JP2007124442A - Piezoelectric vibrator - Google Patents

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JP2007124442A JP2005315734A JP2005315734A JP2007124442A JP 2007124442 A JP2007124442 A JP 2007124442A JP 2005315734 A JP2005315734 A JP 2005315734A JP 2005315734 A JP2005315734 A JP 2005315734A JP 2007124442 A JP2007124442 A JP 2007124442A
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Toshinobu Sakurai
俊信 櫻井
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a piezoelectric vibrator which is manufactured inexpensively and achieves a low backing. <P>SOLUTION: The piezoelectric vibrator 10 mounts a piezoelectric vibration chip 12 on a package 30. The piezoelectric vibration chip 12 is formed in a plano-convex or a plano-mesa shape with one face 14 formed flat and with the other face 16 formed in a convex type. The piezoelectric vibration chip 12 is mounted on the package 30 facing one face 14 to a lower side, that is, facing it to a bottom face 38 of a package base 34. The bottom face 38 of the package base 34 is formed flat. The piezoelectric vibration chip 12 has differently-shaped electrode patterns formed on the faces 14 and 16 each so as to distinguish one face 14 from the other face 16. <P>COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Description

本発明は圧電振動子に関するものである。   The present invention relates to a piezoelectric vibrator.

圧電振動子は、圧電振動片をパッケージに搭載した構成である。図６は従来技術に係る圧電振動子の説明図である。なお図６に示される圧電振動子では、バイコンベックス型の圧電振動片が用いられている。圧電振動片１には、フラット型やバイコンベックス型、バイメサ型が用いられている。圧電振動片１は、電気信号が供給されると振動が励起される。そしてバイコンベックス型やバイメサ型の圧電振動片１は、凸になった部分に励起された振動を閉じ込めることができるので、振動が圧電振動片１の支持部に伝わらず、フラット型に比べてクリスタルインピーダンス（ＣＩ）値を低下することができる。   The piezoelectric vibrator has a configuration in which a piezoelectric vibrating piece is mounted on a package. FIG. 6 is an explanatory diagram of a piezoelectric vibrator according to the prior art. In the piezoelectric vibrator shown in FIG. 6, a biconvex type piezoelectric vibrating piece is used. A flat type, a biconvex type, and a bimesa type are used for the piezoelectric vibrating piece 1. The piezoelectric vibrating reed 1 is excited when an electric signal is supplied. The biconvex type or bimesa type piezoelectric vibrating piece 1 can confine the excited vibration in the convex portion, so that the vibration is not transmitted to the support portion of the piezoelectric vibrating piece 1 and is compared with the flat type. Impedance (CI) value can be lowered.

またパッケージ２は、圧電振動片１が収容される凹部（第１凹部５および第２凹部６）を備えたパッケージベース３と、この凹部を気密封止する蓋体４を備えた構成である。バイコンベックス型やバイメサ型の圧電振動片１をパッケージベース３に設けられた第１凹部５の底面７に搭載する場合、圧電振動片１と底面７の距離を確保するために、第１凹部５の底面７にさらに第２凹部６を設ける必要がある。これは圧電振動子８に衝撃等が加わってパッケージ２に搭載されている圧電振動片１が振れると、圧電振動片１がパッケージ２に衝突してワレやカケ等のダメージが生じる虞があるので、圧電振動片１とパッケージベース３の衝突を防止するために第１凹部５の底面７に第２凹部６を設けて圧電振動片１とパッケージ２の距離を離している。   The package 2 includes a package base 3 having a recess (first recess 5 and second recess 6) in which the piezoelectric vibrating reed 1 is accommodated, and a lid 4 that hermetically seals the recess. When the biconvex type or bimesa type piezoelectric vibrating piece 1 is mounted on the bottom surface 7 of the first recess 5 provided in the package base 3, the first recess 5 is secured in order to secure the distance between the piezoelectric vibrating piece 1 and the bottom surface 7. It is necessary to further provide the second concave portion 6 on the bottom surface 7 of this. This is because, when an impact or the like is applied to the piezoelectric vibrator 8 and the piezoelectric vibrating reed 1 mounted on the package 2 is shaken, the piezoelectric vibrating reed 1 may collide with the package 2 and cause damage such as cracking or chipping. In order to prevent the piezoelectric vibrating reed 1 and the package base 3 from colliding with each other, the second recessed portion 6 is provided on the bottom surface 7 of the first recessed portion 5 so that the distance between the piezoelectric vibrating reed 1 and the package 2 is increased.

このようなパッケージベース３の内側に段差を設けて第１凹部５と第２凹部６を構成した圧電振動子８が開示されているものとして、例えば特許文献１，２が挙げられる。特許文献１には、凸レンズ状の圧電振動片が搭載されるパッケージベースの底面に凹陥部を設けたことが開示されている。また特許文献２には、一方の面が平面であり、他方の面の長手方向両端部にべべリング円弧形状が形成された水晶片を有する水晶振動子が開示されており、水晶片の他方の面が下側を向いて搭載されるパッケージベースの底面に、第２凹部を設けたことが開示されている。
特開２００５−１５９９９７号公報 特開２００５−３３３９０号公報（図２参照） For example, Patent Documents 1 and 2 disclose a piezoelectric vibrator 8 in which a step is provided inside the package base 3 to form the first recess 5 and the second recess 6. Patent Document 1 discloses that a concave portion is provided on the bottom surface of a package base on which a convex lens-shaped piezoelectric vibrating piece is mounted. Further, Patent Document 2 discloses a crystal resonator having a crystal piece in which one surface is a flat surface and a beveling arc shape is formed at both ends in the longitudinal direction of the other surface. It is disclosed that a second recess is provided on the bottom surface of the package base that is mounted with the surface facing downward.
Japanese Patent Laid-Open No. 2005-159997 Japanese Patent Laying-Open No. 2005-33390 (see FIG. 2)

近年は、多くの機器に対して小型化の要求があるので、この機器に搭載される圧電振動子に対しても低背化および平面サイズの小型化が要求されている。しかしながら前述した圧電振動子、すなわち圧電振動片をバイコンベックス型やバイメサ型にし、パッケージベースに段差を設けて第１凹部と第２凹部を形成した構成のものでは、パッケージベースに第２凹部を設けると厚くなるので、圧電振動子をより低背化できないという課題があった。   In recent years, since there is a demand for miniaturization of many devices, a piezoelectric vibrator mounted on this device is also required to have a low profile and a small planar size. However, in the configuration in which the piezoelectric vibrator, that is, the piezoelectric vibrating piece is a biconvex type or a bimesa type and a step is provided in the package base to form the first concave portion and the second concave portion, the second concave portion is provided in the package base. As a result, there is a problem that the height of the piezoelectric vibrator cannot be further reduced.

