JP2007212366A

JP2007212366A - Method and device for inspecting thickness of inspected part

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Publication number: JP2007212366A
Application number: JP2006034555A
Authority: JP
Inventors: Hidehiko Nakano; 英彦中野
Original assignee: Kanto Jidosha Kogyo KK; Kanto Auto Works Ltd
Current assignee: Kanto Jidosha Kogyo KK; Toyota Motor East Japan Inc
Priority date: 2006-02-10
Filing date: 2006-02-10
Publication date: 2007-08-23

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an inspecting device for the thickness of an inspected part capable of obtaining an accurate residual thickness measurement result even when the inspected part hardly transmits visible light by utilizing the transmitting characteristic of X-rays. SOLUTION: The inspecting device comprises an X-ray source 2 for radiating the X-rays 3 to be radiated to a specimen 6, an X-ray brightness measuring instrument 5 for measuring the brightness of the X-rays that is arranged on the opposite side of the X-ray source while an inspection space 8 for radiating the X-rays to the specimen is disposed, a transferring means 7 for passing the specimen in the inspection space at a predetermined speed, and a controller 12 that controls the transferring means, X-ray brightness measuring instrument, and X-ray source, calculates the thickness of the inspected part based on the measured brightness of the X-rays, and determines whether the thickness of the inspected part is within a desired range. COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Description

本発明は、被検部の厚さを検査する方法及び装置に関し、特に、Ｘ線を用いて、所謂インストルメントパネルと呼ばれる自動車の合成樹脂製内装品のインビジブル加工部の厚みを検査する方法及び装置に関する。 The present invention relates to a method and apparatus for inspecting the thickness of a portion to be inspected, and in particular, using X-rays, a method for inspecting the thickness of an invisible processing portion of an automobile synthetic resin interior product called a so-called instrument panel, and Relates to the device.

自動車内装部品の１つであるインストルメントパネルの品質検査には、該パネルに溝状に形成された、所謂インビジブル加工部、即ち溝状部の残厚測定という項目が含まれる。現状実施されている残厚測定の方法は、図８に示すように、被検部２３に光源２４からの可視光線２５を照射し、被検部２３である溝状部２２を透過した光を受光装置２６で捉え、その光量に応じて溝状部２２の残厚或いは品質を判定するようにしている。 The quality inspection of an instrument panel, which is one of automotive interior parts, includes an item of so-called invisible processed part formed in a groove shape on the panel, that is, a measurement of the remaining thickness of the groove part. As shown in FIG. 8, the method of measuring the remaining thickness that is currently being carried out irradiates the test portion 23 with visible light 25 from the light source 24, and transmits the light transmitted through the groove-like portion 22 that is the test portion 23. The light receiving device 26 captures the remaining thickness or quality of the groove-like portion 22 in accordance with the amount of light.

図９に示す被検体２７の溝状部２２の断面を、Ｘ線ＣＴで実際に撮影すると、溝状部２２としては、図１０（Ａ）〜（Ｃ）に示すように適正な深さに溝が形成され且つ断面形状も崩れていないものがある他に、図１０（Ｄ）〜（Ｆ）に示すように適正な深さに溝が形成されていても断面形状が崩れているものが存在することがわかる。 When the cross section of the groove-like portion 22 of the subject 27 shown in FIG. 9 is actually imaged by X-ray CT, the groove-like portion 22 has an appropriate depth as shown in FIGS. In addition to those in which grooves are formed and the cross-sectional shape is not collapsed, as shown in FIGS. 10D to 10F, there are those in which the cross-sectional shape is broken even if the grooves are formed at an appropriate depth. You can see that it exists.

このため、可視光線を使用する現行方法においては、被検部２３の溝状部残厚が適正であっても断面崩れ等によって可視光線２５が上手く透過し得ない状態の場合、図１１（Ｂ）に示すように、透過光量が不十分となって不良品と判定されてしまうという問題、或いは、検査結果の信頼性が低下するという問題がある。一方、図１１（Ａ）は、断面が崩れていない部位の輝度グラフである。なお、図１１は横軸に位置、縦軸にその部位の透過光量をとったものである。また、可視光線２５は物質透過性が低いので、被検部２３が肉厚の場合や、可視光線２５を透過し難い素材から成る場合や不透明色の場合には、高精度の検査を行なうことができないという問題がある。 Therefore, in the current method using visible light, even if the remaining thickness of the groove-like portion of the test portion 23 is appropriate, the visible light 25 cannot be transmitted well due to the collapse of the cross section or the like. ), There is a problem that the amount of transmitted light is insufficient and the product is determined as a defective product, or the reliability of the inspection result is lowered. On the other hand, FIG. 11A is a luminance graph of a portion where the cross section is not broken. In FIG. 11, the horizontal axis indicates the position, and the vertical axis indicates the amount of transmitted light at that portion. In addition, since visible light 25 has low substance permeability, high-precision inspection should be performed when the portion 23 to be examined is thick, made of a material that does not easily transmit visible light 25, or an opaque color. There is a problem that can not be.

他方、被検部に照射するエネルギー線として、Ｘ線を用いる異物検出装置が、特許文献１に開示されている。この特許文献１に記載の異物検出装置は、被検部がＸ線の経路上を通過し得るように配置され、該被検部の通過時に該被検部に向けてＸ線をパルス状に放射し、その透過Ｘ線をＸ線面センサによって検出し、被検体の形状や大きさを視覚的に捉えて異物を検出するように構成されている。 On the other hand, Patent Document 1 discloses a foreign object detection device that uses X-rays as energy rays applied to a portion to be examined. The foreign object detection device described in Patent Document 1 is arranged so that a test part can pass on an X-ray path, and pulses X-rays toward the test part when passing through the test part. The X-ray sensor detects the transmitted X-rays, detects the foreign matter by visually capturing the shape and size of the subject.

