JP2007144746A - 画像形成装置およびレーザ露光装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】感光体ドラムを1または複数のレーザ光により走査露光するレーザ露光装置25は、情報性を有する画像の静電潜像を形成するシングルモード発振する第1の面発光レーザ(VCSEL)101と、透明(I)トナー等によるオーバーコート用の静電潜像を形成するマルチモード発振する第2の面発光レーザ(VCSEL)110とを有している。
【選択図】図2
Description
しかしながら、このような画像形成装置においては、光沢を付与したり、地模様等を形成するためには、レーザ露光装置は所定の面積領域を走査露光しなければならない。それにより、レーザの発光時間(点灯デューティ)が飛躍的に増大するため、基本色による通常の画像形成だけを行なう場合に比べて、レーザ露光装置の寿命が短くなるという不都合が生じる。特に、高生産性化や画像密度の高精細化を可能とするマルチビーム方式のレーザ露光装置では、複数の発光点の1が寿命となるとレーザ露光装置全体が支障をきたすため、問題が大きい。
ここで、レーザ露光部は、第1のレーザ光源を用いて情報性を有する画像の静電潜像を形成し、第2のレーザ光源を用いて情報性を有する画像に重畳させる画像の静電潜像を形成することを特徴とすることができる。なお、ここでの「情報性を有する」とは、画像を見た人間がその画像から目視で何らかの情報を得られることを意味する。
また、感光体上に静電潜像として形成される画像の形状または模様、および/またはかかる画像を形成する領域を指示する制御部をさらに備え、レーザ露光部は、第2のレーザ光源を用いて、制御部の指示に基づく静電潜像を感光体に形成することを特徴とすることができる。
加えて、レーザ露光部の第2のレーザ光源により形成された静電潜像を透明トナーまたは淡色トナーにより現像する現像部をさらに備えたことを特徴とすることもできる。
また、レーザ露光部は、第1のレーザ光源および第2のレーザ光源がともに複数の発光点を平面上に二次元配列した面発光レーザで構成されたことを特徴とすることもできる。加えて、レーザ露光部は、第1のレーザ光源が端面からレーザ光を発光する端面発光レーザで構成され、第2のレーザ光源が複数の発光点を平面上に二次元配列した面発光レーザで構成されたことを特徴とすることもできる。また、レーザ露光部は、第2のレーザ光源の発光領域の径が第1のレーザ光源の発光領域の径よりも大きく形成されたことを特徴とすることもできる。さらに、レーザ露光部は、第1のレーザ光源による感光体上での露光密度が第2のレーザ光源による感光体上での露光密度よりも高いことを特徴とすることもできる。
ここで、レーザ露光部は、複数の感光体の各々にて、基本色としてのイエロー色、マゼンタ色、シアン色、黒色、および基本色以外の色のいずれかの色のトナー像を形成するための静電潜像を形成することを特徴とすることができる。また、レーザ露光部は、基本色以外の色のトナー像を形成するための静電潜像が形成される感光体に対して、第2のレーザ光源を用いて露光することを特徴とすることもできる。さらに、レーザ露光部は、基本色トナー像を形成する静電潜像が形成される感光体に対して、第1のレーザ光源を用いて露光することを特徴とすることもできる。加えて、レーザ露光部は、第1のレーザ光源が端面からレーザ光を発光する端面発光レーザで構成され、第2のレーザ光源が複数の発光点を平面上に二次元配列した面発光レーザで構成されたことを特徴とすることもできる。また、レーザ露光部は、第2のレーザ光源の発光領域の径が第1のレーザ光源の発光領域の径よりも大きく形成されたことを特徴とすることもできる。
ここで、第1のレーザ光源は、複数の発光点を平面上に二次元配列した面発光レーザで構成されたことを特徴とすることができる。また、第2のレーザ光源は、複数の発光点を平面上に二次元配列した面発光レーザで構成されたことを特徴とすることもできる。さらに、第1のレーザ光源および第2のレーザ光源は、ともに複数の発光点を平面上に二次元配列した面発光レーザで構成されるとともに、同一の基板に配置されたことを特徴とすることもできる。加えて、第1のレーザ光源および第2のレーザ光源は、ともに複数の発光点を平面上に二次元配列した面発光レーザで構成されるとともに、第1のレーザ光源は、発光点の数が第2のレーザ光源よりも多く配列されたことを特徴とすることもできる。また、第1のレーザ光源は端面からレーザ光を発光する端面発光レーザで構成され、第2のレーザ光源は複数の発光点を平面上に二次元配列した面発光レーザで構成されたことを特徴とすることもできる。さらには、第2のレーザ光源の発光領域の径は、第1のレーザ光源の発光領域の径よりも大きく形成されたことを特徴とすることもできる。
