines GL ′ 2 , GL ′ 4 ,..., And the inspection terminal 7 provided at the tip thereof. 1 to 7 5 ,... Are arranged in a horizontal row on a straight line different from the odd-numbered inspection terminals 7 1 , 7 3 ,... And the even-numbered inspection terminals 7 2 , 7 4 ,.

各検査用端子のうち奇数番目の引出線、例えば引出線GL’、GL’に設けられた検査用端子7、7は、図7(b)に示すように、引出線GL’、GL’へ達するコンタクトホール7が絶縁膜3及び保護絶縁膜4に穿孔されて、このコンタクトホール7に導電材を充填することで形成される。また、偶数番目の引出線、例えば引出線GL’に設けられた検査用端子7は、図7(a)に示すように、引出線GL’へ達するコンタクトホール7が保護絶縁膜4に穿孔されて、このコンタクトホール7に導電材を充填して形成される。 As shown in FIG. 7B, the inspection terminals 7 3 and 7 5 provided on the odd-numbered lead lines among the test terminals, for example, the lead lines GL ′ 3 and GL ′ 5 are connected to the lead lines GL ′. 3, and GL 'contact hole 7 0 reaching the 5 are drilled in the insulating film 3 and the protective insulating film 4 is formed by filling a conductive material in the contact hole 7 0. Also, even-numbered lead wire, for example, 'the inspection terminal 7 4 provided 4, as shown in FIG. 7 (a), the lead line GL' lead line GL contact hole 7 0 protective insulating film to reach the 4 4 is perforated, it is formed by filling a conductive material in the contact hole 7 0.

奇数番目の検査用端子7、7、…と偶数番目の検査用端子7、7、…とをそれぞれ略平行な異なる直線上に配列することにより、所定の幅長を有するシート状導電プローブを使用した検査が可能になり検査を効率よく簡単にできる。加えて、1つの引出線に隣接する引出線の先端部に形成された検査用端子は、異なる直線上に配列されているために検査用端子自体を大きくしても検査用端子同士が接触して短絡する恐れがない。また奇数番目だけ、或いは偶数番目だけ点灯状態として検査することができるので、例えば隣接する画素における短絡発生の有無等も検査することができる。また、この配線構造によると、隣接する引出線は、互いに上下に絶縁膜を介して積層するので、引出線間の短絡事故の発生を防止できるとともに、積層されていることにより横方向の線間距離を短縮できる。なお、各引回し線を上下方向に全部、すなわちぴったり重なるように又は一部のみが重なるように積層した場合は、ICチップ搭載領域の近傍で二股に分岐してこの分岐した引回し線及び引出線に実装用端子及び検査用端子が形成される。この分岐点は、ICチップ搭載領域内でもよい。 The odd-numbered inspection terminals 7 1 , 7 3 ,... And the even-numbered inspection terminals 7 2 , 7 4 ,. Inspection using a conductive probe becomes possible, and inspection can be performed efficiently and easily. In addition, since the inspection terminals formed at the leading end of the lead line adjacent to one lead line are arranged on different straight lines, the inspection terminals contact each other even if the inspection terminal itself is enlarged. There is no risk of short circuit. Further, since only the odd-numbered or even-numbered lighting states can be inspected, for example, the presence or absence of occurrence of a short circuit in adjacent pixels can be inspected. In addition, according to this wiring structure, adjacent lead lines are stacked on each other with an insulating film interposed therebetween, so that it is possible to prevent occurrence of a short-circuit accident between the lead lines, and by stacking, the horizontal line spacing The distance can be shortened. In addition, when each lead wire is laminated in the vertical direction, ie, in such a way that it is completely overlapped, that is, so that only part of it is overlapped, it is divided into two branches in the vicinity of the IC chip mounting area, and this branched lead wire and lead A mounting terminal and an inspection terminal are formed on the wire. This branch point may be within the IC chip mounting area.