また、エネルギー線としてＸ線を用いる別の例としては、特許文献２に記載の選果装置を挙げることができる。この特許文献２に記載の選果装置は、移送手段によってＸ線の経路上を通過する果実を挟むように対向配置されたＸ線源とＸ線検出器を備え、該果実を透過したＸ線の検出レベルに応じて被検体である該果実の良否を判定するように構成されている。
特開平９−２６９３８０号公報特開昭６２−２７３０８７号公報 Another example of using X-rays as energy rays is the fruit selection device described in Patent Document 2. The fruit selection apparatus described in Patent Document 2 includes an X-ray source and an X-ray detector arranged to face each other so as to sandwich a fruit passing on an X-ray path by a transfer unit, and the X-ray transmitted through the fruit. The quality of the fruit as the subject is determined according to the detection level.
JP-A-9-269380 JP-A-62-273087

しかし、特許文献１に記載の装置には、以下の如くの問題点がある。第１に、特許文献１に記載の装置は、被検部の厚さを計測することができるように構成されていないため、被検部の厚さを知り得ないこと。第２に、特許文献１に記載の装置では、パルス状Ｘ線が使用されるため、被検部が連続的な場合やこれに準ずるものである場合、若しくは、連続的に被検部を検査する必要がある場合などには不向きであること。第３に、Ｘ線の経路上を被検体が通過することを確認する手段と、その検知信号によってパルス状Ｘ線の放射制御を行なう制御手段の両手段を必要とし、構造が複雑化すること。第４に、Ｘ線を遮蔽する構成がなく、線Ｘが周囲に散乱する危険性があるという問題などが挙げられる。特許文献１に記載の装置同様に、特許文献２に記載の装置の構成では、Ｘ線を遮蔽する構成がなく、Ｘ線が周囲に散乱するおそれも考えられる。 However, the apparatus described in Patent Document 1 has the following problems. 1stly, since the apparatus of patent document 1 is not comprised so that the thickness of a test part can be measured, the thickness of a test part cannot be known. Secondly, in the apparatus described in Patent Document 1, since pulsed X-rays are used, when the test part is continuous or equivalent, or the test part is continuously inspected. It is unsuitable when it is necessary to do so. Thirdly, both the means for confirming that the subject passes through the X-ray path and the control means for controlling the radiation of the pulsed X-ray by the detection signal are required, and the structure becomes complicated. . Fourthly, there is a problem that there is no configuration for shielding X-rays, and there is a risk that the line X is scattered around. Similar to the device described in Patent Document 1, the device configuration described in Patent Document 2 does not have a structure for shielding X-rays, and there is a possibility that X-rays may be scattered around.

本発明は、以上の点に鑑みて創作されたものであり、Ｘ線の透過特性を利用することによって、被検部が可視光線を透過させ難い場合にも高精度な残厚計測結果を得ることができる被検部厚の検査方法及びそれを用いた装置を提供することを目的とする。 The present invention was created in view of the above points, and by using the transmission characteristics of X-rays, a highly accurate residual thickness measurement result is obtained even when it is difficult for the test portion to transmit visible light. It is an object of the present invention to provide a method for inspecting a thickness of a portion to be inspected and an apparatus using the same.

上記目的を達成するために、本発明の被検部厚の検査方法は、被検体の被検部にＸ線を照射し、該被検体を透過した透過Ｘ線量を検出し、各被検部に対応した透過Ｘ線量の測定値によって被検部の厚さを算出し、被検部の厚さが所望の範囲内にあるか否かを判定することを特徴としている。 In order to achieve the above object, the method for inspecting a thickness of a subject of the present invention irradiates a subject portion of a subject with X-rays, detects a transmitted X-ray dose that has passed through the subject, The thickness of the test part is calculated from the measured value of the transmitted X-ray dose corresponding to the above, and it is determined whether or not the thickness of the test part is within a desired range.

本発明の被検部厚の検査方法は、好ましくは、前記透過Ｘ線量の測定値として、被検部を透過したＸ線の輝度を利用する。
本発明の被検部厚の検査方法は、前記透過Ｘ線の輝度の測定値をｘとして、被検部の残厚ｚを、１次関数ｚ＝ａｘ＋ｂ（但し、ａはＸ線を照射する物質に固有の係数であり、ｂは物質固有の定数である）から算出することが望ましい。 In the method for inspecting the thickness of the test part of the present invention, preferably, the brightness of the X-ray transmitted through the test part is used as the measurement value of the transmitted X-ray dose.
In the method for inspecting the thickness of the test part according to the present invention, the measurement value of the transmitted X-ray brightness is x, and the remaining thickness z of the test part is a linear function z = ax + b (where a is irradiated with X-rays). It is desirable to calculate from a coefficient specific to the substance, and b is a constant specific to the substance.

上記目的を達成するために、本発明の被検部厚の検査方法は、被検体を移送しつつ該被検体の被検部に対してＸ線を照射する第１工程と、被検部を透過したＸ線をＸ線ラインセンサによって検出する第２工程と、この検出結果から被検部を透過したＸ線量の輝度を求める第３工程と、Ｘ線量の輝度に基づいて被検部の厚さを算出して該被検部の厚さが所望の範囲内にあるか否かを判定する第４工程と、を含むことを特徴としている。 In order to achieve the above object, a method for inspecting a thickness of a test part according to the present invention includes a first step of irradiating a test part of the subject with X-rays while transferring the test object, A second step of detecting the transmitted X-rays by the X-ray line sensor, a third step of obtaining the luminance of the X-ray dose transmitted through the test portion from the detection result, and the thickness of the test portion based on the luminance of the X-ray dose And a fourth step of determining whether or not the thickness of the test portion is within a desired range.

