JP2007064726A - 電気光学パネルの検査装置および電気光学パネルの検査方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】 電気光学パネルの表面が検査基準面に対して傾いている場合であっても、正確な2次元配光分布を取得して適正な検査を行うことが可能な電気光学パネルの検査装置および電気光学パネルの検査方法を提供すること。
【解決手段】 検査装置1は、液晶パネル40を保持するステージ47と、検査基準面65に垂直な方向からレーザ光を照射するレーザ光源60と、液晶パネル40の表示光、および液晶パネル40の表面による反射レーザ光の2次元配光分布に基づく受光画像データを出力する2次元配光測定手段44と、受光画像データを補正するデータ処理手段403とを備える。前記補正は、受光画像データの座標を、反射レーザ光の受光像の重心座標を始点とし、検査基準座標を終点とする位置ベクトルの分だけ平行移動するものである。ここで、検査基準座標は、レーザ光が検査基準面で反射したと仮定したときの反射成分の受光像の座標とする。
【選択図】 図4
【解決手段】 検査装置1は、液晶パネル40を保持するステージ47と、検査基準面65に垂直な方向からレーザ光を照射するレーザ光源60と、液晶パネル40の表示光、および液晶パネル40の表面による反射レーザ光の2次元配光分布に基づく受光画像データを出力する2次元配光測定手段44と、受光画像データを補正するデータ処理手段403とを備える。前記補正は、受光画像データの座標を、反射レーザ光の受光像の重心座標を始点とし、検査基準座標を終点とする位置ベクトルの分だけ平行移動するものである。ここで、検査基準座標は、レーザ光が検査基準面で反射したと仮定したときの反射成分の受光像の座標とする。
【選択図】 図4
Description
本発明は、液晶パネルや有機EL(Electro Luminescence)パネル等の電気光学パネルを検査するための検査装置、および電気光学パネルの検査方法に関する。
この種の検査装置の一つとして、電気光学パネルから射出される表示光強度の2次元配光分布(表示光の成分の3次元的な進行方向に対する光強度の分布を2次元座標系に表したもの)を測定可能な検査装置が知られている(特許文献1参照)。この検査装置は、表示光の2次元配光分布を分析することにより、電気光学パネルの視野角特性や組ずれの程度について検査することができる。
しかしながら、こうした検査装置は、電気光学パネルの表面が検査基準面に平行に設置されているという前提で検査を行うため、電気光学パネルの表面が検査基準面から傾斜していた場合に、2次元配光分布がこの傾斜の分だけ実際より偏っているかのような検査結果が得られてしまうという問題点があった。そして、こうした傾斜は、電気光学パネルが傾いた状態でケースに固定されたり、検査時に電気光学パネルの下に異物が挟まるなどの原因によって頻繁に起こり得る現象であり、このような傾斜に起因する検査精度の低下を改善する手段の開発が望まれていた。
以上の問題点に鑑みて、本発明の課題は、電気光学パネルの表面が検査基準面に対して傾いている場合であっても、正確な2次元配光分布を取得して適正な検査を行うことが可能な電気光学パネルの検査装置および電気光学パネルの検査方法を提供することにある。
本発明による電気光学パネルの検査装置は、電気光学パネルを検査基準面と略平行な状態に保持する保持手段と、前記保持手段によって保持された前記電気光学パネルに対し、前記検査基準面に垂直な方向からレーザ光を照射するレーザ光源と、前記保持手段によって保持された前記電気光学パネルの外部回路接続端子に対して電気的に接続する位置に可動であり、前記外部回路接続端子に対して検査用駆動信号を供給するプローブと、前記保持手段によって保持された前記電気光学パネルから射出された表示光と、前記レーザ光の前記電気光学パネルの表面による反射成分である反射レーザ光とを受光するとともに、受光された前記表示光および前記反射レーザ光の2次元配光分布に基づく受光画像データを出力する2次元配光測定手段と、入力された前記受光画像データを補正し、補正画像データとして出力するデータ処理手段とを備え、前記補正は、前記受光画像データの座標を、前記受光画像データにおける前記反射レーザ光の受光像の重心座標を始点とし、前記受光画像データにおける検査基準座標を終点とする位置ベクトルの分だけ平行移動するものであり、前記検査基準座標は、前記レーザ光が前記検査基準面で反射したと仮定したときの反射成分の受光像の重心座標であることを特徴とする。
上記の検査装置は、電気光学パネルを保持手段によって保持した状態で、プローブから外部回路接続端子を介して検査用駆動信号を供給し、電気光学パネルを表示させる。また、レーザ光源からのレーザ光を、検査基準面と垂直な方向から電気光学パネルに照射し、電気光学パネルの表面によって反射させる。2次元配光測定手段は、電気光学パネルの表示光の2次元配光分布、および反射レーザ光の2次元配光分布に基づく受光画像データを出力する。ここで、電気光学パネルの表面が検査基準面から傾いている場合は、平行である場合に対して、受光画像データにおける2次元配光分布にずれが生じる。このずれの大きさおよび方向は、反射レーザ光の受光像の重心座標と上記検査基準座標とを結ぶ位置ベクトルで表されるので、データ処理手段はこれらの2点が重なるように受光画像データを補正する。当該補正は、受光画像データの座標を上記位置ベクトルに基づいて平行移動して行われる。この補正によって、2次元配光分布全体のずれも是正される。
ここで、2次元配光測定手段は、表示光の2次元配光分布を測定可能な光学系を備える。この光学系は、例えば文献2(特公平3−4858号公報)または文献3(特開平8−320273号公報)に開示されているようなものを用いて構成される。
上記のような検査装置によれば、電気光学パネルの表面が検査基準面に対して傾いている場合であっても、反射レーザ光の受光像の重心座標の検査基準座標からのずれ量に基づいて受光画像データを補正することによって、傾きがなかったときと同等の2次元配光分布の画像データ、およびこれに基づく検査結果を得ることができる。すなわち、正確な2次元配光分布を取得して適正な検査を行うことが可能である。また、保持手段およびプローブによって電気光学パネルの設置を自動的に行うとともに、電気光学パネルへの検査用駆動信号の供給も自動的に行うことで、電気光学パネルやプローブの設置に要する手間を大幅に省くことができるため、多数の電気光学パネルの検査を迅速に行うことができる。
上記検査装置において、前記データ処理手段は、前記検査基準面と、前記保持手段によって保持された前記電気光学パネルの表面とがなす角をαとしたときに、入力された前記受光画像データを、前記位置ベクトルの方向にcos2α倍にさらに縮小補正することが好ましい。
