JP2007083140A - Panel cleaning apparatus - Google Patents

Panel cleaning apparatus Download PDF

Info

Publication number
JP2007083140A
JP2007083140A JP2005273480A JP2005273480A JP2007083140A JP 2007083140 A JP2007083140 A JP 2007083140A JP 2005273480 A JP2005273480 A JP 2005273480A JP 2005273480 A JP2005273480 A JP 2005273480A JP 2007083140 A JP2007083140 A JP 2007083140A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
cleaning
panel
roller mechanism
rollers
roller
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2005273480A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Katsuhiko Hirosaki
雄彦 廣崎
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
I M T KK
Original Assignee
I M T KK
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by I M T KK filed Critical I M T KK
Priority to JP2005273480A priority Critical patent/JP2007083140A/en
Publication of JP2007083140A publication Critical patent/JP2007083140A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Cleaning In General (AREA)
  • Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a panel cleaning apparatus capable of efficiently and continuously carrying out a panel cleaning work. <P>SOLUTION: The panel cleaning apparatus is constituted of a cleaning roller mechanism 3 for cleaning both surfaces of a panel by the rotation of its rollers, a panel introduction section 4 that introduces a panel to the cleaning roller mechanism 3, and a panel discharge section 5, which are disposed in a panel conveying path. The panel introduction and discharge sections 4 and 5 are each equipped with a pair of nip rollers 41, 42 for holding and conveying a panel. The cleaning roller mechanism 3 is constituted of a pair of cleaning rollers 3a, 3b that simultaneously clean both sides of a panel. The main body of each of the cleaning rollers 3a, 3b is spirally wound with a belt shaped cleaning tape 31. A cleaning liquid ejection section 6 that ejects a cleaning liquid onto a panel is disposed in the vicinity of the cleaning roller mechanism 3. <P>COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Description

本発明は、例えば液晶ディスプレイに用いられるガラス基板などのパネルの表面をクリーニングするためのパネル用クリーニング装置に関する。   The present invention relates to a panel cleaning device for cleaning the surface of a panel such as a glass substrate used in a liquid crystal display.

例えば液晶ディスプレイは、種々の処理がなされたガラス基板を切断した後、その間に液晶を注入して封止して、偏光板を接着することで製造されるものであるが、液晶ディスプレイの製造工程中、ガラス基板を切断する際にガラスの切り粉が発生してガラス表面に付着したり、あるいは液晶の封止の際に使用した樹脂の残存物がガラス表面に固着したりして、これが不良品発生の主要な原因となることから、以上のごとくパネル表面に付着した切り粉や樹脂などの異物を除去するためにクリーニングする必要がある。   For example, a liquid crystal display is manufactured by cutting a glass substrate that has been subjected to various treatments, injecting and sealing the liquid crystal between them, and bonding a polarizing plate. During cutting, glass chips are generated and adhered to the glass surface, or the resin residue used for sealing the liquid crystal adheres to the glass surface. Since this is a major cause of generation of non-defective products, it is necessary to perform cleaning to remove foreign matters such as chips and resin adhering to the panel surface as described above.

そこで以上のパネルをクリーニングするためのクリーニング装置が従来から開発されている。   Therefore, a cleaning apparatus for cleaning the above panel has been conventionally developed.

このクリーニング装置としては、例えば、クリーニングテープが装着されるクリーニングヘッド本体と、クリーニングヘッド本体を支持する支持部材と、クリーニングヘッド本体の下方に設置されパネルが装着されるクリーニング台とが備えられ、クリーニングヘッド本体に装着されたクリーニングテープを、クリーニング台上に設置したパネルの表面に接触させた状態で駆動装置により走行移動させながら、クリーニングヘッド本体をも順次移動させて、パネルの表面を適宜クリーニングするようにしている。（特許文献１参照）
しかしながら、以上のクリーニング装置では、１枚のパネルをクリーニングする度に、クリーニングを終えたパネルをクリーニング台から取り除くと共に、次にクリーニングを行なうパネルをクリーニング台にセットし、しかる後、クリーニングヘッド本体を駆動して、新たなパネルのクリーニング作業を行なうようにしていることから、クリーニングしたいパネルの枚数が多くなると、全体としてクリーニング作業に時間がかかり、クリーニング作業の効率が悪いものであった。
特開平１１−１９８５９号公報 The cleaning device includes, for example, a cleaning head body on which a cleaning tape is mounted, a support member that supports the cleaning head body, and a cleaning table that is installed below the cleaning head body and on which a panel is mounted. While the cleaning tape mounted on the head body is moved and moved by the driving device while being in contact with the surface of the panel placed on the cleaning table, the cleaning head body is also moved sequentially to clean the surface of the panel appropriately. I am doing so. (See Patent Document 1)
However, in the above cleaning device, every time one panel is cleaned, the panel that has been cleaned is removed from the cleaning table, and the next panel to be cleaned is set on the cleaning table. Since it is driven to clean a new panel, if the number of panels to be cleaned increases, the cleaning work takes time as a whole, and the efficiency of the cleaning work is poor.
Japanese Patent Laid-Open No. 11-19859

