JP2007047681A

JP2007047681A - Laser beam radiator

Info

Publication number: JP2007047681A
Application number: JP2005234505A
Authority: JP
Inventors: Takeshi Yamamoto; 剛山本; Yasutsugu Hanamoto; 康嗣花本; Shigeru Nakamura; 滋中村
Original assignee: Sanyo Electric Co Ltd
Current assignee: Sanyo Electric Co Ltd
Priority date: 2005-08-12
Filing date: 2005-08-12
Publication date: 2007-02-22

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a laser beam radiator that changes irradiation direction by installing a lens in the optical path of a laser beam radiated from a laser diode and by displacing the lens. SOLUTION: The laser beam radiator is equipped with a laser diode 1 for radiating a laser beam and a lens 3 at the incident position of the laser beam radiated from the laser diode 1. The radiator is structured so that the radiation direction of the laser beam may be changed by displacing the lens 3 in the direction vertical to the optical axis. COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Description

本発明は、レーザー光を対象物に照射し、該対象物から反射されて戻って来るレーザー光を利用して対象物との間の距離や対象物の位置等を認識するレーザーレーダー装置等に使用されるレーザー光放射器に関する。 The present invention provides a laser radar device that irradiates an object with laser light and recognizes the distance to the object, the position of the object, and the like using the laser light reflected and returned from the object. It relates to a laser beam emitter used.

最近、前方を走行する車にレーザー光を照射させて、その車と自分の車との間の距離、相対速度及び位置等を検出する装置が組み込まれた車が商品化されており、斯かる装置はレーザーレーダー装置と呼ばれている。 Recently, a vehicle in which a device that detects the distance, relative speed, position, and the like between the vehicle and its own vehicle by irradiating the vehicle traveling ahead with laser light has been commercialized. The device is called a laser radar device.

斯かるレーザーレーダー装置は、レーザーダイオードから生成されるレーザー光を対象物方向へ照射させるとともに該レーザー光の照射方向を上下左右方向へ移動させる動作、所謂スキャンと呼ばれる動作を所定範囲内にて行うことによって対象物の情報を得るように構成されている。 Such a laser radar device irradiates laser light generated from a laser diode in the direction of an object and moves the irradiation direction of the laser light in the vertical and horizontal directions, so-called scanning, within a predetermined range. It is comprised so that the information of a target object may be obtained.

斯かるレーザー光のスキャン動作は、一般的にはレーザー光を反射するミラーを設け、該ミラーを回転させることによって行うように構成されている。斯かるミラーを回転させることによってスキャン動作を行う構成では、ミラーを回転させる機構が必要なため、装置が大きくなるだけでなく、スキャン速度が遅いという問題がある。 Such a scanning operation of the laser beam is generally performed by providing a mirror that reflects the laser beam and rotating the mirror. Such a configuration in which the scanning operation is performed by rotating the mirror requires a mechanism for rotating the mirror, which causes a problem that not only the apparatus becomes large but also the scanning speed is low.

斯かる問題を解決するためにレーザー光を照射するレーザー素子を移動させることによってスキャン動作を行うようにした技術が開発されている(例えば、特許文献１参照。)。
特開平５−２８８８５７号公報 In order to solve such a problem, a technique has been developed in which a scanning operation is performed by moving a laser element that emits laser light (see, for example, Patent Document 1).
Japanese Patent Laid-Open No. 5-288857

特許文献１に記載されている技術は、レーザー素子を移動させることによってスキャン動作を行うように構成されているが、斯かるレーザー素子を変位させる構成では、レーザー素子に駆動電流を供給する駆動回路とレーザー素子とを電気的に接続するリード線等が必要であるので、構成が複雑になるとともにリード線が切断しないようにする必要があり、コストアップを招くという問題がある。また、レーザー素子の移動動作を行う機構の精度を高くしなければ、レーザー光の照射角度が大きく変化するため、正確なスキャン動作を行うことが出来ないという問題がある。 The technique described in Patent Document 1 is configured to perform a scanning operation by moving a laser element. In the configuration in which the laser element is displaced, a driving circuit that supplies a driving current to the laser element. Since a lead wire or the like for electrically connecting the laser element and the laser element is necessary, it is necessary to make the structure complicated and to prevent the lead wire from being cut, resulting in an increase in cost. In addition, unless the accuracy of the mechanism for moving the laser element is increased, the irradiation angle of the laser light changes greatly, and there is a problem that an accurate scanning operation cannot be performed.

本発明は、斯かる問題を解決することが出来るレーザー光放射器を提供しようとするものである。 The present invention is intended to provide a laser beam emitter capable of solving such a problem.

本発明は、レーザー光を放射するレーザーダイオードと、該レーザーダイオードから放射されるレーザー光の光路内にレンズを設け、該レンズを光軸に対して直角方向へ変位させることによってレーザー光の放射方向を変更するように構成されている。 The present invention provides a laser diode that emits laser light, a lens provided in the optical path of the laser light emitted from the laser diode, and the lens is displaced in a direction perpendicular to the optical axis, thereby emitting the laser light. Is configured to change.

また、本発明は、レンズを互いに直角関係にあるＸ方向及びＹ方向へ変位させることによってレーザー光の放射方向を変更するように構成されている。 Further, the present invention is configured to change the radiation direction of the laser light by displacing the lens in the X direction and the Y direction which are perpendicular to each other.

そして、本発明は、レンズの変位に伴ってレーザー光の照射位置が変化する位置に光検
出器を設け、該光検出器にてレーザー光の放射方向を検出するように構成されている。 In the present invention, a photodetector is provided at a position where the irradiation position of the laser beam changes with the displacement of the lens, and the radiation direction of the laser beam is detected by the photodetector.

また、本発明は、レンズから出力されるレーザー光の光路内にビームスプリッタを設け、該ビームスプリッタにて分離されたレーザー光を光検出器に照射し、該光検出器にて得られる信号によってＸ方向及びＹ方向の位置を制御するように構成されている。 Further, the present invention provides a beam splitter in the optical path of the laser beam output from the lens, irradiates the photodetector with the laser beam separated by the beam splitter, and uses a signal obtained by the photodetector. The position in the X direction and the Y direction is controlled.

更に、本発明は、ビームスプリッタと光検出器との間に集光レンズを設け、該集光レンズにて該光検出器上にレーザー光を照射させるように構成されている。 Further, according to the present invention, a condensing lens is provided between the beam splitter and the photodetector, and the condensing lens is configured to irradiate laser light onto the photodetector.

