JP2007140057A - Exposure device - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、液晶ディスプレイやプラズマディスプレイ等の大型のフラットパネルディスプレイの基板上にマスクのマスクパターンを分割逐次露光方式で近接(プロキシミティ)露光転写するのに好適な露光装置に関する。 The present invention relates to an exposure apparatus suitable for performing proximity exposure transfer of a mask pattern of a mask onto a substrate of a large flat panel display such as a liquid crystal display or a plasma display by a divided sequential exposure method.
従来、液晶ディスプレイ装置やプラズマディスプレイ装置等のフラットパネルディスプレイ装置のカラーフィルタを製造する露光装置が種々考案されている(例えば、特許文献1参照。)。特許文献1に記載の露光装置は、被露光材としての基板より小さいマスクを用い、該マスクをマスクステージで保持すると共に基板をワークステージで保持して両者を近接して対向配置する。そして、この状態でワークステージをマスクに対してステップ移動させてステップ毎にマスク側から基板にパターン露光用の光を照射することにより、マスクに描かれた複数のマスクパターンを基板上に露光転写して一枚の基板に複数のディスプレイ等を作成している。
Conventionally, various exposure apparatuses for producing color filters for flat panel display devices such as liquid crystal display devices and plasma display devices have been devised (see, for example, Patent Document 1). The exposure apparatus described in
図13は、一枚のマスク201を用いて基板202上に6枚のカラーフィルタに対応する6個の露光パターンP1〜P6を露光転写する過程を示す。先ず、基板202の第1ショット位置にアライメントマーク201aを持ったマスク201を対向配置して光を照射し、露光パターンP1を露光転写する。次に、基板202をステップ移動させてマスク201を第2ショット位置に対向配置させ、光を照射して露光パターンP2を露光転写する。以後、同様に、基板202をステップ移動させる毎に光を照射して露光パターンP3〜P6を露光転写する。このような従来の露光方法によると、基板202上に6個の露光パターンP1〜P6を露光転写するには、6回のステップ移動と、6回の光の照射が必要となり、その合計時間が基板202の1枚当たりのタクトタイムとなる。
ところで、近年のフラットパネルディスプレイ装置の大型化に伴い、カラーフィルタを製造するためのマスクも大きくなっており(例えば、1400mm×1200mm)、
大型のマスクを製作するには多大なコストが必要となる。また、大型のマスクの場合には、自重によるたわみの影響等でステップ移動等の際にマスクを破損するといったリスクがあり、取り扱いも非常に煩雑であった。
By the way, with the recent increase in size of flat panel display devices, masks for producing color filters have also become larger (for example, 1400 mm × 1200 mm),
Manufacturing a large mask requires a great deal of cost. Further, in the case of a large mask, there is a risk that the mask is damaged during step movement due to the influence of deflection due to its own weight, and handling is very complicated.
さらに、基板上に形成される露光転写パターン数と同一回数だけ、基板のステップ移動と光の照射とを行う必要があり、基板一枚当たりのタクトタイムが長く、生産性向上の観点からさらなる改善が望まれる。 Furthermore, it is necessary to perform step movement of the substrate and light irradiation as many times as the number of exposure transfer patterns formed on the substrate, and the tact time per substrate is long, which is further improved from the viewpoint of improving productivity. Is desired.
本発明は、上記事情に鑑みてなされたもので、その目的は、マスク費用の低減を図ると共に、基板一枚当たりのタクトタイムの短縮を図り、高精度な露光を効率的に実現することができる露光装置を提供することにある。 The present invention has been made in view of the above circumstances, and an object of the present invention is to reduce the mask cost and shorten the tact time per substrate and efficiently realize high-precision exposure. An object of the present invention is to provide an exposure apparatus that can perform the above.
本発明の上記目的は、以下の構成によって達成される。
(1) 被露光材としての基板を保持するワークステージと、基板に対向配置されてマスクを保持するマスクステージと、基板に対してパターン露光用の光をマスクを介して照射する照射手段と、マスクのマスクパターンが基板上の複数の所定位置に対向するようにワークステージとマスクステージとを相対的にステップ移動させる送り機構とを備えた露光装置であって、
マスクは複数の小型マスクを備え、且つ、
マスクステージは、複数の小型マスクの有効露光面積の合計が基板に露光転写される1つの完成パターンの面積よりも大きくなるように、複数の小型マスクを保持することを特徴とする露光装置。
(2) 小型マスクは、基板に露光転写される1つの完成パターンを整数分の1に分割した大きさのマスクパターンを備え、且つ、
マスクステージは、複数の小型マスクを送り機構によるステップ移動量の略整数倍の間隔で配置することを特徴とする(1)に記載の露光装置。
The above object of the present invention is achieved by the following configurations.
(1) A work stage that holds a substrate as an exposure target, a mask stage that is disposed opposite to the substrate and holds a mask, and an irradiation unit that irradiates the substrate with light for pattern exposure through the mask; An exposure apparatus comprising a feed mechanism for moving the work stage and the mask stage relative to each other so that the mask pattern of the mask faces a plurality of predetermined positions on the substrate,
The mask comprises a plurality of small masks, and
An exposure apparatus characterized in that the mask stage holds a plurality of small masks such that a total effective exposure area of the plurality of small masks is larger than an area of one completed pattern exposed and transferred to the substrate.