[実施の形態1]
図1は本実施の形態が適用される画像形成装置の一例としてのカラー複写機1を示した図である。図1に示すカラー複写機1は、画像読取部10および画像形成プロセス部20を含んで構成されている。
画像読取部10は、図示しない原稿を載置する透明なプラテンガラス12、原稿を照射する光源14と原稿から反射した光を反射する第1の反射ミラー15とで構成され、図中水平方向に移動自在な原稿照明ユニット13、原稿照明ユニット13からの光を反射する第2の反射ミラー17および第3の反射ミラー18を備えたミラーユニット16、ミラーユニット16による反射光の光路上に配置された結像レンズ19、ミラーユニット16による反射光を受光するCCD(Charge Coupled Device)21、CCD21からの出力信号をイエロー (Y)、マゼンタ (M)、シアン (C)、黒 (K)の画像データに変換し、濃度補正、拡大縮小補正等のデータ処理を施して書込用画像データとして出力する画像処理部(IPS:Image Processing System)22を備えている。
このとき、まず、レーザ露光装置25は、制御部60からの制御信号に基づいて感光体ドラム31を全面露光する。それにより、全画像領域にベタ状画像の静電潜像を形成する。そして、透明(I)トナーが収容された現像器33Iにより、全画像領域を透明(I)トナーで現像する。なお、その際に、画像領域の中の一部の領域のみを露光するように設定することも可能である。例えば、ユーザインターフェースからの入力により、透明(I)トナーによる現像領域をユーザが指定できるように構成することも可能である。この場合には、制御部60は、画像領域の中のユーザから指定された領域のみを露光する制御信号をレーザ露光装置25に対して出力し、レーザ露光装置25は、制御部60からの制御信号に基づいて感光体ドラム31の所定領域を露光する。そして、その所定領域にのみ透明(I)トナーで現像されたベタ状画像を形成する。
その後、感光体ドラム31上に形成されたIトナーによるトナー像は、感光体ドラム31と中間転写ベルト41とが対向する一次転写部T1で一次転写ロール42に印加される一次転写バイアスにより中間転写ベルト41上に転写される。また、一次転写後に感光体ドラム31上に残留したトナー (転写残トナー)は、ドラムクリーナ34によって除去される。
このようなトナー像の形成時には、中間転写ベルト41は、一次転写されたトナー像を保持した状態で、感光体ドラム31と同一の周速で回動し、中間転写ベルト41上にその1回転毎に順次I、Y、M、C、Kのトナー像が順に重ねられていく。なお、その際には、二次転写ロール50およびベルトクリーナ55は中間転写ベルト41から離隔した位置に設定される。
続いて、用紙Pは中間転写ベルト41上のトナー像が二次転写部T2に到達するタイミングに合わせるように二次転写部T2へと供給され、中間転写ベルト41を介してバックアップロール49と二次転写ロール50との間に用紙Pが挟持される。その際に、二次転写部T2では、バックアップロール49に印加される二次転写バイアスにより二次転写ロール50とバックアップロール49との間に形成される転写電界の作用で、中間転写ベルト41上に担持されたトナー像が用紙Pに二次転写(一括転写)される。その後、トナー像が転写された用紙Pは、搬送ガイド76および用紙搬送ベルト77によって定着器80へと搬送される。定着器80は、用紙P上のトナー像を加熱および加圧して定着した後、用紙Pを排紙トレイ90に排出する。また、二次転写後に中間転写ベルト41に付着したトナー(転写残トナー)は、二次転写の終了後に中間転写ベルト41に当接されたベルトクリーナ55によって除去される。
なお、画像の光沢性を効果的に高めるためには、画像の表面(最上面)に透明(I)トナー層が形成されるのが好ましい。したがって、中間転写ベルト41による中間転写プロセスを考慮して、画像形成プロセスの最初に透明(I)トナー像を形成することが好ましい。