またパッケージベースの製造工程では、パッケージベースの底面に第２凹部を形成する工程が必要になるので、第２凹部を設けていないパッケージベースに比べて製造工程が多くなる課題があった。そしてパッケージベースの製造工程が多くなるため、また第２凹部を形成するために複数の部材を用いるために、パッケージベースが高価になるという課題があった。
本発明は、安価に製造でき、低背化された圧電振動子を提供することを目的とする。 Further, in the package base manufacturing process, a process of forming the second concave portion on the bottom surface of the package base is required, so that there is a problem that the manufacturing process is increased as compared with a package base in which the second concave portion is not provided. Since the manufacturing process of the package base is increased, and a plurality of members are used to form the second recess, there is a problem that the package base becomes expensive.
An object of the present invention is to provide a piezoelectric vibrator that can be manufactured at low cost and has a low profile.

本発明に係る圧電振動子は、圧電振動片をパッケージに搭載した圧電振動子において、前記圧電振動片は、一方の面を平らに形成し、他方の面を凸型にしたプラノコンベックス型またはプラノメサ型であり、前記一方の面を前記パッケージの底面に向けて前記圧電振動片を前記パッケージに搭載した、ことを特徴としている。この場合、前記パッケージの前記底面は、平面であることを特徴している。なお前記圧電振動片は、前記一方の面および前記他方の面のそれぞれに電極パターンを備えている。   The piezoelectric vibrator according to the present invention is a piezoelectric vibrator in which a piezoelectric vibrating piece is mounted on a package. The piezoelectric vibrating piece is a planoconvex type or a planomesa having a flat surface on one surface and a convex surface on the other surface. The piezoelectric vibrating piece is mounted on the package with the one surface facing the bottom surface of the package. In this case, the bottom surface of the package is a flat surface. The piezoelectric vibrating piece includes an electrode pattern on each of the one surface and the other surface.

パッケージに搭載された圧電振動片の一方の面（下面）は平面になっているので、圧電振動片からパッケージの底面までの距離をあけることができる。したがって圧電振動片に衝撃等が加わって上下方向に振れても、圧電振動片がパッケージに接触するのを防止することができ、高信頼性の圧電振動子を得ることができる。またパッケージと圧電振動片のクリアランスを確保できるので、パッケージの底面を平らな形状にできる。したがって圧電振動子を低背化することができる。そしてパッケージの製造工程を少なくすることができるからパッケージベースを安価に製造でき、また圧電振動子も安価に製造することができる。   Since one surface (lower surface) of the piezoelectric vibrating piece mounted on the package is a flat surface, the distance from the piezoelectric vibrating piece to the bottom surface of the package can be increased. Therefore, even when an impact or the like is applied to the piezoelectric vibrating piece and it is shaken in the vertical direction, the piezoelectric vibrating piece can be prevented from contacting the package, and a highly reliable piezoelectric vibrator can be obtained. In addition, since the clearance between the package and the piezoelectric vibrating piece can be secured, the bottom surface of the package can be made flat. Therefore, the piezoelectric vibrator can be reduced in height. Since the package manufacturing process can be reduced, the package base can be manufactured at low cost, and the piezoelectric vibrator can also be manufactured at low cost.

また前記圧電振動片の前記一方の面に設けられる電極パターンと、前記他方の面に設けられる電極パターンとは異なる形状であることを特徴としている。電極パターンの形状を複数の圧電振動片において同じにした場合、各圧電振動片を一方（他方）の面側から見ると、電極パターンの形状が異なっている部分はいずれの圧電振動片でも同じ位置になる。そして、仮に圧電振動片の表裏が異なっていると、この電極パターンの形状の異なっている部分は通常と違う位置に来ることになる。このため電極パターンの形状の異なった部分に注目することにより、圧電振動片の表裏を識別することができ、圧電振動片の向きを間違えてパッケージに搭載するのを防止することができる。   Further, the electrode pattern provided on the one surface of the piezoelectric vibrating piece and the electrode pattern provided on the other surface are different in shape. When the shape of the electrode pattern is the same in a plurality of piezoelectric vibrating pieces, when each piezoelectric vibrating piece is viewed from one (the other) surface side, the part where the electrode pattern shape is different is the same position in any piezoelectric vibrating piece. become. If the front and back surfaces of the piezoelectric vibrating piece are different, the portion of the electrode pattern having a different shape comes to a different position. Therefore, by paying attention to portions having different electrode pattern shapes, it is possible to identify the front and back of the piezoelectric vibrating piece, and to prevent the piezoelectric vibrating piece from being mounted in the package with the wrong orientation.

また前記圧電振動片の前記一方の面と前記他方の面を識別する切り欠き部を前記圧電振動片に設けたことを特徴としている。圧電振動片を一方（他方）の面側から見た場合、圧電振動片の表裏の向きが同じならば、いずれの圧電振動片でも切り欠き部の位置は同じ位置に来る。このため切り欠き部の位置に注目することにより、圧電振動片の表裏を識別することができ、圧電振動片の向きを間違えてパッケージに搭載するのを防止することができる。   Further, the piezoelectric vibrating piece is provided with a notch for identifying the one surface and the other surface of the piezoelectric vibrating piece. When the piezoelectric vibrating reed is viewed from one (other) surface side, the cutout portion is positioned at the same position in any piezoelectric vibrating reed as long as the directions of the front and back surfaces of the piezoelectric vibrating reed are the same. Therefore, by paying attention to the position of the notch portion, the front and back of the piezoelectric vibrating piece can be identified, and it is possible to prevent the piezoelectric vibrating piece from being mounted in the package with the wrong direction.