(2) The small mask includes a mask pattern having a size obtained by dividing one completed pattern exposed and transferred onto the substrate by a fraction of an integer, and
The exposure apparatus according to (1), wherein the mask stage arranges a plurality of small masks at an interval substantially an integral multiple of the step movement amount by the feed mechanism.
本発明によれば、マスクは複数の小型マスクを備え、且つ、マスクステージは、複数の小型マスクの有効露光面積の合計が基板に露光転写される1つの完成パターンの面積よりも大きくなるように、複数の小型マスクを保持するので、マスクの製作コスト及び破損リスクを低減できると共に、従来方式より少ないステップ移動で複数の完成パターンを露光転写することができ、基板一枚当たりのタクトタイムを短縮して作業効率のよい露光装置となる。 According to the present invention, the mask includes a plurality of small masks, and the mask stage is configured such that the total effective exposure area of the plurality of small masks is larger than the area of one completed pattern that is exposed and transferred to the substrate. Because it holds multiple small masks, it can reduce mask manufacturing costs and risk of damage, and can transfer and transfer multiple completed patterns with fewer step movements than conventional methods, reducing tact time per substrate. Thus, an exposure apparatus with high work efficiency is obtained.
以下、本発明の露光装置に係る一実施形態について、添付図面を参照しながら詳細に説明する。 Hereinafter, an embodiment of the exposure apparatus of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
図1に示すように、本実施形態の分割逐次露光装置PEは、マスクMを保持するマスクステージ1と、ガラス基板(被露光材)Wを保持するワークステージ2と、パターン露光用の照射手段としての照明光学系3と、マスクステージ1及びワークステージ2を支持する装置ベース4とを備えている。
As shown in FIG. 1, the division sequential exposure apparatus PE of this embodiment includes a
なお、ガラス基板W(以下、単に「基板W」という。)は、マスクMに対向配置されて該マスクMに描かれたマスクパターンPを露光転写すべく表面(マスクMの対向面)に感光剤が塗布されて透光性とされている。また、本実施形態のマスクMは、複数の小型マスクM1〜M4を備えており、マスクステージ1はこれらの小型マスクM1〜M4を保持する(図4参照。)。
A glass substrate W (hereinafter simply referred to as “substrate W”) is placed on the mask M so as to be exposed to the surface (opposite surface of the mask M) so that the mask pattern P drawn on the mask M is exposed and transferred. An agent is applied to make it translucent. The mask M of the present embodiment includes a plurality of small masks M1 to M4, and the
説明の便宜上、照明光学系3から説明すると、照明光学系3は、紫外線照射用の光源である例えば高圧水銀ランプ31と、この高圧水銀ランプ31から照射された光を集光する凹面鏡32と、この凹面鏡32の焦点近傍に切替え自在に配置された二種類のオプチカルインテグレータ33と、平面ミラー35,36及び球面ミラー37と、この平面ミラー36とオプチカルインテグレータ33との間に配置されて照射光路を開閉制御する露光制御用シャッター34とを備えている。
For convenience of explanation, the illumination optical system 3 will be described. The illumination optical system 3 is, for example, a high-
露光時に露光制御用シャッター34が開制御されると、高圧水銀ランプ31から照射された光が、図1に示す光路Lを経て、マスクステージ1に保持されるマスクMひいてはワークステージ2に保持される基板Wの表面に対して垂直にパターン露光用の平行光として照射される。これにより、マスクMのマスクパターンPが基板W上に露光転写されるようになっている。
When the
次に、マスクステージ1及びワークステージ2の順に説明する。初めに、マスクステージ1はマスクステージベース10を備えており、該マスクステージベース10は装置ベース4から突設されたマスクステージ支柱11に支持されてワークステージ2の上方に配置されている。