また、本発明は、光検出器としてＡＢＣＤの４つのセンサー部より構成された４分割センサーを使用し、Ｘ方向及びＹ方向に対応して配置されている２組のセンサーより得られる信号の差である差信号に基づいてＸ方向及びＹ方向の位置を認識するように構成されている。 Further, the present invention uses a four-divided sensor composed of four ABCD sensor units as a photodetector, and the difference between signals obtained from two sets of sensors arranged corresponding to the X and Y directions. Based on the difference signal, the positions in the X direction and the Y direction are recognized.

そして、本発明は、全てのセンサーから得られる信号を加算した信号にて差信号を割算した信号に基づいてＸ方向及びＹ方向の位置を認識するように構成されている。 And this invention is comprised so that the position of a X direction and a Y direction may be recognized based on the signal which divided the difference signal by the signal which added the signal obtained from all the sensors.

本発明は、レーザー光を放射するレーザーダイオードと、該レーザーダイオードから放射されるレーザー光の光路内にレンズを設け、該レンズを光軸に対して直角方向へ変位させることによってレーザー光の放射方向を変更するようにしたので、即ちレーザー光を生成するレーザーダイオードは移動させないので、構成が簡単になるという利点を有している。 The present invention provides a laser diode that emits laser light, a lens provided in the optical path of the laser light emitted from the laser diode, and the lens is displaced in a direction perpendicular to the optical axis, thereby emitting the laser light. Since the laser diode that generates laser light is not moved, there is an advantage that the configuration becomes simple.

また、本発明は、レンズを互いに直角関係にあるＸ方向及びＹ方向へ変位させることによってレーザー光の放射方向を変更するようにしたので、レーザー光のスキャン動作を正確に行うことが出来る。 Further, in the present invention, the laser light emission direction is changed by displacing the lens in the X direction and the Y direction which are perpendicular to each other, so that the laser light scanning operation can be performed accurately.

そして、本発明は、レンズから出力されるレーザー光の光路内にビームスプリッタを設け、該ビームスプリッタにて分離されたレーザー光を光検出器に照射し、該光検出器にて得られる信号によってＸ方向及びＹ方向の位置を制御するようにしたので、レンズの位置制御を容易に行うことが出来る。 The present invention provides a beam splitter in the optical path of the laser beam output from the lens, irradiates the photodetector with the laser beam separated by the beam splitter, and uses the signal obtained by the photodetector. Since the positions in the X and Y directions are controlled, the lens position can be easily controlled.

更に、本発明は、ビームスプリッタと光検出器との間に集光レンズを設け、該集光レンズにて該光検出器上にレーザー光を照射させるようにしたので、光検出器に照射されるレーザー光の光量を大きくすることが出来、その結果位置検出動作を正確に行うことが出来る。 Furthermore, in the present invention, a condensing lens is provided between the beam splitter and the photodetector, and the condensing lens is used to irradiate the laser light onto the photodetector. As a result, the position detection operation can be performed accurately.

また、本発明は、光検出器としてＡＢＣＤの４つのセンサー部より構成された４分割センサーを使用し、Ｘ方向及びＹ方向に対応して配置されている２組のセンサーより得られる信号の差である差信号に基づいてＸ方向及びＹ方向の位置を認識するようにしたので、検出機構が簡単になるという特徴を有している。 Further, the present invention uses a four-divided sensor composed of four ABCD sensor units as a photodetector, and the difference between signals obtained from two sets of sensors arranged corresponding to the X and Y directions. Since the positions in the X direction and the Y direction are recognized based on the difference signal, the detection mechanism is simplified.

そして、本発明は、全てのセンサーから得られる信号を加算した信号にて差信号を割算した信号に基づいてＸ方向及びＹ方向の位置を認識するようにしたので、光検出器に照射されるレーザー光の光量が変化しても位置検出動作を正確に行うことが出来る。 In the present invention, since the position in the X direction and the Y direction is recognized based on the signal obtained by dividing the difference signal by the signal obtained by adding the signals obtained from all the sensors, the light detector is irradiated. Even if the amount of laser light to be changed changes, the position detection operation can be performed accurately.

本発明は、レーザーダイオードから放射されるレーザー光の照射方向の変位動作をレンズの変位動作を利用して行うように構成されている。 The present invention is configured so that the displacement operation in the irradiation direction of the laser light emitted from the laser diode is performed using the displacement operation of the lens.

図１は本発明のレーザー光放射器を示す概略図、図２は本発明のレーザー放射器を示す回路図、図３は本発明の動作を説明するための図である。 FIG. 1 is a schematic view showing a laser beam emitter of the present invention, FIG. 2 is a circuit diagram showing the laser beam emitter of the present invention, and FIG. 3 is a diagram for explaining the operation of the present invention.

図１において、１はレーザー光を生成放射するレーザーダイオードであり、基板２に固定されている。３は前記レーザーダイオード１から放射されるレーザー光が入射されるとともに該信号を平行光に変換するレンズであり、レンズホルダー４に固定されているとともに該レンズホルダー４を支持する金属製の支持ワイヤ(図示せず)によってレーザー光の光軸に対して直角方向への変位が可能になるように構成されている。 In FIG. 1, reference numeral 1 denotes a laser diode that generates and emits laser light, and is fixed to a substrate 2. Reference numeral 3 denotes a lens that receives the laser light emitted from the laser diode 1 and converts the signal into parallel light. The lens 3 is fixed to the lens holder 4 and supports the lens holder 4. (Not shown) is configured to allow displacement in a direction perpendicular to the optical axis of the laser beam.

５は前記レーザーダイオード１から放射されるレーザー光を前記レンズ３に正確に入射させるべく設けられている仕切り板、６は前記対物レンズ３をＸ軸方向、即ち上下方向へ変位させるＸ方向駆動用コイルであり、前記レンズホルダー４に固定されている。７(図１)は前記対物レンズ３をＹ軸方向、即ちＸ方向に対して直角である左右方向へ変位させるＹ方向駆動用コイルであり、前記レンズホルダー４に固定されている。 Reference numeral 5 denotes a partition plate provided to allow the laser light emitted from the laser diode 1 to be accurately incident on the lens 3, and reference numeral 6 denotes an X-direction drive for displacing the objective lens 3 in the X-axis direction, that is, the vertical direction. A coil is fixed to the lens holder 4. Reference numeral 7 (FIG. 1) denotes a Y-direction driving coil for displacing the objective lens 3 in the Y-axis direction, that is, the left-right direction perpendicular to the X direction, and is fixed to the lens holder 4.

