JP2007050549A - Liquid jetting head and liquid jetting apparatus - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a liquid jetting head which can prevent separation of each substrate that constitutes a head body, while maintaining an ejection characteristic of liquid droplets good, and to provide a liquid jetting apparatus. <P>SOLUTION: The liquid jetting head is equipped with the head body and a head case 200 joined via an adhesion part 210 to the head body. The head body has at least both a nozzle plate 20 where a plurality of nozzle openings are bored, and a passage formation substrate 10 where a plurality of pressure generation chambers 12 communicating with the nozzles openings that eject the liquid droplets by driving of pressure generating means 300 are arranged side by side. The adhesion part 210 is made to include both a deformation regulating part 211 which is set at least in a longitudinal direction center part of a region corresponding to arrays of the pressure generation chambers 12 to substantially regulate deformation of the head body, and a deformation permitting part 212 which is set in a region outside more than the deformation regulating part 211 set in the region corresponding to the arrays of the pressure generation chambers 12, and is lower in rigidity than the deformation regulating part 211 to permit deformation of the head body by elastic deformation. <P>COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Description

本発明は、液体噴射ヘッド及び液体噴射装置に関し、特に、圧力発生手段の駆動によってインク滴を吐出するインクジェット式記録ヘッド及びインクジェット式記録装置に関する。   The present invention relates to a liquid ejecting head and a liquid ejecting apparatus, and more particularly to an ink jet recording head and an ink jet recording apparatus that eject ink droplets by driving a pressure generating unit.

インク滴をノズル開口から吐出させるインクジェット式記録ヘッドには、圧力発生手段の駆動源として、圧電素子の軸方向に伸長、収縮する縦振動モードの圧電アクチュエータを使用したものと、たわみ振動モードの圧電アクチュエータを使用したものの２種類が実用化されている。   Inkjet recording heads that eject ink droplets from nozzle openings use a longitudinal vibration mode piezoelectric actuator that expands and contracts in the axial direction of the piezoelectric element as a driving source for the pressure generating means, and a flexural vibration mode piezoelectric actuator. Two types using actuators have been put into practical use.

例えば、たわみ振動モードの圧電アクチュエータを使用したインクジェット式記録ヘッドとしては、圧力発生室が形成される流路形成基板の流路形成基板の一方面に、ノズル開口が穿設されたノズルプレートが接合され、流路形成基板の他方面側に、各圧力発生室に供給するインクが貯留されるリザーバを構成するリザーバ部が設けられたリザーバ形成基板等が接合されているものがある（例えば、特許文献１参照）。   For example, in an ink jet recording head using a piezoelectric actuator in a flexural vibration mode, a nozzle plate having a nozzle opening is bonded to one surface of a flow path forming substrate in which a pressure generating chamber is formed. In addition, there is one in which a reservoir forming substrate or the like provided with a reservoir portion that constitutes a reservoir in which ink to be supplied to each pressure generating chamber is provided is joined to the other surface side of the flow path forming substrate (for example, a patent Reference 1).

しかしながら、このようなインクジェット式記録ヘッドでは、各部材の線膨張係数が異なるため、環境温度の変化によって層間剥離が生じるという問題がある。例えば、特許文献１の構造では、流路形成基板及びリザーバ形成基板はシリコン基板からなりその線膨張係数はおよそ２．０［×１０−６／℃]であり、ノズルプレートはステンレス鋼（ＳＵＳ）からなりその線膨張係数は１６［×１０−６／℃］であり、各両者の線膨張係数は大きく異なる。このため、例えば、流路形成基板とノズルプレートとの接着時の温度により低い温度にヘッドが置かれた場合、相対的にノズルプレートが縮んでヘッドに反りが生じ、各部材間等で、せん断応力による剥離が生じてしまうという問題がある。 However, such an ink jet recording head has a problem that delamination occurs due to a change in environmental temperature because the linear expansion coefficient of each member is different. For example, in the structure of Patent Document 1, the flow path forming substrate and the reservoir forming substrate are made of a silicon substrate, and the linear expansion coefficient thereof is approximately 2.0 [× 10 −6 / ° C.], and the nozzle plate is made of stainless steel (SUS). The linear expansion coefficient is 16 [× 10 −6 / ° C.], and the linear expansion coefficients of the two are greatly different. For this reason, for example, when the head is placed at a lower temperature due to the temperature at which the flow path forming substrate and the nozzle plate are bonded, the nozzle plate contracts relatively, causing the head to warp and shear between each member. There is a problem that peeling due to stress occurs.

さらに、例えば、上記特許文献１に記載されているように、流路形成基板、リザーバ形成基板等からなる記録ヘッド本体に、この記録ヘッド本体を固定するヘッドケースが固定されたものがある。そして、このヘッドケースも、記録ヘッド本体を構成するリザーバ形成基板等とは異なる材料、例えば、樹脂材料等で形成されている。このため、ヘッドケース側からも応力が発生し、この応力に起因して、記録ヘッド本体の各部材間等で剥離が生じてしまう虞がある。また、記録ヘッド本体を構成するノズルプレートに反りが生じると、インク滴の吐出方向が変わり、着弾位置が変化して画質を劣化させてしまうという問題がある。   Further, for example, as described in Patent Document 1, there is a recording head body composed of a flow path forming substrate, a reservoir forming substrate, and the like, in which a head case for fixing the recording head body is fixed. This head case is also formed of a material different from the reservoir forming substrate or the like constituting the recording head body, for example, a resin material. For this reason, stress is also generated from the head case side, and due to this stress, there is a possibility that separation occurs between the members of the recording head main body. Further, when the nozzle plate constituting the recording head main body is warped, there is a problem that the ink droplet ejection direction is changed, and the landing position is changed to deteriorate the image quality.

これらの問題は、例えば、ステンレス鋼（ＳＵＳ）等の剛性の高い材料からなるヘッドケースに記録ヘッド本体を固定することで防止することはできる。しかしながら、このように剛性の高いヘッドケースに記録ヘッド本体を固定して、記録ヘッド本体の反りを矯正すると、記録ヘッド本体に生じる応力が増加してしまい、この応力の増加により記録ヘッド本体を構成する各部材間等での剥離や、クラックが発生する等の問題が生じてしまう虞がある。   These problems can be prevented by fixing the recording head main body to a head case made of a highly rigid material such as stainless steel (SUS). However, when the recording head body is fixed to the head case having such a high rigidity and the warping of the recording head body is corrected, the stress generated in the recording head body increases, and the increase in the stress constitutes the recording head body. There is a possibility that problems such as peeling between members and the like, and cracks may occur.

なお、このような問題は、インクを吐出するインクジェット式記録ヘッドだけではなく、勿論、インク以外の液滴を吐出する他の液体噴射ヘッドにおいても、同様に存在する。   Such a problem exists not only in an ink jet recording head that ejects ink, but also in other liquid ejecting heads that eject droplets other than ink.

