JP2007054719A - 薄膜形成方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】生産性を向上させながらも、所望の薄膜を形成できる薄膜形成方法を提供すること。
【解決手段】フィルム又は板状の被塗工物10の塗工面が下向きの状態で一定速度で搬送しながら、塗工面に向かい合う上向きのスリットノズル3から、毛管作用により塗工液を供給することにより、被塗工物の塗工面に薄膜を形成する薄膜形成方法であって、スリットノズル3の毛管間隔δが、50μm≦δ≦500μm、スリットノズル3の先端と塗工面との間隔hが、50μm≦h≦500μm、スリットノズル3の出口部における液流速をV1、スリットノズル3へ塗工液を供給するための配管にける液流速をV2とすると、0<V1×0.5≦V2≦V1×20となるように設定されている。
【選択図】 図1
【解決手段】フィルム又は板状の被塗工物10の塗工面が下向きの状態で一定速度で搬送しながら、塗工面に向かい合う上向きのスリットノズル3から、毛管作用により塗工液を供給することにより、被塗工物の塗工面に薄膜を形成する薄膜形成方法であって、スリットノズル3の毛管間隔δが、50μm≦δ≦500μm、スリットノズル3の先端と塗工面との間隔hが、50μm≦h≦500μm、スリットノズル3の出口部における液流速をV1、スリットノズル3へ塗工液を供給するための配管にける液流速をV2とすると、0<V1×0.5≦V2≦V1×20となるように設定されている。
【選択図】 図1
Description
本発明は、フィルム又は板状の被塗工物の塗工面が下向きの状態で一定速度で搬送しながら、前記塗工面に向かい合う上向きのスリットノズルから、毛管作用により塗工液を供給することにより、前記被塗工物の前記塗工面に薄膜を形成する薄膜形成方法に関する。
反射防止膜がコーティングされた液晶表示素子用の偏光板のように、フィルム又は板状の被塗工物に薄膜を形成する技術が知られている。かかる薄膜形成のために、特許文献1及び2に開示される塗工装置を本出願人が提案した。この塗工装置は、毛管作用に基づいて被塗工物の塗工面に薄膜を形成するものであり、その概略を図1に示す。
図1において、塗工液1が充填される液槽2が設けられており、塗工液1の中のスリットノズル3は、第1スリット部材30と、第2スリット部材31とを有し、この第1・第2スリット部材30,31により毛管間隔(スリット)が形成される。スリットノズル3は、その出口部が液面から突出した状態と、液面内部に浸漬した状態とに設定変更することができる。そのため、スリットノズル3の下面の一部に支持軸4が結合されており、この支持軸4は不図示の駆動機構により上下駆動される。また、支持軸4の上下動に伴い塗工液1が漏れてこないようにするため、蛇腹部材5が設けられている。
一方、テーブル11の下面にフィルムや板状の被塗工物10が取り付けられる。テーブル11の内部には真空吸着機構(不図示)が設けられており、被塗工物10をテーブル11の下面に吸着する。被塗工物10の下面が塗工面に該当し、スリットノズル3の先端が上向きに向いており、両者は向かい合っている。そこで、テーブル11を矢印A方向に一定速度で搬送することにより、毛管作用によりスリットノズル3の先端から連続的に塗工液を供給し、被塗工物10の塗工面に薄膜を形成することができる。被塗工物10は、所定の幅寸法を有しており、スリットノズル3の先端も幅方向(図の紙面に垂直な方向)に沿って延びている。
特許第2878171号
特開2001−70854号公報
上記装置を利用して被塗工物に薄膜を形成する場合に課題は、以下の通りである。薄膜形成の生産性を上げるためには、被塗工物10の搬送速度(塗工速度)を上げる必要がある。ところが、被塗工物10の搬送速度を上げようとすると(例えば、1.5m/min以上)、塗工面に形成される膜の厚さが厚くなる傾向があるため、所望の厚さの薄膜を形成できなくなる。また、被塗工物の搬送速度を上げると、スリットノズルからの塗工液の供給がうまくいかず、液切れしやすくなる。
また、特許文献3(特開2003−117474)においては、生産性を向上させながらも、所望の薄膜を形成できる薄膜形成方法を提供しているが、この特許文献3で記載された数値で実施をすると、目的の薄膜を形成しにくということが判明した。
そこで、本発明は、生産性を向上させながらも、所望の薄膜を形成できる薄膜形成方法を提供することである。
上記課題を解決するため本発明に係る薄膜形成方法は、フィルム又は板状の被塗工物の塗工面が下向きの状態で一定速度で搬送しながら、前記塗工面に向かい合う上向きのスリットノズルから、毛管作用により塗工液を供給することにより、前記被塗工物の前記塗工面に薄膜を形成する薄膜形成方法であって、前記スリットノズルの毛管間隔δが、50μm≦δ≦500μm、前記スリットノズルの先端と前記塗工面との間隔hが、50μm≦h≦500μm、前記スリットノズルの出口部における液流速をV1、前記スリットノズルが浸漬される液槽へ塗工液を供給するための配管における液流速をV2とすると、0<V1×0.5≦V2≦V1×20となるように設定されていることを特徴とするものである。
