JP2007088024A - 研磨方法 - Google Patents
研磨方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2007088024A JP2007088024A JP2005271918A JP2005271918A JP2007088024A JP 2007088024 A JP2007088024 A JP 2007088024A JP 2005271918 A JP2005271918 A JP 2005271918A JP 2005271918 A JP2005271918 A JP 2005271918A JP 2007088024 A JP2007088024 A JP 2007088024A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- acid
- group
- polishing
- metal
- salt
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Abandoned
Links
Landscapes
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
- Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
Abstract
【解決手段】 エッチング抑止剤を含む研磨液を半導体基板単位面積及び単位時間あたり0.35ml/(min・cm2)以下の流量で研磨定盤上の研磨パッドに供給し、研磨パッドと被研磨面とを接触させた状態で相対運動させて金属膜の少なくとも一部を除去することを特徴とする化学的機械的研磨方法。なお、エッチング抑止剤としてはテトラゾール類が好ましい。
Description
しかしながら、このような固体砥粒を含む金属用研磨液を用いてCMPを行うと、研磨傷(スクラッチ)、研磨面全体が必要以上に研磨される現象(シニング)、研磨金属面が皿状にたわむ現象(ディッシング)、金属配線間の絶縁体が必要以上に研磨されたうえ、配線金属面が皿状にたわむ現象(エロージョン)などが発生することがある。
また、研磨後に、半導体面に残留する研磨液を除去するために通常行なわれる洗浄工程において、固体砥粒を含有する研磨液を用いることによって、その洗浄工程が複雑となり、さらにその洗浄後の液(廃液)を処理するには固体砥粒を沈降分離する必要があるなどコスト面での問題点が存在する。
銅及び銅合金に対して機械的研磨手段をもたない化学的研磨方法としては、特許文献4に記載されている方法が知られている。しかしながら溶解作用のみによる化学的研磨方法は、凸部の金属膜を選択的に化学的機械的に研磨するCMPに比べ、ディッシングなどの発生によりその平面性に課題が残っている。
また、特許文献5には研磨パッドの劣化を抑える化学機械研磨用水系分散体が開示されているが、研磨面の段差平坦化に関するものである。
特許文献6には、ベンゾトリアゾール又はその誘導体を防食剤とする研磨方法が開示されている。
また、環境及びコストの観点より、より少ない量で高研磨速度を達成する化学的機械的研磨方法が要求されている。
本発明の目的は、低流量において迅速なCMP速度を有する研磨方法を提供することである。
(2)上記エッチング抑止剤が下記式(I)で表される化合物である(1)記載の化学的機械的研磨方法、
本発明の化学的機械的研磨方法(以下、単に「研磨方法」とも言う。)は、エッチング抑止剤を含む研磨液を半導体基板単位面積及び単位時間あたり0.35ml/(min・cm2)以下の流量で研磨定盤上の研磨パッドに供給し、研磨パッドと被研磨面とを接触させた状態で相対運動させて研磨することを特徴とする。
本発明の研磨方法では、エッチング抑止剤を含む研磨液を使用する。エッチング抑止剤としては、配位原子として窒素を1分子内に4個以上有する環状化合物が例示できる。このような環状化合物としてはテトラゾール類やビイミダゾール類が例示できる。
本発明の研磨方法は、研磨液の供給量が比較的少なくても絶縁膜上に形成された銅配線等の一部を大きな研磨速度で除去することができる。具体的には、研磨液を半導体基板単位面積及び単位時間あたり0.35ml/(min・cm2)以下の流量で供給しても、さらには0.20ml/(min・cm2)以下の流量で供給しても良好な除去速度(RR:Removing Rate)が得られる。下限としては約0.05ml/(min・cm2)が好ましい。
