JP2007080545A - Manufacturing method of organic electroluminescent display device - Google Patents

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敏文 冨松
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a manufacturing method of an organic EL display device free from coating unevenness in case a light-emitting layer is formed in an ink-jet system. <P>SOLUTION: Pixels 20 are arranged in length and breadth directions in a lattice shape on an array substrate 10, and luminous materials are discharged from nozzles 36 of ink-jet heads 52, 54 at positions corresponding to the respective pixels 20 to form a luminous layer. The luminous layer is formed by discharging a luminous material on the array substrate 10 while moving the first head 52 along a first diagonal line direction A, and then as a next process, the luminous material is discharged on the array substrate 10 while moving the second head 54 along a second diagonal line direction B to overcoat the luminous material. <P>COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Description

本発明は、インクジェット方式等の選択塗布方式で発光層を形成する有機ＥＬ表示装置に関するものである。   The present invention relates to an organic EL display device in which a light emitting layer is formed by a selective coating method such as an ink jet method.

最近のインクジェット方式による塗工方法が発達し、有機ＥＬ表示装置における画素の発光層の塗工に用いられている。   A recent inkjet coating method has been developed and used for coating a light emitting layer of a pixel in an organic EL display device.

例えば、特許文献１には、有機ＥＬ表示装置の画素にインクジェットヘッドのノズルから第１の方向に断続的に発光材料を吐出して発光層を形成し、さらに、他の色の発光層を形成する発光材料を第１の方向とほぼ直交する第２の方向にノズルから断続的に吐出して発光層を形成する製造方法が提案されている。
特開２００３−１０９７５４号公報 For example, in Patent Document 1, a light emitting layer is formed by ejecting a light emitting material intermittently in a first direction from a nozzle of an inkjet head to a pixel of an organic EL display device, and further, a light emitting layer of another color is formed. There has been proposed a manufacturing method in which a light emitting material is formed by intermittently discharging a light emitting material from a nozzle in a second direction substantially orthogonal to the first direction.
JP 2003-109754 A

しかし、上記のようなインクジェット方式等の選択塗布方式で発光層を形成する製造方法の場合に、隣接する画素同士の塗工ムラを低減することが難しく、この塗工ムラが点灯の際に輝度ムラとして現れることがある。   However, in the case of a manufacturing method in which a light emitting layer is formed by a selective coating method such as the ink jet method as described above, it is difficult to reduce coating unevenness between adjacent pixels. May appear as unevenness.

そこで、本発明は上記問題点に鑑み、選択塗布方式で発光層を形成する場合に塗工ムラが発生しない有機ＥＬ表示装置の製造方法を提供する。   In view of the above problems, the present invention provides a method for manufacturing an organic EL display device that does not cause uneven coating when a light emitting layer is formed by a selective coating method.

請求項１に係る発明は、アレイ基板上に画素が格子状に縦横に配置された有機ＥＬ表示装置であって、前記各画素に対応する位置に選択塗布ヘッドのノズルから発光材料をそれぞれ吐出して各画素に発光層を形成する有機ＥＬ表示装置の製造方法において、前記アレイ基板の第１の対角線方向である第１の方向に沿って前記選択塗布ヘッドを移動しながら前記発光材料を吐出させて前記各画素に発光層を形成する工程と、前記アレイ基板の第２の対角線方向である第２の方向に沿って前記選択塗布ヘッドを移動しながら前記発光材料を吐出させて前記各画素の前記発光層の上にさらに前記発光材料を上塗りする工程と、を有することを特徴とする有機ＥＬ表示装置の製造方法である。   The invention according to claim 1 is an organic EL display device in which pixels are arranged vertically and horizontally in a grid pattern on an array substrate, and a light emitting material is discharged from a nozzle of a selective application head to a position corresponding to each pixel. In the method of manufacturing an organic EL display device in which a light emitting layer is formed on each pixel, the light emitting material is ejected while moving the selective coating head along a first direction which is a first diagonal direction of the array substrate. Forming a light emitting layer on each pixel, and discharging the light emitting material while moving the selective application head along a second direction which is a second diagonal direction of the array substrate. And a step of overcoating the light-emitting material on the light-emitting layer.