ところで、各引出線がGL’〜GL’、…は、長短の長さを有し規則性、すなわち交互に配列されており、これらの引出線のうち、奇数番目の引出線は低位配線となるアレイ基板2上にゲート線材料で形成されており、また、偶数番目の引出線は高位配線となる絶縁膜3上にソース線材料で形成されており、それぞれの引出線が絶縁膜3及び/又は保護絶縁膜4で覆われている。ところが、液晶表示パネルでは、通常、ゲート線を形成する導電パターンの肉厚がソース線の導電パターンの肉厚より厚く形成されるので、アレイ基板上ではゲート線材料及びソース線材料での層厚が異なり、両者の間に段差H(図10(a)参照)、すなわち、ゲート線材料からなる引出線が設けられた部分の層厚が、ソース線材料からなる引出線が設けられた部分の層厚より厚くなることで段差が発生する。同様にこれらの肉厚の異なる引出線に検査用端子を形成すると、これらの間にも段差が発生してしまう。そのため、このような高低の段差がある検査用端子に帯状の検査プローブを接触させるとき、隣接する検査用端子間に層厚の厚い部分が存在すると、検査プローブが持ち上げられて、低位の検査用端子に均等に接触させることができなくなる恐れがある。そこでこの検査用端子同士の段差を考慮した配線の変形例を以下に図8〜図10を参照して説明する。 By the way, each leader line GL ′ 1 to GL ′ 5 ,... Has a long and short length and is regularly arranged, that is, alternately arranged. Of these leader lines, the odd-numbered leader line is a low-level wiring. The even-numbered lead lines are formed of the source line material on the insulating film 3 to be the high-level wiring, and each lead line is formed of the insulating film 3. And / or covered with a protective insulating film 4. However, in the liquid crystal display panel, since the thickness of the conductive pattern that forms the gate line is usually larger than the thickness of the conductive pattern of the source line, the layer thickness of the gate line material and the source line material on the array substrate. Is different from each other in the step H (see FIG. 10A), that is, the layer thickness of the portion provided with the leader line made of the gate line material is the same as the layer thickness of the portion provided with the leader line made of the source line material. A step is generated when the thickness is greater than the layer thickness. Similarly, if inspection terminals are formed on the leader lines having different thicknesses, a step is generated between them. Therefore, when a strip-shaped inspection probe is brought into contact with an inspection terminal having such a high and low step, if there is a thick layer between adjacent inspection terminals, the inspection probe is lifted up and used for low-level inspection. There is a risk that the terminals cannot be evenly contacted. Accordingly, a modification of the wiring in consideration of the step between the inspection terminals will be described below with reference to FIGS.

図8は図1のD部分の配線の変形例を模式して示す拡大平面図、図9は図8のE’−E’線の拡大断面図、図10は検査用端子の構造を示し、図10(a)は図8のF’−F’線の拡大断面図、図10(b)は図8のG’−G’線の拡大断面図である。   FIG. 8 is an enlarged plan view schematically showing a modification of the wiring of the D part in FIG. 1, FIG. 9 is an enlarged sectional view taken along line E′-E ′ of FIG. 8, and FIG. 10 shows the structure of the inspection terminal. 10A is an enlarged sectional view taken along line F′-F ′ in FIG. 8, and FIG. 10B is an enlarged sectional view taken along line G′-G ′ in FIG. 8.

この変形例は、図8及び図9に示すように、各引出線GL’〜GL’、…のうち、奇数番目の引出線GL’、GL’、…と偶数番目の引出線GL’、GL’、…を入れ替えて、奇数番目の引出線(低位配線)を短く、偶数番目の引出線(高位配線)を長くして、それぞれの先端部に検査用端子7〜7…を形成した点が異なり、他の部分は上述の構成と同一である。このような構成とすると、図10に示すように、奇数番目の引出線、例えば引出線GL’、GL’に設けられた検査用端子7、7は、偶数番目の引出線、例えば引出線GL’に設けた検査用端子よりICチップ搭載領域GDRの端部に近い位置に形成されるので、偶数番目の引出線GL’の先端部に設けられた検査用端子7が形成される直線上には奇数番目の引出線GL’、GL’等がないので、帯状の検査プローブを押し当てたときに各検査用端子に良好に接触でき、検査ミスがなくなる。 This modification, as shown in FIGS. 8 and 9, each lead wire GL '1 ~GL' 4, ... of the odd-numbered lead line GL '1, GL' 3, ... and the even-numbered lead wire GL ′ 2 , GL ′ 4 ,... Are replaced, the odd-numbered lead lines (low-level wiring) are shortened, the even-numbered lead lines (high-level wiring) are lengthened, and the inspection terminals 7 1 to 7- 7 5 ... Are different, and the other parts are the same as those described above. With such a configuration, as shown in FIG. 10, the inspection terminals 7 3 and 7 5 provided on the odd-numbered leader lines, for example, the leader lines GL ′ 3 and GL ′ 5 , for example 'since it is formed at a position near the end portion of the IC chip mounting region GDR 1 from inspection terminal provided at 4, even-numbered lead line GL' lead line GL inspection terminal 7 provided at the distal end of the 4 Since there are no odd-numbered lead lines GL ′ 3 , GL ′ 5, etc. on the straight line on which 4 is formed, it is possible to make good contact with each inspection terminal when a strip-shaped inspection probe is pressed, and there is no inspection error. .