本発明は、以上の実情に鑑みて開発したものであって、目的とするところは、効率良くしかも連続してパネルのクリーニング作業が行なえるパネル用クリーニング装置を提供することにある。   The present invention has been developed in view of the above circumstances, and an object of the present invention is to provide a panel cleaning apparatus that can efficiently and continuously perform panel cleaning operations.

以上の目的を達成するために、請求項１に記載の発明は、機体上にパネルの搬送経路が設けられ、この搬送経路中には、回転駆動により搬送経路上のパネルの表面をクリーニングするためのクリーニングローラ機構と、このクリーニングローラ機構の上流側に位置して、クリーニングローラ機構にパネルを搬入するためのパネル搬入部と、クリーニングローラ機構の下流側に位置して、クリーニングローラ機構からパネルを搬出するためのパネル搬出部とが備えられ、パネル搬入部及びパネル搬出部には、パネルを挟持して搬送するためのニップローラ対が備えられていることを特徴とするものである。   In order to achieve the above object, according to the first aspect of the present invention, a panel transport path is provided on the machine body, and in this transport path, the surface of the panel on the transport path is cleaned by rotational driving. A cleaning roller mechanism, a panel loading portion for loading the panel into the cleaning roller mechanism, and a cleaning roller mechanism positioned downstream from the cleaning roller mechanism. A panel unloading section for unloading is provided, and the panel loading section and the panel unloading section are provided with a pair of nip rollers for sandwiching and transporting the panel.

請求項２に記載の発明は、請求項１に記載のクリーニングローラ機構が、パネルの両面を同時にクリーニングするための一対のクリーニングローラから構成されていることを特徴とするものである。   According to a second aspect of the present invention, the cleaning roller mechanism according to the first aspect comprises a pair of cleaning rollers for simultaneously cleaning both surfaces of the panel.

請求項３に記載の発明は、請求項１または２に記載のクリーニングローラ機構が、帯状のクリーニングテープをローラ本体のローラ面に螺旋状に巻き付けて構成していることを特徴とするものである。   The invention according to claim 3 is characterized in that the cleaning roller mechanism according to claim 1 or 2 is configured by spirally winding a belt-like cleaning tape around a roller surface of a roller body. .

請求項４に記載の発明は、請求項１、２または３に記載のクリーニングローラ機構が、クリーニングテープをローラ本体のローラ面に対して面ファスナを介して着脱可能に取り付けていることを特徴とするものである。   According to a fourth aspect of the present invention, the cleaning roller mechanism according to the first, second, or third aspect is characterized in that the cleaning tape is detachably attached to the roller surface of the roller body via a surface fastener. To do.

請求項５に記載の発明は、請求項１、２、３または４に記載のクリーニングローラ機構の近傍に、洗浄液をパネルに吹きつけるための洗浄液噴射部が設けられていることを特徴とするものである。     According to a fifth aspect of the present invention, a cleaning liquid ejecting section for spraying a cleaning liquid onto the panel is provided in the vicinity of the cleaning roller mechanism according to the first, second, third, or fourth aspect. It is.

