JP2007149713A - 半導体発光ダイオード - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 本発明は、珪素単結晶基板101と、その珪素単結晶基板101上に形成されたIII族窒化物半導体からなる介在層103と、その介在層103上に形成されたpn接合型ヘテロ接合構造の発光部(105,106,107)とを備えてなる半導体発光ダイオード100において、介在層103がアルミニウムを含むIII族窒化物半導体から構成され、その介在層103と発光部(105,106,107)との中間に、アルミニウムを含むとともにアルミニウム組成比が互いに異なる複数のIII族窒化物半導体層からなる超格子構造体104が設けられているものである。
【選択図】 図2
Description
ジャーナル オブ エレクトロケミカルソサエティ(J.Electrochem.Soc.)、(アメリカ合衆国)、第137巻、第3号、1990年、989〜992頁
アプライド フィジクス レターズ(Appl.Phys.Lett.),(アメリカ合衆国)、第74巻、第7号、1999年、1036〜1038頁。
11 珪素単結晶基板
12 緩衝層
13 介在層(Al組成比X1のIII族窒化物半導体層)
14 Al組成比をX4とする中間層
15 Al組成比X2及びX3のIII族窒化物半導体層からなる超格子構造体
20 LED
200 LED用途積層構造体
201 (001)−珪素単結晶基板
202 緩衝層
203 介在層(Al組成比X1のIII族窒化物半導体層)
204 Al組成比X2及びX3のIII族窒化物半導体層からなる超格子構造体
205 下部ラッド層
206 発光層
207 上部クラッド層
208 GaNコンタクト層
209 p形オーミック電極
210 n形オーミック電極
30 LED
300 LED用途積層構造体
301 (111)−珪素単結晶基板
302 緩衝層
303 介在層(Al組成比X1のIII族窒化物半導体層)
304 Al組成比をX4とする中間層
305 Al組成比X2及びX3のIII族窒化物半導体層からなる超格子構造体層
306 下部ラッド層
307 発光層
308 上部クラッド層
309 BPコンタクト層
310 p形オーミック電極
311 n形オーミック電極
Claims (5)
- 珪素単結晶基板と、その珪素単結晶基板上に形成されたIII族窒化物半導体からなる介在層と、その介在層上に形成されたpn接合型ヘテロ接合構造の発光部とを備えてなる半導体発光ダイオードにおいて、
上記介在層がアルミニウムを含むIII族窒化物半導体から構成され、その介在層と上記発光部との中間に、アルミニウムを含むとともにアルミニウム組成比が互いに異なる複数のIII族窒化物半導体層からなる超格子構造体が設けられている、
ことを特徴とする半導体発光ダイオード。 - 上記介在層はアルミニウム組成比がX1(0<X1≦1)で、上記超格子構造体の各層は、アルミニウム組成比がX1以下で且つ互いに異なるX2及びX3(0<X2<X3≦X1)である、請求項1に記載の半導体発光ダイオード。
- 上記介在層と上記超格子構造体との中間に、アルミニウムを含むIII族窒化物半導体からなる中間層が設けられ、この中間層はアルミニウム組成比X4がX2より大でX3以下(0<X2<X4≦X3)である、請求項2に記載の半導体発光ダイオード。
- 上記介在層、超格子構造体の各層および中間層は、窒化アルミニウム・ガリウムから構成されている、請求項1乃至3項の何れか1項に記載の半導体発光ダイオード。
- 上記珪素単結晶基板と上記介在層との間に、ガンマ(γ)相アルミニウム膜が設けられている、請求項1乃至4の何れか1項に記載の半導体発光ダイオード。
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JP2013128103A (ja) * | 2011-11-17 | 2013-06-27 | Sanken Electric Co Ltd | 窒化物半導体装置及び窒化物半導体装置の製造方法 |
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Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH1140850A (ja) * | 1997-07-23 | 1999-02-12 | Toyoda Gosei Co Ltd | 3族窒化物半導体素子の製造方法 |
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Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH1140850A (ja) * | 1997-07-23 | 1999-02-12 | Toyoda Gosei Co Ltd | 3族窒化物半導体素子の製造方法 |
JP2003142730A (ja) * | 2001-11-05 | 2003-05-16 | Sanken Electric Co Ltd | 半導体発光素子 |
JP2005056922A (ja) * | 2003-08-06 | 2005-03-03 | Rohm Co Ltd | 半導体発光素子 |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008258561A (ja) * | 2007-03-13 | 2008-10-23 | Covalent Materials Corp | 窒化物半導体単結晶 |
JP2009016505A (ja) * | 2007-07-03 | 2009-01-22 | Showa Denko Kk | Iii族窒化物化合物半導体発光素子 |
JP2013128103A (ja) * | 2011-11-17 | 2013-06-27 | Sanken Electric Co Ltd | 窒化物半導体装置及び窒化物半導体装置の製造方法 |
JP2014138147A (ja) * | 2013-01-18 | 2014-07-28 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 窒化物半導体成長用基板およびその製造方法 |
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