斯かる構成において、前記Ｘ方向駆動用コイル６及びＹ方向駆動用コイル７への駆動電流は、前述した支持ワイヤーを介して供給されるように構成されているとともに前記基板２等に固定されている磁石(図示せず)との協働によってレンズ３をＸ方向及びＹ方向へ変位させるように構成されている。 In such a configuration, the drive current to the X-direction drive coil 6 and the Y-direction drive coil 7 is configured to be supplied via the support wire described above and fixed to the substrate 2 or the like. The lens 3 is configured to be displaced in the X direction and the Y direction in cooperation with a magnet (not shown).

８は前記レンズ３にて平行光に変換されたレーザー光Ｌの光路内に設けられているとともにプリズムにて構成されているビームスプリッタであり、レーザー光Ｌを透過光Ｌ１と反射光Ｌ２に分離させる作用を成すものである。９は図２に示す配置のＡ、Ｂ、Ｃ及びＤの４つのセンサー部より構成された４分割センサーより成る光検出器、１０は前記ビームスプリッタ８にて分離された反射光Ｌ２の光路内に設けられている集光レンズであり、前記光検出器９に反射光Ｌ２を集光させる作用を成すものである。 A beam splitter 8 is provided in the optical path of the laser light L converted into parallel light by the lens 3 and is constituted by a prism. The beam splitter 8 separates the laser light L into transmitted light L1 and reflected light L2. It is what makes it act. Reference numeral 9 denotes a photodetector comprising four divided sensors composed of four sensor portions A, B, C, and D arranged as shown in FIG. 2. Reference numeral 10 denotes an optical path of the reflected light L2 separated by the beam splitter 8. The condensing lens is provided for the above-described purpose, and has a function of condensing the reflected light L2 on the photodetector 9.

以上に説明したように本発明に係るレーザー光放射器は構成されているが、次に図２に示したブロック回路図を参照して本発明に係るレーザー光の照射制御動作について説明する。図２において、１１は前記光検出器９を構成するセンサー部Ａから得られる信号である電流を電圧に変換する第１Ｉ／Ｖ変換器、１２はセンサー部Ｂから得られる信号である電流を電圧に変換する第２Ｉ／Ｖ変換器、１３はセンサー部Ｃから得られる信号である電流を電圧に変換する第３Ｉ／Ｖ変換器、１４はセンサー部Ｄから得られる信号である電流を電圧に変換する第４Ｉ／Ｖ変換器である。 As described above, the laser light emitter according to the present invention is configured. Next, the laser light irradiation control operation according to the present invention will be described with reference to the block circuit diagram shown in FIG. In FIG. 2, reference numeral 11 denotes a first I / V converter that converts a current, which is a signal obtained from the sensor unit A constituting the photodetector 9, into a voltage, and 12 denotes a voltage, which is a signal obtained from the sensor unit B. A second I / V converter for converting the signal into a voltage, 13 is a third I / V converter for converting a current, which is a signal obtained from the sensor unit C, into a voltage, and 14 is a current, which is a signal obtained from the sensor unit D, into a voltage. The fourth I / V converter.

１５は前記第１Ｉ／Ｖ変換器１１にて電圧に変換された信号に含まれるパルス成分を遮断する第１ローパスフィルタ、１６は前記第２Ｉ／Ｖ変換器１２にて電圧に変換された信号に含まれるパルス成分を遮断する第２ローパスフィルタ、１７は前記第３Ｉ／Ｖ変換器１３にて電圧に変換された信号に含まれるパルス成分を遮断する第３ローパスフィルタ、１８は前記第４Ｉ／Ｖ変換器１４にて電圧に変換された信号に含まれるパルス成分を遮断する第４ローパスフィルタである。 Reference numeral 15 denotes a first low-pass filter that cuts off a pulse component included in the signal converted into a voltage by the first I / V converter 11, and reference numeral 16 denotes a signal converted into a voltage by the second I / V converter 12. A second low-pass filter for blocking the included pulse component, 17 is a third low-pass filter for blocking the pulse component included in the signal converted into a voltage by the third I / V converter 13, and 18 is the fourth I / V. It is a fourth low-pass filter that blocks a pulse component included in the signal converted into a voltage by the converter.

１９は前記第１ローパスフィルタ１５を通過した信号、即ちセンサー部Ａから得られる信号と前記第４ローパスフィルタ１８を通過した信号、即ちセンサー部Ｄから得られる信号とを加算する第１加算回路、２０は前記第２ローパスフィルタ１６を通過した信号、即ちセンサー部Ｂから得られる信号と前記第３ローパスフィルタ１７を通過した信号、即ちセンサー部Ｃから得られる信号とを加算する第２加算回路、２１は前記第１ローパスフィルタ１５を通過した信号、即ちセンサー部Ａから得られる信号と前記第２ローパスフィル
タ１６を通過した信号、即ちセンサー部Ｂから得られる信号とを加算する第３加算回路、２２は前記第３ローパスフィルタ１７を通過した信号、即ちセンサー部Ｃから得られる信号と前記第４ローパスフィルタ１８を通過した信号、即ちセンサー部Ｄから得られる信号とを加算する第４加算回路、２３は前記ローパスフィルタ１５、１６，１７及び１８を通過した信号、即ちセンサー部Ａ、Ｂ、Ｃ及びＤから得られる信号を加算する第５加算回路である。 19 is a first addition circuit for adding a signal that has passed through the first low-pass filter 15, that is, a signal obtained from the sensor unit A, and a signal that has passed through the fourth low-pass filter 18, that is, a signal obtained from the sensor unit D; Reference numeral 20 denotes a second addition circuit for adding a signal that has passed through the second low-pass filter 16, that is, a signal obtained from the sensor unit B, and a signal that has passed through the third low-pass filter 17, that is, a signal obtained from the sensor unit C. 21 is a third addition circuit for adding the signal passing through the first low-pass filter 15, that is, the signal obtained from the sensor unit A, and the signal passing through the second low-pass filter 16, that is, the signal obtained from the sensor unit B, Reference numeral 22 denotes a signal that has passed through the third low-pass filter 17, that is, a signal obtained from the sensor unit C and the fourth low-pass filter. The fourth adder circuit 23 adds the signal that has passed through 8, that is, the signal obtained from the sensor unit D, and the signal 23 that has passed through the low-pass filters 15, 16, 17, and 18, that is, the sensor units A, B, C, and D 5 is a fifth adder circuit for adding signals obtained from