特開２００３−８０７０３号公報（第２図等）JP 2003-80703 A (FIG. 2 etc.)

本発明はこのような事情に鑑み、液滴の吐出特性を良好に維持しつつ、ヘッド本体を構成する各基板の剥離を防止することができる液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供することを課題とする。   In view of such circumstances, it is an object of the present invention to provide a liquid ejecting head and a liquid ejecting apparatus capable of preventing the separation of each substrate constituting the head body while maintaining good droplet discharge characteristics. And

上記課題を解決する本発明の第１の態様は、複数のノズル開口が穿設されたノズルプレートと、圧力発生手段の駆動によって液滴を吐出する前記ノズル開口に連通する複数の圧力発生室が並設された流路形成基板と、を少なくとも有するヘッド本体と、前記ヘッド本体に接合されるヘッドケースとを具備し、前記ヘッドケースが、接着剤からなる接着層を少なくとも含む接着部によって前記ヘッド本体に接合され、且つ前記接着部が、前記圧力発生室の列に対応する領域の少なくとも長手方向中央部に設けられ前記ヘッド本体の変形を実質的に規制する変形規制部と、この圧力発生室の列に対応する領域に設けられた変形規制部よりも外側の領域に設けられ前記変形規制部よりも剛性が低く前記ヘッド本体の変形を弾性変形により許容する変形許容部とを含むことを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
かかる第１の態様では、ノズル開口近傍に設けられる変形規制部により、環境温度の変化等によって生じるヘッド本体の反りが規制されるため、液滴の吐出方向が常に安定する。また、変形許容部によって上記ヘッド本体の反りが許容されるため、ヘッド本体の応力増加に伴う各部材間での剥離、クラックの発生等も防止される。 According to a first aspect of the present invention for solving the above problems, a nozzle plate having a plurality of nozzle openings and a plurality of pressure generating chambers communicating with the nozzle openings for discharging droplets by driving pressure generating means are provided. A head body having at least a flow path forming substrate arranged side by side; and a head case joined to the head body, wherein the head case is formed by an adhesive portion including at least an adhesive layer made of an adhesive. A deformation restricting portion that is bonded to the main body and the adhesive portion is provided at least in the center in the longitudinal direction of a region corresponding to the row of the pressure generating chambers, and substantially restricts deformation of the head main body, and the pressure generating chamber The deformation is provided in an area outside the deformation restricting portion provided in an area corresponding to the row of the lower limit and has a lower rigidity than the deformation restricting portion and allows deformation of the head body by elastic deformation. A liquid-jet head which comprises an acceptable part.
In the first aspect, since the warpage of the head body caused by a change in the environmental temperature or the like is regulated by the deformation regulating unit provided in the vicinity of the nozzle opening, the droplet ejection direction is always stable. Further, since the warpage of the head main body is allowed by the deformation allowing portion, separation between members and generation of cracks due to an increase in stress of the head main body can be prevented.

本発明の第２の態様は、第１の態様において、前記変形許容部の前記接着層の厚さが、前記変形規制部の前記接着層の厚さよりも厚いことを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
かかる第２の態様では、変形許容部の剛性が、変形規制部の剛性よりも確実に低くなり、ヘッド本体の変形がこの変形許容部によってより確実に許容される。 According to a second aspect of the present invention, in the liquid jet head according to the first aspect, the thickness of the adhesive layer of the deformation allowing portion is thicker than the thickness of the adhesive layer of the deformation restricting portion. is there.
In the second aspect, the rigidity of the deformation allowing portion is surely lower than the rigidity of the deformation restricting portion, and the deformation of the head body is more reliably allowed by the deformation allowing portion.

本発明の第３の態様は、第１又は２の態様において、前記変形規制部は、前記ヘッドケースの前記ヘッド本体との接合面に設けられた第１の突起部を含むことを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
かかる第３の態様では、変形規制部を構成する接着層が良好に形成され、また変形規制部の剛性が高まるため、この変形規制部によってヘッドケースとヘッド本体とがより強固に固着される。 According to a third aspect of the present invention, in the first or second aspect, the deformation restricting portion includes a first protrusion provided on a joint surface of the head case with the head main body. Located in the liquid jet head.
In the third aspect, since the adhesive layer constituting the deformation restricting portion is well formed and the rigidity of the deformation restricting portion is increased, the head case and the head main body are more firmly fixed by the deformation restricting portion.

本発明の第４の態様は、第３の態様において、前記変形許容部は、前記ヘッドケースの接合面に設けられた前記第１の突起部よりも高さの低い第２の突起部を含むことを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
かかる第４の態様では、変形許容部を構成する接着層が良好に形成される。また、変形許容部の剛性が変形規制部の剛性よりも確実に低くなる。 According to a fourth aspect of the present invention, in the third aspect, the deformation allowing portion includes a second protrusion having a height lower than that of the first protrusion provided on the joint surface of the head case. The liquid ejecting head is characterized by the above.
In the fourth aspect, the adhesive layer constituting the deformation allowing portion is formed satisfactorily. Further, the rigidity of the deformation-permitting portion is surely lower than the rigidity of the deformation restricting portion.

本発明の第５の態様は、第１〜４の何れかの態様において、前記変形規制部が、少なくとも前記圧力発生室の並設方向に延設されていることを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
かかる第５の態様では、ヘッド本体とヘッドケースとを良好に固着され、変形規制部によってヘッド本体の反りがより確実に規制される。 According to a fifth aspect of the present invention, in the liquid ejecting head according to any one of the first to fourth aspects, the deformation restricting portion extends at least in a direction in which the pressure generating chambers are juxtaposed. is there.
In the fifth aspect, the head main body and the head case are firmly fixed, and the warpage of the head main body is more reliably regulated by the deformation regulating portion.

本発明の第６の態様は、第１〜５の何れかの態様において、前記変形規制部が、前記圧力発生室の列に対応する領域の周囲に亘って設けられていることを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
かかる第６の態様では、ヘッド本体とヘッドケースとがさらに良好に固着され、変形規制部によってヘッド本体の反りがより確実に規制される。 According to a sixth aspect of the present invention, in any one of the first to fifth aspects, the deformation restricting portion is provided around a region corresponding to the row of the pressure generating chambers. Located in the liquid jet head.
In the sixth aspect, the head main body and the head case are more firmly fixed, and the warpage of the head main body is more reliably regulated by the deformation regulating portion.

本発明の第７の態様は、第１〜６の何れかの態様において、前記変形許容部が、前記圧力発生室に対向する領域の外側のみに設けられていることを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
かかる第７の態様では、ノズル開口に対応する部分でのヘッド本体の反りが変形規制部によって確実に規制され、液滴の吐出方向がより確実に安定する。 According to a seventh aspect of the present invention, in any one of the first to sixth aspects, the deformation allowing portion is provided only outside an area facing the pressure generating chamber. It is in.
In the seventh aspect, the warpage of the head main body at the portion corresponding to the nozzle opening is reliably restricted by the deformation restricting portion, and the droplet discharge direction is more reliably stabilized.