Next, the
マスクステージベース10は、図2に示すように、略矩形形状とされて中央部に開口10aを有しており、この開口10aにはマスク保持枠12がX,Y方向に移動可能に装着されている。
As shown in FIG. 2, the
マスク保持枠12は、図3(a)に示すように、その上端外周部に設けられたフランジ12aをマスクステージベース10の開口10a近傍の上面に載置し、マスクステージベース10の開口10aの内周との間に所定のすき間を介して挿入されている。これにより、マスク保持枠12は、このすき間分だけX,Y方向に移動可能となる。
As shown in FIG. 3A, the
このマスク保持枠12の下面には、チャック部16が間座20を介して固定されており、マスク保持枠12とともにマスクステージベース10に対してX,Y方向に移動可能である。チャック部16には、図3(a)及び図4に示すように、小型マスクM1〜M4を吸着固定するための4つの開口部16bが所定の間隔で形成されている。
A
小型マスクM1〜M4はそれぞれ、基板Wに露光転写される1枚のカラーフィルタの完成パターンの整数分の1に分割した大きさのマスクパターンP’を有しており、本実施形態では2分の1に分割した大きさのものを有する。チャック部16の開口部16bは、各小型マスクM1〜M4の有効露光面積に対応する寸法を有しており、従って、マスクステージ1は、複数の小型マスクM1〜M4の有効露光面積の合計が基板Wに露光転写される1つの完成パターンの面積よりも大きい、即ち、本実施形態では1つの完成パターンの2倍の面積となるように、複数の小型マスクM1〜M4を保持する。
Each of the small masks M1 to M4 has a mask pattern P ′ having a size divided into an integral number of a completed pattern of one color filter that is exposed and transferred onto the substrate W. The size is divided into one. The opening 16b of the
また、開口部16b同士の間隔は、後述する基板WとマスクMの相対的なステップ移動量の略整数倍の間隔に設定されており、本実施形態では、開口部16bが、X方向およびY方向にステップ移動量の略2倍の間隔で形成されている。
Further, the interval between the
それぞれの開口部16bの周縁部には、マスクパターンP’が描かれているマスクM1〜M4の端部である周縁部を吸着するための複数の吸引ノズル16aが開設されており、チャック部16はチャック装置を構成している。これにより、マスクM1〜M4は吸引ノズル16aを介して真空式吸着装置(図示せず。)によりチャック部16に着脱自在に保持される。
A plurality of
また、マスクステージベース10の上面には、図2において、後述のアライメントカメラ15による検出結果、又は後述するレーザ測長装置60による測定結果に基づき、マスク保持枠12をXY平面内で移動させて、このマスク保持枠12に保持されたマスクMの位置及び姿勢を調整するマスク位置調整手段13が設けられている。尚、チャック部16に複数のマスクMが保持されている場合、チャック部16内における各マスクMの位置及び姿勢は、同一となるように調整された状態で保持される。
Further, in FIG. 2, the
マスク位置調整手段13は、マスク保持枠12のY軸方向に沿う一辺に取り付けられたX軸方向駆動装置13xと、マスク保持枠12のX軸方向に沿う一辺に取り付けられた二台のY軸方向駆動装置13yとを備えている。
The mask position adjusting means 13 includes an X-axis
図3(a)及び図3(b)に示すように、X軸方向駆動装置13xは、X軸方向に伸縮するロッド131rを有する駆動用アクチュエータ(例えば電動アクチュエータ)131と、マスク保持枠12のY軸方向に沿う辺部に取り付けられたリニアガイド(直動軸受案内)133とを備えている。リニアガイド133の案内レール133rは、Y軸方向に延びてマスク保持枠12に固定される。また、案内レール133rに移動可能に取り付けられたスライダ133sは、マスクステージベース10に固設されたロッド131rの先端に、ピン支持機構132を介して連結されている。
3A and 3B, the X-axis
一方、Y軸方向駆動装置13yも、X軸方向駆動装置13xと同様の構成であって、Y軸方向に伸縮するロッド131rを有する駆動用アクチュエータ(例えば電動アクチュエータ)131と、マスク保持枠12のX軸方向に沿う辺部に取り付けられたリニアガイド(直動軸受案内)133とを備えている。リニアガイド133の案内レール133rはX軸方向に延びてマスク保持枠12に固定されている。また、案内レール133rに移動可能に取り付けられたスライダ133sは、ロッド131rの先端にピン支持機構132を介して連結されている。そして、X軸方向駆動装置13xによりマスク保持枠12のX軸方向の調整を、二台のY軸方向駆動装置13yによりマスク保持枠12のY軸方向及びθ軸方向(Z軸まわりの揺動)の調整を行う。
On the other hand, the Y-axis
さらに、マスク保持枠12のX軸方向に互いに対向する二辺の内側には、図2に示すように、マスクMと基板Wとの対向面間のギャップを測定する手段としてのギャップセンサ14と、マスクMと位置合わせ基準との平面ずれ量を検出する手段としてのアライメントカメラ15とが配設されている。このギャップセンサ14及びアライメントカメラ15は、共に移動機構19を介してX軸方向に移動可能とされている。
Further, inside the two sides facing each other in the X-axis direction of the