２４は前記第１加算回路１９及び第２加算回路２０の出力信号が入力される第１比較回路であり、入力される信号のレベル差に基づいた信号を出力するように構成されている。即ち、斯かる第１比較回路２４から出力される信号は、光検出器９を構成するセンサー部Ａとセンサー部Ｄより得られる信号を加算した信号とセンサー部Ｂとセンサー部Ｃより得られる信号を加算した信号とを比較した信号であり、その出力信号のレベルは、光検出器９上に照射されるレーザー光のスポットＳの照射位置に応じて変化する。 Reference numeral 24 denotes a first comparison circuit to which the output signals of the first addition circuit 19 and the second addition circuit 20 are input, and is configured to output a signal based on the level difference of the input signals. That is, the signal output from the first comparison circuit 24 is a signal obtained by adding the signals obtained from the sensor unit A and the sensor unit D constituting the photodetector 9, and the signal obtained from the sensor unit B and the sensor unit C. The level of the output signal changes according to the irradiation position of the spot S of the laser beam irradiated on the photodetector 9.

即ち、光検出器９において、センサー部Ａ及びＤとセンサー部Ｂ及びＣとを分割する分割線Ｅの左側(図２において)にスポットＳがズレている場合には、第１加算回路１９の出力信号のレベルが第２加算回路２０の出力信号のレベルより大きくなるため、第１比較回路２４の出力信号のレベルは＋側に大きくなる。反対に、センサー部Ａ及びＤとセンサー部Ｂ及びＣとを分割する分割線Ｅの右側(図２において)にスポットＳがズレている場合には、第２加算回路２０の出力信号のレベルが第１加算回路１９の出力信号のレベルより大きくなるため、第１比較回路２４の出力信号のレベルは−側に大きくなる。 That is, in the photodetector 9, when the spot S is shifted to the left side (in FIG. 2) of the dividing line E that divides the sensor parts A and D and the sensor parts B and C, the first adding circuit 19 Since the level of the output signal is higher than the level of the output signal of the second addition circuit 20, the level of the output signal of the first comparison circuit 24 is increased to the + side. On the other hand, when the spot S is shifted to the right side (in FIG. 2) of the dividing line E that divides the sensor parts A and D and the sensor parts B and C, the level of the output signal of the second adder circuit 20 is Since it becomes higher than the level of the output signal of the first addition circuit 19, the level of the output signal of the first comparison circuit 24 becomes higher on the negative side.

斯かるスポットＳの位置に対応して第１比較回路２４の出力信号のレベルが変化することになるが、斯かるレベルの変化は、レンズ３のＸ方向への変位に伴う透過光Ｌ１のＸ方向、即ち上下方向の変位量に対応するように構成されている。 The level of the output signal of the first comparison circuit 24 changes corresponding to the position of the spot S. The change in the level is caused by the X of the transmitted light L1 accompanying the displacement of the lens 3 in the X direction. It is comprised so that it may respond | correspond to the amount of displacement of a direction, ie, an up-down direction.

２５は前記第３加算回路２１及び第４加算回路２２の出力信号が入力される第２比較回路であり、入力される信号のレベル差に基づいた信号を出力するように構成されている。即ち、斯かる第２比較回路２５から出力される信号は、光検出器９を構成するセンサー部Ａとセンサー部Ｂより得られる信号を加算した信号とセンサー部Ｃとセンサー部Ｄより得られる信号を加算した信号とを比較した信号であり、その出力信号のレベルは、光検出器９上に照射されるレーザー光のスポットＳの照射位置に応じて変化する。 Reference numeral 25 denotes a second comparison circuit to which the output signals of the third addition circuit 21 and the fourth addition circuit 22 are input, and is configured to output a signal based on the level difference of the input signals. That is, the signal output from the second comparison circuit 25 is a signal obtained by adding the signals obtained from the sensor unit A and the sensor unit B constituting the photodetector 9, and the signal obtained from the sensor unit C and the sensor unit D. The level of the output signal changes according to the irradiation position of the spot S of the laser beam irradiated on the photodetector 9.

即ち、光検出器９において、センサー部Ａ及びＢとセンサー部Ｃ及びＤとを分割する分割線Ｆの上側(図２において)にスポットＳがズレている場合には、第３加算回路２１の出力信号のレベルが第４加算回路２２の出力信号のレベルより大きくなるため、第２比較回路２５の出力信号のレベルは＋側に大きくなる。反対に、センサー部Ａ及びＢとセンサー部Ｃ及びＤとを分割する分割線Ｆの下側(図２において)にスポットＳがズレている場合には、第４加算回路２２の出力信号のレベルが第３加算回路２１の出力信号のレベルより大きくなるため、第２比較回路２５の出力信号のレベルは−側に大きくなる。 That is, in the photodetector 9, when the spot S is shifted above the dividing line F that divides the sensor parts A and B and the sensor parts C and D (in FIG. 2), the third adding circuit 21 Since the level of the output signal is higher than the level of the output signal of the fourth addition circuit 22, the level of the output signal of the second comparison circuit 25 is increased to the + side. On the other hand, when the spot S is shifted below the dividing line F that divides the sensor parts A and B and the sensor parts C and D (in FIG. 2), the level of the output signal of the fourth addition circuit 22 Becomes larger than the level of the output signal of the third adder circuit 21, and therefore the level of the output signal of the second comparison circuit 25 becomes larger in the negative direction.

斯かるスポットＳの位置に対応して第２比較回路２５の出力信号のレベルが変化することになるが、斯かるレベルの変化は、レンズ３のＹ方向への変位に伴う透過光Ｌ１のＹ方向、即ち左右方向の変位量に対応するように構成されている。 The level of the output signal of the second comparison circuit 25 changes corresponding to the position of the spot S. The change in the level is caused by the Y of the transmitted light L1 accompanying the displacement of the lens 3 in the Y direction. It is comprised so that it may respond | correspond to the displacement amount of a direction, ie, the left-right direction.