請求項１に記載の発明によれば、複数のパネルを順次パネル搬入部から搬送経路に搬送することで、斯くパネルがパネル搬入部のニップローラ対で挟持されながらクリーニングローラ機構に送り込まれ、このクリーニングローラ機構でクリーニングされて、パネルの表面に付着する異物などが取り除かれるとともに、クリーニング途中からその搬送方向前端部がパネル搬出部のニップローラ対で挟持されて、クリーニングローラ機構から順次搬出されるのであって、従って、複数のパネルのクリーニング作業が連続して行なえ、クリーニング作業の効率が良好となる。   According to the first aspect of the present invention, the plurality of panels are sequentially transported from the panel carry-in section to the transport path, so that the panels are sent to the cleaning roller mechanism while being sandwiched between the nip roller pairs of the panel carry-in section. The foreign material adhered to the surface of the panel is removed by cleaning with the roller mechanism, and the front end in the transport direction is sandwiched between the nip roller pair of the panel unloading part and is sequentially transported from the cleaning roller mechanism. Accordingly, the cleaning operation of the plurality of panels can be continuously performed, and the efficiency of the cleaning operation is improved.

請求項２に記載の発明によれば、請求項１に記載の発明の効果に加え、パネルを搬送経路に沿って搬送させるだけで、一対のクリーニングローラによりパネルの両面を同時にクリーニングすることが出来、クリーニング作業の効率がより一層良好となる。   According to the second aspect of the invention, in addition to the effect of the first aspect of the invention, both sides of the panel can be simultaneously cleaned by the pair of cleaning rollers only by transporting the panel along the transport path. Thus, the efficiency of the cleaning operation is further improved.

請求項３に記載の発明によれば、請求項１または２に記載の発明の効果に加え、帯状のクリーニングテープがローラ本体のローラ面に螺旋状に巻かれて、クリーニングテープの継ぎ目がパネルの搬送方向に対して傾斜していることから、クリーニング作業時、クリーニングテープの継ぎ目がパネルに対してその搬送方向と同一方向に直線状に移動することがないので、クリーニングテープによるパネルのクリーニングにむらが生じない。   According to the invention described in claim 3, in addition to the effect of the invention described in claim 1 or 2, the belt-like cleaning tape is spirally wound around the roller surface of the roller body, and the seam of the cleaning tape is formed on the panel. Since it is inclined with respect to the transport direction, the seam of the cleaning tape does not move linearly in the same direction as the transport direction with respect to the panel during the cleaning operation. Does not occur.

請求項４に記載の発明によれば、請求項１，２または３に記載の発明の効果に加え、クリーニングテープの交換が容易に行なえるので、クリーニング装置の保守点検が行い易い。   According to the fourth aspect of the invention, in addition to the effect of the first, second, or third aspect of the invention, the cleaning tape can be easily replaced, so that the cleaning device can be easily maintained and inspected.

請求項５に記載の発明によれば、クリーニング機構によりパネルから除去される異物を洗浄液噴射部から噴射される洗浄液により洗い落すことが出来るので、パネルのクリーニングがより一層効率よく行なえる。   According to the fifth aspect of the present invention, since the foreign matter removed from the panel by the cleaning mechanism can be washed away by the cleaning liquid ejected from the cleaning liquid ejecting section, the panel can be cleaned more efficiently.

以下、本発明にかかるパネル用クリーニング装置の一実施形態を説明する。     Hereinafter, an embodiment of a panel cleaning apparatus according to the present invention will be described.

図において符号１で示すパネル用クリーニング装置は、基本的には、
機体１と、
この機体１に設けられたほぼ水平方向に延びるパネルＰの搬送経路２と、
搬送経路２中において、回転駆動により搬送経路上のパネルの表面をクリーニングするためのクリーニングローラ機構３と、
搬送経路２中における前記クリーニングローラ機構３の上流側に位置して、クリーニングローラ機構３にパネルＰを搬入するためのパネル搬入部４と、
搬送経路２中における前記クリーニングローラ機構３の下流側に位置して、クリーニングローラ機構３からパネルを搬出するためのパネル搬出部５と、
クリーニングローラ機構３の近傍において洗浄液をパネルＰに吹きつけるための洗浄液噴射部６とが備えられている。 The panel cleaning device denoted by reference numeral 1 in the figure is basically
Aircraft 1 and
A transport path 2 of the panel P provided in the machine body 1 and extending in a substantially horizontal direction;
A cleaning roller mechanism 3 for cleaning the surface of the panel on the transport path by rotational driving in the transport path 2;
A panel loading section 4 for loading the panel P into the cleaning roller mechanism 3 located upstream of the cleaning roller mechanism 3 in the conveyance path 2;
A panel unloading section 5 for unloading the panel from the cleaning roller mechanism 3, located downstream of the cleaning roller mechanism 3 in the transport path 2;
In the vicinity of the cleaning roller mechanism 3, a cleaning liquid ejecting unit 6 for spraying the cleaning liquid onto the panel P is provided.