受光画像データにおいて、反射レーザ光の受光像は、電気光学パネルの表面が検査基準面から角度αだけ傾いていることに起因して歪み、長軸が短軸に対して1/cos2α倍の長さを有する楕円領域となるが、上記の検査装置によれば、これを真円に補正することができる。このとき、受光画像データに内包されていた、電気光学パネルの傾きに起因する2次元配光分布全体の歪みも同時に是正される。このため、上記構成の検査装置によれば、電気光学パネルの表面が検査基準面に対して傾いている場合であっても、正確な2次元配光分布を取得して適正な検査を行うことができる。
上記検査装置は、前記保持手段によって保持された前記電気光学パネルに対して検査光を照射する光源をさらに備えており、前記表示光は、前記電気光学パネルを透過または反射して射出される前記検査光からなるものであることが好ましい。
このような検査装置によれば、外光を利用して表示を行う電気光学パネル、例えば液晶パネルの2次元配光分布を測定することが可能となる。電気光学パネルとして液晶パネルが用いられる場合、該液晶パネルに照射された検査光は、液晶パネルを透過して、あるいは液晶パネル中の反射膜で反射されて、該液晶パネルの表面から射出される。2次元配光測定手段には、こうして射出された表示光が入射される。
上記検査装置は、前記データ処理手段によって出力された前記補正画像データに基づいて、前記電気光学パネルにおける視野角特性を判定する視野角特性判定手段をさらに備えることが好ましい。
こうした構成において、視野角特性判定手段は、例えば光強度の分布として得られた2次元配光分布に基づいて、各仰角毎にコントラスト比を算出し、算出したコントラスト比の分布に基づいて視野角特性が良好であるか否かについて判定する。好ましくは、視野角特性判定手段は、コントラスト比のピークに対応する仰角が予め定められた基準角度にあれば視野角特性は良好であると判定し、コントラスト比のピークに対応する仰角が予め定められた基準角度でなければ視野角特性は不良であると判定する。このような検査装置によれば、電気光学パネルの視野角特性を自動的に判定することができ、視野角特性の検査を迅速に行うことが可能となる。
本発明による電気光学パネルの検査方法は、2次元配光測定手段およびデータ処理手段を備えた検査装置を用いた電気光学パネルの検査方法であって、表面が検査基準面と略平行な状態となるように配置された前記電気光学パネルに対し、前記検査基準面に垂直な方向からレーザ光を照射する第1のステップと、前記電気光学パネルに対し、検査用駆動信号を供給する第2のステップと、前記2次元配光測定手段が、前記電気光学パネルから射出された表示光と、前記レーザ光の前記電気光学パネルの表面による反射成分である反射レーザ光とを受光するとともに、受光された前記表示光および前記反射レーザ光の2次元配光分布に基づく受光画像データを出力する第3のステップと、前記データ処理手段が、入力された前記受光画像データの座標を、前記受光画像データにおける前記反射レーザ光の受光像の重心座標を始点とし、前記受光画像データにおける検査基準座標を終点とする位置ベクトルの分だけ平行移動させて前記受光画像データを補正し、補正画像データとして出力する第4のステップとを有し、前記検査基準座標は、前記レーザ光が前記検査基準面で反射したと仮定したときの反射成分の受光像の重心座標であることを特徴とする。
上記の検査方法は、まずレーザ光源からのレーザ光を、検査基準面と垂直な方向から電気光学パネルに照射し、電気光学パネルの表面によって反射させる。次に、電気光学パネルに対して検査用駆動信号を供給して、電気光学パネルを表示させる。そして、2次元配光測定手段は、電気光学パネルの表示光の2次元配光分布、および反射レーザ光の2次元配光分布に基づく受光画像データを出力する。ここで、電気光学パネルの表面が検査基準面から傾いている場合は、平行である場合に対して、受光画像データにおける2次元配光分布にずれが生じる。このずれの大きさおよび方向は、反射レーザ光の受光像の重心座標と上記検査基準座標とを結ぶ位置ベクトルで表されるので、データ処理手段はこれらの2点が重なるように受光画像データを補正する。当該補正は、受光画像データの座標を上記位置ベクトルに基づいて平行移動して行われる。この補正によって、2次元配光分布全体のずれも是正される。
このような検査方法によれば、電気光学パネルの表面が検査基準面に対して傾いている場合であっても、反射レーザ光の受光像の重心座標の検査基準座標からのずれ量に基づいて受光画像データを補正することによって、傾きがなかったときと同等の2次元配光分布の画像データ、およびこれに基づく検査結果を得ることができる。すなわち、正確な2次元配光分布を取得して適正な検査を行うことが可能である。また、保持手段およびプローブによって電気光学パネルの設置を自動的に行うとともに、電気光学パネルへの検査用駆動信号の供給も自動的に行うことによって、電気光学パネルやプローブの設置に要する手間を大幅に省くことができるため、多数の電気光学パネルの検査を迅速に行うことができる。
上記検査方法において、前記第4のステップは、前記データ処理手段が、前記検査基準面と前記電気光学パネルの表面とがなす角をαとしたときに、入力された前記受光画像データを、前記位置ベクトルの方向にcos2α倍に縮小補正するステップをさらに含むことが好ましい。
受光画像データにおいて、反射レーザ光の受光像は、電気光学パネルの表面が検査基準面から角度αだけ傾いていることに起因して歪み、長軸が短軸に対して1/cos2α倍の長さを有する楕円領域となるが、上記の検査方法によれば、これを真円に補正することができる。このとき、受光画像データに内包されていた、電気光学パネルの傾きに起因する2次元配光分布全体の歪みも同時に是正される。このため、上記検査方法によれば、電気光学パネルの表面が検査基準面に対して傾いている場合であっても、正確な2次元配光分布を取得して適正な検査を行うことができる。
上記検査方法は、前記データ処理手段によって出力された前記補正画像データに基づいて、前記電気光学パネルにおける視野角特性を判定する第5のステップを有することが好ましい。
こうした検査方法において、上記第5のステップでは、例えば光強度の分布として得られた2次元配光分布に基づいて、各仰角毎にコントラスト比を算出し、算出したコントラスト比の分布に基づいて視野角特性が良好であるか否かについて判定する。好ましくは、コントラスト比のピークに対応する仰角が予め定められた基準角度にあれば視野角特性は良好であると判定し、コントラスト比のピークに対応する仰角が予め定められた基準角度でなければ視野角特性は不良であると判定する。このような検査方法によれば、電気光学パネルの視野角特性を自動的に判定することができ、視野角特性の検査を迅速に行うことが可能となる。
以下、本発明の実施形態について、図面を参照して説明する。本実施形態に係る検査装置1は、「電気光学パネル」としての液晶パネル40を検査するための装置である。
<A.電気光学パネルの構成>
