JP2007079225A - 波長変換素子の接続方法および接続部材 - Google Patents
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Abstract
【課題】 波長変換素子の導波路とモード径が異なる光ファイバとの接続において、接続損失を低減する。
【解決手段】 周期分極反転構造を有する擬似位相整合型波長変換素子19に形成されている導波路23と光ファイバ14とを接続する接続部材15であって、導波路23と光学的に結合され、導波路23のモード径と一致する端面と、光ファイバ14と光学的に結合され、光ファイバ14のモード径と一致する端面とを有するモードサイズ変換用導波路22を備えた。
【選択図】 図4
【解決手段】 周期分極反転構造を有する擬似位相整合型波長変換素子19に形成されている導波路23と光ファイバ14とを接続する接続部材15であって、導波路23と光学的に結合され、導波路23のモード径と一致する端面と、光ファイバ14と光学的に結合され、光ファイバ14のモード径と一致する端面とを有するモードサイズ変換用導波路22を備えた。
【選択図】 図4
Description
本発明は、波長変換素子の接続方法および接続部材に関し、より詳細には、波長変換素子に形成された導波路と光ファイバとを光学的に結合するための波長変換素子の接続方法および接続部材に関する。
従来、光の波長を変換する波長変換素子として、半導体光増幅器を応用した素子、四光波混合を利用する素子、二次非線形光学効果である第二高調波発生、和周波発生、差周波発生を利用した波長変換素子等が知られている(例えば、特許文献1参照)。この中で、ニオブ酸リチウム(以下、LNという)を用いた擬似位相整合型波長変換素子(以下、QPM−LN素子という)は、QPM−LN素子に入力する1つまたは2つの波長の入射光の組み合わせと、周期的な分極反転構造の周期を変化させることによって、任意の波長の変換光を取り出すことができる。QPM−LN素子を用いた光源により、可視光領域または中赤外領域におけるレーザ光源の実用化が期待されている。
QPM−LN素子を用いた光源のモジュール化のためには、1つまたは2つの半導体レーザの出力する励起光を、光ファイバを介してQPM−LN素子の導波路に入射することが必要である。そこで、半導体レーザが1つの場合は、出力用のファイバピグテイルを有する半導体レーザを用意し、ファイバピグテイルをQPM−LN素子の導波路に接続する。半導体レーザが2つの場合は、入出力用の光ファイバを備えた波長合分波器により、2つの励起光を合波して、QPM−LN素子の導波路に接続する。それぞれ、光ファイバと導波路との接続は、レンズを用いた光学系により、光学的に結合していた。
例えば、波長560nmである黄緑色の可視光を発生するためには、波長1.3μmの半導体レーザと波長0.98μmの半導体レーザとから出力された励起光を、波長合波器を用いて合波して、QPM−LN素子の導波路に入射する。QPM−LN素子の和周波発生によって得られた変換光を取り出すことにより、可視光を出力する。
しかしながら、レンズを用いた光学系の光回路は、レンズ部品、レンズ部品をYAG溶接するためのホルダ、金属フェルールなどの部品点数が多く、モジュール化のための作業工程が煩雑であるという問題があった。また、レンズ部品等の個々の部品の値段が高く、モジュールの低価格化が難しいという問題もあった。
さらに、上述した波長560nmの光源を構成する場合、波長1.3μmの励起光と波長0.98μmの励起光との波長のひらきが大きいために、光強度の1/e2で定義されるモード径の差が大きい。従って、QPM−LN素子の導波路に結合する場合において、モード径の大きさが異なることによる損失が発生する。また、波長のひらきが大きいために、レンズの収差によって結合最適位置が波長により異なるという問題もあった。
本発明は、このような問題に鑑みてなされたもので、その目的とするところは、波長変換素子の導波路とモード径が異なる光ファイバとの接続損失が小さな接続方法および接続部材を提供することにある。
本発明は、このような目的を達成するために、請求項1に記載の発明は、周期分極反転構造を有する擬似位相整合型波長変換素子に形成されている導波路と光ファイバとを接続する波長変換素子の接続方法であって、前記導波路のモード径と前記光ファイバのモード径とを一致させるモードサイズ変換用光回路を介して接続することを特徴とする。
請求項2に記載の発明は、周期分極反転構造を有する擬似位相整合型波長変換素子に形成されている導波路と光ファイバとを接続する接続部材であって、前記導波路と光学的に結合され、前記導波路のモード径と一致する端面と、前記光ファイバと光学的に結合され、前記光ファイバのモード径と一致する端面とを有するモードサイズ変換用導波路を備えたことを特徴とする。
