JP2007179880A - Film deposition device - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、成膜装置に関する。 The present invention relates to a film forming apparatus.
近年、有機エレクトロルミネッセンス（以下、「有機ＥＬ」という）素子を用いた有機ＥＬパネルが、軽量、高輝度、高視野角、高コントラスト比で他の表示装置より優れているとして注目されている。こうした有機ＥＬパネルを用いた有機ＥＬ表示装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。 In recent years, an organic EL panel using an organic electroluminescence (hereinafter referred to as “organic EL”) element has attracted attention as being superior to other display devices in light weight, high luminance, high viewing angle, and high contrast ratio. An organic EL display device using such an organic EL panel is known (for example, see Patent Document 1).
この種の有機ＥＬ表示装置の製造方法においては、ＥＬ材料を所定の溶媒に分散または溶解させて液滴化（インク化）し、その液滴を複数のノズルを備えた吐出ヘッドの各ノズルから吐出することで、基板上に液状パターンを形成し、その後、液状パターン中の溶媒を除去してＥＬ材料からなる機能膜を形成するようにした、所謂液滴吐出法がある。この液滴吐出法では、必要な量のＥＬ材料を溶媒に分散または溶解させて使用するので、蒸着法やスパッタ法に比べてＥＬ材料の利用効率を向上させることができるという利点がある。
しかしながら、液滴吐出法では、形成される機能膜の膜厚にばらつきが生じてしまうことがある。機能膜の膜厚（発光層の膜厚）は、発光輝度に直接関係するので、機能膜の膜厚にばらつきがあると、輝度ムラといった問題が生じてしまう。この主な原因としては、前記吐出ヘッドの各ノズルの形状ばらつきやノズルの濡れの状態等に起因した、前記液滴の吐出量のばらつきが考えられる。 However, in the droplet discharge method, the thickness of the formed functional film may vary. Since the film thickness of the functional film (the film thickness of the light emitting layer) is directly related to the light emission luminance, if there is a variation in the film thickness of the functional film, there arises a problem of uneven brightness. The main cause is considered to be a variation in the discharge amount of the droplets due to a variation in the shape of each nozzle of the ejection head, a wet state of the nozzle, or the like.
そこで、各ノズルから吐出された液滴量を測定し、その吐出量に基づいて、各ノズル毎に設けられた、液滴の吐出を駆動制御する駆動制御機構をフィードバック制御することで、ノズル毎に液滴の吐出量を補正するものがある。具体的には、特定のノズルから前記液滴を吐出させて、その飛翔時の様子をカメラで撮影する。そして、その撮影結果から、前記液滴の大きさや速度を算出して前記液滴の吐出量を算出する方法が知られている。また、特定のノズルから前記液滴を複数回吐出させて、その液滴の重量を測定し、その測定値を吐出回数で割り算して前記液滴の平均吐出量を算出する方法が知られている。しかし、上記各ノズルからの液滴量の測定方法では、何れも、正確に液滴量の吐出量を測定できなかった。また、測定装置が複雑で、測定に時間がかかり、吐出装置を短時間で調整することが難しかった。 Therefore, the amount of liquid droplets discharged from each nozzle is measured, and feedback control is performed on the drive control mechanism that controls the discharge of liquid droplets provided for each nozzle based on the discharge amount. In some cases, the droplet ejection amount is corrected. Specifically, the droplet is ejected from a specific nozzle, and the state at the time of flight is photographed with a camera. A method for calculating the droplet discharge amount by calculating the size and speed of the droplet from the photographing result is known. Also known is a method of calculating the average discharge amount of the droplets by discharging the droplets from a specific nozzle a plurality of times, measuring the weight of the droplets, and dividing the measured value by the number of discharges. Yes. However, none of the methods for measuring the amount of liquid droplets from the nozzles described above can accurately measure the amount of liquid droplets discharged. Further, the measuring device is complicated, it takes time to measure, and it is difficult to adjust the ejection device in a short time.
本発明は上記問題点を解決するためになされたものであって、その目的は、従来とは異なった方法で、膜厚にばらつきが無くかつ所望の膜厚の膜を形成することが可能な成膜装置を提供することにある。 The present invention has been made to solve the above-mentioned problems, and the object thereof is to form a film having a desired film thickness with no variation in film thickness by a method different from the conventional one. It is to provide a film forming apparatus.
本発明の成膜装置は、機能性材料を溶媒に溶解または分散させた液滴を吐出する吐出用ノズルを有したノズルヘッドを備え、前記液滴を前記吐出用ノズルから吐出して、基板上に形成された液滴配置領域に前記液滴を配置し、前記液滴配置領域に前記機能性材料からなる膜を形成する成膜装置において、前記基板上に配置された液滴に対して所定の波長領域の光を照射する光照射手段と、前記基板上に配置された液滴から発せられる特定波長領
域の光を測定する光測定手段と、前記光測定手段によって測定された前記液滴から発せられる特定波長領域の光に基づいて前記液滴配置領域内に配置された液滴の液滴量を算出し、その算出された液滴の液滴量が予め設定された液滴量に達しているか否かを判断する算出判断手段と、前記算出判断手段によって前記所定領域に配置された前記液滴の液滴量が予め設定された液滴量に達していないと判断された場合、前記吐出用ノズルから前記液滴を前記液滴配置領域に吐出させるための制御信号を生成する制御回路とを備えた。
A film forming apparatus of the present invention includes a nozzle head having a discharge nozzle that discharges a droplet in which a functional material is dissolved or dispersed in a solvent, and discharges the droplet from the discharge nozzle to form a substrate on a substrate. In the film forming apparatus for disposing the droplets in the droplet disposition region formed on the substrate and forming the film made of the functional material in the droplet disposition region, a predetermined amount is applied to the droplets disposed on the substrate. A light irradiating means for irradiating light in the wavelength region, a light measuring means for measuring light in a specific wavelength region emitted from a droplet disposed on the substrate, and the droplet measured by the light measuring means. Based on the emitted light of a specific wavelength region, the droplet amount of the droplet arranged in the droplet arrangement region is calculated, and the calculated droplet amount reaches the preset droplet amount. Calculation determination means for determining whether or not the calculation determination means; When it is determined that the droplet amount of the droplet arranged in the predetermined region does not reach a preset droplet amount, the droplet is ejected from the ejection nozzle to the droplet arrangement region. And a control circuit for generating a control signal.
これによれば、液滴に含まれる溶媒或いは機能性材料中に、蛍光或いは燐光等を発する性質の物質が含まれる場合、その物質を励起する波長領域の光を照射することでその液滴は発光する。液滴から発せられる蛍光或いは燐光等の発光強度は、液滴中に含まれる機能性材料の量に依存するため、蛍光或いは燐光等の波長領域に相当する所定の波長領域の発光を測定することで液滴中の機能性材料の量が分かる。液滴量が予め設定された量に比べて少ない場合、その液滴を吐出したノズルヘッドを使用して再度その所定領域に液滴を吐出することで、所定領域中の液滴の液滴量を適切な量にまで補正することができる。 According to this, when the solvent or functional material contained in the droplet contains a substance that emits fluorescence or phosphorescence, the droplet is irradiated with light in a wavelength region that excites the substance. Emits light. Since the emission intensity of fluorescence or phosphorescence emitted from the droplet depends on the amount of functional material contained in the droplet, light emission in a predetermined wavelength region corresponding to the wavelength region of fluorescence or phosphorescence should be measured. The amount of the functional material in the droplet can be determined by. When the droplet volume is smaller than the preset volume, the droplet volume of the droplet in the predetermined area is discharged again by discharging the droplet to the predetermined area using the nozzle head that discharged the droplet. Can be corrected to an appropriate amount.
本発明の成膜装置は、第１の吐出用ノズルを有した第１のノズルヘッドを備え、機能性材料を溶媒に溶解または分散させた液滴を前記第１のノズルヘッドの前記第１の吐出用ノズルから吐出して基板上に前記液滴を配置させて前記基板上に膜パターンを形成する成膜装置において、前記基板上の所定領域に配置された液滴に対して所定の波長領域の光を照射する光照射手段と、前記基板上に配置された液滴から発せられる特定波長領域の光を測定する光測定手段と、前記光測定手段によって測定された前記液滴から発せられる特定波長領域の光に基づいて前記基板上に配置された液滴の液滴量を算出し、その算出された液滴の液滴量が予め設定された液滴量に達しているか否かを判断する算出判断手段と、前記算出判断手段によって前記所定領域に配置された前記液滴の液滴量が予め設定された液滴量に達していないと判断された場合、前記液滴を前記所定領域に吐出する第２の吐出用ノズルを備えた第２のノズルヘッドとを備えた。 The film forming apparatus of the present invention includes a first nozzle head having a first ejection nozzle, and drops of the functional material dissolved or dispersed in a solvent are collected in the first nozzle head. In a film forming apparatus that forms a film pattern on a substrate by discharging the droplets from a discharge nozzle to form the film pattern on the substrate, a predetermined wavelength region with respect to the droplets disposed in the predetermined region on the substrate A light irradiating means for irradiating light, a light measuring means for measuring light in a specific wavelength region emitted from a droplet disposed on the substrate, and a specific emitted from the droplet measured by the light measuring means Based on the light in the wavelength region, the droplet amount of the droplet placed on the substrate is calculated, and it is determined whether or not the calculated droplet amount reaches a preset droplet amount. Calculation determining means for performing the predetermined determination by the calculation determining means A second discharge nozzle that discharges the droplets to the predetermined region when it is determined that the droplet amount of the droplets arranged in the area does not reach a preset droplet amount; 2 nozzle heads.
