JP2007083140A - Panel cleaning apparatus - Google Patents
Panel cleaning apparatus Download PDFInfo
- Publication number
- JP2007083140A JP2007083140A JP2005273480A JP2005273480A JP2007083140A JP 2007083140 A JP2007083140 A JP 2007083140A JP 2005273480 A JP2005273480 A JP 2005273480A JP 2005273480 A JP2005273480 A JP 2005273480A JP 2007083140 A JP2007083140 A JP 2007083140A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cleaning
- panel
- roller mechanism
- rollers
- roller
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 title claims abstract description 162
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims abstract description 23
- 238000005507 spraying Methods 0.000 claims description 4
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 claims description 3
- 238000004804 winding Methods 0.000 claims description 3
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 5
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 4
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 4
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 3
- 229910052684 Cerium Inorganic materials 0.000 description 2
- GWXLDORMOJMVQZ-UHFFFAOYSA-N cerium Chemical compound [Ce] GWXLDORMOJMVQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 2
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 2
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 2
- 239000011538 cleaning material Substances 0.000 description 1
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 1
- 238000011084 recovery Methods 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 238000011282 treatment Methods 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Cleaning In General (AREA)
- Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
Abstract
Description
本発明は、例えば液晶ディスプレイに用いられるガラス基板などのパネルの表面をクリーニングするためのパネル用クリーニング装置に関する。 The present invention relates to a panel cleaning device for cleaning the surface of a panel such as a glass substrate used in a liquid crystal display.
例えば液晶ディスプレイは、種々の処理がなされたガラス基板を切断した後、その間に液晶を注入して封止して、偏光板を接着することで製造されるものであるが、液晶ディスプレイの製造工程中、ガラス基板を切断する際にガラスの切り粉が発生してガラス表面に付着したり、あるいは液晶の封止の際に使用した樹脂の残存物がガラス表面に固着したりして、これが不良品発生の主要な原因となることから、以上のごとくパネル表面に付着した切り粉や樹脂などの異物を除去するためにクリーニングする必要がある。 For example, a liquid crystal display is manufactured by cutting a glass substrate that has been subjected to various treatments, injecting and sealing the liquid crystal between them, and bonding a polarizing plate. During cutting, glass chips are generated and adhered to the glass surface, or the resin residue used for sealing the liquid crystal adheres to the glass surface. Since this is a major cause of generation of non-defective products, it is necessary to perform cleaning to remove foreign matters such as chips and resin adhering to the panel surface as described above.
そこで以上のパネルをクリーニングするためのクリーニング装置が従来から開発されている。 Therefore, a cleaning apparatus for cleaning the above panel has been conventionally developed.
このクリーニング装置としては、例えば、クリーニングテープが装着されるクリーニングヘッド本体と、クリーニングヘッド本体を支持する支持部材と、クリーニングヘッド本体の下方に設置されパネルが装着されるクリーニング台とが備えられ、クリーニングヘッド本体に装着されたクリーニングテープを、クリーニング台上に設置したパネルの表面に接触させた状態で駆動装置により走行移動させながら、クリーニングヘッド本体をも順次移動させて、パネルの表面を適宜クリーニングするようにしている。(特許文献1参照)
しかしながら、以上のクリーニング装置では、1枚のパネルをクリーニングする度に、クリーニングを終えたパネルをクリーニング台から取り除くと共に、次にクリーニングを行なうパネルをクリーニング台にセットし、しかる後、クリーニングヘッド本体を駆動して、新たなパネルのクリーニング作業を行なうようにしていることから、クリーニングしたいパネルの枚数が多くなると、全体としてクリーニング作業に時間がかかり、クリーニング作業の効率が悪いものであった。
However, in the above cleaning device, every time one panel is cleaned, the panel that has been cleaned is removed from the cleaning table, and the next panel to be cleaned is set on the cleaning table. Since it is driven to clean a new panel, if the number of panels to be cleaned increases, the cleaning work takes time as a whole, and the efficiency of the cleaning work is poor.
本発明は、以上の実情に鑑みて開発したものであって、目的とするところは、効率良くしかも連続してパネルのクリーニング作業が行なえるパネル用クリーニング装置を提供することにある。 The present invention has been developed in view of the above circumstances, and an object of the present invention is to provide a panel cleaning apparatus that can efficiently and continuously perform panel cleaning operations.