本発明の第８の態様は、第１〜７の何れかの態様において、前記ヘッドケースが前記圧力発生室の列に対応する領域の外側に、前記ヘッド本体の前記圧力発生室を含む液体流路に連通する連通孔を有し、当該ヘッドケースの前記連通孔の周囲が前記変形規制部によって前記ヘッド本体と接合されていることを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
かかる第８の態様では、ヘッドケースとヘッド本体との接合部分からの液滴の漏れを確実に防止することができる。 According to an eighth aspect of the present invention, in any one of the first to seventh aspects, a liquid flow including the pressure generation chamber of the head body outside the region where the head case corresponds to the row of the pressure generation chambers. The liquid ejecting head includes a communication hole communicating with a path, and the periphery of the communication hole of the head case is joined to the head body by the deformation restricting portion.
In the eighth aspect, it is possible to reliably prevent the leakage of liquid droplets from the joint portion between the head case and the head body.

本発明の第９の態様は、第１〜８の何れかの態様の液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置にある。
かかる第９の態様では、信頼性及び耐久性に優れた液体噴射装置を実現することができる。 A ninth aspect of the present invention is a liquid ejecting apparatus including the liquid ejecting head according to any one of the first to eighth aspects.
In the ninth aspect, a liquid ejecting apparatus having excellent reliability and durability can be realized.

以下に本発明を実施形態に基づいて詳細に説明する。
（実施形態１）
図１は、本発明の実施形態１に係るインクジェット式記録ヘッドを示す分解斜視図であり、図２は、図１の断面図である。図示するように、流路形成基板１０は、本実施形態では面方位（１１０）のシリコン単結晶基板からなり、その一方の面には予め熱酸化により形成した二酸化シリコンからなる、厚さ０．５〜２μｍの弾性膜５０が形成されている。流路形成基板１０には、複数の圧力発生室１２がその幅方向に並設された列が２列設けられている。また、流路形成基板１０の圧力発生室１２の長手方向外側の領域には各圧力発生室１２の列毎に連通部１３が形成され、連通部１３と圧力発生室１２とがインク供給路１４を介して連通されている。なお、連通部１３は、後述する保護基板のリザーバ部と連通して各圧力発生室１２の共通のインク室となるリザーバの一部を構成する。インク供給路１４は、圧力発生室１２よりも狭い幅で形成されており、連通部１３から圧力発生室１２に流入するインクの流路抵抗を一定に保持している。 Hereinafter, the present invention will be described in detail based on embodiments.
(Embodiment 1)
1 is an exploded perspective view showing an ink jet recording head according to Embodiment 1 of the present invention, and FIG. 2 is a cross-sectional view of FIG. As shown in the drawing, the flow path forming substrate 10 is made of a silicon single crystal substrate having a plane orientation (110) in this embodiment, and one surface thereof is made of silicon dioxide previously formed by thermal oxidation. An elastic film 50 of 5 to 2 μm is formed. The flow path forming substrate 10 is provided with two rows in which a plurality of pressure generating chambers 12 are arranged in the width direction. In addition, a communication portion 13 is formed for each row of the pressure generation chambers 12 in a region outside the longitudinal direction of the pressure generation chamber 12 of the flow path forming substrate 10. It is communicated through. The communication part 13 constitutes a part of a reservoir that communicates with a reservoir part of a protective substrate, which will be described later, and serves as a common ink chamber for the pressure generating chambers 12. The ink supply path 14 is formed with a narrower width than the pressure generation chamber 12, and maintains a constant flow path resistance of ink flowing into the pressure generation chamber 12 from the communication portion 13.

また、流路形成基板１０の開口面側には、圧力発生室１２を形成する際のマスクとして用いられたマスク膜５１を介して、各圧力発生室１２のインク供給路１４とは反対側の端部近傍に連通するノズル開口２１が穿設されたノズルプレート２０が接着剤や熱溶着フィルム等を介して固着されている。なお、ノズルプレート２０は、厚さが例えば、０．０１〜１ｍｍで、線膨張係数が３００℃以下で、例えば２．５〜２０［×１０-6／℃］であるガラスセラミックス、シリコン単結晶基板又はステンレス鋼などからなる。 Further, on the opening surface side of the flow path forming substrate 10, a mask film 51 used as a mask when forming the pressure generating chamber 12 is interposed, and the pressure generating chamber 12 is opposite to the ink supply path 14. A nozzle plate 20 having a nozzle opening 21 communicating in the vicinity of the end is fixed through an adhesive, a heat-welded film, or the like. The nozzle plate 20 has a thickness of, for example, 0.01 to 1 mm, a linear expansion coefficient of 300 ° C. or less, and a glass ceramic or silicon single crystal of, for example, 2.5 to 20 [× 10 −6 / ° C.]. It consists of a substrate or stainless steel.

一方、このような流路形成基板１０の開口面とは反対側には、上述したように、厚さが例えば約１．０μｍの弾性膜５０が形成され、この弾性膜５０上には、厚さが例えば、約０．４μｍの絶縁体膜５５が形成されている。さらに、この絶縁体膜５５上には、厚さが例えば、約０．２μｍの下電極膜６０と、厚さが例えば、約１．０μｍの圧電体層７０と、厚さが例えば、約０．０５μｍの上電極膜８０とが積層形成されて、圧力発生手段の駆動源となる圧電素子３００を構成している。ここで、圧電素子３００は、下電極膜６０、圧電体層７０及び上電極膜８０を含む部分をいう。一般的には、圧電素子３００の何れか一方の電極を共通電極とし、他方の電極及び圧電体層７０を各圧力発生室１２毎にパターニングして構成する。本実施形態では、下電極膜６０を圧電素子３００の共通電極とし、上電極膜８０を圧電素子３００の個別電極としているが、駆動回路や配線の都合でこれを逆にしても支障はない。   On the other hand, as described above, the elastic film 50 having a thickness of, for example, about 1.0 μm is formed on the side opposite to the opening surface of the flow path forming substrate 10. For example, an insulator film 55 having a thickness of about 0.4 μm is formed. Further, on the insulator film 55, a lower electrode film 60 having a thickness of, for example, about 0.2 μm, a piezoelectric layer 70 having a thickness of, for example, about 1.0 μm, and a thickness of, for example, about 0 The upper electrode film 80 having a thickness of 0.05 μm is laminated to form a piezoelectric element 300 that serves as a driving source for the pressure generating means. Here, the piezoelectric element 300 refers to a portion including the lower electrode film 60, the piezoelectric layer 70, and the upper electrode film 80. In general, one electrode of the piezoelectric element 300 is used as a common electrode, and the other electrode and the piezoelectric layer 70 are patterned for each pressure generating chamber 12. In the present embodiment, the lower electrode film 60 is used as a common electrode of the piezoelectric element 300 and the upper electrode film 80 is used as an individual electrode of the piezoelectric element 300. However, there is no problem even if this is reversed for convenience of a drive circuit and wiring.