また前記圧電振動片の前記一方の面と前記他方の面を識別する記号を前記圧電振動片に設けたことを特徴としている。圧電振動片を一方（他方）の面側から見た場合、圧電振動片の表裏の向きが同じならば、いずれの圧電振動片でも記号の位置は同じ位置に来る。このため記号の位置に注目することにより、圧電振動片の表裏を識別することができる。また記号として文字を用いた場合、文字の向きを判別することにより圧電振動片の表裏を識別することができる。これにより圧電振動片の向きを間違えてパッケージに搭載するのを防止することができる。   Further, the piezoelectric vibrating piece is provided with a symbol for identifying the one surface and the other surface of the piezoelectric vibrating piece. When the piezoelectric vibrating piece is viewed from one (other) surface side, the symbols are positioned at the same position in any piezoelectric vibrating piece if the front and back directions of the piezoelectric vibrating piece are the same. Therefore, the front and back of the piezoelectric vibrating piece can be identified by paying attention to the position of the symbol. When characters are used as the symbols, the front and back of the piezoelectric vibrating piece can be identified by determining the direction of the characters. As a result, it is possible to prevent the piezoelectric vibrating piece from being mounted in the package with the wrong direction.

また前記圧電振動片の前記一方の面に設けられる電極パターンの金属材料と、前記他方の面に設けられる電極パターンの金属材料とは異なることを特徴としている。これにより、一方の面に設けられる金属パターンと他方の面に設けられる金属パターンの色は異なるので、色の違いを判別することにより圧電振動片の表裏を識別することができる。これにより圧電振動片の向きを間違えてパッケージに搭載するのを防止することができる。   Further, the metal material of the electrode pattern provided on the one surface of the piezoelectric vibrating piece is different from the metal material of the electrode pattern provided on the other surface. Thereby, since the color of the metal pattern provided on one surface and the metal pattern provided on the other surface is different, the front and back of the piezoelectric vibrating piece can be identified by discriminating the difference in color. As a result, it is possible to prevent the piezoelectric vibrating piece from being mounted in the package with the wrong direction.

以下に、本発明に係る圧電振動子の最良の実施形態について説明する。まず第１の実施形態では、圧電振動子について説明する。図１はプラノコンベックス型の圧電振動片を用いた圧電振動子の説明図である。ここで図１（Ａ）は圧電振動子の断面図、図１（Ｂ）は圧電振動片の平面図を示している。
圧電振動子１０は、圧電振動片１２とパッケージ３０を備えた構成である。圧電振動片１２は、一方の面１４を平らに形成し、他方の面１６を湾曲させて凸型に形成したプラノコンベックス型である。この圧電振動片１２には、励振電極１８が両面に設けられるとともに、この振動片１２のある１つの辺の両端部に接続電極２０が設けられている。そして励振電極１８と接続電極２０が引き出し電極２２によって１対１に接続されている。 The best mode of the piezoelectric vibrator according to the present invention will be described below. First, in the first embodiment, a piezoelectric vibrator will be described. FIG. 1 is an explanatory diagram of a piezoelectric vibrator using a plano-convex type piezoelectric vibrating piece. Here, FIG. 1A is a sectional view of the piezoelectric vibrator, and FIG. 1B is a plan view of the piezoelectric vibrating piece.
The piezoelectric vibrator 10 includes a piezoelectric vibrating piece 12 and a package 30. The piezoelectric vibrating piece 12 is a plano-convex type in which one surface 14 is formed flat and the other surface 16 is curved to form a convex shape. The piezoelectric vibrating piece 12 is provided with excitation electrodes 18 on both sides, and connection electrodes 20 are provided at both ends of one side of the vibrating piece 12. The excitation electrode 18 and the connection electrode 20 are connected one-to-one by the extraction electrode 22.

パッケージ３０は、パッケージベース３４と蓋体３２を備えている。このパッケージベース３４に凹部３６が設けられており、この凹部３６の底面３８は平らな形状となっている。また凹部３６の底面３８には、圧電振動片１２を搭載するためのマウント電極４０が設けられている。そしてマウント電極４０は、パッケージベース３４の裏面に設けられた外部端子４２と電気的に接続されている。このパッケージベース３４には、マウント電極４０上に導電性接合材４４を設けた後、マウント電極４０と接続電極２０を１対１に対応させて圧電振動片１２が搭載される。このとき圧電振動片１２は、一方の面１４を下側に向けて搭載される。   The package 30 includes a package base 34 and a lid 32. The package base 34 is provided with a recess 36, and the bottom surface 38 of the recess 36 has a flat shape. A mount electrode 40 for mounting the piezoelectric vibrating piece 12 is provided on the bottom surface 38 of the recess 36. The mount electrode 40 is electrically connected to an external terminal 42 provided on the back surface of the package base 34. The package base 34 is provided with the conductive bonding material 44 on the mount electrode 40, and then the piezoelectric vibrating reed 12 is mounted so that the mount electrode 40 and the connection electrode 20 are in one-to-one correspondence. At this time, the piezoelectric vibrating piece 12 is mounted with one surface 14 facing downward.

パッケージベース３４の上面には、凹部３６の周囲形状に倣う接合部材４６が設けられている。そしてパッケージ３０の上面に接合部材４６を介して蓋体３２が接合されて、凹部３６が気密封止されている。なお凹部３６は、不活性ガスや真空によって気密封止されていればよい。   A bonding member 46 is provided on the upper surface of the package base 34 so as to follow the peripheral shape of the recess 36. The lid 32 is joined to the upper surface of the package 30 via the joining member 46, and the recess 36 is hermetically sealed. The recess 36 may be hermetically sealed with an inert gas or vacuum.