移動機構19は、マスク保持枠12のX軸方向に互いに対向する二辺の上面側にはそれぞれギャップセンサ14及びアライメントカメラ15を保持する保持架台191がY軸方向に延びて配置されており、該保持架台191のY軸方向駆動装置13yから離間する側の端部はリニアガイド192によって支持されている。リニアガイド192は、マスクステージベース10上に設置されてX軸方向に沿って延びる案内レール192rと、案内レール192r上を移動するスライダ(図示せず。)とを備えており、該スライダに保持架台191の前記端部が固定されている。
The moving
そして、スライダをモータ及びボールねじからなる駆動用アクチュエータ193によって駆動することにより、保持架台191を介してギャップセンサ14及びアライメントカメラ15がX軸方向に移動するようになっている。
Then, the
アライメントカメラ15は、図5に示すように、マスクステージ1の下面に保持されているマスクMの表面のマスク側アライメントマーク101をマスク裏面側から光学的に検出するものであり、ピント調整機構151によりマスクMに対して接近離間移動してピント調整がなされるようになっている。
As shown in FIG. 5, the
ピント調整機構151は、リニアガイド152,ボールねじ153,モータ154を備えている。リニアガイド152には、案内レール152rとスライダ152sを備えており、このうち案内レール152rはマスクステージ1の移動機構19の保持架台191に上下方向に延びて取り付けられている。一方、該リニアガイド152のスライダ152sにはアライメントカメラ15がテーブル152tを介して固定されている。そして、ボールねじ153のねじ軸に螺合されたナットをテーブル152tに連結すると共に、そのねじ軸をモータ154で回転駆動するようにしている。
The
また、この実施形態では、図6に示すように、ワークステージ2に設けてあるワークチャック8の下方には、光源781及びコンデンサーレンズ782を有してワーク側アライメントマーク100を下から投影する投影光学系78がアライメントカメラ15の光軸に合わせてZ軸微動ステージ24と一体に配設されている。なお、ワークステージ2、Y軸送り台52には投影光学系78の光路に対応する貫通孔が形成されている。
Further, in this embodiment, as shown in FIG. 6, a projection for projecting the workpiece
さらに、この実施形態では、図7に示すように、マスクMのマスク側アライメントマーク101を有する面(マスクマーク面Mm)位置を検出してアライメントカメラ15のピントずれを防止するアライメント画像のベストフォーカス調整機構150を設けている。このベストフォーカス調整機構150は、アライメントカメラ15及びピント調整機構151に加えて、ピントずれ検出手段としてギャップセンサ14を利用している。即ち、このギャップセンサ14で計測したマスク下面位置の計測値を、制御装置80で予め設定したピント位置と比較して差を求め、その差から設定ピント位置からの相対ピント位置変化量を計算し、該計算変化量に応じてピント調整機構151のモータ154を制御してアライメントカメラ15を移動させ、これによりアライメントカメラ15のピントを調整するようにしている。
Further, in this embodiment, as shown in FIG. 7, the best focus of the alignment image that detects the position of the mask M having the mask side alignment mark 101 (mask mark surface Mm) and prevents the
このベストフォーカス調整機構150を用いることにより、マスクMの板厚変化や板厚のばらつきとは無関係に、アライメント画像の高精度のフォーカス調整が可能となる。すなわち、複数種類のマスクMを交換して使用する場合に、個々のマスクの厚さが異なる場合でも常に適正なピントを得ることができる。
なお、ピント調整機構151、投影光学系78、ベストフォーカス調整機構150等は、1層目分割パターンのアライメントの高精度化に対応するものであるばかりでなく、2層目以降のアライメントの高精度化にも寄与するものであり、また、マスクMの厚さがわかっていれば、ベストフォーカス調整機構150を省略して厚さに応じてピント調整機構を動かすようにしても良い。
By using the best
Note that the
なお、マスクステージベース10の開口10aのY軸方向の両端部にはマスクMの両端部を必要に応じて遮蔽するマスキングアパーチャ(遮蔽板)17がマスクMより上方に位置して配置されており、このマスキングアパーチャ17はモータ,ボールねじ及びリニアガイドよりなるマスキングアパーチャ駆動装置18によりY軸方向に移動可能とされてマスクMの両端部の遮蔽面積を調整できるようになっている。
Note that masking apertures (shielding plates) 17 that shield both ends of the mask M as necessary are disposed at both ends in the Y-axis direction of the
次に、ワークステージ2は、装置ベース4上に設置されており、マスクMと基板Wとの対向面間のすき間を所定量に調整するZ軸送り台(ギャップ調整手段)2Aと、このZ軸送り台2A上に配設されてワークステージ2をXY軸方向に移動させるワークステージ送り機構2Bとを備えている。
Next, the
Z軸送り台2Aは、図8に示すように、装置ベース4上に立設された上下粗動装置21によってZ軸方向に粗動可能に支持されたZ軸粗動ステージ22と、このZ軸粗動ステージ22の上に上下微動装置23を介して支持されたZ軸微動ステージ24とを備えている。上下粗動装置21には、例えばモータ及びボールねじ等からなる電動アクチュエータ、或いは空圧シリングが用いられており、単純な上下動作を行うことにより、Z軸粗動ステージ22を予め設定した位置まで、マスクMと基板Wとのすき間の計測を行うことなく昇降させる。
As shown in FIG. 8, the Z-