また、各圧電素子３００の上電極膜８０の一端部近傍にはリード電極９０が接続されている。このリード電極９０は、流路形成基板１０の中央部近傍まで延設され、後述する保護基板３０上に実装された駆動ＩＣ１２０と電気的に接続される。   A lead electrode 90 is connected to the vicinity of one end of the upper electrode film 80 of each piezoelectric element 300. The lead electrode 90 extends to the vicinity of the central portion of the flow path forming substrate 10 and is electrically connected to a driving IC 120 mounted on a protective substrate 30 described later.

さらに、本実施形態では、圧電素子３００を構成する各層及びリード電極９０が、駆動ＩＣ１２０との接続部を除いて、例えば、無機絶縁材料からなる絶縁膜１００によって覆われている。この絶縁膜１００の材料としては、無機絶縁材料であれば、特に限定されず、例えば、酸化アルミニウム（Ａｌ２Ｏ３）、五酸化タンタル（Ｔａ２Ｏ５）等が挙げられるが、特に、酸化アルミニウム（Ａｌ２Ｏ３）を用いるのが好ましい。このような無機絶縁材料からなる絶縁膜１００は、薄膜でも水分の透過性が極めて低いため、この絶縁膜１００によって、下電極膜６０、圧電体層７０、上電極膜８０及びリード電極９０の表面を覆うことにより、圧電体層７０の水分（湿気）に起因する破壊を防止することができる。 Further, in the present embodiment, each layer constituting the piezoelectric element 300 and the lead electrode 90 are covered with an insulating film 100 made of, for example, an inorganic insulating material, except for a connection portion with the driving IC 120. The material of the insulating film 100 is not particularly limited as long as it is an inorganic insulating material, and examples thereof include aluminum oxide (Al 2 O 3 ) and tantalum pentoxide (Ta 2 O 5 ). Aluminum (Al 2 O 3 ) is preferably used. Since the insulating film 100 made of such an inorganic insulating material has a very low moisture permeability even in a thin film, the surface of the lower electrode film 60, the piezoelectric layer 70, the upper electrode film 80, and the lead electrode 90 is formed by the insulating film 100. By covering the surface, it is possible to prevent the piezoelectric layer 70 from being damaged due to moisture (humidity).

また、このような圧電素子３００が形成された流路形成基板１０上には、圧電素子３００に対向する領域にその運動を阻害しない程度の空間を確保可能な圧電素子保持部３１を有する保護基板３０が接着剤３５を介して接合されている。圧電素子３００は、この圧電素子保持部３１内に形成されているため、外部環境の影響を殆ど受けない状態で保護されている。なお、圧電素子保持部３１は、密封されていてもよいが、密封されていなくてもよい。また、圧電素子保持部３１は、本実施形態では、並設された圧電素子３００の列毎に設けられている。   Further, on the flow path forming substrate 10 on which such a piezoelectric element 300 is formed, a protective substrate having a piezoelectric element holding portion 31 capable of ensuring a space that does not hinder the movement in a region facing the piezoelectric element 300. 30 is bonded via an adhesive 35. Since the piezoelectric element 300 is formed in the piezoelectric element holding part 31, it is protected in a state hardly affected by the external environment. The piezoelectric element holding portion 31 may be sealed, but may not be sealed. Further, in the present embodiment, the piezoelectric element holding portion 31 is provided for each row of the piezoelectric elements 300 arranged in parallel.

また、保護基板３０の各圧電素子保持部３１の外側には、リザーバ１１０の少なくとも一部を構成するリザーバ部３２が設けられている。これらのリザーバ部３２は、保護基板３０を厚さ方向に貫通して圧力発生室１２の幅方向に亘って設けられており、流路形成基板１０の連通部１３と連通されて各圧力発生室１２の列毎の共通のインク室となるリザーバ１１０をそれぞれ構成している。また、本実施形態では、保護基板３０の圧電素子保持部３１の間の領域には、保護基板３０を厚さ方向に貫通する貫通孔３３が、各圧電素子３００の列に対応して設けられている。そして、各圧電素子３００から引き出されたリード電極９０は、その端部近傍が貫通孔３３内で露出されている。なお、このような保護基板３０としては、流路形成基板１０の熱膨張率と略同一の材料、例えば、ガラス、セラミック材料等を用いることが好ましく、本実施形態では、流路形成基板１０と同一材料のシリコン単結晶基板を用いて形成した。   In addition, a reservoir portion 32 constituting at least a part of the reservoir 110 is provided outside the piezoelectric element holding portions 31 of the protective substrate 30. These reservoir portions 32 are provided across the width direction of the pressure generating chamber 12 through the protective substrate 30 in the thickness direction, and are communicated with the communicating portion 13 of the flow path forming substrate 10 to each pressure generating chamber. Each of the reservoirs 110 is a common ink chamber for each of the 12 columns. In the present embodiment, in the region between the piezoelectric element holding portions 31 of the protective substrate 30, through holes 33 that penetrate the protective substrate 30 in the thickness direction are provided corresponding to the rows of the piezoelectric elements 300. ing. The lead electrode 90 drawn from each piezoelectric element 300 is exposed in the through hole 33 in the vicinity of its end. In addition, as such a protective substrate 30, it is preferable to use a material substantially the same as the coefficient of thermal expansion of the flow path forming substrate 10, for example, glass, a ceramic material, etc. In this embodiment, the flow path forming substrate 10 and It was formed using a silicon single crystal substrate of the same material.

また、この保護基板３０の表面、すなわち、流路形成基板１０との接合面とは反対側の面には、圧電素子３００を駆動するための駆動ＩＣ（半導体集積回路）１２０が各圧電素子３００の列毎に実装されている。そして、各駆動ＩＣ１２０と各圧電素子３００から引き出されたリード電極９０とは、保護基板３０の貫通孔３３内にワイヤボンディングによって延設される接続配線１３０によって電気的に接続されている。   A driving IC (semiconductor integrated circuit) 120 for driving the piezoelectric element 300 is provided on the surface of the protective substrate 30, that is, the surface opposite to the bonding surface with the flow path forming substrate 10. Implemented for each column. The drive ICs 120 and the lead electrodes 90 drawn from the piezoelectric elements 300 are electrically connected by connection wirings 130 that are extended in the through holes 33 of the protective substrate 30 by wire bonding.