上記目的を達成するために、本発明の被検部厚の検査装置は、被検体に対して照射するＸ線を放射するためのＸ線源と、被検体にＸ線を照射するための検査空間を存してＸ線源に相対して配設されるＸ線の輝度を計測するためのＸ線輝度計測装置と、被検体を検査空間内で所定の速度で通過させるための移送手段と、移送手段，Ｘ線輝度計測装置及びＸ線源を制御すると共に、計測されたＸ線の輝度から被検部の厚さを算出して該被検部の厚さが所望の範囲内にあるか否かを判定する制御装置と、を備えたことを特徴としている。
本発明の被検部厚の検査装置は、好ましくは、Ｘ線の輝度をｘとして、被検部の残厚ｚを、１次関数ｚ＝ａｘ＋ｂ（但し、ａはＸ線を照射する物質に固有の係数であり、ｂは物質固有の定数である）から算出する。 In order to achieve the above object, an inspection apparatus for a thickness of an inspection part according to the present invention includes an X-ray source for emitting X-rays to be irradiated on a subject, and an inspection for irradiating the subject with X-rays. An X-ray luminance measuring device for measuring the luminance of X-rays disposed relative to the X-ray source in a space, and a transfer means for passing the subject at a predetermined speed in the examination space; The transfer means, the X-ray luminance measuring device and the X-ray source are controlled, and the thickness of the test part is calculated from the measured X-ray brightness and the thickness of the test part is within a desired range. And a control device for determining whether or not.
In the inspection apparatus for the thickness of the test part according to the present invention, preferably, the X-ray luminance is x, and the remaining thickness z of the test part is a linear function z = ax + b (where a is a substance that irradiates X-rays). It is a specific coefficient, and b is a constant specific to the substance).

本発明によれば、第１に、Ｘ線の透過特性を利用することによって、被検部が可視光線を透過させ難い場合にも高精度な残厚計測結果を得ることができるという効果がある。 According to the present invention, first, by utilizing the X-ray transmission characteristic, there is an effect that a highly accurate remaining thickness measurement result can be obtained even when the test portion is difficult to transmit visible light. .

第２に、連続的にＸ線を放射しつつ被検体を移送手段を用いて、検査空間内を連続的に通過させるように構成したことによって、被検部を連続的或いは断続的に検査することができるという効果がある。これによって、合成樹脂製のインストルメントパネルに、断続的に形成された一連の溝状部全体に渡る連続的な残厚計測結果を得ることができるという効果がある。また更に、連続的に計測できることによって、被検部に対して断続的に形成された溝状部の形成ピッチを確認することもできるという効果がある。 Secondly, the test part is continuously or intermittently inspected by continuously passing X-rays through the examination space using the transfer means. There is an effect that can be. As a result, there is an effect that a continuous residual thickness measurement result can be obtained over the entire series of grooves formed intermittently on the instrument panel made of synthetic resin. Furthermore, since the measurement can be performed continuously, there is an effect that the formation pitch of the groove-like portion formed intermittently with respect to the test portion can be confirmed.

第３に、検査空間をＸ線遮蔽性を有するＸ線遮蔽手段で覆うことによって、単純な構成でありながら、安全性高く残厚計測或いは溝状部のピッチ計測を行なうことができるという効果がある。 Thirdly, by covering the inspection space with X-ray shielding means having X-ray shielding properties, there is an effect that the remaining thickness measurement or the groove-shaped pitch measurement can be performed with high safety while having a simple configuration. is there.

以下、本発明の好ましい実施の形態を図面を参照しながら詳細に説明する。
図１は本発明の実施形態に係る被検部厚の検査装置１の構成を示す図である。図２は本発明の実施形態に係る検査装置１によって検品される被検体６の断面図である。図３は図１に示した検査装置１の制御及び動作に関するフローチャートの一実施形態を示したものである。 Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
FIG. 1 is a diagram showing a configuration of a test portion thickness inspection apparatus 1 according to an embodiment of the present invention. FIG. 2 is a cross-sectional view of the subject 6 to be inspected by the inspection apparatus 1 according to the embodiment of the present invention. FIG. 3 shows an embodiment of a flowchart relating to control and operation of the inspection apparatus 1 shown in FIG.

図１に示すように、被検部厚の検査装置１は、Ｘ線源２と、このＸ線源２から放射されるＸ線３を適当に絞るためのスリット４と、このスリット４を通過して直進してきたＸ線３を検出するためのＸ線ラインセンサ５と、Ｘ線３の経路上に被検体６を通過させるためのコンベヤ７と、Ｘ線源２とＸ線ラインセンサ５の間に被検体６を通過させつつ被検体６に対してＸ線３を照射するための検査空間８と、この検査空間８を囲繞するＸ線遮蔽箱９と、Ｘ線源２，Ｘ線ラインセンサ５及びコンベヤ７を制御し且つＸ線ラインセンサ５によって検出された透過Ｘ線輝度に基づいて被検部１０の残厚ｚ’と溝状部１１のピッチｐの正否の判定を自在に行なうことができるコンピュータ１２を備えている。 As shown in FIG. 1, an inspection apparatus 1 for a thickness of an object to be inspected passes through an X-ray source 2, a slit 4 for appropriately focusing the X-ray 3 emitted from the X-ray source 2, and the slit 4 The X-ray line sensor 5 for detecting the X-ray 3 that has traveled straight, the conveyor 7 for passing the subject 6 on the path of the X-ray 3, the X-ray source 2, and the X-ray line sensor 5 An examination space 8 for irradiating the subject 6 with X-rays 3 while passing the subject 6 therebetween, an X-ray shielding box 9 surrounding the examination space 8, an X-ray source 2 and an X-ray line The sensor 5 and the conveyor 7 are controlled, and whether the remaining thickness z ′ of the test portion 10 and the pitch p of the groove-shaped portion 11 are correct or not is freely determined based on the transmitted X-ray luminance detected by the X-ray line sensor 5. A computer 12 is provided.

