JP2007114023A - 動的変位計測表示制御方法、動的変位計測表示制御プログラムおよび動的変位計測表示制御装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】試料の面の実変位M(x,y,t)を取得し、運動停止時試料の面形状の真の平面からのずれである静的変位S(x,y)を取得し、これらM(x,y,t)とS(x,y)とから、試料の振動中の姿勢を示す平面である姿勢変位平面Z(x,y,t)を算出し、これらM(x,y,t)とS(x,y)とZ(x,y,t)とから、試料の加速度変化に伴う面形状変形を示す値である動的変形D(x,y,t)を算出し、これらZ(x,y,t)とS(x,y)とD(x,y,t)のそれぞれに振幅補正係数を乗算したものを加算して表示する動的変位計測表示制御方法によって上記課題が解決される。
【選択図】図1
Description
(a)MEMS試料3の振動中の姿勢を示す平面である姿勢変位平面Z(x,y,t)。これは水平面(x,y)面からのずれである。
前記試料はおおむね平面である薄板状試料であり、前記運動は該試料の該平面が所定周期で振動する運動である場合に、
前記計測によって前記運動中の薄板状試料の面の変位値である実変位M(x,y,t)を取得する実変位取得ステップと、
運動停止時における前記薄板状試料の面形状の真の平面からのずれを示す値である静的変位S(x,y)を取得する静的変位取得ステップと、
前記取得された実変位M(x,y,t)と前記取得された静的変位S(x,y)とから、前記薄板状試料の振動中の姿勢を示す平面である姿勢変位平面Z(x,y,t)を算出する姿勢変位平面算出ステップと、
前記取得された実変位M(x,y,t)と前記取得された静的変位S(x,y)と前記算出された姿勢変位平面Z(x,y,t)とから、前記薄板状試料の面形状の真の平面からのずれを補正した上での、前記薄板状試料の加速度変化に伴う面形状変形を示す値である動的変形D(x,y,t)を算出する動的変形算出ステップと、
前記算出された姿勢変位平面Z(x,y,t)と前記取得された静的変位S(x,y)と前記算出された動的変形D(x,y,t)のそれぞれに振幅補正係数を乗算したものを加算した表示量H(x,y,t)を算出する表示量算出ステップと、
を有することを特徴とする動的変位計測表示制御方法。
前記複数の個別に振動する平面に対応する複数の領域境界を設定する領域境界設定データに基づいて対象視野を複数領域に分割し、これら分割された領域ごとの姿勢変位平面Z(x,y,t)を算出することを特徴とする付記1ないし2記載の動的変位計測表示制御方法。
前記分割されたそれぞれの領域ごとに、前記算出された領域ごとの姿勢変位平面Z(x,y,t)と前記取得された領域ごとの静的変位S(x,y)と前記算出された領域ごとの動的変形D(x,y,t)のそれぞれに領域ごとの振幅補正係数を乗算したものを加算した領域ごとの表示量H(x,y,t)を算出することを特徴とする付記3ないし4記載の動的変位計測表示制御方法。
前記試料はおおむね平面である薄板状試料であり、前記運動は該試料の該平面が所定周期で振動する運動である場合に、
前記計測によって前記運動中の薄板状試料の面の変位値である実変位M(x,y,t)を取得する実変位取得手段と、
運動停止時における前記薄板状試料の面形状の真の平面からのずれを示す値である静的変位S(x,y)を取得する静的変位取得手段と、
前記取得された実変位M(x,y,t)と前記取得された静的変位S(x,y)とから、前記薄板状試料の振動中の姿勢を示す平面である姿勢変位平面Z(x,y,t)を算出する姿勢変位平面算出手段と、
前記取得された実変位M(x,y,t)と前記取得された静的変位S(x,y)と前記算出された姿勢変位平面Z(x,y,t)とから、前記薄板状試料の面形状の真の平面からのずれを補正した上での、前記薄板状試料の加速度変化に伴う面形状変形を示す値である動的変形D(x,y,t)を算出する動的変形算出手段と、
前記算出された姿勢変位平面Z(x,y,t)と前記取得された静的変位S(x,y)と前記算出された動的変形D(x,y,t)のそれぞれに振幅補正係数を乗算したものを加算した表示量H(x,y,t)を算出する表示量算出手段と、