請求項２に係る発明は、アレイ基板上に画素が格子状に縦横に配置された有機ＥＬ表示装置であって、前記各画素に対応する位置に選択塗布ヘッドのノズルから発光材料をそれぞれ吐出して各画素に発光層を形成する有機ＥＬ表示装置の製造方法において、前記アレイ基板の第１の方向に沿って前記選択塗布ヘッドを移動しながら前記発光材料を吐出させて前記各画素に発光層を形成する工程と、前記アレイ基板の前記第１の方向と直交する第２の方向に沿って前記選択塗布ヘッドを移動しながら前記発光材料を吐出させて前記各画素の前記発光層の上にさらに前記発光材料を上塗りする工程と、を有することを特徴とする有機ＥＬ表示装置の製造方法である。   The invention according to claim 2 is an organic EL display device in which pixels are arranged vertically and horizontally in a grid pattern on an array substrate, and a light emitting material is discharged from a nozzle of a selective application head to a position corresponding to each pixel. In the method of manufacturing an organic EL display device in which a light emitting layer is formed on each pixel, the light emitting material is ejected while moving the selective coating head along the first direction of the array substrate to cause each pixel to emit a light emitting layer. And forming the light emitting material on the light emitting layer of each pixel by discharging the light emitting material while moving the selective coating head along a second direction orthogonal to the first direction of the array substrate. And a step of overcoating the luminescent material.

本発明の有機ＥＬ表示装置の製造方法であると、第１の方向に沿って選択塗布ヘッドを移動しながら発光材料を吐出させて発光層を形成し、この第１の方向とは異なる第２の方向に沿って選択塗布ヘッドを移動しながら発光材料を吐出させて上塗りすることにより、発光材料の塗工ムラが発生しない。そのため、点灯の際に輝度ムラも発生しない。   In the manufacturing method of the organic EL display device of the present invention, the light emitting material is ejected while moving the selective coating head along the first direction to form the light emitting layer, and the second direction is different from the first direction. When the selective coating head is moved along the direction, the light emitting material is discharged and overcoating is performed, so that uneven coating of the light emitting material does not occur. Therefore, luminance unevenness does not occur when lighting.

図２は、有機ＥＬ表示装置の一部構造を概略的に示す縦断面図であり、ここでは特に一画素分で、かつ、発光層を形成する前のアレイ基板１０の縦断面図を示している。   FIG. 2 is a longitudinal sectional view schematically showing a partial structure of the organic EL display device, and here, in particular, shows a longitudinal sectional view of the array substrate 10 for one pixel and before forming the light emitting layer. Yes.

アレイ基板１０上には、走査線と、この走査線に直交するように配置された信号線と、信号線と走査線との交点付近に配置されたスイッチング素子である画素ＴＦＴ（薄膜トランジスタ）と、画素ＴＦＴを介して信号線に接続される駆動トランジスタと称す）１４と、駆動トランジスタ１４に接続された画素２０を有している。   On the array substrate 10, a scanning line, a signal line arranged perpendicular to the scanning line, a pixel TFT (thin film transistor) which is a switching element arranged near the intersection of the signal line and the scanning line, And a pixel 20 connected to the drive transistor 14 (referred to as a drive transistor connected to the signal line via the pixel TFT).

