JP2007190507A - Ejection method, method for manufacturing color filter, method for manufacturing organic electroluminescent device, method for manufacturing electro-optical apparatus, and electronic equipment - Google Patents

Ejection method, method for manufacturing color filter, method for manufacturing organic electroluminescent device, method for manufacturing electro-optical apparatus, and electronic equipment Download PDF

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久 有賀
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an ejection method which enables an ejection of a liquid material with a decreased unevenness of ejection, a method for manufacturing a color filter using the ejection method, a method for manufacturing an organic electroluminescent device, a method for manufacturing an electro-optical apparatus, and an electronic equipment. <P>SOLUTION: The ejection method for ejecting a liquid material according to the present invention enables a disposition of two arrays 22a, 22b of nozzles parallel to a longitudinal direction (X direction) of a film forming area A. A first ejection step is carried out by a nozzle b2 located closest, as viewed from the main scanning direction (Y direction), to the center of the film forming area A selected from a plurality of nozzles a1, a2, b1, b2, and b3 that are passing through the film forming area A, causing the nozzle b2 to eject the liquid material in a form of a droplet L into the film forming area A. Subsequently, a second ejection step is carried out by the plurality of nozzles a1, a2, b1, and b3 other than the nozzle b2 which eject a plurality of droplets L into the film forming area A. The first ejection step may be carried out in such a manner that each one of the different nozzles individually ejects a droplet or droplets L into film forming areas A11, A12, and A13. <P>COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Description

本発明は、流動性を有する液状体の吐出方法、液滴吐出法を用いたカラーフィルタの製造方法、有機ＥＬ発光素子の製造方法、電気光学装置の製造方法、電子機器に関する。   The present invention relates to a method for discharging a fluid having fluidity, a method for manufacturing a color filter using a droplet discharge method, a method for manufacturing an organic EL light emitting element, a method for manufacturing an electro-optical device, and an electronic apparatus.

流動性を有する液状体の吐出方法として、色要素となるべき複数の区画が形成された基体と、液滴を吐出する複数のノズルを有する液滴吐出手段とを相対的に移動させ、色要素形成用の液状材料をノズルから液滴として吐出して区画に付与する吐出走査を複数回行う液滴付与方法が知られている（特許文献１）。   As a method for discharging a fluid having fluidity, a color element is formed by relatively moving a substrate on which a plurality of sections to be color elements are formed and a droplet discharge means having a plurality of nozzles for discharging droplets. There is known a droplet applying method in which a liquid material for formation is discharged as droplets from a nozzle and applied to a section for a plurality of ejection scans (Patent Document 1).

上記液滴付与方法は、複数のノズルからなるノズル列を区画の長軸方向に沿うように液滴吐出手段と基体とを配置する。そして、１つの区画につき長軸方向に間隔を置いて互いに重ならないように異なるノズルから液滴を付与する。次に同一の区画の長軸方向において先に着弾した液滴の間に着弾するように再び液滴を付与する。これにより、色要素が比較的大きい場合であっても、容易に形成が可能であるとしている。   In the droplet application method, the droplet discharge means and the substrate are arranged so that a nozzle row composed of a plurality of nozzles is along the major axis direction of the partition. Then, droplets are applied from different nozzles so as not to overlap each other at intervals in the major axis direction for each section. Next, the liquid droplets are applied again so as to land between the liquid droplets that have landed first in the major axis direction of the same section. Thereby, even if the color element is relatively large, it can be easily formed.

特開２００５−２１８９１８号公報 頁４Japanese Patent Laying-Open No. 2005-218918, page 4

上記液滴付与方法は、色要素を形成する区画の長軸方向にノズル列が沿うように液滴吐出手段と基体とを配置して、複数のノズルから液状体を区画に向けて吐出する所謂横描画と呼ばれる方法である。このような横描画は、ノズル列を有効に用いて描画することが可能であるが、液状体が吐出される各区画ごとに掛かるノズルの位置は、該長軸方向において必ずしも一定にならない。したがって、上記液滴付与方法を用いて液滴を付与しても、先に着弾した液滴の濡れ広がり方が各区画ごとに異なるという課題があった。また、同様に各区画に掛かるノズルの数も必ずしも一定にならない。よって、１回の吐出走査で各ノズルからおよそ同量の液状体を吐出しても、各区画ごとに着弾する液状体の吐出量が異なるという課題があった。これらの課題は、結果的に吐出ムラに繋がり、色要素が部分的に形成されない白抜けや色ムラとなるという不具合があった。   In the droplet applying method, the droplet discharge means and the base are arranged so that the nozzle row extends along the long axis direction of the section forming the color element, and the liquid material is discharged from the plurality of nozzles toward the section. This is a method called horizontal drawing. Such horizontal drawing can be performed by effectively using the nozzle row, but the position of the nozzle applied to each section where the liquid material is discharged is not necessarily constant in the major axis direction. Therefore, even when droplets are applied using the above-described droplet applying method, there is a problem that the way in which the droplets that have landed earlier spread out varies from one compartment to another. Similarly, the number of nozzles applied to each section is not necessarily constant. Therefore, even when approximately the same amount of liquid material is discharged from each nozzle in one discharge scan, there is a problem that the discharge amount of the liquid material that lands differs for each section. These problems have the disadvantage that, as a result, discharge unevenness results in white spots and color unevenness in which color elements are not partially formed.

本発明は、上記課題を考慮してなされたものであり、吐出ムラを低減して液状体を付与することが可能な吐出方法、この吐出方法を用いたカラーフィルタの製造方法、有機ＥＬ発光素子の製造方法、電気光学装置の製造方法、電子機器を提供することを目的とする。   The present invention has been made in consideration of the above problems, and a discharge method capable of reducing discharge unevenness and applying a liquid material, a method for manufacturing a color filter using this discharge method, and an organic EL light emitting device An object of the present invention is to provide a manufacturing method, an electro-optical device manufacturing method, and an electronic apparatus.

本発明の吐出方法は、複数のノズルを有する液滴吐出手段とワークとを対向させて相対移動させる主走査に同期して、ワーク上の複数の膜形成領域に対して複数のノズルから膜形成材料を含む液状体を吐出する吐出方法であって、各膜形成領域における最初の主走査において掛かる複数のノズルのうちの１つのノズルから各膜形成領域に液状体を液滴として吐出する第１吐出工程と、主走査の方向に対して直交する方向に液滴吐出手段とワークとを相対移動させる副走査と、各膜形成領域に掛かる複数のノズルから各膜形成領域に液状体の液滴を複数吐出する主走査とを行う第２吐出工程とを備えたことを特徴とする。   The discharge method of the present invention forms a film from a plurality of nozzles on a plurality of film formation regions on a work in synchronization with main scanning in which a droplet discharge means having a plurality of nozzles and a work are moved relative to each other. A discharge method for discharging a liquid material containing a material, wherein the liquid material is discharged as droplets from one nozzle among a plurality of nozzles applied in the first main scan in each film formation region to each film formation region. A liquid droplet in each film formation region from a plurality of nozzles applied to each film formation region; a sub-scan in which the droplet discharge means and the workpiece are relatively moved in a direction orthogonal to the main scanning direction; And a second ejection step for performing main scanning for ejecting a plurality of particles.

所定量の液状体を複数回の主走査により各膜形成領域に付与するにあたり、１回の主走査で各膜形成領域ごとに掛かる複数のノズルから液状体を吐出する場合は、各膜形成領域ごとに同一な位置で液滴を着弾させ、且つ同一な吐出量の液状体を付与することは困難である。よって、最初の主走査が行われた状態では吐出ムラが発生し易い。複数回の主走査を行っている間に着弾した液状体が自然乾燥して、後から液状体を付与しても上記吐出ムラを改善することは難しい。この方法によれば、第１吐出工程では、各膜形成領域における最初の主走査において掛かる複数のノズルのうちの１つのノズルから各膜形成領域に液状体を液滴として吐出する。その後、第２吐出工程において各膜形成領域に複数の液滴を吐出する。したがって、第１吐出工程であらかじめ１つのノズルから液滴を吐出してワーク全体にほぼ均一に少量の液状体を付与し、液状体に含まれる溶媒成分の蒸気圧分布をほぼ一定にした状態で、第２吐出工程で膜形成に必要な主たる量の液状体を付与することができる。すなわち、吐出ムラが発生し難い状態で液状体を付与することが可能な吐出方法を提供することができる。   When a predetermined amount of liquid material is applied to each film formation region by a plurality of main scans, each of the film formation regions is to be ejected from a plurality of nozzles applied to each film formation region by a single main scan. It is difficult to land droplets at the same position for each time and to apply a liquid material with the same discharge amount. Accordingly, ejection unevenness is likely to occur when the first main scanning is performed. It is difficult to improve the discharge unevenness even if the liquid that has landed during the multiple times of main scanning is naturally dried and the liquid is applied later. According to this method, in the first ejection step, the liquid material is ejected as droplets from one nozzle among the plurality of nozzles applied in the first main scanning in each film formation region to each film formation region. Thereafter, a plurality of droplets are discharged to each film formation region in the second discharge step. Therefore, in the first discharge step, liquid droplets are discharged from one nozzle in advance to apply a small amount of liquid material almost uniformly to the entire workpiece, and the vapor pressure distribution of the solvent component contained in the liquid material is substantially constant. In the second discharge step, the main amount of liquid necessary for film formation can be applied. That is, it is possible to provide a discharge method capable of applying a liquid material in a state where uneven discharge is unlikely to occur.

上記第１吐出工程では、各膜形成領域に掛かる複数のノズルのうちの主走査の方向から見て、各膜形成領域の中央に最も近いノズルから当該各膜形成領域のそれぞれに少なくとも１滴の液滴を吐出することが好ましい。これによれば、第１吐出工程であらかじめ各膜形成領域の中央付近に少量の液状体を付与するので、第２吐出工程で複数のノズルから液状体を液滴として吐出する位置が多少変動しても、先に吐出された液滴を含むようにして液状体を付与することができる。すなわち、より吐出ムラを低減して液状体を付与することができる。   In the first discharge step, when viewed from the main scanning direction among the plurality of nozzles applied to each film formation region, at least one drop is applied to each film formation region from the nozzle closest to the center of each film formation region. It is preferable to discharge droplets. According to this, since a small amount of liquid material is applied in the vicinity of the center of each film formation region in the first discharge step, the position where the liquid material is discharged as droplets from a plurality of nozzles in the second discharge step varies somewhat. However, the liquid material can be applied so as to include the previously ejected liquid droplets. That is, it is possible to apply the liquid material with further reduced discharge unevenness.

また、上記第１吐出工程では、各膜形成領域に掛かる複数のノズルのうち主走査の方向から見て、異なる位置のノズルから当該各膜形成領域のそれぞれに少なくとも１滴の液滴を吐出してもよい。これによれば、第１吐出工程では、１つのノズルに特定せずに異なる位置のノズルから少なくとも１滴の液滴を吐出する。したがって、各膜形成領域ごとに主走査方向に異なる位置で液滴が着弾する。よって、最初に付与される液滴の分布をワーク全体により均一化することができる。ゆえに、液状体の蒸気圧分布をワーク全体に渡ってより均一化して、より吐出ムラが発生し難い状態で液状体を付与することができる。   Further, in the first ejection step, at least one droplet is ejected from each of the nozzles at different positions to each of the film formation regions when viewed from the main scanning direction among the plurality of nozzles applied to each of the film formation regions. May be. According to this, in the first ejection step, at least one droplet is ejected from nozzles at different positions without being specified as one nozzle. Accordingly, the droplets land at different positions in the main scanning direction for each film formation region. Therefore, the distribution of droplets applied first can be made uniform throughout the work. Therefore, the vapor pressure distribution of the liquid material can be made more uniform over the entire workpiece, and the liquid material can be applied in a state in which uneven discharge is less likely to occur.

また、上記第１吐出工程では、第２吐出工程で吐出する液状体の吐出量を補うように液状体を吐出することが好ましい。各膜形成領域に掛かる複数のノズルから液状体を液滴として複数吐出した場合、各膜形成領域ごとに掛かるノズル数が変動すると吐出量が各膜形成領域ごとに変動する。これによれば、第１吐出工程では、あらかじめ第２吐出工程で吐出する液状体の吐出量を補うように液状体を吐出するので、安定した吐出量で各膜形成領域に液状体を付与することができる。すなわち、吐出量の変動による吐出ムラを低減して液状体を付与することができる。   In the first discharge step, the liquid material is preferably discharged so as to supplement the discharge amount of the liquid material discharged in the second discharge step. When a plurality of liquid materials are ejected as droplets from a plurality of nozzles applied to each film formation region, if the number of nozzles applied to each film formation region varies, the discharge amount varies for each film formation region. According to this, in the first discharge step, the liquid material is discharged so as to supplement the discharge amount of the liquid material discharged in the second discharge step in advance, so that the liquid material is applied to each film formation region with a stable discharge amount. be able to. That is, it is possible to apply the liquid material by reducing the discharge unevenness due to the change in the discharge amount.

また、上記第１吐出工程では、第２吐出工程で吐出する液状体の着弾位置の偏りを補うように液状体を吐出することが好ましい。各膜形成領域に掛かる複数のノズルから液状体を液滴として複数吐出した場合、各膜形成領域ごとに掛かるノズルの位置が必ずしも一定ではないので、着弾した液滴が濡れ拡がっても各膜形成領域内に偏って液状体が付与される可能性がある。これによれば、第１吐出工程では、第２吐出工程で吐出する液状体の着弾位置の偏りを補うように液状体を吐出するので、第２吐出工程で液滴を吐出すると各膜形成領域にほぼ均一に液状体を付与することができる。すなわち、吐出位置の偏りによる吐出ムラを低減して液状体を付与することができる。   In the first discharge step, it is preferable to discharge the liquid material so as to compensate for uneven landing positions of the liquid material discharged in the second discharge step. When a plurality of liquid materials are ejected as droplets from a plurality of nozzles applied to each film formation region, the position of the nozzle applied to each film formation region is not necessarily constant. There is a possibility that the liquid material is imparted in the region. According to this, in the first discharge step, the liquid material is discharged so as to compensate for the deviation of the landing position of the liquid material discharged in the second discharge step. Therefore, when a droplet is discharged in the second discharge step, each film formation region The liquid can be applied almost uniformly. That is, it is possible to apply the liquid material by reducing the discharge unevenness due to the uneven discharge position.

また、上記第１吐出工程では、第２吐出工程で吐出する液状体の吐出量を補うと共に着弾位置の偏りを補うように液状体を吐出することがより好ましい。これによれば、吐出量の変動による吐出ムラと吐出位置の偏りによる吐出ムラとを低減してより安定的に液状体を付与することができる。   In the first discharge step, it is more preferable to discharge the liquid material so as to compensate for the discharge amount of the liquid material discharged in the second discharge step and to compensate for the deviation of the landing position. According to this, it is possible to reduce the discharge unevenness due to the variation of the discharge amount and the discharge unevenness due to the deviation of the discharge position, and to apply the liquid material more stably.

また、上記第１吐出工程と上記第２吐出工程とでは、液滴吐出手段とワークとの相対移動速度を変えることを特徴とする。この方法によれば、第１吐出工程と上記第２吐出工程とでは、液滴吐出手段とワークとの相対移動速度を変えるので、着弾後の液状体の溶媒の蒸発速度を考慮して液状体を付与することができる。すなわち、適正化された吐出条件で液状体を付与することができる。   In the first discharge step and the second discharge step, the relative movement speed between the droplet discharge means and the workpiece is changed. According to this method, since the relative movement speed between the droplet discharge means and the workpiece is changed in the first discharge step and the second discharge step, the liquid material is considered in consideration of the evaporation rate of the solvent of the liquid material after landing. Can be granted. That is, the liquid material can be applied under optimized discharge conditions.