図に示すクリーニングローラ機構３は、搬送経路２上のパネルＰの両面を同時にクリーニングするために上下一対のクリーニングローラ３ａ・３ｂから構成されている。   The cleaning roller mechanism 3 shown in the drawing is composed of a pair of upper and lower cleaning rollers 3a and 3b for simultaneously cleaning both surfaces of the panel P on the transport path 2.

各クリーニングローラ３ａ・３ｂは、帯状のクリーニングテープ３１をローラ本体３０のローラ面に面ファスナ３２を介して螺旋状に巻き付けて成る。   Each of the cleaning rollers 3 a and 3 b is formed by winding a belt-like cleaning tape 31 around the roller surface of the roller body 30 in a spiral manner via a surface fastener 32.

具体的には、面ファスナ３２を構成する雄側ファスナ部材３３とこの雄側ファスナ部材３３に対して着脱可能な雌側ファスナ部材３４のいずれか一方、例えば雄側ファスナ部材３３をクリーニングテープ３１の裏面に貼り付けると共に、もう一方の雌側ファスナ部材３４をローラ本体３０のローラ面に貼り付けておき、図３に示すように、クリーニングテープ３１をローラ本体３０のローラ面に螺旋状に巻き付けて、雄側ファスナ部材３３を雌側ファスナ部材３４に係合させることで、クリーニングテープ３１をローラ本体３０のローラ面に取り外し可能に装着するようにしている。   Specifically, one of the male fastener member 33 constituting the surface fastener 32 and the female fastener member 34 detachable from the male fastener member 33, for example, the male fastener member 33 is attached to the cleaning tape 31. At the same time, the other female fastener member 34 is attached to the roller surface of the roller body 30 and the cleaning tape 31 is spirally wound around the roller surface of the roller body 30 as shown in FIG. The cleaning tape 31 is detachably mounted on the roller surface of the roller body 30 by engaging the male fastener member 33 with the female fastener member 34.

クリーニングローラ３ａ・３ｂは、モータ（図示せず）などの既知の手段により一方向に回転されるのであって、図に示す実施形態では、ニップローラ対４１・４２・５１・５２の回転方向とは逆方向に回転させるようにしている。   The cleaning rollers 3a and 3b are rotated in one direction by known means such as a motor (not shown). In the embodiment shown in the figure, the rotation directions of the nip roller pairs 41, 42, 51, and 52 are It is made to rotate in the reverse direction.

クリーニングローラ３ａ・３ｂの回転は５０〜４００ｒｐｍの範囲が好ましく、実施形態では、２００ｒｐｍとしている。   The rotation of the cleaning rollers 3a and 3b is preferably in the range of 50 to 400 rpm. In the embodiment, the rotation is 200 rpm.

クリーニングテープ３１は、クリーニング材としてセリウムの粉末が用いられている。   The cleaning tape 31 uses cerium powder as a cleaning material.

一方、パネル搬入部４には、パネルＰを挟持しながらクリーニングローラ機構３に向けて搬入するためのニップローラ対４１・４２が搬送経路２中に２組設けられると共に、このニップローラ対４１・４２の上流側には、複数の搬入ローラ４３が設けられ、またこれらニップローラ対４１・４２及び搬入ローラ４３を回転駆動するために、複数のプーリー４４とこれらプーリー４４に架け渡された駆動ベルト４５などから構成される駆動装置４６が備えられ、この駆動装置４６を介してニップローラ対４１・４２及び搬入ローラ４３を適宜回転駆動させるようにしている。   On the other hand, two pairs of nip rollers 41 and 42 for carrying the panel P toward the cleaning roller mechanism 3 while sandwiching the panel P are provided in the transport path 2 in the panel loading section 4. A plurality of carry-in rollers 43 are provided on the upstream side, and a plurality of pulleys 44 and a drive belt 45 spanned between the pulleys 44 are provided to rotate the nip roller pairs 41 and 42 and the carry-in rollers 43. A drive device 46 is provided, and the pair of nip rollers 41 and 42 and the carry-in roller 43 are appropriately rotated through the drive device 46.