Ｘ線源２は、コンピュータ１２によってオン／オフのタイミングが制御される。オンの状態においては、所定の方向に向けて、Ｘ線３が連続的に放射される。放射されるＸ線３は、被検体６の最大厚部分を透過させた場合に、その透過Ｘ線３の輝度が適当な値となる程度まで低減したエネルギーレベルのものを用いることができる。
スリット４は、Ｘ線源２から放射されるＸ線３を適当に絞るためのものである。勿論、このスリット４は、予めＸ線源２に内蔵してもよい。 The on / off timing of the X-ray source 2 is controlled by the computer 12. In the on state, X-rays 3 are continuously emitted in a predetermined direction. The radiated X-ray 3 can be of an energy level that is reduced to such an extent that the luminance of the transmitted X-ray 3 becomes an appropriate value when the maximum thickness portion of the subject 6 is transmitted.
The slit 4 is for appropriately narrowing down the X-ray 3 emitted from the X-ray source 2. Of course, the slit 4 may be built in the X-ray source 2 in advance.

Ｘ線ラインセンサ５は、スリット４によって絞り込まれたＸ線３の進行方向前方に、Ｘ線源２に相対して配設される。この配設位置は、コンベヤ７の無端帯における被検体６を載置する側の帯部１３ａとその逆側の帯部１３ｂとの間の位置である。このような配置にすることによって、被検体６に向けて放射されるＸ線３が、Ｘ線ラインセンサ５に届くまでに、なるべく被検体６以外の物質を透過しないように構成し、エネルギーロスや被爆部の減少をはかることができる。Ｘ線ラインセンサ５には、従来公知のものを用いることができる。 The X-ray line sensor 5 is disposed in front of the X-ray source 2 in the traveling direction of the X-ray 3 narrowed down by the slit 4. This arrangement position is a position between the band 13a on the side where the subject 6 is placed in the endless band of the conveyor 7 and the band 13b on the opposite side. With this arrangement, the X-ray 3 radiated toward the subject 6 is configured so as not to transmit a substance other than the subject 6 as much as possible before reaching the X-ray line sensor 5, and energy loss. And the number of exposed parts can be reduced. A conventionally known X-ray line sensor 5 can be used.

コンベヤ７は、Ｘ線３を透過させ得るほぼ均質な材質から成る所定の幅の帯の両端を結合した円環状の無端帯１４を有する。さらに、コンベヤ７は、無端帯１４の内周面に密着して無端帯１４を回転させる一対のローラ１５を有する。ローラ１５の動作（その回動のタイミングや回動速度）の制御は、前記コンピュータ１２によってなされるようになっている。 The conveyor 7 has an annular endless band 14 in which both ends of a band having a predetermined width made of a substantially homogeneous material capable of transmitting X-rays 3 are joined. Further, the conveyor 7 has a pair of rollers 15 that are in close contact with the inner peripheral surface of the endless belt 14 and rotate the endless belt 14. The operation of the roller 15 (the timing and speed of its rotation) is controlled by the computer 12.

検査空間８は、スリット４と、コンベヤ７の無端帯１４における上側の帯部１３ａとの間に、該帯部１３ａに載置された被検体６を通過させ得る適当な大きさの空間として画成されている。被検体６は、この検査空間８内を通過する際にＸ線３が照射されるように構成される。 The examination space 8 is defined as a space of an appropriate size that allows the subject 6 placed on the band 13a to pass between the slit 4 and the upper band 13a of the endless band 14 of the conveyor 7. It is made. The subject 6 is configured to be irradiated with X-rays 3 when passing through the examination space 8.

Ｘ線遮蔽箱９は、Ｘ線遮蔽性を有する鉛などの素材から成っていて、検査空間８全体及びこの直下に位置するコンベヤ７及びスリット４、Ｘ線源２、Ｘ線ラインセンサ５全体を囲繞するように箱状に形成されている。 The X-ray shielding box 9 is made of a material such as lead having X-ray shielding properties, and includes the entire inspection space 8 and the conveyor 7 and slit 4, the X-ray source 2, and the entire X-ray line sensor 5 positioned immediately below the inspection space 8. It is formed in a box shape to surround.

コンピュータ１２は、Ｘ線源２及びＸ線ラインセンサ５及びコンベヤ７を制御するように構成される。また、このコンピュータ１２は、Ｘ線ラインセンサ５によって検出された透過Ｘ線輝度に基づいて、被検部１０の残厚ｚ’と溝状部１１のピッチｐの正否の判定を所定の判定基準に基づいて自在に行なうことができるように構成される。 The computer 12 is configured to control the X-ray source 2, the X-ray line sensor 5 and the conveyor 7. Further, the computer 12 determines whether the remaining thickness z ′ of the test portion 10 and the pitch p of the groove-shaped portion 11 are correct based on the transmitted X-ray luminance detected by the X-ray line sensor 5. It can be performed freely based on the above.