また、第２吐出工程における相対移動速度に対して第１吐出工程における相対移動速度を速めることが好ましい。これによれば、第１吐出工程では、第２吐出工程に比べて液滴吐出手段とワークとの相対速度を速めた状態で液滴を吐出するので、ワーク全体によりすばやく液滴を付与して液状体の溶媒の蒸気圧分布を均一化することができる。すなわち、より適正化された吐出条件で液状体を付与することができる。   In addition, it is preferable to increase the relative movement speed in the first discharge process relative to the relative movement speed in the second discharge process. According to this, in the first discharge step, since the droplet is discharged in a state where the relative speed between the droplet discharge means and the workpiece is increased compared to the second discharge step, the droplet is quickly applied to the entire workpiece. The vapor pressure distribution of the liquid solvent can be made uniform. That is, the liquid material can be applied under more optimized discharge conditions.

また、上記液滴吐出手段が複数のノズルを有する複数の液滴吐出ヘッドにより構成されていることを特徴とする。この方法によれば、１つの液滴吐出ヘッドにより複数回の主走査を行って液状体を付与する場合に比べて、よりすばやくワーク全体に渡って各膜形成領域に吐出ムラを低減して液状体を付与することができる。   Further, the droplet discharge means is composed of a plurality of droplet discharge heads having a plurality of nozzles. According to this method, compared to the case where a liquid material is applied by performing a plurality of main scans with a single droplet discharge head, the discharge unevenness is reduced in each film formation region over the entire workpiece more quickly. The body can be granted.

また、上記複数のノズルからなるノズル列が、膜形成領域の長手方向に対して略平行となるように、液滴吐出手段とワークとを対向配置して、該長手方向に対して直交する方向に主走査することが好ましい。これによれば、膜形成領域の長手方向に対してノズル列が交差するように配置される場合に比べて、ノズル列を構成する複数のノズルを有効に用いて各膜形成領域に吐出ムラを低減して液状体を付与することができる。すなわち、該長手方向の吐出ムラによる主走査の方向に平行なスジ状ムラを低減することができる。   In addition, the droplet discharge means and the work are arranged to face each other so that the nozzle row composed of the plurality of nozzles is substantially parallel to the longitudinal direction of the film forming region, and the direction orthogonal to the longitudinal direction. It is preferable to perform main scanning. According to this, compared with the case where the nozzle rows are arranged so as to intersect with the longitudinal direction of the film formation region, discharge unevenness is caused in each film formation region by effectively using a plurality of nozzles constituting the nozzle row. It can reduce and can give a liquid. That is, streaky unevenness parallel to the main scanning direction due to the discharge unevenness in the longitudinal direction can be reduced.

本発明のカラーフィルタの製造方法は、基板と、基板上の複数の区画領域に形成された複数色の着色層とを有するカラーフィルタの製造方法であって、上記発明の吐出方法を用い、異なる着色層形成材料を含む複数種の液状体を複数の区画領域に吐出して乾燥することにより複数色の着色層を形成することを特徴とする。   The color filter manufacturing method of the present invention is a method of manufacturing a color filter having a substrate and a plurality of colored layers formed in a plurality of partitioned regions on the substrate, and is different by using the ejection method of the present invention. A plurality of types of liquid materials including a coloring layer forming material are discharged to a plurality of partitioned regions and dried to form a plurality of colored layers.

この方法によれば、上記発明の吐出方法を用いて異なる着色層形成材料を含む複数種の液状体を複数の区画領域に吐出するので、液状体の吐出ムラを低減して着色層の白抜けや色ムラ等の不具合が少ないカラーフィルタを歩留まりよく製造することができる。   According to this method, since a plurality of types of liquid materials including different colored layer forming materials are discharged to a plurality of partitioned regions using the discharge method of the above invention, the discharge unevenness of the liquid material is reduced and the white color of the colored layer is reduced. And a color filter with few defects such as color unevenness can be manufactured with high yield.

本発明の有機ＥＬ発光素子の製造方法は、基板と、基板上の複数の区画領域に形成された有機発光層を有する有機ＥＬ発光素子の製造方法であって、上記発明の吐出方法を用い、発光層形成材料を含む液状体を複数の区画領域に吐出して乾燥することにより有機発光層を形成することを特徴とする。   The method for producing an organic EL light emitting device of the present invention is a method for producing an organic EL light emitting device having a substrate and an organic light emitting layer formed in a plurality of partition regions on the substrate, and using the ejection method of the above invention, An organic light emitting layer is formed by discharging a liquid containing a light emitting layer forming material to a plurality of partition regions and drying.

この方法によれば、上記発明の吐出方法を用いて発光層形成材料を含む液状体を複数の区画領域に吐出するので、液状体の吐出ムラを低減して有機発光層の発光ムラや輝度ムラ等の不具合が少ない有機ＥＬ発光素子を歩留まりよく製造することができる。   According to this method, since the liquid material containing the light emitting layer forming material is discharged to the plurality of partitioned regions using the discharge method of the above invention, the liquid material discharge unevenness is reduced and the organic light emitting layer has uneven light emission and uneven luminance. Thus, an organic EL light emitting device with few defects such as the above can be manufactured with a high yield.

本発明の電気光学装置の製造方法は、一対の基板と、一対の基板により挟持された電気光学材料としての液晶とを備えた電気光学装置の製造方法であって、一対の基板のうちの一方を上記発明のカラーフィルタの製造方法を用いて製造することを特徴とする。   An electro-optical device manufacturing method of the present invention is a method of manufacturing an electro-optical device including a pair of substrates and a liquid crystal as an electro-optical material sandwiched between the pair of substrates, and one of the pair of substrates. Is manufactured using the method for manufacturing a color filter of the above invention.

この方法によれば、一対の基板のうちの一方を上記発明のカラーフィルタの製造方法を用いて製造するので、着色層の白抜けや色ムラ等の不具合が少ないカラーフィルタを備えた高い表示品質を有する電気光学装置を製造することができる。   According to this method, since one of the pair of substrates is manufactured using the method for manufacturing a color filter according to the invention described above, high display quality provided with a color filter with less defects such as white spots in the colored layer and color unevenness Can be manufactured.

本発明の他の電気光学装置の製造方法は、複数の有機ＥＬ発光素子を有する基板を備えた電気光学装置の製造方法であって、有機ＥＬ発光素子を上記発明の有機ＥＬ発光素子の製造方法を用いて製造することを特徴とする。   Another electro-optical device manufacturing method of the present invention is a method of manufacturing an electro-optical device including a substrate having a plurality of organic EL light-emitting elements, and the organic EL light-emitting device is a manufacturing method of the organic EL light-emitting device of the present invention. It is characterized by manufacturing using.

この方法によれば、有機ＥＬ発光素子を上記発明の有機ＥＬ発光素子の製造方法を用いて製造するので、有機発光層の発光ムラや輝度ムラ等の不具合が少ない有機ＥＬ発光素子を備えた高い発光品質を有する電気光学装置を製造することができる。   According to this method, since the organic EL light-emitting device is manufactured using the method for manufacturing an organic EL light-emitting device according to the present invention, a high organic EL light-emitting device having less defects such as light emission unevenness and luminance unevenness of the organic light-emitting layer is provided. An electro-optical device having light emission quality can be manufactured.

本発明の電子機器は、上記発明の電気光学装置の製造方法を用いて製造された電気光学装置が搭載されたことを特徴とする。この構成によれば、高い表示品質を有する電気光学装置または高い発光品質を有する電気光学装置を備えているので、高品質な電子機器を提供することができる。   An electronic apparatus according to the present invention is characterized in that an electro-optical device manufactured by using the electro-optical device manufacturing method according to the present invention is mounted. According to this configuration, since the electro-optical device having a high display quality or the electro-optical device having a high light emission quality is provided, a high-quality electronic apparatus can be provided.

（実施形態１）
本実施形態は、膜形成材料を含む液状体を液滴として吐出可能な液滴吐出ヘッドを有する液滴吐出装置を用いた液状体の吐出方法を例に説明する。 (Embodiment 1)
In the present embodiment, a liquid discharge method using a droplet discharge apparatus having a droplet discharge head capable of discharging a liquid containing a film forming material as droplets will be described as an example.

＜液滴吐出装置＞
まず、液滴吐出装置について図１〜図４を基に説明する。図１は、液滴吐出装置を示す概略斜視図である。各部の構成は、適宜縮尺して表示している。 <Droplet ejection device>
First, a droplet discharge device will be described with reference to FIGS. FIG. 1 is a schematic perspective view showing a droplet discharge device. The configuration of each part is appropriately scaled and displayed.

図１に示すように、本実施形態の液滴吐出装置１０は、液状体を液滴として吐出してワークＷ上に液状体からなる膜を形成するものである。そしてワークＷが載置されるステージ４と、載置されたワークＷに液状体を液滴として吐出する複数の液滴吐出ヘッド２０（図２参照）を有するヘッドユニット１とを備えている。   As shown in FIG. 1, the droplet discharge device 10 of this embodiment forms a film made of a liquid material on a work W by discharging the liquid material as droplets. A stage 4 on which the workpiece W is placed and a head unit 1 having a plurality of droplet discharge heads 20 (see FIG. 2) for discharging a liquid material as droplets onto the placed workpiece W are provided.

また液滴吐出装置１０は、ヘッドユニット１を副走査方向（Ｘ方向）に駆動するためのＸ方向ガイド軸２と、Ｘ方向ガイド軸２を回転させるＸ方向駆動モータ３とを備えている。また、ステージ４を主走査方向（Ｙ方向）にガイドするためのＹ方向ガイド軸５と、Ｙ方向ガイド軸５に係合して回転するＹ方向駆動モータ６とを備えている。そしてＸ方向ガイド軸２とＹ方向ガイド軸５とが上部に配設された基台７を備え、その基台７の下部には、制御部８を備えている。   The droplet discharge device 10 includes an X-direction guide shaft 2 for driving the head unit 1 in the sub-scanning direction (X direction) and an X-direction drive motor 3 for rotating the X-direction guide shaft 2. Further, a Y-direction guide shaft 5 for guiding the stage 4 in the main scanning direction (Y direction) and a Y-direction drive motor 6 that engages and rotates with the Y-direction guide shaft 5 are provided. A base 7 having an X-direction guide shaft 2 and a Y-direction guide shaft 5 disposed at the top is provided, and a controller 8 is provided at the bottom of the base 7.

さらに、ヘッドユニット１の複数の液滴吐出ヘッド２０をメンテナンス（回復処理等）するためのメンテナンス機構９および吐出された液状体を加熱し溶媒を蒸発・乾燥させるためのヒータ１２とを備えている。またメンテナンス機構９にもＹ方向駆動モータ１１が備えられている。   Furthermore, a maintenance mechanism 9 for maintaining a plurality of droplet discharge heads 20 of the head unit 1 (recovery processing or the like) and a heater 12 for heating the discharged liquid material and evaporating and drying the solvent are provided. . The maintenance mechanism 9 is also provided with a Y-direction drive motor 11.

ヘッドユニット１には、液状体をノズル２２（吐出口）から吐出してワークＷに塗布する複数の液滴吐出ヘッド２０（図２参照）を備えている。そして、これら複数の液滴吐出ヘッド２０により、制御部８から供給される吐出電圧に応じて個別に液状体を吐出できるようになっている。この液滴吐出ヘッド２０とその配置については後述する。   The head unit 1 includes a plurality of liquid droplet ejection heads 20 (see FIG. 2) that eject a liquid material from nozzles 22 (ejection ports) and apply them to the workpiece W. The plurality of droplet discharge heads 20 can individually discharge the liquid according to the discharge voltage supplied from the control unit 8. The droplet discharge head 20 and its arrangement will be described later.

Ｘ方向駆動モータ３は、これに限定されるものではないが例えばステッピングモータ等であり、制御部８からＸ軸方向の駆動パルス信号が供給されると、Ｘ方向ガイド軸２を回転させ、Ｘ方向ガイド軸２に係合したヘッドユニット１をＸ方向に移動させる。   The X-direction drive motor 3 is not limited to this, but is a stepping motor, for example. When a drive pulse signal in the X-axis direction is supplied from the control unit 8, the X-direction guide shaft 2 is rotated to The head unit 1 engaged with the direction guide shaft 2 is moved in the X direction.

同様にＹ方向駆動モータ６，１１は、これに限定されるものではないが例えばステッピングモータ等であり、制御部８からＹ軸方向の駆動パルス信号が供給されると、Ｙ方向ガイド軸５に係合して回転し、Ｙ方向駆動モータ６，１１を備えたステージ４およびメンテナンス機構９をＹ軸方向に移動させる。   Similarly, the Y-direction drive motors 6 and 11 are not limited to this, but are stepping motors, for example. When a drive pulse signal in the Y-axis direction is supplied from the control unit 8, the Y-direction drive shaft 5 The stage 4 and the maintenance mechanism 9 including the Y-direction drive motors 6 and 11 are moved in the Y-axis direction by engaging and rotating.

メンテナンス機構９は、液滴吐出ヘッド２０を回復処理する際には、ヘッドユニット１を臨む位置に移動し、液滴吐出ヘッド２０のノズル面に密着して不要な液状体を吸引するキャッピング、液状体等が付着したノズル面を拭き取るワイピング、液滴吐出ヘッド２０の全ノズルから液状体の吐出を行う予備吐出あるいは不要となった液状体を受けて排出させる処理を行う。また、メンテナンス機構９には、重量測定ユニット１３が備えられており、各液滴吐出ヘッド２０の各ノズル２２から所定の回数（数千から数万回）吐出された液状体の吐出量を各液滴吐出ヘッド２０ごとに測定可能となっている。測定結果を該所定の回数で除すれば１回に吐出される液状体の吐出量を求めることができる。測定は、ノズル２２を指定して行うことによりノズル２２間の吐出量のバラツキも求めることができる。   When performing a recovery process on the droplet discharge head 20, the maintenance mechanism 9 moves to a position facing the head unit 1, and closes the nozzle surface of the droplet discharge head 20 so as to suck an unnecessary liquid material. Wiping to wipe off the nozzle surface to which the body or the like is attached, preliminary discharge for discharging the liquid material from all nozzles of the droplet discharge head 20, or processing for receiving and discharging the liquid material that is no longer needed. Further, the maintenance mechanism 9 is provided with a weight measuring unit 13, and the discharge amount of the liquid material discharged from each nozzle 22 of each droplet discharge head 20 a predetermined number of times (thousands to tens of thousands) is set for each. Measurement is possible for each droplet discharge head 20. By dividing the measurement result by the predetermined number of times, the discharge amount of the liquid material discharged at one time can be obtained. The measurement can be performed by designating the nozzles 22 so that the variation in the discharge amount between the nozzles 22 can also be obtained.

重量測定ユニット１３は、例えば電子天秤等を採用して測定結果を制御部８にフィードバックすることができる。液状体の吐出量の測定は、ワークＷに液状体を吐出する前、または吐出工程の途中、あるいは液滴吐出ヘッド２０のメンテナンスを実施した後など定期的に実施する。   The weight measurement unit 13 can employ an electronic balance, for example, to feed back the measurement result to the control unit 8. Measurement of the discharge amount of the liquid material is periodically performed before discharging the liquid material onto the workpiece W, during the discharge process, or after performing maintenance on the droplet discharge head 20.

ヒータ１２は、これに限定されるものではないが例えばランプアニールによりワークＷを熱処理する手段であり、ワークＷ上に吐出された液状体の蒸発・乾燥を行うとともに膜に変換するための熱処理を行うようになっている。このヒータ１２の電源の投入及び遮断も制御部８によって制御される。   Although not limited to this, the heater 12 is a means for heat-treating the workpiece W by, for example, lamp annealing, and performs a heat treatment for evaporating and drying the liquid material discharged onto the workpiece W and converting it into a film. To do. The controller 8 also controls the power on and off of the heater 12.