これによれば、液滴に含まれる溶媒或いは機能性材料中に、蛍光或いは燐光等を発する性質の物質が含まれる場合、その物質を励起する波長領域の光を照射することでその液滴は発光する。液滴から発せられる蛍光或いは燐光等の発光強度は、液滴中に含まれる機能性材料の量に依存するため、蛍光或いは燐光等の波長領域に相当する所定の波長領域の発光を測定することで液滴中の機能性材料の量が分かる。液滴量が予め設定された量に比べて少ない場合、第２のノズルヘッドを使用して再度その所定領域に液滴を吐出することで、所定領域中の液滴の液滴量を適切な量にまで補正することができる。 According to this, when the solvent or functional material contained in the droplet contains a substance that emits fluorescence or phosphorescence, the droplet is irradiated with light in a wavelength region that excites the substance. Emits light. Since the emission intensity of fluorescence or phosphorescence emitted from the droplet depends on the amount of functional material contained in the droplet, light emission in a predetermined wavelength region corresponding to the wavelength region of fluorescence or phosphorescence should be measured. The amount of the functional material in the droplet can be determined by. When the amount of liquid droplets is smaller than the preset amount, the second nozzle head is used to discharge the liquid droplets again to the predetermined region, thereby reducing the amount of liquid droplets in the predetermined region appropriately. The amount can be corrected.
また、第１のノズルヘッドのノズルが液滴の吐出が不可能である場合であっても、第２のノズルヘッドを使用して液滴を吐出するので、所定領域上に所望の液滴量の液滴を確実に配置させることができる。 Further, even when the nozzle of the first nozzle head cannot discharge the droplet, the second nozzle head is used to discharge the droplet. Can be reliably disposed.
この成膜装置において、前記第２のノズルヘッドの第２の吐出用ノズルは、前記第１のノズルヘッドの第１の吐出用ノズルから吐出される液滴量に比べて少ない量の液滴量の液滴を吐出してもよい。 In this film forming apparatus, the second discharge nozzle of the second nozzle head has a smaller droplet amount than the droplet amount discharged from the first discharge nozzle of the first nozzle head. May be ejected.
これによれば、第２のノズルヘッドから吐出される液滴の吐出量を細かく制御することができるので、所定領域に配置される液滴をより正確に所望の量にまですることができる。 According to this, since the discharge amount of the liquid droplets discharged from the second nozzle head can be finely controlled, the liquid droplets arranged in the predetermined region can be more accurately set to a desired amount.
この成膜装置において、前記第２のノズルヘッドは、前記第１のノズルヘッドと同じキャリッジに搭載されていてもよい。
これによれば、第１のノズルヘッドを使用して液滴を吐出した後に、直ちに第２のノズ
ルヘッドを使用することができる。この結果、短時間で吐出量を所望の量にすることができる。
In the film forming apparatus, the second nozzle head may be mounted on the same carriage as the first nozzle head.
According to this, the second nozzle head can be used immediately after the first nozzle head is used to eject the droplets. As a result, the discharge amount can be set to a desired amount in a short time.
この成膜装置において、前記光測定手段は、前記基板上に配置された前記液滴から発せられる特定波長領域の発光の画像を撮影するようにしてもよい。
これによれば、基板上に配置された液滴は、２次元状の広がりを持っている。このため、特定の位置の発光強度のみを測定しても、液滴量を正確に決定することは難しい。また、複数の点の発光強度を個別に測定すると、測定時間が長くなる。液滴全体の発光の画像を撮影し、その画像データを処理することで液滴量を算出すれば、短時間で効率的に液滴量の測定を行うことができる。
In this film forming apparatus, the light measurement unit may take an image of light emission in a specific wavelength region emitted from the droplets disposed on the substrate.
According to this, the droplets arranged on the substrate have a two-dimensional spread. For this reason, it is difficult to accurately determine the droplet amount even if only the emission intensity at a specific position is measured. Further, when the emission intensity at a plurality of points is individually measured, the measurement time becomes long. If an image of light emission of the entire droplet is taken and the droplet amount is calculated by processing the image data, the droplet amount can be measured efficiently in a short time.
この成膜装置において、前記算出判断手段は、前記液滴が配置された領域の発光のピーク強度に基づいて前記ノズルから吐出された液滴の液滴量を算出してもよい。
これによれば、配置された液滴の大きさ、形状がほぼ一定である場合、基板上での液滴の最大の高さは液滴量に依存した量となる。蛍光或いは燐光等による発光の強度は、基板上での液滴の高さに依存するため、ピーク強度を測定することで、液滴の最大高さを求めることができる。従ってその高さより液滴量を求めることができる。このように発光のピーク強度を用いることにより、簡単な計算で液滴量を求めることができる。
In this film forming apparatus, the calculation determination unit may calculate a droplet amount of the droplet ejected from the nozzle based on a peak intensity of light emission in a region where the droplet is disposed.
According to this, when the size and shape of the arranged droplets are almost constant, the maximum height of the droplets on the substrate is an amount depending on the amount of the droplets. Since the intensity of light emitted by fluorescence or phosphorescence depends on the height of the droplet on the substrate, the maximum height of the droplet can be obtained by measuring the peak intensity. Therefore, the droplet amount can be obtained from the height. As described above, by using the peak intensity of light emission, the amount of droplets can be obtained by simple calculation.
この成膜装置において、前記算出判断手段は、前記基板上に配置された液滴から発せられた光の信号強度を前記液滴が配置した面積に渡って積算することで前記液滴の液滴量を算出してもよい。 In this film forming apparatus, the calculation judging means integrates the signal intensity of the light emitted from the droplet disposed on the substrate over the area where the droplet is disposed, thereby dropping the droplet of the droplet. The amount may be calculated.
これによれば、蛍光或いは燐光による発光の強度は、基板上での液滴の高さに依存するため、ある位置での発光強度はその位置での液滴の高さに依存した量となる。液滴を撮像した画像で、液滴は配置された領域を複数の微小領域、例えば画素毎に分割し、それぞれの平均の発光強度を求める。求められた平均の発光強度からその微小領域の液滴の基板からの高さを求めることができる。各微小領域の面積と、それぞれの高さを掛け合わせ、それらの値を積算することで液滴量を求めることができる。液滴の存在する領域全体で積算することにより、液滴の形状のばらつきが大きい場合でも高い精度で液滴量を求めることができる。 According to this, since the intensity of light emission by fluorescence or phosphorescence depends on the height of the droplet on the substrate, the light emission intensity at a certain position is an amount depending on the height of the liquid droplet at that position. . In an image obtained by imaging a droplet, a region where the droplet is arranged is divided into a plurality of minute regions, for example, pixels, and an average light emission intensity of each is obtained. From the obtained average light emission intensity, the height of the droplet in the minute region from the substrate can be obtained. The amount of liquid droplets can be obtained by multiplying the area of each minute region by the respective height and integrating these values. By accumulating over the entire region where the droplets exist, the amount of droplets can be obtained with high accuracy even when the variation in droplet shape is large.
この成膜装置において、前記溶媒は、蛍光性を有する有機溶媒を含んでもよい。
これによれば、シクロヘキシルベンゼン、トリメチルベンゼン、キシレン等の有機溶媒には、所定の波長領域の光を照射することで蛍光を発光するものが多い。液滴吐出法に用いられる液状組成物は、溶媒に対する溶質の量は０．５％程度から数％であり、そのほとんどが溶媒である。配置される液滴中での組成比の高い溶媒の蛍光による発光を測定することで、Ｓ／Ｎの高い測定を行うことができる。また、機能性材料が、蛍光或いは燐光等を発光する性質を有していない場合であっても、液滴の測定を行うことができる。
In this film forming apparatus, the solvent may include an organic solvent having fluorescence.
According to this, many organic solvents such as cyclohexylbenzene, trimethylbenzene, and xylene emit fluorescence when irradiated with light in a predetermined wavelength region. In the liquid composition used in the droplet discharge method, the amount of the solute with respect to the solvent is about 0.5% to several percent, and most of the solvent is the solvent. By measuring light emission by fluorescence of a solvent having a high composition ratio in the disposed droplets, measurement with a high S / N can be performed. Further, even when the functional material does not have the property of emitting fluorescence or phosphorescence, the droplets can be measured.
この成膜装置において、前記液滴に照射する光は、波長３５０ｎｍ〜４５０ｎｍの光であってもよい。
これによれば、液滴吐出法に使用される有機溶媒の多くは３５０ｎｍ以下の波長の光を殆ど透過しないものが多い。このため、３５０ｎｍ以下の波長の光を照射した場合、その殆どが液滴の表面付近で吸収されてしまうため、蛍光を発したとしても液滴の表面付近の組成物しか発光に寄与しない。このため、発光からは基板上からの液滴の高さに関する情報を得ることができない。照射する光として、３５０ｎｍ〜４５０ｎｍの波長の光を用いることで、溶媒に吸収よる吸収の影響を抑えることができる。４５０ｎｍ以上の波長の光を照射した場合では、強い強度の蛍光や燐光等による発光を得ることが難しい。したがって、照射する光として３５０ｎｍ〜４５０ｎｍ波長の光を用いることで液滴量の測定に有
効な発光を得ながら、照射する光を液滴の底の領域まで届かせることができる。このため、Ｓ／Ｎ比の高く、精度の高い液滴量の測定を行うことができる。
In this film forming apparatus, the light applied to the droplet may be light having a wavelength of 350 nm to 450 nm.
According to this, many of the organic solvents used in the droplet discharge method hardly transmit light having a wavelength of 350 nm or less. For this reason, when light having a wavelength of 350 nm or less is irradiated, most of the light is absorbed in the vicinity of the surface of the droplet. Therefore, even if fluorescence is emitted, only the composition near the surface of the droplet contributes to light emission. For this reason, information on the height of the droplet from the substrate cannot be obtained from the light emission. By using light with a wavelength of 350 nm to 450 nm as the irradiation light, it is possible to suppress the influence of absorption due to absorption by the solvent. In the case of irradiation with light having a wavelength of 450 nm or more, it is difficult to obtain light emission by strong fluorescence or phosphorescence. Therefore, by using light with a wavelength of 350 nm to 450 nm as the irradiation light, the irradiation light can reach the bottom area of the droplet while obtaining light emission effective for measuring the droplet amount. Therefore, it is possible to measure the droplet amount with high S / N ratio and high accuracy.