２６は前記第１比較回路２４の出力信号及び前記第５加算回路２３の出力信号が入力される第１割算回路であり、前記第１比較回路２４の出力信号、即ち(Ａ＋Ｄ)−(Ｂ＋Ｃ)の値を第５加算回路２３の出力信号、即ちＡ＋Ｂ＋Ｃ＋Ｄの値で割算処理する作用を成すものである。ここで、Ａ、Ｂ、Ｃ及びＤは、各センサー部Ａ、Ｂ、Ｃ及びＤで得られる信号のレベルを表すものである。２７は前記第２比較回路２５の出力信号及び前記第５加算回
路２３の出力信号が入力される第２割算回路であり、前記第２比較回路２５の出力信号、即ち(Ａ＋Ｂ)−(Ｃ＋Ｄ)を第５加算回路２３の出力信号、即ちＡ＋Ｂ＋Ｃ＋Ｄで割算処理する作用を成すものである。 Reference numeral 26 denotes a first division circuit to which the output signal of the first comparison circuit 24 and the output signal of the fifth addition circuit 23 are input. The output signal of the first comparison circuit 24, that is, (A + D)-(B + C). ) Is divided by the output signal of the fifth adder circuit 23, that is, the value of A + B + C + D. Here, A, B, C, and D represent signal levels obtained by the sensor units A, B, C, and D, respectively. Reference numeral 27 denotes a second division circuit to which the output signal of the second comparison circuit 25 and the output signal of the fifth addition circuit 23 are input. The output signal of the second comparison circuit 25, that is, (A + B)-(C + D). ) Is divided by the output signal of the fifth adder circuit 23, that is, A + B + C + D.

斯かる第１割算回路２６及び第２割算回路２７を設けている理由は、レンズ３の変位動作に伴って集光レンズ１０の集光作用によって光検出器９上に反射光Ｌ２が照射される光量が変化するので、その照射量の変化を補正するためである。 The reason why the first division circuit 26 and the second division circuit 27 are provided is that the reflected light L2 is irradiated onto the photodetector 9 by the condensing action of the condenser lens 10 in accordance with the displacement operation of the lens 3. This is because the amount of emitted light changes, so that the change in the irradiation amount is corrected.

２８は透過光Ｌ１の照射方向の制御動作及びレーザーダイオード１の照射動作等を制御する制御回路、２９は前記制御回路２８によって動作が制御されるレーザー駆動回路であり、前記レーザーダイオード１に駆動信号を供給する作用を成すものである。 28 is a control circuit for controlling the irradiation direction control operation of the transmitted light L1, the irradiation operation of the laser diode 1, etc. 29 is a laser drive circuit whose operation is controlled by the control circuit 28, and a drive signal to the laser diode 1 It has the effect | action which supplies.

３０は前記制御回路２８によって動作が制御されるＸ位置指示信号生成回路であり、該制御回路２８から出力される制御信号に基づいて透過光Ｌ１のＸ位置、即ち上下方向の位置を指示する信号を出力するように構成されている。３１は前記制御回路２８によって動作が制御されるＹ位置指示信号生成回路であり、該制御回路２８から出力される制御信号に基づいて透過光Ｌ１のＹ位置、即ち左右方向の位置を指示する信号を出力するように構成されている。 Reference numeral 30 denotes an X position instruction signal generation circuit whose operation is controlled by the control circuit 28, and a signal for instructing the X position of the transmitted light L1, that is, the vertical position based on the control signal output from the control circuit 28. Is configured to output. Reference numeral 31 denotes a Y position instruction signal generation circuit whose operation is controlled by the control circuit 28, and a signal for instructing the Y position of the transmitted light L1, that is, the position in the left-right direction based on the control signal output from the control circuit 28. Is configured to output.

３２は前記第１割算回路２６の出力信号及びX位置指示信号生成回路３０から出力される信号が入力されるＸ方向サーボ回路であり、入力される信号のレベル差を無くする方向のサーボ信号を生成出力するように構成されている。３３は前記第２割算回路２７の出力信号及びＹ位置指示信号生成回路３１から出力される信号が入力されるＹ方向サーボ回路であり、入力される信号のレベル差を無くする方向のサーボ信号を生成出力するように構成されている。 Reference numeral 32 denotes an X direction servo circuit to which the output signal of the first division circuit 26 and the signal output from the X position indication signal generation circuit 30 are input, and the servo signal in a direction to eliminate the level difference between the input signals. Is generated and output. Reference numeral 33 denotes a Y-direction servo circuit to which the output signal of the second division circuit 27 and the signal output from the Y-position indication signal generation circuit 31 are input, and the servo signal in a direction that eliminates the level difference between the input signals. Is generated and output.

３４は前記Ｘ方向駆動用コイル６に駆動信号を供給するＸ方向駆動コイル駆動回路であり、前記Ｘ方向サーボ回路３２から出力されるサーボ信号に基づいて駆動信号を供給するように構成されている。３５は前記Ｙ方向駆動用コイル７に駆動信号を供給するＹ方向駆動コイル駆動回路であり、前記Ｙ方向サーボ回路３３から出力されるサーボ信号に基づいて駆動信号を供給するように構成されている。 Reference numeral 34 denotes an X-direction drive coil drive circuit that supplies a drive signal to the X-direction drive coil 6 and is configured to supply a drive signal based on a servo signal output from the X-direction servo circuit 32. . Reference numeral 35 denotes a Y-direction drive coil drive circuit that supplies a drive signal to the Y-direction drive coil 7 and is configured to supply a drive signal based on a servo signal output from the Y-direction servo circuit 33. .

以上に説明したように本発明のレーザー光放射器は構成されているが、次に動作について説明する。制御回路２８から透過光Ｌ１のＸ方向の位置をＸ１にするための制御信号がＸ位置指示信号生成回路３０に対して出力されると、該Ｘ位置指示信号生成回路３０から不揮発性メモリー(図示せず)に記憶されているデータに基いてＸ１位置にするための指示信号がＸ方向サーボ回路３２に対して出力される。 As described above, the laser light emitter of the present invention is configured. Next, the operation will be described. When a control signal for setting the position of the transmitted light L1 in the X direction to X1 is output from the control circuit 28 to the X position instruction signal generation circuit 30, the X position instruction signal generation circuit 30 outputs a nonvolatile memory (FIG. An instruction signal for setting the X1 position based on the data stored in the X direction servo circuit 32 is output.

また、制御回路２８によるレーザー駆動回路２９に対する制御信号が出力され、該レーザー駆動回路２９からレーザーダイオード１に対して駆動信号が供給される。斯かる駆動信号がレーザーダイオード１に供給されると、該レーザーダイオード１からレーザー光Ｌが放射される。前記レーザーダイオード１から放射されたレーザー光Ｌは、レンズ３にて平行光に変換された後ビームスプリッタ８に入射される。 Further, a control signal for the laser drive circuit 29 is output from the control circuit 28, and the drive signal is supplied from the laser drive circuit 29 to the laser diode 1. When such a drive signal is supplied to the laser diode 1, the laser light L is emitted from the laser diode 1. The laser light L emitted from the laser diode 1 is converted into parallel light by the lens 3 and then enters the beam splitter 8.