直径200mmのウェハを例にとると、上記の流量は、それぞれ、約110ml/min及び約63ml/minに対応する。
また、式(I)で表される化合物は単独で用いてもよいし、2種以上併用してもよい。
本発明に用いることがチオシアン酸塩としては特開2004−235319号公報に記載のチオシアン酸塩を好ましく挙げることができ、チオエーテル類としては特開2004−235318号公報に記載のチオエーテル類を好ましく挙げることができ、チオ硫酸塩としては特開2004−235326号公報に記載のチオ硫酸塩を好ましく挙げることができ、また、メソイオン化合物としては特開2004−235320号公報に記載のメソイオン化合物を好ましく挙げることができる。
本発明の金属用研磨液は、さらに他の成分を含有してもよく、好ましい成分として、界面活性剤、水溶性ポリマー、及び添加剤を挙げることができる。
金属用研磨液が含有する各成分は1種の単独使用でも2種以上の併用してもよい。
なお、本明細書において「濃縮」及び「濃縮液」とは、CMPに使用する状態における研磨液よりも「濃厚」及び「濃厚な液」を意味する慣用表現であり、蒸発などの物理的な濃縮操作を伴う一般的な用語の意味とは異なる用法で用いている。
本発明において「金属用研磨液」とは、研磨に使用する際の研磨液(即ち、必要により希釈された研磨液)のみならず、金属用研磨液の濃縮液をも包含する意である。
本発明の金属用研磨液は、研磨対象の金属を酸化できる化合物(酸化剤)を含有する。酸化剤としては、例えば、過酸化水素、過酸化物、硝酸塩、ヨウ素酸塩、過ヨウ素酸塩、次亜塩素酸塩、亜塩素酸塩、塩素酸塩、過塩素酸塩、過硫酸塩、重クロム酸塩、過マンガン酸塩、オゾン水、銀(II)塩、及び鉄(III)塩が挙げられる。
鉄(III)塩としては例えば、硝酸鉄(III)、塩化鉄(III)、硫酸鉄(III)、臭化鉄(III)など無機の鉄(III)塩の他、鉄(III)の有機錯塩が好ましく用いられる。
酸、ジエチレントリアミン五酢酸、1,3−ジアミノプロパン−N,N,N’,N’−四酢酸、1,2−ジアミノプロパン−N,N,N’,N’−四酢酸、エチレンジアミン−N,N’−ジコハク酸(ラセミ体)、エチレンジアミンジコハク酸(SS体)、N−(2−カルボキシラートエチル)-L-アスパラギン酸、N−(カルボキシメチル)−L−アスパラギン酸、β-アラニンジ酢酸、メチルイミノジ酢酸、ニトリロ三酢酸、シクロヘキサンジアミン四酢酸、イミノジ酢酸、グリコールエーテルジアミン四酢酸、エチレンジアミン1−N,N’−ニ酢酸、エチレンジアミンオルトヒドロキシフェニル酢酸、N,N−ビス(2−ヒドロキシベンジル)エチレンジアミン−N,N−ジ酢酸など及びその塩が挙げられる。対塩の種類は、アルカリ金属塩及びアンモニウム塩が好ましく、特にはアンモニウム塩が好ましい。
酸化剤の中でも過酸化水素並びに鉄(III)のエチレンジアミン−N,N,N’,N’−四酢酸、1,3−ジアミノプロパン−N,N,N’,N’−四酢酸及びエチレンジアミンジコハク酸(SS体)錯体が最も好ましい。
本発明の金属用研磨液は更に酸を含有することが好ましい。ここでいう酸は、金属を酸化するための酸化剤とは構造が異なる化合物を意味し、その範囲で、無機酸、有機酸、アミノ酸が挙げられる。
無機酸としては、硫酸、硝酸、ホウ酸、燐酸などが挙げられ、無機酸の中では燐酸が好ましい。
本発明においては特に有機酸やアミノ酸が存在することが好ましく、さらにはアミノ酸が好ましい。
有機酸としては、水溶性のものが好ましい。以下に例示する群から選ばれたものがより好ましい。ギ酸、酢酸、プロピオン酸、酪酸、吉草酸、2−メチル酪酸、n−ヘキサン酸、3,3−ジメチル酪酸、2−エチル酪酸、4−メチルペンタン酸、n−ヘプタン酸、2−メチルヘキサン酸、n−オクタン酸、2−エチルヘキサン酸、安息香酸、グリコール酸、サリチル酸、グリセリン酸、シュウ酸、マロン酸、コハク酸、グルタル酸、アジピン酸、ピメリン酸、マレイン酸、フタル酸、リンゴ酸、酒石酸、クエン酸、乳酸、及びそれらのアンモニウム塩やアルカリ金属塩等の塩、硫酸、硝酸、アンモニア、アンモニウム塩類、又はそれらの混合物等が挙げられる。これらの中ではギ酸、マロン酸、リンゴ酸、酒石酸、クエン酸が銅、銅合金及び銅又は銅合金の酸化物から選ばれた少なくとも1種の金属層を含む積層膜に対して特に好ましい。
グリシン、L−アラニン、β−アラニン、L−2−アミノ酪酸、L−ノルバリン、L−バリン、L−ロイシン、L−ノルロイシン、L−イソロイシン、L−アロイソロイシン、L−フェニルアラニン、L−プロリン、サルコシン、L−オルニチン、L−リシン、タウリン、L−セリン、L−トレオニン、L−アロトレオニン、L−ホモセリン、L−チロシン、3,5−ジヨード−L−チロシン、β−(3,4−ジヒドロキシフェニル)−L−アラニン、L−チロキシン、