を有することを特徴とする動的変位計測表示制御装置。
前記試料はおおむね平面である薄板状試料であり、前記運動は該試料の該平面が所定周期で振動する運動である場合に、
前記計測によって前記運動中の薄板状試料の面の変位値である実変位M(x,y,t)を取得する実変位取得ステップと、
運動停止時における前記薄板状試料の面形状の真の平面からのずれを示す値である静的変位S(x,y)を取得する静的変位取得ステップと、
前記取得された実変位M(x,y,t)と前記取得された静的変位S(x,y)とから、前記薄板状試料の振動中の姿勢を示す平面である姿勢変位平面Z(x,y,t)を算出する姿勢変位平面算出ステップと、
前記取得された実変位M(x,y,t)と前記取得された静的変位S(x,y)と前記算出された姿勢変位平面Z(x,y,t)とから、前記薄板状試料の面形状の真の平面からのずれを補正した上での、前記薄板状試料の加速度変化に伴う面形状変形を示す値である動的変形D(x,y,t)を算出する動的変形算出ステップと、
前記算出された姿勢変位平面Z(x,y,t)と前記取得された静的変位S(x,y)と前記算出された動的変形D(x,y,t)のそれぞれに振幅補正係数を乗算したものを加算した表示量H(x,y,t)を算出する表示量算出ステップと、
をコンピュータに実行させることを特徴とする動的変位計測表示制御情報処理プログラム。
前記試料はおおむね平面である薄板状試料であり、前記運動は該試料の該平面が所定周期で振動する運動である場合に、
前記計測によって前記運動中の薄板状試料の面の変位値である実変位M(x,y,t)を取得する実変位取得ステップと、
運動停止時における前記薄板状試料の面形状の真の平面からのずれを示す値である静的変位S(x,y)を取得する静的変位取得ステップと、
前記取得された実変位M(x,y,t)と前記取得された静的変位S(x,y)とから、前記薄板状試料の振動中の姿勢を示す平面である姿勢変位平面Z(x,y,t)を算出する姿勢変位平面算出ステップと、
前記取得された実変位M(x,y,t)と前記取得された静的変位S(x,y)と前記算出された姿勢変位平面Z(x,y,t)とから、前記薄板状試料の面形状の真の平面からのずれを補正した上での、前記薄板状試料の加速度変化に伴う面形状変形を示す値である動的変形D(x,y,t)を算出する動的変形算出ステップと、
前記算出された姿勢変位平面Z(x,y,t)と前記取得された静的変位S(x,y)と前記算出された動的変形D(x,y,t)のそれぞれに振幅補正係数を乗算したものを加算した表示量H(x,y,t)を算出する表示量算出ステップと、
をコンピュータに実行させることを特徴とする動的変位計測表示制御情報処理プログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体。
2 ハーフミラー
3 試料
4 参照ミラー
5 ピエゾステージ゛
6 サンプル位置姿勢制御用ステージ
7 結像レンズ
8 CCDカメラ
9 信号処理回路
21 実変位取得手段
22 静的変位取得手段
23 姿勢変位平面算出手段
24 動的変形算出手段
25 表示量算出手段
26 表示手段
261 表示変換部
spl ストロボ位相光学系
pc パソコン
m モニタ
M(x,y,t) 実変位
Z(x,y,t) 姿勢変位平面
S(x,y) 静的変位
D(x,y,t) 動的変形
α,β,γ 振幅補正係数
H(x,y,t) 表示量
Claims (5)
- 運動する試料の面の変位を計測し、その計測値を表示する動的変位計測表示制御方法であって、
前記試料はおおむね平面である薄板状試料であり、前記運動は該試料の該平面が所定周期で振動する運動である場合に、
前記計測によって前記運動中の薄板状試料の面の変位値である実変位M(x,y,t)を取得する実変位取得ステップと、
運動停止時における前記薄板状試料の面形状の真の平面からのずれを示す値である静的変位S(x,y)を取得する静的変位取得ステップと、
前記取得された実変位M(x,y,t)と前記取得された静的変位S(x,y)とから、前記薄板状試料の振動中の姿勢を示す平面である姿勢変位平面Z(x,y,t)を算出する姿勢変位平面算出ステップと、