さらに、保護基板３０上には、リザーバ部３２に対応する領域を含む周縁部を囲むように、封止膜４１及び固定板４２とからなるコンプライアンス基板４０が接合されている。ここで、封止膜４１は、剛性が低く可撓性を有する材料（例えば、厚さが６μｍのポリフェニレンサルファイド（ＰＰＳ）フィルム）からなり、この封止膜４１によってリザーバ部３２の一方面が封止されている。また、固定板４２は、金属等の硬質の材料（例えば、厚さが３０μｍのステンレス鋼（ＳＵＳ）等）で形成される。この固定板４２のリザーバ１１０に対向する領域は、厚さ方向に完全に除去された開口部４３となっているため、リザーバ１１０の一方面は可撓性を有する封止膜４１のみで封止されている。   Further, a compliance substrate 40 including a sealing film 41 and a fixing plate 42 is bonded on the protective substrate 30 so as to surround a peripheral portion including a region corresponding to the reservoir portion 32. Here, the sealing film 41 is made of a material having low rigidity and flexibility (for example, a polyphenylene sulfide (PPS) film having a thickness of 6 μm). The sealing film 41 seals one surface of the reservoir portion 32. It has been stopped. The fixing plate 42 is made of a hard material such as metal (for example, stainless steel (SUS) having a thickness of 30 μm). Since the region of the fixing plate 42 facing the reservoir 110 is an opening 43 that is completely removed in the thickness direction, one surface of the reservoir 110 is sealed only by the flexible sealing film 41. Has been.

このように、本実施形態のヘッド本体１５０は、流路形成基板１０、ノズルプレート２０、保護基板３０及びコンプライアンス基板４０で構成されている。そして、このようなヘッド本体１５０のノズルプレート２０が形成されている側と反対側には、駆動ＩＣ１２０を囲む空間であるＩＣ保持部２０１を有するヘッドケース２００が、帯状に設けられた接着部２１０を介して接合されている。   As described above, the head main body 150 according to this embodiment includes the flow path forming substrate 10, the nozzle plate 20, the protective substrate 30, and the compliance substrate 40. On the side opposite to the side where the nozzle plate 20 of the head main body 150 is formed, a head case 200 having an IC holding portion 201 that is a space surrounding the drive IC 120 is provided in an adhesive portion 210 provided in a band shape. It is joined via.

そして、このＩＣ保持部２０１内には、例えば、シリコーン樹脂又はウレタン樹脂等の低応力性樹脂材料からなるポッティング剤２５０が充填され、保護基板３０上に設けられた駆動ＩＣ１２０及び接続配線１３０が、ＩＣ保持部２０１に充填されたポッティング剤２５０で完全に覆われている。また、ヘッドケース２００には、一端側が図示しないインクカートリッジに接続されると共に、他端側が、リザーバ１１０に接続されるインク連通孔２０２が形成されており、このインク連通孔２０２からリザーバ１１０にインクが供給されるようになっている。   The IC holding portion 201 is filled with a potting agent 250 made of a low-stress resin material such as silicone resin or urethane resin, and the driving IC 120 and the connection wiring 130 provided on the protective substrate 30 are, for example, The potting agent 250 filled in the IC holding part 201 is completely covered. Further, the head case 200 has one end connected to an ink cartridge (not shown) and the other end formed with an ink communication hole 202 connected to the reservoir 110, and ink is supplied from the ink communication hole 202 to the reservoir 110. Is to be supplied.

なお、本実施形態に係るヘッドケース２００は、比較的剛性の高い材料で形成されていることが好ましい。具体的には、ニッケル、アルミニウム、ステンレス鋼等の金属材料が挙げられ、例えば、本実施形態では、ヘッドケース２００の材料として、ステンレス鋼（ＳＵＳ）を用いている。   Note that the head case 200 according to the present embodiment is preferably formed of a material having relatively high rigidity. Specifically, metal materials, such as nickel, aluminum, stainless steel, are mentioned. For example, in this embodiment, stainless steel (SUS) is used as the material of the head case 200.

ここで、ヘッド本体１５０とヘッドケース２００とを接合する接着部２１０は、ヘッド本体１５０の変形を実質的に規制する変形規制部２１１と、変形規制部２１１よりも剛性が低くヘッド本体１５０の変形を弾性変形により許容する変形許容部２１２とを含む。そして、本発明では、変形規制部２１１が、圧力発生室１２の列に対応する領域の少なくとも長手方向中央部に設けられると共に、圧力発生室１２の列に対応する領域に設けられた変形規制部２１１よりも外側の領域に、変形許容部２１２が設けられている。例えば、本実施形態では、図３に示すように、ＩＣ保持部２０１の周囲の接着部２１０が変形規制部２１１であり、この変形規制部２１１よりも外側の接着部２１０は全て変形許容部２１２である。   Here, the bonding portion 210 that joins the head main body 150 and the head case 200 has a deformation restriction portion 211 that substantially restricts deformation of the head main body 150, and is less rigid than the deformation restriction portion 211, and deformation of the head main body 150. And a deformation allowing portion 212 that allows the elastic deformation. In the present invention, the deformation restricting portion 211 is provided at least in the center in the longitudinal direction of the region corresponding to the row of the pressure generating chambers 12, and the deformation restricting portion provided in the region corresponding to the row of the pressure generating chambers 12. A deformation allowing portion 212 is provided in a region outside 211. For example, in the present embodiment, as shown in FIG. 3, the adhesive portion 210 around the IC holding portion 201 is the deformation restricting portion 211, and all of the adhesive portions 210 outside the deformation restricting portion 211 are the deformation allowing portion 212. It is.

このような構成では、ノズル開口２１の位置精度を保ちつつ、ヘッド本体１５０の外周部における温度変化等による反りを許容してヘッド本体１５０を構成する基板の剥離や、クラックの発生を防止することができる。   In such a configuration, while maintaining the positional accuracy of the nozzle opening 21, it is possible to prevent warpage due to a temperature change or the like in the outer peripheral portion of the head main body 150 and to prevent the substrate constituting the head main body 150 from peeling or cracking. Can do.

ここで、図２（ｂ）の拡大図に示すように、変形規制部２１１は、本実施形態では、ヘッドケース２００のヘッド本体１５０との接合面に所定高さで突設された第１の突起部２０３と、この第１の突起部２０３を含む領域に形成される第１の接着層２３０とで構成されている。一方、変形許容部２１２は、第１の突起部２０３よりも高さの低い第２の突起部２０４とこの第２の突起部２０４を含む領域に形成される第２の接着層２３１とで構成されて、変形規制部２１１よりも剛性が低くなっている。すなわち、第２の突起部２０４上に設けられる第２の接着層２３１の厚さが、第１の突起部２０３上に設けられる第１の接着層２３０よりも相対的に厚くなるため、変形許容部２１２は、変形規制部２１１よりも剛性が相対的に低くなっている。そして、ヘッドケース２００とヘッド本体１５０とは、変形規制部２１１によって強固に固着されるため、変形許容部２１２は、インクあるいはポッティング剤２５０等の流れ出しを防止するためのシール剤として機能する程度の剛性を有していればよい。   Here, as shown in the enlarged view of FIG. 2B, in the present embodiment, the deformation restricting portion 211 is a first protrusion projecting at a predetermined height on the joint surface with the head main body 150 of the head case 200. The protrusion 203 is composed of a first adhesive layer 230 formed in a region including the first protrusion 203. On the other hand, the deformation allowing portion 212 includes a second protrusion 204 having a height lower than that of the first protrusion 203 and a second adhesive layer 231 formed in a region including the second protrusion 204. Thus, the rigidity is lower than that of the deformation restricting portion 211. That is, since the thickness of the second adhesive layer 231 provided on the second protrusion 204 is relatively thicker than that of the first adhesive layer 230 provided on the first protrusion 203, deformation is allowed. The portion 212 is relatively lower in rigidity than the deformation restricting portion 211. Since the head case 200 and the head body 150 are firmly fixed by the deformation restricting portion 211, the deformation allowing portion 212 functions as a sealing agent for preventing the ink or the potting agent 250 from flowing out. What is necessary is just to have rigidity.