リンゴ酸、酒石酸、クエン酸、グリシン、グリコール酸については実用的なCMP速度を維持しつつ、エッチング速度を効果的に抑制できるという点で特に好ましい。
本発明の金属用研磨液は、混入する多価金属イオンなどの悪影響を低減させるために、必要に応じてキレート剤(すなわち硬水軟化剤)を含有することが好ましい。
キレート剤としては、カルシウムやマグネシウムの沈澱防止剤である汎用の硬水軟化剤やその類縁化合物であり、例えば、ニトリロ三酢酸、ジエチレントリアミン五酢酸、エチレンジアミン四酢酸、N,N,N−トリメチレンホスホン酸、エチレンジアミン−N,N,N’,N’−テトラメチレンスルホン酸、トランスシクロヘキサンジアミン四酢酸、1,2−ジアミノプロパン四酢酸、グリコールエーテルジアミン四酢酸、エチレンジアミンオルトヒドロキシフェニル酢酸、エチレンジアミンジ琥珀酸(SS体)、N−(2−カルボキシラートエチル)−L−アスパラギン酸、β−アラニンジ酢酸、2−ホスホノブタン−1,2,4−トリカルボン酸、1−ヒドロキシエチリデン−1,1−ジホスホン酸、N,N’−ビス(2−ヒドロキシベンジル)エチレンジアミン−N,N’−ジ酢酸、1,2−ジヒドロキシベンゼン−4,6−ジスルホン酸等が挙げられる。
キレート剤の添加量は混入する多価金属イオンなどの金属イオンを封鎖するのに充分な量であれば良く、例えば、研磨に使用する際の金属用研磨液の1L中、0.0003mol〜0.07molになるように添加する。
また、本発明の金属用研磨液には以下の添加剤を用いることもできる。
アンモニア;ジメチルアミン、トリメチルアミン、トリエチルアミン、プロピレンジアミン等のアルキルアミンや、エチレンジアミンテトラ酢酸(EDTA)、ジエチルジチオカルバミン酸ナトリウム及びキトサン等のアミン;ジチゾン、クプロイン(2,2’−ビキノリン)、ネオクプロイン(2,9−ジメチル−1,10−フェナントロリン)、バソクプロイン(2,9−ジメチル−4,7−ジフェニル−1,10−フェナントロリン)及びキュペラゾン(ビスシクロヘキサノンオキサリルヒドラゾン)等のイミン;ベンズイミダゾール−2−チオール、2−[2−(ベンゾチアゾリル)]チオプロピオン酸、2−[2−(ベンゾチアゾリル)]チオブチル酸、2−メルカプトベンゾチアゾール、1,2,3−トリアゾール、1,2,4−トリアゾール、3−アミノ−1H−1,2,4−トリアゾール、ベンゾトリアゾール、1−ヒドロキシベンゾトリアゾール、1−ジヒドロキシプロピルベンゾトリアゾール、2,3−ジカルボキシプロピルベンゾトリアゾール、4−ヒドロキシベンゾトリアゾール、4−カルボキシル−1H−ベンゾトリアゾール、
本発明の金属用研磨液は、界面活性剤及び/又は親水性ポリマーを含有することが好ましい。界面活性剤と親水性ポリマーは、いずれも被研磨面の接触角を低下させる作用を有して、均一な研磨を促す作用を有する。用いられる界面活性剤及び/又は親水性ポリマーとしては、以下の群から選ばれたものが好適である。
陰イオン界面活性剤として、カルボン酸塩、スルホン酸塩、硫酸エステル塩、リン酸エステル塩が挙げられ、カルボン酸塩として、石鹸、N−アシルアミノ酸塩、ポリオキシエチレンまたはポリオキシプロピレンアルキルエーテルカルボン酸塩、アシル化ペプチド;スルホン酸塩として、アルキルスルホン酸塩、アルキルベンゼン及びアルキルナフタレンスルホン酸塩、ナフタレンスルホン酸塩、スルホコハク酸塩、α−オレフィンスルホン酸塩、N−アシルスルホン酸塩;硫酸エステル塩として、硫酸化油、アルキル硫酸塩、アルキルエーテル硫酸塩、ポリオキシエチレン又はポリオキシプロピレンアルキルアリルエーテル硫酸塩、アルキルアミド硫酸塩;リン酸エステル塩として、アルキルリン酸塩、ポリオキシエチレン又はポリオキシプロピレンアルキルアリルエーテルリン酸塩を挙げることができる。
非イオン界面活性剤として、エーテル型、エーテルエステル型、エステル型、含窒素型が挙げられ、エーテル型として、ポリオキシエチレンアルキルおよびアルキルフェニルエーテル、アルキルアリルホルムアルデヒド縮合ポリオキシエチレンエーテル、ポリオキシエチレンポリオキシプロピレンブロックポリマー、ポリオキシエチレンポリオキシプロピレンアルキルエーテルが挙げられ、エーテルエステル型として、グリセリンエステルのポリオキシエチレンエーテル、ソルビタンエステルのポリオキシエチレンエーテル、ソルビトールエステルのポリオキシエチレンエーテル、エステル型として、ポリエチレングリコール脂肪酸エステル、グリセリンエステル、ポリグリセリンエステル、ソルビタンエステル、プロピレングリコールエステル、ショ糖エステル、含窒素型として、脂肪酸アルカノールアミド、ポリオキシエチレン脂肪酸アミド、ポリオキシエチレンアルキルアミド等が例示される。