また、各ソース線SW〜SWは、表示領域DAから延出して複数本のソース線用の引回し線SL〜SLを形成し、これらの引回し線をICチップ搭載領域SDRへ導入して、この領域内で引出線を形成し、これらの引回し線及び引出線にICチップの実装用端子及び検査用端子が設けられる。なお、このソース線SW〜SWの引回し線及び引出線も、ゲート線GW〜GW材の引回し線及び引出線と同様に積層構造とするのが好ましい。この2層配線は、例えばアレイ基板2上にゲート線材料からなる引回し線を配設し、この引回し線を覆う絶縁膜にコンタクトホールを穿孔し、ソース線をこのコンタクトホール上まで延設することで接続して形成する。 The source lines SW 1 to SW n extend from the display area DA to form a plurality of source line lead lines SL 1 to SL n , and these lead lines are connected to the IC chip mounting area SDR. Introduced, lead lines are formed in this region, and IC chip mounting terminals and inspection terminals are provided on these lead lines and lead lines. The lead lines and lead lines of the source lines SW 1 to SW n preferably have a laminated structure as well as the lead lines and lead lines of the gate lines GW 1 to GW n . The two-layer wiring is formed, for example, by arranging a lead line made of a gate line material on the array substrate 2, drilling a contact hole in the insulating film covering the lead line, and extending the source line to the contact hole To connect and form.

図1は本発明の一実施例に係る液晶表示パネルであって、積層された上基板から下基板の配線が透視して見えるように図示した平面図である。FIG. 1 is a plan view illustrating a liquid crystal display panel according to an embodiment of the present invention so that wirings of a lower substrate can be seen through from a laminated upper substrate. 図2は図1のA−A線断面図である。2 is a cross-sectional view taken along line AA in FIG. 図3は図1のB部分の配線を示し、図3(a)は拡大平面図、図3(b)図3(a)のB’−B’線の断面図である。FIG. 3 shows the wiring of the portion B in FIG. 1, FIG. 3 (a) is an enlarged plan view, and FIG. 3 (b) is a sectional view taken along line B'-B 'in FIG. 図4は図1のC部分の配線を示し、図4(a)は拡大平面図、図4(b)は図4(a)のC’−C’線の断面図である。4 shows the wiring of the portion C in FIG. 1, FIG. 4 (a) is an enlarged plan view, and FIG. 4 (b) is a cross-sectional view taken along line C'-C 'in FIG. 4 (a). 図5は図1のD部分の配線の一例を模式して示す拡大平面図である。FIG. 5 is an enlarged plan view schematically showing an example of the wiring of the D portion in FIG. 図6は図5のE−E線の拡大断面図である。6 is an enlarged cross-sectional view taken along line EE in FIG. 図7は検査用端子の構造を示し、図7(a)は図5のF−F線の拡大断面図、図7(b)は図5のG−G線の拡大断面図である。7 shows the structure of the inspection terminal, FIG. 7 (a) is an enlarged sectional view taken along line FF in FIG. 5, and FIG. 7 (b) is an enlarged sectional view taken along line GG in FIG. 図8は図1のD部分の配線の変形例を模式して示す拡大平面図である。FIG. 8 is an enlarged plan view schematically showing a modified example of the wiring of the D portion in FIG. 図9は図8のE’−E’線の拡大断面図である。FIG. 9 is an enlarged sectional view taken along line E′-E ′ of FIG. 8. 図10は検査用端子の構造を示し、図10(a)は図8のF’−F’線の拡大断面図、図10(b)は図8のG’−G’線の拡大断面図である。10 shows the structure of the inspection terminal, FIG. 10A is an enlarged sectional view taken along line F′-F ′ of FIG. 8, and FIG. 10B is an enlarged sectional view taken along line G′-G ′ of FIG. It is. 図11は従来技術の液晶表示パネルの端子部分の拡大平面図である。FIG. 11 is an enlarged plan view of a terminal portion of a conventional liquid crystal display panel.

符号の説明Explanation of symbols

1 液晶表示パネル
2 アレイ基板
3 絶縁膜
4 保護絶縁膜
8 シール材
9 液晶
10 カラーフィルタ基板
SW〜SW ソース線
GW〜GW ゲート線
SL〜SL (ソース線の)引回し線
GL〜GL (ゲート線の)引回し線
GL’〜GL’ (ゲート線の)引出線
GDR 、GDR、SDR ICチップ搭載領域
1 (source line) liquid crystal display panel 2 array substrate 3 insulating film 4 protective insulating film 8 sealing member 9 LCD 10 color filter substrate SW 1 to SW n source lines GW 1 ~GW n gate lines SL 1 to SL n routing line GL 1 ~GL n (gate line) (gate lines) lead lines GL '1 ~GL' n lead line GDR 1, GDR 2, SDR IC chip mounting region

Claims (7)