一方、図1に示す上下微動装置23は、モータとボールねじとくさびとを組み合わせてなる可動くさび機構を備えており、この実施形態では、例えばZ軸粗動ステージ22の上面に設置したモータ231によってボールねじのねじ軸232を回転駆動させるようにすると共にボールねじナット233をくさび状に形成してそのくさび状ナット233の斜面をZ軸微動ステージ24の下面に突設したくさび241の斜面と係合させ、これにより、可動くさび機構を構成している。
On the other hand, the vertical
そして、ボールねじのねじ軸232を回転駆動させると、くさび状ナット233がY軸方向に水平微動し、この水平微動運動が両くさび233,241の斜面作用により高精度の上下微動運動に変換される。
When the
この可動くさび機構からなる上下微動装置23は、Z軸微動ステージ24のY軸方向の一端側(図1の手前側)に2台、他端側に1台(図示せず)、合計3台設置されており、それぞれが独立に駆動制御されるようになっている。これにより、上下微動装置23は、チルト機能も兼ね備えていることになり、3台のギャップセンサ14によるマスクMと基板Wとのすき間の測定結果に基づき、マスクMと基板Wとが平行かつ所定のすき間を介して対向するように、Z軸微動ステージ24の高さを微調整するようになっている。なお、上下粗動装置21及び上下微動装置23はY軸送り台52の部分に設けるようにしてもよい。
The vertical
ワークステージ送り機構2Bは、図8に示すように、Z軸微動ステージ24の上面に、Y軸方向に互いに離間配置されてそれぞれX軸方向に沿って延設された二組の転がり案内の一種であるリニアガイド41と、このリニアガイド41のスライダ41aに取り付けられたX軸送り台42と、X軸送り台42をX軸方向に移動させるX軸送り駆動装置43とを備えており、X軸送り駆動装置43のモータ431によって回転駆動されるボールねじ軸432に螺合されたボールねじナット433にX軸送り台42が連結されている。
As shown in FIG. 8, the work
また、このX軸送り台42の上面には、X軸方向に互いに離間配置されてそれぞれY軸方向に沿って延設された二組の転がり案内の一種であるリニアガイド51と、該リニアガイド51のスライダ51aに取り付けられたY軸送り台52と、Y軸送り台52をY軸方向に移動させるY軸送り駆動装置53とを備えており、Y軸送り駆動装置53のモータ531によって回転駆動するボールねじ軸532に螺合されたボールねじナット(図示せず)に、Y軸送り台52が連結されている。このY軸送り台52の上面には、ワークステージ2が取り付けられている。
Further, on the upper surface of the
そして、ワークステージ2のX軸,Y軸位置を検出する移動距離測定部としてのレーザ測長装置60が、装置ベース4に設けられている。上記のように構成されたワークステージ2では、ボールねじやリニアガイド自体の形状等の誤差や、これらの取り付け誤差などに起因し、ワークステージ2の移動に際し、位置決め誤差、ヨーイング、真直度などの発生は不可避である。そこで、これらの誤差の測定を目的とするのがこのレーザ測長装置60である。このレーザ測長装置60は、図1に示すように、ワークステージ2のY軸方向端部に対向して設けレーザを備えた一対のY軸干渉計62,63と、ワークステージ2のX軸方向端部に設けレーザを備えた一つのX軸干渉計64と、ワークステージ2のY軸干渉計62,63と対向する位置に配設されたY軸用ミラー66と、ワークステージ2のX軸干渉計64と対向する位置に配設されたX軸用ミラー68とで構成されている。
A laser
このように、Y軸方向についてY軸干渉計62,63を2台設けていることにより、ワークステージ2のY軸方向位置の情報のみでなく、Y軸干渉計62と63の位置データの差分によりヨーイング誤差を知ることもできる。Y軸方向位置については、両者の平均値に、ワークステージ2のX軸方向位置、ヨーイング誤差を加味して適宜、補正を加えることにより算出することができる。
As described above, by providing two Y-
そして、ワークステージ2のXY方向位置やY軸送り台52、ひいては前の分割パターンの露光に続いて次の分割パターンをつなぎ露光する際に、基板Wを次のエリアに送る段階で、各干渉計62〜64より出力する検出信号を、図9に示すように、制御装置80に入力するようにしている。この制御装置80は、この検出信号に基づいて分割露光のためのXY方向の移動量を調整するためにX軸送り駆動装置43及びY軸送り駆動装置53を制御すると共に、X軸干渉計64による検出結果及びY軸干渉計62,63による検出結果に基づき、つなぎ露光のための位置決め補正量を算出して、その算出結果をマスク位置調整手段13(及び必要に応じて上下微動装置23)に出力する。これにより、この補正量に応じてマスク位置調整手段13等が駆動され、X軸送り駆動装置43又はY軸送り駆動装置53による位置決め誤差、真直度誤差、及びヨーイング等の影響が解消される。
Then, when the next divided pattern is connected and exposed following the exposure of the
また、ワークステージ2の送りに際する誤差が全くないときでも、最初の状態でマスクMのマスクパターンPの向きがワークステージ2の送り方向とずれていると、分割逐次露光により基板W上に形成される各パターンが傾いた状態で形成されてしまったり、つなぎ露光で基板W上に分割形成されたパターン同士の継ぎ目がずれて整合しない。
Even when there is no error in feeding the
例えば、図11(a)のように、最初の位置において傾いた状態で露光されると、送り誤差が全くない場合でも、次の位置での露光パターンは破線で示すように同様に傾いた状態で形成される。 For example, as shown in FIG. 11A, when exposure is performed in a tilted state at the first position, the exposure pattern at the next position is similarly tilted as indicated by a broken line even when there is no feed error. Formed with.