液滴吐出装置１０の塗布動作は、制御部８から所定の駆動パルス信号をＸ方向駆動モータ３およびＹ方向駆動モータ６とに送り、ヘッドユニット１を副走査方向（Ｘ方向）に、ステージ４を主走査方向（Ｙ方向）に相対移動させる。そして、この相対移動に同期して制御部８から吐出電圧を供給し、ヘッドユニット１の液滴吐出ヘッド２０からワークＷの所定の領域に液状体を液滴として吐出し塗布を行う。   In the application operation of the droplet discharge device 10, a predetermined drive pulse signal is sent from the control unit 8 to the X direction drive motor 3 and the Y direction drive motor 6, and the head unit 1 is moved in the sub-scanning direction (X direction) to the stage 4 Are relatively moved in the main scanning direction (Y direction). Then, a discharge voltage is supplied from the control unit 8 in synchronization with the relative movement, and the liquid material is discharged as droplets onto a predetermined region of the work W from the droplet discharge head 20 of the head unit 1 for coating.

液滴吐出ヘッド２０から吐出される液滴の吐出量は、制御部８から供給される吐出電圧の大きさによって調整することができる。   The ejection amount of the droplets ejected from the droplet ejection head 20 can be adjusted by the magnitude of the ejection voltage supplied from the control unit 8.

＜液滴吐出ヘッド＞
次に本発明の一実施形態である液滴吐出ヘッドについて図２に基づいて説明する。同図（ａ）は液滴吐出ヘッドの要部構造を示す概略斜視図、同図（ｂ）は複数のノズルの配列を示す平面図である。 <Droplet ejection head>
Next, a droplet discharge head according to an embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 4A is a schematic perspective view showing the main structure of the droplet discharge head, and FIG. 4B is a plan view showing an arrangement of a plurality of nozzles.

図２（ａ）に示すように液滴吐出ヘッド２０は、複数のノズル２２を有するノズルプレート２１と、各ノズル２２に対応してこれを区画する区画部２４を含む液状体の流路が形成されたリザーバプレート２３と、エネルギー発生手段としての圧電素子（ピエゾ）２９を有する振動板２８とからなる３層構造の所謂ピエゾ方式インクジェットヘッドである。ノズルプレート２１とリザーバプレート２３の区画部２４および振動板２８によって複数の圧力発生室２５が構成されている。各ノズル２２は、各圧力発生室２５にそれぞれ連通している。また、圧電素子２９は、各圧力発生室２５に対応するように振動板２８に複数配設されている。   As shown in FIG. 2A, the liquid droplet ejection head 20 is formed with a liquid material flow path including a nozzle plate 21 having a plurality of nozzles 22 and a partition portion 24 for partitioning the nozzle plate 21 corresponding to each nozzle 22. This is a so-called piezo-type inkjet head having a three-layer structure comprising the reservoir plate 23 and a diaphragm 28 having a piezoelectric element (piezo) 29 as energy generating means. A plurality of pressure generating chambers 25 are configured by the partition portion 24 and the vibration plate 28 of the nozzle plate 21 and the reservoir plate 23. Each nozzle 22 communicates with each pressure generation chamber 25. A plurality of piezoelectric elements 29 are arranged on the diaphragm 28 so as to correspond to the respective pressure generation chambers 25.

リザーバプレート２３には、振動板２８に形成された供給孔２８ａを通じてタンク（図示省略）から供給される液状体が一時的に貯留される共通流路２７が設けられている。また共通流路２７に充填された液状体は、供給口２６を通じて各圧力発生室２５に供給される。   The reservoir plate 23 is provided with a common flow path 27 for temporarily storing a liquid material supplied from a tank (not shown) through a supply hole 28 a formed in the vibration plate 28. The liquid filled in the common flow path 27 is supplied to each pressure generating chamber 25 through the supply port 26.

液滴吐出ヘッド２０は、電気信号としての駆動波形が圧電素子２９に印加されると圧電素子２９自体が歪んで振動板２８を変形させる。これにより、圧力発生室２５の体積変動が起こり、これによるポンプ作用で圧力発生室２５に充填された液状体が加圧され、ノズル２２から液状体を液滴Ｌとして吐出することができる。尚、ノズル２２から液状体を液滴Ｌとして吐出させるエネルギー発生手段は、圧電素子２９に限定されず、加熱素子としてのヒータや電気機械変換素子としての静電アクチュエータ等でもよい。   When a drive waveform as an electrical signal is applied to the piezoelectric element 29, the droplet discharge head 20 deforms the diaphragm 28 by distorting the piezoelectric element 29 itself. As a result, the volume of the pressure generating chamber 25 is changed, and the liquid material filled in the pressure generating chamber 25 is pressurized by the pumping action, and the liquid material can be discharged as droplets L from the nozzle 22. The energy generating means for discharging the liquid material as the droplets L from the nozzle 22 is not limited to the piezoelectric element 29, and may be a heater as a heating element, an electrostatic actuator as an electromechanical conversion element, or the like.

図２（ｂ）に示すように、液滴吐出ヘッド２０は、複数のノズル２２が略等間隔（ノズルピッチＰ1）でノズルプレート２１に配置された２つのノズル列２２ａ，２２ｂを有している。また、ノズル列２２ａ，２２ｂに直交する方向から見たときに、複数のノズル２２が略等間隔（ノズルピッチＰ1の半分のノズルピッチＰ2）で配列するように、一方のノズル列２２ａに対して他方のノズル列２２ｂがずれて配置されている。 As shown in FIG. 2B, the droplet discharge head 20 has two nozzle rows 22a and 22b in which a plurality of nozzles 22 are arranged on the nozzle plate 21 at substantially equal intervals (nozzle pitch P 1 ). Yes. Further, when viewed from the direction orthogonal to the nozzle rows 22a and 22b, one nozzle row 22a is arranged so that the plurality of nozzles 22 are arranged at substantially equal intervals (nozzle pitch P 2 that is half the nozzle pitch P 1 ). On the other hand, the other nozzle row 22b is displaced.

この場合、各ノズル列２２ａ，２２ｂには、それぞれ１８０個のノズル２２が配設されており、ノズル列２２ａ，２２ｂに直交する方向から見ると、３６０個のノズル２２が略等間隔で配置されている。ノズル２２の直径は、およそ２８μｍである。ノズルピッチＰ1はおよそ１４０μｍ、ノズルピッチＰ2はおよそ７０μｍである。ノズル列２２ａとノズル列２２ｂとの間隔は、およそ２．５４ｍｍである。 In this case, 180 nozzles 22 are arranged in each nozzle row 22a, 22b, and 360 nozzles 22 are arranged at substantially equal intervals when viewed from the direction orthogonal to the nozzle rows 22a, 22b. ing. The diameter of the nozzle 22 is approximately 28 μm. The nozzle pitch P 1 is approximately 140 μm, and the nozzle pitch P 2 is approximately 70 μm. The interval between the nozzle row 22a and the nozzle row 22b is approximately 2.54 mm.

次にヘッドユニット１に備えられた複数の液滴吐出ヘッド２０の配置について説明する。図３は、液滴吐出ヘッドの配置を示す概略平面図である。   Next, the arrangement of the plurality of droplet discharge heads 20 provided in the head unit 1 will be described. FIG. 3 is a schematic plan view showing the arrangement of the droplet discharge heads.

図３に示すように、ヘッドユニット１には、複数（６個）の液滴吐出ヘッド２０をワークに向けて保持する四角形のキャリッジ１ａを有している。キャリッジ１ａには、ノズル列２２ａ，２２ｂが主走査方向（Ｙ方向）に直交するように３つの液滴吐出ヘッド２０が所定の間隔を置いて配設されている。前述したように液滴吐出ヘッド２０は、３６０個のノズル２２を有している。そのノズル長はＬｎである。そして、実際の液状体の吐出の際には、ノズル列２２ａ，２２ｂの両端側の１０個のノズル２２を用いていない。これは、両端側に位置するノズル２２からの吐出量が他のノズル２２に比べて安定しにくいことを考慮したものである。よって、両端側の１０個のノズル２２を除いた有効ノズル長をＬｎｐとする。６個の液滴吐出ヘッド２０ａ，２０ｂ，２０ｃ，２０ｄ，２０ｅ，２０ｆは、Ｙ方向に配列した３個ずつの液滴吐出ヘッド２０がＸ方向に有効ノズル長Ｌｎｐの間隔を置いて配設されている。このような液滴吐出ヘッド２０の配置は、有効ノズル長Ｌｎｐに相当する距離でヘッドユニット１をＸ方向に副走査（改行）すれば、Ｙ方向に配列した３つの液滴吐出ヘッド２０に対応する描画幅で液状体をワークＷに対してＸ方向に連続的に吐出描画することが可能である。ワークＷ上の複数の膜形成領域の大きさやその配置により、膜形成領域に着弾させる液滴Ｌの吐出量や１回の主走査による着弾密度を考慮して、ノズル列２２ａ，２２ｂが主走査方向（Ｙ方向）に対して交差するように複数の液滴吐出ヘッド２０をキャリッジ１ａに傾斜させて配設してもよい。   As shown in FIG. 3, the head unit 1 has a rectangular carriage 1 a that holds a plurality (six) of droplet discharge heads 20 toward a workpiece. In the carriage 1a, three droplet discharge heads 20 are arranged at predetermined intervals so that the nozzle rows 22a and 22b are orthogonal to the main scanning direction (Y direction). As described above, the droplet discharge head 20 has 360 nozzles 22. The nozzle length is Ln. In actual discharge of the liquid material, the ten nozzles 22 on both ends of the nozzle rows 22a and 22b are not used. This is because the discharge amount from the nozzles 22 located on both ends is less stable than the other nozzles 22. Therefore, the effective nozzle length excluding 10 nozzles 22 on both ends is Lnp. Six droplet discharge heads 20a, 20b, 20c, 20d, 20e, and 20f are arranged such that three droplet discharge heads 20 arranged in the Y direction are spaced apart by an effective nozzle length Lnp in the X direction. ing. Such an arrangement of the droplet discharge heads 20 corresponds to three droplet discharge heads 20 arranged in the Y direction if the head unit 1 is sub-scanned (line feed) in the X direction at a distance corresponding to the effective nozzle length Lnp. It is possible to continuously discharge and draw the liquid material with respect to the workpiece W in the X direction with the drawing width to be applied. The nozzle rows 22a and 22b perform main scanning in consideration of the discharge amount of droplets L that land on the film forming region and the landing density by one main scanning depending on the size and arrangement of the plurality of film forming regions on the workpiece W. A plurality of droplet discharge heads 20 may be disposed on the carriage 1a so as to intersect the direction (Y direction).

また、キャリッジ１ａに搭載する液滴吐出ヘッド２０の数は、これに限定されるものでない。さらには、ヘッドユニット１に複数のキャリッジ１ａを所定の間隔で備える構成としてもよい。   Further, the number of droplet discharge heads 20 mounted on the carriage 1a is not limited to this. Further, the head unit 1 may be provided with a plurality of carriages 1a at a predetermined interval.

図４は、制御部および制御部に関連する各部との電気的な構成を示すブロック図である。図４に示すように制御部８は、液状体の吐出データを外部情報処理装置から受け取る入力バッファメモリ１４と、入力バッファメモリ１４に一時的に記憶された吐出データを記憶手段（ＲＡＭ）１５に展開して関連する各部に制御信号を送る処理部１６とを備えている。また処理部１６からの制御信号を受けてＸ方向駆動モータ３とＹ方向駆動モータ６，１１とに位置制御信号を送る走査駆動部１７と、同じく処理部１６からの制御信号を受けて液滴吐出ヘッド２０に駆動電圧パルス（駆動波形）を送るヘッド駆動部１８とを備えている。さらに、重量測定ユニット１３での液状体の吐出量の測定結果の出力を検出して、一時的に記憶手段１５に保存し、該測定結果に基づいて各液滴吐出ヘッド２０ごとおよびノズル２２ごとの１回の吐出量の設定値に対する差を演算することができる。また、制御部８は、重量測定ユニット１３に測定開始、停止、測定結果リセット、再測定等の制御信号を送信することができる。   FIG. 4 is a block diagram illustrating an electrical configuration of the control unit and each unit related to the control unit. As shown in FIG. 4, the control unit 8 receives the discharge data of the liquid material from the external information processing apparatus, and stores the discharge data temporarily stored in the input buffer memory 14 in the storage means (RAM) 15. And a processing unit 16 that expands and transmits a control signal to each related unit. In addition, a scanning drive unit 17 that receives a control signal from the processing unit 16 and sends a position control signal to the X-direction drive motor 3 and the Y-direction drive motors 6, 11. And a head drive unit 18 that sends a drive voltage pulse (drive waveform) to the ejection head 20. Further, the output of the measurement result of the discharge amount of the liquid material in the weight measurement unit 13 is detected and temporarily stored in the storage unit 15, and for each droplet discharge head 20 and each nozzle 22 based on the measurement result. The difference with respect to the set value of the single discharge amount can be calculated. Further, the control unit 8 can transmit control signals such as measurement start, stop, measurement result reset, and remeasurement to the weight measurement unit 13.

入力バッファメモリ１４に受け取られる吐出データは、ワークＷ上の膜形成領域の相対位置を表すデータと、膜形成領域に液状体の液滴をどのような着弾密度で吐出するかを示すデータと、液滴吐出ヘッド２０のノズル列２２ａ，２２ｂのうちどのノズル２２を駆動（ＯＮ−ＯＦＦ）するかを指定するデータと、を含んでいる。   The discharge data received by the input buffer memory 14 includes data indicating the relative position of the film formation region on the workpiece W, data indicating the landing density of liquid droplets on the film formation region, and Data specifying which nozzle 22 is driven (ON-OFF) of the nozzle rows 22a and 22b of the droplet discharge head 20 is included.

処理部１６は、記憶手段１５に格納された吐出データの中から膜形成領域に関する位置の制御信号を走査駆動部１７に送る。走査駆動部１７は、この制御信号を受けてＸ方向駆動モータ３に位置制御信号を送ってヘッドユニット１（液滴吐出ヘッド２０）を副走査方向であるＸ軸方向に移動させる。またＹ方向駆動モータ６，１１に位置制御信号を送ってワークＷが保持されたステージ４やメンテナンス機構９を主走査方向であるＹ軸方向に移動させる。これによってワークＷの所望の位置に液滴吐出ヘッド２０から液状体の液滴が吐出されるようにヘッドユニット１とワークＷとを相対移動させる。   The processing unit 16 sends a position control signal related to the film formation region from the ejection data stored in the storage unit 15 to the scan driving unit 17. Upon receiving this control signal, the scanning drive unit 17 sends a position control signal to the X-direction drive motor 3 to move the head unit 1 (droplet discharge head 20) in the X-axis direction that is the sub-scanning direction. Further, a position control signal is sent to the Y-direction drive motors 6 and 11 to move the stage 4 and the maintenance mechanism 9 holding the workpiece W in the Y-axis direction that is the main scanning direction. Thus, the head unit 1 and the workpiece W are relatively moved so that the liquid droplets are discharged from the droplet discharge head 20 to a desired position of the workpiece W.