前記ビームスプリッタ８に入射されたレーザー光Ｌは、該ビームスプリッタ８によって透過光Ｌ１と反射光Ｌ２とに分離される。前記ビームスプリッタ８によって分離された反射光Ｌ２は集光レンズ１０によって集光されて光検出器９に照射される。前記光検出器９上には、前記集光レンズ１０にて集光された反射光Ｌ２の照射位置が図２にスポットＳとして表されている。 The laser light L incident on the beam splitter 8 is separated into transmitted light L1 and reflected light L2 by the beam splitter 8. The reflected light L 2 separated by the beam splitter 8 is condensed by the condenser lens 10 and irradiated to the photodetector 9. On the photodetector 9, the irradiation position of the reflected light L2 collected by the condenser lens 10 is shown as a spot S in FIG.

前記光検出器９は、前述したように４分割センサー部Ａ、Ｂ、Ｃ及びＤにて構成されているため、スポットＳの照射位置に応じた検出信号が、ローパスフィルタ１５、１６、１７及び１８から出力される。斯かる検出信号が前記ローパスフィルタ１５、１６、１７及び１８から出力されると、各々の信号が第１加算回路１９、第２加算回路２０、第３加算回路２１及び第４加算回路２２にて加算された後、第１比較回路２４及び第２比較回路２５に入力される。 Since the light detector 9 is composed of the four-divided sensor portions A, B, C, and D as described above, the detection signal corresponding to the irradiation position of the spot S is sent to the low-pass filters 15, 16, 17 and 18 is output. When such detection signals are output from the low-pass filters 15, 16, 17 and 18, the respective signals are output from the first addition circuit 19, the second addition circuit 20, the third addition circuit 21 and the fourth addition circuit 22. After the addition, it is input to the first comparison circuit 24 and the second comparison circuit 25.

前記第１比較回路２４からは、前述したように透過光Ｌ１のＸ方向の変位位置に応じた信号、即ち(Ａ＋Ｄ)−(Ｂ＋Ｃ)なる信号が出力されて第１割算回路２６に入力される。また、前記第１割算回路２６には、前記第５加算回路２３の出力、即ち光検出器９の全てのセンサー部から得られる信号であるＡ＋Ｂ＋Ｃ＋Ｄなる信号が入力される。斯かる信号が第１割算回路２６に入力されると、該第１割算回路２６による演算処理動作、即ち｛（Ａ＋Ｄ）−（Ｂ＋Ｃ）｝／（Ａ＋Ｂ＋Ｃ＋Ｄ）なる演算処理動作が行われ、演算処理された信号が出力される。 From the first comparison circuit 24, as described above, a signal corresponding to the displacement position of the transmitted light L1 in the X direction, that is, a signal of (A + D)-(B + C) is output and input to the first division circuit 26. The Further, the output of the fifth adder circuit 23, that is, the signal A + B + C + D, which is a signal obtained from all the sensor units of the photodetector 9, is input to the first divider circuit 26. When such a signal is input to the first division circuit 26, an arithmetic processing operation by the first division circuit 26, that is, an arithmetic processing operation of {(A + D) − (B + C)} / (A + B + C + D) is performed. An arithmetically processed signal is output.

前記第１割算回路２６から前述した演算処理にて求められた信号が出力されると、該信号がＸ方向サーボ回路３２に入力されることになる。一方、前記Ｘ方向サーボ回路３２には、前述したようにＸ位置指示信号生成回路３０からＸ１位置を指示する信号が出力されているため、Ｘ方向サーボ回路３２からスポットＳをＸ１の位置に対応した位置に変位させるためのサーボ信号がＸ方向駆動コイル駆動回路３４に対して出力される。 When the signal obtained by the aforementioned arithmetic processing is output from the first dividing circuit 26, the signal is input to the X-direction servo circuit 32. On the other hand, since the X direction servo circuit 32 outputs the signal indicating the X1 position from the X position instruction signal generation circuit 30 as described above, the X direction servo circuit 32 corresponds the spot S to the X1 position. A servo signal for displacing to the position is output to the X direction drive coil drive circuit 34.

斯かるサーボ信号がＸ方向駆動コイル駆動回路３４に入力されると、該Ｘ方向駆動コイル駆動回路３４からＸ方向駆動用コイル６に対して駆動信号が供給される。斯かる信号がＸ方向駆動用コイル６に供給されると、該Ｘ方向駆動用コイル６に誘起される磁力と磁石から生成される磁気力との協働によりレンズ３がＸ方向へ変位せしめられる。そして、斯かるＸ方向への変位動作は、スポットＳをＸ１の位置に対応した位置に変位させるように行われる。斯かるサーボ動作が行われる結果、スポットＳの位置をＸ１の位置にするための制御動作、即ち透過光Ｌ１をＸ１位置にするための制御動作が行われる。従って、透過光Ｌ１を位置Ｘ１に変位保持するための動作を制御回路２８から出力されるＸ方向の位置決定信号に基づいて行うことが出来る。 When such a servo signal is input to the X direction drive coil drive circuit 34, the drive signal is supplied from the X direction drive coil drive circuit 34 to the X direction drive coil 6. When such a signal is supplied to the X direction driving coil 6, the lens 3 is displaced in the X direction by the cooperation of the magnetic force induced in the X direction driving coil 6 and the magnetic force generated from the magnet. . Then, such a displacement operation in the X direction is performed so as to displace the spot S to a position corresponding to the position of X1. As a result of such a servo operation, a control operation for setting the position of the spot S to the X1 position, that is, a control operation for setting the transmitted light L1 to the X1 position is performed. Therefore, the operation for displacing and holding the transmitted light L1 at the position X1 can be performed based on the position determination signal in the X direction output from the control circuit 28.

以上に説明したようにＸ方向、即ち上下方向の所望位置に透過光Ｌ１を変位させる動作は行われるが、次にＹ方向、即ち左右方向の所望位置に透過光Ｌ１を変位させる動作について説明する。 As described above, the operation of displacing the transmitted light L1 to the desired position in the X direction, that is, the vertical direction is performed. Next, the operation of displacing the transmitted light L1 to the desired position in the Y direction, that is, the horizontal direction will be described. .