またパネル搬出部５にあっても、パネルＰを挟持しながらクリーニングローラ機構３から搬出するためのニップローラ対５１・５２が搬送経路２中に２組設けられると共に、このニップローラ対５１・５２の下流側には、複数の搬出ローラ５３が設けられ、またこれらニップローラ対５１・５２及び搬出ローラ５３を回転駆動するために、複数のプーリー５４とこれらプーリー５４に架け渡された駆動ベルト５５などから構成される駆動装置５６が備えられ、この駆動装置５６を介してニップローラ対５１・５２及び搬出ローラ５３を適宜回転駆動させるようにしている。   In the panel unloading section 5, two pairs of nip rollers 51 and 52 for unloading from the cleaning roller mechanism 3 while sandwiching the panel P are provided in the transport path 2, and downstream of the pair of nip rollers 51 and 52. On the side, a plurality of carry-out rollers 53 are provided, and a plurality of pulleys 54 and a drive belt 55 spanned between the pulleys 54 and the like are provided to rotationally drive the pair of nip rollers 51 and 52 and the carry-out rollers 53. The driving device 56 is provided, and the pair of nip rollers 51 and 52 and the carry-out roller 53 are appropriately rotated through the driving device 56.

パネル搬入部４及びパネル搬出部５によるパネルの搬送速度は、５０〜２００ｍｍ／ｓｅｃが好ましく、実施形態では、１５０ｍｍ／ｓｅｃとしている。   The panel conveyance speed by the panel carry-in part 4 and the panel carry-out part 5 is preferably 50 to 200 mm / sec. In the embodiment, it is 150 mm / sec.

洗浄液噴射部６は、クリーニングローラ機構３におけるクリーニングローラ３ａ・３ｂの入口側に配置される上下一対の洗浄液噴射ノズル６１・６２と、クリーニングローラ機構３におけるクリーニングローラ３ａ・３ｂの出口側に配置される上下一対の洗浄液噴射ノズル６３・６４と、機体１の下部に配置されて、前記した洗浄液噴射ノズル６１〜６４から噴射された洗浄液を回収するための回収槽６５とが備えられている。   The cleaning liquid ejecting unit 6 is disposed on the exit side of the cleaning rollers 3 a and 3 b in the cleaning roller mechanism 3 and the pair of upper and lower cleaning liquid ejecting nozzles 61 and 62 disposed on the inlet side of the cleaning rollers 3 a and 3 b in the cleaning roller mechanism 3. A pair of upper and lower cleaning liquid spray nozzles 63 and 64 and a recovery tank 65 disposed at the lower portion of the machine body 1 for recovering the cleaning liquid sprayed from the cleaning liquid spray nozzles 61 to 64 are provided.

また洗浄液噴射部６には、高圧ポンプ（図示せず）が備えられ、この高圧ポンプにより洗浄液が高圧で洗浄液噴射ノズル６１〜６４からパネルＰに向けて噴射するようにしている。   The cleaning liquid injection unit 6 includes a high-pressure pump (not shown), and the high-pressure pump discharges the cleaning liquid from the cleaning liquid injection nozzles 61 to 64 toward the panel P at a high pressure.

以上の構成から成るパネル用クリーニング装置では、パネル搬入部４の搬送ローラ４３上に載せられるパネルＰが、搬入ローラ４３を介してニップローラ対４１・４２に送り込まれた後、このニップローラ対４１・４２で挟持されながらクリーニングローラ機構３に送り込まれるのである。そしてこのクリーニングローラ機構３のクリーニングローラ３ａ・３bにより、その上下両面が同時にクリーニングされて、パネルＰの表面に付着していた異物などが取り除かれるのであって、以上のクリーニング途中からその搬送方向前端部がパネル搬出部５のニップローラ対５１・５２で挟持されて、このニップローラ対５１・５２を介してクリーニングローラ機構３から搬出されるのである。   In the panel cleaning apparatus having the above-described configuration, the panel P placed on the transport roller 43 of the panel carry-in section 4 is sent to the nip roller pair 41/42 via the carry-in roller 43, and then the nip roller pair 41/42. It is sent to the cleaning roller mechanism 3 while being sandwiched between the two. The cleaning rollers 3a and 3b of the cleaning roller mechanism 3 are simultaneously cleaned on the upper and lower surfaces to remove foreign substances adhering to the surface of the panel P. The part is sandwiched between the nip roller pairs 51 and 52 of the panel carry-out part 5 and is carried out from the cleaning roller mechanism 3 through the nip roller pairs 51 and 52.