まず、スリットノズルの毛管間隔δ(図1参照)を、50μm≦δ≦500μmとなるように設定する。50μm>δだと、液切れし、δ>500μmだと、塗膜が厚すぎるという問題がある。
また、スリットノズルの先端と塗工面との間隔h(図1参照)を、50μm≦h≦500μmとなるように設定する。50μm>hだと、液だまりが生じ、塗りムラが発生する。h>500μmだと、液切れするという問題がある。
さらに、スリットノズルの出口部における液流速をV1(図1参照)、液槽へ塗工液を供給するための配管における液流速をV2(図2参照)とすると、0<V1×0.5≦V2≦V1×20となるように設定されている。かかる液流速の設定は、スリットノズルの毛管間隔と配管の断面積とを所定の比率に設定することで得られる。V2>V1×20になると、塗膜が厚すぎるという問題がある。
上記条件をすべて満たしたときに、生産性を向上させながらも、所望の薄膜を形成できる薄膜形成方法を提供することができる。例えば、被塗工物の搬送速度を1.5m/min以上にしながらも、塗工膜の厚さを10μm以下(ただし、この値は塗工直後の厚さである。)の薄膜に形成することができる。
本発明にかかる薄膜形成方法を実施するのに好適な塗工装置を説明する。図1は、塗工装置の概略構成を示す断面図であり、図2は、図1の矢印B方向から見た断面図である。
図1において、塗工液1が充填される液槽2が設けられており、塗工液1の中にスリットノズル3の一部が浸漬されている。スリットノズル3は、第1スリット部材30と、第2スリット部材31とを有し、この第1・第2スリット部材30,31により毛管間隔δ(スリット)が形成される。スリットノズル3は、その出口部が液面から突出した状態と、液面内部に浸漬した状態とに設定変更することができる。そのため、スリットノズル3の下面の一部に支持軸4が結合されており、この支持軸4は不図示の駆動機構により上下駆動される。また、支持軸4の上下動に伴い塗工液1が漏れてこないようにするため、蛇腹部材5が設けられている。
一方、テーブル11の下面にフィルムや板状の被塗工物10が取り付けられる。テーブル11の内部には真空吸着機構(不図示)が設けられており、被塗工物10をテーブル11の下面に吸着する。被塗工物10の下面が塗工面に該当し、スリットノズル3の先端が上向きに向いており、両者は向かい合っている。そこで、テーブル11を矢印A方向に一定速度で搬送することにより、毛管作用によりスリットノズル3の先端から連続的に塗工液を供給し、被塗工物10の塗工面に薄膜を形成することができる。被塗工物10は、所定の幅寸法を有しており、スリットノズル3の先端も幅方向(図1の紙面に垂直な方向)に沿って延びている。
図2は、被塗工物10の幅方向に沿った断面図である。スリットノズル3は、被塗工物10の幅を十分にカバーするだけのスリット長さを有する。支持軸4及び蛇腹部材5は、幅方向両側に一対設けられているが、図示の都合上、図2では一方のみが示される。
液槽2の端部の下面側に、塗工液を貯蔵した貯蔵タンク20が設けられ、ポンプ21により塗工液がくみ出される。ポンプ21の下流側にフィルター22が設けられ、異物等が除去される。貯蔵タンク20の塗工液は、配管23a,23b,23cを通って、開口部24を介して液槽2に供給される。また、液槽2の下面には別の開口部25が形成されており、余分な塗工液は配管26を通って、貯蔵タンク26に戻される。
また、開口部24の上方には、別の開口部27が形成され、略L字形の液面調整用配管28が取り付けられている。液面調整用配管28には、液面センサー29が設けられており、液槽2の塗工液の液面高さを常時モニターする。制御部18は、液面センサー29からの信号に基づいて、液槽2内の液面高さが一定になるように、ポンプ21を駆動するモータ19を制御する。
本発明による被塗工物は、フィルムや板状(シート状も含む)の被塗工物であり、この被塗工物の塗工面に例えば低反射コーティングを行うものである。パソコンのモニター装置、ビデオカメラのモニター部には、液晶表示素子が用いられているが、画面に外光が反射すると表示画面が見難くなるという問題があり、液晶表示素子の偏光板に低反射コーティングを行っている。かかる低反射コーティングを行う場合に、本発明による薄膜形成方法は特に好適である。
かかる場合において、被塗工物として好適な素材について説明する。被塗工物としては、可撓性を有する基材であればよく、例えば、プラスチックフィルムが挙げられ、プラスチックの材質としては、例えば、ポリカーボネート、ポリエチレンテレフタレート、三酢酸セルロースなどがあげられる。
次に、低反射膜コーティングを形成する場合の好適な塗工液について説明する。塗工液としては、金属アルコキシド1種類以上又は紫外線硬化型樹脂1種類以上を主成分とした液が好適である。