被検体６は、合成樹脂製で図２に示すように、所定のピッチｐで断続的に形成されたほぼ一定の長さＬを有する複数の溝状部１１を有している。被検部１０は、前記被検体６に形成された一連の溝状部１１全体に渡るものである。 The subject 6 is made of synthetic resin and has a plurality of groove-like portions 11 having a substantially constant length L formed intermittently at a predetermined pitch p, as shown in FIG. The test part 10 extends over the entire series of groove-like parts 11 formed in the subject 6.

以上のように構成された被検部厚の検査装置１の動作手順の一例を図３に示すフローチャートを用いて説明する。
図３に示すように、先ず、ステップＳ１において被検部厚の検査装置１全体が起動し、コンベヤ７の始端部１６に被検体６が存在するか否かが判断される（ステップＳ２）。始端部１６に被検体６が存在する場合、ステップＳ３にてコンベヤ７がコンピュータ１２によって起動され、コンベヤ７が回動して始端部１６上の被検体６をＸ線遮蔽箱９内の検査空間８へ向けて移送する。ステップＳ４にて、移送された被検体６が、検査空間８の検査位置に存在することが確認される。その存在が確認された場合、ステップＳ５においてコンピュータ１２によってＸ線源２が始動してＸ線３が被検体６に向けて照射される。このＸ線３照射の開始とほぼ同時に、コンピュータ１２によってＸ線ラインセンサ５が起動され（ステップＳ６）、被検体６を透過したＸ線３の検出が開始される。なお、Ｘ線３の照射中も被検体６は、コンベヤ７の始端部１６から始端部１７に向かって所定の速度で移送され続ける。 An example of the operation procedure of the inspection portion thickness inspection apparatus 1 configured as described above will be described with reference to the flowchart shown in FIG.
As shown in FIG. 3, first, in step S1, the entire inspection device thickness inspection apparatus 1 is activated, and it is determined whether or not the subject 6 is present at the starting end 16 of the conveyor 7 (step S2). If the subject 6 is present at the start end 16, the conveyor 7 is activated by the computer 12 in step S 3, and the conveyor 7 rotates to place the subject 6 on the start end 16 in the examination space inside the X-ray shielding box 9. Transfer to 8 In step S 4, it is confirmed that the transferred subject 6 exists at the examination position in the examination space 8. When the presence is confirmed, the X-ray source 2 is started by the computer 12 in step S5, and the subject 6 is irradiated with the X-ray 3. Almost simultaneously with the start of the X-ray 3 irradiation, the X-ray line sensor 5 is activated by the computer 12 (step S6), and detection of the X-ray 3 transmitted through the subject 6 is started. Note that the subject 6 continues to be transferred from the start end 16 of the conveyor 7 toward the start end 17 at a predetermined speed even during irradiation with the X-ray 3.

このようにして、被検体６の被検部１０全体に渡ってその各部位を透過した一連の透過Ｘ線の輝度値のデータを得て、被検部１０の位置データｘとそれに対応した輝度値データｙからなるデータ（ｘ，ｙ）をコンピュータ１２に随時集積する。このデータ（ｘ，ｙ）と同時に、Ｘ線ラインセンサ５による透過Ｘ線の撮像画像１８を得る（ステップＳ７）。このようにして得た撮像画像１８の一例を示したのが図４（Ａ）である。 In this way, a series of transmitted X-ray brightness value data transmitted through each part of the subject 6 over the entire test part 10 is obtained, and the position data x of the test part 10 and the corresponding brightness are obtained. Data (x, y) consisting of value data y is accumulated in the computer 12 as needed. Simultaneously with this data (x, y), an image 18 of transmitted X-rays obtained by the X-ray line sensor 5 is obtained (step S7). An example of the captured image 18 obtained in this way is shown in FIG.

次いで、ステップＳ８においてＸ線遮蔽箱９内からコンベヤ７の始端部１７に向かって被検体６が搬出され、該Ｘ線遮蔽箱９内に被検体６が存在しないことが確認される。Ｘ線遮蔽箱９内に被検体６が存在しないことが確認された場合、撮像画像１８の取得及びデータ（ｘ、ｙ）の取得が終了され（ステップＳ９）、同時にＸ線３の照射及びＸ線ラインセンサ５によるＸ線３の検出も終了される（ステップＳ１０，Ｓ１１）。 Next, in step S 8, the subject 6 is carried out from the X-ray shielding box 9 toward the start end portion 17 of the conveyor 7, and it is confirmed that the subject 6 does not exist in the X-ray shielding box 9. When it is confirmed that the subject 6 does not exist in the X-ray shielding box 9, the acquisition of the captured image 18 and the acquisition of the data (x, y) are finished (Step S9), and the irradiation of the X-ray 3 and the X are simultaneously performed. The detection of the X-ray 3 by the line line sensor 5 is also ended (steps S10 and S11).

その後、ステップＳ１２では、取得された撮像画像１８の処理が行なわれる。この処理の際に、データ（ｘ，ｙ）を関数ｙ（ｘ）に対応させ、横に位置データｘの軸を、縦に輝度値データｙの軸をとった直交ｘ−ｙ座標に各データをプロットし、前記撮像画像１８に対応させたグラフＡを作成する。このグラフＡの一例を示したのが図４（Ｂ）である。 Thereafter, in step S12, the acquired captured image 18 is processed. In this processing, the data (x, y) is made to correspond to the function y (x), each data is set to orthogonal xy coordinates with the axis of the position data x being horizontally and the axis of the luminance value data y being vertically. Is plotted, and a graph A corresponding to the captured image 18 is created. An example of this graph A is shown in FIG.