また処理部１６は、記憶手段１５に格納された吐出データの中から膜形成領域に液状体の液滴をどのような着弾密度で吐出するかを示すデータを、ノズル２２毎の４ビットの吐出ビットマップデータに変換してヘッド駆動部１８に送る。また、液滴吐出ヘッド２０のノズル列２２ａ，２２ｂの内どのノズル２２を駆動（ＯＮ−ＯＦＦ）するかを指定するデータに基づいて、液滴吐出ヘッド２０の圧電素子２９に印加する駆動電圧パルスをいつ発信するかの「タイミング検出信号」であるラッチ信号とチャンネル信号をヘッド駆動部１８に送る。ヘッド駆動部１８は、これらの制御信号を受けて液滴吐出ヘッド２０に適正な駆動電圧パルスを送って、ノズル２２から液状体の液滴Ｌを吐出させる。   Further, the processing unit 16 uses the 4-bit discharge for each nozzle 22 to indicate the landing density of the liquid droplets in the film formation region from the discharge data stored in the storage unit 15. It is converted into bitmap data and sent to the head drive unit 18. In addition, a drive voltage pulse applied to the piezoelectric element 29 of the droplet discharge head 20 based on data designating which nozzle 22 of the nozzle rows 22a and 22b of the droplet discharge head 20 is driven (ON-OFF). A latch signal and a channel signal, which are “timing detection signals” when the signal is transmitted, are sent to the head drive unit 18. The head drive unit 18 receives these control signals and sends an appropriate drive voltage pulse to the droplet discharge head 20 to discharge the liquid droplet L from the nozzle 22.

＜液状体の吐出方法＞
次に、本発明の一実施形態である液状体の吐出方法について図５および図６を基に説明する。図５（ａ）〜（ｃ）は実施例１の液状体の吐出方法を示す概略平面図、図６（ａ）は実施例２の液状体の吐出方法を示す概略平面図、図６（ｂ）は実施例２の液状体の吐出方法を示す概略断面図である。本実施形態の液状体の吐出方法は、液滴吐出装置１０を用い、複数のノズル２２を有する液滴吐出手段としてのヘッドユニット１とワークＷとを対向させて相対移動させる主走査に同期して、ワークＷ上の複数の膜形成領域に対して複数のノズル２２から膜形成材料を含む液状体を液滴Ｌとして吐出する方法である。 <Liquid material discharge method>
Next, a liquid material discharge method according to an embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 5A to 5C are schematic plan views showing a liquid material discharge method of Example 1, FIG. 6A is a schematic plan view showing a liquid material discharge method of Example 2, and FIG. ) Is a schematic cross-sectional view showing a liquid discharge method of Example 2. FIG. The liquid material ejection method of the present embodiment uses the droplet ejection device 10 and is synchronized with main scanning in which the head unit 1 as a droplet ejection means having a plurality of nozzles 22 and the workpiece W are opposed to each other and relatively moved. In this way, a liquid containing a film forming material is discharged as droplets L from a plurality of nozzles 22 to a plurality of film forming regions on the workpiece W.

（実施例１）
実施例１の液状体の吐出方法は、まず、図５（ａ）に示すように、複数のノズル２２からなる２つのノズル列２２ａ，２２ｂが膜形成領域Ａの長手方向（Ｘ方向）に対して略平行となるように、ワークＷをステージ４に載置する。そして、各膜形成領域Ａ（Ａ１１，Ａ１２，Ａ１３）に掛かる複数のノズルａ１，ａ２，ｂ１，ｂ２，ｂ３のうち、主走査方向（Ｙ方向）から見て膜形成領域Ａの最も中央に近い１つのノズルｂ２から各膜形成領域Ａ１１，Ａ１２，Ａ１３に液状体を液滴Ｌとして吐出する第１吐出工程を行う。なお、膜形成領域Ａは、ワークＷ上のＸおよびＹ方向にマトリクス状に複数配置されており、図５（ａ）〜（ｃ）では、Ｙ方向に配列する一部を表示している。 Example 1
In the liquid material discharge method of Example 1, first, as shown in FIG. 5A, two nozzle rows 22a and 22b composed of a plurality of nozzles 22 are arranged in the longitudinal direction (X direction) of the film formation region A. The workpiece W is placed on the stage 4 so as to be substantially parallel. Of the plurality of nozzles a1, a2, b1, b2, and b3 applied to each film forming area A (A11, A12, A13), the film forming area A is closest to the center when viewed from the main scanning direction (Y direction). A first discharge process is performed in which the liquid material is discharged as droplets L from the single nozzle b2 to the film formation regions A11, A12, and A13. A plurality of film formation regions A are arranged in a matrix in the X and Y directions on the workpiece W. In FIGS. 5A to 5C, a part of the film formation regions A arranged in the Y direction is displayed.

そして、図５（ｂ）に示すように、第１吐出工程の後に、各膜形成領域Ａに掛かるノズルｂ２以外の複数のノズルａ１，ａ２，ｂ１，ｂ３から各膜形成領域Ａに液状体の液滴Ｌを複数吐出する第２吐出工程を行う。この場合、第１吐出工程では、主走査方向（Ｙ方向）に対して液滴Ｌを複数滴吐出したが、少なくとも１滴を吐出すればよい。また、第２吐出工程では、主走査方向に対して直交する方向（Ｘ方向）にヘッドユニット１とワークＷとを相対移動させる副走査を行ってから液状体を液滴Ｌとして複数吐出する主走査を行ってもよい。   Then, as shown in FIG. 5B, after the first discharge step, the liquid material is transferred from the plurality of nozzles a1, a2, b1, b3 other than the nozzle b2 applied to each film forming area A to each film forming area A. A second discharge process for discharging a plurality of droplets L is performed. In this case, in the first ejection step, a plurality of droplets L are ejected in the main scanning direction (Y direction), but at least one droplet may be ejected. In the second ejection step, the main unit that ejects a plurality of liquid materials as droplets L after performing sub-scanning in which the head unit 1 and the workpiece W are relatively moved in a direction orthogonal to the main scanning direction (X direction). Scanning may be performed.

さらには、図５（ｃ）に示すように、第１吐出工程では、各膜形成領域Ａ１１，Ａ１２，Ａ１３ごとに異なる位置のノズル２２から液滴Ｌを吐出することが好ましい。例えば、膜形成領域Ａ１１にはノズルａ１から吐出し、膜形成領域Ａ１２にはノズルｂ２から吐出し、膜形成領域Ａ１３にはノズルａ２から吐出する。このようにすれば、実際には、Ｘ方向に配列する複数の膜形成領域Ａに掛かるノズル２２の位置は必ずしも一定でないので、液状体を吐出するノズル２２を膜形成領域Ａごとに変えることにより、ワークＷ上により均一に液状体を付与することが可能である。この場合、第２吐出工程では、各膜形成領域Ａ１１，Ａ１２，Ａ１３ごとに、第１吐出工程で使用したノズル以外のノズルを使用して液状体の液滴Ｌを吐出する。あるいは副走査を行ってから液状体を液滴Ｌとして吐出する。   Furthermore, as shown in FIG. 5C, in the first discharge step, it is preferable to discharge the droplet L from the nozzle 22 at a different position for each film formation region A11, A12, A13. For example, the film formation region A11 is discharged from the nozzle a1, the film formation region A12 is discharged from the nozzle b2, and the film formation region A13 is discharged from the nozzle a2. In this case, in practice, the positions of the nozzles 22 applied to the plurality of film formation regions A arranged in the X direction are not necessarily constant, so that the nozzles 22 for discharging the liquid material are changed for each film formation region A. It is possible to apply the liquid material more uniformly on the workpiece W. In this case, in the second ejection step, the liquid droplets L are ejected for each of the film formation regions A11, A12, A13 using nozzles other than the nozzles used in the first ejection step. Alternatively, after the sub-scan is performed, the liquid material is ejected as droplets L.

このような実施例１の液状体の吐出方法を用いれば、あらかじめワークＷ上のすべての膜形成領域Ａごとに少量の液状体をほぼ均一に付与して、ワークＷ上に着弾した液状体の溶媒の蒸気圧をほぼ一定にしてから主たる液状体を吐出することが可能となる。   By using the liquid material discharge method of the first embodiment, a small amount of liquid material is applied almost uniformly to all the film forming regions A on the work W in advance, and the liquid material that has landed on the work W is obtained. The main liquid material can be discharged after the vapor pressure of the solvent is substantially constant.

なお、第１吐出工程で液状体を吐出するノズル２２は１つに限定せず、膜形成領域Ａが比較的大きな場合には、中央に近い２つのノズル２２から各膜形成領域Ａごとに液状体を吐出してもよい。これによれば、第１吐出工程で１回の主走査により付与可能な液状体の吐出量を増やすことができる。   Note that the number of nozzles 22 that discharge the liquid material in the first discharge process is not limited to one, and when the film formation region A is relatively large, the liquid formation is performed for each film formation region A from the two nozzles 22 near the center. The body may be discharged. According to this, it is possible to increase the discharge amount of the liquid material that can be applied by one main scanning in the first discharge step.

（実施例２）
実施例２の液状体の吐出方法は、図６（ａ）に示すように、まず実施例１と同様に複数のノズル２２からなる２つのノズル列２２ａ，２２ｂが膜形成領域Ａの長手方向（Ｘ方向）に対して略平行となるように、ワークＷをステージ４に載置する。Ｄ１〜Ｄ３は、第１吐出工程において各膜形成領域Ａ１１，Ａ２１，Ａ３１に液状体を吐出する選択された１つのノズルを示している。Ｃ１〜Ｃ１３は、第２吐出工程においてＹ方向から見た複数のノズル２２の配置を示しており、各ノズルＣ１〜Ｃ１３は、略等間隔（ノズルピッチＰ2）で配置されている。Ｘ方向に配列した膜形成領域Ａ１１，Ａ２１，Ａ３１は、それぞれ隔壁部Ｋにより区画されている。膜形成領域Ａは、Ｙ方向にも配列しているが図示省略する。 (Example 2)
As shown in FIG. 6A, in the liquid material ejection method of the second embodiment, first, as in the first embodiment, two nozzle rows 22a and 22b including a plurality of nozzles 22 are arranged in the longitudinal direction of the film formation region A (see FIG. The workpiece W is placed on the stage 4 so as to be substantially parallel to the (X direction). D1 to D3 indicate one selected nozzle that discharges the liquid material to each of the film formation regions A11, A21, and A31 in the first discharge process. C1 to C13 indicate the arrangement of the plurality of nozzles 22 viewed from the Y direction in the second ejection step, and the nozzles C1 to C13 are arranged at substantially equal intervals (nozzle pitch P 2 ). The film formation regions A11, A21, A31 arranged in the X direction are each partitioned by a partition wall K. Although the film formation region A is also arranged in the Y direction, it is not shown.

図６（ｂ）に示すように、第１吐出工程では、各膜形成領域Ａ１１，Ａ２１，Ａ３１に掛かる選択された各ノズルＤ１，Ｄ２，Ｄ３から、第２吐出工程で吐出する液状体の吐出量を補うと共に着弾位置の偏りを補うように液状体を吐出する。より具体的には、第２吐出工程では、Ｘ方向においてほぼ均等な位置で膜形成領域Ａ１１に掛かった４つのノズルＣ１〜Ｃ４から液状体を液滴として吐出する。着弾した液状体Ｌｃ１は、複数の液滴が合体することにより盛り上がる。よって、第１吐出工程では、膜形成領域Ａ１１のほぼ中央に位置するノズルＤ１から第２吐出工程で吐出する液状体の吐出量を補う量の液状体Ｌｄ１を吐出する。   As shown in FIG. 6B, in the first discharge process, the discharge of the liquid material discharged in the second discharge process from the selected nozzles D1, D2, D3 applied to the film formation regions A11, A21, A31. The liquid material is discharged so as to compensate for the amount and the bias of the landing position. More specifically, in the second discharge step, the liquid material is discharged as droplets from the four nozzles C1 to C4 applied to the film formation region A11 at substantially equal positions in the X direction. The landed liquid Lc1 rises when a plurality of droplets are combined. Therefore, in the first discharge step, the liquid material Ld1 is discharged in an amount that supplements the discharge amount of the liquid material discharged in the second discharge step from the nozzle D1 located substantially in the center of the film formation region A11.

また、第２吐出工程では、Ｘ方向においてノズルＣ５が隔壁部Ｋに掛かるので使用されず、膜形成領域Ａ２１に掛かった３つのノズルＣ６〜Ｃ８から液状体を液滴として吐出する。着弾した液状体Ｌｃ２は複数の液滴が合体してなるも、吐出量は液状体Ｌｃ１よりも少なく、やや膜形成領域Ａ３１側に偏って盛り上がる。よって、第１吐出工程では、ノズルＣ５側に位置するノズルＤ２から液状体Ｌｃ２の吐出量を補う量の液状体Ｌｄ２を膜形成領域Ａ２１に吐出する。   In the second discharge step, the nozzle C5 is applied to the partition wall K in the X direction and is not used, and the liquid material is discharged as droplets from the three nozzles C6 to C8 applied to the film forming region A21. Although the landed liquid Lc2 is formed by combining a plurality of droplets, the discharge amount is smaller than that of the liquid Lc1, and the liquid Lc2 rises slightly toward the film formation region A31. Therefore, in the first discharge step, the liquid material Ld2 in an amount that supplements the discharge amount of the liquid material Lc2 is discharged from the nozzle D2 located on the nozzle C5 side to the film formation region A21.

同様にして第２吐出工程では、Ｘ方向においてノズルＣ９，１３が隔壁部Ｋに掛かるので使用されず、膜形成領域Ａ３１に掛かった３つのノズルＣ１０〜Ｃ１２から液状体を液滴として吐出する。着弾した液状体Ｌｃ３は複数の液滴が合体してなるも、吐出量は液状体Ｌｃ１よりも少なく、やや膜形成領域Ａ２１側に偏って盛り上がる。よって、第１吐出工程では、ノズルＣ１３側に位置するノズルＤ３から液状体Ｌｃ３の吐出量を補う量の液状体Ｌｄ３を膜形成領域Ａ３１に吐出する。   Similarly, in the second ejection step, the nozzles C9 and 13 are not used because they are applied to the partition wall portion K in the X direction, and the liquid material is ejected as droplets from the three nozzles C10 to C12 applied to the film formation region A31. Although the landed liquid Lc3 is formed by combining a plurality of liquid droplets, the discharge amount is smaller than that of the liquid Lc1, and the liquid Lc3 rises slightly toward the film formation region A21 side. Therefore, in the first discharge step, the liquid material Ld3 in an amount that supplements the discharge amount of the liquid material Lc3 is discharged from the nozzle D3 located on the nozzle C13 side to the film formation region A31.

なお、この場合、第１吐出工程で選択されたノズルＤ１〜Ｄ３の位置は、これに限定されず、例えば、ノズルＤ１は、隔壁部Ｋに近いノズルを選択してもよい。これにより、あらかじめ隔壁部Ｋの付近に液状体を付与して濡れ広げておくことができる。   In this case, the positions of the nozzles D1 to D3 selected in the first discharge process are not limited to this, and for example, the nozzle D1 may select a nozzle close to the partition wall K. As a result, the liquid material can be applied in the vicinity of the partition wall K in advance and spread.

このような実施例２の液状体の吐出方法を用いれば、第１吐出工程では、ワークＷ上のすべての膜形成領域Ａごとに第２吐出工程で吐出される液状体の吐出量を補正すると共に着弾位置の偏りを補正するように液状体を付与する。よって、ワークＷ上の膜形成領域Ａごとに安定した吐出量でより均一に液状体を吐出することが可能となる。なお、第２吐出工程で各膜形成領域Ａごとに吐出される液状体の吐出量または着弾位置の偏りのいずれかを補うように液状体を吐出してもよい。   If the liquid material discharge method of Example 2 is used, in the first discharge step, the discharge amount of the liquid material discharged in the second discharge step is corrected for every film formation region A on the workpiece W. At the same time, a liquid material is applied so as to correct the deviation of the landing position. Therefore, the liquid material can be discharged more uniformly with a stable discharge amount for each film formation region A on the workpiece W. Note that the liquid material may be discharged so as to compensate for either the discharge amount of the liquid material discharged for each film forming region A or the landing position bias in the second discharge step.