そこで、この実施形態では、図11に示すように、ワークステージ2(実際にはワークステージ2上に設置されているワークチャック8)の上面の少なくとも2か所に、例えば十字形状(レチクル)を有するワーク側アライメントマーク100をY軸方向に互いに離間して形成する。一方、マスクMの方には、ワーク側アライメントマーク100に対応させたマスク側アライメントマーク101を形成する。基準側である2ケ所のアライメントマーク100の中心同士を結ぶ線は、最初の状態(基準位置)においてX軸方向と一致し、Y軸方向と直交するように予め調整されている。
Therefore, in this embodiment, as shown in FIG. 11, for example, a cross shape (reticle) is formed in at least two places on the upper surface of the work stage 2 (actually, the
そして、図11(b)に示すように、最初の状態(基準位置)において、アライメントカメラ15により、アライメントマーク100と101との位置ずれ量を検出し、X軸方向駆動装置13x及びY軸方向駆動装置13yによってマスク保持枠12の位置を調整することにより、ワーク側アライメントマーク100とマスク側アライメントマーク101との中心同士が実質的にXY平面内で一致して整合するようにしている。
Then, as shown in FIG. 11B, in the initial state (reference position), the
また、ワーク側アライメントマーク100とマスク側アライメントマーク101との整合については、アライメントマーク検出手段であるアライメントカメラ15によって高精度にかつ容易に行えるように構成している。
Further, the alignment between the workpiece
なお、本実施形態の制御装置80は、露光制御用シャッター34の開制御、ワークステージ2の送り制御、レーザ干渉計62〜64の検出値に基づく補正量の演算、マスク位置調整手段13の駆動制御の他に、アライメント調整時の補正量の演算、Z軸送り台(ギャップ調整手段)2Aの駆動制御、ワーク自動供給装置(図示せず。)の駆動制御等、分割逐次近接露光装置に組み込まれた殆どのアクチュエータの駆動及び所定の演算処理を、マイクロコンピュータやシーケンサ等を用いたシーケンス制御を基本として実行する。
The
次に、本実施形態の分割逐次近接露光装置PEを用いた露光処理について詳細に説明する。本実施形態では、基板Wとして、図9に示す一辺1mを越える大型の基板Wでディスプレイ用材DPを6面取り(X方向2×Y方向3)するものを用いる。
Next, an exposure process using the divided sequential proximity exposure apparatus PE of this embodiment will be described in detail. In the present embodiment, as the substrate W, a large substrate W having a side of 1 m shown in FIG. 9 and the display material DP being chamfered (
また、本実施形態の分割逐次露光処理では、例えば、大型液晶ディスプレイ用のRGBカラーフィルタを作成する工程には、材料となる基板W上に所定のパターンを露光する工程が含まれる。パターンの形成は、先ず各画素間を仕切るブラックマトリックス、R(赤),G(縁),B(青)の三原色の個々のパターンを色毎にブラックマトリックスのパターン形成と同様の工程を繰り返しながら形成していく。このため、一層目、即ち、ブラックマトリックスのパターンの露光処理について、以下詳細に説明するものとする。 Moreover, in the division | segmentation sequential exposure process of this embodiment, the process of creating the RGB color filter for large sized liquid crystal displays includes the process of exposing a predetermined pattern on the board | substrate W used as material. The pattern formation is performed by repeating the same process as the black matrix pattern formation for each color of each pattern of the three primary colors of black matrix, R (red), G (edge), and B (blue) for partitioning each pixel. To form. Therefore, the first layer, that is, the black matrix pattern exposure process will be described in detail below.
なお、ブラックマトリックスのパターンのステップ露光に際しては、図4に示すマスクMを使用し、上記のディスプレイ用材DPを6面取りするガラス基板WでX方向ステップ回数Nx=2、Y方向ステップ回数Ny=2とし、大型液晶ディスプレイ用のカラーフィルタのガラス基板Wの上に一層目のブラックマトリックスのパターンを分割逐次近接露光により形成する。また、この例では、初期位置決め位置(原点位置)において最初の露光を行い、以後ステップ送り、露光を繰り返すものとする。 In the step exposure of the black matrix pattern, the mask M shown in FIG. 4 is used, and the number of steps Xx in the X direction Nx = 2 and the number of steps Yy in the Y direction Ny = 2 on the glass substrate W on which the display material DP is chamfered. Then, the first black matrix pattern is formed on the glass substrate W of the color filter for a large-sized liquid crystal display by divided sequential proximity exposure. Further, in this example, the first exposure is performed at the initial positioning position (origin position), and thereafter, step feed and exposure are repeated.
(1) マスクMのチャック
図4に示すように、小型マスクM1〜M4は、描かれたマスクパターンP’が下面となるようにして、分割逐次近接露光装置PEのチャック部16にチャックされる。このとき、基準となる基準マスクM1に対して他の3枚のマスクM2〜M4は、その位置および姿勢が同一となるように設定される。このため、基準マスクM1にのみマスク側アライメントマーク101が設けられている。なお、小型マスクM1〜M4は、ワークステージ2がX軸方向及びY軸方向の前進限近傍に位置し、かつZ軸方向の最下限迄下降した状態でチャックされる。
(1) Chuck of Mask M As shown in FIG. 4, the small masks M1 to M4 are chucked by the
(2) アライメント調整
この状態で、制御装置80に電源を投入すると、先ず、レーザ測長装置60からワークステージ2の現在位置を読込み、読込んだ現在位置に基づいてワークステージ2を予め設定した制御原点位置となるようにX軸送り駆動装置43及びY軸送り駆動装置53を駆動制御してワークステージ2の初期位置決めを行う。