図2は、レーザ露光装置25の構成を説明する図である。図2(a)はレーザ露光装置25の平面図であり、図2(b)はそのXX断面図である。レーザ露光装置25は、第1のレーザ光源の一例として、微小スポット径を形成する複数の半導体レーザ(発光点)が平面内に二次元配列された第1の面発光レーザ(VCSEL:Vertical Cavity Emitting Laser)101、第2のレーザ光源の一例として、大径のスポット径を形成する複数の半導体レーザ(発光点)が平面内に二次元配列された第2の面発光レーザ(VCSEL)110を含んで構成されている。また、走査光学系として、コリメータレンズ102,112、第1のVCSEL101からのレーザ光は透過し、第2のVCSEL110からのレーザ光は反射することで両レーザ光を同一の光路に導く光路合成部材111、シリンドリカルレンズ103、例えば正六角面体で形成された回転多面鏡(ポリゴンミラー)104、fθレンズ105、シリンドリカルミラー106、反射ミラー107およびSOSセンサ(受光素子)108を備えている。さらに、レーザ露光装置25は、レーザ光Lを感光体ドラム31に向けて照射する露光口109が形成されたハウジング100a内に配設されて光学ユニット100を構成している。
第2のVCSEL110から出射された発散性のレーザ光Lは、コリメータレンズ112によって平行光に変換された後、光路合成部材111に入射する。そして、光路合成部材111により反射されて、第1のVCSEL101からのレーザ光と同一の光路に導かれる。その後、第1のVCSEL101からのレーザ光と同様に、副走査方向にのみ屈折力を持つシリンドリカルレンズ103により、ポリゴンミラー104の偏向反射面104a近傍にて主走査方向に長い線像として結像される。そして、ポリゴンミラー104の偏向反射面104aにより反射され、等角速度的に反時計回り(矢印C方向)に走査される。
画像形成時には、VCSELドライバ120は、制御部60からの制御信号やIPS22からの書込用画像データに従って、第1のVCSEL101および第2のVCSEL110の発光点へレーザ駆動信号を出力し、発光点の点灯/消灯を制御する。そのとき、VCSELドライバ120は、SOSセンサ108からのSOS信号に基づいて、第1のVCSEL101および第2のVCSEL110に対してレーザ駆動信号の出力を開始するタイミングが設定される。
第1のVCSEL101および第2のVCSEL110は、複数の半導体レーザ(発光点)が平面内に二次元配列されており、複数のレーザ光を同時に出力することができる。レーザ露光装置25は、このような第1のVCSEL101および第2のVCSEL110を光源として用いることで、複数のレーザ光を同時走査させることを可能としている。
このような構成により、レーザ露光装置25は第1のVCSEL101により16本の走査線を同時に走査することができる。それにより、図5(感光体ドラム31上でのレーザスポットの副走査方向の位置を説明する図)の(a)に示したように、レーザ露光装置25は第1のVCSEL(Ch1)101により例えば2400dpiの高精細画像を形成することが可能である。
このような構成により、レーザ露光装置25は第2のVCSEL110(Ch2)により4本の走査線を同時に走査することができる。それにより、図5(b)に示したように、レーザ露光装置25は第2のVCSEL110により例えば600dpiの通常密度の画像を形成することが可能である。
具体的には、図6に示したように、第1のVCSEL101および第2のVCSEL110は、n型のGaAsからなる半導体基板201、n型の下部多層半導体反射膜202、アンドープのスペーサ層とアンドープの量子井戸層とアンドープの障壁層との複数層積層体よりなる活性領域203、AlAs(アルミニウム・砒素)酸化物よりなる酸化アパーチャ204A,204B、p型の上部多層反射膜205、p型のコンタクト層206、層間絶縁膜207、中心部分に開口を有するp側の電極アパーチャ208、n側全面電極209、レーザ光出射口210で構成されている。ここで、酸化アパーチャ204A,204Bは、AlAs層を高温水蒸気によりポスト側壁から酸化を進行させて作製したもので、ポスト外周部は絶縁性のAlAs酸化領域とし、中心部分は酸化させずにAlAsを残して導電性の領域(開口)としたものである。
そして、第1のVCSEL101では、酸化アパーチャ204Aの開口径は充分に微小(例えば、3.5μm程度)に形成されているため、レーザ光出射口210から出射されるレーザ光は、基本単一横モード(シングルモード)で発振する。それにより、第1のVCSEL101の発光点からのレーザ光は、微小なレーザスポットに集光することが可能となる。そのため、上記したように、第1のVCSEL101により例えば2400dpiの高精細画像を形成することができる。