始めに、「電気光学パネル」としての液晶パネル40の構成について、図1および図2を参照して説明する。図1は、TFT(Thin Film Transistor)アレイ基板10を、その上に形成された各構成要素とともに対向基板20の側から見たときの液晶パネル40の平面図であり、図2は、図1中の線分H−H’における側断面図である。液晶パネル40は、駆動回路内蔵型のTFTアクティブマトリクス駆動方式の液晶パネルである。
始めに、「電気光学パネル」としての液晶パネル40の構成について、図1および図2を参照して説明する。図1は、TFT(Thin Film Transistor)アレイ基板10を、その上に形成された各構成要素とともに対向基板20の側から見たときの液晶パネル40の平面図であり、図2は、図1中の線分H−H’における側断面図である。液晶パネル40は、駆動回路内蔵型のTFTアクティブマトリクス駆動方式の液晶パネルである。
図1および図2に示すように、液晶パネル40は、互いに対向して配置されたTFTアレイ基板10と対向基板20とを有する。TFTアレイ基板10と対向基板20との間には液晶50が封入されており、TFTアレイ基板10と対向基板20とは、画像表示領域10aの周囲に位置するシール領域に設けられたシール材52により相互に接着されている。
シール材52は、例えば紫外線硬化樹脂、熱硬化樹脂等からなり、製造プロセスにおいてTFTアレイ基板10上に塗布された後、紫外線照射、加熱等により硬化させられたものである。また、シール材52中には、TFTアレイ基板10と対向基板20との間隔(基板間ギャップ)を所定値とするためのグラスファイバあるいはガラスビーズ等のギャップ材が散布されている。
シール材52が配置されたシール領域の内側に並行して、画像表示領域10aの額縁領域を規定する遮光性の額縁遮光膜53が、対向基板20側に設けられている。ただし、このような額縁遮光膜53の一部または全部は、TFTアレイ基板10側に内蔵遮光膜として設けられてもよい。
周辺領域のうち、シール材52が配置されたシール領域の外側に位置する領域には、データ線駆動回路101および外部回路接続端子102がTFTアレイ基板10の一辺に沿って設けられている。また、走査線駆動回路104は、この一辺に隣接する2辺に沿い、かつ、前記額縁遮光膜53に覆われるようにして設けられている。さらに、このように画像表示領域10aの両側に設けられた二つの走査線駆動回路104間をつなぐため、TFTアレイ基板10の残る一辺に沿い、かつ、前記額縁遮光膜53に覆われるようにして複数の配線105が設けられている。なお、外部回路接続端子102と別に、後述する検査用駆動信号が印加される検査用の端子(不図示)が設けられていてもよい。
また、対向基板20の4つのコーナー部には、TFTアレイ基板10および対向基板20の間の電気的導通を担う上下導通材106が配置されている。他方、TFTアレイ基板10にはこれらのコーナー部に対向する領域において上下導通端子が設けられている。これらにより、TFTアレイ基板10と対向基板20との間で電気的な導通をとることができる。
TFTアレイ基板10上には、画素スイッチング用のTFT30、走査線11a、データ線6a(図3参照)、および画素電極9aが形成されており、また、これらを覆って配向膜が形成されている。他方、対向基板20上には、対向電極21の他、格子状またはストライプ状の遮光膜23、さらには最上層部分に配向膜が形成されている。液晶50は、例えば一種または数種類のネマティック液晶を混合したものであり、上述の一対の配向膜間で、所定の配向状態をとる。TFTアレイ基板10および対向基板20の各々の対向面の背面側には液晶50の配向方向に応じた偏光板(不図示)が設けられる。
<B.画素部における構成>
以下では、液晶パネル40の画素部の構成について、図3を参照して説明する。図3は、液晶パネル40の画像表示領域10aを構成するマトリクス状に形成された複数の画素における各種素子、配線等の等価回路を示した模式図である。
以下では、液晶パネル40の画素部の構成について、図3を参照して説明する。図3は、液晶パネル40の画像表示領域10aを構成するマトリクス状に形成された複数の画素における各種素子、配線等の等価回路を示した模式図である。
図3に示すように、液晶パネル40の画像表示領域10aを構成するマトリクス状に形成された複数の画素には、それぞれ、画素電極9aと当該画素電極9aをスイッチング制御するためのTFT30とが形成されており、画像信号が供給されるデータ線6aが当該TFT30のソースに電気的に接続されている。データ線6aには、データ線駆動回路101から画像信号S1,S2,…,Snがこの順に線順次に供給される。あるいは、相隣接する複数のデータ線6a同士に対して、グループ毎に供給される構成であってもよい。
また、TFT30のゲートにはゲート電極3aが電気的に接続されている。ゲート電極3aには、走査線11aを介して、走査線駆動回路104から所定のタイミングでパルス的に走査信号G1,G2,…,Gmがこの順に線順次で印加される。画素電極9aは、TFT30のドレインに電気的に接続されており、スイッチング素子であるTFT30を一定期間だけ閉じることにより、データ線6aから供給される画像信号S1,S2,…,Snが所定のタイミングで印加される。
上記画像信号S1,S2,…,Snは、画素電極9aおよび対向電極21に挟持された液晶50に印加され、一定期間保持される。
ここで保持された画像信号S1,S2,…,Snがリークするのを防ぐために、画素電極9aと対向電極21との間に形成される液晶容量と並列に蓄積容量70が設けられている。蓄積容量70は、画素電極9aと、定電位に固定された容量電極300との間に設けられている。
液晶50は、印加される電圧レベルに応じて配向状態が変化し、配向状態に応じて透過する光の偏光状態を変化させることができる。液晶パネル40は、この偏光状態の変化を利用して入射光の透過率を変化させることにより、階調表示を含む様々な表示を行うことができる。すなわち、液晶パネル40は、画像信号S1,S2,…,Snに応じた輝度の光を射出して表示を行うことができる。
<C.検査装置の構成>
次に、上述したような液晶パネル40の検査を行うための検査装置1の構成について、図4から図6を参照して説明する。図4は、検査装置1の構成を示す模式図であり、図5は検査装置1に含まれる2次元配光測定手段44の光学系を示す模式図であり、図6(a)および図6(b)は2次元配光分布について説明するための概念図である。
次に、上述したような液晶パネル40の検査を行うための検査装置1の構成について、図4から図6を参照して説明する。図4は、検査装置1の構成を示す模式図であり、図5は検査装置1に含まれる2次元配光測定手段44の光学系を示す模式図であり、図6(a)および図6(b)は2次元配光分布について説明するための概念図である。