この成膜装置において、前記光照射手段は、前記所定の波長領域の光を、前記基板の面に対して４５°〜７０°の角度で照射し、前記光測定手段は、前記基板の面に対して垂直な方向に出射される光を測定するようにしてもよい。 In this film forming apparatus, the light irradiating unit irradiates light of the predetermined wavelength region at an angle of 45 ° to 70 ° with respect to the surface of the substrate, and the light measuring unit irradiates the surface of the substrate. Alternatively, light emitted in a direction perpendicular to the direction may be measured.
これによれば、液滴に照射する光を基板面に対して７０°以下とし、基板面に対して垂直な方向に出射される光を測定することで、液滴による反射光或いは散乱光の影響を抑えながら測定を行うことができる。これにより測定する光の信号のＳ／Ｎ比が向上し、液滴量の測定精度を向上することができる。また、液滴に照射する光を基板面に対し４５°以上とすることで、効率良く液滴内部まで照射する光を入射させることができる。従って、高い強度の発光を得ることができる。 According to this, the light irradiating the droplet is set to 70 ° or less with respect to the substrate surface, and the light emitted in the direction perpendicular to the substrate surface is measured. The measurement can be performed while suppressing the influence. As a result, the S / N ratio of the light signal to be measured can be improved, and the measurement accuracy of the droplet amount can be improved. Further, by setting the light applied to the droplet to 45 ° or more with respect to the substrate surface, the light irradiated to the inside of the droplet can be made incident efficiently. Therefore, high intensity light emission can be obtained.
この成膜装置において、前記光照射手段は、前記液滴に所定の波長領域の光を照射する光源に発光ダイオードを用いてもよい。
これによれば、発光ダイオードは、簡単な構成でありながら比較的狭い波長領域の光を、高い輝度で照射することができる。このため、測定の精度を低下させることなく、測定系とくに照明系をコンパクトに構成することができる。更には高速で点灯、消灯することができるため、光を照射終了後、一定時間後に測定を行う場合に容易に対応することができる。
In this film forming apparatus, the light irradiation unit may use a light emitting diode as a light source for irradiating the droplet with light in a predetermined wavelength region.
According to this, the light-emitting diode can irradiate light in a relatively narrow wavelength region with high luminance while having a simple configuration. For this reason, the measurement system, particularly the illumination system, can be made compact without degrading the measurement accuracy. Furthermore, since the light can be turned on and off at high speed, it is possible to easily cope with the case where the measurement is performed after a certain period of time after the irradiation of light.
この成膜装置において、前記機能性材料が発光材料、電荷輸送材料を含んでもよい。
これによれば、液滴吐出法で、発光材料や電荷輸送材料を用いたものの場合、安定して液滴を配置することが難しい。特に液低吐出法を用いる場合には、吐出が不安定となり易く、吐出量のばらつきが発生し易い。本発明は、この様なばらつきを即座に検出し、それによる不良の発生を防止しするものである。
In this film forming apparatus, the functional material may include a light emitting material and a charge transport material.
According to this, in the case of using a light emitting material or a charge transport material in the droplet discharge method, it is difficult to stably dispose the droplet. In particular, when the low liquid discharge method is used, the discharge tends to become unstable and the discharge amount tends to vary. The present invention detects such variations immediately and prevents the occurrence of defects.
（第１実施形態）
以下、本発明の第１実施形態に係る成膜装置について各図に従って説明する。
図１は、本実施形態に係る成膜装置の概略構成を示す斜視図であり、図２は、成膜装置の側面図である。本実施形態の成膜装置は、有機エレクトロルミネッセンス素子の機能層（発光層）を所謂液滴吐出法（インクジェット法）によって形成する際に使用されるものであって、その機能層（発光層）を構成する機能材料を含む液状組成物を基板上に吐出することによって該基板上にその吐出量に応じた膜厚の発光層を形成するための成膜装置である。
(First embodiment)
Hereinafter, a film forming apparatus according to a first embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.
FIG. 1 is a perspective view showing a schematic configuration of a film forming apparatus according to the present embodiment, and FIG. 2 is a side view of the film forming apparatus. The film forming apparatus of the present embodiment is used when a functional layer (light emitting layer) of an organic electroluminescence element is formed by a so-called droplet discharge method (inkjet method), and the functional layer (light emitting layer). 1 is a film forming apparatus for forming a light emitting layer having a film thickness corresponding to the discharge amount on a substrate by discharging a liquid composition containing a functional material constituting the substrate.
図１に示すように、成膜装置１０は、直方体形状の基台１１を備えている。本実施形態では、説明の便宜上、基台１１の長手方向を図１中Ｙ矢印方向に、同Ｙ矢印方向と直交する同基台１１の短手方向を図１中Ｘ矢印方向に合わせてある。
As shown in FIG. 1, the
基台１１の上面１１ａには、Ｙ矢印方向に延びる一対の案内凹溝１２が同Ｙ矢印方向全幅に渡って形成されている。その基台１１の上側には、図示しない直動機構を備えたステージ１４が取付けられている。このステージ１４は、該ステージ１４内部に内蔵された駆動装置Ｄ１（図４参照）によって案内凹溝１２に沿って移動制御されるようになっている。このステージ１４の駆動装置Ｄ１は、公知の直動機構であって、例えば案内凹溝１２に沿ってＹ矢印方向に延びるネジ軸（駆動軸）と、同ネジ軸と螺合するボールナットを備えたネジ式直動機構を備えている。そして、そのネジ軸がステップモータよりなるＹ軸モータに連結され、所定のステップ数に相対する駆動信号がＹ軸モータに入力されると、Ｙ軸
モータが正転又は逆転して、ステージ１４が同ステップ数に相当する分だけ、Ｙ矢印方向に沿って所定の速度で往動又は復動する（Ｙ矢印方向に移動する）ようになっている。尚、本実施形態では、ステージ１４が案内凹溝１２（基台１１）の最も手前側に配置する位置（図１における実線位置）を往動位置として、同案内凹溝１２（基台１１）の最も奥側に配置する位置（図１における２点鎖線位置）を復動位置とする。 ステージ１４の上面には、図示しない吸引式の基板チャック機構を備えた載置面１４ａが形成されている。この載置面１４ａ上に基板Ｓを載置し前記基板チャック機構を作動させることによって、基板Ｓが載置面１４ａ上に位置決め固定される。尚、基板Ｓは、たとえばガラス基板であって、その図３中Ｚ矢印方向側の面（上面）側にマトリクス状に撥液処理が施された複数の液滴配置領域Ｐが配置形成されている。
On the
基台１１のＸ矢印方向両側には、一対の支持アーム１５ａ，１５ｂが立設され、その支持アーム１５ａ，１５ｂには、Ｘ矢印方向に延びる案内部材１６が架設されている。
案内部材１６には、収容タンク１７が配設されている。収容タンク１７には、液状組成物Ｌが収納されている。液状組成物Ｌは、有機エレクトロルミネッセンス素子の発光層を作成するのに一般的に用いられる機能性材料を溶媒中に溶解または分散してなる液状体である。具体的には、本実施形態では、機能性材料としてポリフルオレン系高分子誘導体を、溶媒としてトリメチルベンゼンを用いたものである。尚、ポリフルオレン系高分子誘導体は、４００ｎｍ〜４５０ｎｍの波長領域の光を照射すると、特定波長（５４０ｎｍ〜６００ｎｍ）の光を発する性質を有した有機材料である。
A pair of
A
また、案内部材１６の上側には、制御回路としての制御回路部１８が配設されている。制御回路部１８は、メモリ及びＣＰＵを備え、成膜装置１０全体の動作を統括制御するための各種演算処理を行うものである。
A
一方、案内部材１６の下側には、Ｘ矢印方向に延びる上下一対の案内レール１９がＸ矢印方向全幅に渡って設けられている。案内レール１９には、キャリッジプレートＣＰがＸ矢印方向及び反Ｘ矢印方向に往復移動可能となるように取付けられている。このキャリッジプレートＣＰの移動は、該キャリッジプレートＣＰの内部に内蔵された駆動装置Ｄ２（図４参照）によって駆動制御されるようになっている。尚、このキャリッジプレートＣＰの駆動装置Ｄ２は、公知の直動機構であって、例えば案内レール１９に沿ってＸ矢印方向に延びるネジ軸（駆動軸）と同ネジ軸と螺合するボールナットを備えたネジ式直動機構を備えている。そして、そのネジ軸がステップモータよりなるＸ軸モータに連結され、所定のステップ数に相対する駆動信号がＸ軸モータに入力されると、Ｘ軸モータが正転又は逆転して、キャリッジプレートＣＰが同ステップ数に相当する分だけＸ矢印方向に沿って往動又は復動する。
On the other hand, on the lower side of the
図２に示すように、キャリッジプレートＣＰは、ノズルヘッドとしての液滴吐出ヘッド２１、光測定手段としての撮像装置２２、光照射手段としての照明装置２３を備えている。そして、各液滴吐出ヘッド２１、撮像装置２２、照明装置２３は、キャリッジプレートＣＰの移動に伴って、基板Ｓに対してＸ矢印方向及び反Ｘ矢印方向に沿って相対移動する。
As shown in FIG. 2, the carriage plate CP includes a