前記取得された実変位M(x,y,t)と前記取得された静的変位S(x,y)と前記算出された姿勢変位平面Z(x,y,t)とから、前記薄板状試料の面形状の真の平面からのずれを補正した上での、前記薄板状試料の加速度変化に伴う面形状変形を示す値である動的変形D(x,y,t)を算出する動的変形算出ステップと、
前記算出された姿勢変位平面Z(x,y,t)と前記取得された静的変位S(x,y)と前記算出された動的変形D(x,y,t)のそれぞれに振幅補正係数を乗算したものを加算した表示量H(x,y,t)を算出する表示量算出ステップと、
を有することを特徴とする動的変位計測表示制御方法。 - 前記静的変位取得ステップにおいて、前記取得された複数時点の運動中の実変位M(x,y,t)を演算することにより前記静的変位S(x,y)を算出取得することを特徴とする請求項1記載の動的変位計測表示制御方法。
- 前記試料中に複数の個別に振動する平面を持つ場合に、前記姿勢変位平面算出ステップにおいて、
取得された複数位置および複数時点の運動中の実変位M(x,y,t)の局所的傾斜または時間的傾斜変化率を算出し、前記局所的傾斜または時間的傾斜変化率の空間的連続性から対象視野を複数領域に分割し、これら分割された領域ごとの姿勢変位平面Z(x,y,t)を算出することを特徴とする請求項1ないし2記載の動的変位計測表示制御方法。 - 運動する試料の面の変位を計測し、その計測値を表示する動的変位計測表示制御をコンピュータに実行させる動的変位計測表示制御情報処理プログラムであって、
前記試料はおおむね平面である薄板状試料であり、前記運動は該試料の該平面が所定周期で振動する運動である場合に、
前記計測によって前記運動中の薄板状試料の面の変位値である実変位M(x,y,t)を取得する実変位取得ステップと、
運動停止時における前記薄板状試料の面形状の真の平面からのずれを示す値である静的変位S(x,y)を取得する静的変位取得ステップと、
前記取得された実変位M(x,y,t)と前記取得された静的変位S(x,y)とから、前記薄板状試料の振動中の姿勢を示す平面である姿勢変位平面Z(x,y,t)を算出する姿勢変位平面算出ステップと、
前記取得された実変位M(x,y,t)と前記取得された静的変位S(x,y)と前記算出された姿勢変位平面Z(x,y,t)とから、前記薄板状試料の面形状の真の平面からのずれを補正した上での、前記薄板状試料の加速度変化に伴う面形状変形を示す値である動的変形D(x,y,t)を算出する動的変形算出ステップと、
前記算出された姿勢変位平面Z(x,y,t)と前記取得された静的変位S(x,y)と前記算出された動的変形D(x,y,t)のそれぞれに振幅補正係数を乗算したものを加算した表示量H(x,y,t)を算出する表示量算出ステップと、
をコンピュータに実行させることを特徴とする動的変位計測表示制御情報処理プログラム。 - 運動する試料の面の変位を計測し、その計測値を表示する動的変位計測表示制御装置であって、
前記試料はおおむね平面である薄板状試料であり、前記運動は該試料の該平面が所定周期で振動する運動である場合に、
前記計測によって前記運動中の薄板状試料の面の変位値である実変位M(x,y,t)を取得する実変位取得手段と、
運動停止時における前記薄板状試料の面形状の真の平面からのずれを示す値である静的変位S(x,y)を取得する静的変位取得手段と、
前記取得された実変位M(x,y,t)と前記取得された静的変位S(x,y)とから、前記薄板状試料の振動中の姿勢を示す平面である姿勢変位平面Z(x,y,t)を算出する姿勢変位平面算出手段と、
前記取得された実変位M(x,y,t)と前記取得された静的変位S(x,y)と前記算出された姿勢変位平面Z(x,y,t)とから、前記薄板状試料の面形状の真の平面からのずれを補正した上での、前記薄板状試料の加速度変化に伴う面形状変形を示す値である動的変形D(x,y,t)を算出する動的変形算出手段と、
前記算出された姿勢変位平面Z(x,y,t)と前記取得された静的変位S(x,y)と前記算出された動的変形D(x,y,t)のそれぞれに振幅補正係数を乗算したものを加算した表示量H(x,y,t)を算出する表示量算出手段と、
を有することを特徴とする動的変位計測表示制御装置。
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