なお、透明(I)トナー層の形成に際してシングルモードの第1のVCSEL101を用いるとすれば、光量に余裕がないため発光点は劣化し易くなり、レーザ露光装置25の寿命は短いものとなる。
図7に示したように、第1のVCSEL101では、主走査方向に関して同一の位置に配設された発光点は、同一のタイミングで、それぞれの発光点に対応したレーザ駆動信号が出力される。一方、主走査方向に段階的にずれて配設された発光点については、その配置位置の主走査方向のずれ量に対応したタイミングだけ遅延させて、それぞれの発光点に対応したレーザ駆動信号が出力される。具体的には、主走査方向の最上流側に位置する発光点、すなわち、最初にCh1−1,Ch1−5,Ch1−9,Ch1−13(図3参照)に対して同じタイミングで、レーザ駆動信号の出力が開始される。引き続いて、配置位置の主走査方向のずれ量に対応した時間だけ遅延させて、Ch1−2,Ch1−6,Ch1−10,Ch1−14に対するレーザ駆動信号の出力が同じタイミングで開始される。同様にして、Ch1−3,Ch1−7,Ch1−11,Ch1−15、さらには、Ch1−4,Ch1−8,Ch1−12,Ch1−16に対して、配置位置の主走査方向のずれ量に対応した時間だけ遅延させたレーザ駆動信号の出力がそれぞれ同じタイミングで開始される。
また、第2のVCSEL110では、上記したように、透明(I)トナー等によるオーバーコートを形成する場合のほかに、透明(I)トナーに代えて淡い色のトナー、例えば淡いマゼンタや淡いシアン等のトナーを用いて、所望の形状(四角形や円形等)や模様(例えば、市松模様や千鳥模様等)を重畳して画像形成することで、画像上に様々な地模様を形成すること等も可能である。その場合には、その地模様に対応したレーザ駆動信号が出力されるのは、言うまでもない。
なお、このような形状や模様を、例えばユーザインターフェースからの入力により、ユーザが指定できるように構成することも可能である。この場合には、制御部60は、画像領域の中のユーザから指定された形状や模様を露光する制御信号をレーザ露光装置25に対して出力し、レーザ露光装置25は、制御部60からの制御信号に基づいて感光体ドラム31の所定領域を指定された形状や模様に露光する。
さらに、透明(I)トナー等を用いて、スラッシュ「/」やバックスラッシュ「\」等の斜線や、ドットパターン等を用いたコード化された情報を形成することも可能である。それにより、画像上に目視できない隠された情報を形成することもできる。
さらに、レーザ露光装置25における光源として、上記したVCSEL(面発光レーザ)に限らず、端面発光レーザを用いることも可能である。
実施の形態1では、同一の感光体ドラム31上に順次各色の画像を形成する所謂ロータリー方式のカラー画像形成装置について説明した。実施の形態2では、複数の感光体ドラム31上にそれぞれ各色の画像を形成する所謂タンデム方式のカラー画像形成装置について説明する。なお、実施の形態1と同様な構成については同様な符号を用い、ここではその詳細な説明を省略する。また、一部の構成要素については省略している。
ここで、各画像形成ユニット30I,30Y,30M,30C,30Kは、現像器33I,33Y,33M,33C,33Kに収納されたトナーを除いて、略同様に構成されている。そして、画像形成ユニット30I,30Y,30M,30C,30Kは、それぞれが透明(I)、イエロー(Y)、マゼンタ(M)、シアン(C)、黒(K)のトナー像を形成する。
その後、重畳トナー像が静電転写された用紙Pは、中間転写ベルト41から剥離され、定着器80まで搬送される。定着器80に搬送された用紙P上の未定着トナー像は、定着器80によって熱および圧力による定着処理を受けることで用紙P上に定着される。そして定着画像が形成された用紙Pは、画像形成装置の排出部に設けられた排紙載置部91に搬送される。