請求項3に記載の発明は、請求項2に記載の前記モードサイズ変換用導波路は、石英基板上に形成されたテーパ導波路であることを特徴とする。
請求項4に記載の発明は、請求項2に記載の前記モードサイズ変換用導波路は、シリコン基板上に形成されたテーパ導波路であることを特徴とする。
請求項5に記載の発明は、請求項2に記載の前記モードサイズ変換用導波路は、高比屈折率差光ファイバであり、前記光ファイバとテーパ状の融着接続部を介して接続されていることを特徴とする。
請求項6に記載の発明は、請求項2ないし5のいずれかに記載の接続部材において、前記擬似位相整合型波長変換素子に形成されている導波路は、リッジ型導波路であり、高比屈折率差導波路であることを特徴とする。
請求項7に記載の発明は、請求項2ないし5のいずれかに記載の前記光ファイバは、偏波保持ファイバであることを特徴とする。
以上説明したように、本発明によれば、擬似位相整合型波長変換素子に形成されている導波路のモード径と光ファイバのモード径とを一致させるモードサイズ変換用光回路を介して接続するので、接続損失を低減させることが可能となる。
以下、図面を参照しながら本発明の実施形態について詳細に説明する。
図1に、本発明の実施例1にかかる波長変換素子の接続方法を示す。波長変換素子16の導波路は、モードサイズ変換用の光回路であるPLC15を介して、光ファイバ固定部材11に固定された光ファイバ14と接続される。
図2に、光ファイバ固定部材11の断面を示す。光ファイバ固定部材11は、深さ175μmのV溝21が形成された、石英またはパイレックス(登録商標)製の基板12と、やとい13とにより構成されている。V溝21には、外径125μmの光ファイバ14が把持され、接着剤によって固定され、基板12上部には、やとい13が接着剤によって固定されている。やとい13は、光ファイバ固定部材11とPLC15との接合面積を大きくするための部材である。V溝21両側の斜面とやとい13の底面とにより形成される三角形の中に、円形の光ファイバ14が3点で支持されるように固定されている。
光ファイバ14は、QPM−LN素子の導波路に入射される偏波面を一定にするために、偏波保持ファイバを用いるのが望ましい。さらに、波長0.98μmにおいて、単一モード条件が満たされるような偏波保持ファイバ(以下、980PANDAファイバという)を用いるのが望ましい。980PANDAファイバを導波する1.3μm光のモード径は10μm程度であるのに対し、0.98μm光のモード径は8μm程度である。
図3に、波長変換素子16の断面を示す。波長変換素子16は、ベース基板17上に、QPM−LN素子19が接着剤によって固定されており、その上部には、やとい18が接着剤によって固定されている。QPM−LN素子19には、リッジ構造の導波路23が形成されている。やとい18は、波長変換素子16とPLC15との接合面積を大きくするための部材である。
ベース基板17またはやとい18に用いる部材は、熱膨張係数がLNの値17×10−6(1/K)に近い部材が、接着応力を少なくする意味で望ましい。熱膨張係数が極端に異なる場合、例えば、石英ガラス(熱膨張係数<10×10−7)を用いた場合、接着後の温度上昇または冷却によって導波路に熱ひずみが発生し、最悪の場合には、導波路が破損する恐れがある。LN基板を用いることがもっとも望ましいが、タンタル酸リチウム(以下、LTという)基板(熱膨張係数15×10−6)、または多成分ガラス(例えば、住田光学PFK85、PFK75ガラス)などを用いることができる。
ベース基板17またはやとい18の厚さは、1mm以上2mm以下であることが望ましい。好適な例としては、1.5mmのLT基板を用いることが好ましい。1mmより薄いと強度が十分でなく、端面研磨を行う研磨冶具に固定した際に破損する恐れがある。また、2mmよりも厚い基板は、値段が高価となり部材費がかかるとともに、導波路への熱伝導が阻害されて、導波路の温度コントロールが精密に行えなくなる。QPM−LN素子19の厚さが500μm程度あるので、ベース基板17を1.5mm厚とし、やとい18を1mm厚とし、端面接着に預かる部材全体の厚さ3mmとするのがもっとも好ましい。
図4に、実施例1にかかる接続部の詳細を示す。波長変換素子16の端面は、斜め12度にカットして研磨されている。相対するPLC15の端面は斜め18度に研磨されている。これは、QPM−LN素子19の屈折率が2.1であるのに対して、石英ガラスの屈折率が1.48であり、スネルの法則で満足される光の伝播方向に導波路の向きを一致させるためである。また、導波路端面を斜めにカットすることにより、端面での反射戻り光を少なくすることができる。