ガラス基板から構成された支持基板１２上にこれら画素ＴＦＴ、駆動トランジスタ１４が形成され、ここではトップゲート構造の薄膜トランジスタを採用している。これらＴＦＴは、支持基板１２上に形成されたポリシリコン半導体層Ｐと、このポリシリコン半導体層Ｐと第１絶縁膜１６を介して配置されたゲート電極Ｇと、第１絶縁膜１６と第２絶縁膜１８を介してポリシリコン半導体層Ｐのソース領域にコンタクトしたソース電極Ｓと、第１絶縁膜１６及び第２絶縁膜１８を介してポリシリコン半導体層Ｐのドレイン領域にコンタクトしたドレイン電極Ｄを備えている。画素ＴＦＴのソース電極は信号線に接続され、ゲート電極は走査線に接続される。また、画素ＴＦＴのドレイン電極は、駆動トランジスタ１４のゲート電極Ｇに接続される。駆動トランジスタ１４のソース電極Ｓは定電位端子に接続され、ドレイン電極Ｄは画素２０の下部電極２６に接続する。   The pixel TFT and the drive transistor 14 are formed on a support substrate 12 made of a glass substrate, and a thin film transistor having a top gate structure is employed here. These TFTs include a polysilicon semiconductor layer P formed on the support substrate 12, a gate electrode G disposed via the polysilicon semiconductor layer P and the first insulating film 16, a first insulating film 16 and a second insulating film 16. A source electrode S in contact with the source region of the polysilicon semiconductor layer P through the insulating film 18 and a drain electrode D in contact with the drain region of the polysilicon semiconductor layer P through the first insulating film 16 and the second insulating film 18 It has. The source electrode of the pixel TFT is connected to the signal line, and the gate electrode is connected to the scanning line. The drain electrode of the pixel TFT is connected to the gate electrode G of the drive transistor 14. The source electrode S of the driving transistor 14 is connected to the constant potential terminal, and the drain electrode D is connected to the lower electrode 26 of the pixel 20.

画素２０は、第２絶縁膜１８の上に配置された第３絶縁膜２２の上に配置されている。すなわち、画素２０の下部電極２６が第３絶縁膜２２の上層に形成され、第３絶縁膜２２に設けられているコンタクトホール２８によって駆動トランジスタ１４のドレイン電極Ｄと接続されている。下部電極２６は、光透過性導電材料であるＩＴＯ（Ｉｎｄｉｕｍ Ｔｉｎ Ｏｘｉｄｅ）で形成され、ここでは陽極として機能している。   The pixel 20 is disposed on the third insulating film 22 disposed on the second insulating film 18. That is, the lower electrode 26 of the pixel 20 is formed in the upper layer of the third insulating film 22 and is connected to the drain electrode D of the driving transistor 14 through the contact hole 28 provided in the third insulating film 22. The lower electrode 26 is made of ITO (Indium Tin Oxide), which is a light transmissive conductive material, and functions as an anode here.

この下部電極２６の上層にはアクリル樹脂よりなる隔壁２４が形成されている。隔壁２４は横方向に隣接する画素２０を区画する。このアクリル樹脂で形成された隔壁２４を形成するには、ＵＶ光でマスク露光する。   A partition wall 24 made of an acrylic resin is formed on the upper layer of the lower electrode 26. The partition wall 24 partitions adjacent pixels 20 in the horizontal direction. In order to form the partition wall 24 made of this acrylic resin, mask exposure is performed with UV light.

隔壁２４の開口により露出された下部電極２６の上に、少なくとも発光層を含む光活性層が積層される。この光活性層は、下部電極２６に対向配置された陰極の上部電極（不図示）との間に挟持されるものである。この光活性層は、ＲＧＢ各色共通に形成されるホール輸送層、エレクトロン輸送層、及び各色毎に形成される有機発光層の多層構造で構成されてもよいし、または、各層が機能的に複合された層構造で形成されてもよい。本実施形態では、ホール輸送層３０と有機発光層３２の二層で構成されている。   A photoactive layer including at least a light emitting layer is stacked on the lower electrode 26 exposed through the opening of the partition wall 24. This photoactive layer is sandwiched between an upper electrode (not shown) of the cathode disposed opposite to the lower electrode 26. This photoactive layer may be composed of a multilayer structure of a hole transport layer, an electron transport layer, and an organic light emitting layer formed for each color, or each layer is functionally combined. It may be formed with a layered structure. In the present embodiment, the hole transport layer 30 and the organic light emitting layer 32 are constituted by two layers.