液滴吐出ヘッド２１は公知の液滴吐出ヘッドであって、詳しくは、図３に示すように、枠体２４Ａと、収容ケース２４Ｂと、枠体２４Ａと収容ケース２４Ｂとに挟まれて固定された振動板２５とを備えるとともに、枠体２４Ａの図３中反Ｚ矢印方向側、即ち、ステージ１４側の面（下面）には、吐出用ノズルとしてのノズルＮを有したノズルプレート２６を備えている。さらに、液滴吐出ヘッド２１は、収容ケース２４Ｂに収容支持された圧電素子（ピエゾ素子）２７を備えている。
The
振動板２５は、例えば、厚さが約２μｍからなるポリフェニレンサルファイド（ＰＰＳ）フィルムであって、Ｚ矢印方向及び反Ｚ矢印方向（上下方向）に振動可能に貼り付けられている。また、枠体２４Ａは、収容タンク１７（図１参照）と図示しないチューブを介して連結されている。さらに、枠体２４Ａによって液状組成物Ｌを保持する保持室２８が形成されている。保持室２８は、前記チューブを介して供給される液状組成物Ｌを一時的に保持するためのものである。また、圧電素子（ピエゾ素子）２７は前記制御回路部１８によってその駆動が制御されるようになっている。
The
そして、圧電素子（ピエゾ素子）２７に、制御回路部１８にて生成された駆動電圧が供給されて駆動すると、それまで伸びていた圧電素子（ピエゾ素子）２７が縮んでもとの状態に戻るように歪み、それに伴って、振動板２５が変形する。すると、保持室２８に保持されていた液状組成物ＬがノズルＮを通過して粒状に形成された液滴Ｌｏとして吐出される。本実施形態では、１回の吐出動作で、３ピコリットルの液滴量の液滴Ｌｏが吐出されるように圧電素子（ピエゾ素子）２７に供給される駆動電圧が予め調整されている。
When the drive voltage generated by the
撮像装置２２は、たとえば、複数の画素を備えた公知のＣＣＤカメラであって、光学系３１及びバンドパスフィルタ３２を備えている。光学系３１は、たとえば数十倍から数百倍程度の適当な倍率を有した光学系である。この光学系３１によって基板Ｓ上の所定の領域（液滴配置領域）Ｐ上に配置された液滴Ｌｏが適当な大きさで撮影される。バンドパスフィルタ３２は、特定波長の画像のみを撮影するフィルタであって、本実施形態では、多層膜による干渉フィルタで構成されている。また、撮像装置２２は、撮影した光学画像を電気信号に変換しその電気信号を前記制御回路部１８に供給するようになっている。
The
照明装置２３は、光源３３、光学系３４及びバンドパスフィルタ３５を備えている。光源３３は、所定の強度で必要な波長領域の照射光Ｒを発生するものであって、前記制御回路部１８によってその発光タイミングが制御されるようになっている。本実施形態の光源３３は、発光ダイオードで構成されている。発光ダイオードは発光の制御が容易であり、照射光Ｒの照射のタイミングを制御する場合には有効である。尚、光源３３としては、発光ダイオードの他に、ハロゲンランプ、放電灯、各種レーザ等を用いることが可能である。ハロゲンランプや放電灯は、発光の波長領域が広いため、バンドパスフィルタ３５との組み合わせで照射光Ｒとして用いる光の波長領域にする必要がある。
The
光学系３４は、光源３３から出射した照射光Ｒを基板Ｓ上に配置された液滴Ｌｏに均一に照射するためのものであって、本実施形態では、フライアイレンズや散乱板等を用いて構成されている。つまり、本実施形態では、照射光Ｒをほぼ平行な光にして、光学系３４から基板Ｓ上の液滴Ｌｏまで距離が変わっても光量が変化しないようにしている。
The
バンドパスフィルタ３５は、基板Ｓ上に配置された液滴Ｌｏに特定波長の照射光Ｒを照射するためのものであって、本実施形態では、着色ガラスと多層膜干渉フィルタを組み合わせたものを使用することによって５４０ｎｍ〜５８０ｎｍの波長領域の光を透過するようにしている。
The band-
また、照明装置２３は、光源３３から出射した照射光Ｒを、基板Ｓの面（素子形成面）Ｓａに対してθ＝５０°の角度で液滴Ｌｏに傾いて入射するように配置されている。このようにすることで、θ＝５０°未満の角度で入射させた場合に比べて、液滴Ｌｏに入射する照射光Ｒの量を多くすることができる。また、液滴Ｌｏ表面の凹凸による光の入射への影響を小さくすることができる。この結果、液滴Ｌｏ全体に均一に光を入射させることができる。さらに、θ＝５０°以上の角度で入射させた場合に比べて、液滴Ｌｏに浸透せず表面にて図３中Ｚ矢印方向（垂直方向）に反射する反射光等を小さくすることができる。
The
次に、成膜装置１０の電気的構成について説明する。
図４は、液滴吐出ヘッド２１、撮像装置２２、照明装置２３、ステージ１４及びキャリッジプレートＣＰの制御系を示したものである。図４に示すように、液滴吐出ヘッド２１、撮像装置２２、照明装置２３、ステージ１４の駆動装置Ｄ１及びキャリッジプレートＣＰの駆動装置Ｄ２は、それぞれ前記制御回路部１８に電気的に接続され、同制御回路部１８にて生成される制御信号Ｑ１〜Ｑ５に従って各装置の駆動タイミングが統合的に制御されるようになっている。
Next, the electrical configuration of the
FIG. 4 shows a control system for the
詳しくは、制御回路部１８は、制御プログラム、算出判断プログラム及び補正プログラムを格納している。制御プログラムは、ステージ１４の載置面１４ａ上に基板Ｓが載置されたことを確認し基板チャック機構を作動させた後、ステージ１４及びキャリッジプレートＣＰを移動させて、液滴吐出ヘッド２１の吐出ノズルＮを液滴配置領域Ｐに対向する位置に順次移動させるためのプログラムを含んでいる。また、制御プログラムは、圧電素子（ピエゾ素子）２７に給電しノズルＮから液滴Ｌｏを吐出させるためのプログラムを含んでいる。さらに、照明装置２３の光源３３を作動させて基板Ｓ上に配置した液滴Ｌｏに対して照射光Ｒを所定期間照射させるためのプログラムを含んでいる。さらにまた、制御プログラムは、撮像装置２２を駆動させて基板Ｓ上に配置した液滴Ｌｏから発せられる特定波長領域（波長：５４０ｎｍ〜５８０ｎｍ）の画像（光）を撮影（測定）するためのプログラムを含んでいる。
Specifically, the
算出判断プログラムは、撮像装置２２によって撮影（測定）された画像（光）に基づいて基板Ｓ上に配置された液滴Ｌｏの液滴量を算出するためのプログラムを含んでいる。また、算出判断プログラムは、その算出された液滴Ｌｏの液滴量が予め設定された液滴量に達しているか否かを判断するためのプログラムを含んでいる。
The calculation determination program includes a program for calculating the droplet amount of the droplet Lo arranged on the substrate S based on an image (light) photographed (measured) by the
補正プログラムは、前記算出判断プログラムによって算出された液滴Ｌｏの液滴量が予め設定された液滴量に達していない（吐出不良）と判断された場合、ステージ１４及びキャリッジプレートＣＰを駆動し、液滴吐出ヘッド２１の吐出ノズルＮをその吐出不良の液滴配置領域Ｐに対向する位置に移動させて、再度ノズルＮから液滴Ｌｏを追加吐出させるためのプログラムである。
The correction program drives the
図５は、キャリッジプレートＣＰの移動のタイミング、液滴吐出ヘッド２１の液滴吐出のタイミング、照明装置２３の光源３３の点灯／消灯のタイミング及び撮像装置２２の撮影のタイミングの関係を示した図である。
FIG. 5 is a diagram showing the relationship between the movement timing of the carriage plate CP, the droplet ejection timing of the
図５に示すように、制御回路部１８は、制御プログラムに従ってステージ１４の載置面１４ａ上に基板Ｓが載置されたことを確認すると、光源３３を点灯させる旨の光源制御信号Ｑ４を生成し照明装置２３へ出力する。この結果、照明装置２３から照射光Ｒが基板Ｓ上の所定の液滴配置領域Ｐに向かって照射される。
As shown in FIG. 5, when it is confirmed that the substrate S is placed on the
続いて、制御回路部１８は、制御プログラムに従って液滴吐出ヘッド制御信号Ｑ３を生成し液滴吐出ヘッド２１へ出力する。この結果、ノズルＮから液滴Ｌｏが基板Ｓ上の液滴配置領域Ｐに吐出される。本実施形態では、連続して６回液滴Ｌｏが同一の液滴配置領域Ｐに対して吐出されるようになっている。つまり、本実施形態の液滴吐出ヘッド２１は、１回の液滴Ｌｏの吐出量が３ピコリットルとなるように設定されているので、３ピコリットル×６回＝１８ピコリットルの液滴Ｌｏが一つの液滴配置領域Ｐに対して配置されるように設定されている。また、このとき、照射光Ｒは液滴Ｌｏが配置される液滴配置領域Ｐに予め照射されているので、ノズルＮから吐出された液滴Ｌｏは基板Ｓに配置した時点から照射光Ｒに照射され始める。
Subsequently, the
また、制御回路部１８は、液滴吐出ヘッド制御信号Ｑ２を液滴吐出ヘッド２１へ出力した時点を、液滴Ｌｏが基板Ｓ上に配置された時刻（吐出開始時刻）として認識し、吐出開始時刻を基準としたそれ以降の経過時間ｔ２をカウントし始める。
Further, the
その後、制御回路部１８は、制御プログラムに従って光源３３を消灯させる旨の光源制御信号Ｑ４を生成し、照明装置２３に出力する。この結果、液滴Ｌｏに対する照射光Ｒの照射が終了する。すると、液滴Ｌｏは、照射された照射光Ｒを吸収したことにより、特定波長（５４０ｎｍ〜６００ｎｍ）の光を発する。制御回路部１８は、光源３３を消灯させる旨の光源制御信号Ｑ４を照明装置２３へ出力した時刻を、液滴Ｌｏが発光を開始した時刻（発光開始時刻）として認識し、発光開始時刻を基準としたそれ以降の時間ｔ１をカウントし始める。
Thereafter, the
続いて、制御回路部１８は、吐出開始時刻を基準とした経過時間ｔ２が予め設定された値に到達したと判断すると、制御プログラムに従って、撮像装置制御信号Ｑ５を生成し撮像装置２２へ出力する。この結果、撮像装置２２が駆動され撮影が実行される。このとき、撮像装置２２は、液滴Ｌｏから発せられる光のうち、基板Ｓの面に対して垂直な方向に出射される光を測定する。このような制御を行うことにより、吐出開始時刻を基準に経過時間ｔ２が常に予め定めた値になったときに、撮像装置制御信号Ｑ５を出力するため、撮影が行われるまでの間に蒸発する液滴Ｌｏ中の溶媒成分の量を一定に保つことが可能となる。この結果、液滴Ｌｏから溶媒が蒸発することによる測定への影響を低減することができる。
Subsequently, when the
次に、制御回路部１８は、算出判断プログラムに従って撮像装置２２によって撮影（測定）された画像（光）から液滴Ｌｏの液滴量を算出する。詳しくは、算出判断プログラムに従って撮像装置２２より得た電気信号より、まず液滴Ｌｏが配置した領域を決定する。これには、一般的な画像処理での輪郭検出の手順が有効である。つまり、液滴Ｌｏが配置されている領域の端では急激に測定される電気信号の強度が高くなるため、隣接する無発光領域の電気信号の信号強度とは大きな差が生じる。このため、この差を計算し、一定値以上の値を有する箇所を求めることで、輪郭を検出することができる。そして、その輪郭に相当する撮像の内側に相当する領域を、液滴Ｌｏが配置されている領域と認識する。続いて、液滴Ｌｏが配置されている領域内の電気信号の強度を、各画素毎に比較していくことにより、その最大値（ピーク強度）を求める。この電気信号のピーク強度と、予め実験により求めておいた発光のピーク強度から液滴量を換算し、液滴配置領域Ｐに配置されている液滴Ｌｏの液滴量を求める。
Next, the
次に、その算出された液滴Ｌｏの液滴量が予め設定された液滴量に達しているか否かを判断する。つまり、本実施形態では、１回で吐出される液滴量は３ピコリットルであり、１つの液滴配置領域Ｐ上に対して６回吐出されることで合計１８ピコリットルの液滴量が配置されることになっている。そこで、算出された液滴Ｌｏの液滴量が１５ピコリットル未満であると判断された場合、吐出不良と判断され、一方、算出された液滴Ｌｏの液滴量が１５ピコリットル以上であると判断された場合、吐出良好と判断されるようになっている。 Next, it is determined whether or not the calculated droplet amount of the droplet Lo has reached a preset droplet amount. In other words, in the present embodiment, the amount of droplets ejected at one time is 3 picoliters, and a total of 18 picoliters of droplets are ejected onto one droplet placement region P by being ejected six times. To be placed. Accordingly, when it is determined that the calculated droplet volume of the droplet Lo is less than 15 picoliters, it is determined that the ejection is defective, while the calculated droplet volume of the droplet Lo is 15 picoliters or more. When it is determined that the discharge is good, it is determined that the discharge is good.