PLC15は、石英基板またはシリコン基板上に作製された石英系平面型光波回路である。PLC15内部に作製されたコア22は埋め込み構造であり、図中にコア22の大きさを点線で示している。PLC15内部のコア22の大きさは、光ファイバ14に結合する側が細く、QPM−LN素子19の導波路23に結合する側が太い構造となっている。
光ファイバ固定部材11の端面は、斜め8度にカットして研磨され、相対するPLC15の端面も斜め8度にカットして研磨されている。垂直にカットされている場合、石英ガラスの屈折率を1.5とすると、フレネル反射によって光ファイバ14の端面から4%(14dB)の反射戻り光が発生する。40dB以上の反射減衰量を得るためには、8度より大きい角度で、端面を斜めにカットする必要がある。
図5に、実施例1にかかる接続部の光の強度分布の計算結果を示す。ここで、PLC15のコアとクラッドの比屈折率差(Δn)を0.75%とし、光ファイバ14の比屈折率差(Δn)を0.3%とした。図5(a)は、PLC15と光ファイバ固定部材11との接続部におけるPLC15側の光の強度分布である。PLC15のコア22の幅2a=1.2μm、高さ2d=6μmとしたときの、波長1.3μmの光の強度分布の計算結果を等高線で示してある。相対する光ファイバ14側の光の強度分布を図5(b)に合わせて示す。PLC15のコア幅を1.2μmと細くする事によって、波長1.3μmの光の強度が、コア22からしみだす割合が多くなり、光ファイバ14のモード径におよそ一致していることが理解できる。その結果、結合損失は−0.05dBと見積もられる。
図5(c)は、PLC15と波長変換素子16との接続部におけるPLC15側の光の強度分布である。コア幅2a=6μm、高さ2d=6μmとしたときの、波長1.3μmの光の強度分布の計算結果を等高線で示してある。これに対し、QPM−LN素子19の導波路23は、図3に示したようにリッジ構造を有しており、コアの周りの3方向が屈折率1.5の接着剤に囲まれている超高比屈折率差Δn=28%の導波路である。このような導波路23における波長1.3μmの光のモード径は、ほぼ導波路サイズと同じである。本実施形態では、QPM−LN素子19の導波路23の大きさを、7×7μm程度としたときに、最も接続損失を小さくすることができる。
このようにして、テーパ導波路を用いたモードサイズ変換を行うことによって、QPM−LN素子19の導波路23と光ファイバ14とを直接接続する場合と比較して、大幅に接続損失を低減させることができる。従って、QPM−LN素子19において、波長変換に寄与する励起光量が増大し、高効率の波長変換を達成することができる。
図6に、実施例2にかかるQPM−LN素子の製造方法を示す。実施例2おいては、ZnドープLiNbO3を用いてリッジ導波路型のQPM−LN素子19を作製する。最初に、予め周期分極反転構造が作製されているZカットZnドープLiNbO3基板41と、ZカットMgドープLiNbO3基板42とを用意する。基板41,42は、いずれも両面が光学研磨されてある3インチウエハであり、厚さは500μmである。
基板41,42の表面を通常の酸洗浄またはアルカリ洗浄によって親水性にした後、2つの基板を清浄雰囲気中で重ね合わせる。重ね合わせた基板を電気炉に入れ、500℃で3時間熱処理することにより接合を行う(第1の工程)。接合された基板はボイドフリーであり、室温に戻してもクラックなどは発生しない。次に、グラインダなどの研削装置および研磨装置を用いて、基板41の厚さが8μmになるまで薄膜化する。基板41の研磨加工の後に、ポリッシング加工を行うことにより、鏡面の研磨表面を得る(第2の工程)。
次に、研磨された薄膜基板をダイシングソーにセットし、粒子径が4ミクロン以下のダイアモンドブレードを用いた精密加工により、コア幅7μmのリッジ導波路を作製する(第3の工程)。ダイシング加工によって形成された溝43a,43bは、深さは20μm程度である。溝43a,43bの深さは、コアの膜厚、すなわち7μmよりも深いことが望ましい。コアの膜厚よりも浅い場合には、導波路進行方向の溝加工深さのわずかな変動により、導波路の等価屈折率が変化するので、発生する位相整合条件のずれによって変換効率が劣化するからである。好適な溝43a,43bの深さは、コアの膜厚の2倍程度から40μm以下である。40μmを超えて深く加工することは、導波路自体の機械的強度が劣化するからである。作製された基板を短冊状に切りだし、導波路端面を光学研磨することにより、長さ20mmのQPM−LN素子19が得られる。