このような圧電振動子１０によれば、パッケージ３０に搭載された圧電振動片１２の下面は平面になっているので、圧電振動片１２からパッケージ３０の底面３８までの距離をあけることができる。したがって圧電振動片１２に衝撃等が加わって上下方向に振れても、振れる範囲がバイコンベックス型の圧電振動片に比べて狭くなるので、パッケージベース３４の底面３８を平面形状にしてもパッケージベース３４に圧電振動片１２が接触するのを防止することができる。よって圧電振動子１０を低背化することができるとともに、高信頼性を維持することができる。   According to such a piezoelectric vibrator 10, since the lower surface of the piezoelectric vibrating piece 12 mounted on the package 30 is flat, the distance from the piezoelectric vibrating piece 12 to the bottom surface 38 of the package 30 can be increased. Therefore, even if an impact or the like is applied to the piezoelectric vibrating piece 12 and swings in the vertical direction, the swing range is narrower than that of the biconvex type piezoelectric vibrating piece, so that the package base 34 has a flat bottom surface 38. It is possible to prevent the piezoelectric vibrating piece 12 from coming into contact. Therefore, the height of the piezoelectric vibrator 10 can be reduced and high reliability can be maintained.

またパッケージベース３４の底面３８を平面にすることができるので、パッケージベース３４の製造工程において底面３８に第２凹部を設ける工程が必要なくなり、製造工程を少なくすることができる。そしてパッケージベース３４の製造工程が少なくなるため、また平らな底面３８を１つの部材で形成できるため、パッケージベース３４を安価に製造することができる。よって圧電振動子１０の製造工程を少なくすることができ、また圧電振動子１０を安価に製造することができる。   Further, since the bottom surface 38 of the package base 34 can be made flat, it is not necessary to provide the second recess in the bottom surface 38 in the manufacturing process of the package base 34 and the manufacturing process can be reduced. Since the manufacturing process of the package base 34 is reduced, and the flat bottom surface 38 can be formed by one member, the package base 34 can be manufactured at low cost. Therefore, the manufacturing process of the piezoelectric vibrator 10 can be reduced, and the piezoelectric vibrator 10 can be manufactured at low cost.

またプラノコンベックス型の圧電振動片１２は、凸になった部分に励振された振動を閉じ込めることができるので、バイコンベックス型の圧電振動片に比べてＣＩ値等が悪化することはなく、バイコンベックス型の圧電振動片と同等の性能を維持することができる。よって圧電振動子１０は、バイコンベックス型の圧電振動片を用いた圧電振動子と比べて性能を同等に維持することができる。   Further, the plano-convex type piezoelectric vibrating piece 12 can confine the vibration excited in the convex portion, so that the CI value or the like is not deteriorated as compared with the bi-convex type piezoelectric vibrating piece. The performance equivalent to that of the piezoelectric vibrating piece of the mold can be maintained. Accordingly, the piezoelectric vibrator 10 can maintain the same performance as the piezoelectric vibrator using the biconvex type piezoelectric vibrating piece.

なお第１の実施形態で説明した圧電振動子１０は、プラノコンベックス型の圧電振動片１２を用いた構成であるが、この形態に限定されることはない。すなわち圧電振動片１２は、他方の面１６を凸型にしたプラノメサ型の圧電振動片やベベル加工が施された圧電振動片であってもよい。   The piezoelectric vibrator 10 described in the first embodiment has a configuration using the plano-convex type piezoelectric vibrating piece 12, but is not limited to this form. In other words, the piezoelectric vibrating piece 12 may be a Planomesa type piezoelectric vibrating piece with the other surface 16 convex or a beveled piezoelectric vibrating piece.

図２はプラノメサ型の圧電振動片を用いた圧電振動子の断面図である。プラノメサ型の圧電振動片５０は、一方の面１４を平らに形成し、他方の面１６に段差を形成してメサ段部５２を設けた構成である。なおメサ段部５２は、導電性接合材４４によって圧電振動片５０が支持される側から離して形成された方が好ましい。この圧電振動片５０には、図１（Ｂ）と同様に、他方の面１６におけるメサ段部５２の上面と一方の面１４に励振電極１８が設けられるとともに、この振動片５０のある１つの辺の両端部に接続電極２０が設けられており、励振電極１８と接続電極２０が引き出し電極２２によって１対１に接続されている。このようなプラノメサ型の圧電振動片５０を用いた圧電振動子１０であっても、前述したプラノコンベックス型の圧電振動片１２を用いた圧電振動子１０と同様の効果を得ることができる。   FIG. 2 is a cross-sectional view of a piezoelectric vibrator using a planomesa type piezoelectric vibrating piece. The plano mesa type piezoelectric vibrating piece 50 has a configuration in which one surface 14 is formed flat and a step is formed on the other surface 16 to provide a mesa step portion 52. The mesa stepped portion 52 is preferably formed away from the side where the piezoelectric vibrating piece 50 is supported by the conductive bonding material 44. As in FIG. 1B, the piezoelectric vibrating piece 50 is provided with the excitation electrode 18 on the upper surface of the mesa step portion 52 and the one surface 14 on the other surface 16, and one of the vibrating pieces 50 is provided. Connection electrodes 20 are provided at both ends of the side, and the excitation electrode 18 and the connection electrode 20 are connected one-to-one by the extraction electrode 22. Even with the piezoelectric vibrator 10 using such a plano mesa-type piezoelectric vibrating piece 50, the same effect as the piezoelectric vibrator 10 using the above-described plano-convex type piezoelectric vibrating piece 12 can be obtained.

このようなプラノコンベックス型の圧電振動片１２やプラノメサ型の圧電振動片５０をパッケージベース３４に搭載する場合では、圧電振動片１２の一方の面１４を下側に向けてパッケージ３０に搭載しなければならいので、圧電振動片１２の表裏（一方の面１４と他方の面１６）を識別する必要がある。このため、以下の第２〜５の実施形態では、圧電振動片１２の表裏を識別する方法について説明する。   When such a plano-convex type piezoelectric vibrating piece 12 or a planomesa type piezoelectric vibrating piece 50 is mounted on the package base 34, the piezoelectric vibrating piece 12 must be mounted on the package 30 with one surface 14 facing downward. Therefore, it is necessary to identify the front and back of the piezoelectric vibrating piece 12 (one surface 14 and the other surface 16). For this reason, in the following second to fifth embodiments, a method of identifying the front and back of the piezoelectric vibrating piece 12 will be described.