また、上記実施例１および上記実施例２の液状体の吐出方法において、第１吐出工程での主走査の速度（ヘッドユニット１とワークＷとの相対移動速度）と第２吐出工程での主走査の速度とを液状体に含まれる溶媒の蒸発速度に応じて変えることが好ましい。より好ましくは、第１吐出工程の主走査の速度を第２吐出工程に比べて速めることにより、ワークＷの複数の膜形成領域Ａに渡ってすばやく液状体を付与する。これにより、ワークＷ上の液状体の蒸気圧をより均一にした状態で第２吐出工程を行うことが可能となる。また、液状体を付与する効率も向上する。   Further, in the liquid material discharge methods of the first embodiment and the second embodiment, the main scanning speed (the relative movement speed between the head unit 1 and the workpiece W) in the first discharge process and the main discharge process in the second discharge process. It is preferable to change the scanning speed in accordance with the evaporation speed of the solvent contained in the liquid. More preferably, the liquid material is quickly applied across the plurality of film formation regions A of the workpiece W by increasing the main scanning speed of the first discharge process as compared with the second discharge process. As a result, the second discharge process can be performed in a state where the vapor pressure of the liquid on the workpiece W is made more uniform. Moreover, the efficiency which provides a liquid body also improves.

さらには、上記実施例２の液状体の吐出方法において、第１吐出工程で各膜形成領域Ａ２１，Ａ３１に吐出される液状体Ｌｄ２，Ｌｄ３の吐出量は、第２吐出工程で吐出される液状体Ｌｃ１に対して不足している液状体Ｌｃ２，Ｌｃ３の吐出量を補う量に限定されない。液滴吐出装置１０は、前述したようにメンテナンス機構９に重量測定ユニット１３を備えており、ヘッドユニット１に備えられた複数の液滴吐出ヘッド２０ａ，２０ｂ，２０ｃ，２０ｄ，２０ｅ，２０ｆのそれぞれの吐出量を測定可能である。また、ノズル２２間の吐出量バラツキを測定可能である。したがって、ワークＷ上の複数の膜形成領域Ａに掛かる各液滴吐出ヘッド２０ａ，２０ｂ，２０ｃ，２０ｄ，２０ｅ，２０ｆに対応して、そのノズル２２間の吐出量バラツキを考慮し各液状体Ｌｄ１，Ｌｄ２，Ｌｄ３を吐出することも可能である。   Further, in the liquid material discharge method of the second embodiment, the discharge amounts of the liquid materials Ld2 and Ld3 discharged to the film forming regions A21 and A31 in the first discharge step are the liquid discharge amounts in the second discharge step. It is not limited to the quantity which supplements the discharge amount of the liquid Lc2 and Lc3 which are insufficient with respect to the body Lc1. As described above, the droplet discharge apparatus 10 includes the weight measurement unit 13 in the maintenance mechanism 9, and each of the plurality of droplet discharge heads 20a, 20b, 20c, 20d, 20e, and 20f provided in the head unit 1. Can be measured. Moreover, the discharge amount variation between the nozzles 22 can be measured. Accordingly, each liquid material Ld1 corresponding to each of the droplet discharge heads 20a, 20b, 20c, 20d, 20e, and 20f on the plurality of film forming regions A on the workpiece W is considered in consideration of the discharge amount variation between the nozzles 22. , Ld2 and Ld3 can be discharged.

上記実施形態１の効果は、以下の通りである。
（１）上記実施形態１の実施例１の液状体の吐出方法では、第１吐出工程において各膜形成領域Ａ１１，Ａ１２，Ａ１３ごとに少量の液状体を膜形成領域Ａの中央に近い１つのノズルｂ２から付与する。そして、第２吐出工程において膜形成領域Ａに掛かる複数のノズルａ１，ａ２，ｂ１，ｂ３から液状体を複数の液滴Ｌとして吐出する。したがって、最初に複数のノズル２２から液状体を吐出する場合に比べて、あらかじめ膜形成領域Ａごとにほぼ一定量の液状体をほぼ均一に付与してから、主たる液状体を付与することができる。すなわち、最初の液状体の付与分布をほぼ一定にすることにより、着弾した液状体の蒸気圧分布を均一とし、後の液状体の付与による吐出ムラの発生を低減することができる。このような吐出方法を用い、付与された液状体を乾燥すれば、膜形成領域Ａに均一な膜を形成することができる。 The effects of the first embodiment are as follows.
(1) In the liquid material discharge method of Example 1 of Embodiment 1 described above, a small amount of liquid material is placed near the center of the film formation region A for each film formation region A11, A12, A13 in the first discharge step. It is applied from the nozzle b2. Then, the liquid material is discharged as a plurality of liquid droplets L from the plurality of nozzles a1, a2, b1, b3 applied to the film forming region A in the second discharge step. Therefore, compared to the case where the liquid material is first ejected from the plurality of nozzles 22, the main liquid material can be applied after the substantially constant amount of liquid material is applied almost uniformly to each film forming region A in advance. . That is, by making the distribution distribution of the first liquid material substantially constant, the vapor pressure distribution of the landed liquid material can be made uniform, and the occurrence of uneven discharge due to the subsequent application of the liquid material can be reduced. By using such a discharge method and drying the applied liquid, a uniform film can be formed in the film formation region A.

（２）上記実施形態１の実施例２の液状体の吐出方法では、各膜形成領域Ａ１１，Ａ２１，Ａ３１に掛かる選択された各ノズルＤ１，Ｄ２，Ｄ３から、第２吐出工程で吐出する液状体の吐出量を補うと共に着弾位置の偏りを補うように液状体を吐出する。したがって、ワークＷ上の膜形成領域Ａ１１，Ａ２１，Ａ３１ごとに安定した吐出量でより均一に液状体を吐出することができる。このような吐出方法を用い、付与された液状体を乾燥すれば、膜形成領域Ａにより均一な膜を形成することができる。   (2) In the liquid discharge method of Example 2 of Embodiment 1 above, the liquid discharged from the selected nozzles D1, D2, D3 applied to the film formation regions A11, A21, A31 in the second discharge step The liquid material is discharged so as to compensate for the discharge amount of the body and to compensate for the uneven landing position. Therefore, the liquid material can be discharged more uniformly with a stable discharge amount for each of the film formation regions A11, A21, and A31 on the workpiece W. By using such a discharge method and drying the applied liquid, a uniform film can be formed in the film formation region A.

（実施形態２）
次に上記実施形態１の液状体の吐出方法を適用した、電気光学装置としての液晶表示装置とその製造方法について図７〜図９を基に説明する。 (Embodiment 2)
Next, a liquid crystal display device as an electro-optical device to which the liquid material discharge method of the first embodiment is applied and a manufacturing method thereof will be described with reference to FIGS.

＜液晶表示装置＞
図７は、液晶表示装置の構造を示す概略斜視図である。図７に示すように、本実施形態の液晶表示装置１００は、ＴＦＴ（Thin Film Transistor）透過型の液晶表示パネル１２０と、液晶表示パネル１２０を照明する照明装置１１７とを備えている。液晶表示パネル１２０は、着色層を有するカラーフィルタ１１０と、画素電極１１１に３端子のうちの１つが接続されたＴＦＴ素子１１２を有する素子基板１０８と、これらの一対の基板１０８，１１０によって挟持された電気光学材料としての液晶（図示省略）とを備えている。また、液晶表示パネル１２０の外面側となる一対の基板１０８，１１０の表面には、透過する光を偏向させる上偏光板１１５と下偏光板１１６とが配設される。 <Liquid crystal display device>
FIG. 7 is a schematic perspective view showing the structure of the liquid crystal display device. As shown in FIG. 7, the liquid crystal display device 100 of the present embodiment includes a TFT (Thin Film Transistor) transmission type liquid crystal display panel 120 and an illumination device 117 that illuminates the liquid crystal display panel 120. The liquid crystal display panel 120 is sandwiched between a color filter 110 having a colored layer, an element substrate 108 having a TFT element 112 having one of three terminals connected to a pixel electrode 111, and a pair of these substrates 108 and 110. Liquid crystal (not shown) as an electro-optic material. An upper polarizing plate 115 and a lower polarizing plate 116 for deflecting transmitted light are disposed on the surfaces of the pair of substrates 108 and 110 on the outer surface side of the liquid crystal display panel 120.

カラーフィルタ１１０は、透明なガラス等からなる基板１０１と、複数の区画領域としての着色領域をマトリクス状に区画する隔壁部１０４と、複数の着色領域に形成されたＲＧＢ３色の着色層１０５Ｒ，１０５Ｇ，１０５Ｂとを備えている。隔壁部１０４は、Ｃｒなどの遮光性を有する金属あるいはその酸化膜からなる下層バンク１０２と、下層バンク１０２の上（図面では下向き）に形成された有機化合物からなる上層バンク１０３とにより構成されている。また、隔壁部１０４と着色層１０５Ｒ，１０５Ｇ，１０５Ｂとを覆う平坦化層としてのオーバーコート層（ＯＣ層）１０６と、ＯＣ層１０６を覆うように形成されたＩＴＯ（Indium Tin Oxide）などの透明導電膜からなる対向電極１０７とを備えている。着色層１０５Ｒ，１０５Ｇ，１０５Ｂは、後述するカラーフィルタの製造方法を用いて製造されている。   The color filter 110 includes a substrate 101 made of transparent glass or the like, a partition 104 that partitions colored areas as a plurality of partitioned areas in a matrix, and RGB three-color colored layers 105R and 105G formed in the plurality of colored areas. , 105B. The partition wall 104 is composed of a lower layer bank 102 made of a light-shielding metal such as Cr or an oxide film thereof, and an upper layer bank 103 made of an organic compound formed on the lower layer bank 102 (downward in the drawing). Yes. Further, an overcoat layer (OC layer) 106 as a planarizing layer covering the partition wall 104 and the colored layers 105R, 105G, and 105B, and transparent such as ITO (Indium Tin Oxide) formed so as to cover the OC layer 106 And a counter electrode 107 made of a conductive film. The colored layers 105R, 105G, and 105B are manufactured using a color filter manufacturing method that will be described later.

素子基板１０８は、同じく透明なガラス等の材料からなり、絶縁膜１０９を介してマトリクス状に形成された画素電極１１１と、画素電極１１１に対応して形成された複数のＴＦＴ素子１１２とを有している。ＴＦＴ素子１１２の３端子のうち、画素電極１１１に接続されない他の２端子は、互いに絶縁された状態で画素電極１１１を囲むように格子状に配設された走査線１１３とデータ線１１４とに接続されている。   The element substrate 108 is also made of a material such as transparent glass, and has a pixel electrode 111 formed in a matrix via an insulating film 109 and a plurality of TFT elements 112 formed corresponding to the pixel electrode 111. is doing. Of the three terminals of the TFT element 112, the other two terminals not connected to the pixel electrode 111 are connected to the scanning line 113 and the data line 114, which are arranged in a grid so as to surround the pixel electrode 111 while being insulated from each other. It is connected.

照明装置１１７は、例えば光源として白色のＬＥＤ、ＥＬ、冷陰極管等を用い、これらの光源からの光を液晶表示パネル１２０に向かって出射することができる導光板や拡散板、反射板等の構成を備えたものであれば、どのようなものでもよい。   The illumination device 117 uses, for example, a white LED, EL, cold cathode tube, or the like as a light source, and a light guide plate, a diffusion plate, a reflection plate, or the like that can emit light from these light sources toward the liquid crystal display panel 120. Any device having a configuration may be used.

尚、液晶表示パネル１２０は、スイッチング素子としてＴＦＴ素子１１２に限らずＴＦＤ（Thin Film Diode）素子を有したものでもよく、さらには、少なくとも一方の基板に着色層を備えるものであれば、画素を構成する電極が互いに交差するように配置されるパッシブ型の液晶表示装置でもよい。また、上下偏光板１１５，１１６は、視角依存性を改善する目的等で用いられる位相差フィルムなどの光学機能性フィルムと組み合わされたものでもよい。   Note that the liquid crystal display panel 120 is not limited to the TFT element 112 as a switching element, and may have a TFD (Thin Film Diode) element. Further, if the liquid crystal display panel 120 has a colored layer on at least one substrate, a pixel is used. It may be a passive liquid crystal display device in which the constituent electrodes are arranged to cross each other. Further, the upper and lower polarizing plates 115 and 116 may be combined with an optical functional film such as a retardation film used for the purpose of improving the viewing angle dependency.

（カラーフィルタの製造方法）
次にカラーフィルタ１１０の製造方法について図８および図９に基づいて説明する。図８は、カラーフィルタの製造方法を示すフローチャート、図９（ａ）〜（ｅ）はカラーフィルタの製造方法を示す概略断面図である。 (Color filter manufacturing method)
Next, a method for manufacturing the color filter 110 will be described with reference to FIGS. FIG. 8 is a flowchart illustrating a method for manufacturing a color filter, and FIGS. 9A to 9E are schematic cross-sectional views illustrating a method for manufacturing a color filter.

図８に示すように、本実施形態のカラーフィルタ１１０の製造方法は、基板１０１の表面に隔壁部１０４を形成する工程（ステップＳ１、ステップＳ２）と、隔壁部１０４によって区画された着色領域を表面処理する工程（ステップＳ３）とを備えている。また、液滴吐出装置１０を用いて表面処理された着色領域に異なる着色層形成材料を含む３種（３色）の液状体を付与する液状体吐出工程（ステップＳ４）と、付与された液状体を乾燥して成膜化する乾燥工程（ステップＳ５）とを備えている。さらに隔壁部１０４と着色層１０５Ｒ，１０５Ｇ，１０５Ｂとを覆うようにＯＣ層１０６を形成する平坦化層形成工程（ステップＳ６）を備えている。   As shown in FIG. 8, in the method for manufacturing the color filter 110 according to the present embodiment, the step of forming the partition 104 on the surface of the substrate 101 (Step S <b> 1 and Step S <b> 2) And a step of surface treatment (step S3). Further, a liquid discharge step (step S4) for applying three types (three colors) of liquid containing different colored layer forming materials to the colored region that has been surface-treated using the droplet discharge device 10, and the applied liquid A drying process (step S5) for drying the body to form a film. Furthermore, a flattening layer forming step (step S6) for forming the OC layer 106 so as to cover the partition wall 104 and the colored layers 105R, 105G, and 105B is provided.

実際のカラーフィルタ１１０の製造工程では、１つの液晶表示パネル１２０に対応するカラーフィルタ１１０がマトリクス状に配置されるよう設計されたマザー基板が用いられる。マザー基板は、液晶表示パネル１２０を効率的かつ安価に製造するために大型化している。このような大型のマザー基板に複数色の着色層を形成する方法として、着色層形成材料を無駄なく使用して着色層を効率的に形成するために液滴吐出法（インクジェット法）を用いている。   In the actual manufacturing process of the color filter 110, a mother substrate designed so that the color filters 110 corresponding to one liquid crystal display panel 120 are arranged in a matrix is used. The mother substrate is increased in size in order to manufacture the liquid crystal display panel 120 efficiently and inexpensively. As a method of forming a colored layer of a plurality of colors on such a large mother substrate, a droplet discharge method (inkjet method) is used to efficiently form a colored layer using a colored layer forming material without waste. Yes.