金属アルコキシドは、低温で容易に無機質層を得ることができる塗工液の原料として好適である。また複数の金属アルコキシドを組み合わせることにより、任意の光学特性を有する薄膜が形成できる。金属アルコキシドとしては、例えば、シリコンアルコキシド、チタンアルコキシド、ジルコニウムアルコキシド、アルミニウムアルコキシド、アンチモンアルコキシド等があげられる。
好適な金属アルコキシドの具体例としては、シリコンアルコキシドテトラメトキシシラン、テトラエトキシシラン、メチルトリメトキシシラン、エチルトリエトキシシラン、ジメチルジメトキシシラン、ジエチルジエトキシシラン、フェニルトリエトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルジメトキシメチルシラン等が上げられる。また、上記紫外線硬化型樹脂としては、特に光学薄膜を形成させるのに用いられる紫外線硬化型樹脂がそのまま用いられる。例えば、ポリエーテル樹脂、アクリル樹脂、ウレタン樹脂、エポキシ樹脂等が挙げられる。
また、塗工液中には、固形分濃度を調整するために有機溶剤等が混合され用いられる。この有機溶剤としては、例えば、炭化水素系、アルコール系、エーテル系、エステル系等があげられる。特に、ヘキサン、シクロヘキサン、トルエン、エタノール、イソプロピルアルコール、メチルエチルケトン、酢酸エチル等が好適である。
次に、図1、図2の塗工装置を用いて薄膜を形成する場合の工程を簡単に説明する。
塗工を行わない場合は、スリットノズル3の全体が液槽2の塗工液内に浸漬されている。塗工を開始する場合、塗工開始位置に被塗工物10をセットする。次に、液槽内に浸漬しているスリットノズル3を上昇させる。スリットノズル3の先端を被塗工物10の塗工面に近接させる。この近接させる距離は、図1に示される間隔hよりも短い距離である。これにより、スリットノズル3の先端の塗工液が塗工面に接触する。
ついで、スリットノズル3をわずかな距離だけ下降させる。この状態で、スリットノズル3の先端と塗工面との距離は、図1に示すhとなる。これにより、毛管作用が発生する。被塗工物10を矢印A方向に一定速度で搬送することにより、毛管作用により塗工液が連続的に供給される。
次に、上記のように被塗工物に薄膜を形成するための条件を説明する。本発明においては、生産性を上げるために、被塗工物を比較的速い速度、具体的には、1.5m/min以上の速度で搬送する。しかし、被塗工物の搬送速度を上げると、別の問題を生じる。すなわち、搬送速度を上げると、被塗工物の塗工面に形成される塗工膜の厚さが厚くなる傾向にある。したがって、所望の薄膜を形成するためには、条件設定に工夫が必要である。また、搬送速度を上げると、スリットノズル3の先端からの塗工液の供給がうまくいかず、液切れが生じやすくなり、塗工ムラが発生する。したがって、この点も考慮する必要がある。そこで、以下説明するような設定を行っている。
まず、スリットノズル3の毛管間隔δが、50μm≦δ≦500μmとなるように設定する。50μm>δだと、液切れし、δ>500μmだと、塗膜が厚すぎるという問題があるからである。
また、スリットノズルの先端と塗工面との間隔h(図1参照)を、50μm≦h≦500μmとなるように設定する。50μm>hだと、液だまりが生じ塗りムラが発生する。h>500μmだと、液切れという問題があるからである。
さらに、スリットノズルの出口部における液流速をV1(図1参照)、塗工液を供給する配管における液流速をV2(図2参照)とすると、0<V1×0.5≦V2≦V1×20となるように設定されている。かかる液流速の設定は、スリットノズルの毛管間隔と配管の断面積とを所定の比率に設定することで得られる。V2≦V1×0.5になると、液切れするという問題がある。
また、本発明で用いられる塗工液の固形分濃度は、3.0wt%以上のものを使用する。また、キャピラリー数Caは、1以下とするのが好ましい。キャピラリー数Caとは、
Ca=(液粘度kg/(m・sec))×(被塗工物速度m/sec)/(液の表面張力kg/sec2)
で示される無次元の定数である。
Ca=(液粘度kg/(m・sec))×(被塗工物速度m/sec)/(液の表面張力kg/sec2)
で示される無次元の定数である。
得られる薄膜の厚みは、塗工直後(図1にtで示す。)において、10μm以下の薄膜である。塗工液を塗工した後は、溶剤等が乾燥して蒸発するので、製品段階の薄膜の厚みはもっと薄くなる(例えば、0.3μm程度)。
上記のようにして得られる低反射膜コーティングは、可視光線の反射率が3%以下となる。
以下、実施例により本発明をさらに詳細に説明するが、本発明はこれらの実施例によって限定されるものではない。例中にある%は、特にことわらないかぎり重量基準である。