ホール輸送層３０は、芳香族アミン誘導体やポリチオフェン誘導体、ポリアニリン誘導体より形成され、有機発光層は赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）に発光する有機化合物によって形成されている。この有機発光層３２は、例えば高分子系材料を採用する場合には、ＰＰＶ（ポリパラフェニデンビニデン）やポリフルオレン誘導体またはその前駆体などを積層して構成されている。   The hole transport layer 30 is formed of an aromatic amine derivative, a polythiophene derivative, or a polyaniline derivative, and the organic light emitting layer is formed of an organic compound that emits red (R), green (G), or blue (B). For example, when a polymer material is employed, the organic light emitting layer 32 is configured by laminating PPV (polyparaphenidene vinylidene), a polyfluorene derivative, or a precursor thereof.

このホール輸送層３０と有機発光層３２を形成には、まず、インクジェット方式によりホール輸送層３０を形成する材料を滴下する。次に、その上に有機発光層３２を形成する発光材料を滴下する。   In forming the hole transport layer 30 and the organic light emitting layer 32, first, a material for forming the hole transport layer 30 is dropped by an ink jet method. Next, a light emitting material for forming the organic light emitting layer 32 is dropped thereon.

有機発光層３２を形成するためのインクジェット方式の塗工装置について図１に基づいて説明する。   An ink jet type coating apparatus for forming the organic light emitting layer 32 will be described with reference to FIG.

アレイ基板１０を載置するためのテーブル５０が設けられている。このテーブル５０の対角線の方向の外方には、それぞれ第１のインクジェットヘッド（第１のヘッドという）５２と、第２のインクジェットヘッド（第２のヘッドという）５４が配置されている。第１のヘッド５２は、塗工したいアレイ基板１０の対角線方向Ｂの長さと同じ幅を有し、その下面に赤色、緑色、青色の各発光材料を吐出するためのノズル３６が幅方向に沿って並べられている。第２のヘッド５４も同様の構成を有している。   A table 50 for mounting the array substrate 10 is provided. A first ink-jet head (referred to as a first head) 52 and a second ink-jet head (referred to as a second head) 54 are respectively arranged outside the diagonal direction of the table 50. The first head 52 has the same width as the length in the diagonal direction B of the array substrate 10 to be coated, and nozzles 36 for discharging red, green, and blue light emitting materials on the lower surface thereof along the width direction. Are lined up. The second head 54 has a similar configuration.

第１のヘッド５２は、テーブル５０に載置されたアレイ基板１０の第１の対角線方向Ａに沿って移動する。   The first head 52 moves along the first diagonal direction A of the array substrate 10 placed on the table 50.

第２のヘッド５４は、前記第１の対角線方向Ａと交わる第２の対角線方向Ｂに沿って移動するものであり、第１の対角線方向Ａと第２の対角線方向Ｂの交わる角度をθとする。また、第１のヘッド５２及び第２のヘッド５４ともに、ノズル３６とアレイ基板１０の距離は、約３００μｍに設定されている。   The second head 54 moves along a second diagonal direction B that intersects the first diagonal direction A, and the angle at which the first diagonal direction A and the second diagonal direction B intersect is θ. To do. In both the first head 52 and the second head 54, the distance between the nozzle 36 and the array substrate 10 is set to about 300 μm.

次に、このインクジェット方式の塗工装置を用いた有機発光層３２を形成する工程について説明する。   Next, the process of forming the organic light emitting layer 32 using this inkjet type coating apparatus will be described.

図１に示すように下部電極２６の上に隔壁２４を形成したアレイ基板１０を、テーブル５０の上に載置する。   As shown in FIG. 1, the array substrate 10 in which the partition wall 24 is formed on the lower electrode 26 is placed on the table 50.