以上の目的を達成するために、請求項1に記載の発明は、機体上にパネルの搬送経路が設けられ、この搬送経路中には、回転駆動により搬送経路上のパネルの表面をクリーニングするためのクリーニングローラ機構と、このクリーニングローラ機構の上流側に位置して、クリーニングローラ機構にパネルを搬入するためのパネル搬入部と、クリーニングローラ機構の下流側に位置して、クリーニングローラ機構からパネルを搬出するためのパネル搬出部とが備えられ、パネル搬入部及びパネル搬出部には、パネルを挟持して搬送するためのニップローラ対が備えられていることを特徴とするものである。 In order to achieve the above object, according to the first aspect of the present invention, a panel transport path is provided on the machine body, and in this transport path, the surface of the panel on the transport path is cleaned by rotational driving. A cleaning roller mechanism, a panel loading portion for loading the panel into the cleaning roller mechanism, and a cleaning roller mechanism positioned downstream from the cleaning roller mechanism. A panel unloading section for unloading is provided, and the panel loading section and the panel unloading section are provided with a pair of nip rollers for sandwiching and transporting the panel.
請求項2に記載の発明は、請求項1に記載のクリーニングローラ機構が、パネルの両面を同時にクリーニングするための一対のクリーニングローラから構成されていることを特徴とするものである。 According to a second aspect of the present invention, the cleaning roller mechanism according to the first aspect comprises a pair of cleaning rollers for simultaneously cleaning both surfaces of the panel.
請求項3に記載の発明は、請求項1または2に記載のクリーニングローラ機構が、帯状のクリーニングテープをローラ本体のローラ面に螺旋状に巻き付けて構成していることを特徴とするものである。
The invention according to
請求項4に記載の発明は、請求項1、2または3に記載のクリーニングローラ機構が、クリーニングテープをローラ本体のローラ面に対して面ファスナを介して着脱可能に取り付けていることを特徴とするものである。 According to a fourth aspect of the present invention, the cleaning roller mechanism according to the first, second, or third aspect is characterized in that the cleaning tape is detachably attached to the roller surface of the roller body via a surface fastener. To do.
請求項5に記載の発明は、請求項1、2、3または4に記載のクリーニングローラ機構の近傍に、洗浄液をパネルに吹きつけるための洗浄液噴射部が設けられていることを特徴とするものである。 According to a fifth aspect of the present invention, a cleaning liquid ejecting section for spraying a cleaning liquid onto the panel is provided in the vicinity of the cleaning roller mechanism according to the first, second, third, or fourth aspect. It is.
請求項1に記載の発明によれば、複数のパネルを順次パネル搬入部から搬送経路に搬送することで、斯くパネルがパネル搬入部のニップローラ対で挟持されながらクリーニングローラ機構に送り込まれ、このクリーニングローラ機構でクリーニングされて、パネルの表面に付着する異物などが取り除かれるとともに、クリーニング途中からその搬送方向前端部がパネル搬出部のニップローラ対で挟持されて、クリーニングローラ機構から順次搬出されるのであって、従って、複数のパネルのクリーニング作業が連続して行なえ、クリーニング作業の効率が良好となる。 According to the first aspect of the present invention, the plurality of panels are sequentially transported from the panel carry-in section to the transport path, so that the panels are sent to the cleaning roller mechanism while being sandwiched between the nip roller pairs of the panel carry-in section. The foreign material adhered to the surface of the panel is removed by cleaning with the roller mechanism, and the front end in the transport direction is sandwiched between the nip roller pair of the panel unloading part and is sequentially transported from the cleaning roller mechanism. Accordingly, the cleaning operation of the plurality of panels can be continuously performed, and the efficiency of the cleaning operation is improved.
請求項2に記載の発明によれば、請求項1に記載の発明の効果に加え、パネルを搬送経路に沿って搬送させるだけで、一対のクリーニングローラによりパネルの両面を同時にクリーニングすることが出来、クリーニング作業の効率がより一層良好となる。 According to the second aspect of the invention, in addition to the effect of the first aspect of the invention, both sides of the panel can be simultaneously cleaned by the pair of cleaning rollers only by transporting the panel along the transport path. Thus, the efficiency of the cleaning operation is further improved.