塗工液40として、反射防止塗料”オプスターJM5022”(ジェイエスアール(株)製;フッ素系の樹脂3%含有塗料)を、メチルイソブチルケトンで2%濃度に希釈したものを用いた。また被塗工物41として、幅800mm、長さ800mm、厚さ2.0mmの耐擦傷性ポリメチルメタクリレート樹脂板(住友化学工業(株)製の表面ハードコート処理板”スミペックスEMR−2000”)を用いた。このポリメチルメタクリレート樹脂板を、図3に示す塗工装置のテーブル43に真空吸着固定した。
まず、スリットノズル42のノズル間隔δを任意の値に設定し、被塗工物41を、テーブル43が反転させて、上向きになっているスリットノズル42の上部に搬送し、スリットノズル42を被塗工物41に接近させ、スリットノズル42先端より排出される塗工液40を被塗工物41に接触させる。その後任意の設定間隔hまでスリットノズル42を被塗工物41から離し、流速V2にて塗料供給を行ないスリットノズル42内で設定したノズル間隔δに合った流速V1に保ちつつ、速度3.0m/minにて矢印A方向に被塗工物41を搬送させ、その表面に塗膜を形成する。得られた塗工物47は、40℃で10分間乾燥後、500mJ/cm2紫外線を照射し、被膜を硬化させた。
表1にスリットノズル42のスリット間隔δ,塗工ノズル42と被塗工物41の間隔(塗工GAP)h、塗料供給速度種々組み合わせて、得られた塗膜の状態をそれぞれ示す。この表の結果から、本発明(実施例)が優れていることが分かる。
なお、本発明は低反射コーティングに限定されるものではなく、耐擦傷性、帯電防止性、防汚染性、防曇性、光線吸収性等の各機能を付与する目的の場合にも適用することができる。さらに、着色剤等を含む塗工液を塗工し、種々の機能性被膜、保護膜、着色膜、意匠性被膜等を形成する場合にも応用することができる。
1、40…塗工液
2…液槽
3、42…スリットノズル
4…支持軸
5…蛇腹部材
10、41…被塗工物
11、43…テーブル
30…第1スリット部材
31…第2スリット部材
2…液槽
3、42…スリットノズル
4…支持軸
5…蛇腹部材
10、41…被塗工物
11、43…テーブル
30…第1スリット部材
31…第2スリット部材
Claims (1)
- フィルム又は板状の被塗工物の塗工面が下向きの状態で一定速度で搬送しながら、前記塗工面に向かい合う上向きのスリットノズルから、毛管作用により塗工液を供給することにより、前記被塗工物の前記塗工面に薄膜を形成する薄膜形成方法であって、
前記スリットノズルの毛管間隔δが、
50μm≦δ≦500μm
前記スリットノズルの先端と前記塗工面との間隔hが、
50μm≦h≦500μm
前記スリットノズルの出口部における液流速をV1、前記スリットノズルへ塗工液を供給するための配管における液流速をV2とすると、
0<V1×0.5≦V2≦V1×20
となるように設定されていることを特徴とする薄膜形成方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005241883A JP2007054719A (ja) | 2005-08-23 | 2005-08-23 | 薄膜形成方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005241883A JP2007054719A (ja) | 2005-08-23 | 2005-08-23 | 薄膜形成方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007054719A true JP2007054719A (ja) | 2007-03-08 |
Family
ID=37918655
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005241883A Pending JP2007054719A (ja) | 2005-08-23 | 2005-08-23 | 薄膜形成方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2007054719A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009010246A (ja) * | 2007-06-29 | 2009-01-15 | Hoya Corp | マスクブランクの製造方法及び塗布装置 |
TWI471682B (zh) * | 2007-06-29 | 2015-02-01 | Hoya Corp | 遮罩基底之製造方法及塗布裝置 |
CN113893997A (zh) * | 2021-09-26 | 2022-01-07 | 浙江航威专用设备有限公司 | 一种新型狭缝涂布头 |
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2005
- 2005-08-23 JP JP2005241883A patent/JP2007054719A/ja active Pending
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