また、フッ素系界面活性剤などが挙げられる。
本発明の金属用研磨液はアルカリ剤及び/又は酸剤、さらには必用に応じて緩衝剤を含有することが好ましい。
ここで、アルカリ剤及び/又は酸剤は、金属用研磨液のpHを後述するように所定のpHとすべく添加される。
特に好ましいアルカリ剤として水酸化アンモニウム、水酸化カリウム、水酸化リチウム及びテトラメチルアンモニウムハイドロキサイドである。
研磨に使用する際の金属用研磨液のpHは2〜14が好ましく、3〜12が特に好ましい。この範囲において本発明の金属液は特に優れた効果を発揮する。
本発明の金属用研磨液は砥粒を含有してもよい。好ましい砥粒としては、例えば、シリカ(沈降シリカ、フュームドシリカ、コロイダルシリカ、合成シリカ)、セリア、アルミナ、チタニア、ジルコニア、ゲルマニア、酸化マンガン、炭化ケイ素、ポリスチレン、ポリアクリル、ポリテレフタレートなどが挙げられる。
砥粒の添加量としては、砥粒は、使用する際の金属用研磨液の全重量に対して0.01〜20重量%であることが好ましく、0.05〜5重量%の範囲であることがより好ましい。充分な効果を得る上で0.01重量%以上が好ましく、CMPによる研磨速度が飽和するため、20重量%以下が好ましい。
また、砥粒は平均粒径が5〜1000nmが好ましく、特には10〜200nmが好ましい。
本発明においては、研磨する対象である半導体が、銅金属及び/又は銅を主成分とする合金からなる配線を持つLSIであることが好ましく、特には銅を主成分とする合金が好ましい。更には、銅を主成分とする合金の中でも銀を含有する銅合金が好ましい。銅合金に含有される銀含量は、40重量%以下が好ましく、特には10重量%以下、さらには1重量%以下が好ましく、0.00001〜0.1重量%の範囲である銅合金において最も優れた効果を発揮する。
本発明においては、研磨する対象であるLSIが例えばDRAMデバイス系の場合には、配線のハーフピッチで0.15μm以下が好ましく、0.10μm以下がより好ましく、0.08μm以下が特に好ましい。一方、MPUデバイス系では、配線のハーフピッチで0.12μm以下が好ましく、0.09μm以下がより好ましく、0.07μm以下であることが特に好ましい。これらのLSIに対して、本発明の研磨液は特に優れた効果を発揮する。
本発明の研磨方法を適用する半導体装置においては、半導体が銅金属及び/または銅を主成分とする合金からなる配線と層間絶縁膜との間に、銅の拡散を防ぐ為のバリア層を設けることが好ましい。バリア層としては低抵抗のメタル材料がよく、特にはTiN、TiW、Ta、TaN、W、WNが好ましく、中でもTa、TaNが特に好ましい。
層間絶縁膜としては、低誘電率の絶縁性物質の薄膜が好ましく、好適な絶縁性物質としては比誘電率が3.0以下である物質であり、より好ましくは2.8以下の物質である。好ましい低誘電率物質として具体的には、BlackDiamond(アプライドマテリアルズ社製)、FLARE(Honeywell Electronic Materials社製)、SILK(Dow Chemical社製)、CORAL(Novellus System社製)、LKD(JSR(株)製)及びHSG(日立化成工業(株)製)を挙げることができる。
なお、前記のように本発明の研磨方法は、LSI等の半導体装置において絶縁膜上に形成された金属配線を含む面の平坦化に好適に用いることができるが、該金属配線の研磨に付随して、バリア金属膜や絶縁膜等の一部を研磨するものであってもよい。
本発明の研磨方法において、研磨パッドの研磨面と被研磨面との平均相対運動速度(平均相対速度)は、被研磨面の中心を通る直線の、半径方向の相対運動速度の平均値とする。
例えば、被研磨面及び研磨面が共に回転体であるとき、それぞれの回転中心間の距離を中心間距離Lとする。この中心間を結ぶ線上における、被研磨面の相対運動速度を求めて平均相対速度とする。
本発明において、平均相対速度は、0.5〜5.0m/sであることが好ましく、1.0〜3.5m/sであることがより好ましく、1.5〜3.0m/sであることが特に好ましい。