第１の接着層２３０及び第２の接着層２３１となる接着剤は、特に限定されないが、例えば、本実施形態では、シリコーン接着剤を用いている。また、変形規制部２１１を構成する第１の接着層２３０の厚さｄ１は、特に限定されないが、１〜２０μｍ程度であることが好ましい。変形許容部２１２を構成する第２の接着層２３１の厚さｄ２は、３０〜２００μｍ程度であることが好ましい。そして、第１の接着層２３０の厚さｄ１と、第２の接着層２３１の厚さｄ２との差は、１００μｍ程度であることが望ましい。このため、本実施形態では、第１の突起部２０３の高さを約１５０μｍとし、第２の突起部２０４の高さを約５０μｍとしている。これにより、変形許容部２１２の剛性は、変形規制部２１１よりも十分に低くなり、ヘッド本体１５０の変形が第２の接着層２３１の弾性変形により確実に許容される。   Although the adhesive agent used as the 1st contact bonding layer 230 and the 2nd contact bonding layer 231 is not specifically limited, For example, in this embodiment, the silicone adhesive agent is used. Further, the thickness d1 of the first adhesive layer 230 constituting the deformation restricting portion 211 is not particularly limited, but is preferably about 1 to 20 μm. The thickness d2 of the second adhesive layer 231 constituting the deformation allowing portion 212 is preferably about 30 to 200 μm. The difference between the thickness d1 of the first adhesive layer 230 and the thickness d2 of the second adhesive layer 231 is preferably about 100 μm. For this reason, in this embodiment, the height of the first protrusion 203 is about 150 μm, and the height of the second protrusion 204 is about 50 μm. As a result, the rigidity of the deformation allowing portion 212 is sufficiently lower than that of the deformation restricting portion 211, and the deformation of the head main body 150 is reliably allowed by the elastic deformation of the second adhesive layer 231.

以上のように、本発明では、圧力発生室１２に対応する領域、すなわち、ノズル開口２１に近い領域では、ヘッド本体１５０とヘッドケース２００とを変形規制部２１１によって接合し、ヘッド本体１５０の外周部、すなわち、ノズル開口２１から遠い部分では、ヘッド本体１５０とヘッドケース２００と変形許容部２１２によって接合するようにした。これにより、ヘッド本体１５０の中央部の少なくともノズル開口２１に近い領域では、ヘッド本体１５０とヘッドケース２００とは強固に固着されるため、環境温度の変化等によりヘッド本体１５０に生じる反り量が極めて小さく抑えられる。すなわち、ノズル開口２１の位置（向き）の変化を極めて小さく抑えられる。一方、ヘッド本体１５０の外周部では、ヘッド本体１５０の変形が変形許容部２１２によって許容されるため、応力の増加が抑えられる。すなわち、インクの吐出特性に影響の少ないヘッド本体１５０の外周部では、環境温度の変化等によるヘッド本体の反りが許容されて応力の増加が抑えられるため、ヘッド本体１５０を構成する各基板の剥離やクラックの発生が防止される。   As described above, in the present invention, in the region corresponding to the pressure generating chamber 12, that is, in the region close to the nozzle opening 21, the head body 150 and the head case 200 are joined by the deformation restricting portion 211, and the outer periphery of the head body 150 is At the portion, that is, the portion far from the nozzle opening 21, the head main body 150, the head case 200, and the deformation allowing portion 212 are joined. As a result, the head main body 150 and the head case 200 are firmly fixed at least in a region near the nozzle opening 21 in the central portion of the head main body 150, so that the amount of warpage generated in the head main body 150 due to a change in environmental temperature or the like is extremely large. Can be kept small. That is, the change in the position (orientation) of the nozzle opening 21 can be suppressed to an extremely small level. On the other hand, at the outer peripheral portion of the head main body 150, deformation of the head main body 150 is allowed by the deformation allowing portion 212, so that an increase in stress is suppressed. That is, at the outer peripheral portion of the head main body 150 that has little influence on the ink ejection characteristics, warpage of the head main body due to changes in environmental temperature or the like is allowed and an increase in stress is suppressed, so that each substrate constituting the head main body 150 is peeled off. And cracks are prevented.

したがって、本発明の構成では、インク吐出特性を常に良好に保持しつつ、ヘッド本体１５０を構成する各基板の剥離等を防止でき、信頼性の高いインクジェット式記録ヘッドを実現することができる。   Therefore, in the configuration of the present invention, it is possible to prevent peeling of each substrate constituting the head main body 150 and the like while always maintaining good ink ejection characteristics, and to realize a highly reliable ink jet recording head.

なお、本実施形態では、ヘッド本体１５０の中央部、すなわち、ＩＣ保持部２０１の周囲に、変形規制部２１１を連続的に設けるようにしたが、変形規制部２１１を設ける位置はこれに限定されず、例えば、図４に示すように、ＩＣ保持部２０１の周囲のうち、ヘッド本体１５０の長辺方向（圧力発生室１２の並設方向）のみに、変形規制部２１１を設けるようにしてもよい。また、例えば、図５（ａ）に示すように、ヘッド本体１５０の長辺方向の中央部のみに、変形規制部２１１を設けるようにしてもよい。何れの構成としても、上述したように、インク吐出特性を常に良好に保持しつつヘッド本体１５０を構成する基板の剥離等を防止でき、信頼性の高い液体噴射ヘッドを実現することができる。   In the present embodiment, the deformation restricting portion 211 is continuously provided around the center of the head body 150, that is, around the IC holding portion 201. However, the position where the deformation restricting portion 211 is provided is limited to this. For example, as shown in FIG. 4, the deformation restricting portion 211 may be provided only in the long side direction of the head main body 150 (the direction in which the pressure generating chambers 12 are arranged) around the IC holding portion 201. Good. Further, for example, as shown in FIG. 5A, the deformation restricting portion 211 may be provided only in the center portion of the head body 150 in the long side direction. In any configuration, as described above, it is possible to prevent peeling of the substrate constituting the head main body 150 while always maintaining good ink ejection characteristics, and to realize a highly reliable liquid jet head.