図4に示すように、検査装置1は、主要部として、本発明に係る「保持手段」としてのステージ47、複数のプローブ414が設けられたプローブユニット415、光源46、レーザ光源60、2次元配光測定手段44を備える。これらの各構成要素は、以下に説明する他の構成要素と共に筐体43内に収容されている。
ステージ47は、液晶パネル40を保持するための凹部409を有し、該ステージ47を移動させるための移動機構部48によって、筐体43内に水平に支持されている。また、ステージ47には、該ステージ47に保持された液晶パネル40の画像表示領域10aに光源46から射出される検査光を導くための開口部408が設けられている。
上記凹部409のうち、液晶パネル40が載置される平面は、検査基準面65と正確に平行になっている。液晶パネル40は、凹部409に保持される際に、その表面、すなわち画像表示面42が検査基準面65と平行になっていることが望ましい。
ここで、本実施形態で検査される液晶パネル40には、フレキシブルプリント基板41が取り付けられており、防塵ガラス(不図示)等とともにケース内に収容されている。フレキシブルプリント基板41には外部回路接続端子102に接続された複数の信号線が配線されている。
移動機構部48は、ステージ装着部411、ピストンロッド412、エアシリンダ413から構成される。エアシリンダ413は、図示しない空気圧制御装置から供給される作動空気圧によって筐体43内を水平方向に伸縮移動するピストンロッド412を有し、ピストンロッド412の先端には、ステージ装着部411が取り付けられている。このステージ装着部411に、ステージ47は装脱自在に装着される。
ここに、ステージ47はピストンロッド412の伸縮によって、筐体43内を図4中の矢印Aで示すように、スライド可能とされている。筐体43には開閉窓419が設けられており、ステージ47をスライドさせて開閉窓419を押し開くことにより、ステージ47およびこれに載置された液晶パネル40を筐体43の外に露出させることが可能となる。このように露出させた状態における液晶パネル40aおよび開閉窓419aを、図4中の点線にて示してある。
本実施形態では、液晶パネル40が筐体43外に露出した状態で、ステージ47に対して液晶パネル40を装脱させたり、ステージ47そのものをステージ装着部411に対して装脱させることによって、複数種類の液晶パネル40を交換して用いることが可能である。
プローブユニット415は、プローブ移動機構部49によって筐体43内に支持される。プローブユニット415は、フレキシブルプリント基板41に配線された複数の信号線に対応する複数のプローブ414を備えている。筐体43内にはパネル駆動装置39が設けられており、該パネル駆動装置39から出力される検査用駆動信号がプローブユニット415に供給される。そして、プローブユニット415は供給された検査用駆動信号を複数のプローブ414を介してフレキシブルプリント基板41における複数の信号線に供給する。
プローブ移動機構部49は、上述の移動機構部48と同様の構成となっており、プローブユニット装着部416、ピストンロッド417、エアシリンダ418から構成される。エアシリンダ418は、筐体43内を水平面に対して垂直方向に伸縮移動するピストンロッド417を有し、ピストンロッド417の先端には、プローブユニット装着部416が取り付けられている。このプローブユニット装着部416に、プローブユニット415が装脱自在に装着される。プローブユニット415は、プローブ移動機構部49におけるピストンロッド417の伸縮移動により、筐体43内を図4中の矢印Bで示す方向に移動する。矢印Bの方向は、検査基準面65に垂直な方向である。そして、この移動によって複数のプローブ414から検査用駆動信号の供給がフレキシブルプリント基板41における複数の信号線に対して行われる。本実施形態では、プローブユニット装着部416に対してプローブユニット415を装脱させることによって、複数種類のプローブユニット415を交換して用いることが可能である。
また、筐体43内には、液晶パネル40に検査光を照射する光源46が設けられている。光源46は、ファイバ式としてもよいし、レーザ装置や蛍光管を用いて構成してもよい。光源46は、液晶パネル40の下方、すなわちステージ47の下方に配置される。ただし、反射型の電気光学パネルに応用する場合には、光源46はハーフミラー等と共にステージ47の上方に配置される。
ステージ47の上方には、2次元配光測定手段44が配置されている。2次元配光測定手段44は、液晶パネル40の表示光の2次元配光分布を測定可能な、ハーフミラー62を含む光学系を備えている。図4には、2次元配光測定手段44における光学系の光軸45を示してある。光軸45は、検査基準面65に垂直な軸と、この軸に沿って進む光がハーフミラー62によって反射したときの光路に相当する軸とからなる。なお、2次元配光測定手段44の詳細な構成については後述する。
2次元配光測定手段44のさらに上方には、レーザ光源60が配置されている。レーザ光源60は、可視領域の赤色のレーザ光63(図8参照)を出力可能であり、出力されたレーザ光63は、光ファイバ61内を伝わって2次元配光測定手段44内に導かれる。2次元配光測定手段44内に導かれたレーザ光63は、検査基準面65に対して垂直な光路を進み、ハーフミラー62を透過して液晶パネル40の画像表示面42に到達し、一部が反射される。画像表示面42で反射された反射レーザ光64(図8参照)は、ほぼ上記の光軸45に沿って進行し、液晶パネル40の表示光とともに2次元配光測定手段44による測定にかかる。
筐体43の外部には、検査端末402が配置されている。検査端末402は、内部にデータ処理手段403および視野角特性判定手段404を備えている。検査端末402は、ケーブル405によって2次元配光測定手段44と接続されており、2次元配光測定手段44から出力されたデータを取り込み、データ処理手段403および視野角特性判定手段404によって処理する。検査端末402は、パーソナルコンピュータ、ワークステーション等により構成される。
続いて、図4の他、図5および図6を参照して2次元配光測定手段44の構成および機能について説明する。2次元配光測定手段44は、例えば上記文献2または上記文献3に開示されているような2次元配光分布を測定可能な光学系を用いて構成されている。
図5は、2次元配光測定手段44の光学系を示す模式図である。この光学系には、対物レンズ501、リレーレンズ系502、およびフィルタ503が含まれている。また、2次元配光測定手段44には、前述の光学系を透過した光を検出する受光素子としてのCCD(Charge Coupled Device)504が設けられている。なお、図5においては、ハーフミラー62および該ハーフミラー62による光軸45の屈曲は表現されていない。