ところで、搬送経路２に沿って搬送される以上のパネルＰは、その上下両面がクリーニングローラ機構３の入口と出口の両位地でそれぞれ洗浄液噴射部６の洗浄液噴射ノズル６１〜６４から噴射される洗浄液により洗浄されて、上下クリーニングローラ３ａ・３ｂのクリーニングテープ３１により除去される異物や、このクリーニング作業に伴いクリーニングテープ３１から剥離するセリウムなどが、パネルＰから確実に洗い流されるのである。   By the way, the upper and lower surfaces of the above-described panel P transported along the transport path 2 are respectively ejected from the cleaning liquid spray nozzles 61 to 64 of the cleaning liquid spraying section 6 at both the entrance and exit positions of the cleaning roller mechanism 3. Foreign matter that is cleaned by the cleaning liquid and removed by the cleaning tape 31 of the upper and lower cleaning rollers 3a and 3b, cerium that is peeled off from the cleaning tape 31 in accordance with this cleaning operation, and the like are reliably washed away from the panel P.

斯くして以上のパネル用クリーニング装置によれば、複数のパネルＰを搬送経路２に順次送り込むだけで、各パネルＰは、パネル搬入部４及びパネル搬出部５の搬送速度で搬送されながらクリーニング機構３により上下両面を同時にクリーニングすることが出来るので、単位時間あたりの処理枚数が向上するし、しかもクリーニング機構３によるクリーニング時、パネルＰをパネル搬入部４及びパネル搬出部５のニップローラ対４１・４２・５１・５２により挟持して一定速度で搬送しながらパネルＰのクリーニングが行なえるので、クリーニング機構３によるクリーニングが均一化する。   Thus, according to the above panel cleaning apparatus, each panel P is transported at the transport speed of the panel carry-in unit 4 and the panel carry-out unit 5 only by sequentially feeding the plurality of panels P to the transport path 2. 3 can simultaneously clean both the upper and lower surfaces, so that the number of processed sheets per unit time can be improved, and the panel P can be removed by the pair of nip rollers 41 and 42 of the panel carry-in portion 4 and the panel carry-out portion 5 during cleaning by the cleaning mechanism 3. Since the panel P can be cleaned while being sandwiched between 51 and 52 and conveyed at a constant speed, the cleaning by the cleaning mechanism 3 is made uniform.

また以上の実施形態では、クリーニングテープ３１がローラ本体３０のローラ面に螺旋状に巻かれて、クリーニングテープ３１の継ぎ目３１ａがパネルＰの搬送方向に対して傾斜していることから、クリーニング時、クリーニングテープ３１の継ぎ目３１ａがパネルＰに対してその搬送方向と同一方向に直線状に移動することがないので、クリーニングテープ３１によるパネルＰのクリーニングにむらが生じない。   In the above embodiment, the cleaning tape 31 is spirally wound around the roller surface of the roller body 30, and the seam 31a of the cleaning tape 31 is inclined with respect to the transport direction of the panel P. Since the joint 31a of the cleaning tape 31 does not move linearly in the same direction as the transport direction with respect to the panel P, the cleaning of the panel P by the cleaning tape 31 does not become uneven.

また以上の実施形態では、クリーニングテープ３１がローラ本体３０に対して面ファスナ３２を介して取り付けられているので、クリーニング作業によりクリーニングテープ３１が傷んだ時には、リーニングテープ３１をクリーニングローラ３ａ３ｂのローラ本体３０から取り外して、簡単に新しいものに交換することが出来る。   In the above embodiment, since the cleaning tape 31 is attached to the roller body 30 via the surface fastener 32, when the cleaning tape 31 is damaged by the cleaning operation, the leaning tape 31 is removed from the roller body of the cleaning roller 3a3b. It can be removed from 30 and easily replaced with a new one.