図８のステップＳ１は、第１バンクとしての下層バンク１０２を形成する工程である。ステップＳ１では、図９（ａ）に示すように、下層バンク１０２を基板１０１上に形成する。下層バンク１０２の材料は、例えば、Ｃｒ、Ｎｉ、Ａｌ等の不透明な金属、あるいはこれらの金属の酸化物等の化合物を用いることができる。下層バンク１０２の形成方法としては、蒸着法あるいはスパッタ法で上記材料からなる膜を基板１０１上に成膜する。膜厚は、遮光性が保たれる膜厚を選定された材料に応じて設定すればよい。例えば、Ｃｒならば、１００〜２００ｎｍが好ましい。そして、フォトリソグラフィ法により開口部１０２ａに対応する部分以外をレジストで膜を覆い、上記材料に対応する酸等のエッチング液を用いて膜をエッチングする。これにより開口部１０２ａを有する下層バンク１０２が形成される。そして、ステップＳ２へ進む。   Step S1 in FIG. 8 is a step of forming the lower layer bank 102 as the first bank. In step S1, the lower layer bank 102 is formed on the substrate 101 as shown in FIG. As the material of the lower layer bank 102, for example, an opaque metal such as Cr, Ni, or Al, or a compound such as an oxide of these metals can be used. As a method for forming the lower layer bank 102, a film made of the above material is formed on the substrate 101 by vapor deposition or sputtering. The film thickness may be set in accordance with the material selected to maintain the light shielding property. For example, if Cr, 100 to 200 nm is preferable. Then, the film is covered with a resist except for a portion corresponding to the opening 102a by photolithography, and the film is etched using an etching solution such as an acid corresponding to the material. As a result, the lower layer bank 102 having the opening 102a is formed. Then, the process proceeds to step S2.

図８のステップＳ２は、第２バンクとしての上層バンク１０３を形成する工程である。ステップＳ２では、図９（ｂ）に示すように、下層バンク１０２の上に上層バンク１０３を形成する。上層バンク１０３の材料としては、アクリル系の感光性樹脂材料を用いることができる。また、感光性樹脂材料は、遮光性を有することが好ましい。上層バンク１０３の形成方法としては、例えば、下層バンク１０２が形成された基板１０１の表面に感光性樹脂材料をロールコート法やスピンコート法で塗布し、乾燥させて厚みがおよそ２μｍの感光性樹脂層を形成する。そして、着色領域Ｄに対応した大きさで開口部が設けられたマスクを基板１０１と所定の位置で対向させて露光・現像することにより、上層バンク１０３を形成する方法が挙げられる。これにより基板１０１上に複数の着色領域Ｄをマトリクス状に区画する隔壁部１０４が形成される。そしてステップＳ３へ進む。   Step S2 in FIG. 8 is a step of forming the upper layer bank 103 as the second bank. In step S2, the upper layer bank 103 is formed on the lower layer bank 102 as shown in FIG. As the material of the upper layer bank 103, an acrylic photosensitive resin material can be used. The photosensitive resin material preferably has a light shielding property. As a method for forming the upper layer bank 103, for example, a photosensitive resin material is applied to the surface of the substrate 101 on which the lower layer bank 102 is formed by a roll coating method or a spin coating method, and dried to form a photosensitive resin having a thickness of about 2 μm. Form a layer. Then, there is a method of forming the upper layer bank 103 by exposing and developing a mask provided with an opening having a size corresponding to the colored region D and facing the substrate 101 at a predetermined position. As a result, the partition 104 that partitions the plurality of colored regions D in a matrix is formed on the substrate 101. Then, the process proceeds to step S3.

図８のステップＳ３は、表面処理工程である。ステップＳ３では、Ｏ2を処理ガスとするプラズマ処理とフッソ系ガスを処理ガスとするプラズマ処理とを行う。すなわち、着色領域Ｄが親液処理され、その後感光性樹脂からなる上層バンク１０３の表面（壁面を含む）が撥液処理される。そしてステップＳ４へ進む。 Step S3 in FIG. 8 is a surface treatment process. In step S3, plasma processing using O 2 as a processing gas and plasma processing using a fluorine-based gas as a processing gas are performed. That is, the colored region D is subjected to a lyophilic process, and then the surface (including the wall surface) of the upper layer bank 103 made of a photosensitive resin is subjected to a liquid repellent process. Then, the process proceeds to step S4.

図８のステップＳ４は、着色領域Ｄに着色層形成材料を含む液状体を付与する液状体吐出工程である。ステップＳ４では、着色領域Ｄの長手方向がノズル列２２ａ，２２ｂと平行となるように、隔壁部１０４が形成された基板１０１を液滴吐出装置１０のステージ４に載置する。そして、図９（ｃ）に示すように、液滴吐出ヘッド２０から表面処理された各着色領域Ｄのそれぞれに、対応する液状体３１，３２，３３を液滴として付与する。液状体３１はＲ（赤色）の着色層形成材料を含み、液状体３２はＧ（緑色）の着色層形成材料を含み、液状体３３はＢ（青色）の着色層形成材料を含むものである。液状体３１，３２，３３の吐出方法は、上記実施形態１の液状体の吐出方法を用いている。したがって、各着色領域Ｄごとに吐出ムラが低減され均一に液状体が付与される。そして、ステップＳ５へ進む。   Step S4 in FIG. 8 is a liquid discharge process for applying a liquid containing a colored layer forming material to the colored region D. In step S4, the substrate 101 on which the partition wall 104 is formed is placed on the stage 4 of the droplet discharge device 10 so that the longitudinal direction of the colored region D is parallel to the nozzle rows 22a and 22b. Then, as shown in FIG. 9C, the corresponding liquid materials 31, 32, 33 are applied as droplets to the colored regions D subjected to the surface treatment from the droplet discharge head 20. The liquid 31 includes an R (red) colored layer forming material, the liquid 32 includes a G (green) colored layer forming material, and the liquid 33 includes a B (blue) colored layer forming material. As a method for discharging the liquid materials 31, 32, 33, the method for discharging the liquid material of the first embodiment is used. Therefore, discharge unevenness is reduced for each colored region D, and a liquid material is uniformly applied. Then, the process proceeds to step S5.

図８のステップＳ５は、付与された液状体３１，３２，３３を乾燥して成膜化する乾燥工程である。ステップＳ５では、図９（ｄ）に示すように、液滴吐出装置１０のヒータ１２を用い、付与された液状体３１，３２，３３から溶剤成分を除去して着色層１０５Ｒ，１０５Ｇ，１０５Ｂを成膜する。付与された液状体３１，３２，３３を一括乾燥する方法としては、これに限らず、溶剤成分を均質に乾燥可能な減圧乾燥法が望ましい。そしてステップＳ６へ進む。   Step S5 in FIG. 8 is a drying process in which the applied liquid materials 31, 32, 33 are dried to form a film. In step S5, as shown in FIG. 9 (d), the heater 12 of the droplet discharge device 10 is used to remove the solvent component from the applied liquid materials 31, 32, and 33, thereby forming the colored layers 105R, 105G, and 105B. Form a film. The method of collectively drying the applied liquid materials 31, 32, 33 is not limited to this, and a vacuum drying method that can dry the solvent component uniformly is desirable. Then, the process proceeds to step S6.

図８のステップＳ６は、平坦化層形成工程である。ステップＳ６では、図９（ｅ）に示すように、上層バンク１０３と着色層１０５Ｒ，１０５Ｇ，１０５Ｂとを覆うようにＯＣ層１０６を形成する。ＯＣ層１０６の材料としては、透明なアクリル系樹脂材料を用いることができる。形成方法としては、スピンコート法、オフセット印刷などの方法が挙げられる。ＯＣ層１０６は、着色層１０５Ｒ，１０５Ｇ，１０５Ｂが形成された基板１０１の表面の凹凸を緩和して、後にこの表面に膜付けされる対向電極１０７を平担化するために設けられている。また、対向電極１０７との密着性を確保するために、ＯＣ層１０６の上にさらにＳｉＯ2などの薄膜を形成してもよい。 Step S6 in FIG. 8 is a planarization layer forming step. In step S6, as shown in FIG. 9E, the OC layer 106 is formed so as to cover the upper layer bank 103 and the colored layers 105R, 105G, and 105B. As the material of the OC layer 106, a transparent acrylic resin material can be used. Examples of the forming method include spin coating and offset printing. The OC layer 106 is provided to alleviate unevenness on the surface of the substrate 101 on which the colored layers 105R, 105G, and 105B are formed, and to flatten the counter electrode 107 that is subsequently formed on the surface. Further, a thin film such as SiO 2 may be further formed on the OC layer 106 in order to ensure adhesion with the counter electrode 107.

上記のカラーフィルタ１１０の製造方法を用いて着色層１０５Ｒ，１０５Ｇ，１０５Ｂを形成すれば、液状体３１，３２，３３の吐出ムラによる白抜けや色ムラ等の不良を低減して歩留まりよくカラーフィルタ１１０を製造することが可能である。   If the colored layers 105R, 105G, and 105B are formed using the method for manufacturing the color filter 110 described above, defects such as white spots and color unevenness due to uneven discharge of the liquid materials 31, 32, and 33 are reduced, and the color filter with high yield. 110 can be manufactured.

＜液晶表示装置の製造方法＞
本実施形態の液晶表示装置１００の製造方法は、一対の基板１０８，１１０のうちのカラーフィルタ１１０を上記カラーフィルタ１１０の製造方法を用いて製造する。したがって、カラーフィルタ１１０と素子基板１０８とを所定の間隔を置いて接着剤で接着し、その隙間に液晶を充填すれば、白抜けや色ムラ等の不良が低減された見映えのよい表示品質を有する液晶表示装置１００を製造可能である。なお、カラーフィルタ１１０に対向電極１０７を形成する方法、素子基板１０８に画素電極１１１、ＴＦＴ素子１１２、走査線１１３、データ線１１４等を形成する方法は、公知の方法を用いればよい。 <Method for manufacturing liquid crystal display device>
In the method for manufacturing the liquid crystal display device 100 according to the present embodiment, the color filter 110 of the pair of substrates 108 and 110 is manufactured using the method for manufacturing the color filter 110. Therefore, if the color filter 110 and the element substrate 108 are bonded with an adhesive at a predetermined interval and the liquid crystal is filled in the gap, a good display quality with reduced defects such as white spots and color unevenness is reduced. Can be manufactured. As a method for forming the counter electrode 107 on the color filter 110 and a method for forming the pixel electrode 111, the TFT element 112, the scanning line 113, the data line 114, and the like on the element substrate 108, a known method may be used.

上記実施形態２の効果は、以下の通りである。
（１）上記実施形態２のカラーフィルタ１１０の製造方法は、上記実施形態１の液状体の吐出方法を用い、着色領域Ｄに異なる着色層形成材料を含む３種の液状体を吐出して乾燥することにより、着色層１０５Ｒ，１０５Ｇ，１０５Ｂを形成する。したがって、吐出ムラによる白抜けや色ムラの不良を低減して歩留まりよくカラーフィルタ１１０を製造することができる。 The effects of the second embodiment are as follows.
(1) The manufacturing method of the color filter 110 of the second embodiment uses the liquid material discharge method of the first embodiment, and discharges and drys three types of liquid materials containing different colored layer forming materials in the colored region D. By doing so, the colored layers 105R, 105G, and 105B are formed. Therefore, it is possible to manufacture the color filter 110 with high yield by reducing white spots and color unevenness due to discharge unevenness.

（２）上記実施形態２の液晶表示装置１００の製造方法は、一対の基板１０８，１１０のうちカラーフィルタ１１０を上記カラーフィルタ１１０の製造方法により製造する。したがって、カラーフィルタ１１０と素子基板１０８とを所定の間隔を置いて接着剤で接着し、その隙間に液晶を充填すれば、白抜けや色ムラ等の不良が低減された見映えのよい表示品質を有する液晶表示装置１００を製造することができる。   (2) In the manufacturing method of the liquid crystal display device 100 of the second embodiment, the color filter 110 of the pair of substrates 108 and 110 is manufactured by the manufacturing method of the color filter 110. Therefore, if the color filter 110 and the element substrate 108 are bonded with an adhesive at a predetermined interval and the liquid crystal is filled in the gap, a good display quality with reduced defects such as white spots and color unevenness is reduced. The liquid crystal display device 100 having the above can be manufactured.

（実施形態３）
次に上記実施形態１の液状体の吐出方法を適用した、他の電気光学装置としての有機ＥＬ表示装置とその製造方法について図１０を基に説明する。 (Embodiment 3)
Next, an organic EL display device as another electro-optical device to which the liquid material ejection method of the first embodiment is applied and a manufacturing method thereof will be described with reference to FIG.

＜有機ＥＬ表示装置＞
図１０は、有機ＥＬ表示装置の要部構造を示す概略断面図である。図１０に示すように本実施形態の有機ＥＬ表示装置２００は、発光素子部２１７を有する基板２０１と、基板２０１と空間２２０を隔てて封着された封止基板２１９とを備えている。また基板２０１は、素子基板２０２上に回路素子部２０３を備えており、発光素子部２１７は、回路素子部２０３上に重畳して形成され、回路素子部２０３により駆動されるものである。発光素子部２１７には、３色の有機発光層２１７Ｒ，２１７Ｇ，２１７Ｂがそれぞれの区画領域Ａに形成され、ストライプ状となっている。基板２０１は、３色の有機発光層２１７Ｒ，２１７Ｇ，２１７Ｂに対応する３つの区画領域Ａを１組の絵素とし、この絵素が素子基板２０２の回路素子部２０３上にマトリクス状に配置されたものである。本実施形態の有機ＥＬ表示装置２００は、発光素子部２１７からの発光が素子基板２０２側に出射するものである。 <Organic EL display device>
FIG. 10 is a schematic cross-sectional view showing the main structure of the organic EL display device. As shown in FIG. 10, the organic EL display device 200 of the present embodiment includes a substrate 201 having a light emitting element portion 217 and a sealing substrate 219 sealed with the substrate 201 and a space 220 therebetween. The substrate 201 includes a circuit element portion 203 on the element substrate 202, and the light emitting element portion 217 is formed so as to overlap the circuit element portion 203 and is driven by the circuit element portion 203. In the light emitting element portion 217, organic light emitting layers 217R, 217G, and 217B of three colors are formed in each partition region A and are in a stripe shape. The substrate 201 has three partition areas A corresponding to the three colors of organic light emitting layers 217R, 217G, and 217B as one set of picture elements, and these picture elements are arranged in a matrix on the circuit element section 203 of the element substrate 202. It is a thing. In the organic EL display device 200 of the present embodiment, light emitted from the light emitting element unit 217 is emitted to the element substrate 202 side.

封止基板２１９は、ガラス又は金属からなるもので、封止樹脂を介して基板２０１に接合されており、封止された内側の表面には、ゲッター剤２１９ａが貼り付けられている。ゲッター剤２１９ａは、基板２０１と封止基板２１９との間の空間２２０に侵入した水又は酸素を吸収して、発光素子部２１７が侵入した水又は酸素によって劣化することを防ぐものである。なお、このゲッター剤２１９ａは省略しても良い。   The sealing substrate 219 is made of glass or metal, and is bonded to the substrate 201 via a sealing resin, and a getter agent 219a is attached to the sealed inner surface. The getter agent 219a absorbs water or oxygen that has entered the space 220 between the substrate 201 and the sealing substrate 219 and prevents the light emitting element portion 217 from being deteriorated by the water or oxygen that has entered. The getter agent 219a may be omitted.

基板２０１は、素子基板２０２の回路素子部２０３上に複数の区画領域Ａを有するものであって、複数の区画領域Ａを区画すると共に、壁面に段差を有するバンクとしての二層バンク２１３と、複数の区画領域Ａに形成された電極２１２と、電極２１２に積層された正孔注入輸送層２１６とを備えている。また複数の区画領域Ａ内に発光層形成材料を含む３種の液状体を付与して形成された有機発光層２１７Ｒ，２１７Ｇ，２１７Ｂを有する発光素子部２１７を備えている。二層バンク２１３は、下層バンク２１４と区画領域Ａを実質的に区画する上層バンク２１５とからなり、下層バンク２１４は、区画領域Ａの内側に張り出すように設けられて、二層バンク２１３の壁面に段差を形成している。   The substrate 201 has a plurality of partition regions A on the circuit element portion 203 of the element substrate 202, partitions the plurality of partition regions A, and has a two-layer bank 213 as a bank having a step on the wall surface; An electrode 212 formed in a plurality of partition regions A and a hole injection / transport layer 216 stacked on the electrode 212 are provided. In addition, a light emitting element portion 217 having organic light emitting layers 217R, 217G, and 217B formed by applying three kinds of liquid materials including a light emitting layer forming material in a plurality of partition regions A is provided. The two-layer bank 213 includes a lower-layer bank 214 and an upper-layer bank 215 that substantially partitions the partition area A, and the lower-layer bank 214 is provided so as to protrude inside the partition area A. A step is formed on the wall surface.