第２の実施形態について説明する。第２の実施形態では、圧電振動片の一方の面に設けられる励振電極や接続電極、引き出し電極（電極パターン）の形状と、他方の面に設けられる励振電極や接続電極、引き出し電極（電極パターン）の形状を異なる形状にした構成について説明する。   A second embodiment will be described. In the second embodiment, the shape of the excitation electrode, connection electrode, and extraction electrode (electrode pattern) provided on one surface of the piezoelectric vibrating piece, and the excitation electrode, connection electrode, extraction electrode (electrode pattern) provided on the other surface ) Will be described.

図１（Ｂ）に示されるように、圧電振動片１２の一方の面１４に設けられる引き出し電極２２ａの幅と、他方の面１６に設けられる引き出し電極２２ｂの幅を異なる構成とする。そして図１（Ｂ）では、圧電振動片１２の一方の面１４に設けられた引き出し電極２２ａが、他方の面１６に設けられた引き出し電極２２ｂに比べて太く形成されている。この場合、圧電振動片１２の一方の面１４に設けられた励振電極１８ａおよび接続電極２０ａと、他方の面１６に設けられた励振電極１８および接続電極２０ｂが同じ形状になっている。そして圧電振動片１２を上方から見下ろした場合、圧電振動片１２の一方の面１４が上側に向いていると、引き出し電極２２の太い側が常に一定の側にある。すなわち引き出し電極２２の太い側は、図１（Ｂ）に示される場合では常に図面の下側にあるので、この位置を確認することにより圧電振動片１２の表裏を識別することができる。   As shown in FIG. 1B, the width of the extraction electrode 22a provided on one surface 14 of the piezoelectric vibrating piece 12 and the width of the extraction electrode 22b provided on the other surface 16 are different. In FIG. 1B, the extraction electrode 22 a provided on one surface 14 of the piezoelectric vibrating piece 12 is formed thicker than the extraction electrode 22 b provided on the other surface 16. In this case, the excitation electrode 18a and the connection electrode 20a provided on one surface 14 of the piezoelectric vibrating piece 12 and the excitation electrode 18 and the connection electrode 20b provided on the other surface 16 have the same shape. When the piezoelectric vibrating piece 12 is looked down from above, when the one surface 14 of the piezoelectric vibrating piece 12 faces upward, the thicker side of the extraction electrode 22 is always on the constant side. That is, the thicker side of the extraction electrode 22 is always on the lower side of the drawing in the case shown in FIG. 1B, so that the front and back of the piezoelectric vibrating piece 12 can be identified by confirming this position.

図３は圧電振動片に設けられる電極パターンの説明図である。図３（Ａ）に示されるように、圧電振動片１２の一方の面１４に設けられる引き出し電極２２ａの形状と、他方の面１６に設けられる引き出し電極２２ｂの形状を異なる構成とする。そして図３（Ａ）では、圧電振動片１２の一方の面１４に設けられた引き出し電極２２ａが圧電振動片１２の長辺２４に沿って形成されており、他方の面１６に設けられた引き出し電極２２ｂが長辺２４に対して斜めになって形成されている。この場合、圧電振動片１２の一方の面１４に設けられた励振電極１８ａおよび接続電極２０ａと、他方の面１６に設けられた励振電極１８および接続電極２０ｂが同じ形状になっている。そして圧電振動片１２を上方から見下ろした場合、圧電振動片１２の一方の面１４が上側に向いていると、長辺２４に沿った引き出し電極２２ａが常に一定の側にある。すなわち引き出し電極２２ａは、図３（Ａ）に示される場合では常に図面の下側にあるので、これにより圧電振動片１２の表裏を識別することができる。   FIG. 3 is an explanatory diagram of an electrode pattern provided on the piezoelectric vibrating piece. As shown in FIG. 3A, the shape of the extraction electrode 22a provided on one surface 14 of the piezoelectric vibrating piece 12 and the shape of the extraction electrode 22b provided on the other surface 16 are different. 3A, an extraction electrode 22a provided on one surface 14 of the piezoelectric vibrating piece 12 is formed along the long side 24 of the piezoelectric vibrating piece 12, and an extraction electrode provided on the other surface 16 is provided. The electrode 22 b is formed obliquely with respect to the long side 24. In this case, the excitation electrode 18a and the connection electrode 20a provided on one surface 14 of the piezoelectric vibrating piece 12 and the excitation electrode 18 and the connection electrode 20b provided on the other surface 16 have the same shape. When the piezoelectric vibrating piece 12 is looked down from above, when one surface 14 of the piezoelectric vibrating piece 12 faces upward, the extraction electrode 22a along the long side 24 is always on the constant side. That is, since the extraction electrode 22a is always on the lower side of the drawing in the case shown in FIG. 3A, the front and back of the piezoelectric vibrating piece 12 can be identified.