次に、第１のヘッド５２を、第１の対角線方向Ａに沿って移動させながら、発光材料を間欠的に画素２０に相当する位置に吐出する。この場合に、第１のヘッド５２の移動速度に合わせて、赤色の画素２０Ｒの位置には、赤色の発光材料を吐出するノズル３６Ｒが吐出し、緑色のノズル３６Ｇが緑色の画素２０Ｇにきたときに緑色の発光材料を吐出し、青色のノズル３６Ｂが緑色の画素２０Ｂにきたときに青色の発光材料を吐出する。また、図１に示すように、アレイ基板１０の角部において塗布する画素２０の数が少ないため、第１のヘッド５２の中央部でかつ必要なノズル３６のみ発光材料を吐出し、移動とともにその吐出するノズル３６の数を次第に増やし、アレイ基板１０のほぼ中央部、即ち第２の対角線方向Ｂの位置にきたときに第１のヘッド５２の幅方向にある全てのノズル３６から発光材料を吐出させる。その後、第１のヘッド５２の移動とともに逆に吐出するノズル３６の数を次第に減らし、アレイ基板１０の反対側の角部において最小の数とする。そして、１回目の塗工を終了させる。   Next, while moving the first head 52 along the first diagonal direction A, the light emitting material is intermittently ejected to a position corresponding to the pixel 20. In this case, when the nozzle 36R that discharges the red light emitting material discharges to the position of the red pixel 20R according to the moving speed of the first head 52, and the green nozzle 36G reaches the green pixel 20G. The green light emitting material is discharged to the blue pixel 36B, and when the blue nozzle 36B comes to the green pixel 20B, the blue light emitting material is discharged. Further, as shown in FIG. 1, since the number of pixels 20 to be applied at the corners of the array substrate 10 is small, the light emitting material is discharged only at the central portion of the first head 52 and the necessary nozzles 36, and as the movement is performed, The number of nozzles 36 to be ejected is gradually increased, and the light emitting material is ejected from all nozzles 36 in the width direction of the first head 52 when it reaches the substantially central portion of the array substrate 10, that is, the position in the second diagonal direction B. Let Thereafter, the number of nozzles 36 that are discharged in reverse with the movement of the first head 52 is gradually reduced to a minimum number at the opposite corner of the array substrate 10. Then, the first coating is finished.

次に、この第１のヘッド５２による塗工が済んだ後に、第２のヘッド５４を第２の対角線方向Ｂに沿って移動させる。この塗工方法は第１のヘッド５２と同様である。   Next, after the coating by the first head 52 is completed, the second head 54 is moved along the second diagonal direction B. This coating method is the same as that of the first head 52.

このようにすることで画素２０毎に、第１のヘッド５２によって塗工された第１の発光層の上に、第２のヘッド５４から吐出された発光材料が上塗りされることにより、塗工ムラが線状に視認されることを抑制でき、塗工ムラの視認を抑制することができる。   In this way, the light emitting material discharged from the second head 54 is overcoated on the first light emitting layer coated by the first head 52 for each pixel 20, thereby applying the coating. It is possible to suppress the unevenness from being visually recognized, and to suppress the visual recognition of the coating unevenness.

また、信号線の配線方向と所定の角度を持って塗布するため、筋状のムラの視認を低減することも可能となる。   In addition, since application is performed at a predetermined angle with respect to the wiring direction of the signal lines, it is possible to reduce the visibility of streaky unevenness.

そのため、このアレイ基板１０を用いた有機ＥＬ表示装置を点灯させた場合に、輝度ムラが発生を効果的に抑制することが可能となる。   Therefore, when the organic EL display device using the array substrate 10 is turned on, it is possible to effectively suppress the occurrence of luminance unevenness.

なお、上述の実施形態においては、対角線方向に沿って塗布したがこれに限定されず、アレイ基板の一辺に対して所定の角度をもっと方向に沿ってスキャンしても同様の効果を得ることができる。   In the above-described embodiment, coating is performed along the diagonal direction, but the present invention is not limited to this, and the same effect can be obtained by scanning a predetermined angle along one direction with respect to one side of the array substrate. it can.

また、上述の実施形態においては、ヘッドの幅とヘッドの長軸方向と平行なアレイ基板の幅とを一致させたが、これに限定されず、ヘッドの幅を幅狭とし、同一方向に複数回スキャンすることにより全面に塗布してもよい。   In the above embodiment, the width of the head and the width of the array substrate parallel to the major axis direction of the head are matched. However, the present invention is not limited to this. You may apply | coat to the whole surface by scanning once.