液晶パネル40の画像表示面42は、図5に示す光学系の対物レンズ501の前側焦点付近に配置される。また、画像表示面42が2次元配光分布の測定面とされる。なお、画像表示面42における測定スポットの径Rは、対物レンズ501の形状によって変化する。本実施形態では、測定スポットの径Rは好ましくは200μm程度とする。
対物レンズ501は、画像表示面42からの射出光、すなわち液晶パネル40の表示光および上述の反射レーザ光64を、その入射角度に応じた位置に集めて後側焦点に結像させる。リレーレンズ系502は、対物レンズ501によって結像された像をフィルタ503を介してCCD504上に縮小して再結像させる。CCD504は、この再結像された光を受光し、その光強度に応じた電気信号に変換して受光画像データとして検査端末402に出力する。
ここで、図6(a)および図6(b)を参照して2次元配光分布について説明する。2次元配光分布は、光の3次元的な進行方向(図6(a))に対する光強度の分布を、図6(b)に示すような2次元座標系に表したものである。光の進行方向は、図6(a)に示すように、方位角φおよび仰角θで表される。方位角φは、測定面上の測定点600を基準としたある方位を0°とし、測定点600を中心とした右回りの回転角として規定される。以下では、φ=90°の位置を左側(L)90°位置、φ=270°の位置を右側(R)90°位置とも呼ぶ。仰角θは、測定点600を中心とする球面に沿って観測点を傾けた場合に、観測点と測定点600とを結ぶ線が、測定面の法線に対してなす角度として規定される。
図6(b)には、CCD504において撮像される2次元配光分布を概略的に示してある。2次元配光分布上では、右回りに方位角φの0°位置、左側(L)90°位置、180°位置、および右側(R)90°位置が規定される。
ここに、図5において、対物レンズ501に入射する、画像表示面42からの射出光が光軸45に対してなす角が仰角θに相当する。該仰角θは、対物レンズ501によって後側焦点面上の距離yに変換され、リレーレンズ系502によって撮像面において距離yに比例する距離とされる。
よって、例えば図6(a)において仰角θ=60°における光強度の分布は、方位角φに応じて仰角0°を示す位置を中心とする円として表される。また、仰角θ=10°における光強度の分布は、仰角θ=60°における光強度の分布を表す円と同心円として、該円より小さい径の円として表される。
<D.検査方法>
次に、図7の工程図、および図8から図12の各図を参照しながら、検査装置1を用いた液晶パネル40の検査方法について説明する。
次に、図7の工程図、および図8から図12の各図を参照しながら、検査装置1を用いた液晶パネル40の検査方法について説明する。
まず、ステップP1では、ステージ47に液晶パネル40を保持させる。このステップは、ステージ47の凹部409に液晶パネル40を載置するステップと、プローブユニット415を動かしてプローブ414をフレキシブルプリント基板41に接触させるステップとを含む。このとき液晶パネル40は、画像表示面42が2次元配光測定手段44における光学系の前側焦点位置に来るように配置されるが、移動機構部48によってステージ47を自動的に移動させることによって、位置決めは容易に行うことができる。
ステップP1の終了時には、液晶パネル40の画像表示面42は、ステージ47の凹部409のうち、液晶パネル40が載置される平面、すなわち検査基準面65と略平行になっている。ただし、画像表示面42は、必ずしも検査基準面65と厳密に平行になっている必要はない。本実施形態では、図8の断面図に示すように、画像表示面42が検査基準面65に対して微小角αだけ平行から傾いている場合を想定する。このような傾きは、液晶パネル40がケースに対して平行に設置されていない場合や、液晶パネル40とステージ47との間に異物が挟まっている場合等において起こり得る。なお、図8においては、説明の便宜上角度αを大きく描いているが、実際の角度αは微小であり、肉眼では認識不能である場合がほとんどである。
続くステップP2では、液晶パネル40の画像表示面42にレーザ光源60から射出されるレーザ光63を照射する。図8に示すように、レーザ光63は、検査基準面65に垂直な方向から画像表示面42に入射し、画像表示面42で反射され、入射方向から2αだけずれた方向に反射レーザ光64として進行する。このステップP2が、本発明における「第1のステップ」に対応する。
次に、ステップP3では、パネル駆動装置39から出力される検査用駆動信号が、プローブ414を介して液晶パネル40に供給される。液晶パネル40は、供給された検査用駆動信号に基づいて、画像表示領域10aにおいて表示が行われる。本実施形態では、検査用駆動信号に基づいて画像表示領域10aにおいて、明状態としての全白表示または暗状態としての全黒表示が行われる。こうして、ステップP3の終了時には、液晶パネル40の画像表示面42からは、検査用駆動信号に基づく表示光と、上述した反射レーザ光64とが射出された状態となる。このステップP3が、本発明における「第2のステップ」に対応する。
続くステップP4では、2次元配光測定手段44に含まれるCCD504が、2次元配光測定手段44の光学系を透過した上記表示光および反射レーザ光64を受光するとともに、これを光の強度に応じた電気信号に変換し、「受光画像データ」として検査端末402に出力する。ここで、受光画像データは、上述したように、図6(b)に示されるような、半径方向を仰角θ、回転角を方位角φとする形式を有する2次元配光分布である。このステップP4が、本発明における「第3のステップ」に対応する。
次に、ステップP5では、検査端末402のデータ処理手段403が、上記受光画像データを補正する。以下、この補正について、図9を用いて説明する。
図9(a)は、検査端末402に入力された(すなわち2次元配光測定手段44から出力された)受光画像データを示す。この図には、反射レーザ光64の受光像83が白抜きの楕円領域として描かれており、その中に、該受光像83の重心座標82が示されている。反射レーザ光64の受光像83が楕円になっている理由は以下の通りである。すなわち、反射レーザ光64は、検査基準面65の法線に対して微小角2αだけ傾いているので、進行方向に垂直な断面が真円であったとしても、検査基準面65に平行な面での断面は楕円となるためである。また、以上から分かるように、当該楕円の長軸は、短軸に対して1/cos2α倍の長さを有する。
一方、受光画像データの座標原点は検査基準座標81であり、これは、レーザ光源60からのレーザ光63が検査基準面65で反射したと仮定したときの反射成分の受光像の重心座標に相当する。よって、液晶パネル40の画像表示面42が検査基準面65と正確に平行であれば、上記重心座標82と検査基準座標81は一致する。本実施形態では、上述したように画像表示面42が検査基準面65に対して微小角αだけ傾いているため、上記重心座標82はこれに起因して検査基準座標81からずれている。以下では、反射レーザ光64の受光像83の重心座標82を始点とし、検査基準座標81を終点とするベクトルを位置ベクトル84とする。ここで、上記反射レーザ光64の受光像83の楕円の長軸は、位置ベクトル84と平行である。