また図３（Ｂ）に示されるように、圧電振動片１２の一方の面１４に設けられる接続電極２０ａの形状と、他方の面１６に設けられる接続電極２０ｂの形状を異なる構成とする。そして図３（Ｂ）では、圧電振動片１２の一方の面１４に設けられた接続電極２０ａが、他方の面１６に設けられた接続電極２０ｂよりも小さく形成されている。この場合、圧電振動片１２の一方の面１４に設けられた励振電極１８ａおよび引き出し電極２２ａと、他方の面１６に設けられた励振電極１８および引き出し電極２２ｂが同じ形状になっている。そして圧電振動片１２を上方から見下ろした場合、圧電振動片１２の一方の面１４が上側に向いていると、小さく形成された引き出し電極２２ａが常に一定の側にある。すなわち引き出し電極２２ａは、図３（Ｂ）に示される場合では常に図面の左下にあるので、これにより圧電振動片１２の表裏を識別することができる。   3B, the shape of the connection electrode 20a provided on one surface 14 of the piezoelectric vibrating piece 12 and the shape of the connection electrode 20b provided on the other surface 16 are different. In FIG. 3B, the connection electrode 20 a provided on one surface 14 of the piezoelectric vibrating piece 12 is formed smaller than the connection electrode 20 b provided on the other surface 16. In this case, the excitation electrode 18 a and the extraction electrode 22 a provided on one surface 14 of the piezoelectric vibrating piece 12 and the excitation electrode 18 and the extraction electrode 22 b provided on the other surface 16 have the same shape. When the piezoelectric vibrating reed 12 is looked down from above, if one surface 14 of the piezoelectric vibrating reed 12 faces upward, the small extraction electrode 22a is always on a certain side. That is, in the case shown in FIG. 3B, the extraction electrode 22a is always at the lower left of the drawing, so that the front and back of the piezoelectric vibrating piece 12 can be identified.

さらに図３（Ｃ）に示されるように、圧電振動片１２の一方の面１４に設けられる励振電極１８ａの形状と、他方の面１６に設けられる励振電極１８の形状を異なる構成とする。そして図３（Ｃ）では、圧電振動片１２の一方の面１４に設けられた励振電極１８ａと、他方の面１６に設けられた励振電極１８に切り欠き２６が設けられており、この切り欠き２６は、一方の面１４（他方の面１６）から見るといずれも同じ位置に設けられている。この場合、圧電振動片１２の一方の面１４に設けられた接続電極２０ａおよび引き出し電極２２ａと、他方の面１６に設けられた接続電極２０ｂおよび引き出し電極２２ｂが同じ形状になっている。そして圧電振動片１２を上方から見下ろした場合、圧電振動片１２の一方の面１４が上側に向いていると、切り欠き２６が常に一定の側にある。すなわち切り欠き２６は、図３（Ｃ）に示される場合では常に図面の右上にあるので、これにより圧電振動片１２の表裏を識別することができる。なお切り欠き２６の形状や切り欠き２６を設ける位置は、図３（Ｃ）に示される形態に限定されない。
そして図１（Ｂ）および図３（Ａ）〜（Ｃ）に例示される電極パターンは、プラノコンベックス型の圧電振動片１２であっても、プラノメサ型の圧電振動片５０であっても適用することができる。 Further, as shown in FIG. 3C, the shape of the excitation electrode 18a provided on one surface 14 of the piezoelectric vibrating piece 12 and the shape of the excitation electrode 18 provided on the other surface 16 are different. In FIG. 3C, a notch 26 is provided in the excitation electrode 18 a provided on one surface 14 of the piezoelectric vibrating piece 12 and the excitation electrode 18 provided on the other surface 16. 26 is provided at the same position when viewed from one surface 14 (the other surface 16). In this case, the connection electrode 20a and the extraction electrode 22a provided on one surface 14 of the piezoelectric vibrating piece 12 and the connection electrode 20b and the extraction electrode 22b provided on the other surface 16 have the same shape. When the piezoelectric vibrating piece 12 is looked down from above, when the one surface 14 of the piezoelectric vibrating piece 12 faces upward, the notch 26 is always on the constant side. That is, since the notch 26 is always on the upper right side of the drawing in the case shown in FIG. 3C, the front and back of the piezoelectric vibrating piece 12 can be identified. Note that the shape of the notch 26 and the position where the notch 26 is provided are not limited to the form shown in FIG.
The electrode patterns illustrated in FIG. 1B and FIGS. 3A to 3C are applied to the plano-convex type piezoelectric vibrating piece 12 and the planomesa type piezoelectric vibrating piece 50. be able to.

次に、第３の実施形態について説明する。第３の実施形態では、圧電振動片の一方の面と他方の面を識別するために、切り欠き部を圧電振動片に設けた構成について説明する。図４は圧電振動片に設けられる切り欠き部の説明図である。図４（Ａ）に示されるように、圧電振動片１２における外形形状のある１つの角部に切り欠き部６０が設けられている。そして圧電振動片１２を上方から見下ろした場合、圧電振動片１２の一方の面１４が上側に向いていると、切り欠き部６０が常に一定の側にある。すなわち切り欠き部６０は、図４（Ａ）に示される場合では常に図面における右上の角部にあるので、上下方向の中心を通る軸（長手方向の軸）に対して圧電振動片１２が非対称形状となり、圧電振動片１２の表裏を識別することができる。なお切り欠き部６０の形状や切り欠き部６０を設ける位置は、図４（Ａ）に示される形態に限定されない。この切り欠き部６０は、プラノコンベックス型の圧電振動片１２であっても、プラノメサ型の圧電振動片５０であっても適用することができる。   Next, a third embodiment will be described. In the third embodiment, a configuration in which a notch portion is provided in the piezoelectric vibrating piece in order to identify one surface and the other surface of the piezoelectric vibrating piece will be described. FIG. 4 is an explanatory diagram of a notch provided in the piezoelectric vibrating piece. As shown in FIG. 4A, a notch 60 is provided at one corner of the piezoelectric vibrating piece 12 having an outer shape. When the piezoelectric vibrating piece 12 is looked down from above, when the one surface 14 of the piezoelectric vibrating piece 12 faces upward, the cutout portion 60 is always on the constant side. That is, in the case shown in FIG. 4A, the notch 60 is always at the upper right corner in the drawing, so that the piezoelectric vibrating reed 12 is asymmetric with respect to the axis passing through the center in the vertical direction (longitudinal axis). It becomes a shape and the front and back of the piezoelectric vibrating piece 12 can be identified. Note that the shape of the notch 60 and the position where the notch 60 is provided are not limited to the form shown in FIG. The notch 60 can be applied to either the plano-convex type piezoelectric vibrating piece 12 or the planomesa type piezoelectric vibrating piece 50.