図11に示したように、レーザ露光装置26は、微小スポット径を形成するシングルモードのVCSEL(第1のレーザ光源)と、大径のスポット径を形成するマルチモードのVCSEL(第2のレーザ光源)とが一体に構成された第4の面発光レーザ(VCSEL)130(例えば、図9の構成と同様)を備えている。また、走査光学系として、コリメータレンズ102、シリンドリカルレンズ103、レーザ光Lを副走査方向に偏向することが可能な偏向ミラー114、例えば正六角面体で形成された回転多面鏡(ポリゴンミラー)104、fθレンズ105、それぞれ画像形成ユニット30I,30Y,30M,30C,30Kに対応して配設された折り返しミラー113I,113Y,113M,113C,113K、それぞれ画像形成ユニット30I,30Y,30M,30C,30Kに対応して配設されたシリンドリカルミラー106I,106Y,106M,106C,106Kを含んで構成されている。なお、レーザ光LをSOSセンサ(受光素子)に向けて反射する反射ミラーおよびSOSセンサ(受光素子)は省略している。また、レーザ露光装置26は、レーザ光Lを感光体ドラム31に向けて照射する露光口(不図示)が形成されたハウジング150a内に配設されて光学ユニット150を構成している。
なお、図11では、各々の状態で示したレーザ光Lの光路(1本の直線)は代表光線を示し、この周りに存在する複数本の光ビームは各感光体ドラム31を同時に露光する。
fθレンズ105を透過した複数のレーザ光Lは、それぞれ折り返しミラー113I,113Y,113M,113C,113K、および副走査方向にのみ屈折力(パワー)を有するシリンドリカルミラー106I,106Y,106M,106C,106Kによって、各画像形成ユニット30I,30Y,30M,30C,30Kの感光体ドラム31の周面上に結像される。
また、ポリゴンミラー104の複数の偏向反射面104aの倒れ差を補正(面倒れ補正)するために、ポリゴンミラー104の偏向反射面104aと感光体ドラム31の周面の走査位置とを共役な関係とすることが一般的であるが、レーザ露光装置26ではこの共役関係も同時に満たしている。
すなわち、第4のVCSEL130から出射されたレーザ光Lは、コリメータレンズ102およびシリンドリカルレンズ103を通過後、偏向ミラー114によって副走査方向に所定の偏向角を持って反射される。偏向ミラー114で反射されたレーザ光Lは、ポリゴンミラー104により等角速度的に反時計回り(矢印C方向)に走査される。その後、fθレンズ105を透過して折り返しミラー113Iによって反射され、さらにシリンドリカルミラー106Iによって反射されて、画像形成ユニット30Iの感光体ドラム31を露光する。一方、異なる方向に反射された別のレーザ光Lは、ポリゴンミラー104、fθレンズ105、折り返しミラー113Y、シリンドリカルミラー106Yを透過して、画像形成ユニット30Yの感光体ドラム31を露光する。
図13は、第4のVCSEL130からのレーザ光Lによる各画像形成ユニット30I,30Y,30M,30C,30Kの5つの感光体ドラム31上でのレーザスポットの大きさを比較した図である。また、図14は、感光体ドラム31上でのレーザスポットの副走査方向の位置を説明する図である。図13に示したように、画像形成ユニット30Y,30M,30C,30Kでは、シングルモードのVCSEL(Ch1)による微小なレーザスポットにより、文字や図形、写真等といった通常の画像を例えば2400dpiの高精細画像(図14(a)も参照)で形成することが可能である。また、画像形成ユニット30Iでは、長寿命なマルチモードのVCSEL(Ch2)により、ベタ状画像を例えば600dpiの通常の解像度(図14(b)も参照)で形成することが可能である。そのため、画像形成ユニット30Iでは、上述したように、透明(I)トナー等によるオーバーコートを長期に亘って形成することも可能となり、画像領域の全面または一部の領域の光沢性を高めて、画像全体の品位を向上させることができる。
Claims (23)
- 感光体と、
前記感光体を1または複数のレーザ光により走査露光するレーザ露光部とを備え、
前記レーザ露光部は、シングルモード発振する第1のレーザ光源とマルチモード発振する第2のレーザ光源とを有することを特徴とする画像形成装置。 - 前記レーザ露光部は、前記第1のレーザ光源を用いて情報性を有する画像の静電潜像を形成し、前記第2のレーザ光源を用いて前記情報性を有する画像に重畳させる画像の静電潜像を形成することを特徴とする請求項1記載の画像形成装置。
- 前記感光体上に静電潜像として形成される画像の形状または模様、および/または当該画像を形成する領域を指示する制御部をさらに備え、
前記レーザ露光部は、前記第2のレーザ光源を用いて、前記制御部の指示に基づく静電潜像を前記感光体に形成することを特徴とする請求項1記載の画像形成装置。 - 前記レーザ露光部は、前記第2のレーザ光源を用いてベタ状画像の静電潜像を前記感光体の画像形成領域の全面または一部領域に形成することを特徴とする請求項1記載の画像形成装置。