この結果に基づいて、被検部厚を視覚化して画像出力する。ただし、この被検部厚ｚの可視化の処理の際に、関数データｙ（ｘ）に所定の演算処理を施して、被検部１０の位置ｘと被検部厚ｚとを対応させてもよい。これは、後述の実施例１に示す輝度値ｙと被検部厚ｚとの相関性に基づいて対応させるものである。つまり、被検部厚ｚと輝度値ｙとの間に、解析的関数ｚ（ｙ）が成り立つことを前提としている。関数ｚ（ｙ）＝ｚ（ｙ（ｘ））であるから、被検部１０の位置ｘと被検部厚ｚとの対応関係が成り立ち、前記図４（Ｂ）のグラフＡの縦軸を被検部厚ｚに変換することができる。 Based on this result, the thickness of the test part is visualized and output as an image. However, in the process of visualizing the test portion thickness z, the function data y (x) may be subjected to a predetermined calculation process to associate the position x of the test portion 10 with the test portion thickness z. Good. This is made to correspond on the basis of the correlation between the luminance value y and the thickness to be detected z shown in Example 1 described later. That is, it is assumed that an analytical function z (y) is established between the thickness z to be examined and the luminance value y. Since the function z (y) = z (y (x)), the correspondence relationship between the position x of the test portion 10 and the test portion thickness z is established, and the vertical axis of the graph A in FIG. It is possible to convert the thickness to the test part thickness z.

ステップＳ１３及びＳ１４では、ｘ−ｚ座標上において、適当な数値処理或いは画像処理を施し、被検部１０の残厚ｚ’と各溝状部１１の長さＬや各溝状部１１間のピッチｐが適正な範囲内にあるかを判断する。このような処理判断は、勿論、ｚ（ｙ）によってｘ−ｙ座標上においても行なうことができる。 In steps S13 and S14, appropriate numerical processing or image processing is performed on the xz coordinate so that the remaining thickness z ′ of the test portion 10 and the length L of each groove 11 or between each groove 11 It is determined whether the pitch p is within an appropriate range. Such processing determination can of course be performed on the xy coordinates by z (y).

被検部１０の残厚ｚ’の判定は、例えば実施例１に示すように、透過Ｘ線３の輝度値ｙと被検部厚ｚとの間に一次関数ｚ＝ｚ（ｙ）＝ａｙ＋ｂという関係が成り立つ場合、次のように行なう。被検体６の材質によって固有の値ａ及びｂを予め決定しておく。各被検部１０の輝度値ｙを順次ａｙ＋ｂに代入して演算を行なって各被検部厚ｚを算出する。被検部の厚さが薄い程、透過Ｘ線量が大きく、逆に透過Ｘ線量が大きい程、被検部１０の厚さが薄いことになる。これは、透過Ｘ線量に対する被検部１０の断面形状による影響が、被検部１０の厚さ若しくは残厚ｚ’の違いによる影響に比べて十分に小さいという実験事実に基づくものである。算出された被検部厚ｚの値が最大となる箇所は、被検部１０における隣接する溝状部１１間の部位に相当し、それに比べて被検部厚が適当に小さな値となる箇所が溝状部１１の残厚を示している。この残厚ｚ’が十分に小さくない場合、或いは小さ過ぎる場合などのように、被検部厚ｚが適正な範囲外にある場合には、不良と判断し、被検部残厚の検査結果としてＮＧを出力する（ステップＳ１５）。 For example, as shown in the first embodiment, the remaining thickness z ′ of the test portion 10 is determined by a linear function z = z (y) = ay + b between the luminance value y of the transmitted X-ray 3 and the test portion thickness z. If the above relationship holds, the following is performed. Specific values a and b are determined in advance depending on the material of the subject 6. The luminance value y of each test part 10 is sequentially substituted into ay + b and calculation is performed to calculate each test part thickness z. The thinner the thickness of the test portion, the larger the transmitted X-ray dose. Conversely, the greater the transmitted X-ray dose, the thinner the test portion 10 is. This is based on the experimental fact that the influence of the cross-sectional shape of the test part 10 on the transmitted X-ray dose is sufficiently smaller than the effect of the difference in the thickness of the test part 10 or the remaining thickness z ′. The location where the calculated value of the test portion thickness z is the maximum corresponds to the portion between the adjacent groove-like portions 11 in the test portion 10, and the location where the test portion thickness is appropriately small compared to it. Indicates the remaining thickness of the groove 11. When the remaining thickness z ′ is not sufficiently small or too small, for example, when the thickness z to be detected is out of the proper range, it is determined as defective and the inspection result of the remaining thickness to be tested Is output as NG (step S15).

各溝状部１１の長さＬの判定は、ｘ−ｚ座標におけるグラフＢ（図示せず）の各凹状に落した部分（凹落部という）の幅を算出することによってなされる。勿論この長さが短いことは、被検部１０における溝状部１１の長さＬが短いことに対応するのであり、この長さＬが短過ぎたり、長過ぎた場合には被検部１０の溝状部１１の長さＬの検査結果としてＮＧを出力する（ステップＳ１５）。 The determination of the length L of each groove-like part 11 is made by calculating the width of a concave part (referred to as a concave part) of the graph B (not shown) in the xz coordinate. Of course, this short length corresponds to the short length L of the groove-like portion 11 in the test portion 10, and if this length L is too short or too long, the test portion 10 NG is output as the inspection result of the length L of the groove-shaped portion 11 (step S15).