また図４（Ｂ）に示されるように、プラノメサ型の圧電振動片５０において、メサ段部５２のある１つの角部に切り欠き部６０が設けられている。そして圧電振動片５０を上方から見下ろした場合、圧電振動片５０の一方の面１４が上側に向いていると、切り欠き部６０が常に一定の側にある。すなわち切り欠き部６０は、図４（Ｂ）に示される場合ではメサ段部５２における右上の角部にあるので、上下方向の中心を通る軸（長手方向の軸）に対してメサ段部５２が非対称形状となり、圧電振動片５０の表裏を識別することができる。なお切り欠き部６０の形状や切り欠き部６０を設ける位置は、図４（Ｂ）に示される形態に限定されない。   Further, as shown in FIG. 4B, in the plano mesa type piezoelectric vibrating piece 50, a notch 60 is provided at one corner where the mesa step 52 is provided. When the piezoelectric vibrating piece 50 is looked down from above, when the one surface 14 of the piezoelectric vibrating piece 50 faces upward, the cutout portion 60 is always on the constant side. That is, in the case shown in FIG. 4B, the notch 60 is at the upper right corner of the mesa step 52, so the mesa step 52 with respect to an axis passing through the center in the vertical direction (longitudinal axis). Becomes an asymmetrical shape, and the front and back of the piezoelectric vibrating piece 50 can be identified. Note that the shape of the notch 60 and the position where the notch 60 is provided are not limited to the form shown in FIG.

次に、第４の実施形態について説明する。第４の実施形態では、圧電振動片の一方の面と他方の面を識別するために、記号（文字、模様等を含む）を圧電振動片に設けた構成について説明する。図５は圧電振動片に設けられる記号の説明図である。図５（Ａ）に示されるように、圧電振動片１２のある１つの角部に円形の記号（模様）６２が設けられている。この記号６２は、圧電振動片１２に電極パターンを形成するのと同時に、電極パターンを作る金属を用いて形成されればよい。   Next, a fourth embodiment will be described. In the fourth embodiment, a configuration in which symbols (including characters, patterns, etc.) are provided on the piezoelectric vibrating piece in order to identify one surface and the other surface of the piezoelectric vibrating piece will be described. FIG. 5 is an explanatory diagram of symbols provided on the piezoelectric vibrating piece. As shown in FIG. 5A, a circular symbol (pattern) 62 is provided at one corner of the piezoelectric vibrating piece 12. The symbol 62 may be formed using a metal that forms an electrode pattern at the same time as the electrode pattern is formed on the piezoelectric vibrating piece 12.

すなわち電極パターンは、電極パターンの形状に応じた孔部を有するマスクを圧電振動片１２（圧電素板）に被せた後、スパッタ等の成膜法を用いて金属を成膜することにより、マスクの孔部の所のみに金属膜を形成して製造される。したがって、記号６２の形状に応じた孔部を前述したマスクに設けておけば、電極パターンと記号６２を同時に形成することができる。   That is, the electrode pattern is formed by depositing a metal with a film forming method such as sputtering after covering the piezoelectric vibrating piece 12 (piezoelectric base plate) with a mask having a hole corresponding to the shape of the electrode pattern. It is manufactured by forming a metal film only at the holes. Therefore, if a hole corresponding to the shape of the symbol 62 is provided in the above-described mask, the electrode pattern and the symbol 62 can be formed simultaneously.

そして圧電振動片１２を上方から見下ろした場合、圧電振動片１２の一方の面１４が上側に向いていると、記号６２が常に一定の側にある、すなわち図５（Ａ）に示される場合では常に図面の右上の角部にあるので、これにより圧電振動片１２の表裏を識別することができる。なお記号６２の形状は四角形や三角形等であってもよく、記号６２を設ける位置は図５（Ａ）に示される位置に限定されない。この記号６２は、プラノコンベックス型の圧電振動片１２であっても、プラノメサ型の圧電振動片５０であっても適用することができる。   When the piezoelectric vibrating piece 12 is looked down from above, if one surface 14 of the piezoelectric vibrating piece 12 faces upward, the symbol 62 is always on the constant side, that is, in the case shown in FIG. Since it is always in the upper right corner of the drawing, the front and back of the piezoelectric vibrating piece 12 can be identified. Note that the shape of the symbol 62 may be a rectangle, a triangle, or the like, and the position where the symbol 62 is provided is not limited to the position shown in FIG. This symbol 62 can be applied to either the plano-convex type piezoelectric vibrating piece 12 or the planomesa type piezoelectric vibrating piece 50.

また図５（Ｂ）に示されるように、「１２３」の文字６４が圧電振動片１２に設けられている。この文字６４は、前述したように電極パターンを形成するのと同時に電極パターンの金属を用いて形成されてもよく、またマーキング装置等を用いて記載してもよい。なお記載される文字６４は任意の文字であればよく、例えばメーカー名や製品番号、製造ロット番号等であればよい。そして図５（Ｂ）に示される場合では、正しい文字６４の向きになっている側が圧電振動片１２の一方の面１４となっている。このため圧電振動片１２を上方から見下ろした場合、圧電振動片１２の一方の面１４が上側に向いていると、正しい文字６４の向きになっていて文字６４を読むことができるので、これにより圧電振動片１２の表裏を識別することができる。なお文字６４を設ける位置は図５（Ｂ）に示される位置に限定されない。また文字６４は、プラノコンベックス型の圧電振動片１２であっても、プラノメサ型の圧電振動片５０であっても適用することができる。   Further, as shown in FIG. 5B, a character 64 of “123” is provided on the piezoelectric vibrating piece 12. The letters 64 may be formed using the metal of the electrode pattern at the same time as forming the electrode pattern as described above, or may be described using a marking device or the like. The character 64 to be described may be any character, for example, a manufacturer name, a product number, a manufacturing lot number, or the like. In the case shown in FIG. 5B, the side facing the correct character 64 is one surface 14 of the piezoelectric vibrating piece 12. For this reason, when the piezoelectric vibrating piece 12 is looked down from above, if one surface 14 of the piezoelectric vibrating piece 12 faces upward, the character 64 can be read in the correct direction, so that the character 64 can be read. The front and back of the piezoelectric vibrating piece 12 can be identified. Note that the position where the character 64 is provided is not limited to the position shown in FIG. The character 64 can be applied to either the plano-convex type piezoelectric vibrating piece 12 or the planomesa type piezoelectric vibrating piece 50.