素子基板２０２は、例えばガラス等の透明な基板からなり、素子基板２０２上にシリコン酸化膜からなる下地保護膜２０２ａが形成され、この下地保護膜２０２ａ上に多結晶シリコンからなる島状の半導体膜２０４が形成されている。尚、半導体膜２０４には、ソース領域２０４ａ及びドレイン領域２０４ｂが高濃度Ｐイオン打ち込みにより形成されている。なお、Ｐイオンが導入されなかった部分がチャネル領域２０４ｃとなっている。さらに下地保護膜２０２ａ及び半導体膜２０４を覆う透明なゲート絶縁膜２０５が形成され、ゲート絶縁膜２０５上にはＡｌ、Ｍｏ、Ｔａ、Ｔｉ、Ｗ等からなるゲート電極２０６が形成され、ゲート電極２０６及びゲート絶縁膜２０５上には透明な第１層間絶縁膜２０７と第２層間絶縁膜２０８が形成されている。ゲート電極２０６は半導体膜２０４のチャネル領域２０４ｃに対応する位置に設けられている。また、第１層間絶縁膜２０７および第２層間絶縁膜２０８を貫通して、半導体膜２０４のソース領域２０４ａ、ドレイン領域２０４ｂにそれぞれ接続されるコンタクトホール２０９，２１０が形成されている。そして、第２層間絶縁膜２０８上に、ＩＴＯ（Indium Tin Oxide）等からなる透明な電極２１２が所定の形状にパターニングされて配置され（電極形成工程）、一方のコンタクトホール２０９がこの電極２１２に接続されている。また、もう一方のコンタクトホール２１０が電源線２１１に接続されている。このようにして、回路素子部２０３には、各電極２１２に接続された駆動用の薄膜トランジスタ２０３ａが形成されている。尚、回路素子部２０３には、保持容量とスイッチング用の薄膜トランジスタも形成されているが、図１０ではこれらの図示を省略している。   The element substrate 202 is made of a transparent substrate such as glass, for example. A base protective film 202a made of a silicon oxide film is formed on the element substrate 202, and an island-like semiconductor film made of polycrystalline silicon is formed on the base protective film 202a. 204 is formed. Note that a source region 204a and a drain region 204b are formed in the semiconductor film 204 by high concentration P ion implantation. Note that a portion where P ions are not introduced is a channel region 204c. Further, a transparent gate insulating film 205 covering the base protective film 202a and the semiconductor film 204 is formed, and a gate electrode 206 made of Al, Mo, Ta, Ti, W, or the like is formed on the gate insulating film 205, and the gate electrode 206 is formed. A transparent first interlayer insulating film 207 and a second interlayer insulating film 208 are formed on the gate insulating film 205. The gate electrode 206 is provided at a position corresponding to the channel region 204 c of the semiconductor film 204. Further, contact holes 209 and 210 are formed through the first interlayer insulating film 207 and the second interlayer insulating film 208 and connected to the source region 204a and the drain region 204b of the semiconductor film 204, respectively. A transparent electrode 212 made of ITO (Indium Tin Oxide) or the like is patterned and arranged in a predetermined shape on the second interlayer insulating film 208 (electrode forming step), and one contact hole 209 is formed on the electrode 212. It is connected. The other contact hole 210 is connected to the power supply line 211. In this manner, the driving thin film transistor 203 a connected to each electrode 212 is formed in the circuit element portion 203. In the circuit element portion 203, a storage capacitor and a switching thin film transistor are also formed, but these are not shown in FIG.

発光素子部２１７は、陽極としての電極２１２と、電極２１２上に順次積層された正孔注入輸送層２１６、各有機発光層２１７Ｒ，２１７Ｇ，２１７Ｂと、上層バンク２１５と各有機発光層２１７Ｒ，２１７Ｇ，２１７Ｂとを覆うように積層された陰極２１８とを備えている。この場合、機能層は、正孔注入輸送層２１６とこれに積層された有機発光層２１７Ｒ，２１７Ｇ，２１７Ｂとを含む。なお、陰極２１８と封止基板２１９およびゲッター剤２１９ａを透明な材料で構成すれば、封止基板２１９側から発光する光を出射させることができる。   The light emitting element unit 217 includes an electrode 212 as an anode, a hole injection / transport layer 216 sequentially stacked on the electrode 212, organic light emitting layers 217R, 217G, and 217B, an upper layer bank 215, and organic light emitting layers 217R and 217G. , 217B and a cathode 218 stacked so as to cover. In this case, the functional layer includes a hole injecting and transporting layer 216 and organic light emitting layers 217R, 217G, and 217B laminated thereon. Note that when the cathode 218, the sealing substrate 219, and the getter agent 219a are formed of a transparent material, light emitted from the sealing substrate 219 side can be emitted.

有機ＥＬ表示装置２００は、ゲート電極２０６に接続された走査線（図示省略）とソース領域２０４ａに接続された信号線（図示省略）とを有し、走査線に伝わった走査信号によりスイッチング用の薄膜トランジスタ（図示省略）がオンになると、そのときの信号線の電位が保持容量に保持され、該保持容量の状態に応じて、駆動用の薄膜トランジスタ２０３ａのオン・オフ状態が決まる。そして、駆動用の薄膜トランジスタ２０３ａのチャネル領域２０４ｃを介して、電源線２１１から電極２１２に電流が流れ、更に正孔注入輸送層２１６と各有機発光層２１７Ｒ，２１７Ｇ，２１７Ｂとを介して陰極２１８に電流が流れる。各有機発光層２１７Ｒ，２１７Ｇ，２１７Ｂは、これを流れる電流量に応じて発光する。有機ＥＬ表示装置２００は、このような発光素子部２１７の発光メカニズムにより、所望の文字や画像などを表示することができる。また有機ＥＬ発光素子を複数備えた発光素子部２１７は、後述する有機ＥＬ発光素子の製造方法を用いて製造されており、各有機発光層２１７Ｒ，２１７Ｇ，２１７Ｂの膜厚がほぼ一定であるため、膜厚が不均一による発光ムラ、輝度ムラ等の不具合の少ない高い表示品質を有している。   The organic EL display device 200 includes a scanning line (not shown) connected to the gate electrode 206 and a signal line (not shown) connected to the source region 204a. Switching is performed by the scanning signal transmitted to the scanning line. When a thin film transistor (not shown) is turned on, the potential of the signal line at that time is held in the storage capacitor, and the on / off state of the driving thin film transistor 203a is determined according to the state of the storage capacitor. Then, a current flows from the power supply line 211 to the electrode 212 through the channel region 204c of the driving thin film transistor 203a, and further to the cathode 218 through the hole injection transport layer 216 and the organic light emitting layers 217R, 217G, and 217B. Current flows. Each organic light emitting layer 217R, 217G, 217B emits light according to the amount of current flowing through it. The organic EL display device 200 can display desired characters, images, and the like by the light emission mechanism of the light emitting element portion 217. In addition, the light emitting element portion 217 including a plurality of organic EL light emitting elements is manufactured using a method for manufacturing an organic EL light emitting element described later, and the thickness of each organic light emitting layer 217R, 217G, 217B is substantially constant. In addition, it has high display quality with few defects such as uneven light emission and uneven brightness due to non-uniform film thickness.

＜有機ＥＬ発光素子の製造方法＞
本実施形態の有機ＥＬ発光素子の製造方法は、上記実施形態１の液状体の吐出方法を用い、二層バンク２１３によって区画された区画領域Ａに異なる発光層形成材料を含む液状体を液滴吐出ヘッド２０から液滴として吐出する液状体吐出工程と、付与された液状体を乾燥して有機発光層２１７Ｒ，２１７Ｇ，２１７Ｂを形成する乾燥工程とを備えている。したがって、吐出ムラによる発光ムラ、輝度ムラ等の不具合の少ない複数の有機ＥＬ発光素子を備えた発光素子部２１７を製造することが可能である。 <Method for Manufacturing Organic EL Light Emitting Element>
The manufacturing method of the organic EL light emitting device of the present embodiment uses the liquid material discharge method of the first embodiment, and droplets of liquid materials containing different light emitting layer forming materials in the partitioned areas A partitioned by the two-layer bank 213. A liquid material discharge process for discharging liquid droplets from the discharge head 20 and a drying process for drying the applied liquid material to form the organic light emitting layers 217R, 217G, and 217B are provided. Therefore, it is possible to manufacture the light emitting element portion 217 including a plurality of organic EL light emitting elements with less defects such as light emission unevenness and luminance unevenness due to discharge unevenness.

＜有機ＥＬ表示装置の製造方法＞
次に本実施形態の有機ＥＬ表示装置２００の製造方法について説明する。本実施形態の有機ＥＬ表示装置２００の製造方法は、複数の有機ＥＬ発光素子を備えた発光素子部２１７を上記有機ＥＬ発光素子の製造方法を用いて製造する。したがって、発光素子部２１７が形成された基板２０１と封止基板２１９とを接着剤を用いて接合すれば、吐出ムラによる発光ムラ、輝度ムラ等の不具合の少ない見映えのよい有機ＥＬ表示装置２００を製造することが可能である。なお、素子基板２０２の表面に回路素子部２０３、電極２１２、二層バンク２１３、正孔注入輸送層２１６等を形成する方法は、公知の方法を用いればよい。 <Method for Manufacturing Organic EL Display Device>
Next, a method for manufacturing the organic EL display device 200 of this embodiment will be described. In the manufacturing method of the organic EL display device 200 of the present embodiment, the light emitting element unit 217 including a plurality of organic EL light emitting elements is manufactured using the method for manufacturing an organic EL light emitting element. Therefore, when the substrate 201 on which the light emitting element portion 217 is formed and the sealing substrate 219 are bonded using an adhesive, the organic EL display device 200 having a good appearance with less defects such as uneven light emission and uneven brightness due to uneven discharge. Can be manufactured. As a method for forming the circuit element portion 203, the electrode 212, the two-layer bank 213, the hole injection transport layer 216, and the like on the surface of the element substrate 202, a known method may be used.

上記実施形態３の効果は、以下の通りである。
（１）上記実施形態３の有機ＥＬ発光素子の製造方法は、上記実施形態１の液状体の吐出方法を用い、正孔注入輸送層２１６が形成された区画領域Ａに異なる発光層形成材料を含む液状体を吐出して乾燥することにより、有機発光層２１７Ｒ，２１７Ｇ，２１７Ｂを形成する。したがって、吐出ムラによる発光ムラや輝度ムラを低減して歩留まりよく複数の有機ＥＬ発光素子を備えた発光素子部２１７を製造することができる。 The effects of the third embodiment are as follows.
(1) The manufacturing method of the organic EL light emitting device of the third embodiment uses the liquid material discharge method of the first embodiment, and uses a different light emitting layer forming material in the partition region A where the hole injection transport layer 216 is formed. The organic light emitting layers 217R, 217G, and 217B are formed by discharging and drying the liquid material. Therefore, it is possible to manufacture the light emitting element portion 217 including a plurality of organic EL light emitting elements with high yield by reducing light emission unevenness and luminance unevenness due to discharge unevenness.

（２）上記実施形態３の有機ＥＬ表示装置２００の製造方法は、発光素子部２１７を上記有機ＥＬ発光素子の製造方法を用いて製造する。したがって、発光素子部２１７が形成された基板２０１と封止基板２１９とを接着剤を用いて接合すれば、吐出ムラによる発光ムラ、輝度ムラ等の不具合の少ない見映えのよい有機ＥＬ表示装置２００を製造することができる。   (2) In the method for manufacturing the organic EL display device 200 of the third embodiment, the light emitting element unit 217 is manufactured using the method for manufacturing the organic EL light emitting element. Therefore, when the substrate 201 on which the light emitting element portion 217 is formed and the sealing substrate 219 are bonded using an adhesive, the organic EL display device 200 having a good appearance with less defects such as uneven light emission and uneven brightness due to uneven discharge. Can be manufactured.

（実施形態４）
次に上記実施形態２の液晶表示装置または上記実施形態３の有機ＥＬ表示装置を搭載した電子機器の具体例について図１１を基に説明する。図１１は、電子機器としての携帯電話機を示す概略斜視図である。 (Embodiment 4)
Next, a specific example of an electronic device in which the liquid crystal display device of the second embodiment or the organic EL display device of the third embodiment is mounted will be described with reference to FIG. FIG. 11 is a schematic perspective view showing a mobile phone as an electronic apparatus.

図１１に示すように、本実施形態の電子機器としての携帯電話機１０００は、数字や文字の入力が可能な本体１００２と、本体１００２に対して折りたたみ可能な状態に取り付けられた表示部１００１とを有している。表示部１００１には、液晶表示装置１００または有機ＥＬ表示装置２００が搭載されている。   As shown in FIG. 11, a mobile phone 1000 as an electronic apparatus according to this embodiment includes a main body 1002 capable of inputting numbers and characters, and a display unit 1001 attached to the main body 1002 in a foldable state. Have. A liquid crystal display device 100 or an organic EL display device 200 is mounted on the display unit 1001.

上記実施形態４の効果は、以下の通りである。
（１）上記実施形態４の携帯電話機１０００は、実施形態２の液晶表示装置１００または実施形態３の有機ＥＬ表示装置２００を搭載しているため、色ムラや発光ムラ等の不具合の少ない高い表示品質で文字や画像等の情報を確認することが可能な携帯電話機１０００を提供することができる。 The effects of the fourth embodiment are as follows.
(1) Since the mobile phone 1000 according to the fourth embodiment includes the liquid crystal display device 100 according to the second embodiment or the organic EL display device 200 according to the third embodiment, a high display with less defects such as color unevenness and light emission unevenness. A mobile phone 1000 capable of checking information such as characters and images with quality can be provided.

以上、本発明の実施形態について説明したが、上記各実施形態に対しては、本発明の趣旨から逸脱しない範囲で様々な変形を加えることができる。例えば上記各実施形態以外の変形例は、以下の通りである。   As mentioned above, although embodiment of this invention was described, various deformation | transformation can be added with respect to said each embodiment in the range which does not deviate from the meaning of this invention. For example, modifications other than the above-described embodiments are as follows.

（変形例１）上記実施形態１の液状体の吐出方法は、膜形成領域Ａの長手方向に対してノズル列２２ａ，２２ｂが平行になる所謂横描画方法であるが、膜形成領域Ａの短手方向に対してノズル列２２ａ，２２ｂが平行になる所謂縦描画方法においても適用可能である。   (Modification 1) The liquid material discharge method of the first embodiment is a so-called horizontal drawing method in which the nozzle rows 22a and 22b are parallel to the longitudinal direction of the film formation region A. The present invention can also be applied to a so-called vertical drawing method in which the nozzle rows 22a and 22b are parallel to the hand direction.

（変形例２）上記実施形態１の液状体の吐出方法は、カラーフィルタ１１０の着色層１０５Ｒ，１０５Ｇ，１０５Ｂや有機ＥＬ発光素子の有機発光層２１７Ｒ，２１７Ｇ，２１７Ｂの製造方法に適用することに限定されない。例えば、液晶表示装置１００の配向膜の形成方法、有機ＥＬ表示装置２００の薄膜トランジスタ２０３ａに接続される金属配線等の形成方法など薄膜を有するデバイスの製造方法に適用可能である。   (Modification 2) The liquid material ejection method of the first embodiment is applied to the manufacturing method of the colored layers 105R, 105G, and 105B of the color filter 110 and the organic light emitting layers 217R, 217G, and 217B of the organic EL light emitting element. It is not limited. For example, the present invention can be applied to a method for manufacturing a device having a thin film, such as a method for forming an alignment film of the liquid crystal display device 100 and a method for forming a metal wiring connected to the thin film transistor 203a of the organic EL display device 200.

