JP2007183106A - ヘテロダインビートプローブ走査プローブ顕微鏡およびこれによってトンネル電流に重畳された微小信号の計測方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】既知の外部重畳参照高周波(RF)信号もしくは外部重畳参照電磁波信号および未知の高周波信号もしくは電磁波信号を走査プローブ顕微鏡(SPM)にセットされた試料と該試料に対向する探針との間に付与し、外部重畳参照高周波信号もしくは外部重畳参照電磁波信号を未知の高周波信号もしくは電磁波信号に干渉させてヘテロダインビート信号を発生させる。
【選択図】図1
Description
また、本発明は探針は試料に対して非接触領域から表面深度にわたってヘテロダインビートプローブ動作範囲で動作することを特徴とするヘテロダインビートプローブ走査プローブ顕微鏡によるトンネル電流に重畳された微小信号の計測方法を提供する。
走査トンネル顕微鏡分析部1で検出された高周波信号は高周波通通過濾波器21で濾波され、低周波信号は低周波通過濾波器22で濾波される。濾波された低周波は走査トンネルプローブ電流電圧変換機23で対応の電流電圧に変換され、走査プローブ顕微鏡24で画像化され、表示される。
Claims (8)
- 既知の外部重畳参照高周波(RF)信号もしくは外部重畳参照電磁波信号および未知の高周波信号もしくは電磁波信号を走査プローブ顕微鏡(SPM)にセットされた試料と該試料に対向する探針に付与し、外部重畳参照高周波信号もしくは外部重畳参照電磁波信号を未知の高周波信号もしくは電磁波信号に干渉させてヘテロダインビート信号を発生させることを特徴とするヘテロダインビートプローブ走査プローブ顕微鏡。
- 請求項1において、未知の高周波信号もしくは電磁波信号は未知の外部重畳参照高周波信号もしくは外部重畳参照電磁波信号であり、これらの信号によってヘテロダインビート信号を特定することを特徴とすることを特徴とするヘテロダインビートプローブ走査プローブ顕微鏡。
- 請求項1において、外部重畳参照電磁波は光ビートであることを特徴とするヘテロダインビートプローブ走査プローブ顕微鏡。
- 請求項1において、未知の高周波信号もしくは電磁波は試料から発生する高周波信号であることを特徴とするヘテロダインビートプローブ走査顕微鏡。
- 請求項1において、探針の位置は試料に対して非接触領域から表面深度にわたってヘテロダインビートプローブ動作範囲で設定することを特徴とするヘテロダインビートプローブ走査プローブ顕微鏡。
- 既知の外部重畳参照高周波(RF)信号もしくは外部重畳参照電磁波信号および未知の高周波信号もしくは電磁波信号を走査プローブ顕微鏡(SPM)にセットされた試料と該試料に対向する探針に付与し、外部重畳参照高周波信号もしくは外部重畳参照電磁波信号を未知の高周波信号もしくは電磁波信号に干渉させてヘテロダインビート信号を特定し、トンネル電流に重畳された微小信号を計測することを特徴とするヘテロダインプローブ走査プローブ顕微鏡によるトンネル電流に重畳された微小信号の計測方法。
- 請求項6において、前記計測に際して微小信号の増幅を行って計測することを特徴とするヘテロダインプローブ走査プローブ顕微鏡によるトンネル電流に重畳された微小信号の計測方法。
- 請求項6において、探針は試料に対して非接触領域から表面深度にわたってヘテロダインビートプローブ動作範囲で動作することを特徴とするヘテロダインビートプローブ走査プローブ顕微鏡によるトンネル電流に重畳された微小信号の計測方法。
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