なお、予め周期分極反転構造が作製されているZカットZnドープLiNbO3基板41と、LT基板とを用いてもよい。また、ノンドープLiNbO3基板とLT基板とを用いてもよいし、ZカットMgドープLiNbO3基板とLT基板とを組み合わせても、QPM−LN素子19を作製することができる。
基板の厚さは、500μmに限らず、厚さ200μm以上1mm以下の基板を用いることができる。基板厚さが200μm以下の場合には、基板自体のソリによって接合時に接合界面にボイドが発生する恐れがある。また、1mmより厚い基板を用いた場合には、基板自体の材料費が高くなり、製造原価を押し上げる原因となる。
実施例2においても、実施例1と同じくコアとクラッドの比屈折率差Δn=0.75%のPLC15により、QPM−LN素子19の導波路23と光ファイバ14とを接続する。PLC15は、光ファイバ14に接続される側のコア幅が1.2μm、導波路23に接続される側のコア幅が6μm、高さが6μmであり、コア幅がテーパ状に変化する。
光ファイバ14とコア22との接続損失が小さくなるように調芯したのち、UV接着材によって、PLC15および光ファイバ固定部材11を接着固定する。このとき、波長1.3μmの光の接続損失は0.05dBである。次に、コア22と導波路23との接続損失が小さくなるように調芯したのち、波長変換素子16を接着固定する。このときの調芯には、波長1.3μmの光と波長0.98μmの光をファイバカプラで合波して光ファイバ14に入射する。QPM−LN素子19の和周波発生によって生じる560nmの黄緑光をモニタしながら、出力が最大となる調芯位置で波長変換素子16とPLC15とを接着固定する。
波長1.3μm、30mWの光と、波長0.98μm、70mWの光とを入力すると、波長560nm、25mWの出力光が得られ、1200%/W以上の高い変換効率を得ることができる。
なお、比屈折率差Δn=1.5%のPLC15を用いることもできる。980PANDAファイバである光ファイバ14と接続される側のコア幅を1.0μm、高さを4.5μmとしたとき、結合損失を最小にすることができる。QPM−LN素子19の導波路23に接続される側のコア幅を4.5μm、高さを4.5μmとし、導波路23のコアサイズを5×5μmとすることにより、2000%/Wの波長変換効率を得ることができる。
図7に、本発明の実施例3にかかる波長変換素子の接続方法を示す。実施例3では、モードサイズ変換用の光回路として、PLCの代わりに、高比屈折率差光ファイバを用いる。QPM−LN素子19の導波路23は、光ファイバ固定部材51に固定された高比屈折率差光ファイバ54と接続される。光ファイバ固定部材51は、V溝55が形成された、石英またはパイレックス(登録商標)製の基板52と、やとい(図示しない)とにより構成されている。波長変換素子16の端面は、斜め12度にカットして研磨されている。相対する光ファイバ固定部材51の端面は斜め18度に研磨されている。
高比屈折率差光ファイバ54は、980PANDAファイバ62と融着接続されている。融着接続部63は、TEC加工により、コア径が緩やかに変化するようにテーパ状に加工され、補強部材61によって固定されている。図7は、光ファイバのコア径が融着接続部63で変化する様子を概念的に示しており、光ファイバの外径は図示していない。
高比屈折率差光ファイバ54は、Δn=1.9%であり、波長1.3μmの光のモード径は5.0μmである。従って、QPM−LN素子19の導波路23のコアサイズは、5×5μmとすると、最も接続損失を小さくすることができる。
波長1.3μm、30mWの光と、波長0.98μm、70mWの光とを入力すると、波長560nm、25mWの出力光が得られ、1200%/W以上の高い変換効率を得ることができる。また、Δn=2.2%の高比屈折率差光ファイバ54を使用した場合には、導波路23のコアサイズは4×4μmとなり、2000%/Wの変換効率を得ることができる。さらに、Δn=3.7%の高比屈折率差光ファイバ54を使用した場合には、導波路23のコアサイズは3×3μmとなり、2500%/Wの変換効率を得ることができる。
11,51 光ファイバ固定部材
12,52 基板
13,18 やとい
14 光ファイバ
15 PLC
16 波長変換素子
17 ベース基板
19 QPM−LN素子
21,55 V溝
22 コア
23 導波路
54 高比屈折率差光ファイバ
61 補強部材
62 980PANDAファイバ
63 融着接続部
12,52 基板
13,18 やとい
14 光ファイバ
15 PLC
16 波長変換素子
17 ベース基板
19 QPM−LN素子
21,55 V溝
22 コア
23 導波路