(2) Alignment adjustment When the
その後、ギャップ調整手段を構成するZ軸送り台2Aの上下粗動装置21及び上下微動装置23を駆動してワークステージ2とマスクMとを所定のギャップを介して対向させ、マスク位置調整手段13によりマスクM(例えば、小型マスクM1)の向きをX軸方向に対し傾きがないように調整する。
Thereafter, the vertical
すなわち、アライメントカメラ15によってワーク側アライメントマーク100とマスク側アライメントマーク101との間にずれが検出されると(例えば図11(a))、その検出信号をマスク位置調整手段13の制御装置80に出力し、この制御装置80によってX方向駆動装置13x及び二つのY方向駆動装置13yの駆動を制御することにより、マスク保持枠12の姿勢を修正して両マーク100,101を図11(b)に示すように整合させる。これにより、マスクMとX軸方向との傾きθが解消される。これにより、小型マスクM1と同じ姿勢に設定されている他の3枚の小型マスクM2〜M4も、Y軸方向に対する傾きが零となる。
That is, when the
(3) 基板Wの投入及び1ステップ目の露光
アライメント終了後、ギャップ調整手段のZ軸送り台2Aにより、一旦ワークステージ2を搬送機構から基板Wの受け取りが可能な位置まで下降させる。この状態で、図示しないプリアライメントユニットから搬送機構によってプリアライメントされた基板Wをワークステージ上に載置し、ワークチャックで基板Wを真空吸着する。その後、再度ギャップ調整手段により、マスクMの下面とワークW上面とのすき間を、露光する際に必要な所定の値となるように調整する。
(3) Loading of the substrate W and first exposure After the alignment is completed, the
なお、ギャップ調整手段のZ軸送り台2Aによりワークステージ2を上下動させる際に、わずかではあるがワークステージ2がXY平面内でも多少動いてしまう場合もある。このような場合のために、上記(2)のアライメント終了後での各レーザ干渉計62、63、64による位置データを、前記制御装置80のメモリにより記憶しておき、ギャップ調整後の位置データが記憶されているデータと変わっている場合には、マスク位置調整手段13で変化分だけ補正することにより、マスクMの向きとX軸方向との傾きのない状態に戻すことができる。
Note that when the
次に、照明光学系3の露光制御用シャッター34を開制御して1ステップ目の露光を行い、マスクMのマスクパターンP、即ち、小型マスクM1〜M4のマスクパターンP’を基板Wの所定位置に焼き付けて、基板W上に4個の完成パターンP1、P2、P5、P6の右半分の分割パターンP11、P21、P51、P61を得る(図12参照。)。
Next, the
(4) 2ステップ目の露光位置へのワークステージの移動
続いて、完成パターンP1、P2、P5、P6の左半分の分割パターンP12、P22、P52、P62のつなぎ露光を行うために、ワークステージ送り機構2BのX軸送り駆動装置43を駆動して、ワークステージ2をマスクMに対して図11(b)の矢印X方向へ1ステップ移動量だけ移動させることにより、基板Wを2ステップ目の露光位置に配置する。このとき、基板WとマスクMとの干渉を避けるため、ワークステージ2を必要な分だけZ軸方向に下降させるようにしてもよい。
(4) Moving the work stage to the exposure position of the second step Subsequently, in order to perform joint exposure of the divided patterns P12, P22, P52, and P62 on the left half of the completed patterns P1, P2, P5, and P6, the work stage By driving the X-axis
(5) ワークステージ2の送り誤差によるアライメント調整
上記のようにワークステージ2をマスクMに対して図11(b)の矢印X方向に1ステップ移動量だけ送る際には、先に述べた要因による送り誤差が生じるため、そのまま2ステップ目の露光をすると、完成パターンP1、P2、P5、P6の左半分の分割パターンP12、P22、P52、P62がわずかではあるが位置ずれをおこす。例えば、ワークステージ2のステップ送り中にワークステージ2のヨーイングとY軸方向真直度のエラーにより、図11(c)のように真直度△y、傾斜角度θ’だけ正規位置からずれてしまう。
(5) Alignment adjustment by
そこで、ガラス基板W上に2ステップ目の露光転写する前に、干渉計62、63及び64により得られているステップ送り完了後のワークステージ2の位置の検出結果を、つなぎ露光位置を補正する補正制御手段に出力する。そして、該補正制御手段では、該検出結果に基づいてつなぎ露光のための位置決め補正量を算出し、その算出結果に基づいてマスク位置調整手段13(及び送り時のピッチング補正など、必要に応じてギャップ調整を行うために上下微動装置23)のX軸方向駆動装置13x及びY軸方向駆動装置13yを制御してマスク保持枠12の位置を調整し、マスクMの位置ずれを補正するアライメント調整を行う。なお、ギャップ調整手段6によるマスクMと基板Wとのギャップ調整を行った場合は、その後の状態でのヨーイング及び真直度のデータに基づいて調整する。
Therefore, before the exposure transfer of the second step onto the glass substrate W, the detection result of the position of the
(6) 2ステップ目の露光
その後、照明光学系3の露光制御用シャッター34を開制御して2ステップ目の露光を行い、マスクMのマスクパターンP、即ち、小型マスクM1〜M4のマスクパターンP’を基板Wの所定位置に焼き付けて、基板W上に位置ずれが修正された完成パターンP1、P2、P5、P6の左半分の分割パターンP12、P22、P52、P62を得る。即ち、1ステップ目および2ステップ目の2回の露光により、基板W上に左右の分割パターンがつながった4つの完成パターンP1,P2,P5,P6が得られる。
(6) Second Step Exposure Thereafter, the
(7) 3ステップ目以降の露光
以下、前記(4)〜(6)と同様にして、ワークステージ2をY方向およびX方向へ1ステップ移動量だけ移動させて各ステップ目での露光位置へワークステージ2を移動させ、ワークステージ2の送り誤差によるアライメント調整及び各ステップ目の露光を行い、基板W上に左半分のパターンP33,P43と右半分のパターンP34,P44が繋がった分割パターンP3、P4が得られる。すべての露光が完了すると、ワークステージ2が制御原点位置に復帰され、ワークチャック8で真空吸着状態が解除されてから図示しない搬送装置でガラス基板Wが外部に搬出され、新たなガラス基板Wの露光のため前記(2)〜(7)の処理が行われる。
(7) Exposure after the third step In the same manner as in the above (4) to (6), the
従って、本実施形態の分割逐次露光装置PEによれば、マスクMは複数の小型マスクM1〜M4を備え、且つ、マスクステージ1は、複数の小型マスクM1〜M4の有効露光面積の合計が基板Wに露光転写される1つの完成パターンの面積よりも大きくなるように、複数の小型マスクM1〜M4を保持するので、マスクMの製作コスト及び破損リスクを低減できると共に、従来方式より少ないステップ移動で複数の完成パターンP1〜P6を露光転写することができ、基板一枚当たりのタクトタイムを短縮して作業効率のよいものとなる。
Therefore, according to the divided sequential exposure apparatus PE of the present embodiment, the mask M includes a plurality of small masks M1 to M4, and the