また、ヘッド本体１５０の外周部では、上述した理由から、変形許容部２１２を介してヘッド本体１５０とヘッドケース２００とを接合することが好ましいが、インク連通孔２０２の周囲については、例えば、図５（ｂ）に示すように、ＩＣ保持部２０１の周囲と同様、変形規制部２１１を設けるようにしてもよい。これにより、ヘッド本体１５０とヘッドケース２００との接合部分からインクが漏れ出すのを防止することができ、信頼性をさらに向上することができる。   For the reason described above, it is preferable to join the head main body 150 and the head case 200 to the outer peripheral portion of the head main body 150 via the deformation allowing portion 212. For example, FIG. As shown in FIG. 5B, the deformation restricting portion 211 may be provided in the same manner as the periphery of the IC holding portion 201. Thereby, it is possible to prevent the ink from leaking from the joint portion between the head main body 150 and the head case 200, and the reliability can be further improved.

なお、このようなインクジェット式記録ヘッドでは、インクカートリッジ等の外部インク供給手段から、ヘッドケース２００に設けられたインク連通孔２０２を介してインクを取り込む。そして、リザーバ１１０からノズル開口２１に至るまで内部をインクで満たした後、駆動ＩＣ１２０からの駆動信号に従い、圧力発生室１２に対応するそれぞれの下電極膜６０と上電極膜８０との間に駆動電圧を印加し、弾性膜５０、下電極膜６０及び圧電体層７０とにより、各圧力発生室１２内の圧力が高まりノズル開口２１からインク滴が吐出する。   In such an ink jet recording head, ink is taken in from an external ink supply unit such as an ink cartridge through an ink communication hole 202 provided in the head case 200. Then, after filling the interior from the reservoir 110 to the nozzle opening 21 with ink, it is driven between the lower electrode film 60 and the upper electrode film 80 corresponding to the pressure generating chamber 12 in accordance with a drive signal from the drive IC 120. A voltage is applied, and the pressure in each pressure generating chamber 12 is increased by the elastic film 50, the lower electrode film 60, and the piezoelectric layer 70, and ink droplets are ejected from the nozzle openings 21.

（他の実施形態）
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は、上述した実施形態に限定されるものではない。例えば、上述の実施形態では、ヘッドケースに設けられた第１の突起部と第１の接着層とを変形規制部とし、第２の突起部と第２の接着層とで変形許容部としているが、これに限定されるものではない。例えば、変形許容部は、ディスペンサー等で塗布された第２の接着層のみであってもよい。なお、このように第２の接着層のみを変形許容部とする場合、第１の突起部の高さを変化させることにより、変形規制部及び変形許容部の剛性を適宜調整することが望ましい。 また、上述した実施形態のインクジェット式記録ヘッドは、インクカートリッジ等と連通するインク流路を具備する記録ヘッドユニットの一部を構成して、インクジェット式記録装置に搭載される。図６は、そのインクジェット式記録装置の一例を示す概略図である。図６に示すように、ヘッド本体を有する記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂは、インク供給手段を構成するカートリッジ２Ａ及び２Ｂが着脱可能に設けられ、この記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂを搭載したキャリッジ３は、装置本体４に取り付けられたキャリッジ軸５に軸方向移動自在に設けられている。この記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂは、例えば、それぞれブラックインク組成物及びカラーインク組成物を吐出するものとしている。そして、駆動モータ６の駆動力が図示しない複数の歯車およびタイミングベルト７を介してキャリッジ３に伝達されることで、記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂを搭載したキャリッジ３はキャリッジ軸５に沿って移動される。一方、装置本体４にはキャリッジ軸５に沿ってプラテン８が設けられており、図示しない給紙ローラなどにより給紙された紙等の記録媒体である記録シートＳがプラテン８上を搬送されるようになっている。 (Other embodiments)
As mentioned above, although embodiment of this invention was described, this invention is not limited to embodiment mentioned above. For example, in the above-described embodiment, the first protrusion and the first adhesive layer provided on the head case are used as the deformation restricting portion, and the second protrusion and the second adhesive layer are used as the deformation allowing portion. However, the present invention is not limited to this. For example, the deformation allowing portion may be only the second adhesive layer applied with a dispenser or the like. When only the second adhesive layer is used as the deformation allowing portion in this way, it is desirable to appropriately adjust the rigidity of the deformation restricting portion and the deformation allowing portion by changing the height of the first protrusion. Further, the ink jet recording head of the above-described embodiment constitutes a part of a recording head unit including an ink flow path communicating with an ink cartridge or the like, and is mounted on the ink jet recording apparatus. FIG. 6 is a schematic view showing an example of the ink jet recording apparatus. As shown in FIG. 6, the recording head units 1A and 1B having the head main body are detachably provided with cartridges 2A and 2B constituting the ink supply means, and the carriage 3 on which the recording head units 1A and 1B are mounted is A carriage shaft 5 attached to the apparatus body 4 is provided so as to be movable in the axial direction. The recording head units 1A and 1B, for example, are configured to eject a black ink composition and a color ink composition, respectively. The driving force of the driving motor 6 is transmitted to the carriage 3 via a plurality of gears and timing belt 7 (not shown), so that the carriage 3 on which the recording head units 1A and 1B are mounted is moved along the carriage shaft 5. The On the other hand, the apparatus body 4 is provided with a platen 8 along the carriage shaft 5, and a recording sheet S, which is a recording medium such as paper fed by a paper feed roller (not shown), is conveyed on the platen 8. It is like that.

なお、上述の実施形態では、インク滴を吐出するための圧力発生手段として薄膜からなる圧電素子を例示したが、この圧力発生手段は、特に限定されず、例えば、発熱素子等であってもよい。   In the above-described embodiment, the piezoelectric element made of a thin film is exemplified as the pressure generating means for ejecting ink droplets. However, the pressure generating means is not particularly limited, and may be, for example, a heating element. .

また、上述した実施形態においては、本発明の液体噴射ヘッドの一例としてインクジェット式記録ヘッドを説明したが、液体噴射ヘッドの基本的構成は上述したものに限定されるものではない。勿論、本発明は、インク以外の液体を噴射するものにも適用することができる。なお、その他の液体噴射ヘッドとしては、例えば、プリンタ等の画像記録装置に用いられる各種の記録ヘッド、液晶ディスプレー等のカラーフィルタの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬディスプレー、ＦＥＤ（面発光ディスプレー）等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオｃｈｉｐ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等が挙げられる。   In the above-described embodiment, the ink jet recording head has been described as an example of the liquid ejecting head of the present invention. However, the basic configuration of the liquid ejecting head is not limited to the above-described configuration. Of course, the present invention can also be applied to a liquid ejecting liquid other than ink. Other liquid ejecting heads include, for example, various recording heads used in image recording apparatuses such as printers, color material ejecting heads used in the manufacture of color filters such as liquid crystal displays, organic EL displays, and FED (surface emitting). Examples thereof include an electrode material ejection head used for electrode formation such as a display, and a bioorganic matter ejection head used for biochip production.