- 前記レーザ露光部は、前記第2のレーザ光源を用いてコード化された情報の静電潜像を前記感光体の画像形成領域の全面または一部領域に形成することを特徴とする請求項1記載の画像形成装置。
- 前記レーザ露光部の前記第2のレーザ光源により形成された静電潜像を透明トナーまたは淡色トナーにより現像する現像部をさらに備えたことを特徴とする請求項1記載の画像形成装置。
- 前記レーザ露光部は、前記第1のレーザ光源および前記第2のレーザ光源がともに複数の発光点を平面上に二次元配列した面発光レーザで構成されたことを特徴とする請求項1記載の画像形成装置。
- 前記レーザ露光部は、前記第1のレーザ光源が端面からレーザ光を発光する端面発光レーザで構成され、前記第2のレーザ光源が複数の発光点を平面上に二次元配列した面発光レーザで構成されたことを特徴とする請求項1記載の画像形成装置。
- 前記レーザ露光部は、前記第2のレーザ光源の発光領域の径が前記第1のレーザ光源の発光領域の径よりも大きく形成されたことを特徴とする請求項1記載の画像形成装置。
- 前記レーザ露光部は、前記第1のレーザ光源による前記感光体上での露光密度が前記第2のレーザ光源による当該感光体上での露光密度よりも高いことを特徴とする請求項1記載の画像形成装置。
- 並列に配置された複数の感光体と、
前記複数の感光体の各々を1または複数のレーザ光により走査露光するレーザ露光部とを備え、
前記レーザ露光部は、前記複数の感光体の中の1の感光体を露光するマルチモード発振する第2のレーザ光源と、当該1の感光体以外の感光体を露光するシングルモード発振する第1のレーザ光源とを有することを特徴とする画像形成装置。 - 前記レーザ露光部は、前記複数の感光体の各々にて、基本色としてのイエロー色、マゼンタ色、シアン色、黒色、および当該基本色以外の色のいずれかの色のトナー像を形成するための静電潜像を形成することを特徴とする請求項11記載の画像形成装置。
- 前記レーザ露光部は、前記基本色以外の色のトナー像を形成するための静電潜像が形成される前記感光体に対して、前記第2のレーザ光源を用いて露光することを特徴とする請求項12記載の画像形成装置。
- 前記レーザ露光部は、前記基本色トナー像を形成する静電潜像が形成される前記感光体に対して、前記第1のレーザ光源を用いて露光することを特徴とする請求項12記載の画像形成装置。
- 前記レーザ露光部は、前記第1のレーザ光源が端面からレーザ光を発光する端面発光レーザで構成され、前記第2のレーザ光源が複数の発光点を平面上に二次元配列した面発光レーザで構成されたことを特徴とする請求項11記載の画像形成装置。
- 前記レーザ露光部は、前記第2のレーザ光源の発光領域の径が前記第1のレーザ光源の発光領域の径よりも大きく形成されたことを特徴とする請求項11記載の画像形成装置。
- 感光体を走査露光するレーザ露光装置であって、
シングルモード発振する第1のレーザ光源と、
マルチモード発振する第2のレーザ光源と、
前記第1のレーザ光源および前記第2のレーザ光源からのレーザ光を前記感光体表面に走査露光する走査光学系と
を備えたことを特徴とするレーザ露光装置。 - 前記第1のレーザ光源は、複数の発光点を平面上に二次元配列した面発光レーザで構成されたことを特徴とする請求項17記載のレーザ露光装置。
- 前記第2のレーザ光源は、複数の発光点を平面上に二次元配列した面発光レーザで構成されたことを特徴とする請求項17記載のレーザ露光装置。
- 前記第1のレーザ光源および前記第2のレーザ光源は、ともに複数の発光点を平面上に二次元配列した面発光レーザで構成されるとともに、同一の基板に配置されたことを特徴とする請求項17記載のレーザ露光装置。
- 前記第1のレーザ光源および前記第2のレーザ光源は、ともに複数の発光点を平面上に二次元配列した面発光レーザで構成されるとともに、前記第1のレーザ光源は、前記発光点の数が前記第2のレーザ光源よりも多く配列されたことを特徴とする請求項17記載のレーザ露光装置。
- 前記第1のレーザ光源は端面からレーザ光を発光する端面発光レーザで構成され、前記第2のレーザ光源は複数の発光点を平面上に二次元配列した面発光レーザで構成されたことを特徴とする請求項17記載のレーザ露光装置。
- 前記第2のレーザ光源の発光領域の径は、前記第1のレーザ光源の発光領域の径よりも大きく形成されたことを特徴とする請求項17記載のレーザ露光装置。
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