制御回路２８から透過光Ｌ１のＹ方向の位置をＹ１にするための制御信号がＹ位置指示信号生成回路３１に対して出力されると、該Ｙ位置指示信号生成回路３１から不揮発性メモリー(図示せず)に記憶されているデータに基いてＹ１位置にするための指示信号がＹ方向サーボ回路３３に対して出力される。 When a control signal for setting the position of the transmitted light L1 in the Y direction to Y1 is output from the control circuit 28 to the Y position instruction signal generation circuit 31, the Y position instruction signal generation circuit 31 outputs a nonvolatile memory (FIG. An instruction signal for setting the Y1 position based on the data stored in the Y direction servo circuit 33 is output.

前記ビームスプリッタ８に入射されたレーザー光Ｌは、前述したように該ビームスプリッタ８によって透過光Ｌ１と反射光Ｌ２とに分離される。前記ビームスプリッタ８によって分離された反射光Ｌ２は集光レンズ１０によって集光されて光検出器９に照射される。前記光検出器９上には、前記集光レンズ１０にて集光された反射光Ｌ２の照射位置が図２
にスポットＳとして表されている。 The laser light L incident on the beam splitter 8 is separated into transmitted light L1 and reflected light L2 by the beam splitter 8 as described above. The reflected light L 2 separated by the beam splitter 8 is condensed by the condenser lens 10 and irradiated to the photodetector 9. On the photodetector 9, the irradiation position of the reflected light L2 collected by the condenser lens 10 is shown in FIG.
Are represented as spots S.

前記第２比較回路２５からは、前述したように透過光Ｌ１のＹ方向の変位位置に応じた信号、即ち(Ａ＋Ｂ)−(Ｃ＋Ｄ)なる信号が出力されて第２割算回路２７に入力される。また、前記第２割算回路２７には、前記第５加算回路２３の出力、即ち光検出器９の全てのセンサー部から得られる信号であるＡ＋Ｂ＋Ｃ＋Ｄなる信号が第２割算回路２７に入力される。斯かる信号が第２割算回路２７に入力されると、該第２割算回路２７による演算処理動作、即ち｛（Ａ＋Ｂ）−（Ｃ＋Ｄ）｝／（Ａ＋Ｂ＋Ｃ＋Ｄ）なる演算処理動作が行われ、演算処理された信号が出力される。 From the second comparison circuit 25, as described above, a signal corresponding to the displacement position of the transmitted light L1 in the Y direction, that is, a signal of (A + B) − (C + D) is output and input to the second division circuit 27. The Further, the second divider circuit 27 receives the output of the fifth adder circuit 23, that is, the signal A + B + C + D, which is a signal obtained from all the sensor units of the photodetector 9, to the second divider circuit 27. The When such a signal is input to the second dividing circuit 27, an arithmetic processing operation by the second dividing circuit 27, that is, an arithmetic processing operation of {(A + B) − (C + D)} / (A + B + C + D) is performed. An arithmetically processed signal is output.

前記第２割算回路２７から前述した演算処理にて求められた信号が出力されると、該信号がＹ方向サーボ回路３３に入力されることになる。一方、前記Ｙ方向サーボ回路３３には、前述したようにＹ位置指示信号生成回路３１からＹ１位置を指示する信号が出力されているため、Ｙ方向サーボ回路３３からスポットＳをＹ１の位置に対応した位置に変位させるためのサーボ信号がＹ方向駆動コイル駆動回路３５に対して出力される。 When the signal obtained by the aforementioned arithmetic processing is output from the second dividing circuit 27, the signal is input to the Y-direction servo circuit 33. On the other hand, since the Y direction servo circuit 33 outputs the signal indicating the Y1 position from the Y position instruction signal generation circuit 31 as described above, the Y direction servo circuit 33 corresponds the spot S to the Y1 position. A servo signal for displacing to the position is output to the Y-direction drive coil drive circuit 35.

斯かるサーボ信号がＹ方向駆動コイル駆動回路３５に入力されると、該Ｙ方向駆動コイル駆動回路３５からＹ方向駆動用コイル７に対して駆動信号が供給される。斯かる信号がＹ方向駆動用コイル７に供給されると、該Ｙ方向駆動用コイル７に誘起される磁力と磁石から生成される磁気力との協働によりレンズ３がＹ方向へ変位せしめられる。そして、斯かるＹ方向への変位動作は、スポットＳをＹ１の位置に対応した位置に変位させるように行われる。斯かるサーボ動作が行われる結果、スポットＳの位置をＹ１の位置にするための制御動作、即ち透過光Ｌ１をＹ１位置にするための制御動作が行われる。従って、透過光Ｌ１を位置Ｙ１に変位保持するための動作を制御回路２８から出力されるＹ方向の位置決定信号に基づいて行うことが出来る。 When such a servo signal is input to the Y-direction drive coil drive circuit 35, the drive signal is supplied from the Y-direction drive coil drive circuit 35 to the Y-direction drive coil 7. When such a signal is supplied to the Y-direction driving coil 7, the lens 3 is displaced in the Y-direction by the cooperation of the magnetic force induced in the Y-direction driving coil 7 and the magnetic force generated from the magnet. . Then, such a displacement operation in the Y direction is performed so that the spot S is displaced to a position corresponding to the position of Y1. As a result of such a servo operation, a control operation for setting the position of the spot S to the Y1 position, that is, a control operation for setting the transmitted light L1 to the Y1 position is performed. Therefore, an operation for displacing and holding the transmitted light L1 at the position Y1 can be performed based on the position determination signal in the Y direction output from the control circuit 28.

前述したように制御回路２８から出力されるＸ方向及びＹ方向の位置を決定指示する信号が出力されると、指示された位置に透過光Ｌ１を移動させる制御動作をレンズ３を変位させる動作によって行うことが出来る。従って、例えば図３に示すように透過光Ｌ１の照射位置をａ→ｂ→ｃ→ｄ→ｅ→ｆ→ｇ→ｈ→ｉ→ｊのように変位させる制御動作をレンズ３の位置を変位制御することによって行うことが出来る。 As described above, when the signal for determining the position in the X direction and the Y direction output from the control circuit 28 is output, the control operation for moving the transmitted light L1 to the specified position is performed by the operation for displacing the lens 3. Can be done. Therefore, for example, as shown in FIG. 3, the control operation for displacing the irradiation position of the transmitted light L1 in the order of a → b → c → d → e → f → g → h → i → j is performed. It can be done by doing.