以上の実施形態によれば、搬送経路２上のパネルＰの両面を同時にクリーニングするために、クリーニングローラ機構３を上下一対のクリーニングローラ３ａ・３ｂから構成したが、これに限定されるものではなく、例えばどちらか一方のクリーニングローラ３ａまたは３ｂから構成して、搬送経路２上のパネルＰの片面をクリーニングするもよい。   According to the above embodiment, the cleaning roller mechanism 3 is constituted by the pair of upper and lower cleaning rollers 3a and 3b in order to simultaneously clean both surfaces of the panel P on the transport path 2. However, the present invention is not limited to this. For example, one of the cleaning rollers 3a or 3b may be configured to clean one side of the panel P on the transport path 2.

また以上の実施形態では、クリーニングローラ３ａ・３ｂは、ニップローラ４１・４２・５１・５２の回転方向と逆方向に回転させるようにしたが、クリーニングローラ３ａ・３ｂは、ニップローラ４１・４２・５１・５２の回転方向と同一方向に回転させてもよい。   In the above embodiment, the cleaning rollers 3a and 3b are rotated in the direction opposite to the rotation direction of the nip rollers 41, 42, 51, and 52. However, the cleaning rollers 3a and 3b are rotated by the nip rollers 41, 42, 51, and 52, respectively. You may rotate in the same direction as the rotation direction of 52.

本発明のパネル用クリーニング装置の概略説明図。BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS Schematic explanatory drawing of the panel cleaning apparatus of this invention. 同、要部の説明図。Explanatory drawing of the principal part. 同、要部の平面図。The top view of the principal part. クリーニングローラの要部の拡大断面図。The expanded sectional view of the principal part of a cleaning roller. クリーニングテープの要部の斜視図。The perspective view of the principal part of a cleaning tape.

符号の説明Explanation of symbols

１ 機体
２ 搬送経路
３ クリーニングローラ機構
３ａ・３ｂ クリーニングローラ
３０ ローラ本体
３１ クリーニングテープ
３２ 面ファスナ
４ パネル搬入部
４１・４２ ニップローラ対
５ パネル搬出部
５１・５２ ニップローラ対
６ 洗浄液噴射部
６１・６２・６３・６４ 洗浄液噴射ノズル
Ｐ パネル DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Machine body 2 Conveyance path 3 Cleaning roller mechanism 3a * 3b Cleaning roller 30 Roller main body 31 Cleaning tape 32 Face fastener 4 Panel carrying-in part 41 * 42 Nip roller pair 5 Panel carrying out part 51 * 52 Nip roller pair 6 Cleaning liquid injection part 61 * 62 * 63・ 64 Cleaning liquid injection nozzle P Panel

Claims (5)

機体上にパネルの搬送経路が設けられ、この搬送経路中には、回転駆動により搬送経路上のパネルの表面をクリーニングするためのクリーニングローラ機構と、このクリーニングローラ機構の上流側に位置して、クリーニングローラ機構にパネルを搬入するためのパネル搬入部と、クリーニングローラ機構の下流側に位置して、クリーニングローラ機構からパネルを搬出するためのパネル搬出部とが備えられ、パネル搬入部及びパネル搬出部には、パネルを挟持して搬送するためのニップローラ対が備えられていることを特徴とするパネル用クリーニング装置。   A panel transport path is provided on the machine body. In this transport path, a cleaning roller mechanism for cleaning the surface of the panel on the transport path by rotational driving, and an upstream side of the cleaning roller mechanism, A panel carry-in unit for carrying the panel into the cleaning roller mechanism and a panel carry-out unit for carrying out the panel from the cleaning roller mechanism located on the downstream side of the cleaning roller mechanism are provided. The panel cleaning device is characterized in that the portion is provided with a pair of nip rollers for sandwiching and transporting the panel. クリーニングローラ機構が、パネルの両面を同時にクリーニングするための一対のクリーニングローラから構成されていることを特徴とする請求項１に記載のパネル用クリーニング装置。   2. The panel cleaning apparatus according to claim 1, wherein the cleaning roller mechanism includes a pair of cleaning rollers for simultaneously cleaning both surfaces of the panel. クリーニングローラ機構が、帯状のクリーニングテープをローラ本体のローラ面に螺旋状に巻き付けて構成していることを特徴とする請求項１または２に記載のパネル用クリーニング装置。   3. The panel cleaning device according to claim 1, wherein the cleaning roller mechanism is configured by winding a belt-like cleaning tape around the roller surface of the roller body in a spiral shape. クリーニングローラ機構が、クリーニングテープをローラ本体のローラ面に対して面ファスナを介して着脱可能に取り付けていることを特徴とする請求項１、２または３に記載のパネル用クリーニング装置。   4. The panel cleaning device according to claim 1, wherein the cleaning roller mechanism detachably attaches the cleaning tape to the roller surface of the roller body via a surface fastener. クリーニングローラ機構の近傍に、洗浄液をパネルに吹きつけるための洗浄液噴射部が設けられていることを特徴とする請求項１、２、３または４に記載のパネル用クリーニング装置。   5. The panel cleaning apparatus according to claim 1, wherein a cleaning liquid ejecting section for spraying a cleaning liquid onto the panel is provided in the vicinity of the cleaning roller mechanism.
JP2005273480A 2005-09-21 2005-09-21 Panel cleaning apparatus Pending JP2007083140A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005273480A JP2007083140A (en) 2005-09-21 2005-09-21 Panel cleaning apparatus