続いて、制御回路部１８は、算出された液滴Ｌｏの液滴量が吐出不良であると判断された場合、補正プログラムに従って、液滴吐出ヘッド２１の吐出ノズルＮをその吐出不良の液滴配置領域Ｐに対向する位置に移動させる旨の制御信号Ｑ２を生成し、キャリッジプレートＣＰの駆動装置Ｄ２へ出力する。この結果、キャリッジプレートＣＰが駆動しその吐出ノズルＮが、その吐出不良の液滴配置領域Ｐに対向する位置に移動する。そして、制御回路部１８は、制御プログラムに従って液滴吐出ヘッド制御信号Ｑ３を生成し液滴吐出ヘッド２１へ出力し、ノズルＮから液滴Ｌｏが基板Ｓ上の液滴配置領域Ｐに追加吐出される
。このとき、算出判断プログラムに従って算出された液滴量が３ピコリットル以上６ピコリットル未満である場合は４回、６ピコリットル以上９ピコリットル未満である場合は３回、９ピコリットル以上１２ピコリットル未満である場合は２回、１２ピコリットル以上１５ピコリットル未満である場合は１回だけ液滴Ｌｏをその液滴配置領域Ｐに対して吐出するようになっている。この結果、算出された液滴量が３ピコリットル以上６ピコリットル未満である液滴配置領域Ｐには、３ピコリットル×４回＝１２ピコリットルの液滴Ｌｏが追加されることとなる。
Subsequently, when it is determined that the calculated droplet amount of the droplet Lo is a discharge failure, the
また、算出された液滴量が６ピコリットル以上９ピコリットル未満である液滴配置領域Ｐには、３ピコリットル×３回＝９ピコリットルの液滴Ｌｏが追加されることとなる。従って、この液滴配置領域Ｐには１５ピコリットル以上１８ピコリットル未満の液滴Ｌｏが配置されることとなる。さらに、算出された液滴量が９ピコリットル以上１２ピコリットル未満である液滴配置領域Ｐには、３ピコリットル×２回＝６ピコリットルの液滴Ｌｏが追加されることとなる。さらにまた、算出された液滴量が１２ピコリットル以上１５ピコリットル未満である液滴配置領域Ｐには、３ピコリットル×１回＝３ピコリットルの液滴Ｌｏが追加されることとなる。 In addition, a droplet Lo of 3 picoliters × 3 times = 9 picoliters is added to the droplet arrangement region P in which the calculated droplet amount is 6 picoliters or more and less than 9 picoliters. Accordingly, a droplet Lo of 15 picoliters or more and less than 18 picoliters is arranged in the droplet arrangement region P. Furthermore, a droplet Lo of 3 picoliters × 2 times = 6 picoliters is added to the droplet arrangement region P in which the calculated droplet amount is 9 picoliters or more and less than 12 picoliters. Furthermore, a droplet Lo of 3 picoliters × one time = 3 picoliters is added to the droplet arrangement region P in which the calculated droplet amount is 12 picoliters or more and less than 15 picoliters.
一方、算出された液滴Ｌｏの液滴量が吐出良好であると判断された場合、制御回路部１８は、制御プログラムに従って、光源３３を点灯させる旨の光源制御信号Ｑ４を生成し照明装置２３へ出力する。その後、続いて、液滴吐出ヘッド２１の吐出ノズルＮを新たな液滴配置領域Ｐに対向する位置に移動させる旨の液滴吐出ヘッド制御信号Ｑ３を生成し、キャリッジプレートＣＰの駆動装置Ｄ２へ出力する。この結果、キャリッジプレートＣＰが駆動しその吐出ノズルＮが、その新たな液滴配置領域Ｐに対向する位置に移動する。そして、その新たな液滴配置領域Ｐに対して照射光Ｒが照射された状態で、液滴Ｌｏが吐出される。
On the other hand, if it is determined that the calculated droplet amount of the droplet Lo is good, the
上記したように、本実施形態によれば、以下の効果を奏する。
（１）本実施形態によれば、基板Ｓ上に配置された液滴Ｌｏに照射光Ｒを照射し、液滴Ｌｏの発光させるようにした。このとき、発光する光（蛍光或いは燐光等）の発光強度は、液滴Ｌｏ中に含まれる機能性材料の量に依存するので、蛍光或いは燐光等の波長領域に相当する所定の波長領域の発光を測定することで液滴Ｌｏ中の機能性材料の量を測定することができる。
As described above, according to the present embodiment, the following effects are obtained.
(1) According to the present embodiment, the droplet Lo arranged on the substrate S is irradiated with the irradiation light R so that the droplet Lo emits light. At this time, the emission intensity of the emitted light (fluorescence or phosphorescence, etc.) depends on the amount of the functional material contained in the droplet Lo, so that light emission in a predetermined wavelength region corresponding to the wavelength region of fluorescence or phosphorescence, etc. By measuring the amount of the functional material in the droplet Lo.
（２）本実施形態によれば、液滴配置領域Ｐ上に配置された液滴Ｌｏから発せられる光の発光強度が予め設定された値未満である場合、その液滴配置領域Ｐを吐出不良であると判断し、その液滴配置領域Ｐに対して、再度使用した液滴吐出ヘッド２１の吐出ノズルＮを使用して液滴Ｌｏを追加吐出するようにした。従って、各液滴配置領域Ｐ毎によってその液滴Ｌｏの吐出量にはムラがないので、各液滴配置領域Ｐ間で膜厚が均一な膜を形成することができる。
(2) According to this embodiment, when the emission intensity of light emitted from the droplet Lo arranged on the droplet arrangement region P is less than a preset value, the droplet arrangement region P is poorly ejected. Therefore, the droplet Lo was additionally discharged to the droplet arrangement region P using the discharge nozzle N of the
（３）本実施形態では、液滴吐出ヘッド２１を使用して液滴Ｌｏを吐出した後、その吐出量が予め設定された値未満である場合、同じ液滴吐出ヘッド２１を再度使用して、液滴Ｌｏを追加吐出するようにした。従って、キャリッジプレートＣＰを小さくすることができるにで、成膜装置１０全体をコンパクトにすることができる。
(3) In the present embodiment, after the droplet Lo is ejected using the
（４）本実施形態によれば、撮像装置２２によって撮影した液滴Ｌｏの発光のピーク強度により液滴Ｌｏの液滴量を算出するようにした。この結果、簡単な計算で吐出不良量である液滴配置領域Ｐを見出すことができる。
(4) According to the present embodiment, the droplet amount of the droplet Lo is calculated from the peak intensity of light emission of the droplet Lo photographed by the
（５）本実施形態によれば、液状組成物Ｌを、機能性材料を溶媒に溶解または分散させ
たものとした。従って、液滴吐出ヘッド２１から液状組成物Ｌを吐出させてその吐出量に応じた膜厚の膜を形成するようにした、所謂液滴吐出法によって膜を形成する場合、その液滴Ｌｏの吐出量を測定することができることから、形成する膜の膜厚や膜質の均一性を向上させることができる。
(5) According to this embodiment, the liquid composition L is obtained by dissolving or dispersing a functional material in a solvent. Therefore, when the film is formed by the so-called droplet discharge method in which the liquid composition L is discharged from the
（６）本実施形態によれば、液滴Ｌｏを構成する溶媒は蛍光性を有する有機溶媒である。従って、溶媒に対する溶質の量は０．５％程度から数％であり、そのほとんどが溶媒である。この結果、液滴Ｌｏ中での組成比の高い溶媒の蛍光による発光を測定することで、Ｓ／Ｎの高い測定を行うことができる。また、液滴Ｌｏを構成する機能性材料が、蛍光或いは燐光等を発光する性質を有していない場合であっても、液滴Ｌｏの液滴量の測定を行うことができる。 (6) According to this embodiment, the solvent constituting the droplet Lo is an organic solvent having fluorescence. Therefore, the amount of the solute with respect to the solvent is about 0.5% to several%, most of which is the solvent. As a result, it is possible to perform measurement with a high S / N ratio by measuring light emission due to fluorescence of a solvent having a high composition ratio in the droplet Lo. Even when the functional material constituting the droplet Lo does not have the property of emitting fluorescence or phosphorescence, the droplet amount of the droplet Lo can be measured.