本発明において、研磨面と被研磨面との接触部分にかかる力を、その接触面積で除した値を接触圧力とする。例えば、径がφ200mmの被研磨面全面をφ600mmの研磨面に400Nの力で押し付けた場合は、接触面積は(0.1)2π=3.14・10-2m2であるので、接触圧力は400/(3.14・10-2)=12,732Paである。
本発明のCMP方法に適用される接触圧力は、1,000〜25,000Paであることが好ましく、2,000〜17,500Paであることがより好ましく、3,500〜14,000Paであることがさらに好ましい。
金属用研磨液は、濃縮液であって使用する際に水を加えて希釈して使用液とする場合、または、各成分が次項に述べる水溶液の形態でこれらを混合し、必要により水を加え希釈して使用液とする場合、あるいは使用液として調製されている場合がある。本発明の金属用研磨液を用いた研磨方法は、いずれの場合にも適用でき、研磨液を研磨定盤上の研磨パッドに供給し、被研磨面と接触させて被研磨面と研磨パッドを相対運動させて研磨する研磨方法である。
研磨する装置としては、被研磨面を有する半導体基板等を保持するホルダーと研磨パッドを貼り付けた(回転数が変更可能なモータ等を取り付けてある)研磨定盤を有する一般的な研磨装置が使用できる。
研磨パッドとしては、一般的な不織布、発泡ポリウレタン、多孔質フッ素樹脂などが使用でき、特に制限がない。研磨条件には制限はないが、研磨定盤の回転速度は基板が飛び出さないように200rpm以下の低回転が好ましい。被研磨面(被研磨膜)を有する半導体基板の研磨パッドへの押しつけ圧力は、5〜500g/cm2であることが好ましく、研磨速度のウエハ面内均一性及びパターンの平坦性を満足するためには、12〜240g/cm2であることがより好ましい。
例えば、酸化剤を1つの構成成分(A)とし、酸、添加剤、界面活性剤及び水を1つの構成成分(B)とし、それらを使用する際に水または水溶液で構成成分(A)と構成成分(B)を希釈して使用する。
また、溶解度の低い添加剤を2つの構成成分(A)と(B)に分け、酸化剤、添加剤及び界面活性剤を1つの構成成分(A)とし、酸、添加剤、界面活性剤及び水を1つの構成成分(B)とし、それらを使用する際に水または水溶液を加え構成成分(A)と構成成分(B)を希釈して使用する。この例の場合、構成成分(A)と構成成分(B)と水または水溶液をそれぞれ供給する3つの配管が必要であり、希釈混合は、3つの配管を、研磨パッドに供給する1つの配管に結合し、その配管内で混合する方法があり、この場合、2つの配管を結合してから他の1つの配管を結合することも可能である。
研磨用のパッドは、無発泡構造パッドでも発泡構造パッドでもよい。前者はプラスチック板のように硬質の合成樹脂バルク材をパッドに用いるものである。また、後者は更に独立発泡体(乾式発泡系)、連続発泡体(湿式発泡系)、2層複合体(積層系)の3つがあり、特には2層複合体(積層系)が好ましい。発泡は、均一でも不均一でもよい。
更に研磨に用いる砥粒(例えば、セリア、シリカ、アルミナ、樹脂など)を含有したものでもよい。また、それぞれに硬さは軟質のものと硬質のものがあり、どちらでもよく、積層系ではそれぞれの層に異なる硬さのものを用いることが好ましい。材質としては不織布、人工皮革、ポリアミド、ポリウレタン、ポリエステル、ポリカーボネート等が好ましい。また、研磨面と接触する面には、格子溝/穴/同心溝/らせん状溝などの加工を施してもよい。
本発明の金属用研磨液でCMPを行なう対象ウェハは、径が200mm以上であることが好ましく、特には300mm以上が好ましい。300mm以上である時に顕著に本発明の効果を発揮する。
<実施例1>
下記に示す研磨液を調製し、研磨試験を行い、評価した。
(研磨液の調製)
化合物(I−1) (Tetrazoleとも標記) 0.06g/L
過酸化水素(酸化剤) 3g/L
グリシン(酸) 10g/L
コロイダルシリカ(平均粒子径40nm) 10g/L
純水を加えて全量 1000mL
pH(アンモニア水と硫酸で調整) 7.0
基体:シリコン上に反応性イオンエッチング工程によりシリコン酸化膜を形成し、さらに、スッパタリング法により厚さ20nmのTa膜を形成し、続いてスッパタリング法により厚さ50nmの銅膜を形成後、メッキ法により合計厚さ1000nmの銅膜を形成した直径8インチのウェハを使用した
研磨パッド:IC1400K−Groove(ロデール社)
研磨機: LGP−612(LapmaSter FT社)
押さえ圧力: 240g/cm2
研磨液供給速度(SFR):200,100又は50ml/min
それぞれ、0.64,0.32及び0.16ml/(min・cm2)に相当