マトリクス状に配置された複数のソース線及びゲート線と、前記ソース線及び前記ゲート線の交点近傍に設けられた薄膜トランジスタとを備えるアレイ基板と、前記アレイ基板と対向して間に液晶層が形成された対向透明基板とを備え、前記アレイ基板は、該アレイ基板に形成された画像表示部外の周辺部に前記薄膜トランジスタを駆動するゲート駆動用半導体チップ及びソース駆動用半導体チップを搭載する半導体チップ搭載領域を備えた液晶表示パネルにおいて、
前記半導体チップ搭載領域には、前記ゲート線に接続されて前記アレイ基板の周辺部に引回された複数本の引回し線を互いに隣接する2本の引回し線を組にして一方を低位に、間に絶縁層を介在させて他方を高位に積層して導入し、これらの引回し線に半導体チップと接続する実装用端子を設けるとともに、これらの実装用端子から長さの異なる数種類の引出線を引出して所定の規則性を持たせて配列し、これらの引出線にはそれぞれ検査用端子を形成したことを特徴とする液晶表示パネル。
An array substrate comprising a plurality of source lines and gate lines arranged in a matrix, and a thin film transistor provided in the vicinity of the intersection of the source lines and the gate lines, and a liquid crystal layer formed between and facing the array substrate A semiconductor chip for mounting a gate driving semiconductor chip and a source driving semiconductor chip for driving the thin film transistor in a peripheral portion outside the image display portion formed on the array substrate. In liquid crystal display panels with mounting areas,
In the semiconductor chip mounting region, a plurality of lead lines connected to the gate lines and routed to the periphery of the array substrate are paired with two lead lines adjacent to each other, and one of the lead lines is set to a lower position. In addition, an insulating layer is interposed between the other, and the other is stacked at a high level, and these lead wires are provided with mounting terminals to be connected to the semiconductor chip, and several types of leads with different lengths are provided from these mounting terminals. A liquid crystal display panel, wherein lines are drawn out and arranged with a predetermined regularity, and inspection terminals are formed on each of the lead lines.
前記検査用端子は、種類の異なる引出線毎に隣接する端子が直線上に整列・配置されていることを特徴とする請求項1に記載の液晶表示パネル。   2. The liquid crystal display panel according to claim 1, wherein the inspection terminals have adjacent terminals arranged and arranged in a straight line for each of different types of lead lines. 前記引出線に形成された検査用端子のうち、低位に位置する検査用端子は高位に位置する検査用端子より前記半導体チップ搭載領域の内側に突出した位置に整列・配置されていることを特徴とする請求項1又は2に記載の液晶表示パネル。   Among the inspection terminals formed on the lead lines, the inspection terminals located at a lower position are aligned and arranged at positions projecting inside the semiconductor chip mounting region from the inspection terminals located at a higher position. The liquid crystal display panel according to claim 1 or 2. 前記低位の引回し線と高位の引回し線とは、前記絶縁層を介して上下に全部又は一部が重複するように、あるいは互いに上下に重複しないように積層されていることを特徴とする請求項1に記載の液晶表示パネル。   The low-level lead line and the high-level lead line are laminated so that all or a part of the low-level lead line and the high-level lead line overlap with each other through the insulating layer or do not overlap with each other. The liquid crystal display panel according to claim 1. 前記全部又は一部が重複するように積層された前記低位及び前記高位の引回し線は、前記半導体チップ搭載領域の外又は内部で二股に分岐されて前記引出線に接続されていることを特徴とする請求項4に記載の液晶表示パネル。   The lower and higher lead lines that are stacked so that all or part of them are overlapped are bifurcated outside or inside the semiconductor chip mounting region and connected to the lead lines. The liquid crystal display panel according to claim 4. 前記低位の引回し線及び引出線は前記ゲート線の配線材料で形成され、前記及び高位の引回し線及び引出線は、前記ソース線の配線材料で形成され、前記絶縁層は前記ゲート線を覆うゲート絶縁材料で形成されていることを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載の液晶表示パネル。   The lower lead lines and lead lines are formed of a wiring material of the gate line, the higher lead lines and lead lines are formed of a wiring material of the source line, and the insulating layer is formed of the gate line. 6. The liquid crystal display panel according to claim 1, wherein the liquid crystal display panel is formed of a covering gate insulating material. 前記ソース線材料で形成された引出線に設けられた検査用端子は、前記ゲート線材料で形成された引出線に設けられた検査用端子より前記半導体チップ搭載領域の内側に突出した位置に配列されていることを特徴とする請求項6に記載の液晶表示パネル。   Inspection terminals provided on the lead lines formed of the source line material are arranged at positions protruding inside the semiconductor chip mounting area from inspection terminals provided on the lead lines formed of the gate line material. The liquid crystal display panel according to claim 6, wherein the liquid crystal display panel is a liquid crystal display panel.
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