（７）本実施形態によれば、照射光Ｒの波長を３５０ｎｍ〜４５０ｎｍとした。従って、液滴Ｌｏの底の領域まで液滴Ｌｏ内部に均一に照射光Ｒを照射することができるので、液滴Ｌｏからの発光を液滴Ｌｏ全体からの発光とすることができる。この結果、Ｓ／Ｎ比の高く、精度の高い液滴Ｌｏの液滴量の測定を行うことができる。 (7) According to the present embodiment, the wavelength of the irradiation light R is set to 350 nm to 450 nm. Accordingly, since the irradiation light R can be uniformly irradiated to the inside of the droplet Lo up to the bottom region of the droplet Lo, the light emission from the droplet Lo can be the light emission from the entire droplet Lo. As a result, it is possible to measure the droplet amount of the droplet Lo with high S / N ratio and high accuracy.
（８）本実施形態によれば、照射光Ｒが基板Ｓの面（素子形成面）Ｓａに対して５０°の角度で入射するように照明装置２３をキャリッジプレートＣＰに搭載した。そして、基板Ｓの面Ｓａ対して垂直な方向に出射される光を撮像装置２２によって撮影するようにした。従って、液滴Ｌｏ表面での反射光或いは散乱光の影響を抑えられる。この結果、測定する画像（光）のＳ／Ｎ比が向上し、液滴Ｌｏの液滴量の測定精度を向上させることができる。また、照射光Ｒを液滴Ｌｏの内部まで効率良く照射させることができるので、高い強度の発光を得ることができる。
(8) According to the present embodiment, the
（９）本実施形態によれば、照射光Ｒの光源１３Ａを発光ダイオードとした。従って、発光ダイオードは、簡単な構成でありながら比較的狭い波長領域の光を、高い輝度で照射することができるため、測定の精度を低下させることなく、照明装置１３をコンパクトに構成することができる。更には、高速で点灯、消灯することができるため、照射光Ｒを照射終了後、一定時間後に測定を行う場合に容易に対応することができる。 (9) According to the present embodiment, the light source 13A of the irradiation light R is a light emitting diode. Therefore, the light emitting diode can irradiate light in a relatively narrow wavelength region with high luminance even though it has a simple configuration, so that the illumination device 13 can be configured compactly without degrading measurement accuracy. it can. Furthermore, since the light can be turned on and off at high speed, it is possible to easily cope with the case where the measurement is performed after a certain time after the irradiation of the irradiation light R.
（１０）本実施形態によれば、液滴Ｌｏ（液状組成物Ｌ）を構成する機能性材料は、発光材料、電荷輸送材料を含んでいる。従って、一般に、発光材料、電荷輸送材料を含んでなる液滴Ｌｏ（液状組成物）は、吐出が不安定となり易く、吐出量のばらつきが発生し易いが、この様なばらつきを即座に検出し、それによる不良の発生を防止することができる。
（第２実施形態）
次に、本発明の第２実施形態に係る成膜装置について図６〜図８に従って説明する。本実施形態の成膜装置の構成は、そのキャリッジプレートＣＰに２つの液滴吐出ヘッドを設けている他は、上記第１実施形態に係る成膜装置と同じである。従って、上記第１実施形態に係る成膜装置１０と同じ部材については、同じ符号を付し、その詳細な説明を省略する。
(10) According to the present embodiment, the functional material constituting the droplet Lo (liquid composition L) includes a light emitting material and a charge transport material. Therefore, in general, a droplet Lo (liquid composition) containing a light emitting material and a charge transporting material is likely to be unstable in discharge and a variation in discharge amount is likely to occur, but such a variation is detected immediately. Therefore, it is possible to prevent the occurrence of defects.
(Second Embodiment)
Next, a film forming apparatus according to a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. The configuration of the film forming apparatus of the present embodiment is the same as that of the film forming apparatus according to the first embodiment, except that two droplet discharge heads are provided on the carriage plate CP. Accordingly, the same members as those in the
図６に示すように、本実施形態に係るキャリッジプレートＣＰには、第１のノズルヘッドとしての液滴吐出ヘッド２１、撮像装置２２、照明装置２３に加えて第２のノズルヘッドとしての第２の液滴吐出ヘッド４１が液滴吐出ヘッド２１に隣接して図６中反Ｙ矢印方向側に設けられている。以下、本実施形態においては、説明の便宜上、液滴吐出ヘッド２１を第２の液滴吐出ヘッド４１と区別するために、「第１の液滴吐出ヘッド２１」と記載する。
As shown in FIG. 6, the carriage plate CP according to the present embodiment includes a
第２の液滴吐出ヘッド４１は、第１の液滴吐出ヘッド２１と同じ構造である。つまり、第２の液滴吐出ヘッド４１は、枠体４２Ａと、収容ケース４２Ｂと、枠体４２Ａと収容ケース４２Ｂとで挟まれて固定された振動板４３とを備えるとともに、枠体４２Ａの図３中反Ｚ矢印方向側、即ち、ステージ１４側の面（下面）に第２の吐出用ノズルとしてのノズルＮｏを有したノズルプレート４４を備えている。さらに、第２の液滴吐出ヘッド４１は、収容ケース４２Ｂに収容支持された圧電素子（ピエゾ素子）４５を備えている。
The second
また、枠体４２Ａによって液状組成物Ｌを保持する保持室４８が形成されている。保持室４８は、前記チューブを介して供給される液状組成物Ｌを一時的に保持するためのものである。また、圧電素子（ピエゾ素子）４５は前記制御回路部１８によってその駆動が制御されるようになっている。
A holding
第２の液滴吐出ヘッド４１は、第１の液滴吐出ヘッド２１から吐出される液滴Ｌｏの吐出量に比べて少ない量の液滴Ｌｏが吐出されるようになっている。第１の液滴吐出ヘッド２１は、３ピコリットルの液滴Ｌｏが吐出されるように設定されているので、第２の液滴吐出ヘッド４１からは３ピコリットル未満の液滴量の液滴Ｌｏが吐出されるように設定されている。本実施形態では１回の吐出動作で１ピコリットルの液滴量の液滴Ｌｏが吐出されるように圧電素子（ピエゾ素子）４５に供給される駆動電圧が予め調整されている。
The second
次に、本実施形態に係る成膜装置１０の電気的構成について説明する。
図７は、第１の液滴吐出ヘッド２１、第２の液滴吐出ヘッド４１、撮像装置２２、照明装置２３、ステージ１４及びキャリッジプレートＣＰの制御系を示したものである。図７に示すように、第１及び第２の液滴吐出ヘッド２１，４１、撮像装置２２、照明装置２３、ステージ１４の駆動装置Ｄ１及びキャリッジプレートＣＰの駆動装置Ｄ２は、それぞれ前記制御回路部１８に電気的に接続され、同制御回路部１８にて生成される制御信号Ｑ１〜Ｑ６に従って各装置の駆動タイミングが統合的に制御されるようになっている。
Next, the electrical configuration of the
FIG. 7 shows a control system for the first
制御回路部１８は、制御プログラム、算出判断プログラム及び補正プログラムを格納している。制御プログラム及び算出判断プログラムは、上記第１実施形態と同じである。本実施形態の補正プログラムは、算出判断プログラムによって算出された液滴Ｌｏの液滴量が予め設定された値に達していないと判断された場合、吐出不良であると認識する。そして、ステージ１４及びキャリッジプレートＣＰを駆動し、第２の液滴吐出ヘッド４１の吐出ノズルＮｏをその吐出不良の液滴配置領域Ｐに対向する位置に移動させて、同吐出ノズルＮｏから液滴Ｌｏを追加吐出させるためのプログラムである。
The
図８は、本実施形態に係るキャリッジプレートＣＰの移動のタイミング、第１及び第２の液滴吐出ヘッド２１，４１の液滴吐出のタイミング、照明装置２３の光源３３の点灯／消灯のタイミング及び撮像装置２２の撮影のタイミングの関係を示した図である。図８に示すように、制御回路部１８は、上記第１実施形態と同様にして制御プログラムに従って光源３３を点灯させる旨の光源制御信号Ｑ４を出力した状態で、第１の液滴吐出ヘッド２１を駆動させる旨の第１の液滴吐出ヘッド制御信号Ｑ２を出力しそのノズルＮから液滴Ｌｏを、連続して６回同一の液滴配置領域Ｐに対して吐出させる。そして、制御回路部１８は、吐出開始時刻を基準とした経過時間ｔ２が予め設定された値に到達したと判断すると、制御プログラムに従って、撮像装置制御信号Ｑ５を生成し撮像装置２２を駆動させて撮影を実行する。そして、上記第１実施形態と同様にして、制御回路部１８は、算出判断プログラムに従って撮像装置２２によって撮影（測定）された画像（光）に基づいて液滴Ｌｏの液滴量を算出する。
FIG. 8 shows the timing of movement of the carriage plate CP according to the present embodiment, the timing of droplet ejection of the first and second droplet ejection heads 21 and 41, the timing of turning on / off the
次に、制御回路部１８は、算出された液滴Ｌｏの液滴量が吐出不良であると判断された場合、補正プログラムに従って、第２の液滴吐出ヘッド４１の吐出ノズルＮｏをその吐出
不良の液滴配置領域Ｐに対向する位置に移動させる旨の第２の液滴吐出ヘッド制御信号Ｑ６を生成し、キャリッジプレートＣＰの駆動装置Ｄ２へ出力する。この結果、キャリッジプレートＣＰが駆動しその吐出ノズルＮｏが、その吐出不良の液滴配置領域Ｐに対向する位置に移動する。そして、制御回路部１８は、制御プログラムに従って液滴吐出ヘッド制御信号Ｑ３を生成し第２の液滴吐出ヘッド４１へ出力し、ノズルＮｏから液滴Ｌｏを基板Ｓ上の液滴配置領域Ｐに吐出する。このとき、算出判断プログラムに従って算出された液滴量が１７ピコリットルの場合は１回、１６ピコリットルの場合は２回、１５ピコリットルの場合は３回、・・・、０ピコリットルの場合は１８回その液滴配置領域Ｐに対して吐出すようになっている。この結果、吐出不良の液滴配置領域Ｐには、１８ピコリットルの液滴Ｌｏが配置されることとなる。
Next, when it is determined that the calculated droplet amount of the droplet Lo is a discharge failure, the
一方、算出された液滴Ｌｏの液滴量が吐出良好であると判断された場合（即ち、１８ピコリットルであると判断された場合）、制御回路部１８は、上記第１実施形態と同様に、制御プログラムに従って、光源３３を点灯させる旨の光源制御信号Ｑ４を生成し照明装置２３へ出力する。その後、続いて、第１の液滴吐出ヘッド２１の吐出ノズルＮを新たな液滴配置領域Ｐに対向する位置に移動させる旨の制御信号Ｑ１を生成し、キャリッジプレートＣＰの駆動装置Ｄ２へ出力する。
On the other hand, when it is determined that the calculated droplet amount of the droplet Lo is good (that is, when it is determined that it is 18 picoliters), the
上記したように、本実施形態によれば、以下の効果を奏する。
（１）本実施形態によれば、第１の液滴吐出ヘッド２１を使用して液滴Ｌｏを吐出した後、その吐出量が予め設定された量ではない場合、第２の液滴吐出ヘッド４１を使用して、再度吐出不良の液滴配置領域Ｐに対して液滴Ｌｏを吐出するようにした。従って、第１の液滴吐出ヘッド２１から液滴Ｌｏが吐出されない場合であっても、液滴配置領域Ｐに対して所望の量の液滴Ｌｏを配置させることができる。
As described above, according to the present embodiment, the following effects are obtained.