研磨パッド/ウエハーの回転数:95/95rpm
CMP速度: ウエハー面上の49箇所に対し、金属膜のCMP前後での膜厚さを電気抵抗値から換算して、平均研磨速度を求めた。
上記研磨液を用いてCMPを行って得られた研磨速度(RR)を表1に示した。
実施例1と同様にして、表1に記載の化合物を使用して、実施例2及び比較例1〜3の研磨液を調製して研磨試験を行った。なお、BTAは、ベンゾトリアゾールの省略標記であり、BicineはN,N-Bis(2-hydroxyethyl)glycine の略称である。
得られた結果を表1にまとめて示す。
Claims (3)
- エッチング抑止剤を含む研磨液を半導体基板単位面積及び単位時間あたり0.35ml/(min・cm2)以下の流量で研磨定盤上の研磨パッドに供給し、
研磨パッドと被研磨面とを接触させた状態で相対運動させて研磨することを特徴とする
化学的機械的研磨方法。 - 更に酸化剤、及び、有機酸又はアミノ酸を含有する請求項1又は2に記載の化学的機械的研磨方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005271918A JP2007088024A (ja) | 2005-09-20 | 2005-09-20 | 研磨方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005271918A JP2007088024A (ja) | 2005-09-20 | 2005-09-20 | 研磨方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007088024A true JP2007088024A (ja) | 2007-04-05 |
Family
ID=37974744
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005271918A Abandoned JP2007088024A (ja) | 2005-09-20 | 2005-09-20 | 研磨方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2007088024A (ja) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009081199A (ja) * | 2007-09-25 | 2009-04-16 | Fujifilm Corp | 研磨液及び研磨方法 |
JP2009088243A (ja) * | 2007-09-28 | 2009-04-23 | Fujifilm Corp | 研磨液 |
JP2009094504A (ja) * | 2007-09-20 | 2009-04-30 | Fujifilm Corp | 金属用研磨液、及び化学的機械的研磨方法 |
JP2009218539A (ja) * | 2007-09-12 | 2009-09-24 | Fujifilm Corp | 金属用研磨液、及び化学的機械的研磨方法 |
JP2010192556A (ja) * | 2009-02-17 | 2010-09-02 | Fujifilm Corp | 金属用研磨液、および化学的機械的研磨方法 |
KR101395866B1 (ko) | 2008-05-15 | 2014-05-15 | 솔브레인 주식회사 | 절연막 함유 기판의 화학 기계적 연마 조성물 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001077062A (ja) * | 1999-09-06 | 2001-03-23 | Jsr Corp | 半導体装置の製造に用いる化学機械研磨用水系分散体 |
-
2005
- 2005-09-20 JP JP2005271918A patent/JP2007088024A/ja not_active Abandoned
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001077062A (ja) * | 1999-09-06 | 2001-03-23 | Jsr Corp | 半導体装置の製造に用いる化学機械研磨用水系分散体 |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009218539A (ja) * | 2007-09-12 | 2009-09-24 | Fujifilm Corp | 金属用研磨液、及び化学的機械的研磨方法 |