また、個々のパネルに対応するアレイ基板に塗布することを例にとり説明したが、複数のパネルを一のアレイ基板上に形成するものであってもよい。   Moreover, although it demonstrated taking as an example apply | coating to the array substrate corresponding to each panel, you may form a some panel on one array substrate.

なお、ホール輸送層３０も有機発光層３２の塗工前に同様に塗工している。このように他の光活性層にも本発明を適用することができる。   The hole transport layer 30 is also applied in the same manner before the organic light emitting layer 32 is applied. Thus, the present invention can be applied to other photoactive layers.

また、インクジェット方式について説明したが、他の選択塗布方式を用いてもよい。   Further, although the ink jet method has been described, other selective coating methods may be used.

次に、図３に基づいて第２の実施形態の有機ＥＬ表示装置の製造方法について説明する。   Next, a method for manufacturing the organic EL display device according to the second embodiment will be described with reference to FIG.

本実施形態と第１の実施形態の異なる点は、第１のヘッド５２と第２のヘッド５４の配置の仕方にある。   The difference between this embodiment and the first embodiment lies in the arrangement of the first head 52 and the second head 54.

図３に示すように本実施形態では、第１のヘッド５２がアレイ基板１０のＹ軸方向に沿って移動し、第２のヘッド５４がＸ軸方向に沿って移動する。即ち、第１のヘッド５２と第２のヘッド５４が直交するように移動する。   As shown in FIG. 3, in this embodiment, the first head 52 moves along the Y-axis direction of the array substrate 10, and the second head 54 moves along the X-axis direction. That is, the first head 52 and the second head 54 move so as to be orthogonal.

本実施形態においても、１つの画素について発光材料が２回塗工されることとなり、アレイ基板１０全体において塗工ムラが発生しない。そのため、点灯時に輝度ムラも発生しない。   Also in the present embodiment, the light emitting material is applied twice for one pixel, and coating unevenness does not occur in the entire array substrate 10. Therefore, luminance unevenness does not occur when lighting.

上記各実施形態では、移動方向毎に第１のヘッド５２及び第２のヘッド５４を設けたが、これに代えて、ヘッドは１個だけ設け、各塗工が終わった場合にテーブル５０をθ度または９０度回転させ、１つのヘッドで２方向の塗工を可能にしてもよい。   In each of the above embodiments, the first head 52 and the second head 54 are provided for each movement direction. Instead of this, only one head is provided and the table 50 is set to θ when each coating is finished. It may be rotated by 90 degrees or 90 degrees to enable coating in two directions with one head.

本発明の第１の実施形態の製造方法を示す平面図である。It is a top view which shows the manufacturing method of the 1st Embodiment of this invention. 有機ＥＬ表示装置における画素部分の拡大縦断面図である。It is an expansion longitudinal cross-sectional view of the pixel part in an organic electroluminescence display. 第２の実施形態の製造方法を示す平面図である。It is a top view which shows the manufacturing method of 2nd Embodiment.

符号の説明Explanation of symbols

１０ アレイ基板
１４ 駆動トランジスタ
２０ 画素
２４ 隔壁
３０ ホール輸送層
３２ 有機発光層
５０ テーブル
５２ 第１のヘッド
５４ 第２のヘッド
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Array substrate 14 Drive transistor 20 Pixel 24 Partition 30 Hole transport layer 32 Organic light emitting layer 50 Table 52 1st head 54 2nd head

Claims (6)