各溝状部１１間のピッチｐの判定は、ｘ−ｚ座標におけるグラフＢの隣接した凹落部間の幅を算出することによってなされる。この間隔が短いことは、被検部１０における隣接した溝状部１１間の間隔が小さいことに対応し、この間隔が小さ過ぎたり、大き過ぎた場合には被検部１０の溝状部１１のピッチｐの検査結果としてＮＧを出力する。 Determination of the pitch p between each groove-shaped part 11 is made by calculating the width | variety between the adjacent recessed parts of the graph B in xz coordinate. The short interval corresponds to a small interval between adjacent groove portions 11 in the test portion 10, and when this interval is too small or too large, the groove portion 11 of the test portion 10. NG is output as the inspection result of the pitch p.

被検部の輝度値ｙとその部位の被検部厚ｚとの相関性を調べるため、以下のような実験を行なった。図５に示すように、ほぼ均質の合成樹脂製のシートの面上に、平面形状が長円形の凹落部１９を４つ併設し、それらの底部２０の厚さを０．３ｍｍ、０．４ｍｍ、０．５ｍｍ、０．６ｍｍと順次厚く残して構成したもの（図６参照）を被検体試料２１とした。この被検体試料２１を上記実施の形態において説明した被検部厚の検査装置１を用いて、この被検体試料２１各部の輝度値を測定した。図５に示すような試料のＸ線３による透過画像を取得し、測定の結果取得したデータから前記底部２０の基準厚さの部分の輝度値ｙの平均値を取得する。ただし、底部２０の平均輝度値ｙ’は、図５における斜線枠Ｗに示した範囲内のものである。その取得した平均輝度値ｙ’とその部位の被検部厚ｚのデータを、ｙ−ｚ座標にプロットしてそのグラフＣの近似式を導出する。 In order to examine the correlation between the luminance value y of the test part and the test part thickness z of the part, the following experiment was performed. As shown in FIG. 5, four concave portions 19 having an oval planar shape are provided on the surface of a substantially homogeneous synthetic resin sheet, and the thickness of the bottom portion 20 is 0.3 mm, 0. The specimen 21 was formed by sequentially leaving a thickness of 4 mm, 0.5 mm, and 0.6 mm (see FIG. 6). The luminance value of each part of the specimen 21 was measured using the specimen thickness inspection apparatus 1 described in the above embodiment. A transmission image of the sample by X-ray 3 as shown in FIG. 5 is acquired, and an average value of luminance values y of the reference thickness portion of the bottom 20 is acquired from the data acquired as a result of the measurement. However, the average luminance value y ′ of the bottom portion 20 is within the range indicated by the hatched frame W in FIG. The obtained average luminance value y ′ and data of the thickness to be examined z of the part are plotted on the yz coordinates, and an approximate expression of the graph C is derived.

このようにして得た実験結果を基にして作成したグラフＣを図７に示す。ただし、本実施例に示す実験は、被検体試料２１の合成樹脂材料として顔料濃度が２％のポリプロピレンを用いたものである。図７に示すグラフＣに基づいて求めた近似式は、被検部１０の平均輝度値をｙ’、その部位の被検部厚をｚとして、ｚ＝−０．００２３ｙ’＋７．０４５である。つまりこの近似式を用いて、実際の被検体６を上記被検部厚の検査装置１によって検査して得た平均輝度値ｙ’を近似式に代入すれば、平均の残厚ｚ’を計測できる。 FIG. 7 shows a graph C created based on the experimental results thus obtained. However, the experiment shown in the present example uses polypropylene having a pigment concentration of 2% as the synthetic resin material of the specimen 21. The approximate expression calculated based on the graph C shown in FIG. 7 is z = −0.0023y ′ + 7.045, where y ′ is the average luminance value of the test part 10 and z is the thickness of the test part at that part. . That is, using this approximate expression, if the average luminance value y ′ obtained by inspecting the actual subject 6 by the inspection apparatus 1 for the thickness of the test part is substituted into the approximate expression, the average remaining thickness z ′ is measured. it can.

本発明の実施形態に係る被検部厚の検査装置の構成を示す図である。It is a figure which shows the structure of the test | inspection apparatus of the to-be-tested part thickness which concerns on embodiment of this invention. 図１の検査装置によって検品される被検体の断面図である。FIG. 2 is a cross-sectional view of a subject to be inspected by the inspection apparatus of FIG. 1. 図１の検査装置の制御及び動作の一例を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows an example of control and operation | movement of the inspection apparatus of FIG. （Ａ）は図１の検査装置による被検体の透過画像を示す図であり、（Ｂ）は透過画像に対応させてｘ−ｙ座標に測定データをプロットしてなるグラフである。(A) is a figure which shows the permeation | transmission image of the subject by the test | inspection apparatus of FIG. 1, (B) is a graph formed by plotting measurement data on an xy coordinate corresponding to a permeation | transmission image. 図１の検査装置による被検体試料を示す図である。It is a figure which shows the subject sample by the test | inspection apparatus of FIG. 図５に示す被検体試料のＡ−Ａ断面図である。FIG. 6 is a cross-sectional view taken along the line AA of the subject sample shown in FIG. 5. 図５の被検体試料の実測した平均輝度値ｙ’とその部位の被検部厚ｚのデータを、ｙ−ｚ座標にプロットして得たグラフである。FIG. 6 is a graph obtained by plotting the measured average luminance value y ′ of the subject sample of FIG. 5 and the data of the thickness of the portion to be examined z on the yz coordinates. 従来の被検部厚の検査装置の模式図である。It is a schematic diagram of a conventional inspection apparatus for the thickness of a test part. 被検体の斜視図である。It is a perspective view of a subject. （Ａ）〜（Ｆ）は、被検体のインビジブル加工部の断面を示す図である。(A)-(F) are figures which show the cross section of the invisible process part of a test object. （Ａ）及び（Ｂ）は従来の検査装置に関する透過光量と被検部の位置との関係のグラフである。(A) And (B) is a graph of the relationship between the transmitted light amount regarding the conventional inspection apparatus, and the position of a to-be-tested part.

