JP2007115666A - 試料ホルダー - Google Patents
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Abstract
本発明は、上記問題点を解決すべく、ホルダー本体の長手方向に直交する軸回りの傾斜を大幅に改善可能な試料ホルダーを提供することを目的とする。
【解決手段】
本発明の試料ホルダーは、ホルダー本体と、試料を保持するための試料固定台と、前記ホルダー本体の長手方向に直交する軸回りに回転可能な軸傾斜機構とを有し、前記軸傾斜機構は、前記長手方向に直交する所望の軸回りに回転させるための支点保持部材とは無関係に軸傾斜可能な機構であることを特徴とする。
【選択図】 図3
Description
Microscope)(TEM)、走査透過型電子顕微鏡(Scanning
Transmission Electron Microscope)(STEM)などの電子顕微鏡に主として使用されている。
11 焦点面、および ホルダー挿入軸面
12 一般的なX線検出器の取り付け角軸
13 対物用の電子線レンズのポールピース(P−P)上極
14 対物用の電子線レンズのポールピース(P−P)下極
15 β傾斜軸の支点保持部材(背景の技術)
16 β傾斜が可能な試料台(背景の技術)
17 試料
18 試料の固定用部材(背景の技術)
19 β傾斜軸が可能な試料台
20 試料の固定用部材
21 フレーム部材(試料ホルダー主軸21aの先端に設けた一体の部材)
21a 試料ホルダー主軸
22 リンク部材1
23 リンク部材2
24 リンク部材3
25 リンク部材4 (β傾斜試料台フレームアーム)
26 固定ピン1
27 固定ピン2
28 移動ピン1
29 移動ピン2
30 組み付けピン1
31 移動ピン3
32 駆動力点
33 β回転軸位置
34 駆動力点の動き
35 β傾斜駆動フレームアーム
36 試料台
37 試料台とβ傾斜駆動フレームアームを連結固定するネジ
38 ホルダー挿入軸 及び
α傾斜軸
39 駆動力の入力用棒部材 (駆動力点を押し上げるため部材)
40 スプリング (駆動力点を押し下げるため部材)
Claims (15)
- ホルダー本体と、試料を保持するための試料固定台と、前記ホルダー本体の長手方向に直交する軸回りに回転可能な軸傾斜機構とを有し、前記軸傾斜機構は、前記長手方向に直交する所望の軸回りに回転させるための支点保持部材とは無関係に軸傾斜可能な機構であることを特徴とする試料ホルダー。
- 前記軸傾斜機構は、前記長手方向に直交する所望の軸位置を焦点面で保ちながら傾斜可能である請求項1記載の試料ホルダー。
- 前記試料固定台は、ホルダー本体と脱着可能である請求項1又は2項に記載の試料ホルダー。
- 前記軸傾斜機構は、前記長手方向に直交する所望の軸回りに回転させるための駆動フレームを有することを特徴とする請求項1〜3項のいずれか1項に記載の試料ホルダー。
- 前記駆動フレームが前記試料固定台と接続されていることを特徴とする請求項1〜4項のいずれか1項に記載の試料ホルダー。
- 前記駆動フレームは、軸として回転可能な少なくとも1つの支点と、前記駆動フレーム内で位置移動可能な支点とを有することを特徴とする請求項1〜5項のいずれか1項に記載の試料ホルダー。
- 前記軸傾斜機構は、前記駆動フレームへ接続されるリンク部材を有することを特徴とする請求項1〜6項のいずれか1項に記載の試料ホルダー。
- 前記リンク部材が、前記ホルダー本体へ固定された支点を有し、前記駆動フレームの支点を介して接続されていることを特徴とする請求項7項記載の試料ホルダー。
- 前記リンク部材が、1つ又は複数からなる請求項7又は8項に記載の試料ホルダー。
- 前記リンク部材は、ホルダー軸上に支点を有する請求項7〜9項のいずれか1項に記載の試料ホルダー。
- 前記試料固定台は、前記ホルダー軸上に存在する仮想の支点を中心として、前記長手方向に直交する所望の軸回りに傾斜する請求項1〜10項のいずれか1項に記載の試料ホルダー。
- 前記ホルダー本体が、前記ホルダー軸回りに回転可能な軸傾斜機構を有する請求項1〜11項のいずれか1項に記載の試料ホルダー。
- 電子顕微鏡の試料駆動装置に観察試料を装填するための試料ホルダーの軸上傾斜機構(以降α傾斜と記す)に直交する軸傾斜機構(以降β傾斜と記す)において、β軸傾斜軸上に支点軸を保持する部材を必要とせずに、β傾斜軸位置を焦点面で保ちながら傾斜することを特徴とする電子顕微鏡の試料ホルダー。
- β軸傾斜軸上に支点軸を保持する部材を必要としないことにより、電子線光軸上に置かれた試料から発生する特性X線を当該電子顕微鏡にとりつけられたX線分析装置間の放出経路おいて、当該部材による障壁が軽減できることを特徴とする請求項13記載の試料ホルダー。
- β軸傾斜軸上に支点軸を保持する部材を必要としないことにより、試料を固定する台のみを容易に取り替え可能な構造とすることを特徴とする請求項13記載の試料ホルダー。
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