(1) According to the present embodiment, after the droplet Lo is ejected using the first
（２）本実施形態によれば、第１の液滴吐出ヘッド２１の吐出ノズルＮから吐出される液滴Ｌｏの吐出量を３ピコリットルとし、第２の液滴吐出ヘッド４１の吐出ノズルＮｏから吐出される液滴Ｌｏの吐出量を１ピコリットルとした。従って、第２の液滴吐出ヘッド４１の吐出回数を制御することで、液滴Ｌｏの吐出量を１ピコリットルずつ制御することができるので、液滴Ｌｏの吐出量をより正確に所望の量に補正することができる。
(2) According to the present embodiment, the discharge amount of the droplet Lo discharged from the discharge nozzle N of the first
（３）本実施形態によれば、第２の液滴吐出ヘッド４１は、第１の液滴吐出ヘッド２１と同じキャリッジプレートＣＰに搭載した。従って、第１の液滴吐出ヘッド２１を使用して液滴Ｌｏを吐出した後に、直ちに、第２の液滴吐出ヘッド４１を使用して吐出不良な液滴配置領域Ｐに対して液滴Ｌｏを追加吐出することができる。この結果、短時間で液滴Ｌｏの吐出量を均一にすることができる。
(3) According to the present embodiment, the second
尚、発明の実施形態は、上記実施形態に限定されるものではなく、以下のように実施してもよい。
・上記第１及び第２実施形態では、液滴Ｌｏの液滴量を算出する方法として、液滴Ｌｏが配置されている領域内の電気信号の強度を比較して行くことにより、その最大値（ピーク強度）を求め、この発光信号のピーク強度と、予め実験により求めておいた発光のピーク強度から液滴量を換算して、液滴配置領域Ｐに配置されている液滴Ｌｏの液滴量を求めるようにした。本発明は、これに限定されるものではなく、以下のようにして求めてもよい。まず、上記第１及び第２実施形態と同様にして、液滴Ｌｏが配置されている領域を求める。これにより、液滴Ｌｏが存在する面積を見積もることができる。つぎに別途実験により求めておいた電気信号の強度と液滴の厚さ（液量）の関係より、液滴配置領域Ｐ内の各画素からの電気信号の強度を、液滴Ｌｏの厚さ（液量）に換算する。さらに、この各画素の液滴Ｌｏの厚さと、画素の面積に相当する値を掛け合わせ、その値を液滴Ｌｏが配置されている領域内の全ての画素に関して積算することにより、液滴配置領域Ｐに配置され
ている液滴Ｌｏの液滴量を求める。このようにすることにより、液滴配置領域Ｐに配置された液滴Ｌｏの表面状態が変化し易い場合であっても液滴Ｌｏの液滴量を正確に算出することができる。
In addition, embodiment of invention is not limited to the said embodiment, You may implement as follows.
In the first and second embodiments, as a method of calculating the droplet amount of the droplet Lo, the maximum value is obtained by comparing the intensity of the electric signal in the region where the droplet Lo is disposed. (Peak intensity) is calculated, and the amount of droplets is converted from the peak intensity of the emission signal and the peak intensity of light emission obtained in advance by experiment, and the liquid of the droplet Lo arranged in the droplet arrangement region P is obtained. The amount of drops was calculated. The present invention is not limited to this, and may be obtained as follows. First, in the same manner as in the first and second embodiments, a region where the droplet Lo is arranged is obtained. Thereby, the area where the droplet Lo exists can be estimated. Next, the intensity of the electrical signal from each pixel in the droplet placement region P is determined from the relationship between the strength of the electrical signal and the thickness (liquid amount) of the droplet, which has been separately obtained by experiment, and Convert to (liquid amount). Further, by multiplying the thickness of the droplet Lo of each pixel by a value corresponding to the area of the pixel, the value is integrated with respect to all the pixels in the region where the droplet Lo is disposed, whereby the droplet placement The droplet amount of the droplet Lo arranged in the region P is obtained. By doing in this way, even when the surface state of the droplet Lo arranged in the droplet arrangement region P is likely to change, the droplet amount of the droplet Lo can be accurately calculated.
・上記第２実施形態では、第１の液滴吐出ヘッド２１と第２の液滴吐出ヘッド４１とを同じキャリッジプレートＣＰに搭載した１台の成膜装置であったが、本発明はこれに限定されない。第１の液滴吐出ヘッド２１と第２の液滴吐出ヘッド４１とが、それぞれ異なったキャリッジプレートに搭載されていてもよい。
In the second embodiment, the first
・上記第１及び第２実施形態では、照明装置２３は、着色ガラスと多層膜干渉フィルタを組み合わせたバンドパスフィルタ３５を備え、光源３３から出射した光のうち５４０ｎｍ〜５８０ｎｍの波長領域の光のみを照射光Ｒとして液滴Ｌｏに照射するようにした。本発明は、これに限定されるものではなく、たとえば、特に、光源３３を各種レーザダイオード等といった波長領域の狭い光を出射するもので構成されている場合では、このバンドパスフィルタ３５を省略することも可能である。
In the first and second embodiments, the illuminating
・上記第１及び第２実施形態では、光源３３を発光ダイオードで構成したが、本発明はこれに限定されない。たとえば、ハロゲンランプや放電灯で光源３３を構成してもよい。この場合、複数の多層の干渉フィルタを備えてそれらを切り替えるようにしたり、透過する波長領域を可変とするフィルタを用いたりすることで、異なる波長領域の光を照明に用いることができる。また、ハロゲンランプ等の点灯、消灯の制御が困難なものを用いる場合には、照射光Ｒを照射するタイミングを制御するためのシャッター機構を備えても良い。このようにすることで、液滴Ｌｏの配置から撮影までの精度の高いタイミングの制御が可能となり、測定精度の向上を図ることができる。
In the first and second embodiments, the
・上記第１及び第２実施形態では、照明装置２３は、着色ガラスと多層膜干渉フィルタを組み合わせたバンドパスフィルタ３５を備えたが、本発明は、これに限定されるものではない。たとえば、回折格子の角度を変化させる機能を有するモノクロメータを用いてもよい。このようにすることで、照射光Ｒの波長領域を変えながら測定を行うことができるので、照射光Ｒとして適している波長領域を求めるのに有効である。
In the first and second embodiments, the
・上記第１及び第２実施形態では、液滴Ｌｏに含まれる機能性材料として、緑色（５４０ｎｍ〜６００ｎｍ）の発光を有するポリフルオレン系高分子誘導体を、溶媒としてトリメチルベンゼンを用いたものを使用したが、本発明はこれに限定されるものではない。たとえば、有機エレクトロルミネッセンス装置の発光層の材料として知られるポリパラフェニレンビニレン誘導体やポリフェニ誘導体、ポリビニルカルバゾール、ポリチオフェン誘導体、ペリレン系色素、クマリン系色素、ローダミン系色素等を上げることができる。また、有機エレクトロルミネッセンス装置の正孔注入層の材料として知られるポリエチレンジオキシチオフェン（ＰＥＤＯＴ）等のポリチオフェン誘導体、ポリエチレンスルフォン酸（ＰＳＳ）を用いることもできる。さらに、カラーフィルタ等に用いられる各種染料や顔料を用いることも可能である。溶媒としては、シクロヘキシルベンゼン、ジハドロベンゾフラン、テトラメチルベンゼン、トルエン、キシレン等各種の有機溶媒をあげることができる。また、水、イソプロピルアルコール、ノルマルブタノール等の極性溶媒を用いることも可能である。 In the first and second embodiments, the functional material contained in the droplet Lo uses a polyfluorene polymer derivative that emits green light (540 nm to 600 nm) and trimethylbenzene as a solvent. However, the present invention is not limited to this. For example, polyparaphenylene vinylene derivatives and polypheny derivatives, polyvinyl carbazole, polythiophene derivatives, perylene dyes, coumarin dyes, rhodamine dyes, and the like, which are known as materials for the light emitting layer of an organic electroluminescent device, can be raised. In addition, polythiophene derivatives such as polyethylenedioxythiophene (PEDOT) and polyethylene sulfonic acid (PSS), which are known as materials for the hole injection layer of the organic electroluminescence device, can also be used. Furthermore, it is also possible to use various dyes and pigments used for color filters and the like. Examples of the solvent include various organic solvents such as cyclohexylbenzene, dihadrobenzofuran, tetramethylbenzene, toluene, and xylene. It is also possible to use polar solvents such as water, isopropyl alcohol, and normal butanol.