JP2009094504A (ja) * | 2007-09-20 | 2009-04-30 | Fujifilm Corp | 金属用研磨液、及び化学的機械的研磨方法 |
JP2009081199A (ja) * | 2007-09-25 | 2009-04-16 | Fujifilm Corp | 研磨液及び研磨方法 |
KR101515837B1 (ko) * | 2007-09-25 | 2015-05-04 | 후지필름 가부시키가이샤 | 연마액 및 연마 방법 |
JP2009088243A (ja) * | 2007-09-28 | 2009-04-23 | Fujifilm Corp | 研磨液 |
KR101395866B1 (ko) | 2008-05-15 | 2014-05-15 | 솔브레인 주식회사 | 절연막 함유 기판의 화학 기계적 연마 조성물 |
JP2010192556A (ja) * | 2009-02-17 | 2010-09-02 | Fujifilm Corp | 金属用研磨液、および化学的機械的研磨方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR101290090B1 (ko) | 수계 연마액 및 화학 기계적 연마방법 | |
JP5121273B2 (ja) | 金属用研磨液及び研磨方法 | |
JP2006100538A (ja) | 研磨用組成物及びそれを用いた研磨方法 | |
JP2006179845A (ja) | 金属用研磨液及び研磨方法 | |
KR20070088245A (ko) | 금속용 연마액 | |
JP2006269600A (ja) | 化学的機械的研磨方法及びこれに用いる研磨液 | |
JP4448787B2 (ja) | 金属用研磨液及び研磨方法 | |
JP2006228955A (ja) | 研磨液及びそれを用いた研磨方法 | |
JP2006049790A (ja) | 金属用研磨液及び研磨方法 | |
JP4070622B2 (ja) | 金属用研磨液及び研磨方法 | |
JP5080012B2 (ja) | 金属用研磨液 | |
JP2007088024A (ja) | 研磨方法 | |
JP2007081316A (ja) | 金属用研磨液、及び、化学機械的研磨方法 | |
JP2006269910A (ja) | 金属用研磨液及びこれを用いた研磨方法 | |
JP2004235326A (ja) | 金属用研磨液及び研磨方法 | |
JP2007227525A (ja) | 貴金属用研磨液、及び、化学的機械的研磨方法 | |
JP2007088284A (ja) | 水系研磨液及び化学機械的研磨方法 | |
JP2004235319A (ja) | 金属用研磨液及び研磨方法 | |
JP2006093580A (ja) | 化学的機械的研磨方法 | |
JP2006190890A (ja) | 研磨液及びそれを用いた研磨方法 | |
JP2006086353A (ja) | 銅用研磨液及び研磨方法 | |
JP2006100570A (ja) | 研磨用組成物及びそれを用いた研磨方法 | |
JP2007088226A (ja) | カーボン配線用研磨液、及び、研磨方法 | |
JP4162502B2 (ja) | 金属用研磨液及び研磨方法 | |
JP2006100550A (ja) | 金属用研磨液材料及び研磨方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080208 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20100611 |
|
RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20100614 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20100930 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110308 |
|
A762 | Written abandonment of application |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A762 Effective date: 20110412 |