符号の説明Explanation of symbols

１被検部厚の検査装置
２Ｘ線源
３Ｘ線
４スリット
５Ｘ線ラインセンサ
６被検体
７コンベヤ
８検査空間
９Ｘ線遮蔽箱
１０被検部
１１溝状部
１２コンピュータ
１３ａ帯
１３ｂ帯
１４無端帯
１５ローラ
１６始端部
１７終端部
１８撮像画像
１９凹落部
２０底部
２１被検体試料
ｚ’ 残厚
Ｌ溝状部の長さ
ｐピッチ
Ｗ斜線枠
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Inspection part thickness inspection apparatus 2 X-ray source 3 X-ray 4 Slit 5 X-ray line sensor 6 Subject 7 Conveyor 8 Inspection space 9 X-ray shielding box 10 Test part 11 Groove part 12 Computer 13a Band 13b Band 14 Endless belt 15 Roller 16 Start portion 17 End portion 18 Captured image 19 Recessed portion 20 Bottom portion 21 Sample to be measured z 'Remaining thickness L Length of groove portion p Pitch W Diagonal frame

Claims

被検体の被検部にＸ線を照射し、該被検体を透過した透過Ｘ線量を検出し、各被検部に対応した透過Ｘ線量の測定値によって被検部の厚さを算出し、該被検部の厚さが所望の範囲内にあるか否かを判定することを特徴とする、被検部厚の検査方法。 Irradiating the test part of the subject with X-rays, detecting the transmitted X-ray dose transmitted through the subject, and calculating the thickness of the test part from the measured value of the transmitted X-ray dose corresponding to each test part; A method for inspecting a thickness of a test part, comprising determining whether or not the thickness of the test part is within a desired range.

前記透過Ｘ線量の測定値として、前記被検部を透過したＸ線の輝度を利用することを特徴とする、請求項１に記載の被検部厚の検査方法。 The inspection part thickness inspection method according to claim 1, wherein the measurement value of the transmitted X-ray dose uses the luminance of X-rays transmitted through the inspection part.

前記透過Ｘ線の輝度の測定値をｘとして、被検部の残厚ｚを、１次関数ｚ＝ａｘ＋ｂ（但し、ａはＸ線を照射する物質に固有の係数であり、ｂは物質固有の定数である）から算出することを特徴とする、請求項２に記載の被検部厚の検査方法。 The measured value of the transmitted X-ray luminance is x, and the remaining thickness z of the test part is a linear function z = ax + b (where a is a coefficient specific to the substance that irradiates X-rays, and b is specific to the substance. The method for inspecting the thickness of the test part according to claim 2, wherein

被検体を移送しつつ該被検体の被検部に対してＸ線を照射する第１工程と、上記被検部を透過したＸ線をＸ線ラインセンサによって検出する第２工程と、この検出結果から上記被検部を透過したＸ線量の輝度を求める第３工程と、上記Ｘ線量の輝度に基づいて上記被検部の厚さを算出して該被検部の厚さが所望の範囲内にあるか否かを判定する第４工程とを含むことを特徴とする、被検部厚の検査方法。 A first step of irradiating the test portion of the subject with X-rays while transporting the subject, a second step of detecting X-rays transmitted through the test portion by an X-ray line sensor, and this detection A third step for obtaining the luminance of the X-ray dose transmitted through the test portion from the result, and calculating the thickness of the test portion based on the luminance of the X-ray dose, so that the thickness of the test portion is in a desired range And a fourth step of determining whether or not it is within the inspection portion thickness inspection method.

前記被検部がミシン目状の溝状部であることを特徴とする、請求項１乃至４の何れかに記載の被検部厚の検査方法。 5. The method for inspecting a thickness of a test part according to claim 1, wherein the test part is a perforated groove-like part.

被検体に対して照射するＸ線を放射するためのＸ線源と、上記被検体にＸ線を照射するための検査空間を存して上記Ｘ線源に相対して配設されるＸ線の輝度を計測するためのＸ線輝度計測装置と、上記被検体を上記検査空間内で所定の速度で通過させるための移送手段と、上記移送手段，上記Ｘ線輝度計測装置及び上記Ｘ線源を制御すると共に、計測されたＸ線の輝度から被検部の厚さを算出して該被検部の厚さが所望の範囲内にあるか否かを判定する制御装置とを備えたことを特徴とする、被検部厚の検査装置。 An X-ray source for irradiating the subject with X-rays and an X-ray disposed relative to the X-ray source with an examination space for irradiating the subject with X-rays X-ray luminance measuring apparatus for measuring the luminance of the apparatus, transport means for passing the subject through the examination space at a predetermined speed, the transport means, the X-ray brightness measuring apparatus, and the X-ray source And a control device that calculates the thickness of the test portion from the measured X-ray luminance and determines whether the thickness of the test portion is within a desired range. A device for inspecting the thickness of a portion to be examined.

前記Ｘ線の輝度をｘとして、被検部の残厚ｚを、１次関数ｚ＝ａｘ＋ｂ（但し、ａはＸ線を照射する物質に固有の係数であり、ｂは物質固有の定数である）から算出することを特徴とする、請求項６に記載の被検部厚の検査装置。
X is the luminance of the X-ray, and the remaining thickness z of the test part is a linear function z = ax + b (where a is a coefficient specific to the substance that irradiates X-rays, and b is a constant specific to the substance. 7. The inspection apparatus for the thickness of the test part according to claim 6, wherein