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005273480A JP2007083140A (en) 2005-09-21 2005-09-21 Panel cleaning apparatus

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2007083140A true JP2007083140A (en) 2007-04-05

Family

ID=37970664

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2005273480A Pending JP2007083140A (en) 2005-09-21 2005-09-21 Panel cleaning apparatus

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2007083140A (en)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107497758A (en) * 2017-09-11 2017-12-22 惠科股份有限公司 Multi-size glass substrate cleaning equipment
CN108655069A (en) * 2018-05-16 2018-10-16 芜湖众梦电子科技有限公司 A kind of circulating device for cleaning mould

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107497758A (en) * 2017-09-11 2017-12-22 惠科股份有限公司 Multi-size glass substrate cleaning equipment
WO2019047420A1 (en) * 2017-09-11 2019-03-14 惠科股份有限公司 Device and system for cleaning multiple sized glass substrates
CN107497758B (en) * 2017-09-11 2019-10-22 惠科股份有限公司 Multi-size glass substrate cleaning equipment
US11344932B2 (en) 2017-09-11 2022-05-31 HKC Corporation Limited Device and system for cleaning glass substrates with different dimensions
CN108655069A (en) * 2018-05-16 2018-10-16 芜湖众梦电子科技有限公司 A kind of circulating device for cleaning mould

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4796889B2 (en) Panel washing machine and washing method
TWI505393B (en) Substrate processing device
JP6644578B2 (en) Optical film transport and recovery apparatus, optical film manufacturing system, and optical film transport and recovery method
TW200407201A (en) Substrate treatment apparatus and substrate washing method
TWI595974B (en) A jet processing apparatus for processing a peripheral portion of a substrate, and a jet processing method using the apparatus
JP4909611B2 (en) Substrate cleaning processing apparatus and cleaning processing method
TWI593470B (en) Substrate processing apparatus, substrate processing method, substrate manufacturing apparatus, and substrate manufacturing method
JP2007184391A (en) Method and apparatus of conveying substrate
JP2007083140A (en) Panel cleaning apparatus
KR101999406B1 (en) Labyrinth seal, cleaning unit and method, and solution film-forming method
JP4732249B2 (en) Circuit board cleaning apparatus and circuit board cleaning method
JP6029087B2 (en) Sheet glass article separation device
JP2000254605A (en) Cleaning device for flexible substrate
CN110087784B (en) Foreign matter removing device and foreign matter removing method
KR20190053277A (en) Corona treatment method
TW202327810A (en) Dedusting device, sander and method for dedusting a workpiece
CN103028582A (en) Water removing system of film workpiece
JP2004203668A (en) Acid treatment equipment for plate
KR20190013498A (en) Device for preventing dust scattering and substrate machining apparatus having the same
JP2988828B2 (en) Substrate drainer / dryer
JP6552363B2 (en) Substrate drying apparatus and substrate processing apparatus
JP2009233820A (en) Blasting method and device
JP2013134406A (en) Production system for optical display device
JP2001104897A (en) Device and method for ultrasonic washing
JP2005028327A (en) Cleaning device