54 高比屈折率差光ファイバ
61 補強部材
62 980PANDAファイバ
63 融着接続部
Claims (7)
- 周期分極反転構造を有する擬似位相整合型波長変換素子に形成されている導波路と光ファイバとを接続する波長変換素子の接続方法であって、
前記導波路のモード径と前記光ファイバのモード径とを一致させるモードサイズ変換用光回路を介して接続することを特徴とする波長変換素子の接続方法。 - 周期分極反転構造を有する擬似位相整合型波長変換素子に形成されている導波路と光ファイバとを接続する接続部材であって、
前記導波路と光学的に結合され、前記導波路のモード径と一致する端面と、前記光ファイバと光学的に結合され、前記光ファイバのモード径と一致する端面とを有するモードサイズ変換用導波路を備えたことを特徴とする接続部材。 - 前記モードサイズ変換用導波路は、石英基板上に形成されたテーパ導波路であることを特徴とする請求項2に記載の接続部材。
- 前記モードサイズ変換用導波路は、シリコン基板上に形成されたテーパ導波路であることを特徴とする請求項2に記載の接続部材。
- 前記モードサイズ変換用導波路は、高比屈折率差光ファイバであり、前記光ファイバとテーパ状の融着接続部を介して接続されていることを特徴とする請求項2に記載の接続部材。
- 前記擬似位相整合型波長変換素子に形成されている導波路は、リッジ型導波路であり、高比屈折率差導波路であることを特徴とする請求項2ないし5のいずれかに記載の接続部材。
- 前記光ファイバは、偏波保持ファイバであることを特徴とする請求項2ないし5のいずれかに記載の接続部材。
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Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009145423A (ja) * | 2007-12-11 | 2009-07-02 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 波長変換モジュール |
CN103246022A (zh) * | 2012-02-09 | 2013-08-14 | 博创科技股份有限公司 | 可插拔式平面光波导器件及其制作方法 |
JP6227069B1 (ja) * | 2016-07-27 | 2017-11-08 | 富士通オプティカルコンポーネンツ株式会社 | 光変調器 |
WO2021044517A1 (ja) * | 2019-09-03 | 2021-03-11 | 日本電信電話株式会社 | 光導波路部品 |
Citations (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01134309A (ja) * | 1987-11-19 | 1989-05-26 | Fujitsu Ltd | 光導波路の製造方法 |
JPH01288802A (ja) * | 1988-05-17 | 1989-11-21 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 光導波路及びその製造方法 |
JPH0218505A (ja) * | 1988-07-06 | 1990-01-22 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 光ファイバ及び光ファイバの接続方法 |
JPH0269702A (ja) * | 1988-09-06 | 1990-03-08 | Fujikura Ltd | 導波路とその製造方法および光スイッチ |
JPH0293605A (ja) * | 1988-09-30 | 1990-04-04 | Hikari Gijutsu Kenkyu Kaihatsu Kk | 導波路の製造方法 |
JPH0364707A (ja) * | 1989-08-02 | 1991-03-20 | Hitachi Cable Ltd | スポットサイズ変換光ファイバの製造方法 |
JPH05215945A (ja) * | 1991-06-28 | 1993-08-27 | Alcatel Cit | 横方向異方性の光ファイバを備えた装置及び該装置の製造方法 |
JPH05281443A (ja) * | 1992-03-31 | 1993-10-29 | Toshiba Corp | 光結合方法 |
JPH0627355A (ja) * | 1992-05-08 | 1994-02-04 | American Teleph & Telegr Co <Att> | 非対称光ビームを伴う装置に光ファイバーを結合するための集積光学パッケージ |