透過光Ｌ１の照射位置を前述したように変更させることによってその変位範囲内にある対象物に対してレーザー光を照射させることが出来るので、対象物から反射されるレーザー光を検出することによって対象物の位置、大きさ及びその移動速度等の情報を得ることが出来る。 By changing the irradiation position of the transmitted light L1 as described above, it is possible to irradiate the object within the displacement range with the laser light, so that the object is detected by detecting the laser light reflected from the object. Information such as the position and size of an object and its moving speed can be obtained.

尚、レーザー光の照射位置を変更させる動作を行う場合にレーザー駆動回路２９からレーザーダイオード１に供給される駆動信号は、必要な情報を得るために照射タイミングを選択しながら行われるパルス信号が一般的である。パルス信号に基づいてレーザーダイオード１の発光駆動動作が行われると、光検出器９から得られる信号にパルス成分が含まれるので、本実施例では、斯かるパルス信号を削除するためにローパスフィルタ１５、１６、１７及び１８が設けられている。 Note that when performing an operation of changing the irradiation position of the laser beam, the drive signal supplied from the laser driving circuit 29 to the laser diode 1 is generally a pulse signal that is performed while selecting the irradiation timing in order to obtain necessary information. Is. When the light emission driving operation of the laser diode 1 is performed based on the pulse signal, a pulse component is included in the signal obtained from the photodetector 9, and in this embodiment, the low-pass filter 15 is used to delete the pulse signal. 16, 17 and 18 are provided.

また、本実施例では、ビームスプリッタ８としてプリズムを使用したが、ハーフミラーと呼ばれる光学素子を使用することも出来る。 In this embodiment, a prism is used as the beam splitter 8. However, an optical element called a half mirror can be used.

本発明のレーザー光放射器を示す概略図である。It is the schematic which shows the laser beam radiator of this invention. 本発明のレーザー光放射器を示す回路図である。It is a circuit diagram which shows the laser beam radiator of this invention. 本発明の動作を説明するための説明図である。It is explanatory drawing for demonstrating operation | movement of this invention.

符号の説明Explanation of symbols

１レーザーダイオード
３レンズ
４レンズホルダー
６Ｘ方向駆動用コイル
７Ｙ方向駆動用コイル
８ビームスプリッタ
９光検出器
１０集光レンズ
１９第１加算回路
２０第２加算回路
２１第３加算回路
２２第４加算回路
２３第５加算回路
２４第１比較回路
２５第２比較回路
２６第１割算回路
２７第２割算回路
２８制御回路
３０ X位置指示信号生成回路
３１Ｙ位置指示信号生成回路
３２Ｘ方向サーボ回路
３３Ｙ方向サーボ回路
３４Ｘ方向駆動コイル駆動回路
３５Ｙ方向駆動コイル駆動回路 1 Laser diode
3 Lens
4 Lens holder
6 X direction drive coil
7 Y direction drive coil
8 Beam splitter
DESCRIPTION OF SYMBOLS 9 Photodetector 10 Condensing lens 19 1st addition circuit 20 2nd addition circuit 21 3rd addition circuit 22 4th addition circuit 23 5th addition circuit 24 1st comparison circuit 25 2nd comparison circuit 26 1st division circuit 27 Second division circuit 28 Control circuit 30 X position indication signal generation circuit 31 Y position indication signal generation circuit 32 X direction servo circuit 33 Y direction servo circuit 34 X direction drive coil drive circuit 35 Y direction drive coil drive circuit

Claims

レーザー光を放射するレーザーダイオードと、該レーザーダイオードから放射されるレーザー光の光路内にレンズを設け、該レンズを光軸に対して直角方向へ変位させることによってレーザー光の放射方向を変更するようにしたことを特徴とするレーザー光放射器。 A laser diode that emits laser light, and a lens is provided in the optical path of the laser light emitted from the laser diode, and the direction of laser light emission is changed by displacing the lens in a direction perpendicular to the optical axis. Laser light radiator characterized by that.

レンズを互いに直角関係にあるＸ方向及びＹ方向へ変位させることによってレーザー光の放射方向を変更するようにしたことを特徴とする請求項１に記載のレーザー光放射器。 2. The laser light emitter according to claim 1, wherein the laser light emission direction is changed by displacing the lens in an X direction and a Y direction which are perpendicular to each other.

レンズの変位に伴ってレーザー光の照射位置が変化する位置に光検出器を設け、該光検出器にてレーザー光の放射方向を検出するようにしたことを特徴とする請求項１に記載のレーザー光放射器。 The light detector is provided at a position where the irradiation position of the laser light changes with the displacement of the lens, and the radiation direction of the laser light is detected by the light detector. Laser light emitter.

レーザー光の光路内にビームスプリッタを設け、該ビームスプリッタにて分離されたレーザー光を光検出器に照射し、該光検出器にて得られる信号によってレーザー光の放射方向の位置を制御するようにしたことを特徴とする請求項３に記載のレーザー光放射器。 A beam splitter is provided in the optical path of the laser beam, the laser beam separated by the beam splitter is irradiated onto the photodetector, and the position of the laser beam in the radiation direction is controlled by a signal obtained by the photodetector. The laser light emitter according to claim 3, wherein

ビームスプリッタと光検出器との間に集光レンズを設け、該集光レンズにて該光検出器上にレーザー光を照射させるようにしたことを特徴とする請求項４に記載のレーザー光放射器。 5. The laser beam emission according to claim 4, wherein a condensing lens is provided between the beam splitter and the photodetector, and the condensing lens irradiates the laser beam on the photodetector. vessel.

光検出器としてＡＢＣＤの４つのセンサー部より構成された４分割センサーを使用し、Ｘ方向及びＹ方向に対応して配置されている２組のセンサーより得られる信号の差である差信号に基づいてＸ方向及びＹ方向の位置を認識するようにしたことを特徴とする請求項３に記載のレーザー光放射器。 Based on the difference signal, which is the difference between signals obtained from two sets of sensors arranged corresponding to the X and Y directions, using a quadrant sensor composed of four ABCD sensor units as a photodetector. 4. The laser light emitter according to claim 3, wherein positions in the X direction and the Y direction are recognized.

全てのセンサーから得られる信号を加算した信号にて差信号を割算した信号に基づいてＸ方向及びＹ方向の位置を認識するようにしたことを特徴とする請求項６に記載のレーザー光放射器。 7. The laser light emission according to claim 6, wherein positions in the X direction and the Y direction are recognized based on a signal obtained by dividing a difference signal by a signal obtained by adding signals obtained from all sensors. vessel.