請求項3に記載の発明によれば、請求項1または2に記載の発明の効果に加え、帯状のクリーニングテープがローラ本体のローラ面に螺旋状に巻かれて、クリーニングテープの継ぎ目がパネルの搬送方向に対して傾斜していることから、クリーニング作業時、クリーニングテープの継ぎ目がパネルに対してその搬送方向と同一方向に直線状に移動することがないので、クリーニングテープによるパネルのクリーニングにむらが生じない。
According to the invention described in
請求項4に記載の発明によれば、請求項1,2または3に記載の発明の効果に加え、クリーニングテープの交換が容易に行なえるので、クリーニング装置の保守点検が行い易い。 According to the fourth aspect of the invention, in addition to the effect of the first, second, or third aspect of the invention, the cleaning tape can be easily replaced, so that the cleaning device can be easily maintained and inspected.
請求項5に記載の発明によれば、クリーニング機構によりパネルから除去される異物を洗浄液噴射部から噴射される洗浄液により洗い落すことが出来るので、パネルのクリーニングがより一層効率よく行なえる。 According to the fifth aspect of the present invention, since the foreign matter removed from the panel by the cleaning mechanism can be washed away by the cleaning liquid ejected from the cleaning liquid ejecting section, the panel can be cleaned more efficiently.
以下、本発明にかかるパネル用クリーニング装置の一実施形態を説明する。 Hereinafter, an embodiment of a panel cleaning apparatus according to the present invention will be described.
図において符号1で示すパネル用クリーニング装置は、基本的には、
機体1と、
この機体1に設けられたほぼ水平方向に延びるパネルPの搬送経路2と、
搬送経路2中において、回転駆動により搬送経路上のパネルの表面をクリーニングするためのクリーニングローラ機構3と、
搬送経路2中における前記クリーニングローラ機構3の上流側に位置して、クリーニングローラ機構3にパネルPを搬入するためのパネル搬入部4と、
搬送経路2中における前記クリーニングローラ機構3の下流側に位置して、クリーニングローラ機構3からパネルを搬出するためのパネル搬出部5と、
クリーニングローラ機構3の近傍において洗浄液をパネルPに吹きつけるための洗浄液噴射部6とが備えられている。
The panel cleaning device denoted by reference numeral 1 in the figure is basically
Aircraft 1 and
A
A
A panel loading section 4 for loading the panel P into the
A
In the vicinity of the
図に示すクリーニングローラ機構3は、搬送経路2上のパネルPの両面を同時にクリーニングするために上下一対のクリーニングローラ3a・3bから構成されている。
The
各クリーニングローラ3a・3bは、帯状のクリーニングテープ31をローラ本体30のローラ面に面ファスナ32を介して螺旋状に巻き付けて成る。
Each of the
具体的には、面ファスナ32を構成する雄側ファスナ部材33とこの雄側ファスナ部材33に対して着脱可能な雌側ファスナ部材34のいずれか一方、例えば雄側ファスナ部材33をクリーニングテープ31の裏面に貼り付けると共に、もう一方の雌側ファスナ部材34をローラ本体30のローラ面に貼り付けておき、図3に示すように、クリーニングテープ31をローラ本体30のローラ面に螺旋状に巻き付けて、雄側ファスナ部材33を雌側ファスナ部材34に係合させることで、クリーニングテープ31をローラ本体30のローラ面に取り外し可能に装着するようにしている。
Specifically, one of the
クリーニングローラ3a・3bは、モータ(図示せず)などの既知の手段により一方向に回転されるのであって、図に示す実施形態では、ニップローラ対41・42・51・52の回転方向とは逆方向に回転させるようにしている。
The
クリーニングローラ3a・3bの回転は50〜400rpmの範囲が好ましく、実施形態では、200rpmとしている。
The rotation of the
クリーニングテープ31は、クリーニング材としてセリウムの粉末が用いられている。
The
一方、パネル搬入部4には、パネルPを挟持しながらクリーニングローラ機構3に向けて搬入するためのニップローラ対41・42が搬送経路2中に2組設けられると共に、このニップローラ対41・42の上流側には、複数の搬入ローラ43が設けられ、またこれらニップローラ対41・42及び搬入ローラ43を回転駆動するために、複数のプーリー44とこれらプーリー44に架け渡された駆動ベルト45などから構成される駆動装置46が備えられ、この駆動装置46を介してニップローラ対41・42及び搬入ローラ43を適宜回転駆動させるようにしている。
On the other hand, two pairs of
またパネル搬出部5にあっても、パネルPを挟持しながらクリーニングローラ機構3から搬出するためのニップローラ対51・52が搬送経路2中に2組設けられると共に、このニップローラ対51・52の下流側には、複数の搬出ローラ53が設けられ、またこれらニップローラ対51・52及び搬出ローラ53を回転駆動するために、複数のプーリー54とこれらプーリー54に架け渡された駆動ベルト55などから構成される駆動装置56が備えられ、この駆動装置56を介してニップローラ対51・52及び搬出ローラ53を適宜回転駆動させるようにしている。
In the
パネル搬入部4及びパネル搬出部5によるパネルの搬送速度は、50〜200mm/secが好ましく、実施形態では、150mm/secとしている。
The panel conveyance speed by the panel carry-in part 4 and the panel carry-out