（変形例３）上記実施形態２のカラーフィルタ１１０の着色層１０５Ｒ，１０５Ｇ，１０５Ｂの配置は、これに限定されない。図１２は、着色層の配置を示す平面図である。例えば、着色層１０５Ｒ，１０５Ｇ，１０５Ｂの配置は、同図（ａ）に示したストライプ状であるが、同図（ｂ）に示すように同一色の着色層が斜め方向に配置されたモザイク状、あるいは同図（ｃ）に示すように三角形の頂点の位置に着色層が配置されたデルタ状でも、本発明の液状体の吐出方法を適用することができる。なお、上記実施形態３の有機ＥＬ表示装置２００の有機発光層２１７Ｒ，２１７Ｇ，２１７Ｂの配置においても同様である。また、着色層は３色に限定されず、ＲＧＢ以外に色再現範囲を拡大する他の色を加えた多色の構成としてもよい。   (Modification 3) The arrangement of the colored layers 105R, 105G, and 105B of the color filter 110 of Embodiment 2 is not limited to this. FIG. 12 is a plan view showing the arrangement of the colored layers. For example, although the colored layers 105R, 105G, and 105B are arranged in a stripe shape as shown in FIG. 5A, the colored layers 105A, 105G, and 105B are in a mosaic shape in which colored layers of the same color are arranged in an oblique direction as shown in FIG. Alternatively, the liquid discharge method of the present invention can be applied to a delta shape in which a colored layer is disposed at the apex of a triangle as shown in FIG. The same applies to the arrangement of the organic light emitting layers 217R, 217G, and 217B of the organic EL display device 200 of the third embodiment. Further, the color layer is not limited to three colors, and may have a multicolor configuration in which other colors that expand the color reproduction range are added in addition to RGB.

（変形例４）上記実施形態３の有機ＥＬ表示装置２００の封止基板２１９は必ずしも必要としない。例えば、基板２０１の発光素子部２１７を覆うように遮光性を有する樹脂等からなる封着剤によって封止してもよい。   (Modification 4) The sealing substrate 219 of the organic EL display device 200 of Embodiment 3 is not necessarily required. For example, the light-emitting element portion 217 of the substrate 201 may be sealed with a sealing agent made of a light-shielding resin or the like.

（変形例５）上記実施形態３の有機ＥＬ表示装置２００の構成はこれ限定されず、例えば、封止基板２１９の替わりにカラーフィルタ１１０を用い、陰極２１８を透明な状態に形成して、白色発光可能な有機発光層を有する発光素子部２１７を備えた基板２０１と封止することにより、所謂トップエミッション型の有機ＥＬ表示装置２００とすることも可能である。   (Modification 5) The configuration of the organic EL display device 200 of the third embodiment is not limited to this. For example, the color filter 110 is used instead of the sealing substrate 219, the cathode 218 is formed in a transparent state, and white By sealing with a substrate 201 including a light emitting element portion 217 having an organic light emitting layer capable of emitting light, a so-called top emission type organic EL display device 200 can be obtained.

（変形例６）上記実施形態２の液晶表示装置１００または上記実施形態３の有機ＥＬ表示装置２００を搭載した電子機器としては、実施形態４の携帯電話機１０００に限定されない。例えば、ＰＤＡ（Personal Digital Assistants）と呼ばれる携帯型情報機器や携帯端末機器、携帯型パーソナルコンピュータ、ワープロ、デジタルスチルカメラ、車載用モニタ、デジタルビデオカメラ、液晶テレビ、ビューファインダ型、モニタ直視型のビデオテープレコーダ、カーナビゲーション装置、ページャ、電子手帳、電卓、ワークステーション、テレビ電話機、ＰＯＳ端末機等、電気光学装置である液晶表示装置や有機ＥＬ表示装置を用いる機器が挙げられる。   (Modification 6) The electronic device on which the liquid crystal display device 100 of the second embodiment or the organic EL display device 200 of the third embodiment is mounted is not limited to the mobile phone 1000 of the fourth embodiment. For example, portable information devices called PDA (Personal Digital Assistants), portable terminal devices, portable personal computers, word processors, digital still cameras, in-vehicle monitors, digital video cameras, liquid crystal televisions, viewfinder types, monitor direct view type videos Examples include tape recorders, car navigation devices, pagers, electronic notebooks, calculators, workstations, video phones, POS terminals, and other devices that use electro-optical devices such as liquid crystal display devices and organic EL display devices.

液滴吐出装置を示す概略斜視図。The schematic perspective view which shows a droplet discharge apparatus. （ａ）は液滴吐出ヘッドの要部構造を示す概略斜視図、（ｂ）は複数のノズルの配列を示す平面図。(A) is a schematic perspective view which shows the principal part structure of a droplet discharge head, (b) is a top view which shows the arrangement | sequence of a some nozzle. 液滴吐出ヘッドの配置を示す概略平面図。FIG. 3 is a schematic plan view showing the arrangement of droplet discharge heads. 制御部および制御部に関連する各部との電気的な構成を示すブロック図。The block diagram which shows an electric structure with each part relevant to a control part and a control part. （ａ）〜（ｃ）は実施例１の液状体の吐出方法を示す概略平面図。(A)-(c) is a schematic plan view which shows the discharge method of the liquid body of Example 1. FIG. （ａ）は実施例２の液状体の吐出方法を示す概略平面図、（ｂ）は実施例２の液状体の吐出方法を示す概略断面図。(A) is a schematic plan view which shows the discharge method of the liquid material of Example 2, (b) is a schematic sectional drawing which shows the discharge method of the liquid material of Example 2. FIG. 液晶表示装置の構造を示す概略斜視図。The schematic perspective view which shows the structure of a liquid crystal display device. カラーフィルタの製造方法を示すフローチャート。The flowchart which shows the manufacturing method of a color filter. （ａ）〜（ｅ）はカラーフィルタの製造方法を示す概略断面図。(A)-(e) is a schematic sectional drawing which shows the manufacturing method of a color filter. 有機ＥＬ表示装置の要部構造を示す概略断面図。The schematic sectional drawing which shows the principal part structure of an organic electroluminescence display. 電子機器としての携帯電話機を示す概略斜視図。The schematic perspective view which shows the mobile telephone as an electronic device. （ａ）〜（ｃ）は着色層の配置を示す平面図。(A)-(c) is a top view which shows arrangement | positioning of a colored layer.

符号の説明Explanation of symbols

１…液滴吐出手段としてのヘッドユニット、２０…液滴吐出ヘッド、２２…ノズル、２２ａ，２２ｂ…ノズル列、３１，３２，３３…異なる着色層形成材料を含む複数種の液状体、１００…電気光学装置としての液晶表示装置、１０１…基板、１０５Ｒ，１０５Ｇ，１０５Ｂ…着色層、１０８…一対の基板としての素子基板、１１０…一対の基板としてのカラーフィルタ、２００…電気光学装置としての有機ＥＬ表示装置、２０１…複数の有機ＥＬ発光素子を有する基板、２１７Ｒ，２１７Ｇ，２１７Ｂ…有機発光層、１０００…電子機器としての携帯電話機、Ａ…膜形成領域および区画領域、Ｄ…膜形成領域としての着色領域、Ｗ…ワーク。
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Head unit as a droplet discharge means, 20 ... Droplet discharge head, 22 ... Nozzle, 22a, 22b ... Nozzle row | line | column, 31, 32, 33 ... Multiple types of liquid bodies containing different colored layer forming material, 100 ... Liquid crystal display device as electro-optical device, 101 ... substrate, 105R, 105G, 105B ... colored layer, 108 ... element substrate as a pair of substrates, 110 ... color filter as a pair of substrates, 200 ... organic as an electro-optical device EL display device, 201... Substrate having a plurality of organic EL light emitting elements, 217R, 217G, 217B... Organic light emitting layer, 1000 ... mobile phone as electronic device, A ... film formation region and partition region, D ... film formation region The colored area of W ... work.

Claims (15)

複数のノズルを有する液滴吐出手段とワークとを対向させて相対移動させる主走査に同期して、前記ワーク上の複数の膜形成領域に対して前記複数のノズルから膜形成材料を含む液状体を吐出する吐出方法であって、
各膜形成領域における最初の前記主走査において掛かる前記複数のノズルのうちの１つのノズルから前記各膜形成領域に前記液状体を液滴として吐出する第１吐出工程と、
前記主走査の方向に対して直交する方向に前記液滴吐出手段と前記ワークとを相対移動させる副走査と、前記各膜形成領域に掛かる前記複数のノズルから前記各膜形成領域に前記液状体の液滴を複数吐出する前記主走査とを行う第２吐出工程とを備えたことを特徴とする吐出方法。 A liquid material containing film forming material from the plurality of nozzles with respect to the plurality of film forming regions on the work in synchronization with the main scanning in which the droplet discharge means having the plurality of nozzles and the work are moved relative to each other. A discharge method for discharging
A first ejection step of ejecting the liquid material as droplets from one of the plurality of nozzles applied in the first main scanning in each film formation region to each film formation region;
Sub-scanning in which the droplet discharge means and the workpiece are relatively moved in a direction orthogonal to the main scanning direction, and the liquid material from the plurality of nozzles applied to the film forming regions to the film forming regions. And a second discharge step for performing the main scanning for discharging a plurality of liquid droplets. 前記第１吐出工程では、前記各膜形成領域に掛かる複数のノズルのうちの前記主走査の方向から見て、前記各膜形成領域の中央に最も近いノズルから当該各膜形成領域のそれぞれに少なくとも１滴の液滴を吐出することを特徴とする請求項１に記載の吐出方法。   In the first discharge step, when viewed from the main scanning direction among the plurality of nozzles applied to each film formation region, at least each of the film formation regions from the nozzle closest to the center of each film formation region. The ejection method according to claim 1, wherein one droplet is ejected. 前記第１吐出工程では、前記各膜形成領域に掛かる複数のノズルのうち前記主走査の方向から見て、異なる位置のノズルから当該各膜形成領域のそれぞれに少なくとも１滴の液滴を吐出することを特徴とする請求項１に記載の吐出方法。   In the first ejection step, at least one droplet is ejected from each of the plurality of nozzles applied to each film formation region to each of the film formation regions from nozzles at different positions when viewed from the main scanning direction. The discharge method according to claim 1. 前記第１吐出工程では、前記第２吐出工程で吐出する液状体の吐出量を補うように液状体を吐出することを特徴とする請求項１ないし３のいずれか一項に記載の吐出方法。   4. The discharge method according to claim 1, wherein in the first discharge step, the liquid material is discharged so as to supplement the discharge amount of the liquid material discharged in the second discharge step. 5. 前記第１吐出工程では、前記第２吐出工程で吐出する液状体の着弾位置の偏りを補うように液状体を吐出することを特徴とする請求項１ないし３のいずれか一項に記載の吐出方法。   4. The discharge according to claim 1, wherein in the first discharge step, the liquid material is discharged so as to compensate for uneven landing positions of the liquid material discharged in the second discharge step. 5. Method. 前記第１吐出工程では、前記第２吐出工程で吐出する液状体の吐出量を補うと共に着弾位置の偏りを補うように液状体を吐出することを特徴とする請求項１ないし３のいずれか一項に記載の吐出方法。   4. The liquid material is discharged in the first discharge step so as to compensate for the discharge amount of the liquid material discharged in the second discharge step and to compensate for uneven landing positions. 5. The discharge method according to item. 前記第１吐出工程と前記第２吐出工程とでは、前記液滴吐出手段と前記ワークとの相対移動速度を変えることを特徴とする請求項１ないし６のいずれか一項に記載の吐出方法。   The discharge method according to claim 1, wherein a relative moving speed between the droplet discharge unit and the workpiece is changed between the first discharge step and the second discharge step. 前記第２吐出工程における前記相対移動速度に対して前記第１吐出工程における前記相対移動速度を速めることを特徴とする請求項７に記載の吐出方法。   The discharge method according to claim 7, wherein the relative movement speed in the first discharge step is increased with respect to the relative movement speed in the second discharge step. 前記液滴吐出手段が複数のノズルを有する複数の液滴吐出ヘッドにより構成されていることを特徴とする請求項１ないし８のいずれか一項に記載の吐出方法。   The discharge method according to claim 1, wherein the droplet discharge unit includes a plurality of droplet discharge heads having a plurality of nozzles. 前記複数のノズルからなるノズル列が、前記膜形成領域の長手方向に対して略平行となるように、前記液滴吐出手段と前記ワークとを対向配置して、該長手方向に対して直交する方向に主走査することを特徴とする請求項９に記載の吐出方法。   The droplet discharge means and the work are arranged opposite to each other so that a nozzle row composed of the plurality of nozzles is substantially parallel to the longitudinal direction of the film forming region, and is orthogonal to the longitudinal direction. The ejection method according to claim 9, wherein main scanning is performed in a direction. 基板と、基板上の複数の区画領域に形成された複数色の着色層とを有するカラーフィルタの製造方法であって、
請求項１ないし１０のいずれか一項に記載の吐出方法を用い、異なる着色層形成材料を含む複数種の液状体を前記複数の区画領域に吐出して乾燥することにより前記複数色の着色層を形成することを特徴とするカラーフィルタの製造方法。 A method for producing a color filter having a substrate and a plurality of colored layers formed in a plurality of partitioned regions on the substrate,
The colored layer of the plurality of colors by discharging a plurality of types of liquid materials containing different colored layer forming materials to the plurality of partitioned regions using the ejection method according to claim 1 and drying. Forming a color filter. 基板と、基板上の複数の区画領域に形成された有機発光層を有する有機ＥＬ発光素子の製造方法であって、
請求項１ないし１０のいずれか一項に記載の吐出方法を用い、発光層形成材料を含む液状体を前記複数の区画領域に吐出して乾燥することにより前記有機発光層を形成することを特徴とする有機ＥＬ発光素子の製造方法。 A method of manufacturing an organic EL light emitting device having a substrate and an organic light emitting layer formed in a plurality of partitioned regions on the substrate,
11. The organic light emitting layer is formed by discharging a liquid containing a light emitting layer forming material to the plurality of partition regions and drying using the discharge method according to any one of claims 1 to 10. A method for producing an organic EL light emitting device. 一対の基板と、前記一対の基板により挟持された電気光学材料としての液晶とを備えた電気光学装置の製造方法であって、
前記一対の基板のうちの一方を請求項１１に記載のカラーフィルタの製造方法を用いて製造することを特徴とする電気光学装置の製造方法。 An electro-optic device manufacturing method comprising a pair of substrates and a liquid crystal as an electro-optic material sandwiched between the pair of substrates,
An electro-optical device manufacturing method, wherein one of the pair of substrates is manufactured using the color filter manufacturing method according to claim 11. 複数の有機ＥＬ発光素子を有する基板を備えた電気光学装置の製造方法であって、
前記有機ＥＬ発光素子を請求項１２に記載の有機ＥＬ発光素子の製造方法を用いて製造することを特徴とする電気光学装置の製造方法。 A method of manufacturing an electro-optical device including a substrate having a plurality of organic EL light emitting elements,
A method for manufacturing an electro-optical device, wherein the organic EL light-emitting element is manufactured using the method for manufacturing an organic EL light-emitting element according to claim 12. 請求項１３または請求項１４に記載の電気光学装置の製造方法を用いて製造された電気光学装置が搭載されたことを特徴とする電子機器。
15. An electronic apparatus on which an electro-optical device manufactured using the method for manufacturing an electro-optical device according to claim 13 is mounted.
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