・上記第１及び第２実施形態では、制御回路部１８は、吐出開始時刻を基準に経過時間ｔ２が常に予め定めた値になったときに、撮像装置制御信号Ｑ５を出力するようにしたが、これを、発光開始時刻を基準に経過時間ｔ１が常に予め定めた値になったときに、撮像装置制御信号Ｑ５を出力するようにしてもよい。要は、照明装置２３からの照射光Ｒの照射が終了した後に撮像装置２２が撮影を開始すればよい。
In the first and second embodiments, the
・上記第１及び第２実施形態では、制御回路部１８を案内部材１６上に配設したが、本発明は、この制御回路部１８の配設位置に限定されるものではない。たとえば、案内部材１６と独立して別途設けられた部材に制御回路部１８を内蔵してもよい。
In the first and second embodiments, the
ＣＰ…キャリッジとしてのキャリッジプレート、Ｌｏ…液滴、Ｎ…吐出用ノズルとしてのノズル吐出用ノズル及び第１の液滴吐出用ノズル、Ｎｏ…第２の吐出用ノズルとしてのノズル、Ｐ…液滴配置領域、Ｑ３…制御信号としての液滴吐出ヘッド制御信号、Ｑ６…制御信号としての第２の液滴吐出ヘッド制御信号、Ｓ…基板、１０…成膜装置、１８…算出判断手段及び制御回路としての制御回路部、２１…ノズルヘッド及び第１のノズルヘッドとしての液滴吐出ヘッド、２２…光測定手段としての撮像装置、２３…光照射手段としての照明装置、４１…第２のノズルヘッドとしての液滴吐出ヘッド。 CP: Carriage plate as carriage, Lo: Droplet, N: Nozzle discharge nozzle and first droplet discharge nozzle as discharge nozzle, No ... Nozzle as second discharge nozzle, P ... Droplet Arrangement region, Q3: Droplet ejection head control signal as a control signal, Q6: Second droplet ejection head control signal as a control signal, S ... Substrate, 10 ... Film-forming apparatus, 18 ... Calculation judgment means and control circuit Control circuit unit as 21... Droplet ejection head as nozzle head and first nozzle head, 22... Imaging device as light measurement means, 23... Illumination device as light irradiation means, 41. As a droplet discharge head.
Claims (12)
前記基板上に配置された液滴に対して所定の波長領域の光を照射する光照射手段と、
前記基板上に配置された液滴から発せられる特定波長領域の光を測定する光測定手段と、
前記光測定手段によって測定された前記液滴から発せられる特定波長領域の光に基づいて前記液滴配置領域内に配置された液滴の液滴量を算出し、その算出された液滴の液滴量が予め設定された液滴量に達しているか否かを判断する算出判断手段と、
前記算出判断手段によって前記所定領域に配置された前記液滴の液滴量が予め設定された液滴量に達していないと判断された場合、前記吐出用ノズルから前記液滴を前記液滴配置領域に吐出させるための制御信号を生成する制御回路と
を備えたことを特徴する成膜装置。 A droplet arrangement region formed on a substrate, having a nozzle head having a discharge nozzle for discharging a droplet in which a functional material is dissolved or dispersed in a solvent, and discharging the droplet from the discharge nozzle In the film forming apparatus for disposing the droplets on the liquid droplets and forming a film made of the functional material in the droplet disposition region,
A light irradiating means for irradiating the droplets disposed on the substrate with light in a predetermined wavelength region;
A light measuring means for measuring light in a specific wavelength region emitted from a droplet disposed on the substrate;
Based on the light of a specific wavelength region emitted from the droplets measured by the light measuring means, the droplet amount of the droplets arranged in the droplet arrangement region is calculated, and the calculated liquid droplets Calculation determination means for determining whether or not the droplet amount has reached a preset droplet amount;
When it is determined by the calculation determining means that the droplet amount of the droplets arranged in the predetermined region has not reached a preset droplet amount, the droplets are disposed from the ejection nozzle. A film forming apparatus comprising: a control circuit that generates a control signal for discharging to a region.
前記基板上の所定領域に配置された液滴に対して所定の波長領域の光を照射する光照射手段と、
前記基板上に配置された液滴から発せられる特定波長領域の光を測定する光測定手段と、
前記光測定手段によって測定された前記液滴から発せられる特定波長領域の光に基づいて前記基板上に配置された液滴の液滴量を算出し、その算出された液滴の液滴量が予め設定された液滴量に達しているか否かを判断する算出判断手段と、
前記算出判断手段によって前記所定領域に配置された前記液滴の液滴量が予め設定された液滴量に達していないと判断された場合、前記液滴を前記所定領域に吐出する第２の吐出用ノズルを備えた第２のノズルヘッドと
を備えたことを特徴する成膜装置。 A substrate comprising a first nozzle head having a first discharge nozzle, and discharging a droplet obtained by dissolving or dispersing a functional material in a solvent from the first discharge nozzle of the first nozzle head In a film forming apparatus for forming a film pattern on the substrate by arranging the droplets on the substrate,
A light irradiating means for irradiating light in a predetermined wavelength region with respect to a droplet disposed in a predetermined region on the substrate;
A light measuring means for measuring light in a specific wavelength region emitted from a droplet disposed on the substrate;
A droplet amount of a droplet disposed on the substrate is calculated based on light in a specific wavelength region emitted from the droplet measured by the light measuring unit, and the calculated droplet amount of the droplet is Calculation determination means for determining whether or not a predetermined droplet amount has been reached;
When it is determined by the calculation determining means that the droplet amount of the droplet arranged in the predetermined region has not reached a preset droplet amount, a second droplet is discharged to the predetermined region. A film forming apparatus comprising: a second nozzle head including a discharge nozzle.
前記第２のノズルヘッドの第２の吐出用ノズルは、前記第１のノズルヘッドの第１の吐出用ノズルから吐出される液滴量に比べて少ない量の液滴量の液滴を吐出することを特徴する成膜装置。 The film forming apparatus according to claim 2,
The second ejection nozzle of the second nozzle head ejects droplets having a smaller amount of droplets than the amount of droplets ejected from the first ejection nozzle of the first nozzle head. A film forming apparatus characterized by that.
前記第２のノズルヘッドは、前記第１のノズルヘッドと同じキャリッジに搭載されていることを特徴とする成膜装置。 In the film-forming apparatus of Claim 2 or 3,
The film forming apparatus, wherein the second nozzle head is mounted on the same carriage as the first nozzle head.
前記光測定手段は、前記基板上に配置された前記液滴から発せられる特定波長領域の発光の画像を撮影することを特徴とする成膜装置。 In the film-forming apparatus as described in any one of Claims 1-4,
The film-forming apparatus, wherein the light measuring unit photographs an image of light emission in a specific wavelength region emitted from the droplets disposed on the substrate.
前記算出判断手段は、前記液滴が配置された領域の発光のピーク強度に基づいて前記ノズルから吐出された液滴の液滴量を算出することを特徴とする成膜装置。 In the film-forming apparatus as described in any one of Claims 1-5,
The film forming apparatus characterized in that the calculation determination unit calculates a droplet amount of a droplet ejected from the nozzle based on a peak intensity of light emission in a region where the droplet is disposed.
前記算出判断手段は、前記基板上に配置された液滴から発せられた光の信号強度を前記液滴が配置した面積に渡って積算することで前記液滴の液滴量を算出することを特徴とする成膜装置。 In the film-forming apparatus as described in any one of Claims 1-5,
The calculation determining means calculates the droplet amount of the droplet by integrating the signal intensity of the light emitted from the droplet disposed on the substrate over the area where the droplet is disposed. A characteristic film forming apparatus.
前記溶媒は、蛍光性を有する有機溶媒を含むことを特徴とする成膜装置。 In the film-forming apparatus as described in any one of Claims 1-7,
The film forming apparatus, wherein the solvent includes a fluorescent organic solvent.
前記液滴に照射する光は、波長３５０ｎｍ〜４５０ｎｍの光であることを特徴とする成膜装置。 In the film-forming apparatus as described in any one of Claims 1-8,
The film formation apparatus, wherein the light applied to the droplet is light having a wavelength of 350 nm to 450 nm.
前記光照射手段は、前記所定の波長領域の光を、前記基板の面に対して４５°〜７０°の角度で照射し、
前記光測定手段は、前記基板の面に対して垂直な方向に出射される光を測定することを特徴とする成膜装置。 In the film-forming apparatus as described in any one of Claims 1-9,
The light irradiation means irradiates light of the predetermined wavelength region at an angle of 45 ° to 70 ° with respect to the surface of the substrate,
The film forming apparatus characterized in that the light measuring means measures light emitted in a direction perpendicular to the surface of the substrate.
前記光照射手段は、前記液滴に所定の波長領域の光を照射する光源に発光ダイオードを用いることを特徴とする成膜装置。 In the film-forming apparatus as described in any one of Claims 1-10,
The light irradiation unit uses a light emitting diode as a light source for irradiating the droplet with light in a predetermined wavelength region.
前記機能性材料が発光材料、電荷輸送材料を含むことを特徴とする成膜装置。 In the film-forming apparatus as described in any one of Claims 1-11,
The film forming apparatus, wherein the functional material includes a light emitting material and a charge transport material.
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