実施形態１に係る記録ヘッドの分解斜視図である。FIG. 3 is an exploded perspective view of the recording head according to the first embodiment. 実施形態１に係る記録ヘッドの断面図である。FIG. 3 is a cross-sectional view of the recording head according to the first embodiment. 実施形態１に係る記録ヘッドの平面図である。FIG. 3 is a plan view of the recording head according to the first embodiment. 実施形態１に係る記録ヘッドの変形例を示す平面図である。FIG. 6 is a plan view illustrating a modification of the recording head according to the first embodiment. 実施形態１に係る記録ヘッドの変形例を示す平面図である。FIG. 6 is a plan view illustrating a modification of the recording head according to the first embodiment. 本発明の一実施形態に係る記録装置の概略図である。1 is a schematic diagram of a recording apparatus according to an embodiment of the present invention.

符号の説明Explanation of symbols

１０ 流路形成基板、 １２ 圧力発生室、 １３ 連通部、 １４ インク供給路、 ２０ ノズルプレート、 ２１ ノズル開口、 ３０ 保護基板、 ３１ 圧電素子保持部、 ３２ リザーバ部、 ４０ コンプライアンス基板、 ５０ 弾性膜、 ５５ 絶縁体膜、 ６０ 下電極膜、 ７０ 圧電体層、 ８０ 上電極膜、 ９０ リード電極、 １１０ リザーバ、 １２０ 駆動ＩＣ、 １５０ ヘッド本体、 ２００ ヘッドケース、 ２０３ 第１の突起部、 ２０４ 第２の突起部、 ２１０ 接着部、 ２１１ 変形規制部、 ２１２ 変形許容部、 ２３０ 第１の接着層、 ２３１ 第２の接着層、 ３００ 圧電素子
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Flow path formation board | substrate, 12 Pressure generation chamber, 13 Communication part, 14 Ink supply path, 20 Nozzle plate, 21 Nozzle opening, 30 Protection board, 31 Piezoelectric element holding part, 32 Reservoir part, 40 Compliance board, 50 Elastic film, 55 Insulator film, 60 Lower electrode film, 70 Piezoelectric layer, 80 Upper electrode film, 90 Lead electrode, 110 Reservoir, 120 Driving IC, 150 Head body, 200 Head case, 203 First protrusion, 204 Second Projection part, 210 Adhering part, 211 Deformation restricting part, 212 Deformation allowing part, 230 First adhesive layer, 231 Second adhesive layer, 300 Piezoelectric element

Claims (9)

複数のノズル開口が穿設されたノズルプレートと、圧力発生手段の駆動によって液滴を吐出する前記ノズル開口に連通する複数の圧力発生室が並設された流路形成基板と、を少なくとも有するヘッド本体と、前記ヘッド本体に接合されるヘッドケースとを具備し、
前記ヘッドケースが、接着剤からなる接着層を少なくとも含む接着部によって前記ヘッド本体に接合され、且つ前記接着部が、前記圧力発生室の列に対応する領域の少なくとも長手方向中央部に設けられ前記ヘッド本体の変形を実質的に規制する変形規制部と、この圧力発生室の列に対応する領域に設けられた変形規制部よりも外側の領域に設けられ前記変形規制部よりも剛性が低く前記ヘッド本体の変形を弾性変形により許容する変形許容部とを含むことを特徴とする液体噴射ヘッド。 A head having at least a nozzle plate having a plurality of nozzle openings and a flow path forming substrate in which a plurality of pressure generating chambers communicating with the nozzle openings for discharging droplets by driving pressure generating means are arranged in parallel. A main body, and a head case joined to the head main body,
The head case is joined to the head main body by an adhesive part including at least an adhesive layer made of an adhesive, and the adhesive part is provided at least in the center in the longitudinal direction of the region corresponding to the row of the pressure generating chambers. A deformation restricting portion that substantially restricts deformation of the head body, and a lower rigidity than the deformation restricting portion provided in a region outside the deformation restricting portion provided in a region corresponding to the row of the pressure generating chambers. A liquid ejecting head comprising: a deformation allowing portion that allows deformation of the head main body by elastic deformation. 請求項１において、前記変形許容部の前記接着層の厚さが、前記変形規制部の前記接着層の厚さよりも厚いことを特徴とする液体噴射ヘッド。 The liquid ejecting head according to claim 1, wherein a thickness of the adhesive layer of the deformation allowing portion is larger than a thickness of the adhesive layer of the deformation restricting portion. 請求項１又は２において、前記変形規制部は、前記ヘッドケースの前記ヘッド本体との接合面に設けられた第１の突起部を含むことを特徴とする液体噴射ヘッド。 3. The liquid jet head according to claim 1, wherein the deformation restricting portion includes a first protrusion provided on a joint surface of the head case with the head main body. 請求項３において、前記変形許容部は、前記ヘッドケースの接合面に設けられた前記第１の突起部よりも高さの低い第２の突起部を含むことを特徴とする液体噴射ヘッド。 The liquid ejecting head according to claim 3, wherein the deformation allowing portion includes a second protrusion having a height lower than that of the first protrusion provided on a joint surface of the head case. 請求項１〜４の何れかにおいて、前記変形規制部が、少なくとも前記圧力発生室の並設方向に延設されていることを特徴とする液体噴射ヘッド。 5. The liquid ejecting head according to claim 1, wherein the deformation restricting portion extends at least in a direction in which the pressure generating chambers are juxtaposed. 請求項１〜５の何れかにおいて、前記変形規制部が、前記圧力発生室の列に対応する領域の周囲に亘って設けられていることを特徴とする液体噴射ヘッド。 The liquid ejecting head according to claim 1, wherein the deformation restricting portion is provided around a region corresponding to the row of the pressure generating chambers. 請求項１〜６の何れかにおいて、前記変形許容部が、前記圧力発生室に対向する領域の外側のみに設けられていることを特徴とする液体噴射ヘッド。 The liquid ejecting head according to claim 1, wherein the deformation allowing portion is provided only outside a region facing the pressure generating chamber. 請求項１〜７の何れかにおいて、前記ヘッドケースが前記圧力発生室の列に対応する領域の外側に、前記ヘッド本体の前記圧力発生室を含む液体流路に連通する連通孔を有し、当該ヘッドケースの前記連通孔の周囲が前記変形規制部によって前記ヘッド本体と接合されていることを特徴とする液体噴射ヘッド。 In any one of Claims 1-7, The said head case has a communicating hole connected to the liquid flow path containing the said pressure generation chamber of the said head main body on the outer side of the area | region corresponding to the row | line | column of the said pressure generation chamber, The liquid ejecting head according to claim 1, wherein the periphery of the communication hole of the head case is joined to the head body by the deformation restricting portion. 請求項１〜８の何れかに記載の液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置。
A liquid ejecting apparatus comprising the liquid ejecting head according to claim 1.
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