洗浄液噴射部6は、クリーニングローラ機構3におけるクリーニングローラ3a・3bの入口側に配置される上下一対の洗浄液噴射ノズル61・62と、クリーニングローラ機構3におけるクリーニングローラ3a・3bの出口側に配置される上下一対の洗浄液噴射ノズル63・64と、機体1の下部に配置されて、前記した洗浄液噴射ノズル61〜64から噴射された洗浄液を回収するための回収槽65とが備えられている。
The cleaning
また洗浄液噴射部6には、高圧ポンプ(図示せず)が備えられ、この高圧ポンプにより洗浄液が高圧で洗浄液噴射ノズル61〜64からパネルPに向けて噴射するようにしている。
The cleaning
以上の構成から成るパネル用クリーニング装置では、パネル搬入部4の搬送ローラ43上に載せられるパネルPが、搬入ローラ43を介してニップローラ対41・42に送り込まれた後、このニップローラ対41・42で挟持されながらクリーニングローラ機構3に送り込まれるのである。そしてこのクリーニングローラ機構3のクリーニングローラ3a・3bにより、その上下両面が同時にクリーニングされて、パネルPの表面に付着していた異物などが取り除かれるのであって、以上のクリーニング途中からその搬送方向前端部がパネル搬出部5のニップローラ対51・52で挟持されて、このニップローラ対51・52を介してクリーニングローラ機構3から搬出されるのである。
In the panel cleaning apparatus having the above-described configuration, the panel P placed on the
ところで、搬送経路2に沿って搬送される以上のパネルPは、その上下両面がクリーニングローラ機構3の入口と出口の両位地でそれぞれ洗浄液噴射部6の洗浄液噴射ノズル61〜64から噴射される洗浄液により洗浄されて、上下クリーニングローラ3a・3bのクリーニングテープ31により除去される異物や、このクリーニング作業に伴いクリーニングテープ31から剥離するセリウムなどが、パネルPから確実に洗い流されるのである。
By the way, the upper and lower surfaces of the above-described panel P transported along the
斯くして以上のパネル用クリーニング装置によれば、複数のパネルPを搬送経路2に順次送り込むだけで、各パネルPは、パネル搬入部4及びパネル搬出部5の搬送速度で搬送されながらクリーニング機構3により上下両面を同時にクリーニングすることが出来るので、単位時間あたりの処理枚数が向上するし、しかもクリーニング機構3によるクリーニング時、パネルPをパネル搬入部4及びパネル搬出部5のニップローラ対41・42・51・52により挟持して一定速度で搬送しながらパネルPのクリーニングが行なえるので、クリーニング機構3によるクリーニングが均一化する。
Thus, according to the above panel cleaning apparatus, each panel P is transported at the transport speed of the panel carry-in unit 4 and the panel carry-out
また以上の実施形態では、クリーニングテープ31がローラ本体30のローラ面に螺旋状に巻かれて、クリーニングテープ31の継ぎ目31aがパネルPの搬送方向に対して傾斜していることから、クリーニング時、クリーニングテープ31の継ぎ目31aがパネルPに対してその搬送方向と同一方向に直線状に移動することがないので、クリーニングテープ31によるパネルPのクリーニングにむらが生じない。
In the above embodiment, the cleaning
また以上の実施形態では、クリーニングテープ31がローラ本体30に対して面ファスナ32を介して取り付けられているので、クリーニング作業によりクリーニングテープ31が傷んだ時には、リーニングテープ31をクリーニングローラ3a3bのローラ本体30から取り外して、簡単に新しいものに交換することが出来る。
In the above embodiment, since the cleaning
以上の実施形態によれば、搬送経路2上のパネルPの両面を同時にクリーニングするために、クリーニングローラ機構3を上下一対のクリーニングローラ3a・3bから構成したが、これに限定されるものではなく、例えばどちらか一方のクリーニングローラ3aまたは3bから構成して、搬送経路2上のパネルPの片面をクリーニングするもよい。
According to the above embodiment, the cleaning
また以上の実施形態では、クリーニングローラ3a・3bは、ニップローラ41・42・51・52の回転方向と逆方向に回転させるようにしたが、クリーニングローラ3a・3bは、ニップローラ41・42・51・52の回転方向と同一方向に回転させてもよい。
In the above embodiment, the
1 機体
2 搬送経路
3 クリーニングローラ機構
3a・3b クリーニングローラ
30 ローラ本体
31 クリーニングテープ
32 面ファスナ
4 パネル搬入部
41・42 ニップローラ対
5 パネル搬出部
51・52 ニップローラ対
6 洗浄液噴射部
61・62・63・64 洗浄液噴射ノズル
P パネル
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1
Claims (5)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005273480A JP2007083140A (en) | 2005-09-21 | 2005-09-21 | Panel cleaning apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005273480A JP2007083140A (en) | 2005-09-21 | 2005-09-21 | Panel cleaning apparatus |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007083140A true JP2007083140A (en) | 2007-04-05 |
Family
ID=37970664
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005273480A Pending JP2007083140A (en) | 2005-09-21 | 2005-09-21 | Panel cleaning apparatus |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2007083140A (en) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN107497758A (en) * | 2017-09-11 | 2017-12-22 | 惠科股份有限公司 | Multi-size glass substrate cleaning equipment |