特に、小型マスクM1〜M4は、基板Wに露光転写される1つの完成パターンを整数分の1に分割した大きさのマスクパターンP’を備え、且つ、マスクステージ1は、複数の小型マスクM1〜M4を送り機構によるステップ移動量の略整数倍の間隔で配置するので、複数のカラーフィルタを同時に露光転写することができ、基板一枚当たりのタクトタイムの短縮に効果を奏する。
In particular, the small masks M1 to M4 include a mask pattern P ′ having a size obtained by dividing one completed pattern exposed and transferred onto the substrate W by an integer, and the
なお、本発明は、上述した実施形態に何ら限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々の形態で実施し得るものである。 In addition, this invention is not limited to embodiment mentioned above at all, In the range which does not deviate from the summary, it can implement with a various form.
本実施形態においては、小型マスクM1〜M4の大きさが、基板Wに露光転写される1つの完成パターンP1の1/2の大きさであり、更に、4枚の小型マスクM1〜M4をステップ移動量の2倍の間隔(X,Y方向)で配置するようにしたが、本発明はこれに限定されるものでなく、マスクMの大きさは完成パターンPの整数分の1であり、配置間隔がステップ移動量の略整数倍であれば任意に配置可能である。また、X方向、およびY方向の間隔の倍数は、同じでも、異なってもよい。 In the present embodiment, the size of the small masks M1 to M4 is half the size of one completed pattern P1 that is exposed and transferred to the substrate W. Further, the four small masks M1 to M4 are stepped. However, the present invention is not limited to this, and the size of the mask M is 1 / integer of the completed pattern P. Arbitrary arrangement is possible if the arrangement interval is substantially an integral multiple of the step movement amount. The multiples of the intervals in the X direction and the Y direction may be the same or different.
また、本実施形態では、マスクステージ1をマスクステージ支柱11で装置ベース4に固定して取り付け、ワークステージ2の方のみギャップ調整手段のZ軸送り台2Aで昇降させる構造を示したが、これに限らない。例えば、マスクステージ支柱11をシリンダで構成してマスクステージ1の方を昇降させる構造にしてもよい。その場合には、上下粗動装置を有するZ軸粗動ステージ22を省略することができる。
In the present embodiment, the
1 マスクステージ
2 ワークステージ
2B ワークステージ送り機構
3 照射手段(照明光学系)
M マスク
M1〜M4 小型マスク
P マスクパターン
P1〜P6 完成パターン
PE 分割逐次近接露光装置(露光装置)
W ガラス基板(基板)
DESCRIPTION OF
M Mask M1 to M4 Small mask P Mask pattern P1 to P6 Complete pattern PE Split sequential proximity exposure apparatus (exposure apparatus)
W Glass substrate (substrate)
Claims (2)
前記マスクは複数の小型マスクを備え、且つ、
前記マスクステージは、前記複数の小型マスクの有効露光面積の合計が前記基板に露光転写される1つの完成パターンの面積よりも大きくなるように、前記複数の小型マスクを保持することを特徴とする露光装置。 A work stage for holding a substrate as a material to be exposed, a mask stage that is arranged opposite to the substrate and holds a mask, and irradiation means for irradiating the substrate with light for pattern exposure through the mask; An exposure apparatus comprising: a feed mechanism that relatively steps the work stage and the mask stage so that a mask pattern of the mask faces a plurality of predetermined positions on the substrate;
The mask comprises a plurality of small masks; and
The mask stage holds the plurality of small masks such that a total effective exposure area of the plurality of small masks is larger than an area of one completed pattern exposed and transferred to the substrate. Exposure device.
且つ、
前記マスクステージは、前記複数の小型マスクを前記送り機構によるステップ移動量の略整数倍の間隔で配置することを特徴とする請求項1に記載の露光装置。 The small mask includes a mask pattern having a size obtained by dividing one completed pattern exposed and transferred onto the substrate by an integer.
and,
The exposure apparatus according to claim 1, wherein the mask stage arranges the plurality of small masks at an interval substantially an integral multiple of a step movement amount by the feed mechanism.
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---|---|---|---|
JP2005332923A JP2007140057A (en) | 2005-11-17 | 2005-11-17 | Exposure device |
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JP2017521697A (en) * | 2014-07-08 | 2017-08-03 | エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ. | Lithographic apparatus and method |
-
2005
- 2005-11-17 JP JP2005332923A patent/JP2007140057A/en active Pending
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