ステップP5における受光画像データの補正は、データ処理手段403によって、図9(a)に示す受光画像データの座標を上記位置ベクトル84の分だけ平行移動するとともに、該受光画像データを位置ベクトル84の方向にcos2α倍に縮小補正するものである。こうした補正をおこなった結果の画像データを示したのが図9(b)である。当該補正によって、反射レーザ光64の受光像83の重心座標82が座標原点に移動する。また、楕円領域であった反射レーザ光64の受光像83が真円に変換される。これに伴って、受光画像データに内包されていた、液晶パネル40の傾きに起因する歪み全体が是正される。この後、補正によって受光画像データの領域から外れた領域85のデータを削除する一方、新たに出現したデータの空白領域86に任意のデータを追加することにより、図9(c)に示す補正画像データが完成する。
こうした補正によれば、液晶パネル40の画像表示面42が検査基準面65に対して傾いていても、画像表示面42の法線方向に射出する光の像が座標原点となるような、かつ当該傾きによる歪みのない2次元配光分布の補正画像データを取得することができる。
ただし、角度αが非常に大きい場合、具体的には角度αが10°を超えるような場合は、上記補正によっても受光画像データの歪みが是正されないことがあるため、検査を中止して液晶パネル40を適切に設置し直すことが望ましい。
続くステップP6では、データ処理手段403が、上記補正画像データを視野角特性判定手段404に出力する。上記ステップP5およびステップP6が、本発明における「第4のステップ」に対応する。
次に、ステップP7では、同一の液晶パネル40に対して全白表示および全黒表示に対応する補正画像データがともに取得されたかどうかの判定が行われる。全白表示または全黒表示のいずれかに対応する補正画像データが未取得の場合は、ステップP3に戻って該補正画像データの取得を行う。
全白表示および全黒表示に対応する補正画像データがともに取得されている場合には、ステップP8において、視野角特性判定手段404による判定が行われる。ステップP8は、図12の工程図に示すステップS1からステップS5をさらに含む。
ここで、ステップP8で用いる2次元配光分布の補正画像データおよび視野角特性曲線について説明する。図10(a)から(c)は、視野角特性判定手段404に入力される補正画像データの一例を示す図であり、図11は、これらのデータをもとに、横軸に仰角θ、縦軸に光強度およびコントラスト比をとったときのグラフである。
図10(a)は、仰角θが0°から30°の範囲における全黒表示の2次元配光分布の補正画像データを示し、図10(c)は、同範囲における全白表示の2次元配光分布の補正画像データを示す。これらの図において、左側(L)135°、右側(R)45°の方位角φに着目したときの、仰角θに対する光強度の分布は、それぞれ図11中の視野角特性曲線802および804として表される。図11においては、左側の方位角φの領域における仰角θを負(−)の値とし、右側の方位角φの領域における仰角θを正(+)の値として示してある。また、全白表示の補正画像データ(図10(c))の各点の光強度を全黒表示の補正画像データ(図10(a))の各点の光強度で割ってコントラスト比を算出したものが図10(b)である。そして、図11中の視野角特性曲線806は、図10(b)において左側(L)135°、右側(R)45°の方位角φに着目したときの、仰角θに対するコントラスト比の分布を示す。なお、図10(a)、(c)中の光強度は、図11における視野角特性曲線804の最大値を100[%]としたときの相対値でプロットされている。また、図10(b)中のコントラスト比は、図11における視野角特性曲線806の最大値を100[%]としたときの相対値でプロットされている。
次に、ステップP8で行われる視野角特性判定手段404による視野角特性の判定について図12を参照して詳述する。
先ず、ステップS1では、視野角特性判定手段404は、入力された2次元配光分布の補正画像データに基づいて、コントラスト比を算出する(図10(b)、図11)。
続いて、ステップS2では、視野角特性判定手段404は、算出したコントラスト比から、コントラスト比のピーク値に略対応する仰角θの中央値を割り出す。ここでは、視野角特性判定手段404は、コントラスト比のピーク値を100[%]とみなした場合に、該最大値の80[%]に対応する2点の仰角θを算出し、この仰角θの中央値を計算する。例えば、図11に示す視野角特性曲線806において、コントラスト比のピーク値の80[%]に対応する仰角θは、約−9°および+7°である。よって、求める仰角θの中央値は−1°となる。
そして、ステップS3では、視野角特性判定手段404は、割り出したコントラスト比のピーク値と対応する仰角θの中央値が基準範囲内か否かについて判定する。検査端末402は、キーボード等の入力装置によって基準範囲を入力および変更可能なように構成されている。入力装置によって入力または変更された所定の角度範囲が基準範囲として設定される。ここでは、上述した手順によって算出した中央値が基準範囲内に入っているか否かについて判定する。
コントラスト比のピーク値と対応する仰角θの中央値が基準範囲内である場合(ステップS3:YES)、視野角特性判定手段404は視野角特性が良好であると判定する(ステップS4)。他方、コントラスト比のピーク値と対応する仰角θの中央値が基準範囲外である場合(ステップS3:NO)、視野角特性判定手段404は視野角特性が不良であると判定する(ステップS5)。
以上が、ステップP8の詳細な内容である。ステップP8が、本発明における「第5のステップ」に対応する。
以上のステップを経て、検査装置1による液晶パネル40の検査が終了する。上記検査方法によれば、液晶パネル40の画像表示面42が検査基準面65に対して傾いていても、反射レーザ光64の受光像83の重心座標82の検査基準座標81からのずれ量に基づいて受光画像データを補正することによって、傾きがなかったときと同等の2次元配光分布の画像データ、およびこれに基づく視野角特性の適正な検査結果を得ることができる。また、上記検査方法によれば、ステージ47およびプローブユニット415によって液晶パネル40の設置を自動的に行うとともに、液晶パネル40への検査用駆動信号の供給も自動的に行うことが可能である。したがって、液晶パネル40やプローブ414の設置に要する手間を大幅に省くことができるため、多数の液晶パネル40の検査を迅速に行うことが可能となる。
以上、本発明の実施形態について説明したが、上記実施形態に対しては、本発明の趣旨から逸脱しない範囲で様々な変形を加えることができる。変形例としては、例えば以下のようなものが考えられる。