アレイ基板上に画素が格子状に縦横に配置された有機ＥＬ表示装置であって、前記各画素に対応する位置に選択塗布ヘッドのノズルから発光材料をそれぞれ吐出して各画素に発光層を形成する有機ＥＬ表示装置の製造方法において、
前記アレイ基板の第１の対角線方向である第１の方向に沿って前記選択塗布ヘッドを移動しながら前記発光材料を吐出させて前記各画素に発光層を形成する工程と、
前記アレイ基板の第２の対角線方向である第２の方向に沿って前記選択塗布ヘッドを移動しながら前記発光材料を吐出させて前記各画素の前記発光層の上にさらに前記発光材料を上塗りする工程と、
を有する
ことを特徴とする有機ＥＬ表示装置の製造方法。 An organic EL display device in which pixels are arranged vertically and horizontally in a grid pattern on an array substrate, and a light emitting material is ejected from a nozzle of a selective coating head to a position corresponding to each pixel to form a light emitting layer on each pixel In the manufacturing method of the organic EL display device,
Forming a light emitting layer on each pixel by discharging the light emitting material while moving the selective application head along a first direction which is a first diagonal direction of the array substrate;
The light emitting material is discharged while moving the selective application head along a second direction which is a second diagonal direction of the array substrate, and the light emitting material is further coated on the light emitting layer of each pixel. Process,
A method for producing an organic EL display device, comprising: アレイ基板上に画素が格子状に縦横に配置された有機ＥＬ表示装置であって、前記各画素に対応する位置に選択塗布ヘッドのノズルから発光材料をそれぞれ吐出して各画素に発光層を形成する有機ＥＬ表示装置の製造方法において、
前記アレイ基板の第１の方向に沿って前記選択塗布ヘッドを移動しながら前記発光材料を吐出させて前記各画素に発光層を形成する工程と、
前記アレイ基板の前記第１の方向と直交する第２の方向に沿って前記選択塗布ヘッドを移動しながら前記発光材料を吐出させて前記各画素の前記発光層の上にさらに前記発光材料を上塗りする工程と、
を有する
ことを特徴とする有機ＥＬ表示装置の製造方法。 An organic EL display device in which pixels are arranged vertically and horizontally in a grid pattern on an array substrate, and a light emitting material is ejected from a nozzle of a selective coating head to a position corresponding to each pixel to form a light emitting layer on each pixel In the manufacturing method of the organic EL display device,
Forming the light emitting layer on each pixel by discharging the light emitting material while moving the selective coating head along the first direction of the array substrate;
The light emitting material is ejected while moving the selective coating head along a second direction orthogonal to the first direction of the array substrate, and the light emitting material is further coated on the light emitting layer of each pixel. And a process of
A method for producing an organic EL display device, comprising: 移動方向毎に異なる選択塗布ヘッドを備え、
前記一の選択塗布ヘッドで前記第１の方向で塗工した後、前記他の選択塗布ジェットで前記第２の方向を塗工する
ことを特徴とする請求項１または２記載の有機ＥＬ表示装置の製造方法。 Equipped with different selective application heads for each moving direction,
The organic EL display device according to claim 1, wherein the second direction is applied by the other selective application jet after coating by the first selective application head in the first direction. Manufacturing method. 前記アレイ基板は回転自在なテーブルの上に載置され、
前記選択塗布ヘッドで前記第１の方向を塗工した後、前記テーブルを所定角度回転させ、同一の前記選択塗布ヘッドで前記第２の方向を塗工する
ことを特徴とする請求項１または２記載の有機ＥＬ表示装置の製造方法。 The array substrate is placed on a rotatable table,
The first direction is applied by the selective application head, and then the table is rotated by a predetermined angle, and the second direction is applied by the same selective application head. The manufacturing method of the organic electroluminescence display of description. 前記画素がＲ、Ｇ、Ｂの三色あり、
前記２方向の塗工を前記色毎に行う
ことを特徴とする請求項１または２記載の有機ＥＬ表示装置の製造方法。 The pixel has three colors of R, G, and B,
The method of manufacturing an organic EL display device according to claim 1, wherein the coating in the two directions is performed for each color. 前記画素がＲ、Ｇ、Ｂの三色あり、
前記２方向の塗工を三色同時に行う
ことを特徴とする請求項１または２記載の有機ＥＬ表示装置の製造方法。
The pixel has three colors of R, G, and B,
The method for manufacturing an organic EL display device according to claim 1, wherein the three colors are applied simultaneously in three colors.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2009144912A1 (en) 2008-05-29 2009-12-03 パナソニック株式会社 Organic electroluminescent display and manufacturing method therefor
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