CN108655069A (en) * | 2018-05-16 | 2018-10-16 | 芜湖众梦电子科技有限公司 | A kind of circulating device for cleaning mould |
-
2005
- 2005-09-21 JP JP2005273480A patent/JP2007083140A/en active Pending
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN107497758A (en) * | 2017-09-11 | 2017-12-22 | 惠科股份有限公司 | Multi-size glass substrate cleaning equipment |
WO2019047420A1 (en) * | 2017-09-11 | 2019-03-14 | 惠科股份有限公司 | Device and system for cleaning multiple sized glass substrates |
CN107497758B (en) * | 2017-09-11 | 2019-10-22 | 惠科股份有限公司 | Multi-size glass substrate cleaning equipment |
US11344932B2 (en) | 2017-09-11 | 2022-05-31 | HKC Corporation Limited | Device and system for cleaning glass substrates with different dimensions |
CN108655069A (en) * | 2018-05-16 | 2018-10-16 | 芜湖众梦电子科技有限公司 | A kind of circulating device for cleaning mould |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4796889B2 (en) | Panel washing machine and washing method | |
TWI505393B (en) | Substrate processing device | |
JP6644578B2 (en) | Optical film transport and recovery apparatus, optical film manufacturing system, and optical film transport and recovery method | |
TW200407201A (en) | Substrate treatment apparatus and substrate washing method | |
TWI595974B (en) | A jet processing apparatus for processing a peripheral portion of a substrate, and a jet processing method using the apparatus | |
JP4909611B2 (en) | Substrate cleaning processing apparatus and cleaning processing method | |
TWI593470B (en) | Substrate processing apparatus, substrate processing method, substrate manufacturing apparatus, and substrate manufacturing method | |
JP2007184391A (en) | Method and apparatus of conveying substrate | |
JP2007083140A (en) | Panel cleaning apparatus | |
KR101999406B1 (en) | Labyrinth seal, cleaning unit and method, and solution film-forming method | |
JP4732249B2 (en) | Circuit board cleaning apparatus and circuit board cleaning method | |
JP6029087B2 (en) | Sheet glass article separation device | |
JP2000254605A (en) | Cleaning device for flexible substrate | |
CN110087784B (en) | Foreign matter removing device and foreign matter removing method | |
KR20190053277A (en) | Corona treatment method | |
TW202327810A (en) | Dedusting device, sander and method for dedusting a workpiece | |
CN103028582A (en) | Water removing system of film workpiece | |
JP2004203668A (en) | Acid treatment equipment for plate | |
KR20190013498A (en) | Device for preventing dust scattering and substrate machining apparatus having the same | |
JP2988828B2 (en) | Substrate drainer / dryer | |
JP6552363B2 (en) | Substrate drying apparatus and substrate processing apparatus | |
JP2009233820A (en) | Blasting method and device | |
JP2013134406A (en) | Production system for optical display device | |
JP2001104897A (en) | Device and method for ultrasonic washing | |
JP2005028327A (en) | Cleaning device |