(変形例1)
上記実施形態において、視野角特性の判定を、以下のようなランク付けによって行ってもよい。すなわち、図12のステップS3において、コントラスト比のピーク値と対応する仰角θの中央値が基準範囲内である場合は、視野角特性が良好であると判定して、「優」としてランク付けを行う一方で、当該仰角θの中央値が基準範囲外である場合は、視野角特性が不良であると判定するとともに、基準範囲からのずれを算出して、該ずれの値に応じたランク付けを行う。例えば、視野角特性判定手段404には、「優」のほか、「良」に対応する判定範囲、「可」に対応する判定範囲、および「不可」に対応する判定範囲がそれぞれ設定される。
上記実施形態において、視野角特性の判定を、以下のようなランク付けによって行ってもよい。すなわち、図12のステップS3において、コントラスト比のピーク値と対応する仰角θの中央値が基準範囲内である場合は、視野角特性が良好であると判定して、「優」としてランク付けを行う一方で、当該仰角θの中央値が基準範囲外である場合は、視野角特性が不良であると判定するとともに、基準範囲からのずれを算出して、該ずれの値に応じたランク付けを行う。例えば、視野角特性判定手段404には、「優」のほか、「良」に対応する判定範囲、「可」に対応する判定範囲、および「不可」に対応する判定範囲がそれぞれ設定される。
こうした検査方法によれば、視野角特性の判定をより適切に行うことが可能となる。また、液晶パネル40をプロジェクタのライトバルブとして用いる場合、該液晶パネル40の前述のずれの値を予め算出しておくことにより、プロジェクタの画像表示において視野角補償フィルム等を用いて前述したずれにより生じる色むらを抑えた高品質な画像表示を行うことができる。上記検査方法においても、液晶パネル40の画像表示面42が検査基準面65に対して傾いていた場合に、反射レーザ光64の受光像83の重心座標82の検査基準座標81からのずれ量に基づいて受光画像データを補正することによって、傾きがなかったときと同等の2次元配光分布の画像データ、およびこれに基づく視野角特性の適正な検査結果を得ることができる。
(変形例2)
上記実施形態において、視野角特性判定手段404は、視野角特性の判定を、予め設定された基準角度に基づいて行ってもよい。該基準角度の設定は基準範囲の設定と同様に行われるのが好ましい。例えば、視野角特性判定手段404は、前述した中央値が、予め定められた基準角度0°であるか否かについて判定する。具体的には、−9°以上+7°以内の角度範囲における中央値は−1°であるから基準角度とは異なる値となっている。よって、この場合、視野角特性判定手段404によって視野角特性は不良であると判定される。他方、前述した中央値が基準角度0°に等しければ、視野角特性は良好であると判定される。こうした検査方法によれば、視野角特性の判定をより適切に行うことが可能となる。
上記実施形態において、視野角特性判定手段404は、視野角特性の判定を、予め設定された基準角度に基づいて行ってもよい。該基準角度の設定は基準範囲の設定と同様に行われるのが好ましい。例えば、視野角特性判定手段404は、前述した中央値が、予め定められた基準角度0°であるか否かについて判定する。具体的には、−9°以上+7°以内の角度範囲における中央値は−1°であるから基準角度とは異なる値となっている。よって、この場合、視野角特性判定手段404によって視野角特性は不良であると判定される。他方、前述した中央値が基準角度0°に等しければ、視野角特性は良好であると判定される。こうした検査方法によれば、視野角特性の判定をより適切に行うことが可能となる。
(変形例3)
上記実施形態は、本発明を視野角特性の判定のための検査に用いるものであるが、これに代えて、液晶パネル40の組みずれの判定のための検査に用いることもできる。
上記実施形態は、本発明を視野角特性の判定のための検査に用いるものであるが、これに代えて、液晶パネル40の組みずれの判定のための検査に用いることもできる。
液晶パネル40のTFTアレイ基板10および対向基板20は、それぞれ画素部において開口領域が設定されている。TFTアレイ基板10においては、走査線11aおよびデータ線6a等によって設定され、対向基板20においては、遮光膜23等によって設定される。これらの基板を貼り合わせる際に組みずれが生じると、両基板の開口領域の位置がずれる。その結果、開口領域を透過する光は、各画素部の真正面からずれた方向に進行する、指向性を持った光となる。よって、液晶パネル40の表示光強度についての2次元配光分布にも指向性が表れる。
こうした2次元配光分布を所定の基準に沿って判定することにより、液晶パネル40に組みずれが生じているか否かを検査することができる。該検査は、上記実施形態と同様の方法で行うことができる。上記検査方法によれば、液晶パネル40の画像表示面42が検査基準面65に対して傾いていても、反射レーザ光64の受光像83の重心座標82の検査基準座標81からのずれ量に基づいて受光画像データを補正することによって、傾きがなかったときと同等の2次元配光分布の画像データ、およびこれに基づく組みずれの検査結果を得ることができる。
(変形例4)
上記変形例3においては、液晶パネル40に代えて次のようなパネル構造体を用いることも可能である。すなわち、TFTアレイ基板10と対向基板20とを貼り合わされた後の、液晶50の注入前のパネル構造体における組みずれについて検査が行われてもよい。このようにすれば、液晶パネル40の製造工程における歩留まりを向上させることができる。
上記変形例3においては、液晶パネル40に代えて次のようなパネル構造体を用いることも可能である。すなわち、TFTアレイ基板10と対向基板20とを貼り合わされた後の、液晶50の注入前のパネル構造体における組みずれについて検査が行われてもよい。このようにすれば、液晶パネル40の製造工程における歩留まりを向上させることができる。
(変形例5)
上記変形例3においても、上記変形例1と同様に、基準範囲からのずれを算出して、該ずれの値に応じてランク付けを行うようにしてもよい。このようにすれば、組みずれの判定をより適切に行うことができる。
上記変形例3においても、上記変形例1と同様に、基準範囲からのずれを算出して、該ずれの値に応じてランク付けを行うようにしてもよい。このようにすれば、組みずれの判定をより適切に行うことができる。
(変形例6)
上記実施形態および各変形例において、液晶パネル40にレーザ光源60からのレーザ光63を照射するステップ(図7のステップP2に相当)は、液晶パネル40に検査用駆動信号を供給するステップ(図7のステップP3に相当)の後か、またはこれと同時に行ってもよい。こうした方法によっても、上述の実施形態および各変形例と同様の効果を得ることができる。