US5402511A (en) * | 1993-06-11 | 1995-03-28 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Army | Method of forming an improved tapered waveguide by selectively irradiating a viscous adhesive resin prepolymer with ultra-violet light |
JPH09218321A (ja) * | 1996-02-14 | 1997-08-19 | Fujitsu Ltd | 光デバイスと光導波路の集積法 |
JPH1090564A (ja) * | 1996-09-18 | 1998-04-10 | Totoku Electric Co Ltd | 光ファイバ心線およびその接続端部形成方法 |
US5930423A (en) * | 1997-07-15 | 1999-07-27 | Lucent Technologies Inc. | Semiconductor optical waveguide devices with integrated beam expander coupled to flat fibers |
JP2002156539A (ja) * | 2001-09-28 | 2002-05-31 | Nec Corp | 光導波路 |
JP2002196196A (ja) * | 2000-08-11 | 2002-07-10 | Alcatel | 光モジュールにおける高効率結合のためのモードフィールド変換器 |
JP2002267861A (ja) * | 2001-03-13 | 2002-09-18 | Toshiba Corp | 光導波路、光モジュール、光ファイバレーザ装置 |
JP2002318318A (ja) * | 2001-04-20 | 2002-10-31 | Toshiba Corp | 光導波路およびその光導波路の作製方法、その光導波路を用いた光モジュール |
JP2003140214A (ja) * | 2001-11-02 | 2003-05-14 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 波長変換素子用薄膜基板の製造方法及び波長変換素子の製造方法 |
-
2005
- 2005-09-15 JP JP2005268296A patent/JP2007079225A/ja active Pending
Patent Citations (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01134309A (ja) * | 1987-11-19 | 1989-05-26 | Fujitsu Ltd | 光導波路の製造方法 |
JPH01288802A (ja) * | 1988-05-17 | 1989-11-21 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 光導波路及びその製造方法 |
JPH0218505A (ja) * | 1988-07-06 | 1990-01-22 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 光ファイバ及び光ファイバの接続方法 |
JPH0269702A (ja) * | 1988-09-06 | 1990-03-08 | Fujikura Ltd | 導波路とその製造方法および光スイッチ |
JPH0293605A (ja) * | 1988-09-30 | 1990-04-04 | Hikari Gijutsu Kenkyu Kaihatsu Kk | 導波路の製造方法 |
JPH0364707A (ja) * | 1989-08-02 | 1991-03-20 | Hitachi Cable Ltd | スポットサイズ変換光ファイバの製造方法 |
JPH05215945A (ja) * | 1991-06-28 | 1993-08-27 | Alcatel Cit | 横方向異方性の光ファイバを備えた装置及び該装置の製造方法 |
JPH05281443A (ja) * | 1992-03-31 | 1993-10-29 | Toshiba Corp | 光結合方法 |
JPH0627355A (ja) * | 1992-05-08 | 1994-02-04 | American Teleph & Telegr Co <Att> | 非対称光ビームを伴う装置に光ファイバーを結合するための集積光学パッケージ |