次に、第５の実施形態について説明する。第５の実施形態では、圧電振動片の一方の面と他方の面を識別するために、電極パターンをそれぞれ異なる金属材料で形成した構成について説明する。すなわち圧電振動片１２，５０の一方の面１４に設けられる電極パターンの金属材料と、他方の面１６に設けられる電極パターンの金属材料を異なるものにしても、圧電振動片１２，５０の表裏を識別することができる。一例としては、圧電振動片１２，５０の一方の面１４に設けられる電極パターンを金で形成し、他方の面１６に設けられる電極パターンを銀で形成すれば、電極パターン（金属材料）の色の違いにより圧電振動片１２の表裏を識別することができる。
このように第２〜５の実施形態に圧電振動片１２の表裏（一方の面１４と他方の面１６）を識別する方法を説明したが、第２〜５の実施形態で説明した構成を組み合わせることもできる。 Next, a fifth embodiment will be described. In the fifth embodiment, a configuration will be described in which electrode patterns are formed of different metal materials in order to identify one surface and the other surface of a piezoelectric vibrating piece. That is, even if the metal material of the electrode pattern provided on one surface 14 of the piezoelectric vibrating pieces 12 and 50 is different from the metal material of the electrode pattern provided on the other surface 16, the front and back of the piezoelectric vibrating pieces 12 and 50 are Can be identified. As an example, if the electrode pattern provided on one surface 14 of the piezoelectric vibrating reeds 12 and 50 is formed of gold and the electrode pattern provided on the other surface 16 is formed of silver, the color of the electrode pattern (metal material) The front and back of the piezoelectric vibrating piece 12 can be identified by the difference.
As described above, the method for identifying the front and back (one surface 14 and the other surface 16) of the piezoelectric vibrating piece 12 is described in the second to fifth embodiments, but the configuration described in the second to fifth embodiments is combined. You can also

プラノコンベックス型の圧電振動片を用いた圧電振動子の説明図である。It is explanatory drawing of the piezoelectric vibrator using the plano convex type piezoelectric vibrating piece. プラノメサ型の圧電振動片を用いた圧電振動子の断面図である。It is a sectional view of a piezoelectric vibrator using a planomesa type piezoelectric vibrating piece. 圧電振動片に設けられる電極パターンの説明図である。It is explanatory drawing of the electrode pattern provided in a piezoelectric vibrating piece. 圧電振動片に設けられる切り欠き部の説明図である。It is explanatory drawing of the notch part provided in a piezoelectric vibrating piece. 圧電振動片に設けられる記号の説明図である。It is explanatory drawing of the symbol provided in a piezoelectric vibrating piece. 従来技術に係る圧電振動子の説明図である。It is explanatory drawing of the piezoelectric vibrator which concerns on a prior art.

符号の説明Explanation of symbols

１０………圧電振動子、１２………圧電振動片、１４………一方の面、１６………他方の面、３０………パッケージ、３８………底面、５０………圧電振動片、６０………切り欠き部、６２………記号、６４………文字。 10 ......... Piezoelectric vibrator, 12 ......... Piezoelectric vibrating piece, 14 ......... One surface, 16 ......... Other surface, 30 ......... Package, 38 ......... Bottom surface, 50 ......... Piezoelectric vibration Piece, 60 ......... Notch, 62 ......... Symbol, 64 ......... Character.

Claims (6)

圧電振動片をパッケージに搭載した圧電振動子において、
前記圧電振動片は、一方の面を平らに形成し、他方の面を凸型にしたプラノコンベックス型またはプラノメサ型であり、
前記一方の面を前記パッケージの底面に向けて前記圧電振動片を前記パッケージに搭載した、
ことを特徴とする圧電振動子。 In the piezoelectric vibrator with the piezoelectric vibrating piece mounted on the package,
The piezoelectric vibrating piece is a plano convex type or a plano mesa type in which one surface is formed flat and the other surface is convex.
The piezoelectric vibrating piece is mounted on the package with the one surface facing the bottom surface of the package.
A piezoelectric vibrator characterized by that. 前記パッケージの前記底面は、平面であることを特徴とする請求項１に記載の圧電振動子。   The piezoelectric vibrator according to claim 1, wherein the bottom surface of the package is a flat surface. 前記圧電振動片の前記一方の面に設けられる電極パターンと、前記他方の面に設けられる電極パターンとは異なる形状であることを特徴とする請求項１または２に記載の圧電振動子。   3. The piezoelectric vibrator according to claim 1, wherein an electrode pattern provided on the one surface of the piezoelectric vibrating piece and an electrode pattern provided on the other surface have different shapes. 前記圧電振動片の前記一方の面と前記他方の面を識別する切り欠き部を前記圧電振動片に設けたことを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載の圧電振動子。   4. The piezoelectric vibrator according to claim 1, wherein a notch for identifying the one surface and the other surface of the piezoelectric vibrating piece is provided in the piezoelectric vibrating piece. 5. 前記圧電振動片の前記一方の面と前記他方の面を識別する記号を前記圧電振動片に設けたことを特徴とする請求項１ないし４のいずれかに記載の圧電振動子。   5. The piezoelectric vibrator according to claim 1, wherein a symbol for identifying the one surface and the other surface of the piezoelectric vibrating piece is provided on the piezoelectric vibrating piece. 6. 前記圧電振動片の前記一方の面に設けられる電極パターンの金属材料と、前記他方の面に設けられる電極パターンの金属材料とは異なることを特徴とする請求項１ないし５のいずれかに記載の圧電振動子。   6. The metal material of the electrode pattern provided on the one surface of the piezoelectric vibrating piece is different from the metal material of the electrode pattern provided on the other surface. 6. Piezoelectric vibrator.
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