上記実施形態および各変形例において、液晶パネル40にレーザ光源60からのレーザ光63を照射するステップ(図7のステップP2に相当)は、液晶パネル40に検査用駆動信号を供給するステップ(図7のステップP3に相当)の後か、またはこれと同時に行ってもよい。こうした方法によっても、上述の実施形態および各変形例と同様の効果を得ることができる。
(変形例7)
上記実施形態および各変形例は、TFTをスイッチング素子とするアクティブマトリクス駆動方式の透過型液晶パネル40を検査するものであるが、これに代えて、種々の電気光学パネルの検査に適用することもできる。例えば、液晶パネルとしては、TFD(Thin Film Diode)をスイッチング素子とするもの、パッシブマトリクス駆動方式のもの、液晶50がTN(Twisted Nematic)モードのもの、またはSTN(Super Twisted Nematic)モードのもの、あるいは、反射膜を有するシリコン基板を用いたLCOS(Liquid Crystal on Silicon)等のいずれにも適用することができる。この他にも、有機ELパネル、およびDMD(Digital Micromirror Device)等の検査に適用することも可能である。
上記実施形態および各変形例は、TFTをスイッチング素子とするアクティブマトリクス駆動方式の透過型液晶パネル40を検査するものであるが、これに代えて、種々の電気光学パネルの検査に適用することもできる。例えば、液晶パネルとしては、TFD(Thin Film Diode)をスイッチング素子とするもの、パッシブマトリクス駆動方式のもの、液晶50がTN(Twisted Nematic)モードのもの、またはSTN(Super Twisted Nematic)モードのもの、あるいは、反射膜を有するシリコン基板を用いたLCOS(Liquid Crystal on Silicon)等のいずれにも適用することができる。この他にも、有機ELパネル、およびDMD(Digital Micromirror Device)等の検査に適用することも可能である。
1…検査装置、10…TFTアレイ基板、20…対向基板、40…「電気光学パネル」としての液晶パネル、42…「電気光学パネルの表面」としての画像表示面、43…筐体、44…2次元配光測定手段、46…光源、47…「保持手段」としてのステージ、60…レーザ光源、62…ハーフミラー、63…レーザ光、64…反射レーザ光、65…検査基準面、81…検査基準座標、82…反射レーザ光の受光像の重心座標、83…反射レーザ光の受光像、84…位置ベクトル、102…外部回路接続端子、402…検査端末、403…データ処理手段、404…視野角特性判定手段、414…プローブ、504…CCD。
Claims (7)
- 電気光学パネルを検査基準面と略平行な状態に保持する保持手段と、
前記保持手段によって保持された前記電気光学パネルに対し、前記検査基準面に垂直な方向からレーザ光を照射するレーザ光源と、
前記保持手段によって保持された前記電気光学パネルの外部回路接続端子に対して電気的に接続する位置に可動であり、前記外部回路接続端子に対して検査用駆動信号を供給するプローブと、
前記保持手段によって保持された前記電気光学パネルから射出された表示光と、前記レーザ光の前記電気光学パネルの表面による反射成分である反射レーザ光とを受光するとともに、受光された前記表示光および前記反射レーザ光の2次元配光分布に基づく受光画像データを出力する2次元配光測定手段と、
入力された前記受光画像データを補正し、補正画像データとして出力するデータ処理手段と
を備え、
前記補正は、前記受光画像データの座標を、前記受光画像データにおける前記反射レーザ光の受光像の重心座標を始点とし、前記受光画像データにおける検査基準座標を終点とする位置ベクトルの分だけ平行移動するものであり、
前記検査基準座標は、前記レーザ光が前記検査基準面で反射したと仮定したときの反射成分の受光像の重心座標であることを特徴とする電気光学パネルの検査装置。 - 請求項1に記載の電気光学パネルの検査装置であって、
前記データ処理手段は、前記検査基準面と、前記保持手段によって保持された前記電気光学パネルの表面とがなす角をαとしたときに、入力された前記受光画像データを、前記位置ベクトルの方向にcos2α倍にさらに縮小補正することを特徴とする電気光学パネルの検査装置。 - 請求項1または2に記載の電気光学パネルの検査装置であって、
前記保持手段によって保持された前記電気光学パネルに対して検査光を照射する光源をさらに備えており、
前記表示光は、前記電気光学パネルを透過または反射して射出される前記検査光からなることを特徴とする電気光学パネルの検査装置。 - 請求項1ないし3のいずれか一項に記載の電気光学パネルの検査装置であって、
前記データ処理手段によって出力された前記補正画像データに基づいて、前記電気光学パネルにおける視野角特性を判定する視野角特性判定手段をさらに備えることを特徴とする電気光学パネルの検査装置。 - 2次元配光測定手段およびデータ処理手段を備えた検査装置を用いた電気光学パネルの検査方法であって、
表面が検査基準面と略平行な状態となるように配置された前記電気光学パネルに対し、前記検査基準面に垂直な方向からレーザ光を照射する第1のステップと、
前記電気光学パネルに対し、検査用駆動信号を供給する第2のステップと、
前記2次元配光測定手段が、前記電気光学パネルから射出された表示光と、前記レーザ光の前記電気光学パネルの表面による反射成分である反射レーザ光とを受光するとともに、受光された前記表示光および前記反射レーザ光の2次元配光分布に基づく受光画像データを出力する第3のステップと、
前記データ処理手段が、入力された前記受光画像データの座標を、前記受光画像データにおける前記反射レーザ光の受光像の重心座標を始点とし、前記受光画像データにおける検査基準座標を終点とする位置ベクトルの分だけ平行移動させて前記受光画像データを補正し、補正画像データとして出力する第4のステップと
を有し、
前記検査基準座標は、前記レーザ光が前記検査基準面で反射したと仮定したときの反射成分の受光像の重心座標であることを特徴とする電気光学パネルの検査方法。 - 請求項5に記載の電気光学パネルの検査方法であって、
前記第4のステップは、前記データ処理手段が、前記検査基準面と前記電気光学パネルの表面とがなす角をαとしたときに、入力された前記受光画像データを、前記位置ベクトルの方向にcos2α倍に縮小補正するステップをさらに含むことを特徴とする電気光学パネルの検査方法。 - 請求項5または6に記載の電気光学パネルの検査方法であって、
前記データ処理手段によって出力された前記補正画像データに基づいて、前記電気光学パネルにおける視野角特性を判定する第5のステップを有することを特徴とする電気光学パネルの検査方法。
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