US5402511A (en) * | 1993-06-11 | 1995-03-28 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Army | Method of forming an improved tapered waveguide by selectively irradiating a viscous adhesive resin prepolymer with ultra-violet light |
JPH09218321A (ja) * | 1996-02-14 | 1997-08-19 | Fujitsu Ltd | 光デバイスと光導波路の集積法 |
JPH1090564A (ja) * | 1996-09-18 | 1998-04-10 | Totoku Electric Co Ltd | 光ファイバ心線およびその接続端部形成方法 |
US5930423A (en) * | 1997-07-15 | 1999-07-27 | Lucent Technologies Inc. | Semiconductor optical waveguide devices with integrated beam expander coupled to flat fibers |
JP2002196196A (ja) * | 2000-08-11 | 2002-07-10 | Alcatel | 光モジュールにおける高効率結合のためのモードフィールド変換器 |
JP2002267861A (ja) * | 2001-03-13 | 2002-09-18 | Toshiba Corp | 光導波路、光モジュール、光ファイバレーザ装置 |
JP2002318318A (ja) * | 2001-04-20 | 2002-10-31 | Toshiba Corp | 光導波路およびその光導波路の作製方法、その光導波路を用いた光モジュール |
JP2002156539A (ja) * | 2001-09-28 | 2002-05-31 | Nec Corp | 光導波路 |
JP2003140214A (ja) * | 2001-11-02 | 2003-05-14 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 波長変換素子用薄膜基板の製造方法及び波長変換素子の製造方法 |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009145423A (ja) * | 2007-12-11 | 2009-07-02 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 波長変換モジュール |
CN103246022A (zh) * | 2012-02-09 | 2013-08-14 | 博创科技股份有限公司 | 可插拔式平面光波导器件及其制作方法 |
JP6227069B1 (ja) * | 2016-07-27 | 2017-11-08 | 富士通オプティカルコンポーネンツ株式会社 | 光変調器 |
JP2018017880A (ja) * | 2016-07-27 | 2018-02-01 | 富士通オプティカルコンポーネンツ株式会社 | 光変調器 |
US10082683B2 (en) | 2016-07-27 | 2018-09-25 | Fujitsu Optical Components Limited | Optical modulator that is formed using ferroelectric substrate |
WO2021044517A1 (ja) * | 2019-09-03 | 2021-03-11 | 日本電信電話株式会社 | 光導波路部品 |
JPWO2021044517A1 (ja) * | 2019-09-03 | 2021-03-11 | ||
JP7356048B2 (ja) | 2019-09-03 | 2023-10-04 | 日本電信電話株式会社 | 光導波路部品 |
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|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
A02 | Decision of refusal |
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